EP3390306A2 - Production of a silica glass article in a suspended sintered crucible - Google Patents

Production of a silica glass article in a suspended sintered crucible

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EP3390306A2
EP3390306A2 EP16822145.5A EP16822145A EP3390306A2 EP 3390306 A2 EP3390306 A2 EP 3390306A2 EP 16822145 A EP16822145 A EP 16822145A EP 3390306 A2 EP3390306 A2 EP 3390306A2
Authority
EP
European Patent Office
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range
quartz glass
silica
less
ppm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP16822145.5A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Matthias OTTER
Walter Lehmann
Michael HÜNERMANN
Nils Christian NIELSEN
Nigel Robert WHIPPEY
Boris Gromann
Abdoul-Gafar KPEBANE
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Original Assignee
Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG filed Critical Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Publication of EP3390306A2 publication Critical patent/EP3390306A2/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/412—Index profiling of optical fibres
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a quartz glass body comprising the steps of i) providing a silica granule, ii) forming a glass melt from the silicon dioxide granules in a furnace and iii) forming a quartz glass body from at least a part of the glass melt, wherein the furnace has a hanging Sinter crucible includes.
  • the invention further relates to a quartz glass body obtainable by this method.
  • the invention relates to a light guide, a luminous means and a shaped body, which are each obtainable by further processing of the quartz glass body.
  • Quartz glass, quartz glass products and products containing quartz glass are known.
  • various methods for producing quartz glass and quartz glass bodies are already known. Nevertheless, considerable efforts continue to be made to identify manufacturing processes by which silica glass of even higher purity, that is, absence of impurities, can be produced.
  • quartz glass and its processing products particularly high demands, for example, in terms of homogeneity and purity. This is, among other things, the case with quartz glass, which is processed into optical fibers or in light sources. Impurities can cause absorption here. This is disadvantageous because it leads to color changes and to the attenuation of the emitted light.
  • Another example of the use of high-purity quartz glass are production steps in semiconductor production. Here, any contamination of the glass body potentially leads to defects of the semiconductor, and thus to rejects in the production.
  • the high-purity, often synthetic quartz glass used for these methods are therefore produced very expensive. They are high priced.
  • quartz glass bodies Known methods for producing quartz glass bodies involve melting silica and forming into melted quartz glass bodies. Irregularities in a vitreous body, for example due to the inclusion of gases in the form of bubbles, can result in failure of the vitreous under load, especially at high temperatures, or preclude use for a particular purpose. Thus, impurities of the quartz glass-forming raw material can lead to the formation of cracks, bubbles, streaks and discoloration in the quartz glass. When used in processes for the manufacture and treatment of semiconductor devices, it is also possible to work out impurities in the glass body and transfer them to the treated semiconductor components. This is the case, for example, with etching methods and then leads to rejects in the semiconductor blanks.
  • a frequently occurring problem in the known production methods is consequently an insufficient quality of the quartz glass body.
  • Another aspect concerns the raw material efficiency. It seems advantageous to supply fumed silica and raw materials as by-products elsewhere to quartz glass products as much as possible, instead of spending these by-products as filler material, for example in building construction, or to dispose of it costly as waste. These by-products are often deposited as particulate matter in filters. The particulate matter raises further problems, in particular with regard to health, occupational safety and handling.
  • An object of the present invention is to at least partially overcome one or more of the disadvantages arising from the prior art.
  • components is meant in particular devices that can be used for or in reactors for chemical and / or physical treatment steps.
  • Homogeneity of a property or a substance is a measure of the uniformity of the distribution of that property or substance in a sample.
  • the homogeneity of the substance is a measure of the uniformity of the distribution of elements and compounds contained in the light guide, illuminant or semiconductor apparatus, in particular of OH, chlorine, metals, in particular aluminum, alkaline earth metals, refractory metals and dopants.
  • a further object is to provide a method for the production of quartz glass bodies, in which the arrival times of the plant are short.
  • Another object is to further improve the processability of quartz glass bodies.
  • Another object is to further improve the manufacturability of quartz glass bodies.
  • a method for producing a quartz glass body comprising the method steps: i. ) Providing a silica granule,
  • silica granules are made of fumed silica, wherein the silica granules have the following characteristics:
  • the oven includes a hanging sinter crucible.
  • a sintered crucible is a crucible made of a sintered material containing at least one sintered metal and having a density of not more than 96% of the theoretical density of the metal.
  • a sintered crucible is made by sintering the sintered material - instead of melts - in a mold. The sintered material and the sintered metal in the sinter crucible are not rolled.
  • the sintered crucible is made of a sintered material including a sintered metal selected from the group consisting of molybdenum, tungsten, and a combination thereof.
  • the sintered metal of the sintered crucible has a density of 85% or more of the theoretical density of the sintered metal.
  • the suspended sintered crucible has at least one of the following features:
  • silica powder wherein the silica powder has the following characteristics:
  • a silica granule is formed with granules having a spherical morphology; wherein the processing is more preferably carried out by spray granulation or roll granulation.
  • G at least 70% by weight of the powder particles have a primary article size in a range of 10 to 100 nm;
  • H a tamped density in a range of 0.001 to 0.3 g / cm 3 ;
  • silica powder is preparable from a compound selected from the group consisting of siloxanes, silicon alkoxides and silicon halides.
  • silica granules have at least one of the following features:
  • G a pore volume in a range of 0.1 to 2.5 mL / g;
  • ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules.
  • a quartz glass body obtainable by a method according to any one of Embodiments 111 to 1121.
  • C] has an aluminum content of less than 200 ppb
  • G a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content A] of the quartz glass body;
  • L has a tungsten content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb;
  • M] has a molybdenum content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb,
  • ppb and ppm are each based on the total weight of the quartz glass body.
  • a method for producing a light guide comprising the following steps
  • All of a hollow body with at least one opening obtainable by a method according to embodiment
  • a method of manufacturing a luminous means comprising the following steps
  • a method for producing a shaped article comprising the following steps:
  • a use of a hanging sinter crucible for producing products comprising quartz glass selected from the group consisting of a light guide, a lamp and a shaped body, the hanging sintered crucible having the following features:
  • range indications also include the values called limits.
  • An indication of the kind "in the range of X to Y" with respect to a quantity A thus means that A has the values X, Y and Can take values between X and Y
  • One-sided limited areas of the kind "up to Y" for a size A mean accordingly as values Y and smaller than Y.
  • a first subject of the present invention is a method for producing a quartz glass body comprising the method steps:
  • the oven includes a hanging sinter crucible.
  • the provision of the silica granules comprises the following method steps:
  • silica powder into a silica granule, the silica granule having a larger particle diameter than the silica powder.
  • a powder is understood as meaning particles of dry solids having a primary particle size in the range of 1 to less than 100 nm.
  • the silica granules can be obtained by granulating silica powder.
  • a silica granule typically has a BET surface area of 3 m 2 / g or more and a density of less than 1.5 g / cm 3 .
  • Granulating is understood as meaning the transfer of powder particles into granules.
  • Granulation forms aggregates of multiple silica powder particles, ie larger agglomerates called “silica granules.” These are often referred to as “silica granule particles” or “granule particles.” Granules form granules in their entirety, eg, the silica granules are “silica granules.” , The silica granules have a larger particle diameter than the silica powder.
  • silicon dioxide granulation is understood as meaning silicon dioxide particles obtainable by comminuting a silicon dioxide body, in particular a quartz glass body.
  • a silica grain usually has a density of more than 1.2 g / cm 3 , for example in a range of 1.2 to 2.2 g / cm 3 , and more preferably about 2.2 g / cm 3 , More preferably, the BET surface area of a silica grain is generally less than 1 m 2 / g, determined according to DIN ISO 9277: 2014-01. In principle, all silica particles suitable to the person skilled in the art come into consideration as silica particles.
  • silicon dioxide powder from naturally occurring or from synthetically produced silicon dioxide.
  • synthetic silica powder is used.
  • Particular preference is given to using pyrogenically produced silicon dioxide powder.
  • the silica powder may be any silica powder having at least two particles. Any method which is familiar to the person skilled in the art and suitable for the present purpose can be considered as the production method.
  • the silica powder is produced in the production of quartz glass as a by-product, in particular in the production of so-called soot bodies. Silica of such origin is often referred to as "soot dust”.
  • a preferred source of the silica powder is silica particles obtained in the synthetic production of soot bodies using flame hydrolysis burners.
  • a rotating carrier tube which has a cylinder jacket surface, is reversibly moved back and forth along a row of burners.
  • the flame hydrolysis burners can be fed as burner gases in each case oxygen and hydrogen and the starting materials for the formation of Siliziumdioxidprimärpumblen.
  • the silica primary particles preferably have a primary particle size of up to 100 nm.
  • the silicon dioxide primary particles are recognizable in their shape by scanning electron microscopy and the primary particle size can be determined.
  • a portion of the silicon dioxide particles are deposited on the cylinder jacket surface of the support tube rotating about its longitudinal axis. This is how the soot body is built up layer by layer.
  • Another part of the silicon dioxide particles is not deposited on the cylinder jacket surface of the support tube, but accumulates as dust, for example in a filter system.
  • This other part of silicon dioxide particles forms the silicon dioxide powder, often also referred to as "soot dust.”
  • the part of silicon dioxide particles deposited on the support tube is larger than the part of silica particles arising as soot dust in the context of based on the total weight of the silica particles.
  • soot dust is usually disposed of consuming and costly as waste or spent without added value as a filler, for example in road construction, as additives in the dyestuff industry, as a raw material for tile production and for the production of hexafluorosilicic acid, which for the renovation of building foundations.
  • it is suitable as a starting material and can be processed to a high quality product.
  • Fumed silica is usually in the form of amorphous silica primaries or silica particles.
  • the silica powder can be prepared by flame hydrolysis from a gas mixture.
  • the silica particles are also formed in the flame hydrolysis and discharged as silica powder before agglomerates or aggregates form.
  • the silica powder previously referred to as soot dust main product.
  • silica powder As starting materials for the formation of the silica powder are preferably siloxanes, silicon alkoxides and inorganic silicon compounds.
  • Siloxanes are understood as meaning linear and cyclic polyalkylsiloxanes.
  • Polyalkylsiloxanes preferably have the general formula
  • R is an alkyl group having 1 to 8 C atoms, preferably having 1 to 4 C atoms, particularly preferably a methyl group
  • siloxanes selected from the group consisting of hexamethyldisiloxane, hexamethylcyclotrisiloxane (D3), octamethylcyclotetrasiloxane (D4) and decamethylcyclopentasiloxane (D5) or a combination of two or more thereof.
  • D3 hexamethylcyclotrisiloxane
  • D4 octamethylcyclotetrasiloxane
  • D5 decamethylcyclopentasiloxane
  • the main component is preferably present in a proportion of at least 70% by weight, preferably of at least 80% by weight, for example of at least 90% by weight or of at least 94% by weight, more preferably of at least 98% by weight. %, in each case based on the total amount of silica powder before.
  • Preferred silicon alkoxides are tetramethoxysilane and methyltrimethoxysilane.
  • Preferred inorganic silicon compounds as starting material for silica powder are silicon halides, silicates, silicon carbide and silicon nitride. Particularly preferred as the inorganic silicon compound as a starting material for silica powder are silicon tetrachloride and trichlorosilane.
  • the silicon dioxide powder can be prepared from a compound selected from the group consisting of siloxanes, silicon alkoxides and silicon halides.
  • a preferred composition of a suitable gas mixture includes a proportion of oxygen in the flame hydrolysis in a range of 25 to 40% by volume.
  • the proportion of hydrogen may be in a range of 45 to 60% by volume.
  • the proportion of silicon tetrachloride is preferably from 5 to 30% by volume, all of the abovementioned% by volume, based on the total volume of the gas stream.
  • the flame in the hydrolysis of the flame preferably has a temperature in a range from 1500 to 2500 ° C., for example in a range from 1600 to 2400 ° C., particularly preferably in one range from 1700 to 2300 ° C.
  • the silicon dioxide formed in the flame hydrolysis are preferably removed as silica powder before agglomerates or aggregates are formed.
  • the silica powder has the following characteristics:
  • a BET surface area in a range from 20 to 60 m 2 / g, for example from 25 to 55 m 2 / g, or from 30 to 50 m 2 / g, particularly preferably from 20 to 40 m 2 / g, and
  • the silicon dioxide powder preferably has at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
  • G. at least 70% by weight of the powder particles have a primary particle size in a range of 10 to less than 100 nm, for example in the range of 15 to less than 100 nm, more preferably in the range of 20 to less than 100 nm;
  • H. a tamped density in a range of 0.001 to 0.3 g / cm 3 for example in the range of 0.002 to 0.2 g / cm 3 or from 0.005 to 0.1 g / cm 3 , preferably in the range of 0.01 to 0.06 g / cm 3 , also preferably in the range of 0.1 to 0.2 g / cm 3 , or in the range of 0.15 to 0.2 g / cm 3 ;
  • a residual moisture of less than 5 wt .-% for example in the range of 0.25 to 3 wt .-%, particularly preferably in the range of 0.5 to 2 wt .-%;
  • a particle size distribution D 10 in the range of 1 to 7 ⁇ , for example in the range of 2 to 6 ⁇ or in the range of 3 to 5 ⁇ , more preferably in the range of 3.5 to 4.5 ⁇ ;
  • the silica powder contains silica.
  • the silica powder contains silica in an amount of more than 95% by weight, for example, in an amount of more than 98% by weight. or more than 99% by weight or more than 99.9% by weight, based in each case on the total weight of the silicon dioxide powder. More preferably, the silica powder contains silica in an amount of more than 99.99% by weight based on the total weight of the silica powder.
  • the silica powder has a metal content of metals other than aluminum of less than 5 ppm, for example less than 2 ppm, more preferably less than 1 ppm, each based on the total weight of the silica powder. Often, however, the silica powder has a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb.
  • metals are, for example, sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, tungsten, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex.
  • the silica powder has a total content of other ingredients of less than 30 ppm, for example less than 20 ppm, more preferably less than 15 ppm, the ppm each based on the total weight of the silica powder. Often, however, the silica powder has a content of other ingredients in an amount of at least 1 ppb. Further constituents are understood as meaning all constituents of the silica powder which do not belong to the following group: silicon dioxide, chlorine, aluminum, OH groups.
  • the indication of an ingredient when the ingredient is a chemical element means that it may be present as an element or as an ion in a compound or a salt.
  • aluminum also includes aluminum salts, aluminum oxides, and aluminum metal complexes, for example, the term “chlorine” includes elemental chlorine, chlorides such as sodium chloride, and hydrogen chloride.
  • chlorides such as sodium chloride, and hydrogen chloride.
  • the indication of an ingredient means that the ingredient may be in said form, as a charged chemical compound, or as a derivative of the chemical compound.
  • the indication of the chemical ethanol includes ethanol as well as ethanol, for example, sodium ethanolate.
  • the term "OH group” also includes silanol, water and metal hydroxides
  • the term derivative in acetic acid also includes acetic acid ester and acetic anhydride
  • at least 70% of the powder particles of the silica powder are in number
  • Powder particles a primary particle size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or from 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 to 100 nm.
  • the primary article size is determined by dynamic light scattering according to ISO 13320: 2009-10.
  • At least 75% of the powder particles of the silica powder have a primary article size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or of 15 to 100 nm, and particularly preferably in the region of 20 up to 100 nm.
  • At least 80% of the powder particles of the silica powder have a primary article size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 up to 100 nm.
  • At least 85% of the powder particles of the silica powder have a primary article size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 up to 100 nm.
  • At least 90% of the powder particles of the silica powder, based on the number of powder particles have a primary particle size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 to 100 nm up.
  • at least 95% of the powder particles of the silica powder, based on the number of powder particles have a primary particle size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 to 100 nm up.
  • the silica powder has a particle size Di 0 in the range of 1 to 7 ⁇ , for example in the range of 2 to 6 ⁇ or in the range of 3 to 5 ⁇ , particularly preferably in the range of 3.5 to 4.5 ⁇ .
  • the silica powder has a particle size D 50 in the range of 6 to 15 ⁇ , for example in the range of 7 to 13 ⁇ or in the range of 8 to 1 1 ⁇ , more preferably in the range of 8.5 to 10.5 ⁇ .
  • the silica powder has a particle size D 90 in the range of 10 to 40 ⁇ , for example in the range of 15 to 35 ⁇ , more preferably in the range of 20 to 30 ⁇ .
  • the silica powder has a specific surface area (BET surface area) in a range from 20 to 60 m 2 / g, for example from 25 to 55 m 2 / g, or from 30 to 50 m 2 / g, particularly preferably from 20 up to 40 m 2 / g.
  • BET surface area is determined according to the method of Brunauer, Emmet and Teller (BET) on the basis of DIN 66132 and is based on gas absorption at the surface to be measured.
  • the silica powder has a pH of less than 7, for example in the range from 3 to 6.5 or from 3.5 to 6 or from 4 to 5.5, more preferably in the range from 4.5 to 5.
  • Der pH value can be determined by means of a stick-in electrode (4% silicon dioxide powder in water).
  • the silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./c. or a./b./f. or a./b./g. on, more preferably the combination of features a./b./c./f. or a./b./c./g. or a./b./f./g., particularly preferably the combination of features a./b./c./f./g.
  • the silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./c. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, and the carbon content is less than 40 ppm.
  • the silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./f. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, and the total content of metals other than aluminum are within a range from 1 ppb to 1 ppm.
  • the silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./g. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, and at least 70 wt% of the powder particles is a primary have article size in a range of 20 to less than 100 nm.
  • the silicon dioxide powder more preferably has the feature combination a./b./c./f. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the carbon content is less than 40 ppm, and the total content of metals , which are different from aluminum, is in a range of 1 ppb to 1 ppm.
  • the silicon dioxide powder more preferably has the feature combination a./b./c./g. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the carbon content is less than 40 ppm and at least 70 wt. -% of the powder particles have a primary particle size in a range of 20 to less than 100 nm.
  • the silicon dioxide powder more preferably has the feature combination a./b./f./g. , wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the total content of metals other than aluminum, in a range of from 1 ppb to 1 ppm and at least 70% by weight of the powder particles have a primary particle size in a range of 20 to less than 100 nm.
  • the silicon dioxide powder particularly preferably has the feature combination a./b./c./f./g. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the carbon content is less than 40 ppm, the total content of metals which are different from aluminum, is in a range of 1 ppb to 1 ppm, and at least 70% by weight of the powder particles have a primary particle size in a range of 20 to less than 100 nm.
  • Step II the feature combination a./b./c./f./g. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the carbon content is less than 40 ppm, the total content of metals which are different from aluminum, is in a range of 1 ppb to 1 ppm, and at least 70% by weight
  • the silicon dioxide powder is processed in step II to a granular silica, wherein the silica granules having a larger particle diameter than the silica powder.
  • Suitable in principle are all methods known to those skilled in the art, which lead to an increase in the particle diameter.
  • the silica granules have a particle diameter larger than the particle diameter of the silica powder.
  • the particle diameter of the silica granules is in a range of 500 to 50,000 times larger than the particle diameter of the silica powder, for example, 1,000 to 10,000 times larger, more preferably 2,000 to 8,000 times larger.
  • At least 90% of the silicon dioxide granules provided in step i) are preferably formed from pyrogenically produced silicon dioxide powder, for example at least 95% by weight or at least 98% by weight, more preferably at least 99% by weight or more, based in each case on the Total weight of silica granules.
  • the silica granules used have the following features:
  • the silica granules preferably have at least one, preferably at least two or at least three or at least four, more preferably all of the following features:
  • G a pore volume in a range of 0.1 to 2.5 mL / g, for example in a range of 0.15 to 1.5 mL / g; more preferably in a range of 0.2 to 0.8 mL / g;
  • ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules.
  • the granules of the silica granules preferably have a spherical morphology.
  • Spherical morphology refers to a round to oval shape of the particles.
  • the granules of the silica granules preferably have an average sphericity in a range of 0.7 to 1.3 SPHT3, for example, an average sphericity in a range of 0.8 to 1.2 SPHT3, more preferably an average sphericity in a range of 0 , 85 to 1.1 SPHT3 on.
  • the characteristic SPHT3 is described in the test methods.
  • the granules of the silica granules have a mean symmetry in a range of 0.7 to 1.3 Symm3, for example a mean symmetry in a range of 0.8 to 1.2 Symm3, more preferably a mean symmetry in a range of 0.85 to 1.1 Symm3.
  • Symm3 The feature of symmetry Symm3 is described in the test methods.
  • the silica granules have a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb, more preferably less than 100 ppb, each based on the total weight of the silica granules. Often, however, the silica granules have a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb.
  • the silica granules have a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, preferably in a range of 40 to 900 ppb, for example in a range of 50 to 700 ppb, more preferably in a range of 60 to 500 ppb, respectively based on the total weight of the silica granules.
  • metals include sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex.
  • the silica granules may contain further constituents, for example in the form of molecules, ions or elements.
  • the silicon dioxide granules preferably contain less than 500 ppm, for example less than 300 ppm, more preferably less than 100 ppm, in each case based on the total weight of the silicon dioxide granules, further constituents.
  • further ingredients are included in an amount of at least 1 ppb.
  • the further constituents may in particular be selected from the group consisting of carbon, fluoride, iodide, bromide, phosphorus or a mixture of at least two thereof.
  • the silica granules contain less than 10 ppm carbon, for example less than 8 ppm or less than 5 ppm, more preferably less than 4 ppm, each based on the total weight of the silica granules. Often, carbon in an amount of at least 1 ppb is contained in the silica granules.
  • the silica granules contain less than 100 ppm, for example less than 80 ppm, more preferably less than 70 ppm, based in each case on the total weight of the silicon dioxide granules, of further constituents. Often, however, the other ingredients are included in an amount of at least 1 ppb.
  • step II includes the following steps:
  • a liquid is understood to be a substance or a mixture of substances which is liquid at a pressure of 1013 hPa and a temperature of 20 ° C.
  • a "slurry" in the sense of the present invention means a mixture of at least two substances, wherein the mixture has at least one liquid and at least one solid under the conditions under consideration.
  • Suitable liquids are, in principle, all those known to those skilled in the art and suitable for the present purpose Substances and Mixtures
  • the liquid is selected from the group consisting of organic liquids and water
  • the silica powder in the liquid is in an amount of less than 0.5 g / L, preferably in an amount of less than 0.25 g / L, particularly preferably in an amount of less than 0.1 g / L soluble, the g / L each indicated as g of silica powder per liter of liquid.
  • Preferred liquids are polar solvents. These can be organic liquids or water.
  • the liquid is preferably selected from the group consisting of water, methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, tert-butanol and mixtures of more than one thereof.
  • the liquid is water.
  • the liquid includes distilled or deionized water.
  • the silica powder is processed into a slurry.
  • the silica powder is almost insoluble in the liquid at room temperature, but may be incorporated into the liquid in high weight fractions to obtain the slurry.
  • the silica powder and the liquid may be mixed in any manner.
  • the silica powder may be added to the liquid or the liquid to the silica powder.
  • the mixture may be agitated during addition or after addition. Most preferably, the mixture is agitated during and after adding. Examples of agitation are shaking and stirring, or a combination of both.
  • the silica powder may be added to the liquid with stirring. More preferably, a portion of the silica powder may be added to the liquid, with the mixture thus obtained being agitated, and the mixture subsequently mixed with the remainder of the silica powder.
  • a portion of the liquid may be added to the silica powder, with the mixture thus obtained being agitated, and the mixture subsequently mixed with the remainder of the liquid.
  • the slurry is a suspension in which the silica powder is evenly distributed in the liquid.
  • uniformly it is meant that the density and composition of the slurry at each point does not differ by more than 10% from the average density and the average composition, based on the total amount of slurry, uniform distribution of the silica powder in the liquid can be made or obtained by moving as previously described, or both.
  • the slurry has a liter weight in the range of 1000 to 2000 g / L, for example in the range of 1200 to 1900 g / L or of 1300 to 1800 g / L, more preferably in the range of 1400 to 1700 g / L. The weight per liter is determined by weighing a volume calibrated container.
  • the slurry has at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
  • the slurry has a temperature of more than 0 ° C, preferably in a range of 5 to 35 ° C;
  • the slurry has a zeta potential at a pH of 7 in a range of 0 to -100 mA, for example from -20 to -60 mA, more preferably from -30 to -45 mA;
  • the slurry has a pH in a range of 7 or more, for example greater than 7 or a pH in the range of 7.5 to 13 or from 8 to 11, more preferably from 8.5 to 10 ;
  • the slurry has an isoelectric point of less than 7, for example in a range of 1 to 5 or in a range of 2 to 4, more preferably in a range of 3 to 3.5;
  • the slurry has a solids content of at least 40% by weight, for example in one
  • the slurry has a viscosity in accordance with DIN 53019-1 (5 rpm, 30 wt .-%) in a range of 500 to 2000 mPas, for example in the range of 600 to 1700 mPas, particularly preferably in the range of 1000 to 1600 mPas ;
  • the slurry has a thixotropy according to DIN SPEC 91143-2 (30 wt .-% in water, 23 ° C,
  • the silica particles in the slurry have in a 4% by weight slurry an average particle size in suspension according to DIN ISO 13320-1 in the range from 100 to 500 nm, for example in a range from 200 to 300 nm.
  • the silicon dioxide particles in a 4% strength by weight aqueous slurry preferably have a particle size D 10 in a range from 50 to 250 nm, particularly preferably in the range from 100 to 150 nm.
  • the silicon dioxide particles are preferably present in a weight of 4% by weight.
  • % aqueous slurry has a particle size D 50 in a range of 100 to 400 nm, more preferably in the range of 200 to 250 nm.
  • the silica particles in a 4 wt .-% aqueous slurry has a particle size D 90 in a range of 200 to 600 nm, more preferably in a range of 350 to 400 nm.
  • the particle size is determined by means of DIN ISO 13320-1.
  • the term "isolectric point" is understood to mean the pH value at which the zeta potential assumes the value 0.
  • the zeta potential is determined in accordance with ISO 13099-2: 2012.
  • the pH of the slurry is adjusted to a value in the above range.
  • substances such as NaOH or NH 3 may be added , for example, as an aqueous solution of the slurry. The slurry is often moved.
  • the silica granules are obtained by granulating silica powder.
  • Granulating is understood to mean the transfer of powder particles into granules.
  • aggregates of multiple silica powder particles form larger agglomerates, referred to as “silica granules.” These are often referred to as “silica particles,” “silica granule particles,” or “granule particles.”
  • granules form granules, e.g. the silica granules a "silica granules”.
  • any granulation process which is known to the person skilled in the art and suitable for granulating silicon dioxide powder can be selected.
  • the granulation process a distinction can be made between built-up granulation and pressing granulation, and further between wet and dry granulation processes.
  • Known methods are rolling granulation in a granulating dish, spray granulation, centrifugal atomization, fluidized bed granulation, granulation processes using a granulating mill, compaction, roll pressing, briquetting, slug production or extrusion.
  • a silica granule is formed with granules having a spherical morphology; wherein the processing is more preferably done by spray granulation or roll granulation.
  • silica granules containing granules having a spherical morphology include at most 50% granules, preferably at most 40% granules, more preferably at most 20% granules, more preferably between 0 and 50%, between 0 and 40%, or between 0 and 20 % o, or between 10 and 50%), between 10 and 40% o or between 10 and 20% o granules that do not have a spherical morphology, the percentages in each case based on the total number of granules in the granules.
  • the granules with a spherical morphology have the already mentioned in this description SPHT3 values.
  • a silica granule is obtained by spray granulating the slurry.
  • Spray granulation is also referred to as spray drying.
  • the spray drying is preferably carried out in a spray tower.
  • the slurry is pressurized at elevated temperature.
  • the pressurized slurry is then released through a nozzle and sprayed into the spray tower.
  • droplets form, which dry instantly and initially form dry micro-particles ("germs"), forming the smallest particles together with one the particle-acting gas stream is a fluidized bed. They are held in suspension and can thus form a surface for drying more droplets.
  • the nozzle through which the slurry is sprayed into the spray tower preferably forms an inlet into the interior of the spray tower.
  • the nozzle preferably has a contact surface with the slurry during spraying. Often, at least a portion of the nozzle is shaped as a tube through which the slurry is passed during spraying so that the inside of the hollow tube communicates with the slurry Slurry comes into contact.
  • the contact surface preferably includes a glass, a plastic or a combination thereof.
  • the contact surface comprises a glass, more preferably quartz glass.
  • the contact surface includes a plastic.
  • all plastics known to those skilled in the art are suitable which are stable at the process temperatures and do not release any foreign atoms to the slurry.
  • Preferred plastics are polyolefins, for example homopolymers or copolymers comprising at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof.
  • the contact surface consists of a glass, a plastic or a combination thereof, for example selected from the group consisting of quartz glass and polyolefins, more preferably selected from the group consisting of quartz glass and homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more of them.
  • the contact surface preferably contains no metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum, chromium, cobalt, nickel, iron, vanadium, zirconium and manganese.
  • the contact surface and the other parts of the nozzle consist of the same or of different materials.
  • the other parts of the nozzle contain the same material as the contact surface.
  • the other parts of the nozzle contain a different material from the contact surface.
  • the contact surface may be coated with a suitable material, for example a glass or a plastic.
  • the nozzle is preferably more than 70% by weight, based on the total weight of the nozzle, of an element selected from the group consisting of glass, plastic or a combination of glass and plastic, for example more than 75% by weight.
  • the nozzle comprises a nozzle plate.
  • the nozzle plate is preferably formed of glass, plastic or a combination of glass and plastic.
  • the nozzle plate is formed of glass, particularly preferably quartz glass.
  • the nozzle plate is formed of plastic.
  • Preferred plastics are polyolefins, for example homo- or copolymers containing at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof.
  • the nozzle plate preferably contains no metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum,
  • the nozzle preferably comprises a spiral screw.
  • the spiral screw is preferably made of glass, plastic or a combination of glass and plastic.
  • the spiral screw is formed of glass, more preferably quartz glass.
  • the spiral screw is formed from plastic.
  • Preferred plastics are polyolefins, for example homopolymers or copolymers comprising at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof.
  • the spiral screw contains no metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum, chromium, cobalt, nickel, iron, vanadium, zirconium and manganese.
  • the nozzle may further comprise other components.
  • Preferred further components are a nozzle body, particularly preferred is a nozzle body surrounding the spiral screw and the nozzle plate, a cross piece and a baffle plate.
  • a nozzle preferably comprises one or more, particularly preferably all, of the further components.
  • the other components can, independently of one another, in principle consist of any material known to the person skilled in the art and suitable for this purpose, for example of a metal-containing material, of glass or of a plastic.
  • the nozzle body is formed of glass, more preferably quartz glass.
  • the other components are formed from plastic.
  • plastics are polyolefins, for example homopolymers or copolymers comprising at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof.
  • the other components preferably do not contain any metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum, chromium, cobalt, nickel, iron, vanadium, zirconium and manganese.
  • the spray tower has a gas inlet and a gas outlet.
  • gas inlet gas can be introduced into the interior of the spray tower, and through the gas outlet, it can be discharged. It is also possible to introduce gas through the nozzle into the spray tower. Similarly, gas can be discharged through the outlet of the spray tower. Further preferably, gas may be supplied via the nozzle and a gas inlet of the spray tower, and discharged via the outlet of the spray tower and a gas outlet of the spray tower.
  • an atmosphere selected from air, an inert gas, at least two inert gases or a combination of air with at least one inert gas, preferably at least two inert gases, is present in the interior of the spray tower.
  • inert gases are preferably selected from the list consisting of nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon.
  • air, nitrogen or argon is present in the interior of the spray tower, more preferably air.
  • the atmosphere present in the spray tower is part of a gas stream.
  • the gas stream is preferably introduced into the spray tower via a gas inlet and discharged via a gas outlet. It is also possible to introduce parts of the gas stream through the nozzle and divert parts of the gas stream through a solids outlet.
  • the gas stream can take up additional components in the spray tower. These may originate from the slurry during spray drying and pass into the gas stream.
  • a dry gas stream is fed to the spray tower.
  • a dry gas stream is understood as meaning a gas or a gas mixture whose relative humidity is kept below the temperature set in the spray tower. is half of the condensation point.
  • a relative humidity of 100% corresponds to a water volume of 17.5 g / m 3 at 20 ° C.
  • the gas is preferably preheated to a temperature in a range of from 150 to 450 ° C, for example from 200 to 420 ° C or from 300 to 400 ° C, more preferably from 350 to 400 ° C.
  • the interior of the spray tower is preferably tempered.
  • the temperature in the interior of the spray tower is up to 550 ° C, for example 300 to 500 ° C, more preferably 350 to 450 ° C.
  • the gas stream at the gas inlet preferably has a temperature in a range from 150 to 450 ° C, for example from 200 to 420 ° C or from 300 to 400 ° C, particularly preferably from 350 to 400 ° C.
  • the withdrawn gas stream preferably has a temperature of less than 170 ° C, for example from 50 to 150 ° C, more preferably from 100 to 130 ° C.
  • the difference between the temperature of the gas stream at the time of introduction and the gas flow when discharged is in a range of 100 to 330 ° C, for example, 150 to 300 ° C.
  • the silica granules thus obtained are present as an agglomerate of individual particles of silica powder.
  • the individual particles of the silicon dioxide powder are still recognizable in the agglomerate.
  • the average particle size of the particles of the silica powder is preferably in the range of 10 to 1000 nm, for example, in the range of 20 to 500 nm or 30 to 250 nm or 35 to 200 nm or 40 to 150 nm, or more preferably in the range from 50 to 100 nm.
  • the average particle size of these particles is determined according to DIN ISO 13320-1.
  • auxiliaries can be used as auxiliaries, which are known in the art and appear suitable for the present purpose.
  • auxiliaries are, for example, so-called binders.
  • suitable binders are metal oxides such as calcium oxide, metal carbonates such as calcium carbonate and polysaccharides such as cellulose, cellulose ethers, starch and starch derivatives.
  • spray drying is particularly preferably carried out without auxiliaries.
  • a portion thereof is separated.
  • the separation is done by sifting or sieving.
  • Spray tower particles with a particle size of less than 50 ⁇ for example, with a particle size of less than 70 ⁇ particularly preferably separated with a particle size of less than 90 ⁇ by sifting.
  • the sifting is preferably carried out by a cyclone, which is preferably arranged in the lower region of the spray tower, particularly preferably above the outlet of the spray tower.
  • a cyclone which is preferably arranged in the lower region of the spray tower, particularly preferably above the outlet of the spray tower.
  • the silica granules from the spray tower particles with a particle size of more than 1000 ⁇ , for example, with a particle size of more than 700 ⁇ particularly preferably separated with a particle size of more than 500 ⁇ by sieving.
  • the sieving of the particles can be carried out in principle by all methods known to the person skilled in the art and suitable for this purpose. Sieving is preferably carried out by means of a vibrating trough.
  • the spray-drying of the slurry through a nozzle into a spray tower is characterized by at least one, for example two or three, most preferably all of the following features:
  • a temperature of the droplets entering the spray tower in a range of 10 to 50 ° C, preferably in a range of 15 to 30 ° C, more preferably in a range of 18 to 25 ° C.
  • a temperature at the spray tower side of the nozzle in a range of 100 to 450 ° C, for example in a range of 250 to 440 ° C, more preferably from 350 to 430 ° C;
  • a slurry throughput through the die in a range of 0.05 to 1 m 3 / h, for example in a range of 0.1 to 0.7 m 3 / h or from 0.2 to 0.5 m 3 / h, more preferably in a range of 0.25 to 0.4 m 3 / h;
  • fj has a solids content of the slurry of at least 40% by weight, for example in a range of 50 to 80% by weight, or in a range of 55 to 75% by weight, particularly preferably in a range of 60 to 70% by weight .-%, in each case based on the total weight of the slurry; g] a gas flow in the spray tower in a range of 10 to 100 kg / min, for example in a range of 20 to 80 kg / min or from 30 to 70 kg / min, more preferably in a range of 40 to 60 kg / min;
  • h a temperature of the gas stream entering the spray tower in a range of 100 to 450 ° C, for example in a range of 250 to 440 ° C, more preferably 350 to 430 ° C;
  • the gas is selected from the group consisting of air, nitrogen and helium, or a combination of two or more thereof; preferably air;
  • the spray tower has a cylindrical geometry
  • a height of the spray tower of more than 10 m for example of more than 15 m or of more than 20 m or of more than 25 m or of more than 30 m or in a range of 10 to 25 m, particularly preferably in a range of 15 to 20 m;
  • the exit of the droplets of the slurry from the nozzle takes place at an angle of 30 to 60 degrees counter to the direction of the solder, more preferably at an angle of 45 degrees against the Lotraum.
  • the direction of the solder is understood to be the direction of the gravity vector.
  • the flight path means the path that a droplet of slurry travels from the exit of the nozzle into the headspace of the spray tower to form granules until completion of the flight and fall operation.
  • the flight and fall process will periodically end by hitting the granules at the bottom of the spray tower, or by impinging the granules on other granules already on the bottom of the spray tower, whichever comes first.
  • the flight time is the time it takes for a granule to cover the flight path in the spray tower.
  • the granules preferably have a helical trajectory in the spray tower.
  • At least 60% by weight of the spray granules based on the total weight of the silica granules formed during the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, particularly preferably in a range of 30 to 80 m.
  • At least 70% by weight of the spray granules based on the total weight of the silica granules formed in the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, particularly preferably in a range of 30 to 80 m.
  • At least 80% by weight of the spray granules based on the total weight of the silica granules formed in the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, more preferably in a range of 30 to 80 m.
  • At least 90% by weight of the spray granules based on the total weight of the silica granules formed in the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, particularly preferably in a range of 30 to 80 m.
  • a silica granule is obtained by roll granulating the slurry.
  • Roll granulation is done by stirring the slurry in the presence of a gas at elevated temperature.
  • Roll granulation preferably takes place in a stirred tank equipped with a stirring tool.
  • the stirring container rotates in the opposite direction to the stirring tool.
  • the stirring vessel further comprises an inlet through which silica powder can be introduced into the stirring vessel, an outlet through which silica granules can be removed, a gas inlet and a gas outlet.
  • a stick swirler is preferably used for stirring the slurry.
  • a pin swirler is understood to mean a stirrer tool which is provided with a plurality of elongate pins whose longitudinal axis runs in each case coaxially with the axis of rotation of the stirrer tool.
  • the movement sequence of the pins preferably describes coaxial circles about the axis of rotation.
  • the slurry is adjusted to a pH of less than 7, for example to a pH in the range of 2 to 6.5, more preferably to a pH in the range of 4 to 6.
  • an inorganic acid for example an acid selected from the group consisting of hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid and phosphoric acid, more preferably hydrochloric acid.
  • an atmosphere selected from air, an inert gas, at least two inert gases or a combination of air with at least one inert gas, preferably at least two inert gases.
  • inert gases are preferably selected from the list consisting of nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon.
  • air, nitrogen or argon is present in the stirred tank, more preferably air.
  • the atmosphere present in the stirred tank is part of a gas stream.
  • the gas stream is preferably introduced into the stirred tank via the gas inlet and discharged via the gas outlet.
  • the gas flow can take up further components in the stirred tank. During rolling granulation, these can originate from the sludge and pass into the gas stream.
  • the stirred tank is preferably supplied with a dry gas stream.
  • a "dry gas stream” is understood as meaning a gas or a gas mixture whose relative humidity is below the condensation point at the temperature set in the stirring vessel.
  • the gas is preferably at a temperature in a range from 50 to 300 ° C., for example from 80 to 250 ° C, more preferably preheated from 100 to 200 ° C.
  • 10 to 150 m 3 of gas per hour are preferably introduced per 1 kg of the slurry used into the stirred tank, for example 20 to 100 m 3 of gas per hour, more preferably 30 to 70 m 3 of gas per hour.
  • the gas stream dries the slurry while stirring to form silica granules.
  • the granules formed are removed from the stirred chamber.
  • the withdrawn granules are further dried.
  • the drying is carried out continuously, for example in a rotary kiln.
  • Preferred temperatures for drying are in a range of 80 to 250 ° C, for example in a range of 100 to 200 ° C, more preferably in a range of 120 to 180 ° C.
  • Continuously in the context of the present invention in relation to a method means that it can be operated continuously. This means that the supply and removal of substances and materials involved in the process can be carried out continuously during the execution of the process. It is not necessary to interrupt the procedure for this.
  • Continuously as an attribute of an object, e.g. with respect to a "continuous furnace" means that this article is designed so that a process occurring in it or in it process step can be carried out continuously.
  • the granules obtained by roll granulation can be screened.
  • Sieving can be done before or after drying. Preference is given to sieving before drying. Granules having a particle size of less than 50 ⁇ m, for example having a particle size of less than 80 ⁇ m, are particularly preferably screened out with a particle size of less than 100 ⁇ m. Preference is given to granules having a particle size of more than 900 ⁇ m, for example having a particle size of more than 700 ⁇ m, and more preferably having a particle size of more than 500 ⁇ m.
  • the sieving of larger particles can be carried out in principle by all methods known to the person skilled in the art and suitable for this purpose. The screening of larger particles preferably takes place by means of a vibrating trough.
  • roll granulation is characterized by at least one, for example two or three, most preferably all of the following features:
  • Granules with a particle size of less than 100 ⁇ and more than 500 ⁇ are sieved;
  • the granules formed have a residual moisture of 15 to 30 wt .-%;
  • the granules formed are dried at 80 to 250 ° C, preferably in a continuous drying tube, more preferably up to a residual moisture content of less than 1 wt .-%.
  • the granulated silica preferably by spray or roll granulation, obtained silica granules, also referred to as silica granules I, treated before it is processed into quartz glass bodies.
  • This pretreatment can serve various purposes, which either facilitate the processing into quartz glass bodies or influence the properties of the resulting quartz glass bodies.
  • the silica granules I may be compacted, cleaned, surface modified or dried.
  • the silica granules I may be subjected to a thermal, mechanical or chemical treatment or a combination of two or more treatments to obtain a silica granule II.
  • the silica granules I have a carbon content Wcpj.
  • the carbon content Wcpj is preferably less than 50 ppm, for example in the range of 5 to 45 ppm or of 15 to 40 ppm, particularly preferably in the range of 25 to 35 ppm, in each case based on the total weight of the silica granulate I.
  • the silica granule I comprises at least two particles.
  • the at least two particles can perform a relative movement to each other.
  • all measures known to the person skilled in the art and appearing suitable come into consideration as measures for generating the relative movement.
  • Particularly preferred is a mixing.
  • mixing can be carried out in any desired manner.
  • a continuous furnace is selected for this purpose.
  • the at least two particles can preferably perform a relative movement to each other by being moved in a continuous furnace, for example a rotary kiln.
  • Continuous ovens are understood to mean furnaces in which the loading and unloading of the furnace, the so-called charging, takes place continuously.
  • Examples of continuous furnaces are rotary kilns, roller kilns, conveyor ovens, drive-through ovens, push-through ovens.
  • rotary kilns are used to treat the silica granules I.
  • the silica granule I is treated with a reactant to obtain a silica granule II.
  • the treatment is carried out to change the concentration of certain substances in the silica granules.
  • the silica granulation lat I can Verrangraphyen or certain functionalities, the proportion is to be reduced, such as: OH groups, carbon-containing compounds, transition metals, alkali metals and alkaline earth metals.
  • the impurities and functionalities may originate from the starting material or be added during the process.
  • the treatment of the silica granulate I can serve various purposes.
  • the use of treated silica granules I may facilitate the processing of the silica granules into quartz glass bodies.
  • the properties of the resulting quartz glass body can be adjusted.
  • the silica granules I can be purified or surface-modified. The treatment of the silica granulate I can therefore be used to improve the properties of the resulting quartz glass body.
  • the reactants used are preferably a gas or a combination of several gases. This is also called gas mixture.
  • gases known to the person skilled in the art which are known and suitable for the said treatment.
  • a gas selected from the group consisting of HCl, Cl 2, F 2, 0 2, 0 3, H 2, C 2 F 4, C 2 F 6, HC10 4, air, inert gas, eg N 2, He, it is preferred Ne, Ar, Kr, or combinations of two or more of them.
  • the treatment is carried out in the presence of a gas or a combination of two or more as gases.
  • the treatment is carried out in a gas countercurrent, or in a gas direct current.
  • the reactant is selected from the group consisting of HCl, Cl 2 , F 2 , O 2 , O 3 or combinations of two or more thereof.
  • mixtures of two or more of the aforementioned gases are used to treat silica granules I.
  • metals contained as impurities in the silica granules I such as transition metals, alkali metals and alkaline earth metals can be removed.
  • the aforementioned metals with constituents of the gas mixture can undergo gaseous compounds under the process conditions, which are subsequently discharged and thus no longer present in the granules.
  • the OH content in the silica granules I can be reduced by treating the silica granules I with these gases.
  • a gas mixture of HCl and Cl 2 is used as the reactant.
  • the gas mixture preferably has a content of HCl in a range from 1 to 30% by volume, for example in a range from 2 to 15% by volume, more preferably in a range from 3 to 10% by volume.
  • the gas mixture has a content of Cl 2 in a range of 20 to 70 vol .-%, for example in a range of 25 to 65 vol .-%, particularly preferably in a range of 30 to 60 vol .-%.
  • the remainder to 100% by volume may be supplemented by one or more inert gases, eg N 2 , He, Ne, Ar, Kr, or by air.
  • the proportion of inert gas in reactants is preferably in a range from 0 to less than 50% by volume, for example in a range from 1 to 40% by volume or from 5 to 30% by volume, more preferably in one range from 10 to 20% by volume, based in each case on the total volume of the reactant.
  • 0 2 , C 2 F 2 , or mixtures thereof with Cl 2 are preferably used for the purification of silica granules I, which was prepared from a siloxane or a mixture of several siloxanes.
  • the reactant in the form of a gas or gas mixture is preferably used as a gas stream or as part of a gas stream with a throughput in a range of 50 to 2000 L / h, for example in a range of 100 to 1000 L / h, more preferably in a range of 200 up to 500 L / h contacted with the silica granules.
  • a preferred embodiment of the contacting is a contact of gas flow and silica granules in a continuous furnace, for example a rotary kiln. Another preferred embodiment of the contacting is a fluidized bed process.
  • a silica granule II having a carbon content Wcp j is obtained.
  • the carbon content Wcp j of the silica granules II is smaller than the carbon content w C (i) of the silica granules I based on the total weight of the respective silica granules.
  • wcp j is from 0.5 to 99%, for example from 0.5 to 50% or 1 to 45%, more preferably from 1.5 to 40% less than w C (i).
  • the silica granule I is additionally subjected to a thermal or mechanical treatment or a combination of these treatments.
  • One or more of these additional treatments may be before or during the treatment with the reactant.
  • the additional treatment can also be carried out on the silica granules II.
  • the general term "silica granules" used below includes the alternatives “silica granules I” and “silicon dioxide granules II.” It is also possible to apply the treatments described below to both the “silicon dioxide granules I" and the treated silicon dioxide granules I, the "silicon dioxide granules II ".
  • the treatment of the silica granules can serve a variety of purposes. For example, this treatment facilitates the processing of the silica granules into quartz glass bodies.
  • the treatment may also affect the properties of the resulting silica glass body.
  • the silica granules may be compacted, cleaned, surface modified or dried.
  • the specific surface area (BET) may decrease.
  • bulk density and average particle size may increase due to agglomeration of silica particles.
  • the thermal treatment can be carried out dynamically or statically.
  • all furnaces are suitable for the dynamic thermal treatment, in which the silicon dioxide granules can be thermally treated and thereby moved.
  • the dynamic thermal treatment preferably continuous furnaces are used.
  • a preferred average residence time of the silica granules in the dynamic thermal treatment is quantity dependent.
  • the average residence time of the silica granules in the dynamic thermal treatment is preferably in the range from 10 to 180 minutes, for example in the range from 20 to 120 minutes or from 30 to 90 minutes.
  • the mean residence time of the silica granules in the dynamic thermal treatment see in the range of 30 to 90 min.
  • a defined portion of a stream of silica granules eg one gram, one kilogram or one ton. Beginning and end of the stay are determined here by running in and out of the continuous furnace operation.
  • the throughput of the silica granules in a continuous process for dynamic thermal treatment is in the range of 1 to 50 kg / h, for example in the range of 5 to 40 kg / h or 8 to 30 kg / h. Particularly preferred is the throughput in the range of 10 to 20 kg / h.
  • the treatment time results from the period between a loading and subsequent unloading of the furnace.
  • the throughput is in a range of 1 to 50 kg / h, for example in the range of 5 to 40 kg / h or 8 to 30 kg / h.
  • the throughput is particularly preferably in the range from 10 to 20 kg / h.
  • the throughput can be achieved by a batch of a certain amount treated for one hour.
  • the throughput may be achieved by a number of batches per hour, for example, the amount of a batch corresponding to the throughput per hour by the number of batches.
  • the treatment time then corresponds to the fraction of an hour, which results from 60 minutes by the number of batches per hour.
  • the dynamic thermal treatment of the silica granules preferably takes place at an oven temperature of at least 500 ° C., for example in the range from 510 to 1700 ° C. or from 550 to 1500 ° C. or from 580 to 1300 ° C., particularly preferably in the range from 600 to 1200 ° C.
  • the oven in the oven chamber has the specified temperature.
  • this temperature deviates upwards or downwards from the indicated temperature by less than 10%, based on the total treatment time and the entire length of the furnace, both at each time of treatment and at each point of the furnace.
  • the continuous process of a dynamic thermal treatment of the silicon dioxide granules can take place at different furnace temperatures.
  • the oven may have a constant temperature over the treatment time, with the temperature varying in sections over the length of the oven. Such sections can be the same length or different lengths.
  • a temperature which increases from the inlet of the furnace to the outlet of the furnace is preferred.
  • the temperature at the inlet is at least 100 ° C lower than at the outlet, for example 150 ° C lower or 200 ° C lower or 300 ° C lower or 400 ° C lower. More preferably, the temperature at the exit is preferably at least 500 ° C., for example in the range from 510 to 1700 ° C.
  • the temperature at the inlet is preferably at least 300 ° C, for example from 400 to 1000 ° C or from 450 to 900 ° C or from 500 to 800 ° C or from 550 to 750 ° C, more preferably from 600 to 700 ° C.
  • each of the mentioned temperature ranges at the furnace inlet can be combined with each of the temperature ranges at the furnace outlet.
  • Preferred combinations of furnace inlet and furnace outlet temperature ranges are: Range Furnace inlet temperature [° C] Range Furnace outlet temperature [° C]
  • crucibles preferably are used in an oven.
  • Crucibles or tin crucibles are suitable as crucibles.
  • a sintered crucible is a crucible made of a sintered material containing at least one sintered metal and having a density of not more than 96% of the theoretical density of the metal. The sintered material and the sintered metal in the sinter crucible are not rolled.
  • a crucible, referred to as a sheet crucible includes one or more rolled sheets. As a rule, rolled sheet bars are made of several, riveted plates. Examples of refractory materials are refractory metals, in particular tungsten, molybdenum and tantalum.
  • the crucibles may also be formed from graphite or, in the case of crucibles of refractory metals, be lined with graphite foil. More preferably, the crucibles may be formed of silicon dioxide. Particular preference is given to using silicon dioxide crucibles.
  • the average residence time of the silica granules in the static thermal treatment is quantity-dependent.
  • the average residence time of the silica granules in the static thermal treatment at an amount of 20 kg of silica granules I in the range of 10 to 180 minutes, for example in the range of 20 to 120 minutes, more preferably in the range of 30 to 90 min.
  • the static thermal treatment of the silica granules is carried out at an oven temperature of at least 800 ° C, for example in the range of 900 to 1700 ° C or 950 to 1600 ° C or 1000 to 1500 ° C or 1050 to 1400 ° C, especially preferably in the range of 1100 to 1300 ° C.
  • the static thermal treatment of the silicon dioxide granules I preferably takes place at a constant oven temperature.
  • the static thermal treatment can also be carried out at a varying oven temperature.
  • the temperature preferably increases in the course of the treatment, the temperature at the beginning of the treatment being lower by at least 50 ° C. than at the end, for example 70 ° C. lower or 80 ° C. lower or 100 ° C. lower or 110 ° C lower, and wherein the temperature at the end is preferably at least 800 ° C, for example in the range of 900 to 1700 ° C or 950 to 1600 ° C or 1000 to 1500 ° C or 1050 to 1400 ° C, especially preferably in the range of 1100 to 1300 ° C. mechanically
  • the silicon dioxide granulate I can be treated mechanically.
  • the mechanical treatment can be carried out to increase the bulk density.
  • the mechanical treatment can be combined with the thermal treatment described above.
  • a mechanical treatment of the silicon dioxide granules promotes uniform contact of the surfaces of the individual silicon dioxide granules with the gas or the gases. This is achieved in particular with a combination of simultaneous mechanical and chemical treatment with one or more gases. Thereby, the effect of the chemical treatment can be improved.
  • the mechanical treatment of the silica granules may be accomplished by moving two or more silica granules in relative motion, for example, by rotating the tube of a rotary kiln.
  • the silicon dioxide granulate I is preferably treated chemically, thermally and mechanically. In particular, a simultaneous chemical, thermal and mechanical treatment of the silica granules I.
  • the silica granules I can be treated in a rotary kiln at elevated temperature under a chlorine- and oxygen-containing atmosphere. Water present in silicon dioxide granules I evaporates, organic materials react to CO and CO 2 . Metal contaminants can be converted to volatile, chlorine-containing compounds.
  • the chlorine-containing atmosphere contains, for example, HCl or CI 2 or a combination of both. This treatment causes a reduction of the carbon content.
  • alkali and iron impurities are preferably reduced.
  • a reduction in the number of OH groups is preferably achieved. At temperatures below 700 ° C, long treatment periods may result, at temperatures above 1100 ° C there is a risk that pores of the granules close to include chlorine or gaseous chlorine compounds.
  • step II.2) is characterized by at least one, for example by at least two or at least three, more preferably by a combination of all of the following features:
  • the reactant includes HCl, CI 2 or a combination thereof;
  • the treatment is carried out at a temperature in a range of 600 to 900 ° C; N4) the reactant forms a countercurrent;
  • the reactant has a gas flow in a range of 50 to 2000 L / h, preferably 100 to 1000
  • L / h more preferably 200 to 500 L / h;
  • the reactant has a volume fraction of inert gas in a range of 0 to less than 50
  • the silica granules I have a particle diameter which is larger than the particle diameter of the silica powder.
  • the particle diameter of the silica granule I is up to 300 times larger than the particle diameter of the silica powder, for example up to 250 times greater or up to 200 times larger or up to 150 times larger or up to 100 times larger or up to 50 times larger or Up to 20 times larger or up to 10 times larger, more preferably 2 to 5 times larger.
  • silica granules thus obtained are also referred to as silica granules II. More preferably, the silica granules II are obtained from the silica granules I in a rotary kiln by means of a combination of thermal, mechanical and chemical treatment.
  • the silica granulate provided in step i.) Is preferably selected from the group consisting of silica granules I, silica granules II and a combination thereof.
