ES2272591T3 - Microobturador optico controlado electrostaticamente y matriz de microobturadores con control simplificado. - Google Patents
Microobturador optico controlado electrostaticamente y matriz de microobturadores con control simplificado. Download PDFInfo
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Abstract
Procedimiento de funcionamiento de una matriz de microobturadores ópticos controlados electrostáticamente (2), comprendiendo dichos obturadores ópticos (2): un sustrato (3) compuesto por una lámina de material transparente, un primer electrodo (4) compuesto por una película de material conductor transparente aplicado a un lado de la lámina que compone el sustrato (3), una capa dieléctrica (5), también transparente, aplicada sobre la película que compone el primer electrodo (4), y un pétalo móvil (6) que comprende una película fina (6a) de material conductor, que constituye un segundo electrodo, con un extremo conectado a la capa dieléctrica (5) y que se puede desplazar desde una posición de descanso, en la que es posible el paso de luz a través del sustrato (3), hasta una condición desenrollada sobre la capa dieléctrica, en la que se prohibe el paso de luz mediante la adhesión electrostática provocada por la aplicación de una diferencia en el potencial entre el primer electrodo (4) y el segundo electrodo (6a), en el que una parte del pétalo (6c) inmediatamente adyacente a su extremo que está conectado a la capa dieléctrica (5) presenta una superficie encarada a la capa dieléctrica que está separada de ésta, de manera que, con el fin de provocar el desenrollado del pétalo (6) en la capa dieléctrica (5), resulta necesario aplicar una diferencia de potencial entre los dos electrodos (4, 6a) de un valor predeterminado V, por encima del valor requerido para superar la fuerza elástica del pétalo que empuja dicho pétalo hacia su condición de descanso, mientras que con el fin de mantener el pétalo en su condición desenrollada resulta suficiente la aplicación de una diferencia de potencial por debajo del valor predeterminado V mencionado anteriormente, en el que dicha pluralidad de microobturadores está dispuesta en filas (r) y columnas (c), y en el que, asociados a dicha matriz, están dispuestos unos medios para aplicar un voltaje eléctrico entre los electrodos (4, 6a) de todos los microobturadores (2) de la matriz, siendo dichos medios adecuados para enviar una señal de voltaje común a un primer electrodo (6a) de todos los microobturadores de cada fila (r), y una señal de voltaje común al otro electrodo (4) de todos los microobturadores de cada columna (c), estando dicho procedimiento caracterizado porque: se envía una señal de voltaje continuo eléctrico igual a V/2 a cada columna (c) siempre que el estado de los obturadores de la columna no se deba modificar, y se envía una primera señal de voltaje alterno de onda cuadrada, que oscila entre los valores 0 y V, a cada una de las columnas, cada vez que se deba modificar el estado de por lo menos uno de los obturadores de la columna, y se envía una segunda señal de voltaje alterno de onda cuadrada, que oscila entre 0 y V y en fase con la primera señal, a cada una de las filas cada vez que por lo menos un microobturador de la fila se deba llevar o mantener en una condición abierta, y se envía una tercera señal de voltajealterno de onda cuadrada, que oscila entre 0 y V, desfasada en medio periodo con respecto a la primera señal a cada fila, cada vez que por lo menos un microobturador se tenga que llevar a o mantener en la condición cerrada.
Description
Microobturador óptico controlado
electrostáticamente y matriz de microobturadores con control
simplificado.
La presente invención se refiere a dispositivos
microobturadores ópticos controlados electrostáticamente, del tipo
que comprenden:
un sustrato compuesto por una lámina de material
transparente,
un primer electrodo compuesto por una película
de material conductor transparente aplicado a un lado de la lámina
que compone el sustrato,
una capa dieléctrica, también transparente,
aplicada sobre la película que compone el primer electrodo, y
un pétalo móvil que comprende una película fina
de material conductor, que constituye un segundo electrodo, con un
extremo conectado a la capa dieléctrica y que se puede desplazar
desde una posición de descanso enrollada, en la que es posible el
paso de luz a través del sustrato, hasta una condición desenrollada
sobre la capa dieléctrica, en la que se prohíbe el paso de luz
mediante la adhesión electrostática provocada por la aplicación de
una diferencia en el potencial entre el primer electrodo y el
segundo
electrodo.
electrodo.
Un dispositivo microobturador del tipo
mencionado anteriormente se describe e ilustra en la solicitud de
patente europea EP-A-1 008 885 del
mismo solicitante.
