EP4721205A1 - Lasersystem und verfahren zur bereitstellung von arbeitslaserpulsen zur wechselwirkung mit targets sowie zugehöriges computerprogrammprodukt - Google Patents

Lasersystem und verfahren zur bereitstellung von arbeitslaserpulsen zur wechselwirkung mit targets sowie zugehöriges computerprogrammprodukt

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EP4721205A1
EP4721205A1 EP24729293.1A EP24729293A EP4721205A1 EP 4721205 A1 EP4721205 A1 EP 4721205A1 EP 24729293 A EP24729293 A EP 24729293A EP 4721205 A1 EP4721205 A1 EP 4721205A1
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EP
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working
laser
laser pulse
working laser
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EP24729293.1A
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Jonathan BRONS
Stephan HAEFNER
Dirk Sutter
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Trumpf Laser GmbH
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Trumpf Laser GmbH
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Abstract

Lasersystem (1) zur Bereitstellung von Arbeitslaserpulsen (2, 2') zur Wechselwirkung mit Targets (3), welche periodisch oder bis auf einen Periodenfehler periodisch nacheinander einen Zielbereich (4) durchlaufen, umfasst eine Laserpulsabgabevorrichtung (6) zur Abgabe von Arbeitslaserpulsen (2, 2'), wobei jedem Target (3) mindestens ein Arbeitslaserpuls (2, 2') zugeordnet ist, und eine die Laserpulsabgabevorrichtung (6) steuernde Steuereinrichtung (7), die eingerichtet ist, den Abgabezeitpunkt eines Arbeitslaserpulses (2, 2') so einzustellen, dass der Arbeitslaserpuls als ein ON-Arbeitslaserpuls (2) im Zielbereich (4) auf ein Target (3) trifft, um mit dem Target (3) wechselzuwirken, oder als ein OFF-Arbeitslaserpuls (2') das Target (3) im Zielbereich (4) zeitlich verfehlt, um nicht mit dem Target (3) wechselzuwirken.

Description

Lasersystem und Verfahren zur Bereitstellung von Arbeitslaserpulsen zur Wechselwirkung mit Targets sowie zugehöriges Computerprogrammprodukt
Die Erfindung betrifft ein Lasersystem und ein Verfahren zur Bereitstellung von Arbeitslaserpulsen zur Wechselwirkung mit Targets, welche periodisch oder bis auf einen Periodenfehler periodisch nacheinander einen Zielbereich durchlaufen, sowie auch ein zugehöriges Computerprogrammprodukt.
Aus US 2022/0317576 A1 ist ein Lasersystem zur Erzeugung von Sekundärstrahlung bekannt, bei dem Laserpulse einen Strom von nahezu gleichmäßig beabstandeten Targets treffen, um die Sekundärstrahlung zu erzeugen. Anhand von detektierter Targetposition und -trajektorie wird ein Triggersignal generiert, das einen Laserpuls anfordert, um mit dem Target wechselzuwirken.
Aus der DE 10 2014 017 568 A1 ist ein Verfahren zum Erzeugen verstärkter Ausgangslaserpulse zu individuell vorgegebenen Zeitpunkten bekannt, die durch freies Triggern mittels eines Pulspickers erzielt werden. Dazu wird ein Hochleistungs-ps- Laser verwendet, der aus einem modengekoppelten Seeder mit einer Pulswiederholrate von einigen 10 MHz, einem Pulspicker, einem Verstärker, einem Modulator und eventuell einer Frequenzkonversionseinheit besteht. Der Pulspicker besteht aus einem Modulator und einem Treiber, mit denen mindestens 3 Niveaus für unterschiedliche Pulsamplituden nach dem Pulspicker gemäß einer Vorgabe eingestellt werden können. In dem Fall, dass der zeitliche Abstand zweier angeforderter Pulse größer ist als der Kehrwert einer nominellen Pulswiederholrate, geht der Treiber auf ein Zwischenniveau über, so dass der Pulspicker Pulse mit einer vordefinierten und geringen Amplitude durchlässt, um die Verstärkung des Lasermediums für konstante Laserparameter zu konditionieren. Aus DE 10 2017 210 272 B3 ist schließlich noch ein Pulse-on-Demand(POD)-Laser- system zum Erzeugen von verstärkten Laserpulsen zu individuell vorgegebenen Zeitpunkten bekannt. Werden beispielsweise Laserpulse mit unterschiedlichen Pulsenergien angefordert, erfolgt eine entsprechende Energiereduzierung durch zeitgesteuertes Teilauskoppeln der in Abhängigkeit ihrer bekannten Pulsabstände zum jeweils unmittelbar vorhergehenden Eingangslaserpuls oder eingefügten vorhergehenden Opferlaserpuls.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein eingangs genanntes Lasersystem und Verfahren anzugeben, mittels welchen ein zur Wechselwirkung mit dem Target vorgesehener Arbeitslaserpuls erzeugbar ist und zugleich eine Kontrollierbarkeit hinsichtlich der Wechselwirkung der Arbeitslaserpulse mit dem Target ermöglicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Lasersystem zur Bereitstellung von Arbeitslaserpulsen zur Wechselwirkung mit Targets gelöst, welche periodisch oder bis auf einen Periodenfehler periodisch nacheinander einen Zielbereich durchlaufen, mit einer Laserpulsabgabevorrichtung zur Abgabe von Arbeitslaserpulsen, wobei jedem Target mindestens ein Arbeitslaserpuls zugeordnet ist, und mit einer die Laserpulsabgabevorrichtung steuernden Steuereinrichtung, die eingerichtet ist, den Abgabezeitpunkt eines Arbeitslaserpulses so einzustellen, dass der Arbeitslaserpuls als ein ON-Arbeitslaserpuls im Zielbereich auf ein Target trifft, um mit dem Target wechselzuwirken, oder als ein OFF-Arbeitslaserpuls das Target im Zielbereich zeitlich verfehlt, um nicht mit dem Target wechselzuwirken.
