EP4500163A1 - Vorrichtung und verfahren zur messung inhomogener flächen mittels aktiver laserthermographie - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur messung inhomogener flächen mittels aktiver laserthermographie

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EP4500163A1
EP4500163A1 EP23714654.3A EP23714654A EP4500163A1 EP 4500163 A1 EP4500163 A1 EP 4500163A1 EP 23714654 A EP23714654 A EP 23714654A EP 4500163 A1 EP4500163 A1 EP 4500163A1
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EP
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measuring
observation
causing
test surface
thermography
Prior art date
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EP23714654.3A
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Robert Ranft
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ThyssenKrupp AG
Thyssenkrupp Automation Engineering GmbH
Original Assignee
ThyssenKrupp AG
Thyssenkrupp Automation Engineering GmbH
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N33/20—Metals
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    • G—PHYSICS
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
    • G02B26/023—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light comprising movable attenuating elements, e.g. neutral density filters
    • G—PHYSICS
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    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors

Definitions

  • the present invention relates to a device for measuring inhomogeneous areas using active laser thermography according to the preamble of claim 1, and a method for measuring inhomogeneous areas using active laser thermography according to the preamble of claim 6.
  • Test specimens are tested using active laser thermography.
  • this measurement methodology is influenced by inhomogeneous surfaces in terms of their absorption and emission levels of electromagnetic waves. Typically this refers to contamination on the test surface, which i.e. d. R. be summoned by preceding processes. This can lead to incorrect measurements due to problematic surfaces. Once contaminated, a follow-up test is only possible by first cleaning the test surfaces. However, this negatively affects the output of the testing machine.
  • this object is achieved by a device with the characterizing features of claim 1. Because the observation device B is further set up to detect defect-causing surfaces on the test surface, the device comprising a shading device A which is set up to change the measuring range in such a way that a new measuring range is created while leaving out the defect-causing surface.
  • a shading device A which is set up to change the measuring range in such a way that a new measuring range is created while leaving out the defect-causing surface
  • the observation device comprises an observation means or an observation means and a semi-transparent mirror.
  • the observation means comprises a thermal imaging camera or is designed as a thermal imaging camera.
  • the shading device comprises a first movable mirror and a second movable mirror.
  • the shading device comprises a first shutter with a shutter drive and a second shutter with a shutter drive.
  • a further object of the present invention is to propose an advantageous method for measuring inhomogeneous surfaces using active laser thermography with a device according to the invention.
  • FIG. 1 shows a device according to the invention in a first embodiment
  • Fig. 2 shows a device according to the invention in a first embodiment.
  • a device for measuring inhomogeneous surfaces using active laser thermography essentially comprises a laser beam source or laser optics 1 which emits a laser beam 2, an observation device B and a shading device A.
  • the observation device B can comprise an observation means 3 or an observation means 3 and a mirror 4.
  • the observation means 3 can in particular be a thermal imaging camera.
  • the shading device A can include a first movable mirror 5 and a second movable mirror 6.
  • the laser beam 1 emerges from the laser source 1 with a variable laser spot and is deflected with the help of the movable mirrors 5 and 6.
  • the reflected rays hit a working area 7.
  • a measuring area 8 is irradiated and a parallel observation is carried out by the observation device B.
  • the observation can be carried out via the observation means 3 and the semi-transparent mirror 4 along the beam path, or independently of the mirror system, i.e. only with the observation means 3.
  • the observation device B in particular the observation means 3, detects the error-causing surface 9, in particular contamination.
  • the information can be transmitted to a suitable data processing system, which in turn can control the shading device A.
  • a possible data processing system is a personal computer running suitable image processing algorithms.
  • the measuring range 8 is shifted, in particular by changing the laser beam width and adjusting the mirrors 5 and 6.
  • the newly created measuring range 10 can be put together by taking several images.
  • FIG. 1 An alternative embodiment of the device according to the invention is shown in FIG. 1
  • the alternative embodiment of the device for measuring inhomogeneous surfaces using active laser thermography also includes laser optics 1 from which a laser beam 2 emerges.
  • the shading device A here essentially comprises a first shutter 11 with a shutter drive 12, and a second shutter 13 with a shutter drive 14.
  • an alternative embodiment of the device according to the invention also includes an observation device B, comprising an observation means 3.