  • silicon dioxide granules I granules of silicon dioxide which are produced by granulation of silicon dioxide powder which was obtained in the pyrolysis of silicon compounds in a fuel gas flame.
  • Silicon granules II is understood as meaning a granulate of silicon dioxide which is formed by post-treatment of the silicon dioxide granulate I. As after-treatment, chemical, thermal and / or mechanical treatments are contemplated in detail in the description of the provision of the silicon dioxide granules (process step II first object of the invention).
  • the silicon dioxide granulate I provided in step i.) Is particularly preferably the silicon dioxide granulate I.
  • the silicon dioxide granule I has the following features:
  • a BET surface area in the range of 20 to 50 m 2 / g for example in a range of 20 to 40 m 2 / g; more preferably in a range of 25 to 35 m 2 / g;
  • the microporous fraction preferably amounts to a BET surface area in the range from 4 to 5 m 2 / g; for example, in a range of 4.1 to 4.9 m 2 / g; more preferably in a range of 4.2 to 4.8 m 2 / g; and
  • the silicon dioxide granulate I is preferably characterized by at least one, for example by at least two or at least three or at least four, more preferably by at least five of the following features:
  • [C] has a bulk density in a range of 0.5 to 1.2 g / cm 3 , for example, in a range of
  • [E] has an aluminum content of less than 200 ppb, preferably less than 100 ppb, for example less than 50 ppb or from 1 to 200 ppb or from 15 to 100 ppb, more preferably in a range from 1 to 50 ppb.
  • [G] a pore volume in a range of 0.1 to 1.5 mL / g, for example in a range of
  • Metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb preferably in a range of 1 to 900 ppb, for example in a range of 1 to 700 ppb, more preferably in a range of 1 to 500 ppb ;
  • [J] has a residual moisture of less than 10% by weight, preferably in a range of from 0.01% by weight to
  • the OH content also hydroxy group content, is understood as meaning the content of OH groups in a material, for example in silica powder, in silicon dioxide granules or in a quartz glass body.
  • the content of OH groups is determined spectroscopically in the infrared by comparing the first and third OH bands.
  • the chlorine content is understood as meaning the content of elemental chlorine or chloride ions in the silicon dioxide granules, the silicon dioxide powder or the quartz glass body.
  • the aluminum content is understood as meaning the content of elemental aluminum or aluminum ions in the silicon dioxide granules, the silicon dioxide powder or the quartz glass body.
  • the silica granule I has a microporous fraction in a range of 4 to 5 m 2 / g; for example, in a range of 4.1 to 4.9 m 2 / g; more preferably in a range of 4.2 to 4.8 m 2 / g.
  • the silica granulate I preferably has a density in a range of 2.1 to 2.3 g / cm 3 , more preferably in a range of 2.18 to 2.22 g / cm 3 .
  • the silicon dioxide granulate I preferably has an average particle size in a range from 180 to 300 ⁇ m, for example in a range from 220 to 280 ⁇ m, particularly preferably in a range from 230 to 270 ⁇ m.
  • the silica granulate I preferably has a particle size D 50 in a range of 150 to 300 ⁇ m, for example in a range of 200 to 280 ⁇ m, particularly preferably in a range of 230 to 270 ⁇ m. Further preferably, the silica granules I have a particle size D 10 in a range of 50 to 150 ⁇ , for example in a range of 100 to 150 ⁇ , more preferably in a range of 120 to 150 ⁇ on. Further preferably, the silica granules I a particle size D 90 in a range of 250 to 620 ⁇ , for example in a range of 300 to 550 ⁇ , more preferably in a range of 300 to 450 ⁇ on.
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] or [A] / [B] / [E] or [A] / [B] / [G], more preferably the combination of features [A ] / [B] / [C] / [E] or [A] / [B] / [C] / [G] or [A] / [B] / [E] / [G], particularly preferably the combination of features [A] / [B] / [C] / [e] / [G].
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 ⁇ and the Bulk density is in a range of 0.6 to 1.1 g / mL.
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [E], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 ⁇ and the Aluminum content is in a range of 1 to 50 ppb.
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [G], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 ⁇ and the Pore volume is in a range of 0.2 to 0.8 mL / g.
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] / [E], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 ⁇ , the bulk density in a range of 0.6 to 1.1 g / mL and the aluminum content in a range of 1 to 50 ppb.
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] / [G], wherein the BET
  • the average particle size in a range of 180 to 300 ⁇ is in a range of 0.6 to 1.1 g / mL and the pore volume is in a range of 0.2 to 0.8 mL / g.
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [E] / [G], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 ⁇ , the aluminum content in a range of 1 to 50 ppb and the pore volume in a range of 0.2 to 0.8 mL / g.
  • the silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] / [E] / [G], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a Range from 180 to 300 ⁇ , the bulk density in a range of 0.6 to 1.1 g / mL, the aluminum content in a range of 1 to 50 ppb and the pore volume in a range of 0.2 to 0.8 mL / g is.
  • Particle size is understood to be the size of the particles composed of the primary particles which are present in a silica powder, in a slurry or in a silica granulate.
  • the mean particle size is understood as meaning the arithmetic mean of all particle sizes of said substance.
  • the D 50 value indicates that 50% of the particles, based on the total number of particles, are smaller than the specified value.
  • the D 10 value indicates that 10% of the particles, based on the total number of particles, are smaller than the specified value.
  • the D 90 value indicates that 90% of the particles, based on the total number of particles, are smaller than the specified value.
  • the particle size is determined by dynamic image analysis method according to ISO 13322-2: 2006-11.
  • the silicon dioxide granules provided in step i.) are the silicon dioxide granules II.
  • the silicon dioxide granules II have the following features:
  • the silicon dioxide granules II preferably have at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
  • (C) a bulk density in a range of 0.7 to 1.2 g / cm 3 , for example, in a range of 0.75 to 1.1 g / cm 3 , particularly preferably in a range of 0.8 to 1 , 0 g / cm 3 ;
  • (G) a pore volume in a range of 0.1 to 2.5 mL / g, for example, in a range of 0.2 to 1.5 mL / g; more preferably in a range of 0.4 to 1 mL / g;
  • wt .-%, ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules II.
  • the silica granule II has a microporous fraction in a range of 1 to 2 m 2 / g, for example in a range of 1.2 to 1.9 m 2 / g, particularly preferably in a range of 1.3 to 1.8 m 2 / g on.
  • the silica granule II preferably has a density in a range from 0.5 to 2.0 g / cm 3 , for example from 0.6 to 1.5 g / cm 3 , particularly preferably from 0.8 to 1.2 g / cm 3 up.
  • the density is determined according to the method described in the test methods.
  • the silica granules II preferably has a particle size D 50 in a range of 150 to 300 ⁇ , for example in a range of 200 to 280 ⁇ , more preferably in a range of 230 to 270 ⁇ .
  • the silicon dioxide granulate II preferably has a particle size D 10 in a range from 50 to 150 ⁇ m, for example in a range from 100 to 150 ⁇ m, particularly preferably in a range from 120 to 150 ⁇ m.
  • the granular silica II has a particle size D 90 in a range of 250 to 620 ⁇ , for example in a range of 300 to 550 ⁇ , more preferably in a range of 300 to 450 ⁇ on.
  • the silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) or (A) / (B) / (F) or (A) / (B) / (I), more preferably the combination of features (A ) / (B) / (D) / (F) or (A) / (B) / (D) / (I) or (A) / (B) / (F) / (I), particularly preferably the combination of features (A) / (B) / (D) / (F) / (I).
  • the silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the mean particle size is in a range of 150 to 280 ⁇ and the carbon content is less than 4 ppm.
  • the silica granules II preferably has the combination of features (A) / (B) / (F), wherein the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 ⁇ and the Tamping density is in a range of 0.8 to 1.0 g / mL.
  • the silica granules II preferably has the combination of features (A) / (B) / (I), wherein the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 ⁇ and the Metal content of metals other than aluminum in a range of 1 to 400 ppb.
  • the silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) / (F), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 ⁇ , the carbon content is less than 4 ppm and the tamped density is in a range of 0.8 to 1.0 g / mL.
  • the silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) / (I), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 ⁇ , the carbon content is less than 4 ppm and the metal content of metals other than aluminum, in a range of 1 to 400 ppb.
  • the silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (F) / (I), wherein the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 ⁇ , the tamped density in a range of 0.8 to 1.0 g / mL and the metal content of metals other than aluminum, in a range of 1 to 400 ppb.
  • the silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) / (F) / (I), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in is a range of 150 to 280 ⁇ m, the carbon content is less than 4 ppm, the tamped density is in a range of 0.8 to 1.0 g / ml, and the metal content of metals other than aluminum is in a range of 1 to 400 ppb.
  • a glass melt is formed from the silica granules.
  • the silica granules are heated until a glass melt is obtained.
  • the heating of the silicon dioxide granules to a molten glass can in principle be carried out in any way known to the person skilled in the art for this purpose. Making a glass melt
  • the formation of a glass melt from the silica granules can be carried out by a continuous process.
  • the silicon dioxide granules may preferably be introduced continuously into an oven or the glass melt may be removed continuously from the oven, or both. More preferably, the silica granules are continuously introduced into the furnace and the molten glass continuously removed from the furnace.
  • a furnace which has at least one inlet and at least one outlet.
  • An inlet means an opening through which silicon dioxide and optionally further substances can be introduced into the furnace.
  • An outlet means an opening through which at least part of the silicon dioxide can be removed from the oven.
  • the oven may be vertically and horizontally aligned.
  • the oven is vertically aligned.
  • at least one inlet is located above at least one outlet.
  • "Above" in connection with internals and features of a furnace, in particular an inlet and outlet means that the fixture or feature located "above” another occupies a higher position NormalNull (NN).
  • N NormalNull
  • vertical is meant that the direct connection between the inlet and the outlet of the furnace has a deviation of not more than 30 ° to the direction of the solder.
  • the oven includes a hanging sintered crucible.
  • the silica granules are introduced and heated to obtain a glass melt.
  • a sintered crucible is understood to mean a crucible made of a sintered material containing at least one sintered metal and wherein the sintered metal has a density of not more than 96% of the theoretical density of the metal.
  • sintered metals is meant metals or alloys obtained by sintering metal powders.
  • the sintered material of the sintered crucible preferably has a density of 85% or more of the theoretical density of the sintered material, for example a density of 85% to 95% or of 90% to 94%, particularly preferably of 91% to 93%.
  • the sintered material can consist of all materials known to those skilled in the art and suitable for melting silicon dioxide.
  • the sintered material is made of at least one of the elements selected from the group consisting of refractory metals, graphite or lined with graphite foil materials.
  • the sintered material preferably contains a first sintered metal selected from the group consisting of molybdenum, tungsten and a combination thereof. More preferably, the sintered material further includes at least one further refractory metal other than the first sintered metal, more preferably selected from the group consisting of molybdenum, tungsten, rhenium, osmium, iridium, ruthenium, or a combination of two or more thereof.
  • the sintered material includes an alloy of molybdenum with a refractory metal, or tungsten with a refractory metal. Particularly preferred as the alloying metal are rhenium, osmium, iridium, ruthenium or a combination of two or more thereof.
  • the sintered material includes an alloy of molybdenum with tungsten, rhenium, osmium, iridium, ruthenium, or a combination of two or more thereof.
  • the sintered material includes an alloy of tungsten with molybdenum, rhenium, osmium, iridium, ruthenium, or a combination of two or more thereof.
  • the above-described sintered material may include a coating containing a refractory metal, in particular rhenium, osmium, iridium, ruthenium or a combination of two or more thereof.
  • the coating contains rhenium, osmium, iridium, ruthenium, molybdenum or tungsten, or a combination of two or more thereof.
  • the sintered material and its coating have various compositions.
  • a sintered material including molybdenum is coated with one or more layers of rhenium, osmium, iridium, ruthenium, tungsten, or each a combination of two or more thereof.
  • a sintered material including tungsten is coated with one or more layers of rhenium, osmium, iridium, ruthenium, molybdenum, or any combination of two or more thereof.
  • the sintered material may be rhenium alloyed molybdenum or rhenium alloyed tungsten, and may be coated on the inside of the crucible with one or more layers including rhenium, osmium, iridium, ruthenium or any combination of two or more thereof.
  • a sintered crucible is made by sintering the sintered material in a mold.
  • the sintered crucible can be made as a whole in one mold. It is also possible that individual parts of the sintered crucible are manufactured in a mold and subsequently processed into the sintered crucible.
  • the crucible is made of more than one part, for example, a bottom plate and one or more side parts. The side parts are preferably manufactured in one piece based on the circumference of the crucible.
  • the sintered crucible can be manufactured from a plurality of side parts arranged one above the other.
  • the side parts of the sintered crucible are sealed by screwing or by a tongue and groove joint.
  • Screwing is preferably done by making side pieces which have a thread at the edges.
  • two side parts to be joined each have a groove at the edges, into which a spring is inserted as a connecting third part, so that a positive connection is formed perpendicular to the crucible wall plane.
  • a sintered crucible is produced from more than one side part, for example from two or more side parts, particularly preferably from three or more side parts.
  • the parts of the hanging sintered crucible are screwed.
  • the bottom plate can in principle be connected to the crucible wall by all measures known to the person skilled in the art and suitable for this purpose.
  • the bottom plate is provided with an external thread and is connected by screwing the bottom plate in the crucible wall with this.
  • the bottom plate is connected by means of screws with the crucible wall.
  • the bottom plate is suspended in the sintered crucible, for example by inserting the bottom plate on an inner collar of the crucible wall.
  • at least a part of the crucible wall and a thickened bottom plate are sintered in one piece.
  • the bottom plate and the crucible wall of the hanging sintered crucible are screwed.
  • the bottom plate contained in a sintered crucible is thicker than the sides, for example 1.1 to 20 times thicker or 1.2 to 10 times thicker or 1.5 to 7 times thicker, more preferably 2 to 5 times thicker.
  • the sides preferably have a constant wall thickness over the circumference and over the height of the sintered crucible.
  • the sinter crucible has a nozzle.
  • the nozzle is formed of a nozzle material.
  • the nozzle material preferably comprises a precompressed material, for example with a density in a range of more than 95%, for example from 98 to 100%, particularly preferably from 99 to 99.999%, in each case based on the theoretical density of the nozzle material.
  • the nozzle material includes a refractory metal, for example, molybdenum, tungsten, or a combination thereof with a refractory metal.
  • a refractory metal for example, molybdenum, tungsten, or a combination thereof with a refractory metal.
  • Particularly preferred nozzle material is molybdenum.
  • a nozzle containing molybdenum may have a density of 100% of the theoretical density.
  • the hanging sintered crucible can in principle be heated in any manner familiar to the person skilled in the art and appear suitable for this purpose.
  • the hanging sintered crucible can be heated, for example, inductively or resistively.
  • inductive heating the energy is coupled directly by means of coils in the side wall of the sinter crucible and discharged from there to the inside of the crucible.
  • resistive heating the energy is coupled by radiation, the solid surface is heated from the outside and the energy is discharged from there to the inside.
  • the sintered crucible is preferably heated inductively.
  • the energy input into the sintered crucible is not effected by heating the sinter crucible, or a melt therein, or both, by means of a flame, such as a burner flame directed into the sinter crucible or crucible.
  • the sintered crucible has one or more than one heating zone, for example one or two or three or more than three heating zones, preferably one or two or three heating zones, particularly preferably a heating zone.
  • the heating zones of the sinter crucible can be brought to the same or different temperatures. For example, all heating zones can be heated to one temperature or all heating zones to different temperatures, or two or more heating zones to one and one or more heating zones can be independently brought to different temperatures.
  • all heating zones are brought to different temperatures, for example, the temperature of the heating zones increases in the direction of material transport of the silica granules.
  • a hanging sintered crucible is understood to mean a sinter crucible of the type described above, which is suspended in a furnace.
  • the hanging sintered crucible has at least one, for example at least two or at least three or at least four, particularly preferably all of the following features:
  • ⁇ a ⁇ a suspension preferably a height-adjustable suspension
  • ⁇ b ⁇ at least two sealed rings as side parts, preferably at least two rings screwed together as side parts;
  • ⁇ c ⁇ a nozzle preferably a nozzle fixedly connected to the crucible
  • ⁇ d ⁇ a mandrel for example a mandrel fixed to the nozzle by means of webs or a mandrel fastened to the cover by means of a support rod or a mandrel connected to a support rod from below the crucible
  • At least one gas inlet e.g. in the form of a filling tube or as a separate inlet, particularly preferably in the form of a filling tube;
  • a cooled jacket more preferably a water-cooled jacket
  • an insulation on the outside of the crucible for example on the outside of the cooled shell, preferably an insulating layer of zirconium oxide.
  • a suspension is a suspension mounted in the production of the hanging sintered crucible, for example a suspension provided as an integral part of the crucible, more preferably a suspension of the sintered material provided as an integral part of the crucible.
  • a suspension attached to the sintered crucible made of a material other than the sintered material, for example aluminum, steel, iron, nickel or copper, preferably copper, more preferably a cooled one, for example a water-cooled one Sinter crucible mounted copper suspension.
  • the hanging sintered crucible can be moved in the oven.
  • the crucible can be at least partially moved in and out of the furnace. If different heating zones are present in the oven, their temperature profiles are transferred to the crucible located in the oven. By changing the position of the crucible in the oven so several heating zones, varying heating zones or several varying heating zones can be realized in the crucible.
  • the crucible is connected to the inlet and outlet of the furnace such that silica granules can pass into the crucible through the inlet of the furnace via the inlet of the crucible and glass melt can be withdrawn through the outlet of the crucible and the outlet of the furnace.
  • the crucible adjacent to the at least one inlet at least one opening, preferably a plurality of openings through which gas can be introduced and discharged.
  • the crucible comprises at least two openings, wherein at least one can be used as a gas inlet and at least one as a gas outlet. The use of at least one opening as gas inlet and at least one opening as gas outlet preferably leads to a gas flow in the crucible.
  • the silica granules are introduced into the crucible and then heated in the crucible.
  • the heating may be carried out in the presence of a gas or a mixture of two or more gases.
  • water bound to the silica granules may also pass into the gas phase to form another gas.
  • the gas or mixture of two or more gases is in the headspace of the crucible.
  • the gas space of the crucible is understood to mean the area inside the crucible which is not occupied by a solid or liquid phase. Suitable gases are, for example, hydrogen, inert gases and two or more thereof.
  • Inert gases are understood to mean those gases which do not react with the substances provided in the crucible up to a temperature of 2400 ° C.
  • Preferred inert gases are Nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon, most preferably argon and helium.
  • the heating is carried out in a reducing atmosphere.
  • This may preferably be provided by hydrogen or a combination of hydrogen and an inert gas, for example by a combination of hydrogen and helium, or of hydrogen and nitrogen, or of hydrogen and argon, more preferably by a combination of hydrogen and helium.
  • an at least partial gas exchange of air, oxygen and water to hydrogen, at least one inert gas, or against a combination of hydrogen and at least one inert gas is carried out on the silica granules.
  • the at least partial gas exchange is performed on the silica granules upon introduction of the silica granules, or before heating, or during heating, or during at least two of the aforementioned activities.
  • the silica granules are heated to melt in a gas stream of hydrogen and at least one inert gas, for example, argon or helium.
  • the dew point of the gas as it exits through the gas outlet is less than 0 ° C.
  • the dew point is understood to mean the temperature below which, under unchanged pressure, a constituent of the gas or gas mixture under investigation condenses. In general, this refers to the condensation of water.
  • the dew point is determined with a dew point mirror hygrometer according to the measuring method described in the Methods section
  • the furnace preferably also a crucible located therein, at least one gas outlet, is removed through the gas supplied to the furnace and formed during operation of the furnace.
  • the furnace may also have at least one dedicated gas inlet.
  • gas may be introduced through the solids feed, also referred to as a solids inlet, for example, together with the silica particles, or before, after, or by a combination of two or more of the foregoing.
  • the gas withdrawn from the furnace through the gas outlet upon exiting the furnace through the gas outlet, has a dew point of less than 0 ° C, for example less than -10 ° C, or less than -20 ° C.
  • the dew point is determined according to the measuring method described in the method section at a slight overpressure of 5 to 20 mbar.
  • a device called "Optidew” from Michell Instruments GmbH, D-61381 Friedrichsdorf is suitable as a measuring device
  • the dew point of the gas is preferably determined at a measuring point at a distance of 10 cm or more from the gas outlet of the furnace this distance is between 10 cm and 5 m.
  • the distance of the measuring point from the gas outlet of the furnace is irrelevant for the result of the dew point measurement.
  • the gas is guided in a fluid-conducting manner from the outlet to the measuring point, for example in a hose or a pipe.
  • the temperature of the gas at the measuring point is often between 10 and 60 ° C, for example 20 to 50 ° C, in particular 20 to 30 ° C. Suitable gases and gas mixtures have already been described. It was found in the course of our own experiments that the above information applies to each of the gases and gas mixtures mentioned.
  • the gas or gas mixture before entry into the furnace, in particular the crucible has a dew point of less than -50 ° C, for example less than -60 ° C, or less than -70 ° C, or less than -80 ° C.
  • a dew point of -60 ° C is usually not exceeded.
  • the dew point of the gas before entering the furnace is at least 50 ° C less than when it leaves the crucible, for example at least 60 ° C, or even 80 ° C.
  • the above information applies.
  • the furnace in particular the crucible, is operated at a gas exchange rate in a range from 200 to 3000 L / h.
  • the dew point is determined in a measuring cell, wherein the measuring cell is separated by a membrane from the gas passing through the gas outlet.
  • the membrane is preferably permeable to moisture.
  • a dew point mirror measuring device is used to determine the dew point.
  • the dew point at the gas outlet of the oven can be adjusted.
  • a method of adjusting the dew point at the outlet of the furnace includes the following steps:
  • the dew point can be adjusted to a range of less than 0 ° C, for example, less than -10 ° C, more preferably less than -20 ° C. More preferably, the dew point can be set in a range of less than 0 ° C to -100 ° C, for example, less than -10 ° C to -80 ° C, more preferably less than -20 ° C to -60 ° C become.
  • input material is understood as meaning silicon dioxide particles provided for the production of a quartz glass body, preferably silica granules, silica granules or combinations thereof
  • silicon dioxide particles, the granules and the granules are preferably characterized by the features described in the context of the first article.
  • the furnace and the gas stream are preferably characterized by the features described in the context of the first subject.
  • the gas stream is formed by introducing a gas through an inlet into the furnace and discharging a gas through an outlet from the furnace.
  • the "gas exchange rate” is understood to mean the volume of gas that is passed out of the furnace per outlet through the outlet,
  • the gas exchange rate is also referred to as the flow rate of the gas or as the volume flow rate.
  • the setting of the dew point can be effected in particular by varying the residual moisture of the input material or the gas exchange rate of the gas stream. For example, by increasing the residual moisture of the input material, the dew point can be increased. By reducing residual moisture of the input material, the dew point can be lowered. An increased gas exchange rate can lead to a reduction in the dew point. On the other hand, a reduced gas exchange rate can result in an increased dew point.
  • the gas exchange rate of the gas stream is preferably in a range from 200 to 3000 L / h, for example from 200 to 2000 L / h, particularly preferably from 200 to 1000 L / h.
  • the residual moisture of the starting material is preferably in a range from 0.001% by weight to 5% by weight, for example from 0.01 to 1% by weight, particularly preferably from 0.03 to 0.5% by weight, in each case based on the total weight of the input material.
  • the dew point can preferably be influenced by further measures.
  • measures are the dew point of the gas stream entering the furnace, the furnace temperature and the composition of the gas stream. Reducing the dew point of the gas stream as it enters the furnace, reducing the furnace temperature, or decreasing the temperature of the gas stream at the outlet of the furnace may result in a reduction in the dew point of the gas stream at the outlet.
  • the temperature of the gas stream at the exit of the furnace has no influence on the dew point, if it is above the dew point.
  • the gas exchange rate of the gas stream is varied.
  • the process is preferably characterized by at least one, for example at least two or at least three, more preferably at least four of the following features:
  • an oven temperature in a range of 1700 to 2500 ° C, for example in a range of 1900 to 2400 ° C, more preferably in a range of 2100 to 2300 ° C;
  • V ⁇ the gas stream comprises helium, hydrogen or a combination thereof, preferably helium and hydrogen in a ratio of from 20:80 to 95: 5;
  • VI ⁇ a temperature of the gas at the outlet in a range of 10 to 60 ° C, for example from 20 to 50 ° C, particularly preferably from 20 to 30 ° C.
  • a gas stream with a high gas exchange rate and a low dew point at the inlet of the furnace when using a granular silica with a high residual moisture content.
  • a gas stream with a low gas exchange rate and a higher dew point can be used at the inlet of the furnace.
  • the gas exchange rate of a gas stream comprising helium and hydrogen is particularly preferably in the range from 200 to 3000 L / h.
  • the furnace temperature for melting the silica granules is preferably in the range of 1700 to 2500 ° C, for example, in the range of 1900 to 2400 ° C, more preferably in the range of 2100 to 2300 ° C.
  • the residence time in the furnace is preferably in the range from 1 hour to 50 hours, for example 1 to 30 hours, particularly preferably 5 to 20 hours.
  • the residence time in the context of the present invention means the time required to remove a fill amount of the melting furnace according to the method during the implementation of the method according to the invention, the melting furnace in which the molten glass is formed.
  • the filling quantity is the total amount of silicon dioxide present in the melting furnace.
  • the silicon dioxide can be present as a solid and as a glass melt.
  • the furnace temperature increases over the length, in the direction of material transport.
  • the furnace temperature preferably increases over the length, in the direction of material transport by at least 100 ° C., for example by at least 300 ° C. or by at least 500 ° C. or by at least 700 ° C., more preferably by at least 1000 ° C.
  • the highest temperature in the oven is 1700 to 2500 ° C, for example 1900 to 2400 ° C, more preferably 2100 to 2300 ° C.
  • the increase in the oven temperature can be uniform or according to a temperature profile.
  • the oven temperature decreases before the glass melt is removed from the oven.
  • the oven temperature before the glass melt is removed from the oven by 50 to 500 ° C from, for example, to 100 ° C or 400 ° C, more preferably from 150 to 300 ° C.
  • the temperature of the glass melt during removal is preferably 1750 to 2100 ° C, for example 1850 to 2050 ° C, particularly preferably 1900 to 2000 ° C.
  • the oven temperature increases over the length, in the direction of material transport, and before the glass melt is removed from the oven.
  • the oven temperature increases over the length, in the direction of material transport by at least 100 ° C, for example by at least 300 ° C or by at least 500 ° C or by at least 700 ° C, more preferably by at least 1000 ° C.
  • the highest temperature in the oven is 1700 to 2500 ° C, for example 1900 to 2400 ° C, more preferably 2100 to 2300 ° C.
  • a molten glass can also be formed in a vertical sintered crucible. This is mounted on the floor of the stove standing.
  • a hanging sintered crucible can also be moved in operation with simple means relative to the furnace, and thus to the heating, in the vertical.
  • the easy mobility relative to the heater allows a quick control and adjustment of the position of the present in the crucible melting zone.
  • a hanging sintered crucible can also be moved horizontally during operation; thereby, the geometry of the withdrawn from the crucible quartz glass strand can be controlled;
  • a hanging sinter crucible is easier to convert than a standing sinter crucible.
  • a glass melt can also be formed in a sheet metal crucible.
  • a sheet metal crucible is understood to mean a crucible which contains at least one rolled sheet.
  • a sheet metal crucible preferably has a plurality of rolled sheets.
  • a sheet metal crucible suitable for melting silicon dioxide is made of sheets of a sintered and rolled material, in particular of sintered metal, for example of molybdenum, tungsten or a combination thereof. Such sheets regularly have a density of more than 96% of the theoretical density, for example a density of more than 96% to 98%, or of 98 to 99.95%.
  • the theoretical density of a material corresponds to the density of a nonporous and 100% dense material.
  • the density of the sheet can be obtained by sintering a sintered metal and then compacting, that is, for example, rolling the sintered material.
  • a sinter crucible can be heated by induction. So a multi-zone heating is well feasible.
  • the furnace has at least a first and a further chambers connected to each other through a passage, wherein the first and the further chamber have different temperatures, wherein the temperature of the first chamber is lower than the temperature of the further chamber.
  • a glass melt is formed from the silica granules.
  • This chamber is referred to below as the melting chamber.
  • a connected to the melting chamber via a fabric guide, but upstream chamber is also referred to as preheating. It is, for example, that in which at least one outlet is directly connected to an inlet of the melting chamber.
  • the aforementioned arrangement can also be formed in independent ovens.
  • the melting chamber is a melting furnace. With regard to the further description, however, the melting furnace can be understood to be synonymous with the melting chamber. Accordingly, the remarks on the melting furnace also apply to the melting chamber, and vice versa.
  • the term preheating line is the same for both approaches.
  • the silica granules entering the furnace have a temperature in a range of 20 to 1300 ° C.
  • the silica granules are not tempered before entering the melting chamber.
  • the silica granules entering the oven have a temperature in a range of 20 to 40 ° C, more preferably 20 to 30 ° C.
  • silicon dioxide granules II are provided in accordance with step i.)
  • It preferably has a temperature in the range from 20 to 40 ° C., particularly preferably from 20 to 30 ° C., on entering the furnace.
  • the silica granules are tempered before entering the furnace to a temperature in a range of 40 to 1300 ° C.
  • Tempering means setting the temperature to a selected value.
  • the tempering can be carried out on all paths known to the person skilled in the art and known for tempering silicon dioxide granules.
  • the tempering may be carried out in a furnace separate from the melting chamber or in an oven connected to the melting chamber.
  • the tempering takes place in a chamber connected to the melting chamber.
  • the furnace thus preferably comprises a preheating section in which the silicon dioxide can be tempered.
  • the preheating section itself is preferably a continuous furnace, particularly preferably a rotary kiln.
  • a continuous furnace is understood to mean a heated chamber which, during operation, causes a movement of the silicon dioxide from an inlet of the continuous furnace to an outlet of the continuous furnace.
  • the outlet is directly connected to the inlet of the melting furnace.
  • the silica granules from the preheating without further intermediate steps or measures can enter the furnace.
  • the preheating section comprises at least one gas inlet and at least one gas outlet.
  • gas inlet gas can enter the interior, the gas space of the preheating, and through the gas outlet, it can be discharged.
  • gas inlet gas can enter the interior, the gas space of the preheating, and through the gas outlet, it can be discharged.
  • gas into the preheating section via the inlet for the silicon dioxide granules of the preheating section.
  • gas can be discharged via the outlet of the preheating section and subsequently separated from the silicon dioxide granulate.
  • gas can be supplied via the inlet for the silicon dioxide granules and a gas inlet to the preheating section, and discharged via the outlet of the preheating section and a gas outlet of the preheating section.
  • a gas flow is formed in the preheat section by using the gas inlet and the gas outlet.
  • gases are, for example, hydrogen, inert gases and two or more thereof.
  • Preferred inert gases are nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon, more preferably nitrogen and helium.
  • a reducing atmosphere is present in the preheating section. This may preferably be provided by hydrogen or a combination of hydrogen and an inert gas, for example by a combination of hydrogen and helium or of hydrogen and nitrogen, more preferably by a combination of hydrogen and helium.
  • an oxidizing atmosphere is present in the preheating section. This may preferably be provided by oxygen or a combination of oxygen and one or more further gases, more preferably air. It is further preferably possible to temper the silicon dioxide at reduced pressure in the preheating section.
  • the silica granules entering the furnace have a temperature in the range of 100 to 1100 ° C or 300 to 1000 or 600 to 900 ° C.
  • Silicon dioxide granules II When heated it preferably has a temperature in the range of 100 to 1100 ° C or 300 to 1000 or 600 to 900 ° C when entering the furnace.
  • the furnace includes at least two chambers.
  • the furnace includes a first and at least one further chamber.
  • the first and the further chambers are connected to each other through a passage.
  • the at least two chambers can in principle be arranged as desired in the oven, preferably vertically or horizontally, particularly preferably vertically.
  • the chambers are arranged in the furnace so that in the implementation of the method according to the first subject of the invention, silica granules pass through the first chamber and then heated in the further chamber to obtain a molten glass.
  • the further chamber preferably has the above-described features of the melting furnace and the crucible arranged therein.
  • each of the chambers includes an inlet and an outlet.
  • the inlet of the furnace is connected to the inlet of the first chamber through a passage.
  • the outlet of the furnace is connected to the outlet of the further chamber through a passage.
  • the outlet of the first chamber is connected through an aperture to the inlet of the further chamber.
  • the chambers are preferably arranged in the furnace in such a way that the silica granules can pass into the first chamber through the inlet of the furnace.
  • the chambers are preferably arranged in the furnace such that a silicon dioxide glass melt can be removed from the further chamber through the outlet of the furnace.
  • the silica granules can enter the first chamber through the inlet of the furnace and a silicon dioxide glass melt can be taken out of another chamber through the outlet of the furnace.
  • the silica can pass as granules or powder in the direction predetermined by the method of transporting material from a first chamber to another.
  • Chambers connected by a passage include arrangements in which further intermediate elements are arranged between a first and a further chamber in the direction of material transport.
  • the passage can in principle happen gases, liquids and solids.
  • silica powders, slurries of silica powder and silica granules may pass the transition between a first and a further chamber.
  • all substances introduced into the first chamber can pass into the further chamber via the passage between the first and the further chambers.
  • the passage between the first and further chamber Preferably passes through the passage between the first and further chamber only silica in the form of granules or powder in the other chamber.
  • the passage between the first and the further chamber is closed by the silicon dioxide, so that the gas space of the first and the further chamber are separated from each other, preferably so that in the gas spaces different gases or gas mixtures, different pressures or both can be present.
  • the passage is formed by a lock, preferably by a rotary valve.
  • the first chamber of the furnace preferably has at least one gas inlet and at least one gas outlet.
  • the gas inlet may in principle have any shape which is known to those skilled in the art and suitable for introducing a gas, for example a nozzle, a valve or a pipe.
  • the gas outlet may in principle have any shape which is known to the person skilled in the art and suitable for discharging a gas, for example a nozzle, a valve or a pipe.
  • silica granules are introduced into the first chamber through the inlet of the furnace and heated.
  • the heating may be carried out in the presence of a gas or a combination of two or more gases.
  • the gas or the combination of two or more gases is present in the gas space of the first chamber.
  • the gas space of the first chamber is understood to be the area of the first chamber which is not occupied by a solid or liquid phase.
  • gases are, for example, hydrogen, oxygen, inert gases and two or more thereof.
  • Preferred inert gases are nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon, more preferably nitrogen, helium and a combination thereof.
  • the heating is carried out in a reducing atmosphere. This may preferably be provided by hydrogen or a combination of hydrogen and helium.
  • the silica granules in the first chamber are heated in a stream of the gas or the combination of two or more gases.
  • the silica granules in the first chamber be heated at a reduced pressure, for example at a pressure of less than 500 mbar or less than 300 mbar, for example 200 mbar or less.
  • the first chamber is provided with at least one device with which the silica granules are moved.
  • the silica granules are moved.
  • all devices which are known to the person skilled in the art and appear suitable for this purpose can be selected.
  • suitable are stirring, shaking or swiveling devices.
  • the temperatures in the first and in the further chamber are different.
  • the temperature in the first chamber is lower than the temperature in the other chamber.
  • the temperature difference between the first and the further chamber in a range of 600 to 2400 ° C, for example in a range of 1000 to 2000 ° C or from 1200 to 1800 ° C, more preferably in a range of 1500 to 1700 ° C.
  • the temperature in the first chamber is 600 to 2400 ° C, for example 1000 to 2000 ° C or 1200 to 1800 ° C, more preferably 1500 to 1700 ° C lower than the temperature in the other chamber.
  • the first chamber of the furnace is a preheating section, particularly preferably a preheating section as described above, which has the features described above.
  • the preheating is connected by a passage with the other chamber.
  • silicon dioxide passes from the preheating section via an opening into the further chamber.
  • the passage between the preheating section and the further chamber may be closed, so that no gases introduced into the preheating section pass through the passage into the further chamber.
  • the passage between the preheating and the other chamber is closed, so that the silicon dioxide does not come into contact with water.
  • the first chamber of the furnace is not a preheating section.
  • the first chamber is a compensation chamber.
  • a compensation chamber is understood to mean a chamber of the furnace in which throughput variations in an upstream preheating section or throughput differences between a preheating section and the further chamber are compensated.
  • the first chamber may be preceded by a rotary kiln as described above. This usually has a throughput that can vary by up to 6% of the average throughput.
  • silica is maintained in a compensation chamber at the temperature with which it enters the compensation chamber.
  • the furnace has a first chamber and more than one further chamber, for example two further chambers or three further chambers or four further chambers or five further chambers or more than five further chambers, particularly preferably two further chambers.
  • the first chamber is preferably a preheating section
  • the first of the further chambers is a compensation chamber
  • the second of the further chambers is the melting chamber, based on the direction of material transport.
  • an additive is present in the first chamber.
  • the additive is preferably selected from the group consisting of halogens, inert gases, bases, oxygen or a combination of two or more thereof.
  • halogens in elemental form and halogen compounds are suitable as additives.
  • Preferred halogens are selected from the group consisting of chlorine, fluorine, chlorine-containing compounds and fluorine-containing compounds. Particularly preferred are elemental chlorine and hydrogen chloride.
  • inert gases are nitrogen, helium or a combination thereof.
  • bases are also suitable as additives.
  • Preferred bases as additives are inorganic and organic bases.
  • oxygen is preferably present as an oxygen-containing atmosphere, for example in combination with an inert gas or a mixture of two or more inert gases, particularly preferably in combination with nitrogen, helium or nitrogen and helium.
  • the first chamber may in principle include any material known to those skilled in the art and for heating
  • the first chamber preferably contains at least one element selected from the group consisting of quartz glass, a refractory metal, aluminum and a combination of two or more thereof, particularly preferably the first chamber contains quartz glass or aluminum.
  • the temperature in the first chamber does not exceed 600 ° C when the first chamber includes a polymer or aluminum.
  • the temperature in the first chamber is 100 to 1100 ° C when the first chamber includes quartz glass.
  • the first chamber preferably contains essentially quartz glass.
  • the silicon dioxide When transporting the silicon dioxide from the first chamber to the further chamber through the passage between the first and the further chamber, the silicon dioxide can in principle be in any state.
  • the silicon dioxide is preferably present as a solid, for example as particles, powders or granules. According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the transport of the silicon dioxide from the first to the further chamber takes place as granules.
  • the further chamber is a crucible of a sheet metal or a sintered material, which contains a sintered metal, wherein the sheet or the sintered metal is selected from the group consisting of molybdenum, tungsten and a combination thereof.
  • the glass melt is removed through the outlet from the oven, preferably via a nozzle.
  • a quartz glass body is formed from at least part of the molten glass.
  • at least part of the glass melt produced in step ii) is preferably removed and the quartz glass body formed therefrom.
  • the removal of part of the glass melt produced in step ii) can, in principle, be carried out continuously from the melting furnace or the melting chamber, or after completion of the production of the glass melt.
  • a part of the molten glass is removed continuously.
  • the molten glass is removed through the outlet from the furnace or the outlet of the melting chamber, preferably via a nozzle.
  • the molten glass may be cooled before, during or after removal to a temperature which allows the molten glass to be molded. With the cooling of the molten glass, an increase in the viscosity of the molten glass is connected.
  • the molten glass is preferably cooled to the extent that the formed form is retained during molding and molding can be carried out simultaneously as quickly as possible, reliably and with little effort.
  • the person skilled in the art can easily determine the viscosity of the molten glass for molding by varying the temperature of the molten glass on the mold.
  • When removing the molten glass preferably has a temperature in the range of 1750 to 2100 ° C, for example 1850 to 2050 ° C, particularly preferably 1900 to 2000 ° C.
  • the glass melt after removal to a temperature of less than 500 ° C, for example, less than 200 ° C or less than 100 ° C or less than 50 ° C, more preferably to a temperature in the range of 20 to 30 ° C cooled.
  • the formed quartz glass body may be a solid body or a hollow body.
  • a solid body is meant a body consisting essentially of a single material.
  • a solid body may have one or more inclusions, e.g. Gas bubbles. Such inclusions in a massive
  • Bodies are often 65 mm 3 or less in size, for example, less than 40 mm 3 , or less than 20 mm 3 , or less than 5 mm 3 'or less than 2 mm 3 , more preferably less than 0.5 mm 3 .
  • a solid body contains less than 0.02% by volume of its volume, for example, less than 0.01% by volume or less than 0.001% by volume of inclusions, each based on the total volume of the solid body.
  • the quartz glass body has an outer shape.
  • the outer shape is understood to be the shape of the outer edge of the cross section of the quartz glass body.
  • the outer shape of the quartz glass body is preferably round, elliptical or polygonal in cross-section with three or more corners, for example 4, 5, 6, 7 or 8 corners, more preferably the quartz glass body is round.
  • the quartz glass body has a length in the range of 100 to 10,000 mm, for example from 1000 to 4000 mm, particularly preferably from 1200 to 3000 mm.
  • the quartz glass body has an outer diameter in the range of 1 to 500 mm, for example in a range of 2 to 400 mm, particularly preferably in a range of 5 to 300 mm.
  • the molding of the quartz glass body takes place by means of a nozzle.
  • the molten glass is passed through the nozzle.
  • the outer shape of a quartz glass body formed by the nozzle is determined by the shape of the opening of the nozzle.
  • a cylinder is formed as the quartz glass body is formed. If the opening of the nozzle has a structure, this structure is transferred to the outer shape of the quartz glass body.
  • a quartz glass body, which is formed by means of a nozzle with structures at the opening, has an image of the structures in the longitudinal direction on the glass strand.
  • the nozzle is integrated in the furnace. Preferably, it is integrated as part of the crucible in the furnace, more preferably as part of the outlet of the crucible.
  • the at least part of the molten glass is removed through the nozzle.
  • the outer shape of the quartz glass body is formed by removing at least a portion of the glass melt through the nozzle.
  • the quartz glass body is cooled after forming to obtain its shape.
  • the quartz glass body is cooled after molding to a temperature which is at least 1000 ° C below the temperature of the glass melt during molding, for example at least 1500 ° C or at least 1800 ° C, more preferably 1900 to 1950 ° C.
  • the quartz glass body is cooled to a temperature of less than 500 ° C, for example of less than 200 ° C or less than 100 ° C or less than 50 ° C, more preferably to a temperature in the range of 20 to 30 ° C.
  • the resulting quartz glass body may be treated with at least one measure selected from the group consisting of chemical, thermal or mechanical treatment.
  • the quartz glass body is chemically treated.
  • Post-treatment refers to the treatment of an already formed quartz glass body.
  • chemical aftertreatment of the quartz glass body is understood in principle any measure which is known to the person skilled in the art and appears to be suitable for changing the chemical structure or the composition of the surface of the quartz glass body or both by the use of substances.
  • the chemical aftertreatment comprises at least one measure selected from the group consisting of treatment with fluorine compounds and ultrasonic cleaning.
  • Particularly suitable fluorine compounds are hydrogen fluoride and fluorine-containing acids, for example hydrofluoric acid.
  • the liquid preferably has a content of fluorine compounds in a range of 35 to 55 wt .-%, preferably in a range of 35 to 45 wt .-%, the wt .-% in each case based on the total amount of liquid.
  • the remainder to 100% by weight is usually water.
  • demineralized or deionized water is selected as the water.
  • Ultrasonic cleaning is preferably carried out in a liquid bath, more preferably in the presence of detergents.
  • detergents usually no fluorine compounds, for example, neither hydrofluoric acid nor hydrogen fluoride, are used.
  • the ultrasonic cleaning of the quartz glass body is preferably carried out under at least one, for example at least two or at least three or at least four or at least five, more preferably all of the following conditions:
  • the ultrasonic cleaning takes place in a continuous process.
  • the ultrasonic cleaning system has six chambers connected to each other by pipes.
  • the residence time of the quartz glass bodies in each chamber can be adjusted.
  • the residence time of the quartz glass bodies in each chamber is the same.
  • the residence time in each chamber is in a range of 1 to 120 minutes, for example less than 5 minutes or 1 to 5 minutes or of
  • the first chamber comprises a basic medium, preferably containing water and a base, and an ultrasonic cleaner.
  • the third compartment comprises an acidic medium, preferably containing water and an acid, and a
  • the quartz glass body is cleaned with water, preferably demineralized water.
  • the fourth to sixth chamber is operated as a cascade with water, preferably desalted water.
  • the water is introduced only in the sixth chamber and runs from the sixth to the fifth and from the fifth to the fourth chamber.
  • the quartz glass body is thermally treated.
  • thermal aftertreatment of the quartz glass body is understood in principle any measure which is known to the person skilled in the art and appears suitable for changing the quartz glass body by the action of temperature in its shape or structure or both.
  • the thermal aftertreatment preferably comprises at least one measure selected from the group consisting of from annealing, upsetting, inflation, stripping, welding and a combination of two or more of them.
  • the thermal aftertreatment preferably takes place without the goal of material removal.
  • Annealing is preferably carried out by heating the quartz glass body in an oven, preferably to a temperature in a range from 900 to 1300 ° C., for example in a range from 900 to 1250 ° C. or from 1040 to 1300 ° C., more preferably in a range of 1000 to 1050 ° C or 1200 to 1300 ° C.
  • a temperature of 1300 ° C is not exceeded for a continuous period of more than 1 h, more preferably, a temperature of 1300 ° C is not exceeded during the entire thermal treatment time.
  • the tempering can in principle be carried out at reduced pressure, at normal pressure or at elevated pressure, preferably at reduced pressure, particularly preferably under reduced pressure.
  • the compression is preferably carried out by heating the quartz glass body, preferably to a temperature of about 2100 ° C, and then forming during a rotary rotary motion, preferably at a rotational speed of about 60 U / min.
  • a quartz glass body in the form of a rod can be reshaped by compression into a cylinder.
  • a quartz glass body can be inflated by blowing a gas into the quartz glass body.
  • a quartz glass body can be reshaped by blowing into a large pipe.
  • the quartz glass body is preferably heated to a temperature of about 2100 ° C., while a rotating rotational movement is carried out, preferably at a rotational speed of about 60 rpm, and the interior is flushed with a gas, preferably at a defined temperature and regulated internal pressure up to about 100 mbar.
  • a large pipe is understood to mean a pipe with an outer diameter of at least 500 mm.
  • a quartz glass body can preferably be pulled out.
  • the drawing is preferably carried out by heating the quartz glass body, preferably to a temperature of about 2100 ° C, and then drawing with a controlled drawing speed to the desired outer diameter of the quartz glass body.
  • lamp tubes can be formed by drawing out of quartz glass bodies.
  • the quartz glass body is mechanically aftertreated.
  • mechanical aftertreatment of the quartz glass body is understood in principle any measure which is known to the person skilled in the art and which appears suitable for changing the shape of the quartz glass body by an abrasive measure or for dividing the quartz glass body into several pieces.
  • the mechanical aftertreatment includes at least one measure selected from the group consisting of grinding, drilling, honing, sawing, water jet cutting, laser beam cutting, thawing by sand blasting, milling and a combination of two or more thereof.
  • the quartz glass body with a combination of these measures for example with a combination of a chemical and a thermal aftertreatment or a chemical and a mechanical aftertreatment or a thermal and a mechanical aftertreatment, particularly preferably with a combination of a chemical, a thermal and a treated mechanical post-treatment.
  • the quartz glass body can each be subjected, independently of one another, to a plurality of the aforementioned measures.
  • the method includes the following method step:
  • the formed hollow body has an inner and an outer shape.
  • Inner form is understood to mean the shape of the inner edge of the hollow body in cross section.
  • the inner and outer shape of the cross section of the hollow body may be the same or different.
  • the inner and outer shapes of the hollow body may be round, elliptical or polygonal in cross-section with three or more corners, for example 4, 5, 6, 7 or 8 corners.
  • the outer shape of the cross section corresponds to the inner shape of the cross section of the hollow body.
  • the hollow body in cross section has a round inner and a round outer shape.
  • the hollow body may differ in the inner and outer shape.
  • the hollow body has a round outer shape and a polygonal inner shape in cross-section.
  • the hollow body has a round outer shape and a hexagonal inner shape in cross section.
  • the hollow body has a length in the range of 100 to 10,000 mm, for example from 1000 to 4000 mm, more preferably from 1200 to 2000 mm.
  • the hollow body has a wall thickness in a range of 0.8 to 50 mm, for example in a range of 1 to 40 mm or from 2 to 30 mm or from 3 to 20 mm, particularly preferably in a range of 4 to 10 mm ,
  • the hollow body has an outer diameter of 2.6 to 400 mm, for example in a range of 3.5 to 450 mm, more preferably in a range of 5 to 300 mm.
  • the hollow body preferably has an inner diameter of 1 to 300 mm, for example in a range of 5 to 280 mm or of 10 to 200 mm, particularly preferably in a range of 20 to 100 mm.
  • the hollow body contains one or more openings.
  • the hollow body includes an opening.
  • the hollow body preferably contains an even number of openings, for example 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18 or 20 openings.
  • the hollow body contains two openings.
  • the hollow body is a tube. This shape of the hollow body is particularly preferred when the optical fiber includes only one core.
  • the hollow body may contain more than two openings.
  • the openings are preferably in pairs opposite each other in the ends of the quartz glass body. For example, each end of the quartz glass body has 2, 3, 4, 5, 6, 7 or more than 7 openings, more preferably 5, 6 or 7 openings.
  • Preferred shapes are, for example, tubes, twin tubes, ie tubes with two parallel channels, multi-channel bars, ie tubes with more than two parallel channels.
  • the hollow body can in principle be formed in any way known to those skilled in the art.
  • the hollow body is formed by means of a nozzle.
  • the nozzle in the center of its opening contains a device which dissipates the molten glass during molding.
  • a hollow body can be formed from a molten glass.
  • the formation of a hollow body can be done by using a nozzle and subsequent aftertreatment.
  • all processes known to the person skilled in the art for producing a hollow body from a solid body for example the swaging of channels, drilling, honing or grinding, are suitable as aftertreatment.
  • the solid body As a post-treatment, it is preferable to guide the solid body over one or more spikes, whereby a hollow body is formed.
  • the mandrel can be introduced into the solid body to form a hollow body.
  • the hollow body is cooled after forming.
  • the hollow body is after forming at a temperature of less than 500 ° C, for example less than 200 ° C or less than 100 ° C or less than 50 ° C, more preferably at a temperature in the range of 20 to 30 ° C cooled.
  • step i) it is in principle possible to subject the silicon dioxide granules provided in step i) to one or more pretreatment steps before it is heated in step ii) until a glass melt is obtained.
  • pretreatment steps for example, thermal or mechanical treatment steps into consideration.
  • the silica granules are compacted before heating in step ii.).
  • reaction is meant a reduction in BET surface area and a reduction in pore volume.
  • the silica granules are preferably densified thermally by heating the silica granules or mechanically by applying a pressure to the silica granules, for example rolling or pressing the silica granules.
  • the silica granules are compacted by heating.
  • the compacting of the silicon dioxide granules is carried out by heating by means of a preheating section connected to the melting furnace.
  • the silica is densified by heating at a temperature in a range of 800 to 1400 ° C, for example, at a temperature in a range of 850 to 1300 ° C, particularly preferably at a temperature in a range of 900 to 1200 ° C.
  • the BET surface area of the silica granule prior to heating in step ii.) Is not reduced to less than 5 m 2 / g, preferably not less than 7 m 2 / g or not less than 10 m 2 / g, more preferably not less than 15 m 2 / g. It is further preferred that the BET surface area of the silica granules prior to heating in step ii.) Is not reduced over the silica granules provided in step i.).
  • the BET surface area of the silica granule is reduced to less than 20 m 2 / g, for example to less than 15 m 2 / g, or to less than 10 m 2 / g, or to a range of greater than 5 to less than 20 m 2 / g or from 7 to 15 m 2 / g, especially preferably to a range of 9 to 12 m 2 / g.
  • the BET surface area of the silica granules is reduced by less than 40 m 2 / g, for example by 1 to 20 m 2 / g or by 2 to 10, prior to heating in step ii.) Over the silica granules provided in step i.) m 2 / g, more preferably around 3 to 8 m 2 / g, wherein the BET surface area after compaction is more than 5 m 2 / g.
  • the compacted silica granules are referred to below as silica granules III.
  • the silicon dioxide granules III preferably have at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
  • a particle size D 10 in a range of 100 to 300 ⁇ , more preferably in a range of 120 to 200 ⁇ ;
  • E a bulk density in a range of 0.8 to 1.6 g / cm 3 , more preferably from 1.0 to 1.4 g / cm 3 ;
  • G an amount of carbon of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm;
  • ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules III.
  • the silica granule III preferably has the feature combination A./F./G. or A./F./H. or A./G./H. on, particularly preferably the combination of features A./F./G./H.
  • the silica granule III preferably has the feature combination A./F./G. wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the tamped density is in a range of 1.15 to 1.35 g / mL, and the carbon content is less than 4 ppm.
  • the silica granules III preferably has the combination of features A./F./H. wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the tapped density is in a range of 1.15 to 1.35 g / ml, and the chlorine content is in a range of 1 ppb to 200 ppm.
  • the silica granules III preferably has the feature combination A./G./H. wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the carbon content is less than 4 ppm, and the chlorine content is in a range of 1 ppb to 200 ppm.
  • the silica granules III preferably has the feature combination A./F./G./H. with the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the tamped density in a range of 1.15 to 1.35 g / ml the carbon content is less than 4 ppm and the chlorine content ranges from 1 ppb to 200 ppm.
  • a silicon component other than silicon dioxide is added.
  • the addition of a silicon component other than silicon dioxide is also referred to below as Si doping.
  • the Si doping can be carried out in any method step.
  • the Si doping is preferably carried out in step i) or in step ii).
  • the silicon component other than silicon dioxide can in principle be added in any desired form, for example as a solid, as a liquid, as a gas, in solution or as a dispersion.
  • the silicon dioxide-different silicon component is added as a powder.
  • the silicon dioxide-different silicon component is added as a liquid or as a gas.
  • the silicon dioxide-non-silicon component is preferably added in an amount within a range of 1 to 100,000 ppm, for example, in a range of 10 to 10,000 ppm or 30 to 1,000 ppm or in a range of 50 to 500 ppm, more preferably in one Range of 80 to 200 ppm, more preferably in a range of 200 to 300 ppm, each based on the total weight of silica.
  • the silicon dioxide-different silicon component may be solid, liquid or gaseous. If it is solid, it preferably has an average particle size of up to 10 mm, for example of up to 1000 ⁇ of up to 400 ⁇ or in a range of 1 to 400 ⁇ , for example 2 to 200 ⁇ or 3 to 100 ⁇ , more preferably in a range of 5 to 50 ⁇ .
  • the particle size data are based on the state of the non-silicon dioxide silicon component at room temperature.
  • the silicon component preferably has a purity of at least 99.5 wt .-%, for example of at least 99.8 wt .-% or of at least 99.9 wt .-%, or of at least 99.99 wt .-%, more preferably of at least 99.999 wt .-%, each based on the total weight of the silicon component.
