EP4367283A1 - Beschichtungsanlage zur beschichtung eines flächigen gegenstands sowie ein verfahren zum beschichten eines flächigen gegenstands - Google Patents

Beschichtungsanlage zur beschichtung eines flächigen gegenstands sowie ein verfahren zum beschichten eines flächigen gegenstands

Info

Publication number
EP4367283A1
EP4367283A1 EP22732455.5A EP22732455A EP4367283A1 EP 4367283 A1 EP4367283 A1 EP 4367283A1 EP 22732455 A EP22732455 A EP 22732455A EP 4367283 A1 EP4367283 A1 EP 4367283A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
nozzle
axis
rotation
section
nozzle outlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP22732455.5A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Christian Schwerdt
Andre SAMUSCH
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ThyssenKrupp Steel Europe AG
Original Assignee
ThyssenKrupp Steel Europe AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ThyssenKrupp Steel Europe AG filed Critical ThyssenKrupp Steel Europe AG
Publication of EP4367283A1 publication Critical patent/EP4367283A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

Definitions

  • the invention relates to a coating system for coating a flat object and a method for coating a flat object.
  • gas phase deposition is based on the principle of coating a surface of the flat object, which can be, for example, a steel strip or a pane of glass, by means of deposition from material present in the gas phase.
  • the material is initially provided as the starting material.
  • the starting material is then brought into a gas phase.
  • the components of the material present in the gas phase in particular atoms and/or ions, are deposited on the surface to be coated and thereby form a coating.
  • CVD chemical vapor deposition
  • PVD physical vapor deposition
  • arc evaporation arc evaporation
  • gas phase deposition is that coatings can be produced with good economic efficiency, the properties of which can be influenced to a large extent and in a wide range of properties.
  • gas phase deposition is suitable for producing coatings on different materials.
  • Gas phase deposition is also suitable, for example, for the production of coatings which have a high-melting material.
  • gas phase deposition also enables coatings in which the material is present in a metastable phase and as a result has certain properties, for example mechanical or optical properties, which are not present in a stable phase state.
  • Jet vapor deposition is based on the principle of evaporating the starting material in an evaporation section of a device for gas-phase deposition of the material, for example in an evaporator designed as a crucible, and then directing the material, which is then in the gas phase, through a nozzle section at comparatively high pressure in a targeted manner in the direction of the lead to steamed surface.
  • the surface to be vaporized is often brought into an atmosphere which has a negative pressure compared to the atmosphere prevailing in the vaporization section.
  • the negative pressure is a vacuum with, for example, between 0.1 mbar and 20 mbar, preferably less than 1 mbar residual gas pressure.
  • the advantages of the JVD process unfold in particular in the large-area coating of flat objects, in particular also of metallic strip such as steel strip in particular.
  • An advantage of JVD is that due to the comparatively high pressure with which the material present in the gas phase is directed to the surface to be vaporized, coating is possible at high line speeds and consequently with good economics.
  • WO 2016/042079 A1 discloses a device with which a starting material can be brought into the gas phase so that it can then be deposited on a surface to be steamed.
  • the material used to form the respective coating is, for example, in the form of a wire or strip.
  • the starting material is in a
  • Pre-evaporation section which is upstream of an evaporation section, brought into the area of influence of an electric arc, with preferably two wires or two strips of the starting material being present, one of which is connected as a cathode and one as an anode with an electrical DC voltage source and with the DC voltage source one to form a Arc sufficient voltage is set.
  • the material melted and/or vaporized by the energy of the arc flows by means of a gas stream of a gas or gas mixture into the vaporization section, which is designed as a chamber whose walls have a temperature that is above the vaporization temperature of the elementary components of the material used for the coating lies.
  • the components of the material evaporate completely in the chamber and then pass through an opening in the chamber into a nozzle section and are directed through this in the direction of the surface to be coated.
  • the components of the material hit the surface to be coated and form a coating there.
  • Both the JVD described at the outset and the exemplary embodiment of a device for gas-phase deposition of material described in WO 2016/042079 A1 are two representatives of a gas-phase deposition in which the starting material is in an evaporation section, in the case of WO 2016/042079 A1 additionally with an upstream pre-evaporation section for arc evaporation, is brought into its gas phase by means of evaporation and then through a nozzle section to the surface to be coated.
  • the movement of the particles present in the gas phase is brought about at least essentially, preferably completely, by the pressure difference between the evaporation section and the space, for example a vacuum chamber, in which the flat object to be coated is located or through which it is passed through.
  • one challenge is to obtain good homogeneity of the layer thickness of the coatings in the transverse direction of the flat object, for example along an entire bandwidth.
  • the object is achieved with a coating system for coating a flat object with the features of claim 1 and with a method for coating a flat object with the features of claim 12.
  • a coating system according to the invention serves the purpose of being able to coat a flat object.
  • a strip can be provided as a flat object, preferably a metallic strip such as a steel strip.
  • the coating takes place with a material present in the gas phase, in particular based on one of the mechanisms described above.
  • the coating system has a vacuum chamber through which the flat object to be coated can be guided.
  • the coating system also has a device for gas phase deposition of the material.
  • the device for gas phase deposition comprises in particular an evaporation section and a nozzle section.
  • the evaporation section is designed, for example, as an evaporation crucible, preferably with a cylindrically shaped, in particular circular-cylindrically shaped, section.
  • the evaporation section preferably consists partially or entirely of graphite or CFC (carbon fiber reinforced carbon).
  • a bottom section and/or a wall, preferably all walls, of the evaporation section are designed to be heatable, for example by means of heating coils, in order to heat the evaporation section to a temperature above the evaporation temperature of the starting material.
  • gas phase and vaporization are used throughout the description because they are common in the field of technology described.
  • gas phase includes that a small proportion by weight, for example up to 30% by weight, preferably not more than 10% by weight, of the material present in the gas phase is not in the gas phase in the physical sense, but instead as an aerosol and/or can exist as a cluster.
  • evaporation includes that, depending on the material used and the technology used, the transition of the particles into the gas phase also takes place at least partially by means of other mechanisms, for example by sublimation.
  • the term vaporization thus includes, in addition to vaporization in the strictly physical sense, i.e. a transition from “liquid -> gas phase”, also other mechanisms, such as sublimation in particular.
  • the nozzle section is directly or indirectly coupled to the evaporation section.
  • the nozzle section has a nozzle disposed within the vacuum chamber and includes an orifice through which the constituents of the gas phase material can exit the nozzle.
  • the nozzle outlet is oriented in the coating system in such a way that gas phase particles emerging from the nozzle outlet are directed to the location at which the surface to be coated, i.e. the flat object, located.
  • the flat object is guided through the vacuum chamber, so that the surface of the flat object to be coated is coated with material that continuously impinges on the surface and settles there, condensing.
  • the nozzle is rotatably mounted.
  • the rotatable bearing is used to change the orientation of the nozzle outlet relative to the surface to be coated. Because the nozzle is rotatably mounted and the orientation of the nozzle outlet can be changed relative to the surface to be coated, the way in which the material present in the gas phase is directed onto the surface of the flat object can be specifically influenced or adjusted.
  • An embodiment is particularly preferred in which the nozzle section is rotatably mounted adjacent to the evaporation section, so that the evaporation section acts as a plain bearing for the nozzle section.
  • an evaporation section made partially or completely from graphite and/or CFD develops the advantage that carbon acts as a natural lubricant.
  • graphite in powder and/or paste form can be used as a lubricant and for this purpose can be introduced between the surfaces of the evaporation section and nozzle section that lie against one another and slide over one another.
  • the nozzle outlet can be designed as a slit, for example. It is particularly preferred that the nozzle outlet lies in a plane which lies parallel to the surface to be coated, at least in the section in which the coating takes place, with the nozzle being able to assume a position particularly preferably in which the slot is perpendicular to a direction of movement, also as the transport direction, the surface to be coated and around it with a Axis of rotation is rotatable, which is perpendicular to the surface to be coated.
  • the length of the slit-like nozzle is selected such that at an angle of 90 degrees between the transport direction and the slit-like nozzle, a width of the flat object, for example a strip width, is completely covered for those strips that have the maximum width , for the implementation of which the vacuum chamber is designed.
  • a width of the flat object for example a strip width
  • the effective coating width perpendicular to the running direction of the strip can then be changed with the factor sin( ).
  • a device provided in this way is particularly suitable for enabling the coating of flat objects, in particular strips, with a bandwidth that is smaller than the longitudinal extension of a slit-like nozzle outlet with high efficiency, so that no portion of the material present in the gas phase past the two band edges is deposited inside the vacuum chamber without being available for coating the surface.
  • the existing starting material is used and used as efficiently as possible; on the other hand, contamination of the vacuum chamber when coating narrower strips is avoided.
  • the coating system according to the invention and its developments ensure that there is a high degree of flexibility with regard to the possible width of a surface to be coated perpendicular to its transport direction, without the economy and efficiency being impaired.
  • the object to be coated is a strip, in particular a metallic strip, for example made of steel, and the coating system has for transporting the tape to a tape transport device, preferably comprising a first transport roller device at the first end of the vacuum chamber and a second
  • the strip is guided in a heated channel in the area of the nozzle outlet in order to prevent the gas between the nozzle outlet and deposition on the strip from cooling down too much and from premature condensation resulting therefrom.
  • the nozzle is mounted in such a way that when the nozzle is rotated, the nozzle outlet performs a rotary movement in a plane parallel to the surface.
  • the nozzle outlet describes a surface during rotation which lies in a plane parallel to the surface to be coated - it is ensured that, regardless of the angle at which the nozzle is rotated in relation to the transport direction, a homogeneous coating of the surface to be coated in the transverse direction - i.e. in the direction perpendicular to the transport direction - is guaranteed.
  • an axis of rotation for turning the nozzle is oriented perpendicularly to the surface, which is always achieved by the person skilled in the art commissioned to carry out the present development with customary design measures by appropriately positioning the device for gas phase deposition within the vacuum chamber, taking into account the transport of the flat object can be implemented.
  • a nozzle outlet located within the nozzle is shaped in such a way that the material in the gas phase exiting the nozzle outlet exits in the direction of the axis of rotation from the nozzle, that is, for example, when the Axis of rotation is oriented perpendicular to the surface to be coated, the material in the gas phase strikes the surface in a direction perpendicular to the surface to be coated. It is also very particularly preferred if the nozzle outlet is also shaped in such a way that the main outlet direction of the material in the gas phase passes perpendicularly through the surface described by the nozzle outlet.
  • the nozzle has a cylindrical, preferably circular-cylindrical, externally shaped section, with the externally shaped section being toothed in a circumferential section of its circumference or completely along its circumference.
  • the toothing meshes with a drivable counter-element that engages in the toothing in such a way that the nozzle is rotated by driving the counter-element.
  • outer mold section denotes a section of the nozzle section, the name of which refers to the fact that the outer jacket of the outer mold section has a function caused by its shape, for example the provision of a toothing.
  • the counter-element is preferably a pinion which is coupled to a shaft.
  • the shaft is led out of the vacuum chamber through a suitable sealing element of known design.
  • the shaft is coupled to a rotary drive for rotating the shaft and thereby causing the nozzle to rotate.
