EP4202565A1 - Use of frequency of a timepiece oscillator by opto-mechanical deformations - Google Patents
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Abstract
Un aspect de l'invention concerne un procédé d'ajustement fin de la marche d'un oscillateur mécanique (100) à masse inertielle (1) oscillante, que l'on équipe, en première étape (801), d'un actionneur (35) en matériau apte à une micro-expansion locale irréversible sous l'action de tirs laser, pour imprimer à une masselotte (3) une course radiale lors de tirs laser appropriés sur une zone d'écriture (39 ; 391 ; 392) dudit actionneur (35), en deuxième étape (802) on règle et mesure la marche initiale dudit oscillateur (100), en troisième étape (803) on calcule le sens et la valeur de l'écart nécessaire pour atteindre une plage de marche prédéterminée, et de la course à imprimer aux masselottes (3), en quatrième étape (804) on soumet une zone d'écriture (39 ; 391 ;392) à des tirs laser femtoseconde pour créer des lignes d'expansion (390) par dilatation moléculaire locale pour déformer radialement l'actionneur (35), en cinquième étape (805) on mesure la marche et on réitère si nécessaire les troisième étape (803) et quatrième étape (804).One aspect of the invention relates to a method for fine adjustment of the rate of a mechanical oscillator (100) with oscillating inertial mass (1), which is fitted, in the first step (801), with an actuator ( 35) in material capable of irreversible local micro-expansion under the action of laser shots, to give a counterweight (3) a radial stroke during appropriate laser shots on a writing area (39; 391; 392) of said actuator (35), in the second step (802) the initial rate of said oscillator (100) is adjusted and measured, in the third step (803) the direction and the value of the difference necessary to reach a predetermined rate range are calculated, and from the stroke to be printed to the weights (3), in the fourth step (804) a writing area (39; 391; 392) is subjected to femtosecond laser shots to create expansion lines (390) by molecular dilation local to radially deform the actuator (35), in the fifth step (805) the rate is measured and the third step (803) and fourth step (804) are repeated if necessary.
Description
L'invention concerne un procédé d'ajustement fin de la marche d'un oscillateur mécanique d'horlogerie comportant au moins une masse inertielle agencée pour osciller autour d'un axe de rotation et rappelée vers une position de repos par des moyens de rappel élastique.The invention relates to a method for fine adjustment of the rate of a mechanical clock oscillator comprising at least one inertial mass arranged to oscillate around an axis of rotation and returned to a rest position by elastic return means. .
L'invention concerne encore un oscillateur mécanique d'horlogerie convenant à la mise en oeuvre de ce procédé.The invention also relates to a mechanical clock oscillator suitable for implementing this method.
L'invention concerne encore une pièce d'horlogerie, notamment une montre, comportant un tel oscillateur mécanique d'horlogerie.The invention also relates to a timepiece, in particular a watch, comprising such a mechanical clock oscillator.
L'invention concerne le domaine du réglage de marche d'un oscillateur mécanique d'horlogerie, et en particulier d'un oscillateur déjà emboîté dans une tête de montre.The invention relates to the field of adjusting the rate of a mechanical watch oscillator, and in particular of an oscillator already fitted into a watch head.
La modification de la fréquence d'un oscillateur mécanique passe presque toujours par un changement de la rigidité de la partie élastique, notamment un ressort, ou par un changement de son inertie / de sa masse. Par exemple, dans les balanciers-spiraux de montres mécaniques, on trouve couramment des dispositifs d'ajustement de la raideur du spiral, comme la variation de sa longueur active par déplacement de goupilles. Une autre méthode couramment utilisée est la modification d'inertie du balancier par déplacement de petites masses vers l'extérieur ou vers l'intérieur du balancier, comme des vis, ou des masselottes tournantes excentrées.The modification of the frequency of a mechanical oscillator almost always passes by a change of the rigidity of the elastic part, in particular a spring, or by a change of its inertia / of its mass. For example, in the balance-springs of mechanical watches, there are currently devices for adjusting the stiffness of the balance-spring, such as the variation of its active length by moving pins. Another commonly used method is the modification of the inertia of the balance by moving small masses towards the outside or the inside of the balance, such as screws, or eccentric rotating weights.
Cependant, ces opérations demandent d'ouvrir la montre et de sortir le mouvement, ce qui a tendance à fausser le résultat une fois la boîte refermée, avec une dérive allant parfois jusqu'à 10 secondes par jour, ce qui est fâcheux pour des mouvements devant être réglés de 0 à +2 secondes par jour. De plus, ces mécanismes délicats sont généralement tributaires de jeux mécaniques qui sont autant de sources de dérive, une fois que l'outil de réglage - et la force utilisée pour le réglage - sont retirés.However, these operations require opening the watch and taking out the movement, which tends to falsify the result once the case is closed, with a drift sometimes of up to 10 seconds per day, which is unfortunate for movements that must be regulated from 0 to +2 seconds per day. Moreover, these delicate mechanisms are generally dependent on mechanical games which are all sources of drift, once the adjustment tool - and the force used for adjustment - are removed.
L'invention se proposer d'ajuster précisément la fréquence d'un oscillateur mécanique d'horlogerie, par exemple un balancier-spiral de montre, sans devoir démonter la montre, ou plus généralement la pièce d'horlogerie porteuse de cet oscillateur.The invention proposes to precisely adjust the frequency of a mechanical clock oscillator, for example a watch balance-spring, without having to disassemble the watch, or more generally the timepiece carrying this oscillator.
A cet effet, l'invention concerne un procédé d'ajustement fin de la marche d'un oscillateur mécanique d'horlogerie, selon la revendication 1.To this end, the invention relates to a method for fine adjustment of the rate of a mechanical clock oscillator, according to
L'invention concerne encore un oscillateur mécanique d'horlogerie convenant à la mise en oeuvre de ce procédé.The invention also relates to a mechanical clock oscillator suitable for implementing this method.
L'invention concerne encore une pièce d'horlogerie, notamment une montre, comportant un tel oscillateur mécanique d'horlogerie.The invention also relates to a timepiece, in particular a watch, comprising such a mechanical clock oscillator.