  • the silicon component has an amount of carbon of not more than 10 ppm, for example not more than 50 ppm, more preferably not more than 1 ppm, each based on the total weight of the silicon component. This is particularly preferred for silicon used as a silicon component.
  • the silicon component has an amount of impurities selected from the group consisting of Al, Ca, Co, Cr, Cu, Fe, Ge, Hf, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Ni, Ti, V, W, Zn, Zr of not more than 250 ppm, for example not more than 150 ppm, more preferably not more than 100 ppm, in each case based on the total weight of the silicon component. This is particularly preferred for silicon used as a silicon component.
  • a silicon component other than silicon dioxide is preferably added.
  • the silica component other than silicon dioxide is added to a silica granule during processing of the silica powder (step II).
  • the silicon dioxide oxide various silicon component before, during or after granulation are added to the silica.
  • the silica may be Si-doped by adding the silicon dioxide-disparate silicon component to the slurry including silica powder.
  • the silicon dioxide-dissimilar silicon component is mixed with silica powder and then slurried in a liquid, or the silicon dioxide-non-silicon component is added to a slurry of silica powder in a liquid and slurried, or the silica powder becomes a slurry or solution of Silicon dioxide various silicon component in a liquid and slurried.
  • the silicon dioxide can be Si-doped by adding the silicon dioxide-different silicon component during granulation. It is in principle possible to add the silicon dioxide-different silicon component at any time during granulation.
  • the silica component other than silica may be sprayed through the nozzle together with the slurry into the spray tower.
  • the silicon dioxide-different silicon component may preferably be added in solid form or as a slurry, for example, after the slurry is introduced into the stirred tank. More preferably, the silica may be Si-doped by adding the silicon dioxide-disparate silicon component after granulation.
  • the silica in the treatment of the silica granules I, may be doped to the silica granules II, preferably by adding the non-silica silicon component during the thermal or mechanical treatment of the silica granules I.
  • the silica granule II is doped with the silicon dioxide-different silicon component.
  • the silicon dioxide-different silicon component can also be added during several of the aforementioned sections, in particular during and after the thermal or mechanical treatment of the silicon dioxide granules I to the silicon dioxide granules II.
  • the silicon component which is different from silicon dioxide, may in principle be silicon or any compound containing silicon which is known and has a reducing effect on the person skilled in the art.
  • the silicon component other than silicon dioxide is preferably silicon, a silicon-hydrogen compound, for example a silane, a silicon-oxygen compound, for example silicon monoxide, or a silicon-hydrogen-oxygen compound, for example disiloxane.
  • a silicon-hydrogen compound for example a silane
  • a silicon-oxygen compound for example silicon monoxide
  • silicon-hydrogen-oxygen compound for example disiloxane.
  • Examples of preferred silanes are monosilane, disilane, trisilane, tetrasilane pentasilane, hexasilane heptasilane, higher homologs and isomers of the aforementioned, as well as cyclic silanes such as cyclopentasilane.
  • a silicon component other than silicon dioxide is preferably added.
  • the silicon dioxide-different silicon component may be added directly to the crucible together with the silica granules.
  • silicon may be added to the crucible as the non-silica silicon component together with the silica granules.
  • the silicon is preferably added as a powder, in particular in the particle size already mentioned for the silicon dioxide-different silicon component.
  • the silica component other than silicon dioxide is added to the silica granules prior to introduction into the crucible.
  • the addition can in principle be carried out at any time after the formation of the granules, for example in the preheating section, before or during the precompression of the silicon dioxide granules II or to the silicon dioxide granules III.
  • Si-doped granules A silica granule obtained by adding a silicon component other than silicon dioxide will be referred to as "Si-doped granules.”
  • the Si-doped granules have at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following Features on:
  • [I] has a BET surface area in a range of more than 5 to less than 40 m 2 / g, for example, 10 to 30 m 2 / g, particularly preferably in a range of 15 to 25 m 2 / g;
  • a particle size D 10 in a range of 100 to 300 ⁇ , more preferably in a range of 120 to 200 ⁇ ;
  • a particle size D 90 in a range of 300 to 650 ⁇ , more preferably in a range of 400 to 500 ⁇ ;
  • an amount of carbon of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm;
  • [I I] has a residual moisture content of less than 3% by weight, for example in a range from 0.001% by weight to 2% by weight, particularly preferably from 0.01 to 1% by weight;
  • wt .-%, ppm and ppb are each based on the total weight of the Si-doped granules.
  • the melting energy is transferred to the silica granules via a solid surface.
  • a solid surface is understood to mean a surface which is different from the surface of the silica granules and which does not melt or decompose at temperatures to which the silica granules are heated to melt.
  • Suitable materials of the solid surface are, for example, the materials suitable as crucible materials.
  • the solid surface may, in principle, be any surface known to those skilled in the art and suitable for these purposes.
  • the crucible or a separate component other than the crucible may be used.
  • the solid surface may, in principle, be heated in any way known to the person skilled in the art and suitable for this purpose in order to transfer the melting energy to the silicon dioxide granules.
  • the solid surface is heated by resistive heating or induction heating. In inductive heating, the energy is coupled directly by coils in the solid surface and discharged from there to the inside. With resistive heating, the solid surface is heated from the outside and releases the energy from there to the inside.
  • a heating chamber gas with a lower heat capacity for example an argon atmosphere or an argon-containing atmosphere
  • the solid surface may be heated electrically or by firing the solid surface with a flame from the outside.
  • the solid surface is heated to a temperature that can transmit an amount of energy sufficient to melt the silica granules to the silica granules and / or partially melted silica granules.
  • the energy input into the sintered crucible is not effected by heating the sinter crucible, or a melt therein, or both, by means of a flame, such as a burner flame directed into the sinter crucible or sinter crucible.
  • a separate component is used as a solid surface, it can be brought into contact with the silicon dioxide granules in any manner, for example by placing the component on the silica granules or by introducing the component between the granules of the silicon dioxide granules or by sliding the component between crucibles and silica granules or by a combination of two or more thereof.
  • the component may be heated before or during or before and during the transfer of the melting energy.
  • the melting energy is transferred via the crucible inside to the silica granules.
  • the crucible is heated to the point where the silica granulate melts.
  • the crucible is preferably heated resistively or inductively. The heat is transferred from the outside to the inside of the crucible.
  • the solid surface of the inner crucible transmits the melting energy to the silica granules.
  • the melting energy is not transferred to the silica granules via a gas space on the silica granules. More preferably, the melting energy is not imparted to the silica granules by firing the silica granules transmitted with a flame. Examples of these excluded energy transmission paths are directing one or more burner flames from the top into the crucible, or onto the silica, or both.
  • the above-described method according to the first aspect of the invention relates to the production of a quartz glass body.
  • the quartz glass body preferably has at least one of the following features, for example at least two or at least three or at least four, particularly preferably at least five of the following features:
  • C] has an aluminum content of less than 200 ppb, for example less than 100 ppb, more preferably less than 80 ppb;
  • 3-10 15 / cm 3 more preferably in a range of 0.5-101 1 5 J to 2.0-101 1 5 J / cm 3 J ;
  • a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, for example less than 0.5 ppm, more preferably less than 0.1 ppm;
  • G a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content A] of the quartz glass body;
  • L has a tungsten content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb;
  • M] has a molybdenum content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb,
  • ppb and ppm are each based on the total weight of the quartz glass body.
  • the quartz glass body preferably has a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb, particularly preferably less than 100 ppb, in each case based on the total weight of the quartz glass body. Often, however, the quartz glass body has a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb.
  • metals are For example, sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex.
  • the quartz glass body may include other ingredients.
  • the quartz glass body contains less than 500 ppm, for example less than 450 ppm, more preferably less than 400 ppm of further constituents, the ppm being in each case based on the total weight of the quartz glass body.
  • Other constituents which may be considered are, for example, carbon, fluorine, iodine, bromine and phosphorus. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex. Often, however, the quartz glass body has a content of other constituents in an amount of at least 1 ppb.
  • the quartz glass body contains carbon in an amount of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm, each based on the total weight of the quartz glass body. Often, however, the quartz glass body has a content of carbon in an amount of at least 1 ppb.
  • the quartz glass body preferably has a homogeneously distributed OH amount, Cl amount or Al amount.
  • An indicator of the homogeneity of the quartz glass body can be expressed in the standard deviation of OH amount, Cl amount or AI amount.
  • the standard deviation is the measure of the spread of the values of a variable, here the OH quantity, amount of chlorine or amount of aluminum, by their arithmetic mean.
  • the content of the component to be determined in the sample e.g. OH, chlorine or aluminum, determined at at least seven measuring points.
  • the quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C] or A] / B] / D] or A] / B] / F], more preferably the combination of features A] / B] / C] / D ] or A] / B] / C] / F] or A] / B] / D] / F], particularly preferably the combination of features A] / B] / C] / D] / F].
  • the quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C], wherein the OH content is less than 400 ppm, the chlorine content less than 100 ppm and the aluminum content less than 80 ppb.
  • the quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / D], the OH content is less than 400 ppm, the chlorine content is less than 100 ppm and the ODC content is in a range of 0.1 -10 15 to 3 -10 15 / cm 3 lies.
  • the quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C] / D], the OH content being less than 400 ppm, the chlorine content being less than 100 ppm, the aluminum content being less than 80 ppb and the
  • ODC content is in a range of 0, M0 15 to 3-10 15 / cm 3 .
  • a second object of the present invention is a quartz glass body obtainable by the method according to the first aspect of the invention.
  • the quartz glass body preferably has at least one of the following features, for example at least two or at least three or at least four, particularly preferably at least five of the following features:
  • C] has an aluminum content of less than 200 ppb, for example less than 100 ppb, more preferably less than 80 ppb;
  • 3-10 15 / cm 3 more preferably in a range of 0.5-101 1 5 J to 2.0-101 1 5 J / cm 3 J ;
  • a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, for example less than 0.5 ppm, more preferably less than 0.1 ppm;
  • G a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content A] of the quartz glass body;
  • L has a tungsten content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb;
  • M] has a molybdenum content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb,
  • a third object of the present invention is a method for producing a light guide comprising the following steps:
  • A2I a quartz glass body according to the second subject of the invention, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body having at least one opening; B / introducing one or more core rods into the quartz glass body through the at least one opening to obtain a precursor;
  • step B Pull the precursor from step B / in the heat to obtain a light guide with one or more cores and a cladding M 1.
  • the quartz glass body provided in step AI is a hollow body having at least one opening.
  • the quartz glass body provided in step AI is preferably characterized by the features according to the second aspect of the invention.
  • the quartz glass body provided in step AI is preferably obtainable by a method according to the first subject of the invention as step iv.) Forming a hollow body having at least one opening of the quartz glass body.
  • the quartz glass body obtainable in this way has the features according to the second subject of the invention. Steps/
  • One or more core rods are introduced through the at least one opening of the quartz glass body (step B /).
  • a core rod in the context of the present invention, an object is referred to, which is intended to be in a shell, for example, a shell Ml, introduced and processed into a light guide.
  • the core rod has a core of quartz glass.
  • the core rod includes a core of quartz glass and a first cladding layer MO surrounding the core.
  • Each core rod has a shape chosen to fit within the quartz glass body.
  • the outer shape of a core rod is in the form of an opening of the quartz glass body.
  • the quartz glass body is a tube and the core rod is a rod with a round cross section.
  • the diameter of the core rod is less than the inner diameter of the hollow body.
  • the diameter of the core rod is 0.1 to 3 mm smaller than the inner diameter of the hollow body, for example 0.3 to 2.5 mm smaller or 0.5 to 2 mm smaller or 0.7 to 1.5 mm smaller, especially preferably 0.8 to 1.2 mm smaller.
  • the ratio of the inside diameter of the quartz glass body to the diameter of the core rod is in the range of 2: 1 to 1,0001: 1, for example in the range of 1.8: 1 to 1.01: 1 or in the range of 1.6: 1 to 1.005: 1 or in the range of 1.4: 1 to 1.01: 1, more preferably in the range of 1.2: 1 to 1.05: 1.
  • a region within the quartz glass body which is not penetrated by the core rod is filled with at least one other component, for example, a silica powder or a silica granules.
  • a core rod already located in at least one further quartz glass body is introduced into a quartz glass body.
  • the further quartz glass body has an outer diameter which is smaller than the inner diameter of the quartz glass body.
  • the core rod introduced into the quartz glass body can also already be located in two or more further quartz glass bodies, for example in 3 or 4 or 5 or 6 or more further quartz glass bodies. A thus obtainable with one or more core rods provided quartz glass body is hereinafter referred to as "precursor".
  • the precursor is pulled hot (step Cl).
  • the product thus obtained is a light guide with one or more cores and at least one shell Ml.
  • the drawing of the quartz glass body takes place at a speed in the range of 5 to 25 m / h.
  • the drawing is performed in the heat at a temperature of up to 2500 ° C, for example, at a temperature in the range of 1700 to 2400 ° C, more preferably at a temperature in the range of 2100 to 2300 ° C.
  • the precursor is passed through an oven which heats the precursor from outside.
  • the precursor is extended until the desired thickness of the optical fiber is achieved.
  • the precursor is elongated to 1,000 to 6,000,000 times the length, for example 10,000 to 500,000 times the length or 30,000 to 200,000 times the length, each based on the length of the quartz glass body provided in step AI. More preferably, the precursor is elongated to 100,000 to 10,000,000 times the length, for example, 150,000 to 5,800,000 times or 160,000 to 640,000 times or to the 1,440,000 to 5,760,000 times the length or to the 1,440,000 to 2,560,000 times the length, in each case based on the length of the provided in step AI quartz glass body.
  • the diameter of the precursor is reduced by elongation by a factor in a range of 100 to 3,500, for example, in a range of 300 to 3,000 or 400 to 800, or 1,200 to 2,400, or 1,200 to 1,600 in diameter of the quartz glass body provided in step AI.
  • the light guide also referred to as an optical waveguide, may include any material which is suitable for conducting or guiding electromagnetic radiation, in particular light.
  • the optical waveguide conducts electromagnetic radiation in a wavelength range from 170 to 5000 nm.
  • the attenuation of the radiation through the optical waveguide in the respective wavelength range is preferably in a range of 0.1 to 10 dB / km.
  • the optical fiber has a transmission rate of up to 50 Tbit / s.
  • the light guide preferably has a curl parameter of more than 6 m.
  • the curl parameter according to the invention the bending radius of a fiber, e.g. a light guide or a sheath Ml, understood that adjusts itself to a freely movable fiber without external force.
  • the light guide is preferably configured bendable.
  • Flexible in the sense of the invention means that the light guide is characterized by a bending radius of 20 mm or less, for example of 10 mm or less, particularly preferably less than 5 mm or less.
  • a bend radius is meant the narrowest radius that can be formed without causing breakage of the light guide and directing radiation without affecting the ability of the light guide.
  • An impairment is present at an attenuation of the transmitted light by a bend of the light guide by more than 0.1 dB.
  • the attenuation is preferably given at a reference wavelength of 1550 nm.
  • the quartz preferably consists of silicon dioxide with less than 1% by weight of other substances, for example less than 0.5% by weight of other substances, more preferably less than 0.3% by weight of other substances, based in each case on the total weight of the quartz. More preferably, the quartz contains at least 99% by weight of silica, based on the total weight of the quartz.
  • the light guide preferably has an elongated shape.
  • the light guide is defined in its shape by its longitudinal extent L and its cross-section Q.
  • the light guide preferably has a round outer wall along its longitudinal extent L.
  • a cross-section Q of the light guide is always determined in a plane which is perpendicular to the outer wall of the light guide. If the optical waveguide is curved in the longitudinal extent L, the cross section Q is determined perpendicular to the tangent at a point on the optical waveguide outer wall.
  • the Lichtlei - ter preferably has a diameter CIL in a range of 0.04 to 1.5 mm.
  • the light guide preferably has a length in a range of 1 m to 100 km.
  • the optical fiber includes one or more cores, for example one or two cores or three cores or four cores or five cores or six cores or seven cores or more than seven cores, more preferably a core.
  • more than 90%, for example more than 95%, more preferably more than 98%, of the electromagnetic radiation conducted through the optical fiber is guided in the cores.
  • the material of the cores is preferably selected from the group consisting of glass or quartz glass, or a combination of the two, particularly preferably quartz glass.
  • the cores can be made of the same material or different materials independently of each other. Preferably, all cores made of the same material, more preferably made of quartz glass.
  • Each core has a, preferably round, cross-section Q K and has an elongated shape with the length L K.
  • the cross section Q K of a core is independent of the cross section Q K of each other core.
  • the cross sections Q K of the cores may be the same or different.
  • the cross sections QK of all cores are the same.
  • a cross section Q K of a core is always determined in a plane that is perpendicular to the outer wall of the core or the optical fiber outer wall. If a core is curved in the longitudinal extent, the cross-section Q K is determined perpendicular to the tangent at a point on the outer wall of this core.
  • the length L K of a core is independent of the length L K of each additional core.
  • the lengths L K of the cores may be the same or different.
  • the lengths L K of all cores are the same.
  • Each core preferably has a length L K in a range of 1 m to 100 km.
  • Each core has a diameter d.
  • the diameter d of a core is independent of the diameter d K of each other core.
  • the diameters d K of the cores may be the same or different.
  • the diameters d K of all cores are the same.
  • the diameter d K of each core in a range of 0.1 to 1000 ⁇ , for example from 0.2 to 100 ⁇ or from 0.5 to 50 ⁇ , more preferably from 1 to 30 ⁇ on.
  • Each core has at least one refractive index profile perpendicular to the maximum core extent.
  • “Refractive index progression means that the refractive index is constant or changes perpendicular to the maximum core extent.
  • the preferred refractive index profile corresponds to a concentric refractive index profile, for example a concentric refractive index profile, in which a first region with the maximum refractive index is in the center of the core, followed by another region with a lower refractive index.
  • each core has only one refractive index profile over its length L K.
  • the refractive index profile of a core is independent of the refractive index profile of each additional core.
  • the refractive index profiles of the cores may be the same or different.
  • the refractive index profiles of all cores are the same. It is also possible in principle for a core to have a multiplicity of different refractive index profiles.
  • Each refractive index profile perpendicular to the maximum core expansion has a maximum refractive index n K.
  • Each refractive index profile perpendicular to the maximum core extent can also lower further
  • the lowest refractive index of the refractive index profile is preferably not around more than 0.5 less than the maximum refractive index n K of the refractive index profile.
  • the lowest refractive index of the refractive index profile is preferably around 0.0001 to 0.15, for example around 0.0002 to 0.1, particularly preferably around 0.0003 to 0.05, less than the maximum refractive index n K of the refractive index profile.
  • n K refractive index
  • the refractive index n K of a core is independent of the refractive index n K of each other core.
  • the refractive indices n K of the cores may be the same or different.
  • the refractive indices n K of all cores are the same.
  • each core of the optical fiber has a density in a range of 1.9 to 2.5 g / cm 3 , for example in a range of 2.0 to 2.4 g / cm 3 , particularly preferably in a range of 2, 1 to 2.3 g / cm 3 .
  • the cores preferably have a residual moisture content of less than 100 ppb, for example less than 20 ppb or less than 5 ppb, particularly preferably less than 1 ppb, in each case based on the total weight of the core.
  • the density of a nucleus is independent of the density of each additional nucleus.
  • the densities of the cores can be the same or different. Preferably, the densities of all cores are the same.
  • At least the sheath Ml is made of silicon dioxide and has at least one, preferably several or all of the following features:
  • 3-10 15 / cm 3 more preferably in a range of 0.5-101 1 5 J to 2.0-10 1 1 5 J / cm 3 J ;
  • h) a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content a) of the shell Ml;
  • a transformation point Tg in a range from 1150 to 1250 ° C, particularly preferably in a range from 1180 to 1220 ° C,
  • ppb and ppm are each based on the total weight of the shell Ml.
  • the sheath has a refractive index homogeneity of less than 1-10 "4.
  • the refractive index homogeneity is the maximum deviation of the refractive index at each point of a sample, for example a sheath Ml or a quartz glass body, relative to the average of all the refractive indices determined at the sample.
  • the refractive index is determined at at least seven measuring points.
  • the shell Ml preferably has a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb, particularly preferably less than 100 ppb, in each case based on the total weight of the shell Ml. Often, however, the shell M1 has a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb.
  • metals include sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex.
  • the shell Ml may include other ingredients.
  • the shell M1 contains less than 500 ppm, for example less than 450 ppm, more preferably less than 400 ppm of further constituents, the ppm being in each case based on the total weight of the shell M1.
  • Other constituents which may be considered are, for example, carbon, fluorine, iodine, bromine and phosphorus. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex. Often, however, the shell M1 has a content of further constituents in an amount of at least 1 ppb.
  • the shell M1 preferably contains carbon at less than 5 ppm, for example less than 4 ppm or less than 3 ppm, more preferably less than 2 ppm, based in each case on the total weight of the shell M1. Often, however, the shell M1 has a content of carbon in an amount of at least 1 ppb. Preferably, the shell Ml has a homogeneously distributed OH amount, Cl amount or Al amount.
  • the shell Ml has a weight fraction of at least 80 wt .-%. for example, at least 85 wt .-%, particularly preferably at least 90 wt .-%, each based on the total weight of the shell Ml and the cores on.
  • the shell Ml has a weight fraction of at least 80 wt .-%. for example, at least 85 wt .-%, particularly preferably at least 90 wt .-%, each based on the total weight of the shell Ml, the cores and lying between the shell Ml and the cores other shells, on.
  • the shell Ml has a weight fraction of at least 80 wt .-%.
  • the shell Ml has a density in a range of 2.1 to 2.3 g / cm 3 , more preferably in a range of 2.18 to 2.22 g / cm 3 .
  • Another aspect relates to a light guide obtainable by a method including the following steps:
  • A2I a quartz glass body according to the second subject of the invention, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body having at least one opening; B / introducing one or more core rods into the quartz glass body through the at least one opening to obtain a precursor;
  • step B Pulling the precursor from step B / in the heat to obtain a light guide with one or more cores and a shell Ml.
  • the steps AI, Bl and Cl are preferably characterized by the features described in the context of the third subject.
  • the light guide is preferably characterized by the features described in the context of the third article.
  • a fourth subject of the present invention relates to a method for producing a luminous means, comprising the following steps:
  • a hollow body is provided.
  • the hollow body provided in step (i) includes at least one opening, for example one opening or two openings or three openings or four openings, particularly preferably one opening or two openings.
  • a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to the first subject of the invention including step iv.), Is provided (step (II)).
  • the hollow body has the features described in the context of the first or second object of the invention.
  • a hollow body is provided which is obtainable from a quartz glass body according to the second subject of the invention (step (i-2)). For processing a quartz glass body according to the second subject of the invention to form a hollow body, several possibilities come into consideration.
  • a hollow body having two openings can be formed analogously to step iv.) Of the first article of the invention from a quartz glass body.
  • the processing of the quartz glass body into a hollow body with an opening can in principle be effected by means of all methods known to the person skilled in the art and suitable for the production of hollow glass bodies with an opening. For example, methods including pressing, blowing, suction or combinations thereof are suitable. It is also possible to form a hollow body having an opening from a hollow body with two openings by closing an opening, for example by melting together.
  • the resulting hollow body preferably has the features described in the context of the first and second objects of the invention.
  • the hollow body is made of a material containing silicon dioxide, preferably in an amount in a range of 98 to 100 wt .-%, for example in a range of 99.9 to 100 wt .-%, particularly preferably 100 wt .-% , in each case based on the total weight of the hollow body.
  • the material from which the hollow body is made preferably has at least one, preferably several, for example two, or preferably all of the following features:
  • a silicon dioxide content of preferably more than 95% by weight, for example more than
  • HC2. a density in a range of 2.1 to 2.3 g / cm 3 , more preferably in a range of 2.18 to 2.22 g / cm 3 ;
  • a light transmittance at least one wavelength in the visible range of 350 to 750 nm in a range of 10 to 100%, for example in a range of 30 to 99.99%, more preferably in a range of 50 to 99.9%, based on the amount of light generated within the hollow body;
  • HK4 an OH content of less than 500 ppm, for example less than 400 ppm, more preferably less than 300 ppm;
  • HK5. a chlorine content of less than 200 ppm, preferably less than 100 ppm, for example less than 80 ppm, more preferably less than 60 ppm;
  • HK6 an aluminum content of less than 200 ppb, for example less than 100 ppb, more preferably less than 80 ppb;
  • HK7 a carbon content of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm;
  • HK8 an ODC content of less than 5-10 15 / cm 3 ; HK9. a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, for example less than 0.5 ppm, more preferably less than 0.1 ppm;
  • HK11 HK11. a transformation point Tg in a range of 1150 to 1250 ° C, more preferably in a range of 1180 to 1220 ° C;
  • the hollow body from step (i) is filled with a gas, preferably with two electrodes, before it is filled with a gas.
  • the electrodes are connected to an electrical power supply.
  • the electrodes are connected to a lamp base.
  • the material of the electrodes is preferably selected from the group of metals. In principle, any metal can be selected as the electrode material that is not oxidized, corroded, molten or otherwise impaired as an electrode in its shape or conductivity during the operating conditions of the luminous means.
  • the electrode material is preferably selected from the group consisting of iron, molybdenum, copper, tungsten, rhenium, gold and platinum or at least two thereof selected, with tungsten, molybdenum or rhenium are preferred.
  • the hollow body provided in step (i) and optionally equipped with electrodes in step (ii) is filled with a gas.
  • the filling can be carried out in any manner known to those skilled in the art and suitable for filling.
  • a gas is passed through the at least one opening in the hollow body.
  • the hollow body is evacuated prior to filling with a gas, preferably to a pressure of less than 2 mbar.
  • a gas preferably to a pressure of less than 2 mbar.
  • the hollow body is filled with the gas.
  • These steps can be repeated to minimize contamination with air, especially with oxygen.
  • these steps are repeated at least twice, for example at least three times or at least four times, more preferably at least five times until the amount of impurities with other gases such as air, in particular oxygen, is sufficiently low. This procedure is particularly preferred for filling hollow bodies with an opening.
  • the hollow body is preferably filled through one of the openings.
  • the air located in the hollow body before filling with the gas can escape through the at least one further opening.
  • the gas is passed through the hollow body until the amount of impurities with other gases such as air, in particular oxygen, is sufficiently low.
  • the hollow body is filled with an inert gas or a combination of two or more inert gases, for example with nitrogen, helium, neon, argon, krypton, xenon or a combination of two or more thereof, more preferably with krypton, xenon or a combination of Nitrogen and argon.
  • Further preferred fillers for hollow bodies of lamps are deuterium and mercury.
  • the hollow body is closed after filling with a gas, so that the gas does not escape during further processing, so that in the further processing no air from the outside, or both.
  • the closing can be done by melting or attaching a closure.
  • Suitable closures are, for example, quartz glass closures, which are for example melted out onto the hollow body, or lamp sockets.
  • the hollow body is closed by melting.
  • the lighting means according to the fourth aspect of the invention includes a hollow body and optionally electrodes.
  • the illuminant preferably has at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following features:
  • a volume in a range of 0.1 cm 3 to 10 m 3 for example in a range of 0.3 cm 3 to 8 m 3 , particularly preferably in a range of 0.5 cm 3 to 5 m 3 ;
  • a radiation angle in a range of 2 to 360 ° for example in a range of 10 to 360 °, particularly preferably in a range of 30 to 360 °;
  • a radiation of light in a wavelength range of 145 to 4000 nm, for example in a range of 150 to 450 nm, or of 800 to 4000 nm, particularly preferably in a range of 160 to 280 nm;
  • v. a power in a range of 1 mW to 100 kW, more preferably in a range of 1 kW to 100 kW, or in a range of 1 to 100 watts.
  • Another aspect relates to a lighting device obtainable by a method comprising the following steps:
  • steps (i), (ii) and (iii) are preferably characterized by the features described in the context of the fourth subject.
  • the lighting means is preferably characterized by the features described in the context of the fourth subject.
  • a fifth subject of the present invention relates to a method for producing a shaped article comprising the following steps:
  • the quartz glass body provided in step (1) is a quartz glass body according to the second aspect of the invention or obtainable by a method according to the first aspect of the invention.
  • the provided quartz glass body has the features of the first or second object of the invention.
  • the quartz glass body is formed into a shaped body as described in the first, third and fourth articles of the invention. More preferably, the shaped body can be formed by means of techniques known to glass blowers.
  • the shaped body can assume any shape which can be shaped from quartz glass.
  • Preferred shaped bodies are, for example:
  • Hollow body with at least one opening such as round-bottomed flasks and stand-up flasks,
  • Tubes and hollow cylinders for example reaction tubes, profile tubes, rectangular chambers,
  • Rods, rods and blocks for example in round or angular, symmetrical or asymmetrical design
  • bent parts for example convex or concave surfaces and plates, bent bars and tubes.
  • the shaped body can be treated after molding.
  • all methods described in connection with the first subject of the invention which are suitable for reworking the quartz glass body come into consideration.
  • the shaped body can be mechanically processed, for example by drilling, honing, external grinding, crushing or drawing.
  • Another aspect relates to a molded article obtainable by a method including the following steps: (1) providing a quartz glass body according to the first or second aspect of the invention;
  • the steps (1) and (2) are preferably characterized by the features described in the context of the fifth article.
  • a sixth object of the present invention is the use of a hanging sinter crucible for the production of quartz glass and products comprising quartz glass selected from the group consisting of a light guide, a light bulb and a shaped body, wherein the silica granules of fumed silica, wherein the silica granules have the following features having:
  • FIG. 1 Flow chart (method for producing a quartz glass body)
  • FIG 3 shows a flow chart (method for producing a silica granulate ⁇ )
  • FIG. 5 shows a flow chart (method for producing a luminous means)
  • FIG. 6 schematic representation of a hanging crucible in an oven
  • FIG. 7 schematic representation of a spray tower
  • Fig. 8 is a schematic representation of a cross section of a light guide
  • Fig. 9 is a schematic representation of a plan view of a light guide
  • FIG. 1 shows a flow chart containing steps 101 to 104 of a method 100 for producing a quartz glass body according to the present invention.
  • a silica granulate is provided in a first step 101.
  • a glass melt is formed from the silica granules in a second step 102.
  • molds are used for melting, which can be introduced into an oven and removed from it again.
  • Such forms are often made of graphite. They result in a negative mold of the casting.
  • the silica granules are filled into the mold, first melted in the mold in the third step 103.
  • the quartz glass body is formed in the same mold by cooling the melt.
  • This is then removed from the mold and processed further, for example in an optimal onal step 104.
  • This procedure is discontinuous.
  • the formation of the melt is preferably carried out under reduced pressure, in particular under vacuum. It is also possible to temporarily charge the furnace with a reducing, hydrogen-containing atmosphere during step 103.
  • a reducing, hydrogen-containing atmosphere during step 103.
  • crucible hanging or standing crucible preferably used as a crucible hanging or standing crucible.
  • a quartz glass body is formed.
  • the formation of the quartz glass body is preferably carried out here by removing at least a portion of the glass melt from the crucible and cooling. The removal preferably takes place through a nozzle at the lower end of the crucible.
  • the shape of the quartz glass body can be determined by the design of the nozzle. For example, massive bodies can be obtained. Hollow bodies are obtained, for example, if a mandrel is additionally provided in the nozzle.
  • This exemplary method for the production of quartz glass bodies, and in particular step 103 is preferably carried out continuously. From a solid quartz glass body can be formed in an optional step 104, a hollow body.
  • FIG. 2 shows a flow chart containing the steps 201, 202 and 203 of a method 200 for producing a silicon dioxide granulate I.
  • a silicon dioxide powder is provided.
  • a silica powder is preferably obtained from a synthetic process in which a silicon-containing material, for example, a siloxane, a silicon alkoxide or a silicon halide is converted to silica in a pyrogenic process.
  • the silica powder is mixed with a liquid, preferably water, to obtain a slurry.
  • the silica contained in the slurry is transferred to a silica granule.
  • the granulation takes place by means of spray granulation. For this, the slurry is sprayed through a nozzle into a spray tower and dried to form granules, with the contact surface between the nozzle and the slurry including a glass or plastic.
  • FIG. 3 shows a flow chart containing the steps 301, 302, 303 and 304 of a method 300 for producing a silica granulate ⁇ .
  • the steps 301, 302 and 303 in this case run in accordance with the steps 201, 202 and 203 according to FIG. 2.
  • the silicon dioxide granulate I obtained in step 303 is processed into a silicon dioxide granulate II. This is preferably done by heating the silica granules I in a chlorine-containing atmosphere.
  • FIG. 4 shows a flowchart containing the steps 401, 403 and 404 as well as the optional step 402 of a method for producing a light guide.
  • a quartz glass body is provided, preferably a quartz glass body produced according to method 100.
  • Such a quartz glass body may be a solid or a hollow quartz glass body.
  • a hollow quartz glass body is formed according to step 104, in a third step 403, one or more than one core rod is inserted into the hollow quartz glass body.
  • the quartz glass body provided with one or more than one core rod is processed to form a light guide.
  • FIG. 5 shows a flowchart containing the steps 501, 503 and 504 as well as the optional step 502 of a method for producing a luminous means.
  • a quartz glass body is provided, preferably a quartz glass body produced according to method 100.
  • Such a quartz glass body may be a solid or a hollow quartz glass body. If the quartz glass body provided in step 501 is solid, it is optionally formed into a hollow quartz glass body according to step 104 in a second step 502. In an optional third step, the hollow quartz glass body is equipped with electrodes.
  • the hollow quartz glass body is filled with a gas, preferably with argon, krypton, xenon or a combination thereof.
  • a solid quartz glass body is initially provided (501), shaped into a hollow body (502), equipped with electrodes (503) and filled with a gas (504).
  • FIG. 6 shows a preferred embodiment of a furnace 800 with a hanging crucible.
  • the crucible 801 is suspended in the furnace 800.
  • the crucible 801 has in its upper region a suspension 802, as well as a solids inlet 803 and a nozzle 804 as an outlet.
  • the crucible 801 is filled with the silicon dioxide granules 805 via the solids inlet 803.
  • silicon dioxide granules 805 are present in the upper region of the crucible 801, while a glass melt 806 is present in the lower region of the crucible 801.
  • the crucible 801 can be heated by heating elements 807, which are arranged on the outside of the crucible wall 810.
  • the furnace also has an insulation layer 809 between the heating elements 807 and the furnace outer wall 808.
  • the space between the insulating layer 809 and the crucible wall 810 may be filled with a gas, and has a gas inlet 811 and a gas outlet 812 thereto. Through the nozzle 804, a quartz glass body 813 can be removed from the oven.
  • FIG. 7 shows a preferred embodiment of a spray tower 1100 for spray granulating silica.
  • the spray tower 1100 comprises a feed 1101 through which a pressurized slurry containing silica powder and a liquid is supplied to the spray tower.
  • a nozzle 1102 At the end of the line is a nozzle 1102, through which the slurry is finely distributed in the spray tower is introduced.
  • the nozzle is oriented obliquely upwards so that the slurry is sprayed as fine droplets in the direction of the nozzle alignment in the spray tower and then falls down in a bow driven by gravity.
  • the spray tower 1100 also includes a sighting device 1104 and a screening device 1105.
  • the sighting device 1104 particles are sucked off, which fall below a defined particle size, and removed by the discharge 1106. According to the particle size of the particles to be sucked, the suction power of the sighting device 1104 can be regulated.
  • the sieve device 1105 particles are screened above a defined particle size and removed by the discharge 1 107. Depending on the particle size of the particles to be sieved, the sieve permeability of the sieving apparatus 1105 can be selected. The remaining particles, a silica granule of the desired particle size, are withdrawn through the outlet 1108.
  • FIG. 8 schematically shows a cross section through an optical waveguide 1200 according to the invention, which has a
  • Core 1201 and the core 1201 surrounding shell Ml 1202 has.
  • FIG. 9 schematically shows a plan view of an optical waveguide 1300 which has a kabeiförmige structure.
  • a part of the core 1301 without cladding M1 1302 was shown.
  • Typical is the casing of the core 1301 over its entire length with the casing M1 1302.
  • FIG. 10 shows a flow chart containing steps 1601 and 1602 of a method for producing a shaped body.
  • a quartz glass body is provided, preferably a quartz glass body produced according to method 100.
  • Such a quartz glass body may be a solid or a hollow quartz glass body.
  • a shaped body is formed in a second step 1602.
  • the fictive temperature is "determined”
  • the procedure and evaluation is et in the paper by Pßeiderer al... "By Raman spectroscopy based on the Raman scattering intensity at around 606 cm
  • the UV-induced 210 ran absorbent belt in fused silica with different thermal history and stoichiometry "; Journal of Non-Crystalline Solids, Vol. 159 (1993), pages 145-153.
  • the OH content of the glass is determined by infrared spectroscopy.
  • the method "Optical Determinations of OH in Fused Silica” (JAP 37, 3991 (1966)) specified by DM Dodd & DM Fraser is used instead of the device specified therein, an FTIR spectrometer (Fourier transform infrared spectrometer, current
  • the analysis of the spectra can in principle be carried out both at the absorption band at about 3670 cm-1 and at the absorption band at about 7200 cm-1.
  • the selection of the band used is carried out according to the rule in that the transmission loss due to the OH absorption is between 10 and 90% C.
  • the ODC (I) absorption at 165 nm is determined by transmission measurement on a 1-2 mm thick sample using a vacuum UV spectrometer, model VUVAS 2000, from McPherson, Inc. (USA).
  • N defect concentration [1 / cm 3 ]
  • OES or MS depends on the expected element concentration. Typical determination limits for the MS are lppb, for the OES lOppb (in each case based on the weighted sample amount).
  • the determination of the element concentration with the measuring instruments is carried out in accordance with the equipment manufacturers (ICP-MS: Agilent 7500ce, ICP-OES: Perkin Elmer 7300 DV) and using certified reference liquids for calibration.
  • the element concentration in the solution (15 ml) determined by the devices is then converted to the original sample weight (2 g).
  • a well-defined volume of the liquid is weighed into a measuring vessel which is inert with respect to the liquid and its constituents, the empty weight and the weight of the filled vessel being measured.
  • the density results from the difference between the two weight measurements divided by the volume of liquid introduced.
  • the determination of the fluoride content of the measurement solution is carried out by means of an ion-sensitive (fluoride) electrode, suitable for the expected concentration range, and display device according to the manufacturer, here a fluoride ion-selective electrode and reference electrode F-500 with R503 / D on a pMX 3000 / pH / ION of the companyticianlich-Technische Werkmaschinen GmbH.
  • an ion-sensitive (fluoride) electrode suitable for the expected concentration range
  • display device here a fluoride ion-selective electrode and reference electrode F-500 with R503 / D on a pMX 3000 / pH / ION of the companyticianlich-Technische Werkmaschinen GmbH.
  • the measuring solution has a pH in the range between 5 and 7.
  • the determination of the chloride content of the measuring solution is carried out by means of ion-sensitive (chloride) electrode, suitable for the expected concentration range, and display device according to the manufacturer's instructions here a type Cl-500 electrode and reference electrode type R-503 / D on a pMX 3000 / pH / ION the company Scientific-Technical Workshops GmbH.
  • chloride ion-sensitive
  • Chlorine contents ⁇ 50 ppm up to 0.1 ppm in quartz glass are determined by neutron activation analysis (NAA).
  • NAA neutron activation analysis
  • quartz glass samples The transmission of quartz glass samples is determined using commercial grid or FTIR spectrometers from Perkin Elmer (Lambda 900 [190-3000nm] or System 2000 [1000-5000nm]). The choice depends on the required measuring range.
  • the specimens are polished in a plane-parallel manner (surface roughness RMS ⁇ 0.5 nm) and the surface after polishing is freed from all residues by ultrasonic treatment.
  • the sample thickness is 1cm. In the case of expected high transmission loss due to contamination, doping, etc., a thicker or thinner sample can also be selected to remain within the instrument's measuring range.
  • a sample thickness (measuring length) is selected in which, due to the passage of light through the sample, only slight artifacts occur and at the same time a sufficiently detectable effect is measured.
  • the sample is placed in front of an Ulbrich sphere in the beam path.
  • the refractive index distribution of tubes / rods can be determined by means of a York Technology Ltd. Preform Profiler PI 02 or PI 04.
  • the rod is placed horizontally in the measuring chamber and this sealed. Thereafter, the measuring chamber is filled up with an immersion oil which has a refractive index at the test wavelength of 633nm, which is very similar to the outermost glass layer at 633nm.
  • the laser beam then passes through the measuring chamber. Behind the measuring chamber (in beam direction) a detector is mounted, which determines the deflection angle (jet entry in opposite to jet exit from the measuring chamber).
  • the diametric refractive index profile can be reconstructed by means of an inverse Abel transformation.
  • the refractive index of a sample is analogous to the above description with the York Technology Ltd. Preform Profiler PI 04 determined. In the case of isotropic samples, only one value is obtained even when measuring the refractive index distribution, the refractive index. k. Carbon content
  • the quantitative determination of the surface carbon content of silica granules and silicon dioxide powder is carried out on a carbon analyzer RC612 from Leco Corporation, USA, by the complete oxidation of all surface carbon contaminants (except SiC) with oxygen to carbon dioxide.
  • a carbon analyzer RC612 from Leco Corporation, USA
  • 4.0 g of a sample are weighed and introduced into the carbon analyzer in a quartz glass boat.
  • the sample is lapped with pure oxygen and heated to 900 ° C for 180 seconds.
  • the resulting CO 2 is detected by the infrared detector of the carbon analyzer. Under these measurement conditions, the detection limit is ⁇ 1 ppm (ppm by weight) carbon.
  • a quartz glass boat suitable for this analysis on the abovementioned carbon analyzer is available as a consumable for LECO analyzer with the LECO number 781-335 in the laboratory supply trade, in the present case from Deslis Laborhandel, Flurstrasse 21, D-40235 Dusseldorf (Germany), Deslis. No. LQ-130XL.
  • Such a boat has the dimensions of width / length / height of about 25mm / 60mm / 15mm.
  • the quartz glass boat is filled halfway up with sample material. For silicon dioxide powder, a weight of 1.0 g sample material can be achieved. The lower detection limit is then ⁇ 1 ppm by weight of carbon.
  • a weight of 4 g of a silica granules is reached (average particle size in the range of 100 to 500 ⁇ ).
  • the lower detection limit is then about 0.1 ppm by weight of carbon.
  • the Curl parameter (also called: "Fiber Curl”) is determined in accordance with DIN EN 60793-1-34: 2007-01 (German version of the standard IEC 60793-1-34: 2006) in the sections A.2.1, A.3.2 and A.4.1 ("extrema technique"). m. damping
  • the damping is determined in accordance with DIN EN 60793-1-40: 2001 (German version of IEC 60793-1- 40: 2001).
  • the slurry is adjusted with demineralised water (Direct-Q 3UV, Millipore, water grade: 18.2 MQcm) to a concentration of 30% solids by weight. Subsequently, the viscosity is measured on an MCR102 of the Anton Paar company. For this, the viscosity at 5 revolutions / minute
  • the slurry is adjusted to a concentration of 30% solids by weight with demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water grade: 18.2 MQcm).
  • demineralized water Direct-Q 3UV, Millipore, water grade: 18.2 MQcm.
  • the thixotropy is determined with a MCR102 of the Fa. Anton pair with a cone-plate arrangement.
  • the viscosity is measured at 5 and at 50 revolutions / minute (rpm).
  • the quotient of the first and the second value gives the thixotropic index.
  • the measurement is measured at a temperature of 23 ° C.
  • a zeta potential measuring cell (Flow Cell, Beckman Coulter) is used.
  • the sample is dissolved in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain a 20 mL solution at 1 g / L concentration.
  • the pH is brought to 7 by addition of HNO 3 solutions having the concentrations of 0.1 mol / L and 1 mol / L and a NaOH solution having the concentration of 0.1 mol / L. It is measured at a temperature of 23 ° C.
  • the isoelectric point a zeta potential measuring cell (Flow Cell, Beckman Coulter) and an autotitrator (DelsaNano AT, Beckman Coulter) are used.
  • the sample is dissolved in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain a 20 mL solution at 1 g / L concentration.
  • the pH is varied by adding HNO 3 solutions having the concentrations of 0.1 mol / L and 1 mol / L and a NaOH solution having the concentration of 0.1 mol / L.
  • the isoelectric point is the pH at which the zeta potential is zero. It is measured at a temperature of 23 ° C. pH of the slurry
  • the pH of the slurry is measured by means of a WTW 3210 from the companyticianlich-Technische-Werk Toon GmbH.
  • the electrode used is the pH 3210 Set 3 from WTW. It is measured at a temperature of 23 ° C.
  • the bulk density is determined according to the standard DIN ISO 697: 1984-01 with a SMG 697 from Powtec.
  • the bulk material (silica powder or granules) does not form lumps.
  • the tamped density is measured according to DIN ISO 787: 1995-10. Determination of the pore size distribution
  • the pore size distribution is determined according to DIN 66133 (with a surface tension of 480 mN / m and a contact angle of 140 °).
  • Pascal 400 from Porotec is used.
  • pore sizes from 3.7 nm to 100 ⁇ Pascal 140 is used by the company. Porotec.
  • the sample is subjected to a pressure treatment before the measurement.
  • a Manual Hydraulic Press (Order No. 15011 from Specac Ltd., River House, 97 Cray Avenue, Orpington, Kent BR5 4HE, U.K.) is used.
  • sample material 250 mg are weighed into a "pellet die" with a 13 mm inner diameter from Specac Ltd. and loaded with 1 t as indicated.This load is held for 5 s and readjusted if necessary, then the sample is decompressed and allowed to stand for 4 h 105 ⁇ 2 ° C dried in a convection oven.
  • the sample is weighed into the Type 10 Penetrometer to a precision of 0.001 g and, for a good reproducibility of the measurement, is selected so that the stem volume used, ie the percentage of Hg volume consumed to fill the penetrometer, is between 20%.
  • the penetrometer is then slowly evacuated to 50 ⁇ m Hg and left at this pressure for 5 minutes.
  • the following parameters are given directly by the software of the measuring devices: total pore volume, total pore surface area (assumption pore cylindrical ), Average pore radius, modal pore radius (most common pore radius), peak n. 2 pore radius (on).
  • the primary particle size is measured by means of a scanning electron microscope (SEM) model Zeiss Ultra 55.
  • SEM scanning electron microscope
  • the sample is suspended in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain an extremely dilute suspension.
  • the suspension is treated with the ultrasonic probe (UW 2070, Bandelin electronic, 70 W, 20 kHz) for 1 min and then applied to a carbon adhesive pad.
  • the mean particle size in suspension is measured by means of a Mastersizer 2000, available from Malvern Instruments Ltd., UK, according to their instruction manual using the laser diffraction method.
  • the sample is suspended in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain 20 mL suspension at a concentration of 1 g / L.
  • the suspension is treated with the ultrasonic probe (UW 2070, Bandelin electronic, 70 W, 20 kHz) for 1 min.
  • the particle size and grain size of the solid are measured by means of a Camsizers XT available from Retsch Technology GmbH, Germany according to their instruction manual.
  • the software outputs the D10, D50 and D90 values for a sample.
  • the reference materials are Alumina SARM-13 and SARM-214, available from Quantachrome, and the tare weight of the measuring cells used (clean and dry)
  • the type of measuring cell is chosen so that the supplied sample material and the filling rod fill the measuring cell as much as possible and the dead space is reduced to a minimum 10-20 m 2 / g
  • the measuring cells are fixed in the baking stations of the BET measuring device (without filling rod) and evacuated to ⁇ 200 mbar The speed of the evacuation is set so that no Ma material escapes from the measuring cell. In this state is at
  • the viscosity of the glass is measured by means of the beam bending viscometer type 401 - TA Instruments with the manufacturer software WinTA (currently version 9.0) under Windows 10 according to the standard DIN ISO 7884-4: 1998-02.
  • the span between the supports is 45mm.
  • Sample sticks with a rectangular cross-section are cut from areas of homogeneous material (top and bottom of the sample with fine grinding of at least 1000 grains).
  • the dew point is determined by means of a Taupunk mirror hygrometer with the designation "Optidew” from Michel Instruments GmbH, D-61381 Friedrichsdorf
  • the measuring cell of the dew point mirror hygrometer is arranged at a distance of 100 cm from the gas outlet of the furnace connected to the gas outlet of the furnace via a T-piece and a hose (Swagelok PFA, outer diameter: 6 mm) with a gas pressure of 10 ⁇ 2 mbar
  • the gas flow through the measuring cell is 1-2 standard liters / min
  • the measuring cell is located in a room with a temperature of 25 ° C, 30% relative humidity and a mean air pressure of 1013 hPa. zc. residual moisture
  • HX204 is equipped with a halogen heater as heating element.
  • the drying temperature is 220 ° C.
  • the starting weight of the sample is 10 g ⁇ 10%. Drying is continued until the change in weight does not reach more than 1 mg / 140 s
  • the residual moisture is the difference between the start weight of the sample and the final weight of the sample, divided by the start weight of the sample.
  • the aerosol formed from the atomization of a siloxane with air (A) is introduced under pressure into a flame formed by ignition of a mixture of oxygen-enriched air (B) and hydrogen. Furthermore, an air stream (C) surrounding the flame is introduced and the process mixture subsequently cooled with process gas. The product is deposited on a filter.
  • the process parameters are given in Table 1 and the characteristics of the resulting products in Table 2. Experimental data for this example are labeled Al-x.
  • OMCTS octamethylcyclotetrasiloxane
  • SiC silicon tetrachloride
  • a particle stream of silica powder is introduced over the top of a standing column. Water vapor at a temperature (A) and air is supplied via the foot of the column. The column is held by an internal heater to a temperature (B) at the column head and a second temperature (C) at the column base. After leaving the column (residence time (D)), the silica powder has in particular the properties shown in Table 6. The process parameters are given in Table 5.
  • the silica powders obtained in Examples C-1 and C-2 each have a low chlorine content and a moderate pH in suspension.
  • the carbon content of Example C-2 is higher than that of C-1.
  • a particle stream of silica powder is introduced over the top of a standing column. About the foot of the column, a neutralizing agent and air is supplied. The column is held by an internal heater to a temperature (B) at the column head and a second temperature (C) at the column base. After leaving the column (residence time (D)), the silica powder has in particular the properties shown in Table 8. The process parameters are given in Table 7. Table 7
  • silica granules from silica powder
  • Installation height distance between the nozzle and the lowest point of the spray tower interior in the direction of the gravity vector.
  • the granules are all porous, show a uniform and spherical shape (all microscopic examination). They are not prone to caking or sticking.
  • Silica granules are first treated in a rotary kiln, optionally at a temperature T1, with oxygen or nitrogen (see Table 11). Subsequently, the silica granules are treated in cocurrent with a chlorine-containing component, wherein the temperature is increased to a temperature T2. The process parameters are given in Table 11, the properties of the resulting treated granules in Table 12. Table 11
  • the throughput was chosen as the controlled variable. This means that during operation the mass flow emerging from the rotary kiln is weighed and then the rotational speed and / or the inclination of the rotary kiln are adjusted accordingly. For example, an increase in throughput can be achieved by a) increasing the rotational speed, or b) increasing the inclination of the rotary tube from the horizontal, or a combination of a) and b).
  • the granules after the cleaning step show in the case of Fl-2, F2-1 and F3-2 a significantly reduced carbon content (such as low-carbon granules, eg Fl-1).
  • Fl-2, Fl-5, F2-1 and F3-2 show a significantly lower content of alkaline earth metals. SiC formation was not observed.
  • Silica granules are subjected to a temperature treatment in a preliminary furnace in the form of a rotary kiln, which is connected upstream of the melting furnace and connected to the latter via a further intermediate chamber in a fluid-conducting manner.
  • the rotary kiln is characterized by a rising in the conveying direction temperature profile.
  • a further treated silica granule was obtained.
  • Example G-4-2 was dispensed with a heat treatment during mixing in the rotary kiln.
  • the process parameters are given in Table 13, the properties of the resulting treated granules in Table 14.
  • the throughput was chosen as the control variable. This means that during operation the mass flow emerging from the rotary kiln is weighed and then the rotational speed and / or the inclination of the rotary kiln are adjusted accordingly. For example, an increase in throughput can be achieved by a) increasing the rotational speed, or b) increasing the inclination of the rotary tube from the horizontal, or a combination of a) and b).
  • G3-1 and G3-2 have a significantly lower alkaline earth metal content compared to before (E3-1 and E3-2, respectively) as a result of this treatment.
  • Silica granules according to line 2 of Table 15 are used to make a quartz glass tube in a vertical crucible drawing process.
  • the structure of the hanging crucible is shown schematically in FIG. 6.
  • the silicon dioxide granules are added via the solids feed and the interior of the crucible is flushed with a gas mixture.
  • a glass melt forms, on which a bulk cone of silicon dioxide granules sits.
  • molten glass is removed from the glass melt via a drawing die (possibly with a mandrel) and withdrawn vertically downwards as a pipe string.
  • the throughput of the system is obtained.
  • the flow rate can be adjusted to the desired size.
  • the process parameters are given in Table 15, the properties of the quartz glass bodies formed in Table 16.
  • the liquid used for the aforementioned treatment is characterized before and after treatment by the properties given in Table 17.

Abstract

The invention relates to a method for producing a silica glass article, involving method steps i.) providing a silica granulate, ii.) forming a glass melt from the silica granulate in a furnace, and iii.) forming a silica glass article from at least some of the glass melt, the furnace including a suspended sintered crucible. The invention further relates to a silica glass article that can be obtained by said method. The invention also relates to an optical waveguide, an illuminant and a molded article, each of which can be obtained by further processing the silica glass article.

Description

Herstellung eines Quarzglaskörpers in einem hängenden Sintertiegel  Production of a quartz glass body in a hanging sintered crucible
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte i.) Bereitstellen eines Siliziumdioxidgranulats, ii.) Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulat in einem Ofen und iii.) Bilden eines Quarzglaskörpers aus zumindest einem Teil der Glasschmelze, wobei der Ofen einen hängenden Sintertiegel beinhaltet. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Quarzglaskörper, der durch dieses Verfahren erhältlich ist. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Lichtleiter, ein Leuchtmittel und einen Formkör- per, die jeweils durch Weiterverarbeiten des Quarzglaskörpers erhältlich sind. The invention relates to a method for producing a quartz glass body comprising the steps of i) providing a silica granule, ii) forming a glass melt from the silicon dioxide granules in a furnace and iii) forming a quartz glass body from at least a part of the glass melt, wherein the furnace has a hanging Sinter crucible includes. The invention further relates to a quartz glass body obtainable by this method. Furthermore, the invention relates to a light guide, a luminous means and a shaped body, which are each obtainable by further processing of the quartz glass body.