Erfindungsgemäß trifft der ON-Arbeitslaserpuls auf das im Zielbereich positionierte Target, während der OFF-Arbeitslaserpuls das Target im Zielbereich zeitlich verfehlt. Die Arbeitslaserpulse können nach einem Pulse-on-Demand(POD)-Schema von einem externen Steuersignal angesteuert werden. Die Aufteilung in Arbeits- und Zwischenlaserpulse ermöglicht gegenüber dem Stand der Technik, dass weniger Laserleistungsreserven vorgehalten werden müssen. Die Targets durchlaufen den Zielbereich in Form eines Targetstroms mit zeitlich geringem Jitter.
Vorzugsweise weicht die Pulsenergie der ON-Arbeitslaserpulse von einem Pulsenergie-Mittelwert um weniger als 3 % und insbesondere um weniger als 1 % ab, so dass die ON-Arbeitslaserpulse die gleiche oder nahezu gleiche Pulsenergie zur Wechselwirkung mit den Targets aufweisen.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst die Laserpulsabgabevorrichtung eine von der Steuereinrichtung angesteuerte Laserstrahlquelle zur Erzeugung von Eingangslaserpulsen (Seedlaserpulse) und einen optischen Verstärker zum Verstärken von Eingangslaserpulsen zu den Arbeitslaserpulsen und bedarfsweise zum Verstärken von weiteren Eingangslaserpulsen zu Zwischenlaserpulsen, welche zwischen zwei Arbeitslaserpulsen vorhanden sind. Nach Verstärkung eines ON-Arbeitslaserpulses auf eine vorgegebene Pulsenergie benötigt der optische Verstärker eine verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne, um für einen unmittelbar nachfolgenden ON-Arbeitspuls die gleiche vorgegebene Pulsenergie bereitzustellen. Diese verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne ist durch den für die Verstärkung im optischen Verstärker erforderlichen Inversionsaufbau erforderlich. Die minimal mögliche Periodendauer der Targets ist bevorzugt möglichst größer oder gleich der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne. Die Steuereinrichtung ist insbesondere auch eingerichtet, die Abgabezeitpunkte und/oder die Pulsenergie der den OFF-Arbeitsla- serpulsen und den Zwischenlaserpulsen zugrundeliegenden Eingangslaserpulse und dadurch die im optischen Verstärker gespeicherte Energie so einzustellen, dass die ON-Arbeitslaserpulse jeweils die gleiche vorgegebene Pulsenergie aufweisen.
Zur Stabilisierung der Pulsenergie der treffenden Arbeitslaserpulse kann durch zusätzliche, intern geschaltete Zwischenlaserpulse (Pulse-On-Demand) die extrahierbare Energie des Verstärkersystems angepasst werden. Die Seedenergie der Zwischenlaserpulse kann mit wachsendem Pulsabstand zweier Arbeitslaserpulse immer größer gewählt werden. Um möglichst wenig Energie vernichten zu müssen, kann zusätzlich auch die Seedenergie für die auszulösenden Arbeitslaserpulse mit kürzer werdendem Pulsabstand zweier Arbeitslaserpulse verringert werden. Durch Auslösen von Arbeits- und Zwischenlaserpulsen mit jeweils separaten Energiekompensationsschemata kann eine spezifizierte Energiestabilität zu externen Referenzereignissen (Targets) gewährleistet werden, welche sich mit einer fehlerbehafteten Periodendauer wiederholen. Das externe Steuersignal fordert Laserpulse relativ zu den Referenzereignissen an und steuert, ob jeweils ein Laserpuls vor, zeitgleich oder nach einem jeweilig zugehörigen Referenzereignis ausgelöst werden soll. Vorzugsweise ist die Steuereinrichtung für den Fall, dass ein aktueller ON-Arbeitsla- serpuls unmittelbar einem ON-Arbeitslaserpuls nachfolgt, eingerichtet, die Laserstrahlquelle anzusteuern, den dem aktuellen ON-Arbeitslaserpuls zugrundeliegenden Eingangslaserpuls abzugeben und, falls der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne ist, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen einen im optischen Verstärker zu einem Zwischenlaserpuls verstärkten, weiteren Eingangslaserpuls abzugeben sowie dessen Abgabezeitpunkt und dessen Pulsenergie und dadurch die im optischen Verstärker gespeicherte Energie für den aktuellen ON-Arbeitslaserpuls so einzustellen, dass der aktuelle ON-Arbeitslaserpuls die vorgegebene Pulsenergie aufweist.
Vorzugsweise ist die Steuereinrichtung für den Fall, dass ein aktueller OFF-Arbeitsla- serpuls unmittelbar einem ON-Arbeitslaserpuls nachfolgt, eingerichtet, die Laserstrahlquelle anzusteuern, den dem aktuellen OFF-Arbeitslaserpuls zugrundeliegenden Eingangslaserpuls abzugeben, wobei der zeitliche Abstand des aktuellen OFF- Arbeitslaserpulses zum ON-Arbeitslaserpuls insbesondere kleiner als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne ist. Dabei kann die Steuereinrichtung vorteilhaft eingerichtet sein, die Energie des aktuellen OFF-Arbeitslaserpulses über die Energie des zugrundeliegenden Eingangslaserpulses derart einzustellen, dass ein dem aktuellen OFF-Arbeitslaserpuls unmittelbar nachfolgender ON- oder OFF Arbeitslaserpuls nach der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne wieder die vorgegebene Pulsenergie erreichen kann.
