FI70753B - Foerfarande foer maetning av kapacitanser speciellt smao kapacitanser - Google Patents
Foerfarande foer maetning av kapacitanser speciellt smao kapacitanser Download PDFInfo
- Publication number
- FI70753B FI70753B FI842192A FI842192A FI70753B FI 70753 B FI70753 B FI 70753B FI 842192 A FI842192 A FI 842192A FI 842192 A FI842192 A FI 842192A FI 70753 B FI70753 B FI 70753B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- capacitance
- measuring
- oscillator
- output
- capacitors
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2605—Measuring capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
70753 1 Menetelmä kapasitanssien, etenkin pienten kapasitanssien, mittaamiseksi Förfarande för mätning av kapacitanser, speciellt sma kapacitanser 5 Keksinnön kohteena on menetelmä kapasitanssien, etenkin pienten kapasitanssien, mittaamiseksi, jossa käytetään mittausosklllaattoria, jonka antama lähtötaajuus on mainitun oskillaattorin taajuuden määräävän piirin tulonapoihin kytkettävän kapasitanssin funktio ja jossa menetelmässä käytetään tunnettua referenssikapasltanssla, jota kytketään vuoron 10 perään mitattavan kapasitanssin kanssa vaihdellen mittausoskillaattorin tulonapoihin käyttäen hyväksi kytkinjärjestelyä.
Esillä olevan keksinnön eräänä lähtökohtana on ollut se tekniikan taso, joka selviää esim. FI-patenteista 54 664 ja 57 319 (vastaavat 15 US-patentit 4 295 090 ja 4 295 091). Mainituissa patenteissa on esitetty menetelmä pienten kapasitanssien mittaamiseksi.
Radlosondeissa käytetään eri parametrien, etenkin paineen lämpötilan ja kosteuden mittauksessa kapasltllvisia antureita, joiden kapasitanssin 20 suuruus on riippuvainen mitattavasta parametrista. Näiden antureiden kapasitanssit ovat useasti verraten pieniä muutamista pF:stä muutamiin kymmeniin pF:ln, korkeintaan n. 100 pF. Pienten kapasitanssien mittaus on ongelmallista mm. hajakapasitanssien, syöttöjännitteen vaihteluiden ja muiden häiriöiden takia. Lisäksi mainitut anturit ovat jossain määrin 25 yksilöllisiä niin, että niillä on yksilöllinen epälineaarisuus ja lämpötilariippuvuus.
Mitattaessa etenkin telemetrlsovellutuksissa esim. lämpötilaa, kosteutta tai painetta sähköisillä tai mekaanis-sähköisillä antureilla on yleistä 30 sijoittaa mittauselektroniikan yhteyteen yksi tai useampi referenssi, joka on tarkasti tunnettu, niin että mlttausplirin ja/tai anturin virheitä voidaan saada eliminoiduksi.
Kapasitilvisten antureiden yhteydessä on ennestään tunnettua käyttää 35 referenssikapasltanssla, joka kytketään vuoron perään mittavan kapasitanssi kanssa mlttausplirin, yleensä RC-osklllaattorin taajuuden määräävän piirin tuloon. Mlttauspllriä sopivasti säätämällä tai muulla tavalla 2 70753 1 voidaan mittauspiirin referenssikapasitanssin vastaava lähtösuure asettaa oikeaksi.
On ennestään tunnettua käyttää yhden referenssin mittauspiirejä, etenkin 5 siltakytkentöjä, joissa mittaus on kuitenkin tarkka vain silloin, kun referenssin sähköinen arvo on lähellä anturin arvoa, esim. silloin kun silta on tasapainossa. Mitä kauemmaksi anturin arvo menee referenssistä, sitä suuremmaksi tulevat myös eri virheet, esim. elektronisen mittapii-rin dynamiikan muutoksista aiheutuvat virheet. Etuna yhden referenssin JO kytkennöissä on mittauspiirin yksinkertaisuus.
