ES2373848T3 - Interferómetro óptico de guía de ondas integrado. - Google Patents

Interferómetro óptico de guía de ondas integrado. Download PDF

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ES2373848T3 ES09151982T ES09151982T ES2373848T3 ES 2373848 T3 ES2373848 T3 ES 2373848T3 ES 09151982 T ES09151982 T ES 09151982T ES 09151982 T ES09151982 T ES 09151982T ES 2373848 T3 ES2373848 T3 ES 2373848T3
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Hermanus Marcellinus Maria Klein Koerkamp
Tonnis Meindert Koster
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Abstract

Sensor (1) de interferómetro óptico de guía de ondas integrado para la detección evanescente de cantidades químicas y/o físicas, que comprende un sustrato que lleva una estructura en capas de guía de ondas provista de - una primera capa interior de guía de ondas intercalada entre dos primeras capas de revestimiento formadas en esta secuencia partiendo del sustrato por una primera capa (6) de revestimiento inferior y una primera capa de revestimiento superior, de un índice de refracción más bajo que la primera capa interior de guía de ondas, - una segunda capa interior de guía de ondas intercalada entre dos segundas capas de revestimiento formadas en esta secuencia partiendo del sustrato por una segunda capa (6) de revestimiento inferior y una segunda capa de revestimiento superior, de un índice de refracción más bajo que la segunda capa interior de guía de ondas, - un divisor y un combinador para acoplar ópticamente dichas primera y segunda capas interiores de guía de ondas en una primera y segunda juntas, respectivamente, - una sección de un material (9) de revestimiento polimérico incluido en una de las primeras capas (6) de revestimiento superior y/o incluido en una de las segundas capas (6) de revestimiento superior, siendo el material (9) de revestimiento polimérico aplicado dentro de una ventana (7, 8) entre la primera y segunda juntas retirando localmente una de las primeras capas (6) de revestimiento y/o una de las segundas capas (6) de revestimiento aplicadas originalmente, caracterizada porque dicho material (9) de revestimiento polimérico tiene un índice de refracción entre 1,46 y 2,5 que varía con la temperatura, y porque el sensor comprende medios (10) para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimérico, formando el material de revestimiento polimérico de este modo una sección de modulación adaptada para cambiar la fase de la radiación que se propaga a través de dichas primera y segunda capas interiores de guía de ondas.

Description

Interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado
La presente invenci6n se refiere a un sensor de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado para la detecci6n evanescente de cantidades qufmicas y/o ffsicas, que comprende un sustrato que lleva una estructura en capas de gufa de ondas provista de
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una primera capa interior de gufa de ondas intercalada entre dos primeras capas de revestimiento formadas por una primera capa de revestimiento inferior y una primera capa de revestimiento superior, de un fndice de refracci6n mas bajo que la primera capa interior de gufa de ondas,
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una segunda capa interior de gufa de ondas intercalada entre dos segundas capas de revestimiento formada por una segunda capa de revestimiento inferior y una segunda capa de revestimiento superior, de un fndice de refracci6n mas bajo que la segunda capa interior de gufa de ondas,
-
un divisor y un combinador para acoplar 6pticamente dichas primera y segunda capas interiores de gufa de ondas en una primera y segunda juntas, respectivamente.
Se conoce un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado como tal por la publicaci6n de patente de Estados Unidos nO 6.240.226 (Lucent Technologies, Inc.). El interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado descrito en la misma es del tipo Mach-Zehnder. Este conocido interfer6metro de Mach-Zehnder incluye un primer canal interior de gufa de ondas y un segundo canal interior de gufa de ondas, unidos ambos de manera estrecha en un primer acoplador direccional y un segundo acoplador direccional. El primer canal interior de gufa de ondas esta rodeado en todos los lados no en contacto con el sustrato por un primer revestimiento, y el segundo canal interior de gufa de ondas esta rodeado en todos los lados no en contacto con el sustrato por un segundo revestimiento. El primer revestimiento incluye una secci6n de un revestimiento polimerico en contacto, en todos los lados no en contacto con el sustrato, con el primer canal interior de gufa de ondas entre el primer y el segundo acopladores direccionales. Fuera de la secci6n polimerica, el primer canal interior de gufa de ondas esta rodeado por un material de revestimiento estandar. El segundo canal interior de gufa de ondas es similar al primer canal interior de gufa de ondas, excepto que se emplea un material de revestimiento estandar en toda su longitud. El revestimiento polimerico tiene un fndice de refracci6n que varfa con la temperatura. La temperatura de la secci6n del revestimiento polimerico se ajusta para causar un cambio correspondiente en la fase de la luz que fluye a traves del primer canal interior de gufa de ondas limitado por el revestimiento polimerico para efectuar un cambio o modulaci6n de la luz deseado.