Vorzugsweise ist die Steuereinrichtung für den Fall, dass ein aktueller OFF-Arbeitslaserpuls unmittelbar einem OFF-Arbeitslaserpuls nachfolgt, eingerichtet, die Laserstrahlquelle anzusteuern, den dem aktuellen OFF-Arbeitspuls zugrundeliegenden Eingangslaserpuls abzugeben und, falls der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne ist, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen einen im optischen Verstärker zu einem Zwischenlaserpuls verstärkten, weiteren Eingangslaserpuls abzugeben. Vorzugsweise ist die Steuereinrichtung für den Fall, dass ein aktueller ON-Arbeitsla- serpuls unmittelbar einem OFF-Arbeitslaserpuls nachfolgt, eingerichtet, die Laserstrahlquelle anzusteuern, den dem aktuellen ON-Arbeitspuls zugrundeliegenden Eingangslaserpuls abzugeben und, falls der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne ist, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen einen im optischen Verstärker zu einem Zwischenlaserpuls verstärkten, weiteren Eingangslaserpuls abzugeben sowie dessen Abgabezeitpunkt und dessen Pulsenergie und dadurch die im optischen Verstärker gespeicherte Energie für den aktuellen ON-Arbeitslaserpuls so einzustellen, dass der aktuelle ON-Arbeitslaserpuls die vorgegebene Pulsenergie aufweist.
Die Pulsenergie der OFF-Arbeitslaserpulse und/oder der Zwischenlaserpulse ist vorteilhaft höchstens so hoch wie die vorgegebene Pulsenergie der ON-Arbeitslaser- pulse.
Bevorzugt ist vorgesehen, dass ein OFF-Arbeitslaserpuls den Zielbereich um mindestens einen zeitlichen Mindestabstand früher als das zugehörige Target erreicht, um sicherzustellen, dass keine Wechselwirkung zwischen dem OFF-Arbeitslaserpuls und dem Target stattfindet. Dieser zeitliche Mindestabstand ist größer als die minimal mögliche Periodendauer der Targets.
Insbesondere ist die Steuereinrichtung eingerichtet, einen Zwischenlaserpuls um mindestens eine zweite Mindestzeitspanne vor einem unmittelbar nachfolgenden Arbeitslaserpuls abzugeben.
Vorzugsweise ist die Laserstrahlquelle eingerichtet, die Eingangslaserpulse mit einer konstanten Pulsenergie bereitzustellen.
Um die Pulsenergie der Eingangspulse und damit die Pulsenergie der Arbeits- und Zwischenlaserpulse individuell einstellen zu können, ist dem optischen Verstärker bevorzugt ein von der Steuereinrichtung angesteuerter, optischer Modulator vorgeordnet, der die Eingangslaserpulsenergie, z.B. durch Modulation der Amplitude oder Beschneiden der Pulsflanken, entsprechend moduliert. Bei dem optischen Modulator kann es sich beispielsweise um einen AOM (akusto-optischer Modulator) oder einen EOM (elektro-optischer Modulator) handeln. Das System kann auch eine Verstärkerkette oder eine dem optischen Verstärker nachgeschaltete Frequenzkonversion enthalten, und die Vorrichtung zur Einstellung der Pulsenergie kann vor oder auch zwischen den Verstärkern angeordnet sein.
Besonders bevorzugt weist das Lasersystem einen zwischen dem optischen Verstärker und dem Zielbereich angeordneten Pulsselektor (z.B. AOM oder EOM) auf, der von der Steuerungseinrichtung angesteuert ist, um die Zwischenlaserpulse aus dem weiteren Strahlengang der Arbeitslaserpulse auszuselektieren. So ist sichergestellt, dass die Zwischenlaserpulse nicht zufällig ein Target treffen können. Vorzugsweise werden die ausselektierten Zwischenlaserpulse intern, z.B. mittels einer Strahlfalle, vernichtet. Alternativ können die den Zwischenlaserpulsen zugrundeliegenden Eingangslaserpulse eine andere Wellenlänge aufweisen. Nach ihrer Verstärkung in einem breitbandigen optischen Verstärker werden die Zwischenlaserpulse an einem als spektraler Filter ausgeführten Pulsselektor herausselektiert. Auch könnte man einen Zwischenlaserpuls mit geeigneter Polarisation auslösen, der dann nach dem optischen Verstärker an einem als Polarisationsfilter ausgeführten Pulsselektor herausselektiert wird.
Weiter bevorzugt ist die Steuereinrichtung eingerichtet, mindestens einen Zwischenpuls abzugeben, wenn der zeitliche Abstand des nächsten abzugebenden Arbeitslaserpulses zum vorangegangenen Arbeitslaserpuls größer als eine vorgegebene Maximaldauer ist, welche größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne ist und z.B. die doppelte Mindestzeitspanne betragen kann. In diesem Fall wird von der Steuereinrichtung, z.B. nach der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne, ein Zwischenlaserpuls ausgelöst, der die Energie des ON-Arbeitslaserpulses hat und verhindert, dass zu viel Energie im optischen Verstärker gespeichert wird. Für größere zeitliche Abstände zwischen zwei Arbeitslaserpulsen werden entsprechend mehrere Zwischenlaserpulse, jeweils z.B. im Abstand der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne, eingefügt, damit nicht zu viel Energie im optischen Verstärker gespeichert wird. Vorzugsweise ist jedem Target ein Steuersignal zugeordnet, aus dem sich der Ankunftszeitpunkt des Targets im Zielbereich bestimmen lässt, und die Steuereinrichtung ist eingerichtet, basierend auf dem jeweiligen Steuersignal einen ON- oder einen OFF-Arbeitslaserpuls abzugeben.
Die Erfindung betrifft in einem weiteren Aspekt auch ein Verfahren zum Bereitstellen von Arbeitslaserpulsen zur Wechselwirkung mit Targets, welche periodisch oder bis auf einen Periodenfehler periodisch nacheinander einen Zielbereich durchlaufen, mit folgenden Verfahrensschritten:
- Abgeben mindestens eines Arbeitslaserpulses für jedes Target; und
- Einstellen eines Abgabezeitpunkts des mindestens einen Arbeitslaserpulses mittels einer Steuereinrichtung derart, dass der Arbeitslaserpuls entweder als ein ON- Arbeitslaserpuls im Zielbereich auf ein Target trifft, um mit dem Target wechselzuwirken, oder als ein OFF-Arbeitslaserpuls das Target im Zielbereich zeitlich verfehlt, um nicht mit dem Target wechselzuwirken.
Vorzugsweise werden die ON- oder OFF-Arbeitslaserpulse basierend auf Steuersignalen abgegeben, die den Targets jeweils zugeordnet sind und aus denen sich der jeweilige Ankunftszeitpunkt der Targets im Zielbereich bestimmen lässt.