Kahden tai useamman referenssin mittausjärjestelyissä on etuna mittauksen tarkkuus laajallakin mittausalueella, mutta epäkohtana on mittausmenetelmän ja siihen liittyvän laskennan mutkikkuus.
15
Esillä olevan keksinnön tarkoituksena on kehittää edellään ennestään tunnettuja pienten kapasitanssien (0-100 pF) mittauspiirejä niin, että mittauspiireistä saadaan entistä tarkempia. Keksinnön lisätarkoituksena on aikaan saada sellainen mittauspiiri, jossa voidaan eliminoida kytken-20 täilmiöiden vaikutukset.
Keksinnön eräänä ei välttämättömänä lisätarkoituksena on sellaisen mittauspiirin aikaansaaminen, jossa lähtösuureena on sopivasti lineari-soitu, kompensoitu ja skaalattu tasajMnnite ja johon tarvittaessa voi-25 daan liittää yksinkertainen lämpötilakompensointi.
Edellä esittyihin ja myöhemmin selviäviin päämääriin pääsemiseksi keksinnön menetelmälle on pääasiallisesti tunnusomaista se, että mitattava kapasitanssi ja referenssikapasitanssi kytketään peräkkäin vaihtaen sa-30 man mainitun mittausoskillaattorin tulonapoihin mittausoskillaattorin yhtä monen jakson ajaksi kummassakin kytkentävaiheessa, jolloin mainittujen kapasitanssien kytkentäajat ovat verrannollisia kytkettyihin kapasitansseihin.
35 Oskillaattorin taajuus jaetaan sopivitmnin asynkronisella tai synkronisella jakajalla ja ohjataan jakajan lähdön sakara-aallolla analogiakytkimiä, jotka vaihtavat mitattavan kapasitanssin referenssikapasitanssin kanssa.
3 70753 1 Keksinnön edullisessa sovellutusmuodossa jakajan lähtö ohjaa myös lähtö-puskureita, joiden toinen käyttöjännitenapa on erikseen tuotu ulos. Tällöin lähtöpuskureiden syöttämän sakara-aallon amplitudi on säädettävissä ja käytettävissä linearisointiin, kompensointiin ja skaalaukseen.
5
Keksinnössä oskillaattorin rinnakkaiskapasitanssln avulla voidaan saada aikaan yksinkertainen lämpötilakompensointi valitsemalla sen lämpötila-kerroin sopivasti. Kytkentäilmiöiden vaikutukset voidaan eliminoida, kun mainitun jakajan jakosuhde N on riittävän suuri, yleensä N > 10.
10
Oskillaattorin lämpötilariippuvuudet vaikuttavat samalla tavoin kummankin puolijakson pituuteen kompensoiden suurimman osan elektroniikan lämpötilariippuvuudesta. Pulssisuhteen muuttaminen tasajännitteeksi, linearisoiminen, kompensoiminen ja skaalaamlnen on toteutettavissa 15 verraten yksinkertaisesti lähtöpuskureiden ja RC-alipäästösuodattimen avulla.
Seuraavassa keksintöä selostetaan yksityiskohtaisesti viittaamalla oheisen piirustuksen kuvioissa esitettyihin keksinnön eräisiin sovellutus-20 esimerkkeihin, joiden yksityiskohtiin keksintö ei ole mitenkään ahtaasti rajoitettu.
Kuvio 1 esittää keksinnön mukaista menetelmää kytkentä- ja lohkokaaviona.
25 Kuvio 2 esittää jännitteen V^n aaltomuotoa, joka sisältää mitattavan informaation.
Kuvio 3 esittää kytkentäkaaviona keksinnön menetelmän yhteydessä edullisesti sovellettavaa lähtöjännitteen linearisointia.
30
Kuvio 4 esittää eri aaltomuotoja kuvion 3 kytkennässä.
Kuvio 5 esittää pulsslsuhde-tasajännitemuuntimen lähtöjännitettä mittavan kapasitanssin funktiona.