Es de hacer notar que la presente invenci6n no esta limitada al interfer6metro de Mach-Zehnder, sino que tambien se extiende a otros interfer6metros, tales como un llamado interfer6metro de Michelson o un llamado interfer6metro de Young. Sin embargo, la presente invenci6n se refiere particularmente a un llamado interfer6metro 6ptico de gufa de ondas plana, que es un interfer6metro que consiste en una fina pelfcula interior transparente intercalada entre capas de revestimiento transparentes con fndices de refracci6n mas bajos que confinan la luz que se propaga en la pelfcula interior de tal modo que esta presente un gran campo de detecci6n 6ptica evanescente en las capas de revestimiento, en donde tal apilamiento de la gufa de ondas esta preferiblemente depositado sobre un sustrato liso y plano con el prop6sito de proporcionar estabilidad mecanica. Ademas, en la estructura de la presente invenci6n, el divisor y el combinador no s6lo se refieren a un primer y un segundo acoplador direccional, como se describe en dicha publicaci6n de patente de Estados Unidos nO 6.240.226, sino que tambien se refieren a, por ejemplo, un primer cubo divisor de rayos micro6ptico y un segundo cubo divisor de rayos micro6ptico, o un primer divisor ramificado en Y y un segundo divisor ramificado en Y, respectivamente. Finalmente, el termino "detecci6n evanescente", como se usa anteriormente, es un termino bien conocido en la tecnica, que es aplicar un material qufmicamente sensible como capa de revestimiento dentro de una ventana obtenida retirando localmente la capa de revestimiento aplicada originalmente.
Una desventaja de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado conocido por dicha publicaci6n de patente de Estados Unidos nO 6.240.226 es que, dependiendo del campo tecnico de uso, la eficacia y precisi6n en aplicaciones de detecci6n no cumplen los deseos de hoy en dfa. Para aplicaciones de detecci6n se requiere un campo evanescente grande, lo cual fuerza a que el nucleo sea fino y predominantemente plano, sin estructuraci6n de crestas o con s6lo una estructuraci6n de crestas superficial. Una secci6n de revestimiento polimerica cubrira por tanto s6lo la parte superior del nucleo de gufa de ondas. Por consiguiente, la modulaci6n termo6ptica no sera tan eficaz para un revestimiento polimerico que rodee el nucleo en todos los lados no en contacto con el sustrato.
Por lo tanto, es un objetivo de la invenci6n mejorar la tecnica anterior, y para lograr ese objetivo un interfer6metro del tipo mencionado en el preambulo segun la invenci6n comprende:
-
una secci6n de un material de revestimiento polimerico incluido en una de las primeras capas superiores de revestimiento y/o incluida en una de las segundas capas superiores de revestimiento, siendo aplicado el material de revestimiento polimerico dentro de una ventana entre la primera y segunda juntas retirando localmente una de las primeras capas superiores de revestimiento y/o una de la segundas capas superiores de revestimiento aplicadas originalmente, caracterizada porque dicho material de revestimiento polimerico tiene un fndice de refracci6n entre 1,46 y 2,5 que varfa con la temperatura, y porque el sensor comprende
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medios para subir y bajar la temperatura de dicho material de revestimiento polimerico, formando el material de revestimiento polimerico de este modo una secci6n de modulaci6n adaptada para cambiar la fase de la radiaci6n que se propaga a traves de dichas primera y segunda capas interiores de gufa de ondas.
Un rasgo importante es, por tanto, que se obtiene una secci6n de modulaci6n por medio de una estructura de capas asimetrica equipada con dicha secci6n de material de revestimiento polimerico que tiene un fndice de refracci6n mas alto que la capa de revestimiento inferior, seleccionado de tal modo que el campo evanescente esta cerca del "corte". Esto significa que el campo evanescente es empujado hacia dicha secci6n del material de revestimiento polimerico, mientras que los cambios termicos en su fndice de refracci6n tendran un fuerte efecto sobre el fndice de refracci6n efectivo de la estructura.
