ES2527976B1 - Sistema para la fabricación de multicapas para células solares y procedimiento para la fabricación de éstas - Google Patents
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Abstract
Sistema para la fabricación de multicapas para células solares y procedimiento para la fabricación de éstas.#Sistema para la fabricación de multicapas para células solares destinado a la fabricación de células solares de CdTe mediante un procedimiento de sublimación en espacio reducido. Comprende una cámara central (1) en el interior de la que se desplazan un dispositivo de calentamiento superior (5) en el que se dispone el material destinado a sustrato de la célula solar, unos dispositivos de calentamiento inferiores (6) en los que se disponen los materiales destinados a fuente de las capas de la célula solar y unos obturadores sobre los dispositivos de calentamiento inferiores (6) para controlar la deposición del material de la fuente en el sustrato. Adicionalmente comprende un mecanismo de desplazamiento vertical de los dispositivos de calentamiento (5, 6) que permite su acercamiento, y un mecanismo de desplazamiento horizontal del dispositivo de calentamiento superior (5) que permite su movimiento horizontal en condiciones de vacío de la cámara central (1).
Description
OBJETO DE LA INVENCiÓN
La presente invención se puede incluir en el campo técnico de los sistemas para fabricación de multicapas destinados a su aplicación en células solares. Más concretamente las multicapas fabricadas son para células solares de Teluro de Cadmio (CdTe) por sublimación en espacio reducido (CSS).
ANTECEDENTES DE LA INVENCiÓN
El silicio es el material más empleado en la fabricación de células solares debido a que el material de partida procede de la sílice, que es uno de los compuestos más abundantes en la Tierra. Las células solares de silicio presentan una alta eficiencia pero tienen un elevado coste de producción debido a que su fabricación requiere el consumo de mucha energía. Además estas células son relativamente frágiles en condiciones extremas.
Sin embargo, las células solares fabricadas a partir de lámina delgada permiten reducir los costes de fabricación y crear células solares adaptadas a cualquier tipo de superficie ya que se pueden depositar las láminas sobre un sustrato flexible. En este sentido, las células solares que se obtienen a partir de materiales calcogenuros como el teluro de cadmio (CdTe) son una alternativa a las células solares de silicio. En este tipo de célula solar, el CdS es el material de lipo n (capa venlana) y el CdTe es el material de lipo p (capa absorbente).
Es conocido que el CdTe es un material semiconductor adecuado para su uso en células solares debido a que su anchura de banda prohibida es de 1,45 eV con una coincidencia casi perfecta con el espectro solar, es decir, puede absorber la mayoría de este espectro energético y por eso su aplicación en células fotovoltaicas flexibles se está extendiendo actualmente.
Las células solares de lámina delgada de CdTe se fabrican habitualmente mediante la técnica de sublimación en espacio reducido (CSS). Ésta es una técnica de deposición en la que la fuente y el sustrato se encuentran a una distancia muy próxima de entre 1 y 6 mm, consiguiendo así la sublimación del material a depositar sobre el substrato elegido.
En esta técnica las moléculas del material utilizado como fuente se transfieren de manera muy eficiente hacia el sustrato donde se condensan. De esta fcona se pueden obtener unas capas densas y continuas de espesor controlado. Las ventajas de esta técnica son las elevadas velocidades de crecimiento debido a la proximidad entre la fuente y el sustrato, la realización de la deposición de película delgada a temperaturas no muy elevadas en comparación con la temperatura de fusión de la fuente, y al mismo tiempo se permite la re-cristalización de la película debido al control de la temperatura del sustrato. Como resultado se obtienen láminas delgadas con un tamaño de grano elevado.
DESCRIPCiÓN DE LA INVENCiÓN
La presente invención propone un sistema para la fabricación de multicapas para células solares mediante la técnica de sublimación en espacio reducido (CSS). El sistema desarrollado tiene como objetivo principal permitir una deposición de multicapas sin romper el vacío. La deposición de todos los materiales fuente sobre el material de sustrato se realiza en el interior de una cámara sin necesidad de introducir o extraer ninguno de los elementos durante el procedimiento y sin necesidad de tener que romper el vacío hasta el final d el proceso.
En una realización preferente de la invención el sistema se emplea para fabricar células solares de Teluro de Cadmio (CdTe). Este tipo de célula solar comprende CdS como material en la capa ventana y CdTe como material en la capa absorbente. Y preferentemente se emplea CdCI2 para realizar la activación del CdTe mediante tratamiento térmico.