Die Erfindung betrifft schließlich auch ein Steuerungsprogrammprodukt, welches Codemittel aufweist, die zum Durchführen aller Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens angepasst sind, wenn das Programm auf einer Steuereinrichtung des erfindungsgemäßen Lasersystems abläuft.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter ausgeführten Merkmale jeweils einzeln für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung der Erfindung. Es zeigt:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Lasersystems zur Bereitstellung von Arbeitslaserpulsen zur Wechselwirkung mit periodisch abgegebenen Targets; und Fign. 2a-2d eine beispielhafte zeitliche Darstellung der zeitlichen Energiesteuerung des erfindungsgemäßen Lasersystems beim Wechsel zwischen Arbeitslaserpulsen, welche die Targets treffen, und Arbeitslaserpulsen, welche die Targets zeitlich verfehlen.
Das in Fig. 1 gezeigte Lasersystem 1 dient zur Bereitstellung von Arbeitslaserpulsen 2, 2‘ zur Wechselwirkung mit Targets 3, welche periodisch mit einer Periodendauer tp oder bis auf einen Periodenfehler Atp periodisch, also in Form eines Targetstroms mit zeitlich geringem Jitter, nacheinander einen Zielbereich 4 durchlaufen.
Durch Wechselwirkung der Arbeitslaserpulse 2 mit den Targets 3 im Zielbereich 4 kann Sekundärstrahlung 5 (z.B. EUV-Strahlung) erzeugt werden. Beispielsweise ist oder umfasst das Targetmaterial Zinn.
Das Lasersystem 1 weist eine Laserpulsabgabevorrichtung 6 zur Erzeugung der Arbeitslaserpulse 2, 2‘ und eine Steuerungseinrichtung 7 auf, mittels welcher die Abgabe der Arbeitslaserpulse 2, 2‘ durch die Laserpulsabgabevorrichtung 6 zu bestimmten Zeitpunkten auslösbar und/oder steuerbar ist. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass die Laserpulsabgabevorrichtung 6 einen Arbeitslaserpuls 2, 2‘ als Einzellaserpuls oder in Form eines Laserpulspakets (Laserburst) abgibt, wenn die Steuerungseinrichtung 7 ein entsprechendes Steuersignal empfängt. Es lassen sich dadurch Arbeitslaserpulse 2, 2‘ mit individueller Pulsenergie gezielt zu bestimmten Zeitpunkten anfordern, was beispielsweise mittels bekannter Puls-on-Demand-Kon- zepte realisiert sein kann.
Wie in Fig. 1 gezeigt, umfasst die Laserpulsabgabevorrichtung 6 beispielsweise eine von der Steuereinrichtung 7 angesteuerte Laserstrahlquelle 8 zur Erzeugung von Eingangslaserpulsen 9 mit bevorzugt konstanter Pulsenergie und einen optischen Verstärker 10 zum Verstärken von Eingangslaserpulsen 9 zu den Arbeitslaserpulsen 2, 2‘ und bedarfsweise zum Verstärken von weiteren Eingangslaserpulsen 9 zu Zwischenlaserpulsen 11, welche mittels eines optionalen Pulsselektors 16 aus dem weiteren Strahlengang der Arbeitslaserpulse 2, 2‘ ausselektiert werden können und daher nicht im Zielbereich 4 ankommen. Der Pulsselektor 16 ist zwischen dem opti- sehen Verstärker 10 und dem Zielbereich 4 angeordnet und wird von der Steuerungseinrichtung 7 angesteuert, um die Zwischenlaserpulse 11 aus dem Strahlengang der Arbeitslaserpulse 2, 2‘ abzulenken und z.B. einer Strahlfalle 17 zuzuführen. So ist sichergestellt, dass die Zwischenlaserpulse 11 nicht zufällig ein Target 3 treffen können. Vorzugsweise ist der Pulsselektor 16 ein AOM oder EOM.
Wurde ein Eingangslaserpuls 9 zu einem Arbeitslaserpuls 2, 2‘ mit einer vorgegebenen Pulsenergie EnOm verstärkt, so benötigt der optische Verstärker 10 eine verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne Tmin für einen erneuten Inversionsaufbau, um für einen unmittelbar nachfolgenden Arbeitspuls 2, 2‘ die gleiche vorgegebene Pulsenergie Enom bereitzustellen. Die minimal mögliche Periodendauer tp-Atp der Targets
3 ist größer oder gleich der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne Tmin. Die den Arbeits- und Zwischenlaserpulsen 2, 2‘, 11 zugrundliegenden Eingangslaserpulse 9 können entweder ein Einzellaserpuls oder ein Laserpulspaket (Laserburst) sein.
Die Laserpulsabgabevorrichtung 6 weist optional einen dem optischen Verstärker 10 vorgeordneten, optischen Modulator 12 zur individuellen Einstellung der Pulsenergie der Eingangslaserpulse 9 auf, um so die Pulsenergie der Arbeits- und Zwischenlaserpulse 2, 2‘, 11 entsprechend einzustellen. Der optische Modulator 12 wird von der Steuereinrichtung 7 angesteuert, um z.B. durch Modulation der Amplitude oder Beschneiden der Pulsflanken die jeweils gewünschte Pulsenergie der Eingangslaserpulse 9 einzustellen, und kann beispielsweise als AOM oder EOM ausgebildet sein.
