EP3391109A1 - Optische phasengesteuerte anordnung und lidar system - Google Patents

Optische phasengesteuerte anordnung und lidar system

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Publication number
EP3391109A1
EP3391109A1 EP16788080.6A EP16788080A EP3391109A1 EP 3391109 A1 EP3391109 A1 EP 3391109A1 EP 16788080 A EP16788080 A EP 16788080A EP 3391109 A1 EP3391109 A1 EP 3391109A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
waveguide
waveguides
dimensioning
phased array
arrangement
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP16788080.6A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jan Niklas CASPERS
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP3391109A1 publication Critical patent/EP3391109A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/42—Simultaneous measurement of distance and other co-ordinates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning

Definitions

  • the invention relates to an optical phased array and a LiDAR system comprising an optical phased array.
  • Hybrid 3D Photonic Integrated Circuit for Optical Phased Array Beam Steering (Guan et al., CLEO: 2015) achieves a maximum deflection angle of ⁇ 2.47 ° in the vertical and horizontal directions.
  • One way to further increase the maximum deflection angle is to further develop methods for making the waveguides to allow for an increase in the refractive index contrast of the waveguides.
  • “Large-scale nanophotonics phased array” (Sun et al., Nature 493, 195 (2013)) describes the construction of a two-dimensional OPA in which a large number of vertical emitters are arranged in a matrix (array) In this case, grating couplers supplied with light via waveguides The distance between the emitters determines how much a beam can be deflected By controlling the phase of the light at each emitter and interfering with the light in the far field, any pattern can be generated or create and move a narrow focus in a wide angle range.
  • the invention is based on an optical phased array and a LiDAR system according to the preamble of the independent claims.
  • integrated optics is a way to guide and process light in very compact planar waveguides.
  • OPAs optical phased arrays
  • OPA optical power detection and ranging
  • a describes the deflection angle, ⁇ the wavelength and ⁇ the distance of adjacent emitters in a plane.
  • the wavelength is usually determined by the material system or detector properties used.
  • a change in the deflection angle is via a setting of a distance of the
  • Waveguide possible.
  • the distance between the waveguides is limited downwards. Because field distributions of adjacent waveguides overlap depending on the distance of the waveguide and thus there is a coupling of the waveguide. This coupling prevents interference from those guided by the waveguides
  • An advantage of the invention with the features of the independent claim is that the waveguides of the OPA can be arranged very compactly, without resulting in a significant coupling of the waveguides. Consequently allow the interference in the far field and an increase in the deflection angle.
  • an optical phased array comprising a waveguide array characterized by having a first waveguide having a first dimension and a second waveguide having a second dimension.
  • the first dimensioning differs from the second dimensioning.
  • Waveguides are chosen such that the coupling of light of at least one predetermined wavelength of the first waveguide is attenuated in the second waveguide.
  • a maximum coupling power between the first waveguide and the second waveguide can thus advantageously be reduced to less than -20 dB. This allows interference in the far field while simultaneously achieving large deflection angles. Because the distance between adjacent waveguides can be selected by suitable choice
  • the waveguides of the waveguide arrangement can be arranged side by side in a one-dimensional matrix. This results in a very compact flat structure.
  • the waveguides are the
  • Waveguide arrangement arranged in a two-dimensional matrix.
  • a deflection in two directions is advantageously possible.
  • Waveguide arrangement different widths.
  • One advantage is that the different widths in the production very easy by adjusting a Mask for producing the waveguide of the waveguide arrangement can be realized.
  • the waveguides of the waveguide arrangement can thus be arranged very compact.
  • the waveguide arrangement comprises at least two waveguides which have different heights.
  • This approach has the advantage that the optical modes of the waveguides of the waveguide arrangement can additionally be localized more strongly in the waveguides and thus the waveguides can be placed even more compactly, or couple less together.
  • a difference in the mode properties of the waveguides of the waveguide arrangement can be additionally increased again. This is particularly important in order to reduce or eliminate the coupling to the not directly adjacent, but more distant waveguides of the waveguide array.
  • the waveguide arrangement comprises at least two waveguides, which are characterized in that they have different
  • the waveguide arrangement comprises at least two waveguides, which are characterized in that they are made of different materials. Care must be taken here, in particular, that the waveguides have different refractive indices in order to achieve the
  • thermo-optic or electro-optical properties of the materials of the waveguides are exploited because these properties of the beam can be deflected by changing the total temperature and not only by changing a local temperature at individual
  • Waveguides of the waveguide arrangement are waveguides of the waveguide arrangement.
  • OPA beam deflection devices by means of OPA according to the invention.
  • the OPA comes in contrast to conventional beam deflecting devices, which include, for example, mechanical mirrors, without moving parts. Therefore, the
  • an OPA according to the invention on a greater robustness to mechanical shocks.
  • an OPA according to the invention allows a very compact implementation and it can be cheaper than conventional
  • One possible application is, for example, the use of OPAs in a LiDAR system, which uses light to measure an object shape and a distance of an object.
  • the embodiments of the OPA described above are suitable for use in a LiDAR system because of the improved deflection angle.
  • the LiDAR system having a beam deflection device is characterized in that the beam deflection device comprises an OPA according to one of the embodiments described above.
  • OPAs according to the invention can be used in the area of pico projectors or head-up displays, with the aforementioned advantages also leading to an improvement over devices without OPA.