El sistema de la invención permite reducir al máximo la oxidación de la capa de CdS que podria provocar pérdidas en la eficiencia de la célula, y al mismo tiempo realizar tratamientos térmicos en diversas capas de CdS y CdTe para mejorar la eficiencia de la célula. Con el presente sistema se pueden depositar incluso tres capas consecutivas y realizar tratamientos térmicos in situ.
El sistema comprende una cámara central en el interior de la que se disponen unos dispositivos de calentamiento de los que uno de ellos es un dispositivo, con posibilidad de desplazamiento vertical y horizontal, situado en la parte superior de la cámara y está destinado a alojar el material de sustrato. Los restantes dispositivos están situados en la parte inferior, tienen posibilidad de desplazamiento vertical, y contienen los materiales a depositar sobre el material de sustrato, es decir, los materiales fuente. La distancia de separación entre el dispositivo de calentamiento superior y los dispositivos de calentamiento inferiores se modifica desplazándolos verticalmente para optimizar la capa depositada.
El elemento calefactor de los dispositivos de calentamiento consiste en unas lámparas halógenas embebidas en material de grafito conductor y aislante. El sistema dispone adicionalmente de un obturador que está situado sobre cada dispositivo de calentamiento inferior y está destinado a evitar que el material se deposite sobre el substrato antes de llegar a la temperatura a la que se va a realizar la deposición. Así se obtiene una deposición más homogénea del material fuente sobre el material de sustrato.
Gracias a que todos los dispositivos de calentamiento en los que se depositan el material fuente y el material de sustrato están en el interior de la cámara central en la que se crea un vacío para realizar correctamente las deposiciones. Así pues no es necesario romper el vacio entre deposiciones de las diferentes capas de material fuente por lo que se reduce la oxidación de dicho material. Además en la propia cámara se realizan los tratamientos ténnicos necesarios mediante los dispositivos de calentamiento.
Es también un objeto de la presente invención un procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares que comprende las etapas de colocar los materiales fuente en los dispositivos de calentamiento inferiores y cerrar unos obturadores situados en dichos dispositivos de calentamiento inferiores para evitar que se realice la deposición antes de que llegue a la temperatura adecuada. Posteriormente se dispone el material de sustrato en el dispositivo de calentamiento superior.
Para realizar la deposición se realiza vacío en el interior de la cámara del sistema y se calientan
los dispositivos de calentamiento hasta la temperatura adecuada de deposición que depende de cada material y de las propiedades que se quieran obtener. La deposición se realiza abriendo los obturadores y acercando el dispositivo de calentamiento superior a los dispositivos de calentamiento inferiores y se introducen gases en la cámara para favorecer el enfriamiento una vez hecha la deposición. Cuando se ha depositado el material fuente de uno de los dispositivos de calentamiento inferiores se desplaza el dispositivo de calentamiento superior sobre otro para realizar una nueva deposición. Se repiten estas etapas hasta depositar todas las capas y se retira la multicapa del sistema ya terminada.
DESCRIPCiÓN DE LOS DIBUJOS
Para complementar la descripción que se está realizando y con objeto de ayudar a una mejor comprensión de las caracteristicas de la invención, de acuerdo con un ejemplo preferente de realización práctica de la misma, se acompaña como parte integrante de dicha descripción, un juego de dibujos en donde con carácter ilustrativo y no limitativo, se ha representado lo siguiente:
Figura 1.-Muestra una vista de la cámara central desde el exterior.
Figura 2.-Muestra una vista en sección de la cámara central.
Figura 3.-Muestra una vista de unos puertos inferiores de la cámara central.
Figura 4.-Muestra una vista del manipulador para el desplazamiento del dispositivo de calentamiento superior.
Figura 5a.-Muestra una vista en perspectiva de los dispositivos de calentamiento superior e inferiores durante la deposición.
Figura 5b.-Muestra una vista en sección del dispositivo de calentamiento superior.
Figura 6a.-Muestra una vista del interior de la cámara central con el dispositivo de calentamiento superior situado sobre un dispositivo de calentamiento inferior.
Figura 6b.· Muestra una vista del interior de la cámara central con el dispositivo de calentamiento superior habiéndose desplazado respecto a la posición mostrada en la figura 6a y situado sobre el dispositivo de calentamiento inferior central.
Figura 6c.-Muestra una vista del interior de la cámara central con el dispositivo de calentamiento superior habiéndose desplazado respecto a la posición mostrada en la figura 6b y situado sobre el último dispositivo de calentamiento inferior.