  • an observation device B comprising an observation means 3.
  • a laser beam 2 emerges from a laser source 1 and strikes the screens 3 and 4 with openings.
  • the resulting laser spot hits the test surface 7.
  • This process is observed using the observation device B, in particular the observation means 3.
  • the blind panel 3 or 4 is adjusted so that the resulting blinding effect shades the areas causing the error.
  • observation device B With regard to the design of the observation device B, in particular the observation means 3, with regard to the detection and evaluation of surfaces that cause errors, reference can be made to the statements made above.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie, umfassend eine Laserstrahlquelle (1) die einen Laserstrahl (2) auf eine Prüfoberfläche (7) zur Bildung eines Messbereiches (8) emittieren kann, und eine Beobachtungseinrichtung (B) zu thermographischen Beobachtung der Prüfoberfläche (7), die sich dadurch auszeichnet, dass die Beobachtungseinrichtung (B) ferner zur Erkennung von fehlerverursachenden Oberflächen (9) auf der Prüfoberfläche (7) eingerichtet ist, wobei die Vorrichtung weiterhin eine Abschattungseinrichtung (A) umfasst, die dazu eingerichtet ist, den Messbereich (8) zu verändern, dergestalt, dass ein neuer Messbereich (10) unter Aussparung einer fehlerverursachenden Oberfläche (9) entsteht. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, sowie ein Verfahren zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 6.
Es werden Prüfkörper mit Hilfe von aktiver Laserthermografie geprüft. Diese Mess-Methodik wird jedoch durch inhomogene Oberflächen bezogen auf Ihren Absorbtions- und Emissionsgrad elektromagnetischer Wellen beeinflusst. Typischerweise sind dabei Kontaminationen auf der Prüfoberfläche gemeint, die i. d. R. von vorlaufenden Prozessen herbeigerufen werden. Dies kann zu fehlerhaften Messungen durch problematische Oberflächen führen. Einmal kontaminiert ist eine Nachprüfung nur durch eine vorlaufende Reinigung der Prüfoberflächen möglich. Dies beeinflusst jedoch die Ausbringung der Prüfmaschine negativ.
Hier setzt die vorliegende Erfindung an und macht es sich zur Aufgabe, eine verbesserte Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie vorzuschlagen, insbesondere eine Vorrichtung vorzuschlagen, welche die oben skizzierten Probleme abstellt, mindestens jedoch mindert. Insbesondere soll eine Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie vorgeschlagen werden, die Messfehler vermeidet, zumindest aber mindert und/oder eine höhere Ausbringung bzw. kürzere Taktzeiten für die Messung ermöglicht.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Dadurch, dass die Beobachtungseinrichtung B ferner zur Erkennung von fehlerverursachenden Oberflächen auf der Prüfoberfläche eingerichtet ist, wobei die Vorrichtung eine Abschattungseinrichtung A umfasst, die dazu eingerichtet ist, den Messbereich zu verändern, dergestalt, dass ein neuer Messbereich unter Aussparung der fehlerverursachenden Oberfläche entsteht, können die oben skizzierten Nachteile überwunden, zumindest aber gemildert werden. Mit Hilfe von der Manipulation des Messbereiches, insbesondere hinsichtlich Größe, Geometrie, Position, etc. können die fehlerverursachenden Bereiche von der Messung ausgeschlossen werden. Diese ausgeschlossenen Bereiche werden für die weiterführende Auswertung nicht berücksichtigt. Die Manipulation des Messbereiches kann mit mechanischer Bewegung des Prüfkopfes, spotvariierender Laseroptiken, Spiegelsystemen und/oder Blenden erfolgen.
