ES2280287T3 - Transductor piezoelectrico de sonidos. - Google Patents

Transductor piezoelectrico de sonidos. Download PDF

Info

Publication number
ES2280287T3
ES2280287T3 ES01119332T ES01119332T ES2280287T3 ES 2280287 T3 ES2280287 T3 ES 2280287T3 ES 01119332 T ES01119332 T ES 01119332T ES 01119332 T ES01119332 T ES 01119332T ES 2280287 T3 ES2280287 T3 ES 2280287T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
ultrasound transducer
transducer according
peripheral recess
spring
sectors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
ES01119332T
Other languages
English (en)
Inventor
Volker Dr. Herrmann
Gunther Pfeifer
Michael Kochan
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sick AG
Original Assignee
Sick AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sick AG filed Critical Sick AG
Application granted granted Critical
Publication of ES2280287T3 publication Critical patent/ES2280287T3/es
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0611Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile
    • B06B1/0618Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile of piezo- and non-piezoelectric elements, e.g. 'Tonpilz'

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Surgical Instruments (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Transductor de ultrasonidos, en especial del tipo de oscilador longitudinal, con al menos un elemento (16) piezoeléctrico dispuesto entre dos sectores (12, 14) de sujeción, estando previsto al menos un órgano (18) de sujeción que actúa en combinación con los sectores (12, 14) de sujeción, de tal manera que el elemento (16) piezoeléctrico está tensado previamente por los sectores (12, 14) de sujeción, estando configurado el órgano (18) de sujeción como muelle tensor de forma anular, y presentando una pared, caracterizado porque en la pared está configurada al menos una escotadura (22, 24) periférica que presta a la pared un efecto elástico en dirección axial.