REALIZACiÓN PREFERENTE DE LA INVENCiÓN
El sistema para la fabricación de multicapas para células solares de la presente invención está disefiado para emplear la técnica de sublimación en espacio reducido. En una realización preferente de la invención el sistema está especialmente diseñado para fabricar células solares de Teluro de Cadmio (CdTe).
El sistema comprende al menos una cámara central (1) en el interior de la que se dispone un dispositivo de calentamiento superior (5) y unos dispositivos de calentamiento inferiores (6). Preferentemente hay tres dispositivos de calentamiento inferiores (6) ya que las células solares de Telurio de Cadmio que se fabrican comprenden la deposición de una capa de CdS, una capa de CdTe y una capa de CdCI2•
En un ejemplo de realización la cámara central (1), representada en la figura 1, está fabricada en material AISI 304. Dicha cámara central (1) comprende un cuerpo cilíndrico central (1 .1) con una puerta de acceso rápido (1.2) en su parte frontal, unida mediante unas bridas (1.3), y que facilita la introducción de los materiales a depositar y el substrato.
Adicionalmente la cámara central (1) comprende al menos un puerto de entrada y/o salida de gases (1.4), y comprende un puerto para conexión de sistema de bombeo (1.5) destinado a permitir la conexión de un equipo de vacío. Los gases que se introducen son gases inertes, preferentemente Argón. La finalidad de introducir los gases es enfriar el interior de la cámara central (1) entre una deposición de capa de material fuente y otra para asegurar que la capa depositada se fija adecuadamente al sustrato o a la capa de material fuente
anteriormente depositada. El sistema de bombeo (1.5) permite realizar vacio dentro del sistema.
La cámara central (1) dispone de puertos frontales para visión e intercambio de muestras, puertos inferiores destinados al montaje y desmontaje de los dispositivos de calentamiento, y puertos laterales destinados a intercambio de gases y sistema de vacío. En la figura 2 se muestra una vista en sección de la cámara central (1) en la que se aprecian un puerto superior (2), tres puertos inferiores (3), un sistema de movimiento horizontal (4) destinado a desplazar el dispositivo de calentamiento superior, y los dispositivos calefactores (5, 6).
En la figura 3 se observa en detalle uno de los puertos inferiores (3). Cada puerto inferior (3) comprende una entrada para actuador de giro manual (3.1) en cuyo extremo hay instalado un obturador destinado a controlar el material a depositar, un puerto para un pasamuros de conector eléctrico (3.2) y un puerto para pasamuros de termopar (3.3). Los pasamuros de conector eléctrico (3.2) sirven para realizar las conexiones eléctricas entre el interior de la cámara central (1) Y el exterior. Los pasamuros de termopar (3.3) permiten medir la temperatura tanto de los elementos de calefacción como de las barquillas de los dispositivos calefactores que es donde se introduce el sustrato o el material a depositar.
Como se ha descrito en el párrafo anterior, se dispone un obturador sobre cada dispositivo de ca lentamiento inferior (6) de forma que queda sobre el material fuente alojado en cada dispositivo para evitar que se deposite material antes de alcanzar la temperatura adecuada
o una vez finalizado el tiempo de deposición. Como está unido al actuador de giro (3.1) se puede regular su altura. Girando dicho actuador el obturador rota colocándose encima de la barquilla (5.9) y girándolo de nuevo se mueve el obturador alejándolo de la barquilla (5.9) para permitir la deposición.
Adicionalmente, en el interior de los puertos inferiores (3) se dispone una plataforma (3.4) que facilita el posicionamiento vertical de los dispositivos calefactores inferiores (6) y que sirve de aislamiento.
El dispositivo de calentamiento superior (5) tiene posibilidad de desplazamiento vertical y horizontal, este último se realiza sin necesidad de romper el vacío ya que se efectúa en el
interior de la propia cámara central (1). En la figura 4 se muestra el mecanismo de desplazamiento del dispositivo de calentamiento superior (5) y más concretamente lo referente al sistema de movimiento horizontal (4) Y que comprende un manipulador, preferentemente manual, y que se conecta en su extremo a un par de cojinetes (4.1) que se deslizan a lo largo de un par de barras fijas (4.2) que determinan el recorrido en dirección horizontal del dispositivo de calentamiento superior (5).
En la figura 5 aparecen representados los dispositivos de calentamiento superior (5) e inferiores (6). El la figura 5a se representa el diagrama general de los dispositivos de calentamiento superior (5) e inferior (6).