  • the nozzle and thus in particular the nozzle outlet can be rotated from the outside of the vacuum chamber by the shaft guided into the vacuum chamber via the toothing which is in engagement with the pinion.
  • the nozzle has a cylindrical, preferably circular-cylindrical, externally shaped section, with the externally shaped section being fitted into a ring gear is or has a ring gear.
  • the toothed ring is in engagement with a drivable counter-element that engages in the toothed ring in such a way that the nozzle is rotated by driving the counter-element.
  • the counter-element is preferably a pinion which is coupled to a shaft.
  • the shaft is led out of the vacuum chamber through a suitable sealing element of known design.
  • the shaft is coupled to a rotary drive for rotating the shaft and thereby causing the nozzle to rotate.
  • the nozzle and thus in particular the nozzle outlet, can be rotated from the outside of the vacuum chamber by the shaft guided into the vacuum chamber via the ring gear meshing with the pinion.
  • the shaft, which has the pinion, and the axis of rotation of the nozzle are oriented parallel to one another, which is associated with the advantage of a potentially constructive implementation of the coating system.
  • Both the pinion and the ring gear are particularly preferably provided with straight teeth, which results in a particularly easy to implement and mechanically robust design.
  • the ring gear is provided with teeth, for example in a peripheral section of its circumference or, for example, completely in its circumference.
  • the nozzle and the ring gear are in a preferred embodiment with a thermal insulation means arranged between the outer mold section of the nozzle and the ring gear from each other formed thermally separated. This ensures that the ring gear and the drivable counter-element engaging in the ring gear, as well as any other elements coupled to it, such as the above-mentioned shaft leading out of the vacuum chamber, are protected from prematurely losing their structural integrity due to high temperatures.
  • the evaporation section which is in direct or indirect contact with the nozzle, is heated for the evaporation of the material, with the temperatures to be used depending on the material to be evaporated corresponding to its evaporation temperature being very high be able.
  • the thermal insulation means is preferably designed as an insulator ring.
  • the insulator ring particularly preferably has a ceramic material or it consists of a ceramic material.
  • An example of a possible ceramic material is aluminum oxide (A1203).
  • the use of a ceramic material has the advantage that it has a high resistance to chemical degradation and the thermal conductivity is also low.
  • the counter-element is designed as a worm shaft, which is coupled to a shaft leading out of the vacuum chamber.
  • the shaft is coupled to a rotary drive with which the shaft is designed to be rotatable, with the rotation of the shaft causing the nozzle to rotate.
  • the shaft is preferably oriented perpendicular to the axis of rotation of the nozzle, preferably also tangentially to the toothing, for example the ring gear, the toothing, for example the ring gear, being toothed in a manner complementary to the worm shaft, ie in helical toothing.
  • the shaft preferably has a coolant feedthrough, through which coolant can be guided to cool the shaft.
  • the ring gear is not insulated from the evaporation section by means of insulation means; instead, the direct cooling of the shaft, preferably also the worm shaft, is provided by passing a coolant through the coolant duct arranged inside the shaft , which is preferably part of a coolant circuit.
  • the shaft particularly preferably has a coupling means, for example a cardan joint, with which the shaft is provided with a transverse degree of freedom of movement.
  • the shaft can be moved by means of a coupling piece and a transverse drive means coupled to it out of engagement with the toothing, for example the ring gear, and back into engagement with the toothing, for example the ring gear, with the degree of freedom of movement preferably being oriented perpendicularly to the axis of rotation of the nozzle is.
  • thermal stress on the worm shaft and the shaft can be reduced by reducing the contact time to periods in which contact is necessary for making a rotational movement of the nozzle is actually required; in other periods, the thermal load on the worm shaft and the shaft can be reduced by moving the worm shaft away, which means disengaging the worm shaft and gearing, for example the ring gear.
  • the shaft with the worm shaft has both the coolant feedthrough described in the previous paragraph and the degree of freedom of movement described in the previous paragraph in a direction oriented perpendicular to the axis of rotation of the nozzle and also explicitly has no thermal insulation means between the gear ring and the outer mold section, i.e : Due to the possibility of minimizing the periods of thermal stress on the worm shaft and the axis driving it, the additional advantage is achieved of being able to dispense with a thermal insulation means.
  • the toothing is implemented as a toothed rim, and the toothed rim is a one-piece component of the outer mold section.
  • the axis of rotation can also be moved in a direction perpendicular to the axis of rotation.
  • the nozzle outlet can be adjusted eccentrically to the axis of rotation, ie the nozzle inlet and/or the axis of rotation can be adjusted in such a way that the axis of rotation is not at a point of symmetry of the nozzle outlet.
  • the nozzle section has at least one closure means for partially or completely closing the nozzle outlet, ie a mechanical means with which the nozzle outlet can be temporarily at least partially closed.
  • a symmetrical positioning of the axis of rotation relative to the nozzle outlet is changed to an asymmetrical positioning of the axis of rotation relative to the nozzle outlet, thereby setting an eccentricity of the axis of rotation with respect to the part of the nozzle outlet that is left open.
  • the adjustability of the eccentricity is thus brought about or brought about proportionately by changing that surface area of the nozzle outlet through which material emerges from the nozzle outlet.
  • a closure means in the form of a sliding flap can be provided for partially closing the nozzle outlet from one end, which means that the nozzle outlet is shorter on one side of the axis of rotation than on the other side, i.e. that the axis of rotation is eccentric positioned to the resulting nozzle exit.
  • the coating can be adjusted even more flexibly by rotating the shaft and thereby adjusting the longitudinal extent of the axis of rotation projected onto the surface to be coated and thereby also a flexible choice of flat objects to be coated, in particular strips, can be guaranteed.
  • the outer shaped section is circular-cylindrical in a toothed peripheral section, preferably in a toothed peripheral section of the ring gear, with an axis of rotation in the central axis of the toothed peripheral section, preferably the toothed peripheral section of the ring gear, but beyond this the axis of rotation is positioned eccentrically to the nozzle outlet.
  • the outer form section in a toothed peripheral section is circular-cylindrical with an axis of rotation in the central axis of the toothed peripheral section, for example of the ring gear
  • a peripheral section for example of the ring gear
  • the axis of this geared circular cylinder corresponds to the axis of rotation of the nozzle section.
  • the axis of rotation is shifted eccentrically to the nozzle outlet of the nozzle section if required.
  • An eccentric displacement of the axis of rotation to the nozzle outlet of the nozzle section is preferably to be understood in such a way that either the axis of rotation does not intersect the nozzle outlet or, if the axis of rotation intersects the nozzle outlet, the point of intersection of the axis of rotation with the nozzle outlet is not a point of symmetry of the nozzle outlet.
  • an eccentric displacement of the axis of rotation to the nozzle outlet of the nozzle section should preferably be understood in such a way that either the axis of rotation does not intersect the nozzle outlet or, if the axis of rotation intersects the nozzle outlet, the point of intersection of the axis of rotation cuts the slot in the Longitudinal slot direction not halved.
  • the eccentric rotation of a slit-shaped nozzle outlet is particularly advantageous if the particularly preferred embodiment is that the slit length corresponds to at least 20 times, preferably 100 times, the slit width and if either the axis of rotation does not intersect the nozzle outlet or when the axis of rotation intersects the nozzle exit, the intersection of the axis of rotation divides the slot into two sections, the longer section being at least 110 percent, preferably at least 120 percent, of the length of the shorter section.
  • outer mold section refers to a section of the nozzle section, the name of which refers to the fact that the outer jacket of the outer mold section has a function caused by its shape, for example the provision of a toothing.
  • the outer mold portion is that portion of the nozzle portion in the axial direction that is fitted into the ring gear.
  • the eccentric orientation of the axis of rotation to the nozzle outlet can also be simply implemented structurally, in that the nozzle outlet is positioned accordingly, for example by the outer mold section being circular-cylindrical with the axis of rotation on its axis, but with the nozzle outlet being at a distance from the axis of rotation or the axis of rotation intersects the nozzle exit but does not bisect it.
  • the device for gas phase deposition of material is a jet vapor deposition system, with the evaporation section preferably being designed as a crucible.
  • jet vapor deposition system is understood by those skilled in the art as a system in which the coating material is brought thermally into the gas phase and then, typically with a carrier gas stream of inert gas, is transported to the substrate, preferably with it a gas flow rate above the
  • the evaporation section is preceded by a pre-evaporation section, which in particular has an injection head including a carrier gas flow feed to the injection head and an injector tube from the injection head to the evaporation section.
  • the starting material is fed to the extrusion head, preferably in the form of wire or strip.
  • the starting material is processed in the spray head, which means that components of the starting material are vaporized and/or separated from the starting material as particles present in the liquid phase, preferably by means of arc evaporation between the starting material connected as the cathode and the starting material connected as the anode.
  • the processed starting material is not completely in the gas phase, but consists of a mixture, in particular of gas phase and liquid or partially liquid particles, which is suitable for being guided through the evaporation section in order to be post-evaporated there, i.e. completely or largely completely by heating that takes place there to go into the gas phase.
  • the evaporation section is preferably designed as a crucible.
  • the vaporization section is heated to vaporize the processed feedstock.
  • the temperature to which the evaporation section is heated depends on the coating material, it usually has to be higher than the evaporation temperature of the processed starting material.
  • the evaporation section is preferably designed as a crucible designed as a cyclone, since a cyclone shape is a space-saving design that allows the gas flow to be guided efficiently through the crucible.
  • a further advantage of a crucible designed in the form of a cyclone is its high level of reliability in the almost complete evaporation of the material flowing through, which ensures a high quality of the deposited coating.
  • a longitudinal extent of the nozzle which is designed as a slit, for example, is greater than the width of the flat object in its transverse direction (transverse direction: direction perpendicular to the running direction, for example belt running direction, direction on the surface).
  • transverse direction direction perpendicular to the running direction, for example belt running direction, direction on the surface.
  • Width extension of the surface to be coated is coated with material exiting from the nozzle outlet and at least at one edge, preferably at both edges, material directed past the surface does not exceed a tolerated maximum overhang.
  • an outer shape section of the nozzle is circular-cylindrical at least in the circumferential section having a toothing, with an axis of rotation in the central axis of the circumferential section, with the axis of rotation being positioned eccentrically to the nozzle outlet.
  • an outer shape section of the nozzle is circular-cylindrical, at least in the section having a ring gear, with an axis of rotation in the central axis of the ring gear, with the axis of rotation being positioned eccentrically to the nozzle outlet.
  • the nozzle section can have at least one closure means for partially or completely closing the nozzle outlet, ie a mechanical means with which the nozzle outlet can be temporarily at least partially closed.
  • a symmetrical positioning of the axis of rotation relative to the nozzle outlet is changed to an asymmetrical positioning of the axis of rotation relative to the nozzle outlet, thereby setting an eccentricity of the axis of rotation with respect to the part of the nozzle outlet that is left open.
  • the adjustability of the eccentricity is thus brought about or brought about proportionately by changing that surface area of the nozzle outlet through which material passes out of the nozzle outlet.
  • a closure means in the form of a sliding flap can be provided for partially closing the nozzle outlet from one end, which means that the nozzle outlet is shorter on one side of the axis of rotation than on the other side, i.e. that the axis of rotation is eccentric positioned to the resulting nozzle exit.
  • the coating can be adjusted even more flexibly by turning the shaft and thereby adjusting the longitudinal extent of the axis of rotation projected onto the surface to be coated, thereby also ensuring a flexible choice of flat objects to be coated, in particular strips.