La publicaci6n de patente de Estados Unidos nO 2006/0165340 (Wu) describe un dispositivo de gufa de ondas termo6ptico que incluye un sustrato, una gufa de ondas 6ptica y un calentador de pelfcula fina que ejerce un efecto termo6ptico sobre la gufa de ondas 6ptica. El dispositivo de gufa de ondas termo6ptico incluye ademas una ranura de separaci6n termica dispuesta en paralelo con un nucleo de gufa de ondas 6ptica a lo largo de dos lados del nucleo de gufa de ondas 6ptica que corresponde al calentador de pelfcula fina. En el metodo de fabricaci6n del dispositivo de gufa de ondas termo6ptico, la ranura de separaci6n termica dispuesta cerca del nucleo de gufa de ondas 6ptica se forma junto con la gufa de ondas 6ptica, en un procedimiento de formaci6n de la gufa de ondas 6ptica sobre el sustrato usando un fotopolfmero.
La publicaci6n de patente francesa nO 2.774.887 (Centre Nat. Rech. Scient.) describe un sensor de interfer6metro de Mach-Zehnder provisto de una ventana de detecci6n llena de un material polimerico y que incluye ademas una secci6n de modulaci6n independiente formada por un modulador 6ptico acustico.
Particularmente, dicho interfer6metro acorde con la invenci6n satisface las ecuaciones siguientes en dicha secci6n de modulaci6n:
(1) nc > ns
2 2)1/2
(2)
V = 2n (h/A) (nf -nc
(3)
r = (nf 2 -ns2) / (nf 2 -nc2)
-
siendo nc el fndice de refracci6n de la primera capa de revestimiento superior y/o la segunda capa de revestimiento superior;
-
siendo ns el fndice de refracci6n de la primera capa de revestimiento inferior y/o la segunda capa de revestimiento inferior;
-
siendo nf el fndice de refracci6n de la primera capa interior y/o la segunda capa interior;
-
siendo h el grosor de la primera capa interior y/o la segunda capa interior;
-
siendo A la longitud de onda 6ptica;
-
variando V entre 0,1 y 4 para r > 1,1.
Un rasgo importante de una realizaci6n preferida del presente interfer6metro es una optimizaci6n de la eficacia termo6ptica (energfa requerida para un cambio en el fndice de refracci6n dado) mediante una elecci6n del fndice de refracci6n del revestimiento polimerico, nc, de tal modo que el modo 6ptico tiene un gran campo evanescente en ese revestimiento. Las condiciones para eso son como sigue:
1) El fndice de refracci6n del revestimiento polimerico, nc, es cercano al del nucleo nf. Esto induce el corte del modo con una fuerte expansi6n del campo fuera del nucleo. Una medida para esta condici6n es el valor del
2 2)1/2
llamado parametro V: V = 2n (h/A) (nf -nc .
Para una gufa de ondas simetrica que tiene un fndice de refracci6n identico para el revestimiento polimerico superior y el revestimiento polimerico inferior, la condici6n de corte para el modo fundamental es a V = 0. El modo de primer orden puede existir partiendo de V = n (n6tese que la gufa de ondas debe permanecer monomodal).
Para una gufa de ondas altamente asimetrica, que tiene una gran diferencia de fndice de refracci6n entre el revestimiento polimerico superior y el revestimiento polimerico inferior, ns, el corte del modo fundamental se produce a V = n/2. El modo de primer orden puede existir partiendo de V = 3n/2.
2) La diferencia de fndice de refracci6n entre el revestimiento polimerico superior y el revestimiento polimerico inferior, ns, es grande (asimetrfa alta). Esto induce que la expansi6n del campo se produzca exclusivamente en el revestimiento polimerico. Una medida cualitativa para esta condici6n es la relaci6n de la energfa 6ptica en los lfmites del nucleo con el revestimiento polimerico (Pc) y con el revestimiento inferior (Ps), Para los modos TE esta relaci6n, Pc /Ps, es:
Pc /Ps = r = (nf 2 -ns2) / (nf 2 -nc2)
Por lo tanto, una elecci6n adecuada para V serfa en el intervalo entre V = 0,1 y V = 4, en combinaci6n con un valor para r en el intervalo de r > 1,1.
