FI66690C - Foerfarande och interferometer foer maetning av korta straeckor med hjaelp av ickekoherent ljus - Google Patents
Foerfarande och interferometer foer maetning av korta straeckor med hjaelp av ickekoherent ljus Download PDFInfo
- Publication number
- FI66690C FI66690C FI833111A FI833111A FI66690C FI 66690 C FI66690 C FI 66690C FI 833111 A FI833111 A FI 833111A FI 833111 A FI833111 A FI 833111A FI 66690 C FI66690 C FI 66690C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- interference
- interferometer
- reference device
- distance
- light
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Claims (8)
1. Förfarande för mätning av korta sträckor, t.ex. av tjockleken hos pä varandra belägna filmer, med hjälp av 5 en interferometer sotn arbetar med ickekoherent ljus, vid vilket förfarande det ickekoherenta ljuset sändes via en sträluppdelare (2) ä ena sidan tili det objekt (4), vars läge skall bestämmas, oeh ä andra sidan tili en järaförelse-anordning (3), och 1jussträlarna som reflekterats frän objek-10 tet likaväl som frän jämförelseanordningen emottages medelst en interferensdetektor (5), som detekterar den interferens som uppstär dä avständen frän jämförelseanordningen (3) och objektet (4) tili strälfördelaren (2) är lika Stora, varvid jämförelsesträckan regleras periodiskt medelst en automatisk 15 mekanism, och interferensen iakttas medelst en elektronisk interferensdetektor, kännetecknat därav, att vid interferensögonblicket avläses läget hos jämförelseanordningen (3) och det objekt (H) som mates medelst en ställnings-givare eller liknande i samband med den automatiska mekanismen, 20 och referenssträckan regleras med konstant hastighet över hela mätningsomrädet.
2. Förfarande enligt patentkravet 1, vilket används för mätning av tjockleken hos en film med ätminstone ett skikt , kännetecknat därav, att den plastfilm (20) som 25 mates placeras framfor en spegel (24), mätresultatet erhälles utgäende frän den förskjutning i spegelinterferensen som plast-filmen (20) orsakar och avständet frän spegeln (24) tili plast-filmen (20) väljes som en funktion av den approximativa tjockleken hos filmen (20). 30
3. Förfarande enligt patentkravet 2 eller 3, känne tecknat därav, att detekteringen av interferensen utföres först grovt med hjälp av enveloppkurvan hos interferensen och därefter noggrant med hjälp av en nollöverskridningsdetektor.
4. För mätning av korta sträckor avsedd interferometer, 35 som arbetar med ickekoherent ljus, innefattande en strälkälla (1) sora utsänder ickekoherent ljus, en sträluppdelare (2) avsedd
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI833111A FI66690C (fi) | 1982-09-01 | 1983-09-01 | Foerfarande och interferometer foer maetning av korta straeckor med hjaelp av ickekoherent ljus |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI823028A FI823028A0 (fi) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | Foerfarande foer maetning av korta straeckor med en interferometer som utnyttjar icke-koherent ljus, samt foer utfoerande av foerfarandet avsedd interferometer |
| FI823028 | 1982-09-01 | ||
| FI833111 | 1983-09-01 | ||
| FI833111A FI66690C (fi) | 1982-09-01 | 1983-09-01 | Foerfarande och interferometer foer maetning av korta straeckor med hjaelp av ickekoherent ljus |
Publications (4)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI833111A0 FI833111A0 (fi) | 1983-09-01 |
| FI833111A FI833111A (fi) | 1984-03-02 |
| FI66690B FI66690B (fi) | 1984-07-31 |
| FI66690C true FI66690C (fi) | 1984-11-12 |
Family
ID=26157373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI833111A FI66690C (fi) | 1982-09-01 | 1983-09-01 | Foerfarande och interferometer foer maetning av korta straeckor med hjaelp av ickekoherent ljus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FI (1) | FI66690C (sv) |
-
1983
- 1983-09-01 FI FI833111A patent/FI66690C/fi not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI833111A (fi) | 1984-03-02 |
| FI833111A0 (fi) | 1983-09-01 |
| FI66690B (fi) | 1984-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5333049A (en) | Apparatus and method for interferometrically measuring the thickness of thin films using full aperture irradiation | |
| US5293214A (en) | Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology by deforming a thin film layer into a reflective condenser | |
| EP0132978B1 (en) | Displacement measuring apparatus and method | |
| US5777899A (en) | Horizontal position error correction mechanism for electronic level | |
| US3645623A (en) | Apparatus for monitoring film thickness by reflecting a light beam from the film surface | |
| IL107901A (en) | Device and method for measuring the thickness of thin membranes | |
| GB2069130A (en) | Thin film thickness monitor | |
| CN106940220B (zh) | 一种简易低成本的激光波长实时测量装置 | |
| JPS639161B2 (sv) | ||
| US4647205A (en) | Method and interferometer for the measurement of short distances | |
| KR20160145496A (ko) | 굴절률의 계측방법, 계측장치와, 광학소자의 제조방법 | |
| JPH02263105A (ja) | 被膜厚さ測定器 | |
| US3744916A (en) | Optical film thickness monitor | |
| US5537200A (en) | Electronic leveling apparatus having a leveling staff detection function, and leveling staff used with the same | |
| US4806778A (en) | Micro-displacement measuring apparatus using a semiconductor laser | |
| JPS636483A (ja) | 時間間隔測定装置 | |
| FI66690C (fi) | Foerfarande och interferometer foer maetning av korta straeckor med hjaelp av ickekoherent ljus | |
| SU1747877A1 (ru) | Интерференционный способ измерени толщины полупроводниковых слоев | |
| CN107942339B (zh) | 一种光子计数激光干涉测距方法 | |
| JPH0394104A (ja) | 膜厚測定方法と膜厚測定装置及びこれを用いた膜形成装置 | |
| Wilhelm et al. | A novel low coherence fibre optic interferometer for position and thickness measurements with unattained accuracy | |
| RU2075727C1 (ru) | Способ измерения углов поворота нескольких объектов и устройство для его осуществления | |
| SU1107033A1 (ru) | Способ определени комплексного показател преломлени пленочных структур на подложке | |
| JPH0119041Y2 (sv) | ||
| SU1015270A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров вращающихс объектов,преимущественно температуры,скорости и радиальных биений |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed |
Owner name: TOPWAVE INSTRUMENTS OY |