  • the closure means is adjusted such that the entire width is coated with material emerging from the nozzle outlet and at least at one edge, preferably at both edges, material directed past the surface does not exceed a tolerated maximum overhang.
  • the closure means can be coupled to an actuator that can be controlled electrically or electromagnetically.
  • a toothed peripheral section preferably in a toothed peripheral section of the ring gear
  • a toothed peripheral section of the ring gear is circular-cylindrical with an axis of rotation in the central axis of the toothed peripheral section, preferably the toothed peripheral section of the ring gear, but beyond this the axis of rotation is positioned eccentrically to the nozzle outlet.
  • the outer form section in a toothed peripheral section is circular-cylindrical with an axis of rotation in the central axis of the toothed peripheral section, for example of the ring gear
  • a peripheral section for example of the ring gear
  • the axis of this geared circular cylinder corresponds to the axis of rotation of the nozzle section.
  • the axis of rotation is shifted eccentrically to the nozzle outlet of the nozzle section if required.
  • An eccentric displacement of the axis of rotation to the nozzle outlet of the nozzle section is preferably to be understood in such a way that either the axis of rotation does not intersect the nozzle outlet or, if the axis of rotation intersects the nozzle outlet, the point of intersection of the axis of rotation with the Nozzle outlet is not a point of symmetry of the nozzle outlet.
  • the nozzle outlet is designed in the form of a slot
  • an eccentric displacement of the axis of rotation to the nozzle outlet of the nozzle section should preferably be understood in such a way that either the axis of rotation does not intersect the nozzle outlet or, if the axis of rotation intersects the nozzle outlet, the point of intersection of the axis of rotation cuts the slot in the
  • the eccentric rotation of a slit-shaped nozzle outlet is particularly advantageous if the particularly preferred embodiment is that the slit length corresponds to at least 20 times, preferably 100 times, the slit width and if either the axis of rotation does not intersect the nozzle outlet or when the axis of rotation intersects the nozzle exit, the intersection of the axis of rotation divides the slot into two sections, the longer section being at least 110 percent, preferably at least 120 percent, of the length of the shorter section.
  • Designing the coating system with an eccentric axis of rotation as a result of the geometry of the nozzle section in the manner described, despite the lack of flexibility, has the advantage that the desired impingement of the object to be coated can be achieved in a simple manner and only by shaping the nozzle outlet, without a large number of potentially maintenance-intensive components are present.
  • the factor k is an empirically determined correction factor, which preferably has a value between 0.75 and 1.25.
  • the procedure explained includes the idea that the nozzle has a longitudinal extension, the longitudinal extension being oriented perpendicularly to the transport direction of the strip at a rotation angle of 90 degrees, and the nozzle opening preferably also lying in a plane parallel to the strip surface.
  • the explained special execution of The invention therefore includes in particular the specific step that an empirically determined correction factor is present and used.
  • the orientation of the nozzle also means
  • the axis of rotation is particularly preferably arranged relative to the nozzle in such a way that the axis of rotation holds the nozzle in its
  • This measure ensures that the change in the orientation of the rotatable nozzle cannot only be adjusted to a change in the transverse extensions of a flat object which is symmetrical to the axis of rotation of the flat object on both edges of the sheet are provided; but it is also possible to adjust the orientation of the rotatable nozzle to take account of asymmetrically designed changes in the transverse extent.
  • the flat object has a width that changes in the longitudinal direction.
  • the flat object can be a metal strip, in particular a steel strip, which has a variable transverse extent depending on its longitudinal position.
  • a flat object is coated, with the orientation of the nozzle outlet relative to the surface to be coated being continuously adjusted during coating, so that the orientation of the nozzle is set to the longitudinal position of the flat object currently to be coated.
  • the continuous adjustment can either be based on an in-situ measurement of a width extension during the coating process, which is carried out, for example, by means of optical length detection, or, if the dependence of the transverse extension of a flat object on its longitudinal position is known, based on a time-dependent control of a nozzle rotation during the coating process Coating process are carried out.
  • Fig. 3 schematic representation of a second embodiment of a rotatably mounted nozzle.
  • Fig. 4 shows a Zn plating thickness in the transverse direction of a strip
  • Fig. 6 Schematic representation of a nozzle and a nozzle outlet.
  • a coating system 1 can be seen in FIG.
  • the coating system 1 is designed as a strip coating system and for this reason includes a device for transporting the strip, as is known in the field of manufacturing and coating metal strips, in particular steel strips.
  • the tape is transported by means of transport rollers 3a, 3b.
  • the tape is introduced into a vacuum chamber 4 and passed through the vacuum chamber, in which there is a vacuum, for example with a pressure between 0.1 mbar and 20 mbar.
  • the strip is guided along a transport direction 5 through the vacuum chamber and past a device 6 for gas phase deposition of the material, which in the present embodiment is designed as a jet PVD device 6 known to those skilled in the art in terms of its basic mode of operation.
  • a vapor phase material is directed onto the surface of the metal strip to form a coating there by condensation.
  • the device 6 has an evaporation section 7 for evaporating the material into the gas phase and a nozzle section 8 coupled to the evaporation section 7 .
  • the nozzle section 8 comprises, in particular, a nozzle 9 arranged within the vacuum chamber 4 and having a nozzle outlet which is directed towards the surface of the strip to be coated, in order to guide material which is in the gas phase emerging from the nozzle outlet towards the surface so that it can be deposited there condense and thereby form a coating.
  • the nozzle 8 is rotatably mounted and coupled to the evaporation section 7 .
  • the evaporation section 7 partially also extends into the vacuum chamber 4, although this is neither mandatory nor necessary and can be carried out as required by the person skilled in the art entrusted with implementing the invention.
  • it is essential that the nozzle 9 is arranged with the nozzle outlet inside the vacuum chamber 4 in order to ensure the coating of the surface of the strip.
  • the nozzle 9 is mounted so that it can rotate, as is symbolized by the arrows 10 .
  • the orientation of the nozzle outlet can be changed relative to the surface of the strip 2 to be coated, in the embodiment shown the preferred embodiment was selected according to which the axis of rotation of the nozzle 9 is oriented perpendicular to the surface to be coated and according to which a
  • the nozzle outlet located inside the nozzle is shaped in such a way that the gas-phase material exiting the nozzle outlet exits the nozzle in the direction of the axis of rotation, i.e. in the example shown, in which the axis of rotation is oriented perpendicular to the surface to be coated, the material in the gas phase strikes the surface in a direction perpendicular to the surface to be coated.
  • the nozzle 9 has a nozzle outlet designed in the form of a slit with a longitudinal extent DO.
  • the nozzle is mounted in this way or the nozzle outlet in this way in the nozzle 9 arranged that when rotating the nozzle 9 around its axis of rotation, the rotating movement of the nozzle 9 would take place in a plane parallel to the strip surface and that the nozzle exit is at the same time perpendicular to the main exit direction of the material present in the gas phase.
  • the nozzle 9 is oriented at zero angle to the tape transport direction. In the orientation shown, only a narrow strip of tape would be coated.
  • a strip With a rotation of 90 degrees around the axis of rotation shown, on the other hand, a strip would be coated with a width, i.e. with an extent in its transverse direction, which in the present illustration is oriented perpendicularly into the plane of the paper, that corresponds to the longitudinal extent DO of the strip corresponds, whereby slight deviations are possible due to the flow profile of the particles flowing out of the nozzle outlet.
  • Fig. lb is a representation of the coating system 1 shown in Fig. La shown in plan view.
  • the nozzle outlet 11 of the nozzle 9 designed as a slot 11 occupies an angle of 90 degrees to the transport direction of the strip 2, ie it has been rotated by 90 degrees compared to the position from FIG.
  • the longitudinal extent of the nozzle outlet 11 is greater than the width of the strip in its transverse direction. If the strip 2 had a smaller width in the transverse direction than that shown in FIG gets into the vacuum chamber, in particular in an area of the vacuum chamber located below the strip, and is therefore no longer available for the formation of a coating.
  • the provision of a rotatable nozzle thus ensures that a strip is efficiently coated for different bandwidths and even with variable bandwidth within the same band.
  • FIG. 2 shows a schematic representation of an exemplary embodiment of a device for vapor deposition as a possible component of the device according to the invention
  • the nozzle 9 shown in FIG. 2 has a circular-cylindrical outer section on which a ring gear 12 is clamped.
  • a counter-element 13 designed as a pinion 13 is in engagement with the ring gear 12 .
  • the pinion 13 is coupled to a shaft 14 leading out of the vacuum chamber 4, the shaft being coupled to a rotary drive (not shown in FIG. 2) for rotating the shaft and thereby causing the nozzle to rotate.
  • a thermal insulation means 15 designed as a ceramic ring 15 is arranged between the nozzle 9 and the ring gear 12 .
  • FIG. 3 shows a further embodiment of a device for gas phase deposition as a possible component of the coating system according to the invention.
  • the embodiment in FIG. 3 has a helical toothed ring 12 which meshes with a counter-element designed as a worm shaft 16, which in turn is coupled to a shaft leading out of the vacuum chamber 4 through the wall 22 is.
  • the shaft is coupled to a rotary drive 19 .
  • the wave has a
  • Coolant duct 20 ie a line which leads through the shaft and is part of a coolant circuit for cooling the shaft. Whilst passive insulation of the hot nozzle 9 from the ring gear 12 is provided in the exemplary embodiment in FIG. 2, the elements in contact with the nozzle are actively cooled in the exemplary embodiment in FIG.
  • the shaft is by means of a cardan joint 17 with a transverse degree of freedom of movement set up. The shaft can be moved out of engagement with the ring gear and back into engagement with the ring gear via a coupling piece 23 and a transverse drive means coupled thereto.
  • the shaft 18 is also coupled to a coolant circuit via supply and discharge lines 21 for active cooling of the shaft 18 as components that are indirectly in contact with the ring gear 12 .
  • FIG. 4 shows a layer thickness profile of a Zn coating, one being coated at an angle of 90 degrees and one at an angle of 45 degrees to the transport direction. It can be seen that by turning the nozzle, the width of the layer can be adjusted.
  • FIG. 5 shows a schematic representation of a third embodiment of a rotatably mounted nozzle.
  • the third embodiment is an adapted variant of an embodiment according to FIG. 2, which is why only the differences between the third embodiment and the first embodiment are presented, and otherwise reference is made to the description of FIG.
  • the first measure is that the axis of rotation D is shifted eccentrically to the nozzle outlet 11, which means: the shape and position of the nozzle outlet and the axis of rotation D are selected in such a way that the axis of rotation D does not intersect the nozzle outlet at a point of symmetry that is on the central axis of the Nozzle outlet 11 is located, which cuts the slit-shaped nozzle outlet in the longitudinal direction in two halves.
  • the second measure is that the outer mold portion, which in the present design is the portion of the nozzle that extends in the axial direction in the area indicated by the bracket 25, in the area between the point U1 and from this in the plane of the page anti-clockwise towards U2 has a peripheral cutout which on the one hand has teeth and on the other hand is circular-cylindrical in this section with the axis of rotation D of the nozzle section in the central axis of the peripheral cutout U1-U2 having teeth.
  • the part adjoining the peripheral section is not circular-cylindrical, but circumscribes a rather oval shape.
  • the third measure is that the nozzle section has the sliding flap 24 with which the nozzle outlet can be partially closed.
  • FIG. 6 serves to explain the effect of an axis of rotation eccentric to the nozzle outlet:
  • FIG. 6 is a plan view of a nozzle 26 which is similar to the nozzle section 25 of FIG.
  • the axis of rotation D′ of the nozzle 26 is shifted relative to a center M of the nozzle outlet 11 .
  • the displacement is provided by a distance X0. Partial compensation for an asymmetry can be achieved with the nozzle 26 shown with a clockwise rotation, indicated by the arrow U about the axis D′.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Beschichtungsanlage (1) zur Beschichtung eines flächigen Gegenstands (2), beispielsweise eines Bands. Das Band wird mit Transportrollen (3a, 3b) befördert. Die Beschichtungsanlage (1) weist auf: - eine Vakuumkammer (4), - eine Vorrichtung (6) zur Gasphasenabscheidung des Materials, aufweisend einen Verdampfungsabschnitt (7) einen Düsenabschnitt (8), wobei der Düsenabschnitt (8) eine Düse (9) mit einem Düsenausgang aufweist. Der Düsenausgang kann eine Erstreckung (D0) aufweisen.Die Düse (9) ist in die Richtungen (10) drehbar gelagert.Eine weitere Idee ist ein Verfahren zum Beschichten eines flächigen Gegenstands.