Preferiblemente, dicho material de revestimiento polimerico esta hecho al menos sustancialmente de un material seleccionado del grupo que consiste en poli(metacrilato de pentabromofenilo), poli(acrilato de pentabromofenilo), poli(metacrilato de pentabromobencilo), poli(acrilato de pentabromobencilo), poli(metacrilato de 2,4,6-tribromofenilo), poli(sulfuro de vinilfenilo), poli(metacrilato de 1-naftilo), poli(2-viniltiofeno), poli(2,6-dicloroestireno), poli(N-vinilftalamida), poli(2-cloroestireno) y poli(metacrilato de pentaclorofenilo). En una alternativa, dicho material de revestimiento polimerico esta hecho al menos sustancialmente de un material seleccionado del grupo que consiste en un polfmero basado en anillos aromaticos de benceno y un polfmero basado en anillos aromaticos condensados, tal como un mon6mero epoxi SU-8 o una poliimida aromatica. Preferiblemente, se han anadido partfculas de alto fndice de refracci6n al material de dicho material de revestimiento polimerico a fin de aumentar el fndice de refracci6n del mismo.
Preferiblemente, dicha capa de revestimiento inferior esta hecha de sflice cultivada termicamente o depositada por vapor qufmico (CVD, por sus siglas en ingles), sflice que contiene vidrios multicomponentes, vidrios de fluoruro, polfmeros organicos que contienen silicio o polfmeros hfbridos organicos-inorganicos que contienen silicio o polfmeros organicos que contienen fluor o polfmeros hfbridos organicos-inorganicos que contienen fluor.
En una realizaci6n preferida de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado de acuerdo con la invenci6n, dichos medios para subir y bajar la temperatura de dicho material de revestimiento polimerico comprenden un calentador y/o un enfriador adyacente a la secci6n de dicho material de revestimiento polimerico. Dicho calentador y/o enfriador puede incluir bandas resistivas electricas calentadoras o elementos termoelectricos de enfriamiento/ calentamiento que estan dispuestos cerca de dicha(s) secci6n(es) polimerica(s).
En una realizaci6n preferida adicional de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado de acuerdo con la invenci6n, dicha primera capa interior de gufa de ondas y/o dicha segunda capa interior de gufa de ondas esta(n) provista(s) de un perfil en la forma de una cresta.
En una realizaci6n preferida adicional de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado de acuerdo con la invenci6n, el fndice de refracci6n de dicha primera capa interior de gufa de ondas y/o dicha segunda capa interior de gufa de ondas se selecciona en el intervalo entre 1,5 y 2,5. Particularmente, dicha primera capa interior de gufa de ondas y/o dicha segunda capa interior de gufa de ondas esta(n) hecha(s) al menos sustancialmente de un material seleccionado del grupo que consiste en Si3N4, Ti02, Ta203, Zr02, Al203, Y203 y Nb205.
En una realizaci6n preferida adicional de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado de acuerdo con la invenci6n, se aplica una espuma sobre dichos medios para subir y bajar la temperatura de dicho material de revestimiento polimerico.
El presente interfer6metro podrfa ser sensible para turbulencias de aire por encima de los medios para subir y bajar la temperatura de dicho material de revestimiento polimerico, esto es, los calentadores. Estas inducen fluctuaciones de senal interferentes. Esto puede ser evitado aplicando capas finas de espuma de poliuretano (PUR) como aislantes termicos sobre la parte superior de los calentadores. La espuma de PUR es un excelente aislante termico. La capa de espuma puede ser aplicada dejando gotear una disoluci6n prepolimerica diluida de PUR sobre los calentadores y dejando curar esto como capa de espuma por absorci6n de humedad de la atm6sfera ambiente. Alternativamente, los calentadores pueden ser cubiertos con una cubierta de un material mas denso, a la vez que se deja un hueco para el aire, termicamente aislante, estrecho, entre la superficie de los calentadores y la cubierta.
En una realizaci6n preferida adicional de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado de acuerdo con esta invenci6n, se proporcionan medios para la modulaci6n electrica de una senal de dichos medios para subir y bajar la temperatura de dicho material de revestimiento polimerico. Se puede usar un principio de modulaci6n avanzado, llamado modulaci6n serrodyne, para obtener una respuesta del sensor del presente interfer6metro con una alta sensibilidad. El procesamiento de las senales serrodyne requiere una senal de salida sinusoidal a fin de realizar un analisis de Fourier para la determinaci6n de la fase 6ptica. El calentador proporciona principalmenteuna modulaci6n de rafz cuadrada en respuesta a un voltaje aplicado. Por lo tanto, un voltaje de modulaci6n optimizado de tal modo que se obtiene una modulaci6n 6ptica sinusoidal, puede ser codificado en una tabla de busqueda y por medio de un conversor digital/anal6gico enviado a un circuito electr6nico. Usando diodos, los voltajes positivos y negativos son enviados entonces a circuitos electricos amplificadores independientes que manejan los calentadores electricos. Esta manera, que usa una unica senal de modulaci6n de entrada, derivada de una unica tabla de busqueda, se puede usar para manejar secuencialmente los calentadores de los dos moduladores termo6pticos del presente interfer6metro a fin de obtener la respuesta 6ptica sinusoidal, compensando de este modo el comportamiento dependiente del voltaje no lineal del efecto termo6ptico. Tambien, la influencia de la temperatura sobre la resistencia de los calentadores puede ser compensada por un diseno correcto de la tabla de busqueda. En lugar de dos elementos calentadores tambien puede estar provisto un elemento calentador.