Con el sistema de la presente invención se pueden realizar celdas de diferentes tamaños que preferentemente oscilan entre los 5mm y los 30 mm solamente cambiando el tamaño de los moldes empleados (barquilla (5.9) (en el interior de la que se colocan el sustrato o la fuente) y placa de sujeción de la barquilla (5.4) cuando corresponde).
En la figura 5b se muestra una sección del dispositivo de calentamiento superior (5). Las conexiones del dispositivo de calentamiento superior (5) están situadas en el puerto superior (2), mientras que las conexiones de dispositivos de calentamiento inferiores (6) están situadas en los puertos inferiores (3).
El dispositivo de calentamiento inferior (6) está situado en la plataforma (3.4) del puerto (3) que permite su desplazamiento en dirección vertical y que permite regular la separación entre la fuente (situada en los dispositivos de calentamiento inferiores (6» y el substrato (situado en el dispositivo de calentamiento superior (5».
El mecanismo de desplazamiento vertical (3.5) comprende unas varillas roscadas (3.6) en las que se disponen unas tuercas (3.7) sobre las que se apoya una plataforma (3.4) de forma que el giro de las tuercas (3.7) sobre las varillas roscadas (3.6) provoca el desplazamiento de la plataforma (3.4).
Por otra parte el dispositivo de calentamiento superior (5) comprende una placa de sujeción del dispositivo de calentamiento (5.1) que está unida a un soporte móvil (5.2) del sistema de movimiento horizontal (4).
Asimismo el dispositivo de calentamiento superior (5) comprende un soporte (5.3) destinado a la sujeción del dispositivo de calentamiento superior (5) y una placa de sujeción de barquilla (5.4). Dicha placa de sujeción de la barquilla (5.4) permite sujetar el substrato del dispositivo de calentamiento superior (5) a la vez que realiza la función de máscara para evitar que el material fuente se deposite en los bordes del substrato. En un ejemplo de realización los dispositivos calefactores son lámparas halógenas lineales y los dispositivos de calefacción son de grafito. Como se ha descrito el soporte (5.3) permite sujetar los elementos del dispositivo de calentamiento superior y tiene un agujero en el centro para poder colocar una barquilla de grafito.
Dichos dispositivos calefactores (5, 6) comprenden un conjunto de grafito conductor con un bloque de grafito central (5.7) que se coloca entre las lámparas (5.5) (situadas en unos portalámparas (5.6» para concentrar el calor para que llegue al material a depositar o al sustrato a través de una pieza conductora (5.8) que está en contacto con la barquilla (5.9). Para concentrar el calor en el bloque de grafito central (5.7) y evitar pérdidas de calor se emplea una plancha de grafito (5.10) debajo de dicho bloque, una pieza de grafito interior
(5.11) Y una pieza de grafito exterior (5.12). Esta última pieza presenta una cara reforzada con papel carbón y en último lugar se coloca una pieza de grafito superior (5.13) en la que se acopla la barquilla.
Adicionalmente el sistema comprende una pluralidad de termopares que se introducen en el dispositivo de calentamiento que permiten controlar la temperatura de la barquilla y de las lámparas.
En la figura 6 se muestran las diferentes posiciones de los dispositivos de calentamiento durante la fabricación de la célula solar. En la realización mostrada en dicha figura el sistema de la presente invención permite depositar tres capas consecutivas de material fuente.
Asimismo es un objeto de la presente invención un procedimiento de fabricación de multicapa para células solares empleando el sistema anteriormente descrito. La multicapa comprende al menos un material de sustrato sobre el que se deposita una pluralidad de materiales fuente.
El procedimiento comprende las siguientes etapas de colocar un material fuente en la barquilla
- (5.9)
- de cada uno de los dispositivos de calentamiento inferiores (6) y cerrar los obturadores para evitar la deposición del material fuente sobre el sustrato antes de alcanzar la temperatura adecuada. Posteriormente hay que colocar el material de sustrato en la barquilla
- (5.9)
- del dispositivo de calentamiento superior (5) y colocar sobre el material de sustrato la placa de sujeción de la barquilla (5.4).
Después se realiza una etapa de conectar un equipo de vacío a través del puerto para la conexión de un equipo de bombeo (1 .5) hasta alcanzar la presión adecuada para la deposición o para introducir una atmósfera controlada de gas.