Description

Beschichtungsanlage zur Beschichtung eines flächigen Gegenstands sowie ein Verfahren zum Beschichten eines flächigen
Gegenstands
Die Erfindung betrifft eine Beschichtungsanlage zur Beschichtung eines flächigen Gegenstands sowie ein Verfahren zum Beschichten eines flächigen Gegenstands.
Für die Beschichtung von flächigen Gegenständen, beispielsweise Bändern, insbesondere metallischen Bändern wie beispielsweise Stahlband, sind Verfahren basierend auf dem Prinzip der sogenannten Gasphasenabscheidung bekannt. Die Gasphasenabscheidung beruht auf dem Prinzip, eine Oberfläche des flächigen Gegenstands, bei welchem es sich beispielsweise um ein Stahlband oder eine Glasscheibe handeln kann, mittels Abscheidung aus in Gasphase vorliegendem Material zu beschichten. Hierzu wird zunächst das Material als Ausgangsmaterial bereitgestellt. Das Ausgangsmaterial wird sodann in eine Gasphase gebracht. Die in Gasphase vorliegenden Bestandteile des Materials, insbesondere Atome und/oder Ionen, setzen sich auf der zu beschichtenden Fläche ab und bilden dadurch eine Beschichtung.
Bekannte Verfahren der Gasphasenabscheidung sind die sogenannte chemische Gasphasenabscheidung (Chemical vapour deposition, CVD), die physikalische Gasphasenabscheidung (physical vapour deposition, PVD) und das sogenannte Lichtbogenverdampfen (arc evaporation). Die genannten Verfahren unterscheiden sich insbesondere in den Mechanismen, mit welchen die Gasphase herbeigeführt wird.
Vorteil der Gasphasenabscheidung ist, dass mit guter Wirtschaftlichkeit Beschichtungen hergestellt werden können, deren Eigenschaften in hohem Maße und in weiten Eigenschaftsfenstern gezielt beeinflusst werden können. Ein weiterer Vorteil ist, dass sich die Gasphasenabscheidung zur Herstellung von Beschichtungen unterschiedlicher Materialien eignet. Die Gasphasenabscheidung eignet sich beispielsweise auch für die Herstellung von Beschichtungen, welche ein hochschmelzendes Material aufweist. Die Gasphasenabscheidung ermöglicht darüber hinaus auch Beschichtungen, in denen das Material in metastabiler Phase vorliegt und dadurch bestimmte Eigenschaften, beispielsweise mechanische oder optische Eigenschaften, aufweist, die in einem stabilen Phasenzustand nicht vorliegen.
Eine in jüngerer Vergangenheit entwickelte Variante der physikalischen Gasphasenabscheidung ist dem Fachmann unter dem Namen jet vapour deposition, abgekürzt: JVD, bekannt. Die jet vapour deposition beruht auf dem Prinzip, das Ausgangsmaterial in einem Verdampfungsabschnitt einer Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung des Materials, beispielsweise in einem als Tiegel ausgebildeten Verdampfer, zu verdampfen und das sodann in Gasphase vorliegende Material mit vergleichsweise hohem Druck durch einen Düsenabschnitt hindurch gezielt in Richtung der zu bedampfenden Fläche zu führen. Die zu bedampfende Fläche wird dazu oft in eine Atmosphäre gebracht, die gegenüber der im Verdampfungsabschnitt vorherrschenden Atmosphäre einen Unterdrück aufweist. Der Unterdrück ist in vielen Fällen ein Vakuum mit beispielsweise zwischen 0,1 mbar und 20 mbar, bevorzugt weniger als 1 mbar Restgasdruck. Das Verfahren der JVD entfaltet seine Vorteile insbesondere bei der großflächigen Beschichtung von flächigen Gegenständen, insbesondere auch von metallischem Band wie vor allem Stahlband. Ein Vorteil der JVD ist, dass aufgrund des vergleichsweise hohen Drucks, mit welchem das in Gasphase vorliegende Material zu der zu bedampfenden Fläche gerichtet wird, eine Beschichtung bei hohen Bandgeschwindigkeiten und folglich mit guter Wirtschaftlichkeit möglich ist. Aus der WO 2016/042079 Al geht eine Vorrichtung hervor, mit welcher ein Ausgangsmaterial in die Gasphase gebracht werden kann, damit es sich sodann auf einer zu bedampfenden Oberfläche ablegen kann. Das zur Ausbildung der jeweiligen Beschichtung eingesetzte Material liegt beispielsweise draht- oder bandförmig vor. Das Ausgangsmaterial wird in einem
Vorverdampfungsabschnitt, der einem Verdampfungsabschnitt vorgelagert ist, in den Einflussbereich eines elektrischen Lichtbogens gebracht, wobei bevorzugt zwei Drähte oder zwei Bänder des Ausgangsmaterials vorliegen, von denen eines als Kathode und eines als Anode mit einer elektrischen Gleichspannungsquelle geschaltet wird und mit der Gleichspannungsquelle eine zur Bildung eines Lichtbogens ausreichende Spannung eingestellt wird. Das mittels der Energie des Lichtbogens geschmolzene und/oder verdampfte Material strömt mittels eines Gasstroms eines Gases oder Gasgemischs in den Verdampfungsabschnitt hinein, der als Kammer ausgebildet ist, deren Wandungen eine Temperatur aufweisen, die oberhalb der Verdampfungstemperatur der elementaren Bestandteile des für die Beschichtung eingesetzten Materials liegt. In der Kammer verdampfen die Bestandteile des Materials vollständig und treten sodann durch eine an der Kammer vorhandene Öffnung in einen Düsenabschnitt und werden durch diesen in Richtung der zu beschichtenden Oberfläche geleitet. Die Bestandteile des Materials treffen auf die zu beschichtende Oberfläche und bilden dort eine Beschichtung aus.
Sowohl die eingangs beschriebene JVD, als auch die in der WO 2016/042079 Al beschriebene beispielhafte Ausführungsform einer Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung von Material sind zwei Vertreter für eine Gasphasenabscheidung, bei welcher das Ausgangsmaterial in einem Verdampfungsabschnitt, im Falle der WO 2016/042 079 Al zusätzlich mit einem vorgelagerten Vorverdampfungsabschnitt zum Lichtbogenverdampfen, mittels Verdampfens in seine Gasphase gebracht wird und sodann durch einen Düsenabschnitt zu der zu beschichtenden Fläche hingeleitet wird. Die Bewegung der in Gasphase vorliegenden Teilchen, insbesondere Atome und/oder Ionen, wird zumindest im Wesentlichen, bevorzugt vollständig, herbeigeführt durch den Druckunterschied zwischen Verdampfungsabschnitt und dem Raum, beispielsweise einer Vakuumkammer, in welchem der zu beschichtende flächige Gegenstand sich befindet oder durch welche dieser hindurchgeführt wird.
Bei der Beschichtung von flächigen Gegenständen mit einer Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung von Material unter Nutzung einer Verdampfung liegt eine Herausforderung darin, eine in Querrichtung des flächigen Gegenstands, beispielsweise entlang einer gesamten Bandbreite, gute Homogenität der Schichtdicke der Beschichtungen zu erhalten. Zusätzlich ist wünschenswert, die gute Homogenität der Schichtdickenverteilung entlang einer gesamten Erstreckung in Querrichtung bereitstellen zu können.
Die Aufgabe wird gelöst mit einer Beschichtungsanlage zur Beschichtung eines flächigen Gegenstands mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie mit einem Verfahren zum Beschichten eines flächigen Gegenstands mit den Merkmalen des Anspruchs 12.
Eine erfindungsgemäße Beschichtungsanlage dient dem Zweck, einen flächigen Gegenstand beschichten zu können. Als flächiger Gegenstand kann insbesondere ein Band vorgesehen sein, bevorzugt ein metallisches Band wie beispielsweise ein Stahlband. Die Beschichtung erfolgt mit einem in Gasphase vorliegenden Material, insbesondere basierend auf einem der eingangs beschriebenen Mechanismen.
Die Beschichtungsanlage weist eine Vakuumkammer auf, durch welche der zu beschichtende flächige Gegenstand hindurch führbar ist.
Die Beschichtungsanlage weist außerdem eine Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung des Materials auf. Die Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung umfasst insbesondere einen Verdampfungsabschnitt und einen Düsenabschnitt. Der Verdampfungsabschnitt ist beispielsweise als Verdampfungstiegel ausgeführt, bevorzugt mit einem zylindrisch geformten, insbesondere kreiszylindrisch geformten, Abschnitt. Der Verdampfungsabschnitt besteht bevorzugt teilweise oder vollständig aus Grafit oder CFC (Kohlenstofffaserverstärkter Kohlenstoff) . Ein Bodenabschnitt und/oder eine Wandung, bevorzugt alle Wandungen, des Verdampfungsabschnittes sind erhitzbar ausgeführt, beispielsweise mittels Heizspulen, um den Verdampfungsabschnitt auf eine Temperatur oberhalb der Verdampfungstemperatur des Ausgangsmaterials zu erhitzen.
Im Rahmen der gesamten Beschreibung werden die Begriffe der Gasphase und des Verdampfens verwendet, da sie im Bereich der beschriebenen Technologie üblich sind. Der Begriff der Gasphase umfasst dabei, dass ein geringer Gewichtsanteil, beispielsweise bis zu 30 Gew.-%, bevorzugt nicht mehr als 10 Gew.-%, des in Gasphase vorliegenden Materials nicht in Gasphase im physikalischen Sinne, sondern stattdessen als Aerosol und/oder als Cluster vorliegen kann. Der Begriff des Verdampfens umfasst, dass je nach verwendetem Material und nach verwendeter Technologie der Übergang der Teilchen in die Gasphase zumindest teilweise auch mittels anderer Mechanismen erfolgt, beispielsweise durch Sublimation. Der Begriff des Verdampfens umfasst somit zusätzlich zu einem Verdampfen im streng physikalischen Sinne, also einem Übergang „flüssig -> Gasphase", auch weiter Mechanismen, wie insbesondere die Sublimation.
Der Düsenabschnitt ist mittelbar oder unmittelbar mit dem Verdampfungsabschnitt gekoppelt. Der Düsenabschnitt weist eine Düse auf, welche innerhalb der Vakuumkammer angeordnet ist und eine Öffnung umfasst, aus welchem die Bestandteile des in Gasphase vorliegenden Materials aus der Düse austreten können. Der Düsenausgang ist in der Beschichtungsanlage derart orientiert, dass aus dem Düsenausgang austretende Gasphasenteilchen zu dem Ort gerichtet werden, an welchem sich die zu beschichtende Oberfläche, also der flächige Gegenstand, befindet. Der flächige Gegenstand wird durch die Vakuumkammer durchgeführt, so dass die zu beschichtende Oberfläche des flächigen Gegenstands mit kontinuierlich auf der Oberfläche auftreffendem und dort sich absetzenden, kondensierenden, Material beschichtet wird.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Düse drehbar gelagert ist. Die drehbare Lagerung dient der Veränderung der Orientierung des Düsenausgangs relativ zu der zu beschichtenden Oberfläche. Dadurch, dass die Düse drehbar gelagert ist und die Orientierung des Düsenausgangs relativ zu der zu beschichtenden Oberfläche veränderlich ist, ist die Art und Weise, wie das in Gasphase vorliegende Material auf die Oberfläche des flächigen Gegenstands gerichtet ist, gezielt beeinflussbar beziehungsweise einstellbar. Besonders bevorzugt ist eine Ausführung, in welcher der Düsenabschnitt drehbar an dem Verdampfungsabschnitt anliegend gelagert ist, dass also der Verdampfungsabschnitt als Gleitlager für den Düsenabschnitt fungiert. Bei einer solchen Ausführung entfaltet insbesondere ein teilweise oder vollständig aus Grafit und/oder CFD hergestellter Verdampfungsabschnitt den Vorteil, dass Kohlenstoff als natürlicher Schmierstoff fungiert. Alternativ oder zusätzlich kann, unabhängig von dem Material, aus dem der Verdampfungsabschnitt besteht, Grafit in Pulver- und/oder Pastenform als Gleitmittel verwendet werden und hierfür zwischen die aneinanderliegenden und aufeinander gleitenden Flächen von Verdampfungsabschnitt und Düsenabschnitt eingebracht sein.
Der Düsenausgang kann beispielsweise als Schlitz ausgebildet sein. Besonders bevorzugt ist, dass der Düsenausgang in einer Ebene liegt, welche parallel zu der zu beschichtenden Oberfläche liegt zumindest in dem Abschnitt, in welchem die Beschichtung stattfindet, wobei besonders bevorzugt die Düse eine Stellung annehmen kann, in welcher der Schlitz senkrecht zu einer Bewegungsrichtung, auch als Transportrichtung, der zu beschichtenden Oberfläche liegt und um diese herum mit einer Drehachse drehbar ist, welche senkrecht zu der zu beschichtenden Oberfläche liegt. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die Länge der schlitzartig ausgebildeten Düse derart gewählt ist, dass bei einem Winkel von 90 Grad zwischen Transportrichtung und schlitzartig ausgebildeter Düse eine Breite des flächigen Gegenstands, beispielsweise eine Brandbreite, vollständig abgedeckt wird für diejenigen Bänder, welche die Maximalbreite aufweisen, zu deren Durchführung die Vakuumkammer ausgebildet ist. Mit Einstellen des Winkels kann sodann die effektive Beschichtungsbreite senkrecht zu der Bandlaufrichtung mit dem Faktor sin( ) verändert werden. Eine derart vorgesehene Vorrichtung ist insbesondere dafür geeignet, bei einer vorgesehenen Beschichtung von flächigen Gegenständen, insbesondere Bändern, mit einer Bandbreite, welche kleiner als die Längserstreckung eines schlitzartigen Düsenausgangs ist, mit hoher Effizienz zu ermöglichen, sodass kein oder kein ein toleriertes Maß überschreitender Anteil des in Gasphase vorliegenden Materials an den beiden Bandkanten vorbei sich innerhalb der Vakuumkammer ablegt, ohne für die Beschichtung der Oberfläche zur Verfügung zu stehen.
Durch das Vorsehen der drehbaren Düse werden somit insbesondere zwei Vorteile erreicht: zum einen wird das vorhandene Ausgangsmaterial möglichst effizient genutzt und eingesetzt; zum anderen wird eine Verschmutzung der Vakuumkammer bei Beschichtung von schmaleren Bändern vermieden. Allgemeiner ausgedrückt wird mit der erfindungsgemäßen Beschichtungsanlage und ihren Weiterbildungen erreicht, dass eine hohe Flexibilität vorliegt hinsichtlich der möglichen Breite einer zu beschichtenden Oberfläche senkrecht zu ihrer Transportrichtung, ohne dass die Wirtschaftlichkeit und die Effizienz beeinträchtigt würden.
In einer bevorzugten Ausführung ist der zu beschichtende Gegenstand ein Band, insbesondere metallisches Band beispielsweise aus Stahl, und die Beschichtungsanlage weist für den Transport des Bands eine Bandtransportvorrichtung auf, bevorzugt umfassend eine erste Transportrollenvorrichtung am ersten Ende der Vakuumkammer und eine zweite
Transportrollenvorrichtung am zweiten Ende der Vakuumkammer, wobei das Band zwischen dem ersten und dem zweiten Ende durch die Vakuumkammer hindurch an der Düse vorbei transportiert wird.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Band im Bereich des Düsenaustritts in einem beheizten Kanal geführt, um das Gas zwischen Düsenaustritt und Abscheidung am Band an einer zu hohen Abkühlung und daraus resultierender frühzeitigen Kondensation zu hindern .