Hintergrund der Erfindung Background of the invention
Quarzglas, Quarzglaserzeugnisse und Erzeugnisse, die Quarzglas enthalten, sind bekannt. Ebenso sind verschie- dene Verfahren zum Herstellen von Quarzglas und Quarzglaskörpern bereits bekannt. Nichtsdestotrotz werden weiterhin erhebliche Bemühungen unternommen, Herstellungsverfahren aufzuzeigen, mittels derer Quarzglas von noch höherer Reinheit, das bedeutet Abwesenheit von Verunreinigungen, hergestellt werden können. So werden bei manchen Einsatzgebieten von Quarzglas und seinen Verarbeitungsprodukten besonders hohe Anforderungen, zum Beispiel hinsichtlich Homogenität und Reinheit gestellt. Dies ist unter anderem der Fall bei Quarzglas, das zu Lichtleitern oder in Leuchtmitteln verarbeitet wird. Verunreinigungen können hier Absorptionen bewirken. Das ist nachteilig, da es zu Farbveränderungen und zur Dämpfung des emittierten Lichts führt. Ein weiteres Beispiel für den Einsatz von hochreinem Quarzglas sind Produktionsschritte in der Halbleiterfertigung. Hier führt jede Verunreinigung des Glaskörpers potentiell zu Defekten der Halbleiter, und somit zu Ausschuss in der Fertigung. Die für diese Verfahren eingesetzten hochreinen, oftmals synthetischen Quarzglassorten werden daher sehr aufwendig hergestellt. Sie sind hochpreisig.  Quartz glass, quartz glass products and products containing quartz glass are known. Likewise, various methods for producing quartz glass and quartz glass bodies are already known. Nevertheless, considerable efforts continue to be made to identify manufacturing processes by which silica glass of even higher purity, that is, absence of impurities, can be produced. Thus, in some applications of quartz glass and its processing products particularly high demands, for example, in terms of homogeneity and purity. This is, among other things, the case with quartz glass, which is processed into optical fibers or in light sources. Impurities can cause absorption here. This is disadvantageous because it leads to color changes and to the attenuation of the emitted light. Another example of the use of high-purity quartz glass are production steps in semiconductor production. Here, any contamination of the glass body potentially leads to defects of the semiconductor, and thus to rejects in the production. The high-purity, often synthetic quartz glass used for these methods are therefore produced very expensive. They are high priced.
Weiterhin besteht im Markt der Wunsch nach dem bereits genannten hochreinen, oftmals synthetischen Quarzglas und Erzeugnissen daraus zu einem niedrigeren Preis. Daher besteht das Bestreben, hochreines Quarzglas zu einem niedrigeren Preis als bisher anbieten zu können. In diesem Hinblick werden sowohl kostengünstigere Herstel- lungsverfahren als auch günstigere Rohstoffquellen gesucht. Furthermore, there is a desire in the market for the already mentioned high-purity, often synthetic quartz glass and products thereof at a lower price. Therefore, there is a desire to be able to offer high-purity quartz glass at a lower price than before. In this regard, both less expensive production processes and cheaper sources of raw materials are being sought.
Bekannte Verfahren zum Herstellen von Quarzglaskörpern beinhalten das Schmelzen von Siliziumdioxid und das Formen zu Quarzglaskörpern aus der Schmelze. Unregelmäßigkeiten in einem Glaskörper, zum Beispiel durch den Einschluss von Gasen in Form von Blasen, können zu einem Versagen des Glaskörpers bei Belastung führen, insbesondere bei hohen Temperaturen, oder die Verwendung für einen bestimmten Zweck ausschließen. So können Verunreinigungen des quarzglasbildenden Rohstoffs zur Bildung von Rissen, Blasen, Streifen und Verfärbungen im Quarzglas führen. Beim Einsatz in Verfahren zur Herstellung und Behandlung von Halbleiterbauteilen können außerdem Verunreinigungen im Glaskörper herausgearbeitet und auf die behandelten Halbleiterbauteile übertragen werden. Dies ist zum Beispiel bei Ätzverfahren der Fall und führt dann zu Ausschuss bei den Halb- leiterrohlingen. Ein häufig auftretendes Problem bei den bekannten Herstellungsverfahren ist folglich eine ungenügende Qualität der Quarzglaskörper. Ein weiterer Aspekt betrifft die Rohstoffeffizienz. Es erscheint vorteilhaft, an anderer Stelle als Nebenprodukt anfallendes Quarzglas und Rohstoffe dafür möglichst einer industriellen Verarbeitung zu Quarzglaserzeugnissen zuzuführen, anstatt diese Nebenprodukte wie bisher als Füllmaterial, z.B. im Hochbau, zu verbringen oder kost- spielig als Müll zu entsorgen. Diese Nebenprodukte werden oftmals als Feinstaub in Filtern abgeschieden. Der Feinstaub wirft weitere Probleme, insbesondere im Hinblick auf Gesundheit, Arbeitsschutz und Handhabung auf. Known methods for producing quartz glass bodies involve melting silica and forming into melted quartz glass bodies. Irregularities in a vitreous body, for example due to the inclusion of gases in the form of bubbles, can result in failure of the vitreous under load, especially at high temperatures, or preclude use for a particular purpose. Thus, impurities of the quartz glass-forming raw material can lead to the formation of cracks, bubbles, streaks and discoloration in the quartz glass. When used in processes for the manufacture and treatment of semiconductor devices, it is also possible to work out impurities in the glass body and transfer them to the treated semiconductor components. This is the case, for example, with etching methods and then leads to rejects in the semiconductor blanks. A frequently occurring problem in the known production methods is consequently an insufficient quality of the quartz glass body. Another aspect concerns the raw material efficiency. It seems advantageous to supply fumed silica and raw materials as by-products elsewhere to quartz glass products as much as possible, instead of spending these by-products as filler material, for example in building construction, or to dispose of it costly as waste. These by-products are often deposited as particulate matter in filters. The particulate matter raises further problems, in particular with regard to health, occupational safety and handling.
Aufgaben tasks
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen oder mehrere der sich aus dem Stand der Technik ergeben- den Nachteile zumindest teilweise zu überwinden.  An object of the present invention is to at least partially overcome one or more of the disadvantages arising from the prior art.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile mit einer langen Lebensdauer bereitzustellen. Unter Bauteilen werden insbesondere Geräte verstanden, die für oder in Reaktoren für chemische und/oder physikalische Behandlungsschritte einsetzbar sind. It is a further object of the invention to provide light guides, bulbs and components with a long life. By components is meant in particular devices that can be used for or in reactors for chemical and / or physical treatment steps.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile aus Glas bereitzustellen, die blasenfrei oder blasenarm sind. It is another object of the invention to provide optical fibers, bulbs and glass components that are bubble-free or low-bubble.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile aus Glas bereitzustellen, die eine hohe Transparenz aufweisen.  It is a further object of the invention to provide optical fibers, lamps and components made of glass, which have a high transparency.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine geringe Opazität aufweisen.  It is a further object of the invention to provide light guides, bulbs and components that have low opacity.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter mit einer geringen Dämpfung bereitzustellen.  It is a further object of the invention to provide optical fibers with low attenuation.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine hohe Formtreue aufweisen. Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die bei hohen Temperaturen nicht verformen. Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die auch bei Ausbildung großer Abmessungen formstabil sind. It is a further object of the invention to provide optical fibers, lamps and components which have a high dimensional accuracy. In particular, it is an object of the invention to provide optical fibers, lamps and components that do not deform at high temperatures. In particular, it is an object of the invention to provide optical fibers, lamps and components that are dimensionally stable even with large dimensions.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die reiß- und bruchfest sind.  It is another object of the invention to provide optical fibers, bulbs and components that are tear and break resistant.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die effizient herstellbar sind.  It is a further object of the invention to provide optical fibers, lamps and components which can be produced efficiently.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die kostengünstig herstellbar sind.  It is a further object of the invention to provide light guides, lighting and components that are inexpensive to produce.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, bei deren Herstellung auf lange Nachbehandlungsschritte, zum Beispiel Tempern verzichtet werden kann.  It is a further object of the invention to provide light guides, lamps and components, in the manufacture of which long post-treatment steps, for example tempering, can be dispensed with.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine hohe Temperaturwechselbeständigkeit aufweisen. Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die bei starken thermischen Schwankungen eine geringe Wärmeausdehnung aufweisen. It is a further object of the invention to provide optical fibers, lamps and components which have a high thermal shock resistance. It is a particular object of the invention to provide light guides, lighting and components that have low thermal expansion at high thermal fluctuations.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine hohe Härte aufweisen. Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine hohe Reinheit und eine geringe Kontamination mit Fremdatomen aufweisen. Unter Fremdatomen werden Bestandteile verstanden, die nicht gezielt eingebracht wurden. It is a further object of the invention to provide optical fibers, illuminants and components which have a high hardness. It is another object of the invention to provide light guides, bulbs and components that have high purity and low contamination with impurities. Foreign atoms are understood to mean components that have not been deliberately introduced.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine geringe Menge an Dotierstoffen enthalten.  It is a further object of the invention to provide optical fibers, lamps and components which contain a small amount of dopants.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine hohe Homogenität aufweisen. Eine Homogenität einer Eigenschaft oder eines Stoffes ist ein Maß für die Gleichmäßigkeit der Verteilung dieser Eigenschaft oder des Stoffes in einer Probe.  It is a further object of the invention to provide optical fibers, lamps and components which have a high degree of homogeneity. Homogeneity of a property or a substance is a measure of the uniformity of the distribution of that property or substance in a sample.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, Lichtleiter, Leuchtmittel und Bauteile bereitzustellen, die eine hohe Stoffhomogenität aufweisen. Die Stoffhomogenität ist ein Maß für die Gleichmäßigkeit der Verteilung von im Lichtleiter, Leuchtmittel oder Halbleiterapparat enthaltenen Elemente und Verbindungen, insbesondere von OH, Chlor, Metallen, insbesondere Aluminium, Erdalkalimetalle, Refraktärmetallen und Dotierstoffen.  It is a particular object of the invention to provide light guides, lighting and components that have a high homogeneity. The homogeneity of the substance is a measure of the uniformity of the distribution of elements and compounds contained in the light guide, illuminant or semiconductor apparatus, in particular of OH, chlorine, metals, in particular aluminum, alkaline earth metals, refractory metals and dopants.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der für die Verwendung in Lichtleitern, Leuchtmitteln und Bauteilen aus Quarzglas geeignet ist und mindestens eine, bevorzugt mehrere der bereits beschriebenen Aufgaben zumindest teilweise löst. It is a further object of the invention to provide a quartz glass body which is suitable for use in light guides, bulbs and components made of quartz glass and at least partially solves at least one, preferably several of the tasks already described.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der eine geradlinige Ausformung aufweist. Insbesondere ist es eine Aufgabe, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der einen hohen Biegeradius aufweist. Insbesondere ist es eine weitere Aufgabe, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der einen hohen Curl-Parameter aufweist.  It is a further object of the invention to provide a quartz glass body having a rectilinear shape. In particular, it is an object to provide a quartz glass body having a high bending radius. In particular, it is a further object to provide a quartz glass body having a high curl parameter.
Es ist eine weitere Aufgabe, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, in dem die Migration von Kationen möglichst gering ist.  It is another object to provide a quartz glass body in which the migration of cations is minimized.
Es ist eine weitere Aufgabe, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der eine hohe Homogenität über die gesamte Länge des Quarzglaskörpers aufweist.  It is another object to provide a quartz glass body having high homogeneity over the entire length of the quartz glass body.
Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der über die gesamte Länge des Quarzglaskörpers eine hohe Brechzahlhomogenität aufweist. In particular, it is an object of the invention to provide a quartz glass body which has a high refractive index homogeneity over the entire length of the quartz glass body.
Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der über die gesamte Länge des Quarzglaskörpers eine hohe Homogenität der Viskosität aufweist.  In particular, it is an object of the invention to provide a quartz glass body which has a high homogeneity of the viscosity over the entire length of the quartz glass body.
Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der über die gesamte Länge des Quarzglaskörpers eine hohe Stoffhomogenität aufweist.  In particular, it is an object of the invention to provide a quartz glass body which has a high material homogeneity over the entire length of the quartz glass body.
Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der über die gesamte Länge des Quarzglaskörpers eine hohe optische Homogenität aufweist.  In particular, it is an object of the invention to provide a quartz glass body having a high optical homogeneity over the entire length of the quartz glass body.
Es ist eine weitere Aufgabe, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der eine hohe Symmetrie aufweist, insbesondere eine gleichmäßig runde Form des Querschnitts. Es ist eine weitere Aufgabe, einen Quarzglaskörper bereitzu- stellen, der eine gleichmäßige Oberfläche aufweist. Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen Quarzglaskörper bereitzustellen, der keine Vertiefungen, wie Kerben oder Krater, und keine Erhöhungen, wie Dellen oder Kämme, aufweist.  It is a further object to provide a quartz glass body having a high symmetry, in particular a uniformly round shape of the cross section. It is another object to provide a quartz glass body having a uniform surface. In particular, it is an object of the invention to provide a quartz glass body which has no depressions, such as notches or craters, and no elevations, such as dents or combs.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Siliziumdioxidgranulat bereitzustellen, das gut handhabbar ist. Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Siliziumdioxidgranulat bereitzustellen, das einen geringen Feinstaubanteil aufweist. Es ist eine weitere Aufgabe, ein Siliziumdioxidgranulat bereitzustellen, das gut gelagert, transportiert und gefördert werden kann. It is a further object of the invention to provide a silica granule that is easy to handle. It is a further object of the invention to provide a silica granule which has a low particulate matter content. It is another object to provide a silica granule which can be well stored, transported and conveyed.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Siliziumdioxidgranulat bereitzustellen, das blasenfreie Quarzglaskörper bilden kann. Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Siliziumdioxidgranulat bereitzustellen, das als Schüttgut möglichst wenig Gasvolumen einschließt.  It is a further object of the invention to provide a silica granule which can form bubble-free quartz glass bodies. It is a further object of the invention to provide a silica granulate which includes as little as possible gas volume as bulk material.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein offenporiges Siliziumdioxidgranulat bereitzustellen.  It is a further object of the invention to provide an open celled silica granule.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper hergestellt werden können, mittels derer mindestens ein Teil der bereits beschriebenen Aufgaben zumindest zum Teil gelöst ist. It is a further object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies can be produced by means of which at least part of the tasks already described are at least partially solved.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper einfacher hergestellt werden können. It is another object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies can be more easily manufactured.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper kontinuierlich hergestellt werden können.  It is another object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies can be continuously produced.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper durch ein kontinuierliches Schmelz- und Formgebungsverfahren hergestellt werden können.  It is another object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies can be produced by a continuous melting and molding process.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper mit höherer Geschwindigkeit gebildet werden können.  It is another object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies can be formed at a higher speed.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper mit geringem Ausschuss hergestellt werden können. It is another object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies can be manufactured with a low rejection.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem konfektionierbare Quarzglaskörper hergestellt werden können.  It is a further object of the invention to provide a method by means of which customizable quartz glass bodies can be produced.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein automatisiertes Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskör - per hergestellt werden können.  It is a further object of the invention to provide an automated process by means of which quartz glass bodies can be produced.
Eine weitere Aufgabe ist, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem die Anfahrtszeiten der Anlage kurz sind.  A further object is to provide a method for the production of quartz glass bodies, in which the arrival times of the plant are short.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren mit hohem Durchsatz zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen.  It is a further object of the invention to provide a high throughput process for making quartz glass bodies.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, das hohe Edukt- Volumina verarbeiten kann. It is a further object of the invention to provide a method for producing quartz glass bodies capable of processing high reactant volumes.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, das bei hoher Temperatur durchgeführt werden kann.  It is another object of the invention to provide a method for producing quartz glass bodies which can be carried out at a high temperature.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, wobei die Komponenten lange Standzeiten unter den Verfahrensbedingungen aufweisen.  It is a further object of the invention to provide a method of making quartz glass bodies wherein the components have long lives under the process conditions.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, wobei die Komponenten eine hohe mechanische und thermische Stabilität aufweisen.  It is a particular object of the invention to provide a method for producing quartz glass bodies, wherein the components have a high mechanical and thermal stability.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, wobei die Komponenten reparierbar, wiederverwertbar oder beides sind. It is a particular object of the invention to provide a method for producing quartz glass bodies, wherein the components are repairable, recyclable or both.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, wobei die Komponenten in der Anlage leicht austauschbar sind. Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper mit hoher Oberflächenreinheit hergestellt werden können. It is a particular object of the invention to provide a method for producing quartz glass bodies, wherein the components in the system are easily interchangeable. It is another object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies having high surface purity can be produced.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper mit geringer Oberflächenkontamination durch Verunreinigungen aus dem Tiegel hergestellt werden können.  It is a particular object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies with low surface contamination can be produced by impurities from the crucible.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren mit einer einheitlichen Gasführung im Heizraum und im Schachtraum zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen. It is a further object of the invention to provide a method with a uniform gas guide in the boiler room and in the shaft space for the production of quartz glass bodies.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Quarzglaskörper hergestellt werden können, die ohne Reinigungsschritte nach dem Bilden des Quarzglaskörpers eingesetzt werden.  It is a further object of the invention to provide a method by which quartz glass bodies can be produced which are used without cleaning steps after the formation of the quartz glass body.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, das mit hohen Temperaturgeradienten, insbesondere im Tiegel, durchgeführt werden kann.  It is a further object of the invention to provide a method for the production of quartz glass bodies which can be carried out with high temperature gradients, in particular in the crucible.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem Siliziumdioxid in einer Mehrzonenheizung zum Schmelzen erwärmt werden kann.  It is a particular object of the invention to provide a method for producing quartz glass bodies, wherein the silicon dioxide can be heated to melt in a multi-zone heating.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem der Schmelztiegel in der Anlage bewegbar ist. It is a particular object of the invention to provide a method for the production of quartz glass bodies in which the crucible is movable in the system.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem der Schmelztiegel in der Anlage relativ zur Heizung bewegbar ist. It is a particular object of the invention to provide a method for the production of quartz glass bodies, in which the crucible in the system is movable relative to the heater.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem der Schmelztiegel in der Anlage bewegbar ist.  It is a particular object of the invention to provide a method for the production of quartz glass bodies in which the crucible is movable in the system.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzu- stellen, bei dem der Schmelztiegel in der Anlage drehbar ist.  It is a particular object of the invention to provide a method for the production of quartz glass bodies in which the crucible is rotatable in the system.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem die Ausgangsstoffe heiß dem Tiegel zugeführt werden können, ohne dabei die Lebensdauer der Anlagenkomponenten zu verkürzen oder die Reinheit des Quarzglaskörpers zu verringern.  It is a further object of the invention to provide a method for producing quartz glass bodies, in which the starting materials can be fed hot to the crucible, without shortening the life of the plant components or to reduce the purity of the quartz glass body.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem ein Siliziumdioxidgranulat in einem Schmelzofen verarbeitet werden kann, ohne dass dieses zuvor einem gezielten Verdichtungsschritt, z.B. durch eine Temperaturbehandlung von mehr als 1000 °C unterworfen werden muss.  It is a further object of the invention to provide a method of making quartz glass bodies in which a silica granule can be processed in a smelting furnace without previously being subjected to a targeted compaction step, e.g. must be subjected by a temperature treatment of more than 1000 ° C.
Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern bereitzustellen, bei dem ein Siliziumdioxidgranulat mit einer BET von 20 m2/g oder mehr in einen Schmelzofen einge- bracht, geschmolzen und zu einem Quarzglaskörper verarbeitet werden kann. It is a particular object of the invention to provide a method for the production of quartz glass bodies in which a silica granules having a BET of 20 m 2 / g or more can be introduced into a melting furnace, melted and processed into a quartz glass body.
Eine weitere Aufgabe ist, die Verarbeitbarkeit von Quarzglaskörpern weiter zu verbessern. Another object is to further improve the processability of quartz glass bodies.
Eine weitere Aufgabe ist, die Konfektionierbarkeit von Quarzglaskörpern weiter zu verbessern. Another object is to further improve the manufacturability of quartz glass bodies.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung Preferred embodiments of the invention
Ein Beitrag zur mindestens teilweisen Erfüllung mindestens einer der zuvor genannten Aufgaben wird durch die unabhängigen Ansprüche geleistet. Die abhängigen Ansprüche stellen bevorzugte Ausführungsformen bereit, die zur mindestens teilweisen Erfüllung mindestens einer der Aufgaben beitragen.  A contribution to the at least partial fulfillment of at least one of the aforementioned tasks is provided by the independent claims. The dependent claims provide preferred embodiments that contribute to at least partially performing at least one of the tasks.
111 Ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte: i. ) Bereitstellen eines Siliziumdioxidgranulats, 111 A method for producing a quartz glass body comprising the method steps: i. ) Providing a silica granule,
wobei das Siliziumdioxidgranulat aus pyrogenem Siliziumdioxid hergestellt wurde, wobei das Siliziumdioxidgranulat folgende Merkmale aufweist:  wherein the silica granules are made of fumed silica, wherein the silica granules have the following characteristics:
A) eine BET-Oberfläche in einem Bereich von mehr als 20 bis 50 m2/g; A) a BET surface area in a range of more than 20 to 50 m 2 / g;
B) eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 50 bis 500 μηι;  B) an average particle size in a range of 50 to 500 μηι;
ii. ) Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulats in einem Ofen; ii. Forming a glass melt of the silica granules in an oven;
iii. ) Bilden eines Quarzglaskörpers aus der Glasschmelze, iii. ) Forming a quartz glass body from the molten glass,
wobei der Ofen einen hängenden Sintertiegel beinhaltet. wherein the oven includes a hanging sinter crucible.
Ein Sintertiegel ist ein Tiegel, der der aus einem Sintermaterial gefertigt ist, das mindestens ein Sintermetall beinhaltet und eine Dichte von nicht mehr als 96 % der theoretischen Dichte des Metalls aufweist. Bevorzugt wird ein Sintertiegel durch Sintern des Sintermaterials - anstelle von Schmelzen - in einer Form gefertigt. Das Sintermaterial und das Sintermetall im Sintertiegel sind nicht gewalzt.  A sintered crucible is a crucible made of a sintered material containing at least one sintered metal and having a density of not more than 96% of the theoretical density of the metal. Preferably, a sintered crucible is made by sintering the sintered material - instead of melts - in a mold. The sintered material and the sintered metal in the sinter crucible are not rolled.
Das Verfahren nach Ausführungsform |1|, wobei der Sintertiegel aus einem Sintermaterial besteht, welches ein Sintermetall ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Molybdän, Wolfram und einer Kombination davon beinhaltet. The method of embodiment 1, wherein the sintered crucible is made of a sintered material including a sintered metal selected from the group consisting of molybdenum, tungsten, and a combination thereof.
Das Verfahren nach der vorhergehenden Ausführungsform, wobei das Sintermetall des Sintertiegels eine Dichte von 85% oder mehr der theoretischen Dichte des Sintermetalls, aufweist. The method of the preceding embodiment, wherein the sintered metal of the sintered crucible has a density of 85% or more of the theoretical density of the sintered metal.
Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die BET-Oberfläche vor Schritt ii.) nicht auf weniger als 5 m2/g verringert wird. The method of any one of the preceding embodiments, wherein the BET surface area prior to step ii.) Is not reduced to less than 5 m 2 / g.
Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei der hängende Sintertiegel mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: The method according to one of the preceding embodiments, wherein the suspended sintered crucible has at least one of the following features:
w eine Aufhängung; w a suspension;
{b} mindestens zwei abgedichtete Ringe als Seitenteile;  {b} at least two sealed rings as side parts;
{c} eine Düse;  {c} a nozzle;
{d} einen Dorn;  {d} a thorn;
{e} mindestens einen Gaseinlass;  {e} at least one gas inlet;
{f) mindestens einen Gasauslass;  {f) at least one gas outlet;
{g} einen gekühlten Mantel;  {g} a cooled jacket;
{h} eine Isolation auf der Außenseite es Tiegels.  {h} an insulation on the outside of it crucible.
Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die Schmelzenergie über eine feste Oberfläche auf das Siliziumdioxidgranulat übertragen wird. The method of any one of the preceding embodiments, wherein the melt energy is transferred to the silica granules via a solid surface.
Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei im Gasraum des Ofens Wasserstoff, Helium, Stickstoff oder eine Kombination aus zwei oder mehr davon vorliegt. Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei das Bereitstellen des Siliziumdioxidgranulats folgende Verfahrensschritte beinhaltet: The method according to one of the preceding embodiments, wherein in the gas space of the furnace hydrogen, helium, nitrogen or a combination of two or more thereof is present. The method of any one of the preceding embodiments, wherein providing the silica granule includes the steps of:
I. Bereitstellen von Siliziumdioxidpulver, wobei das Siliziumdioxidpulver folgende Merkmale ausweist:  I. Providing silica powder, wherein the silica powder has the following characteristics:
a. eine BET-Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 60 m2/g, und a. a BET surface area in a range of 20 to 60 m 2 / g, and
b. eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,01 bis 0,3 g/cm3; b. a bulk density in a range of 0.01 to 0.3 g / cm 3 ;
II. Verarbeiten des Siliziumdioxidpulvers zu einem Siliziumdioxidgranulat, wobei das Siliziumdioxidgranulat einen größeren Partikeldurchmesser aufweist als das Siliziumdioxidpulver,  II. Processing the silica powder into a silica granule, the silica granule having a larger particle diameter than the silica powder,
wobei beim Verarbeiten bevorzugt ein Siliziumdioxidgranulat mit Granulen gebildet wird, die eine sphärische Morphologie aufweisen; wobei das Verarbeiten weiter bevorzugt durch Sprühgranulieren oder Rollgranulieren erfolgt..  during processing, preferably, a silica granule is formed with granules having a spherical morphology; wherein the processing is more preferably carried out by spray granulation or roll granulation.
Das Verfahren nach Ausführungsform |8|, wobei das Siliziumdioxidpulver in Schritt La. mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: The method according to embodiment | 8 |, wherein the silica powder in step La. has at least one of the following features:
c. einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 50 ppm;  c. a carbon content of less than 50 ppm;
d. einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm;  d. a chlorine content of less than 200 ppm;
e. einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb;  e. an aluminum content of less than 200 ppb;
f. einen Gesamtgehalt an Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm;  f. a total content of metals other than aluminum of less than 1 ppm;
g. mindestens 70 Gew.-% der Pulverteilchen weisen eine Primä artikelgröße in einem Bereich von 10 bis 100 nm auf;  G. at least 70% by weight of the powder particles have a primary article size in a range of 10 to 100 nm;
h. eine Stampfdichte in einem Bereich von 0,001 bis 0,3 g/cm3; H. a tamped density in a range of 0.001 to 0.3 g / cm 3 ;
i. eine Restfeuchte von weniger als 5 %;  i. a residual moisture of less than 5%;
j. eine Partikelgrößenverteilung D10 in einem Bereich von 1 bis 7 μηι; j. a particle size distribution D 10 in a range of 1 to 7 μηι;
k. eine Partikelgrößenverteilung D50 in einem Bereich von 6 bis 15 μηι; k. a particle size distribution D 50 in a range of 6 to 15 μηι;
1. eine Partikelgrößenverteilung D90 in einem Bereich von 10 bis 40 μηι; 1. a particle size distribution D 90 in a range of 10 to 40 μηι;
wobei die Gew.-%, ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidpulvers bezogen sind.  wherein the weight percent, ppm and ppb are each based on the total weight of the silica powder.
Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei das Siliziumdioxidpulver herstellbar ist aus einer Verbindung ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Siloxanen, Siliziumalkoxiden und Siliziumhalogeniden. The method of any one of the preceding embodiments, wherein the silica powder is preparable from a compound selected from the group consisting of siloxanes, silicon alkoxides and silicon halides.
Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei das Siliziumdioxidgranulat mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: The method according to any one of the preceding embodiments, wherein the silica granules have at least one of the following features:
C) eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,5 bis 1,2 g/cm3; C) a bulk density in a range of 0.5 to 1.2 g / cm 3 ;
D) einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 50 ppm;  D) a carbon content of less than 50 ppm;
E) einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb;  E) an aluminum content of less than 200 ppb;
F) eine Stampfdichte in einem Bereich von 0,7 bis 1,3 g/cm3; F) a tamped density in a range of 0.7 to 1.3 g / cm 3 ;
G) ein Porenvolumen in einem Bereich von 0,1 bis 2,5 mL/g;  G) a pore volume in a range of 0.1 to 2.5 mL / g;
H) einen Schüttwinkel in einem Bereich von 23 bis 26°, I) eine Partikelgrößenverteilung D10 in einem Bereich von 50 bis 150 μηι; H) a repose angle in a range of 23 to 26 °, I) a particle size distribution D 10 in a range of 50 to 150 μηι;
J) eine Partikelgrößenverteilung D50 in einem Bereich von 150 bis 300 μηι; J) a particle size distribution D 50 in a range of 150 to 300 μηι;
K) eine Partikelgrößenverteilung D90 in einem Bereich von 250 bis 620 μηι, K) a particle size distribution D 90 in a range from 250 to 620 μηι,
wobei die ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats bezogen sind.  wherein the ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules.
112| Das Verfahren nach einer der vorhergehenden Ausführungsformen, beinhaltend folgenden Verfahrensschritt: 112 | The method according to one of the preceding embodiments, comprising the following method step:
iv.) Bilden eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung aus dem Quarzglaskörper. 1131 Ein Quarzglaskörper erhältlich nach einem Verfahren gemäß einer der Ausführungsformen 111 bis 1121.  iv.) forming a hollow body with at least one opening of the quartz glass body. 1131 A quartz glass body obtainable by a method according to any one of Embodiments 111 to 1121.
|14| Der Quarzglaskörper nach Ausführungsform |13|, mindestens aufweisend eines der folgenden Merkmale: | 14 | The quartz glass body according to embodiment 13, having at least one of the following features:
A] einen OH-Gehalt von weniger als 500 ppm;  A] an OH content of less than 500 ppm;
B] einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm;  B] a chlorine content of less than 200 ppm;
C] einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb ;  C] has an aluminum content of less than 200 ppb;
D] einen ODC-Anteil von weniger als 5-1015/cm3; D] an ODC content of less than 5-10 15 / cm 3 ;
E] einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm; E] a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm;
F] eine Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis logm (η (1250°C) / dPas) = 12,9 oder log10 (η (1300°C) / dPas) = 11,1 bis log10 (η (1300°C) / dPas) = 12,2 oder log10 (η (1350°C) / dPas) = 10,5 bis log10 (η (1350°C) / dPas) = 11,5; F] a viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to logm (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9 or log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 11.1 to log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 12.2 or log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 10.5 to log 10 ( η (1350 ° C) / dPas) = 11.5;
G] eine Standardabweichung des OH-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den OH-Gehalt A] des Quarzglaskörpers;  G] a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content A] of the quartz glass body;
H] eine Standardabweichung des Cl-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Cl-Gehalt B] des Quarzglaskörpers;  H] a standard deviation of the Cl content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Cl content B] of the quartz glass body;
I] eine Standardabweichung des Al-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Al-Gehalt C] des Quarzglaskörpers;  I] a standard deviation of the Al content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Al content C] of the quartz glass body;
J] eine Brechzahlhomogenität von weniger als 10"4; J] a refractive index homogeneity of less than 10 "4 ;
K] eine zylindrische Form;  K] a cylindrical shape;
L] einen Wolframgehalt von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb oder von weniger als 300 ppb oder von weniger als 100 ppb oder in einem Bereich von 1 bis 500 ppb oder von 1 bis 300 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 100 ppb;  L] has a tungsten content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb;
M] einen Molybdängehalt von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb oder von weniger als 300 ppb oder von weniger als 100 ppb oder in einem Bereich von 1 bis 500 ppb oder von 1 bis 300 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 100 ppb,  M] has a molybdenum content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb,
wobei die ppb und ppm jeweils auf das Gesamtgewicht des Quarzglaskörpers bezogen sind.  wherein the ppb and ppm are each based on the total weight of the quartz glass body.
|15| Ein Verfahren zum Herstellen eines Lichtleiters beinhaltend folgende Schritte | 15 | A method for producing a light guide comprising the following steps
AI Bereitstellen  AI deploy
All eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß Ausführungsform |12|, oder All eines Quarzglaskörpers gemäß einer der Ausführungsformen |13| oder |14|, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper mit mindestens einer Öffnung verarbeitet wird; All of a hollow body with at least one opening obtainable by a method according to embodiment | 12 |, or All of a quartz glass body according to one of the embodiments | 13 | or | 14 |, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body having at least one opening;
B/ Einbringen eines oder mehrerer Kernstäbe in den Hohlkörper aus Schritt AI durch die mindestens eine Öffnung unter Erhalt eines Vorläufers;  B / introducing one or more core rods into the hollow body of step AI through the at least one opening to obtain a precursor;
Cl Ziehen des Vorläufers in der Wärme unter Erhalt eines Lichtleiters mit einem oder mehreren Kernen und einer Hülle Ml .  Cl Pull the precursor in the heat to obtain a light guide with one or more cores and a shell Ml.
|16| Ein Verfahren zum Herstellen eines Leuchtmittels beinhaltend folgende Schritte | 16 | A method of manufacturing a luminous means comprising the following steps
(i) Bereitstellen  (i) Provide
(i-1) eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß (i-1) a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to
Ausführungsform |12|; oder Embodiment | 12 | or
(i-2) eines Quarzglaskörpers gemäß einer der Ausführungsformen |13| oder |14|, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper verarbeitet wird;  (i-2) of a quartz glass body according to one of the embodiments | 13 | or | 14 |, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body;
(ii) gegebenenfalls Bestücken des Hohlkörpers mit Elektroden;  (ii) optionally loading the hollow body with electrodes;
(iii) Füllen des Hohlkörpers mit einem Gas.  (iii) filling the hollow body with a gas.
|17| Ein Verfahren zum Herstellen eines Formkörpers beinhaltend folgende Schritte: | 17 | A method for producing a shaped article comprising the following steps:
(1) Bereitstellen eines Quarzglaskörpers nach einer der Ausführungsformen |13| oder |14| oder erhält- lieh nach einem Verfahren gemäß einer der Ausführungsformen 111 bis 112|;  (1) Providing a quartz glass body according to one of the embodiments | 13 | or | 14 | or obtainable by a method according to any of embodiments 111 to 112 |;
(2) Formen des Quarzglaskörpers unter Erhalt des Formkörpers.  (2) molding the quartz glass body to obtain the molded body.
|18| Eine Verwendung eines hängenden Sintertiegels in einem Verfahren zur Herstellung hochreiner synthetischer Quarzglaskörper zur Erhöhung des Durchsatzes des Verfahrens, wobei der hängende Sintertiegel folgende Merkmale aufweist: | 18 | A use of a hanging sintered crucible in a process for producing high purity synthetic silica glass bodies to increase the throughput of the process, the suspended sintered crucible having:
{a} eine Aufhängung;  {a} a suspension;
{b} mindestens zwei abgedichtete Ringe als Seitenteile;  {b} at least two sealed rings as side parts;
{c} eine Düse. |19| Eine Verwendung eines hängenden Sintertiegels zur Herstellung von Produkten beinhaltend Quarzglas ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einem Lichtleiter, einer Lampe und einem Formkörper, wobei der hängende Sintertiegel folgende Merkmale aufweist:  {c} a nozzle. | 19 | A use of a hanging sinter crucible for producing products comprising quartz glass selected from the group consisting of a light guide, a lamp and a shaped body, the hanging sintered crucible having the following features:
{a} eine Aufhängung;  {a} a suspension;
{b} mindestens zwei abgedichtete Ringe als Seitenteile;  {b} at least two sealed rings as side parts;
{c} eine Düse.  {c} a nozzle.
Allgemeines General
In der vorliegenden Beschreibung beinhalten Bereichsangaben auch die als Grenzen genannten Werte. Eine An- gäbe der Art„im Bereich von X bis Y" in Bezug auf eine Größe A bedeutet folglich, dass A die Werte X, Y und Werte zwischen X und Y annehmen kann. Einseitig begrenzte Bereiche der Art„bis zu Y" für eine Größe A bedeuten entsprechend als Werte Y und kleiner als Y. In the present description, range indications also include the values called limits. An indication of the kind "in the range of X to Y" with respect to a quantity A thus means that A has the values X, Y and Can take values between X and Y One-sided limited areas of the kind "up to Y" for a size A mean accordingly as values Y and smaller than Y.
Ausführliche Beschreibung der Erfindung Detailed description of the invention
Ein erster Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte:  A first subject of the present invention is a method for producing a quartz glass body comprising the method steps:
i. ) Bereitstellen eines Siliziumdioxidgranulats;  i. ) Providing a silica granule;
ii. ) Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulat; und  ii. ) Forming a glass melt from the silica granules; and
iii.) Bilden eines Quarzglaskörpers aus mindestens einem Teil der Glasschmelze,  iii.) forming a quartz glass body from at least part of the molten glass,
wobei der Ofen einen hängenden Sintertiegel beinhaltet.  wherein the oven includes a hanging sinter crucible.
Schritt i.) Step i.)
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung beinhaltet das Bereitstellen des Siliziumdioxidgranulats folgende Verfahrensschritte:  According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the provision of the silica granules comprises the following method steps:
I. Bereitstellen eines Siliziumdioxidpulvers; und  I. providing a silica powder; and
II. Verarbeiten des Siliziumdioxidpulvers zu einem Siliziumdioxidgranulat, wobei das Siliziumdioxidgranulat einen größeren Partikeldurchmesser aufweist als das Siliziumdioxidpulver. Unter einem Pulver werden Partikel trockener fester Stoffe mit einer Primärpartikelgröße im Bereich von 1 bis weniger als 100 nm verstanden.  II. Processing the silica powder into a silica granule, the silica granule having a larger particle diameter than the silica powder. A powder is understood as meaning particles of dry solids having a primary particle size in the range of 1 to less than 100 nm.
Das Siliziumdioxidgranulat kann durch Granulieren von Siliziumdioxidpulver erhalten werden. Ein Siliziumdioxidgranulat weist in der Regel eine BET-Oberfläche von 3 m2/g oder mehr und eine Dichte von weniger als 1,5 g/cm3 auf. Unter Granulieren versteht man das Überführen von Pulverteilchen in Granulen. Beim Granulieren bilden sich Zusammenlagerungen von mehreren Siliziumdioxidpulverteilchen, also größere Agglomerate, die als „Siliziumdioxidgranulen" bezeichnet werden. Diese werden oft auch als„Siliziumdioxidgranulatteilchen" oder „Granulatteilchen" bezeichnet. In ihrer Gesamtheit bilden Granulen ein Granulat, z.B. die Siliziumdioxidgranulen ein„Siliziumdioxidgranulat". Das Siliziumdioxidgranulat weist einen größeren Partikeldurchmesser auf als das Siliziumdioxidpulver. The silica granules can be obtained by granulating silica powder. A silica granule typically has a BET surface area of 3 m 2 / g or more and a density of less than 1.5 g / cm 3 . Granulating is understood as meaning the transfer of powder particles into granules. Granulation forms aggregates of multiple silica powder particles, ie larger agglomerates called "silica granules." These are often referred to as "silica granule particles" or "granule particles." Granules form granules in their entirety, eg, the silica granules are "silica granules." , The silica granules have a larger particle diameter than the silica powder.
Der Vorgang des Granulierens, um ein Pulver in Granulate zu überführen, wird später näher erläutert. The process of granulation to convert a powder into granules will be explained later.
Unter Siliziumdioxidkörnung werden im vorliegenden Kontext Siliziumdioxidpartikel verstanden, die durch ein Zerkleinern eines Siliziumdioxidkörpers, insbesondere eines Quarzglaskörper erhältlich sind. Eine Siliziumdioxidkörnung weist in der Regel eine Dichte von mehr als 1,2 g/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 1,2 bis 2,2 g/cm3, und besonders bevorzugt von etwa 2,2 g/cm3 auf. Weiter bevorzugt beträgt die BET-Oberfläche einer Siliziumdioxidkörnung in der Regel weniger als 1 m2/g, bestimmt gemäß DIN ISO 9277:2014-01. Als Siliziumdioxidpartikel kommen prinzipiell alle dem Fachmann geeigneten Siliziumdioxidpartikel in Betracht.In the present context, silicon dioxide granulation is understood as meaning silicon dioxide particles obtainable by comminuting a silicon dioxide body, in particular a quartz glass body. A silica grain usually has a density of more than 1.2 g / cm 3 , for example in a range of 1.2 to 2.2 g / cm 3 , and more preferably about 2.2 g / cm 3 , More preferably, the BET surface area of a silica grain is generally less than 1 m 2 / g, determined according to DIN ISO 9277: 2014-01. In principle, all silica particles suitable to the person skilled in the art come into consideration as silica particles.
Bevorzugt ausgewählt werden Siliziumdioxidgranulat und Siliziumdioxidkörnung. Unter einem Partikeldurchmesser oder einer Partikelgröße wird der Durchmesser eines Partikels verstanden, der sich als„area equivalent circular diameter xA" gemäß der Formel xAi = ergibt, wobei Ai die Fläche des betrachteten Partikels bei einer Bildanalyse bedeutet. Als Methoden zur Bestimmung eignen sich zum Beispiel ISO 13322-1:2014 oder ISO 13322-2:2009. Vergleichende Angaben wie„größerer Partikeldurchmesser" bedeutet immer, dass die in Bezug gesetzten Werte mit derselben Methode bestimmt wurden. Preferably selected are silica granules and silica granules. A particle diameter or a particle size is understood to be the diameter of a particle which results as "area equivalent circular diameter x A " according to the formula x Ai =, where Ai is the area of the particle under consideration in an image analysis for example, ISO 13322-1: 2014 or ISO 13322-2: 2009. Comparative data such as "larger particle diameter" always means that the values referenced are determined by the same method.
Siliziumdioxidpulver silica
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist es prinzipiell möglich, Siliziumdioxidpulver aus natürlich vorkom- mendem oder aus synthetisch hergestelltem Siliziumdioxid zu gewinnen. Bevorzugt wird synthetisches Siliziumdioxidpulver verwendet. Besonders bevorzugt wird pyrogen erzeugtes Siliziumdioxidpulver verwendet.  In the context of the present invention, it is possible in principle to obtain silicon dioxide powder from naturally occurring or from synthetically produced silicon dioxide. Preferably, synthetic silica powder is used. Particular preference is given to using pyrogenically produced silicon dioxide powder.
Das Siliziumdioxidpulver kann jedes Siliziumdioxidpulver sein, das mindestens zwei Teilchen aufweist. Als Herstellungsverfahren kommt jedes Verfahren in Betracht, das dem Fachmann geläufig und für den vorliegenden Zweck geeignet erscheint. The silica powder may be any silica powder having at least two particles. Any method which is familiar to the person skilled in the art and suitable for the present purpose can be considered as the production method.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird das Siliziumdioxidpulver bei der Herstellung von Quarzglas als Nebenprodukt erzeugt, insbesondere bei der Herstellung von sogenannten Soot- körpern. Siliziumdioxid solcher Herkunft wird oftmals auch als„Sootstaub" bezeichnet. According to a preferred embodiment of the present invention, the silica powder is produced in the production of quartz glass as a by-product, in particular in the production of so-called soot bodies. Silica of such origin is often referred to as "soot dust".
Eine bevorzugte Quelle für das Siliziumdioxidpulver sind Siliziumdioxidpartikel, die bei der synthetischen Herstellung von Sootkörpern unter Einsatz von Flammhydrolysebrennern erhalten werden. Bei der Herstellung eines Sootkörpers wird entlang einer Brennerreihe ein rotierendes Trägerrohr, das eine Zylindermantelfläche aufweist, reversierend hin- und her bewegt. Den Flammhydrolysebrennern können dabei als Brennergase jeweils Sauerstoff und Wasserstoff sowie die Ausgangsmaterialien für die Bildung von Siliziumdioxidprimärpartikeln zugeführt werden. Die Siliziumdioxidprimärpartikel weisen bevorzugt eine Primärpartikelgröße von bis zu 100 nm auf. Die durch Flammenhydrolyse erzeugten Siliziumdioxidprimä artikel aggregieren oder agglomerieren zu Siliziumdioxidpartikeln mit Partikelgrößen von etwa 9 μηι (DIN ISO 13320:2009-1). In den Siliziumdioxidpartikeln sind die Siliziumdioxidprimä artikel durch Raster-Elektronen-Mikroskopie in ihrer Form erkennbar und die Primär- partikelgröße kann bestimmt werden. Ein Teil der Siliziumdioxidpartikel werden auf der Zylindermantelfläche des um seine Längsachse rotierenden Trägerrohrs abgeschieden. So wird Schicht für Schicht der Sootkörper aufgebaut. Ein anderer Teil der Siliziumdioxidpartikel wird nicht auf der Zylindermantelfläche des Trägerrohrs abgeschieden, sondern fällt als Staub an, z.B. in einer Filteranlage. Dieser andere Teil Siliziumdioxidpartikel bildet das Siliziumdioxidpulver, oftmals auch als„Sootstaub" bezeichnet. In der Regel ist der auf dem Trägerrohr abge- schiedene Teil Siliziumdioxidpartikel größer als der als Sootstaub anfallende Teil Siliziumdioxidpartikel im Rahmen der bezogen auf das Gesamtgewicht der Siliziumdioxidpartikel. A preferred source of the silica powder is silica particles obtained in the synthetic production of soot bodies using flame hydrolysis burners. During the production of a soot body, a rotating carrier tube, which has a cylinder jacket surface, is reversibly moved back and forth along a row of burners. The flame hydrolysis burners can be fed as burner gases in each case oxygen and hydrogen and the starting materials for the formation of Siliziumdioxidprimärpartikeln. The silica primary particles preferably have a primary particle size of up to 100 nm. The Siliziumdioxidprimä generated by flame hydrolysis aggregate or agglomerate to silica particles with particle sizes of about 9 μηι (DIN ISO 13320: 2009-1). In the silica particles, the silicon dioxide primary particles are recognizable in their shape by scanning electron microscopy and the primary particle size can be determined. A portion of the silicon dioxide particles are deposited on the cylinder jacket surface of the support tube rotating about its longitudinal axis. This is how the soot body is built up layer by layer. Another part of the silicon dioxide particles is not deposited on the cylinder jacket surface of the support tube, but accumulates as dust, for example in a filter system. This other part of silicon dioxide particles forms the silicon dioxide powder, often also referred to as "soot dust." As a rule, the part of silicon dioxide particles deposited on the support tube is larger than the part of silica particles arising as soot dust in the context of based on the total weight of the silica particles.
Heutzutage wird der Sootstaub in der Regel aufwendig und kostenintensiv als Abfall entsorgt oder ohne Wertschöpfung als Füllstoff verbracht, z.B. im Straßenbau, als Zuschlagstoffe in der Farbstoffindustrie, als Rohstoff für die Fliesenherstellung und zur Herstellung von Hexafluorkieselsäure, welche zur Sanierung von Bauwerks- fundamenten eingesetzt wird. Im Fall der vorliegenden Erfindung eignet es sich als Ausgangsstoff und kann zu einem hochwertigen Produkt verarbeitet werden. Nowadays, the soot dust is usually disposed of consuming and costly as waste or spent without added value as a filler, for example in road construction, as additives in the dyestuff industry, as a raw material for tile production and for the production of hexafluorosilicic acid, which for the renovation of building foundations. In the case of the present invention, it is suitable as a starting material and can be processed to a high quality product.
Durch Flammenhydrolyse hergestelltes Siliziumdioxid wird gewöhnlich als pyrogenes Siliziumdioxid bezeichnet. Pyrogenes Siliziumdioxid liegt üblicherweise in Form amorpher Siliziumdioxidprimä artikel oder Siliziumdioxidpartikel vor. Silica produced by flame hydrolysis is commonly referred to as fumed silica. Fumed silica is usually in the form of amorphous silica primaries or silica particles.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform kann das Siliziumdioxidpulver durch Flammenhydrolyse aus einem Gasgemisch hergestellt werden. In diesem Fall werden die Siliziumdioxidpartikel ebenfalls in der Flammenhydro- lyse gebildet und als Siliziumdioxidpulver abgeführt, bevor sich Agglomerate oder Aggregate bilden. Hier ist das zuvor als Sootstaub bezeichnete Siliziumdioxidpulver Hauptprodukt. According to a preferred embodiment, the silica powder can be prepared by flame hydrolysis from a gas mixture. In this case, the silica particles are also formed in the flame hydrolysis and discharged as silica powder before agglomerates or aggregates form. Here is the silica powder previously referred to as soot dust main product.
Als Ausgangsmaterialien für die Bildung des Siliziumdioxidpulvers eignen sich bevorzugt Siloxane, Siliziumalkoxide und anorganische Siliziumverbindungen. Unter Siloxanen werden lineare und cyclische Polyalkylsiloxane verstanden. Bevorzugt haben Polyalkylsiloxane die allgemeine Formel As starting materials for the formation of the silica powder are preferably siloxanes, silicon alkoxides and inorganic silicon compounds. Siloxanes are understood as meaning linear and cyclic polyalkylsiloxanes. Polyalkylsiloxanes preferably have the general formula
SipOpR2p, Si p O p R2p,
wobei p eine ganze Zahl von mindestens 2, bevorzugt von 2 bis 10, besonders bevorzugt von 3 bis 5, und R eine Alkylgruppe mit 1 bis 8 C-Atomen, bevorzugt mit 1 bis 4 C-Atomen, besonders bevorzugt eine Methylgruppe  where p is an integer of at least 2, preferably from 2 to 10, particularly preferably from 3 to 5, and R is an alkyl group having 1 to 8 C atoms, preferably having 1 to 4 C atoms, particularly preferably a methyl group
ist. is.
Besonders bevorzugt sind Siloxane ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Hexamethyldisiloxan, Hexamethyl- cyclotrisiloxan (D3), Octamethylcyclotetrasiloxan (D4) und Dekamethylcyclopentasiloxan (D5) oder einer Kombination von zwei oder mehr davon. Umfasst das Siloxan D3, D4 und D5, ist D4 bevorzugt die Hauptkomponen- te. Die Hauptkomponente liegt bevorzugt mit einem Anteil von mindestens 70 Gew.-%, bevorzugt von mindestens 80 Gew.-%, zum Beispiel von mindestens 90 Gew.-% oder von mindestens 94 Gew.-%, besonders bevorzugt von mindestens 98 Gew.-%, jeweils bezogen auf die Gesamtmenge Siliziumdioxidpulver, vor. Bevorzugte Siliziumalkoxide sind Tetramethoxysilan und Methyltrimethoxysilan. Bevorzugte anorganische Siliziumverbindungen als Ausgangsmaterial für Siliziumdioxidpulver sind Siliziumhalogenide, Silikate, Siliziumcarbid und Silizium- nitrid. Besonders bevorzugt als anorganische Siliziumverbindung als Ausgangsmaterial für Siliziumdioxidpulver sind Siliziumtetrachlorid und Trichlorsilan. Especially preferred are siloxanes selected from the group consisting of hexamethyldisiloxane, hexamethylcyclotrisiloxane (D3), octamethylcyclotetrasiloxane (D4) and decamethylcyclopentasiloxane (D5) or a combination of two or more thereof. If the siloxane comprises D3, D4 and D5, D4 is preferably the main component. The main component is preferably present in a proportion of at least 70% by weight, preferably of at least 80% by weight, for example of at least 90% by weight or of at least 94% by weight, more preferably of at least 98% by weight. %, in each case based on the total amount of silica powder before. Preferred silicon alkoxides are tetramethoxysilane and methyltrimethoxysilane. Preferred inorganic silicon compounds as starting material for silica powder are silicon halides, silicates, silicon carbide and silicon nitride. Particularly preferred as the inorganic silicon compound as a starting material for silica powder are silicon tetrachloride and trichlorosilane.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist das Siliziumdioxidpulver aus einer Verbindung ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Siloxanen, Siliziumalkoxiden und Siliziumhalogeniden herstellbar. According to a preferred embodiment, the silicon dioxide powder can be prepared from a compound selected from the group consisting of siloxanes, silicon alkoxides and silicon halides.
Bevorzugt ist das Siliziumdioxidpulver herstellbar aus einer Verbindung ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Hexamethyldisiloxan, Hexamethylcyclotrisiloxan, Octamethylcyclotetrasiloxan und Dekamethylcyclopentasiloxan, Tetramethoxysilan und Methyltrimethoxysilan, Siliziumtetrachlorid und Trichlorsilan oder einer Kombination aus zwei oder mehr davon, zum Beispiel aus Siliziumtetrachlorid und Octamethylcyclotetrasiloxan, beson- ders bevorzugt aus Octamethylcyclotetrasiloxan. Für die Bildung von Siliziumdioxid aus Siliziumtetrachlorid durch Flammhydrolyse sind verschiedene Parameter von Bedeutung. Eine bevorzugte Zusammensetzung eines geeigneten Gasgemisches beinhaltet einen Anteil an Sauerstoff bei der Flammenhydrolyse in einem Bereich von 25 bis 40 Vol.-%. Der Anteil an Wasserstoff kann in einem Bereich von 45 bis 60 Vol.-% betragen. Der Anteil an Siliziumtetrachlorid liegt bevorzugt bei 5 bis 30 Vol.-%, alle der vorgenannten Vol.-% bezogen auf das Gesamtvolumen des Gasstroms. Weiter bevorzugt ist eine Kombination der vorgenannten Volumenanteile für Sauerstoff, Wasserstoff und SiCU- Die Flamme in der Flammenhydrolyse weist bevorzugt eine Temperatur in einem Bereich von 1500 bis 2500 °C, beispielsweise in einem Bereich von 1600 bis 2400 °C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1700 bis 2300 °C auf. Bevorzugt werden die in der Flammenhydrolyse gebildeten Siliziumdio idprimä artikel als Siliziumdioxidpulver abgeführt, bevor sich Agglomerate oder Aggregate bilden. Preferably, the silica powder preparable from a compound selected from the group consisting of hexamethyldisiloxane, hexamethylcyclotrisiloxane, octamethylcyclotetrasiloxane and Dekamethylcyclopentasiloxan, tetramethoxysilane and methyltrimethoxysilane, silicon tetrachloride and trichlorosilane or a combination of two or more thereof, for example of silicon tetrachloride and octamethylcyclotetrasiloxane, particularly preferably from octamethylcyclotetrasiloxane. Various parameters are important for the formation of silicon dioxide from silicon tetrachloride by flame hydrolysis. A preferred composition of a suitable gas mixture includes a proportion of oxygen in the flame hydrolysis in a range of 25 to 40% by volume. The proportion of hydrogen may be in a range of 45 to 60% by volume. The proportion of silicon tetrachloride is preferably from 5 to 30% by volume, all of the abovementioned% by volume, based on the total volume of the gas stream. The flame in the hydrolysis of the flame preferably has a temperature in a range from 1500 to 2500 ° C., for example in a range from 1600 to 2400 ° C., particularly preferably in one range from 1700 to 2300 ° C. The silicon dioxide formed in the flame hydrolysis are preferably removed as silica powder before agglomerates or aggregates are formed.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung weist das Siliziumdioxidpulver folgende Merkmale auf: According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the silica powder has the following characteristics:
a. eine BET-Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 60 m2/g, zum Beispiel von 25 bis 55 m2/g, oder von 30 bis 50 m2/g, besonders bevorzugt von 20 bis 40 m2/g, und a. a BET surface area in a range from 20 to 60 m 2 / g, for example from 25 to 55 m 2 / g, or from 30 to 50 m 2 / g, particularly preferably from 20 to 40 m 2 / g, and
b. eine Schüttdichte 0,01 bis 0,3 g/cm3, zum Beispiel im Bereich von 0,05 bis 0,3 g/cm3 oder von 0,02 bis 0,2 g/cm3, bevorzugt im Bereich von 0,03 bis 0,15 g/cm3, weiter bevorzugt im Bereich von 0,1 bis 0,2 g/cm3 oder im Bereich von 0,05 bis 0,1 g/cm3. b. a bulk density of 0.01 to 0.3 g / cm 3 , for example in the range of 0.05 to 0.3 g / cm 3 or of 0.02 to 0.2 g / cm 3 , preferably in the range of 0, 03 to 0.15 g / cm 3 , more preferably in the range of 0.1 to 0.2 g / cm 3 or in the range of 0.05 to 0.1 g / cm 3 .