Una vez alcanzas en la cámara central (1) las condiciones adecuadas para la deposición hay que desplazar el dispositivo de calentamiento superior (5) con el sistema de movimiento horizontal (4) hasta colocarlo sobre un dispositivo de calentamiento inferior (6), y calentar los dispositivos de calentamiento superior (5) y de calentamiento inferior (6) hasta la temperatura adecuada de deposición.
Seguidamente hay que abrir el obturador, desplazar verticalmente los dispositivos de calentamiento (5, 6) hasta depositar el material fuente sobre el material de sustrato. Cuando se ha realizado la deposición del material fuente sobre el sustrato hay que introducir gases en el interior de la cámara central (1) a través del puerto de entrada ylo salida de gases (1.4) para favorecer el enfriamiento. De esta forma se garantiza la correcta fijación de la capa de material fuente depositada.
Al realizar la posición de una capa de material fuente hay que desplazar el dispositivo de calentamiento superior (5) hasta colocarlo sobre otro dispositivo de calentamiento inferior (6) y repetir las tres etapas anteriores para realizar una nueva deposición con otro material fuente.
Esta etapa se repite hasta depositar todos los materiales fuente sobre el material de sustrato y una vez finalizado se retira la multicapa del sistema. Los tratamientos térmicos adecuados para la correcta deposición de cada material se realizan controlando la temperatura de cada dispositivo de calentamiento en cada deposición.
Como se ha descrito anteriormente, la presente invención está especialmente enfocada a la fabricación de células solares de CdS/CdTe utilizando CdCI2 como activador del CdTe. En este caso concreto el procedimiento comprende las etapas colocar CdS en la barquilla (5.9) de un primer dispositivo de calentamiento inferior (6), colocar CdTe en la barquilla (5.9) de un segundo dispositivo de calentamiento inferior (6) y colocar CdCI2 en la barquilla (5.9) de un tercer dispositivo de calentamiento inferior (6) destinado a realizar la activación del CdTe mediante tratamiento térmico.
En este caso en el que se utiliza el sistema de la presente invención para la fabricación de células solares de CdS/CdTe se utiliza un substrato comercial de vidrio sobre el que se deposita un OCT (Óxido Conductor Transparente) que actúa como contacto frontal.
Preferentemente la barquilla que contiene la fuente de CdS se coloca en el sistema de calentamiento más cercano al manipulador, la de CdTe en el dispositivo de calentamiento central y se coloca una fuente de CdCI2 en el dispositivo de calentamiento que queda libre, estando los dispositivos de calentamiento inferiores distribuidos como se observa por ejemplo en la figura 2. El CdCI2 se utiliza para realizar la activación del CdTe mediante tratamiento térmico.
Así pues, el sustrato se coloca en la barquilla del dispositivo de calentamiento superior (5) sobre la que se coloca la placa de sujeción de barquilla (5.4) que realiza la función de máscara evitando que se deposite material en los bordes del OCl. El material que se deposita sobre el OCT es el CdS. Para ello se desplaza el dispositivo de calentamiento superior (5) hasta que el sustrato queda encima del CdS, se calientan los dispositivos de calentamiento (5. 6) hasta alcanzar las temperaturas adecuadas de deposición. se gira el obturador y se realiza la deposición.
Cuando finaliza la deposición, se coloca de nuevo el obturador sobre la fuente y se apagan los elementos de calentamiento. Se realiza el enfriamiento de la cámara central (1) y se desplaza el dispositivo de calentamiento superior (5) hasta la posición central para realizar la deposición del CdTe y se realizan los mismos pasos pero cambiando los parámetros de deposición, y de la misma forma se deposita la capa de CdCb y con el obturador colocado sobre la fuente se lleva a cabo el tratamiento térmico para proceder a la activación de la capa CdTe.