Les buts, avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée qui va suivre, et en référence aux dessins annexés, où :
- la
figure 1 représente, de façon schématisée et en vue en plan, une montre, avec une tête de montre comportant un élément transparent transmissif qui sépare l'extérieur de la montre et l'intérieur de la montre. Cet élément transparent transmissif, ici représenté sous la forme d'un fond, permet un accès optique à l'utilisateur et à une source optique vers tout ou partie de l'oscillateur de la montre, qui est ici un balancier-spiral dont seul est représenté le balancier, le spiral n'étant pas représenté pour ne pas surcharger les figures. Cettefigure 1 représente, en trait interrompu, un rayon laser incident et rencontrant ce balancier; - la
figure 2 représente, de façon schématisée et en vue en plan comme lafigure 1 , le détail du balancier selon l'invention. Ce balancier comporte, depuis sa serge vers l'élément transparent transmissif, une pluralité de supports disposés par paires symétriques par rapport à l'axe de rotation du balancier. Ces supports supportent, du côté de l'élément transparent transmissif, chacune au moins une masselotte qui est mobile radialement par rapport à l'axe de rotation du balancier. La figure montre, pour chaque support, trois positions différentes d'une telle masselotte, l'une médiane en hachures intermédiaire entre deux positions extrêmes en trait interrompu; - la
figure 3 représente le balancier de lafigure 2 , en coupe perpendiculaire à l'élément transparent transmissif, lequel sépare, d'une part en partie supérieure de la figure le milieu extérieur dans lequel est positionnée au moins une source laser, et d'autre part en partie inférieure de la figure l'intérieur de la tête de montre qui comporte le balancier. La figure montre la serge portant un support supportant, du côté de l'élément transparent transmissif une telle masselotte qui est mobile radialement par rapport à l'axe de rotation du balancier, sous l'action d'un faisceau émis par la source laser. La figure est centrée sur une masselotte représentée en hachures, et montre une autre position radiale de cette masselotte, représentée en trait interrompu; - la
figure 4 est un graphe qui indique en ordonnée l'écart de marche en secondes par jour, et en abscisse la valeur du déplacement radial symétrique de deux masselottes, en micromètres, et superpose les résultats obtenus pour quatre valeurs de masse de masselotte, de 1,20 mg à 2,40 mg;
- la
figure 5 représente, de façon schématisée, et en vue en plan, le principe de la mise en œuvre d'un actionneur opto-mécanique pour faire mouvoir une masselotte: le support porte des fixations, dont l'une porte l'actionneur opto-mécanique proprement dit, qui comporte deux bras parallèles, formant un U car reliés en bout par un segment commun, le premier bras s'étendant entre une fixation au support et le segment commun, et le deuxième bras s'étendant entre le segment commun et un point de sortie, ici constitué par un col d'un mécanisme amplificateur destiné à amplifier la course de sortie de l'actionneur opto-mécanique pour procurer une course suffisante à la masselotte; - la
figure 6 représente, de façon schématisée, et en vue en plan, une autre variante de l'actionneur opto-mécanique de lafigure 5 , dont la course de sortie selon une direction linéaire est amplifiée par un amplificateur mécanique, ici un mécanisme de type parallélogramme à quatre cols, qui permet de transformer l'allongement global, ou la rétraction globale, mesurable au point de sortie du deuxième bras, en une course de la masselotte qui soit suffisante pour influencer notablement la marche de l'oscillateur; - la
figure 7 illustre schématiquement le cas où les impulsions attaquent la zone d'écriture du deuxième bras, en haut sur la figure, le mouvement global du point de sortie est alors vers la gauche de la figure, dans un mouvement de poussée de la masselotte; - la
figure 8 illustre le cas opposé à celui de lafigure 7 , où les impulsions attaquent la zone d'écriture du premier bras, en bas sur la figure, le mouvement global du point de sortie est alors vers la droite de la figure, dans un mouvement de rétraction de la masselotte; - la
figure 9 représente, de façon similaire auxfigures 5 à 8 , une variante où une masselotte et le support correspondant forment un ensemble monobloc constitué par un chip, sur un niveau unique, le support est alors limité à une zone de fixation pour la fixation sur le balancier; cette variante convient en particulier à l'application de l'invention au cas particulier d'un balancier d'un diamètre de 10,6 mm, porteur de chips de 2 x 2 mm intégrant support et masselotte; - la
figure 10 représente, de façon similaire à lafigure 3 , une vue en plan du balancier équipé de deux chips selon lafigure 9 ; - la
figure 11 est une vue schématisée, en coupe passant par l'axe de rotation du balancier, et montrant la serge de ce balancier, portant un support, la masselotte n'étant pas représentée, et la source laser d'écriture émettrice pour l'écriture sur les zones d'écriture, ainsi que, monté obliquement en partie gauche de la figure, un laser de détection, dont le rayon réfléchi par le balancier et les éléments qu'il comporte est recueilli en partie droite de la figure par un moyen de recueil tel qu'un photo-détecteur; - la
figure 12 représente, de façon schématisée et en plan, un détail de l'agencement selon lafigure 11 avec une source d'écriture laser et une source de détection laser, pour le cas où le balancier oscille, et où le tir laser est synchronisé avec sa position angulaire; la figure représente une partie de la serge du balancier, portant un chip selon lafigure 9 ; l'arc représenté en trait interrompu correspond à la position instantanée de la source d'écriture laser, qui tire perpendiculairement au plan de la figure, et qui peut ainsi écrire dans la zone d'écriture du premier bras inférieur dans le cas d'espèce, pour créer une dilatation moléculaire symbolisée par une petite flèche dans cette zone d'écriture, les petites flèches voisines correspondant à des écritures déjà effectuées dans la même zone avec des positionnements différents en x de la source d'écriture, correspondant à des rayons différents par rapport à l'axe de rotation du balancier; en partie inférieure de la figure est visible depuis la gauche vers la droite une source de détection laser, une lentille convergente, le rayonnement incident vers le balancier, le point de réflexion sur le balancier ou sur les organes qu'il porte, le rayonnement réfléchi, une lentille convergente, et le photo-détecteur; - la
figure 13 juxtapose trois graphes temporels, établis avec en abcisses des échelles de temps différentes, mais qui sont agencés l'un par rapport à l'autre pour mettre en évidence des instants particuliers et les phénomènes qui s'y produisent : le graphe supérieur affiche en ordonnée la vitesse angulaire oméga OME du balancier, le graphe médian affiche en ordonnée la valeur du signal VPD du photo-détecteur, et le graphe inférieur affiche en ordonnée l'intensité optique IIE émise par la source laser d'écriture; - la
figure 14 est un schéma-blocs montrant les liens entre des moyens de pilotage, une table à mouvements croisés pour la manœuvre du laser d'écriture, ce dernier, un laser de détection, le moyen de recueil du rayonnement réfléchi, et des moyens de mise en mouvement ou d'arrêt de l'oscillateur; - la
figure 15 est un schéma-blocs regroupant les cinq étapes principales du procédé d'ajustement de marche selon l'invention.