35
Kuvion 1 mukaisesti keksinnön mukainen menetelmä on toteutettu käyttämällä hyväksi oskillaattoria 10, jonka taajuuden määräävän piirin tulo- 4 70753 napojen a ja b välille kytketään vuoron perään mitattava kapasitanssi C„ n ja tarkasti tunnettu referenssikapasitanssi C . Oskillaattorin 10 tulo-napojen välille on kytketty rinnakkaiskapasitanssi Cq, jonka kanssa rinnan referenssikapasitanssi ja vuoronperään kytketään. Oskil-5 laattorista 10 saadaan lähtösuureena taajuus f, joka on tulonapoihin kytkeytyvän kapasitanssin funktio: f = F (Cin) (1) ,0 f =-£- (2) B <Co + V * * missä A ja B ovat tunnettuja vakioita ja tunnettu aikavakio
,5 Cln - CR tai CM
Oskillaattorin 10 lähtönavasta c saatava taajuus johdetaan jakajalle 11, joka on asynkroninen tai synkroninen jakaja, jonka jakosuhde on N. Jakajasta 11 saadaan lähtöjännite , jonka aaltomuoto selviää kuviosta 2.
20
Keksinnössä on olennaisena piirteenä se, että mitattava kapasitanssi ja referenssikapasitanssi kytketään samaan oskillaattoriin 10 vuorotellen nimenomaan yhtä monen jakson ajaksi. Tämä on toteutettu jakamalla osillaattorin 10 taajuus f edellä mainitulla jakajalla 11, jonka jakosuh-25 detta on merkitty N:llä ja ohjaamalla jakajan 11 lähdön sakara-aallolla invertterin 12 kautta kytkimiä k^ ja Kytkimet k^ ja k£ on toteutettu esim. analogiakytkiminä, joita kuvaavat lohkot 13a ja 13b. Kytkimet k^ ja k£ toimivat vuoron perään siten, että kytkimen k^ ollessa suljettuna on kytkin k^ auki ja päinvastoin.
30
Kuvion 1 mukaisesti jakajan 11 lähtöjännite ohjaa myös lähtöpusku-reita 15a ja 15b, joiden toinen käyttöjännitenapa e (V^) on erikseen tuotu ulos. Tällöin lähtöpuskureiden 15a ja 15b syöttämän sakara-aallon amplitudi on säädettävissä ja käytettävissä linearisointiin, kompensoin-35 tiin ja skaalaukseen, kuten myöhemmin kuvioiden 3,4 ja 5 selostuksen yhteydessä tarkemmin selviää.
5 70753
Informaatio mitattavasta kapasitanssista sisältyy jakajan 11 lähtöjännit-teen V puolijakson aikoihin ja seuraavista yhtälöistä (3) - (6) selviävällä tavalla.
5 N(B(C ♦ CM) + r) T---2—a- (3)
1 A
N(B(C + O + T = -2-“- (4)
A
10 T1 X, --3- (5) T1 + T2 T2 15 Xo = --- (6) T1 +T2
Kuten edellä jo mainittiin mitattava kapasitanssi ja referenssikapa-sitanssi kytketään vuorotellen samaan oskillaattoripiiriin 10 yhtä- 20 monen jakson ajaksi, mainittujen jaksojen lukumäärän ollessa edullisesti yhtäsuuri kuin jakajan 11 jakosuhde N. Kytkentääjät Tj ja ovat täten suoraan verrannollisia jaksojen määrään N ja kytkettyyn kapasitanssiin C^n> Näin ollen jakajan 11 lähdön sakara-aallon puolijakson pituudet Tl ja T£ määräytyvät jakosuhteesta N ja kapasitansseista ja C^. Ulos- 25 tulona saatavat pulselsuhteet ja X2, jotka on edellä yhtälöissä (5) ja (6) määritelty, ovat suoraan verrannollisia mitattavan kapasitanssin suuruuteen taajuuden f ollessa kääntäen verrannollinen ko. kapasitanssiin Cjj.
30 Keksinnön erään edullisen sovellutusmuodon mukaisesti saadaan lähtöpus-kuripiirin tai muuntimen 16 lähtönavoista ja/tai g2 mitattava kapasitanssia kuvaava lähtöjännlte, joka on llnearisoitu, lämpötilakompen-soitu ja skaalattu seuraavia esimerkkiratkaisuja hyväksi käyttäen.