Description

Transductor piezoeléctrico de sonidos.
La invención se refiere a un transductor de ultrasonidos, en especial del tipo de oscilador longitudinal, según el preámbulo de la reivindicación 1.
El documento US 3,351,787 describe un acelerómetro con una pila de cristales piezoeléctricos, para la que está prevista una envuelta elástica de tensión previa.
Tales transductores de ultrasonidos se designan también como osciladores longitudinales compuestos u osciladores de media onda. El elemento piezoeléctrico provisto con las superficies de los electrodos, se polariza y establece contacto de tal manera que al aplicar una tensión alterna de frecuencia apropiada, toda la estructura entra en resonancia respecto a la dirección axial. El elemento piezoeléctrico dispuesto entre sectores de sujeción, se encuentra aquí en una zona de máxima tensión mecánica y mínima velocidad mecánica de oscilación. La emisión del ultrasonido se lleva a cabo desde la cara frontal libre de uno de los sectores de sujeción que actúa como guía de ondas. Para conseguir una potencia de emisión lo más alta posible con suficiente estabilidad de la disposición, se tensa previamente el elemento piezoeléctrico sobre los sectores de sujeción, mediante un órgano de sujeción.
Es misión de la invención crear un transductor de ultrasonidos del tipo citado en el preámbulo, con el menor tamaño constructivo posible. En el que pueda conseguirse la mayor tensión previa posible del elemento piezoeléctrico, sin que se perjudiquen desventajosamente las características de la oscilación del transductor de ultrasonidos.
La solución de esta misión se lleva a cabo mediante las notas características indicadas en la parte significativa de la reivindicación 1.
Mediante la previsión de una escotadura periférica en un órgano anular de sujeción, se obtiene un recorrido máximo del muelle para una longitud constructiva axial mínima. Gracias al gran recorrido del muelle en comparación con la longitud constructiva, pueden realizarse grandes tensiones previas del elemento piezoeléctrico, sin rebasar por ello la capacidad de carga permisible del muelle tensor. Por consiguiente, incluso para grande tensiones previas para oscilaciones, el muelle tensor está en condiciones que no perjudican el funcionamiento del transductor de ultrasonidos.
Gracias a la pequeña longitud constructiva del muelle tensor según la invención, este actúa únicamente en combinación con las zonas de los sectores de sujeción, que lindan directamente con el elemento piezoeléctrico. En estas zonas las amplitudes de la oscilación y las velocidades de oscilación, son pequeñas. De preferencia, el muelle tensor según la invención, se atornilla con los dos sectores de sujeción, atornillándose estos con interposición del elemento piezoeléctrico, desde lados opuestos en el muelle tensor de forma anular. Gracias a la longitud constructiva axial mínima, hecha posible según la invención, se impide que el muelle tensor actúe en combinación con los sectores de sujeción, en zonas de la rosca de intensa actividad oscilatoria, más alejadas axialmente del elemento piezoeléctrico. De este modo se impiden efectos amortiguadores perturbadores en las zonas de la rosca.
Otra ventaja de la invención es que el muelle tensor puede adaptarse acertadamente al respectivo transductor de ultrasonidos, mediante un dimensionado apropiado de la escotadura periférica. La escotadura periférica puede dimensionarse ventajosamente de tal manera que, para la tensión previa elástica teórica, deseada en cada caso, para el elemento piezoeléctrico, por una parte exista un recorrido suficiente del muelle y, por otra parte, no se sobrepase la tensión máxima permisible o capacidad de carga del material que forma el muelle tensor.
Por lo demás, la escotadura periférica puede dimensionarse acertadamente -en especial también en función de las dimensiones del mismo muelle tensor- de tal manera que en la gama de las frecuencias de trabajo del transductor de ultrasonidos, no aparezcan modos ningunos de oscilaciones propias del muelle tensor. En especial, el funcionamiento de osciladores longitudinales de banda ancha no se perjudica de este modo en la gama principal de frecuencias de transmisión, o gama de frecuencias de trabajo, por el muelle tensor. Además, mediante el correspondiente acondicionamiento de la escotadura periférica, el muelle tensor puede configurarse de tal manera que también se impidan tales modos propios de oscilación del muelle tensor, que desde luego están situados fuera de la gama de frecuencias de trabajo del transductor de ultrasonidos, pero que sin embargo pueden conducir a perturbaciones perjudiciales de su funcionamiento.
Por lo tanto, según la invención puede llevarse a cabo de forma sencilla una optimización del espectro de oscilaciones propias del muelle tensor, en función de las características o del comportamiento funcional del respectivo transductor de ultrasonidos.
Los grandes recorridos del muelle, posibles a causa de la invención, tienen la ventaja de que la influencia de variaciones de los parámetros ambientales como, por ejemplo, de la temperatura, sobre el funcionamiento del transductor de ultrasonidos, es mínima, y se compensan procesos de envejecimiento en el material del muelle. Según la invención se puede obtener pues una alta resistencia contra condiciones variables de trabajo o ambientales, y contra el envejecimiento.