- there
figure 1 shows, schematically and in plan view, a watch, with a watch head comprising a transparent transmissive element which separates the outside of the watch and the inside of the watch. This transparent transmissive element, here represented in the form of a bottom, allows optical access to the user and to an optical source towards all or part of the oscillator of the watch, which is here a balance-spring which alone is represented the balance wheel, the hairspring not being represented for do not overload the figures. Thisfigure 1 represents, in broken line, an incident laser beam and meeting this pendulum; - there
figure 2 represents, schematically and in plan view as thefigure 1 , the detail of the balance according to the invention. This balance comprises, from its rim towards the transparent transmissive element, a plurality of supports arranged in pairs symmetrical with respect to the axis of rotation of the balance. These supports support, on the side of the transparent transmissive element, each at least one flyweight which is radially movable with respect to the axis of rotation of the balance. The figure shows, for each support, three different positions of such a flyweight, one middle hatched intermediate between two extreme positions in broken lines; - there
picture 3picture 2 - there
figure 4 is a graph which indicates on the ordinate the rate difference in seconds per day, and on the abscissa the value of the symmetrical radial displacement of two flyweights, in micrometers, and superimposes the results obtained for four mass values of feeder, from 1.20 mg to 2.40 mg;
- there
figure 5 represents, in a schematic way, and in plan view, the principle of the implementation of an opto-mechanical actuator to move a flyweight: the support carries fasteners, one of which carries the opto-mechanical actuator itself said, which comprises two parallel arms, forming a U because connected at the end by a common segment, the first arm extending between a fixing to the support and the common segment, and the second arm extending between the common segment and a point output, here consisting of a neck of an amplifying mechanism intended to amplify the output travel of the opto-mechanical actuator to provide sufficient travel for the flyweight; - there
figure 6 represents, schematically, and in plan view, another variant of the opto-mechanical actuator of thefigure 5 , whose output stroke in a linear direction is amplified by a mechanical amplifier, here a parallelogram-type mechanism with four necks, which makes it possible to transform the overall elongation, or the overall retraction, measurable at the exit point of the second arm, in a travel of the flyweight which is sufficient to notably influence the course of the oscillator; - there
figure 7 schematically illustrates the case where the pulses attack the writing area of the second arm, at the top in the figure, the overall movement of the exit point is then towards the left of the figure, in a pushing movement of the weight; - there
figure 8 illustrates the opposite case to that offigure 7 , where the impulses attack the writing area of the first arm, at the bottom in the figure, the overall movement of the exit point is then towards the right of the figure, in a movement of retraction of the flyweight; - there
figure 9 represents, similarly tofigures 5 to 8 , a variant where a flyweight and the corresponding support form a one-piece assembly consisting of a chip, on a single level, the support is then limited to an attachment zone for attachment to the balance wheel; this variant is particularly suitable for the application of the invention to the particular case of a balance wheel with a diameter of 10.6 mm, carrying chips of 2 x 2 mm integrating support and flyweight; - there
figure 10 represents, similarly to thepicture 3figure 9 ; - there
figure 11 is a diagrammatic view, in section passing through the axis of rotation of the balance wheel, and showing the rim of this balance wheel, carrying a support, the flyweight not being shown, and the transmitting laser writing source for writing on the writing areas, as well as, mounted obliquely in the left part of the figure, a detection laser, the ray of which reflected by the pendulum and the elements it comprises is collected in the right part of the figure by a collection means such as a photo-detector; - there
figure 12 represents, schematically and in plan, a detail of the layout according to thefigure 11 with a laser writing source and a laser detection source, for the case where the pendulum oscillates, and where the laser firing is synchronized with its angular position; the figure represents part of the balance rim, carrying a chip according to thefigure 9 ; the arc shown in dashed lines corresponds to the instantaneous position of the laser writing source, which shoots perpendicular to the plane of the figure, and which can thus write in the writing zone of the first lower arm in the present case, to create a molecular dilation symbolized by a small arrow in this writing zone, the small neighboring arrows corresponding to writings already carried out in the same zone with different positions in x of the writing source, corresponding to different radii with respect to the axis of rotation of the balance wheel; in the lower part of the figure is visible from left to right a laser detection source, a converging lens, the incident radiation towards the balance, the point of reflection on the balance or on the organs it carries, the reflected radiation , a converging lens, and the photo-detector; - there
figure 13 juxtaposes three time graphs, established with different time scales on the abscissa, but which are arranged relative to each other to highlight particular instants and the phenomena that occur there: the upper graph displays on the ordinate the angular velocity omega OME of the pendulum, the middle graph displays on the ordinate the value of the signal VPD from the photo-detector, and the lower graph displays on the ordinate the optical intensity IIE emitted by the writing laser source; - there
figure 14 is a block diagram showing the links between control means, a cross-movement table for operating the writing laser, the latter, a detection laser, the means for collecting the reflected radiation, and means for movement or stoppage of the oscillator; - there
figure 15 is a block diagram grouping together the five main steps of the rate adjustment method according to the invention.
L'invention se propose d'induire des tensions mécaniques permanentes, et donc une expansion volumique, notamment par excitation laser femtoseconde, dans un micro-mécanisme flexible usiné dans un support en verre (silice fondue) ou similaire.The invention proposes to induce permanent mechanical tensions, and therefore a volume expansion, in particular by femtosecond laser excitation, in a flexible micro-mechanism machined in a support made of glass (fused silica) or the like.