Auch kann eine Erhöhung der Prüfgeschwindigkeit und der erreichbaren Ausbringung erreicht werden. Da die Messzeit bedingt durch die bauteilspezifische Messfreguenz ist, ist vor allem durch die Beschleunigung oder dem Ersatz von Manipulationsprozessen eine Erhöhung der Performance zu erwarten. Eine teilweise Ausblendung des Messbereiches wird dann als akzeptabel betrachtet, wenn der weiterhin auszuwertende Bereich ausreichend groß ist um die zu prüfenden Merkmale sinnvoll bewerten zu können.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der vorgeschlagenen Erfindung ergeben sich insbesondere aus den Merkmalen der Unteransprüche. Die Gegenstände bzw. Merkmale der verschiedenen Ansprüche können grundsätzlich beliebig miteinander kombiniert werden.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Beobachtungseinrichtung ein Beobachtungsmittel oder ein Beobachtungsmittel und einen halbtransparenten Spiegel umfasst.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Beobachtungsmittel eine Wärmebildkamera umfasst bzw. als Wärmebildkamera ausgebildet ist.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Abschattungseinrichtung einen ersten beweglichen Spiegel und einen zweiten beweglichen Spiegel umfasst.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Abschattungseinrichtung eine erste Blendscheibe mit einem Blendscheibenantrieb, sowie eine zweite Blendscheibe mit einem Blendscheibenantrieb umfasst.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, ein vorteilhaftes Verfahren zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung vorzuschlagen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 6 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der vorgeschlagenen Erfindung ergeben sich insbesondere aus den Merkmalen der Unteransprüche. Die Gegenstände bzw. Merkmale der verschiedenen Ansprüche können grundsätzlich beliebig miteinander kombiniert werden.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einer ersten Ausführungsform;
Fig. 2 eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einer ersten Ausführungsform.
Folgende Bezugszeichen werden in den Abbildungen verwendet:
A Abschattungseinrichtung
B Beobachtungseinrichtung
1 Laserguelle / Laseroptik
2 Laserstrahl
3 Beobachtungsmittel
4 Spiegel
5 (erster) beweglicher Spiegel
6 (zweiter) beweglicher Spiegel
7 Arbeitsbereich / Prüfoberfläche
8 Ursprünglicher Messbereich
9 Fehlerverursachende Oberfläche
10 Neu entstandener Messbereich
11 (erste) Blendscheibe
12 Blendscheibenantrieb für erste Blendscheibe
13 (zweite) Blendscheibe
14 Blendscheibenantrieb für zweite Blendscheibe Dabei gelten Merkmale und Details, die im Zusammenhang mit einem Verfahren beschrieben sind selbstverständlich auch im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung und umgekehrt, sodass bezüglich der Offenbarung zu den einzelnen Erfindungsaspekten stets wechselseitig Bezug genommen wird bzw. werden kann. Außerdem kann ein ggf. beschriebenes erfindungsgemäßes Verfahren mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung durchgeführt werden.
Die hierin verwendete Terminologie dient nur zum Zweck des Beschreibens bestimmter Ausführungsformen und soll die Offenbarung nicht beschränken. Wie hierin verwendet, sollen die Singularformen „ein/eine" und „der/die/das" auch die Pluralformen enthalten, sofern der Kontext dies nicht anderweitig klar erkennen lässt. Es wird zudem klar sein, dass die Ausdrücke „weist auf" und/oder „aufweisend", wenn in dieser Beschreibung verwendet, das Vorhandensein der genannten Merkmale, ganzen Zahlen, Schritte, Operationen, Elemente und/oder Bauteile spezifizieren, aber nicht das Vorhandensein oder den Zusatz von einem/einer oder mehreren anderen Merkmalen, ganzen Zahlen, Schritten, Operationen, Elementen, Bauteilen und/oder Gruppen derselben ausschließen. Wie hierin verwendet, enthält der Ausdruck „und/oder" jedes beliebige und alle Kombinationen von einem oder mehreren der assoziierten, aufgelisteten Elemente.
Zunächst wird auf Fig. 1 Bezug genommen.
Eine Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie umfasst im Wesentlichen eine Laserstrahlquelle bzw. Laseroptik 1 der einen Laserstrahl 2 emittiert, eine Beobachtungseinrichtung B und eine Abschattungseinrichtung A.
Die Beobachtungseinrichtung B kann ein Beobachtungsmittel 3 oder ein Beobachtungsmittel 3 und einen Spiegel 4 umfassen.
Bei dem Beobachtungsmittel 3 kann es sich insbesondere um eine Wärmebildkamera handeln.
Die Abschattungseinrichtung A kann einen ersten beweglichen Spiegel 5 und einen zweiten beweglichen Spiegel 6 umfassen.
Weitere Aspekte der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand nachfolgender Beschreibung eines Verfahren zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie mittels der Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie. Es versteht sich, dass hier nur einige ausgewählte Verfahrensschritte dargestellt sind, wie sie für das Verständnis des erfindungsgemäßen Verfahrens hilfreich sind. Das Verfahren kann weitere, dem Fachmann bekannte, Schritte bzw. Zwischenschritte umfassen.