Zur Zuführung der Targets 3 in den Zielbereich 4 kann das Lasersystem 1 eine Target-Abgabeeinrichtung 13 aufweisen, mittels welcher die Targets 3 derart abgegeben werden, dass sie den Zielbereich 4 periodisch mit der Periodendauer tp±Atp nacheinander durchlaufen. Beispielsweise können die Targets 3 von der Target-Abgabeeinrichtung 13 in Form von einzelnen Tropfen und in Schwerkraftrichtung, in Fig. 1 also nach unten, abgegeben werden und den Zielbereich 4 von oben nach unten durchlaufen. Der Target-Abgabeeinrichtung 13 kann außerdem eine Target-Detektionsein- richtung (z.B. eine Kamera) 14 nachgeordnet sein, welche spätestens im Zielbereich
4 ein abgegebenes Target 3 und insbesondere auch dessen Targetgeometrie, beispielsweise mittels Bilderkennung, detektiert und ein entsprechendes externes Steuersignal 15 an die Steuereinrichtung 7 liefert. Aus den Steuersignalen lässt sich der jeweilige Ankunftszeitpunkt der Targets 3 im Zielbereich 4 bestimmen. Basierend auf dem Steuersignal 15 steuert die Steuereinrichtung 7 dann die Laserpulsabgabevorrichtung 6 zur Abgabe eines Arbeitslaserpulses 2, 2‘ an. Ist der zeitliche Abstand des abzugebenden Arbeitslaserpulses 2, 2‘ zum vorangegangenen Arbeitslaserpuls 2, 2‘ jedoch größer als eine vorgegebene Maximaldauer, welche größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne Tmin ist und z.B. 2*Tmin beträgt, so wird bevorzugt von der Steuereinrichtung 7, z.B. nach der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne Tmin, ein Zwischenlaserpuls 11 ausgelöst, der die Energie des ON-Arbeitslaserpulses 2 hat und verhindert, dass zu viel Energie im optischen Verstärker 10 gespeichert wird. Für größere zeitliche Abstände zwischen zwei Arbeitslaserpulsen von n*Tmin (n>=2) werden n-1 zusätzliche Zwischenpulse 11 jeweils im Abstand von Tmin eingefügt, damit nicht zu viel Energie im optischen Verstärker 10 gespeichert wird.
Hinsichtlich der technischen Details betreffend die Einkopplung von Targets 3 in den Zielbereich 4 zur Erzeugung von Sekundärstrahlung 5 wird auf die wissenschaftliche Veröffentlichung "Light sources for high-volume manufacturing EUV lithography: technonogy, performance, and power scaling", I. Fomenkov et al., Advanced Optical Technologies 6(3): 173-186, DOI: 10.1515/aot-2017-0029, verwiesen.
Fign. 2a-2d zeigen eine beispielhafte Darstellung der zeitlichen Energiesteuerung des Lasersystems 1 beim Wechsel zwischen Arbeitslaserpulsen 2, welche die Targets 3 im Zielbereich 4 treffen, und Arbeitslaserpulsen 2‘, welche die Targets 3 im Zielbereich 4 zeitlich verfehlen.
Fig. 2a zeigt die von der Target-Abgabeeinrichtung 13 ausgegebenen Targets 3, die zu den Zeitpunkten tj-i , t, tj+i , tj+2 und tj+3 im Zielbereich 4 positioniert sind. Dabei sind die Targets 3, die zur Erzeugung von Sekundärstrahlung 5 genutzt werden, als ON-Targets und die Targets 3, die - z.B. wegen eines zu großen Periodenfehlers, nicht optimaler Targetgeometrie oder um die Leistung der Sekundärstrahlquelle zu modulieren oder Arbeitspulse auszulassen - nicht zur Erzeugung von Sekundärstrahlung 5 genutzt werden, als OFF-Targets bezeichnet.
Wie in Fig. 2b gezeigt, ist jedem Target 3 ein Arbeitspuls 2, 2‘ zugeordnet. Dabei sind die Arbeitspulse, die im Zielbereich 4 auf ein zugeordnetes ON-Target 3 treffen, um mit dem ON-Target 3 wechselzuwirken, als ON-Arbeitslaserpulse 2 und die Arbeitslaserpulse, die im Zielbereich 4 ein zugeordnetes OFF-Target 3 zeitlich verfehlen, um nicht mit dem OFF-Target 3 wechselzuwirken, als OFF-Arbeitslaserpulse 2‘ bezeichnet. Die ON-Arbeitspulse 2 werden von der Steuereinrichtung 7 zu den Zeitpunkten tj-i , und tj+3 angefordert, um im Zielbereich 4 mit den ON-Targets 3 wechselzuwirken, und weisen jeweils die gleiche vorgegebene Pulsenergie EnOm auf. Vorzugsweise weicht die Pulsenergie der ON-Arbeitslaserpulse 2 von einem vorgegebenen Pulsenergie-Mittelwert um weniger als 3 % und insbesondere um weniger als 1 % ab. Die OFF-Arbeitspulse 2‘ werden von der Steuereinrichtung 7 hingegen um mindestens einen zeitlichen Mindestabstand Ati früher angefordert, als die zugehörigen OFF-Targets 3 im Zielbereich 4 positioniert sind, also vorliegend zu den Zeitpunkten tj+i-Ati, tj+2-Ati , und zwar mit individuell einstellbarer Pulsenergie, welche aber nicht größer als die vorgegebene Pulsenergie EnOm der ON-Arbeitspulse 2 sein sollte. Der zeitliche Mindestabstand Ati ist so gewählt, dass keine Wechselwirkung zwischen dem OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ und dem OFF-Target 3 stattfindet.
Wie in Fig. 2c gezeigt, kann von der Steuereinrichtung 7 bedarfsweise jeweils ein Zwischenlaserpuls 11 um mindestens einen zweiten zeitlichen Mindestabstand At2 vor einem ON- oder OFF-Arbeitslaserpuls 2, 2 ‘angefordert werden, also vorliegend zu den Zeitpunkten ti-At2, tj+2-Ati -At2 und tj+3-At2, und zwar mit individuell einstellbarer Pulsenergie, welche aber nicht größer als die vorgegebene Pulsenergie EnOm der ON-Arbeitspulse 2 sein sollte. Zeitpunkt und Pulsenergie der OFF-Arbeitslaserpulse 2‘ und der Zwischenlaserpulse 11 sind dabei so gewählt, dass einerseits die im optischen Verstärker 10 für die ON-Arbeitslaserpulse 2 gespeicherte Energie E jeweils gleich hoch ist, um die ON-Arbeitslaserpulse 2 im optischen Verstärker 10 jeweils auf die gleiche vorgegebene Pulsenergie EnOm zu verstärken, und andererseits möglichst wenig Leistungsreserven im optischen Verstärker 10 vorgehalten werden müssen.