En particular, la invención se refiere a un
procedimiento de funcionamiento de una matriz de microobturadores
ópticos del tipo indicado en el preámbulo de la reivindicación 1. Se
conoce una matriz de este tipo a partir del documento US nº
5.233.459 A.
El objetivo de la presente invención es mejorar
el dispositivo conocido produciendo un microobturador que se pueda
controlar de un modo sencillo y eficiente y que, en particular,
permita el control sencillo y eficiente de una matriz compuesta por
una pluralidad de microobturadores idénticos entre sí.
Con la intención de alcanzar este objetivo, el
objeto de la invención es un procedimiento provisto de las
características de la reivindicación 1.
En un ejemplo práctico de forma de realización,
la superficie inferior del pétalo adyacente a su extremo conectado
a la capa dieléctrica presenta la forma de un escalón, de manera que
define la parte de superficie separada de la superficie dieléctrica
mencionada anteriormente. Debido a la existencia de esta separación,
la diferencia en el potencial que se debe aplicar a los electrodos
con el fin de provocar el desenrollado del pétalo no es únicamente
la diferencia requerida para superar la fuerza de retorno elástico
del pétalo hacia su condición rizada. Sin embargo, una vez se
desenrolla el pétalo sobre la superficie del dieléctrico, el voltaje
requerido para mantenerlo en esta condición es sólo sustancialmente
el voltaje requerido para superar la fuerza de retorno elástico.
Por ejemplo, si se consigue el desenrollado del pétalo en el
dieléctrico, que se traduce en la condición de cerrado de la
ventana controlada por el microobturador, que se consigue con la
aplicación de un voltaje predeterminado V, el valor de voltaje
requerido para mantener el pétalo en la condición desenrollada puede
ser muy inferior, por ejemplo incluso menor de V/2. Gracias a esta
característica, se puede conseguir un control simplificado y
eficiente del microobturador. De hecho, existe un valor de voltaje
(V) que sin duda provoca que el microobturador se mueva hasta la
condición cerrada. Existe también otro valor (como por ejemplo V/2)
que sin duda mantiene el microobturador en la condición en la que se
encuentra. De hecho, si el microobturador se encuentra en la
condición cerrada, el voltaje V/2 lo mantendrá en esta condición,
que resulta suficiente para superar la fuerza de retorno elástico
del pétalo. Si el microobturador se encuentra en la condición
abierta, es decir enrollado, el voltaje V/2 lo mantendrá en esta
condición, ya que resulta insuficiente como para provocar que se
desenrolle el pétalo sobre la capa dieléctrica.
Gracias a las características mencionadas
anteriormente, se puede controlar la matriz de los microobturadores
de un modo simplificado. En la práctica, la exploración del estado
del microobturador se lleva a cabo en columnas. Esto significa que
en todo momento se suministra a una columna específica, aquélla en
la que se va a controlar el estado de los microobturadores, una
señal de voltaje alterno de 0-V, mientras que a las
otras columnas se les suministra una señal de voltaje continuo V/2,
de manera que los microobturadores de las columnas restantes sin
duda permanecen en la condición en la que se encontraban. Después de
establecer la columna en la que se realiza la exploración por medio
de la aplicación de la señal de voltaje alterno 0-V,
el estado del microobturador dispuesto en dicha columna se
determinará mediante la señal enviada a las filas correspondientes.
Los microobturadores de la columna asignada que se encuentren en
filas a las que se envía una señal de voltaje alterno
0-V sin duda se desplazarán a una condición
abierta, o permanecerán abiertos si ya se encuentran en dicha
condición, ya que la diferencia en el potencial aplicado a sus
electrodos resultará equivalente a 0. Los microobturadores de la
columna asignada que, al contrario, se encuentren en filas a las que
se ha suministrado una señal de voltaje alterno desfasado en medio
periodo con respecto a la señal anterior, sin duda se desplazarán
hasta una condición cerrada o permanecerán cerrados si ya se
encuentran en dicha condición, ya que la diferencia en el potencial
aplicado a sus electrodos es equivalente a V. Así, después de
controlar el estado de los microobturadores en una primera columna,
el sistema repetirá este procedimiento en una nueva columna, que en
este caso será la única a la que se suministrará una señal de
voltaje alterno 0-V, ya que a las columnas restantes
se les suministra una señal de voltaje continuo V/2. Una vez más,
los microobturadores dispuestos en la columna que se está
explorando se abrirán o cerrarán dependiendo de si a la fila en la
que se encuentran se le suministra una señal de voltaje alterno
0-V o una señal de voltaje alterno desfasado en
medio periodo en comparación con la señal anterior.