In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Düse derart gelagert, dass bei einem Drehen der Düse der Düsenausgang in einer zu der Oberfläche parallelen Ebene eine Drehbewegung vollzieht. Durch eine parallel zu der Oberfläche vollzogene Drehung - das bedeutet: der Düsenausgang beschreibt beim Drehen eine Fläche, welche in einer zu der beschichtenden Oberfläche parallelen Ebene liegt - wird gewährleistet, dass unabhängig von dem Drehwinkel, mit welchem die Düse gegenüber der Transportrichtung gedreht ist, eine homogene Beschichtung der zu beschichtenden Oberfläche in Querrichtung - das heißt: in zur Transportrichtung senkrechten Richtung - gewährleistet ist.
Besonders bevorzugt ist, dass eine Drehachse zum Drehen der Düse senkrecht zu der Oberfläche orientiert ist, was durch entsprechende Positionierung der Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung innerhalb der Vakuumkammer unter Berücksichtigung der Beförderung des flächigen Gegenstands stets von dem zur Ausführung der vorliegenden Entwicklung beauftragten Fachmann mit üblichen konstruktiven Maßnahmen umsetzbar ist.
Besonders bevorzugt ist eine Ausführung, in der ein innerhalb der Düse befindlicher Düsenausgang derart geformt ist, dass das aus dem Düsenausgang austretende in Gasphase befindliche Material in Richtung der Drehachse aus der Düse austritt, das heißt, dass beispielsweise dann, wenn die Drehachse senkrecht zu der zu beschichtenden Oberfläche orientiert ist, das in Gasphase befindliche Material in zur zu beschichtenden Oberfläche senkrechter Richtung auf der Oberfläche auftrifft. Ganz besonders bevorzugt ist außerdem, wenn zusätzlich der Düsenausgang derart geformt ist, dass die Hauptaustrittsrichtung des in Gasphase befindlichen Materials senkrecht durch die vom Düsenausgang beschriebene Fläche durchtritt .
In einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Beschichtungsanlage weist die Düse einen zylindrischen, bevorzugt kreiszylindrischen, Außenformabschnitt auf, wobei der Außenformabschnitt in einem Umfangsausschnitt seines Umfangs oder vollständig in seinem Umfang mit einer Verzahnung verzahnten. Die Verzahnung ist mit einem in die Verzahnung eingreifenden antreibbaren Gegenelement in Eingriff derart, dass die Düse mittels Antreibens des Gegenelements gedreht wird. Der Begriff des Außenformabschnitts bezeichnet einen Abschnitt des Düsenabschnitts, dessen Name sich darauf bezieht, dass der Außenmantel des Außenformabschnitts eine durch seine Form verursachte Funktion hat, beispielsweise die Bereitstellung einer Verzahnung.
Bevorzugt handelt es sich bei dem Gegenelement um ein Ritzel, das mit einer Welle gekoppelt ist. Vorzugsweise wird die Welle durch ein geeignetes Dichtungselement bekannter Bauart aus der Vakuumkammer herausgeführt. Die Welle ist mit einem Drehantrieb gekoppelt zum Drehen der Welle und durch dieses herbeigeführte Drehen der Düse. Mit anderen Worten kann vom Äußeren der Vakuumkammer aus durch die in die Vakuumkammer hineingeführte Welle über die mit dem Ritzel in Eingriff stehende Verzahnung die Düse und damit insbesondere der Düsenausgang gedreht werden. In einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Beschichtungsanlage weist die Düse einen zylindrischen, bevorzugt kreiszylindrischen, Außenformabschnitt auf, wobei der Außenformabschnitt in einen Zahnkranz eingepasst ist oder einen Zahnkranz aufweist. Der Zahnkranz ist mit einem in den Zahnkranz eingreifenden antreibbaren Gegenelement in Eingriff derart, dass die Düse mittels Antreibens des Gegenelements gedreht wird.
Bevorzugt handelt es sich bei dem Gegenelement um ein Ritzel, das mit einer Welle gekoppelt ist. Vorzugsweise wird die Welle durch ein geeignetes Dichtungselement bekannter Bauart aus der Vakuumkammer herausgeführt. Die Welle ist mit einem Drehantrieb gekoppelt zum Drehen der Welle und durch dieses herbeigeführte Drehen der Düse. Mit anderen Worten kann vom Äußeren der Vakuumkammer aus durch die in die Vakuumkammer hineingeführte Welle über den mit dem Ritzel in Eingriff stehenden Zahnkranz die Düse und damit insbesondere der Düsenausgang gedreht werden. In besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Welle, welche das Ritzel aufweist, und die Drehachse der Düse parallel zueinander orientiert, was mit dem Vorteil einer potentiell konstruktiven Umsetzung der Beschichtungsanlage einhergeht. Besonders bevorzugt sind sowohl Ritzel als auch Zahnkranz mit einer Geradverzahnung versehen, was eine besonders gut umsetzbare und mechanisch robuste Ausführung zur Folge hat.
In einer Ausführung mit einem Zahnkranz ist der Zahnkranz beispielsweise in einem Umfangsausschnitt seines Umfangs oder beispielsweise vollständig in seinem Umfang mit einer Verzahnung versehen.Die Düse und der Zahnkranz sind in einer bevorzugten Ausführungsform mit einem zwischen dem Außenformabschnitt der Düse und dem Zahnkranz angeordneten thermischen Isolationsmittel voneinander thermisch getrennt ausgebildet. Dadurch wird gewährleistet, dass der Zahnkranz sowie das in den Zahnkranz eingreifende antreibbare Gegenelement, wie auch gegebenenfalls vorhandene mit diesem gekoppelte weitere Elemente wie beispielsweise die oben erwähnte aus der Vakuumkammer herausführende Welle, davor geschützt werden, ihre strukturelle Integrität aufgrund hoher Temperaturen vorzeitig zu verlieren. Dies ist insbesondere vor dem Hintergrund vorteilhaft, dass der Verdampfungsabschnitt, welcher mit der Düse in mittelbarer oder unmittelbarer Berührung ist, für das Verdampfen des Materials erhitzt ist, wobei die zu verwendenden Temperaturen in Abhängigkeit von dem zu verdampfenden Material entsprechend derer Verdampfungstemperatur sehr hohe Werte annehmen können.
Das thermische Isolationsmittel ist bevorzugt als Isolatorring ausgebildet.- Besonders bevorzugt weist der Isolatorring ein keramisches Material auf oder er besteht aus einem keramischen Material. Ein Beispiel für ein mögliches keramisches Material ist Aluminiumoxid (A1203). Die Nutzung eines keramischen Materials hat den Vorteil, dass es eine hohe Beständigkeit gegen chemische Degradation aufweist und zudem die thermische Leitfähigkeit nur gering ist.
In einer alternativen Ausführungsform ist das Gegenelement als Schneckenwelle ausgeführt, die mit einer aus der Vakuumkammer herausführenden Welle gekoppelt ist. Die Welle ist mit einem Drehantrieb gekoppelt, mit welchem die Welle drehbar ausgeführt ist, wobei das Drehen der Welle das Drehen der Düse herbeiführt. Die Welle ist bevorzugt senkrecht zu der Drehachse der Düse orientiert, bevorzugt zusätzlich tangential zu der Verzahnung, beispielsweise dem Zahnkranz, wobei die Verzahnung, beispielsweise des Zahnkranzes, in zur Schneckenwelle komplementärer Weise verzahnt ist, also in Schrägverzahnung. Die Welle weist bevorzugt eine Kühlmitteldurchführung auf, durch welche Kühlmittel durchführbar ist zum Kühlen der Welle. In dieser Ausführungsform ist, im Gegensatz zu der oben erläuterten Ausführungsform, nicht die Isolation des Zahnkranzes von dem Verdampfungsabschnitt mittels Isolationsmittel vorgesehen, stattdessen wird die direkte Kühlung von Welle, bevorzugt auch der Schneckenwelle, durch Durchführen eines Kühlmittels durch die innerhalb der Welle angeordnete Kühlmitteldurchführung vorgesehen, die bevorzugt Bestandteil eines Kühlmittelkreislaufs ist. Besonders bevorzugt weist die Welle ein Kopplungsmittel auf, beispielsweise ein Kardangelenk, mit welchem die Welle mit einem transversalen Bewegungsfreiheitsgrad versehen ist. Die Welle ist mittels eines Kopplungsstücks und einem mit diesem gekoppelten Transversalantriebsmittel aus dem Eingriff mit der Verzahnung, beispielsweise des Zahnkranzes, weg und wieder zu dem Eingriff mit der Verzahnung, beispielsweise des Zahnkranzes, hin bewegbar, wobei der Bewegungsfreiheitsgrad bevorzugt senkrecht zur Drehachse der Düse orientiert ist. Durch das Vorsehen einer Beweglichkeit der Schneckenwelle von der Verzahnung, beispielsweise von dem Zahnkranz, weg und zu dieser hin wird erreicht, dass eine thermische Belastung der Schneckenwelle und der Welle durch Reduzierung der Kontaktzeit reduziert werden kann auf Zeiträume, in welchen der Kontakt für das Herstellen einer Drehbewegung der Düse auch tatsächlich erforderlich ist; in anderen Zeiträumen kann die thermische Belastung der Schneckenwelle und der Welle durch das Wegführen der Schneckenwelle, das bedeutet, das Außereingriffbringen von Schneckenwelle und Verzahnung, beispielsweise des Zahnkranzes, reduziert werden. In einem Spezialfall ist vorgesehen, dass die Welle mit der Schneckenwelle sowohl die im vorvorhergehenden Absatz beschriebene Kühlmitteldurchführung als auch der im vorhergehenden Absatz beschriebene Bewegungsfreiheitsgrad in senkrecht zur Drehachse der Düse orientierte Richtung aufweist und zudem explizit kein thermisches Isolationsmittel zwischen Zahnkranz und Außenformabschnitt aufweist, das heißt: infolge der Möglichkeit, die Zeiträume der thermischen Belastung der Schneckenwelle und der diese antreibenden Achse zu minimieren wird der zusätzliche Vorteil erreicht, auf ein thermisches Isolationsmittel verzichten zu können. In einer besonders speziellen Ausführung ist die Verzahnung als Zahnkranz realisiert, und der Zahnkranz einstückiger Bestandteil des Außenformabschnitts . Besonders bevorzugt ist zusätzlich die Drehachse in eine senkrecht zur Drehachse weisende Richtung bewegbar.
Alternativ oder zusätzlich ist der Düsenausgang in Exzentrizität zur Drehachse einstellbar, das heißt: der Düseneingang und/oder die Drehachse können derart eingestellt werden, dass die Drehachse nicht an einem Symmetriepunkt des Düsenausgangs ist. Am Beispiel eines schlitzförmigen Düsenausgangs bedeutet dies, beispielsweise, dass die Drehachse zwar bevorzugt den Düsenausgang schneidet, diesen aber in zwei Längsabschnitte des Düsenausgangs teilt, die eine unterschiedliche Länge haben.
Beispielsweise weist der Düsenabschnitt wenigstens ein Verschlussmittel zum teilweisen oder vollständigen Verschließen des Düsenausgangs auf, also ein mechanisches Mittel, mit dem der Düsenausgang temporär wenigstens teilweise verschlossen werden kann. Mit dem teilweisen Verschließen des Düsenausgangs wird eine symmetrische Positionierung der Drehachse zu dem Düsenausgang in eine asymmetrische Positionierung der Drehachse zu dem Düsenausgang verändert und dadurch eine Exzentrizität der Drehachse bezüglich des offengelassenen Teils des Düsenausgangs eingestellt. Die Einsteilbarkeit der Exzentrizität wird also herbeigeführt oder anteilig herbeigeführt durch das Verändern desjenigen Flächenanteils des Düsenausgangs, durch welchen Material aus dem Düsenausgang herausgelangt.
Für das Einstellen des Düsenausgangs kann beispielsweise ein als Schiebeklappe ausgebildetes Verschlussmittel vorgesehen sein für das teilweise Verschließen des Düsenausgangs von einem Ende her, wodurch erreicht wird, dass der Düsenausgang an einer Seite der Drehachse kürzer ist als an der anderen Seite, dass also die Drehachse exzentrisch zu dem resultierenden Düsenausgang positioniert ist. In einem solchen Fall kann eine Anpassung der Beschichtung durch Drehen der Welle und dadurch erfolgendes Einstellen des auf die zu beschichtende Oberfläche projizierten Längserstreckung der Drehachse noch flexibler eingestellt werden und dadurch auch eine flexible Wahl von zu beschichtenden flächigen Gegenständen, insbesondere Bändern, gewährleistet werden.
Als alternative oder zusätzliche Maßnahme zum Herbeiführen einer exzentrischen Bewegung des Düsenausgangs kann auch eine spezielle Ausführung vorliegen, in der zwar der Außenformabschnitt in einem verzahnten Umfangsausschnitt, bevorzugt in einem verzahnten Umfangsausschnitt des Zahnkranzes, kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitts, bevorzugt des verzahnten Umfangsausschnitts des Zahnkranzes, hierüber hinaus jedoch die Drehachse exzentrisch zum Düsenausgang positioniert ist. Die Maßgabe, dass der Außenformabschnitt in einem verzahnten Umfangsausschnitt, beispielsweise des Zahnkranzes, kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des verzahnten Umfangsausschnitts beispielsweise des Zahnkranzes, ist dahingehend zu verstehen, dass ein Umfangsausschnitt, beispielsweise des Zahnkranzes, einen Ausschnitt eines verzahnten Kreiszylinders darstellt, und die Achse dieses verzahnten Kreiszylinders der Drehachse des Düsenabschnitts entspricht. Über diese Maßgabe hinaus ist die Drehachse im erforderlichen Bedarf exzentrisch zu dem Düsenausgang des Düsenabschnitts verschoben. Eine exzentrische Verschiebung der Drehachse zum Düsenausgang des Düsenabschnitts ist bevorzugt derart zu verstehen, dass entweder die Drehachse den Düsenausgang nicht schneidet oder, wenn die Drehachse den Düsenausgang schneidet, der Schnittpunkt der Drehachse mit dem Düsenausgang kein Symmetriepunkt des Düsenausgangs ist. Im Spezialfall, dass der Düsenausgang schlitzförmig ausgebildet ist, ist eine exzentrische Verschiebung der Drehachse zum Düsenausgang des Düsenabschnitts bevorzugt derart zu verstehen, dass entweder die Drehachse den Düsenausgang nicht schneidet oder, wenn die Drehachse den Düsenausgang schneidet, der Schnittpunkt der Drehachse den Schlitz in der Schlitzlängsrichtung nicht halbiert. In besonders vorteilhafter Weise kommt das exzentrische Drehen eines schlitzförmigen Düsenausgang zum Tragen, wenn die besonders bevorzugte Ausführung vorliegt, dass die Schlitzlänge wenigstens dem 20- fachen, bevorzugt dem 100-fachen, der Schlitzbreite entspricht und wenn entweder die Drehachse den Düsenausgang nicht schneidet oder, wenn die Drehachse den Düsenausgang schneidet, der Schnittpunkt der Drehachse den Schlitz in zwei Abschnitte teilt, wobei der längere Abschnitt wenigstens 110 Prozent, bevorzugt wenigstens 120 Prozent, der Länge des kürzeren Abschnitts aufweist .