  • Show it 1 shows a cross-section of a waveguide arrangement according to the invention of an OPA, wherein the waveguides are arranged as a two-dimensional matrix and wherein the waveguides have at least partially different widths,
  • FIG. 2 shows a three-dimensional section of an OPA showing a waveguide arrangement according to the invention
  • FIG. 3 shows a three-dimensional view of a waveguide arrangement according to the invention
  • Waveguide arrangement with differently deflected light beams and
  • Fig. 4 shows a block diagram of a LiDAR system with a
  • OPA as a beam deflecting device.
  • Sizing of a waveguide includes both the description of a material from which the waveguide is made, and the dimensions and cross-sectional area of the waveguide. Optical fashion characteristics of a
  • Waveguides comprise both phase information of a radiation transported by the waveguide and a distribution of the electric and magnetic field in the region of the waveguide. In general, this distribution is called the optical mode profile.
  • a distance between two waveguides is from a first waveguide center of a first waveguide
  • Waveguide 2a to a second waveguide center of a second
  • Waveguide 2b measured.
  • a waveguide center is the center of the circle and, in the case of a rectangular cross-sectional area, the center of the rectangle.
  • An inventive optical phased array 1 comprises a waveguide assembly 2.
  • Fig. 1 is a cross section of a
  • Waveguide assembly 2 of an OPA 1 according to the invention shown.
  • the waveguide assembly 2 comprises a first waveguide 2a, a second waveguide 2b, and a third waveguide 2c.
  • a width of the waveguide 2a, 2b, 2c is described by its extension parallel to the x-axis.
  • a height of the waveguide 2a, 2b, 2c is defined by its extension in the y-direction.
  • the first waveguide 2a, the second waveguide 2b and the third waveguide 2c differ in their width in this embodiment. That is, a first width of the first waveguide 2a is unequal to a second one
  • Width of the second waveguide 2b and the second width is unequal to a third width 2c of the third waveguide 2c.
  • the first width and the third width also do not match in this embodiment.
  • the cross-section of the waveguide assembly 2 shows a two-dimensional array of waveguides 2a, 2b, 2c. In this embodiment describes the
  • Waveguide array 2 a 5 x 5 matrix that is, the waveguides 2a, 2b, 2c are arranged in five rows and five columns.
  • Geometry of the waveguides 2a, 2b, 2c By choosing the geometry of the waveguides 2a, 2b, 2c, the waveguides 2a, 2b, 2c can be modified so that they have a low coupling with each other. By means of a geometry-adjustable phase difference between the waveguides 2a, 2b, 2c, the maximum coupling power can be reduced to -20 dB to -30 dB and less. For such coupling powers is an interference of the radiation transported by the waveguides 2a, 2b, 2c in the far field and thus a
  • Two-dimensional matrix are arranged, a beam deflection in two directions, in the x and y direction, possible. Due to the different geometries of the waveguides 2a, 2b, 2c, the waveguides 2a, 2b, 2c can thus be arranged more densely than in the case where the geometries of all waveguides 2a,
  • a minimum distance is defined by the distance between two adjacent waveguides 2a, 2b, 2c, in which an interference of the radiation transported by the waveguides 2a, 2b, 2c in the far field is just possible.
  • the waveguides 2a, 2b, 2c in Fig. 1 can be arranged very compact due to their geometry.
  • Waveguide assembly 2 each have a height of 220 nm.
  • the first width of the first waveguide 2a is 300 nm
  • the second width of the second waveguide 2b is 450 nm
  • the third width of the third waveguide 2c is 600 nm
  • Waveguides 2a, 2b, 2c are silicon nitride (SiN) waveguides in S1O2 in this exemplary embodiment.
  • This waveguide assembly 2 can be used for a LiDAR system 101 operating at a wavelength of 905 nm.
  • the waveguide assembly 2 comprises a first waveguide 2a having a first width and a second waveguide 2a
  • Waveguide 2b with a second width is the same width as Waveguide 2b.
  • the waveguides 2a, 2b, 2c of FIG. 1 are made in SiN.
  • the waveguides 2a, 2b, 2c all have a rectangular
  • the height of the waveguides is 220 nm.
  • the first waveguide 2a has a width of 300 nm
  • the second waveguide 2b has a width of 450 nm
  • the third waveguide has a width of 600 nm.
  • the minimum distance between adjacent waveguides 2a, 2b, 2c is 1 ⁇ . If the waveguides 2a, 2b, 2c all had a width of 450 nm, then the minimum distance between two adjacent waveguides 2a, 2b, 2c, in which the maximum coupling strength is sufficiently small, so that interference in the far field is still possible, at 3 ⁇ .
  • a maximum deflection angle of ⁇ 8.5 ° would thus be possible, while in the exemplary embodiment shown in FIG. 1 with the aforementioned different widths of the waveguides 2a, 2b, 2c a maximum deflection angle of ⁇ 27 ° is reached.
  • the at least partially different widths of the waveguides 2a, 2b, 2c can in
  • Manufacturing process can be realized by appropriate changes of the mask.
  • the heights of the waveguides 2 a, 2 b, 2 c may be selected at least partially differently.
  • the cross-sectional area of the waveguides 2a, 2b, 2c can also be selected at least partially differently. For example
  • the waveguides 2 a, 2 b, 2 c of the waveguide arrangement 2 may have at least partially different cross-sectional areas.
  • everyone Difference in the dimensioning of adjacent waveguides 2a, 2b, 2c leads to a change in the maximum coupling power.
  • Coupling at least one wavelength of the radiation transported in the first waveguide 2a into the adjacent second waveguide 2b is reduced or prevented by different dimensioning of the first waveguide 2a and of the second waveguide 2b.
