EP4453547A1 - Mikrowellenmessvorrichtung - Google Patents

Mikrowellenmessvorrichtung

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Publication number
EP4453547A1
EP4453547A1 EP22822876.3A EP22822876A EP4453547A1 EP 4453547 A1 EP4453547 A1 EP 4453547A1 EP 22822876 A EP22822876 A EP 22822876A EP 4453547 A1 EP4453547 A1 EP 4453547A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
magnetic field
medium
microwave
measuring device
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP22822876.3A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Anne HABERMEHL
Wolfgang Drahm
Raphael KUHNEN
Christof Huber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Endress and Hauser Flowtec AG
Original Assignee
Endress and Hauser Flowtec AG
Flowtec AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress and Hauser Flowtec AG, Flowtec AG filed Critical Endress and Hauser Flowtec AG
Publication of EP4453547A1 publication Critical patent/EP4453547A1/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N24/00—Investigating or analyzing materials by the use of nuclear magnetic resonance, electron paramagnetic resonance or other spin effects
    • G01N24/08—Investigating or analyzing materials by the use of nuclear magnetic resonance, electron paramagnetic resonance or other spin effects by using nuclear magnetic resonance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/041—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body

Definitions

  • the invention relates to a microwave measuring device for determining a solids content in a medium and at least one other physical and/or chemical variable of the medium.
  • the physical parameters permittivity and loss factor of a medium in a process line can be determined using microwaves. From these two variables - measured either at one frequency or over many different frequencies - conclusions can be drawn about application-specific parameters, for example the proportion of water in a mixture of water and other non-polar or slightly polar components.
  • the microwave signal is coupled to the medium in a container or measuring tube at two different positions, the scattering parameters (transmission and possibly Reflection) measured between these coupling structures and calculated from the measured scattering parameters back to the physical properties of the medium mentioned.
  • WO 2018/121927 A1 teaches a measuring arrangement for analyzing properties of a flowing medium using microwaves.
  • the measuring arrangement has an electrically insulating lining layer on the inner lateral surface of the measuring tube. This lining layer forms a dielectric waveguide via which at least a portion of a microwave signal can travel from a first microwave antenna to a second microwave antenna.
  • One application for such a measuring arrangement is the determination of the proportion of solids in the medium to be conveyed.
  • quantum sensors in which a wide variety of quantum effects are used to determine various physical and/or chemical measured variables.
  • quantum sensors In the field of industrial process automation, such approaches are of particular interest with regard to the increasing efforts towards miniaturization while at the same time increasing the performance of the respective sensors.
  • Quantum sensors are based on the fact that certain quantum states of individual atoms can be very precisely controlled and read out. In this way, for example, precise and low-interference measurements of electric and/or magnetic fields and gravitational fields with resolutions in the nanometer range are possible possible.
  • various spin-based sensor arrangements have become known, for which atomic transitions in crystal bodies are used to detect changes in movements, electric and/or magnetic fields or gravitational fields.
  • different systems based on quantum-optical effects have also become known, such as, for example, quantum gravimeters, NMR gyroscopes or optically pumped magnetometers, the latter in particular being based on gas cells, among other things.
  • various devices which use atomic transitions, for example in various crystal bodies, in order to detect even small changes in movements, electric and/or magnetic fields or gravitational fields.
  • diamond with at least one nitrogen defect silicon carbide with at least one silicon defect or hexagonal boron nitride with at least one defect color center is used as the crystal body.
  • the crystal bodies can have one or more defects.
  • DE 10 2017 205 099 A1 discloses a sensor device with a crystal body having at least one defect, a light source, a high-frequency device for applying a high-frequency signal to the crystal body, and a detection unit for detecting a magnetic-field-dependent fluorescence signal.
  • the light source is arranged on a first substrate and the detection device is arranged on a second substrate, while the radio-frequency device and the crystal body can be arranged on both interconnected substrates. External magnetic fields, electrical currents, temperature, mechanical stress or pressure can be used as measured variables.
  • a similar device is known from DE 10 2017 205 265 A1.
  • DE 10 2014 219 550 A1 describes a combination sensor for detecting pressure, temperature and/or magnetic fields, the sensor element having a diamond structure with at least one nitrogen vacancy center.
  • DE 10 2018 214 617 A1 discloses a sensor device which also has a crystal body with a number of color centers, in which various optical filter elements are used to increase effectiveness and for miniaturization.
  • a sensor device has become known from the previously unpublished German patent application with the file number 10 2020 123 993.9, which evaluates a process variable of a medium based on a fluorescence signal of a crystal body with at least one defect. In addition, based on a characteristic of the magnetic field, such as the magnetic permeability or magnetic susceptibility, a condition monitoring of the respective process is carried out.
  • a limit level sensor is also known from the previously unpublished German patent application with the file number 10 2021 100223.0, in which a statement about a limit level is determined on the basis of the fluorescence.
  • a gaseous alkali metal and a buffer gas are usually present in the gas cell.
  • Magnetic properties of a surrounding medium can be determined by Rydberg states generated in the gas cell.
  • gas cells are used in quantum-based standards that provide physical quantities with high precision. They have long been used in frequency standards or atomic clocks, as is known from EP 0 550 240 B1.
  • US Pat. No. 1,0,184,796 B2 also discloses a chip-sized atomic gyroscope in which a gas cell is used to determine the magnetic field.
  • An optically pumped magnetometer based on a gas cell is known from US Pat. No. 9,329,152 B2.
  • JP 4066804 A2 describes the use of gas cells to determine absolute path lengths.
  • gas cells are also used as the starting point for microwave sources, as described in EP 1 224 709 B1.
  • Non-invasive measuring devices in which the respective sensor unit is brought into direct contact with the respective medium
  • non-invasive measuring devices in which the process variable is recorded outside the container
  • Non-invasive measuring devices basically offer the advantage that no intervention in the process is necessary.
  • such measuring devices have only been available to a limited extent so far, since many different factors, in particular relating to the measuring accuracy, have to be taken into account with regard to the achievable measuring accuracy and possible interference, for example due to the container wall or the environment.
  • Another aim is to continue to miniaturize while simultaneously increasing the performance of the respective sensors. So such sensors are desirable, which a comprehensive characterization of the respective medium with regard to many different physical and / or chemical properties make possible.
  • magnetic and/or electrical properties precise devices for detecting changes in magnetic fields, magnetic fields and, depending on the sensor type, possibly also gravitational fields are required in this context.
  • the object of the invention is to further develop the measuring principle of microwave technology.
  • the object is solved by the microwave measuring device according to claim 1 .
  • the microwave measuring device in particular for determining a solids content of a flowable medium, comprising:
  • a first microwave antenna which is set up to generate an in particular variable microwave signal and radiate it into the medium
  • At least one first magnetic field-sensitive measuring device for determining a magnetic field comprising:
  • a measuring device component comprising an optically stimulable material, wherein the microwave signal interacts with the optically stimulable material
  • an optical excitation device configured to optically excite the optically excitable material
  • an optical detection device which is adapted to provide a detection signal which is optically excitable with one of the
  • an evaluation circuit which is set up to determine a magnetic field and/or a change in the magnetic field as a function of the detection signal.
  • Microwave measuring devices for determining a solids content are used, for example, in applications for controlling sludge removal in pre- or post-clarification, for optimizing the consumption of flocculants when thickening digested sludge and/or for optimizing the dewatering of excess sludge.
  • At least one first microwave antenna is provided for this purpose, in order to radiate a microwave signal into the medium to be guided and monitored. The emitted microwave signal penetrates the medium and is reflected on the inner wall of the measuring tube back to the first microwave antenna, where it is detected.
  • the first microwave antenna is also set up to measure the reflected microwave signal. The proportion of solids in the medium can be determined with the aid of the reflected and detected microwave signal.
  • a further microwave antenna can be provided for detecting the microwave signal from the first microwave antenna.
  • the first magnetic field-sensitive measuring device is set up to determine a physical and/or chemical property of the medium.
  • a corrected proportion of solids can be determined as a function of the determined physical and/or chemical properties of the medium.
  • the microwave signal can be used for preferential polarization of the nuclear spins of the medium as well as for excitation of the optically excitable material.
  • the optical excitation device is set up for exciting the optically excitable material in order to generate an optical excitation signal, in particular with a fixed frequency.
  • the optical detection device is set up to detect the fluorescence signal emitted by the optically excitable material and to provide a detection signal which includes the intensity of the fluorescence signal.
  • the microwave signal includes a sequence of high-frequency signals.
  • this allows the use of highly complex models - thanks to the wide spectrum of frequencies and the associated measurement signal intensity - for determining the solids content and at the same time the determination of a frequency-dependent absorption spectrum on the optical detection device.
  • a second microwave antenna which is arranged diametrically to the first microwave antenna, wherein the second microwave antenna is adapted to receive the microwave signal.
  • the second microwave antenna is set up to detect or measure the emitted microwave signal. On the way from the first microwave antenna to the second microwave antenna, the microwave signal propagates through the medium and through any solid matter in the medium.