En una realizaci6n preferida adicional de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado de acuerdo con la
invenci6n, se usa una banda de metal de polarizaci6n como dicho medio para subir y bajar la temperatura de dicho material de revestimiento polimerico. El presente interfer6metro funciona bien s6lo con uno de los dos posibles estados de polarizaci6n de la luz (TE y TM). La fibra 6ptica que entra en el interfer6metro entrega ambas polarizaciones. Por lo tanto, se prefiere un supresor de polarizaciones. Esto se podrfa hacer por absorci6n selectiva de una de las polarizaciones (TM) en el material de sustrato de Si en la secci6n de transporte del interfer6metro. Esto proporciona una atenuaci6n de < 10 db/cm. Se puede obtener un valor mucho mas alto (supresor mas corto) por absorci6n selectiva del modo TM en una capa de metal. En el interfer6metro esta puede ser la capa metalica del calentador. La funcionalidad del calentador y del supresor puede ser desacoplada aplicando estructuras de metal multicapas (p.ej., Cr/Au, con el Cr para suprimir y el Au para calentar).
La presente invenci6n tambien se refiere al uso de un interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado de acuerdo con la invenci6n en una varilla medidora.
La invenci6n sera aclarada adicionalmente con la ayuda de un dibujo que se refiere a una realizaci6n preferida de un interfer6metro 6ptico integrado de acuerdo con la invenci6n, en el que
-
la figura 1 es un trazado esquematico de un interfer6metro 6ptico integrado estandar del tipo Mach-Zehnder;
-
la figura 2 es un trazado esquematico del funcionamiento del interfer6metro estandar de la figura 1 para la detecci6n evanescente de cantidades qufmicas y/o ffsicas;
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la figura 3 es un trazado esquematico del interfer6metro de la figura 2, pero adaptado ahora de acuerdo con la invenci6n;
-
la figura 4 se refiere a un uso especffico del interfer6metro de la figura 3, esto es, como varilla medidora.
El interfer6metro 1 de la figura 1 consiste en una gufa de ondas 2 de canal de entrada que se divide en dos ramas 3, 4 identicas. Despues de una longitud bien definida, estas dos ramas 3, 4 se combinan de nuevo para formar la gufa de ondas 5 de salida. La luz que entra en la gufa de ondas 2 de entrada se divide en partes iguales sobre las dos ramas 3, 4 y se combina de nuevo en la gufa de ondas 5 de salida. La secci6n transversal del canal 6ptico de gufa de ondas del interfer6metro 1 consiste en una capa interior de alto fndice de refracci6n con un perfil de cresta que esta intercalada entre capas amortiguadoras de fndice de refracci6n bajo. En caso de gufas de ondas enterradas, el campo 6ptico esta contenido completamente en las capas interior y amortiguadoras, y la propagaci6n de la luz no es afectada por perturbaciones del entorno.
Con referencia a la figura 2, usando tecnicas de grabado, un revestimiento 6 superior es retirado localmente por encima de las gufas de ondas de canal en posiciones bien definidas en ambas ramas 3, 4 del interfer6metro 1. En estas llamadas ventanas 7, 8, el campo evanescente de la luz que viaja a traves de las gufas de ondas de canal subyacentes, se extiende hacia el entorno por encima del interfer6metro 1 y se vuelve susceptible a los cambios del entorno. Una capa de interfaz que se une de manera especffica a moleculas de analitos de interes esta provista sobre la superficie de la ventana 7 de detecci6n. Para mantener el interfer6metro 1 equilibrado, la ventana 8 de referencia esta provista de una capa de interfaz que no muestra uni6n especffica. Cuando el material de muestra se hace fluir sobre ambas ventanas de detecci6n y de referencia 7, 8, la uni6n especffica de las moleculas de analito a la capa interfaz en la ventana 7 de detecci6n es sondada por el campo evanescente de la luz que viaja a traves de la rama 3 de detecci6n. Esto causa un cambio en la velocidad de propagaci6n de la luz, dando como resultado una diferencia de fase entre la luz que viene de la rama 3 de detecci6n y la rama 4 de referencia en la gufa deondas 5 de salida. La diferencia de fase inducida es proporcional a la cantidad de moleculas de analito que se unen a la capa de interfaz y da como resultado un cambio peri6dico en la intensidad de la luz en la gufa de ondas 5 de salida.