Por lo tanto, el sistema puede realizar la
exploración sencilla y eficiente de la totalidad de los
microobturadores de la matriz. Cada uno de dichos microobturadores,
o cada grupo de microobturadores, puede corresponder a un píxel,
por ejemplo de un visualizador u otros sistemas de visión, que, de
este modo, se puede controlar eficientemente con el fin de generar
una imagen para su visión.
A partir de la descripción siguiente se pondrán
de manifiesto otras características y ventajas, haciendo referencia
a los dibujos adjuntos que se proporcionan únicamente a título de
ejemplo no limitativo, en los que:
la Figura 1 es una vista esquemática ampliada en
perspectiva de una forma de realización preferida de una matriz de
microobturadores según la invención,
la Figura 2 es una vista a una escala ampliada
de un detalle de la Figura 1 indicado con la flecha II,
la Figura 3 es una vista en sección también a
escala ampliada de un detalle indicado por la flecha III en la
Figura 2,
la Figura 4 es un diagrama que ilustra el bucle
de histéresis de cada microobturador,
la Figura 5 es un diagrama que ilustra el
principio básico aprovechado por el sistema para controlar la matriz
según la presente invención, y
las Figuras 6, 7 ilustran dos tipos de señales
de voltaje suministrados a la matriz de microobturadores según la
invención.
En la Figura 1, el número de referencia 1 indica
en general una matriz de microobturadores ópticos según la presente
invención. La figura únicamente muestra una parte de la matriz que,
por ejemplo, se puede utilizar para realizar un visualizador de
cualquier tipo, como un visualizador para un panel de instrumentos
de un salpicadero de un vehículo automóvil, en el que cada píxel
del visualizador viene definido por un microobturador o un grupo de
microobturadores. Tal como se puede apreciar en la Figura 3, cada
uno de los microobturadores, indicado en general con el número de
referencia 2, comprende un soporte fijo que incluye un sustrato 3
compuesto por una lámina realizada en material de vidrio o
plástico, transparente a la luz, con un grosor de unos cuantos
milímetros o centímetros. Se realiza una capa 4 de material
conductor transparente a la luz (como el ITO, es decir óxido de
indio-estaño) de un grosor de unas pocas decenas o
unos pocos de cientos de nanómetros, sobre la superficie del
sustrato 3 por evaporación, recubrimiento por rotación, impresión
mediante serigrafía o inmersión. La capa conductora 4
posteriormente se aísla con una capa 5 de material aislante
ferroeléctrico o dieléctrico transparente a la luz, cuyo grosor
puede variar entre 0,1 micras y unas pocas decenas de micras. Dicha
capa se puede obtener mediante impresión por serigrafía,
recubrimiento por rotación o inmersión.
El número de referencia 6 indica la parte móvil
del dispositivo que está compuesta por una película dieléctrica de
unas pocas micras de grosor, con una capa de recubrimiento metálica
6a en su lado encarado a la capa dieléctrica 5. El pétalo 6 está
fijado a un extremo de dicha capa dieléctrica del soporte fijo, de
manera que la parte recubierta de metal se encuentra en contacto
con el sustrato. La película 6 es una película elástica que en la
condición no deformada está enrollada tal como se puede apreciar en
la Figura 1. Las dimensiones de la película pueden variar según el
tipo de microobturador requerido. Aplicando un voltaje eléctrico
entre la capa con recubrimiento metálico 6a del pétalo 6 y el
electrodo 4 transparente a la luz, el pétalo 6 se desenrolla sobre
la superficie del sustrato 3, mediante electroestaticidad, evitando
el paso de los rayos de luz (condición cerrada del
microobturador).
Tal como se puede apreciar en la Figura 3, la
superficie de recubrimiento metálico del pétalo 6 presenta un
escalón 7 adyacente al extremo 6b del pétalo que está conectado al
soporte fijo, de manera que la parte 6c del pétalo adyacente al
extremo 6b presenta su superficie con recubrimiento metálico 6a
encarada a la capa dieléctrica 5 ligeramente separada de la última.
