EP3953499A1 - Vorrichtung und verfahren zur beschichtung von substraten mit planaren oder geformten oberflächen mittels magnetron-sputtern - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur beschichtung von substraten mit planaren oder geformten oberflächen mittels magnetron-sputtern

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Publication number
EP3953499A1
EP3953499A1 EP20716175.3A EP20716175A EP3953499A1 EP 3953499 A1 EP3953499 A1 EP 3953499A1 EP 20716175 A EP20716175 A EP 20716175A EP 3953499 A1 EP3953499 A1 EP 3953499A1
Authority
EP
European Patent Office
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substrate
coating
gradient
diaphragm
layer thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP20716175.3A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Michael Vergöhl
Andreas Pflug
Stefan Bruns
André KAISER
Thomas Melzig
Tobias Zickenrott
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Publication of EP3953499A1 publication Critical patent/EP3953499A1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C23C14/044—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks using masks to redistribute rather than totally prevent coating, e.g. producing thickness gradient
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C23C14/352—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
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    • C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11—Anti-reflection coatings
    • G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • G02B1/115—Multilayers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3464—Operating strategies
    • H01J37/3473—Composition uniformity or desired gradient

Definitions

  • a device for coating substrates with planar or shaped surfaces by means of magnetron sputtering with which surfaces of any shape, for example lenses, aspheres or free-form surfaces can be coated with an adjustable layer thickness profile, so that a layer function on the whole Area is retained.
  • Such a method is also provided.
  • Curved surfaces are widely used in optical systems. Lenses, aspherical components or freeform surfaces are used to direct light or to create images of the light. These different shapes are referred to below as "optical components”. Image errors play a major role here.
  • the optical components are provided with a coating see.
  • the coating can have different functions.
  • a band pass filter or an edge filter can be applied to the optical component.
  • a curved surface can also be coated here.
  • the coating is often also an anti-reflective coating, which can either work at a certain wavelength or over a broad spectral range.
  • the substrate material is usually glass or plastic.
  • the optical components can be manufactured by pressing, or by mechanical processing. Depending on the material, i.e. Refractive index of the optical components reflects the substrate material some% of the light.
  • R (h-1) L 2 / (h + 1) L 2 (I) where n is the refractive index of the optical component.
  • Optical components can also be built into media such as oils or putty, in which case the refractive index 1 for air must be used in formula (I) through the refractive index of the medium in the environment.
  • kits several optical components are also provided as a kit. By selecting the kit, the reflection between the components can be reduced.
  • both sides of the optical components usually have to be coated, with a more or less broad spectral range being provided.
  • the range 420-680 nm is often anti-reflective, whereby a reflection of less than 0.5% over this range is necessary. If it is a flat substrate, then a coating of the form is sufficient for this:
  • Si0 2 is a low-refractive material which, as a layer, usually typically has a refractive index of about 1.48 (at a wavelength of 550 nm).
  • Ti0 2 is a high refractive index material with a refractive index of 2.4 to 2.7.
  • Si0 2 and Ti0 2 a variety of other materials can also be used.
  • low refractive layers are Al 2 0 3 , and high refractive index Ta 2 0 5 , Nb 2 0 5 , Hf0 2 , Zr0 2 , Sc 2 0 3 , Al 2 0 3 or mixtures thereof.
  • the intended spectral range is significantly larger and the residual reflection is also specified lower. This is particularly important in optical systems with a large number of optical components. Not only the light losses are important there, but also ghost images due to light reflected multiple times in the system. These come about because residual light can be reflected on the individual surfaces. This then partially goes back the beam path, but no longer has the desired imaging property. This light can then reach the detector as disruptive or scattered light via several reflections. Scattered light can reduce the contrast or ghosting can occur. With a larger spectral range and lower residual reflection, the number of layers and thus the total layer thickness must generally be increased.
  • various filters can also be used.
  • Such a filter generally also consists of a sequence of alternating high and low refractive index layers with layer thicknesses.
  • the individual layer thicknesses can be between 1 and several 100 nm.
  • the total number of layers is usually more than 10 and can also reach many hundreds. This results in total layer thicknesses of about 1000 nm to over 30,000 nm in the visible spectral range. In the infrared range, the layer thicknesses can even reach or even exceed 100,000 nm.
  • a filter directly on the curved component has the advantage that the optical system can be made much more compact can.
  • the use of a flat filter can therefore be dispensed with if a filter can be applied directly to the lens surface.
  • filters can be a band pass filter. This allows a narrow and precisely defined spectral range through and blocks the remaining spectral range.
  • Such a bandpass filter can be used, for example, in a LIDAR system. There, the light emitted by the laser is measured as scattered light from the environment. The LIDAR signal is much weaker than the ambient light, so that the ambient light must be suppressed.
  • a LIDAR filter for a 532 nm laser would therefore have a bandpass of 10 nm half width on one lens and a blocking with an OD 6 between 200 nm and 100 nm. If the filter is applied directly to the optical component, this has the advantage that the ambient light always hits the filter perpendicularly. In the case of a plan substrate, however, an intermediate image would have to be made so that the light always hits the filter perpendicularly.
  • the light strikes in parallel over the entire lens surface. If it is a convex, concave or a freeform surface, the angle of incidence of the light on the surface is not constant, but depends on the place where the light hits. The incidence of light is perpendicular in the center, while the angle of incidence is larger at the edge of the lens and depends on the shape of the optical component. In some cases, there are also applications in which light rays pass through the same optics several times at different opening angles. For example, different areas of the lens are used here.
  • the effect of the different angles of incidence of the light on the surface leads to the spectrum shifting towards shorter wavelengths.
  • the shape of the spectrum itself can also change.
  • the coating can therefore be advantageous to apply the coating in such a way that it is thicker at the edge of the optical component than in the middle, so that the Effect of the angular displacement is compensated. If the light hits the lens vertically from above, a spectral correction takes place so that there is no spectral shift in the spectra or a change in the intensities during transmission or reflection. The transmitted or reflected spectrum is equally independent of the place where the light hits.
  • the variation in the layer thickness could also be carried out differently.
  • the coating of optical components can be done with chemical processes.
  • the atomic layer deposition (ALD) method can be used here.
  • ALD atomic layer deposition
  • the disadvantage of the ALD is that there is hardly any possibility of specifically changing the coating on the component. Rather, in the ideal case, a homogeneous, uniform coating also results on 3D components. The effect of the angular shift in the case of parallel incident light can therefore not be compensated with such a method.
  • PVD physical vapor deposition
  • vapor deposition or sputtering methods In addition, methods of physical vapor deposition (PVD) are often used, in particular vapor deposition or sputtering methods. In the PVD process there is either no chemical reaction of the layer-forming particles or, in the case of reactive PVD processes, the reaction takes place exclusively on the reactor or substrate surfaces.
  • the deposition takes place by evaporation from a crucible in a high vacuum or by sputtering from a target at typical working pressures of 0.05 to 3.0 Pa, preferably 0.1 to 1 Pa.
  • magnetron sputtering In magnetron sputtering, a relatively fast Turntable rotation is preferred.
  • the substrates are attached to the turntable and are thus moved rotationally and periodically through coating reactors with statically positioned sputtering sources. With each pass, a thin partial layer of a metal or a metal compound is applied.
  • the stoichiometry of the metal compound can be adjusted in an additional, optional plasma chamber.
  • the magnetron sputter sources can be planar or also cylindrical. In addition, they can be designed as a single or double magnetron system.
  • the layer profile resulting on the substrate is not homogeneous.
  • the rate decreases towards the outside with the dependence according to 1 / r, where r corresponds to the distance between the center point of the turntable and the point of the substrate under consideration.
  • the substrate is curved, there are additional variations in layer thickness due to the different distances between the sputtering source and the substrate and the different angles of inclination of the substrate surface in relation to the coating direction.
  • a common approach to compensate for the layer thickness distribution on the lens and the angle shift is to use a special design to absorb these effects.
  • the layer design is very complex and can consist of a large number of layers.
  • US Pat. No. 6,250,758 B1 proposes a mechanism with which lenses can be homogeneously coated with an anti-reflective coating.
  • the substrates are attached to a rotating plate and can be rotated around their own axis. An additional uniformity mask is used.
  • the main disadvantages of using a fast rotation are: •
  • the rapidly rotating parts can generate abrasion and thus more particles.
  • a fast rotation can only provide a symmetrical layer function with rotationally symmetrical components, but not with free-form surfaces that do not have rotational symmetry.
  • a device for coating substrates with planar or shaped surfaces by means of magnetron sputtering which contains the following components: a) a vacuum chamber,
  • At least one controllable motor which is coupled to the substrate holder or holders and which causes the second rotational movement of the substrate, as well as
  • a first area which has a geometry for inhomogeneous coating of the substrate, the gradient diaphragm having at least one local elevation or at least one local depression in the profile, with the layer thickness gradient on the substrate being adjustable via the slope on the flank of the elevation or depression, and
  • the lens be rotated by means of a controllable motor adapted to the layer system.
  • the rotation should take place in such a way that the lens is preferably rotated by a defined angle during the period in which it is not located under one of the sources.
  • a controllable motor suitable for vacuum which is located on a substrate holder and on whose axis the optical component is located, can be used here.