Aus der Laserguelle 1 mit variierbarem Laserspot tritt der Laserstrahl 1, welcher mit Hilfe der beweglichen Spiegel 5 und 6 abgelenkt wird. Die reflektierten Strahlen treffen auf einen Arbeitsbereich 7. Es erfolgt eine Bestrahlung eines Messbereiches 8 und eine parallele Beobachtung durch die Beobachtungseinrichtung B. Die Beobachtung kann dabei über das Beobachtungsmittel 3 und den halbtransparente Spiegel 4 entlang des Strahlengangs, oder unabhängig vom Spiegelsystem, also nur mit dem Beobachtungsmittel 3 erfolgen. Im Messbereich 8 befindet sich eine fehlerverursachende Oberfläche 9.
Die Beobachtungseinrichtung B, insbesondere das Beobachtungsmittel 3, erkennt die fehlerverursachende Oberfläche 9, insbesondere Verschmutzungen. Die Informationen können an eine geeignete Datenverarbeitungsanlage übermittelt werden, die ihrerseits die Abschattungseinrichtung A ansteuern kann. Als Datenverarbeitungsanlage kommt ein Personalcomputer in Frage, auf dem geeignete Bildverarbeitungsalgorithmen laufen.
Es erfolgt eine Verschiebung des Messbereiches 8 insbesondere durch die Veränderung der Laserstrahlbreite und Verstellung der Spiegel 5 und 6. Der neu entstandene Messbereich 10 kann dabei durch die Aufnahme von mehreren Bildern zusammengesetzt werden.
In der Fig. 2 ist eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung abgebildet.
Auch die alternative Ausführungsform der Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie umfasst eine Laseroptik 1 aus der ein Laserstrahl 2 austritt. Die Abschattungseinrichtung A umfasst hier im Wesentlichen eine erste Blendscheibe 11 mit einem Blendscheibenantrieb 12, sowie eine zweite Blendscheibe 13 mit einem Blendscheibenantrieb 14.
Ferner umfasst auch die eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Beobachtungseinrichtung B, umfassend ein Beobachtungsmittel 3. Weitere Aspekte der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand nachfolgender Beschreibung eines Verfahren zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie mittels der Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie. Es versteht sich, dass hier nur einige ausgewählte Verfahrensschritte dargestellt sind, wie sie für das Verständnis des erfindungsgemäßen Verfahrens hilfreich sind. Das Verfahren kann weitere, dem Fachmann bekannte, Schritte bzw. Zwischenschritte umfassen.
Aus einer Laserguelle 1 tritt ein Laserstrahl 2, welcher auf die Blendscheiben 3 und 4 mit Öffnungen trifft. Der dabei entstehende Laserspot trifft auf die Prüfoberfläche 7. Dieser Vorgang wird mittels der Beobachtungseinrichtung B, insbesondere dem Beobachtungsmittel 3 beobachtet. Im Messbereich befindet sich eine fehlerverursachende Oberfläche. Es erfolgt eine Justierung der Blendscheibe 3 oder 4, sodass durch die resultierende Blendwirkung die fehlerverursachenden Bereiche abgeschattet werden.
Hinsichtlich der Ausgestaltung der Beobachtungseinrichtung B, insbesondere dem Beobachtungsmittel 3, im Hinblick auf die Erkennung und Auswertung von fehlerverursachenden Oberflächen kann auf die oben gemachten Ausführungen verwiesen werden.
Es ist ersichtlich, dass den Ausführungsformen der erfindungsgemäße Grundgedanke zu Grunde liegt, eine Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie, umfassend die Laseroptik 1 die einen Laserstrahl 2 auf eine Prüfoberfläche zur Bildung eines Messbereiches emittieren kann, und eine Beobachtungseinrichtung B zu thermographischen Beobachtung der Prüfoberfläche vorzuschlagen, die sich dadurch auszeichnet, dass die Beobachtungseinrichtung B ferner zur Erkennung von fehlerverursachenden Oberflächen auf der Prüfoberfläche eingerichtet ist, wobei die Vorrichtung eine Abschattungseinrichtung A umfasst, die dazu eingerichtet ist, den Messbereich zu verändern, dergestalt, dass ein neuer Messbereich unter Aussparung der fehlerverursachenden Oberfläche entsteht.