Das Siliziumdioxidpulver weist bevorzugt mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale auf: The silicon dioxide powder preferably has at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
c. einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 50 ppm, zum Beispiel von weniger als 40 ppm oder von weniger 30 ppm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 ppb bis 20 ppm;  c. a carbon content of less than 50 ppm, for example less than 40 ppm or less than 30 ppm, more preferably in a range of from 1 ppb to 20 ppm;
d. einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm, zum Beispiel von weniger als 150 ppm oder von weniger 100 ppm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 ppb bis 80 ppm;  d. a chlorine content of less than 200 ppm, for example less than 150 ppm or less than 100 ppm, more preferably in a range of from 1 ppb to 80 ppm;
e. einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb, zum Beispiel im Bereich von 1 bis 100 ppb, besonders bevorzugt im Bereich von 1 bis 80 ppb;  e. an aluminum content of less than 200 ppb, for example in the range of 1 to 100 ppb, more preferably in the range of 1 to 80 ppb;
f. einen Gesamtgehalt an Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 5 ppm, zum Beispiel von weniger als 2 ppm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 ppb bis 1 ppm; g. mindestens 70 Gew.-% der Pulverteilchen weisen eine Primärpartikelgröße in einem Bereich von 10 bis weniger als 100 nm, zum Beispiel im Bereich von 15 bis weniger als 100 nm, besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis weniger als 100 nm auf;  f. a total content of metals other than aluminum of less than 5 ppm, for example less than 2 ppm, more preferably in a range of from 1 ppb to 1 ppm; G. at least 70% by weight of the powder particles have a primary particle size in a range of 10 to less than 100 nm, for example in the range of 15 to less than 100 nm, more preferably in the range of 20 to less than 100 nm;
h. eine Stampfdichte in einem Bereich von 0,001 bis 0,3 g/cm3, zum Beispiel im Bereich von 0,002 bis 0,2 g/cm3 oder von 0,005 bis 0,1 g/cm3, bevorzugt im Bereich von 0,01 bis 0,06 g/cm3, auch bevorzugt im Bereich von 0,1 bis 0,2 g/cm3, oder im Bereich von 0,15 bis 0,2 g/cm3; H. a tamped density in a range of 0.001 to 0.3 g / cm 3 , for example in the range of 0.002 to 0.2 g / cm 3 or from 0.005 to 0.1 g / cm 3 , preferably in the range of 0.01 to 0.06 g / cm 3 , also preferably in the range of 0.1 to 0.2 g / cm 3 , or in the range of 0.15 to 0.2 g / cm 3 ;
i. eine Restfeuchte von weniger als 5 Gew.-%, zum Beispiel im Bereich von 0,25 bis 3 Gew.-%, besonders bevorzugt im Bereich von 0,5 bis 2 Gew.-%;  i. a residual moisture of less than 5 wt .-%, for example in the range of 0.25 to 3 wt .-%, particularly preferably in the range of 0.5 to 2 wt .-%;
j. eine Partikelgrößenverteilung D10 im Bereich von 1 bis 7 μηι, zum Beispiel im Bereich von 2 bis 6 μηι oder im Bereich von 3 bis 5 μηι, besonders bevorzugt im Bereich von 3,5 bis 4,5 μηι; j. a particle size distribution D 10 in the range of 1 to 7 μηι, for example in the range of 2 to 6 μηι or in the range of 3 to 5 μηι, more preferably in the range of 3.5 to 4.5 μηι;
k. eine Partikelgrößenverteilung D50 im Bereich von 6 bis 15 μηι, zum Beispiel im Bereich von 7 bisk. a particle size distribution D 50 in the range of 6 to 15 μηι, for example in the range of 7 to
13 μηι oder im Bereich von 8 bis 11 μηι, besonders bevorzugt im Bereich von 8,5 bis 10,5 μηι; 1. eine Partikelgrößenverteilung D90 im Bereich von 10 bis 40 μηι, zum Beispiel im Bereich von 15 bis 35 μηι, besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 30 μηι; 13 μηι or in the range of 8 to 11 μηι, more preferably in the range of 8.5 to 10.5 μηι; 1. a particle size distribution D 90 in the range of 10 to 40 μηι, for example in the range of 15 to 35 μηι, particularly preferably in the range of 20 to 30 μηι;
wobei die Gew.-%, ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidpulvers bezogen sind. Das Siliziumdioxidpulver enthält Siliziumdioxid. Bevorzugt enthält das Siliziumdioxidpulver Siliziumdioxid in einer Menge von mehr als 95 Gew.-%, zum Beispiel in einer Menge von mehr als 98 Gew. -%. oder von mehr als 99 Gew.-%.oder von mehr als 99,9 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidpulvers. Besonders bevorzugt enthält das Siliziumdioxidpulver Siliziumdioxid in einer Menge von mehr als 99,99 Gew.- %, bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidpulvers.  wherein the weight percent, ppm and ppb are each based on the total weight of the silica powder. The silica powder contains silica. Preferably, the silica powder contains silica in an amount of more than 95% by weight, for example, in an amount of more than 98% by weight. or more than 99% by weight or more than 99.9% by weight, based in each case on the total weight of the silicon dioxide powder. More preferably, the silica powder contains silica in an amount of more than 99.99% by weight based on the total weight of the silica powder.
Bevorzugt weist das Siliziumdioxidpulver einen Metallgehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen von weniger als 5 ppm, zum Beispiel von weniger als 2 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 1 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidpulvers, auf. Oftmals weist das Siliziumdioxidpulver jedoch einen Gehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. Solche Metal- le sind beispielsweise Natrium, Lithium, Kalium, Magnesium, Calcium, Strontium, Germanium, Kupfer, Molybdän, Wolfram, Titan, Eisen und Chrom. Diese können zum Beispiel als Element, als Ion, oder als Teil eines Moleküls oder eines Ions oder eines Komplexes vorliegen. Preferably, the silica powder has a metal content of metals other than aluminum of less than 5 ppm, for example less than 2 ppm, more preferably less than 1 ppm, each based on the total weight of the silica powder. Often, however, the silica powder has a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb. Such metals are, for example, sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, tungsten, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex.
Bevorzugt hat das Siliziumdioxidpulver einen Gesamtanteil an weiteren Bestandteilen von weniger als 30 ppm, zum Beispiel von weniger als 20 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 15 ppm, die ppm jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidpulvers. Oftmals weist das Siliziumdioxidpulver jedoch einen Gehalt an weiteren Bestandteilen in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. Unter weiteren Bestandteilen werden alle Bestandteile des Siliziumdioxidpulvers verstanden, die nicht zu der folgenden Gruppe gehören: Siliziumdioxid, Chlor, Aluminium, OH-Gruppen. Preferably, the silica powder has a total content of other ingredients of less than 30 ppm, for example less than 20 ppm, more preferably less than 15 ppm, the ppm each based on the total weight of the silica powder. Often, however, the silica powder has a content of other ingredients in an amount of at least 1 ppb. Further constituents are understood as meaning all constituents of the silica powder which do not belong to the following group: silicon dioxide, chlorine, aluminum, OH groups.
Im vorliegenden Kontext bedeutet die Angabe eines Bestandteils, wenn der Bestandteil ein chemisches Element ist, dass er als Element oder als Ion in einer Verbindung oder einem Salz vorliegen kann. Zum Beispiel beinhaltet die Angabe„Aluminium" neben metallischem Aluminium auch Aluminiumsalze, Aluminiumoxide und Aluminiummetallkomplexe. Zum Beispiel beinhaltet die Angabe„Chlor" neben elementarem Chlor, Chloride wie Natri- umchlorid und Chlorwasserstoff. Oftmals liegen die weiteren Bestandteile in dem gleichen Aggregatzustand vor wie der Stoff, in dem sie enthalten sind. In the present context, the indication of an ingredient when the ingredient is a chemical element means that it may be present as an element or as an ion in a compound or a salt. For example, in addition to metallic aluminum, the term "aluminum" also includes aluminum salts, aluminum oxides, and aluminum metal complexes, for example, the term "chlorine" includes elemental chlorine, chlorides such as sodium chloride, and hydrogen chloride. Often, the other ingredients are in the same state of matter as the substance in which they are contained.
Im vorliegenden Kontext bedeutet die Angabe eines Bestandteils, wenn der Bestandteil eine chemische Verbindung oder eine funktionelle Gruppe ist, dass der Bestandteil in der genannten Form, als geladene chemische Ver- bindung oder als Derivat der chemischen Verbindung vorliegen kann. Zum Beispiel beinhaltet die Angabe des chemischen Stoffes Ethanol, neben Ethanol auch Ethanolat, zum Beispiel Natriumethanolat. Die Angabe„OH- Gruppe" beinhaltet auch Silanol, Wasser und Metallhydroxide. Zum Beispiel beinhaltet die Angabe Derivat bei Essigsäure auch Essigsäureester und Acetanhydrid. Bevorzugt weisen mindestens 70 % der Pulverteilchen des Siliziumdioxidpulvers, bezogen auf die Anzahl anIn the present context, when the ingredient is a chemical compound or a functional group, the indication of an ingredient means that the ingredient may be in said form, as a charged chemical compound, or as a derivative of the chemical compound. For example, the indication of the chemical ethanol includes ethanol as well as ethanol, for example, sodium ethanolate. The term "OH group" also includes silanol, water and metal hydroxides For example, the term derivative in acetic acid also includes acetic acid ester and acetic anhydride Preferably, at least 70% of the powder particles of the silica powder are in number
Pulverteilchen, eine Primärpartikelgröße von weniger als 100 nm auf, zum Beispiel im Bereich von 10 bis 100 nm oder von 15 bis 100 nm, und besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 100 nm auf. Die Primä artikelgröße wird durch dynamische Lichtstreuung nach ISO 13320:2009-10 bestimmt. Powder particles, a primary particle size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or from 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 to 100 nm. The primary article size is determined by dynamic light scattering according to ISO 13320: 2009-10.
Bevorzugt weisen mindestens 75 % der Pulverteilchen des Siliziumdioxidpulvers, bezogen auf die Anzahl an Pulverteilchen, eine Primä artikelgröße von weniger als 100 nm auf, zum Beispiel im Bereich von 10 bis 100 nm oder von 15 bis 100 nm, und besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 100 nm auf. Preferably, at least 75% of the powder particles of the silica powder, based on the number of powder particles, have a primary article size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or of 15 to 100 nm, and particularly preferably in the region of 20 up to 100 nm.
Bevorzugt weisen mindestens 80 % der Pulverteilchen des Siliziumdioxidpulvers, bezogen auf die Anzahl an Pulverteilchen, eine Primä artikelgröße von weniger als 100 nm auf, zum Beispiel im Bereich von 10 bis 100 nm oder von 15 bis 100 nm, und besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 100 nm auf. Preferably, at least 80% of the powder particles of the silica powder, based on the number of powder particles, have a primary article size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 up to 100 nm.
Bevorzugt weisen mindestens 85 % der Pulverteilchen des Siliziumdioxidpulvers, bezogen auf die Anzahl an Pulverteilchen, eine Primä artikelgröße von weniger als 100 nm auf, zum Beispiel im Bereich von 10 bis 100 nm oder von 15 bis 100 nm, und besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 100 nm auf. Preferably, at least 85% of the powder particles of the silica powder, based on the number of powder particles, have a primary article size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 up to 100 nm.
Bevorzugt weisen mindestens 90 % der Pulverteilchen des Siliziumdioxidpulvers, bezogen auf die Anzahl an Pulverteilchen, eine Primäφartikelgröße von weniger als 100 nm auf, zum Beispiel im Bereich von 10 bis 100 nm oder von 15 bis 100 nm, und besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 100 nm auf. Bevorzugt weisen mindestens 95 % der Pulverteilchen des Siliziumdioxidpulvers, bezogen auf die Anzahl an Pulverteilchen, eine Primäφartikelgröße von weniger als 100 nm auf, zum Beispiel im Bereich von 10 bis 100 nm oder von 15 bis 100 nm, und besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 100 nm auf. Preferably, at least 90% of the powder particles of the silica powder, based on the number of powder particles, have a primary particle size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 to 100 nm up. Preferably, at least 95% of the powder particles of the silica powder, based on the number of powder particles, have a primary particle size of less than 100 nm, for example in the range of 10 to 100 nm or 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 20 to 100 nm up.
Bevorzugt weist das Siliziumdioxidpulver eine Partikelgröße Di0 im Bereich von 1 bis 7 μηι auf, zum Beispiel im Bereich von 2 bis 6 μηι oder im Bereich von 3 bis 5 μηι, besonders bevorzugt im Bereich von 3,5 bis 4,5 μηι. Bevorzugt weist das Siliziumdioxidpulver eine Partikelgröße D50 im Bereich von 6 bis 15 μηι auf, zum Beispiel im Bereich von 7 bis 13 μηι oder im Bereich von 8 bis 1 1 μηι, besonders bevorzugt im Bereich von 8,5 bis 10,5 μηι. Bevorzugt weist das Siliziumdioxidpulver eine Partikelgröße D90 im Bereich von 10 bis 40 μηι auf, zum Beispiel im Bereich von 15 bis 35 μηι, besonders bevorzugt im Bereich von 20 bis 30 μηι. Preferably, the silica powder has a particle size Di 0 in the range of 1 to 7 μηι, for example in the range of 2 to 6 μηι or in the range of 3 to 5 μηι, particularly preferably in the range of 3.5 to 4.5 μηι. Preferably, the silica powder has a particle size D 50 in the range of 6 to 15 μηι, for example in the range of 7 to 13 μηι or in the range of 8 to 1 1 μηι, more preferably in the range of 8.5 to 10.5 μηι. Preferably, the silica powder has a particle size D 90 in the range of 10 to 40 μηι, for example in the range of 15 to 35 μηι, more preferably in the range of 20 to 30 μηι.
Bevorzugt weist das Siliziumdioxidpulver eine spezifische Oberfläche (BET-Oberfläche) in einem Bereich von 20 bis 60 m2/g auf, zum Beispiel von 25 bis 55 m2/g, oder von 30 bis 50 m2/g, besonders bevorzugt von 20 bis 40 m2/g. Die BET-Oberfläche wird nach der Methode von Brunauer, Emmet und Teller (BET) anhand der DIN 66132 ermittelt und basiert auf Gasabsoφtion an der zu messenden Oberfläche. Preferably, the silica powder has a specific surface area (BET surface area) in a range from 20 to 60 m 2 / g, for example from 25 to 55 m 2 / g, or from 30 to 50 m 2 / g, particularly preferably from 20 up to 40 m 2 / g. The BET surface area is determined according to the method of Brunauer, Emmet and Teller (BET) on the basis of DIN 66132 and is based on gas absorption at the surface to be measured.
Bevorzugt hat das Siliziumdioxidpulver einen pH- Wert von weniger als 7, zum Beispiel im Bereich von 3 bis 6,5 oder von 3,5 bis 6 oder von 4 bis 5,5, besonders bevorzugt im Bereich von 4,5 bis 5. Der pH- Wert kann mittels Einstabmesselektrode ermittelt werden (4 % Siliziumdioxidpulver in Wasser). Das Siliziumdioxidpulver weist bevorzugt die Merkmalskombination a./b./c. oder a./b./f. oder a./b./g. auf, weiter bevorzugt die Merkmalskombination a./b./c./f. oder a./b./c./g. oder a./b./f./g., besonders bevorzugt die Merkmalskombination a./b./c./f./g. Das Siliziumdioxidpulver weist bevorzugt die Merkmalskombination a./b./c. auf, wobei die BET-Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g liegt, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,05 bis 0,3 g/mL liegt und der Kohlenstoffgehalt weniger als 40 ppm beträgt. Preferably, the silica powder has a pH of less than 7, for example in the range from 3 to 6.5 or from 3.5 to 6 or from 4 to 5.5, more preferably in the range from 4.5 to 5. Der pH value can be determined by means of a stick-in electrode (4% silicon dioxide powder in water). The silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./c. or a./b./f. or a./b./g. on, more preferably the combination of features a./b./c./f. or a./b./c./g. or a./b./f./g., particularly preferably the combination of features a./b./c./f./g. The silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./c. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, and the carbon content is less than 40 ppm.
Das Siliziumdioxidpulver weist bevorzugt die Merkmalskombination a./b./f. auf, wobei die BET-Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,05 bis 0,3 g/mL und der Gesamtgehalt an Metallen, die von Aluminium verschieden sind, in einem Bereich von 1 ppb bis 1 ppm liegt. The silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./f. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, and the total content of metals other than aluminum are within a range from 1 ppb to 1 ppm.
Das Siliziumdioxidpulver weist bevorzugt die Merkmalskombination a./b./g. auf, wobei die BET-Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g liegt, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,05 bis 0,3 g/ mL liegt und min- destens 70 Gew.-% der Pulverteilchen eine Primä artikelgröße in einem Bereich von 20 bis weniger als 100 nm aufweisen. The silicon dioxide powder preferably has the feature combination a./b./g. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, and at least 70 wt% of the powder particles is a primary have article size in a range of 20 to less than 100 nm.
Das Siliziumdioxidpulver weist weiter bevorzugt die Merkmalskombination a./b./c./f. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g liegt, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,05 bis 0,3 g/mL liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 40 ppm beträgt und der Gesamtgehalt an Metallen, die von Aluminium verschieden sind, in einem Bereich von 1 ppb bis 1 ppm liegt. The silicon dioxide powder more preferably has the feature combination a./b./c./f. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the carbon content is less than 40 ppm, and the total content of metals , which are different from aluminum, is in a range of 1 ppb to 1 ppm.
Das Siliziumdioxidpulver weist weiter bevorzugt die Merkmalskombination a./b./c./g. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g liegt, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,05 bis 0,3 g/mL liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 40 ppm beträgt und mindestens 70 Gew.-% der Pulverteilchen eine Primärpartikelgröße in einem Bereich von 20 bis weniger als 100 nm aufweisen. The silicon dioxide powder more preferably has the feature combination a./b./c./g. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the carbon content is less than 40 ppm and at least 70 wt. -% of the powder particles have a primary particle size in a range of 20 to less than 100 nm.
Das Siliziumdioxidpulver weist weiter bevorzugt die Merkmalskombination a./b./f./g. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g liegt, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,05 bis 0,3 g/mL liegt, der Gesamtgehalt an Metallen, die von Aluminium verschieden sind, in einem Bereich von 1 ppb bis 1 ppm liegt und mindestens 70 Gew.-% der Pulverteilchen eine Primärpartikelgröße in einem Bereich von 20 bis weniger als 100 nm aufweisen. The silicon dioxide powder more preferably has the feature combination a./b./f./g. , wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the total content of metals other than aluminum, in a range of from 1 ppb to 1 ppm and at least 70% by weight of the powder particles have a primary particle size in a range of 20 to less than 100 nm.
Das Siliziumdioxidpulver weist besonders bevorzugt die Merkmalskombination a./b./c./f./g. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g liegt, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,05 bis 0,3 g/mL liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 40 ppm beträgt, der Gesamtgehalt an Metallen, die von Aluminium verschieden sind, in einem Bereich von 1 ppb bis 1 ppm liegt und mindestens 70 Gew.-% der Pulverteilchen eine Primärpartikelgröße in einem Bereich von 20 bis weniger als 100 nm aufweisen. Schritt II. The silicon dioxide powder particularly preferably has the feature combination a./b./c./f./g. wherein the BET surface area is in a range of 20 to 40 m 2 / g, the bulk density is in a range of 0.05 to 0.3 g / ml, the carbon content is less than 40 ppm, the total content of metals which are different from aluminum, is in a range of 1 ppb to 1 ppm, and at least 70% by weight of the powder particles have a primary particle size in a range of 20 to less than 100 nm. Step II.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung wird das Siliziumdioxidpulver in Schritt II zu einem Siliziumdioxidgranulat verarbeitet, wobei das Siliziumdioxidgranulat einen größeren Partikeldurchmesser aufweist als das Siliziumdioxidpulver. Dazu geeignet sind prinzipiell alle dem Fachmann bekannten Verfahren, die zu einer Erhöhung der Partikeldurchmesser führen.  According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the silicon dioxide powder is processed in step II to a granular silica, wherein the silica granules having a larger particle diameter than the silica powder. Suitable in principle are all methods known to those skilled in the art, which lead to an increase in the particle diameter.
Das Siliziumdioxidgranulat weist einen Partikeldurchmesser auf, der größer ist, als der Partikeldurchmesser des Siliziumdioxidpulvers. Bevorzugt ist der Partikeldurchmesser des Siliziumdioxidgranulats in einem Bereich von 500 bis 50.000 mal größer als der Partikeldurchmesser des Siliziumdioxidpulvers, zum Beispiel 1.000 bis 10.000 mal größer, besonders bevorzugt 2.000 bis 8000 mal größer. The silica granules have a particle diameter larger than the particle diameter of the silica powder. Preferably, the particle diameter of the silica granules is in a range of 500 to 50,000 times larger than the particle diameter of the silica powder, for example, 1,000 to 10,000 times larger, more preferably 2,000 to 8,000 times larger.
Bevorzugt sind mindestens 90 % des in Schritt i.) bereitgestellten Siliziumdioxidgranulats aus pyrogen erzeugtem Siliziumdioxidpulver gebildet, zum Beispiel mindestens 95 Gew.-% oder mindestens 98 Gew.-%, besonders bevorzugt mindestens 99 Gew.-% oder mehr, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats. At least 90% of the silicon dioxide granules provided in step i) are preferably formed from pyrogenically produced silicon dioxide powder, for example at least 95% by weight or at least 98% by weight, more preferably at least 99% by weight or more, based in each case on the Total weight of silica granules.
Erfindungsgemäß weist das eingesetzte Siliziumdioxidgranulat folgende Merkmale auf: According to the invention, the silica granules used have the following features:
A) eine BET-Oberfläche im Bereich von 20 m2/g bis 50 m2/g; und A) a BET surface area in the range of 20 m 2 / g to 50 m 2 / g; and
B) eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 50 bis 500 μηι.  B) an average particle size in a range of 50 to 500 μηι.
Das Siliziumdioxidgranulat weist bevorzugt mindestens eines, bevorzugt mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt alle der folgenden Merkmale auf: The silica granules preferably have at least one, preferably at least two or at least three or at least four, more preferably all of the following features:
C) eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,5 bis 1,2 g/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 0,6 bis 1,1 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,7 bis 1,0 g/cm3; C) a bulk density in a range of 0.5 to 1.2 g / cm 3 , for example in a range of 0.6 to 1.1 g / cm 3 , particularly preferably in a range of 0.7 to 1, 0 g / cm 3 ;
D) einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 50 ppm;  D) a carbon content of less than 50 ppm;
E) einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb;  E) an aluminum content of less than 200 ppb;
F) eine Stampfdichte in einem Bereich von 0,7 bis 1,2 g/cm3; F) a tamped density in a range of 0.7 to 1.2 g / cm 3 ;
G) ein Porenvolumen in einem Bereich von 0,1 bis 2,5 mL/g, zum Beispiel in einem Bereich von 0,15 bis 1,5 mL/g; besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,2 bis 0,8 mL/g;  G) a pore volume in a range of 0.1 to 2.5 mL / g, for example in a range of 0.15 to 1.5 mL / g; more preferably in a range of 0.2 to 0.8 mL / g;
H) einen Schüttwinkel in einem Bereich von 23 bis 26°;  H) a repose angle in a range of 23 to 26 °;
I) eine Partikelgrößenverteilung D10 in einem Bereich von 50 bis 150 μηι; I) a particle size distribution D 10 in a range of 50 to 150 μηι;
J) eine Partikelgrößenverteilung D50 in einem Bereich von 150 bis 300 μηι; J) a particle size distribution D 50 in a range of 150 to 300 μηι;
K) eine Partikelgrößenverteilung D90 in einem Bereich von 250 bis 620 μηι, K) a particle size distribution D 90 in a range from 250 to 620 μηι,
wobei die ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats bezogen sind.  wherein the ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules.
Bevorzugt weisen die Granulen des Siliziumdioxidgranulats eine sphärische Morphologie auf. Unter einer sphärischen Morphologie wird eine runde bis ovale Form der Partikel verstanden. Die Granulen des Siliziumdioxidgranulats weisen bevorzugt eine mittlere Sphärizität in einem Bereich von 0,7 bis 1,3 SPHT3, zum Beispiel eine mittlere Sphärizität in einem Bereich von 0,8 bis 1,2 SPHT3, besonders bevorzugt eine mittlere Sphärizität in einem Bereich von 0,85 bis 1,1 SPHT3 auf. Das Merkmal SPHT3 ist in den Testmethoden beschrieben. Weiterhin bevorzugt weisen die Granulen des Siliziumdioxidgranulats eine mittlere Symmetrie in einem Bereich von 0,7 bis 1,3 Symm3, zum Beispiel eine mittlere Symmetrie in einem Bereich von 0,8 bis 1,2 Symm3, besonders bevorzugt eine mittlere Symmetrie in einem Bereich von 0,85 bis 1,1 Symm3 auf. Das Merkmal der mittleren Symmetrie Symm3 ist in den Testmethoden beschrieben. The granules of the silica granules preferably have a spherical morphology. Spherical morphology refers to a round to oval shape of the particles. The granules of the silica granules preferably have an average sphericity in a range of 0.7 to 1.3 SPHT3, for example, an average sphericity in a range of 0.8 to 1.2 SPHT3, more preferably an average sphericity in a range of 0 , 85 to 1.1 SPHT3 on. The characteristic SPHT3 is described in the test methods. Further preferably, the granules of the silica granules have a mean symmetry in a range of 0.7 to 1.3 Symm3, for example a mean symmetry in a range of 0.8 to 1.2 Symm3, more preferably a mean symmetry in a range of 0.85 to 1.1 Symm3. The feature of symmetry Symm3 is described in the test methods.
Bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat einen Metallgehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 100 ppb, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats, auf. Oftmals weist das Siliziumdioxidgranulat jedoch einen Gehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. Oftmals weist das Siliziumdioxidgranulat einen Metallgehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen von weniger als 1 ppm, bevorzugt in einem Bereich von 40 bis 900 ppb, zum Beispiel in einem Bereich von 50 bis 700 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 60 bis 500 ppb, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats. Solche Metalle sind beispielsweise Natrium, Lithium, Kalium, Magnesium, Calcium, Strontium, Germanium, Kupfer, Molybdän, Titan, Eisen und Chrom. Diese können zum Beispiel als Element, als Ion, oder als Teil eines Moleküls oder eines Ions oder eines Komplexes vorliegen. Preferably, the silica granules have a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb, more preferably less than 100 ppb, each based on the total weight of the silica granules. Often, however, the silica granules have a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb. Often, the silica granules have a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, preferably in a range of 40 to 900 ppb, for example in a range of 50 to 700 ppb, more preferably in a range of 60 to 500 ppb, respectively based on the total weight of the silica granules. Such metals include sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex.
Das Siliziumdioxidgranulat kann weitere Bestandteile, beispielsweise in Form von Molekülen, Ionen oder Elementen beinhalten. Bevorzugt beinhaltet das Siliziumdioxidgranulat weniger als 500 ppm, zum Beispiel weniger als 300 ppm, besonders bevorzugt weniger als 100 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdi- oxidgranulat, weitere Bestandteile. Oftmals sind weitere Bestandteile in einer Menge von mindestens 1 ppb enthalten. Die weiteren Bestandteile können insbesondere ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus Kohlenstoff, Fluorid, Jodid, Bromid, Phosphor oder einer Mischung von mindestens zwei hiervon. The silica granules may contain further constituents, for example in the form of molecules, ions or elements. The silicon dioxide granules preferably contain less than 500 ppm, for example less than 300 ppm, more preferably less than 100 ppm, in each case based on the total weight of the silicon dioxide granules, further constituents. Often, further ingredients are included in an amount of at least 1 ppb. The further constituents may in particular be selected from the group consisting of carbon, fluoride, iodide, bromide, phosphorus or a mixture of at least two thereof.
Bevorzugt beinhaltet das Siliziumdioxidgranulat weniger als 10 ppm Kohlenstoff, zum Beispiel weniger als 8 ppm oder weniger als 5 ppm, besonders bevorzugt weniger als 4 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats. Oftmals ist Kohlenstoff in einer Menge von mindestens 1 ppb im Siliziumdioxidgranulat enthalten. Preferably, the silica granules contain less than 10 ppm carbon, for example less than 8 ppm or less than 5 ppm, more preferably less than 4 ppm, each based on the total weight of the silica granules. Often, carbon in an amount of at least 1 ppb is contained in the silica granules.
Bevorzugt beinhaltet das Siliziumdioxidgranulat weniger als 100 ppm, zum Beispiel weniger als 80 ppm, beson- ders bevorzugt weniger als 70 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats, an weiteren Bestandteilen. Oftmals sind die weiteren Bestandteile jedoch in einer Menge von mindestens 1 ppb enthalten. Preferably, the silica granules contain less than 100 ppm, for example less than 80 ppm, more preferably less than 70 ppm, based in each case on the total weight of the silicon dioxide granules, of further constituents. Often, however, the other ingredients are included in an amount of at least 1 ppb.
Bevorzugt beinhaltet Schritt II. folgende Schritte: Preferably, step II. Includes the following steps:
II.1. Bereitstellen einer Flüssigkeit;  II.1. Providing a liquid;
II.2. Mischen des Siliziumdioxidpulvers mit der Flüssigkeit unter Erhalt einer Aufschlämmung; II.2. Mixing the silica powder with the liquid to obtain a slurry;
II.3. Granulieren der Aufschlämmung. II.3. Granulating the slurry.
Eine Flüssigkeit wird im Sinne der vorliegenden Erfindung als ein Stoff oder ein Stoffgemisch verstanden, das bei einem Druck von 1013 hPa und einer Temperatur von 20 °C flüssig ist. Eine„Aufschlämmung" im Sinne der vorliegenden Erfindung bedeutet ein Gemisch aus mindestens zwei Stoffen, wobei das Gemisch bei den bei Betrachtung vorliegenden Bedingungen mindestens eine Flüssigkeit und mindestens einen Feststoff aufweist. Als Flüssigkeit eignen sich prinzipiell alle dem Fachmann bekannten und zum vorliegenden Einsatzzweck geeignet erscheinende Stoffe und Stoffgemische. Bevorzugt ist die Flüssigkeit ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus organischen Flüssigkeiten und Wasser. Bevorzugt ist das Siliziumdioxidpulver in der Flüssigkeit in einer Menge von weniger als 0,5 g/L, bevorzugt in einer Menge von weniger als 0,25 g/L, besonders bevorzugt in einer Menge von weniger als 0,1 g/L löslich, die g/L jeweils angegeben als g Siliziumdioxidpulver pro Liter Flüssig- keit. For the purposes of the present invention, a liquid is understood to be a substance or a mixture of substances which is liquid at a pressure of 1013 hPa and a temperature of 20 ° C. A "slurry" in the sense of the present invention means a mixture of at least two substances, wherein the mixture has at least one liquid and at least one solid under the conditions under consideration. "Suitable liquids are, in principle, all those known to those skilled in the art and suitable for the present purpose Substances and Mixtures Preferably, the liquid is selected from the group consisting of organic liquids and water Preferably, the silica powder in the liquid is in an amount of less than 0.5 g / L, preferably in an amount of less than 0.25 g / L, particularly preferably in an amount of less than 0.1 g / L soluble, the g / L each indicated as g of silica powder per liter of liquid.
Bevorzugt eignen sich als Flüssigkeit polare Lösungsmittel. Dies können organische Flüssigkeiten oder Wasser sein. Bevorzugt ist die Flüssigkeit ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Wasser, Methanol, Ethanol, n- Propanol, iso-Propanol, n-Butanol, tert-Butanol und Mischungen aus mehr als einem davon. Besonders bevorzugt ist die Flüssigkeit Wasser. Besonders bevorzugt beinhaltet die Flüssigkeit destilliertes oder entionisiertes Wasser. Preferred liquids are polar solvents. These can be organic liquids or water. The liquid is preferably selected from the group consisting of water, methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, tert-butanol and mixtures of more than one thereof. Most preferably, the liquid is water. Most preferably, the liquid includes distilled or deionized water.
Bevorzugt wird das Siliziumdioxidpulver zu einer Aufschlämmung verarbeitet. Das Siliziumdioxidpulver ist in der Flüssigkeit bei Raumtemperatur nahezu unlöslich, kann jedoch in die Flüssigkeit in hohen Gewichts-Anteilen unter Erhalt der Aufschlämmung eingebracht werden. Preferably, the silica powder is processed into a slurry. The silica powder is almost insoluble in the liquid at room temperature, but may be incorporated into the liquid in high weight fractions to obtain the slurry.
Das Siliziumdioxidpulver und die Flüssigkeit können in beliebiger Weise gemischt werden. Zum Beispiel kann das Siliziumdioxidpulver zu der Flüssigkeit, oder die Flüssigkeit zum Siliziumdioxidpulver gegeben werden. Das Gemisch kann während des Zugebens oder nach dem Zugeben bewegt werden. Besonders bevorzugt wird das Gemisch während und nach dem Zugeben bewegt. Beispiele für das Bewegen sind ein Schütteln und ein Rühren, oder eine Kombination von beidem. Bevorzugt kann das Siliziumdioxidpulver unter Rühren zu der Flüssigkeit gegeben werden. Weiter bevorzugt kann ein Teil des Siliziumdioxidpulvers zu der Flüssigkeit gegeben werden, wobei das so erhaltene Gemisch bewegt wird, und das Gemisch anschließend mit dem übrigen Teil des Siliziumdioxidpulvers vermischt wird. Ebenso kann ein Teil der Flüssigkeit zu dem Siliziumdioxidpulver gegeben werden, wobei das so erhaltene Gemisch bewegt wird, und das Gemisch anschließend mit dem übrigen Teil der Flüs- sigkeit vermischt wird. The silica powder and the liquid may be mixed in any manner. For example, the silica powder may be added to the liquid or the liquid to the silica powder. The mixture may be agitated during addition or after addition. Most preferably, the mixture is agitated during and after adding. Examples of agitation are shaking and stirring, or a combination of both. Preferably, the silica powder may be added to the liquid with stirring. More preferably, a portion of the silica powder may be added to the liquid, with the mixture thus obtained being agitated, and the mixture subsequently mixed with the remainder of the silica powder. Likewise, a portion of the liquid may be added to the silica powder, with the mixture thus obtained being agitated, and the mixture subsequently mixed with the remainder of the liquid.
Durch das Mischen des Siliziumdioxidpulvers und der Flüssigkeit wird eine Aufschlämmung erhalten. Bevorzugt ist die Aufschlämmung eine Suspension, in der das Siliziumdioxidpulver gleichmäßig in der Flüssigkeit verteilt ist. Unter„gleichmäßig" wird verstanden, dass die Dichte und die Zusammensetzung der Aufschlämmung an jeder Stelle um nicht mehr als 10 % von der durchschnittlichen Dichte und der durchschnittlichen Zusammensetzung abweichen, jeweils bezogen auf die Gesamtmenge an Aufschlämmung. Eine gleichmäßige Verteilung des Siliziumdioxidpulvers in der Flüssigkeit kann durch wie ein zuvor bereits beschriebenes Bewegen hergestellt, oder erhalten werden, oder beides. Bevorzugt hat die Aufschlämmung ein Litergewicht im Bereich von 1000 bis 2000 g/L, zum Beispiel im Bereich von 1200 bis 1900 g/L oder von 1300 bis 1800 g/L, besonders bevorzugt im Bereich von 1400 bis 1700 g/L. Das Litergewicht wird mittels Auswiegen eines volumenkalibrierten Behälters bestimmt. By mixing the silica powder and the liquid, a slurry is obtained. Preferably, the slurry is a suspension in which the silica powder is evenly distributed in the liquid. By "uniformly" it is meant that the density and composition of the slurry at each point does not differ by more than 10% from the average density and the average composition, based on the total amount of slurry, uniform distribution of the silica powder in the liquid can be made or obtained by moving as previously described, or both. Preferably, the slurry has a liter weight in the range of 1000 to 2000 g / L, for example in the range of 1200 to 1900 g / L or of 1300 to 1800 g / L, more preferably in the range of 1400 to 1700 g / L. The weight per liter is determined by weighing a volume calibrated container.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform gilt für die Aufschlämmung mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale: According to a preferred embodiment, the slurry has at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
a. ) die Aufschlämmung wird in Kontakt mit einer Kunststoffoberfläche transportiert;  a. ) the slurry is transported in contact with a plastic surface;
b. ) die Aufschlämmung wird geschert;  b. ) the slurry is sheared;
c. ) die Aufschlämmung weist eine Temperatur von mehr als 0°C auf, bevorzugt in einem Bereich von 5 bis 35°C;  c. ) the slurry has a temperature of more than 0 ° C, preferably in a range of 5 to 35 ° C;
d. ) die Aufschlämmung weist ein Zeta-Potential bei einem pH- Wert von 7 in einem Bereich von 0 bis -100 mA auf, zum Beispiel von -20 bis -60 mA, besonders bevorzugt von -30 bis -45 mA;  d. ) the slurry has a zeta potential at a pH of 7 in a range of 0 to -100 mA, for example from -20 to -60 mA, more preferably from -30 to -45 mA;
e. ) die Aufschlämmung weist einen pH- Wert in einem Bereich von 7 oder mehr auf, zum Beispiel von mehr als 7 oder einen pH- Wert im Bereich von 7,5 bis 13 oder von 8 bis 11, besonders bevorzugt von 8,5 bis 10;  e. ) the slurry has a pH in a range of 7 or more, for example greater than 7 or a pH in the range of 7.5 to 13 or from 8 to 11, more preferably from 8.5 to 10 ;
f. ) die Aufschlämmung weist einen isoelektrischen Punkt von weniger als 7, zum Beispiel in einem Bereich von 1 bis 5 oder in einem Bereich von 2 bis 4, besonders bevorzugt in einem Bereich von 3 bis 3,5;  f. ) the slurry has an isoelectric point of less than 7, for example in a range of 1 to 5 or in a range of 2 to 4, more preferably in a range of 3 to 3.5;
g. ) die Aufschlämmung weist einen Feststoffgehalt von mindestens 40 Gew.-%, zum Beispiel in einem G. ) the slurry has a solids content of at least 40% by weight, for example in one
Bereich von 50 bis 80 Gew.-%, oder in einem Bereich von 55 bis 75 Gew.-%, besonders bevorzugt in einem Bereich von 60 bis 70 Gew.-% auf, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Aufschlämmung; Range of 50 to 80 weight percent, or in a range of 55 to 75 weight percent, more preferably in a range of 60 to 70 weight percent, each based on the total weight of the slurry;
h. ) die Aufschlämmung weist eine Viskosität gemäß DIN 53019-1 (5 rpm, 30 Gew.-%) in einem Bereich von 500 bis 2000 mPas, zum Beispiel im Bereich von 600 bis 1700 mPas, besonders bevorzugt im Bereich von 1000 bis 1600 mPas auf;  H. ) the slurry has a viscosity in accordance with DIN 53019-1 (5 rpm, 30 wt .-%) in a range of 500 to 2000 mPas, for example in the range of 600 to 1700 mPas, particularly preferably in the range of 1000 to 1600 mPas ;
i. ) die Aufschlämmung weist eine Thixotropie gemäß DIN SPEC 91143-2 (30 Gew.-% in Wasser, 23 °C, i. ) the slurry has a thixotropy according to DIN SPEC 91143-2 (30 wt .-% in water, 23 ° C,
5 rpm/50 rpm) im Bereich von 3 bis 6, zum Beispiel im Bereich von 3,5 bis 5, besonders bevorzugt im Bereich von 4,0 bis 4,5 auf; 5 rpm / 50 rpm) in the range of 3 to 6, for example in the range of 3.5 to 5, particularly preferably in the range of 4.0 to 4.5;
j.) die Siliziumdioxidpartikel in der Aufschlämmung weisen in einer 4 Gew.-%igen Aufschlämmung eine mittlere Partikelgröße in Suspension gemäß DIN ISO 13320-1 im Bereich von 100 bis 500 nm, zum Beispiel in einem Bereich von 200 bis 300 nm auf.  j.) the silica particles in the slurry have in a 4% by weight slurry an average particle size in suspension according to DIN ISO 13320-1 in the range from 100 to 500 nm, for example in a range from 200 to 300 nm.
Bevorzugt weisen die Siliziumdioxidpartikel in einer 4 Gew.-%igen wässrigen Aufschlämmung eine Partikelgrö- ße D10 in einem Bereich von 50 bis 250 nm auf, besonders bevorzugt im Bereich von 100 bis 150 nm. Bevorzugt weisen die Siliziumdioxidpartikel in einer 4 Gew.-%igen wässrigen Aufschlämmung eine Partikelgröße D50 in einem Bereich von 100 bis 400 nm auf, besonders bevorzugt im Bereich von 200 bis 250 nm. Bevorzugt weisen die Siliziumdioxidpartikel in einer 4 Gew.-%igen wässrigen Aufschlämmung eine Partikelgröße D90 in einem Bereich von 200 bis 600 nm auf, besonders bevorzugt in einem Bereich von 350 bis 400 nm. Die Partikelgröße wird mittels DIN ISO 13320-1 bestimmt. Unter dem„isolektrischen Punkt" wird der pH- Wert verstanden, bei dem das Zeta-Potential den Wert 0 annimmt. Das Zeta-Potential wird gemäß ISO 13099-2:2012 bestimmt. The silicon dioxide particles in a 4% strength by weight aqueous slurry preferably have a particle size D 10 in a range from 50 to 250 nm, particularly preferably in the range from 100 to 150 nm. The silicon dioxide particles are preferably present in a weight of 4% by weight. % aqueous slurry has a particle size D 50 in a range of 100 to 400 nm, more preferably in the range of 200 to 250 nm. Preferably, the silica particles in a 4 wt .-% aqueous slurry has a particle size D 90 in a range of 200 to 600 nm, more preferably in a range of 350 to 400 nm. The particle size is determined by means of DIN ISO 13320-1. The term "isolectric point" is understood to mean the pH value at which the zeta potential assumes the value 0. The zeta potential is determined in accordance with ISO 13099-2: 2012.
Bevorzugt wird der pH- Wert der Aufschlämmung auf einen Wert in dem oben genannten Bereich eingestellt. Bevorzugt können zum Einstellen des pH- Werts Stoffe wie NaOH oder NH3, zum Beispiel als wässrige Lösung der Aufschlämmung zugegeben werden. Dabei wird die Aufschlämmung oftmals bewegt. Preferably, the pH of the slurry is adjusted to a value in the above range. Preferably, to adjust the pH, substances such as NaOH or NH 3 may be added , for example, as an aqueous solution of the slurry. The slurry is often moved.
Granulation granulation
Das Siliziumdioxidgranulat wird durch Granulieren von Siliziumdioxidpulver erhalten. Unter Granulieren ver- steht man das Überführen von Pulverteilchen in Granulen. Beim Granulieren bilden sich durch Zusammenlagerungen von mehreren Siliziumdioxidpulverteilchen größere Agglomerate, die als„Siliziumdioxidgranulen" bezeichnet werden. Diese werden oft auch als„Siliziumdioxidpartikel",„Siliziumdioxidgranulatteilchen" oder „Granulatteilchen" bezeichnet. In ihrer Gesamtheit bilden Granulen ein Granulat, z.B. die Siliziumdioxidgranulen ein„Siliziumdioxidgranulat".  The silica granules are obtained by granulating silica powder. Granulating is understood to mean the transfer of powder particles into granules. During granulation, aggregates of multiple silica powder particles form larger agglomerates, referred to as "silica granules." These are often referred to as "silica particles," "silica granule particles," or "granule particles." In their entirety, granules form granules, e.g. the silica granules a "silica granules".
Im vorliegenden Fall kann prinzipiell jedes Granulierverfahren ausgewählt werden, das dem Fachmann bekannt und zum Granulieren von Siliziumdioxidpulver geeignet erscheint. Bei den Granulierverfahren kann zwischen Aufbaugranulation und Pressgranulation, und weiter zwischen Nass- und Trocken-Granulierverfahren unterschieden werden. Bekannte Methoden sind Rollgranulation in einem Granulierteller, Sprühgranulation, Zentrifugalzer- stäubung, Wirbelschichtgranulation, Granulierverfahren unter Einsatz einer Granuliermühle, Kompaktierung, Walzenpressen, Brikettierung, Schülpenherstellung oder Extrudierung. In the present case, in principle, any granulation process which is known to the person skilled in the art and suitable for granulating silicon dioxide powder can be selected. In the granulation process, a distinction can be made between built-up granulation and pressing granulation, and further between wet and dry granulation processes. Known methods are rolling granulation in a granulating dish, spray granulation, centrifugal atomization, fluidized bed granulation, granulation processes using a granulating mill, compaction, roll pressing, briquetting, slug production or extrusion.
Bevorzugt wird beim Verarbeiten ein Siliziumdioxidgranulat mit Granulen gebildet, die eine sphärische Morphologie aufweisen; wobei das Verarbeiten weiter bevorzugt durch Sprühgranulieren oder Rollgranulieren erfolgt. Weiter bevorzugt beinhaltet ein Siliziumdioxidgranulat mit Granulen, die eine sphärische Morphologie aufweisen, höchstens 50 % Granulen, bevorzugt höchstens 40 % Granulen, weiter bevorzugt höchstens 20 % Granulen, mehr bevorzugt zwischen 0 und 50%, zwischen 0 und 40% oder zwischen 0 und 20%o, oder zwischen 10 und 50%), zwischen 10 und 40%o oder zwischen 10 und 20%o Granulen, die nicht eine sphärische Morphologie aufweisen, die Prozentangabe jeweils bezogen auf die Gesamtzahl an Granulen im Granulat. Die Granulen mit einer sphärischen Morphologie weisen die in dieser Beschreibung bereits genannten SPHT3 -Werte auf. Preferably, during processing, a silica granule is formed with granules having a spherical morphology; wherein the processing is more preferably done by spray granulation or roll granulation. More preferably, silica granules containing granules having a spherical morphology include at most 50% granules, preferably at most 40% granules, more preferably at most 20% granules, more preferably between 0 and 50%, between 0 and 40%, or between 0 and 20 % o, or between 10 and 50%), between 10 and 40% o or between 10 and 20% o granules that do not have a spherical morphology, the percentages in each case based on the total number of granules in the granules. The granules with a spherical morphology have the already mentioned in this description SPHT3 values.
Sprühtrocknen spray drying
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung wird ein Siliziumdioxidgranulat durch Sprühgranulieren der Aufschlämmung erhalten. Das Sprühgranulieren wird auch als Sprühtrocknen bezeichnet.  According to a preferred embodiment of the first aspect of the invention, a silica granule is obtained by spray granulating the slurry. Spray granulation is also referred to as spray drying.
Das Sprühtrocknen erfolgt bevorzugt in einem Sprühturm. Zum Sprühtrocknen wird die Aufschlämmung bei erhöhter Temperatur unter Druck gesetzt. Die unter Druck stehende Aufschlämmung wird anschließend über eine Düse entspannt und so in den Sprühturm gesprüht. In Folge dessen bilden sich Tropfen, die augenblicklich trock- nen und zunächst trockene Kleinstpartikel („Keime") bilden. Die Kleinstpartikel bilden zusammen mit einem auf die Partikel wirkenden Gasstrom eine Wirbelschicht. Sie werden so im Schwebezustand gehalten und können damit eine Oberfläche zum Trocknen weiterer Tröpfchen bilden. The spray drying is preferably carried out in a spray tower. For spray-drying, the slurry is pressurized at elevated temperature. The pressurized slurry is then released through a nozzle and sprayed into the spray tower. As a result, droplets form, which dry instantly and initially form dry micro-particles ("germs"), forming the smallest particles together with one the particle-acting gas stream is a fluidized bed. They are held in suspension and can thus form a surface for drying more droplets.
Die Düse, durch die die Aufschlämmung in den Sprühturm gesprüht wird, bildet bevorzugt einen Einlass in den Innenraum des Sprühturms. The nozzle through which the slurry is sprayed into the spray tower preferably forms an inlet into the interior of the spray tower.
Die Düse weist beim Sprühen bevorzugt eine Kontaktfläche mit der Aufschlämmung auf. Unter der„Kontaktfläche" wird der Bereich der Düse verstanden, der beim Sprühen in Kontakt mit der Aufschlämmung kommt. Oftmals ist zumindest ein Teil der Düse als Rohr geformt, durch das die Aufschlämmung beim Sprühen geleitet wird, so dass die Innenseite des Hohlrohrs mit der Aufschlämmung in Berührung kommt. The nozzle preferably has a contact surface with the slurry during spraying. Often, at least a portion of the nozzle is shaped as a tube through which the slurry is passed during spraying so that the inside of the hollow tube communicates with the slurry Slurry comes into contact.
Die Kontaktfläche beinhaltet bevorzugt ein Glas, einen Kunststoff oder eine Kombination davon. Bevorzugt beinhaltet die Kontaktfläche ein Glas, besonders bevorzugt Quarzglas. Bevorzugt beinhaltet die Kontaktfläche einen Kunststoff. Prinzipiell sind alle dem Fachmann bekannten Kunststoffe geeignet, die bei den Verfahrenstemperatu- ren stabil sind und keine Fremdatome an die Aufschlämmung abgeben. Bevorzugte Kunststoffe sind Polyolefine, zum Beispiel Homo- oder Copolymere beinhaltend mindestens ein Olefin, besonders bevorzugt Homo- oder Co- polymere beinhaltend Polypropylen, Polyethylen, Polybutadien oder Kombinationen aus zwei oder mehr davon. Bevorzugt besteht die Kontaktfläche aus einem Glas, einem Kunststoff oder einer Kombination davon, zum Beispiel ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Quarzglas und Polyolefmen, besonders bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Quarzglas und Homo- oder Copolymere beinhaltend Polypropylen, Polyethylen, Polybutadien oder Kombinationen aus zwei oder mehr davon. Bevorzugt beinhaltet die Kontaktfläche keine Metalle, insbesondere kein Wolfram, Titan, Tantal, Chrom, Cobalt, Nickel, Eisen, Vanadium, Zirkonium und Mangan. The contact surface preferably includes a glass, a plastic or a combination thereof. Preferably, the contact surface comprises a glass, more preferably quartz glass. Preferably, the contact surface includes a plastic. In principle, all plastics known to those skilled in the art are suitable which are stable at the process temperatures and do not release any foreign atoms to the slurry. Preferred plastics are polyolefins, for example homopolymers or copolymers comprising at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof. Preferably, the contact surface consists of a glass, a plastic or a combination thereof, for example selected from the group consisting of quartz glass and polyolefins, more preferably selected from the group consisting of quartz glass and homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more of them. The contact surface preferably contains no metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum, chromium, cobalt, nickel, iron, vanadium, zirconium and manganese.