  • a stepper motor or a DC motor is preferably used as the controllable motor.
  • an analog-controlled electric motor with position detection is also possible.
  • the cyclical and slow rotation has the advantage that only little electricity is used. It is therefore preferred that the power supply is provided directly on the substrate holder with the aid of a suitable battery, whereby electrical rotary feedthroughs can be avoided.
  • the device has a gradient diaphragm which brings about an inhomogeneous rate of removal of the source material.
  • This gradient diaphragm or shaper mask is designed so that Both a homogeneous area for monitoring and an area with a gradient are created.
  • the shape of the gradient diaphragm can be determined with the help of a simulation of the coating process and an optimization algorithm, but it can also be iteratively produced by manual processing.
  • the gradient diaphragm protrudes farthest into the coating area, preferably in the direction of travel of the center of the lens, and has an opening shape from there, so that at least one rounded tip, i.e. at least one local elevation results.
  • the layer thickness gradient on the substrate can be set via the slope on the flank of the elevation.
  • the gradient diaphragm has a geometry that brings about a homogeneous coating of the reference substrate.
  • the gradient diaphragm for concave lenses preferably has a geometry that is farthest out of the coating area in the direction of travel of the center of the lens and from there has a shape protruding into the coating area, so that at least one inverse shape of a rounded tip , ie at least one local depression results.
  • the layer thickness gradient on the substrate can be set via the slope on the flank of the elevation.
  • the gradient diaphragm has a geometry that brings about a homogeneous coating of the reference substrate.
  • the coating source has an inhomogeneous plasma density, which brings about an inhomogeneous removal rate of the source material.
  • This coating source with inhomogeneous plasma density can help to generate certain rate profiles along the target axis. These rate profiles can be additionally reinforced with a further gradient aperture.
  • the stepping motor is preferably fixed reversibly or irreversibly on the substrate holder.
  • the stepper motor can preferably be combined with a reduction gear in order to more finely resolve the rotation of the substrate around the z-axis. sen.
  • the substrate is rotated by an externally connected motor.
  • the connection between motor and substrate holder can be made with a vacuum-compatible shaft.
  • a lifting device must also be provided here, in that the substrate holder is lifted out of the turntable, then rotated and then lowered again.
  • the turntable must be stopped here. It may be necessary here for one or more intermediate stops of the turntable to be necessary for a single layer. S intermediate stops are advantageous here, so that the component is coated in three different positions. So the process consists of the following steps:
  • the device contains a linear or ring-shaped magnetron source as the coating source. This can be implemented as a single or double magnetron source.
  • the substrate preferably consists of a glass or a plastic. Quartz, borosilicate glass, sulfur hexafluoride (SF6) or combinations thereof are preferred as glasses.
  • Preferred plastics are polyallyldiglycol carbonate (PADC or CR39), polycarbonate, PMMA or combinations thereof.
  • the substrate is preferably an optical component, in particular selected from the group consisting of lenses, aspheres or freeform optics.
  • a method for coating substrates with planar or shaped surfaces by means of magnetron sputtering in which a) at least one substrate is arranged in a corresponding substrate holder on a turntable in a vacuum chamber, the turntable having a first rotational movement of the Substrate and the at least one substrate holder enables a second rotary movement, the second rotary movement taking place via a controllable motor coupled to the substrate holder, b) in a coating cycle with at least one coating source consisting of at least one magnetron source at least one layer on the at least one Substrate is deposited, wherein the layers of source material of the magnetron electrodes are formed with sputtering gas and optionally additional addition of reactive gas, with a gradient diaphragm
  • a first region (34) which has a geometry for inhomogeneous coating of the substrate, the gradient diaphragm having at least one local elevation or at least one local depression in the profile, where the slope on the flank of the elevation or depression of the layer thickness gradient on the substrate is adjustable, and
  • the first rotary movement is coordinated with the second rotary movement in such a way that the second rotary movement only takes place outside of the coating cycle.
  • a gradient diaphragm is preferably used in step b) for the deposition of layers which generate a gradient in terms of the layer thicknesses, the gradient diaphragm preferably having a first area for inhomogeneous coating of the substrate, in the case of convexly shaped substrates in the area of the running direction of the center test the lens protrudes into the coating area and from there has an opening shape, so that at least one rounded tip, ie at least one local elevation results.
  • the layer thickness gradient on the substrate is set via the slope on the flank of the elevation.
  • the gradient diaphragm has a geometry that brings about a homogeneous coating of a reference substrate.
  • a further preferred embodiment provides that in step b) a gradient diaphragm is used to deposit layers that generate a gradient with regard to the layer thicknesses, the
  • Gradient diaphragm preferably a first area which has a geometry for inhomogeneous coating of the substrate, in that for concave shaped lenses in the area of the direction of travel of the center of the lens it is furthest removed from the coating area and from there has a shape protruding into the coating area, so that an inverse shape of a rounded tip, ie a local depression, results.
  • the layer thickness gradient on the substrate is set via the slope on the flank of the elevation.
  • the gradient diaphragm has a geometry that produces a homogeneous coating of a reference substrate. It is preferred that the shape of the gradient diaphragm is detected via the local distribution of the coating rate, the coating rate being determined via the shape of the lens as a function of the diaphragm shape.
  • the first rotary movement of the turntable is preferably carried out at a speed of 10 to 300 rpm, preferably 50 to 270 rpm and particularly preferably 70 to 250 rpm.
  • a layer thickness of preferably 0.01 nm to 0.54 nm is particularly preferred 0.05 to 0.18 nm, whereby a coating rate of 0.1 nm / sec to 1 nm / sec can be achieved.
  • the total layer thickness deposited is in the range from 1 to 1000 nm, preferably 3 to 500 nm.
  • the respective layer thickness is based on the respective layer design, which layer thicknesses from a few nm to several 100 nm per individual layer.
  • a continuous first rotary movement at a speed of 10 to 300 rpm, preferably 50 to 270 rpm and a stepwise second rotary movement with n steps and a movement through an angle of 360 ° / n, where n 3, 6, 9, etc. takes place.
  • the rotation is preferably carried out in predefined steps and is controlled by software.
  • the step size is preferably calculated in such a way that a specific slice profile is generated for each angular position.
  • the number of steps required is calculated in advance by the software.
  • the step control is therefore preferably adapted for free-form surfaces so that a layer thickness profile adapted for a specific area of the free-form optics is achieved.
  • the method according to the invention and the device according to the invention can also be used to deposit certain gradients on planar surfaces, whereby gradient filters can be produced. This is advantageous because the gradient of the gradient filter is not straight, but rather describes a circular path. An additional homogenization of the layer thickness distribution on planar substrates can also be performed.
  • inventive method can also be used to use gradients with different slopes.
  • step profiles can also be generated. This is helpful if, for example, several smaller objects are to be coated, each of which should be given a homogeneous coating, but where the layer thickness differs in each case.
  • Different gradients can also be applied to a component with the method according to the invention. This is useful when e.g. a lens is traversed several times by a beam, the opening angle and / or the angle of incidence differing.
  • Fig. 1 shows a device without a turntable in plan view
  • Fig. 2 shows a device with a turntable in plan view
  • Fig. 3 shows a device with a turntable in a sectional view
  • Fig. 4 shows a first substrate holder according to the invention in a sectional view
  • Fig. 5 shows a second substrate holder according to the invention in one
  • 6a shows a first variant of a gradient diaphragm according to the invention
  • 6b shows a second variant of a gradient diaphragm according to the invention
  • 6c shows a third variant of a gradient diaphragm according to the invention
  • FIG. 7 uses a diagram to show the coating rate as a function of the radial position of the lens
  • Fig. 1 shows a schematic plan view of a preferred device according to the invention without a turntable.
  • the device has three magnetron sputtering devices 2, 3, 4, one of which is designed in the single magnetron arrangement 2 and two in the double magnetron arrangement 3, 4.
  • the magnetron sputtering devices 2 contains a magnetron electrode 5, sputtering gas 11, optionally reactive gas 8 and is located in a vacuum 1.
  • the magnetron sputtering devices 3, 4 each contain two magnetron electrodes 6, 7, sputtering gas 11, optionally reactive gas 8 and are located in the vacuum 1.
  • a plasma source 12 In the vicinity of the magnetron sputtering devices 2, 3, 4 there is a plasma source 12 and a photometer 16 and / or an ellipsometric flange 17.
  • Fig. 2 shows a schematic plan view of a preferred embodiment of the turntable.
  • the turntable 10 is located in the device and in this example has ten identical substrate holders 9.
  • Fig. 3 shows a schematic side view of a preferred embodiment form of the device with turntable 10. It is the cross section of a
  • Magnetron sputtering device visible, which contains two cylinders from source material 6, 7 (double magnetron arrangement).
  • the magnetron sputtering device is on the sides of boundary walls 14, 15 and above by the turntable 10 gas-tight delimited from the rest of the device, ent holds sputter gas 11, optionally reactive gas 8, and is under vacuum 1.
  • Two sub strathalterept 9 of the turntable 10 are in shown or visible.
  • FIG. 4 shows the structure of a substrate holder 9 according to the invention.
  • a lens 18 is coupled to the axis of a motor 20 in a rotating manner.
  • the Mo tor 20 is firmly mounted on the substrate holder 9 and can be controlled from the outside.