Con referencia a la figura 3, acorde con la invenci6n, usando tecnicas de grabado, un revestimiento 6 superior es retirado localmente por encima de los canales de gufa de ondas en posiciones bien definidas en ambas ramas 3, 4. Estas llamadas secciones de modulaci6n estan llenas de un material 9 de revestimiento polimerico de alto fndice de refracci6n, que va a tener un fndice de refracci6n entre 1,46 y 2,5 que varfa con la temperatura. Sobre este material 9 de revestimiento polimerico, esta dispuesta una banda metalica 10 calentadora para cambiar el fndice de refracci6n del polfmero tras un calentamiento o enfriamiento. Esto cambiara la fase de la luz que fluye a traves del canal para efectuar una modulaci6n de la luz en el interfer6metro. Usando un principio de modulaci6n avanzado (modulaci6n serrodyne) en combinaci6n con la secci6n activa termo6ptica en el interfer6metro 1 y la electr6nica relacionada, la intensidad de salida del interfer6metro 1 es transformada en una senal de respuesta del sensor que es igual a la diferencia de fase inducida causada por la uni6n especffica de las moleculas de analito a la capa interfaz en la ventana 7 de detecci6n.
La figura 4a muestra un uso especffico del presente interfer6metro mostrado en la figura 3, a saber, como una varilla medidora 1 con moduladores 11, 12 termo6pticos. Este interfer6metro esta basado en un interfer6metro de Mach-Zehnder que tiene gufas de onda que estan desviadas de vuelta al borde de entrada del chip usando un espejo 13 abatible o una gufa de ondas curvada. Como resultado, el presente interfer6metro es muy compacto y se usa, como se muestra, en una aplicaci6n de varilla medidora. En otras palabras, el extremo del sensor puede ser introducido en un recipiente 14 lleno con una cantidad (pequena) de una sustancia 15 aser analizada. La figura 4b muestra estructuras de varillas medidoras alternativas.

Claims (15)

  1. REIVINDICACIONES
    1. Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado para la detecci6n evanescente de cantidades qufmicas y/o ffsicas, que comprende un sustrato que lleva una estructura en capas de gufa de ondas provista de
    -
    una primera capa interior de gufa de ondas intercalada entre dos primeras capas de revestimiento formadas en esta secuencia partiendo del sustrato por una primera capa (6) de revestimiento inferior y una primera capa de revestimiento superior, de un fndice de refracci6n mas bajo que la primera capa interior de gufa de ondas,
    -
    una segunda capa interior de gufa de ondas intercalada entre dos segundas capas de revestimiento formadas en esta secuencia partiendo del sustrato por una segunda capa (6) de revestimiento inferior y una segunda capa de revestimiento superior, de un fndice de refracci6n mas bajo que la segunda capa interior de gufa de ondas,
    -
    un divisor y un combinador para acoplar 6pticamente dichas primera y segunda capas interiores de gufa de ondas en una primera y segunda juntas, respectivamente,
    -
    una secci6n de un material (9) de revestimiento polimerico incluido en una de las primeras capas (6) de revestimiento superior y/o incluido en una de las segundas capas (6) de revestimiento superior, siendo el material (9) de revestimiento polimerico aplicado dentro de una ventana (7, 8) entre la primera y segunda juntas retirando localmente una de las primeras capas (6) de revestimiento y/o una de las segundas capas (6) de revestimiento aplicadas originalmente, caracterizada porque dicho material (9) de revestimiento polimerico tiene un fndice de refracci6n entre 1,46 y 2,5 que varfa con la temperatura, y porque el sensor comprende medios (10) para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimerico, formando el material de revestimiento polimerico de este modo una secci6n de modulaci6n adaptada para cambiar la fase de la radiaci6n que se propaga a traves de dichas primera y segunda capas interiores de gufa de ondas.