Wie oben bereits erwähnt, bezeichnet der Begriff des Außenformabschnitts einen Abschnitt des Düsenabschnitts, wobei dessen Name sich darauf bezieht, dass der Außenmantel des Außenformabschnitts eine durch seine Form verursachte Funktion hat, beispielsweise die Bereitstellung einer Verzahnung. In einer Ausführungsform mit einem Zahnkranz beispielsweise ist der Außenformabschnitt derjenige Abschnitt des Düsenabschnitts in axialer Richtung, der in den Zahnkranz eingepasst ist.
Alternativ oder zusätzlich kann die exzentrische Orientierung der Drehachse zu dem Düsenausgang auch schlicht konstruktiv umgesetzt sein, indem der Düsenausgang entsprechend positioniert ist, beispielsweise indem der Außenformabschnitt kreiszylindrisch mit der Drehachse auf seiner Achse ist, wobei aber der Düsenausgang von der Drehachse beabstandet ist oder die Drehachse den Düsenausgang schneidet, aber nicht halbiert.
In einer bevorzugten speziellen Variante ist die Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung von Material eine Jet-Vapour- Deposition-Anlaqe, wobei bevorzugt der Verdampfungsabschnitt als Tiegel ausgebildet ist. Unter dem Begriff der Jet-Vapour- Deposition-Anlaqe versteht der Fachmann eine Anlage, in welcher das Beschichtungsmaterial thermisch in Gasphase gebracht wird und es sodann, typischerweise mit einem Trägergasstrom aus Inertgas, zu dem Substrat transportiert wird, bevorzugt mit einer Gasstromgeschwindigkeit oberhalb der
Schallgeschwindigkeit, besonders bevorzugt oberhalb 500 m/s. Die Funktionsweise geht beispielsweise aus dem Übersichtsartikel im Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings (Third Edition), Science, Applications and Technology, 2010, Seiten 881-901, https://doi.org/10.1016/B978-0-8155-2031- 3.00018-1 (verlinkt am Anmeldetag) hervor. Die vorliegende Erfindung ist mit derartigen Jet-Vapour-Deposition-Anlagen umsetzbar .
In einer alternativen bevorzugten Ausführungsform ist dem Verdampfungsabschnitt ein Vorverdampfungsabschnitt vorgeschaltet, der insbesondere einen Spritzkopf aufweist inklusive einer Trägergasstromzufuhr zu dem Spritzkopf sowie ein Injektorrohr von dem Spritzkopf zu dem Verdampfungsabschnitt hin. Dem Spritzkopf wird das Ausgangsmaterial zugeführt, bevorzugt in Draht- oder in Bandform. In dem Spritzkopf wird das Ausgangsmaterial aufbereitet, das bedeutet, es werden Bestandteile des Ausgangsmaterials verdampft und/oder als in Flüssigphase vorliegende Partikel vom Ausgangsmaterial getrennt, bevorzugt mittels einem Lichtbogenverdampfen zwischen als Kathode geschaltetem Ausgangsmaterial und als Anode geschaltetem Ausgangsmaterial. Das aufbereitete Ausgangsmaterial liegt nicht vollständig in Gasphase vor, aber besteht aus einem Gemisch insbesondere aus Gasphase und flüssigen oder teilflüssigen Partikeln, das zur Führung durch den Verdampfungsabschnitt geeignet ist, um dort nachverdampft zu werden, das heißt: durch dort stattfindende Erwärmung vollständig oder weitgehend vollständig in die Gasphase überzugehen.
Der Verdampfungsabschnitt ist bevorzugt als Tiegel ausgebildet. Der Verdampfungsabschnitt ist erwärmt, um das aufbereitete Ausgangsmaterial in Gasphase zu überführen. Die Temperatur, auf welche der Verdampfungsabschnitt erwärmt wird, richtet sich nach dem Beschichtungsmaterial, sie muss in der Regel höher sein als die Verdampfungstemperatur des aufbereiteten Ausgangsmaterials. Der Verdampfungsabschnitt ist bevorzugt ein als Zyklon ausgebildeter Tiegel ausgebildet, da eine Zyklonform eine platzsparende Ausgestaltung ist, die eine effiziente Führung des Gasstroms durch den Tiegel erlaubt. Ein weiterer Vorteil eines in Zyklonform ausgebildeten Tiegels ist dessen hohe Zuverlässigkeit in der nahezu vollständigen Verdampfung des durchströmenden Materials, wodurch eine hohe Qualität der abgeschiedenen Beschichtung gewährleistet wird, ein Beschuss des Bands mit noch in Flüssigphase vorliegendem Beschichtungsmaterial bei sachgemäßer Anwendung nahezu ausgeschlossen werden kann.
Ein weiterer Gedanke betrifft ein Verfahren zum Beschichten eines flächigen Gegenstands mit einem in Gasphase vorliegenden Material. Zum Beschichten wird die Beschichtungsanlage der eingangs genannten Art oder einer ihrer Weiterbildungen verwendet. Eine Längserstreckung der Düse, welche beispielsweise als Schlitz ausgebildet ist, ist größer als die Breite des flächigen Gegenstands in seiner Querrichtung (Querrichtung: Zur Laufrichtung, beispielsweise Bandlaufrichtung, senkrechte Richtung auf der Oberfläche). Die Orientierung der Düse relativ zu der zu beschichtenden Oberfläche wird mittels Drehens der Düse derart verändert, dass sowohl die gesamte
Breitenerstreckung der zu beschichtenden Oberfläche mit aus dem Düsenausgang austretendem Material beschichtet wird als auch zumindest an einer Kante, bevorzugt an beiden Kanten, an der Oberfläche vorbei gerichtetes Material einen tolerierten Maximalüberstand nicht überschreitet.
Analog zu den obigen Erläuterungen kann gemäß einer Variante vorgesehen sein, dass ein Außenformabschnitt der Düse zumindest im einen Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitt kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des Umfangsausschnitts, wobei hierüber hinaus jedoch die Drehachse exzentrisch zum Düsenausgang positioniert ist. Beispielsweise kann gemäß einer Variante vorgesehen sein, dass ein Außenformabschnitt der Düse zumindest im einen Zahnkranz aufweisenden Abschnitt kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des Zahnkranzes, wobei hierüber hinaus jedoch die Drehachse exzentrisch zum Düsenausgang positioniert ist.
Beispielsweise kann der Düsenabschnitt wenigstens ein Verschlussmittel zum teilweisen oder vollständigen Verschließen des Düsenausgangs aufweisen, also ein mechanisches Mittel, mit dem der Düsenausgang temporär wenigstens teilweise verschlossen werden kann. Mit dem teilweisen Verschließen des Düsenausgangs wird eine symmetrische Positionierung der Drehachse zu dem Düsenausgang in eine asymmetrische Positionierung der Drehachse zu dem Düsenausgang verändert und dadurch eine Exzentrizität der Drehachse bezüglich des offengelassenen Teils des Düsenausgangs eingestellt. Die Einsteilbarkeit der Exzentrizität wird also herbeigeführt oder anteilig herbeigeführt durch das Verändern desjenigen Flächenanteils des Düsenausgangs, durch welchen Material aus dem Düsenausgang heraus gelangt.
Für das Einstellen des Düsenausgangs kann beispielsweise ein als Schiebeklappe ausgebildetes Verschlussmittel vorgesehen sein für das teilweise Verschließen des Düsenausgangs von einem Ende her, wodurch erreicht wird, dass der Düsenausgang an einer Seite der Drehachse kürzer ist als an der anderen Seite, dass also die Drehachse exzentrisch zu dem resultierenden Düsenausgang positioniert ist. In einem solchen Fall kann eine Anpassung der Beschichtung durch Drehen der Welle und dadurch erfolgendes Einstellen des auf die zu beschichtende Oberfläche projizierten Längserstreckung der Drehachse noch flexibler eingestellt werden und dadurch auch eine flexible Wahl von zu beschichtenden flächigen Gegenständen, insbesondere Bändern, gewährleistet werden.
Bevorzugt wird in Abhängigkeit von den Abmessungen des flächigen Gegenstands vor dem Beschichten und/oder während des Beschichtens das Verschlussmittel derart eingestellt wird, dass die gesamte Breite mit aus dem Düsenausgang heraustretenden Material beschichtet wird als auch zumindest an einer Kante, bevorzugt an beiden Kanten, an der Oberfläche vorbei gerichtetes Material einen tolerierten Maximalüberstand nicht überschreitet. Für eine Einsteilbarkeit während des Beschichtungsvorgangs kann beispielsweise das Verschlussmittel mit einem Aktor gekoppelt sein, der elektrisch oder elektromagnetisch ansteuerbar ist. Vorteil dieser Vorgehensweise ist, dass infolge der Veränderung der Öffnung des Düsenausgangs eine übermäßige Beaufschlagung des Inneren der Beschichtungsanlage mit Beschichtungsmaterial reduziert wird und dadurch der Aufwand für die Reinigung der Beschichtungsanlage verringert wird. in einem verzahnten Umfangsausschnitt, bevorzugt in einem verzahnten Umfangsausschnitt des Zahnkranzes, kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitts, bevorzugt des verzahnten Umfangsausschnitts des Zahnkranzes, hierüber hinaus jedoch die Drehachse exzentrisch zum Düsenausgang positioniert ist. Die Maßgabe, dass der Außenformabschnitt in einem verzahnten Umfangsausschnitt, beispielsweise des Zahnkranzes, kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des verzahnten Umfangsausschnitts beispielsweise des Zahnkranzes, ist dahingehend zu verstehen, dass ein Umfangsausschnitt, beispielsweise des Zahnkranzes, einen Ausschnitt eines verzahnten Kreiszylinders darstellt, und die Achse dieses verzahnten Kreiszylinders der Drehachse des Düsenabschnitts entspricht. Über diese Maßgabe hinaus ist die Drehachse im erforderlichen Bedarf exzentrisch zu dem Düsenausgang des Düsenabschnitts verschoben. Eine exzentrische Verschiebung der Drehachse zum Düsenausgang des Düsenabschnitts ist bevorzugt derart zu verstehen, dass entweder die Drehachse den Düsenausgang nicht schneidet oder, wenn die Drehachse den Düsenausgang schneidet, der Schnittpunkt der Drehachse mit dem Düsenausgang kein Symmetriepunkt des Düsenausgangs ist. Im Spezialfall, dass der Düsenausgang schlitzförmig ausgebildet ist, ist eine exzentrische Verschiebung der Drehachse zum Düsenausgang des Düsenabschnitts bevorzugt derart zu verstehen, dass entweder die Drehachse den Düsenausgang nicht schneidet oder, wenn die Drehachse den Düsenausgang schneidet, der Schnittpunkt der Drehachse den Schlitz in der
Schlitzlängsrichtung nicht halbiert. In besonders vorteilhafter Weise kommt das exzentrische Drehen eines schlitzförmigen Düsenausgang zum Tragen, wenn die besonders bevorzugte Ausführung vorliegt, dass die Schlitzlänge wenigstens dem 20- fachen, bevorzugt dem 100-fachen, der Schlitzbreite entspricht und wenn entweder die Drehachse den Düsenausgang nicht schneidet oder, wenn die Drehachse den Düsenausgang schneidet, der Schnittpunkt der Drehachse den Schlitz in zwei Abschnitte teilt, wobei der längere Abschnitt wenigstens 110 Prozent, bevorzugt wenigstens 120 Prozent, der Länge des kürzeren Abschnitts aufweist .
Eine Ausführung der Beschichtungsanlage mit einer exzentrischen Drehachse infolge der Geometrie des Düsenabschnitts in der beschriebenen Weise geht trotz der nicht vorhandenen Flexibilität mit dem Vorteil einher, dass auf einfache Weise und nur durch Formgebung des Düsenausgangs die gewünschte Beaufschlagung des zu beschichtenden Gegenstands erreicht wird, ohne dass eine hohe Zahl potentiell wartungsintensiver Bauteile vorhanden ist.
In allen Fällen, in denen oben die exzentrische Verschiebung der Drehachse angesprochen ist, führt diese bei fachmännisch geeigneter Ausführung dazu, dass in einem Fall, in das in Gasphase vorliegende Material die Düse nicht in eine senkrecht zur beschichtenden Oberfläche orientierten Auslassrichtung verlässt, dazu, dass die Ausbringung und die Schichtbildung verbessert wird. Grund hierfür ist, dass eine asymmetrische Verzerrung der Projektion auf die Oberfläche bei der Drehung infolge der nicht senkrechten Auslassrichtung durch die exzentrische Verschiebung der Drehachse kompensiert oder teilweise kompensiert werden kann.
Gemäß einer besonders bevorzugten Variante des Verfahrens weist die Düse eine Längserstreckung der Düse von DO auf, wobei die Längserstreckung derart um einen Drehwinkel ' = a*k zu der Transportrichtung des flächigen Gegenstands gedreht wird, dass sin(a')*D0 einer Beaufschlagung des flächigen Gegenstands in seiner gesamten Breite entspricht. Der Faktor k ist ein empirisch bestimmter Korrekturfaktor, der bevorzugt einen Wert zwischen 0,75 und 1,25 einnimmt. Die erläuterte Vorgehensweise umfasst zum einen die Idee, dass die Düse eine Längserstreckung aufweist, wobei die Längserstreckung bei einem Drehwinkel von = 90 Grad senkrecht zu der Transportrichtung des Bands orientiert ist, bevorzugt außerdem die Düsenöffnung in einer zur Bandoberfläche parallelen Ebene liegt. Bei einem idealisierten Modell würde ein Drehen der Düse um einen Drehwinkel ausgehend von 90 Grad Orientierung zu einer Verkleinerung der Breitenerstreckung der Beschichtung auf dem flächigen Gegenstand führen, es wird bei dem Beispiel eines Bands also nur ein Band mit geringerer Breite in seiner gesamten Breitenerstreckung vollständig beschichtet. Anders betrachtet kann durch diese Vorgehensweise ein Band mit geringerer Breite mit gleichermaßen hoher Effizienz beschichtet werden, da der Anteil des aus der Düsenöffnung austretenden in Gasphase vorliegenden Materials, der an den Bandkanten vorbei im Inneren der Vakuumkammer sich verteilt, gering gehalten werden kann. Der Faktor k trägt dem Umstand Rechnung, dass die im realen Beschichtungsszenario vorherrschenden Verhältnisse eine maximale Beschichtungsbreite in Quererstreckung des zu beschichtenden Gegenstands erfahrungsgemäß nicht mit dem oben genannten Winkel = 90 Grad erreichten, sondern stattdessen je nach konkreten Umständen im Einzelfall eine Abweichung vorliegt, die empirisch zu korrigieren ist. Die erläuterte spezielle Ausführung der Erfindung umfasst also insbesondere den konkreten Schritt, dass ein empirisch bestimmter Korrekturfaktor vorliegt und verwendet wird.
In einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist weiterhin vorgesehen, dass die Orientierung der Düse außerdem mittels
- Bewegens der Drehachse in eine senkrecht zur Drehachse weisende Richtung oder
- mittels Einstellens einer Exzentrizität des Düsenausgangs zur Drehachse verändert wird. Die Veränderung erfolgt derart, dass zumindest an einer Kante, bevorzugt an beiden Kanten, an der Oberfläche vorbei gerichtetes Material einen tolerierten Maximalüberstand nicht überschreitet. Mit anderen Worten wird zusätzlich zu der auf der Oberfläche des flächigen Gegenstands mit Material beaufschlagten Quererstreckung im Sinne des Betrags der beaufschlagten Quererstreckung auch dessen Position durch Veränderung der Position der Düse in senkrecht zur Transportrichtung des flächigen Gegenstands, beispielsweise Bands, berücksichtigbar.