  • the evaluation circuit is set up to determine the proportion of solids in the medium as a function of the received microwave signal. The concentration of the dry matter in the medium is determined based on the signal propagation time of microwaves.
  • An embodiment also includes:
  • At least one second magnetic-field-sensitive measuring device wherein the first magnetic-field-sensitive measuring device and the second magnetic-field-sensitive measuring device are arranged at a distance on the circumference of the measuring tube.
  • An advantage of the configuration is that the two magnetic field-sensitive measuring devices can monitor the physical and/or chemical properties of the medium at two different positions in the measuring tube. In this way, a first area - in which, for example, deposits typically form first or the solids move along - can be monitored independently of a second area - which is free of solids.
  • - has a magnetic field generating device for generating a magnetic field in the medium
  • An operating circuit which is set up to feed an electrical operating signal into the magnetic field generating device, the operating signal being designed such that the magnetic field generated by the magnetic field generating device excites mobile charge carriers in the medium to move.
  • the magnetic field generating device is preferably designed to induce a preferred polarization of the nuclear spins in the medium and to generate a, in particular static, magnetic field at least in a region of the respective magnetic field-sensitive measuring device, in particular in the region of the optically excitable material.
  • One embodiment provides that at least part of the second magnetic field-sensitive measuring device, in particular the measuring device component, is integrated in the second microwave antenna.
  • the part of the second microwave antenna in contact with the medium can be monitored by means of the second magnetic field-sensitive measuring device.
  • An integration of the second magnetic field-sensitive measuring device in the second microwave antenna also has the advantage that on the one hand the intensity of the microwave signal is maximum and on the other hand there is no need for a further opening in the measuring tube.
  • only the first magnetic field-sensitive measuring device can be integrated in the first microwave antenna.
  • the evaluation circuit is set up to determine an electrical conductivity of the medium as a function of the detection signal, the detection signal correlating with a change and/or a strength of a magnetic field generated by the mobile charge carriers of the medium.
  • the configuration makes use of the fact that the mobile charge carriers of the medium, through their movement, generate a magnetic field in turn due to a changing but known magnetic field.
  • a conductivity of the medium can be determined by measuring the generated magnetic field using the magnetic field-sensitive measuring device. The conductivity determined can be used to determine the corrected solids content.
  • the evaluation circuit is set up to detect foreign bodies in the medium as a function of the detection signal, in particular as a function of a deviation of the detection signal from an in particular variable criterion.
  • the configuration makes use of the fact that even the smallest magnetic fields can be determined by means of the magnetic field-sensitive measuring devices. This means that even the smallest magnetic or metallic particles can be detected in the medium. Furthermore, with the help of a magnetic field-generating device, foreign bodies can be detected that are neither metallic nor magnetic. Plastic or ceramic Foreign bodies in the medium disturb the magnetic field generated by the movement of the mobile charge carriers in the medium. According to the invention, this disturbance is determined with the measuring device or devices sensitive to the magnetic field, and on the basis of established criteria, a statement can be made about the presence of a foreign body.
  • the evaluation circuit is set up to determine a chemical or physical property of the medium as a function of the detection signal influenced by a nuclear magnetic resonance of the medium.
  • atomic nuclei have a non-zero nuclear spin and thus a magnetic moment as rotating charge carriers, such as 1 H or 13 C atoms.
  • the nuclear spins perform a precession movement, the so-called Larmor precession, around the axis of the constant magnetic field.
  • the atomic nuclei change the orientation of their nuclear spins Magnetic field caused by the absorption or emission of alternating magnetic fields when they are resonant with the Larmor frequency. This effect is also known as nuclear magnetic resonance.
  • the possible magnetic angular momentum quantum states of the nuclear spins are equidistant and dependent on the Larmor frequency. The frequency and duration of the Larmor precession depend on the respective nuclear spin and its spatial and chemical environment.
  • the detection of the Larmor precessions based on the Larmor frequencies thus enables a very precise determination of the chemical composition of the sample and the spatial structure of the molecules contained in the sample.
  • the measuring tube is divided into two sections by a measuring tube plane, with the first microwave antenna and at least the first magnetic field-sensitive measuring device being arranged in different sections.
  • the optically excitable material has at least one crystal body with at least one defect or at least one gas cell.
  • the crystal II body is a diamond with at least one nitrogen defect, silicon carbide with at least one silicon defect or hexagonal boron nitride with at least one defect color center.
  • the gas cell is a cell enclosing at least one gaseous alkali metal.
  • the microwave measuring device comprises an optical excitation device for optically exciting the optically excitable material or the crystal body or the gas cell and a detection unit for detecting a fluorescence signal from the crystal body or the gas cell, which correlates with the magnetic field acting on the magnetic field-sensitive measuring device, in particular the optically excitable material.
  • filters and mirrors as well as other optical elements can be used in order to direct an excitation light to the crystal body or to the gas cell and/or the fluorescence signal to the detection unit.
  • the crystal body is exposed to the frequency-dependent microwave signal, which is generated by a magnetic field-sensitive measuring device.
  • FIG. 2 shows a cross section through a first embodiment of the microwave measuring device
  • FIG. 3 shows a cross section through a second embodiment of the microwave measuring device
  • FIG. 5 shows a cross section through a fourth embodiment of the microwave measuring device
  • FIG. 6 shows a cross section through a fifth embodiment of the microwave measuring device.
  • FIG. 1 A simplified energy scheme for a negatively charged NV center in a diamond is shown in FIG. 1 in order to exemplify the excitation and the fluorescence of a defect in a crystal body. The following considerations can be transferred to other crystal bodies with corresponding defects.
  • each carbon atom is typically covalently bonded to four other carbon atoms.
  • a nitrogen vacancy center (NV center) consists of a defect in the diamond lattice, i.e. an unoccupied lattice site, and a nitrogen atom as one of the four neighboring atoms.
  • the negatively charged NV- centers are important for the excitation and evaluation of fluorescence signals.
  • Excitation light 201 from the green range of the visible spectrum e.g. excitation light 201 with a wavelength of 532 nm, excites an electron from the ground state 3 A into a vibrational state of the excited state 3 E, which emits a fluorescence photon 202 with one wavelength from 630 nm to the ground state 3 A.
  • An applied magnetic field with a magnetic field strength B leads to a splitting (Zeeman splitting) of the magnetic sub-states, so that the ground state consists of three energetically separated sub-states, each of which can be excited.
  • the intensity of the fluorescence signal depends on the respective magnetic substate from which the excitation took place, so that the distance between the fluorescence minima can be used, for example, to calculate the magnetic field strength B using the Zeeman formula.
  • Further options for evaluating the fluorescence signal are provided within the scope of the present invention, such as evaluating the intensity of the fluorescent light, which is also proportional to the applied magnetic field.
  • An electrical evaluation in turn, can be carried out, for example, via photocurrent detection of magnetic resonance (PDMR for short).
  • PDMR photocurrent detection of magnetic resonance
  • excitation of gas cells is not explicitly shown, but in the case of gas cells, too, excitation with light of a defined wavelength leads to an excitation of an electron, which is followed by the emission of fluorescent light.
  • the intensity and/or the wavelength of the fluorescent light emitted is used to determine the magnetic field.
  • FIG. 2 shows a cross section through a first embodiment of the microwave measuring device for determining a solids content of a flowable medium.
  • the microwave measuring device comprises a measuring tube 1 for guiding the medium, a first microwave antenna 2, which is set up to generate a particularly variable microwave signal and radiate it into the medium, and a first magnetic field-sensitive measuring device 3 for determining a magnetic field, which is diametrically opposed to the first microwave antenna 2 is arranged.
  • the first microwave antenna 2 is positioned in an opening in the measuring tube 1 in contact with the medium.
  • the first microwave antenna 2 can be a waveguide antenna or a planar antenna, for example.
  • the measuring tube 1 comprises a support tube, in particular a metal one.
  • An evaluation circuit 4 is set up to determine a magnetic field and/or a change in the magnetic field as a function of a detection signal.
  • the evaluation circuit 4 includes a microprocessor for processing the detection signal provided at the optical detection device 10 and generally includes a large number of electrical or electromechanical individual elements (battery, switch, display, . . . ) to form a functional arrangement. Furthermore, the evaluation circuit 4 is set up to process a microwave signal measured at the first microwave antenna 2 . Furthermore, the evaluation circuit is set up to determine a magnetic field and/or a change in the magnetic field as a function of the detection signal.
  • Fig. 7 shows a longitudinal section through the first embodiment of the microwave measuring device with a more detailed representation of the first magnetic field-sensitive measuring device 3.
  • the first magnetic field-sensitive measuring device 3 comprises a measuring device component with an optically excitable material 11, which interacts with the microwave signal, which is a sequence of high-frequency signals includes.
  • the first magnetic field-sensitive measuring device 3 comprises an optical excitation device 7, which is set up to optically excite the optically excitable material 11, and an optical detection device 10, which is set up to provide a detection signal which corresponds to a fluorescence signal emitted by the optically excitable material 11, especially light, correlated.
  • the optically excitable material 11 comprises at least one crystal body with at least one defect, the crystal body being a diamond with at least one nitrogen defect, silicon carbide with at least one silicon defect or hexagonal boron nitride with at least one defect color center.