Le support est embarqué sur la masse inertielle de l'oscillateur, notamment le balancier, d'une montre mécanique. Le déplacement d'une partie du mécanisme va modifier l'inertie de cette masse inertielle, donc la fréquence de l'oscillateur, notamment du balancier-spiral. Des déplacements de l'ordre de plusieurs micromètres peuvent être obtenus dans de telles microstructures en verre par écriture de lignes d'expansion de tensions internes parallèles, tel que lisible notamment dans l'article
Les microstructures elles-mêmes sont réalisées grâce à un procédé de découpage précis à +/-1 micromètre, et utilisant le même type de laser, suivi d'une attaque chimique, tel que lisible dans l'article précité, ou dans l'article
L'absence de pivots ou de tout autre guidage frottant garantit une grande précision de positionnement et une hystérésis nulle. L'excitation optique est directe à travers une glace ou toute séparation d'emboîtage non-absorbante pour la longueur d'onde du laser, ou encore défocalisée à l'endroit du passage.The absence of pivots or any other rubbing guidance guarantees high positioning accuracy and zero hysteresis. The optical excitation is direct through a glass or any non-absorbent interlocking separation for the wavelength of the laser, or even defocused at the point of passage.
L'invention est illustrée plus particulièrement, et non limitativement, pour le cas où l'oscillateur est un oscillateur de montre, et est un balancier-spiral.The invention is illustrated more particularly, and not limitatively, for the case where the oscillator is a watch oscillator, and is a balance-spring.
L'invention concerne un procédé d'ajustement fin de la marche d'un oscillateur mécanique 100 d'horlogerie, comportant au moins une masse inertielle 1 agencée pour osciller autour d'un axe de rotation D et rappelée vers une position de repos par des moyens de rappel élastique.The invention relates to a method for fine adjustment of the rate of a
Selon l'invention, et tel que visible sur la
La dénomination « zone d'écriture 39 » concerne le cas générique, et les appellations « première zone d'écriture 391 » et « deuxième zone d'écriture 392 » concernent l'application préférée, mais non limitative, sur respectivement un premier bras 33, et un deuxième bras 34 de la masselotte 3.The designation "writing
Plus particulièrement, quand une masse inertielle 1, soumise à un mouvement de rotation, s'étend de part et d'autre de l'axe de rotation D, on équipe cette masse inertielle 1 avec au moins une paire d'actionneurs 35 diamétralement opposés, dans un matériau apte à une micro-expansion locale irréversible sous l'action de tirs laser. C'est notamment le cas quand une masse inertielle 1 est un balancier d'un oscillateur de type balancier-spiral.More particularly, when an
Plus particulièrement, quand une masse inertielle 1, est en porte-à-faux par rapport à l'axe de rotation D, comme les masses inertielles suspendues par lames flexibles, qui sont symétriques par rapport à un plan passant par l'axe de rotation D, on équipe cette masse inertielle 1 avec au moins une paire d'actionneurs 35 symétriques par rapport à ce plan de symétrie.More particularly, when an
Plus particulièrement, on applique ce procédé à un oscillateur 100 avec au moins deux masses inertielles 1 comportant chacune un tel actionneur 35.More particularly, this method is applied to an
Dans une deuxième étape 802, on effectue un premier réglage, notamment grossier, de la marche initiale de l'oscillateur 100 dans une première plage de marche et on mesure la marche.In a
Dans une troisième étape 803, on calcule le sens et la valeur de l'écart de marche à imprimer à l'oscillateur 100 pour l'amener dans une deuxième plage de marche prédéterminée, et on calcule le sens et la valeur de la course à imprimer à chaque masselotte 3 que comporte l'oscillateur 100.In a
Dans une quatrième étape 804, on soumet au moins une zone d'écriture 39, 391, 392, à des tirs laser femtoseconde pour créer au moins une ligne d'expansion 390 par dilatation moléculaire locale du matériau pour déformer l'actionneur 35 radialement par rapport à l'axe de rotation D.In a
Dans une cinquième étape 805, on mesure la marche de l'oscillateur 100, et on réitère si nécessaire la troisième étape 803 et la quatrième étape 804 jusqu'à ce que la marche de l'oscillateur 100 soit dans la deuxième plage de marche prédéterminée.In a
Plus particulièrement, lors de la quatrième étape 804 on utilise une source laser femtoseconde 700, montée sur une table à mouvements croisés 710, ou à course radiale, de façon à incrémenter différentes séries de tirs sur des rayons différents par rapport à l'axe de rotation D, pour créer une série de lignes d'expansion 390 au voisinage immédiat les unes des autres.More particularly, during the
Plus particulièrement, lors de la quatrième étape 804, on utilise une source laser femtoseconde 700 pour effectuer des tirs dans chaque sens de rotation de la masse inertielle 1.More particularly, during the
Plus particulièrement, lors de la quatrième étape 804, on utilise des moyens de pilotage 790 pour piloter les tirs de la source laser femtoseconde 700, selon les informations de présence ou d'absence de matériau fournies par la combinaison d'un laser de détection 750 et un moyen de recueil 760 ou un photo-détecteur.More particularly, during the
Plus particulièrement, lors de la première étape 801, on choisit un actionneur 35 comportant, sur un premier bras 33 une première zone d'écriture 391, et sur un deuxième bras 34 parallèle au premier bras 33 selon une direction linéaire L radiale et le joignant au niveau d'un segment commun 334 une deuxième zone d'écriture 392. L'actionneur 35 est ainsi monté en « S » entre, d'une part une zone de fixation 30 fixée à un support 2 monté sur la masse inertielle 1 ou directement fixée sur la masse inertielle 1, et d'autre part un point de sortie ou un col de liaison 32 de liaison avec un mécanisme amplificateur 36. L'actionneur 35 est agencé pour agir dans deux sens opposés selon la direction linéaire L, selon que, lors de la quatrième étape 804, l'écriture par tirs laser femtoseconde a lieu dans la première zone d'écriture 391 sur le premier bras 33 pour un réglage d'avance, ou dans la deuxième zone d'écriture 392 sur le deuxième bras 34 pour un réglage de retard.More particularly, during the
Plus particulièrement, lors de la première étape 801, on choisit un actionneur 35 avec un point de sortie ou un col de liaison 32 de liaison avec un mécanisme amplificateur 36 lequel est agencé pour amplifier la course de sortie de l'actionneur 35, pour imprimer une course amplifiée à la masselotte 3.More particularly, during the
Plus particulièrement, cet amplificateur 36 est de type parallélogramme, et comporte un système d'embiellage avec des bielles 310 agencées entre des cols flexibles 31 formant un guidage linéaire selon une direction linéaire L radiale.More particularly, this
Plus particulièrement, lors de la première étape 801, on choisit un actionneur 35 comportant une zone de fixation 30 solidaire d'un support 2 monté sur la masse inertielle 1. Et le support 2 forme un ensemble monobloc constituant un micro-mécanisme flexible, avec l'actionneur 35, un amplificateur 36 et la masselotte 3 montés en série les uns avec les autres.More particularly, during the
Plus particulièrement, lors de la première étape 801, on choisit un actionneur 35 comportant une zone de fixation 30 fixée à un support 2 monté sur la masse inertielle 1 ou solidaire d'un support 2, et l'actionneur 35 et/ou le support 2 est en verre.More particularly, during the