35 Mainittu muunnin 16 voidaan tehdä yksiosaisena, jolloin siihen kuuluvat komponenteista 15a ja 15b vain transistorit Μ^/Μ2· Vaihtoehtoisesti 6 70753 muunnin 16 voidaan toteuttaa kaksiosaisena, jolloin siihen kuuluvat em. transistorien M./Μ„ lisäksi invertteri 14 ja transistorit M_ ja M,.
12 3 4 Lähtöjännite yksiosaisella muuntimella: 5 V = X · V (4a)
01 1 1 y J
missä T1 10 X.---- (5) 1 T, * T2 R1 * (R1 = R2, Cl = C2) (5a)
Vastaavasti kaksiosaisella muuntimella: ,5 X„ --—— , ja X. kuten edellä (6) T, * T2 V01-V02 ' (XrV · V1 * ΐ;>-τ^-·νΐ <6a> 20 Muuntimeen 16 navan e kautta syötettävää jännitettä muuttamalla voidaan sakara-aallon amplitudia säätää yhtälön (6a) mukaisesti ja täten saada aikaan edullinen lähtöjäänitteen kompensointi, linearisointi ja skaalaus.
25 Kompensoinnin lähtökohtana on se, että edellä esitettyjen kaavojen (4a) ja (6a) mukaisesti voidaan lähtöjännitteet joko tai V^-V^ kompensoida halutun suureen esim. lämpötilan suhteen sovittamalla jännite takaisinkytkentäjännitteeksi ja se kompensoitavasta suureesta sopivasti riippuvaksi.
30
Linearisoinnin pääperiaate on se, että lähtöjännite takaisinkytketään muuntimeen 16 navan e kautta takaisinkytkentäjännitteenä V^. Tällöin kytkin 15a/15b toimii epälineaarisena komponenttina ja tuloksena saadaan lähtöjännitteeseen epälineaarinen riippuvuus edellä määritellyistä 35 pulssisuhteista X^ ja X2 (yhtälöt (5) ja (6)).
7 70753
Skaalauksen pääperiaatteena on se, että jännitettä Vj säätämällä voidaan keksinnön mukaisessa menetelmässä mittavasta kapasitanssista riippuvana lähtösuureena olevan lähtöjännltteen (yhtälöt 4a ja/tai 6a) valhte-lualue, siis skaala asettaa sopivaksi.
5
Seuraavassa selostetaan kuvioihin 3,4 ja 5 viitaten eräs keksinnön mukaisen menetelmän yhteydessä käytetyn lähtöjännltteen linearlsoinnln, lämpö-tilakompeneoinnln ja skaalauksen tarkempi toteutuseslmerkki.
10 Kuvion 3 mukaisesti on edellä selostetun muuntlmen 16 lähtönapolhin ja g2 kytketty operaatiovahvistimen 17, jonka vahvistusta on merkitty G:llä, tulo. Operaatiovahvistimen 17 lähtö on kytketty resletiivisesti takaisinkytketyn operaatiovahvistimen 18 tuloon. Operaatiovahvistimesta 18 saadaan lähtöjännite V^.
15
Kuviossa 3 esitetyn kytkennän eri aaltomuotoja V^, V^' ja on esitetty kuviossa 4. Kuvion 3 mukaisen kytkennän eri parametreillä pätevät seuraavat yhtälöt, joissa esiintyvät Xj ja X2 on roäärltelty edellä esitetyissä yhtälöissä (5) ja (6).