La escotadura periférica está configurada de preferencia en forma de rendija o de hendidura. Por lo demás, la escotadura periférica se extiende en dirección radial, de preferencia a través de toda la pared del muelle anular, es decir, de preferencia la pared del muelle anular está interrumpida en dirección axial en toda la zona angular de la escotadura periférica.
Según una forma especialmente preferente de realización, está previsto que la escotadura periférica, esté rellena al menos parcialmente, con un material amortiguador de las vibraciones. Fenómenos perturbadores transitorios y vibratorios pueden amortiguarse acertadamente mediante una medida semejante, y de este modo se hacen inoperantes.
De preferencia se emplea un material de relleno con el que se vacía la escotadura periférica.
Especialmente ventajosa es la previsión de una masa amortiguadora que rellene al menos parcialmente la escotadura periférica en aplicaciones en las que deben de emitirse o recibirse con el transductor de ultrasonidos, impulsos cortos de ultrasonidos, puesto que en este caso el funcionamiento transitorio y vibratorio del transductor de ultrasonidos, tiene mucha importancia desde el punto de vista de la metrología.
Es posible una adaptación especialmente buena del muelle tensor a las respectivas exigencias, cuando según otra realización preferente, el muelle tensor presenta dos escotaduras periféricas distanciadas axialmente.
Con un diseño semejante de dos escalones, pueden obtenerse grandes tensiones previas con grandes recorridos simultáneos del muelle, sin aumentar esencialmente la longitud constructiva axial, y sin dificultar esencialmente la prevención de modos perturbadores de oscilación propia.
Básicamente se resuelve también satisfactoriamente la misión en que se funda la invención, mediante la previsión de tres o más escotaduras periféricas. La evitación o supresión de los modos perturbadores de oscilación propia, está unida evidentemente con un gasto mayor. En tales casos puede ser ventajoso y es posible según la invención, dimensionar los componentes constructivos del transductor de ultrasonidos, en función de las características optimizadas del muelle tensor, en lugar de adaptar el muelle tensor al transductor de ultrasonidos.
Otras formas preferentes de realización de la invención, están indicadas en las reivindicaciones secundarias, en la descripción, así como en el dibujo.
La invención se describe a continuación, a título de ejemplo, haciendo referencia al dibujo, cuya única figura muestra un alzado lateral en corte de un transductor de ultrasonidos según la invención.
El transductor de ultrasonidos según la invención comprende dos sectores 12, 14 de sujeción, de los cuales, uno 12 está fabricado de un metal pesado como, por ejemplo, acero, y el otro 14 de un metal ligero, en especial de titanio, aluminio o magnesio. Según la invención, en principio también se toman en cuenta otros materiales.
Cada uno de los dos sectores 12, 14 de sujeción, está provisto con una rosca 13, 15 exterior mediante la cual están atornillados con la rosca 19 interior de un muelle 18 tensor de forma anular. El muelle 18 tensor sirve como un órgano de sujeción con el cual puede comprimirse un elemento 16 piezoeléctrico entre las caras frontales vueltas una hacia la otra de los sectores 12, 14 de sujeción atornillados con el muelle 18 tensor. Mediante la profundidad de atornillado de los sectores 12, 14 de sujeción, puede ajustarse una tensión previa deseada en cada caso, del elemento 16 piezoeléctrico.
El elemento 16 piezoeléctrico está fabricado de preferencia, de una cerámica piezoeléctrica, y puede estar subdividido -como está ilustrado en la figura- en varios discos 16a, 16b.
Los discos 16a, 16b piezoeléctricos están provistos con electrodos 28 planos que pueden mandarse mediante conexiones 32 con una tensión alterna de frecuencia predeterminada, de tal manera que la longitud axial del elemento 16 piezoeléctrico, es decir el espesor de cada disco, varíe correspondientemente con el tiempo. El elemento 16 piezoeléctrico forma así una fuente axial de energía, con la que, para la frecuencia apropiada de la tensión alterna aplicada, toda la disposición responde en vibraciones axiales u oscilaciones longitudinales, y aquí puede ser estimulada a una resonancia longitudinal.
La cara frontal libre del sector 14 de sujeción (en la figura, el derecho) fabricado del material ligero, sirve aquí como superficie 34 de emisión y/o de recepción, mediante la cual se emiten las señales de ultrasonidos, o a través de la cual se reciben las señales de ultrasonidos.
Mientras que el elemento 16 piezoeléctrico está situado en la zona de máxima tensión mecánica y mínima velocidad de oscilación de toda la estructura, la velocidad de oscilación es máxima en el plano de la superficie 34 de emisión y/o de recepción. Este efecto puede reforzarse haciendo que el sector 14 de sujeción, compuesto del material ligero, se configure reduciéndose en la dirección de la superficie 34 de emisión y/o de recepción, aunque aumentando de nuevo el diámetro del sector 14 de sujeción, antes del extremo libre, de tal manera que la superficie 34 de emisión y/o de recepción se forme por un sector 50 terminal de forma de placa. De este modo se obtiene una minimización del peso, no reduciéndose el tamaño de la superficie 34 de emisión y/o de recepción, a causa de la placa 50 que aumenta la superficie. En la figura está ilustrado tan sólo esquemáticamente un acondicionamiento semejante del sector 14 de sujeción, mediante líneas de trazos.