  2. 2. Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun la reivindicaci6n 1, en el que dicho interfer6metro (1) en dicha secci6n de modulaci6n satisface las ecuaciones:
    (1) nc > ns
    22)1/2
    (2)
    V =2n (h/A) (nf -nc
    (3)
    r = (nf 2 -ns2) / (nf 2 -nc2)
    -
    siendo nc el fndice de refracci6n de la primera capa de revestimiento superior y/o la segunda capa de revestimiento superior;
    -
    siendo ns el fndice de refracci6n de la primera capa de revestimiento inferior y/o la segunda capa de revestimiento inferior;
    -
    siendo nf el fndice de refracci6n de la primera capa interior y/o la segunda capa interior;
    -
    siendo h el grosor de la primera capa interior y/o la segunda capa interior;
    -
    siendo A la longitud de onda 6ptica;
    -
    variando V entre 0,1 y 4 para r > 1,1.
  3. 3.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun la reivindicaci6n 1 o 2, en el que dicho material (9) de revestimiento polimerico esta hecho al menos sustancialmente de un material seleccionado del grupo que consiste en poli(metacrilato de pentabromofenilo), poli(acrilato de pentabromofenilo), poli(metacrilato de pentabromobencilo), poli(acrilato de pentabromobencilo), poli(metacrilato de 2,4,6-tribromofenilo), poli(sulfuro de vinilfenilo), poli(metacrilato de 1-naftilo), poli(2-viniltiofeno), poli(2,6-dicloroestireno), poli(N-vinilftalamida), poli(2-cloroestireno) y poli(metacrilato de pentaclorofenilo).
  4. 4.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun la reivindicaci6n 1 o 2, en el que dicho material (9) de revestimiento polimerico esta hecho al menos sustancialmente de un material seleccionado del grupo que consiste en un polfmero basado en anillos aromaticos de benceno y un polfmero basado en anillos aromaticos condensados.
  5. 5.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun la reivindicaci6n 3 o 4, en el que se han anadido partfculas de alto fndice de refracci6n al material de dicho material (9) de revestimiento polimerico a fin de aumentar el fndice de refracci6n del mismo.
  6. 6.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 5, en el que dichos medios (10) para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimerico comprenden un calentador y/o un enfriador adyacente a la secci6n de dicho material (9) de
    revestimiento polimerico.
  7. 7.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 6, en el que dicha primera capa interior de gufa de ondas y/o dicha segunda capa interior de gufa de ondas esta(n) provista(s) de un perfil en la forma de una cresta.
  8. 8.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 7, en el que el fndice de refracci6n de dicha primera capa interior de gufa de ondas y/o dicha segunda capa interior de gufa de ondas se selecciona en el intervalo entre 1,5 y 2,5.
  9. 9.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 8, en el que dicha primera capa interior de gufa de ondas y/o dicha segunda capa interior de gufa de ondas esta(n) hecha(s) al menos sustancialmente de un material seleccionado del grupo que consiste en Si3N4, Ti02, Ta203, Zr02, Al203, Y203 y Nb205.
  10. 10.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 9, en el que dicha primera capa de revestimiento inferior y/o dicha segunda capa de revestimiento inferior esta(n) hecha(s) al menos sustancialmente de sflice cultivada termicamente o depositada por vapor qufmico (CVD), sflice que contiene vidrios multicomponentes, vidrios de fluoruro, polfmeros organicos que contienen silicio o polfmeros hfbridos organicos-inorganicos que contienen silicio o polfmeros organicos que contienen fluor o polfmeros hfbridos organicos-inorganicos que contienen fluor.
  11. 11.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 10, en el que dicho medio (10) para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimerico es una banda de metal polarizante.
  12. 12.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 11, que comprende ademas una espuma aplicada sobre dichos medios para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimerico.
  13. 13.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 11, que comprende ademas una cubierta aplicada sobre dichos medios (10) para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimerico, en donde es mantenido un hueco para el aire entre dicha cubierta y dichos medios (10) para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimerico.
  14. 14.
    Sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 13, en el que estan provistos medios para la modulaci6n electrica de una senal a ser aplicada a dichos medios (10) para subir y bajar la temperatura de dicho material (9) de revestimiento polimerico.
  15. 15.
    Uso de un sensor (1) de interfer6metro 6ptico de gufa de ondas integrado segun cualquiera de las reivindicaciones precedentes 1 a 14 en una varilla medidora.