20 ν0Γν02 - <XrV · V1 (7> V0 - G · (Xj-X2) · Vj (8) 25 <9) v2 - Vj (io) kl""R7" (U) 30 n . 10 f,0\ k* * n ( i 2) 2 Rn jolloin sijoitettuna (9):än 35 Vj (1 + G (X^Xj)· k2) - - kj- Vdd (13)
- k * V
».--1_«_- (M, 1 1 + G (X1-X2). k2 6 70753 ja sijoitettuna (8):aan saadaan
G'k. -V<ld <VV
---- (15) I ♦ G-(Xt-X2) · k2 5
Yhtälöä (15) tarkastelemalla voidaan todeta, että muuttamalla operaatio-vahvistimen 17 vahvistuksen G etumerkkiä, voidaan piirin ominaiskäyrän kaarevuuden suuntaa muuttaa ja termillä k^ (yhtälö 12) voidaan säätää kaarevuuden suuruutta.
io
Seuraavassa selostetaan kuvioon 5 viitaten rinnakkaiskapasitanssin Cq käyttöä piirin lämpötilakompensointiin.
RC-oskillaattorin taajuus 1 5 fosc^--*-_ B (C + C, ) * t o k Lämpötila vaikuttaa tyypillisesti termeihin B jät». B:hen sisältyy tasa-virta- ja pientaajuuslämpötilariippuvuudet ja '’Tm viiveen lämpötilariip-20 puvuudet.
Pulssisuhdelähdön puolijaksojen pituudet Tj ja T2 ovat (1),(3) ja (4) perusteella N(B(C - C ) ♦ £> 25 T! --- (17)
1 A
N(B(C - C_) + tT) T2 =_____o R W (18)
A
Pulssisuhde<»tasajMnnitemuuntimen 16 ulostulo on edellä esitetyn yhtälön 30 (7) mukaisesti T. - cu - V..-V----— * V----— v, (19) 01 02 T ♦ T 2C + CM + C_ + (2 ^/B) 12 o m k
Valitsemalla sopivasti CQ:n (1) lämpötilakerroin voidaan 2 TL/B:n lämpötilariippuvuus osittain kompensoida.
9 70753 1 Kuvioon 5 viitaten todetaan, että 2*C/B:n lämpötilariippuvuus pyrkii muuttamaan kuvion 5 suoran kulmakerrointa suurilla toimintataajuuksilla, jolloin :n osuus puolijakson ajasta on merkittävä. Tämä voidaan kompensoida CQ:n avulla.
5
Seuraavassa esitetään patenttivaatimukset, joiden määrittelemän keksinnöllisen ajatuksen puitteissa keksinnön eri yksityiskohdat voivat vaihdella ja poiketa edellä vain esimerkin omaisesti esitetystä.
10 15 20 25 30 35
Claims (9)
1. Menetelmä kapasitanssien, etenkin pienten kapasitanssien, mittaamiseksi, jossa käytetään mittausoskillaattoria (10), jonka antama lähtö- 5 taajuus (f) on mainitun oskillaattorin taajuuden määräävän piirin tulo-napoihin (a,b) kytkettävän kapasitanssin (C ) funktio (f = F(C^) 3a jossa menetelmässä käytetään tunnettua referenssikapasitanssia (C_), jota kytketään vuoron perään mitattavan kapasitanssin (C^) kanssa vaihdellen mittausoskillaattorin (10) tulonapoihin (a,b) käyttäen hyväksi 10 kytkinjärjestelyä, tunnettu siitä, että mitattava kapasitanssi (C ) ja referenssikapasitanssi (C ) kytketään peräkkäin vaihtaen saman mainitun mittausoskillaattorin (10) tulonapoihin (a,b) mittausoskillaattorin (10) yhtä monen jakson (T = 1/f) ajaksi (T^ ja T^) kummassakin kyt-kentävaiheessa, jolloin mainittujen kapasitanssien (C^ ja C^) kytkentä-15 ajat (T ja T2) ovat verrannollisia kytkettyihin kapasltansseihln.
1 Patenttivaatimukset
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mittausoskillaattorin (10) tulonapoihin (a,b) kytketyistä kapasitansseista (Cq.Cj^.C^) riippuva taajuus (f) johdetaan jakajalle (11), jonka 20 jakosuhde (N) suoraan määrää mainittujen kytkentäjaksojen lukumäärän.
