ES2146864T3 - Procedimiento y dispositivo para la determinacion del espesor de capa, la conductibilidad y/o la calidad de contacto de capa de capas aplicadas sobre substratos. - Google Patents

Procedimiento y dispositivo para la determinacion del espesor de capa, la conductibilidad y/o la calidad de contacto de capa de capas aplicadas sobre substratos.

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ES2146864T3 ES96900528T ES96900528T ES2146864T3 ES 2146864 T3 ES2146864 T3 ES 2146864T3 ES 96900528 T ES96900528 T ES 96900528T ES 96900528 T ES96900528 T ES 96900528T ES 2146864 T3 ES2146864 T3 ES 2146864T3
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Abstract

LA INVENCION SE REFIERE A UN METODO PARA LA DETERMINACION DEL ESPESOR O ESPESORES DE CAPA, LA CONDUCTIVIDAD TERMICA Y/O LA CALIDAD DEL CONTACTO DE CAPAS O SISTEMAS DE CAPAS COLOCADAS SOBRE SUSTRATOS CON MEDIOS FOTOTERMICOS, EN EL QUE SE DIRIGE LA LUZ SOBRE LA CAPA A DETERMINAR, IRRADIANDO LA LUZ PULSANTE SOBRE LA CAPA, Y SE MIDEN EL AUMENTO DE LA TEMPERATURA, EL DESCENSO DE LA TEMPERATURA Y /O LA AMPLITUD MAXIMA DEPENDIENTES DEL TIEMPO FOTOTERMICAMENTE CON UN DETECTOR.
ES96900528T 1995-01-13 1996-01-11 Procedimiento y dispositivo para la determinacion del espesor de capa, la conductibilidad y/o la calidad de contacto de capa de capas aplicadas sobre substratos. Expired - Lifetime ES2146864T5 (es)

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7409313B2 (en) * 2005-12-16 2008-08-05 General Electric Company Method and apparatus for nondestructive evaluation of insulative coating

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2191738A5 (es) * 1972-06-30 1974-02-01 Commissariat Energie Atomique
FI63115C (fi) 1980-06-10 1983-04-11 Valmet Oy Foerfarande foer undersoekning av ytkvaliteten av material i fasttillstaond och anordning foer genomfoerande av foerfarandet
US4818118A (en) * 1984-11-26 1989-04-04 General Electric Company Coating thickness measurement
FR2593917B1 (fr) * 1986-02-06 1988-06-03 Univ Reims Champagne Ardenne Procede et dispositif d'analyse et de mesure des parametres physiques d'un materiau en couches par radiometrie thermique
DE3937905C1 (es) * 1989-11-15 1991-05-23 Dornier Gmbh, 7990 Friedrichshafen, De
DE3939877A1 (de) 1989-12-01 1991-06-06 Siemens Ag Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen
FR2663745B1 (fr) * 1990-06-21 1992-10-09 Reims Chamapgne Ardenne Univer Dispositif d'analyse photothermique de materiaux minces.

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