  • the optically excitable material 11 can also be designed as a coating with a large number of crystal bodies.
  • the optically excitable material 11 can comprise a gas cell, which is designed as a cell enclosing at least one gaseous alkali metal.
  • FIG. 2 also shows a magnetic field generating device 8 for generating a magnetic field in the medium.
  • the magnetic field generating device 8 can comprise a coil or a permanent magnet.
  • an operating circuit 9 is also provided, which is set up to feed an electrical operating signal into the magnetic field generating device 8, in particular into the coil.
  • a magnetic field generating device 8 is provided for the induction of a preferred polarization of the nuclear spins of the medium.
  • the magnetic field generating device 8 generates a homogeneous magnetic field at least in the area of the first magnetic field-sensitive measuring device and in the area of the optically excitable material.
  • the operating signal can be designed in such a way that the magnetic field generated by means of the magnetic field-generating device 8 excites mobile charge carriers in the medium to move. Based on the movement of the mobile charge carriers, a conductivity of the medium can be determined as a function of the detection signal, for example via the evaluation circuit 4, since this correlates with a change and/or strength of a magnetic field generated by the mobile charge carriers in the medium.
  • the evaluation circuit 4 can be set up to detect foreign bodies in the medium as a function of the detection signal, in particular as a function of a deviation of the detection signal from an in particular variable criterion.
  • the evaluation circuit 4 can be set up to determine a chemical and/or physical property of the medium as a function of the detection signal influenced by nuclear spin resonance of the medium. In this way, the composition of the medium and/or the slightest contamination in the medium can be detected.
  • FIG. 3 shows a cross section through a second embodiment of the microwave measuring device.
  • the second embodiment differs from the first embodiment in that more than just one magnetic field-sensitive measuring device is provided.
  • a second magnetic-field-sensitive measuring device 6 and a third magnetic-field-sensitive measuring device 12 are each arranged in contact with the medium in an opening provided in the measuring tube.
  • the first magnetic-field-sensitive measuring device 3, the second magnetic-field-sensitive measuring device 6 and the third magnetic-field-sensitive measuring device 12 are spaced apart on the circumference of the measuring tube.
  • the measuring tube comprises a metallic support tube 13 with an electrically insulating liner 14 arranged on the inside.
  • the microwave signal emitted by the first microwave antenna 2 propagates through the medium to the magnetic field-sensitive measuring device 3, 6, 12 arranged opposite, in order to create a preferred polarization in the electron spins of the sensor component there to induce and then transfer this preferential polarization of the electron spins to the nuclear spins of the sample.
  • the microwave signal covers a frequency range of preferably 0.3 to 20 GHz, in particular 1.8 to 8.5 GHz and preferably 1.8 to 3.0 GHz
  • an optical excitation signal with a fixed frequency can have a frequency-dependent absorption spectrum are generated, which is provided in the form of the detection signal at the optical detection device.
  • the smallest magnetic fields or magnetic field changes can be detected with the aid of minima in the intensity of the detection signal, in particular the position of the minima.
  • More than three magnetic field-sensitive measuring devices 3, 6, 12 can also be provided.
  • the magnetic field-sensitive measuring devices 3 , 6 , 12 can also be arranged in the immediate vicinity of the first microwave antenna 2 . See the fourth embodiment of FIG. 5.
  • FIG. 4 shows a cross section through a third embodiment of the microwave measuring device.
  • the third embodiment differs from the first Configuration in that in addition to the first microwave antenna 2, a second microwave antenna 5 is used in an opening in the measuring tube.
  • the second microwave antenna 5 is arranged diametrically to the first microwave antenna 2 and set up to receive the microwave signal emitted by the first microwave antenna 2 .
  • the evaluation circuit (not shown) is set up to determine a proportion of solids in the medium as a function of the microwave signal received at the second microwave antenna 5 .
  • the generated and emitted microwave signal can be used to determine the solids content.
  • Both microwave antennas 2, 5 can each be set up to transmit and/or receive a microwave signal.
  • the third embodiment includes a further second magnetic-field-sensitive measuring device 6 .
  • This is arranged diametrically to the first magnetic-field-sensitive measuring device 3 .
  • Both magnetic field-sensitive measuring devices 3, 6 are affected by the microwave signals from the microwave antennas 2, 5, since these propagate from the respective microwave antenna 2, 5 in all directions within the measuring tube.
  • a measuring tube plane M intersects the measuring tube and divides it at least in sections into two sections that are essentially equal in terms of volume. Both sections each include a microwave antenna and a magnetic field-sensitive measuring device.
  • the two magnetic-field-sensitive measuring devices each have a magnetic-field-generating device that is set up to locally generate a magnetic field. This can be constant or variable.
  • the magnetic field-sensitive measuring devices are each electrically connected to the evaluation circuit (not shown). This is set up to determine an approximate position of a foreign body and/or a degree of contamination as a function of the detection signals determined and provided by means of the magnetic field-sensitive measuring devices.
  • FIG. 6 shows a cross section through a fifth embodiment of the microwave measuring device.
  • the fifth embodiment differs from the first embodiment in that, in addition to the first microwave antenna 2, a second microwave antenna 5 arranged diametrically relative to it is provided. This is set up to detect the microwave signal emitted by the first microwave antenna 2 and, if necessary, to emit its own microwave signal.
  • the first magnetic field-sensitive measuring device 3, in particular its measuring device component or the optically excitable material 11, is integrated in at least one part of the second microwave antenna 5. This can, for example, be implemented in such a way that an opening is provided in the second microwave antenna 5, in which the first magnetic field-sensitive measuring device 3 is introduced. Alternatively, a socket in the form of a blind hole, at least in some sections, can also be provided in the second microwave antenna 5 . reference list
  • measuring tube 1 first microwave antenna 2 first measuring device sensitive to magnetic fields 3
  • Evaluation circuit 4 second microwave antenna 5 second magnetic-field-sensitive measuring device 6 optical excitation device 7 magnetic-field-generating device 8
  • optical detection device 10 optically excitable material 11 third magnetic field-sensitive measuring device 12 support tube 13

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Mikrowellenmessvorrichtung, umfassend: - ein Messrohr (1) zum Führen des Mediums; - eine erste Mikrowellenantenne (2), die dazu eingerichtet ist, ein insbesondere veränderliches Mikrowellensignal zu erzeugen und in das Medium einzustrahlen; und - zumindest eine erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung (3) zum Bestimmen eines Magnetfeldes, umfassend: -- eine Messvorrichtungskomponente mit einem optisch anregbaren Material (11), wobei das Mikrowellensignal in Wirkung mit dem optisch anregbaren Material (11) steht; -- eine optische Anregungsvorrichtung (7), die dazu eingerichtet ist, das optisch anregbare Material (11) optisch anzuregen; und -- eine optische Detektionsvorrichtung (10), die dazu eingerichtet ist, ein Detektionssignal bereitzustellen, welches mit einem vom optisch anregbaren Material (11) emittierten Licht korreliert; - eine Auswerteschaltung (4), die dazu eingerichtet ist ein Magnetfeld und/oder eine Magnetfeldänderung in Abhängigkeit von dem Detektionssignal zu bestimmen.

Description

Mikrowellenmessvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenmessvorrichtung zum Ermitteln eines Feststoffanteils in einem Medium und mindestens einer weiteren physikalischen und/oder chemischen Größe des Mediums.
Mittels Mikrowellen lassen sich die physikalischen Größen Permittivität, sowie Verlustfaktor eines Mediums in einer Prozessleitung ermitteln. Aus diesen beiden Größen - gemessen entweder bei einer oder über viele unterschiedliche Frequenzen - lassen sich Rückschlüsse auf anwendungsspezifische Parameter ziehen, beispielsweise auf den Anteil von Wasser in einem Gemisch aus Wasser und anderen nicht oder wenig polaren Komponenten.
Die etablierte Transmissions-ZReflexionsmessung ist beschrieben in L.F. Chen, C.K. Ong, C.P. Neo, V.V. Varadan, V. K. Varadan - “Microwave Electronics, Measurement and Materials Characterization”, John Wiley & Sons Ltd., 2004. Hierfür wird das Mikrowellensignal an zwei unterschiedlichen Positionen an das Medium in einem Behälter bzw. Messrohr angekoppelt, die Streuparameter (Transmission und ggfs. Reflexion) zwischen diesen Ankoppelstrukturen gemessen und aus den gemessenen Streuparametern auf die genannten physikalischen Eigenschaften des Mediums zurückgerechnet.
Die WO 2018/121927 A1 lehrt eine Messanordnung zur Analyse von Eigenschaften eines strömenden Mediums mittels Mikrowellen. Dabei weist die Messanordnung zusätzlich zu den Mikrowellenantennen eine elektrisch isolierende Auskleidungsschicht an der inneren Mantelfläche des Messrohres auf. Diese Auskleidungsschicht bildet einen dielektrischen Wellenleiter über den ein Mikrowellensignal zumindest anteilig von einer ersten Mikrowellenantenne zu einer zweiten Mikrowellenantenne gelangen kann. Eine Anwendung für eine derartige Messanordnung ist die Bestimmung von Feststoffanteilen im zu führenden Medium.