  • a monitor area is not provided here.
  • the coating direction 21 is from bottom to top and the movement 22 of the substrate holder from left to right.
  • FIG. 5 shows a structure of a lens 18 to be coated in a further substrate holder 9 according to the invention.
  • the lens 18 is located in an area 24 where the coating rate has a lateral gradient, while a coating area 23 without a gradient is provided for the reference measurement.
  • the monitor glass provided for this purpose can run along on the substrate holder 9 shown or it can be located on one of the other substrate holders 9.
  • Fig. 6a shows a first inventive arrangement with the
  • Double magnetron 36, the lens 37 and the reference glass 38 are identical to Double magnetron 36, the lens 37 and the reference glass 38.
  • Gradient diaphragm 31 is shaped in such a way that it enables a homogeneous coating area 35 as well as an area 34 with a lateral layer thickness gradient on a flat substrate.
  • the area 34 with a lateral layer thickness gradient lies on the circular path 33 and has a local elevation in the form of a tip. The slope of the flanks of this local increase determines the layer thickness gradient on the substrate.
  • this is coated homogeneously, which is achieved by the gently sloping profile of the gradient diaphragm in the homogeneous area 35.
  • This embodiment of the gradient diaphragm enables the coating of convex substrates.
  • Fig. 6b shows a second inventive arrangement with the
  • Double magnetron 36, the lens 37 and the reference glass 38 are identical to Double magnetron 36, the lens 37 and the reference glass 38.
  • Gradient diaphragm 31 is shaped so that it forms one on a flat substrate homogeneous coating area 35 enables as well as an area 34 with a lateral layer thickness gradient.
  • the area 34 with a lateral layer thickness gradient lies on the circular path 33 and has a local depression in the form of a depression. The slope of the flanks of this local depression determines the layer thickness gradient on the substrate.
  • this is coated homogeneously, which is achieved by the gently sloping profile of the gradient diaphragm in the homogeneous area 35.
  • This Ausense shape of the gradient diaphragm enables the coating of concave substrates.
  • Fig. 6c shows a third arrangement according to the invention with the
  • the gradient diaphragm 31 is shaped in such a way that it enables a homogeneous coating area 35 as well as two areas 34 and 39 with a lateral layer thickness gradient on a flat substrate.
  • the areas 34 and 39 with a lateral layer thickness gradient lie on the circular path 33 and 40 and each have a local elevation in the form of a tip. The slope of the flanks of this local elevation determines the layer thickness gradient on the substrate.
  • this is coated homogeneously, which is realized by the gently sloping profile of the gradient diaphragm in the homogeneous area 35.
  • This embodiment of the gradient diaphragm enables the simultaneous coating of two convex substrates.
  • FIG. 7 shows the relative coating rate on the flat reference glass 19 and on the rotating lens 18.
  • the data points 1) in FIG. 8 can be seen mirror-symmetrically to position 0 of the x-axis.
  • Fig. 8 shows a lens 18 as it can typically be coated. It has a diameter of 20mm and a radius of curvature of 25.8 mm. A light beam 28 impinging perpendicularly on lens 18 and a light beam 27 impinging obliquely on lens 18 are shown. The angle of incidence 29 increases at the focal point from 0 ° in the center to 16 ° at a point 5 mm from Center away.
  • This lens was coated on the convex side 25 with a band pass filter.
  • the planar side 26 can be coated with broadband, anti-reflective or blockers.
  • the coating shows measured spectra of the coated lens at various positions.
  • the coating consists of a band pass with a central wavelength of about 665 nm.
  • An SiO 2 layer with a thickness of 100 nm is applied in a layer stack.
  • the dynamic rate is 0.4 nm / sec with a rotating plate with a rotation frequency of 240 rpm, i.e. O.lnm per cycle. 1000 runs are then necessary for the 100 nm shift. In this example, a rotation of 90 ° is carried out after 250, after 500 and after 750 revolutions.
  • a rotation of 9 ° is made every 25 revolutions in order to obtain a finer division.
  • the aim of coating lenses with optical filters is that the filter works the same way over the entire lens surface, i.e. for each light beam through different points of the lens, e.g. result in the same transmission and reflection spectrum.
  • Two effects are taken into account here:
  • the lens surface has a different inclination for different radii.
  • the light beams hit the different radial positions at different angles, For example, it makes a difference whether the lens is hit by collimated or divergent light.
  • an "angular spectrum” is usually specified for a lens, ie the mean angle of incidence of the light as a function of the radial distance from the center of the lens. Depending on the angle of incidence, more or less strong spectral shifts result for an optical filter, and this applies through a variation to compensate for the layer thickness.
  • the shape of the aperture ensures the best possible implementation of this target function.
  • the shape of the aperture can vary
  • the aperture shape is determined in the following way:
  • the shape of the aperture is realized in this concept by successive circular arcs.
  • the X coordinate shows in radial direction from the turntable center point outwards, the Y-coordinate points transversely to it, ie in the direction of movement of the lens.
  • the circle radii are positive for a concave arc and negative for a convex arc.
  • the positive sign is chosen if r k ⁇ 0, otherwise the negative sign is chosen.
  • the digital twin calculates the resulting layer thickness distribution on a lens moving through the coating compartment.
  • a fitting algorithm is used in which some of the variables are released from both the coordinate points ⁇ x k , y k ⁇ and the circle radii ⁇ r k ⁇ and are varied until the calculated layer thickness profile corresponds as closely as possible to the target function speaks.
  • the layer thickness should increase towards the edge; this then leads to a characteristic diaphragm shape in which a locally jagged thickening of the diaphragm hits the center of the lens rotating past.

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Abstract

Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder geformten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern bereitgestellt, mit der beliebig geformte Oberflächen, zum Beispiel Linsen, Asphären oder Freiformflächen mit einem einstellbaren Schichtdickenprofil beschichtet werden können, so dass eine Schichtfunktion auf der im wesentlichen ganzen Fläche erhalten bleibt. Ebenso wird ein Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder geformten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern bereitgestellt.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder geformten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern
Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder geformten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern bereitge stellt, mit der beliebig geformte Oberflächen, zum Beispiel Linsen, Asphären oder Freiformflächen mit einem einstellbaren Schichtdickenprofil beschichtet werden können, so dass eine Schichtfunktion auf der im wesentlichen ganzen Fläche erhalten bleibt. Ebenso wird ein solches Verfahren bereitgestellt.
In optischen Systemen sind gekrümmte Oberflächen weit verbreitet. Einge setzt werden Linsen, asphärische Komponenten oder auch Freiformflächen, um Licht zu lenken, oder Abbildungen des Lichtes durchzuführen. Diese ver schiedenen Formen werden im Folgenden als„optische Komponenten" be- zeichnet. Abbildungsfehler spielen dabei eine große Rolle.
In der Regel werden die optischen Komponenten mit einer Beschichtung ver- sehen. Die Beschichtung kann unterschiedliche Funktionen haben. In einigen Fällen kann, um das optische System kompakt zu gestalten, ein Bandpassfilter oder ein Kantenfilter auf die optische Komponente aufgebracht sein. Dabei kann auch eine gekrümmte Oberfläche beschichtet werden.
Die Beschichtung ist oftmals auch eine Entspiegelung, die entweder bei einer bestimmten Wellenlänge oder über einen breiten Spektralbereich wirken kann. Das Substratmaterial ist in der Regel Glas oder Kunststoff.
Die optischen Komponenten können hergestellt werden durch Pressen, oder auch durch mechanische Bearbeitung. Je nach Material, d.h. Brechungsindex der optischen Komponenten reflektiert das Substratmaterial einige % des Lichtes.
Die Reflexion gegen Luft wird nach der Formel (I)
R = (h-1)L2 / (h+1)L2 (I) berechnet, wobei n der Brechungsindex der optischen Komponente ist.
Optische Komponenten können auch in Medien wie Öle oder Kitt eingebaut sein, wobei dann in der Formel (I) der Brechungsindex 1 für Luft durch den Brechungsindex des Mediums der Umgebung verwendet werden muss.
Oftmals werden auch mehrere optische Komponenten als Kit bereitgestellt. Über die Auswahl des Kits kann so die Reflexion zwischen den Komponenten reduziert werden.
Bei einer Entspiegelung müssen in der Regel beide Seiten der optischen Kom ponenten beschichtet werden, wobei ein mehr oder weniger breiter Spektral bereich vorgesehen wird. Bei einer einfachen Breitbandentspiegelung wird oftmals der Bereich 420-680 nm entspiegelt, wobei eine Reflexion von weni ger als 0.5% über diesen Bereich notwendig ist. Wenn es sich um ein flaches Substrat handelt, genügt hierfür eine Beschichtung der Form:
Glas - Ti02 (lOnm) - Si02 (40nm) - TiO2 (110nm) - SiO2 (85nm) Si02 ist ein niederbrechendes Material, welches als Schicht üblicherweise ty pisch einen Brechungsindex von ca. 1.48 (bei einer Wellenlänge von 550nm) aufweist. Ti02 ist ein hochbrechendes Material mit einem Brechungsindex von 2.4 bis 2.7. Neben Si02 und Ti02 können eine Vielzahl anderer Materialien ebenso eingesetzt werden. Als niederbrechende Schichten eignen sich auch Al203, als hochbrechende Ta205, Nb205, Hf02, Zr02, Sc203, Al203 oder Mi schungen davon.