Claims

Ansprüche
1. Vorrichtung zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie, umfassend eine Laserguelle (1) die einen Laserstrahl (2) auf eine Prüfoberfläche (7) zur Bildung eines Messbereiches (8) emittieren kann, und eine Beobachtungseinrichtung (B) zu thermographischen Beobachtung der Prüfoberfläche (7), dadurch gekennzeichnet, dass
- die Beobachtungseinrichtung (B) ferner zur Erkennung von fehlerverursachenden Oberflächen (9) auf der Prüfoberfläche (7) eingerichtet ist, wobei
- die Vorrichtung eine Abschattungseinrichtung (A) umfasst, die dazu eingerichtet ist, den Messbereich (8) zu verändern, dergestalt, dass ein neuer Messbereich (10) unter Aussparung der fehlerverursachenden Oberfläche (9) entsteht. . Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beobachtungseinrichtung ein Beobachtungsmittel (3) oder ein Beobachtungsmittel (3) und einen halbtransparenten Spiegel (4) umfasst. . Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Beobachtungsmittel (3) eine Wärmebildkamera umfasst bzw. als Wärmebildkamera ausgebildet ist. . Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschattungseinrichtung (A) einen ersten beweglichen Spiegel (5) und einen zweiten beweglichen Spiegel (6) umfasst. . Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschattungseinrichtung (A) eine erste Blendscheibe (11) mit einem Blendscheibenantrieb (12), sowie eine zweite Blendscheibe (13) mit einem Blendscheibenantrieb (14) umfasst. . Verfahren zur Messung inhomogener Flächen mittels aktiver Laserthermographie mit einer Vorrichtung gemäß mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
- Emittieren eines Laserstrahls (2) auf eine Prüfoberfläche (7) zur Bildung eines Messbereiches (8); - thermographische Beobachtung der Prüfoberfläche (7), sowie Erkennung von fehlerverursachenden Oberflächen (9) auf der Prüfoberfläche (7) durch die Beobachtungseinrichtung (B);
- Veränderung des Messbereiches (8) durch Aussparung einer detektierten fehlerverursachenden Oberfläche (9) durch die Abschattungseinrichtung A;
- Weiterführung der Messung ohne die fehlerverursachende Oberfläche (9) in einem neu entstandenen Messbereich (10). Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Veränderung des Messbereiches (8) durch Verschiebung des Messbereiches erfolgt, nämlich durch die Veränderung der Laserstrahlbreite und Verstellung der Spiegel (5 und 6). Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Veränderung des Messbereiches (8) durch eine Justierung der Blendscheibe (3 und/oder 4) erfolgt, sodass durch die resultierende Blendwirkung die fehlerverursachenden Bereiche (9) abgeschattet werden. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der neu entstandene Messbereich (10) durch die Aufnahme von mehreren Bildern zusammengesetzt werden kann.
EP23714654.3A 2022-03-28 2023-03-21 Vorrichtung und verfahren zur messung inhomogener flächen mittels aktiver laserthermographie Pending EP4500163A1 (de)

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WO (1) WO2023186635A1 (de)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19623121C2 (de) 1996-06-10 2000-05-11 Wagner International Ag Altsta Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstückoberflächen
US7689003B2 (en) * 2006-03-20 2010-03-30 Siemens Energy, Inc. Combined 2D and 3D nondestructive examination
DE102010007449B4 (de) 2010-02-10 2013-02-28 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung und Verfahren zur Bewertung eines Prüfobjektes mittels aktiver Thermographie
DE102011086267A1 (de) * 2011-11-14 2013-05-16 Siemens Aktiengesellschaft System und Verfahren zur Steuerung eines thermografischen Messvorganges
DE102014200628A1 (de) * 2014-01-15 2015-07-16 Thyssenkrupp Ag Verfahren zur thermographischen Untersuchung
US10241036B2 (en) 2017-05-08 2019-03-26 Siemens Energy, Inc. Laser thermography
EP3597826B1 (de) * 2018-07-20 2020-09-02 Joseph Vögele AG Verfahren und strassenfertiger zum erfassen von störobjekten bei der erstellung eines temperaturfelds der einbauschicht

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