Fig. 2d zeigt den zugehörigen zeitlichen Verlauf der im optischen Verstärker 10 gespeicherten Energie E. Dabei stellt die Steuereinrichtung 7, wie nachfolgend beschrieben, die Abgabezeitpunkte und/oder die Pulsenergie der den OFF-Arbeitsla- serpulsen 2‘ und den Zwischenlaserpulsen 11 zugrundeliegenden Eingangslaserpulse 9 und dadurch die im optischen Verstärker 10 gespeicherte Energie E so ein, dass die ON-Arbeitslaserpulse 2 jeweils die gleiche vorgegebene Pulsenergie EnOm aufweisen.
1 . Wenn ein aktueller ON-Arbeitslaserpuls 2 (hier zum Zeitpunkt t,) unmittelbar einem ON-Arbeitslaserpuls 2 (hier zum Zeitpunkt tn) nachfolgt:
Die Steuereinrichtung 7 fordert den aktuellen ON-Arbeitslaserpuls 2 mit Pulsenergie Enom zum Zeitpunkt des ON-Targets 3 und, falls wie vorliegend der zeitliche Abstand zwischen den beiden ON-Arbeitslaserpulsen 2 größer als die verstärkungsfreie Mindestzeitspanne Tmin ist, also tj-tj-1 >Tmin, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen, hier zum Zeitpunkt -At2, einen Zwischenlaserpuls 11 an. Anforderungszeitpunkt und Pulsenergie des Zwischenlaserpulses 11 werden von der Steuereinrichtung 7 so eingestellt, dass die im optischen Verstärker 10 gespeicherte Energie E, welche durch die Verstärkung des Zwischenlaserpulses 11 abfällt, zum Zeitpunkt wieder so weit angestiegen ist, dass der aktuelle ON-Arbeits- laserpuls 2 auf die vorgegebene Pulsenergie Enom verstärkt wird.
Ist der zeitliche Abstand zwischen den beiden ON-Arbeitslaserpulsen 2 gleich der verstärkungsfreien Mindestzeitspanne Tmin, also tj-tj-i =Tmin, braucht von der Steuereinrichtung 7 kein Zwischenlaserpuls 11 angefordert zu werden. Ein zeitlicher Abstand zwischen zwei ON-Arbeitslaserpulsen 2 kleiner als die verstärkungsfreie Mindestzeitspanne Tmin, also tj-tj-i <Tmin, ist hingegen unzulässig und wird von der Steuereinrichtung 7 nicht zugelassen bzw. als OFF-Arbeitslaserpuls gewertet, und es erfolgt eine Einstellung der Pulsenergie in Abhängigkeit des Abstandes von der Mindestzeitspanne Tmin, wie nachfolgend unter 2 beschrieben.
2. Wenn ein aktueller OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ (hier zum Zeitpunkt tj+i -Ati ) unmittelbar einem ON-Arbeitslaserpuls 2 (hier zum Zeitpunkt ti) nachfolgt:
Die Steuereinrichtung 7 fordert den aktuellen OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ zum Zeitpunkt tj+i-Ati an. Dabei wird der zeitliche Abstand des aktuellen OFF-Arbeitslaser- pulses 2‘ zum vorangegangenen ON-Arbeitslaserpuls 2, also (tj+i-Ati )- , nicht größer als die verstärkungsfreie Mindestzeitspanne Tmin gewählt, so dass der aktuelle OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ höchstens auf die vorgegebene Pulsenergie Enom verstärkt wird. Anforderungszeitpunkt und Pulsenergie des aktuellen OFF-Arbeits- laserpulses 2‘ werden von der Steuereinrichtung 7 bevorzugt so eingestellt, dass die im optischen Verstärker 10 gespeicherte Energie E, welche durch die Verstärkung des aktuellen OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ abfällt, nach der verstärkungsfreien Mindestzeitspanne Tmin wieder so weit angestiegen ist, dass ein unmittelbar nachfolgender ON- oder OFF Arbeitslaserpuls 2, 2‘ auf die vorgegebene Pulsenergie Enom verstärkt wird. Wie gezeigt, übersteigt die Pulsenergie des aktuellen OFF- Arbeitslaserpulses 2‘ nicht die vorgegebene Pulsenergie EnOm der ON-Arbeitsla- serpulse 2. Wenn ein aktueller OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ (hier zum Zeitpunkt tj+2-Ati) unmittelbar einem OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ (hier zum Zeitpunkt tj+i -Ati ) nachfolgt:
Die Steuereinrichtung 7 fordert den aktuellen OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ z.B. mit Puls-energie Enom zum Zeitpunkt tj+2-Ati und, falls wie vorliegend der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden OFF-Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsfreie Mindestzeitspanne Tmin ist, also (tj+2-Ati )-(tj+i-Ati )>Tmin, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen, hier zum Zeitpunkt (tj+2-Ati )-At2, einen Zwischenlaserpuls 11 an. Anforderungszeitpunkt und Pulsenergie des Zwischenlaserpulses 11 werden von der Steuereinrichtung 7 so eingestellt, dass die im optischen Verstärker 10 gespeicherte Energie E, welche durch die Verstärkung des Zwischenlaserpulses 11 abfällt, zum Zeitpunkt tj+2-Ati wieder so weit angestiegen ist, dass der aktuelle OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ auf die vorgegebene Pulsenergie Enom oder auch auf eine geringere Pulsenergie verstärkt wird.