  • the choice of material for the waveguide is not limited to SiN.
  • waveguides 2a, 2b, 2c of the waveguide arrangement 2 in silicon (Si), silicon oxynitride (SiON), aluminum nitride (AIN), silicon dioxide (S1O2), germanium (Ge), organic materials, and III-V semiconductors.
  • Fig. 2 is a three-dimensional view of the waveguide assembly 2 of Fig. 1 is shown.
  • FIG. 3 shows a section 20 of the two-dimensional matrix from FIG. 1, in which the waveguides 2 a, 2 b, 2 c are arranged. There are three beams 3a, 3b, 3c sketched, due to the at least partially different optical properties of the first
  • Waveguide 2a, the second waveguide 2b and the third waveguide 2c are deflected different degrees.
  • the different distraction is achieved by being at least partially different but specific
  • Phase profiles are impressed on the light in the waveguide.
  • the phase of the light in each waveguide 2a, 2b, 2c can be adjusted. This is done for example by heaters in each waveguide 2a, 2b, 2c, but also by differences in transit time or by means of any optical phase shifter.
  • the beam is not deflected while the maximum deflection angle is achieved when there is a maximum phase difference of ⁇ between adjacent waveguides 2a, 2b, 2c.
  • FIG. 4 shows a block diagram of a LiDAR system 101.
  • a LiDAR system 101 includes a beam deflector 102. The
  • Beam deflector 102 is adapted to the beam deflector 102 impinging radiation at an adjustable deflection angle
  • the beam deflector 102 includes in this
  • Embodiment of an inventive OPA 1 Radiation emitted by a radiation source 103, applies to the OPA 1, as
  • Beam deflection device 102 is used.
  • a laser is used in this embodiment. It can generally be both a polychromatic and a monochromatic
  • Radiation source 103 can be used.
  • the OPA 1 deflects the radiation so that it is directed to an object 104 to be examined.
  • the radiation is at least partially scattered back by the object 104 and by a
  • Detection unit 105 detected.
  • a distance to the object 104, its composition and shape can be determined.
  • An OPA 1 according to the invention can furthermore be used as a beam deflecting device 102 of more complex LiDAR systems 101, which, for example, allow an investigation of substance concentrations present in the object 104 to be examined.
  • an OPA 1 according to the invention can be used in particular in areas where robust, compact beam deflecting devices 102 are required, which allow large deflection angles.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine optische phasengesteuerte Anordnung, umfassend eine Wellenleiteranordnung (2), dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenleiteranordnung (2) einen ersten Wellenleiter (2a) mit einer ersten Dimensionierung und einen zweiten Wellenleiter (2b) mit einer zweiten Dimensionierung aufweist, wobei die erste Dimensionierung des ersten Wellenleiters (2a) ungleich der zweiten Dimensionierung des zweiten Wellenleiters (2b) ist und wobei die erste Dimensionierung des ersten Wellenleiters (2a) und die zweite Dimensionierung des zweiten Wellenleiters (2b) derart gewählt sind, dass ein Einkoppeln von Licht wenigstens einer vorgegebenen Wellenlänge des ersten Wellenleiters (2a) in den zweiten Wellenleiters (2b) gedämpft wird.

Description

Beschreibung
Titel
Optische phasengesteuerte Anordnung und LiDAR System
Die Erfindung betrifft eine optische phasengesteuerte Anordnung und ein LiDAR System, welches eine optische phasengesteuerte Anordnung umfasst.
Stand der Technik
In„Hybrid 3D Photonic Integrated Circuit for Optical Phased Array Beam
Steering"(Guan et al., CLEO:2015) wird eine optische phasengesteuerte Anordnung (OPA) basierend auf einer photonischen integrierten Schaltung und 3D Wellenleitern beschrieben. Ziel ist es ohne Verstellen der Wellenlänge maximale Ablenkwinkel bei möglichst geringen Verlusten zu erzeugen. Die in„Hybrid 3D Photonic Integrated Circuit for Optical Phased Array Beam Steering"(Guan et al., CLEO:2015) beschriebene OPA erreicht in vertikaler und horizontaler Richtung jeweils einen maximalen Ablenkwinkel von ±2,47°. Eine Möglichkeit für eine weitere Vergrößerung des maximalen Ablenkwinkels wird darin gesehen, Methoden zur Herstellung der Wellenleiter weiterzuentwickeln, um eine Erhöhung des Brechzahlkontrasts der Wellenleiter zu ermöglichen.
In„Large-scale nanophotonics phased array" (Sun et al., Nature 493, 195 (2013)) ist der Aufbau einer zweidimensionalen OPA beschrieben. Hierbei ist eine große Anzahl vertikaler Emitter in einer Matrix (Array) angeordnet. Die Emitter sind in diesem Fall Gitterkoppler, die über Wellenleiter mit Licht versorgt werden. Der Abstand zwischen den Emittern bestimmt, wie stark ein Strahl abgelenkt werden kann. Durch Kontrolle der Phase des Lichts an jedem Emitter und Interferenz des Lichts im Fernfeld kann ein beliebiges Muster erzeugt werden bzw. ein enger Fokus in einem großen Winkelbereich erzeugt und bewegt werden. Kern und Vorteile der Erfindung
Die Erfindung geht von einer optischen phasengesteuerten Anordnung und einem LiDAR System nach der Gattung der unabhängigen Patentansprüche aus.