Oftmals ist der vorgesehene Spektralbereich deutlich größer und auch die Restreflexion ist niedriger spezifiziert. Dies ist besonders wichtig bei optischen Systemen mit einer Vielzahl von optischen Komponenten. Dort sind nicht nur die Lichtverluste wichtig, sondern vielmehr auch Geisterbilder durch mehrfach im System reflektiertes Licht. Diese kommen dadurch zustande, dass an den einzelnen Oberflächen restliches Licht reflektiert werden kann. Dieses geht dann teilweise den Strahlengang zurück, hat aber nicht mehr die gewünschte Abbildungseigenschaft. Über mehrere Reflexionen kann dieses Licht dann als störendes bzw. Streulicht in den Detektor gelangen. Streulicht kann den Kon trast reduzieren oder es können Geisterbilder entstehen. Mit größerem Spekt ralbereich und geringerer Restreflexion muss die Schichtzahl und damit die Gesamtschichtdicke in der Regel erhöht werden.
Neben reflexionsmindernden Schichten können auch diverse Filter eingesetzt werden.
Ein solcher Filter besteht im Allgemeinen ebenfalls aus einer Abfolge von ab wechselnd hoch- und niederbrechenden Schichten mit Schichtdicken. Je nach Anwendung können die einzelnen Schichtdicken zwischen 1 und mehreren lOOnm betragen. Bei Filtern beträgt die Gesamtzahl der Schichten meist mehr als 10 und kann auch viele Hundert erreichen. Damit ergeben sich im sichtba ren Spektralbereich Gesamtschichtdicken von etwa 1000 nm bis über 30000 nm. Im Infrarotbereich können die Schichtdicken sogar 100000 nm erreichen oder sogar überschreiten.
Die Verwendung eines Filters direkt auf der gekrümmten Komponente hat den Vorteil, dass das optische System deutlich kompakter gebaut werden kann. Auf die Verwendung eines Planfilters kann somit verzichtet werden, wenn ein Filter direkt auf die Linsenoberfläche aufgebracht werden kann. Derartige Filter können ein Bandpassfilter sein. Dieser lässt einen engen und genau definierten Spektralbereich durch und blockiert den restlichen Spekt ralbereich. Einsetzbar ist ein solcher Bandpassfilter beispielsweise in einem LIDAR-System. Dort wird das vom Laser ausgesandte Licht als Streulicht der Umgebung gemessen. Das LIDAR-Signal ist wesentlich schwächer als das Licht der Umgebung, so dass eine Unterdrückung des Umgebungslichtes erfolgen muss. Ein LIDAR Filter für einen 532nm Laser würde daher auf einer Linse ei nen Bandpass von lOnm Halbwertsbreite haben und eine Blockung mit OD 6 zwischen 200nm bis llOOnm. Wenn der Filter direkt auf der optischen Kom ponente aufgebracht wird, hat das den Vorteil, dass das Umgebungslicht im mer senkrecht auf den Filter auftrifft. Bei einem Plansubstrat müsste dagegen eine Zwischenabbildung vorgenommen werden, damit das Licht immer senk recht auf den Filter auftrifft.
Bei optischen Komponenten tritt oft der weitere Fall auf, dass das Licht über die gesamte Linsenoberfläche parallel auftrifft. Wenn es sich um eine konve xe, konkave oder um eine Freiformoberfläche handelt, ist der Einfallswinkel des Lichtes auf die Oberfläche nicht konstant, sondern abhängig vom Ort, wo das Licht auftrifft. Im Zentrum ist der Lichteinfall senkrecht, am Rand der Linse ist der Einfallswinkel größer und abhängig von der Form der optischen Kom ponente. Teilweise gibt es auch Anwendungen, bei denen Lichtstrahlen mehrmals ein und dieselbe Optik unter unterschiedlichem Öffnungswinkel durchlaufen. Hierbei werden beispielsweise unterschiedliche Bereiche der Linse ausgenutzt.
Bei Freiformflächen besteht zudem keine Rotationssymmetrie, d.h. die Krümmung ist abhängig von der Winkelposition des optischen Elements.
Der Effekt des unterschiedlichen Einfallswinkels des Lichts auf die Oberfläche führt dazu, dass das Spektrum sich zu kürzeren Wellenlängen verschiebt. Auch die Form des Spektrums selber kann sich verändern.
Es kann daher günstig sein, die Beschichtung derart aufzubringen, dass diese am Rand der optischen Komponente dicker ist als in der Mitte, so dass der Effekt der Winkelverschiebung kompensiert wird. Trifft das Licht senkrecht von oben auf die Linse, so erfolgt eine spektrale Korrektur, so dass keine spektrale Verschiebung der Spektren oder eine Änderung der Intensitäten bei Transmission oder bei Reflexion auftritt. Das transmittierte oder reflektierte Spektrum ist gleich unabhängig vom Ort, wo das Licht auftrifft.
Bei einer Anwendung, wo verschiedene Bereiche der Linse von unterschiedli chen Lichtstrahlen mit unterschiedlichem Öffnungswinkel durchlaufen wer den, könnte die Variation der Schichtdicke auch unterschiedlich ausgeführt werden.
Die Beschichtung von optischen Komponenten kann mit chemischen Verfah ren erfolgen. Hierbei kann beispielsweise das Verfahren der Atomlagenab scheidung (engl atomic layer deposition, ALD) eingesetzt werden. Nachteil der ALD ist allerdings, dass es kaum eine Möglichkeit gibt, die Beschichtung auf dem Bauteil gezielt zu verändern. Vielmehr resultiert im Idealfall eine ho mogene gleichförmige Beschichtung auch auf 3D Bauteilen. Der Effekt der Winkelverschiebung bei parallel einfallendem Licht kann mit einem solchen Verfahren daher nicht kompensiert werden.
Weiterhin werden häufig Verfahren der physikalischen Gasphasenabschei dung (engl physical vapor deposition, PVD) eingesetzt, insbesondere Auf dampfverfahren oder S putterverfahren. Bei den PVD-Verfahren gibt es ent weder keine chemische Reaktion der schichtbildenden Teilchen oder im Falle reaktiver PVD-Verfahren erfolgt die Reaktion ausschließlich an den Reaktor- bzw. Substratflächen. Die Abscheidung erfolgt durch Verdampfen aus einem Tiegel im Hochvakuum oder durch Sputtern von einem Target bei typischem Arbeitsdrücken von 0.05 bis 3.0 Pa, bevorzugt von 0.1 bis 1 Pa.
Beim Magnetron-Sputtern erfolgt bevorzugt eine relativ schnelle Drehtellerro tation. Die Substrate sind dabei am Drehteller angebracht und werden somit rotatorisch und periodisch durch Beschichtungsreaktoren mit statisch positio nierten Sputterquellen bewegt. Mit jedem Durchlauf wird jeweils eine dünne Teilschicht eines Metalls oder einer Metallverbindung aufgetragen. In einer zusätzlichen, optionalen Plasmakammer kann die Stöchiometrie der Metall verbindung angepasst werden. Die Magnetronsputter-Quellen können planar oder auch zylindrisch geformt sein. Zudem können sie als Einzel- oder als Doppel-Magnetronsystem ausge legt werden.
Bei einer rotatorischen Substrat-Anordnung mit linearen Beschichtungs- Quellen ist das sich auf dem Substrat ergebende Schichtprofil nicht homogen. Bei einem flachen Substrat nimmt die Rate mit der Abhängigkeit gemäß 1/r nach außen hin ab, wobei r dem Abstand zwischen dem Drehtellermittelpunkt und des betrachteten Punktes des Substrats entspricht.
Ist das Substrat gekrümmt, so ergeben sich zusätzliche Schichtdickenvariatio nen aufgrund der unterschiedlichen Abstände zwischen Sputterquelle und Substrat und unterschiedlicher Neigungswinkel der Substratfläche in Bezug auf die Beschichtungsrichtung.
Ein üblicher Ansatz zur Kompensation der Schichtdickenverteilung auf der Linse und dem Winkelshift besteht darin, über ein besonderes Design diese Effekte aufzufangen. Allerdings wird hierbei das Schichtdesign sehr aufwändig und kann aus sehr vielen Schichten bestehen.
Bei Beschichtungsvorrichtungen mit langsam rotierendem Teller bzw. Trom mel (d.h. der Drehteller dreht sich mit Frequenzen von weniger als 50 rpm) wird oftmals eine schnelle Planetenrotation der optischen Komponenten vor gesehen. Als Faustregel sollte die Eigenrotation der Komponenten mindestens lOmal so schnell wie die Rotation des Tellers bzw. der Trommel sein. Bei einer schnellen Rotation des Substrates kann das Schichtprofil somit ausgeglichen werden.
In US 6,250,758 Bl wird ein Mechanismus vorgeschlagen, mit dem Linsen mit einer Antireflexbeschichtung homogen beschichtet werden können. Dabei werden die Substrate auf einem rotierenden Teller angebracht und können um die eigene Achse gedreht werden. Eine zusätzliche Uniformitätsmaske wird dabei eingesetzt.
Der Einsatz einer schnellen Rotation hat im Wesentlichen folgende Nachteile: • Die schnell drehende Teile können Abrieb und damit vermehrt Par tikel erzeugen.