Plus particulièrement, lors de la première étape 801, on choisit la masse inertielle 1 sous la forme d'un balancier, qui comporte au moins une paire de masselottes 3 identiques et diamétralement opposées par rapport à l'axe de rotation D.More particularly, during the
Plus particulièrement, lors de la première étape 801, on intègre l'oscillateur 100 dans une tête de montre 500 d'une montre 1000, laquelle tête de montre 500 comporte au moins un élément transparent transmissif 600, qui sépare l'extérieur et l'intérieur de la montre 1000, et permet un accès optique à au moins un laser vers au moins la masse inertielle 1 de l'oscillateur 100 de la montre.More particularly, during the
Dans une variante statique, lors de la première étape 801, on équipe l'oscillateur 100 de moyens d'arrêt ou d'un stop-secondes agencé pour prendre appui sur une masse inertielle 1, et on effectue la quatrième étape 804 dans une position bloquée de la masse inertielle 1.In a static variant, during the
Dans une variante dynamique, lors de la quatrième étape 804 on effectue les tirs laser femtoseconde d'écriture pendant l'oscillation de la masse inertielle 1, dont on synchronise la position angulaire et les tirs.In a dynamic variant, during the
Plus particulièrement, lors de la quatrième étape 804 on effectue les tirs avec un laser femtoseconde, par exemple et non limitativement de longueur d'onde entre 900 et 1100 nm, de durée d'impulsion entre 200 et 350 fs, d'énergie d'une impulsion environ entre 200 et 300 nJ, de taux de répétition de 700 à 900 kHz. Il est bien évident qu'un laser femtoseconde différent (longueur d'onde, durée d'impulsion et énergie) peut être utilisé, à condition qu'il puisse modifier la matière de la même façon décrite avant.More particularly, during the
L'invention concerne encore un oscillateur mécanique 100 d'horlogerie comportant au moins une masse inertielle 1 agencée pour osciller autour d'un axe de rotation D et rappelée vers une position de repos par des moyens de rappel élastique, convenant à la mise en œuvre de ce procédé. Selon l'invention, au moins une masse inertielle 1 comporte un actionneur 35 dans un matériau apte à une micro-expansion locale irréversible sous l'action de tirs laser. L'actionneur 35 est agencé pour imprimer à une masselotte 3 une course linéaire radiale par rapport à l'axe de rotation D, directement ou par l'intermédiaire d'au moins un amplificateur de course 36, lorsqu'une zone d'écriture 39, 391, 392, que comporte l'actionneur 35 est soumise à des tirs laser appropriés.The invention also relates to a
Plus particulièrement, l'actionneur 35 comporte, sur un premier bras 33 une première zone d'écriture 391, et sur un deuxième bras 34 parallèle au premier bras 33 selon une direction linéaire L radiale et le joignant au niveau d'un segment commun 334 une deuxième zone d'écriture 392, l'actionneur 35 étant ainsi monté en « S » entre d'une part une zone de fixation 30 fixée à un support 2 monté sur la masse inertielle 1 ou directement fixée sur la masse inertielle 1, et d'autre part un point de sortie ou un col de liaison 32 de liaison avec un mécanisme amplificateur 36, l'actionneur 35 étant agencé pour agir dans deux sens opposés selon la direction linéaire L, selon que des tirs laser femtoseconde sont appliqués dans la première zone d'écriture 391 sur le premier bras 33 pour un réglage d'avance, ou dans la deuxième zone d'écriture 392 sur le deuxième bras 34 pour un réglage de retard.More particularly, the
Plus particulièrement, l'actionneur 35 comporte un point de sortie ou un col de liaison 32 de liaison avec un mécanisme amplificateur 36 agencé pour amplifier la course de sortie de l'actionneur 35, pour imprimer une course amplifiée à la masselotte 3. Et l'amplificateur 36 est de type parallélogramme, et comporte un système d'embiellage avec des bielles 310 agencées entre des cols flexibles 31 formant un guidage linéaire selon une direction linéaire L radiale.More particularly, the
Plus particulièrement, l'actionneur 35 comporte une zone de fixation 30 solidaire d'un support 2 monté sur la masse inertielle 1, et le support 2 forme un ensemble monobloc constituant un micro-mécanisme flexible, avec l'actionneur 35, un amplificateur 36 et la masselotte 3 montés en série les uns avec les autres.More particularly, the
Plus particulièrement, l'actionneur 35 comporte une zone de fixation 30 fixée à un support 2 monté sur la masse inertielle 1 ou solidaire d'un support 2, et l'actionneur 35 et/ou le support 2 est en verre.More particularly, the
Plus particulièrement, la masse inertielle 1 est un balancier, qui comporte au moins une paire de masselottes 3 identiques et diamétralement opposées par rapport à l'axe de rotation D.More particularly, the
L'invention concerne encore une pièce d'horlogerie, notamment une montre 1000, comportant au moins un tel oscillateur mécanique 100. Selon l'invention, la montre 1000 comporte une tête de montre 500 comportant au moins un élément transparent transmissif 600, qui sépare l'extérieur et l'intérieur de la montre 1000, et permet un accès optique à au moins un laser vers au moins la masse inertielle 1 de l'oscillateur 100 de la montre.The invention also relates to a timepiece, in particular a
Les figures illustrent des réalisations non limitatives de l'invention, dans le cas particulier où la masse inertielle 1 est un balancier.The figures illustrate non-limiting embodiments of the invention, in the particular case where the
La
L'invention se propose d'ajuster précisément, et au travers d'un emboîtage au moins localement transparent ou d'absorption optique faible tel que cet élément transparent transmissif 600, la fréquence d'un balancier-spiral au moyen d'un rayon laser focalisé. L'oscillateur 100 est, soit déjà réglé grossièrement à +/- 15 secondes par jour, par exemple à l'aide de vis non représentées, soit précisément appairé à un spiral adéquat dans cette plage. L'action du laser permet le réglage fin vers 0-2 secondes par jour, par le déplacement de petites masselottes vers l'extérieur ou vers l'intérieur du balancier 1, modifiant ainsi son inertie, et modifiant donc la fréquence de l'oscillateur, et permettant ainsi l'ajustement précis de la marche de la montre.The invention proposes to adjust precisely, and through a casing that is at least locally transparent or of low optical absorption such as this transparent
La
Les figures illustrent des variantes particulières où chaque support 2 est rapporté sur le balancier 1, pour une commodité d'exécution; une autre variante où les supports 2 et le balancier 1 forment un ensemble monobloc est possible, quoique plus coûteuse à produire.The figures illustrate particular variants where each
La
L'amplitude de déplacement dépend de plusieurs paramètres de l'exposition laser. Cette amplitude peut être contrôlée très précisément, et les masselottes 3 restent en place après une exposition, et il est possible de mouvoir les masselottes 3 dans les deux sens sur un nombre fixé de cycles. Pour ne pas perturber le balourd, il faut grouper les supports 2 par paire, diamétralement opposés, et il faut les régler simultanément sur la même amplitude. Les
Pour le cas particulier simple de deux supports 2 diamétralement opposés, illustré par les figures, la relation entre l'écart de marche (écart par rapport à la fréquence idéale) de l'oscillateur 100, en secondes par jour, et le déplacement radial X de deux masselottes 3, en mètres, est donnée par l'équation suivante:
- écart de marche ΔM = 86400 * x *(2R+x) / (R2 + Io/2m),
- avec R la valeur en mètres du rayon neutre de giration de la masselotte 3, Io l'inertie de base du balancier sans masselottes, en kg*m2, et m la masse d'une masselotte en kg.