Wie gezeigt, kann die gespeicherte Energie E vor der Verstärkung des Zwischenlaserpulses 11 auf ein Energielevel ansteigen, welches höher sein kann als bei der Verstärkung der ON-Arbeitslaserpulse 2 auf das vorgegebene Pulsenergie Enom. Jedoch übersteigt die Pulsenergie des Zwischenpulses 11 nicht die vorgegebene Pulsenergie Enom der ON-Arbeitslaserpulse 2. Wenn ein aktueller ON-Arbeitslaserpuls 2 (hier zum Zeitpunkt tj+3) unmittelbar einem OFF-Arbeitslaserpuls 2‘ (hier zum Zeitpunkt tj+2-Ati ) nachfolgt:
Die Steuereinrichtung 7 fordert den aktuellen ON-Arbeitslaserpuls 2 mit Pulsenergie Enom zum Zeitpunkt tj+3 und, falls wie vorliegend der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsfreie Mindestzeitspanne Tmin ist, also (tj+3)-(tj+2-Ati)>Tmin, einen Zwischenlaserpuls 11 an. Anforderungszeitpunkt und Pulsenergie des Zwischenlaserpulses 11 werden von der Steuereinrichtung 7 so eingestellt, dass die im optischen Verstärker 10 gespeicherte Energie E, welche durch die Verstärkung des Zwischenlaserpulses 11 abfällt, zum Zeitpunkt tj+3 wieder so weit angestiegen ist, dass der aktuelle ON-Ar- beitslaserpuls 2 auf die vorgegebene Pulsenergie EnOm verstärkt wird. Wie gezeigt, kann die gespeicherte Energie E vor der Verstärkung des Zwischenlaserpulses 11 auf ein Energielevel ansteigen, welches höher sein kann als bei der Verstärkung der Arbeitslaserpulse auf das vorgegebene Pulsenergie EnOm. Jedoch übersteigt die Pulsenergie des Zwischenpulses 11 nicht die vorgegebene Pulsenergie der ON-Arbeitslaserpulse 2.
Für den in Fig. 2 nicht gezeigten Fall, dass der zeitliche Abstand eines abzugebenden Arbeitslaserpulses 2, 2‘ zum vorangegangenen Arbeitslaserpuls 2, 2‘ größer als eine vorgegebene Maximaldauer ist, welche größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne Tmin ist und z.B. 2*Tmin beträgt, wird von der Steuereinrichtung 7, z.B. nach der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne Tmin, ein Zwischenlaserpuls 11 ausgelöst, der die Energie des ON-Arbeitslaserpulses 2 hat und verhindert, dass zu viel Energie im optischen Verstärker 10 gespeichert wird. Für größere zeitliche Abstände zwischen zwei Arbeitslaserpulsen von n*Tmin (n>=2) werden n-1 zusätzliche Zwischenpulsel 1 jeweils im Abstand von Tmin eingefügt, damit nicht zu viel Energie im optischen Verstärker 10 gespeichert wird.

Claims

Patentansprüche
1 . Lasersystem (1 ) zur Bereitstellung von Arbeitslaserpulsen (2, 2‘) zur Wechselwirkung mit Targets (3), welche periodisch oder bis auf einen Periodenfehler periodisch nacheinander einen Zielbereich (4) durchlaufen, mit einer Laserpulsabgabevorrichtung (6) zur Abgabe von Arbeitslaserpulsen (2, 2‘), wobei jedem Target (3) mindestens ein Arbeitslaserpuls (2, 2‘) zugeordnet ist, und mit einer die Laserpulsabgabevorrichtung (6) steuernden Steuereinrichtung (7), die eingerichtet ist, den Abgabezeitpunkt eines Arbeitslaserpulses (2, 2‘) so einzustellen, dass der Arbeitslaserpuls als ein ON-Arbeitslaserpuls (2) im Zielbereich (4) auf ein Target (3) trifft, um mit dem Target (3) wechselzuwirken, oder als ein OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) das Target (3) im Zielbereich (4) zeitlich verfehlt, um nicht mit dem Target (3) wechselzuwirken.
2. Lasersystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Pulsenergie (Enom) der ON-Arbeitslaserpulse (2) von einem Pulsenergie-Mittelwert um weniger als 3 % und insbesondere um weniger als 1 % abweicht.
3. Lasersystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserpulsabgabevorrichtung (6) eine von der Steuereinrichtung (7) angesteuerte Laserstrahlquelle (8) zur Erzeugung von Eingangslaserpulsen (9) und einen optischen Verstärker (10) zum Verstärken von Eingangslaserpulsen (9) zu den Arbeitslaserpulsen (2, 2‘) und bedarfsweise zum Verstärken von weiteren Eingangslaserpulsen (9) zu Zwischenlaserpulsen (11 ), welche zwischen zwei Arbeitslaserpulsen vorhanden sind, wobei der optische Verstärker (10) nach Verstärkung eines ON-Arbeitslaserpulses (2) auf eine vorgegebene Pulsenergie (Enom) eine verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne (Tmin) benötigt, um für einen unmittelbar nachfolgenden ON-Arbeitspuls (2) die gleiche vorgegebene Pulsenergie (Enom) bereitzustellen, und wobei die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, die Abgabezeitpunkte und/oder die Pulsenergie der den OFF-Arbeits- laserpulsen (2‘) und den Zwischenlaserpulsen (11 ) zugrundeliegenden Eingangslaserpulse (9) und dadurch die im optischen Verstärker (10) gespeicherte Energie so einzustellen, dass die ON-Arbeitslaserpulse (2) jeweils die gleiche vorgegebene Pulsenergie (EnOm) aufweisen.
4. Lasersystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, wenn ein aktueller ON-Arbeitslaserpuls (2) unmittelbar einem ON-Arbeitslaserpuls (2) nachfolgt, die Laserstrahlquelle (8) anzusteuern, den dem aktuellen ON-Arbeitslaserpuls (2) zugrundeliegenden Eingangslaserpuls (9) abzugeben und, falls der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne (Tmin) ist, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen einen im optischen Verstärker (10) zu einem Zwischenlaserpuls (11 ) verstärkten, weiteren Eingangslaserpuls (9) abzugeben sowie dessen Abgabezeitpunkt und dessen Pulsenergie und dadurch die im optischen Verstärker (10) gespeicherte Energie (E) für den aktuellen ON-Arbeitslaserpuls (2) so einzustellen, dass der aktuelle ON-Arbeitslaserpuls (2) die vorgegebene Pulsenergie (EnOm) aufweist.