Im Bereich der Mikrosystemtechnik sind aktuell miniaturisierte optische Systeme Gegenstand von zahlreichen Untersuchungen. Im Speziellen stellt die
sogenannte integrierte Optik eine Möglichkeit dar, Licht in sehr kompakten planaren Wellenleitern zu führen und zu verarbeiten. Die physikalische
Grundlage für die Führung von Licht ist hierbei analog zu der von heutigen Glasfaserkabeln.
Eine wichtige Größe im Zusammenhang mit optischen phasengesteuerten Anordnungen (OPAs) ist der maximale Ablenkwinkel. Die aus dem Stand der
Technik bekannten OPAs ermöglichen Ablenkungen im Bereich von ±5° bis etwa ±15°. Für den Einsatz in einem LiDAR System (LiDAR = Light detection and ranging), werden OPAs mit deutlich größeren Ablenkwinkeln benötigt. Anhand der Gittergleichung kann der Ablenkwinkel abgeschätzt werden.
λ
sin a =—
od
Dabei beschreibt a den Ablenkwinkel, λ die Wellenlänge und δά den Abstand benachbarter Emitter in einer Ebene. Die Wellenlänge ist üblicherweise durch das verwendete Materialsystem bzw. Detektoreigenschaften bestimmt. Eine Veränderung des Ablenkwinkels ist über eine Einstellung eines Abstands der
Wellenleiter möglich. Dabei ist der Abstand der Wellenleiter nach unten begrenzt. Denn Feldverteilungen benachbarter Wellenleiter überlappen je nach Abstand der Wellenleiter und es kommt somit zu einer Kopplung der Wellenleiter. Diese Kopplung verhindert eine Interferenz der von den Wellenleitern geführten
Strahlungen im Fernfeld.
Ein Vorteil der Erfindung mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs ist, dass die Wellenleiter der OPA sehr kompakt angeordnet werden können, ohne dass es zu einer signifikanten Kopplung der Wellenleiter kommt. Somit werden die Interferenz im Fernfeld und eine Vergrößerung des Ablenkwinkels ermöglicht.
Dies wird erreicht mit einer optischen phasengesteuerten Anordnung, umfassend eine Wellenleiteranordnung, die sich dadurch auszeichnet, dass sie einen ersten Wellenleiter mit einer ersten Dimensionierung und einen zweiten Wellenleiter mit einer zweiten Dimensionierung aufweist. Dabei unterscheidet sich die erste Dimensionierung von der zweiten Dimensionierung. Die erste Dimensionierung des ersten Wellenleiters und die zweite Dimensionierung des zweiten
Wellenleiters sind derart gewählt, dass das Einkoppeln von Licht wenigstens einer vorgegebenen Wellenlänge des ersten Wellenleiters in den zweiten Wellenleiters gedämpft wird. Eine maximale Kopplungsleistung zwischen dem ersten Wellenleiter und dem zweiten Wellenleiter kann somit vorteilhafterweise auf weniger als -20 dB reduziert werden. Dadurch wird eine Interferenz im Fernfeld bei gleichzeitiger Realisierung großer Ablenkwinkel ermöglicht. Denn der Abstand benachbarter Wellenleiter kann durch geeignete Wahl der
Dimensionierung signifikant verringert werden. Beispielsweise führen
verschiedene Breiten benachbarter Wellenleiter zu jeweils verschiedenen optischen Eigenschaften, wodurch das Einkoppeln von Licht von einem in den anderen Wellenleiter verringert bzw. unterdrückt wird. Somit kann ein kleinerer Abstand zwischen den benachbarten Wellenleitern realisiert werden ohne die Interferenz im Fernfeld zu verhindern. Dies ermöglicht eine Realisierung größerer maximaler Ablenkwinkel.
Genügt eine Ablenkung in einer Dimension, so können die Wellenleiter der Wellenleiteranordnung in einer Ausführungsform nebeneinander in einer eindimensionalen Matrix angeordnet werden. Dadurch ergibt sich ein sehr kompakter flacher Aufbau.
In einer weiteren Ausführungsform sind die Wellenleiter der
Wellenleiteranordnung in einer zweidimensionalen Matrix angeordnet. Somit ist vorteilhafterweise eine Ablenkung in zwei Richtungen möglich.
Gemäß einer Ausführungsform weisen wenigstens zwei Wellenleiter der
Wellenleiteranordnung unterschiedliche Breiten auf. Ein Vorteil ist, dass die unterschiedlichen Breiten bei der Herstellung sehr einfach durch Anpassen einer Maske zur Herstellung der Wellenleiter der Wellenleiteranordnung realisiert werden können. Zudem können die Wellenleiter der Wellenleiteranordnung somit sehr kompakt angeordnet werden.
Alternativ oder ergänzend umfasst die Wellenleiteranordnung mindestens zwei Wellenleiter, die unterschiedliche Höhen aufweisen. Dieser Ansatz hat den Vorteil, dass die optischen Moden der Wellenleiter der Wellenleiteranordnung zusätzlich stärker in den Wellenleitern lokalisiert werden können und somit die Wellenleiter noch kompakter platziert werden können, bzw. weniger miteinander koppeln. Zusätzlich kann bei einer Kombination von Breitenunterschieden und Höhenunterschieden ein Unterschied der Modeneigenschaften der Wellenleiter der Wellenleiteranordnung nochmal zusätzlich vergrößert werden. Dies ist insbesondere wichtig, um auch die Kopplung zu den nicht direkt benachbarten, sondern weiter entfernten Wellenleitern der Wellenleiteranordnung zu reduzieren bzw. zu unterbinden.