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainitun jakajan (11) lähdöstä (d) saatavalla sakara-aallolla (V ) ohjataan niitä kytkimiä (kj,k2), jotka kytkevät vuoron perään vaihtaen 25 tunnetun referenssikapasitanssin (C^) ja mitattavan kapasitanssin (C^) kunkin vuorollaan mittausoskillaattorin (10) tulonapoihin (a,b) siten, että mainitun sakara-aallon (V. ) tason (V.,,0) vaihtuminen saa aikaan in da mainittujen kytkimien (^^2) toimimisen siten, että referenssikapasitanssin (C ) tilalle kytketyy vuorossa oleva mitattava kapasitanssi (C ) K M 30 ja päinvastoin.
4. Jonkin patenttivaatimuksen 2 tai 3 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kytkentäilmiöiden vaikutusten eliminoimiseksi on mainittu jakosuhde (N) valittu N > 10. 35
5. Jonkin patenttivaatimuksen 1-4 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että menetelmässä sovelletaan muunninta (16), jonka tulosignaa- 11 70753 1 liksi johdetaan mainitusta jakajasta (11) saatava sakara-aalto (V ) ja jonka lähtönavoista (g^ ja/tai g2) saadaan mitattavaa kapasitanssia kuvaava tasajännite.
6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainitun muuntimen (16) tietyn navan (e) kautta syytetään takaisin-kytkentäjännite (vp, jota muuttamalla säädetään mainitun sakara-aallon (Vj) amplitudia muuntimen lähtöjännitteen kompensointia, linearisointia ja/tai skaalausta varten. 10
7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainitun muuntimen (16) lähtöjännitteen linearisoimiseksi mainittu lähtöjännite johdetaan mainituksi takaisinkytkentäjännitteeksi (V^) muuntimen epälineraariseen komponenttiin niin, että saadaan aikaan 15 hallittu lähtöjännitteen epälineaarinen riippuvuus mainitun sakara-aallon pulssisuhteista (Χ^,Χ^) (yhtälöt (5) ja (6)).
8. Jonkin patenttivaatimuksen 6 tai 7 mukainen menetelmä, tunnet-t u siitä, että lähtösuureen skaalaamiseksi säädetään mainitun takaisin- 20 kytkentäjännitteen (V^) tasoa.
9. Jonkin patenttivaatimuksen 5-7 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mittauspiirin lämpötilakompensointlin käytetään mittausoskil-laattorin (10) tulonapoihin (a,b) kytkettyä rinnakkaiskapasitanssia 25 (C ), jonka lämpötilakerroin sovitetaan siten, että oskillaattorin (10) lämpötilariippuvuudet ainakin osittain kompensoituvat (kuvio 5). 30 35 70753
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI842192A FI70753C (fi) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | Foerfarande foer maetning av kapacitanser, speciellt smao kapacitanser. |
| NO852170A NO167830C (no) | 1984-05-31 | 1985-05-30 | Fremgangsmaate for maaling av kapasitanser, saerlig lave kapasitanser. |
| DK242385A DK159298C (da) | 1984-05-31 | 1985-05-30 | Fremgangsmaade og apparat til maaling af navnlig lave kapacitetsvaerdier |
| CA000482809A CA1268210A (en) | 1984-05-31 | 1985-05-30 | Method for the measurement of capacitances, in particular of low capacitances |
| DE8585850189T DE3568493D1 (en) | 1984-05-31 | 1985-05-30 | Method for the measurement of capacitances, in particular of low capacitances |
| EP85850189A EP0166706B1 (en) | 1984-05-31 | 1985-05-30 | Method for the measurement of capacitances, in particular of low capacitances |
| JP60118679A JPS60262066A (ja) | 1984-05-31 | 1985-05-31 | 容量測定方法 |
| US06/930,580 US4775830A (en) | 1984-05-31 | 1986-11-13 | Method of and arrangement for measuring low capacitances |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI842192 | 1984-05-31 | ||