Es ist prinzipiell möglich, dass die Kontaktfläche und die weiteren Teile der Düse aus dem gleichen oder aus verschiedenen Materialien bestehen. Bevorzugt enthalten die weiteren Teile der Düse das gleiche Material wie die Kontaktfläche. Es ist ebenso möglich, dass die weiteren Teile der Düse ein von der Kontaktfläche verschiedenes Material enthalten. Zum Beispiel kann die Kontaktfläche mit einem geeigneten Material, zum Beispiel einem Glas oder einem Kunststoffbeschichtet sein. Bevorzugt ist die Düse zu mehr als 70 Gew.-%, bezogen auf das Gesamtgewicht der Düse, aus einem Element ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Glas, Kunststoff oder einer Kombination von Glas und Kunststoff gebildet, zum Beispiel zu mehr als 75 Gew.-% oder zu mehr als 80 Gew.-% oder zu mehr als 85 Gew.-% oder zu mehr als 90 Gew.-% oder zu mehr als 95 Gew.-%, besonders bevorzugt zu mehr als 99 Gew.-%. Bevorzugt umfasst die Düse ein Düsenplättchen. Das Düsenplättchen ist bevorzugt aus Glas, Kunststoff oder einer Kombination aus Glas und Kunststoff gebildet. Bevorzugt ist das Düsenplättchen aus Glas gebildet, besonders bevorzugt Quarzglas. Bevorzugt ist das Düsenplättchen aus Kunststoff gebildet. Bevorzugte Kunststoffe sind Polyolefine, zum Beispiel Homo- oder Copolymere beinhaltend mindestens ein Olefin, besonders bevorzugt Homo- oder Copolymere beinhaltend Polypropylen, Polyethylen, Polybutadien oder Kombinationen aus zwei oder mehr davon. Bevorzugt beinhaltet das Düsenplättchen keine Metalle, insbesondere kein Wolfram, Titan, Tantal,It is possible in principle that the contact surface and the other parts of the nozzle consist of the same or of different materials. Preferably, the other parts of the nozzle contain the same material as the contact surface. It is also possible that the other parts of the nozzle contain a different material from the contact surface. For example, the contact surface may be coated with a suitable material, for example a glass or a plastic. The nozzle is preferably more than 70% by weight, based on the total weight of the nozzle, of an element selected from the group consisting of glass, plastic or a combination of glass and plastic, for example more than 75% by weight. % or more than 80 wt .-% or more than 85 wt .-% or more than 90 wt .-% or more than 95 wt .-%, particularly preferably more than 99 wt .-%. Preferably, the nozzle comprises a nozzle plate. The nozzle plate is preferably formed of glass, plastic or a combination of glass and plastic. Preferably, the nozzle plate is formed of glass, particularly preferably quartz glass. Preferably, the nozzle plate is formed of plastic. Preferred plastics are polyolefins, for example homo- or copolymers containing at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof. The nozzle plate preferably contains no metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum,
Chrom, Cobalt, Nickel, Eisen, Vanadium, Zirkonium und Mangan. Bevorzugt umfasst die Düse eine Drallschnecke. Die Drallschnecke ist bevorzugt aus Glas, Kunststoff oder einer Kombination aus Glas und Kunststoff gebildet. Bevorzugt ist die Drallschnecke aus Glas gebildet, besonders bevorzugt Quarzglas. Bevorzugt ist die Drallschnecke aus Kunststoff gebildet. Bevorzugte Kunststoffe sind Po- lyolefme, zum Beispiel Homo- oder Copolymere beinhaltend mindestens ein Olefin, besonders bevorzugt Homo- oder Copolymere beinhaltend Polypropylen, Polyethylen, Polybutadien oder Kombinationen aus zwei oder mehr davon. Bevorzugt beinhaltet die Drallschnecke keine Metalle, insbesondere kein Wolfram, Titan, Tantal, Chrom, Cobalt, Nickel, Eisen, Vanadium, Zirkonium und Mangan. Die Düse kann darüber hinaus weitere Bestandteile umfassen. Bevorzugte weitere Bauteile sind ein Düsenkörper, besonders bevorzugt ist ein die Drallschnecke und das Düsenplättchen umgebender Düsenkörper, ein Kreuzstück und eine Prallplatte. Bevorzugt umfasst eine Düse eines oder mehr, besonders bevorzugt alle, der weiteren Bauteile. Die weiteren Bauteile können unabhängig voneinander prinzipiell aus einem beliebigen, dem Fachmann bekannten und zu diesem Zweck geeigneten Material bestehen, zum Beispiel aus einem Metall-haltigen Material, aus Glas oder aus einem Kunststoff. Bevorzugt ist der Düsenkörper aus Glas gebildet, besonders bevorzugt Quarzglas. Bevorzugt sind die weiteren Bauteile aus Kunststoff gebildet. Bevorzugte Kunststoffe sind Polyole- fine, zum Beispiel Homo- oder Copolymere beinhaltend mindestens ein Olefin, besonders bevorzugt Homo- oder Copolymere beinhaltend Polypropylen, Polyethylen, Polybutadien oder Kombinationen aus zwei oder mehr davon. Bevorzugt beinhalten die weiteren Bauteile keine Metalle, insbesondere kein Wolfram, Titan, Tantal, Chrom, Cobalt, Nickel, Eisen, Vanadium, Zirkonium und Mangan. Chromium, cobalt, nickel, iron, vanadium, zirconium and manganese. The nozzle preferably comprises a spiral screw. The spiral screw is preferably made of glass, plastic or a combination of glass and plastic. Preferably, the spiral screw is formed of glass, more preferably quartz glass. Preferably, the spiral screw is formed from plastic. Preferred plastics are polyolefins, for example homopolymers or copolymers comprising at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof. Preferably, the spiral screw contains no metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum, chromium, cobalt, nickel, iron, vanadium, zirconium and manganese. The nozzle may further comprise other components. Preferred further components are a nozzle body, particularly preferred is a nozzle body surrounding the spiral screw and the nozzle plate, a cross piece and a baffle plate. A nozzle preferably comprises one or more, particularly preferably all, of the further components. The other components can, independently of one another, in principle consist of any material known to the person skilled in the art and suitable for this purpose, for example of a metal-containing material, of glass or of a plastic. Preferably, the nozzle body is formed of glass, more preferably quartz glass. Preferably, the other components are formed from plastic. Preferred plastics are polyolefins, for example homopolymers or copolymers comprising at least one olefin, more preferably homopolymers or copolymers comprising polypropylene, polyethylene, polybutadiene or combinations of two or more thereof. The other components preferably do not contain any metals, in particular no tungsten, titanium, tantalum, chromium, cobalt, nickel, iron, vanadium, zirconium and manganese.
Bevorzugt weist der Sprühturm einen Gaseinlass und einen Gasauslass auf. Durch den Gaseinlass kann Gas in den Innenraum des Sprühturms eingebracht, und durch den Gasauslass kann es ausgeleitet werden. Es ist auch möglich, Gas über die Düse in den Sprühturm einzuleiten. Ebenso kann Gas über den Auslass des Sprühturms ausgeleitet werden. Weiterhin bevorzugt kann Gas über die Düse und einen Gaseinlass des Sprühturms zugeführt, und über den Auslass des Sprühturms und einen Gasauslass des Sprühturms ausgeleitet werden. Preferably, the spray tower has a gas inlet and a gas outlet. Through the gas inlet gas can be introduced into the interior of the spray tower, and through the gas outlet, it can be discharged. It is also possible to introduce gas through the nozzle into the spray tower. Similarly, gas can be discharged through the outlet of the spray tower. Further preferably, gas may be supplied via the nozzle and a gas inlet of the spray tower, and discharged via the outlet of the spray tower and a gas outlet of the spray tower.
Bevorzugt liegt im Innenraum des Sprühturms eine Atmosphäre ausgewählt aus Luft, einem Inertgas, mindestens zwei Inertgasen oder eine Kombination von Luft mit mindestens einem Inertgas, bevorzugt mindestens zwei Inertgasen vor. Als Inertgase sind bevorzugt ausgewählt aus der Liste bestehend aus Stickstoff, Helium, Neon, Argon, Krypton und Xenon. Zum Beispiel liegt im Innenraum des Sprühturms Luft, Stickstoff oder Argon vor, besonders bevorzugt Luft. Preferably, an atmosphere selected from air, an inert gas, at least two inert gases or a combination of air with at least one inert gas, preferably at least two inert gases, is present in the interior of the spray tower. As inert gases are preferably selected from the list consisting of nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon. For example, air, nitrogen or argon is present in the interior of the spray tower, more preferably air.
Weiter bevorzugt ist die im Sprühturm vorliegende Atmosphäre Teil eines Gasstroms. Der Gasstrom wird in den Sprühturm bevorzugt über einen Gaseinlass eingeleitet und über einen Gasauslass ausgeleitet. Es ist auch möglich Teile des Gasstroms über die Düse einzuleiten und Teile des Gasstroms über einen Feststoffauslass auszuleiten. Der Gasstrom kann im Sprühturm weitere Bestandteile aufnehmen. Diese können beim Sprühtrocknen aus der Aufschlämmung stammen und in den Gasstrom übergehen. Bevorzugt wird dem Sprühturm ein trockener Gasstrom zugeführt. Unter einem trockenen Gasstrom wird ein Gas oder ein Gasgemisch verstanden, dessen relative Feuchte bei der im Sprühturm eingestellten Temperatur unter - halb des Kondensationspunktes liegt. Eine relative Luftfeuchte von 100 % entspricht einer Wassermenge von 17,5 g/m3 bei 20°C. Das Gas wird bevorzugt auf eine Temperatur in einem Bereich von 150 bis 450°C, zum Beispiel von 200 bis 420°C oder von 300 bis 400°C, besonders bevorzugt von 350 bis 400°C vorgewärmt. Der Innenraum des Sprühturms ist bevorzugt temperierbar. Bevorzugt beträgt die Temperatur im Innenraum des Sprühturms bis zu 550°C, zum Beispiel 300 bis 500°C, besonders bevorzugt 350 bis 450°C. More preferably, the atmosphere present in the spray tower is part of a gas stream. The gas stream is preferably introduced into the spray tower via a gas inlet and discharged via a gas outlet. It is also possible to introduce parts of the gas stream through the nozzle and divert parts of the gas stream through a solids outlet. The gas stream can take up additional components in the spray tower. These may originate from the slurry during spray drying and pass into the gas stream. Preferably, a dry gas stream is fed to the spray tower. A dry gas stream is understood as meaning a gas or a gas mixture whose relative humidity is kept below the temperature set in the spray tower. is half of the condensation point. A relative humidity of 100% corresponds to a water volume of 17.5 g / m 3 at 20 ° C. The gas is preferably preheated to a temperature in a range of from 150 to 450 ° C, for example from 200 to 420 ° C or from 300 to 400 ° C, more preferably from 350 to 400 ° C. The interior of the spray tower is preferably tempered. Preferably, the temperature in the interior of the spray tower is up to 550 ° C, for example 300 to 500 ° C, more preferably 350 to 450 ° C.
Der Gasstrom hat am Gaseinlass bevorzugt eine Temperatur in einem Bereich von 150 bis 450°C, zum Beispiel von 200 bis 420°C oder von 300 bis 400°C, besonders bevorzugt von 350 bis 400°C. The gas stream at the gas inlet preferably has a temperature in a range from 150 to 450 ° C, for example from 200 to 420 ° C or from 300 to 400 ° C, particularly preferably from 350 to 400 ° C.
Am Feststoffauslass, dem Gasauslass oder an beiden Orten hat der ausgeleitete Gasstrom bevorzugt eine Temperatur von weniger als 170°C, zum Beispiel von 50 bis 150°C, besonders bevorzugt von 100 bis 130°C. At the solids outlet, the gas outlet or at both locations, the withdrawn gas stream preferably has a temperature of less than 170 ° C, for example from 50 to 150 ° C, more preferably from 100 to 130 ° C.
Weiter bevorzugt liegt der Unterschied zwischen der Temperatur des Gasstroms beim Einleiten und dem Gasstrom beim Ausleiten in einem Bereich von 100 bis 330°C, zum Beispiel von 150 bis 300 °C. More preferably, the difference between the temperature of the gas stream at the time of introduction and the gas flow when discharged is in a range of 100 to 330 ° C, for example, 150 to 300 ° C.
Die so erhaltenen Siliziumdioxidgranulen liegen als Agglomerat einzelner Teilchen von Siliziumdioxidpulver vor. Die einzelnen Teilchen des Siliziumdioxidpulvers sind im Agglomerat weiterhin erkennbar. Die mittlere Teilchengröße der Teilchen des Siliziumdioxidpulvers liegt bevorzugt im Bereich von 10 bis 1000 nm, zum Beispiel im Bereich von 20 bis 500 nm oder von 30 bis 250 nm oder von 35 bis 200 nm oder von 40 bis 150 nm, oder besonders bevorzugt im Bereich von 50 bis 100 nm. Die mittlere Teilchengröße dieser Teilchen wird gemäß DIN ISO 13320-1 ermittelt. The silica granules thus obtained are present as an agglomerate of individual particles of silica powder. The individual particles of the silicon dioxide powder are still recognizable in the agglomerate. The average particle size of the particles of the silica powder is preferably in the range of 10 to 1000 nm, for example, in the range of 20 to 500 nm or 30 to 250 nm or 35 to 200 nm or 40 to 150 nm, or more preferably in the range from 50 to 100 nm. The average particle size of these particles is determined according to DIN ISO 13320-1.
Das Sprühtrocknen kann in Anwesenheit von Hilfsstoffen durchgeführt werden. Prinzipiell können alle Stoffe als Hilfsstoffe eingesetzt werden, die dem Fachmann bekannt sind und zum vorliegenden Einsatzzweck geeignet erscheinen. Als Hilfsstoffe kommen zum Beispiel sogenannte Bindemittel in Betracht. Beispiele für geeignete Bindemittel sind Metalloxide wie Calciumoxid, Metallcarbonate wie Calciumcarbonat und Polysaccharide wie Cellulose, Celluloseether, Stärke und Stärkederivate. Besonders bevorzugt wird das Sprühtrocknen im Rahmen der vorliegenden Erfindung ohne Hilfsstoffe durchgeführt. The spray drying can be carried out in the presence of auxiliaries. In principle, all substances can be used as auxiliaries, which are known in the art and appear suitable for the present purpose. Suitable auxiliaries are, for example, so-called binders. Examples of suitable binders are metal oxides such as calcium oxide, metal carbonates such as calcium carbonate and polysaccharides such as cellulose, cellulose ethers, starch and starch derivatives. In the context of the present invention, spray drying is particularly preferably carried out without auxiliaries.
Bevorzugt wird vor, nach oder vor und nach dem Entnehmen des Siliziumdioxidgranulats aus dem Sprühturm ein Teil davon abgetrennt. Zum Abtrennen kommen alle dem Fachmann bekannten und geeignet erscheinenden Ver- fahren in Betracht. Bevorzugt erfolgt das Abtrennen durch ein Sichten oder ein Sieben. Preferably, before, after or before and after removal of the silica granules from the spray tower, a portion thereof is separated. For separation, all methods known to the person skilled in the art and appearing suitable come into consideration. Preferably, the separation is done by sifting or sieving.
Bevorzugt werden vor dem Entnehmen des durch Sprühtrocknung gebildeten Siliziumdioxidgranulats aus demAre preferred before removing the silica granules formed by spray drying from
Sprühturm Partikel mit einer Partikelgröße von weniger als 50 μηι, zum Beispiel mit einer Partikelgröße von weniger als 70 μηι besonders bevorzugt mit einer Partikelgröße von weniger als 90 μηι durch Sichten abgetrennt. Das Sichten erfolgt bevorzugt durch einen Zyklon, der bevorzugt im unteren Bereich des Sprühturms, besonders bevorzugt oberhalb des Auslasses des Sprühturms, angeordnet ist. Bevorzugt werden nach dem Entnehmen des Siliziumdioxidgranulats aus dem Sprühturm Teilchen mit einer Partikelgröße von mehr als 1000 μηι, zum Beispiel mit einer Partikelgröße von mehr als 700 μηι besonders bevorzugt mit einer Partikelgröße von mehr als 500 μηι durch Sieben abgetrennt. Das Sieben der Partikel kann prinzipiell nach allen dem Fachmann bekannten und zu diesem Zweck geeigneten Verfahren erfolgen. Bevorzugt erfolgt das Sieben mittels einer Rüttelrinne. Spray tower particles with a particle size of less than 50 μηι, for example, with a particle size of less than 70 μηι particularly preferably separated with a particle size of less than 90 μηι by sifting. The sifting is preferably carried out by a cyclone, which is preferably arranged in the lower region of the spray tower, particularly preferably above the outlet of the spray tower. Preferably, after removal of the silica granules from the spray tower particles with a particle size of more than 1000 μηι, for example, with a particle size of more than 700 μηι particularly preferably separated with a particle size of more than 500 μηι by sieving. The sieving of the particles can be carried out in principle by all methods known to the person skilled in the art and suitable for this purpose. Sieving is preferably carried out by means of a vibrating trough.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist das Sprühtrocknen der Aufschlämmung durch eine Düse in einen Sprühturm durch mindestens eines, zum Beispiel zwei oder drei, besonders bevorzugt alle der folgenden Merkmale gekennzeichnet: According to a preferred embodiment, the spray-drying of the slurry through a nozzle into a spray tower is characterized by at least one, for example two or three, most preferably all of the following features:
a] Sprühgranulieren in einem Sprühturm;  a] spray granulation in a spray tower;
b] Vorliegen eines Drucks der Aufschlämmung an der Düse von nicht mehr als 40 bar, zum Beispiel in einem Bereich von 1,3 bis 20 bar von 1,5 bis 18 bar oder von 2 bis 15 bar oder von 4 bis 13 bar, oder besonders bevorzugt im Bereich von 5 bis 12 bar, wobei der Druck absolut (in Bezug auf p = 0 hPa) angegeben ist;  b) a pressure of the slurry at the nozzle of not more than 40 bar, for example in a range of 1.3 to 20 bar of 1.5 to 18 bar or 2 to 15 bar or 4 to 13 bar, or more preferably in the range of 5 to 12 bar, the pressure being absolute (in relation to p = 0 hPa);
c] eine Temperatur der Tröpfchen beim Eintritt in den Sprühturm in einem Bereich von 10 bis 50°C, bevorzugt in einem Bereich von 15 bis 30°C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 18 bis 25°C. d] eine Temperatur an der dem Sprühturm zugewandten Seite der Düse in einem Bereich von 100 bis 450°C, zum Beispiel in einem Bereich von 250 bis 440°C, besonders bevorzugt von 350 bis 430°C; e] einen Durchsatz an Aufschlämmung durch die Düse in einem Bereich von 0,05 bis 1 m3/h, zum Beispiel in einem Bereich von 0,1 bis 0,7 m3/h oder von 0,2 bis 0,5 m3/h, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,25 bis 0,4 m3/h; c] a temperature of the droplets entering the spray tower in a range of 10 to 50 ° C, preferably in a range of 15 to 30 ° C, more preferably in a range of 18 to 25 ° C. d) a temperature at the spray tower side of the nozzle in a range of 100 to 450 ° C, for example in a range of 250 to 440 ° C, more preferably from 350 to 430 ° C; e] a slurry throughput through the die in a range of 0.05 to 1 m 3 / h, for example in a range of 0.1 to 0.7 m 3 / h or from 0.2 to 0.5 m 3 / h, more preferably in a range of 0.25 to 0.4 m 3 / h;
fj einen Feststoffgehalt der Aufschlämmung von mindestens 40 Gew.-%, zum Beispiel in einem Bereich von 50 bis 80 Gew.-%, oder in einem Bereich von 55 bis 75 Gew.-%, besonders bevorzugt in einem Bereich von 60 bis 70 Gew.-% auf, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Aufschlämmung; g] einen Gaszustrom in den Sprühturm in einem Bereich von 10 bis 100 kg/min, zum Beispiel in einem Bereich von 20 bis 80 kg/min oder von 30 bis 70 kg/min, besonders bevorzugt in einem Bereich von 40 bis 60 kg/min;  fj has a solids content of the slurry of at least 40% by weight, for example in a range of 50 to 80% by weight, or in a range of 55 to 75% by weight, particularly preferably in a range of 60 to 70% by weight .-%, in each case based on the total weight of the slurry; g] a gas flow in the spray tower in a range of 10 to 100 kg / min, for example in a range of 20 to 80 kg / min or from 30 to 70 kg / min, more preferably in a range of 40 to 60 kg / min;
h] eine Temperatur des Gasstroms beim Eintritt in den Sprühturm in einem Bereich von 100 bis 450°C, zum Beispiel in einem Bereich von 250 bis 440°C, besonders bevorzugt von 350 bis 430°C;  h] a temperature of the gas stream entering the spray tower in a range of 100 to 450 ° C, for example in a range of 250 to 440 ° C, more preferably 350 to 430 ° C;
i] eine Temperatur des Gasstroms beim Austritt aus dem Sprühturm von weniger als 170°C;  i] a temperature of the gas stream exiting the spray tower of less than 170 ° C;
j] das Gas ist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Luft, Stickstoff und Helium, oder einer Kombination von zwei oder mehr davon; bevorzugt Luft;  j] the gas is selected from the group consisting of air, nitrogen and helium, or a combination of two or more thereof; preferably air;
k] eine Restfeuchte des Granulats bei Entnahme aus dem Sprühturm von weniger als 5 Gew.-%, zum Beispiel von weniger als 3 Gew.-% oder von weniger als 1 Gew.-% oder in einem Bereich von 0,01 bis 0,5 Gew.-%, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,1 bis 0,3 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des bei der Sprühtrocknung entstehenden Siliziumdioxidgranulats;  k) a residual moisture content of the granules when taken from the spray tower of less than 5% by weight, for example less than 3% by weight or less than 1% by weight or in a range from 0.01 to 0, 5 wt .-%, particularly preferably in a range of 0.1 to 0.3 wt .-%, each based on the total weight of the resulting during spray drying silica granules;
1] mindestens 50 Gew.-% des Sprühgranulats, bezogen auf das Gesamtgewicht des bei der Sprühtrocknung entstehenden Siliziumdioxidgranulats, vollzieht eine Flugzeit in einem Bereich von 1 bis 100 s, zum Beispiel über einen Zeitraum von 10 bis 80 s, besonders bevorzugt über einen Zeitraum vom 25 bis 70 s; m] mindestens 50 Gew.-% des Sprühgranulats, bezogen auf das Gesamtgewicht des bei der Sprühtrocknung entstehenden Siliziumdioxidgranulats, legt eine Flugstrecke von mehr als 20 m zurück, zum Beispiel von mehr als 30 oder von mehr als 50 oder von mehr als 70 oder von mehr als 100 oder von mehr als 150 oder von mehr als 200 oder in einem Bereich von 20 bis 200 m oder von 10 bis 150 oder von 20 bis 100, besonders bevorzugt einem Bereich von 30 bis 80 m. 1] at least 50 wt .-% of the spray granules, based on the total weight of the resulting during spray drying silica granules, performs a time of flight in a range of 1 to 100 s, for example over a period of 10 to 80 s, more preferably over a period from 25 to 70 s; m] at least 50 wt .-% of the spray granules, based on the total weight of the resulting during spray drying silica granules, sets a flight distance of more than 20 m, for example, more than 30 or more than 50 or more than 70 or of more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, particularly preferably in a range of 30 to 80 m.
n] der Sprühturm weist eine zylindrische Geometrie auf;  n] the spray tower has a cylindrical geometry;
o] eine Höhe des Sprühturms von mehr als 10 m, zum Beispiel von mehr als 15 m oder von mehr als 20 m oder von mehr als 25 m oder von mehr als 30 m oder in einem Bereich von 10 bis 25 m, besonders bevorzugt in einem Bereich von 15 bis 20 m;  o] a height of the spray tower of more than 10 m, for example of more than 15 m or of more than 20 m or of more than 25 m or of more than 30 m or in a range of 10 to 25 m, particularly preferably in a range of 15 to 20 m;
p] Absichten von Partikeln mit einer Größe von weniger als 90 μηι vor der Entnahme des Granulats aus dem Sprühturm;  p] intentions of particles with a size of less than 90 μηι before removing the granules from the spray tower;
q] Absieben von Partikeln mit einer Größe von mehr als 500 μηι nach der Entnahme des Granulats aus dem Sprühturm, bevorzugt auf einer Rüttelrinne;  q] screening of particles with a size of more than 500 μm after removal of the granules from the spray tower, preferably on a vibrating trough;
r] der Austritt der Tröpfchen der Aufschlämmung aus der Düse erfolgt in einem Winkel von 30 bis 60 Grad entgegen der Lotrichtung, besonders bevorzugt bei einem Winkel von 45 Grad entgegen der Lotrichtung.  r] the exit of the droplets of the slurry from the nozzle takes place at an angle of 30 to 60 degrees counter to the direction of the solder, more preferably at an angle of 45 degrees against the Lotrichtung.
Unter der Lotrichtung wird die Richtung des Schwerkraftvektors verstanden. The direction of the solder is understood to be the direction of the gravity vector.
Die Flugstrecke bedeutet den Weg, den ein Tröpfchen der Aufschlämmung ab Austritt aus der Düse im Gasraum des Sprühturms unter Bildung einer Granule bis zum Abschluss des Flug- und Fallvorgangs zurücklegt. Der Flug- und Fallvorgang endet regelmäßig durch Auftreffen der Granule am Boden des Sprühturms, oder durch Auftreffen der Granule auf bereits auf dem Boden des Sprühturms liegenden anderen Granulen, je nachdem, was zuerst eintritt. The flight path means the path that a droplet of slurry travels from the exit of the nozzle into the headspace of the spray tower to form granules until completion of the flight and fall operation. The flight and fall process will periodically end by hitting the granules at the bottom of the spray tower, or by impinging the granules on other granules already on the bottom of the spray tower, whichever comes first.
Die Flugzeit ist die Dauer, die eine Granule für das Zurücklegen der Flugstrecke im Sprühturm benötigt. Bevorzugt weisen die Granulen im Sprühturm eine helixförmige Flugbahn auf. The flight time is the time it takes for a granule to cover the flight path in the spray tower. The granules preferably have a helical trajectory in the spray tower.
Bevorzugt legen mindestens 60 Gew.-% des Sprühgranulats, bezogen auf das Gesamtgewicht des bei der Sprühtrocknung entstehenden Siliziumdioxidgranulats, eine mittlere Flugstrecke von mehr als 20 m zurück, zum Beispiel von mehr als 30 oder von mehr als 50 oder von mehr als 70 oder von mehr als 100 oder von mehr als 150 oder von mehr als 200 oder in einem Bereich von 20 bis 200 m oder von 10 bis 150 oder von 20 bis 100, besonders bevorzugt einem Bereich von 30 bis 80 m. Preferably, at least 60% by weight of the spray granules, based on the total weight of the silica granules formed during the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, particularly preferably in a range of 30 to 80 m.
Bevorzugt legen mindestens 70 Gew.-% des Sprühgranulats, bezogen auf das Gesamtgewicht des bei der Sprühtrocknung entstehenden Siliziumdioxidgranulats, eine mittlere Flugstrecke von mehr als 20 m zurück, zum Beispiel von mehr als 30 oder von mehr als 50 oder von mehr als 70 oder von mehr als 100 oder von mehr als 150 oder von mehr als 200 oder in einem Bereich von 20 bis 200 m oder von 10 bis 150 oder von 20 bis 100, besonders bevorzugt einem Bereich von 30 bis 80 m. Bevorzugt legen mindestens 80 Gew.-% des Sprühgranulats, bezogen auf das Gesamtgewicht des bei der Sprühtrocknung entstehenden Siliziumdioxidgranulats, eine mittlere Flugstrecke von mehr als 20 m zurück, zum Beispiel von mehr als 30 oder von mehr als 50 oder von mehr als 70 oder von mehr als 100 oder von mehr als 150 oder von mehr als 200 oder in einem Bereich von 20 bis 200 m oder von 10 bis 150 oder von 20 bis 100, beson- ders bevorzugt einem Bereich von 30 bis 80 m. Preferably, at least 70% by weight of the spray granules, based on the total weight of the silica granules formed in the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, particularly preferably in a range of 30 to 80 m. Preferably, at least 80% by weight of the spray granules, based on the total weight of the silica granules formed in the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, more preferably in a range of 30 to 80 m.
Bevorzugt legen mindestens 90 Gew.-% des Sprühgranulats, bezogen auf das Gesamtgewicht des bei der Sprühtrocknung entstehenden Siliziumdioxidgranulats, eine mittlere Flugstrecke von mehr als 20 m zurück, zum Beispiel von mehr als 30 oder von mehr als 50 oder von mehr als 70 oder von mehr als 100 oder von mehr als 150 oder von mehr als 200 oder in einem Bereich von 20 bis 200 m oder von 10 bis 150 oder von 20 bis 100, besonders bevorzugt einem Bereich von 30 bis 80 m. Preferably, at least 90% by weight of the spray granules, based on the total weight of the silica granules formed in the spray drying, have an average flight distance of more than 20 m, for example greater than 30 or greater than 50 or greater than 70 or more than 100 or more than 150 or more than 200 or in a range of 20 to 200 m or from 10 to 150 or from 20 to 100, particularly preferably in a range of 30 to 80 m.
Rollgranulation rolling granulation
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung wird ein Siliziumdioxidgranu- lat durch Rollgranulieren der Aufschlämmung erhalten.  According to a preferred embodiment of the first aspect of the invention, a silica granule is obtained by roll granulating the slurry.
Das Rollgranulieren erfolgt durch Rühren der Aufschlämmung in Gegenwart eines Gases bei erhöhter Temperatur. Bevorzugt erfolgt das Rollgranulieren in einem mit einem Rührwerkzeug ausgerüsteten Rührbehälter. Bevorzugt rotiert der Rührbehälter gegensinnig zum Rührwerkzeug. Bevorzugt weist der Rührbehälter außerdem einen Einlass, durch den Siliziumdioxidpulver in den Rührbehälter eingetragen werden kann, einen Auslass, durch den Siliziumdioxidgranulat entnommen werden kann, einen Gaseinlass und einen Gasauslass, auf. Roll granulation is done by stirring the slurry in the presence of a gas at elevated temperature. Roll granulation preferably takes place in a stirred tank equipped with a stirring tool. Preferably, the stirring container rotates in the opposite direction to the stirring tool. Preferably, the stirring vessel further comprises an inlet through which silica powder can be introduced into the stirring vessel, an outlet through which silica granules can be removed, a gas inlet and a gas outlet.
Für das Rühren der Aufschlämmung wird bevorzugt ein Stiftwirbler verwendet. Unter einem Stiftwirbler wird ein Rührwerkzeug verstanden, das mit mehreren länglichen Stiften versehen ist, deren Längsachse jeweils koaxial zur Rotationsachse des Rührwerkzeugs verläuft. Der Bewegungsablauf der Stifte beschreibt bevorzugt koaxiale Kreise um die Rotationsachse. For stirring the slurry, a stick swirler is preferably used. A pin swirler is understood to mean a stirrer tool which is provided with a plurality of elongate pins whose longitudinal axis runs in each case coaxially with the axis of rotation of the stirrer tool. The movement sequence of the pins preferably describes coaxial circles about the axis of rotation.
Bevorzugt wird die Aufschlämmung auf einen pH- Wert von weniger als 7 eingestellt, zum Beispiel auf einen pH- Wert im Bereich von 2 bis 6,5, besonders bevorzugt auf einen pH- Wert in einem Bereich von 4 bis 6. Zum Ein- stellen des pH- Werts wird bevorzugt eine anorganische Säure verwendet, zum Beispiel eine Säure ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Salzsäure, Schwefelsäure, Salpetersäure und Phosphorsäure, besonders bevorzugt Salzsäure. Preferably, the slurry is adjusted to a pH of less than 7, for example to a pH in the range of 2 to 6.5, more preferably to a pH in the range of 4 to 6. For adjusting the pH is preferably used an inorganic acid, for example an acid selected from the group consisting of hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid and phosphoric acid, more preferably hydrochloric acid.
Bevorzugt liegt im Rührbehälter eine Atmosphäre ausgewählt aus Luft, einem Inertgas, mindestens zwei Inertga- sen oder eine Kombination von Luft mit mindestens einem Inertgas, bevorzugt mindestens zwei Inertgasen vor. Als Inertgase sind bevorzugt ausgewählt aus der Liste bestehend aus Stickstoff, Helium, Neon, Argon, Krypton und Xenon. Zum Beispiel liegt im Rührbehälter Luft, Stickstoff oder Argon vor, besonders bevorzugt Luft. In the stirred tank, preference is given to an atmosphere selected from air, an inert gas, at least two inert gases or a combination of air with at least one inert gas, preferably at least two inert gases. As inert gases are preferably selected from the list consisting of nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon. For example, air, nitrogen or argon is present in the stirred tank, more preferably air.
Weiter bevorzugt ist die im Rührbehälter vorliegende Atmosphäre Teil eines Gasstroms. Der Gasstrom wird in den Rührbehälter bevorzugt über den Gaseinlass eingeleitet und über den Gasauslass ausgeleitet. Der Gasstrom kann im Rührbehälter weitere Bestandteile aufnehmen. Diese können beim Rollgranulieren aus der Aufschläm- mung stammen und in den Gasstrom übergehen. More preferably, the atmosphere present in the stirred tank is part of a gas stream. The gas stream is preferably introduced into the stirred tank via the gas inlet and discharged via the gas outlet. The gas flow can take up further components in the stirred tank. During rolling granulation, these can originate from the sludge and pass into the gas stream.
Bevorzugt wird dem Rührbehälter ein trockener Gasstrom zugeführt. Unter einem„trockenen Gasstrom" wird ein Gas oder ein Gasgemisch verstanden, dessen relative Feuchte bei der im Rührbehälter eingestellten Temperatur unterhalb des Kondensationspunktes liegt. Das Gas wird bevorzugt auf eine Temperatur in einem Bereich von 50 bis 300°C, zum Beispiel von 80 bis 250°C, besonders bevorzugt von 100 bis 200°C vorgewärmt. The stirred tank is preferably supplied with a dry gas stream. A "dry gas stream" is understood as meaning a gas or a gas mixture whose relative humidity is below the condensation point at the temperature set in the stirring vessel. The gas is preferably at a temperature in a range from 50 to 300 ° C., for example from 80 to 250 ° C, more preferably preheated from 100 to 200 ° C.
Bevorzugt werden pro 1 kg der eingesetzten Aufschlämmung 10 bis 150 m3 Gas pro Stunde in den Rührbehälter eingeleitet, zum Beispiel 20 bis 100 m3 Gas pro Stunde, besonders bevorzugt 30 bis 70 m3 Gas pro Stunde. 10 to 150 m 3 of gas per hour are preferably introduced per 1 kg of the slurry used into the stirred tank, for example 20 to 100 m 3 of gas per hour, more preferably 30 to 70 m 3 of gas per hour.
Durch den Gasstrom wird die Aufschlämmung während des Rührens unter Bildung von Siliziumdioxidgranulen getrocknet. Das gebildete Granulat wird der Rührkammer entnommen. Bevorzugt wird das entnommene Granulat weiter getrocknet. Bevorzugt erfolgt die Trocknung kontinuierlich, zum Beispiel in einem Drehrohrofen. Bevorzugte Temperaturen zur Trocknung liegen in einem Bereich von 80 bis 250°C, zum Beispiel in einem Bereich von 100 bis 200°C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 120 bis 180°C. Kontinuierlich bedeutet im Kontext der vorliegenden Erfindung in Bezug auf ein Verfahren, dass dieses fortlaufend betrieben werden kann. Das bedeutet, dass Zufuhr und Entnahme von am Verfahren beteiligten Stoffen und Materialien beim Durchführen des Verfahrens laufend erfolgen kann. Es ist nicht notwendig, dafür das Verfahren zu unterbrechen. Kontinuierlich als Attribut eines Gegenstands, z.B. in Bezug auf einen„kontinuierlichen Ofen", bedeutet, dass dieser Gegenstand so ausgelegt ist, dass ein in ihm erfolgendes Verfahren oder in ihm erfolgender Verfahrensschritt kontinuierlich geführt werden kann. The gas stream dries the slurry while stirring to form silica granules. The granules formed are removed from the stirred chamber. Preferably, the withdrawn granules are further dried. Preferably, the drying is carried out continuously, for example in a rotary kiln. Preferred temperatures for drying are in a range of 80 to 250 ° C, for example in a range of 100 to 200 ° C, more preferably in a range of 120 to 180 ° C. Continuously in the context of the present invention in relation to a method means that it can be operated continuously. This means that the supply and removal of substances and materials involved in the process can be carried out continuously during the execution of the process. It is not necessary to interrupt the procedure for this. Continuously as an attribute of an object, e.g. with respect to a "continuous furnace", means that this article is designed so that a process occurring in it or in it process step can be carried out continuously.
Das durch Rollgranulieren erhaltene Granulat kann gesiebt werden. Das Sieben kann vor oder nach dem Trocknen erfolgen. Bevorzugt wird vor dem Trocknen gesiebt. Bevorzugt werden Granulen mit einer Partikelgröße von weniger als 50 μηι zum Beispiel mit einer Partikelgröße von weniger als 80 μηι besonders bevorzugt mit einer Partikelgröße von weniger als 100 μηι ausgesiebt. Weiter bevorzugt werden Granulen mit einer Partikelgröße von mehr als 900 μηι, zum Beispiel mit einer Partikelgröße von mehr als 700 μηι, besonders bevorzugt mit einer Partikelgröße von mehr als 500 μηι ausgesiebt. Das Aussieben größerer Partikel kann prinzipiell nach allen dem Fachmann bekannten und zu diesem Zweck geeigneten Verfahren erfolgen. Bevorzugt erfolgt das Absieben größerer Partikel mittels einer Rüttelrinne. The granules obtained by roll granulation can be screened. Sieving can be done before or after drying. Preference is given to sieving before drying. Granules having a particle size of less than 50 μm, for example having a particle size of less than 80 μm, are particularly preferably screened out with a particle size of less than 100 μm. Preference is given to granules having a particle size of more than 900 μm, for example having a particle size of more than 700 μm, and more preferably having a particle size of more than 500 μm. The sieving of larger particles can be carried out in principle by all methods known to the person skilled in the art and suitable for this purpose. The screening of larger particles preferably takes place by means of a vibrating trough.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist das Rollgranulieren durch mindestens eines, zum Beispiel zwei oder drei, besonders bevorzugt aller der folgenden Merkmale gekennzeichnet: According to a preferred embodiment, roll granulation is characterized by at least one, for example two or three, most preferably all of the following features:
[a] das Granulieren erfolgt in einem rotierenden Rührbehälter; [b] das Granulieren erfolgt unter einem Gasstrom von 10 bis 150 kg Gas pro Stunde und pro 1 kg Auf- schlämmung; [a] the granulation takes place in a rotating stirred tank; [b] granulation is carried out under a gas flow of 10 to 150 kg of gas per hour and per 1 kg of slurry;
[c] die Gastemperatur beträgt beim Einleiten 40 bis 200°C;  [c] the gas temperature when introduced is 40 to 200 ° C;
[d] Granulen mit einer Partikelgröße von weniger als 100 μηι und von mehr als 500 μηι werden abgesiebt;  [d] Granules with a particle size of less than 100 μηι and more than 500 μηι are sieved;
[e] die gebildeten Granulen weisen eine Restfeuchte von 15 bis 30 Gew.-% auf;  [e] the granules formed have a residual moisture of 15 to 30 wt .-%;
[fj die gebildeten Granulen werden bei 80 bis 250°C getrocknet, bevorzugt in einem kontinuierlichen Trockenrohr, besonders bevorzugt bis zu einer Restfeuchte von weniger als 1 Gew.-%.  [fj the granules formed are dried at 80 to 250 ° C, preferably in a continuous drying tube, more preferably up to a residual moisture content of less than 1 wt .-%.
Bevorzugt wird das durch Granulation, bevorzugt durch Sprüh- oder Rollgranulation, erhaltene Siliziumdioxidgranulat, auch als Siliziumdioxidgranulat I bezeichnet, behandelt, bevor es zu Quarzglaskörpern verarbeitet wird. Diese Vorbehandlung kann verschiedenen Zwecken dienen, die entweder die Verarbeitung zu Quarzglaskörpern erleichtern oder die Eigenschaften der resultierenden Quarzglaskörper beeinflussen. Zum Beispiel kann das Siliziumdioxidgranulat I verdichtet, gereinigt, oberflächenmodifiziert oder getrocknet werden. Preferably, the granulated silica, preferably by spray or roll granulation, obtained silica granules, also referred to as silica granules I, treated before it is processed into quartz glass bodies. This pretreatment can serve various purposes, which either facilitate the processing into quartz glass bodies or influence the properties of the resulting quartz glass bodies. For example, the silica granules I may be compacted, cleaned, surface modified or dried.
Bevorzugt kann das Siliziumdioxidgranulat I einer thermischen, mechanischen oder chemischen Behandlung oder einer Kombination aus zwei oder mehr Behandlungen unterworfen werden, wobei ein Siliziumdioxidgranulat II erhalten wird. chemisch Preferably, the silica granules I may be subjected to a thermal, mechanical or chemical treatment or a combination of two or more treatments to obtain a silica granule II. chemical
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung weist das Siliziumdioxidgranulat I einen Kohlenstoffgehalt Wcpj auf. Der Kohlenstoffgehalt Wcpj beträgt bevorzugt weniger als 50 ppm, zum Beispiel im Bereich von 5 bis 45 ppm oder von 15 bis 40 ppm, besonders bevorzugt im Bereich von 25 bis 35 ppm, jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats I bezogen.  According to a preferred embodiment of the first aspect of the invention, the silica granules I have a carbon content Wcpj. The carbon content Wcpj is preferably less than 50 ppm, for example in the range of 5 to 45 ppm or of 15 to 40 ppm, particularly preferably in the range of 25 to 35 ppm, in each case based on the total weight of the silica granulate I.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung beinhaltet das Siliziumdioxidgranulat I mindestens zwei Teilchen. Bevorzugt können die mindestens zwei Teilchen eine Relativbewegung zueinander ausführen. Als Maßnahmen zum Erzeugen der Relativbewegung kommen prinzipiell alle dem Fachmann bekannten und geeignet erscheinenden Maßnahmen in Betracht. Insbesondere bevorzugt ist ein Mischen. Ein Mischen kann prinzipiell in beliebiger Weise durchgeführt werden. Bevorzugt wird hierfür ein Durchlaufofen ausgewählt. Dementsprechend können die mindestens zwei Teilchen bevorzugt eine Relativbewegung zueinander ausführen, indem sie in einem Durchlaufofen, zum Beispiel einem Drehrohrofen, bewegt werden. According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the silica granule I comprises at least two particles. Preferably, the at least two particles can perform a relative movement to each other. In principle, all measures known to the person skilled in the art and appearing suitable come into consideration as measures for generating the relative movement. Particularly preferred is a mixing. In principle, mixing can be carried out in any desired manner. Preferably, a continuous furnace is selected for this purpose. Accordingly, the at least two particles can preferably perform a relative movement to each other by being moved in a continuous furnace, for example a rotary kiln.
Unter Durchlauföfen werden Öfen verstanden, bei denen das Be- und Entladen des Ofens, die sogenannte Chargierung, kontinuierlich erfolgt. Beispiele für Durchlauföfen sind Drehrohröfen, Rollenöfen, Förderbandöfen, Durchfahröfen, Durchstoßöfen. Bevorzugt werden zur Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I Drehrohröfen verwendet. Continuous ovens are understood to mean furnaces in which the loading and unloading of the furnace, the so-called charging, takes place continuously. Examples of continuous furnaces are rotary kilns, roller kilns, conveyor ovens, drive-through ovens, push-through ovens. Preferably, rotary kilns are used to treat the silica granules I.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung wird das Siliziumdioxidgranulat I mit einem Reaktanden unter Erhalt eines Siliziumdioxidgranulats II behandelt. Das Behandeln wird durchgeführt, um die Konzentration bestimmter Stoffe im Siliziumdioxidgranulat zu verändern. Das Siliziumdioxidgranu- lat I kann Veranreinigungen oder bestimmte Funktionalitäten aufweisen, deren Anteil verringert werden soll, wie zum Beispiel: OH-Gruppen, kohlenstoffhaltige Verbindungen, Übergangsmetalle, Alkalimetalle und Erdalkalimetalle. Die Verunreinigungen und Funktionalitäten können aus dem Ausgangsmaterial stammen oder im Laufe des Verfahrens eingetragen werden. Die Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I kann verschiedenen Zwecken dienen. Zum Beispiel kann der Einsatz von behandeltem Siliziumdioxidgranulat I, also Siliziumdioxidgranulat II, die Verarbeitung des Siliziumdioxidgranulats zu Quarzglaskörpern vereinfachen. Ferner können durch diese Auswahl die Eigenschaften der resultierenden Quarzglaskörper angepasst sein. Zum Beispiel kann das Siliziumdioxidgranulat I gereinigt oder oberflächenmodifiziert werden. Die Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I kann also eingesetzt werden, um die Eigenschaften der resultierenden Quarzglaskörper zu verbessern. According to a preferred embodiment of the first aspect of the invention, the silica granule I is treated with a reactant to obtain a silica granule II. The treatment is carried out to change the concentration of certain substances in the silica granules. The silica granulation lat I can Verranreinigungen or certain functionalities, the proportion is to be reduced, such as: OH groups, carbon-containing compounds, transition metals, alkali metals and alkaline earth metals. The impurities and functionalities may originate from the starting material or be added during the process. The treatment of the silica granulate I can serve various purposes. For example, the use of treated silica granules I, ie, silica granules II, may facilitate the processing of the silica granules into quartz glass bodies. Furthermore, by this selection, the properties of the resulting quartz glass body can be adjusted. For example, the silica granules I can be purified or surface-modified. The treatment of the silica granulate I can therefore be used to improve the properties of the resulting quartz glass body.
Bevorzugt eignen sich als Reaktand ein Gas oder eine Kombination mehrerer Gase. Diese wird auch als Gasgemisch bezeichnet. Prinzipiell können alle dem Fachmann bekannten Gase eingesetzt werden, die für die genannte Behandlung bekannt sind und geeignet erscheinen. Bevorzugt wird ein Gas ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus HCl, Cl2, F2, 02, 03, H2, C2F4, C2F6, HC104, Luft, Inertgas, z.B. N2, He, Ne, Ar, Kr, oder Kombinationen aus zwei oder mehr davon eingesetzt. Bevorzugt erfolgt die Behandlung in Anwesenheit eines Gases oder einer Kombination aus zwei oder mehr als Gasen. Bevorzugt erfolgt die Behandlung in einem Gasgegenstrom, oder in einem Gasgleichstrom. The reactants used are preferably a gas or a combination of several gases. This is also called gas mixture. In principle, it is possible to use all gases known to the person skilled in the art which are known and suitable for the said treatment. A gas selected from the group consisting of HCl, Cl 2, F 2, 0 2, 0 3, H 2, C 2 F 4, C 2 F 6, HC10 4, air, inert gas, eg N 2, He, it is preferred Ne, Ar, Kr, or combinations of two or more of them. Preferably, the treatment is carried out in the presence of a gas or a combination of two or more as gases. Preferably, the treatment is carried out in a gas countercurrent, or in a gas direct current.
Bevorzugt ist der Reaktand ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus HCl, Cl2, F2, 02, 03 oder Kombinationen von zwei oder mehr davon. Bevorzugt werden Gemische von zwei oder mehr der zuvor genannten Gase zum Behandeln von Siliziumdioxidgranulat I verwendet. Durch die Anwesenheit von F, Cl oder beiden können Metalle, die als Verunreinigungen im Siliziumdioxidgranulat I enthalten sind, wie zum Beispiel Übergangsmetalle, Alkalimetalle und Erdalkalimetalle, entfernt werden. Dabei können die vorgenannten Metalle mit Bestandteilen des Gasgemischs unter den Verfahrensbedingungen gasförmige Verbindungen eingehen, die anschließend ausge- tragen werden und so nicht mehr im Granulat vorliegen. Weiter bevorzugt kann der OH-Gehalt in dem Siliziumdioxidgranulat I durch die Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I mit diesen Gasen verringert werden. Preferably, the reactant is selected from the group consisting of HCl, Cl 2 , F 2 , O 2 , O 3 or combinations of two or more thereof. Preferably, mixtures of two or more of the aforementioned gases are used to treat silica granules I. By the presence of F, Cl or both, metals contained as impurities in the silica granules I such as transition metals, alkali metals and alkaline earth metals can be removed. The aforementioned metals with constituents of the gas mixture can undergo gaseous compounds under the process conditions, which are subsequently discharged and thus no longer present in the granules. More preferably, the OH content in the silica granules I can be reduced by treating the silica granules I with these gases.
Bevorzugt wird als Reaktand ein Gasgemisch von HCl und Cl2 eingesetzt. Bevorzugt weist das Gasgemisch einen Gehalt an HCl in einem Bereich von 1 bis 30 Vol.-%, beispielsweise in einem Bereich von 2 bis 15 Vol.-%, be- sonders bevorzugt in einem Bereich von 3 bis 10 Vol.-% auf. Ebenfalls bevorzugt weist das Gasgemisch einen Gehalt an Cl2 in einem Bereich von 20 bis 70 Vol.-%, beispielsweise in einem Bereich von 25 bis 65 Vol.-%, besonders bevorzugt in einem Bereich von 30 bis 60 Vol.-% auf. Der Rest zu 100 Vol.-% kann durch ein oder mehrere Inertgase, z.B. N2, He, Ne, Ar, Kr, oder durch Luft ergänzt werden. Bevorzugt liegt der Anteil an Inertgas in Reaktanden in einem Bereich von 0 bis weniger als 50 Vol.-%, zum Beispiel in einem Bereich von 1 bis 40 Vol.-% oder von 5 bis 30 Vol.-%, besonders bevorzugt in einem Bereich von 10 bis 20 Vol.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtvolumen des Reaktanden. Preferably, a gas mixture of HCl and Cl 2 is used as the reactant. The gas mixture preferably has a content of HCl in a range from 1 to 30% by volume, for example in a range from 2 to 15% by volume, more preferably in a range from 3 to 10% by volume. Also preferably, the gas mixture has a content of Cl 2 in a range of 20 to 70 vol .-%, for example in a range of 25 to 65 vol .-%, particularly preferably in a range of 30 to 60 vol .-%. The remainder to 100% by volume may be supplemented by one or more inert gases, eg N 2 , He, Ne, Ar, Kr, or by air. The proportion of inert gas in reactants is preferably in a range from 0 to less than 50% by volume, for example in a range from 1 to 40% by volume or from 5 to 30% by volume, more preferably in one range from 10 to 20% by volume, based in each case on the total volume of the reactant.
02, C2F2, oder Mischungen davon mit Cl2 werden bevorzugt zur Reinigung von Siliziumdioxidgranulat I verwendet, das aus einem Siloxan oder eines Gemischs mehrerer Siloxane hergestellt wurde. Der Reaktand in Form eines Gases oder Gasgemisches wird bevorzugt als Gasstrom oder als Teil eines Gasstroms mit einem Durchsatz in einem Bereich von 50 bis 2000 L/h, beispielsweise in einem Bereich von 100 bis 1000 L/h, besonders bevorzugt in einem Bereich von 200 bis 500 L/h mit dem Siliziumdioxidgranulat kontaktiert. Eine bevorzugte Ausgestaltung des Kontaktierens ist ein Kontakt von Gasstrom und Siliziumdioxidgranulat in einem Durchlaufofen, zum Beispiel einem Drehrohrofen. Eine andere bevorzugte Ausgestaltung des Kontaktierens ist ein Wirbelschichtverfahren (fluidized bed). 0 2 , C 2 F 2 , or mixtures thereof with Cl 2 are preferably used for the purification of silica granules I, which was prepared from a siloxane or a mixture of several siloxanes. The reactant in the form of a gas or gas mixture is preferably used as a gas stream or as part of a gas stream with a throughput in a range of 50 to 2000 L / h, for example in a range of 100 to 1000 L / h, more preferably in a range of 200 up to 500 L / h contacted with the silica granules. A preferred embodiment of the contacting is a contact of gas flow and silica granules in a continuous furnace, for example a rotary kiln. Another preferred embodiment of the contacting is a fluidized bed process.
Durch das Behandeln des Siliziumdioxidgranulats I mit dem Reaktanden wird ein Siliziumdioxidgranulat II mit einem Kohlenstoffgehalt Wcpj erhalten. Der Kohlenstoffgehalt Wcpj des Siliziumdioxidgranulats II ist kleiner als der Kohlenstoffgehalt wC(i) des Siliziumdioxidgranulats I, bezogen auf das Gesamtgewicht des jeweiligen Siliziumdioxidgranulats. Bevorzugt ist wcpj um 0,5 bis 99 %, beispielsweise um 0,5 bis 50 % oder 1 bis 45 %, besonders bevorzugt um 1,5 bis 40 % kleiner als wC(i). By treating the silica granule I with the reactant, a silica granule II having a carbon content Wcp j is obtained. The carbon content Wcp j of the silica granules II is smaller than the carbon content w C (i) of the silica granules I based on the total weight of the respective silica granules. Preferably wcp j is from 0.5 to 99%, for example from 0.5 to 50% or 1 to 45%, more preferably from 1.5 to 40% less than w C (i).
thermisch thermal
Bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat I zusätzlich einer thermischen oder mechanischen Behandlung oder einer Kombination dieser Behandlungen unterworfen. Eine oder mehrere dieser zusätzlichen Behandlungen können vor oder während der Behandlung mit dem Reaktanden erfolgen. Alternativ oder ergänzend kann die zusätzlich Behandlung auch am Siliziumdioxidgranulat II durchgeführt werden. Die im Folgenden verwendete allgemeine Bezeichnung„Siliziumdioxidgranulat" beinhaltet die Alternativen„Siliziumdioxidgranulat I" und„Silizi- umdioxidgranulat II". Ebenso ist es möglich, die nachfolgend beschriebenen Behandlungen sowohl am„Siliziumdioxidgranulat I", als auch am behandelten Siliziumdioxidgranulat I, dem„Siliziumdioxidgranulat II", durchzuführen. Preferably, the silica granule I is additionally subjected to a thermal or mechanical treatment or a combination of these treatments. One or more of these additional treatments may be before or during the treatment with the reactant. Alternatively or additionally, the additional treatment can also be carried out on the silica granules II. The general term "silica granules" used below includes the alternatives "silica granules I" and "silicon dioxide granules II." It is also possible to apply the treatments described below to both the "silicon dioxide granules I" and the treated silicon dioxide granules I, the "silicon dioxide granules II ".
Die Behandlung des Siliziumdioxidgranulats kann verschiedenen Zwecken dienen. Zum Beispiel erleichtert diese Behandlung die Verarbeitung des Siliziumdioxidgranulats zu Quarzglaskörpern. Die Behandlung kann auch die Eigenschaften der resultierenden Quarzglaskörper beeinflussen. Zum Beispiel kann das Siliziumdioxidgranulat verdichtet, gereinigt, oberflächenmodifiziert oder getrocknet werden. Dabei kann sich die spezifische Oberfläche (BET) verringern. Ebenso können die Schüttdichte und die mittlere Partikelgröße aufgrund von Agglomerationen von Siliziumdioxidpartikeln zunehmen. Die thermische Behandlung kann dynamisch oder statisch durchgeführt werden. The treatment of the silica granules can serve a variety of purposes. For example, this treatment facilitates the processing of the silica granules into quartz glass bodies. The treatment may also affect the properties of the resulting silica glass body. For example, the silica granules may be compacted, cleaned, surface modified or dried. The specific surface area (BET) may decrease. Likewise, bulk density and average particle size may increase due to agglomeration of silica particles. The thermal treatment can be carried out dynamically or statically.
Für die dynamisch thermische Behandlung eignen sich prinzipiell alle Öfen, in denen das Siliziumdioxidgranulat thermisch behandelt und dabei bewegt werden kann. Für die dynamisch thermische Behandlung werden bevorzugt Durchlauföfen verwendet. In principle, all furnaces are suitable for the dynamic thermal treatment, in which the silicon dioxide granules can be thermally treated and thereby moved. For the dynamic thermal treatment preferably continuous furnaces are used.
Eine bevorzugte mittlere Verweilzeit des Siliziumdioxidgranulats bei der dynamisch thermischen Behandlung ist mengenabhängig. Bevorzugt liegt die mittlere Verweilzeit des Siliziumdioxidgranulats bei der dynamisch thermischen Behandlung im Bereich von 10 bis 180 min, zum Beispiel im Bereich von 20 bis 120 min oder von 30 bis 90 min. Besonders bevorzugt liegt die mittlere Verweilzeit des Siliziumdioxidgranulats bei der dynamisch thermi- sehen Behandlung im Bereich von 30 bis 90 min. Im Fall eines kontinuierlichen Verfahrens gilt zur Bestimmung der Verweilzeit als eine Charge eine definierte Portion eines Stroms an Siliziumdioxidgranulat, z.B. ein Gramm, ein Kilogramm oder eine Tonne. Beginn und Ende des Verweilens sind hier durch Ein- und Ausführen aus dem kontinuierlichen Ofenbetrieb bestimmt. Bevorzugt liegt der Durchsatz des Siliziumdioxidgranulats bei einem kontinuierlichen Verfahren zur dynamisch thermischen Behandlung im Bereich von 1 bis 50 kg/h, zum Beispiel im Bereich von 5 bis 40 kg/h oder von 8 bis 30 kg/h. Besonders bevorzugt liegt der Durchsatz hier im Bereich von 10 bis 20 kg/h. A preferred average residence time of the silica granules in the dynamic thermal treatment is quantity dependent. The average residence time of the silica granules in the dynamic thermal treatment is preferably in the range from 10 to 180 minutes, for example in the range from 20 to 120 minutes or from 30 to 90 minutes. Particularly preferably, the mean residence time of the silica granules in the dynamic thermal treatment see in the range of 30 to 90 min. In the case of a continuous process, to determine the residence time as a batch, a defined portion of a stream of silica granules, eg one gram, one kilogram or one ton, is used. Beginning and end of the stay are determined here by running in and out of the continuous furnace operation. Preferably, the throughput of the silica granules in a continuous process for dynamic thermal treatment is in the range of 1 to 50 kg / h, for example in the range of 5 to 40 kg / h or 8 to 30 kg / h. Particularly preferred is the throughput in the range of 10 to 20 kg / h.