Debido a esta característica, el voltaje eléctrico que se debe
aplicar entre los electrodos 6a para obtener la adhesión por medio
de la electroestaticidad del pétalo 6 a la superficie de la capa
dieléctrica 5 presenta un valor V que es mayor que simplemente el
valor necesario para superar la fuerza de la reacción elástica del
pétalo que tiende a retornar dicho pétalo hacia la configuración
enrollada. En la Figura 3, la posición desenrollada de la parte 6c
sobre la capa dieléctrica se muestra con una línea discontinua.
Debido a la separación provocada por el escalón 7, tal como ya se ha
mencionado, esta condición se consigue aplicando un valor de
voltaje V mayor que el valor requerido para superar la fuerza de la
reacción elástica del pétalo. Por el mismo motivo, una vez que el
pétalo 6 se encuentra en la condición desenrollada sobre la capa
dieléctrica 5, se puede mantener adherido al pétalo aplicando un
voltaje muy inferior que el valor V requerido para provocar el
cierre del microobturador, como un valor por debajo del valor V/2.
Esta situación se representa en el diagrama de la Figura 4, que
muestra la variación en la transmitancia a través del soporte
transparente cuando se varía el voltaje aplicado entre los
electrodos de un microobturador específico. En el diagrama de la
Figura 4, el punto A corresponde al microobturador en una condición
abierta. En esta condición, no se aplica voltaje a los electrodos
del microobturador, y el pétalo 6 se enrolla, de manera que la
transmitancia a través del soporte transparente fijo es la máxima.
Cuando se encuentra en esta condición, el microobturador se cierra
llevando el voltaje hasta un valor V (punto B del diagrama). Si no
se proporcionase el escalón 7, se obtendría el cierre del
microobturador en un punto B^{I}, es decir a un valor de voltaje
muy inferior. Sin embargo, debido al escalón 7, el obturador se
cierra únicamente después de alcanzar el valor de voltaje V, y por
lo tanto la transmitancia cae rápidamente a 0 (punto C en el
diagrama). En este punto, incluso si re reduce el valor de voltaje
eléctrico, el pétalo permanece adherido, hasta que alcanza un punto
D correspondiente al valor de voltaje requerido para superar la
fuerza de la reacción eléctrica del pétalo. Por debajo de este
valor, prevalece la fuerza de la reacción elástica del pétalo, de
modo que el pétalo se enrolla otra vez y la transmitancia retorna
al máximo (punto B^{I}). A continuación, el microobturador
realiza un bucle de histéresis que se puede aprovechar para realizar
un control simplificado y eficiente de la matriz. De hecho, debido
a los motivos expuestos anteriormente, aplicando un valor de voltaje
V a los electrodos del microobturador, éste se cerrará, sin duda,
si el microobturador se ha abierto con anterioridad, o permanecerá
cerrado si ya se encontraba en la condición cerrada. Al contrario,
aplicando un valor de voltaje inferior, como un valor establecido
por conveniencia igual a V/2, el microobturador sin duda permanecerá
en el mismo estado, es decir permanecerá abierto si ya está abierto
(ya que el voltaje V/2 no resulta suficiente como para cerrarlo) o
permanecerá cerrado si ya se encontraba en una posición cerrada, ya
que el voltaje V/2 en cualquier caso resulta suficiente para
mantener el pétalo desenrollado.
En la forma de realización preferida, esto se
consigue de la forma siguiente. Únicamente a título de ejemplo, la
Figura 5 muestra una matriz según la invención compuesta por nueve
microobturadores dispuestos en tres filas r1, r2, r3 y tres
columnas c1, c2, c3. La Figura 5 muestra únicamente a título de
ejemplo, una condición específica de la matriz, en la que algunos
microobturadores se encuentran en la condición cerrada (círculos
negros) y algunos microobturadores se encuentran en la condición
abierta (círculos blancos).
A la matriz según la invención se asocian medios
8 (que se muestran esquemáticamente en la Figura 3) para aplicar
una diferencia de potencial entre los dos electrodos de cada
microobturador. Dichos medios 8 son adecuados para controlar la
situación de la matriz en la Figura 5 en todo momento, llevando a
cabo la exploración, por ejemplo según la columna. Con este
objetivo, suministran una señal de voltaje común al primer electrodo
4 de todos los microobturadores que se encuentran en la misma
columna c, al tiempo que, del mismo modo, envían una señal de
voltaje común a los segundos electrodos 6a de todos los
microobturadores que se encuentran en la misma fila r.