Alternativ oder ergänzend umfasst die Wellenleiteranordnung mindestens zwei Wellenleiter, die sich dadurch auszeichnen, dass sie unterschiedliche
Querschnittsflächen aufweisen. Dies kann zusätzlich die Unterschiede zwischen der optischen Modeneigenschaften der Wellenleiter der Wellenleiteranordnung erhöhen und die Kopplung zwischen diesen weiter unterbinden.
Alternativ oder ergänzend umfasst die Wellenleiteranordnung mindestens zwei Wellenleiter, die sich dadurch auszeichnen, dass sie aus unterschiedlichen Materialien ausgeführt sein. Hierbei ist insbesondere darauf zu achten, dass die Wellenleiter unterschiedliche Brechungsindizes aufweisen, um die
Modeneigenschaften deutlich zu differenzieren. Zusätzlich können
unterschiedliche thermooptische oder elektrooptische Eigenschaften der Materialien der Wellenleiter ausgenutzt werden, da mithilfe dieser Eigenschaften der Strahl durch Veränderung der Gesamttemperatur abgelenkt werden kann und nicht nur durch Änderung einer lokalen Temperatur an einzelnen
Wellenleitern der Wellenleiteranordnung.
Eine interessante Anwendung ist die Realisierung von Strahlablenkvorrichtungen mittels erfindungsgemäßer OPA. Die OPA kommt im Gegensatz zu herkömmlichen Strahlablenkvorrichtungen, die beispielsweise mechanische Spiegel umfassen, ohne bewegliche Teile aus. Daher weist die
erfindungsgemäße OPA eine größere Robustheit gegenüber mechanischen Stößen auf. Zudem ermöglicht eine erfindungsgemäße OPA eine sehr kompakte Realisierung und sie lässt sich kostengünstiger als herkömmliche
Strahlablenkvorrichtungen herstellen. Ein mögliches Anwendungsgebiet ist beispielsweise die Verwendung von OPAs in einem LiDAR System, welches mittels Licht eine Objektform und eine Entfernung eines Objekts misst.
Die zuvor beschriebenen Ausführungsformen der OPA eignen sich aufgrund des verbesserten Ablenkwinkels zur Verwendung in einem LiDAR System. Das LiDAR System, das eine Strahlablenkvorrichtung aufweist, zeichnet sich dadurch aus, dass die Strahlablenkvorrichtung eine OPA entsprechend einer der oben beschriebenen Ausführungsformen umfasst. Ein Vorteil ist, dass durch den kompakten und robusten Aufbau der erfindungsgemäßen OPA bei gleichzeitig vergrößertem Ablenkwinkel, das LiDAR System kostengünstiger, robuster und kompakter als bekannte LiDAR Systeme realisiert werden kann. Dadurch ergibt sich ein weiteres Feld möglicher Einsatzgebiete des LiDAR Systems.
Herkömmliche LiDAR Systeme weisen häufig zusätzliche Optiken hinter der Strahlablenkvorrichtung auf, um die gewünschten Ablenkwinkel zu erreichen. Diese zusätzlichen Optiken werden mit dem neuen Ansatz obsolet. Somit wird eine mechanisch stabile und kompakte Anordnung ermöglicht.
Des Weiteren können erfindungsgemäße OPAs im Bereich Pico-Projektoren oder Head-Up Displays verwendet werden, wobei die zuvor genannten Vorteile auch hier zu einer Verbesserung gegenüber Vorrichtungen ohne OPA führen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Gleiche
Bezugszeichen in den Figuren bezeichnen gleiche oder gleichwirkende
Elemente.
Es zeigen Fig. 1 zeigt einen Querschnitt einer erfindungsgemäßen Wellenleiteranordnung einer OPA, wobei die Wellenleiter als zweidimensionale Matrix angeordnet sind und wobei die Wellenleiter zumindest teilweise unterschiedliche Breiten aufweisen,
Fig. 2 zeigt einen dreidimensionalen Ausschnitt einer OPA, der eine erfindungsgemäße Wellenleiteranordnung zeigt, Fig. 3 zeigt eine dreidimensionale Ansicht einer erfindungsgemäßen
Wellenleiteranordnung mit unterschiedlich stark abgelenkten Lichtstrahlen und
Fig. 4 zeigt ein Blockschaltbild eines LiDAR Systems mit einem
erfindungsgemäßen OPA als Strahlablenkvorrichtung.
Ausführungsformen der Erfindung
Eine Dimensionierung eines Wellenleiters umfasst sowohl die Beschreibung eines Materials aus dem der Wellenleiter gefertigt ist, als auch Abmessungen und Querschnittsfläche des Wellenleiters. Optische Modeneigenschaften eines
Wellenleiters umfassen sowohl ein Phaseninformation einer vom Wellenleiter transportierten Strahlung als auch eine Verteilung des elektrischen und magnetischen Feldes im Bereich des Wellenleiters. Im Allgemeinen wird diese Verteilung als optisches Modenprofil bezeichnet. Ein Abstand zwischen zwei Wellenleiter wird von einem ersten Wellenleiterzentrum eines ersten
Wellenleiters 2a zu einem zweiten Wellenleiterzentrum eines zweiten
Wellenleiters 2b gemessen. Ein Wellenleiterzentrum ist beispielsweise im Fall einer runden Querschnittsfläche der Kreismittelpunkt und im Fall einer rechteckigen Querschnittsfläche der Mittelpunkt des Rechtecks.