Im Falle eines diskontinuierlichen Verfahrens zur dynamisch thermischen Behandlung ergibt sich die Behand- lungszeit aus dem Zeitraum zwischen einem Beladen und anschließendem Entladen des Ofens. In the case of a discontinuous process for dynamic thermal treatment, the treatment time results from the period between a loading and subsequent unloading of the furnace.
Im Falle eines diskontinuierlichen Verfahrens zur dynamisch thermischen Behandlung beträgt der Durchsatz in einem Bereich von 1 bis 50 kg/h, zum Beispiel im Bereich von 5 bis 40 kg/h oder von 8 bis 30 kg/h. Besonders bevorzugt beträgt der Durchsatz im Bereich von 10 bis 20 kg/h. Der Durchsatz kann durch eine Charge einer bestimmten Menge, die eine Stunde lang behandelt wird, erreicht werden. Gemäß einer anderen Ausführungsform kann der Durchsatz erreicht werden durch eine Anzahl von Chargen pro Stunde, wobei zum Beispiel die Menge einer Charge dem Durchsatz pro Stunde durch die Anzahl der Chargen entspricht. Die Behandlungszeit entspricht dann dem Bruchteil einer Stunde, der sich aus 60 Minuten durch die Anzahl der Chargen pro Stunde ergibt. Bevorzugt erfolgt die dynamisch thermische Behandlung des Siliziumdioxidgranulats bei einer Ofentemperatur von mindestens 500°C, zum Beispiel im Bereich von 510 bis 1700°C oder von 550 bis 1500°C oder von 580 bis 1300°C, besonders bevorzugt im Bereich von 600 bis 1200°C. In the case of a batch process for dynamic thermal treatment, the throughput is in a range of 1 to 50 kg / h, for example in the range of 5 to 40 kg / h or 8 to 30 kg / h. The throughput is particularly preferably in the range from 10 to 20 kg / h. The throughput can be achieved by a batch of a certain amount treated for one hour. According to another embodiment, the throughput may be achieved by a number of batches per hour, for example, the amount of a batch corresponding to the throughput per hour by the number of batches. The treatment time then corresponds to the fraction of an hour, which results from 60 minutes by the number of batches per hour. The dynamic thermal treatment of the silica granules preferably takes place at an oven temperature of at least 500 ° C., for example in the range from 510 to 1700 ° C. or from 550 to 1500 ° C. or from 580 to 1300 ° C., particularly preferably in the range from 600 to 1200 ° C.
In der Regel hat der Ofen in der Ofenkammer die angegebene Temperatur. Bevorzugt weicht diese Temperatur um weniger als 10 % von der angegebenen Temperatur nach oben oder unten ab, bezogen auf die gesamte Behandlungszeit und die gesamte Länge des Ofens sowohl zu jedem Zeitpunkt der Behandlung als auch an jeder Stelle des Ofens. As a rule, the oven in the oven chamber has the specified temperature. Preferably, this temperature deviates upwards or downwards from the indicated temperature by less than 10%, based on the total treatment time and the entire length of the furnace, both at each time of treatment and at each point of the furnace.
Alternativ kann insbesondere das kontinuierliche Verfahren einer dynamisch thermischen Behandlung des Silizi- umdioxidgranulats bei unterschiedlichen Ofentemperaturen erfolgen. Beispielsweise kann der Ofen über die Behandlungszeit eine konstante Temperatur aufweisen, wobei die Temperatur über die Länge des Ofens in Abschnitten variiert. Solche Abschnitte können gleich lang oder unterschiedlich lang sein. Bevorzugt ist in diesem Fall eine vom Eingang des Ofens zum Ausgang des Ofens hin zunehmende Temperatur. Bevorzugt ist die Temperatur am Eingang um wenigstens 100°C niedriger als am Ausgang, zum Beispiel 150°C niedriger oder 200°C niedriger oder 300°C niedriger oder 400°C niedriger. Weiter bevorzugt beträgt die Temperatur am Ausgang bevorzugt mindestens 500°C, zum Beispiel im Bereich von 510 bis 1700°C oder von 550 bis 1500°C oder von 580 bis 1300°C, besonders bevorzugt im Bereich von 600 bis 1200°C. Weiter bevorzugt beträgt die Temperatur am Eingang bevorzugt mindestens 300°C, zum Beispiel von 400 bis 1000°C oder von 450 bis 900°C oder von 500 bis 800°C oder von 550 bis 750°C, besonders bevorzugt von 600 bis 700°C. Weiter kann jeder der genannten Temperaturbereiche am Ofeneingang mit jedem der genannten Temperaturbereiche am Ofenausgang kombiniert werden. Bevorzugte Kombinationen von Ofeneingangs- und Ofenausgangtemperaturbereichen sind: Bereich Ofeneingangstemperatur [°C] Bereich Ofenausgangstemperatur [°C]Alternatively, in particular, the continuous process of a dynamic thermal treatment of the silicon dioxide granules can take place at different furnace temperatures. For example, the oven may have a constant temperature over the treatment time, with the temperature varying in sections over the length of the oven. Such sections can be the same length or different lengths. In this case, a temperature which increases from the inlet of the furnace to the outlet of the furnace is preferred. Preferably, the temperature at the inlet is at least 100 ° C lower than at the outlet, for example 150 ° C lower or 200 ° C lower or 300 ° C lower or 400 ° C lower. More preferably, the temperature at the exit is preferably at least 500 ° C., for example in the range from 510 to 1700 ° C. or from 550 to 1500 ° C. or from 580 to 1300 ° C., particularly preferably in the range from 600 to 1200 ° C. More preferably, the temperature at the inlet is preferably at least 300 ° C, for example from 400 to 1000 ° C or from 450 to 900 ° C or from 500 to 800 ° C or from 550 to 750 ° C, more preferably from 600 to 700 ° C. Furthermore, each of the mentioned temperature ranges at the furnace inlet can be combined with each of the temperature ranges at the furnace outlet. Preferred combinations of furnace inlet and furnace outlet temperature ranges are: Range Furnace inlet temperature [° C] Range Furnace outlet temperature [° C]
400 - 1000 510 - 1300 400 - 1000 510 - 1300
450 - 900 550 - 1260  450 - 900 550 - 1260
480 - 850 580 - 1200  480 - 850 580 - 1200
500 - 800 600 - 1100  500 - 800 600 - 1100
530 - 750 630 - 1050  530 - 750 630 - 1050
Für die statisch thermische Behandlung des Siliziumdioxidgranulats werden bevorzugt in einem Ofen angeordnete Tiegel verwendet. Als Tiegel eignen sich Sintertiegel oder Blechtiegel. Ein Sintertiegel ist ein Tiegel, der aus einem Sintermaterial gefertigt ist, das mindestens ein Sintermetall beinhaltet und eine Dichte von nicht mehr als 96 % der theoretischen Dichte des Metalls aufweist. Das Sintermaterial und das Sintermetall im Sintertiegel sind nicht gewalzt. Ein als Blechtiegel bezeichneter Tiegel beinhaltet ein oder mehrere Walzbleche. In der Regel sind Walzblechtiegel aus mehreren, miteinander vernieteten Platten. Als Tiegelmaterial sind beispielsweise Refrakt- ärmetalle, insbesondere Wolfram, Molybdän und Tantal. Die Tiegel können ferner aus Graphit gebildet sein oder im Falle der Tiegel aus Refraktärmetallen mit Graphitfolie ausgeschlagen sein. Weiter bevorzugt können die Tiegel aus Siliziumdioxid gebildet sein. Besonders bevorzugt werden Siliziumdioxidtiegel eingesetzt. For static thermal treatment of the silica granules, crucibles preferably are used in an oven. Crucibles or tin crucibles are suitable as crucibles. A sintered crucible is a crucible made of a sintered material containing at least one sintered metal and having a density of not more than 96% of the theoretical density of the metal. The sintered material and the sintered metal in the sinter crucible are not rolled. A crucible, referred to as a sheet crucible, includes one or more rolled sheets. As a rule, rolled sheet bars are made of several, riveted plates. Examples of refractory materials are refractory metals, in particular tungsten, molybdenum and tantalum. The crucibles may also be formed from graphite or, in the case of crucibles of refractory metals, be lined with graphite foil. More preferably, the crucibles may be formed of silicon dioxide. Particular preference is given to using silicon dioxide crucibles.
Die mittlere Verweilzeit des Siliziumdioxidgranulats bei der statisch thermischen Behandlung ist mengenabhängig. Bevorzugt liegt die mittlere Verweilzeit des Siliziumdioxidgranulats bei der statisch thermischen Behandlung bei einer Menge von 20 kg Siliziumdioxidgranulat I im Bereich von 10 bis 180 min, zum Beispiel im Bereich von 20 bis 120 min, besonders bevorzugt im Bereich von 30 bis 90 min. The average residence time of the silica granules in the static thermal treatment is quantity-dependent. Preferably, the average residence time of the silica granules in the static thermal treatment at an amount of 20 kg of silica granules I in the range of 10 to 180 minutes, for example in the range of 20 to 120 minutes, more preferably in the range of 30 to 90 min.
Bevorzugt erfolgt die statisch thermische Behandlung des Siliziumdioxidgranulats bei einer Ofentemperatur von mindestens 800°C, zum Beispiel im Bereich von 900 bis 1700°C oder von 950 bis 1600°C oder von 1000 bis 1500°C oder von 1050 bis 1400°C, besonders bevorzugt im Bereich von 1100 bis 1300°C. Preferably, the static thermal treatment of the silica granules is carried out at an oven temperature of at least 800 ° C, for example in the range of 900 to 1700 ° C or 950 to 1600 ° C or 1000 to 1500 ° C or 1050 to 1400 ° C, especially preferably in the range of 1100 to 1300 ° C.
Bevorzugt erfolgt die statisch thermische Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I bei konstanter Ofentemperatur. Die statisch thermische Behandlung kann auch bei einer variierenden Ofentemperatur erfolgen. Bevorzugt nimmt in diesem Fall die Temperatur im Laufe der Behandlung zu, wobei die Temperatur zu Beginn der Behand- lung um wenigstens 50°C niedriger ist als am Ende, zum Beispiel 70°C niedriger oder 80°C niedriger oder 100°C niedriger oder 110°C niedriger, und wobei die Temperatur am Ende bevorzugt mindestens 800°C, zum Beispiel im Bereich von 900 bis 1700°C oder von 950 bis 1600°C oder von 1000 bis 1500°C oder von 1050 bis 1400°C, besonders bevorzugt im Bereich von 1100 bis 1300°C beträgt. mechanisch The static thermal treatment of the silicon dioxide granules I preferably takes place at a constant oven temperature. The static thermal treatment can also be carried out at a varying oven temperature. In this case, the temperature preferably increases in the course of the treatment, the temperature at the beginning of the treatment being lower by at least 50 ° C. than at the end, for example 70 ° C. lower or 80 ° C. lower or 100 ° C. lower or 110 ° C lower, and wherein the temperature at the end is preferably at least 800 ° C, for example in the range of 900 to 1700 ° C or 950 to 1600 ° C or 1000 to 1500 ° C or 1050 to 1400 ° C, especially preferably in the range of 1100 to 1300 ° C. mechanically
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform kann das Siliziumdioxidgranulat I mechanisch behandelt werden. Die mechanische Behandlung kann zum Erhöhen der Schüttdichte durchgeführt werden. Die mechanische Behandlung kann mit der zuvor beschriebenen thermischen Behandlung kombiniert werden. Mittels einer mechanischen Behandlung kann vermieden werden, dass die Agglomerate im Siliziumdioxidgranulat und damit die mittlere Partikelgröße der einzelnen, behandelten Siliziumdioxidgranulen im Siliziumdioxidgranulat zu groß werden. Eine Vergrößerung der Agglomerate kann die Weiterverarbeitung erschweren oder nachteilige Auswirkungen auf die Eigenschaften der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Quarzglaskörper haben, oder eine Kombination beider Effekte bedeuten. Eine mechanische Behandlung des Siliziumdioxidgranulats för- dert zudem einen gleichmäßigen Kontakt der Oberflächen der einzelnen Siliziumdioxidgranulen mit dem Gas oder den Gasen. Dies wird insbesondere bei einer Kombination aus gleichzeitiger mechanischer und chemischer Behandlung mit einem oder mehreren Gasen erreicht. Dadurch kann die Wirkung der chemischen Behandlung verbessert werden. Die mechanische Behandlung des Siliziumdioxidgranulats kann durch Bewegen von zwei oder mehr Siliziumdioxidgranulen in einer Relativbewegung zueinander erfolgen, beispielsweise durch das Drehen des Rohrs eines Drehrohrofens. According to a further preferred embodiment, the silicon dioxide granulate I can be treated mechanically. The mechanical treatment can be carried out to increase the bulk density. The mechanical treatment can be combined with the thermal treatment described above. By means of a mechanical treatment can be avoided that the agglomerates in the silica granules and thus the average particle size of the individual, treated silica granules in the silica granules become too large. An enlargement of the agglomerates can complicate the further processing or have adverse effects on the properties of the quartz glass body produced by the method according to the invention, or a combination of the two effects. In addition, a mechanical treatment of the silicon dioxide granules promotes uniform contact of the surfaces of the individual silicon dioxide granules with the gas or the gases. This is achieved in particular with a combination of simultaneous mechanical and chemical treatment with one or more gases. Thereby, the effect of the chemical treatment can be improved. The mechanical treatment of the silica granules may be accomplished by moving two or more silica granules in relative motion, for example, by rotating the tube of a rotary kiln.
Bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat I chemisch, thermisch und mechanisch behandelt. Besonders erfolgt eine simultane chemische, thermische und mechanische Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I. The silicon dioxide granulate I is preferably treated chemically, thermally and mechanically. In particular, a simultaneous chemical, thermal and mechanical treatment of the silica granules I.
Bei der chemischen Behandlung wird der Gehalt an Verunreinigungen im Siliziumdioxidgranulat I verringert. Dazu kann das Siliziumdioxidgranulat I in einem Drehrohrofen bei erhöhter Temperatur unter chlor- und sauerstoffhaltiger Atmosphäre behandelt werden. Im Siliziumdioxidgranulat I vorliegendes Wasser verdampft, organi- sehe Materialien reagieren zu CO und CO2. Metallverunreinigungen können zu flüchtigen, chlorhaltigen Verbindungen konvertiert werden. In the chemical treatment, the content of impurities in the silica granules I is reduced. For this purpose, the silica granules I can be treated in a rotary kiln at elevated temperature under a chlorine- and oxygen-containing atmosphere. Water present in silicon dioxide granules I evaporates, organic materials react to CO and CO 2 . Metal contaminants can be converted to volatile, chlorine-containing compounds.
Bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat I in einer chlor- und sauerstoffhaltigen Atmosphäre in einem Drehrohrofen bei einer Temperatur von mindestens 500°C, bevorzugt in einem Temperaturbereich von 550 bis 1300°C oder von 600 bis 1260°C oder von 650 bis 1200°C oder von 700 bis 1000°C, besonders bevorzugt in einem Temperaturbereich von 700 bis 900°C behandelt. Die chlorhaltige Atmosphäre enthält beispielsweise HCl oder CI2 oder eine Kombination aus beiden. Diese Behandlung bewirkt eine Reduzierung des Kohlenstoffgehalts. Preferably, the silica granules I in a chlorine and oxygen-containing atmosphere in a rotary kiln at a temperature of at least 500 ° C, preferably in a temperature range of 550 to 1300 ° C or from 600 to 1260 ° C or from 650 to 1200 ° C or 700 to 1000 ° C, more preferably in a temperature range of 700 to 900 ° C treated. The chlorine-containing atmosphere contains, for example, HCl or CI 2 or a combination of both. This treatment causes a reduction of the carbon content.
Ferner werden bevorzugt Alkali- und Eisenverunreinigungen reduziert. Bevorzugt wird zudem eine Verringerung der Anzahl an OH-Gruppen erreicht. Bei Temperaturen unterhalb von 700°C können sich lange Behandlungsdauern ergeben, bei Temperaturen oberhalb von 1100°C besteht die Gefahr, dass sich Poren des Granulats unter Ein- schluss von Chlor oder gasförmigen Chlorverbindungen schließen. Furthermore, alkali and iron impurities are preferably reduced. In addition, a reduction in the number of OH groups is preferably achieved. At temperatures below 700 ° C, long treatment periods may result, at temperatures above 1100 ° C there is a risk that pores of the granules close to include chlorine or gaseous chlorine compounds.
Bevorzugt ist es auch möglich, mehrere chemische Behandlungsschritte bei jeweils gleichzeitiger thermischer und mechanischer Behandlung nacheinander durchzuführen. Beispielsweise kann das Siliziumdioxidgranulat I erst in einer chlorhaltigen Atmosphäre und anschließend in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre behandelt werden. Daraus resultierende niedrige Konzentrationen an Kohlenstoff, Hydroxylgruppen und Chlor erleichtern das Einschmelzen des Siliziumdioxidgranulats II. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist Schritt II.2) durch mindestens eines, zum Beispiel durch mindestens zwei oder mindestens drei, besonders bevorzugt durch eine Kombination von allen der folgenden Merkmale gekennzeichnet: Preferably, it is also possible to carry out a plurality of chemical treatment steps in each case with simultaneous thermal and mechanical treatment in succession. For example, the silicon dioxide granules I can be treated first in a chlorine-containing atmosphere and then in an oxygen-containing atmosphere. The resulting low concentrations of carbon, hydroxyl groups and chlorine facilitate the melting of the silica granules II. According to a further preferred embodiment, step II.2) is characterized by at least one, for example by at least two or at least three, more preferably by a combination of all of the following features:
Nl) der Reaktand beinhaltet HCl, CI2 oder eine Kombination davon; Nl) the reactant includes HCl, CI 2 or a combination thereof;
N2) die Behandlung wird in einem Drehrohrofen durchgeführt;  N2) the treatment is carried out in a rotary kiln;
N3) Die Behandlung wird bei einer Temperatur in einem Bereich von 600 bis 900°C durchgeführt; N4) der Reaktand bildet einen Gegenstrom;  N3) The treatment is carried out at a temperature in a range of 600 to 900 ° C; N4) the reactant forms a countercurrent;
N5) der Reaktand weist einen Gasstrom in einem Bereich von 50 bis 2000 L/h, bevorzugt 100 bis 1000 N5), the reactant has a gas flow in a range of 50 to 2000 L / h, preferably 100 to 1000
L/h, besonders bevorzugt 200 bis 500 L/h auf; L / h, more preferably 200 to 500 L / h;
N6) der Reaktand weist einen Volumenanteil an Inertgas in einem Bereich von 0 bis weniger als 50 N6) the reactant has a volume fraction of inert gas in a range of 0 to less than 50
Vol.-%. Vol .-%.
Bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat I einen Partikeldurchmesser auf, der größer ist, als der Partikeldurchmesser des Siliziumdioxidpulvers. Bevorzugt ist der Partikeldurchmesser des Siliziumdioxidgranulats I bis zu 300 mal größer als der Partikeldurchmesser des Siliziumdioxidpulvers, zum Beispiel bis zu 250 mal größer oder bis zu 200 mal größer oder bis zu 150 mal größer oder bis zu 100 mal größer oder bis zu 50 mal größer oder bis zu 20 mal größer oder bis zu 10 mal größer, besonders bevorzugt 2 bis 5 mal größer. Preferably, the silica granules I have a particle diameter which is larger than the particle diameter of the silica powder. Preferably, the particle diameter of the silica granule I is up to 300 times larger than the particle diameter of the silica powder, for example up to 250 times greater or up to 200 times larger or up to 150 times larger or up to 100 times larger or up to 50 times larger or Up to 20 times larger or up to 10 times larger, more preferably 2 to 5 times larger.
Das so erhaltene Siliziumdioxidgranulat wird auch als Siliziumdioxidgranulat II bezeichnet. Besonders bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat II aus dem Siliziumdioxidgranulat I in einem Drehrohrofen mittels einer Kombination aus thermischer, mechanischer und chemischer Behandlung erhalten. The silica granules thus obtained are also referred to as silica granules II. More preferably, the silica granules II are obtained from the silica granules I in a rotary kiln by means of a combination of thermal, mechanical and chemical treatment.
Das in Schritt i.) bereitgestellte Siliziumdioxidgranulat ist bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Siliziumdioxidgranulat I, Siliziumdioxidgranulat II und einer Kombination davon. The silica granulate provided in step i.) Is preferably selected from the group consisting of silica granules I, silica granules II and a combination thereof.
Unter„Siliziumdioxidgranulat I" wird ein Granulat aus Siliziumdioxid verstanden, dass durch Granulation von Siliziumdioxidpulver entsteht, welches bei der Pyrolyse von Siliziumverbindungen in einer Brenngasflamme erhalten wurde. Bevorzugt als Brenngas sind Knallgas, Erdgas oder Methangas, besonders bevorzugt ist Knallgas. By "silicon dioxide granules I" is meant granules of silicon dioxide which are produced by granulation of silicon dioxide powder which was obtained in the pyrolysis of silicon compounds in a fuel gas flame.
Unter„Siliziumdioxidgranulat II" wird ein Granulat aus Siliziumdioxid verstanden, dass durch Nachbehandlung des Siliziumdioxidgranulats I entsteht. Als Nachbehandlung kommen chemische, thermische und/oder mechanische Behandlungen in Betracht. Hierzu wird ausführlich im Rahmen der Beschreibung des Bereitstellens des Siliziumdioxidgranulats (Verfahrensschritts II. des ersten Gegenstands der Erfindung) ausgeführt. "Siliceous granules II" is understood as meaning a granulate of silicon dioxide which is formed by post-treatment of the silicon dioxide granulate I. As after-treatment, chemical, thermal and / or mechanical treatments are contemplated in detail in the description of the provision of the silicon dioxide granules (process step II first object of the invention).
Besonders bevorzugt ist das in Schritt i.) bereitgestellte Siliziumdioxidgranulat das Siliziumdioxidgranulat I. Das Siliziumdioxidgranulat I weist folgende Merkmale auf: The silicon dioxide granulate I provided in step i.) Is particularly preferably the silicon dioxide granulate I. The silicon dioxide granule I has the following features:
[A] eine BET-Oberfläche im Bereich von 20 bis 50 m2/g, zum Beispiel in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g; besonders bevorzugt in einem Bereich von 25 bis 35 m2/g; dabei beläuft sich bevorzugt der Mikroporenanteil auf eine BET-Oberfläche in einem Bereich von 4 bis 5 m2/g; zum Beispiel in einem Bereich von 4,1 bis 4,9 m2/g; besonders bevorzugt in einem Bereich von 4,2 bis 4,8 m2/g; und[A] a BET surface area in the range of 20 to 50 m 2 / g, for example in a range of 20 to 40 m 2 / g; more preferably in a range of 25 to 35 m 2 / g; In this case, the microporous fraction preferably amounts to a BET surface area in the range from 4 to 5 m 2 / g; for example, in a range of 4.1 to 4.9 m 2 / g; more preferably in a range of 4.2 to 4.8 m 2 / g; and
[B] eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι. Bevorzugt ist das Siliziumdioxidgranulat I gekennzeichnet durch mindestens eines, zum Beispiel durch mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt durch mindestens fünf der folgenden Merkmale: [B] an average particle size in a range of 180 to 300 μηι. The silicon dioxide granulate I is preferably characterized by at least one, for example by at least two or at least three or at least four, more preferably by at least five of the following features:
[C] eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,5 bis 1,2 g/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von[C] has a bulk density in a range of 0.5 to 1.2 g / cm 3 , for example, in a range of
0,6 bis 1,1 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,7 bis 1,0 g/cm3; 0.6 to 1.1 g / cm 3 , more preferably in a range of 0.7 to 1.0 g / cm 3 ;
[D] einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 50 ppm, zum Beispiel weniger als 40 ppm oder weniger als 30 ppm oder weniger als 20 ppm oder weniger als 10 ppm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 ppb bis 5 ppm;  [D] a carbon content of less than 50 ppm, for example less than 40 ppm or less than 30 ppm or less than 20 ppm or less than 10 ppm, more preferably in a range of from 1 ppb to 5 ppm;
[E] einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb, bevorzugt von weniger als 100 ppb, zum Beispiel von weniger als 50 ppb oder von 1 bis 200 ppb oder von 15 bis 100 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 50 ppb auf.  [E] has an aluminum content of less than 200 ppb, preferably less than 100 ppb, for example less than 50 ppb or from 1 to 200 ppb or from 15 to 100 ppb, more preferably in a range from 1 to 50 ppb.
[F] eine Stampfdichte in einem Bereich von 0,5 bis 1,2 g/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von[F] a tamped density in a range of 0.5 to 1.2 g / cm 3 , for example in a range of
0,6 bis 1,1 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,75 bis 1,0 g/cm3; 0.6 to 1.1 g / cm 3 , more preferably in a range of 0.75 to 1.0 g / cm 3 ;
[G] ein Porenvolumen in einem Bereich von 0,1 bis 1,5 mL/g, zum Beispiel in einem Bereich von [G] a pore volume in a range of 0.1 to 1.5 mL / g, for example in a range of
0,15 bis 1,1 mL/g; besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,2 bis 0,8 mL/g,0.15 to 1.1 mL / g; more preferably in a range of 0.2 to 0.8 mL / g,
[H] einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm, bevorzugt von weniger als 150 ppm, zum Beispiel weniger als 100 ppm, oder von weniger als 50 ppm, oder von weniger als 1 ppm, oder von weniger als 500 ppb, oder von weniger als 200 ppb, oder in einem Bereich von 1 ppb bis weniger als 200 ppm, oder von 1 ppb bis 100 ppm, oder von 1 ppb bis 1 ppm, oder von 10 ppb bis[H] a chlorine content of less than 200 ppm, preferably less than 150 ppm, for example less than 100 ppm, or less than 50 ppm, or less than 1 ppm, or less than 500 ppb, or less than 200 ppb, or ranging from 1 ppb to less than 200 ppm, or from 1 ppb to 100 ppm, or from 1 ppb to 1 ppm, or from 10 ppb to
500 ppb, oder von 10 ppb bis 200 ppb, besonders bevorzugt von 1 ppb bis 80 ppb; 500 ppb, or from 10 ppb to 200 ppb, more preferably from 1 ppb to 80 ppb;
[I] Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1000 ppb, bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 900 ppb, zum Beispiel in einem Bereich von 1 bis 700 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 500 ppb;  [I] Metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, preferably in a range of 1 to 900 ppb, for example in a range of 1 to 700 ppb, more preferably in a range of 1 to 500 ppb ;
[J] eine Restfeuchte von weniger als 10 Gew.-%, bevorzugt in einem Bereich von 0,01 Gew.-% bis [J] has a residual moisture of less than 10% by weight, preferably in a range of from 0.01% by weight to
5 Gew.-%, zum Beispiel von 0,02 bis 1 Gew.-%, besonders bevorzugt von 0,03 bis 0,5 Gew.-%; wobei die Gew.-%, ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats I bezogen sind. Unter dem OH-Gehalt, auch Hydroxy gruppeng ehalt, wird der Gehalt an OH-Gruppen in einem Material, zum Beispiel in Siliziumdioxidpulver, in Siliziumdioxidgranulat oder in einem Quarzglaskörper, verstanden. Der Gehalt an OH-Gruppen wird spektroskopisch nach im Infrarot durch Vergleich der ersten und der dritten OH-Bande bestimmt. Unter dem Chlorgehalt wird der Gehalt an elementarem Chlor oder Chlorid-Ionen in dem Siliziumdioxidgranulat, dem Siliziumdioxidpulver oder dem Quarzglaskörper verstanden. 5 wt .-%, for example from 0.02 to 1 wt .-%, particularly preferably from 0.03 to 0.5 wt .-%; wherein the wt .-%, ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules I. The OH content, also hydroxy group content, is understood as meaning the content of OH groups in a material, for example in silica powder, in silicon dioxide granules or in a quartz glass body. The content of OH groups is determined spectroscopically in the infrared by comparing the first and third OH bands. The chlorine content is understood as meaning the content of elemental chlorine or chloride ions in the silicon dioxide granules, the silicon dioxide powder or the quartz glass body.
Unter dem Aluminiumgehalt wird der Gehalt an elementarem Aluminium oder Aluminium-Ionen in dem Siliziumdioxidgranulat, dem Siliziumdioxidpulver oder dem Quarzglaskörper verstanden. Bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat I einen Mikroporenanteil in einem Bereich von 4 bis 5 m2/g auf; zum Beispiel in einem Bereich von 4,1 bis 4,9 m2/g; besonders bevorzugt in einem Bereich von 4,2 bis 4,8 m2/g. The aluminum content is understood as meaning the content of elemental aluminum or aluminum ions in the silicon dioxide granules, the silicon dioxide powder or the quartz glass body. Preferably, the silica granule I has a microporous fraction in a range of 4 to 5 m 2 / g; for example, in a range of 4.1 to 4.9 m 2 / g; more preferably in a range of 4.2 to 4.8 m 2 / g.
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt eine Dichte in einem Bereich von 2,1 bis 2,3 g/cm3, besonders be- vorzugt in einem Bereich von 2,18 bis 2,22 g/cm3 auf. The silica granulate I preferably has a density in a range of 2.1 to 2.3 g / cm 3 , more preferably in a range of 2.18 to 2.22 g / cm 3 .
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι, zum Beispiel in einem Bereich von 220 bis 280 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 230 bis 270 μηι auf. The silicon dioxide granulate I preferably has an average particle size in a range from 180 to 300 μm, for example in a range from 220 to 280 μm, particularly preferably in a range from 230 to 270 μm.
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt eine Partikelgröße D50 in einem Bereich von 150 bis 300 μηι, zum Beispiel in einem Bereich von 200 bis 280 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 230 bis 270 μηι. Weiterhin bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat I eine Partikelgröße D10 in einem Bereich von 50 bis 150 μηι, zum Beispiel in einem Bereich von 100 bis 150 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 120 bis 150 μηι auf. Weiterhin bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat I eine Partikelgröße D90 in einem Bereich von 250 bis 620 μηι, zum Beispiel in einem Bereich von 300 bis 550 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 300 bis 450 μηι auf. The silica granulate I preferably has a particle size D 50 in a range of 150 to 300 μm, for example in a range of 200 to 280 μm, particularly preferably in a range of 230 to 270 μm. Further preferably, the silica granules I have a particle size D 10 in a range of 50 to 150 μηι, for example in a range of 100 to 150 μηι, more preferably in a range of 120 to 150 μηι on. Further preferably, the silica granules I a particle size D 90 in a range of 250 to 620 μηι, for example in a range of 300 to 550 μηι, more preferably in a range of 300 to 450 μηι on.
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[C] oder [A]/[B]/[E] oder [A]/[B]/[G] auf, weiter bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[C]/[E] oder [A]/[B]/[C]/[G] oder [A]/[B]/[E]/[G], besonders bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[C]/[E]/[G]. The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] or [A] / [B] / [E] or [A] / [B] / [G], more preferably the combination of features [A ] / [B] / [C] / [E] or [A] / [B] / [C] / [G] or [A] / [B] / [E] / [G], particularly preferably the combination of features [A] / [B] / [C] / [e] / [G].
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[C] auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι und die Schüttdichte in einem Bereich von 0,6 bis 1,1 g/mL liegt. The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 μηι and the Bulk density is in a range of 0.6 to 1.1 g / mL.
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[E] auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι und der Aluminiumgehalt in einem Bereich von 1 bis 50 ppb liegt. The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [E], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 μηι and the Aluminum content is in a range of 1 to 50 ppb.
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination[A]/[B]/[G] auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι und das Porenvolumen in einem Bereich von 0,2 bis 0,8 mL/g liegt. Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[C]/[E] auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,6 bis 1,1 g/mL und der Aluminiumgehalt in einem Bereich von 1 bis 50 ppb liegt. Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[C]/[G] auf, wobei die BET-The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [G], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 μηι and the Pore volume is in a range of 0.2 to 0.8 mL / g. The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] / [E], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 μηι, the bulk density in a range of 0.6 to 1.1 g / mL and the aluminum content in a range of 1 to 50 ppb. The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] / [G], wherein the BET
Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,6 bis 1,1 g/mL und das Porenvolumen in einem Bereich von 0,2 bis 0,8 mL/g liegt. Surface in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 μηι, the bulk density is in a range of 0.6 to 1.1 g / mL and the pore volume is in a range of 0.2 to 0.8 mL / g.
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[E]/[G] auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι, der Aluminiumgehalt in einem Bereich von 1 bis 50 ppb und das Porenvolumen in einem Bereich von 0,2 bis 0,8 mL/g liegt. The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [E] / [G], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a range of 180 to 300 μηι, the aluminum content in a range of 1 to 50 ppb and the pore volume in a range of 0.2 to 0.8 mL / g.
Das Siliziumdioxidgranulat I weist bevorzugt die Merkmalskombination [A]/[B]/[C]/[E]/[G] auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 40 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 180 bis 300 μηι, die Schüttdichte in einem Bereich von 0,6 bis 1,1 g/mL, der Aluminiumgehalt in einem Bereich von 1 bis 50 ppb und das Porenvolumen in einem Bereich von 0,2 bis 0,8 mL/g liegt. The silica granulate I preferably has the combination of features [A] / [B] / [C] / [E] / [G], wherein the BET surface area in a range of 20 to 40 m 2 / g, the average particle size in a Range from 180 to 300 μηι, the bulk density in a range of 0.6 to 1.1 g / mL, the aluminum content in a range of 1 to 50 ppb and the pore volume in a range of 0.2 to 0.8 mL / g is.
Unter Partikelgröße wird die Größe der aus den Primärpartikeln zusammengelagerten Teilchen verstanden, die in einem Siliziumdioxidpulver, in einer Aufschlämmung oder in einem Siliziumdioxidgranulat vorliegen. Unter der mittleren Partikelgröße wird der arithmetische Mittelwert aller Partikelgrößen des genannten Stoffes verstanden. Der D50-Wert gibt an, dass 50 % der Partikel, bezogen auf die gesamte Teilchenzahl, kleiner als der angegebene Wert sind. Der D10-Wert gibt an, dass 10 % der Partikel, bezogen auf die gesamte Teilchenzahl, kleiner als der angegebene Wert sind. Der D90-Wert gibt an, dass 90 % der Partikel, bezogen auf die gesamte Teilchenzahl, kleiner als der angegebene Wert sind. Die Partikelgröße wird mittels dynamischem Bildanalyseverfahren nach ISO 13322-2:2006-11 bestimmt. Particle size is understood to be the size of the particles composed of the primary particles which are present in a silica powder, in a slurry or in a silica granulate. The mean particle size is understood as meaning the arithmetic mean of all particle sizes of said substance. The D 50 value indicates that 50% of the particles, based on the total number of particles, are smaller than the specified value. The D 10 value indicates that 10% of the particles, based on the total number of particles, are smaller than the specified value. The D 90 value indicates that 90% of the particles, based on the total number of particles, are smaller than the specified value. The particle size is determined by dynamic image analysis method according to ISO 13322-2: 2006-11.
Weiter besonders bevorzugt ist das in Schritt i.) bereitgestellte Siliziumdioxidgranulat das Siliziumdioxidgranulat II. Das Siliziumdioxidgranulat II weist folgende Merkmale auf: With particular preference, the silicon dioxide granules provided in step i.) Are the silicon dioxide granules II. The silicon dioxide granules II have the following features:
(A) eine BET-Oberfläche im Bereich von 10 bis 35 m2/g, zum Beispiel in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g, besonders bevorzugt in einem Bereich von 20 bis 30 m2/g; und (A) a BET surface area in the range of 10 to 35 m 2 / g, for example in a range of 10 to 30 m 2 / g, more preferably in a range of 20 to 30 m 2 / g; and
(B) eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 100 bis 300 μηι auf, zum Beispiel in einem Bereich von 150 bis 280 μηι oder von 200 bis 270 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 230 bis 260 μηι.  (B) an average particle size in a range of 100 to 300 μηι, for example in a range of 150 to 280 μηι or from 200 to 270 μηι, more preferably in a range of 230 to 260 μηι.
Bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat II mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale auf: The silicon dioxide granules II preferably have at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
(C) eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,7 bis 1,2 g/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 0,75 bis 1,1 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,8 bis 1,0 g/cm3; (C) a bulk density in a range of 0.7 to 1.2 g / cm 3 , for example, in a range of 0.75 to 1.1 g / cm 3 , particularly preferably in a range of 0.8 to 1 , 0 g / cm 3 ;
(D) einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 5 ppm, zum Beispiel weniger als 4,5 ppm oder in einem Bereich von 1 ppb bis 4 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 4 ppm;  (D) a carbon content of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm or in a range of from 1 ppb to 4 ppm, more preferably less than 4 ppm;
(E) einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb, zum Beispiel von weniger als 150 ppb oder von weniger als 100 ppb oder von 1 bis 150 ppb oder von 1 bis 100 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 80 ppb; (F) Stampfdichte in einem Bereich von 0,7 bis 1,2 g/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 0,75 bis 1,1 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,8 bis 1,0 g/cm3; (E) an aluminum content of less than 200 ppb, for example less than 150 ppb or less than 100 ppb or from 1 to 150 ppb or from 1 to 100 ppb, more preferably in a range of from 1 to 80 ppb; (F) tamped density in a range of 0.7 to 1.2 g / cm 3 , for example in a range of 0.75 to 1.1 g / cm 3 , particularly preferably in a range of 0.8 to 1, 0 g / cm 3 ;
(G) ein Porenvolumen in einem Bereich von 0,1 bis 2,5 mL/g, zum Beispiel in einem Bereich von 0,2 bis 1,5 mL/g; besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,4 bis 1 mL/g;  (G) a pore volume in a range of 0.1 to 2.5 mL / g, for example, in a range of 0.2 to 1.5 mL / g; more preferably in a range of 0.4 to 1 mL / g;
einen Chlorgehalt von weniger als 500 ppm, bevorzugt von weniger als 400 ppm, zum Beispiel weniger als 350 ppm oder bevorzugt von weniger als 330 ppm oder in einem Bereich von 1 ppb bis 500 ppm oder von 10 ppb bis 450 ppm besonders bevorzugt von 50 ppb bis 300 ppm; einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel in einem Bereich von 1 bis 400 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 200 ppb;  a chlorine content of less than 500 ppm, preferably less than 400 ppm, for example less than 350 ppm or preferably less than 330 ppm or in a range from 1 ppb to 500 ppm or from 10 ppb to 450 ppm particularly preferably 50 ppb up to 300 ppm; a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, for example in a range of 1 to 400 ppb, more preferably in a range of 1 to 200 ppb;
(J) eine Restfeuchte von weniger als 3 Gew.-%, zum Beispiel in einem Bereich von 0,001 Gew.-% bis 2 Gew.-%, besonders bevorzugt von 0,01 bis 1 Gew.-%,  (J) a residual moisture content of less than 3% by weight, for example in a range from 0.001% by weight to 2% by weight, particularly preferably from 0.01 to 1% by weight,
wobei die Gew.-%, ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats II bezogen sind.  wherein the wt .-%, ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules II.
Bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat II einen Mikroporenanteil in einem Bereich von 1 bis 2 m2/g zum Beispiel in einem Bereich von 1,2 bis 1,9 m2/g, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1,3 bis 1,8 m2/g auf. Preferably, the silica granule II has a microporous fraction in a range of 1 to 2 m 2 / g, for example in a range of 1.2 to 1.9 m 2 / g, particularly preferably in a range of 1.3 to 1.8 m 2 / g on.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt eine Dichte in einem Bereich von 0,5 bis 2,0 g/cm3, zum Beispiel von 0,6 bis 1,5 g/cm3, besonders bevorzugt von 0,8 bis 1,2 g/cm3 auf. Die Dichte wird entsprechend der in den Testmethoden beschriebenen Methode bestimmt. The silica granule II preferably has a density in a range from 0.5 to 2.0 g / cm 3 , for example from 0.6 to 1.5 g / cm 3 , particularly preferably from 0.8 to 1.2 g / cm 3 up. The density is determined according to the method described in the test methods.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt eine Partikelgröße D50 in einem Bereich von 150 bis 300 μηι, zum Beispiel in einem Bereich von 200 bis 280 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 230 bis 270 μηι. Wei- terhin bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat II eine Partikelgröße D10 in einem Bereich von 50 bis 150 μηι auf, zum Beispiel in einem Bereich von 100 bis 150 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 120 bis 150 μηι auf. Weiterhin bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat II eine Partikelgröße D90 in einem Bereich von 250 bis 620 μηι, zum Beispiel in einem Bereich von 300 bis 550 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 300 bis 450 μηι auf. The silica granules II preferably has a particle size D 50 in a range of 150 to 300 μηι, for example in a range of 200 to 280 μηι, more preferably in a range of 230 to 270 μηι. Furthermore, the silicon dioxide granulate II preferably has a particle size D 10 in a range from 50 to 150 μm, for example in a range from 100 to 150 μm, particularly preferably in a range from 120 to 150 μm. Further preferably, the granular silica II has a particle size D 90 in a range of 250 to 620 μηι, for example in a range of 300 to 550 μηι, more preferably in a range of 300 to 450 μηι on.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(D) oder (A)/(B)/(F) oder (A)/(B)/(I) auf, weiter bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(D)/(F) oder (A)/(B)/(D)/(I) oder (A)/(B)/(F)/(I), besonders bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(D)/(F)/(I). Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(D) auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g liegt, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 150 bis 280 μηι liegt und der Kohlenstoffgehalt weniger als 4 ppm beträgt. The silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) or (A) / (B) / (F) or (A) / (B) / (I), more preferably the combination of features (A ) / (B) / (D) / (F) or (A) / (B) / (D) / (I) or (A) / (B) / (F) / (I), particularly preferably the combination of features (A) / (B) / (D) / (F) / (I). The silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the mean particle size is in a range of 150 to 280 μηι and the carbon content is less than 4 ppm.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(F) auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 150 bis 280 μηι und die Stampfdichte in einem Bereich von 0,8 bis 1,0 g/mL liegt. Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(I) auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 150 bis 280 μηι und der Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, in einem Bereich von 1 bis 400 ppb liegt. The silica granules II preferably has the combination of features (A) / (B) / (F), wherein the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 μηι and the Tamping density is in a range of 0.8 to 1.0 g / mL. The silica granules II preferably has the combination of features (A) / (B) / (I), wherein the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 μηι and the Metal content of metals other than aluminum in a range of 1 to 400 ppb.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(D)/(F) auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g liegt, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 150 bis 280 μηι liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 4 ppm beträgt und die Stampfdichte in einem Bereich von 0,8 bis 1,0 g/mL liegt. The silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) / (F), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 μηι, the carbon content is less than 4 ppm and the tamped density is in a range of 0.8 to 1.0 g / mL.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(D)/(I) auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g liegt, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 150 bis 280 μηι liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 4 ppm beträgt und der Metallgehalt von Metallen, die von Alu- minium verschieden sind, in einem Bereich von 1 bis 400 ppb liegt. The silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) / (I), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 μηι, the carbon content is less than 4 ppm and the metal content of metals other than aluminum, in a range of 1 to 400 ppb.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(F)/(I) auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 150 bis 280 μηι, die Stampfdichte in einem Bereich von 0,8 bis 1,0 g/mL und der Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, in einem Bereich von 1 bis 400 ppb liegt. The silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (F) / (I), wherein the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in a range of 150 to 280 μηι, the tamped density in a range of 0.8 to 1.0 g / mL and the metal content of metals other than aluminum, in a range of 1 to 400 ppb.
Das Siliziumdioxidgranulat II weist bevorzugt die Merkmalskombination (A)/(B)/(D)/(F)/(I) auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g liegt, die mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 150 bis 280 μηι liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 4 ppm beträgt, die Stampfdichte in einem Bereich von 0,8 bis 1,0 g/mL liegt und der Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, in einem Bereich von 1 bis 400 ppb liegt. The silica granule II preferably has the feature combination (A) / (B) / (D) / (F) / (I), wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the average particle size in is a range of 150 to 280 μm, the carbon content is less than 4 ppm, the tamped density is in a range of 0.8 to 1.0 g / ml, and the metal content of metals other than aluminum is in a range of 1 to 400 ppb.
Schritt ii.) Step ii.)
Gemäß Schritt ii.) wird aus dem Siliziumdioxidgranulat eine Glasschmelze gebildet. Üblicherweise wird dabei das Siliziumdioxidgranulat erwärmt, bis eine Glasschmelze erhalten wird. Das Erwärmen des Siliziumdioxidgranulats zu einer Glasschmelze kann prinzipiell auf allen dem Fachmann zu diesem Zwecke bekannten Wegen erfolgen. Herstellen einer Glasschmelze According to step ii.) A glass melt is formed from the silica granules. Usually, the silica granules are heated until a glass melt is obtained. The heating of the silicon dioxide granules to a molten glass can in principle be carried out in any way known to the person skilled in the art for this purpose. Making a glass melt
Das Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulat, zum Beispiel durch Erwärmen, kann durch ein kontinuierliches Verfahren erfolgen. Im erfindungsgemäßen Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers kann das Siliziumdioxidgranulat bevorzugt kontinuierlich in einen Ofen eingebracht oder die Glasschmelze kontinuierlich dem Ofen entnommen werden, oder beides. Besonders bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat kontinuierlich in den Ofen eingebracht und die Glasschmelze kontinuierlich dem Ofen entnommen. Dazu geeignet ist prinzipiell ein Ofen, der mindestens einen Einlass und mindestens einen Auslass aufweist. Unter einem Einlass wird eine Öffnung verstanden, durch die Siliziumdioxid und gegebenenfalls weitere Stoffe in den Ofen eingetragen werden können. Unter einem Auslass wird eine Öffnung verstanden, durch die zumindest ein Teil des Siliziumdioxids aus dem Ofen entnommen werden kann. Der Ofen kann beispielsweise vertikal und horizontal ausgerichtet sein. Bevorzugt ist der Ofen vertikal ausgerichtet. Bevorzugt liegt mindestens ein Einlass über mindestens einem Auslass.„Über" bedeutet im Zusammenhang mit Einbauten und Merkmalen eines Ofens, insbesondere einem Ein- und Auslass, dass die Einbaute oder das Merkmal, das„über" einem anderen angeordnet ist, eine höhere Lage über NormalNull (NN) aufweist. Unter„vertikal" wird verstanden, dass die direkte Verbindung zwischen dem Einlass und dem Auslass des Ofens eine Abweichung von nicht mehr als 30° zur Lotrichtung aufweist. The formation of a glass melt from the silica granules, for example by heating, can be carried out by a continuous process. In the method according to the invention for producing a quartz glass body, the silicon dioxide granules may preferably be introduced continuously into an oven or the glass melt may be removed continuously from the oven, or both. More preferably, the silica granules are continuously introduced into the furnace and the molten glass continuously removed from the furnace. In principle suitable for this purpose is a furnace which has at least one inlet and at least one outlet. An inlet means an opening through which silicon dioxide and optionally further substances can be introduced into the furnace. An outlet means an opening through which at least part of the silicon dioxide can be removed from the oven. For example, the oven may be vertically and horizontally aligned. Preferably, the oven is vertically aligned. Preferably, at least one inlet is located above at least one outlet. "Above" in connection with internals and features of a furnace, in particular an inlet and outlet means that the fixture or feature located "above" another occupies a higher position NormalNull (NN). By "vertical" is meant that the direct connection between the inlet and the outlet of the furnace has a deviation of not more than 30 ° to the direction of the solder.
Erfindungsgemäß beinhaltet der Ofen einen hängenden Sintertiegel. In den hängenden Sintertiegel wird das Siliziumdioxidgranulat eingetragen und unter Erhalt einer Glasschmelze erwärmt. Unter einem Sintertiegel wird ein Tiegel verstanden, der aus einem Sintermaterial gefertigt ist, das mindestens ein Sintermetall beinhaltet und wobei das Sintermetall eine Dichte von nicht mehr als 96 % der theoretischen Dichte des Metalls aufweist. Unter Sintermetallen werden Metalle oder Legierungen verstanden, die durch Sintern von Metallpulvern erhalten werden. Bevorzugt weist das Sintermaterial des Sintertiegels eine Dichte von 85 % oder mehr der theoretischen Dichte des Sintermaterials auf, zum Beispiel eine Dichte von 85 % bis 95 % oder von 90 % bis 94 %, besonders bevorzugt von 91 % bis 93 %. According to the invention, the oven includes a hanging sintered crucible. In the suspended sintered crucible, the silica granules are introduced and heated to obtain a glass melt. A sintered crucible is understood to mean a crucible made of a sintered material containing at least one sintered metal and wherein the sintered metal has a density of not more than 96% of the theoretical density of the metal. By sintered metals is meant metals or alloys obtained by sintering metal powders. The sintered material of the sintered crucible preferably has a density of 85% or more of the theoretical density of the sintered material, for example a density of 85% to 95% or of 90% to 94%, particularly preferably of 91% to 93%.
Das Sintermaterial kann prinzipiell aus allen dem Fachmann bekannten und zum Schmelzen von Siliziumdioxid geeigneten Materialien bestehen. Bevorzugt ist das Sintermaterial gefertigt aus mindestens einem der Elemente ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Refraktärmetallen, Graphit oder mit Graphitfolie ausgeschlagenen Materialien. In principle, the sintered material can consist of all materials known to those skilled in the art and suitable for melting silicon dioxide. Preferably, the sintered material is made of at least one of the elements selected from the group consisting of refractory metals, graphite or lined with graphite foil materials.
Bevorzugt beinhaltet das Sintermaterial ein erstes Sintermetall ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Molyb- dän, Wolfram und einer Kombination davon. Weiter bevorzugt beinhaltet das Sintermaterial außerdem mindestens ein weiteres Refraktärmetall, das von dem ersten Sintermetall verschieden ist, besonders bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Molybdän, Wolfram, Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium oder einer Kombination aus zwei oder mehr davon. Bevorzugt beinhaltet das Sintermaterial eine Legierung aus Molybdän mit einem Refraktärmetall, oder Wolfram mit einem Refraktärmetall. Besonders bevorzugt als Legierungsmetall sind Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium oder einer Kombination aus zwei oder mehr davon. Gemäß einem weiteren Beispiel beinhaltet das Sintermaterial eine Legierung aus Molybdän mit Wolfram, Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium oder einer Kombination aus zwei oder mehr davon. Zum Beispiel beinhaltet das Sintermaterial eine Legierung aus Wolfram mit Mo- lybdän, Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium oder einer Kombination aus zwei oder mehr davon. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform kann das zuvor beschriebene Sintermaterial eine Beschich- tung beinhalten, die ein Refraktärmetall, insbesondere Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium oder eine Kombination aus zwei oder mehr davon enthält. Gemäß einem bevorzugten Beispiel enthält die Beschichtung Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium, Molybdän oder Wolfram, oder eine Kombination aus zwei oder mehr davon. The sintered material preferably contains a first sintered metal selected from the group consisting of molybdenum, tungsten and a combination thereof. More preferably, the sintered material further includes at least one further refractory metal other than the first sintered metal, more preferably selected from the group consisting of molybdenum, tungsten, rhenium, osmium, iridium, ruthenium, or a combination of two or more thereof. Preferably, the sintered material includes an alloy of molybdenum with a refractory metal, or tungsten with a refractory metal. Particularly preferred as the alloying metal are rhenium, osmium, iridium, ruthenium or a combination of two or more thereof. As another example, the sintered material includes an alloy of molybdenum with tungsten, rhenium, osmium, iridium, ruthenium, or a combination of two or more thereof. For example, the sintered material includes an alloy of tungsten with molybdenum, rhenium, osmium, iridium, ruthenium, or a combination of two or more thereof. According to another preferred embodiment, the above-described sintered material may include a coating containing a refractory metal, in particular rhenium, osmium, iridium, ruthenium or a combination of two or more thereof. According to a preferred example, the coating contains rhenium, osmium, iridium, ruthenium, molybdenum or tungsten, or a combination of two or more thereof.
Bevorzugt weisen das Sintermaterial und seine Beschichtung verschiedene Zusammensetzungen auf. Zum Beispiel ist ein Sintermaterial beinhaltend Molybdän mit einer oder mehreren Schichten aus Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium, Wolfram oder jeweils einer Kombination von zwei oder mehr davon beschichtet. Gemäß einem anderen Beispiel ist ein Sintermaterial beinhaltend Wolfram mit einer oder mehreren Schichten aus Rheni- um, Osmium, Iridium, Ruthenium, Molybdän oder jeweils einer Kombination von zwei oder mehr davon beschichtet. Gemäß einem weiteren Beispiel kann das Sintermaterial aus mit Rhenium legierten Molybdän oder aus mit Rhenium legierten Wolfram bestehen, und zur Tiegelinnenseite mit einer oder mehreren Schichten beinhaltend Rhenium, Osmium, Iridium, Ruthenium oder jeweils einer Kombination von zwei oder mehr davon beschichtet sein. Preferably, the sintered material and its coating have various compositions. For example, a sintered material including molybdenum is coated with one or more layers of rhenium, osmium, iridium, ruthenium, tungsten, or each a combination of two or more thereof. In another example, a sintered material including tungsten is coated with one or more layers of rhenium, osmium, iridium, ruthenium, molybdenum, or any combination of two or more thereof. As another example, the sintered material may be rhenium alloyed molybdenum or rhenium alloyed tungsten, and may be coated on the inside of the crucible with one or more layers including rhenium, osmium, iridium, ruthenium or any combination of two or more thereof.