- rate deviation ΔM = 86400 * x *(2R+x) / (R 2 + Io/2m),
- with R the value in meters of the neutral radius of gyration of the
flyweight 3, Io the base inertia of the balance without flyweights, in kg*m 2 , and m the mass of a flyweight in kg.
La
- rayon extérieur du balancier = 5.3 mm;
- giration à R = 4 mm;
- inertie du balancier sans masselottes: 2e-9 kg*m2;
- masse d'une masselotte: 1.2 ≤ m ≤ 2.4 mg;
- plage visée +/- 15 secondes par jour.
- outside radius of the balance wheel = 5.3 mm;
- gyration at R = 4 mm;
- inertia of the balance without weights: 2 e-9 kg*m 2 ;
- mass of a flyweight: 1.2 ≤ m ≤ 2.4 mg;
- target range +/- 15 seconds per day.
Le graphe de la
- courbe C1 pour m= 1,20 mg;
- courbe C2 pour m= 1,60 mg;
- courbe C3 pour m= 2,00 mg.
- courbe C4 pour m= 2,40 mg.
- curve C1 for m=1.20 mg;
- curve C2 for m=1.60 mg;
- curve C3 for m=2.00 mg.
- curve C4 for m=2.40 mg.
Par exemple, la courbe C2, relative à des masselottes 3 de masse de 1.6 mg, correspond au déplacement de +/- 10 micromètres d'un parallélépipède de verre de 0.30 x 1.33 x 1.70 mm3, de part et d'autre de sa position zéro. L'ajustement de fréquence obtenu est ici de +/- 11 secondes par jour. Cette plage peut être facilement étendue, soit par augmentation de la masse des masselottes, ou par augmentation de la course pic-pic. Une variante consiste notamment à embarquer, sur cette plaque de verre, une masse additionnelle, en métal ou tout autre matériau ad hoc.For example, curve C2, relating to
Le choix de l'actionneur opto-mécanique est essentiel pour l'obtention d'un résultat reproductible et précis. La publication déjà mentionnée
La
Les
Une autre variante, visible sur les
De la même façon il est, encore, imaginable que les masselottes 3, les supports 2, et le balancier 1, forment un ensemble monobloc, quoique cette variante soit encore plus coûteuse à produire.In the same way it is still conceivable that the
Selon l'invention ce premier bras 33 et ce deuxième bras 34 sont destinés à recevoir des impulsions laser, et comportent des zones d'écriture respectivement 391, 392, au niveau desquelles des salves d'impulsions laser très brèves, émises par la source laser 700, vont créer, dans l'épaisseur du matériau, une modification locale de sa structure par dilatation moléculaire, cette dilatation étant rapidement stoppée par l'arrêt des impulsions, et la déformation restant de ce fait une déformation permanente. Ces déformations à cœur sont infinitésimales, et de ce fait le procédé consiste à juxtaposer localement une grande quantité de zones ainsi dilatées, pour atteindre une dilatation cumulée suffisante pour mouvoir suffisamment la masselotte 3 selon une direction linéaire L. Avantageusement un amplificateur mécanique 36, par exemple un mécanisme de type parallélogramme à quatre cols tels que visible sur la
On comprend que le mouvement est différent, selon que les impulsions laser attaquent le premier bras 33 ou le deuxième bras 34: la
L'action du laser ne provoque pas de découpe, ni même une gravure superficielle, le but est un réordonnancement moléculaire au cœur du matériau, dans son épaisseur. La notion d'écriture de lignes d'expansion est une périphrase pour décrire l'application de séries d'impulsions selon un réseau dont la projection des trajectoires sur le plan de la masselotte se présente comme une série de lignes d'expansion parallèles très rapprochées, ou de lignes d'expansion en zig-zag très pointus, ou autre; le but est en effet de dilater la matière à cœur, et de cumuler selon la même direction linéaire L des dilatations très rapprochées.The action of the laser does not cause any cutting, nor even a superficial engraving, the goal is a molecular reordering at the heart of the material, in its thickness. The notion of writing expansion lines is a periphrasis to describe the application of series of impulses according to a network whose projection of the trajectories on the plane of the flyweight is presented as a series of very close parallel expansion lines , or very sharp zig-zag expansion lines, or the like; the aim is in fact to expand the material to the core, and to accumulate in the same linear direction L very close expansions.