Eine neuere Entwicklung im Bereich der Sensorik stellen sogenannte Quantensensoren dar, bei welchen unterschiedlichste Quanteneffekte zur Bestimmung verschiedener physikalischer und/oder chemischer Messgrößen ausgenutzt werden. Im Bereich der industriellen Prozessautomatisierung sind solche Ansätze insbesondere mit Hinblick auf ein zunehmendes Bestreben zur Miniaturisierung bei gleichzeitiger Steigerung der Leistungsfähigkeit der jeweiligen Sensoren interessant.
Quantensensoren basieren darauf, dass bestimmte Quantenzustände einzelner Atome sehr genau kontrolliert und ausgelesen werden können. Auf diese Weise sind beispielsweise präzise und störungsarme Messungen von elektrischen und/oder magnetischen Feldern sowie Gravitationsfeldern mit Auflösungen im Nanometerbereich möglich. In diesem Zusammenhang sind verschiedene Spin-basierte Sensoranordnungen bekannt geworden, für welche atomare Übergänge in Krista II körpern zur Detektion von Änderungen von Bewegungen, elektrischen und/oder magnetischen Feldern oder auch Gravitationsfeldern eingesetzt werden. Darüber hinaus sind auch unterschiedliche auf quantenoptischen Effekten basierende Systeme bekannt geworden, wie beispielsweise Quantengravimeter, NMR Gyroskope oder optisch gepumpte Magnetometer, wobei insbesondere letztere u.a. auf Gaszellen basieren.
Beispielsweise sind im Bereich Spin-basierter Quantensensoren verschiedene Vorrichtungen bekannt geworden, welche atomare Übergänge, beispielsweise in verschiedenen Kristallkörpern, ausnutzen, um bereits geringe Änderungen von Bewegungen, elektrischen und/oder magnetischen Feldern oder auch Gravitationsfeldern zu erkennen. Typischerweise wird als Krista II körper Diamant mit zumindest einer Stickstoff-Fehlstelle, Siliziumcarbid mit zumindest einer Silizium-Fehlstelle oder hexagonales Bornitrid mit zumindest einem Fehlstellen-Farbzentrum verwendet. Die Kristallkörper können grundsätzlich ein oder mehrere Fehlstellen aufweisen.
Aus der DE 10 2017 205 099 A1 ist eine Sensorvorrichtung mit einem Krista II körper mit zumindest einer Fehlstelle, einer Lichtquelle, einer Hochfrequenzeinrichtung zum Beaufschlagen des Kristallkörpers mit einem Hochfrequenzsignal, und einer Detektionseinheit zur Detektion eines magnetfeldabhängigen Fluoreszenzsignals bekannt geworden. Die Lichtquelle ist auf einem ersten Substrat und die Detektionseinrichtung auf einem zweiten Substrat angeordnet, während die Hochfrequenzeinrichtung und der Kristallkörper auf beiden, miteinander verbundenen Subtraten angeordnet sein können. Als Messgrößen kommen externe Magnetfelder, elektrische Ströme, eine Temperatur, mechanischen Spannung oder ein Druck in Frage. Eine ähnliche Vorrichtung ist aus der DE 10 2017 205 265 A1 bekannt geworden.
Die DE 10 2014 219 550 A1 beschreibt einen Kombinationssensor zur Erfassung von Druck, Temperatur und/oder Magnetfeldern, wobei das Sensorelement eine Diamantstruktur mit zumindest einem Stickstoff-Vakanz-Zentrum aufweist.
Die DE 10 2018 214 617 A1 offenbart eine Sensoreinrichtung, welche ebenfalls einen Krista II körper mit einer Anzahl von Farbzentren, bei welcher zur Steigerung der Effektivität und zur Miniaturisierung verschiedene optische Filterelemente verwendet werden.
Aus der bisher unveröffentlichten deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 10 2020 123 993.9 ist eine Sensorvorrichtung bekannt geworden, welche anhand eines Fluoreszenzsignals eines Krista II körper mit zumindest einer Fehlstelle eine Prozessgröße eines Mediums auswertet. Zudem wird anhand einer für das Magnetfeld charakteristischen Größe, wie beispielsweise der magnetischen Permeabilität oder magnetischen Suszeptibilität, eine Zustandsüberwachung des jeweiligen Prozesses durchgeführt. Aus der ebenfalls bisher unveröffentlichten deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 10 2021 100223.0 ist darüber hinaus ein Grenzstandsensor bekannt geworden, bei welchem anhand der Fluoreszenz eine Aussage über einen Grenzstand ermittelt wird.
Ein weiterer Teilbereich im Feld von Quantensensoren betrifft Gaszellen, in welchen atomare Übergänge sowie Spinzustände u.a. zur Bestimmung magnetischer und/elektrischer Eigenschaften optisch abgefragt werden können. In der Regel liegen in der Gaszelle ein gasförmiges Alkalimetall sowie ein Puffergas vor. Magnetische Eigenschaften eines umgebenden Mediums können durch in der Gaszelle erzeugte Rydbergzustände bestimmt werden.
Beispielsweise werden Gaszellen in quantenbasierten Standards eingesetzt, welche physikalische Größen mit hoher Präzision bereitstellen. So werden sie seit langem in Frequenzstandards bzw. Atomuhren eingesetzt, wie aus der EP 0 550 240 B1 bekannt.
Die US 10 184 796 B2 offenbart darüber hinaus ein atomares Gyroskop in Chipgröße, bei welchem eine Gaszelle zur Bestimmung des Magnetfelds zum Einsatz kommt. Ein optisch gepumptes Magnetometer basierend auf einer Gaszelle ist aus der US 9 329 152 B2 bekannt. Durch Manipulation der atomaren Zustände in Gaszellen lassen sich weitere Anwendungsfelder von Gaszellen erschließen. So beschreibt die JP 4066804 A2 den Einsatz von Gaszellen zur Bestimmung absoluter Weglängen. Darüber hinaus werden Gaszellen auch als Ausgangspunkt für Mikrowellenquellen eingesetzt, wie in der EP 1 224 709 B1 beschrieben.
Viele aus dem Stand der Technik bekannte Messprinzipien erlauben eine Charakterisierung des jeweiligen Mediums hinsichtlich seiner magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften. In diesem Zusammenhang werden sowohl invasive Messgeräte, bei welchem die jeweilige Sensoreinheit in direkten Kontakt mit dem jeweiligen Medium gebracht wird, als auch nicht-invasive Messgeräte, bei welchem die Prozessgröße außerhalb des Behälters erfasst wird, verwendet. Nicht-invasive Messgeräte bieten grundsätzlich den Vorteil, dass kein Eingriff in den Prozess notwendig ist. Allerdings sind derartige Messgeräte bisher nur begrenzt verfügbar, da hinsichtlich der erreichbaren Messgenauigkeit und möglichen Störeinflüssen, beispielsweise durch die Behälterwandung oder die Umgebung, viele verschiedene Faktoren, insbesondere die Messgenauigkeit betreffend, berücksichtigt werden müssen.
Ein weiteres Bestreben besteht in der fortlaufenden Miniaturisierung bei gleichzeitiger Steigerung der Leistungsfähigkeit der jeweiligen Sensoren. So sind solche Sensoren wünschenswert, die eine umfassende Charakterisierung des jeweiligen Mediums hinsichtlich vieler unterschiedlicher physikalischer und/oder chemischer Eigenschaften ermöglichen. Hinsichtlich magnetischer und/oder elektrischer Eigenschaften sind in diesem Zusammenhang präzise Einrichtungen zur Erfassung von Änderungen von magnetischen Feldern, magnetischen Feldern, und je nach Sensortyp ggf. auch Gravitationsfeldern erforderlich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde das Messprinzip der Mikrowellentechnologie weiterzuentwickeln.
Die Aufgabe wird gelöst durch die Mikrowellenmessvorrichtung nach Anspruch 1 .
Das erfindungsgemäße Mikrowellenmessvorrichtung, insbesondere zum Ermitteln eines Feststoffanteils eines fließfähigen Mediums, umfassend:
- ein Messrohr zum Führen des Mediums;
- eine erste Mikrowellenantenne, die dazu eingerichtet ist, ein, insbesondere veränderliches, Mikrowellensignal zu erzeugen und in das Medium einzustrahlen; und
- zumindest eine erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung zum Bestimmen eines Magnetfeldes, umfassend:
-- eine Messvorrichtungskomponente mit einem optisch anregbaren Material, wobei das Mikrowellensignal in Wirkung mit dem optisch anregbaren Material steht;
-- eine optische Anregungsvorrichtung, die dazu eingerichtet ist, das optisch anregbare Material optisch anzuregen; und
-- eine optische Detektionsvorrichtung, die dazu eingerichtet ist, ein Detektionssignal bereitzustellen, welches mit einem vom optisch anregbaren
Material emittierten Licht korreliert;
- eine Auswerteschaltung, die dazu eingerichtet ist, ein Magnetfeld und/oder eine Magnetfeldänderung in Abhängigkeit von dem Detektionssignal zu bestimmen.