Besonders bevorzugt wird die Drehachse derart zu der Düse angeordnet, dass die Drehachse die Düse in ihrer
Längserstreckung DO derart in zwei Abschnitte Dl und D2 mit DO = Dl + D2 unterteilt, dass D1/D2 = Deltal/Delta2 ist, wobei Deltal eine Breitenverringerung des flächigen Gegenstands auf einer ersten Seite der Drehachse und Delta2 eine Breitenverringerung des flächigen Gegenstands auf einer zweiten Seite der Drehachse ist, insbesondere eine Breitenverringerung mit Bezug zu einer Symmetrieachse der zum Transport des flächigen Gegenstands genutzten Transporteinrichtung. Durch diese Maßnahme wird erreicht, dass die Veränderung der Orientierung der drehbaren Düse nicht nur auf eine Veränderung von Quererstreckungen eines flächigen Gegenstands hin eingestellt werden kann, die symmetrisch zu der Drehachse des flächigen Gegenstands an beiden Kanten des flächigen Gegenstands vorgesehen werden; sondern es kann zusätzlich auch eine Einstellung der Orientierung der drehbaren Düse zur Berücksichtigung von asymmetrisch ausgeführten Veränderungen in der Quererstreckung vorgenommen werden.
Besonders bevorzugt ist, dass der flächige Gegenstand eine in Längsrichtung sich verändernde Breite aufweist.
Beispielsweise kann der flächige Gegenstand ein Metallband, insbesondere Stahlband, sein, das eine in Abhängigkeit von seiner Längsposition veränderliche Quererstreckung aufweist. Gemäß bevorzugter Verfahrensvariante wird ein derartiger flächiger Gegenstand beschichtet, wobei während des Beschichtens kontinuierlich die Orientierung des Düsenausgangs relativ zu der beschichtenden Oberfläche eingestellt wird, sodass die Orientierung der Düse jeweils auf die gegenwärtig zu beschichtende Längsposition des flächigen Gegenstands eingestellt ist. Die kontinuierliche Einstellung kann dabei entweder auf einer in-situ-Messung einer Breitenerstreckung während des Beschichtungsvorgangs basieren, die beispielsweise mittels optischer Längenerfassung durchgeführt wird, oder aber bei bekannter Abhängigkeit der Quererstreckung eines flächigen Gegenstands von seiner Längsposition basierend auf einer zeitabhängigen Steuerung einer Düsendrehung während des Beschichtungsprozesses durchgeführt werden.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile des Gegenstands der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung im Zusammenhang mit den Zeichnungen, in denen beispielhaft Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt sind.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten wie auch nachfolgend erläuterten Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind.
Es zeigen: Figs. la, lb: schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Beschichtungsanlage;
Fig. 2: schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform einer drehbar gelagerten Düse;
Fig. 3: schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer drehbar gelagerten Düse.
Fig. 4: Darstellung einer Zn-Auflagendicke in Querrichtung eines Bands;
Fig. 5: schematische Darstellung einer dritten Ausführungsform einer drehbar gelagerten Düse;
Fig. 6: Schematische Darstellung einer Düse und eines Düsenausgangs .
Fig. la ist eine Beschichtungsanlage 1 zu entnehmen, welche zur Beschichtung eines als Metallband 2 ausgebildeten flächigen Gegenstands 2 ausgestaltet ist. Die Beschichtungsanlage 1 ist als Bandbeschichtungsanlage ausgeführt und umfasst aus diesem Grund eine Vorrichtung zum Transportieren des Bands, wie sie im Bereich der Herstellung und Beschichtung von Metallbändern, insbesondere Stahlbändern, bekannt ist. Der Bandtransport erfolgt bei der gezeigten Ausführungsform mittels Transportrollen 3a, 3b. Das Band wird in eine Vakuumkammer 4 eingeführt und durch die Vakuumkammer hindurchgeführt, in welcher ein Vakuum vorliegt, beispielsweise mit einem Druck zwischen 0,1 mbar und 20 mbar.
Das Band wird entlang einer Transportrichtung 5 durch die Vakuumkammer hindurch- und an einer Vorrichtung 6 zur Gasphasenabscheidung des Materials vorbeigeführt, die in der vorliegenden Ausführungsform als hinsichtlich ihrer grundsätzlichen Funktionsweise dem Fachmann bekannte Jet-PVD- Vorrichtung 6 ausgebildet ist. Mit der Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung wird ein in Gasphase vorliegendes Material auf die Oberfläche des Metallbands gerichtet, um dort durch Kondensation eine Beschichtung zu bilden. Die Vorrichtung 6 weist einen Verdampfungsabschnitt 7 zum Verdampfen des Materials in die Gasphase hinein und einen mit dem Verdampfungsabschnitt 7 gekoppelten Düsenabschnitt 8 auf. Der Düsenabschnitt 8 umfasst insbesondere eine innerhalb der Vakuumkammer 4 angeordnete Düse 9 mit einem Düsenausgang, welcher zu der zu beschichtenden Oberfläche des Bands hin gerichtet ist, um aus dem Düsenausgang austretendes, in Gasphase vorliegendes, Material zu der Oberfläche hin zu führen, damit dieses dort kondensieren und dadurch eine Beschichtung bilden kann. Die Düse 8 ist drehbar gelagert und mit dem Verdampfungsabschnitt 7 gekoppelt. In der schematischen Darstellung reicht der Verdampfungsabschnitt 7 teilweise ebenfalls in die Vakuumkammer 4 hinein, wobei dies weder zwingend noch erforderlich ist und vom mit der Umsetzung der Erfindung betrauten Fachmann anforderungsgemäß ausgeführt werden kann. Wesentlich ist jedoch, dass die Düse 9 mit dem Düsenausgang innerhalb der Vakuumkammer 4 angeordnet ist, um die Beschichtung der Oberfläche des Bands zu gewährleisten.
Die Düse 9 ist drehbar gelagert, wie durch die Pfeile 10 symbolisiert wird. Durch das Drehen kann die Orientierung des Düsenausgangs relativ zu der zu beschichtenden Oberfläche des Bands 2 geändert werden, wobei in der gezeigten Ausführungsform die bevorzugte Ausführung gewählt wurde, gemäß welcher die Drehachse der Düse 9 senkrecht zu der zu beschichtenden Oberfläche orientiert ist und gemäß welcher ein innerhalb der Düse befindlicher Düsenausgang derart geformt ist, dass das aus dem Düsenausgang austretende in Gasphase befindliche Material in Richtung der Drehachse aus der Düse austritt, das heißt, dass im gezeigten Beispiel, in dem die Drehachse senkrecht zu der zu beschichtenden Oberfläche orientiert ist, das in Gasphase befindliche Material in zur zu beschichtenden Oberfläche senkrechter Richtung auf der Oberfläche auftrifft.
Die Düse 9 weist in der gezeigten Ausführungsform einen in Form eines Schlitzes ausgeführten Düsenausgang auf mit einer Längserstreckung DO. Die Düse ist derart gelagert beziehungsweise der Düsenausgang derart in der Düse 9 angeordnet, dass bei dem Drehen der Düse 9 um ihre Drehachse die Drehbewegung der Düse 9 in einer zu der Bandoberfläche parallelen Ebene stattfinden würde und dass der Düsenausgang gleichzeitig senkrecht zur Hauptaustrittsrichtung des in Gasphase vorliegenden Materials erfolgt. In der gezeigten Darstellung ist die Düse 9 mit einem Winkel von Null zu der Bandtransportrichtung orientiert. In der gezeigten Orientierung würde nur ein schmaler Streifen des Bands beschichtet werden.
Mit einer Drehung von 90 Grad um die gezeigte Rotationsachse hingegen würde ein Band mit einer Breite, das heißt: mit einer Erstreckung in seiner Querrichtung, die in der vorliegenden Darstellung senkrecht in die Papierebene hinein orientiert ist, beschichtet werden, die der Längserstreckung DO des Bands entspricht, wobei geringfügige Abweichungen durch das Strömungsprofil der aus dem Düsenausgang ausströmenden Teilchen möglich sind.
Fig. lb ist eine Darstellung der in Fig. la gezeigten Beschichtungsanlage 1 in Aufsicht gezeigt. Insbesondere ist erkennbar, dass der als Schlitz 11 ausgebildete Düsenausgang 11 der Düse 9 einen Winkel von 90 Grad zu der Transportrichtung des Bands 2 einnimmt, er also gegenüber der Stellung aus Fig. la um 90 Grad gedreht wurde. Die Längserstreckung des Düsenausgangs 11 ist größer als die Breite des Bands in seiner Querrichtung. Wenn das Band 2 eine geringere Breite in Querrichtung hätte als die in Fig. lb dargestellte, dann könnte durch Verringern des Winkels sichergestellt werden, dass trotz der verringerten Bandbreite nicht oder nur in geringem, toleriertem, Ausmaß aus dem Düsenausgang tretendes Material an den Bandkanten vorbei in die Vakuumkammer, insbesondere in einem unterhalb des Bands befindlichen Bereich der Vakuumkammer, gelangt und dadurch nicht mehr für eine Bildung einer Beschichtung mehr zur Verfügung steht. Durch das Bereitstellen einer drehbaren Düse wird somit sichergestellt, dass eine effiziente Beschichtung eines Bands für unterschiedliche Bandbreiten und sogar bei innerhalb desselben Bands veränderlicher Bandbreite möglich ist.
In Fig. 2 ist eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung als möglicher Bestandteil der erfindungsgemäßen
Beschichtungsanlage gezeigt. Die in Fig. 2 gezeigte Düse 9 weist einen kreiszylindrischen Außenformabschnitt auf, auf den ein Zahnkranz 12 geklemmt ist. Mit dem Zahnkranz 12 in Eingriff steht ein als Ritzel 13 ausgebildetes Gegenelement 13 in Eingriff steht. Das Ritzel 13 ist mit einer aus der Vakuumkammer 4 herausführenden Welle 14 gekoppelt ist, wobei die Welle mit einem in der Fig. 2 nicht gezeigten Drehantrieb gekoppelt ist zum Drehen der Welle und dadurch herbeigeführtes Drehen der Düse. Um zu gewährleisten, dass die heiße Düse 9 von den angetriebenen Bestandteilen thermisch isoliert ist, ist zwischen der Düse 9 und dem Zahnkranz 12 ein als keramischer Ring 15 ausgebildetes thermisches Isolationsmittel 15 angeordnet.
In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung als möglicher Bestandteil der erfindungsgemäßen Beschichtungsanlage gezeigt. Im Unterschied zu der Ausführung der Fig. 2 ist bei der Ausführung der Fig. 3 ein schrägverzahnter Zahnkranz 12 vorgesehen, der mit einem als Schneckenwelle 16 ausgebildeten Gegenelement in Eingriff steht, die wiederum mit einer aus der Vakuumkammer 4 durch die Wandung 22 herausführenden Welle gekoppelt ist. Die Welle ist mit einem Drehantrieb 19 gekoppelt. Die Welle weist eine
Kühlmitteldurchführung 20 auf, also eine Leitung, welche durch die Welle führt und Bestandteil eines Kühlmittelkreislaufs ist, zum Kühlen der Welle. Während also bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 eine passive Isolierung der heißen Düse 9 zu dem Zahnkranz 12 bereitgestellt ist, erfolgt bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 eine aktive Kühlung der mit der Düse in Kontakt stehenden Elemente. Die Welle ist mittels eines Kardangelenks 17 mit einem transversalen Bewegungsfreiheitsgrad eingerichtet. Die Welle ist über ein Kopplungsstück 23 und einem mit diesem gekoppelten Transversalantriebsmittel aus dem Eingriff mit dem Zahnkranz weg und wieder zu dem Eingriff mit dem Zahnkranz hin bewegbar. Auch die Welle 18 ist über Zu- und Abführung 21 mit einem Kühlmittelkreislauf gekoppelt zur aktiven Kühlung der Welle 18 als mittelbar mit dem Zahnkranz 12 in Berührung stehende Bestandteile.
Fig. 4 ist ein Schichtdickenprofil einer Zn-Beschichtung zu entnehmen, wobei einmal mit einem Winkel von 90 Grad und einmal mit einem Winkel von 45 Grad zu der Transportrichtung beschichtet wurde. Es ist erkennbar, dass durch Drehen der Düse die Breite der Schicht eingestellt werden kann.
Fig. 5 ist eine schematische Darstellung einer dritten Ausführungsform einer drehbar gelagerten Düse zu entnehmen. Bei der dritten Ausführungsform handelt es sich um eine angepasste Variante einer Ausführungsform gemäß Fig. 2, weswegen nur die Unterschiede der dritten Ausführungsform zu der ersten Ausführungsform dargelegt werden, und im Übrigen auf die Beschreibung der Fig. 2 verwiesen wird.
Anhand der schematischen Darstellung der Fig. 5 werden drei Maßnahmen erläutert, mit denen erreicht wird, dass die Drehachse D exzentrisch gegenüber dem Düsenausgang 11 positioniert ist.
Die erste Maßnahme besteht darin, dass die Drehachse D exzentrisch zu dem Düsenausgang 11 verschoben ist, das bedeutet: Form und Position des Düsenausgangs sowie Drehachse D sind derart gewählt, dass die Drehachse D den Düsenausgang nicht in einem Symmetriepunkt schneidet, der auf der Mittelachse des Düsenausgangs 11 liegt, der den schlitzförmigen Düsenausgang in Längsrichtung in zwei Hälften schneidet.
Die zweite Maßnahme besteht darin, dass der Außenformabschnitt, bei dem es sich in der vorliegenden konstruktiven Ausführung um den Abschnitt der Düse handelt, der sich in axialer Richtung in dem Bereich gekennzeichnet durch die Klammer 25 erstreckt, in dem Bereich zwischen dem Punkt Ul und von diesem in Blattebene gegen den Uhrzeigersinn hin zu U2 einen Umfangsausschnitt aufweist der zum einen eine Verzahnung aufweist und zum anderen in diesem Abschnitt kreiszylindrisch ist mit der Drehachse D des Düsenabschnitts in der Zentralachse des Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitts U1-U2. Der an den Umfangsausschnitt anschließende Teil hingegen ist nicht kreiszylindrisch, sondern er umschreibt eine eher ovale Form.
Das bedeutet, dass ein Antrieb durch Ritzel 13 nur innerhalb von U1-U2 möglich ist, mit dem gewünschten Effekt, dass eine exzentrische Bewegung des Düsenausgangs herbeigeführt wird.
Die dritte Maßnahme besteht darin, dass der Düsenabschnitt die Schiebeklappe 24 aufweist, mit der der Düsenausgang teilweise verschlossen werden kann.
Es erklärt sich von selbst, dass die in Fig. 5 dargestellten und oben beschriebenen Anpassungen der Ausführungsform der
Fig. 2 in analoger Weise in anderen Ausführungsformen umgesetzt werden, beispielsweise in jener der Fig. 3.
Zur Erläuterung der Wirkung einer zum Düsenausgang exzentrischen Drehachse dient Fig. 6: Fig. 6 ist eine Aufsicht auf eine Düse 26, die dem Düsenabschnitt 25 der Fig. 5 ähnelt.
Es ist erkennbar, dass die Drehachse D' der Düse 26 gegenüber einer Mitte M des Düsenausgangs 11 eine Verschiebung aufweist. Die Verschiebung ist um eine Strecke X0 vorgesehen. Mit der gezeigten Düse 26 kann bei einer Drehung im Uhrzeigersinn, gekennzeichnet durch den Pfeil U um die Achse D', eine teilweise Kompensation einer Asymmetrie erreicht werden.