Claims (9)
- REIVINDICACIONES1.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares destinado a la fabricación de células solares de CdTe mediante un procedimiento de sublimación en espacio reducido, en el que se emplea un material de sustrato y al menos un material fuente para las capas, caracterizado por que comprende una camara central (1) con unas bridas laterales (1 .3) destinadas a unirse con un equipo de vacío, y en el interior de la cámara central (1) se disponen:
- -
- un dispositivo de calentamiento superior (5) y que comprende una barquilla (5.9) en la
que se dispone el material destinado a sustrato de la célula solar y una placa desujeción de la barquilla (5.4), que permite sujetar el substrato a la barquilla (5.9) yevitar que el material fuente se deposite en los bordes del substrato,- -
- unos dispositivos de calentamiento inferiores (6), que comprenden unas barquillas
(5.9), en las que se disponen los materiales destinados a fuente de las capas de lacélula solar,- -
- unos obturadores situados sobre los dispositivos de calentamiento inferiores (6)
destinados a controlar la deposición del material de la fuente en el sustrato, los dispositivos de calentamiento (5, 6) están conectados a elementos calefactores, y el sistema comprende adicionalmente: -un mecanismo de desplazamiento vertical de los dispositivos de calentamiento (5, 6) que permite su acercamiento, y -un mecanismo de desplazamiento horizontal del dispositivo de calentamiento superior(5) que permite su movimiento horizontal en condiciones de vacío de la cámara central (1). - 2.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que el mecanismo de desplazamiento vertical (3.5) comprende unas varillas roscadas (3.6) en las que se disponen unas tuercas (3.7) sobre las que se apoya una plataforma (3.4) de forma que el giro de las tuercas (3.7) sobre las varillas roscadas (3.6) provoca el desplazamiento de la plataforma (3.4).
- 3.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que el mecanismo de desplazamiento horizontal comprende un manipulador(4) de accionamiento manual conectado en su extremo con un par de cojinetes (4.1) que sedeslizan a lo largo de un par de barras fijas (4.2), que se extienden a lo largo de la cámara central (1), entre posiciones enfrentadas a los dispositivos de calentamiento inferiores (6).
- 4.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que los dispositivos de calentamiento inferiores (6) están unidos a una plataforma (3.4) de los puertos inferiores (3) que se une a la camara central (1) mediante unas varillas roscadas que permiten regular su posición en dirección vertical.
- 5.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que los elementos calefactores de los dispositivos de calentamiento (5, 6) son unas lámparas halógenas embebidas en material de grafito conductor y aislante.
- 6.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares utilizando el sistema de las reivindicaciones 1 a 5 en el que la multicapa comprende al menos un material de sustrato sobre el que se deposita una pluralidad de materiales fuente, caracterizado por que comprende las siguientes etapas:-colocar un material fuente en la barquilla (5.9) de cada uno de los dispositivos de calentamiento inferiores (6), -cerrar los obturadores para evitar la deposición del material fuente sobre el sustrato antes de alcanzar la temperatura adecuada, -colocar el material de sustrato en la barquilla (5.9) del dispositivo de calentamiento superior (5), -colocar sobre el material de sustrato la placa de sujeción de la barquilla (5.4), -conectar un equipo de vacío a través del puerto para la conexión de un equipo de bombeo (1.5) hasta alcanzar la presión adecuada para la deposición o para introducir una atmósfera controlada de gas, -desplazar el dispositivo de calentamiento superior (5) con el sistema de movimiento horizontal (4) hasta colocarlo sobre un dispositivo de calentamiento inferior (6), -calentar los dispositivos de calentamiento superior (5) y de calentamiento inferior (6) hasta la temperatura adecuada de deposición, -abrir el obturador, desplazar verticalmente los dispositivos de calentamiento (5, 6) hasta depositar el material fuente sobre el material de sustrato, -introducir gases en el interior de la cámara central (1) a través del puerto de entraday/o salida de gases (1.4) para favorecer el enfriamiento, -desplazar el dispositivo de calentamiento superior (5) hasta colocarlo sobre otro dispositivo de calentamiento inferior (6) y repetir las tres etapas anteriores, -repetir la etapa anterior hasta depositar todos los materiales fuente sobre el material de sustrato y retirar la multicapa del sistema.
- 7.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 6 caracterizado por que se fabrican células de CdS/CdTe con CdCI2 como activador y la etapa de colocación del material fuente en la barquilla (5.9) de cada dispositivo de calentamiento inferior (6) comprende los pasos de:
- -
- colocar CdS en la barquilla (5.9) de un primer dispositivo de calentamiento inferior (6),
- -
- colocar CdTe en la barquilla (5.9) de un segundo dispositivo de calentamiento inferior
(6),- -
- colocar CdCI2 en la barquilla (5.9) de un tercer dispositivo de calentamiento inferior (6)
destinado a realizar la activación del CdTe mediante tratamiento térmico. - 8.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 7 caracterizado por que el orden de deposición de las capas fuente es primero depositar del CdS sobre el material de sustrato, segundo depositar el CdTe sobre la capa de CdS y tercero despositar el CdCb sobre la capa de CdTe.
- 9.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 8 caracterizado por que el sustrato es un sustrato de vidrio sobre el que se deposita un óxido conductor transparente.
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