| FI842192A FI70753C (fi) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | Foerfarande foer maetning av kapacitanser, speciellt smao kapacitanser. |
Publications (4)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI842192A0 FI842192A0 (fi) | 1984-05-31 |
| FI842192A FI842192A (fi) | 1985-12-01 |
| FI70753B true FI70753B (fi) | 1986-06-26 |
| FI70753C FI70753C (fi) | 1987-01-07 |
Family
ID=8519171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI842192A FI70753C (fi) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | Foerfarande foer maetning av kapacitanser, speciellt smao kapacitanser. |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4775830A (fi) |
| EP (1) | EP0166706B1 (fi) |
| JP (1) | JPS60262066A (fi) |
| CA (1) | CA1268210A (fi) |
| DE (1) | DE3568493D1 (fi) |
| DK (1) | DK159298C (fi) |
| FI (1) | FI70753C (fi) |
| NO (1) | NO167830C (fi) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4794320A (en) * | 1987-08-10 | 1988-12-27 | Moore Products Co. | Multi-frequency capacitance sensor |
| US5136251A (en) * | 1988-09-23 | 1992-08-04 | John Fluke Mfg. Co., Inc. | Capacitance measurement |
| US5028876A (en) * | 1989-01-30 | 1991-07-02 | Dresser Industries, Inc. | Precision capacitive transducer circuits and methods |
| US5042299A (en) * | 1990-07-23 | 1991-08-27 | Iimorrow, Inc. | Capacitive fluid level sensor |
| US5202640A (en) * | 1991-06-03 | 1993-04-13 | International Business Machines Corporation | Capacitance and leakage test method and apparatus |
| US5136262A (en) * | 1991-12-13 | 1992-08-04 | Sentech Corporation | Oscillator circuit and method for measuring capacitance and small changes in capacitance |
| US5148126A (en) * | 1991-12-13 | 1992-09-15 | Sentech Corporation | Capacitance sensor circuit and method for measuring capacitance and small changes in capacitance |
| DE19524387C1 (de) * | 1995-07-04 | 1996-11-07 | Siemens Ag | Schaltungsanordnung und Verfahren zum Messen eines Kapazitätsunterschiedes zwischen einer ersten Kapazität C1 und einer zweiten Kapazität C2 |
| US6008660A (en) * | 1996-08-22 | 1999-12-28 | International Business Machines Corporation | Method for developing circuit capacitance measurements corrected for stray capacitance |
| WO2003029802A1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Oil deterioration sensor |
| US20040246007A1 (en) * | 2003-06-03 | 2004-12-09 | Wolfgang Fallot-Burghardt | Fast, high precision, interference tolerant impedance measurement apparatus |
| JP4713852B2 (ja) * | 2003-08-28 | 2011-06-29 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 周波数発生回路及びそれを用いた通信システム |
| DE102008063527A1 (de) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Schaltungsanordnung und Verfahren zum Auswerten eines Sensors |
| DE102017205908B4 (de) | 2017-04-06 | 2019-04-04 | Marius Czardybon | Auswerteschaltung, System und Verfahren zum Auswerten eines kapazitiven oder induktiven Sensors |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE567800A (fi) * | 1957-10-21 | |||
| AT359599B (de) * | 1977-02-03 | 1980-11-25 | Elin Union Ag | Elektronische kapazitaetsmesseinrichtung |
| SE431683B (sv) * | 1977-09-23 | 1984-02-20 | Testut Aequitas | Anordning for metning av kapacitansen hos en kondensator |
| FI54664C (fi) * | 1977-10-14 | 1979-01-10 | Vaisala Oy | Elektronisk omkopplingstroemstaellare i synnerhet foer telemeteranvaendning i sonder |
| US4295091B1 (en) * | 1978-10-12 | 1995-08-15 | Vaisala Oy | Circuit for measuring low capacitances |
