FI118490B - Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt - Google Patents

Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt Download PDF

Info

Publication number
FI118490B
FI118490B FI20040903A FI20040903A FI118490B FI 118490 B FI118490 B FI 118490B FI 20040903 A FI20040903 A FI 20040903A FI 20040903 A FI20040903 A FI 20040903A FI 118490 B FI118490 B FI 118490B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
capacitance
parts
sensor according
sensor
line
Prior art date
Application number
FI20040903A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20040903A (sv
FI20040903A0 (sv
Inventor
Heikki Seppae
Jukka Kyynaeraeinen
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI20040903A priority Critical patent/FI118490B/sv
Publication of FI20040903A0 publication Critical patent/FI20040903A0/sv
Priority to PCT/FI2005/000286 priority patent/WO2006000622A1/en
Priority to EP05756132A priority patent/EP1761787B1/en
Priority to US11/630,575 priority patent/US7548074B2/en
Publication of FI20040903A publication Critical patent/FI20040903A/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI118490B publication Critical patent/FI118490B/sv
Priority to US12/437,725 priority patent/US7808254B2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R21/00—Arrangements for measuring electric power or power factor
    • G01R21/10—Arrangements for measuring electric power or power factor by using square-law characteristics of circuit elements, e.g. diodes, to measure power absorbed by loads of known impedance
    • G01R21/12—Arrangements for measuring electric power or power factor by using square-law characteristics of circuit elements, e.g. diodes, to measure power absorbed by loads of known impedance in circuits having distributed constants

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Claims (10)

1. Mikromekanisk givare för mätning av millimeter- eller mikrovägseffekt, vilken givare omfattar en väglinje för att styra millimeter- eller mikrovägseffekten samt ett rörligt anordnat parti och en fast elektrod pä sä sätt, att kapacitansen (C) mellan det 5 rörligt anordnade partiet och den fasta elektroden kopplas tili den i väglinjen framskridande vägeffekten, kännetecknad av att kapacitansen (C) mellan det rörligt anordnade partiet och den fasta elektroden uppdelas i ätminstone tvä delar (C/n), vilka ligger pä ett avständ frän varandra pä sä sätt, att den i väglinjen framskridande vägeffekten kopplas till kapacitansens (C) delar (C/n) konsekutivt och 10 erfar en induktiv belastning (1) mellan kapacitansens (C) delar (C/n).
2. Givare i enlighet med patentkrav 1, kännetecknad av att vaije avständ mellan kapacitansens (C) delar (C/n) är mindre än den i väglinjen framskridande millimeter- eller mikrovägseffektens väglängd.
3. Givare i enlighet med patentkrav 1, kännetecknad av att avständen 15 mellan kapacitansens (C) konsekutiva delar (C/n) är väsentligen lika stora.
... 4. Givare i enlighet med patentkrav 1-3, kännetecknad av att delamas • · 1 • * '.. I (C/n) kapacitanser är sinsemellan väsentligen lika Stora. • · • · ···
5. Givare i enlighet med nägot av patentkraven 1-4, kännetecknad av att de ··· krafter som skapas, dä millimeter- eller mikrovägseffekten kopplas tili kapacitansens ..11' 20 (C) delar (C/n), rör alla ett och samma rörligt anordnade parti. ··· • · • · ···
6. Givare i enlighet med nägot av patentkraven 1-5, kännetecknad av att . kapacitansens (C) delar (C/n) är elektriskt separata, men mekaniskt kopplade tili ··· .***. varandra. • · • · · φ . ·
7. Givare i enlighet med nägot av patentkraven 1-6, kännetecknad av att *: : 25 antalet delar (C/n) av kapacitansen (C) ligger i intervallet 3-6.
. , 8. Givare i enlighet med nägot av patentkraven 1-7, kännetecknad av att • · · 1 väglinjen omfattar en jordlinje, vilken jordar det rörligt anordnade partiet. 118490
9. Givare i enlighet med nägot av patentkraven 1-8, kännetecknad avatt väglinjen omfattar en jordlinje, vilken jordar kapacitansens (C) delar (C/n).
10. Givare i enlighet med nägot av patentkraven 1-9, kännetecknad avatt storleken av den induktiva belastningen mellan delama (C/n) är inställd i förhällande 5 tili storleken av kapacitansens del (C/n) pä sä sätt, att reflexionskoefficienten av millimeter- eller mikrovägseffekten i det önskade frekvensbandet är mindre än 0,2 och foreträdesvis mindre än 0,1. ·· ♦ • · · • · 9 9 999 • · ·· ♦ ·· • · · ♦ · 1 • t» • · 9 9 99 9 9 999 9 9999 9 99 • · • · ·«· · · • · · 999 9 99 9 9 9 9 999 9 9 9 9 9 9 9 99 9 9 9 9 9 9 9 9 · • · 919 9 99 9 9
FI20040903A 2004-06-29 2004-06-29 Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt FI118490B (sv)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20040903A FI118490B (sv) 2004-06-29 2004-06-29 Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt
PCT/FI2005/000286 WO2006000622A1 (en) 2004-06-29 2005-06-16 Micromechanical microwave power meter
EP05756132A EP1761787B1 (en) 2004-06-29 2005-06-16 Micromechanical microwave power meter
US11/630,575 US7548074B2 (en) 2004-06-29 2005-06-16 Micromechanical microwave power meter
US12/437,725 US7808254B2 (en) 2004-06-29 2009-05-08 Micromechanical microwave power meter

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20040903 2004-06-29
FI20040903A FI118490B (sv) 2004-06-29 2004-06-29 Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20040903A0 FI20040903A0 (sv) 2004-06-29
FI20040903A FI20040903A (sv) 2005-12-30
FI118490B true FI118490B (sv) 2007-11-30