• Bei schweren optischen Komponenten sind die Kräfte sehr groß, so dass beispielsweise bei verkitteten Komponenten diese auseinan der fallen können.
• Die Rotation ist zufällig, da die Drehtellerrotation selbst schon groß ist, so dass es zu Schwebungen in der Schichtverteilung kommen kann.
• Eine schnelle Rotation kann nur bei rotationssymmetrischen Kom ponenten eine symmetrische Schichtfunktion liefern, nicht aber bei Freiformflächen, die keine Rotationssymmetrie aufweisen.
Ausgehend hiervon war es Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrich tung und ein Verfahren bereitzustellen, mit denen optische Komponenten mit geformten Oberflächen, z.B. Linsen, Asphären oder Freiformflächen, mit ei nem einstellbaren Schichtdickenprofil beschichtet werden können, wobei die genannten Nachteile der aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren vermieden werden sollen.
Diese Aufgabe wird mit der Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und dem Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 10 gelöst. Die weite ren abhängigen Ansprüche zeigen vorteilhafte Weiterbildungen auf.
Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder geformten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern bereitge stellt, die folgenden Komponenten enthält: a) eine Vakuumkammer,
b) mindestens eine Magnetronquelle mit mindestens einer
Magnetron-Elektrode als Beschichtungsquelle,
c) einen Drehteller mit mindestens einer Substrathalterung, wobei der Drehteller eine erste rotatorische Bewegung des Substrats und die mindestens eine Substrathalterung eine zweite rotatorische Bewegung ermöglicht,
d) mindestens ein mit der oder den Substrathalterungen gekoppelter steuerbarer Motor, der die zweite rotatorische Bewegung des Sub strats bewirkt, sowie
e) eine Gradientenblende mit
• einem ersten Bereich, der eine Geometrie zur inhomogenen Beschichtung des Substrats aufweist, wobei die Gradientenblende im Profil mindestens eine lokale Erhöhung oder mindestens eine lokale Vertiefung aufweist, wobei über die Steigung an der Flanke der Erhöhung oder Vertiefung der Schichtdickengradient auf dem Substrat einstellbar ist, und
• einem zweiten Bereich mit einer Geometrie, die eine homoge ne Beschichtung eines Referenzsubstrats bewirkt.
Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass die Drehung der Linse mittels ei nem steuerbaren Motor angepasst an das Schichtsystem erfolgt. Dabei soll die Drehung so erfolgen, dass die Linse vorzugsweise in dem Zeitraum, in dem sie sich nicht unter einer der Quelle befindet, um einen definierten Winkel ver dreht wird. Hierbei kann ein vakuum-geeigneter steuerbarer Motor zum Ein satz kommen, der sich auf einer Substrathalterung befindet und an dessen Achse sich die optische Komponente befindet. Als steuerbarer Motor wird bevorzugt ein Schrittmotor oder ein DC-Motor verwendet. Möglich ist aber auch ein analog gesteuerter Elektromotor, der über eine Positionserkennung verfügt.
Die zyklische und langsame Rotation hat den Vorteil, dass nur wenig Strom verbraucht wird. Daher ist es bevorzugt, dass die Stromversorgung mit Hilfe einer geeigneten Batterie direkt auf der Substrathalterung vorgenommen wird, wodurch elektrische Drehdurchführungen vermieden werden können.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist die Vorrichtung eine Gradientenblende auf, die eine inhomogene Abtragerate des Quellmaterials bewirkt. Diese Gradientenblende bzw. Shapermaske wird so ausgeführt, dass sowohl ein homogener Bereich für das Monitoring als auch ein Bereich mit einem Gradienten entsteht. Die Form der Gradientenblende kann mit Hilfe einer Simulation des Beschichtungsprozesses und einem Optimierungsalgo rithmus bestimmt werden, sie kann aber auch durch manuelles Bearbeiten iterativ hergestellt werden.
Die Gradientenblende ragt für konvex geformte Substrate vorzugsweise im Bereich der Laufrichtung des Zentrums der Linse am weitesten in den Be schichtungsbereich hinein und besitzt von dort aus eine sich öffnende Form, so dass sich mindestens eine abgerundete Spitze, d.h. mindestens eine lokale Erhöhung, ergibt. Über die Steigung an der Flanke der Erhöhung ist dabei der Schichtdickengradient auf dem Substrat einstellbar. Im zweiten Bereich weist die Gradientenblende eine Geometrie auf, die eine homogene Beschichtung des Referenzsubstrats bewirkt.
Die Gradientenblende für konkav geformte Linsen weist vorzugsweise eine Geometrie auf, die im Bereich der Laufrichtung des Zentrums der Linse am weitesten aus dem Beschichtungsbereich herausgenommen ist und von dort aus eine in den Beschichtungsbereich hineinragende Form besitzt, so dass sich mindestens eine inverse Form einer abgerundeten Spitze, d.h. mindestens eine lokale Vertiefung, ergibt. Über die Steigung an der Flanke der Erhöhung ist dabei der Schichtdickengradient auf dem Substrat einstellbar. Im zweiten Bereich weist die Gradientenblende eine Geometrie auf, die eine homogene Beschichtung des Referenzsubstrats bewirkt.
Eine weitere bevorzugte Ausführungsform sieht vor, dass die Beschichtungs quelle eine inhomogene Plasmadichte aufweist, die eine inhomogene Abtragerate des Quellmaterials bewirkt. Diese Beschichtungsquelle mit inho mogener Plasmadichte kann dazu beitragen, bestimmte Ratenprofile entlang der Targetachse zu erzeugen. Mit einer weiteren Gradientenblende können diese Ratenprofile zusätzlich verstärkt werden.
Vorzugsweise ist der Schrittmotor an der Substrathalterung reversibel oder irreversibel fixiert.
Der Schrittmotor kann vorzugsweise mit einem Untersetzungsgetriebe kom biniert werden, um die Rotation des Substrats um die z-Achse feiner aufzulö- sen.
Alternativ besteht auch die Möglichkeit, dass das Substrat durch einen extern angeschlossenen Motor gedreht wird. Die Verbindung zwischen Motor und Substrathalterung kann mit einer vakuumtauglichen Welle vorgenommen werden. Hierbei muss auch eine Hubvorrichtung vorgesehen werden, indem die Substrathalterung aus dem Drehteller angehoben, dann gedreht und dann wieder abgesenkt wird. Hierbei muss der Drehteller jeweils angehalten wer den. Hierbei kann es notwendig sein, dass bei einer Einzelschicht ein oder mehrere Zwischenhalte des Drehtellers notwendig sind. Günstig sind hierbei S Zwischenhalte, so dass die Komponente in drei verschiedenen Positionen be schichtet wird. Der Vorgang besteht also aus den folgenden Schritten:
• Pausieren der Beschichtung durch Schließen eines Shutters
• Anhalten des Drehtellers
• Positionierung über die Hub-Dreh-Vorrichtung
• Anheben der Substrathalterung
• Drehung der Substrathalterung um einen definierten Winkel
• Absenken der Substrathalterung
• Starten des Drehtellers
• Fortführung der Beschichtung durch Öffnen des Shutters.
Es empfiehlt sich hierbei, das optische Monitoring auf einem separaten Teller durchzuführen, der nicht gedreht wird.
Neben einer Drehung um die eigene Achse der Komponente ist grundsätzlich auch eine zusätzliche Kippung der Komponente um einen definierten Winkel möglich. Vorteilhafterweise ergibt sich damit ein weiterer Freiheitsgrad, mit dem die Verteilung der Beschichtung auf der Komponente gesteuert werden kann.
Als Beschichtungsquelle enthält die Vorrichtung eine lineare oder ringförmige Magnetronquelle. Diese kann als Einzel- oder Doppel- Magnetronquelle aus geführt sein.
Als Substrate können sämtliche Materialien eingesetzt werden, die aus dem Stand der Technik bekanntermaßen für den Einsatz in optischen Komponen ten geeignet sind. Vorzugsweise besteht das Substrat aus einem Glas oder einem Kunststoff. Als Gläser sind Quarz, Borosilikatglas, Schwefelhexafluorid (SF6) oder Kombinationen hiervon bevorzugt. Bevorzugte Kunststoffe sind Polyallyldiglycolcarbonat (PADC bzw. CR39), Polycarbonat, PMMA oder Kom binationen hiervon.
Vorzugsweise ist das Substrat eine optische Komponente, insbesondere aus gewählt aus der Gruppe bestehend aus Linsen, Asphären oder Freiform- Optiken.