Mikrowellenmessvorrichtung zum Ermitteln eines Feststoffanteils werden beispielsweise in Anwendungen zur Steuerung des Schlammabzuges in der Vor- oder Nachklärung, zur Optimierung des Verbrauchs von Flockungshilfsmitteln bei der Eindickung von Faulschlamm und/oder zur Optimierung der Entwässerung des Überschussschlammes eingesetzt. Dafür ist zumindest eine erste Mikrowellenantenne vorgesehen, um ein Mikrowellensignal in das zu führende und zu überwachende Medium einzustrahlen. Das emittierte Mikrowellensignal durchdringt das Medium und wird an der Innenwandung des Messrohres zurück zur ersten Mikrowellenantenne reflektiert und dort detektiert. In dem Fall ist die erste Mikrowellenantenne ebenfalls dazu eingerichtet, das reflektierte Mikrowellensignal zu messen. Mit Hilfe des reflektierten und detektierten Mikrowellensignals lässt sich der Feststoffanteil im Medium bestimmen. Alternativ kann eine weitere Mikrowellenantenne vorgesehen sein zum Detektieren des Mikrowellen- signales der ersten Mikrowellenantenne.
Die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung ist dazu eingerichtet, eine physikalische und/oder chemische Eigenschaft des Mediums zu ermitteln. In Abhängigkeit der ermittelten physikalischen und/oder chemischen Eigenschaft des Mediums kann ein korrigierter Feststoffanteil ermittelt werden. Das Mikrowellensignal kann zum einen zur Vorzugspolarisation der Kernspins des Mediums als auch zur Anregung des optisch anregbaren Materials eingesetzt werden. Die optische Anregungsvorrichtung ist für das Anregen des optisch anregbaren Materials dazu eingerichtet, ein optisches Anregungssignal, insbesondere mit einer festen Frequenz, zu erzeugen. Die optische Detektionsvorrichtung ist dazu eingerichtet, dass von dem optisch anregbaren Material emittierte Fluoreszenzsignal zu detektieren und ein Detektionssignal bereitzustellen, welches die Intensität des Fluoreszenzsignales umfasst.
Vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass das Mikrowellensignal eine Folge von Hochfrequenzsignalen umfasst.
Dies erlaubt zum einen die Anwendung hochkomplexer Modelle - dank des breiten Spektrums an Frequenzen und dazugehörige Messsignalintensität - für die Bestimmung des Feststoffanteils und gleichzeitig die Ermittlung eines frequenzabhängigen Absorptionsspektrums an der optischen Detektionsvorrichtung.
Eine Ausgestaltung umfasst weiterhin:
- eine zweite Mikrowellenantenne, welche diametral zur ersten Mikrowellenantenne angeordnet ist, wobei die zweite Mikrowellenantenne dazu eingerichtet ist, das Mikrowellensignal zu empfangen.
Die zweite Mikrowellenantenne ist dazu eingerichtet, das emittierte Mikrowellensignal zu erfassen bzw. zu messen. Auf den Weg von der ersten Mikrowellenantenne zur zweiten Mikrowellenantenne propagiert das Mikrowellensignal durch das Medium und durch den etwaigen Feststoff im Medium. Die Auswerteschaltung ist dazu eingerichtet in Abhängigkeit von dem empfangenen Mikrowellensignal den Feststoffanteil im Medium zu bestimmen. Anhand der Signallaufzeit von Mikrowellen wird die Konzentration der Trockensubstanz im Medium ermittelt. Eine Ausgestaltung umfasst weiterhin:
- zumindest eine zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtungen, wobei die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtungen und die zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtung am Umfang des Messrohres beabstandet angeordnet sind.
Vorteilhaft an der Ausgestaltung ist, dass die zwei magnetfeldsensitiven Messvorrichtung die physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften des Mediums an zwei unterschiedliche Positionen im Messrohr überwachen können. So lässt sich ein erster Bereich - in dem sich z.B. typischerweise zuerst Belag bildet oder der Feststoff entlang bewegt - unabhängig von einem zweiten Bereich - der frei von Feststoffen ist - überwachen.
Eine Ausgestaltung umfasst weiterhin:
- eine magnetfelderzeugende Vorrichtung zum Erzeugen eines Magnetfeldes in dem Medium aufweist;
- eine Betriebsschaltung welche dazu eingerichtet ist, ein elektrisches Betriebssignal in die magnetfelderzeugende Vorrichtung einzuspeisen, wobei das Betriebssignal derart ausgebildet ist, dass das mittels der magnetfelderzeugende Vorrichtung erzeugte Magnetfeld bewegliche Ladungsträger im Medium zu einer Bewegung anregt.
Die magnetfelderzeugende Vorrichtung ist vorzugsweise dazu ausgestaltet, eine Vorzugspolarisation der Kernspins in dem Medium zu induzieren und ein, insbesondere statisches, Magnetfeld zumindest in einem Bereich der jeweiligen magnetfeldsensitiven Messvorrichtung, insbesondere im Bereich des optisch anregbaren Materials, zu erzeugen.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass zumindest ein Teil der zweiten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung, insbesondere die Messvorrichtungskomponente, in der zweiten Mikrowellenantenne integriert ist.
Somit kann z.B. der mediumsberührende Teil der zweiten Mikrowellenantenne mittels der zweiten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung überwacht werden. Eine Integration der zweiten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung in der zweiten Mikrowellenantenne hat zudem den Vorteil, dass zum einen die Intensität des Mikrowellensignals maximal ist und zum anderen auf eine weitere Öffnung im Messrohr verzichtet werden kann. Alternativ kann auch ausschließlich die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung in der ersten Mikrowellenantenne integriert sein.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass die Auswerteschaltung dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit von dem Detektionssignal eine elektrische Leitfähigkeit des Mediums zu bestimmen, wobei das Detektionssignal mit einer Änderung und/oder einer Stärke eines durch die beweglichen Ladungsträger des Mediums erzeugten Magnetfeldes korreliert.
Die Ausgestaltung macht sich zu Nutze, dass die beweglichen Ladungsträger des Mediums durch ihre Bewegung auf Grund eines wechselnden, jedoch bekannten Magnetfeldes, wiederum ein Magnetfeld erzeugen. Durch das Messen des erzeugten Magnetfeldes mittels der magnetfeldsensitiven Messvorrichtung lässt sich eine Leitfähigkeit des Mediums bestimmen. Die ermittelte Leitfähigkeit kann in die Ermittlung des korrigierten Feststoffan teils eingehen.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass die Auswerteschaltung dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit von dem Detektionssignal, insbesondere in Abhängigkeit von einer Abweichung des Detektionssignales von einem insbesondere veränderlichen Kriterium Fremdkörper im Medium zu detektieren.
Die Ausgestaltung macht sich zu Nutze, dass sich mittels der magnetfeldsensitiven Messvorrichtungen bereits geringste Magnetfelder ermitteln lassen können. Somit können selbst kleinste magnetische oder metallische Partikel im Medium detektiert werden. Weiterhin können mit Hilfe einer magnetfelderzeugenden Vorrichtung Fremdkörper detektiert werden, die weder metallisch noch magnetisch sind. Kunststoff oder Keramik Fremdkörper im Medium stören das durch die Bewegung der beweglichen Ladungsträger im Medium erzeugte Magnetfeld. Diese Störung wird erfindungsgemäß mit der oder den magnetfeldsensitiven Messvorrichtungen ermittelt und ausgehend von festgesetzten Kriterien lässt sich eine Aussage über die Präsenz eines Fremdkörpers machen.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass die Auswerteschaltung dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit von dem von einem Kernspinresonanz des Mediums beeinflussten Detektionssignales eine chemische oder physikalische Eigenschaft des Mediums zu ermitteln.
Viele Atomkerne weisen einen von Null verschiedenen Kernspin und damit als rotierende Ladungsträger ein magnetisches Moment auf, so wie beispielsweise 1 H- oder 13 C- Atome. Die Kernspins führen in einem statischen Magnetfeld eine präzidierende Bewegung, die sogenannten Larmorpräzession, um die Achse des konstanten Magnetfelds durch. Dabei ändern die Atomkerne die Orientierung ihrer Kernspins zum Magnetfeld durch die Absorption oder Emission von magnetischen Wechselfeldern, wenn diese resonant mit der Larmorfrequenz sind. Dieser Effekt ist auch als Kernspinresonanz bekannt. Die möglichen magnetischen Drehimpulsquantenzustände der Kernspins sind dabei äquidistant und abhängig von der Larmorfrequenz. Die Frequenz und die Dauer der Larmorpräzession sind abhängig von dem jeweiligen Kernspin, sowie seiner räumlichen und chemischen Umgebung. Die Detektion der Larmorpräzessionen anhand der Larmorfrequenzen ermöglicht somit eine sehr genaue Bestimmung der chemischen Zusammensetzung der Probe und der räumlichen Struktur der in der Probe enthaltenen Moleküle. Gemäß der Ausgestaltung macht man sich die hohe Empfindlichkeit der ersten magnetfeldsensitive Messvorrichtung gegenüber der Magnetfelder im Medium zu Nutze, um somit die chemische oder physikalische Eigenschaft des Mediums zu ermitteln.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass das Messrohr durch eine Messrohrebene in zwei Abschnitte eingeteilt ist, wobei die erste Mikrowellenantenne und zumindest die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung in unterschiedlichen Abschnitten angeordnet sind.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass das optisch anregbare Material zumindest einen Krista II körper mit zumindest einer Fehlstelle oder zumindest eine Gaszelle aufweist.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass es sich bei dem Krista II körper um einen Diamanten mit zumindest einer Stickstoff- Fehlstelle, um Siliziumcarbid mit zumindest einer Silizium-Fehlstelle oder um hexagonales Bornitrid mit zumindest einem Fehlstellen- Farbzentrum handelt.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass es sich bei der Gaszelle um eine zumindest ein gasförmiges Alkalimetall einschließende Zelle handelt.