En écrivant des lignes d'expansion dans le volume du matériau au niveau des zones d'écriture 39, notamment première zone d'écriture 391, deuxième zone d'écriture 392, ce matériau se dilate suite à l'action de ces zones sujettes à des contraintes compressives. Cet état résulte d'un chauffage ponctuel très intense, mais suffisamment bref pour ne pas liquéfier la matière. Il y a juste une très faible dilatation du volume, la matière restant solide. Ce chauffage ponctuel est réalisé par une salve d'impulsions très brèves d'un laser femtoseconde, par exemple ce qui est décrit, mais non limité à, par l'article déjà cité
Le mécanisme non limitatif des
Selon les informations de l'article déjà mentionné ci-dessus (Y. Bellouard, 2015), pour des blocs de 200 plans parallèles écrits dans un volume de longueur globale d'environ 1 mm selon la direction linéaire L, on obtient, avec les paramètres laser ci-dessus et selon les figures: un facteur multiplicateur Km de 6, une course amplifiée de la masselotte 3 d'environ 5 micromètres, pour 200 lignes d'expansion écrites sur une longueur de 1 mm; le déplacement propre au niveau de l'actionneur 35, selon la direction linéaire L, vaut donc, par ligne écrite : 5 / (200 * 6) = 4.167 nm / ligne (ou plan).According to information from the article already mentioned above (Y. Bellouard, 2015), for blocks of 200 parallel planes written in a volume with an overall length of approximately 1 mm along the linear direction L, we obtain, with the laser parameters above and according to the figures: a multiplier factor Km of 6, an amplified travel of the
La même technique est utilisable pour découper la microstructure elle-même, selon les articles cités plus haut. Une première étape consiste à écrire, selon le même procédé de dilatation à cœur sous l'action d'un laser, des zones volumiques à enlever dans une plaque de verre (silice fondue). Dans une deuxième étape, la plaque est soumise à une attaque chimique, qui enlève sélectivement les parties sous contrainte. L'usinage obtenu est également précis au micromètre, et permet de réaliser ces microstructures en verre.The same technique can be used to cut the microstructure itself, according to the articles cited above. A first step consists in writing, according to the same process of core dilation under the action of a laser, volume zones to be removed in a glass plate (molten silica). In a second step, the plate is subjected to etching, which selectively removes the parts under stress. The machining obtained is also precise to the micrometer, and makes it possible to produce these glass microstructures.
Les
Le mécanisme schématisé sur les
Comme illustré en
La distance entre le milieu de deux cols de flexion 31 délimitant une bielle 310 est, sur cet exemple, de 1,40 mm, et la distance entre le milieu du col de flexion 31 inférieur et le col de liaison 32 est de 0,14 mm. Ces cols de flexion 31 ou de liaison 32 ont ici une largeur de 20 micromètres, ce qui est acceptable du point de vue technologique. Le facteur multiplicateur Km entre la course de l'actionneur, et celle de la masse vaut, en vertu du rapport des bras de leviers: Km = 1.400 mm / 0.140 mm = 10The distance between the middle of two bending
L'amplitude linéaire maximale de la structure vaut: +/- x = Km * 200 lignes d'expansion * 4.167 nm/ligne = 2000*4.167 nm = +/-8.33 micromètres, ce qui correspond, via le graphe C2, à environ +/- Δmarche = +/- 9 secondes par jour.The maximum linear amplitude of the structure is: +/- x = Km * 200 expansion lines * 4.167 nm/line = 2000*4.167 nm = +/-8.33 micrometers, which corresponds, via graph C2, to approximately +/- Δon = +/- 9 seconds per day.
La résolution du réglage par ligne écrite et en considérant 200 lignes d'expansion pour chacune des deux plages de 9 secondes par jour vaut donc d_marche (1 ligne) = 9/200 = 0.045 secondes par jour et par ligne, ce qui est largement suffisant pour ajuster une marche dans une plage de 0 - 2 secondes par jour.The resolution of the adjustment per line written and considering 200 lines of expansion for each of the two ranges of 9 seconds per day is therefore equal to d_marche (1 line) = 9/200 = 0.045 seconds per day and per line, which is largely sufficient to adjust a step within a range of 0 - 2 seconds per day.
On note que deux zones de 1 mm de long selon la direction linéaire L permettent une seule correction d'avance de +9 secondes par jour et une correction de retard de -9 secondes par jour. Pour disposer de plusieurs cycles d'écriture, on peut, soit augmenter le nombre de supports 2, soit augmenter la masse, ce qui a pour effet de devoir écrire moins de lignes d'expansion pour le même déplacement, et donc de réserver de la place sur le premier bras 33 et sur le deuxième bras 34 pour des écritures ultérieures.It is noted that two
En ce qui concerne la mise en œuvre de l'ajustement de la marche, on considère un état de départ où, avant correction, la marche de la montre est supposée connue et mesurée, boîte fermée. Pour effectuer la correction, un posage dédicacé est utilisé pour positionner précisément la tête de montre. Un objectif microscopique et un étage de positionnement à mouvements croisés xy permet ensuite le centrage de la source laser 700, notamment un laser femtosecondes, sur le balancier 1.As regards the implementation of rate adjustment, a starting state is considered where, before correction, the rate of the watch is assumed to be known and measured, case closed. To perform the correction, a dedicated fitting is used to precisely position the watch head. A microscopic objective and a positioning stage with crossed movements xy then allows the centering of the
A partir de ce stade, deux options se présentent: ou bien le balancier est immobilisé par un levier de blocage/freinage, tel qu'un stop-secondes ou similaire, ou d'un mécanisme d'arrêt et de maintien spatial de l'oscillateur, et le tir laser est effectué sur une cible immobile, ou bien le balancier 1 oscille toujours, et le tir laser doit alors être synchronisé avec sa position angulaire.From this stage, two options present themselves: either the balance wheel is immobilized by a blocking/braking lever, such as a stop-seconds or the like, or an oscillator spatial stop and hold mechanism, and the laser shot is performed on a stationary target, or the
Le cas où le balancier est immobilisé, et le tir laser effectué sur une cible immobile, peut être résolu avec un positionnement semi-automatique par exemple et non limitativement avec des moyens de pilotage gérant une caméra avec un logiciel de reconnaissance d'image qui se centre sur l'axe de rotation D du balancier.The case where the pendulum is immobilized, and the laser firing carried out on a stationary target, can be solved with semi-automatic positioning for example and not limited to piloting means managing a camera with image recognition software which center on the axis of rotation D of the balance wheel.