En general, una estructura compuesta de tal manera, en la que un elemento 16 piezoeléctrico de una sola o de varias piezas, está aprisionado entre dos sectores 12, 14 de sujeción, se designa también como oscilador longitudinal compuesto o como oscilador de media onda.
Un transductor semejante de ultrasonidos se emplea en aplicaciones industriales, por ejemplo, para la medición de distancias y para la medición de caudales, emitiéndose y recibiéndose impulsos cortos de ultrasonidos.
En el sector 12 de sujeción, izquierdo en la figura, está previsto un canal 36 central, cuyo eje central coincide con el eje 27 longitudinal de toda la disposición. El canal 36 así como aberturas 17a, 17b centrales en los discos 16a, 16b piezoeléctricos, sirven para el alojamiento de líneas 38 de conexión para el mando de los electrodos 28 a través de las conexiones 32, estando esto ilustrado en la figura, únicamente en forma esquemática.
El muelle 18 tensor para el tensado previo del elemento 16 piezoeléctrico, presenta una pequeña longitud constructiva axial, y está ensanchado radialmente hacia fuera en un sector central dispuesto en la zona del elemento 16 piezoeléctrico, con respecto a los sectores frontales del borde, en los que el muelle 18 tensor está atornillado con los sectores 12, 14 de sujeción.
En este sector central, en la pared del muelle 18 tensor, están configuradas dos escotaduras 22, 24 periféricas con idéntica sección transversal rectangular. En las escotaduras 22, 24 periféricas, la pared del muelle 18 tensor, está completamente cortada, es decir, la pared del muelle 18 tensor está interrumpida en dirección axial por las escotaduras 22, 24, en la correspondiente zona periférica.
Las escotaduras 22, 24 periféricas se extienden en una zona angular mayor o menor, en función de la respectiva aplicación, es decir, en una parte mayor o menor de la periferia del muelle 18 tensor. Aquí es preferente cuando los sectores que quedan de la periferia, que unen una con otra cada dos de las zonas 18a, 18b, 18c del muelle 18 tensor, separadas axialmente por las escotaduras 22, 24, están dispuestos desplazados unos respecto a otros en dirección periférica. Así por ejemplo, es posible configurar cada una de las dos escotaduras 22, 24, de tal manera que en dirección periférica estén interrumpidas únicamente por un nervio comparativamente corto, estando dispuestos los dos nervios desplazados 180º uno respecto al otro en dirección periférica.
Gracias a la previsión de las escotaduras o rendijas o hendiduras 22, 24, se forman en la pared del muelle 18 tensor, zonas de tensión de flexión que actúan como elementos elásticos. De este modo se aumenta el recorrido axial elástico que está disponible, del muelle 18 tensor, sin que por ello sea necesario un aumento de su longitud constructiva axial.
Las escotaduras 22, 24 periféricas, en función de las dimensiones, en especial de la longitud axial del muelle 18 tensor, están dimensionadas y dispuestas de tal manera que en la gama de frecuencias de trabajo o en la gama principal de frecuencias de transmisión del transductor de ultrasonidos, no se generen ningunas oscilaciones propias del muelle 18 tensor. Así pues el muelle 18 tensor, mediante el acondicionamiento apropiado de las escotaduras 22, 24 periféricas, puede adaptarse en forma especialmente sencilla a los respectivos transductores de ultrasonidos, o a sus parámetros funcionales exigidos.
Por lo demás, las escotaduras 22, 24 periféricas están vaciadas con una masa 26 amortiguadora, con lo que se amortiguan efectos perturbadores transitorios y vibratorios. Tales fenómenos transitorios y vibratorios pueden estimularse mediante oscilaciones propias del muelle 18 tensor, situadas fuera de la gama de frecuencias de trabajo del transductor de ultrasonidos. En principio, es posible un funcionamiento satisfactorio del transductor de ultrasonidos según la invención, incluso sin vaciar las escotaduras 22, 24. Sin el material amortiguador de las oscilaciones en las escotaduras 22, 24 periféricas, naturalmente bajo determinadas circunstancias, puede pasar que el funcionamiento del transductor de ultrasonidos se perjudique por las oscilaciones propias del muelle 18 anular. Esto se impide con seguridad mediante el material en las escotaduras 22, 24.
Mediante la elección de un material 26 amortiguador apropiado; por ejemplo de una masa elástica de relleno, puede adaptarse acertadamente el muelle 18 tensor a las respectivas circunstancias.
A diferencia de la forma de realización de la invención, descrita precedentemente, con un diseño de dos escalones de escotaduras, rendijas o hendiduras, el muelle 18 tensor puede estar provisto únicamente con una única escotadura periférica, o alternativamente, también con tres o con un número todavía mayor de escotaduras periféricas.
Lista de símbolos de referencia
12
Sector de sujeción
13
Rosca exterior
14
Sector de sujeción
15
Rosca exterior
16
Elemento piezoeléctrico
16a
Disco
16b
Disco
17a
Abertura
17b
Abertura
18
Órgano de sujeción, muelle tensor
18a
Zonas del muelle tensor
18b
Zonas del muelle tensor
18c
Zonas del muelle tensor
19
Rosca interior
22
Escotadura periférica
24
Escotadura periférica
25
Material amortiguador
26
Masa de relleno
27
Eje longitudinal
28
Electrodo
32
Conexión
34
Superficie de emisión y/o de recepción
36
Canal
38
Líneas de conexión
50
Sector terminal de forma de placa.