5. Lasersystem nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, wenn ein aktueller OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) unmittelbar einem ON-Arbeitslaserpuls (2) nachfolgt, die Laserstrahlquelle (8) anzusteuern, den dem aktuellen OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) zugrundeliegenden Eingangslaserpuls (9) abzugeben, wobei der zeitliche Abstand des aktuellen OFF-Arbeitslaserpulses (2‘) zum ON-Arbeitslaserpuls (2) insbesondere kleiner als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne (Tmin) ist.
6. Lasersystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, die Energie des aktuellen OFF-Arbeitslaserpulses (2‘) über die Energie des zugrundeliegenden Eingangslaserpulses (9) derart einzustellen, dass ein dem aktuellen OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) unmittelbar nachfolgender ON- oder OFF Arbeitslaserpuls (2, 2‘) nach der verstärkungsbedingten Mindestzeitspanne (Tmin) wieder die vorgegebene Pulsenergie (Enom) erreichen kann.
7. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, wenn ein aktueller OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) unmittelbar einem OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) nachfolgt, die Laserstrahlquelle (8) anzusteuern, den dem aktuellen OFF-Arbeitspuls (2‘) zugrundeliegenden Eingangslaserpuls (9) abzugeben und, falls der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne (Tmin) ist, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen einen im optischen Verstärker (10) zu einem Zwischenlaserpuls (11 ) verstärkten, weiteren Eingangslaserpuls (9) abzugeben.
8. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, wenn ein aktueller ON-Arbeitslaser- puls (2) unmittelbar einem OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) nachfolgt, die Laserstrahlquelle (8) anzusteuern, den dem aktuellen ON-Arbeitspuls (2) zugrundeliegenden Eingangslaserpuls (9) abzugeben und, falls der zeitliche Abstand zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne (Tmin) ist, zwischen diesen beiden Arbeitslaserpulsen einen im optischen Verstärker (10) zu einem Zwischenlaserpuls (11 ) verstärkten, weiteren Eingangslaserpuls (9) abzugeben sowie dessen Abgabezeitpunkt und dessen Pulsenergie und dadurch die im optischen Verstärker (10) gespeicherte Energie für den aktuellen ON-Arbeitslaserpuls (2) so einzustellen, dass der aktuelle ON- Arbeitslaserpuls (2) die vorgegebene Pulsenergie (EnOm) aufweist.
9. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Pulsenergie der OFF-Arbeitslaserpulse (2‘) und/oder der Zwischenlaserpulse (11 ) höchstens so hoch wie die vorgegebene Pulsenergie (EnOm) der ON- Arbeitslaserpulse (2) ist.
10. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) den Zielbereich (4) um mindestens einen zeitlichen Mindestabstand (Ati ) früher erreicht als das zugehörige Target (3), um sicherzustellen, dass keine Wechselwirkung zwischen dem OFF-Arbeitslaserpuls (2‘) und dem Target (3) stattfindet.
11. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, einen Zwischenlaserpuls (11 ) um mindestens eine zweite Mindestzeitspanne (At2) vor einem unmittelbar nachfolgenden Arbeitslaserpuls (2, 2‘) abzugeben.
12. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, dass die Laserstrahlquelle (8) eingerichtet ist, die Eingangslaserpulse (9) mit einer konstanten Pulsenergie bereitzustellen.
13. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass dem optischen Verstärker (10) ein von der Steuereinrichtung (7) angesteuerter, optischer Modulator (12) vorgeordnet ist, um die Pulsenergie der Eingangslaserpulse (9) und dadurch die Pulsenergie der OFF-Arbeitslaserpulse (2‘) und der Zwischenlaserpulse (11 ) einzustellen.
14. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem optischen Verstärker (10) und dem Zielbereich (4) ein Pulsselektor (16) angeordnet ist, der die Zwischenlaserpulse (11 ) aus dem weiteren Strahlengang der Arbeitslaserpulse (2, 2‘) ausselektiert.
15. Lasersystem nach einem der Ansprüche 3 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, mindestens einen Zwischenpuls (11 ) abzugeben, wenn der zeitliche Abstand des nächsten abzugebenden Arbeitslaserpulses (2, 2‘) zum vorangegangenen Arbeitslaserpuls (2, 2‘) größer als eine vorgegebene Maximaldauer ist, welche größer als die verstärkungsbedingte Mindestzeitspanne (Tmin) ist.
16. Lasersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jedem Target (3) ein Steuersignal (15) zugeordnet ist und die Steuereinrichtung (7) eingerichtet ist, basierend auf dem jeweiligen Steuersignal (15) einen ON- oder einen OFF-Arbeitslaserpuls (2, 2‘) abzugeben.
17. Verfahren zum Bereitstellen von Arbeitslaserpulsen (2, 2‘) zur Wechselwirkung mit Targets (3), welche periodisch oder bis auf einen Periodenfehler periodisch nacheinander einen Zielbereich (4) durchlaufen, mit folgenden Verfahrensschritten:
- Abgeben mindestens eines Arbeitslaserpulses (2, 2‘) für jedes Target (3); und
- Einstellen eines Abgabezeitpunkts des mindestens einen Arbeitslaserpulses (2, 2‘) mittels einer Steuereinrichtung (7) derart, dass der Arbeitslaserpuls entweder als ein ON-Arbeitslaserpuls (2) im Zielbereich (4) auf ein Target (3) trifft, um mit dem Target (3) wechselzuwirken, oder als ein OFF-Arbeitslaser- puls (2‘) das Target (3) im Zielbereich (4) zeitlich verfehlt, um nicht mit dem Target (3) wechselzuwirken.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die ON- und OFF- Arbeitslaserpulse (2, 2‘) basierend auf Steuersignalen (15), die den Targets (3) jeweils zuordnet sind, abgegeben werden.
19. Steuerungsprogrammprodukt, welches Codemittel aufweist, die zum Durchführen aller Schritte des Verfahrens nach Anspruch 17 oder 18 angepasst sind, wenn das Programm auf einer Steuereinrichtung (7) des Lasersystems (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 16 abläuft.
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