Todavía con respecto a la forma de realización
específica según la invención, se envía una señal de voltaje
continuo igual a V/2 a cada columna (siendo V el valor de voltaje
predeterminado que se muestra en la Figura 4 requerido para
provocar el cierre del microobturador cuando se encuentra en la
posición abierta). Dicha señal de voltaje continuo V/2 se envía al
primer electrodo 4 de todos los microobturadores de una misma
columna, siempre que no se tenga que modificar el estado de dichos
microobturadores. Sin embargo, cuando se tenga que modificar el
estado de uno o más de los microobturadores en una misma columna, se
suministra al primer electrodo 4 de los microobturadores que se
encuentre en dicha columna una señal de voltaje alterno con una onda
cuadrada, que oscila entre los valores 0 y V, del tipo que se
muestra en la Figura 6.
Además, al segundo electrodo 6a de los
microobturadores que se encuentra en la misma fila se le suministra
una señal de voltaje alterno de onda cuadrada, variable de 0 a V
(Figura 6) cada vez que uno o más de los microobturadores en la
fila se deba llevar a la condición de abierto, mientras que la señal
suministrada a la fila es una señal de voltaje alterno de onda
cuadrada desfasado en medio periodo con respecto a la anterior
(Figura 7) cuando uno o más microobturadores en la fila se deba
llevar a la condición cerrada.
Tal como ya se ha mencionado, la exploración de
la matriz se lleva a cabo según la columna. Por lo tanto, por
ejemplo, si deseamos empezar a controlar el estado de los
microobturadores en la columna c1, la señal suministrada en dicha
columna será una señal de voltaje alterno de onda cuadrada variable
de 0 a V (Figura 6), mientras que las señales suministradas a las
columnas c2 y c3 serán señales de voltaje continuas iguales a V/2.
En esta fase, si se desea llevar el microobturador
r1-c1 a la condición cerrada, tal como se muestra,
resultará necesario suministrar a la fila r1 una señal de voltaje
alterno desfasado en medio periodo (Figura 7), mientras que a las
filas r2 y r3 se les suministrará una señal de voltaje alterno
0-V (Figura 6), de manera que abra los
microobturadores r2-c1 y r3-c1. De
hecho, en el microobturador r1-c1, al electrodo 4 se
le suministra una señal de voltaje alterno 0-V
(Figura 6), mientras que al electrodo 6a se le envía una señal igual
y opuesta (Figura 7). Como consecuencia, se establece una
diferencia de potencial igual a V entre los dos electrodos del
microobturador r1-c1, de manera que dicho
microobturador se cierre (si estaba abierto) o permanezca cerrado,
si ya lo estaba. Al contrario, en los microobturadores
r2-c1 y r3-c1, a los dos electrodos
4 y 6a se les suministra la misma señal de voltaje alterno (Figura
6), de manera que la diferencia de potencial entre los electrodos
de dichos microobturadores es 0 y, por lo tanto, se abren (si
estaban cerrados) o permanecen cerrados (si ya lo estaban).
Por último, durante la fase descrita
anteriormente, los microobturadores que se encuentran en las
columnas c2 y c3, al contrario, permanecen en la situación en la
que se encuentren. De hecho, cuando se suministra una señal de
voltaje continuo igual a V/2 en las columnas, la diferencia de
potencial aplicada a los electrodos de cada uno de dichos
microobturadores es igual a V/2 tanto cuando éstos se encuentran en
una fila a la que se ha suministrado la señal de la Figura 6, como
cuando se encuentran en una fila a la que se suministra la señal de
la Figura 7. El voltaje V/2 resulta suficiente como para mantener
dichos obturadores cerrados cuando se encuentran cerrados, mientras
que no es suficiente como para cerrarlos, si están abiertos. Por lo
tanto, cada uno de los microobturadores de las columnas c2, c3, en
esta fase, permanece en la condición en la que se encuentra.
Así, la exploración se lleva a cabo en la
columna c2. En esta fase, la señal suministrada en la columna c2 se
convierte en una señal de voltaje alterno de onda cuadrada que
oscila entre 0 y V (la señal de la Figura 6), mientras que la señal
de voltaje continuo V/2 se suministra en las columnas c1 y c3. Si
deseamos obtener la situación que se muestra en la Figura 5 para
los microobturadores que se encuentran en la columna c2, a cada una
de las filas r1 y r3 se le suministra la señal de la Figura 6, y a
la fila r2 se le suministra la señal de la Figura 7. De forma
similar, durante la exploración de la tercera columna c3, únicamente
a esta columna se le suministra la señal de la Figura 6, mientras
que a las otras columnas se les suministra la señal de voltaje
continuo igual a V/2. En esta fase, a las filas r1 y r3 se les
suministra la señal de voltaje alterno desfasado en medio periodo
(Figura 7), mientras que a la fila r2 se le suministra la señal de
voltaje alterno de onda cuadrada que se muestra en la Figura 6.