Claims

Patentansprüche
1. Beschichtungsanlage (1) zur Beschichtung eines flächigen Gegenstands (2), bevorzugt eines Bands, insbesondere eines metallischen Bands wie beispielsweise einem Stahlband, mit einem in Gasphase vorliegenden Material, wobei die Beschichtungsanlage (1) aufweist:
- eine Vakuumkammer (4) zur Durchführung des zu beschichtenden flächigen Gegenstands (2),
- eine Vorrichtung (6) zur Gasphasenabscheidung des Materials, aufweisend einen Verdampfungsabschnitt (7) zum Verdampfen des Materials in die Gasphase hinein und einen mit dem Verdampfungsabschnitt (7) gekoppelten Düsenabschnitt (8), wobei der Düsenabschnitt (8) eine innerhalb der Vakuumkammer (4) angeordnete Düse (9) mit einem Düsenausgang (11) aufweist zum gerichteten Führen und Auslassen des in Gasphase vorliegenden Materials aus dem Düsenausgang (11) hinaus zu einer zu beschichtenden Oberfläche eines durch die Vakuumkammer (4) durchgeführten flächigen Gegenstands (2) hin, um diesen kontinuierlich mit auf der Oberfläche auftreffendem und dort kondensierenden Material zu beschichten, wobei die Düse (9) drehbar gelagert ist zur Veränderung der Orientierung des Düsenausgangs (11) relativ zu der zu beschichtenden Oberfläche.
2. Beschichtungsanlage (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenausgang (11) als Schlitz ausgebildet ist.
3. Beschichtungsanlage (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (9) derart gelagert ist, dass bei einem Drehen der Düse (9) der Düsenausgang (11) in einer zu der zu beschichtenden Oberfläche parallelen Ebene eine Drehbewegung vollzieht, und/oder dass eine Drehachse zum Drehen der Düse (9) senkrecht zu der zu beschichtenden Oberfläche orientiert ist.
4. Beschichtungsanlage (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (9) einen in einem Umfangsausschnitt seines Umfangs oder vollständig in seinem Umfang mit einer Verzahnung verzahnten zylindrischen, bevorzugt kreiszylindrischen, Außenformabschnitt aufweist, wobei die Verzahnung mit einem in die Verzahnung eingreifenden antreibbaren Gegenelement (13, 16) in Eingriff steht zum Drehen der Düse (9) mittels Antreibens des Gegenelements (13, 16).
5. Beschichtungsanlage (1) nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (9) einen zylindrischen, bevorzugt kreiszylindrischen, Außenformabschnitt aufweist und der Außenformabschnitt in einen, in einem Umfangsausschnitt seines Umfangs oder vollständig in seinem Umfang mit einer Verzahnung verzahnten, Zahnkranz (12) eingepasst ist oder einen, in einem Umfangsausschnitt seines Umfangs oder vollständig in seinem Umfang mit einer Verzahnung verzahnten, Zahnkranz aufweist, wobei der Zahnkranz (12) mit einem in den Zahnkranz (12) eingreifenden antreibbaren Gegenelement (13, 16) in Eingriff steht zum Drehen der Düse (9) mittels Antreibens des Gegenelements (13, 16).
6. Beschichtungsanlage (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (9) und der Zahnkranz (12) mit einem zwischen dem Außenformabschnitt der Düse (9) und dem Zahnkranz (12) angeordneten thermischen Isolationsmittel (15) voneinander thermisch getrennt ausgebildet sind, wobei bevorzugt das thermische Isolationsmittel (15) ein Isolatorring ist, besonders bevorzugt ein Isolatorring aufweisend ein keramisches Material oder bestehend aus einem keramischen Material.
7. Beschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Gegenelement (13) ein Ritzel ist, das mit einer aus der Vakuumkammer (4) herausführenden Welle (14) gekoppelt ist, wobei die Welle (14) mit einem Drehantrieb gekoppelt ist zum Drehen der Welle (14) und durch dieses herbeigeführtes Drehen der Düse (9).
8. Beschichtungsanlage (1) nach Anspruch 4 oder nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Gegenelement (16) eine Schneckenwelle ist, die mit einer aus der Vakuumkammer (4) herausführenden Welle gekoppelt ist, wobei die Welle mit einem Drehantrieb (19) gekoppelt ist zum Drehen der Welle und durch dieses herbeigeführtes Drehen der Düse (9), wobei die Welle bevorzugt eine Kühlmitteldurchführung (20) aufweist zum Kühlen der Welle.
9. Beschichtungsanlage (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle mittels eines, bevorzugt als Kardangelenk (17) ausgebildeten, Kopplungsglied mit einem transversalen Bewegungsfreiheitsgrad eingerichtet ist, wobei die Welle mit einem Kopplungsstück und einem mit diesem gekoppelten Transversalantriebsmittel aus dem Eingriff mit dem Zahnkranz (12) weg und wieder zu dem Eingriff mit dem Zahnkranz (23) hin bewegbar ist.
10. Beschichtungsanlage (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Drehachse in eine senkrecht zur Drehachse weisende Richtung bewegbar ausgebildet ist, und/oder
- die Drehachse in Exzentrizität zum Düsenausgang (11) eingestellt ist,
- die Drehachse in Exzentrizität zum Düsenausgang (11) einstellbar ist, und/oder
- der Außenformabschnitt zumindest in einem Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitt, bevorzugt in einem verzahnten Umfangsausschnitt des Zahnkranzes, kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitts, bevorzugt des verzahnten Umfangsausschnitts des Zahnkranzes, hierüber hinaus jedoch die Drehachse exzentrisch zum Düsenausgang positioniert ist.
11. Beschichtungsanlage (1) nach Anspruch 10, wobei der Düsenabschnitt wenigstens ein Verschlussmittel zum teilweisen oder vollständigen Verschließen des Düsenausgangs (11) aufweist, beispielsweise als bewegbare Schiebeklappe ausgebildet, für das Einstellen der Exzentrizität der Drehachse zum Düsenausgang (11), wobei der Düsenausgang (11) bevorzugt schlitzförmig ist.
12. Verfahren zum Beschichten eines flächigen Gegenstands (2), bevorzugt eines Bands, insbesondere eines metallischen Bands, mit einem in Gasphase vorliegenden Material mittels einer Beschichtungsanlage (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Längserstreckung der Düse (9), insbesondere eines Düsenausgangs der Düse (11), größer ist als eine Breite des flächigen Gegenstands (2) in seiner Querrichtung, wobei die Orientierung der Düse (9) relativ zu der zu beschichtenden Oberfläche mittels Drehens der Düse (9) derart verändert wird, dass sowohl die gesamte Breite mit aus dem Düsenausgang (11) heraustretenden Material beschichtet wird als auch zumindest an einer Kante, bevorzugt an beiden Kanten, an der Oberfläche vorbei gerichtetes Material einen tolerierten Maximalüberstand nicht überschreitet.
13. Verfahren nach Anspruch 12, wobei die Düse (9) mit der Längserstreckung des Düsenausgangs (11) DO derart um einen Drehwinkel alpha' = alpha*k zu der Transportrichtung des flächigen Gegenstands gedreht wird, dass sin (alpha')*D0 einer Beaufschlagung des flächigen Gegenstands in seiner gesamten Breite entspricht, wobei k ein empirisch bestimmter Korrekturfaktor ist.
14. Verfahren nach Anspruch 12 oder nach Anspruch 13, wobei die Orientierung der Düse außerdem mittels
- Bewegens der Drehachse in eine senkrecht zur Drehachse weisende Richtung und/oder
- Drehens der Düse um eine zum Düsenausgang exzentrische Drehachse,
- mittels Einstellens einer Exzentrizität der Drehachse zum Düsenausgang (11) derart verändert wird, dass zumindest an einer Kante, bevorzugt an beiden Kanten, an der Oberfläche vorbei gerichtetes Material einen tolerierten Maximalüberstand nicht überschreitet und/oder dass ein Außenformabschnitt der Düse zumindest in einem Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitt, bevorzugt in einem verzahnten Umfangsausschnitt des Zahnkranzes, kreiszylindrisch ist mit einer Drehachse in der Zentralachse des Verzahnung aufweisenden Umfangsausschnitt, bevorzugt des verzahnten Umfangsausschnitts des Zahnkranzes, hierüber hinaus jedoch die Drehachse exzentrisch zum Düsenausgang positioniert ist, und bevorzugt derart, dass eine Einstellung der Orientierung der Düse erfolgt, sodass zumindest an einer Kante, bevorzugt an beiden Kanten, an der Oberfläche vorbei gerichtetes Material einen tolerierten Maximalüberstand nicht überschreitet.
15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Drehachse die Längserstreckung des Düsenausgangs DO = Dl + D2 derart unterteilt, dass D1/D2 = Deltal/Delta2, wobei Deltal eine
Breitenverringerung auf einer ersten Seite der Drehachse und Delta2 eine Breitenverringerung auf einer zweiten Seite der Drehachse ist.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, wobei ein flächiger Gegenstand (2) mit in Längsrichtung sich verändernder Breite beschichtet wird unter kontinuierlicher Einstellung der Veränderung der Orientierung des Düsenausgangs (11) relativ zu der beschichtenden Oberfläche in Abhängigkeit von der jeweils gegenwärtig zu beschichtenden Längsposition des flächigen Gegenstands.
EP22732455.5A 2021-07-07 2022-05-30 Beschichtungsanlage zur beschichtung eines flächigen gegenstands sowie ein verfahren zum beschichten eines flächigen gegenstands Pending EP4367283A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102021117574.7A DE102021117574A1 (de) 2021-07-07 2021-07-07 Beschichtungsanlage zur Beschichtung eines flächigen Gegenstands sowie ein Verfahren zum Beschichten eines flächigen Gegenstands
PCT/EP2022/064537 WO2023280464A1 (de) 2021-07-07 2022-05-30 Beschichtungsanlage zur beschichtung eines flächigen gegenstands sowie ein verfahren zum beschichten eines flächigen gegenstands

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4367283A1 true EP4367283A1 (de) 2024-05-15

Family

ID=82156383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP22732455.5A Pending EP4367283A1 (de) 2021-07-07 2022-05-30 Beschichtungsanlage zur beschichtung eines flächigen gegenstands sowie ein verfahren zum beschichten eines flächigen gegenstands

Country Status (6)

Country Link
US (1) US12410510B2 (de)
EP (1) EP4367283A1 (de)
JP (1) JP2024525090A (de)
CN (1) CN117597464A (de)
DE (1) DE102021117574A1 (de)
WO (1) WO2023280464A1 (de)

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4331526A (en) * 1979-09-24 1982-05-25 Coulter Systems Corporation Continuous sputtering apparatus and method
DE4100643C1 (de) * 1991-01-11 1991-10-31 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
US5273911A (en) * 1991-03-07 1993-12-28 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method of producing a thin-film solar cell
DE4310085A1 (de) * 1993-03-27 1994-09-29 Leybold Ag Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Mustern auf Substraten
US20010005553A1 (en) * 1999-11-10 2001-06-28 Witzman Matthew R. Linear aperture deposition apparatus and coating process
US6328221B1 (en) * 2000-02-09 2001-12-11 Moore Epitaxial, Inc. Method for controlling a gas injector in a semiconductor processing reactor
US6656284B1 (en) * 2002-06-28 2003-12-02 Jusung Engineering Co., Ltd. Semiconductor device manufacturing apparatus having rotatable gas injector and thin film deposition method using the same
KR101121417B1 (ko) * 2004-10-28 2012-03-15 주성엔지니어링(주) 표시소자의 제조장치
KR101353490B1 (ko) * 2006-07-20 2014-01-27 에프엔에스테크 주식회사 기판 처리장치
EP2048261A1 (de) * 2007-10-12 2009-04-15 ArcelorMittal France Industrieller Dampferzeuger zum Aufbringen einer Legierungsschicht auf einem Metallband
KR101173645B1 (ko) * 2007-12-31 2012-08-20 (주)에이디에스 가스 분사 유닛 및 이를 구비하는 박막 증착 장치
KR101146982B1 (ko) * 2009-11-20 2012-05-22 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치 및 유기 발광 디스플레이 장치 제조 방법
FR2956412B1 (fr) * 2010-02-16 2012-04-06 Astron Fiamm Safety Vanne d'obturation a volume constant d'une source de depot en phase vapeur
JP2012004196A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置及びその処理ガス供給構造
JP5718362B2 (ja) 2010-12-14 2015-05-13 シャープ株式会社 蒸着装置、蒸着方法、並びに、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
JP5401443B2 (ja) * 2010-12-28 2014-01-29 日東電工株式会社 有機ｅｌ素子の製造方法及び製造装置
RU2539487C2 (ru) * 2012-05-03 2015-01-20 Вера Дмитриевна Мирошникова Способ нанесения покрытия магнетронным распылением и держатель подложек на его основе
US9598769B2 (en) * 2013-07-24 2017-03-21 Uchicago Argonne, Llc Method and system for continuous atomic layer deposition
KR101920333B1 (ko) 2013-12-10 2018-11-20 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 유기 재료를 위한 증발 소스, 진공 챔버에서 유기 재료를 증착하기 위한 증착 장치, 및 유기 재료를 증발시키기 위한 방법
CN107109626B (zh) 2014-09-18 2020-07-28 蒂森克虏伯钢铁欧洲股份公司 用于在部件的表面上形成涂层的装置
CN105624611B (zh) 2016-03-29 2018-04-24 苏州方昇光电股份有限公司 一种旋转式有机材料蒸发装置
US10072328B2 (en) * 2016-05-24 2018-09-11 Emagin Corporation High-precision shadow-mask-deposition system and method therefor
KR102369676B1 (ko) * 2017-04-10 2022-03-04 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
WO2019239184A1 (en) * 2018-06-13 2019-12-19 Arcelormittal Vacuum deposition facility and method for coating a substrate
WO2019239186A1 (en) 2018-06-13 2019-12-19 Arcelormittal Vacuum deposition facility and method for coating a substrate
KR102680574B1 (ko) * 2018-12-11 2024-07-01 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 증발 재료를 증착하기 위한 증기 소스, 증기 소스를 위한 노즐, 진공 증착 시스템, 및 증발 재료를 증착하기 위한 방법
KR102160509B1 (ko) * 2018-12-28 2020-09-28 주식회사 에스에프에이 기판 증착장치

Also Published As

Publication number Publication date
DE102021117574A1 (de) 2023-01-12
JP2024525090A (ja) 2024-07-09
US12410510B2 (en) 2025-09-09
WO2023280464A1 (de) 2023-01-12
US20240271268A1 (en) 2024-08-15
CN117597464A (zh) 2024-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005063421B4 (de) Hartstoff-Schichtsystem
EP2500446B1 (de) Bauteilmanipulator zur dynamischen Positionierung eines Substrats, Beschichtungsverfahren, sowie die Verwendung eines Bauteilmanipulators
DE69406084T2 (de) Vakuumbeschichtung von Bahnen
EP0904424B1 (de) Beschichtungsvorrichtung und verfahren zur beschichtung eines bauteils mit einer wärmedämmschicht
EP1565591A2 (de) Verfahren zum bedampfen bandfo rmiger substrate mit einer tra nsparenten barriereschicht aus aluminiumoxid
EP2036998B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Multilayerschicht und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP3610050B2 (de) Beschichtungsverfahren zur reaktiven dampfphasenabscheidung unter vakuum auf einem substrat
EP1592821B1 (de) Verfahren zur herstellung einer multilayerschicht und vorrichtung zur durchführung des verfahrens
EP4367283A1 (de) Beschichtungsanlage zur beschichtung eines flächigen gegenstands sowie ein verfahren zum beschichten eines flächigen gegenstands
EP0282540B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum metallisieren von folienoberflächen
EP4326918A1 (de) Beschichtungsanlage zum beschichten eines bands und verfahren zum beschichten eines bands
DE1521272A1 (de) Verfahren zum Ausformen supraleitender Materialien
EP4256102A1 (de) Al-Si KORROSIONSSCHUTZSCHICHTEN
EP2354267A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer funktionalen strukturierten Schicht auf einem Substrat, sowie Beschichtungsvorrichtung und Substratteller für eine Beschichtungsvorrichtung
DE896407C (de) Verfahren zum UEberziehen von Glaskoerpern mit Schichten aus hochschmelzendem Metall
EP4200459A1 (de) Pvd-verfahren und vorrichtung hierfür
EP3460092A1 (de) Niedrigemissionsbeschichtung
DE102009029236B4 (de) Verdampfer, Anordnung von Verdampfern sowie Beschichtungsanlage
DE102021117576B4 (de) Beschichtungsanlage zur Beschichtung eines Gegenstands
DE102012022744B4 (de) Vorrichtung zum Einstellen einer Gasphase in einer Reaktionskammer
WO2013131508A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung von länglichen zylindrischen bauteilen
WO2024260745A1 (de) Vakuumbeschichtungsanlage und verfahren zum beschichten von substraten mit erhöhter beschichtungsrate
EP4281598A1 (de) Verfahren zur kontinuierlichen beschichtung eines bands und beschichtungsanlage
DE10111515A1 (de) Plasma-Beschichtungsanlage, Plasma-Beschichtungsverfahren und Verwendung des Verfahrens
DE2854654C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Auftragen von Schutzüberzügen auf Metallrohre

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20240207

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)