Family

ID=32524569

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20040903A FI118490B (sv) 2004-06-29 2004-06-29 Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt

Country Status (4)

Country Link
US (2) US7548074B2 (sv)
EP (1) EP1761787B1 (sv)
FI (1) FI118490B (sv)
WO (1) WO2006000622A1 (sv)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI118490B (sv) 2004-06-29 2007-11-30 Valtion Teknillinen Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt
DE102005044330A1 (de) * 2005-09-16 2007-03-29 Epcos Ag Abstimmbarer Kondensator und Schaltung mit einem solchen Kondensator
FI118931B (sv) 2006-03-09 2008-05-15 Valtion Teknillinen Anordning och förfarande för mätning av eleffekt
CN102175910B (zh) * 2011-03-08 2013-04-24 东南大学 微电子机械微波功率自动检测系统及其检测方法和制备方法
CN102645579B (zh) * 2011-08-11 2014-10-08 东南大学 四输入微机械悬臂梁热电式微波功率传感器及制备方法
US9018937B2 (en) * 2012-01-17 2015-04-28 Honeywell International Inc. MEMS-based voltmeter
DE102016109118A1 (de) * 2016-05-18 2017-11-23 Infineon Technologies Ag Schaltkreisarchitektur für eine Messanordnung, einen Pegelwandler-Schaltkreis, eine Ladungspumpstufe und eine Ladungspumpe sowie Verfahren zum Betreiben dieser
DE102016109114A1 (de) 2016-05-18 2017-11-23 Infineon Technologies Ag Schaltkreisarchitektur für eine Messanordnung, einen Pegelwandler-Schaltkreis, eine Ladungspumpstufe und eine Ladungspumpe sowie Verfahren zum Betreiben dieser

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2039412T3 (es) * 1986-12-12 1993-10-01 Gec Alsthom Sa Dispositivo de transmision de informaciones y/o de instrucciones con banda ancha deslizante entre un elemento movil y una estacion de control.
US4943764A (en) 1987-12-11 1990-07-24 Hewlett-Packard Company Wide dynamic range radio-frequency power sensor
US5204613A (en) * 1991-05-02 1993-04-20 Wavetek Microwave, Inc. Rf power sensor having improved linearity over greater dynamic range
JPH07191764A (ja) * 1993-12-27 1995-07-28 Fujitsu Ltd 高周波電源装置及びプラズマ発生装置
US6242901B1 (en) * 1999-04-09 2001-06-05 Agilent Technologies Inc. True average wide dynamic range microwave power sensor using diode stack attenuator-diode stack
US7330271B2 (en) * 2000-11-28 2008-02-12 Rosemount, Inc. Electromagnetic resonant sensor with dielectric body and variable gap cavity
KR100465235B1 (ko) 2002-04-16 2005-01-13 삼성전자주식회사 정전용량에 의해 ｒｆ 신호에 대한 전력을 측정하는 ｒｆ파워센서
US6803774B2 (en) 2002-09-23 2004-10-12 Agilent Technologies, Inc. MEMS varactor for measuring RF power
FR2851368B1 (fr) * 2003-02-18 2008-03-07 Agence Spatiale Europeenne Composants electroniques comportant des condensateurs micro electromecaniques a capacite ajustable
FI118490B (sv) 2004-06-29 2007-11-30 Valtion Teknillinen Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt

Also Published As

Publication number Publication date
US20080068031A1 (en) 2008-03-20
FI20040903A (sv) 2005-12-30
US7548074B2 (en) 2009-06-16
WO2006000622A1 (en) 2006-01-05
US20090219036A1 (en) 2009-09-03
EP1761787B1 (en) 2012-09-19
US7808254B2 (en) 2010-10-05
EP1761787A1 (en) 2007-03-14
FI20040903A0 (sv) 2004-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10151778B2 (en) Voltage sensor housing and assembly including the same
FI118490B (sv) Mikromekanisk givare för mätning av mikrovågseffekt
JP2001525071A (ja) 物理変量の検出装置及び方法
KR101697975B1 (ko) 주파수 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서
CN107907749A (zh) 一种低轴间耦合的三维电场传感器
BR0108366A (pt) Aparelhos para medir tensão, e, para medir potencial elétrico
KR102055599B1 (ko) 확장 스트로크 위치 센서
BR9807940A (pt) Aparelho para detecção ou medição elétrica capacitiva em relação a um meio
CN102411080B (zh) 一种光学电场传感器
US10856452B1 (en) Sensor apparatus
Anarghya et al. Investigation of errors in microcontroller interface circuit for mutual inductance sensor
CN101788583A (zh) 一种高阻抗宽频带高电压分压器的电极结构
EP4243044A2 (en) Radio frequency circuit having error detection capability
CN1108512C (zh) 水下位移测量方法及其测量装置
CN107782476B (zh) Mems开关的自吸合功率测试系统及方法
RU2475716C1 (ru) Чувствительный элемент для измерения физических величин на магнитостатических волнах
RU2393444C1 (ru) Чувствительный элемент датчика физических величин с отражающими структурами
EP2733468B1 (en) Capacitive position encoder
Toth et al. A low-cost, accurate and fast capacitive displacement sensor with microcontroller interfacing
SU1796880A1 (ru) Emkocthый диффepehциaльhый пpeoбpaзobateль пepemeщehий
Wani et al. Design analysis and experimental validation of relaxation oscillator-based circuit for R–C sensors
Zhou et al. Transient analysis of straight thin wire scatterer by multiresolution time-domain integral equation method
Kumar Performance of Rogowski coils at higher frequencies
RU1803718C (ru) Емкостный преобразователь перемещений
CN202869511U (zh) 一种强度型光纤透射式传感器的光路结构

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 118490

Country of ref document: FI