Erfindungsgemäß wird ebenso ein Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder geformten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern be reitgestellt, bei dem a) in einer Vakuumkammer mindestens ein Substrat in einer zu gehörigen Substrathalterung auf einem Drehteller angeordnet wird, wobei der Drehteller eine erste rotatorische Bewegung des Substrats und die mindestens eine Substrathalterung eine zweite rotatorische Bewegung ermöglicht, wobei die zweite rotatorische Bewegung über einen mit der Substrathalterung gekoppelten steuerbaren Motor erfolgt, b) in einem Beschichtungszyklus mit mindestens einer aus einer mindestens einer Magnetronquelle bestehenden Beschich tungsquelle mindestens eine Schicht auf dem mindestens einen Substrat abgeschieden wird, wobei die Schichten aus Quellma terial der Magnetron-Elektroden mit Sputtergas und ggf. zu sätzliche Zugabe von Reaktivgas gebildet werden, wobei eine Gradientenblende mit
• einem ersten Bereich (34), der eine Geometrie zur inhomo genen Beschichtung des Substrats aufweist, wobei die Gradientenblende im Profil mindestens eine lokale Erhö hung oder mindestens eine lokale Vertiefung aufweist, wo bei über die Steigung an der Flanke der Erhöhung oder Ver- tiefung der Schichtdickengradient auf dem Substrat ein stellbar ist, und
• einem zweiten Bereich (35) mit einer Geometrie, die eine homogene Beschichtung eines Referenzsubstrats bewirkt, verwendet wird, und
b) die erste rotatorische Bewegung mit der zweiten rotatorischen Bewegung so abgestimmt wird, dass die zweite rotatorische Bewegung nur außerhalb des Beschichtungszyklus erfolgt.
Vorzugsweise wird im Schritt b) eine Gradientenblende zur Abscheidung von Schichten verwendet, die einen Gradienten hinsichtlich der Schichtdicken er zeugen, wobei die Gradientenblende vorzugsweise einen ersten Bereich zur inhomogenen Beschichtung des Substrats aufweist, bei der für konvex ge formte Substrate im Bereich der Laufrichtung des Zentrums der Linse am wei testen in den Beschichtungsbereich hineinragt und von dort aus eine sich öff nende Form besitzt, so dass sich mindestens eine abgerundete Spitze, d.h. mindestens eine lokale Erhöhung, ergibt. Über die Steigung an der Flanke der Erhöhung wird der Schichtdickengradient auf dem Substrat eingestellt. Im zweiten Bereich weist die Gradientenblende eine Geometrie auf, die eine ho mogene Beschichtung eines Referenzsubstrats bewirkt.
Eine weiter bevorzugte Ausführungsform sieht vor, dass im Schritt b) eine Gradientenblende zur Abscheidung von Schichten verwendet wird, die einen Gradienten hinsichtlich der Schichtdicken erzeugen, wobei die
Gradientenblende vorzugsweise einen ersten Bereich, der eine Geometrie zur inhomogenen Beschichtung des Substrats aufweist, indem für konkav geform te Linsen im Bereich der Laufrichtung des Zentrums der Linse am weitesten aus dem Beschichtungsbereich herausgenommen ist und von dort aus eine in den Beschichtungsbereich hineinragende Form besitzt, so dass sich eine inver se Form einer abgerundeten Spitze, d.h. eine lokale Vertiefung, ergibt. Über die Steigung an der Flanke der Erhöhung wird der Schichtdickengradient auf dem Substrat eingestellt. Im zweiten Bereich weist die Gradientenblende eine Geometrie auf, die eine homogene Beschichtung eines Referenzsubstrats be wirkt. Es ist bevorzugt, dass die Form der Gradientenblende über die lokale Vertei lung der Beschichtungsrate erfasst wird, wobei die Beschichtungsrate über die Form der Linse in Abhängigkeit von der Blendenform ermittelt wird.
Die erste rotatorische Bewegung des Drehtellers erfolgt dabei vorzugsweise mit einer Geschwindigkeit von 10 bis 300 rpm, bevorzugt 50 bis 270 rpm und besonders bevorzugt 70 bis 250 rpm. So wird bei jedem Durchlauf eine Schichtdicke von bevorzugt 0,01nm bis 0,54nm und besonders bevorzugt 0,05 bis 0,18 nm erreicht, wodurch eine Beschichtungsrate von 0,lnm/sec bis lnm/sec erreicht werden kann.
Die abgeschiedene Gesamt-Schichtdicke liegt im Bereich von 1 bis 1000 nm, bevorzugt 3 bis 500 nm. Die jeweilige Schichtdicke orientiert sich hierbei am jeweiligen Schichtdesign, welches Schichtdicken von wenigen nm bis mehre ren lOOnm pro Einzelschicht haben kann.
Es ist bevorzugt, dass für jede abgeschiedene Schicht eine kontinuierliche ers te rotatorische Bewegung mit einer Geschwindigkeit von 10 bis 300 rpm, be vorzugt 50 bis 270 rpm und eine schrittweisezweite rotatorische Bewegung mit n Schritten und einer Bewegung um einen Winkel von 360°/n, wobei n = 3, 6, 9, etc. erfolgt.
Die Rotation erfolgt vorzugsweise in vordefinierten Schritten und wird durch eine Software gesteuert. Die Schrittweite wird vorzugsweise so berechnet, dass bei jeder Winkelstellung ein bestimmtes Schichtprofil erzeugt wird. Die Anzahl der notwendigen Schritte wird im Vorfeld durch die Software berech net.
Während bei Linsen und Asphären eine Rotationssymmetrie um den Mittel punkt der Komponente vorliegt, ist diese bei Freiformflächen im allgemeinen nicht mehr gegeben. Daher wird für Freiformflächen vorzugsweise die Schritt steuerung angepasst, so dass ein für einen bestimmten Bereich der Freiform optik angepasstes Schichtdickenprofil erzielt wird.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung können auch dazu genutzt werden, um bestimmte Gradienten auf planaren Oberflächen abzuscheiden, wodurch Gradientenfilter hergestellt werden kön nen. Dieses ist vorteilhaft, weil der Gradient der Gradientenfilter nicht gerade ist, sondern eine Kreisbahn beschreibt. Ebenso kann eine zusätzliche Homo genisierung der Schichtdickenverteilung auf planaren Substraten vorgenom men werden.
Auch kann das erfindungsgemäße Verfahren dazu benutzt werden, um Gradi enten mit unterschiedlicher Steigung zu verwenden. Somit können beispiels weise auch Stufenprofile erzeugt werden. Dies ist hilfreich, wenn beispiels weise mehrere kleinere Objekte zu beschichten sind, die jeweils eine homo gene Beschichtung erhalten sollen, aber bei denen sich die Schichtdicke je weils unterscheidet.
Auch können mit dem erfindungsgemäßen Verfahren unterschiedliche Gradi enten auf einer Komponente aufgebracht werden. Das ist nützlich, wenn z.B. eine Linse mehrmals von einem Strahlenbündel durchlaufen wird, wobei sich der Öffnungswinkel und/oder der Einfallswinkel unterscheidet.
Anhand der nachfolgenden Figuren und Beispiele soll der erfindungsgemäße Gegenstand näher erläutert werden, ohne diesen auf die hier gezeigten spezi fischen Ausführungsformen einschränken zu wollen.
Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung ohne Drehteller in der Draufsicht
Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung mit Drehteller in der Draufsicht
Fig. 3 zeigt eine Vorrichtung mit Drehteller in einer Schnittdarstellung
Fig. 4 zeigt eine erste erfindungsgemäße Substrathalterung in einer Schnitt darstellung
Fig. 5 zeigt eine zweite erfindungsgemäße Substrathalterung in einer
Schnittdarstellung
Fig. 6a zeigt eine erste Variante einer erfindungsgemäßen Gradientenblende Fig. 6b zeigt eine zweite Variante einer erfindungsgemäßen Gradientenblende
Fig. 6c zeigt eine dritte Variante einer erfindungsgemäßen Gradientenblende
Fig. 7 zeigt anhand eines Diagramms die Beschichtungsrate in Abhängigkeit von der radialen Position der Linse
Fig. 8 zeigt eine erfindungsgemäß beschichtete Linse
Fig. 9 zeigt ein Spektrum einer erfindungsgemäß beschichteten Linse
Fig. 1 zeigt schematisch in der Draufsicht eine bevorzugte erfindungsgemäße Vorrichtung ohne Drehteller. Die Vorrichtung weist drei Magnetron- Sputtereinrichtungen 2, 3, 4 auf, wovon eine in der Einzelmagnetronanordung 2 und zwei in der Doppelmagnetronanordnung 3, 4 ausgestaltet sind. Die Magnetron-Sputtereinrichtungen 2 enthält eine Magnetron-Elektrode 5, Sputtergas 11, optional Reaktivgas 8 und befindet sich im Vakuum 1. Die Magnetron-Sputtereinrichtungen 3, 4 enthalten jeweils zwei Magnetron- Elektroden 6, 7, Sputtergas 11, optional Reaktivgas 8 und befinden sich im Vakuum 1. In der Nachbarschaft der Magnetron-Sputtereinrichtungen 2, 3, 4 befindet sich eine Plasmaquelle 12 und ein Photometer 16 und/oder eine Ellipsometrieflansche 17.
Fig. 2 zeigt schematisch in der Draufsicht eine bevorzugte Ausgestaltung des Drehtellers. Der Drehteller 10 befindet sich in der Vorrichtung und weist in diesem Beispiel zehn identische Substrathalterungen 9 auf.