Eine erfindungsgemäße optische phasengesteuerte Anordnung 1 umfasst eine Wellenleiteranordnung 2. In Fig. 1 ist ein Querschnitt einer
Wellenleiteranordnung 2 einer erfindungsgemäßen OPA 1 dargestellt. Die Wellenleiteranordnung 2 umfasst einen ersten Wellenleiter 2a, einen zweiten Wellenleiter 2b und einen dritten Wellenleiter 2c. Eine Breite des Wellenleiters 2a, 2b, 2c wird durch seine Ausdehnung parallel zur x-Achse beschrieben. Eine Höhe des Wellenleiters 2a, 2b, 2c ist durch seine Ausdehnung in y-Richtung definiert. Der erste Wellenleiter 2a, der zweite Wellenleiter 2b und der dritten Wellenleiter 2c unterscheiden sich in diesem Ausführungsbeispiel in ihrer Breite. Das heißt eine erste Breite des ersten Wellenleiters 2a ist ungleich einer zweiten
Breite des zweiten Wellenleiters 2b und die zweite Breite ist ungleich einer dritten Breite 2c des dritten Wellenleiters 2c. Die erste Breite und die dritte Breite stimmen in diesem Ausführungsbeispiel ebenfalls nicht überein. Der Querschnitt der Wellenleiteranordnung 2 zeigt eine zweidimensionale Anordnung von Wellenleitern 2a, 2b, 2c. In diesem Ausführungsbeispiel beschreibt die
Wellenleiteranordnung 2 eine 5 x 5 Matrix, das heißt die Wellenleiter 2a, 2b, 2c sind in fünf Zeilen und fünf Spalten angeordnet. Die optischen
Modeneigenschaften von Wellenleitern hängen unter anderem von der
Geometrie der Wellenleiter 2a, 2b, 2c ab. Mithilfe der Wahl der Geometrie der Wellenleiter 2a, 2b, 2c können die Wellenleiter 2a, 2b, 2c so modifiziert werden, dass sie eine geringe Kopplung untereinander aufweisen. Mittels eines über die Geometrie einstellbaren Phasenunterschieds zwischen den Wellenleitern 2a, 2b, 2c, kann die maximale Kopplungsleistung auf -20 dB bis -30 dB und weniger reduziert werden. Für solche Kopplungsleistungen ist eine Interferenz der von den Wellenleitern 2a, 2b, 2c transportierten Strahlung im Fernfeld und somit eine
Strahlablenkung möglich. Da die Wellenleiter 2a, 2b, 2c in einer
zweidimensionalen Matrix angeordnet sind, ist eine Strahlablenkung in zwei Richtungen, in x- und in y- Richtung, möglich. Aufgrund der verschiedenen Geometrien der Wellenleiter 2a, 2b, 2c können die Wellenleiter 2a, 2b, 2c somit dichter angeordnet werden als im Fall, dass die Geometrien aller Wellenleiter 2a,
2b, 2c übereinstimmen. Ein minimaler Abstand ist dabei durch den Abstand zweier benachbarter Wellenleiter 2a, 2b, 2c definiert, bei dem eine Interferenz der von den Wellenleitern 2a, 2b, 2c transportierten Strahlung im Fernfeld gerade noch möglich ist. Die Wellenleiter 2a, 2b, 2c in Fig. 1 lassen sich aufgrund ihrer Geometrie sehr kompakt anordnen.
In einer möglichen Realisierung weisen die Wellenleiter 2a, 2b, 2c der
Wellenleiteranordnung 2 jeweils eine Höhe von 220 nm auf. Die erste Breite des ersten Wellenleiters 2a ist 300 nm, die zweite Breite des zweiten Wellenleiters 2b ist 450 nm und die dritte Breite des dritten Wellenleiters 2c ist 600 nm. Die Wellenleiter 2a, 2b, 2c sind in diesem Ausführungsbeispiel Siliziumnitrid (SiN) Wellenleiter in S1O2. Diese Wellenleiteranordnung 2 kann für ein LiDAR System 101 verwendet werden, welches bei einer Wellenlänge von 905 nm operiert. In einem weiteren Ausführungsbeispiel umfasst die Wellenleiteranordnung 2 einen ersten Wellenleiter 2a mit einer ersten Breite und einen zweiten
Wellenleiter 2b mit einer zweiten Breite.
In einem Ausführungsbeispiel werden die Wellenleiter 2a, 2b, 2c aus Fig. 1 in SiN ausgeführt. Die Wellenleiter 2a, 2b, 2c weisen alle eine rechteckige
Querschnittsfläche auf. Die Höhe der Wellenleiter beträgt 220 nm. Der erste Wellenleiter 2a weist eine Breite von 300 nm auf, der zweite Wellenleiter 2b weist eine Breite von 450 nm auf und der dritte Wellenleiter weist eine Breite von 600 nm auf. In diesem Fall liegt der minimale Abstand benachbarter Wellenleiter 2a, 2b, 2c bei 1 μηη. Würden die Wellenleiter 2a, 2b, 2c alle eine Breite von 450 nm aufweisen, so läge der minimale Abstand zweier benachbarter Wellenleiter 2a, 2b, 2c, bei der die maximale Kopplungsstärke ausreichend klein ist, sodass eine Interferenz im Fernfeld noch möglich ist, bei 3 μηη. Im Fall gleicher Breiten der Wellenleiter 2a, 2b, 2c wäre somit ein maximaler Ablenkwinkel von ±8,5° möglich, während bei dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel mit den vorstehend genannten verschiedenen Breiten der Wellenleiter 2a, 2b, 2c ein maximaler Ablenkwinkel von ±27° erreicht wird. Die zumindest teilweise unterschiedlichen Breiten der Wellenleiter 2a, 2b, 2c können im
Herstellungsprozess durch entsprechende Änderungen der Maske realisiert werden.