Claims (11)

1. Transductor de ultrasonidos, en especial del tipo de oscilador longitudinal, con al menos un elemento (16) piezoeléctrico dispuesto entre dos sectores (12, 14) de sujeción,
estando previsto al menos un órgano (18) de sujeción que actúa en combinación con los sectores (12, 14) de sujeción, de tal manera que el elemento (16) piezoeléctrico está tensado previamente por los sectores (12, 14) de sujeción,
estando configurado el órgano (18) de sujeción como muelle tensor de forma anular, y presentando una pared,
caracterizado porque en la pared está configurada al menos una escotadura (22, 24) periférica que presta a la pared un efecto elástico en dirección axial.
2. Transductor de ultrasonidos según la reivindicación 1, caracterizado porque están previstas dos escotaduras (22, 24) periféricas distanciadas axialmente.
3. Transductor de ultrasonidos según la reivindicación 1 ó 2, caracterizado porque el espectro de oscilaciones propias del muelle (18) tensor, está optimizado en función del respectivo transductor de ultrasonidos, en especial, de su gama de frecuencias de trabajo.
4. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el muelle (18) tensor está configurado de tal manera que en la gama de frecuencias de trabajo del transductor de ultrasonidos, están impedidas las oscilaciones propias del muelle (18) tensor.
5. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el muelle (18) tensor está configurado de tal manera que están suprimidos fenómenos transitorios y/o vibratorios que se provoquen por oscilaciones propias del muelle (18) tensor, fuera de la gama de frecuencias de trabajo del transductor de ultrasonidos.
6. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la escotadura (22, 24) periférica está rellena al menos parcialmente con un material amortiguador de las oscilaciones, en especial con una masa (26) de relleno.
7. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la escotadura (22, 24) periférica es de forma de rendija o de hendidura.
8. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la escotadura (22, 24) periférica presenta una sección transversal rectangular.
9. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque las superficies limitadoras axiales de la escotadura (22, 24) periférica, discurren perpendiculares al eje (27) longitudinal del muelle tensor.
10. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la pared del muelle (18) tensor, está completamente cortada en la escotadura (22, 24) periférica.
11. Transductor de ultrasonidos según alguna de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el muelle (18) tensor, en la zona de la escotadura (22, 24) periférica, está ensanchado radialmente hacia fuera, respecto a sus sectores frontales del borde.
ES01119332T 2000-08-17 2001-08-10 Transductor piezoelectrico de sonidos. Expired - Lifetime ES2280287T3 (es)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10040344 2000-08-17
DE10040344A DE10040344A1 (de) 2000-08-17 2000-08-17 Ultraschallwandler

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2280287T3 true ES2280287T3 (es) 2007-09-16