Fig. 3 zeigt schematisch in der Seitenansicht eine bevorzugte Ausgestaltungs form der Vorrichtung mit Drehteller 10. Es ist der Querschnitt einer
Magnetron-Sputtereinrichtung sichtbar, welche zwei Zylinder aus Quellmate rial 6, 7 enthält (Doppelmagnetronanordnung). Die Magnetron- Sputtereinrichtung ist an den Seiten von Begrenzungswänden 14, 15 und oben durch den Drehteller 10 gasdicht vom Rest der Vorrichtung abgegrenzt, ent hält Sputtergas 11, optional Reaktivgas 8, und ist unter Vakuum 1. Zwei Sub strathalterungen 9 des Drehtellers 10 sind in dem Querschnitt dargestellt bzw. sichtbar. Oberhalb des Drehtellers 10 befindet sich ein Deckel 13, welcher mit Begrenzungswänden, welche sich seitlich des Drehtellers 10 befinden, die Vorrichtung gasdicht abschließt.
Fig. 4 zeigt den Aufbau einer erfindungsgemäßen Substrathalterung 9. Hierbei ist eine Linse 18 rotierend mit der Achse eines Motors 20 gekoppelt. Der Mo tor 20 ist auf der Substrathalterung 9 fest montiert und kann von außen ge steuert werden. Ein Monitorbereich ist hierbei nicht vorgesehen. Die Be schichtungsrichtung 21 erfolgt von unten nach oben und die Bewegung 22 der Substrathalterung von links nach rechts.
Fig. 5 zeigt einen Aufbau einer zu beschichtenden Linse 18 in einer weiteren erfindungsgemäßen Substrathalterung 9. Die Linse 18 befindet sich in einem Bereich 24, wo die Beschichtungsrate einen lateralen Gradienten aufweist, während für die Referenzmessung ein Beschichtungsbereich 23 ohne Gradient vorgesehen ist. Das dafür vorgesehene Monitorglas kann auf der gezeigten Substrathalterung 9 mitlaufen oder sich auf einer der anderen Substrathalte rungen 9 befinden.
Fig. 6a zeigt eine erste erfindungsgemäße Anordnung mit dem
Doppelmagnetron 36, der Linse 37 und dem Referenzglas 38. Die
Gradientenblende 31 ist so geformt, dass sie auf einem ebenen Substrat einen homogenen Beschichtungsbereich 35 ermöglicht sowie einen Bereich 34 mit einem lateralen Schichtdickengradienten. Der Bereich 34 mit einem lateralen Schichtdickengradienten liegt auf der Kreisbahn 33 und weist eine lokale Er höhung in Form einer Spitze auf. Die Steigung der Flanken dieser lokalen Er höhung bestimmt dabei den Schichtdickengradienten auf dem Substrat. Im Bereich der Kreisbahn 33, auf der das Referenzglas 38 angeordnet ist, wird dieses homogen beschichtet, was durch das flach abfallende Profil der Gradientenblende im homogenen Bereich 35 realisiert wird. Diese Ausfüh rungsform der Gradientenblende ermöglicht die Beschichtung von konvexen Substraten.
Fig. 6b zeigt eine zweite erfindungsgemäße Anordnung mit dem
Doppelmagnetron 36, der Linse 37 und dem Referenzglas 38. Die
Gradientenblende 31 ist so geformt, dass sie auf einem ebenen Substrat einen homogenen Beschichtungsbereich 35 ermöglicht sowie einen Bereich 34 mit einem lateralen Schichtdickengradienten. Der Bereich 34 mit einem lateralen Schichtdickengradienten liegt auf der Kreisbahn 33 und weist eine lokale Ver tiefung in Form einer Senke auf. Die Steigung der Flanken dieser lokalen Ver tiefung bestimmt dabei den Schichtdickengradienten auf dem Substrat. Im Bereich der Kreisbahn 33, auf der das Referenzglas 38 angeordnet ist, wird dieses homogen beschichtet, was durch das flach abfallende Profil der Gradientenblende im homogenen Bereich 35 realisiert wird. Diese Ausfüh rungsform der Gradientenblende ermöglicht die Beschichtung von konkaven Substraten.
Fig. 6c zeigt eine dritte erfindungsgemäße Anordnung mit dem
Doppelmagnetron 36, den Linsen 37 und 41 und dem Referenzglas 38. Die Gradientenblende 31 ist so geformt, dass sie auf einem ebenen Substrat einen homogenen Beschichtungsbereich 35 ermöglicht sowie zwei Bereiche 34 und 39 mit einem lateralen Schichtdickengradienten. Die Bereiche 34 und 39 mit einem lateralen Schichtdickengradienten liegen auf den Kreisbahn 33 und 40 und weisen jeweils eine lokale Erhöhung in Form einer Spitze auf. Die Stei gung der Flanken dieser lokalen Erhöhung bestimmt dabei den Schichtdicken gradienten auf dem Substrat. Im Bereich der Kreisbahn 33, auf der das Refe renzglas 38 angeordnet ist, wird dieses homogen beschichtet, was durch das flach abfallende Profil der Gradientenblende im homogenen Bereich 35 reali siert wird. Diese Ausführungsform der Gradientenblende ermöglicht die si multane Beschichtung von zwei konvexen Substraten.
Fig. 7 stellt die relative Beschichtungsrate auf dem flachen Referenzglas 19 bzw. auf der rotierenden Linse 18 dar. Auf der Linse 9 ergibt sich eine anstei gende Rate vom Zentrum nach außen hin (von der x-Achse 0 bis 10mm nach rechts). Die Datenpunkte 1) in Figur 8 sind spiegelsymmetrisch zur Position 0 der x-Achse zu sehen.
Fig. 8 zeigt eine Linse 18 wie sie typisch beschichtet werden kann. Sie hat ei nen Durchmesser von 20mm und einen Krümmungsradius von 25.8 mm. Es ist ein senkrecht auf die Linse 18 auftreffender Lichtstrahl 28 und ein schräg auf die Linse 18 auftreffender Lichtrahl 27 dargestellt. Der Einfallswinkel 29 steigt im Brennpunkt von 0° im Zentrum auf 16° in einem Punkt von 5 mm vom Zentrum entfernt. Diese Linse wurde mit einem Bandpassfilter auf der konve xen Seite 25 beschichtet. Auf der planaren Seite 26 kann eine Beschichtung mit Breitband, Antireflex oder Blocker erfolgen.
Fig. 9 zeigt gemessene Spektren der beschichteten Linse an verschiedenen Positionen. Die Beschichtung besteht aus einem Bandpass mit einer Zentral wellenlänge von etwa 665nm. Es wurden Si02 und Ta205 als nieder- bzw. hochbrechende Materialien eingesetzt.
Beispiel 1
In einem Schichtstapel wird eine Si02-Schicht mit einer Dicke von lOOnm auf gebracht. Die dynamische Rate beträgt 0.4nm/sec bei rotierendem Teller mit Rotationsfrequenz von 240rpm, d.h. O.lnm pro Umlauf. Für die lOOnm Schicht sind dann 1000 Durchläufe notwendig. In diesem Beispiel wird nach 250, nach 500 und nach 750 Umdrehungen eine Drehung um 90° durchgeführt.
Beispiel 2
In einem zweiten Beispiel wird eine Drehung jeweils nach 25 Umläufen um 9° vorgenommen, um eine feinere Einteilung zu bekommen.
Beispiel 3
Bestimmung der Geometrie der Gradientenblende
Ziel der Beschichtung von Linsen mit optischen Filtern ist es, dass der Filter auf der gesamten Linsenfläche gleich funktioniert, d.h. für jeden Lichtstrahl durch verschiedene Punkte der Linse soll sich z.B. das gleiche Transmissions- und Reflexionsspektrum ergeben. Hierbei werden zwei Effekte berücksichtigt:
• Je nach Linsenform hat die Linsenfläche bei unterschiedlichen Radien eine unterschiedliche Flächenneigung.
• Je nach Aufbau der Optik treffen die Lichtstrahlen unter einem unter schiedlichen Winkel auf die unterschiedlichen Radialpositionen auf, z.B. macht es einen Unterschied, ob die Linse durch kollimiertes oder divergentes Licht getroffen wird.
Entsprechend wird für eine Linse üblicherweise ein„Winkelspektrum" spezifi ziert, d.h. der mittlere Auftreffwinkel des Lichts als Funktion des Radialab stands vom Linsenmittelpunkt. Abhängig vom Auftreffwinkel ergeben sich für einen optischen Filter mehr oder weniger starke spektrale Verschiebungen, und diese gilt es durch eine Variation der Schichtdicke zu kompensieren.
Durch optische Modellierung des Filters für verschiedene Lichteinfallswinkel erhält man letztlich als Zielfunktion die relative Schichtdicke als Funktion der Radialposition vom Linsenzentrum (mit 100% Schichtdicke im Linsen-Zentrum festgelegt).
Die Blendenform gewährleistet eine möglichst gute Realisierung dieser Ziel funktion. Je nach Linsenform, Geometrie des Beschichtungsprozesses und auch des optischen Filterdesigns kann die Blendenform unterschiedlich ausfal- len
Aufbauend auf diesen Erkenntnissen erfolgt die Bestimmung der Blendenform in folgender Weise:
Zwischen Blendenform und resultierendem Schichtdickenprofil auf der Linse gibt es keinen einfachen, intuitiven Zusammenhang. Es wurde ein„Digitaler Twin" des Prozesses entwickelt, mit dem sich der Effekt der Blendenform auf die Schichtdickenverteilung simulieren lässt. Unter Zuhilfenahme eines Optimierungsalgorithmusses lässt sich damit auch eine für die Zielfunktion angepasste Blendenform bestimmen. Das hat den Vorteil, dass die Blenden form nicht in zahlreichen iterativen Experimenten ermittelt werden muss. Die Blendenform für das Beispiel eines Bandpassfilters auf einer sphärischen Linse wurde mit Hilfe des digitalen Twins ermittelt und musste danach für die Expe rimente nicht mehr nachbearbeitet werden.