Die Mikrowellenmessvorrichtung umfasst eine optische Anregungsvorrichtung zur optischen Anregung des optisch anregbaren Materials bzw. des Kristallkörpers oder der Gaszelle und eine Detektionseinheit zur Detektion eines Fluoreszenzsignals des Kristallkörpers oder der Gaszelle, welches mit dem auf die magnetfeldsensitive Messvorrichtung, insbesondere das optisch anregbare Material wirkenden Magnetfeld korreliert. Optional können Filter und Spiegel sowie weitere optische Elemente eingesetzt werden, um ein Anregungslicht zum Kristallkörper oder zur Gaszelle und/oder das Fluoreszenzsignal hin zur Detektionseinheit zu lenken. Der Kristallkörper wird mit dem frequenzabhängigen Mikrowellensignal beaufschlagt, welches durch eine magnetfeldsensitive Messvorrichtung erzeugt wird. Vorteilhaft an der Ausgestaltung ist, dass derartige Messsysteme sehr kompakt realisierbar sind und sich einfach in die Mikrowellenmessvorrichtung integrieren lassen. Weiterhin ist vorteilhaft, dass sich mit den erfindungsgemäßen magnetfeldsensitive Messvorrichtungen, insbesondere Krista 11 körpern, bereits sehr geringe Magnetfelder bzw. Magnetfeldänderungen detektieren lassen.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 : ein vereinfachtes Energieschema für ein negativ geladenes NV-Zentrum im Diamant;
Fig. 2: einen Querschnitt durch eine erste Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung;
Fig. 3: einen Querschnitt durch eine zweite Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung;
Fig. 4: einen Querschnitt durch eine dritte Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung;
Fig. 5: einen Querschnitt durch eine vierte Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung;
Fig. 6: einen Querschnitt durch eine fünfte Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung; und
Fig. 7: einen Längsschnitt durch die erste Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung.
In Fig. 1 ist ein vereinfachtes Energieschema für ein negativ geladenes NV-Zentrum in einem Diamanten gezeigt, um die Anregung und die Fluoreszenz einer Fehlstelle in einem Kristallkörper beispielhaft zu erläutern. Die folgenden Überlegungen lassen sich auf andere Kristallkörper mit entsprechenden Fehlstellen übertragen.
Im Diamant ist typischerweise jedes Kohlenstoffatom mit vier weiteren Kohlenstoffatomen kovalent verbunden. Ein nitrogen vacancy-Zentrum (NV-Zentrum) besteht aus einer Fehlstelle im Diamantgitter, also einem unbesetzten Gitterplatz, und einem Stickstoffatom als einem der vier Nachbaratome. Insbesondere die negativ geladenen NV--Zentren sind für die Anregung und Auswertung von Fluoreszenzsignalen von Bedeutung. Im Energieschema eines negativ geladenen NV-Zentrums findet sich neben einem Triplett- Grundzustand 3A ein angeregter Triplett-Zustand 3E, welche jeweils drei magnetische Unterzustände ms = 0, ±1 aufweisen. Weiterhin befinden sich zwei metastabile Singulett- Zustände 1A und 1E zwischen dem Grundzustand 3A und dem angeregten Zustand 3E.
Durch Anregungslicht 201 aus dem grünen Bereich des sichtbaren Spektrums, also z.B. ein Anregungslicht 201 mit einer Wellenlänge von 532 nm, findet eine Anregung eines Elektrons aus dem Grundzustand 3A in einen Vibrationszustand des angeregten Zustand 3E statt, welches unter Aussenden eines Fluoreszenz-Photons 202 mit einer Wellenlänge von 630 nm in den Grundzustand 3A zurückkehrt. Ein angelegtes Magnetfeld mit einer Magnetfeldstärke B führt zu einer Aufspaltung (Zeeman-Splitting) der magnetischen Unterzustände, so dass der Grundzustand aus drei energetisch separierten Unterzuständen besteht, von denen jeweils eine Anregung erfolgen kann. Die Intensität des Fluoreszenzsignals ist jedoch abhängig von dem jeweiligen magnetischen Unterzustand, von dem aus angeregt wurde, so dass anhand des Abstands der Fluoreszenzminima beispielsweise die Magnetfeldstärke B mithilfe der Zeeman-Formel berechnet werden kann. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung sind weitere Möglichkeiten der Auswertung des Fluoreszenzsignals vorgesehen, wie beispielsweise die Auswertung der Intensität des Fluoreszenzlichts, welche dem angelegten Magnetfeld ebenfalls proportional ist. Eine elektrische Auswertung wiederum kann beispielsweise über eine Photocurrent Detection of Magnetic Resonance (engl. kurz PDMR) erfolgen. Neben diesen Beispielen zur Auswertung des Fluoreszenzsignals sind noch weitere Möglichkeiten vorhanden, welche ebenfalls unter die vorliegende Erfindung fallen.
Die Anregung von Gaszellen ist nicht explizit gezeigt, jedoch führt auch bei Gaszellen die Anregung mit Licht einer definierten Wellenlänge zu einer Anregung eines Elektrons, wobei im Anschluss eine Aussendung eines Fluoreszenzlichts folgt. Beispielsweise wird die Intensität und/oder die Wellenlänge des ausgesandten Fluoreszenzlicht zur Bestimmung des Magnetfelds herangezogen.
Die Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch eine erste Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung zum Ermitteln eines Feststoffanteils eines fließfähigen Mediums. Die Mikrowellenmessvorrichtung umfasst ein Messrohr 1 zum Führen des Mediums, eine erste Mikrowellenantenne 2, die dazu eingerichtet ist, ein insbesondere veränderliches, Mikrowellensignal zu erzeugen und in das Medium einzustrahlen und eine erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung 3 zum Bestimmen eines Magnetfeldes, welche diametral zur ersten Mikrowellenantenne 2 angeordnet ist. Die erste Mikrowellenantenne 2 ist mediumsberührend in einer Öffnung im Messrohr 1 positioniert. Bei der ersten Mikrowellenantenne 2 kann es sich beispielsweise um eine Hohleiterantenne oder eine Planarantenne handeln. Das Messrohr 1 umfasst ein, insbesondere metallisches, Trägerrohr. Eine Auswerteschaltung 4 ist dazu eingerichtet, ein Magnetfeld und/oder eine Magnetfeldänderung in Abhängigkeit von einem Detektionssignal zu bestimmen. Die Auswerteschaltung 4 umfasst einen Mikroprozessor zum Verarbeiten des an der optischen Detektionsvorrichtung 10 bereitgestellten Detektionssignales und umfasst in der Regel eine Vielzahl von elektrischen bzw. elektromechanischen Einzelelementen (Batterie, Schalter, Anzeige, ...) zu einer funktionsgerechten Anordnung. Weiterhin ist die Auswerteschaltung 4 dazu eingerichtet, ein an der ersten Mikrowellenantenne 2 gemessenen Mikrowellensignales zu verarbeiten. Weiterhin ist die Auswerteschaltung dazu eingerichtet, in Abhängigkeit des Detektionssignales ein Magnetfeld und/oder eine Magnetfeldänderung zu bestimmen. Fig. 7 zeigt einen Längsschnitt durch die erste Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung mit einer detaillierteren Darstellung der ersten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung 3. Die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung 3 umfasst eine Messvorrichtungskomponente mit einem optisch anregbaren Material 11 , welches in Wirkung mit dem Mikrowellensignal steht, welches eine Folge von Hochfrequenzsignalen umfasst. Außerdem umfasst die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung 3 eine optische Anregungsvorrichtung 7, die dazu eingerichtet ist, das optisch anregbare Material optisch 11 anzuregen und eine optische Detektionsvorrichtung 10, die dazu eingerichtet ist, ein Detektionssignal bereitzustellen, welches mit einem vom optisch anregbaren Material 11 emittierten Fluoreszenzsignales, insbesondere Licht, korreliert. Das optisch anregbare Material 11 umfasst zumindest einen Kristallkörper mit zumindest einer Fehlstelle, wobei es sich bei dem Kristallkörper um einen Diamanten mit zumindest einer Stickstoff-Fehlstelle, um Siliziumcarbid mit zumindest einer Silizium-Fehlstelle oder um hexagonales Bornitrid mit zumindest einem Fehlstellen-Farbzentrum handelt. Dabei kann das optisch anregbare Material 11 auch als eine Beschichtung mit einer Vielzahl von Krista II körpern ausgebildet sein.