In einem weiteren hier nicht gezeigten Ausführungsbeispiel sind weitere
Änderungen der Wellenleitergeometrien möglich. Alternativ oder ergänzend zu dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel können die Höhen der Wellenleiter 2a, 2b, 2c zumindest teilweise verschieden gewählt werden. Alternativ oder ergänzend kann auch die Querschnittsfläche der Wellenleiter 2a, 2b, 2c zumindest teilweise verschieden gewählt werden. Beispielsweise sind
kreisförmige, elliptische oder rechteckige Querschnittsflächen möglich. Die Wellenleiter 2a, 2b, 2c der Wellenleiteranordnung 2 können zumindest teilweise unterschiedliche Querschnittsflächen aufweisen. Im Allgemeinen gilt, dass jeder Unterschied in der Dimensionierung benachbarter Wellenleiter 2a, 2b, 2c zu einer Änderung der maximalen Kopplungsleistung führt. Ein Einkoppeln zumindest einer Wellenlänge der in dem ersten Wellenleiter 2a transportierten Strahlung in den benachbarten zweiten Wellenleiter 2b wird durch verschiedene Dimensionierung des ersten Wellenleiters 2a und des zweiten Wellenleiters 2b reduziert oder unterbunden. Gleiches gilt für ein Einkoppeln zumindest einer Wellenlänge der in dem zweiten Wellenleiter 2b transportierten Strahlung in den benachbarten ersten Wellenleiter 2a. Die Wahl des Materials für die Wellenleiters ist nicht auf SiN beschränkt. Möglich sind zum Beispiel auch Realisierungen der Wellenleiter 2a, 2b, 2c der Wellenleiteranordnung 2 in Silizium (Si), Silizium- Oxynitird (SiON), Aluminium-Nitrid (AIN), Siliziumdioxid (S1O2), Germanium (Ge), organischen Materialien, und lll-V Halbleiter.
In Fig. 2 ist eine dreidimensionale Ansicht der Wellenleiteranordnung 2 aus Fig. 1 gezeigt.
Fig. 3 zeigt einen Ausschnitt aus Fig. 1. Fig. 3 entspricht einer Zeile 20 der zweidimensionalen Matrix aus Fig. 1, in der die Wellenleiter 2a, 2b, 2c angeordnet sind. Es sind drei Strahlen 3a, 3b, 3c skizziert, die aufgrund der zumindest teilweise verschiedenen optischen Eigenschaften des ersten
Wellenleiters 2a, des zweiten Wellenleiters 2b und des dritten Wellenleiters 2c unterschiedlich stark abgelenkt werden. Die unterschiedliche Ablenkung wird erreicht, indem zumindest teilweise unterschiedliche, aber bestimmte
Phasenprofile auf das Licht in den Wellenleiter aufgeprägt werden. Wie im Stand der Technik beschrieben, kann die Phase des Lichts in jedem Wellenleiter 2a, 2b, 2c eingestellt werden. Dies erfolgt beispielsweise durch Heizer in jedem Wellenleiter 2a, 2b, 2c, aber auch durch Laufzeitunterschiede oder mit Hilfe eines beliebigen optischen Phasenschiebers. Bei gleicher Phase des Lichts in den Wellenleitern 2a, 2b, 2c wird der Strahl nicht abgelenkt, während der maximale Ablenkwinkel erreicht wird, wenn zwischen benachbarten Wellenleitern 2a, 2b, 2c ein maximaler Phasenunterschied von π besteht.
In Fig. 4 ist ein Blockschaltbild eines LiDAR Systems 101 abgebildet. Ein LiDAR System 101 umfasst eine Strahlablenkvorrichtung 102. Die
Strahlablenkvorrichtung 102 ist dazu ausgebildet, auf die Strahlablenkvorrichtung 102 auftreffende Strahlung unter einem einstellbaren Ablenkwinkel
weiterzuleiten. Die Strahlablenkvorrichtung 102 umfasst in diesem
Ausführungsbeispiel eine erfindungsgemäße OPA 1. Strahlung, die von einer Strahlungsquelle 103 emittiert wird, trifft auf die OPA 1, die als
Strahlablenkvorrichtung 102 eingesetzt wird. Als Strahlungsquelle 103 wird in diesem Ausführungsbeispiel ein Laser verwendet. Es kann im Allgemeinen sowohl eine polychromatische, als auch eine monochromatische
Strahlungsquelle 103 verwendet werden. Die OPA 1 lenkt die Strahlung derart ab, dass sie auf ein zu untersuchendes Objekt 104 gerichtet wird. Die Strahlung wird vom Objekt 104 zumindest teilweise zurückgestreut und von einer
Detektionseinheit 105 detektiert. Somit kann eine Entfernung zum Objekt 104, dessen Zusammensetzung und dessen Form bestimmt werden.
Eine erfindungsgemäße OPA 1 kann des Weiteren als Strahlablenkvorrichtung 102 komplexerer LiDAR Systeme 101 verwendet werden, die beispielsweise eine Untersuchung von Stoffkonzentrationen, die in dem zu untersuchenden Objekt 104 vorhanden sind, ermöglichen.