Die Blendenform wird in diesem Konzept durch aufeinanderfolgende Kreisbö gen realisiert. Mittels einer Software werden dazu Koordinatenpunkte {x^, Yk}k=i...N und Kreisradien {rk}k=i...N-i betrachtet. Die X-Koordinate zeigt dabei in radialer Richtung vom Drehtellermittelpunkt nach außen, die Y-Koordinate weist quer dazu, d.h. in Bewegungsrichtung der Linse. Die Kreisradien sind positiv für einen konkave Kreisbogen und negativ für einen konvexen Kreisbo gen.
Zwischen zwei aufeinanderfolgenden Punkten (xk, yk), (xk+i, Yk+i) werden zu nächst anhand des Radius rk der Kreismittelpunkt (xrrik, yrrik) des jeweiligen Kreisbogens berechnet. Anschließend wird die Form der Blende als Funktion y(x) dargestellt: y(x) = ymk ± rk— (x— xmk)2; x e [xmk, xmk+1]
Das positive Vorzeichen wird gewählt, falls rk < 0, ansonsten wird das negative Vorzeichen gewählt.
Anhand dieser Parametrisierung berechnet das Digital Twin die resultierende Schichtdickenverteilung auf einer durch das Beschichtungskompartment fah renden Linse. Zur Ermittlung der Blendenform wird ein Fitalgorithmus ver wendet, bei dem sowohl von den Koordinatenpunkten {xk, yk} als auch von den Kreisradien {rk} einige der Variablen freigegeben sind und variiert werden, bis das gerechnete Schichtdickenprofil möglichst genau der Zielfunktion ent spricht.
Bei einer konvexen Linse soll die Schichtdicke zum Rand hin ansteigen, dies führt dann zu einer charakteristischen Blendenform, bei der eine lokal zacken förmige Verdickung der Blende auf das Zentrum der vorbeirotierenden Linse trifft.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder ge formten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern enthaltend a) eine Vakuumkammer,
b) mindestens eine Magnetronquelle (2, 3, 4) mit mindestens einer Magnetron-Elektrode (5, 6, 7) als Beschichtungsquelle, c) einen Drehteller (10) mit mindestens einer Substrathalterung (9), wobei der Drehteller (10) eine erste rotatorische Bewegung des Substrats (18) und die mindestens eine Substrathalterung (9) eine zweite rotatorische Bewegung ermöglicht,
d) mindestens ein mit der mindestens einen Substrathalterung (9) ge koppelter steuerbarer Motor (20), der die zweite rotatorische Be wegung des Substrats bewirkt sowie
e) eine Gradientenblende (31) mit
• einem ersten Bereich (34), der eine Geometrie zur inhomoge nen Beschichtung des Substrats aufweist, wobei die
Gradientenblende im Profil mindestens eine lokale Erhöhung oder mindestens eine lokale Vertiefung aufweist, wobei über die Steigung an der Flanke der Erhöhung oder Vertiefung der Schichtdickengradient auf dem Substrat einstellbar ist, und
• einem zweiten Bereich (35) mit einer Geometrie, die eine ho mogene Beschichtung eines Referenzsubstrats bewirkt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die Gradientenblende (21) für die Be schichtung konvex geformter Substrate im Profil mindestens eine loka- le Erhöhung aufweist und über die Steigung an der Flanke der Erhö hung der Schichtdickengradient auf dem Substrat einstellbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass die Gradientenblende (21) für die Be schichtung konkav geformter Substrate im Profil mindestens eine loka le Vertiefung aufweist und über die Steigung an der Flanke der Vertie fung der Schichtdickengradient auf dem Substrat einstellbar ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Gradientenblende (31) mehrere Be reiche (34, 35) mit unterschiedlicher Geometrie aufweist, die eine Be schichtung des Substrats mit unterschiedlichen Gradienten ermöglicht.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der steuerbare Motor (19), bevorzugt ein Schrittmotor, DC-Motor oder Synchronmotor mit Positionsdetekti on, an der Substrathalterung reversibel oder irreversibel fixiert ist, wo bei der steuerbare Motor innerhalb oder außerhalb der Vakuumkam mer angeordnet sein kann.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtungsquelle eine lineare, ringförmige oder rohrförmige Magnetronquelle ist, insbesondere als Einzel- oder Doppel-Magnetronquelle.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (18) aus einem Glas, insbe sondere ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Quarz,
Borosilikatglas, Schwefelhexafluorid (SF6) oder Kombinationen hiervon, oder einem Kunststoff, insbesondere ausgewählt aus der Gruppe be- stehend aus Polyallyldiglycolcarbonat (PADC bzw. CR39), Polycarbonat, PMMA oder Kombinationen hiervon, besteht oder im wesentlichen enthält.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (18) eine optische Kompo nente ist, insbesondere ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Lin sen, Asphären oder Freiform-Optiken, wobei die optische Komponente bevorzugt einen Durchmesser von 5 mm bis 100 mm, besonders be vorzugt 20 mm bis 200 mm aufweist.
9. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch,
dadurch gekennzeichnet, dass die Linse plan, konvex oder konkav ist, wobei die Krümmungsradien der Linse bevorzugt im Bereich von 5 mm bis 100 m, besonders bevorzugt von 10 mm bis 1 m liegt.
10. Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit planaren oder geform ten Oberflächen, insbesondere ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Linsen, Asphären oder Freiform-Optiken, mittels Magnetron- Sputtern, bei dem a) in einer Vakuumkammer mindestens ein Substrat (18) in einer zugehörigen Substrathalterung (9) auf einem Drehteller (10) angeordnet wird, wobei der Drehteller (10) eine erste rotatorische Bewegung des Substrats (18) und die mindestens eine Substrathalterung (9) eine zweite rotatorische Bewegung ermöglicht, wobei die zweite rotatorische Bewegung über ei nen mit der Substrathalterung (9) gekoppelten steuerbaren Motor (20) erfolgt, b) in einem Beschichtungszyklus mit mindestens einer Magnetronquelle (2, 3, 4) mit mindestens einer Magnetron- Elektrode (5, 6, 7) mindestens eine Schicht auf dem mindestens einen Substrat (18) abgeschieden wird, wobei die Schichten aus Quellmaterial der Magnetron-Elektroden mit Sputtergas und ggf. Reaktivgas gebildet werden, wobei eine Gradientenblende mit
• einem ersten Bereich (34), der eine Geometrie zur inhomo genen Beschichtung des Substrats aufweist, wobei die Gradientenblende im Profil mindestens eine lokale Erhö hung oder mindestens eine lokale Vertiefung aufweist, wo bei über die Steigung an der Flanke der Erhöhung oder Ver tiefung der Schichtdickengradient auf dem Substrat ein stellbar ist, und
• einem zweiten Bereich (35) mit einer Geometrie, die eine homogene Beschichtung eines Referenzsubstrats bewirkt. verwendet wird, und c) , die erste rotatorische Bewegung mit der zweiten
rotatorischen Bewegung so abgestimmt wird, dass die zweite rotatorische Bewegung nur außerhalb des Beschichtungszyklus erfolgt.
11. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, dass die erste rotatorische Bewegung mit ei ner Geschwindigkeit von 30 bis 300 rpm, bevorzugt von 50 bis 270 rpm und besonders bevorzugt von 70 bis 250 rpm erfolgt.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11,
dadurch gekennzeichnet, dass die abgeschiedene Schichtdicke pro Schicht im Bereich von 1 bis 1000 nm, bevorzugt 3 bis 500 nm und die Zahl der Schichten bevorzugt im Bereich von 1 bis 1000, besonders be vorzugt von 4 bis 100 liegt liegt.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, dass für jede abgeschiedene Schicht eine kontinuierliche erste rotatorische Bewegung mit einer Geschwindigkeit von 10 bis 300 rpm, bevorzugt 50 bis 270 rpm und besonders bevor zugt von 70 bis 250 rpm und eine schrittweisezweite rotatorische Be wegung mit n Schritten und einer Bewegung um einen Winkel von 360°/n, wobei n = 3, 6, 9, 12 erfolgt.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, dass die Gradientenblende (31) für die Be schichtung konvex geformter Substrate im Profil mindestens eine loka le Erhöhung aufweist und über die Steigung an der Flanke der Erhö hung der Schichtdickengradient auf dem Substrat eingestellt wird.
15. Vorrichtung nach Anspruch 10 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, dass die Gradientenblende (31) für die Be schichtung konkav geformter Substrate im Profil mindestens eine loka le Vertiefung aufweist und über die Steigung an der Flanke der Vertie fung der Schichtdickengradient auf dem Substrat eingestellt wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, dass die Form der Gradientenblende (31) über die lokale Verteilung der Beschichtungsrate erfasst wird, wobei die Beschichtungsrate über die Form der Linse in Abhängigkeit von der Blendenform ermittelt wird.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, bei dem eine Vorrich tung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 eingesetzt wird.
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