| FR2454083A1 (fr) * | 1979-04-09 | 1980-11-07 | Facom | Dispositif de mesure de la position relative de deux objets |
| GB2058364B (en) * | 1979-09-01 | 1983-03-23 | Ferranti Ltd | Capacitance measuring apparatus |
| JPS57199914A (en) * | 1981-06-03 | 1982-12-08 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Capacity type converter |
| US4580233A (en) * | 1982-09-22 | 1986-04-01 | Weyerhaeuser Company | Method of measuring moisture content of dielectric materials |
-
1984
- 1984-05-31 FI FI842192A patent/FI70753C/fi not_active IP Right Cessation
-
1985
- 1985-05-30 EP EP85850189A patent/EP0166706B1/en not_active Expired
- 1985-05-30 NO NO852170A patent/NO167830C/no unknown
- 1985-05-30 DK DK242385A patent/DK159298C/da not_active IP Right Cessation
- 1985-05-30 DE DE8585850189T patent/DE3568493D1/de not_active Expired
- 1985-05-30 CA CA000482809A patent/CA1268210A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-05-31 JP JP60118679A patent/JPS60262066A/ja active Pending
-
1986
- 1986-11-13 US US06/930,580 patent/US4775830A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0166706A1 (en) | 1986-01-02 |
| JPS60262066A (ja) | 1985-12-25 |
| US4775830A (en) | 1988-10-04 |
| DK159298C (da) | 1991-02-18 |
| DK242385A (da) | 1985-12-01 |
| CA1268210A (en) | 1990-04-24 |
| EP0166706B1 (en) | 1989-03-01 |
| DK159298B (da) | 1990-09-24 |
| FI842192A0 (fi) | 1984-05-31 |
| DK242385D0 (da) | 1985-05-30 |
| NO167830C (no) | 1991-12-11 |
| FI70753C (fi) | 1987-01-07 |
| NO852170L (no) | 1985-12-02 |
| FI842192A (fi) | 1985-12-01 |
| NO167830B (no) | 1991-09-02 |
| DE3568493D1 (en) | 1989-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI70753B (fi) | Foerfarande foer maetning av kapacitanser speciellt smao kapacitanser | |
| EP0313575B1 (en) | Transmitter with vernier measurement | |
| KR20060051397A (ko) | 발진 회로 및 이 발진 회로를 갖는 반도체 장치 | |
| JPS581388B2 (ja) | 電力量計 | |
| JPS60220875A (ja) | 受動的測定量検出器用評価回路 | |
| JPH0718900B2 (ja) | 抵抗半ブリツジにおける抵抗比測定方法及び測定装置 | |
| EP0716308A2 (en) | Calibration circuit for capacitive sensors | |
| KR20020065631A (ko) | 유도식 루프 감지기에서의 능동적 분리를 위한 방법 및 장치 | |
| Igarashi et al. | An impedance-measurement setup optimized for measuring relaxations of glass-forming liquids | |
| EP0322802B1 (en) | Watthour meter or wattmeter comprising hall sensors | |
| KR20200064915A (ko) | 이장형 발진기, 및 이장형 발진기를 구비한 전자 기기 | |
| KR0137088B1 (ko) | 전력연산장치 | |
| SU748138A2 (ru) | Дискретный электроемкостной уровнемер | |
| FI69932C (fi) | Maetningsfoerfarande foer kapacitanser speciellt foer smao kapacitanser vid vilker man anvaender tvao referenser | |
| FI69931B (fi) | Foerfarande foer maetning av kapacitanser speciellt smao kapacitanser | |
| JPH06308176A (ja) | 容量測定回路及びそれを備えたｌｃｒメ−タ | |
| RU1838874C (ru) | RC-генератор синусоидальных сигналов | |
| SU871094A1 (ru) | Устройство дл измерени частоты | |
| SU834550A1 (ru) | Устройство дл измерени отношени дВуХ пЕРЕМЕННыХ НАпР жЕНий | |
| SU608049A1 (ru) | Устройство дл измерени механических величин | |
| JP2593324B2 (ja) | 気体圧力計 | |
| SU941908A1 (ru) | Устройство дл измерени средней частоты импульсов | |
| Nizamani | Measurement of capacitance using identical oscillators | |
| SU1673996A1 (ru) | Масштабный измерительный преобразователь | |
| SU1012191A1 (ru) | Детектор квазиравновеси (его варианты) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MA | Patent expired |
Owner name: VAISALA OY |