Family

ID=7652836

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES01119332T Expired - Lifetime ES2280287T3 (es) 2000-08-17 2001-08-10 Transductor piezoelectrico de sonidos.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6570295B2 (es)
EP (1) EP1181988B1 (es)
AT (1) ATE357980T1 (es)
DE (2) DE10040344A1 (es)
ES (1) ES2280287T3 (es)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10229925A1 (de) * 2002-07-04 2004-01-15 Sick Engineering Gmbh Vorrichtung zum Messen der Strömungsgeschwindigkeit und/oder des Durchflusses eines Fluids
DE10341422A1 (de) * 2003-09-09 2005-03-31 Sick Engineering Gmbh Ultraschallwandleranordnung
US8087297B2 (en) * 2004-03-04 2012-01-03 Ludwiczak Damian R Vibrating debris remover
WO2006127870A2 (en) * 2005-05-25 2006-11-30 Nsk Corporation Monitoring device and method
WO2008147325A1 (en) * 2007-06-01 2008-12-04 Axsensor Ab Piezoelectric transducer device
DE102008031679A1 (de) * 2008-07-04 2010-01-07 Krones Ag Prüfvorrichtung für Behältnisse
AT509922B1 (de) 2011-06-24 2013-10-15 Avl List Gmbh Kapazitiver ultraschallwandler
DE102022107092B4 (de) 2022-03-25 2023-12-07 Krohne Ag Ultraschallwandler

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2352311A (en) * 1941-02-07 1944-06-27 Edison Inc Thomas A Oscillation translating device
US2411401A (en) * 1942-07-28 1946-11-19 Westinghouse Electric Corp Accelerometer
US3351787A (en) * 1965-01-11 1967-11-07 Kistler Instr Corp Accelerometer
US3393331A (en) * 1966-02-28 1968-07-16 Continental Oil Co High-temperature probe
CA933276A (en) * 1971-02-05 1973-09-04 J. Last Anthony Ultrasonic motor
GB1430227A (en) * 1973-03-07 1976-03-31 Taga Electric Co Ltd Transducers
US3860901A (en) * 1973-06-01 1975-01-14 Raytheon Co Wide band transducer
US4193009A (en) * 1976-01-26 1980-03-11 Durley Benton A Iii Ultrasonic piezoelectric transducer using a rubber mounting
US4757227A (en) * 1986-03-24 1988-07-12 Intersonics Incorporated Transducer for producing sound of very high intensity
JP2538033B2 (ja) * 1989-02-28 1996-09-25 松下電器産業株式会社 平面型超音波アクチュエ―タ
US5319278A (en) * 1992-06-05 1994-06-07 Nec Corporation Longitudinal-torsional resonance ultrasonic motor with improved support structure
JP3138973B2 (ja) * 1992-12-24 2001-02-26 株式会社新川 ボンデイング装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE10040344A1 (de) 2002-02-28
ATE357980T1 (de) 2007-04-15
US6570295B2 (en) 2003-05-27
US20020041130A1 (en) 2002-04-11
EP1181988A3 (de) 2004-10-20
EP1181988A2 (de) 2002-02-27
DE50112259D1 (de) 2007-05-10
EP1181988B1 (de) 2007-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2280287T3 (es) Transductor piezoelectrico de sonidos.
KR101567387B1 (ko) 감쇄 수단을 구비하는 툴 홀더
US4889328A (en) Insulator for use in automotive suspension or the like
US8125321B2 (en) Obstacle detecting device
ES2728623T3 (es) Amortiguador
ES2694631T3 (es) Soporte de herramienta de corte con unidad de peso de absorción de vibraciones
US6554112B2 (en) Vibration-damping device for vehicle
KR101878370B1 (ko) 진동 감쇠 장치
ES2140127T3 (es) Dispositivo acustico.
US8220583B2 (en) Acoustic isolator section
AR051709A1 (es) Recipiente que tiene la funcion de detectar liquido
RU2285835C1 (ru) Тарельчатый виброизолятор кочетовых
JPH01119200A (ja) 超音波変換器
US10452027B2 (en) Shock-absorber device, in particular for a micromechanical clockwork component
JP6364475B2 (ja) 超音波溶接のための装置
ES2086595T3 (es) Soporte elastico de motor.
US20070221460A1 (en) Vibration damping device for internal combustion engine
US20110011199A1 (en) Damped rotary encoder
ES2894737T3 (es) Dispositivo de aislamiento de vibraciones, amortiguador asociado y uso de dicho amortiguador
EP0039986B1 (en) An acoustic transducer system
US6504795B1 (en) Arrangement of micromechanical ultrasound transducers
ES2227108T3 (es) Arbol roscado con bolas circulantes, provisto de medios para controlar las vibraciones.
US4589638A (en) Decoupling diaphragm for two-chamber engine mounts
JPH02271125A (ja) エンジン取付台
US6773352B2 (en) Elastomer bearing