Alternativ kann das optisch anregbare Material 11 eine Gaszelle aufweisen, die als eine zumindest ein gasförmiges Alkalimetall einschließende Zelle ausgebildet ist.
Die Fig. 2 zeigt weiterhin eine magnetfelderzeugende Vorrichtung 8 zum Erzeugen eines Magnetfeldes in dem Medium. Dabei kann die magnetfelderzeugende Vorrichtung 8 eine Spule oder einen Permanentmagneten umfassen. Im Falle, dass die magnetfelderzeugende Vorrichtung 8 eine Spule umfasst ist weiterhin eine Betriebsschaltung 9 vorgesehen, welche dazu eingerichtet ist, ein elektrisches Betriebssignal in die magnetfelderzeugende Vorrichtung 8, insbesondere in die Spule, einzuspeisen. Für die Induktion einer Vorzugspolarisation der Kernspins des Mediums ist eine magnetfelderzeugende Vorrichtung 8 vorgesehen. Die magnetfelderzeugende Vorrichtung 8 erzeugt zumindest im Bereich der ersten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung und im Bereich des optisch anregbaren Materials ein homogenes Magnetfeld.
Das Betriebssignal kann derart ausgebildet sein, dass das mittels der magnetfelderzeugende Vorrichtung 8 erzeugte Magnetfeld bewegliche Ladungsträger im Medium zu einer Bewegung anregt. Anhand der Bewegung der beweglichen Ladungsträger lässt sich zum Beispiel über die Auswerteschaltung 4 eine Leitfähigkeit des Mediums in Abhängigkeit von dem Detektionssignal bestimmen, da dieses mit einer Änderung und/oder einer Stärke eines durch die beweglichen Ladungsträger des Mediums erzeugten Magnetfeldes korreliert. Alternativ kann die Auswerteschaltung 4 dazu eingerichtet sein, in Abhängigkeit von dem Detektionssignal, insbesondere in Abhängigkeit von einer Abweichung des Detektionssignales, von einem, insbesondere veränderlichen, Kriterium Fremdkörper im Medium zu detektieren.
Gemäß einerweiteren Alternative kann die Auswerteschaltung 4 dazu eingerichtet sein, in Abhängigkeit von dem von einem Kernspinresonanz des Mediums beeinflussten Detektionssignales eine chemische und/oder physikalische Eigenschaft des Mediums zu ermitteln. Somit lassen sich die Zusammensetzung des Mediums und/oder geringste Verunreinigungen im Medium detektieren.
Die Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch eine zweite Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung. Die zweite Ausgestaltung unterscheidet sich von der ersten Ausgestaltung dadurch, dass mehr als nur eine magnetfeldsensitive Messvorrichtung vorgesehen ist. Zusätzlich zur ersten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung 3 sind eine zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtungen 6 und eine dritte magnetfeldsensitive Messvorrichtung 12 jeweils in einer vorgesehenen Öffnung im Messrohr mediumsberührend angeordnet. Die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtungen 3, die zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtung 6 und die dritte magnetfeldsensitive Messvorrichtung 12 sind am Umfang des Messrohres beabstandet angeordnet. Das Messrohr umfasst ein metallisches Trägerrohr 13 mit einem innenseitig angeordneten elektrisch isolierenden Liner 14. Das durch die erste Mikrowellenantenne 2 ausgesandte Mikrowellensignal propagiert durch das Medium hin zu den gegenüberliegend angeordneten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung 3, 6, 12, um dort eine Vorzugspolarisation in den Elektronspins der Sensorkomponente zu induzieren und diese Vorzugspolarisation der Elektronenspins anschließend auf die Kernspins der Probe zu übertragen. Wenn das Mikrowellensignal einen Frequenzbereich von vorzugsweise 0,3 bis 20 GHz, insbesondere von 1 ,8 bis 8,5 GHz und bevorzugt von 1 ,8 bis 3,0 GHz abdeckt, dann kann bei einem optischen Anregungssignal mit einer festen Frequenz ein frequenzabhängiges Absorptionsspektrum erzeugt werden, welches in Form des Detektionssignales an der optischen Detektionsvorrichtung bereitsgestellt wird. Mit Hilfe von Minima in der Intensität des Detektionssignales, insbesondere der Position der Minima lassen sich kleinste Magnetfelder oder Magnetfeldänderungen detektieren.
Es können auch mehr als drei magnetfeldsensitive Messvorrichtungen 3, 6, 12 vorgesehen sein. Außerdem können die magnetfeldsensitive Messvorrichtungen 3, 6, 12 ebenfalls in unmittelbarer Nähe zur erste Mikrowellenantenne 2 angeordnet sein. Siehe dazu die vierte Ausgestaltung der Fig. 5.
Die Fig. 4 zeigt einen Querschnitt durch eine dritte Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung. Die dritte Ausgestaltung unterscheidet sich von der ersten Ausgestaltung dadurch, dass zusätzlich zur ersten Mikrowellenantenne 2 eine zweite Mikrowellenantenne 5 in einer Öffnung im Messrohr eingesetzt ist. Die zweite Mikrowellenantenne 5 ist diametral zur ersten Mikrowellenantenne 2 angeordnet und dazu eingerichtet, das von der ersten Mikrowellenantenne 2 ausgesandte Mikrowellensignal zu empfangen. Die Auswerteschaltung (nicht abgebildet) ist dazu eingerichtet, in Abhängigkeit des an der zweiten Mikrowellenantenne 5 empfangenen Mikrowellensignales einen Feststoffanteil des Mediums zu ermitteln. Zusätzlich kann das erzeugte und ausgesandte Mikrowellensignal in die Ermittlung des Feststoffanteils eingehen. Es können beide Mikrowellenantennen 2, 5 jeweils dazu eingerichtet sein, ein Mikrowellensignal auszusenden und/oder zu empfangen. Weiterhin umfasst die dritte Ausgestaltung zusätzlich zu der ersten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung 3 eine weitere zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtung 6. Diese ist diametral zur ersten magnetfeldsensitive Messvorrichtung 3 angeordnet. Beide magnetfeldsensitiven Messvorrichtungen 3, 6 stehen in Wirkung der Mikrowellensignale der Mikrowellenantennen 2, 5, da diese ausgehend von der jeweiligen Mikrowellenantenne 2, 5 in alle Richtungen innerhalb des Messrohres propagieren. Eine Messrohrebene M schneidet das Messrohr und teilt es zumindest abschnittsweise in zwei im Wesentlichen volumenmäßig gleiche Abschnitte ein. Beide Abschnitte umfassen jeweils eine Mikrowellenantenne und eine magnetfeldsensitive Messvorrichtung. Die beiden magnetfeldsensitiven Messvorrichtungen weisen jeweils eine magnetfelderzeugende Vorrichtung auf, die dazu eingerichtet ist, lokal ein Magnetfeld zu erzeugen. Dieses kann konstant oder veränderlich sein. Die magnetfeldsensitive Messvorrichtungen sind jeweils mit der Auswerteschaltung elektrisch verbunden (nicht abgebildet). Diese ist dazu eingerichtet, in Abhängigkeit der mittels der magnetfeldsensitiven Messvorrichtungen ermittelten und bereitgestellten Detektionssignale eine ungefähre Position eines Fremdkörpers und/oder einen Grad einer Verunreinigung zu bestimmen.
Die Fig. 6 zeigt einen Querschnitt durch eine fünfte Ausgestaltung der Mikrowellenmessvorrichtung. Die fünfte Ausgestaltung unterscheidet sich von der ersten Ausgestaltung dadurch, dass zusätzlich zu der erste Mikrowellenantenne 2 eine zu ihr diametral angeordnete zweite Mikrowellenantenne 5 vorgesehen ist. Diese ist dazu eingerichtet, das durch die erste Mikrowellenantenne 2 emittierte Mikrowellensignal zu erfassen und gegebenenfalls ein eigenes Mikrowellensignal auszusenden. In zumindest einem Teil der zweiten Mikrowellenantenne 5 ist die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung 3, insbesondere deren Messvorrichtungskomponente bzw. das optisch anregbare Material 11 integriert. Dies kann beispielsweise so umgesetzt sein, dass eine Öffnung in der zweite Mikrowellenantenne 5 vorgesehen ist, in der die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung 3 eingeführt ist. Alternativ kann auch eine zumindest abschnittsweise sacklochförmige Aufnahme in der zweite Mikrowellenantenne 5 vorgesehen werden. Bezugszeichenliste
Messrohr 1 erste Mikrowellenantenne 2 erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung 3
Auswerteschaltung 4 zweite Mikrowellenantenne 5 zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtung 6 optische Anregungsvorrichtung 7 magnetfelderzeugende Vorrichtung 8
Betriebsschaltung 9 optische Detektionsvorrichtung 10 optisch anregbares Material 11 dritte magnetfeldsensitive Messvorrichtung 12 Trägerrohr 13
Liner 14

Claims

Patentansprüche
1. Mikrowellenmessvorrichtung, insbesondere zum Ermitteln eines Feststoffanteils eines fließfähigen Mediums, umfassend:
- ein Messrohr (1) zum Führen des Mediums;
- eine erste Mikrowellenantenne (2), die dazu eingerichtet ist, ein insbesondere veränderliches Mikrowellensignal zu erzeugen und in das Medium einzustrahlen; und
- zumindest eine erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung (3) zum Bestimmen eines Magnetfeldes, umfassend:
-- eine Messvorrichtungskomponente mit einem optisch anregbaren Material (11), wobei das Mikrowellensignal in Wirkung mit dem optisch anregbaren Material (11) steht;
-- eine optische Anregungsvorrichtung (7), die dazu eingerichtet ist, das optisch anregbare Material (11) optisch anzuregen; und
-- eine optische Detektionsvorrichtung (10), die dazu eingerichtet ist, ein
Detektionssignal bereitzustellen, welches mit einem vom optisch anregbaren Material (11) emittierten Licht korreliert;
- eine Auswerteschaltung (4), die dazu eingerichtet ist ein Magnetfeld und/oder eine Magnetfeldänderung in Abhängigkeit von dem Detektionssignal zu bestimmen.