Como conclusión, la disposición del escalón 7 en
cada microobturador hace que resulte posible obtener un valor de
voltaje V que sin duda provoca el cierre del microobturador, y un
valor inferior (en este caso por conveniencia seleccionado igual a
V/2) que sin duda mantiene el microobturador en la condición en la
que se encuentra. Por lo tanto, se puede realizar el control
simplificado y eficiente del estado de la matriz, según el ejemplo
descrito anteriormente.
Claims (2)
1. Procedimiento de funcionamiento de una matriz
de microobturadores ópticos controlados electrostáticamente (2),
comprendiendo dichos obturadores ópticos (2):
un sustrato (3) compuesto por una lámina de
material transparente,
un primer electrodo (4) compuesto por una
película de material conductor transparente aplicado a un lado de la
lámina que compone el sustrato (3),
una capa dieléctrica (5), también transparente,
aplicada sobre la película que compone el primer electrodo (4),
y
un pétalo móvil (6) que comprende una película
fina (6a) de material conductor, que constituye un segundo
electrodo, con un extremo conectado a la capa dieléctrica (5) y que
se puede desplazar desde una posición de descanso, en la que es
posible el paso de luz a través del sustrato (3), hasta una
condición desenrollada sobre la capa dieléctrica, en la que se
prohibe el paso de luz mediante la adhesión electrostática provocada
por la aplicación de una diferencia en el potencial entre el primer
electrodo (4) y el segundo electrodo (6a),
en el que una parte del pétalo (6c)
inmediatamente adyacente a su extremo que está conectado a la capa
dieléctrica (5) presenta una superficie encarada a la capa
dieléctrica que está separada de ésta, de manera que, con el fin de
provocar el desenrollado del pétalo (6) en la capa dieléctrica (5),
resulta necesario aplicar una diferencia de potencial entre los dos
electrodos (4, 6a) de un valor predeterminado V, por encima del
valor requerido para superar la fuerza elástica del pétalo que
empuja dicho pétalo hacia su condición de descanso, mientras que
con el fin de mantener el pétalo en su condición desenrollada
resulta suficiente la aplicación de una diferencia de potencial por
debajo del valor predeterminado V mencionado anteriormente,
en el que dicha pluralidad de microobturadores
está dispuesta en filas (r) y columnas (c), y
en el que, asociados a dicha matriz, están
dispuestos unos medios para aplicar un voltaje eléctrico entre los
electrodos (4, 6a) de todos los microobturadores (2) de la matriz,
siendo dichos medios adecuados para enviar una señal de voltaje
común a un primer electrodo (6a) de todos los microobturadores de
cada fila (r), y una señal de voltaje común al otro electrodo (4)
de todos los microobturadores de cada columna (c),
estando dicho procedimiento caracterizado
porque:
se envía una señal de voltaje continuo eléctrico
igual a V/2 a cada columna (c) siempre que el estado de los
obturadores de la columna no se deba modificar, y se envía una
primera señal de voltaje alterno de onda cuadrada, que oscila entre
los valores 0 y V, a cada una de las columnas, cada vez que se deba
modificar el estado de por lo menos uno de los obturadores de la
columna, y
se envía una segunda señal de voltaje alterno de
onda cuadrada, que oscila entre 0 y V y en fase con la primera
señal, a cada una de las filas cada vez que por lo menos un
microobturador de la fila se deba llevar o mantener en una
condición abierta, y se envía una tercera señal de voltaje alterno
de onda cuadrada, que oscila entre 0 y V, desfasada en medio
periodo con respecto a la primera señal a cada fila, cada vez que
por lo menos un microobturador se tenga que llevar a o mantener en
la condición cerrada.
2. Procedimiento según la reivindicación 1,
caracterizado porque la superficie inferior del pétalo (6)
adyacente a su extremo conectado a la capa dieléctrica (5) presenta
la forma de un escalón (7), de manera que define la parte de
superficie separada de la superficie de la capa dieléctrica
mencionada anteriormente.
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