Dans le cas où le balancier 1 oscille, et où le tir laser est synchronisé avec sa position angulaire, le procédé est plus complexe, mais plus avantageux car le réglage s'effectue en vol, sans besoin d'arrêter le balancier. Le tir peut être démarré avec le début du passage du support 2 à travers un rayon laser de détection 750, comme illustré sur les
La
La
Sur la
La
Lorsque le balancier 1 oscille, sa vitesse angulaire OME est maximum au voisinage du point neutre, soit entre les temps t1 et t4 du graphe supérieur de la
Le signal VPD du photo-détecteur 760 associé au laser de détection 750 est à la valeur 1 lorsque son spot est sur une zone pleine du chip 2, c'est-à-dire successivement zone de fixation 30/ premier bras inférieur 33/ deuxième bras supérieur 34/ masselotte 3, tel que visible à la fois sur le graphe médian de la
La durée Te d'écriture (de passage) dans la première zone d'avance sur le premier bras 33, ou dans la deuxième zone de retard sur le deuxième bras 34, qui est une zone de longueur Le, est donnée par:
- Te = Le / (R*A*2π*F), avec R = rayon de giration, A= amplitude angulaire du balancier et F= fréquence de l'oscillateur.
- Te = Le / (R*A*2π*F), with R = radius of gyration, A= angular amplitude of the balance and F= frequency of the oscillator.
Dans cet exemple, Le = 190 um, R = 4 mm, A = 270°, F = 4 Hz, d'où Te = 0.40 ms.In this example, Le = 190 um, R = 4 mm, A = 270°, F = 4 Hz, hence Te = 0.40 ms.
La fréquence de répétition des impulsions d'écriture étant de 800 kHz dans cet exemple, le nombre d'impulsions par passage vaut donc 800 * 0,40 = 320, et donc l'erreur maximum (cumulée) de la marche vaut donc : 1/320 * (+/-9 secondes par jour) = +/- 0.03 secondes par jour, ce qui est parfaitement satisfaisant pour l'application.The repetition frequency of the write pulses being 800 kHz in this example, the number of pulses per pass is therefore equal to 800 * 0.40 = 320, and therefore the maximum (cumulative) error of the rate is therefore equal to: 1 /320 * (+/-9 seconds per day) = +/- 0.03 seconds per day, which is perfectly satisfactory for the application.
La technique d'usinage de verre par laser femtosecondes et attaque chimique, qui permet de réaliser des structures tridimensionnelles précises au micromètre près, est une technique éprouvée.The technique of glass machining by femtosecond laser and chemical attack, which makes it possible to produce three-dimensional structures precise to the nearest micrometer, is a proven technique.
Cette technique permet de réaliser des chips 2 millimétriques avec des éléments flexibles qui peuvent se déplacer sur des amplitudes micrométriques, avec des précisions nanométriques. L'actionnement du nano-déplacement de la partie actionneur 35 est effectué par écriture laser de contraintes internes. Un système de cols flexibles 31 et de bielles 310 permet d'augmenter les amplitudes selon la direction linéaire L.This technique makes it possible to produce 2 millimeter chips with flexible elements that can move over micrometric amplitudes, with nanometric precision. Actuation of the nano-displacement of the
La réalisation d'un tel chip 2 est adaptée au réglage précis et fiable de la marche d'un balancier-spiral, d'une précision de 0.03 seconde par jour, et d'une résolution de 0.09 seconde par jour, dans une plage de typiquement +/-10 seconde par jour. Bien sûr, l'amplitude de plage et la résolution peuvent être aisément variés par adaptation du design.The production of such a
On peut noter que l'invention offre la possibilité d'effectuer une dilatation infinitésimale et irréversible, ce qui, en théorie, pourrait permettre, par une série de tirs sur l'élément de rappel élastique de l'oscillateur, tel que ressort spiral, lame flexible ou similaire, de modifier sa raideur; toutefois la création de ces zones déformées nuit à l'homogénéité du composant, et le risque est une altération des propriétés élastiques de cet élément de rappel élastique. C'est pourquoi l'invention est présentée ici préférentiellement pour une action sur l'élément inertiel, peu important qu'il soit suspendu par ressort spiral, ou par lames élastiques.It can be noted that the invention offers the possibility of carrying out an infinitesimal and irreversible expansion, which, in theory, could allow, by a series of shots on the elastic return element of the oscillator, such as spiral spring, flexible blade or similar, to modify its stiffness; however, the creation of these deformed zones harms the homogeneity of the component, and the risk is an alteration of the elastic properties of this elastic return element. This is why the invention is presented here preferentially for action on the inertial element, regardless of whether it is suspended by a spiral spring, or by elastic blades.
Le système de réglage est compact et ne nécessite pas de complications additionnelles dans la montre 1000, autre que le montage de deux ou plusieurs chips 2 en verre sur le balancier 1.The adjustment system is compact and does not require any additional complications in the
Ce réglage peut être effectué directement sur une montre 1000 complète, à la condition que la tête de montre 500 comporte un élément transparent transmissif 600, tel qu'un fond, une glace, ou autre, qui soit transparent ou non-absorbant pour le laser d'écriture en accès optique sur l'oscillateur. L'invention concerne naturellement une montre 1000 ainsi équipée.This adjustment can be carried out directly on a
La
La partie extérieure du réglage (posage, microscope, optiques et lasers) occupe typiquement le volume d'un bureau, ce qui permet un réglage rapide et convivial, autant en production qu'en boutique pour le service clients.The external part of the adjustment (setup, microscope, optics and lasers) typically occupies the volume of an office, which allows quick and user-friendly adjustment, both in production and in the shop for customer service.
La mise en œuvre de l'invention est d'autant meilleure que l'on parvient à une optimisation de l'absorption du rayonnement par la séparation de protection physique (boîte, emboîtage), que l'on réalise un système de positionnement fiable du spot laser. Naturellement, il convient d'adopter un dimensionnement adapté pour les zones sous tension, au-dessus de certaines dimensions déterminées expérimentalement, pour éviter une fragilité accrue de ces zones sous tension, qui pourrait provoquer une rupture prématurée lors de chocs.The implementation of the invention is all the better if optimization of the absorption of radiation is achieved by the separation of physical protection (box, casing), if a reliable positioning system of the laser spots. Naturally, it is advisable to adopt an appropriate dimensioning for the live zones, above certain dimensions determined experimentally, to avoid a increased fragility of these areas under tension, which could cause premature rupture during shocks.
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- 2022-12-27 CN CN202211681722.9A patent/CN116360231A/en active Pending
Patent Citations (2)
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Y. BELLOUARD: "Non-contact sub-nanometer optical repositioning using femtosecond lasers", OPTIC EXPRESS, vol. 23, no. 22, 2 November 2015 (2015-11-02), XP002806753 * |
Also Published As
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