2. Vorrichtung nach dem Anspruch 1 , wobei das Mikrowellensignal eine Folge von Hochfrequenzsignalen umfasst.
3. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, umfassend:
- eine zweite Mikrowellenantenne (5), welche diametral zur ersten Mikrowellenantenne (2) angeordnet ist, wobei die zweite Mikrowellenantenne (5) dazu eingerichtet ist, das Mikrowellensignal zu empfangen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Auswerteschaltung (4) dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit von dem empfangenen Mikrowellensignal einen Festkörperanteil im Medium zu bestimmen.
5. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, umfassend:
- zumindest eine zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtungen (6), wobei die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtungen (3) und die zweite magnetfeldsensitive Messvorrichtung (6) am Umfang des Messrohres (1) beabstandet angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, umfassend:
- eine magnetfelderzeugende Vorrichtung (8) zum Erzeugen eines Magnetfeldes in dem Medium aufweist;
- eine Betriebsschaltung (9) welche dazu eingerichtet ist, ein elektrisches Betriebssignal in die magnetfelderzeugende Vorrichtung (8) einzuspeisen, wobei das Betriebssignal derart ausgebildet ist, dass das mittels der magnetfelderzeugende Vorrichtung (8) erzeugte Magnetfeld bewegliche Ladungsträger im Medium zu einer Bewegung anregt.
7. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, wobei zumindest ein Teil der zweiten magnetfeldsensitiven Messvorrichtung (6), insbesondere die Messvorrichtungskomponente in der zweiten Mikrowellenantenne (5) integriert ist.
8. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Auswerteschaltung (4) dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit von dem Detektionssignal eine elektrische Leitfähigkeit des Mediums zu bestimmen, wobei das Detektionssignal mit einer Änderung und/oder einer Stärke eines durch die beweglichen Ladungsträger des Mediums erzeugten Magnetfeldes korreliert. 17
9. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Auswerteschaltung (4) dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit von dem Detektionssignal, insbesondere in Abhängigkeit von einer Abweichung des Detektionssignales von einem, insbesondere veränderlichen, Kriterium Fremdkörper im Medium zu detektieren.
10. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Auswerteschaltung (4) dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit von dem von einem Kernspinresonanz des Mediums beeinflussten Detektionssignales eine chemische und/oder physikalische Eigenschaft des Mediums zu ermitteln.
11. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Messrohr (1) in einer Messrohrebene in zwei Abschnitte eingeteilt ist, wobei die erste Mikrowellenantenne (2) und zumindest die erste magnetfeldsensitive Messvorrichtung (3) in unterschiedlichen Abschnitten angeordnet sind.
12. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, wobei das optisch anregbare Material (11) zumindest einen Krista II körper mit zumindest einer Fehlstelle oder zumindest eine Gaszelle aufweist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei es sich bei dem Krista II körper um einen Diamanten mit zumindest einer Stickstoff-Fehlstelle, um Siliziumcarbid mit zumindest einer Silizium-Fehlstelle oder um hexagonales Bornitrid mit zumindest einem Fehlstellen-Farbzentrum handelt.
14. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei es sich bei der Gaszelle um eine zumindest ein gasförmiges Alkalimetall einschließende Zelle handelt.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102023207184A1 (de) 2023-07-27 2025-01-30 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Sensorsystem zur Erfassung eines Mediums
DE102023126144A1 (de) * 2023-09-26 2025-03-27 Endress+Hauser SE+Co. KG Detektion von Fremdkörpern in Prozessmedien

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0466804A (ja) 1990-07-06 1992-03-03 Yokogawa Electric Corp アブソリュート測長器
US5327105A (en) 1991-12-31 1994-07-05 Westinghouse Electric Corp. Gas cell for a miniaturized atomic frequency standard
DE19504544A1 (de) 1995-02-11 1996-08-14 Reich Ernst Verfahren zum Ermitteln der Beladung eines Gasstroms mit Feststoffanteilen
US6133800A (en) 1999-08-02 2000-10-17 Datum Inc. Subminiature microwave cavity
DE10137009C1 (de) 2001-07-28 2003-04-03 Mic Measuring Ideas Consulting Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Massenstroms
DE10164107C1 (de) 2001-12-24 2003-09-18 Promecon Prozess & Messtechnik Mikrowellen-Messeinrichtung zur Bestimmung der Beladung einer Zweiphasenströmung
DE102006023916A1 (de) 2006-05-19 2007-11-22 Endress + Hauser Flowtec Ag Magnetisch-induktives Durchflussmessgerät
US8193808B2 (en) * 2009-09-11 2012-06-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optically integrated biosensor based on optically detected magnetic resonance
US8536883B2 (en) * 2010-04-29 2013-09-17 Schlumberger Technology Corporation Method of measuring a multiphase flow
US9329152B2 (en) 2011-08-05 2016-05-03 Wisconsin Alumni Research Foundation Gas magnetometer
US10184796B2 (en) 2013-04-10 2019-01-22 Microsemi Frequency And Time Corporation Chip-scale atomic gyroscope
US9435791B2 (en) * 2014-06-27 2016-09-06 Verily Life Sciences, LLC Method for using nanodiamonds to detect nearby magnetic nanoparticles
DE102014219561A1 (de) * 2014-09-26 2016-03-31 Robert Bosch Gmbh Einrichtung zur Analyse von Substanzen in einer Probe, Atemgasanalysegerät, Kraftstoffsensor und Verfahren
DE102014219550A1 (de) 2014-09-26 2016-03-31 Robert Bosch Gmbh Kombinationssensor zur Messung von Druck und/oder Temperatur und/oder Magnetfeldern
US10677953B2 (en) * 2016-05-31 2020-06-09 Lockheed Martin Corporation Magneto-optical detecting apparatus and methods
DE102016125809A1 (de) 2016-12-28 2018-06-28 Endress+Hauser Flowtec Ag Messanordnung zur Analyse von Eigenschaften eines strömenden Mediums mittels Mikrowellen
JP7136076B2 (ja) * 2017-02-21 2022-09-13 住友電気工業株式会社 ダイヤモンド磁気センサー
DE102017205099A1 (de) 2017-03-27 2018-09-27 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung, Sensorvorrichtungseinheit, System und Verfahren zum Erfassen einer Messgröße sowie Verfahren zum Herstellen einer Sensorvorrichtung
DE102017205265A1 (de) 2017-03-29 2018-10-04 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung, System und Verfahren zum Erfassen einer Messgröße
US11340320B2 (en) * 2017-06-29 2022-05-24 Danmarks Tekniske Universitet Magnetometer for measuring an unknown external magnetic field
GB2574643A (en) * 2018-06-13 2019-12-18 Ucl Business Plc Magnetometer and method of detecting a magnetic field
DE102018214617A1 (de) 2018-08-29 2020-03-05 Robert Bosch Gmbh Sensoreinrichtung
JP7209176B2 (ja) * 2018-10-26 2023-01-20 スミダコーポレーション株式会社 磁場発生源検出装置および磁場発生源検出方法
DE102019203930B4 (de) 2019-03-22 2024-01-11 Robert Bosch Gmbh Sensoreinrichtung
US11255898B2 (en) * 2020-05-08 2022-02-22 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg System and method for testing a device-under-test
DE102020123993A1 (de) 2020-09-15 2022-03-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Quantensensor
DE102021100223A1 (de) 2021-01-08 2022-07-14 Endress+Hauser SE+Co. KG Sensorvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums in einem Behälter
US11484125B2 (en) 2021-03-29 2022-11-01 Invacare Corporation Multi-axis headrest system and method
DE102021120972A1 (de) * 2021-08-11 2023-02-16 Analytik Jena Gmbh Vorrichtung für die Analyse einer als Tropfen bereitgestellten flüssigen oder pastösen Probe anhand von Kernspinresonanzen der Probe

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Publication number Publication date
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