Im Allgemeinen kann eine erfindungsgemäße OPA 1 insbesondere in Bereichen eingesetzt werden, in denen robuste, kompakte Strahlablenkvorrichtungen 102 benötigt werden, die große Ablenkwinkel ermöglichen.

Claims

Ansprüche
1. Optische phasengesteuerte Anordnung (1), umfassend eine
Wellenleiteranordnung (2),
dadurch gekennzeichnet, dass
- die Wellenleiteranordnung (2) einen ersten Wellenleiter (2a) mit einer ersten Dimensionierung und einen zweiten Wellenleiter (2b) mit einer zweiten Dimensionierung aufweist,
wobei die erste Dimensionierung des ersten Wellenleiters (2a) ungleich der zweiten Dimensionierung des zweiten Wellenleiters (2b) ist und - wobei die erste Dimensionierung des ersten Wellenleiters (2a) und die zweite Dimensionierung des zweiten Wellenleiters (2b) derart gewählt sind, dass ein Einkoppeln von Licht wenigstens einer vorgegebenen Wellenlänge des ersten Wellenleiters (2a) in den zweiten Wellenleiters (2b) gedämpft wird.
2. Optische phasengesteuerte Anordnung (1) nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass die Wellenleiter (2a, 2b, 2c) der
Wellenleiteranordnung (2) nebeneinander in einer eindimensionalen Matrix angeordnet sind.
3. Optische phasengesteuerte Anordnung (1) nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass die Wellenleiter (2a, 2b, 2c) der
Wellenleiteranordnung (2) in einer zweidimensionalen Matrix angeordnet sind.
4. Optische phasengesteuerte Anordnung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Wellenleiter (2a, 2b, 2c) der Wellenleiteranordnung (2) unterschiedliche Breiten aufweisen.
5. Optische phasengesteuerte Anordnung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Wellenleiter (2a, 2b, 2c) der Wellenleiteranordnung (2) unterschiedliche Höhen aufweisen.
6. Optische phasengesteuerte Anordnung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Wellenleiter (2a, 2b, 2c) der Wellenleiteranordnung (2) aus unterschiedlichen Materialien ausgeführt sind.
7. Optische phasengesteuerte Anordnung (1) nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass die Wellenleiter (2a, 2b, 2c) der
Wellenleiteranordnung (2) unterschiedliche Querschnittsflächen (3a, 3b, 3c) aufweisen.
8. LiDAR System (101), umfassend eine Strahlablenkvorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlablenkvorrichtung eine optische
phasengesteuerte Anordnung (1) nach einem der vorhergehenden
Ansprüche aufweist.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11536805B2 (en) * 2018-06-25 2022-12-27 Silc Technologies, Inc. Optical switching for tuning direction of LIDAR output signals
DE102018216142A1 (de) * 2018-09-21 2020-03-26 Robert Bosch Gmbh Optische Anordnung
FR3096788B1 (fr) 2019-05-29 2021-06-11 Thales Sa Système lidar comprenant un élément diffractif interférentiel et procédé d'imagerie lidar
US11703598B2 (en) 2019-11-18 2023-07-18 Silc Technologies, Inc. Steering of LIDAR output signals
FR3105450B1 (fr) 2019-12-19 2023-08-25 Thales Sa Composant optoelectronique comprenant sur un substrat unique un transducteur optique en materiau semi-conducteur iii-v et un microsysteme electromecanique a balayage optique
FR3105439B1 (fr) 2019-12-20 2022-01-14 Thales Sa Systeme lidar comprenant deux composatns diffractifs
CN111624791A (zh) * 2020-07-02 2020-09-04 联合微电子中心有限责任公司 热光移相器、热光移相器网络及光电装置
WO2022088180A1 (zh) * 2020-11-02 2022-05-05 深圳市速腾聚创科技有限公司 一种移相器、光相控阵以及光相控阵的制备方法
CN115407577A (zh) * 2021-05-28 2022-11-29 华为技术有限公司 光学相控板、制造方法和光学相控阵系统
CN116106862B (zh) * 2023-04-10 2023-08-04 深圳市速腾聚创科技有限公司 光芯片、激光雷达、自动驾驶系统及可移动设备

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3506569A1 (de) * 1985-02-25 1986-08-28 Manfred Prof. Dr. 7900 Ulm Börner Integrierte resonatormatrix zum wellenlaengenselektiven trennen bzw. zusammenfuegen von kanaelen im frequenzbereich der optischen nachrichtentechnik
EP0695428B1 (de) * 1994-02-11 2001-10-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. Phasengekoppelte optische vorrichtung
EP0786677B1 (de) * 1996-01-25 2001-06-27 Infineon Technologies AG Verfahren zum Betrieb eines Phased Array
TW472024B (en) * 1997-06-18 2002-01-11 Corning Corp A method of positioning a broken fiber for threading
US6256442B1 (en) * 1999-09-08 2001-07-03 Corning Incorporated Athermal integrated optical waveguide device
US9581762B2 (en) * 2012-09-16 2017-02-28 Shalom Wertsberger Pixel structure using a tapered core waveguide, image sensors and camera using same
JP6363619B2 (ja) * 2013-01-08 2018-07-25 マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー 光フェーズドアレイ
US9104086B1 (en) * 2014-02-24 2015-08-11 Sandia Corporation Method and apparatus of wide-angle optical beamsteering from a nanoantenna phased array

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