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8792103B2 (en) * 2009-02-04 2014-07-29 Ostendum Holding B.V. System for analysis of a fluid
SG188759A1 (en) * 2011-09-21 2013-04-30 Agency Science Tech & Res Optical circuit for sensing a biological entity in a fluid and method of configuring the same
GB201117649D0 (en) * 2011-10-12 2011-11-23 Univ Gent Resonant biosensor
KR101369926B1 (ko) * 2012-03-07 2014-03-06 한국광기술원 광대역 광스플리터 및 이를 이용한 다파장 대역의 이미지 확보가 가능한 광학 단층 영상기기
CA2897181A1 (en) * 2013-01-11 2014-07-17 Lumense, Inc. System and method for sensing ammonia in a fluid
US20150077756A1 (en) * 2013-06-13 2015-03-19 Lumense, Inc. System and method for continuous real-time monitoring of water at contaminated sites
JP5951589B2 (ja) * 2013-11-28 2016-07-13 日本碍子株式会社 光導波路素子
US9453791B2 (en) * 2014-07-01 2016-09-27 Octrolix Bv Flow cytometry system and method
GR1009480B (el) 2017-02-17 2019-03-19 Amo Gmbh Μεθοδος κατασκευης ολοκληρωμενου πλασμο-φωτονικου βιοαισθητηρα και συσκευη για το σκοπο αυτο
WO2019043207A1 (en) * 2017-09-01 2019-03-07 Universiteit Gent DETECTION BASED ON A PHOTON INTERFEROMETER
US11509275B2 (en) * 2018-04-20 2022-11-22 Neophotonics Corporation Method and apparatus for bias control with a large dynamic range for Mach-Zehnder modulators
CN112888918B (zh) * 2018-08-20 2024-03-22 泰克年研究发展基金会公司 用于声学感测的聚合物涂布的高折射率波导
US11226506B2 (en) 2020-03-17 2022-01-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Heater structure with a gas-filled isolation structure to improve thermal efficiency in a modulator device
CN111609873A (zh) * 2020-04-24 2020-09-01 中国地质大学（武汉） 一种波导干涉仪传感器
US11500151B2 (en) * 2021-02-22 2022-11-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Semiconductor arrangement and method of making
WO2023139408A1 (en) * 2022-01-21 2023-07-27 Bialoom Ltd Optical interferometric sensor

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4940328A (en) * 1988-11-04 1990-07-10 Georgia Tech Research Corporation Optical sensing apparatus and method
EP0999455B1 (en) * 1993-07-07 2002-10-09 NEC TOKIN Corporation Optical electric field sensor
US5644125A (en) * 1994-11-23 1997-07-01 Research Foundation Of State University Ny Spectrometer employing a Mach Zehnder interferometer created by etching a waveguide on a substrate
FR2774887B1 (fr) * 1998-02-13 2000-04-14 Centre Nat Rech Scient Capteur optique sur substrat de silicium et application a la mesure in situ d'un marqueur fluorescent dans les petites bronches
US6429023B1 (en) * 1998-07-20 2002-08-06 Shayda Technologies, Inc. Biosensors with polymeric optical waveguides
US6240226B1 (en) 1998-08-13 2001-05-29 Lucent Technologies Inc. Polymer material and method for optical switching and modulation
US6385383B1 (en) * 1998-10-05 2002-05-07 Lucent Technologies Inc. Optical attenuator structure and method using polymer material
US6987603B2 (en) * 2003-01-31 2006-01-17 E Ink Corporation Construction of electrophoretic displays
JP4249996B2 (ja) * 2003-02-10 2009-04-08 日東電工株式会社 ポリカルボジイミド共重合体からなるレンズ材料
JP2005009944A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Hitachi Ltd 化学物質検出装置
GB0415882D0 (en) * 2004-07-15 2004-08-18 Univ Southampton Optical sensors
JP2006208518A (ja) * 2005-01-26 2006-08-10 Seikoh Giken Co Ltd 熱光学効果型光導波路素子およびその製造方法
US7228022B1 (en) * 2005-08-16 2007-06-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Polymer integrated optical transceiver
JP4695989B2 (ja) * 2006-01-27 2011-06-08 富士通株式会社 差動ｍ位相偏移変調信号の復調用干渉計
US20080101744A1 (en) * 2006-10-31 2008-05-01 Honeywell International Inc. Optical Waveguide Sensor Devices and Methods For Making and Using Them
WO2008082664A2 (en) * 2006-12-29 2008-07-10 Massachusetts Institute Of Technology Fabrication-tolerant waveguides and resonators
JP2010518389A (ja) * 2007-02-08 2010-05-27 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ エバネセント導波管及び集積センサを用いるバイオセンサ
PL2017602T3 (pl) * 2007-07-19 2014-09-30 Consejo Superior Investigacion Interferometr i czujnik oparty na światłowodzie bimodalnym oraz sposób wykrywania
US7906839B2 (en) * 2008-07-02 2011-03-15 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of shunt test measurement for passive circuits

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