Bevorzugt wird ein Sintertiegel durch Sintern des Sintermaterials in einer Form gefertigt. Der Sintertiegel kann als Ganzes in einer Form gefertigt werden. Es ist ebenso möglich, dass einzelne Teile des Sintertiegels in einer Form gefertigt und anschließend zu dem Sintertiegel verarbeitet werden. Bevorzugt wird der Tiegel aus mehr als einem Teil gefertigt, zum Beispiel aus einer Bodenplatte und einem oder mehreren Seitenteilen. Die Seitenteile sind bevorzugt in einem Stück bezogen auf den Umfang des Tiegels gefertigt. Bevorzugt kann der Sintertiegel aus mehreren übereinander angeordneten Seitenteilen gefertigt werden. Bevorzugt werden die Seitenteile des Sintertiegels durch Verschrauben oder durch eine Nut-Feder Verbindung abgedichtet. Ein Verschrauben erfolgt bevorzugt durch Fertigen von Seitenteilen, die an den Rändern ein Gewinde aufweisen. Bei einer Nut-Feder- Verbindung haben zwei zu verbindende Seitenteile an den Rändern je eine Nut, in die als verbindendes drittes Teil eine Feder eingesteckt wird, so dass eine formschlüssige Verbindung senkrecht zur Tiegelwandebene gebildet wird. Besonders bevorzugt wird ein Sintertiegel aus mehr als einem Seitenteil gefertigt, zum Beispiel aus zwei oder mehr Seitenteilen, besonders bevorzugt aus drei oder mehr Seitenteilen. Besonders bevorzugt sind die Teile des hängenden Sintertiegels verschraubt. Die Bodenplatte kann prinzipiell durch alle dem Fachmann bekannten und zu diesem Zweck geeigneten Maßnahmen mit der Tiegelwand verbunden werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Bodenplatte mit einem Außengewinde versehen und wird durch Einschrauben der Bodenplatte in die Tiegelwand mit dieser verbunden. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform wird die Bodenplatte mit Hilfe von Schrauben mit der Tiegelwand verbunden. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform wird die Bodenplatte in den Sintertiegel eingehängt, beispielsweise durch einlegen der Bodenplatte auf einen Innenkragen der Tiegelwand. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform werden zumindest ein Teil der Tiegelwand und eine verdickte Bodenplatte in einem Stück gesintert. Besonders bevorzugt sind die Bodenplatte und die Tiegelwand des hängenden Sintertiegels verschraubt. Bevorzugt ist die in einem Sintertiegel enthaltene Bodenplatte dicker als die Seiten, zum Beispiel 1,1 bis 20 mal dicker oder 1,2 bis 10 mal dicker oder 1,5 bis 7 mal dicker, besonders bevorzugt 2 bis 5 mal dicker. Bevorzugt weisen die Seiten über den Umfang und über die Höhe des Sintertiegels eine konstante Wandstärke auf. Der Sintertiegel weist eine Düse auf. Die Düse ist aus einem Düsenmaterial gebildet. Bevorzugt beinhaltet das Düsenmaterial ein vorverdichtetes Material, zum Beispiel mit einer Dichte in einem Bereich von mehr als 95 %, zum Beispiel von 98 bis 100%, besonders bevorzugt von 99 bis 99,999 %, jeweils bezogen auf die theoretische Dichte des Düsenmaterials. Bevorzugt beinhaltet das Düsenmaterial ein Refraktärmetall, zum Beispiel Molybdän, Wolfram oder eine Kombination davon mit einem Refraktärmetall. Als Düsenmaterial besonders bevorzugt ist Molybdän. Bevorzugt kann eine Düse beinhaltend Molybdän eine Dichte von 100 % der theoretischen Dichte aufweisen. Preferably, a sintered crucible is made by sintering the sintered material in a mold. The sintered crucible can be made as a whole in one mold. It is also possible that individual parts of the sintered crucible are manufactured in a mold and subsequently processed into the sintered crucible. Preferably, the crucible is made of more than one part, for example, a bottom plate and one or more side parts. The side parts are preferably manufactured in one piece based on the circumference of the crucible. Preferably, the sintered crucible can be manufactured from a plurality of side parts arranged one above the other. Preferably, the side parts of the sintered crucible are sealed by screwing or by a tongue and groove joint. Screwing is preferably done by making side pieces which have a thread at the edges. In a tongue and groove connection, two side parts to be joined each have a groove at the edges, into which a spring is inserted as a connecting third part, so that a positive connection is formed perpendicular to the crucible wall plane. Particularly preferably, a sintered crucible is produced from more than one side part, for example from two or more side parts, particularly preferably from three or more side parts. Particularly preferably, the parts of the hanging sintered crucible are screwed. The bottom plate can in principle be connected to the crucible wall by all measures known to the person skilled in the art and suitable for this purpose. According to a preferred embodiment, the bottom plate is provided with an external thread and is connected by screwing the bottom plate in the crucible wall with this. According to a further preferred embodiment, the bottom plate is connected by means of screws with the crucible wall. According to a further preferred embodiment, the bottom plate is suspended in the sintered crucible, for example by inserting the bottom plate on an inner collar of the crucible wall. According to another preferred embodiment, at least a part of the crucible wall and a thickened bottom plate are sintered in one piece. Particularly preferably, the bottom plate and the crucible wall of the hanging sintered crucible are screwed. Preferably, the bottom plate contained in a sintered crucible is thicker than the sides, for example 1.1 to 20 times thicker or 1.2 to 10 times thicker or 1.5 to 7 times thicker, more preferably 2 to 5 times thicker. The sides preferably have a constant wall thickness over the circumference and over the height of the sintered crucible. The sinter crucible has a nozzle. The nozzle is formed of a nozzle material. The nozzle material preferably comprises a precompressed material, for example with a density in a range of more than 95%, for example from 98 to 100%, particularly preferably from 99 to 99.999%, in each case based on the theoretical density of the nozzle material. Preferably, the nozzle material includes a refractory metal, for example, molybdenum, tungsten, or a combination thereof with a refractory metal. Particularly preferred nozzle material is molybdenum. Preferably, a nozzle containing molybdenum may have a density of 100% of the theoretical density.
Der hängende Sintertiegel kann prinzipiell auf jede dem Fachmann geläufige und hierfür geeignet erscheinende Weise beheizt werden. Der hängende Sintertiegel kann beispielsweise induktiv oder resistiv erhitzt werden. Bei induktiver Heizung wird die Energie direkt durch Spulen in die Seitenwand des Sintertiegels eingekoppelt und von dort an die Tiegelinnenseite abgegeben. Bei resistiver Heizung wird die Energie durch Strahlung eingekoppelt, wobei die feste Oberfläche von außen erwärmt wird und die Energie von dort an deren Innenseite abgegeben wird. Bevorzugt wird der Sintertiegel induktiv erhitzt. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt der Energieeintrag in den Sintertiegel nicht durch ein Erwärmen des Sintertiegels, oder eines darin vorliegenden Schmelzguts, oder beidem, mittels einer Flamme, wie zum Beispiel einer in den Sintertiegel oder auf den Sintertiegel gerichteten Brennerflamme. Bevorzugt weist der Sintertiegel eine oder mehr als eine Heizzone auf, zum Beispiel eine oder zwei oder drei oder mehr als drei Heizzonen, bevorzugt eine oder zwei oder drei Heizzonen, besonders bevorzugt eine Heizzone. Die Heizzonen des Sintertiegels können auf die gleiche oder unterschiedliche Temperaturen gebracht werden. Zum Beispiel können alle Heizzonen auf eine Temperatur oder alle Heizzonen auf verschiedene Temperaturen oder zwei oder mehr Heizzonen auf eine und eine oder mehr Heizzonen unabhängig voneinander auf andere Tempera- turen gebracht werden. Bevorzugt werden alle Heizzonen auf unterschiedliche Temperaturen gebracht, zum Beispiel nimmt die Temperatur der Heizzonen in Richtung des Materialtransports des Siliziumdioxidgranulats zu. The hanging sintered crucible can in principle be heated in any manner familiar to the person skilled in the art and appear suitable for this purpose. The hanging sintered crucible can be heated, for example, inductively or resistively. With inductive heating, the energy is coupled directly by means of coils in the side wall of the sinter crucible and discharged from there to the inside of the crucible. In resistive heating, the energy is coupled by radiation, the solid surface is heated from the outside and the energy is discharged from there to the inside. The sintered crucible is preferably heated inductively. According to a preferred embodiment of the present invention, the energy input into the sintered crucible is not effected by heating the sinter crucible, or a melt therein, or both, by means of a flame, such as a burner flame directed into the sinter crucible or crucible. Preferably, the sintered crucible has one or more than one heating zone, for example one or two or three or more than three heating zones, preferably one or two or three heating zones, particularly preferably a heating zone. The heating zones of the sinter crucible can be brought to the same or different temperatures. For example, all heating zones can be heated to one temperature or all heating zones to different temperatures, or two or more heating zones to one and one or more heating zones can be independently brought to different temperatures. Preferably, all heating zones are brought to different temperatures, for example, the temperature of the heating zones increases in the direction of material transport of the silica granules.
Unter einem hängenden Sintertiegel wird ein Sintertiegel der zuvor beschriebenen Art verstanden, der in einem Ofen hängend angeordnet ist. A hanging sintered crucible is understood to mean a sinter crucible of the type described above, which is suspended in a furnace.
Bevorzugt weist der hängende Sintertiegel mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt alle der folgenden Merkmale auf: Preferably, the hanging sintered crucible has at least one, for example at least two or at least three or at least four, particularly preferably all of the following features:
{a} eine Aufhängung, bevorzugt eine höhenverstellbare Aufhängung;  {a} a suspension, preferably a height-adjustable suspension;
{b} mindestens zwei abgedichtete Ringe als Seitenteile, bevorzugt mindestens zwei miteinander ver- schraubte Ringe als Seitenteile;  {b} at least two sealed rings as side parts, preferably at least two rings screwed together as side parts;
{c} eine Düse, bevorzugt eine fest mit dem Tiegel verbundene Düse; {d} einen Dorn, zum Beispiel einen mit Stegen an der Düse befestigten Dorn oder einen mit einer Haltestange am Deckel befestigten Dorn oder einen von unterhalb des Tiegels mit einer Haltestange verbundenen Dorn; {c} a nozzle, preferably a nozzle fixedly connected to the crucible; {d} a mandrel, for example a mandrel fixed to the nozzle by means of webs or a mandrel fastened to the cover by means of a support rod or a mandrel connected to a support rod from below the crucible;
{e} mindestens einen Gaseinlass, z.B. in Form eines Füllrohrs oder als separater Einlass, besonders bevorzugt in Form eines Füllrohrs;  {e} at least one gas inlet, e.g. in the form of a filling tube or as a separate inlet, particularly preferably in the form of a filling tube;
{f) mindestens einen Gasauslass, z.B. am Deckel oder in der Wand des Tiegels,  {f) at least one gas outlet, e.g. on the lid or in the wall of the crucible,
{g} einen gekühlten Mantel, besonders bevorzugt einen wassergekühlten Mantel;  {g} a cooled jacket, more preferably a water-cooled jacket;
{h} eine Isolation auf der Außenseite des Tiegels, zum Beispiel auf der Außenseite des gekühlten Mantels, bevorzugt eine Isolationsschicht aus Zirkoniumoxid.  {h} an insulation on the outside of the crucible, for example on the outside of the cooled shell, preferably an insulating layer of zirconium oxide.
Als Aufhängung bevorzugt ist eine bei der Fertigung des hängenden Sintertiegels angebrachte Aufhängung, zum Beispiel eine als integraler Bestandteil des Tiegels vorgesehene Aufhängung, besonders bevorzugt eine als integraler Bestandteil des Tiegels vorgesehene Aufhängung aus dem Sintermaterial. Als Aufhängung weiterhin bevorzugt ist eine an den Sintertiegel angebrachte Aufhängung aus einem von dem Sintermaterial verschiedenen Mate- rial, zum Beispiel aus Aluminium, Stahl, Eisen, Nickel oder Kupfer, bevorzugt aus Kupfer, besonders bevorzugt eine gekühlte, zum Beispiel eine wassergekühlte, an den Sintertiegel angebrachte Aufhängung aus Kupfer. Preferred as a suspension is a suspension mounted in the production of the hanging sintered crucible, for example a suspension provided as an integral part of the crucible, more preferably a suspension of the sintered material provided as an integral part of the crucible. Further preferred as a suspension is a suspension attached to the sintered crucible made of a material other than the sintered material, for example aluminum, steel, iron, nickel or copper, preferably copper, more preferably a cooled one, for example a water-cooled one Sinter crucible mounted copper suspension.
Durch die hängende Anordnung kann der hängende Sintertiegel im Ofen bewegt werden. Bevorzugt kann der Tiegel in den Ofen zumindest teilweise hinein- und herausgefahren werden. Liegen im Ofen verschiedene Heiz- zonen vor, werden deren Temperaturprofile auf den sich im Ofen befindlichen Tiegel übertragen. Durch das Verändern der Position des Tiegels im Ofen können so mehrere Heizzonen, variierende Heizzonen oder mehrere variierende Heizzonen im Tiegel realisiert werden. Due to the hanging arrangement, the hanging sintered crucible can be moved in the oven. Preferably, the crucible can be at least partially moved in and out of the furnace. If different heating zones are present in the oven, their temperature profiles are transferred to the crucible located in the oven. By changing the position of the crucible in the oven so several heating zones, varying heating zones or several varying heating zones can be realized in the crucible.
Bevorzugt ist der Tiegel so mit dem Einlass und dem Auslass des Ofens verbunden, dass durch den Einlass des Ofens Siliziumdioxidgranulat über den Einlass des Tiegels in den Tiegel gelangen kann und durch den Auslass des Tiegels und den Auslass des Ofens Glasschmelze entnommen werden kann. Preferably, the crucible is connected to the inlet and outlet of the furnace such that silica granules can pass into the crucible through the inlet of the furnace via the inlet of the crucible and glass melt can be withdrawn through the outlet of the crucible and the outlet of the furnace.
Bevorzugt beinhaltet der Tiegel neben dem mindestens einen Einlass mindestens eine Öffnung, bevorzugt mehrere Öffnungen, durch die Gas ein- und ausgeleitet werden kann. Bevorzugt umfasst der Tiegel mindestens zwei Öffnungen, wobei mindestens eine als Gaseinlass und mindestens eine als Gasauslass verwendet werden kann. Bevorzugt führt die Verwendung mindestens einer Öffnung als Gaseinlass und mindestens einer Öffnung als Gasauslass zu einem Gasstrom im Tiegel. Preferably, the crucible adjacent to the at least one inlet at least one opening, preferably a plurality of openings through which gas can be introduced and discharged. Preferably, the crucible comprises at least two openings, wherein at least one can be used as a gas inlet and at least one as a gas outlet. The use of at least one opening as gas inlet and at least one opening as gas outlet preferably leads to a gas flow in the crucible.
Durch den Einlass des Tiegels wird das Siliziumdioxidgranulat in den Tiegel eingebracht und anschließend im Tiegel erwärmt. Das Erwärmen kann in Anwesenheit eines Gases oder eines Gemisches aus zwei oder mehr Gasen durchgeführt werden. Beim Erwärmen kann außerdem an das Siliziumdioxidgranulat gebundenes Wasser in die Gasphase übergehen und so ein weiteres Gas bilden. Das Gas oder das Gemisch aus zwei oder mehr Gasen befindet sich im Gasraum des Tiegels. Unter dem Gasraum des Tiegels wird der Bereich im Innern des Tiegels verstanden, der nicht von einer festen oder flüssigen Phase belegt ist. Geeignete Gase sind zum Beispiel Wasser - stoff, Inertgase sowie zwei oder mehr davon. Unter Inertgasen werden solche Gase verstanden, die bis zu einer Temperatur von 2400 °C mit den im Tiegel vorgesehenen Stoffen nicht reagieren. Bevorzugte Inertgase sind Stickstoff, Helium, Neon, Argon, Krypton und Xenon, besonders bevorzugt Argon und Helium. Bevorzugt wird das Erwärmen in reduzierender Atmosphäre durchgeführt. Diese kann bevorzugt durch Wasserstoff oder eine Kombination von Wasserstoff und einem Inertgas, zum Beispiel durch eine Kombination von Wasserstoff und Helium, oder von Wasserstoff und Stickstoff, oder von Wasserstoff und Argon, besonders bevorzugt durch eine Kombination aus Wasserstoff und Helium bereitgestellt werden. Through the inlet of the crucible, the silica granules are introduced into the crucible and then heated in the crucible. The heating may be carried out in the presence of a gas or a mixture of two or more gases. Upon heating, water bound to the silica granules may also pass into the gas phase to form another gas. The gas or mixture of two or more gases is in the headspace of the crucible. The gas space of the crucible is understood to mean the area inside the crucible which is not occupied by a solid or liquid phase. Suitable gases are, for example, hydrogen, inert gases and two or more thereof. Inert gases are understood to mean those gases which do not react with the substances provided in the crucible up to a temperature of 2400 ° C. Preferred inert gases are Nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon, most preferably argon and helium. Preferably, the heating is carried out in a reducing atmosphere. This may preferably be provided by hydrogen or a combination of hydrogen and an inert gas, for example by a combination of hydrogen and helium, or of hydrogen and nitrogen, or of hydrogen and argon, more preferably by a combination of hydrogen and helium.
Bevorzugt wird ein zumindest teilweiser Gasaustausch von Luft, Sauerstoff und Wasser gegen Wasserstoff, mindestens ein Inertgas, oder gegen eine Kombination von Wasserstoff und mindestens einem Inertgas an dem Siliziumdioxidgranulat durchgeführt. Der zumindest teilweise Gasaustausch wird an dem Siliziumdioxidgranulat beim Einbringen des Siliziumdioxidgranulats, oder vor dem Erwärmen, oder während des Erwärmens, oder während mindestens zwei der vorgenannten Tätigkeiten durchgeführt. Bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat in einem Gasstrom von Wasserstoff und mindestens einem Inertgas, zum Beispiel Argon oder Helium, zum Schmelzen erwärmt. Bevorzugt beträgt der Taupunkt des Gases beim Austritt durch den Gasauslass weniger als 0°C. Preferably, an at least partial gas exchange of air, oxygen and water to hydrogen, at least one inert gas, or against a combination of hydrogen and at least one inert gas is carried out on the silica granules. The at least partial gas exchange is performed on the silica granules upon introduction of the silica granules, or before heating, or during heating, or during at least two of the aforementioned activities. Preferably, the silica granules are heated to melt in a gas stream of hydrogen and at least one inert gas, for example, argon or helium. Preferably, the dew point of the gas as it exits through the gas outlet is less than 0 ° C.
Unter dem Taupunkt wird die Temperatur verstanden, unterhalb der bei unverändertem Druck ein Bestandteil des untersuchten Gases oder Gasgemisches kondensiert. Im Allgemeinen versteht man darunter die Kondensation von Wasser. Der Taupunkt wird mit einem Taupunktspiegelhygrometer gemäß der im Methodenteil beschriebenen Messmethode bestimmt The dew point is understood to mean the temperature below which, under unchanged pressure, a constituent of the gas or gas mixture under investigation condenses. In general, this refers to the condensation of water. The dew point is determined with a dew point mirror hygrometer according to the measuring method described in the Methods section
Bevorzugt weist der Ofen, bevorzugt auch ein darin befindlicher Schmelztiegel, mindestens einen Gasauslass auf, durch den dem Ofen zugeführtes und beim Betrieb des Ofens gebildetes Gas entnommen wird. Der Ofen kann zudem mindestens einen dedizierten Gaseinlass aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann Gas durch die Fest- Stoffzuführung, auch als Feststoffeinlass bezeichnet, eingebracht werden, zum Beispiel zusammen mit den Siliziumdioxidpartikeln, oder davor, danach, oder durch eine Kombination von zwei oder mehr der vorgenannten Möglichkeiten. Preferably, the furnace, preferably also a crucible located therein, at least one gas outlet, is removed through the gas supplied to the furnace and formed during operation of the furnace. The furnace may also have at least one dedicated gas inlet. Alternatively or additionally, gas may be introduced through the solids feed, also referred to as a solids inlet, for example, together with the silica particles, or before, after, or by a combination of two or more of the foregoing.
Bevorzugt weist das Gas, das durch den Gasauslass dem Ofen entnommen wird, beim Austritt aus dem Ofen durch den Gasauslass einen Taupunkt von weniger als 0°C, zum Beispiel von weniger als -10°C, oder weniger als -20°C auf. Der Taupunkt wird gemäß der im Methodenteil beschriebenen Messmethode bei einem schwachen Überdruck von 5 bis 20 mbar bestimmt. Als Messgerät geeignet ist zum Beispiel ein Gerät mit der Bezeichnung „Optidew" der Firma Michell Instruments GmbH, D-61381 Friedrichsdorf. Der Taupunkt des Gases wird bevorzugt an einer Messstelle in einem Abstand von 10 cm oder mehr von dem Gasauslass des Ofens bestimmt. Oftmals beträgt dieser Abstand zwischen 10 cm und 5 m. In diesem Abstandsbereich - hier beschrieben durch„beim Austritt" - ist der Abstand der Messstelle vom Gasauslass des Ofens für das Ergebnis der Taupunktmessung unerheblich. Das Gas wird von dem Auslass bis zur Messstelle fluidleitend geführt, zum Beispiel in einem Schlauch oder einem Rohr. Die Temperatur des Gases beträgt an der Messstelle oftmals zwischen 10 und 60°C, zum Beispiel 20 bis 50°C insbesondere 20 bis 30°C. Geeignete Gase und Gasgemische wurden bereits beschrieben. Es wurde im Rahmen eigener Versuche festgestellt, dass die vorstehend genannten Angaben für jedes der genannten Gase und Gasgemische gilt. Preferably, the gas withdrawn from the furnace through the gas outlet, upon exiting the furnace through the gas outlet, has a dew point of less than 0 ° C, for example less than -10 ° C, or less than -20 ° C. The dew point is determined according to the measuring method described in the method section at a slight overpressure of 5 to 20 mbar. For example, a device called "Optidew" from Michell Instruments GmbH, D-61381 Friedrichsdorf is suitable as a measuring device The dew point of the gas is preferably determined at a measuring point at a distance of 10 cm or more from the gas outlet of the furnace this distance is between 10 cm and 5 m. In this distance range - here described by "at the outlet" - the distance of the measuring point from the gas outlet of the furnace is irrelevant for the result of the dew point measurement. The gas is guided in a fluid-conducting manner from the outlet to the measuring point, for example in a hose or a pipe. The temperature of the gas at the measuring point is often between 10 and 60 ° C, for example 20 to 50 ° C, in particular 20 to 30 ° C. Suitable gases and gas mixtures have already been described. It was found in the course of our own experiments that the above information applies to each of the gases and gas mixtures mentioned.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist das Gas oder das Gasgemisch vor Eintritt in den Ofen, insbesondere den Schmelztiegel einen Taupunkt von weniger als -50°C, zum Beispiel weniger als -60°C, oder weniger als -70°C, oder weniger als -80 °C auf. Ein Taupunkt von -60°C wird in der Regel nicht überschritten. Ebenfalls sind folgende Bereiche für den Taupunkt bei Eintritt in den Ofen bevorzugt: von -50 bis -100°C; von - 60 bis -100°C und von -70 bis -100°C. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform beträgt der Taupunkt des Gases vor Eintritt in den Ofen mindestens 50°C weniger als beim Austritt aus dem Schmelztiegel, zum Beispiel mindestens 60°C, oder auch 80°C. Für das Messen des Taupunkts beim Austritt aus dem Schmelztiegel gelten die obenstehenden Angaben. Für eine Messung des Taupunkts vor Eintritt in den Ofen gilt entsprechendes. Da zwischen dem Ort der Messung und dem Ofen keine Quelle für einen Feuchtigkeitseintrag und keine Möglichkeit des Kondensationsnieder - schlage vorgesehen ist, kommt es hier auf den Abstand der Messstelle zum Gaseinlass des Ofens nicht an. According to another preferred embodiment, the gas or gas mixture before entry into the furnace, in particular the crucible, has a dew point of less than -50 ° C, for example less than -60 ° C, or less than -70 ° C, or less than -80 ° C. A dew point of -60 ° C is usually not exceeded. Also preferred are the following ranges for the dew point when entering the oven: from -50 to -100 ° C; from -60 to -100 ° C and from -70 to -100 ° C. According to a further preferred embodiment, the dew point of the gas before entering the furnace is at least 50 ° C less than when it leaves the crucible, for example at least 60 ° C, or even 80 ° C. For measuring the dew point at the exit from the crucible, the above information applies. The same applies to a measurement of the dew point before entering the furnace. Since there is no source of moisture input and no possibility of condensation precipitation between the location of the measurement and the oven, the distance between the measuring point and the gas inlet of the oven is not important here.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird der Ofen insbesondere der Schmelztiegel mit einer Gasaustauschrate in einem Bereich von 200 bis 3000 L/h betrieben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird der Taupunkt in einer Messzelle bestimmt, wobei die Messzelle durch eine Membran von dem durch den Gasauslass tretenden Gas getrennt ist. Die Membran ist bevorzugt permeabel für Feuchtigkeit. Mit dieser Maßnahme kann die Messzelle vor einer im Gasstrom befindlichen Menge an Staub und anderen Partikeln geschützt werden, die durch den Gasstrom aus dem Schmelzofen, insbesondere einem Schmelztiegel mit ausgetragen werden. Durch diese Maßnahme kann die Einsatzzeit einer Messsonde erheb- lieh verlängert werden. Die Einsatzzeit bedeutet die Zeitspanne unter dem Betrieb des Ofens, während der weder ein Austausch der Messsonde, noch Reinigen der Messsonde erforderlich werden. According to a preferred embodiment, the furnace, in particular the crucible, is operated at a gas exchange rate in a range from 200 to 3000 L / h. According to a preferred embodiment, the dew point is determined in a measuring cell, wherein the measuring cell is separated by a membrane from the gas passing through the gas outlet. The membrane is preferably permeable to moisture. With this measure, the measuring cell can be protected from a gas stream in the amount of dust and other particles that are discharged through the gas stream from the furnace, in particular a crucible with. As a result of this measure, the service life of a measuring probe can be considerably extended. The time of use means the period of time during the operation of the furnace during which neither replacement of the probe nor cleaning of the probe is required.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird zum Bestimmen des Taupunkts ein Taupunktspiegelmessgerät eingesetzt. According to a preferred embodiment, a dew point mirror measuring device is used to determine the dew point.
Der Taupunkt am Gasauslass des Ofens kann eingestellt werden. Bevorzugt beinhaltet ein Verfahren zum Einstellen des Taupunkts am Auslass des Ofens die folgenden Schritte: The dew point at the gas outlet of the oven can be adjusted. Preferably, a method of adjusting the dew point at the outlet of the furnace includes the following steps:
I) Bereitstellen eines Eingangsmaterials in einem Ofen, wobei das Eingangsmaterial eine Restfeuchte aufweist;  I) providing an input material in an oven, the input material having residual moisture;
II) Betreiben des Ofens, wobei ein Gasstrom durch den Ofen geführt wird, und  II) operating the furnace, wherein a gas flow is passed through the furnace, and
III) Variieren der Restfeuchte des Eingangsmaterials, oder der Gasaustauschrate des Gasstroms.  III) varying the residual moisture of the input material, or the gas exchange rate of the gas stream.
Bevorzugt kann durch dieses Verfahren der Taupunkts auf einem Bereich von weniger als 0°C, zum Beispiel von weniger als -10°C, besonders bevorzugt von weniger als -20°C eingestellt werden. Weiter bevorzugt kann der Taupunkt auf einem Bereich von weniger als 0°C bis -100°C, zum Beispiel von weniger als -10°C bis -80°C, besonders bevorzugt von weniger als -20°C bis -60°C eingestellt werden. Unter„Eingangsmaterial" werden zum Herstellen eines Quarzglaskörpers bereitgestellte Siliziumdioxidpartikel verstanden, bevorzugt Siliziumdioxidgranulat, Siliziumdioxidkörnung oder Kombinationen davon. Die Siliziumdioxidpartikel, das Granulat und die Körnung sind bevorzugt durch die im Rahmen des ersten Gegenstands be- schriebenen Merkmale gekennzeichnet. Preferably, by this method, the dew point can be adjusted to a range of less than 0 ° C, for example, less than -10 ° C, more preferably less than -20 ° C. More preferably, the dew point can be set in a range of less than 0 ° C to -100 ° C, for example, less than -10 ° C to -80 ° C, more preferably less than -20 ° C to -60 ° C become. The term "input material" is understood as meaning silicon dioxide particles provided for the production of a quartz glass body, preferably silica granules, silica granules or combinations thereof The silicon dioxide particles, the granules and the granules are preferably characterized by the features described in the context of the first article.
Der Ofen und der Gasstrom sind bevorzugt durch die im Rahmen des ersten Gegenstands beschriebenen Merkmale gekennzeichnet. Bevorzugt wird der Gasstrom durch Einleiten eines Gases durch einen Einlass in den Ofen und durch Ausleiten eines Gases durch einen Auslass aus dem Ofen gebildet. Unter der„Gasaustauschrate" wird das Volumen an Gas verstanden, dass pro Zeit durch den Auslass aus dem Ofen geführt wird. Die Gasaustauschrate wird auch als Durchsatz des Gasstroms oder als Volumendurchsatz bezeichnet. The furnace and the gas stream are preferably characterized by the features described in the context of the first subject. Preferably, the gas stream is formed by introducing a gas through an inlet into the furnace and discharging a gas through an outlet from the furnace. The "gas exchange rate" is understood to mean the volume of gas that is passed out of the furnace per outlet through the outlet, The gas exchange rate is also referred to as the flow rate of the gas or as the volume flow rate.
Das Einstellen des Taupunkts kann insbesondere durch Variieren der Restfeuchte des Eingangsmaterials oder der Gasaustauschrate des Gasstroms erfolgen. Beispielsweise kann durch Erhöhung von Restfeuchte des Eingangsma- terials der Taupunkt erhöht werden. Durch Verringern von Restfeuchte des Eingangsmaterials kann der Taupunkt erniedrigt werden. Eine erhöhte Gasaustauschrate kann zu einer Verringerung des Taupunkts führen. Eine verringerte Gasaustauschrate kann dagegen einen erhöhten Taupunkt zur Folge haben. The setting of the dew point can be effected in particular by varying the residual moisture of the input material or the gas exchange rate of the gas stream. For example, by increasing the residual moisture of the input material, the dew point can be increased. By reducing residual moisture of the input material, the dew point can be lowered. An increased gas exchange rate can lead to a reduction in the dew point. On the other hand, a reduced gas exchange rate can result in an increased dew point.
Bevorzugt liegt die Gasaustauschrate des Gasstroms in einem Bereich von 200 bis 3000 L/h, zum Beispiel von 200 bis 2000 L/h, besonders bevorzugt von 200 bis 1000 L/h. The gas exchange rate of the gas stream is preferably in a range from 200 to 3000 L / h, for example from 200 to 2000 L / h, particularly preferably from 200 to 1000 L / h.
Die Restfeuchte des Eingangsmaterials liegt bevorzugt in einem Bereich von 0,001 Gew.-% bis 5 Gew.-%, zum Beispiel von 0,01 bis 1 Gew.-%, besonders bevorzugt von 0,03 bis 0,5 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Eingangsmaterials. The residual moisture of the starting material is preferably in a range from 0.001% by weight to 5% by weight, for example from 0.01 to 1% by weight, particularly preferably from 0.03 to 0.5% by weight, in each case based on the total weight of the input material.
Bevorzugt kann der Taupunkt darüber hinaus durch weitere Maßnahmen beeinflusst werden. Beispiele solcher Maßnahmen sind Taupunkt des Gasstroms beim Eintritt in den Ofen, die Ofentemperatur und die Zusammensetzung des Gasstroms. Eine Verringerung des Taupunkts des Gasstroms beim Eintritt in den Ofen, einer Verringerung der Ofentemperatur oder eine Verringerung der Temperatur des Gasstroms am Auslass des Ofens können zu einer Verringerung des Taupunkts des Gasstroms am Auslass führen. Die Temperatur des Gasstroms am Ausgang des Ofens hat keinen Einfluss auf den Taupunkt, sofern sie oberhalb des Taupunkts liegt. In addition, the dew point can preferably be influenced by further measures. Examples of such measures are the dew point of the gas stream entering the furnace, the furnace temperature and the composition of the gas stream. Reducing the dew point of the gas stream as it enters the furnace, reducing the furnace temperature, or decreasing the temperature of the gas stream at the outlet of the furnace may result in a reduction in the dew point of the gas stream at the outlet. The temperature of the gas stream at the exit of the furnace has no influence on the dew point, if it is above the dew point.
Besonders bevorzugt wird zum Einstellen des Taupunkts am Auslass des Ofens die Gasaustauschrate des Gasstroms variiert. More preferably, to adjust the dew point at the outlet of the furnace, the gas exchange rate of the gas stream is varied.
Bevorzugt ist das Verfahren durch mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei, besonders bevorzugt mindestens vier der folgenden Merkmale gekennzeichnet: The process is preferably characterized by at least one, for example at least two or at least three, more preferably at least four of the following features:
1} eine Restfeuchte des Eingangsmaterials in einem Bereich von 0,001 bis 5 Gew.-%, zum Beispiel von 0,01 bis 1 Gew.-%, besonders bevorzugt von 0,03 bis 0,5 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Ge- samtgewicht des Eingangsmaterials; Π} eine Gasaustauschrate des Gasstroms in einem Bereich von 200 bis 3000 L/h, zum Beispiel von 200 bis 2000 L/h, besonders bevorzugt von 200 bis 1000 L/h; 1} a residual moisture of the input material in a range of 0.001 to 5 wt .-%, for example from 0.01 to 1 wt .-%, particularly preferably from 0.03 to 0.5 wt .-%, each based on the Total weight of the input material; Π} a gas exchange rate of the gas stream in a range from 200 to 3000 L / h, for example from 200 to 2000 L / h, more preferably from 200 to 1000 L / h;
III} eine Ofentemperatur in einem Bereich von 1700 bis 2500°C, zum Beispiel in einem Bereich von 1900 bis 2400°C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 2100 bis 2300°C;  III} an oven temperature in a range of 1700 to 2500 ° C, for example in a range of 1900 to 2400 ° C, more preferably in a range of 2100 to 2300 ° C;
IV} einen Taupunkt des Gasstroms beim Eintritt in den Ofen in einem Bereich von -50°C bis -100°C, zum Beispiel von -60°C bis -100°C, besonders bevorzugt von -70°C bis -100°C;  IV} a dew point of the gas stream entering the furnace in a range of -50 ° C to -100 ° C, for example from -60 ° C to -100 ° C, more preferably from -70 ° C to -100 ° C. ;
V} der Gasstrom Helium, Wasserstoff oder eine Kombination davon beinhaltet, bevorzugt Helium und Wasserstoff in einem Verhältnis von 20:80 bis 95:5;  V} the gas stream comprises helium, hydrogen or a combination thereof, preferably helium and hydrogen in a ratio of from 20:80 to 95: 5;
VI} eine Temperatur des Gases am Auslass in einem Bereich von 10 bis 60°C, zum Beispiel von 20 bis 50°C, besonders bevorzugt von 20 bis 30°C.  VI} a temperature of the gas at the outlet in a range of 10 to 60 ° C, for example from 20 to 50 ° C, particularly preferably from 20 to 30 ° C.
Es ist beispielsweise bevorzugt, bei Verwendung eines Siliziumdioxidgranulats mit hoher Restfeuchte einen Gasstrom mit hoher Gasaustauschrate und einem geringen Taupunkt am Einlass des Ofens zu verwenden. Bei Verwendung eines Siliziumdioxidgranulats mit einer geringen Restfeuchte kann dagegen ein Gasstrom mit gerin- ger Gasaustauschrate und einem höheren Taupunkt am Einlass des Ofens verwendet werden. For example, it is preferable to use a gas stream with a high gas exchange rate and a low dew point at the inlet of the furnace when using a granular silica with a high residual moisture content. On the other hand, when using silica granules with a low residual moisture content, a gas stream with a low gas exchange rate and a higher dew point can be used at the inlet of the furnace.
Besonders bevorzugt liegt bei der Verwendung eines Siliziumdioxidgranulats mit einer Restfeuchte von weniger als 3 Gew.-% die Gasaustauschrate eines Gasstroms beinhaltend Helium und Wasserstoff in einem Bereich von 200 bis 3000 L/h. When using a silica granulate having a residual moisture content of less than 3% by weight, the gas exchange rate of a gas stream comprising helium and hydrogen is particularly preferably in the range from 200 to 3000 L / h.
Wird ein Siliziumdioxidgranulat mit einer Restfeuchte von 0,1 % in einer Menge von 30 kg/h dem Ofen zugeführt, wird bevorzugt eine Gasaustauschrate des Gasstroms, im Fall von He/H2 = 50:50 in einem Bereich von 2800 bis 3000 l/h, im Fall von He/H2 = 30:70 in einem Bereich von 2700 bis 2900 l/h und ein Taupunkt des Gasstroms vor Eintritt in den Ofen von -90 °C gewählt. Am Gasauslass wird so ein Taupunkt von weniger als 0°C erhalten. When a silica granule having a residual moisture content of 0.1% in an amount of 30 kg / h is supplied to the furnace, a gas exchange rate of the gas stream is preferred, in the case of He / H 2 = 50:50 in a range of 2800 to 3000 l / h, in the case of He / H 2 = 30:70, in a range of 2700 to 2900 l / h, and a dew point of the gas flow before entry into the furnace of -90 ° C is selected. At the gas outlet, a dew point of less than 0 ° C is obtained.
Wird ein Siliziumdioxidgranulat mit einer Restfeuchte von 0,05 % in einer Menge von 30 kg/h dem Ofen zugeführt, wird bevorzugt eine Gasaustauschrate des Gasstroms, im Fall von He/H2 = 50:50 von in einem Bereich von 1900 bis 21001/h, im Fall von He/H2 = 30:70 von in einem Bereich von 1800 bis 2000 l/h und ein Taupunkt des Gasstroms vor Eintritt in den Ofen von -90 °C gewählt. Am Gasauslass wird so ein Taupunkt von weniger als 0°C erhalten. When a silica granule having a residual moisture content of 0.05% in an amount of 30 kg / hr is supplied to the furnace, a gas exchange rate of gas flow is preferred, in the case of He / H 2 = 50:50, in a range of from 1900 to 21001 / h, in the case of He / H 2 = 30:70, in a range of 1800 to 2000 l / h and a dew point of the gas flow before entering the furnace of -90 ° C is selected. At the gas outlet, a dew point of less than 0 ° C is obtained.
Wird ein Siliziumdioxidgranulat mit einer Restfeuchte von 0,03 % in einer Menge von 30 kg/h dem Ofen zugeführt, wird bevorzugt eine Gasaustauschrate des Gasstroms, im Fall von He/H2 = 50:50 von in einem Bereich von 1400 bis 16001/h, im Fall von He/H2 = 30:70 von in einem Bereich von 1200 bis 1400 l/h und ein Taupunkt des Gasstroms vor Eintritt in den Ofen von -90 °C gewählt. Am Gasauslass wird so ein Taupunkt von weniger als 0°C erhalten. When a silica granule having a residual moisture content of 0.03% in an amount of 30 kg / h is supplied to the furnace, it is preferable to have a gas exchange rate of gas flow, in the case of He / H 2 = 50:50, in a range of 1400 to 16001 / h, in the case of He / H 2 = 30:70, in a range of 1200 to 1400 l / h and a dew point of the gas flow before entering the furnace of -90 ° C is selected. At the gas outlet, a dew point of less than 0 ° C is obtained.
Die Ofentemperatur zum Schmelzen des Siliziumdioxidgranulats liegt bevorzugt im Bereich von 1700 bis 2500°C, zum Beispiel im Bereich von 1900 bis 2400°C, besonders bevorzugt im Bereich von 2100 bis 2300°C. Bevorzugt beträgt die Verweilzeit im Ofen in einem Bereich von 1 Stunde bis 50 Stunden, zum Beispiel 1 bis 30 Stunden, besonders bevorzugt 5 bis 20 Stunden. Die Verweilzeit bedeutet im Kontext der vorliegenden Erfindung die Zeit, die benötigt wird, um während des Durchführens des erfindungsgemäßen Verfahrens dem Schmelzofen, in dem die Glasschmelze gebildet wird, eine Füllmenge des Schmelzofens verfahrensgemäß zu entnehmen. Die Füllmenge ist die insgesamt im Schmelzofen vorliegende Masse an Siliziumdioxid. Das Siliziumdioxid kann dabei als Feststoff und als Glasschmelze vorliegen. The furnace temperature for melting the silica granules is preferably in the range of 1700 to 2500 ° C, for example, in the range of 1900 to 2400 ° C, more preferably in the range of 2100 to 2300 ° C. The residence time in the furnace is preferably in the range from 1 hour to 50 hours, for example 1 to 30 hours, particularly preferably 5 to 20 hours. The residence time in the context of the present invention means the time required to remove a fill amount of the melting furnace according to the method during the implementation of the method according to the invention, the melting furnace in which the molten glass is formed. The filling quantity is the total amount of silicon dioxide present in the melting furnace. The silicon dioxide can be present as a solid and as a glass melt.
Bevorzugt nimmt die Ofentemperatur über die Länge, in Richtung des Materialtransports zu. Bevorzugt nimmt die Ofentemperatur über die Länge, in Richtung des Materialtransports um mindestens 100°C, zum Beispiel um mindestens 300°C oder um mindestens 500°C oder um mindestens 700°C, besonders bevorzugt um mindestens 1000°C zu. Bevorzugt beträgt die höchste Temperatur im Ofen 1700 bis 2500°C, zum Beispiel 1900 bis 2400°C, besonders bevorzugt 2100 bis 2300°C. Die Zunahme der Ofentemperatur kann gleichmäßig oder entsprechend eines Temperaturprofils erfolgen. Bevorzugt nimmt die Ofentemperatur, bevor die Glasschmelze aus dem Ofen entnommen wird, ab. Bevorzugt nimmt die Ofentemperatur bevor die Glasschmelze aus dem Ofen entnommen wird um 50 bis 500°C ab, zum Beispiel um 100°C oder um 400°C, besonders bevorzugt um 150 bis 300°C. Bevorzugt beträgt die Temperatur der Glasschmelze beim Entnehmen 1750 bis 2100°C, zum Beispiel 1850 bis 2050°C, besonders bevorzugt 1900 bis 2000°C. Preferably, the furnace temperature increases over the length, in the direction of material transport. The furnace temperature preferably increases over the length, in the direction of material transport by at least 100 ° C., for example by at least 300 ° C. or by at least 500 ° C. or by at least 700 ° C., more preferably by at least 1000 ° C. Preferably, the highest temperature in the oven is 1700 to 2500 ° C, for example 1900 to 2400 ° C, more preferably 2100 to 2300 ° C. The increase in the oven temperature can be uniform or according to a temperature profile. Preferably, the oven temperature decreases before the glass melt is removed from the oven. Preferably, the oven temperature before the glass melt is removed from the oven by 50 to 500 ° C from, for example, to 100 ° C or 400 ° C, more preferably from 150 to 300 ° C. The temperature of the glass melt during removal is preferably 1750 to 2100 ° C, for example 1850 to 2050 ° C, particularly preferably 1900 to 2000 ° C.
Bevorzugt nimmt die Ofentemperatur über die Länge, in Richtung des Materialtransports zu und bevor die Glasschmelze aus dem Ofen entnommen wird ab. Bevorzugt nimmt dabei die Ofentemperatur über die Länge, in Richtung des Materialtransports um mindestens 100°C, zum Beispiel um mindestens 300°C oder um mindestens 500°C oder um mindestens 700°C, besonders bevorzugt um mindestens 1000°C zu. Bevorzugt beträgt die höchste Temperatur im Ofen 1700 bis 2500°C, zum Beispiel 1900 bis 2400°C, besonders bevorzugt 2100 bis 2300°C. Bevorzugt nimmt die Ofentemperatur bevor die Glasschmelze aus dem Ofen entnommen wird um 50 bis 500°C ab, zum Beispiel um 100°C oder um 400°C, besonders bevorzugt um 150 bis 300°C. Preferably, the oven temperature increases over the length, in the direction of material transport, and before the glass melt is removed from the oven. Preferably, the oven temperature increases over the length, in the direction of material transport by at least 100 ° C, for example by at least 300 ° C or by at least 500 ° C or by at least 700 ° C, more preferably by at least 1000 ° C. Preferably, the highest temperature in the oven is 1700 to 2500 ° C, for example 1900 to 2400 ° C, more preferably 2100 to 2300 ° C. Preferably, the oven temperature before the glass melt is removed from the oven by 50 to 500 ° C from, for example, to 100 ° C or 400 ° C, more preferably from 150 to 300 ° C.
In einer nicht erfindungsgemäßen Alternative kann eine Glasschmelze auch in einem stehenden Sintertiegel ge- bildet werden. Dieser ist auf dem Boden des Ofens stehend montiert. In an alternative not according to the invention, a molten glass can also be formed in a vertical sintered crucible. This is mounted on the floor of the stove standing.
Der erfindungsgemäß eingesetzte hängende Sintertiegel weist gegenüber einem stehenden Sintertiegel insbesondere folgende Vorteile auf: The hanging sintered crucible used in accordance with the invention has the following advantages in comparison to a standing sinter crucible:
Ein hängender Sintertiegel kann auch im Betrieb mit einfachen Mitteln relativ zum Ofen, und damit zur Heizung, in der Vertikalen bewegt werden. Die einfache Bewegbarkeit relativ zur Heizung ermöglicht ein schnelles Steuern und Justieren der Lage der im Tiegel vorliegenden Schmelzzone. A hanging sintered crucible can also be moved in operation with simple means relative to the furnace, and thus to the heating, in the vertical. The easy mobility relative to the heater allows a quick control and adjustment of the position of the present in the crucible melting zone.
Ein hängender Sintertiegel kann im Betrieb auch horizontal bewegt werden; dadurch kann die Geometrie des aus dem Tiegel abgezogenen Quarzglasstrangs gesteuert werden; A hanging sintered crucible can also be moved horizontally during operation; thereby, the geometry of the withdrawn from the crucible quartz glass strand can be controlled;
Ein hängender Sintertiegel ist einfacher umrüstbar als ein stehender Sintertiegel. In einer nicht erfindungsgemäßen Alternative kann eine Glasschmelze auch in einem Blechtiegel gebildet werden. Unter einem Blechtiegel wird ein Tiegel verstanden der mindestens ein Walzblech beinhaltet. Bevorzugt weist ein Blechtiegel mehrere Walzbleche auf. Ein zum Schmelzen von Siliziumdioxid geeigneter Blechtiegel ist aus Ble- chen eines gesintertes und gewalzten Materials gefertigt, insbesondere aus Sintermetall, zum Beispiel aus Molybdän, Wolfram oder einer Kombination davon. Solche Bleche weisen regelmäßig eine Dichte von mehr als 96 % der theoretischen Dichte auf, zum Beispiel eine Dichte von mehr als 96 % bis 98 %, oder von 98 bis 99,95 %. Die theoretische Dichte eines Werkstoffs entspricht der Dichte eines porenfreien und 100 % dichten Materials. Die Dichte des Blechs kann durch Sintern eines Sintermetalls und anschließendes Verdichten, also zum Beispiel Wal- zen des gesinterten Materials erhalten werden. A hanging sinter crucible is easier to convert than a standing sinter crucible. In an alternative not according to the invention, a glass melt can also be formed in a sheet metal crucible. A sheet metal crucible is understood to mean a crucible which contains at least one rolled sheet. A sheet metal crucible preferably has a plurality of rolled sheets. A sheet metal crucible suitable for melting silicon dioxide is made of sheets of a sintered and rolled material, in particular of sintered metal, for example of molybdenum, tungsten or a combination thereof. Such sheets regularly have a density of more than 96% of the theoretical density, for example a density of more than 96% to 98%, or of 98 to 99.95%. The theoretical density of a material corresponds to the density of a nonporous and 100% dense material. The density of the sheet can be obtained by sintering a sintered metal and then compacting, that is, for example, rolling the sintered material.
Der erfindungsgemäß eingesetzte, hängende Sintertiegel weist gegenüber einem hängenden Blechtiegel insbesondere folgende Vorteile auf: The hanging sintered crucible used according to the invention has in particular the following advantages over a suspended sheet crucible:
Es ist bei einem Sintertiegel ein höherer Durchsatz als bei einem Blechtiegel bei gleichen Innenmassen möglich. - Eine Gasdiffusion von Gasen wie z.B. Argon, Helium, Wasserstoff und Stickstoff durch die Tiegelwände ist bei einem Sintertiegel niedriger als bei einem Blechtiegel. Diese Gase werden als Schutzgas im Ofen um den Schmelztiegel eingesetzt, um Korrosion des Schmelztiegels von aussen, der Heizelemente und des Ofens zu vermeiden. It is possible with a sintered crucible higher throughput than a metal plate at the same internal masses. Gas diffusion of gases, e.g. Argon, helium, hydrogen and nitrogen through the crucible walls are lower in a sintered crucible than in a crucible. These gases are used as an inert gas in the furnace around the crucible to prevent corrosion of the crucible from the outside, the heating elements and the furnace.
Ein Sintertiegel kann mittels Induktion beheizt werden. So ist eine Mehrzonenheizung gut realisierbar. A sinter crucible can be heated by induction. So a multi-zone heating is well feasible.
Vorheizstrecke preheating
Bevorzugt weist der Ofen mindestens eine erste und eine weitere miteinander durch einen Durchlass verbundene Kammern auf, wobei die erste und die weitere Kammer verschiedene Temperaturen aufweisen, wobei die Temperatur der ersten Kammer niedriger ist als die Temperatur der weiteren Kammer. In der weiteren Kammer wird aus dem Siliziumdioxidgranulat eine Glasschmelze gebildet. Diese Kammer wird im Folgenden als Schmelzkammer bezeichnet. Eine mit der Schmelzkammer über eine Stoffführung verbundene, aber vorgelagerte Kammer wird auch als Vorheizstrecke bezeichnet. Es ist zum Beispiel diejenige, bei der mindestens ein Auslass unmittelbar mit einem Einlass der Schmelzkammer verbunden ist. Die vorgenannte Anordnung kann auch in eigenständigen Öfen ausgebildet sein. Dann ist die Schmelzkammer ein Schmelzofen. In Bezug auf die weitere Beschreibung kann der Schmelzofen jedoch synonym zur Schmelzkammer verstanden werden. Dementsprechend gelten die Ausführungen zum Schmelzofen auch für die Schmelzkammer, und umgekehrt. Der Begriff der Vorheizstrecke ist beiden Betrachtungsweisen gleich.  Preferably, the furnace has at least a first and a further chambers connected to each other through a passage, wherein the first and the further chamber have different temperatures, wherein the temperature of the first chamber is lower than the temperature of the further chamber. In the other chamber, a glass melt is formed from the silica granules. This chamber is referred to below as the melting chamber. A connected to the melting chamber via a fabric guide, but upstream chamber is also referred to as preheating. It is, for example, that in which at least one outlet is directly connected to an inlet of the melting chamber. The aforementioned arrangement can also be formed in independent ovens. Then the melting chamber is a melting furnace. With regard to the further description, however, the melting furnace can be understood to be synonymous with the melting chamber. Accordingly, the remarks on the melting furnace also apply to the melting chamber, and vice versa. The term preheating line is the same for both approaches.
Bevorzugt hat das Siliziumdioxidgranulat bei Eintritt in den Ofen eine Temperatur in einem Bereich von 20 bis 1300°C. Gemäß einer ersten Ausführungsform wird das Siliziumdioxidgranulat vor Eintritt in die Schmelzkammer nicht temperiert. Zum Beispiel hat das Siliziumdioxidgranulat bei Eintritt in den Ofen eine Temperatur in einem Bereich von 20 bis 40°C, besonders bevorzugt von 20 bis 30°C. Wird gemäß Schritt i.) Siliziumdioxidgranulat II bereitgestellt, hat es beim Eintritt in den Ofen bevorzugt eine Temperatur in einem Bereich von 20 bis 40°C, besonders bevorzugt von 20 bis 30°C. Preferably, the silica granules entering the furnace have a temperature in a range of 20 to 1300 ° C. According to a first embodiment, the silica granules are not tempered before entering the melting chamber. For example, the silica granules entering the oven have a temperature in a range of 20 to 40 ° C, more preferably 20 to 30 ° C. If silicon dioxide granules II are provided in accordance with step i.), It preferably has a temperature in the range from 20 to 40 ° C., particularly preferably from 20 to 30 ° C., on entering the furnace.
Gemäß einer anderen Ausführungsform wird das Siliziumdioxidgranulat vor Eintritt in den Ofen auf eine Temperatur in einem Bereich von 40 bis 1300°C temperiert. Temperieren bedeutet das Einstellen der Temperatur auf einen gewählten Wert. Das Temperieren kann prinzipiell auf allen dem Fachmann bekannten und zum Temperie- ren von Siliziumdioxidgranulat bekannten Wegen erfolgen. Zum Beispiel kann das Temperieren in einem separat von der Schmelzkammer angeordneten Ofen oder in einem mit der Schmelzkammer verbundenen Ofen erfolgen. According to another embodiment, the silica granules are tempered before entering the furnace to a temperature in a range of 40 to 1300 ° C. Tempering means setting the temperature to a selected value. In principle, the tempering can be carried out on all paths known to the person skilled in the art and known for tempering silicon dioxide granules. For example, the tempering may be carried out in a furnace separate from the melting chamber or in an oven connected to the melting chamber.
Bevorzugt erfolgt das Temperieren in einer mit der Schmelzkammer verbundenen Kammer. Bevorzugt umfasst der Ofen also eine Vorheizstrecke, in der das Siliziumdioxid temperiert werden kann. Bevorzugt ist die Vorheiz- strecke selbst ein Durchlaufofen, besonders bevorzugt ein Drehrohrofen. Unter einem Durchlaufofen wird eine beheizte Kammer verstanden, die während des Betriebs eine Bewegung des Siliziumdioxids von einem Einlass des Durchlaufofens zu einem Auslass des Durchlaufofens bewirkt. Bevorzugt ist der Auslass mit dem Einlass des Schmelzofens direkt verbunden. So kann das Siliziumdioxidgranulat aus der Vorheizstrecke ohne weitere Zwischenschritte oder Maßnahmen in den Schmelzofen gelangen. Preferably, the tempering takes place in a chamber connected to the melting chamber. The furnace thus preferably comprises a preheating section in which the silicon dioxide can be tempered. The preheating section itself is preferably a continuous furnace, particularly preferably a rotary kiln. A continuous furnace is understood to mean a heated chamber which, during operation, causes a movement of the silicon dioxide from an inlet of the continuous furnace to an outlet of the continuous furnace. Preferably, the outlet is directly connected to the inlet of the melting furnace. Thus, the silica granules from the preheating without further intermediate steps or measures can enter the furnace.
Es ist weiter bevorzugt, dass die Vorheizstrecke mindestens einen Gaseinlass und mindestens einen Gasauslass umfasst. Durch den Gaseinlass kann Gas in den Innenraum, den Gasraum der Vorheizstrecke gelangen, und durch den Gasauslass kann es ausgeleitet werden. Es ist auch möglich, Gas über den Einlass für das Siliziumdioxidgranulat der Vorheizstrecke in die Vorheizstrecke einzuleiten. Ebenso kann Gas über den Auslass der Vorheizstrecke ausgeleitet und anschließend von dem Siliziumdioxidgranulat getrennt werden. Weiterhin bevorzugt kann Gas über den Einlass für das Siliziumdioxidgranulat und einen Gaseinlass der Vorheizstrecke zugeführt, und über den Auslass der Vorheizstrecke und einen Gasauslass der Vorheizstrecke ausgeleitet werden. It is further preferred that the preheating section comprises at least one gas inlet and at least one gas outlet. Through the gas inlet gas can enter the interior, the gas space of the preheating, and through the gas outlet, it can be discharged. It is also possible to introduce gas into the preheating section via the inlet for the silicon dioxide granules of the preheating section. Likewise, gas can be discharged via the outlet of the preheating section and subsequently separated from the silicon dioxide granulate. Further preferably, gas can be supplied via the inlet for the silicon dioxide granules and a gas inlet to the preheating section, and discharged via the outlet of the preheating section and a gas outlet of the preheating section.
Bevorzugt wird in der Vorheizstrecke durch Verwenden des Gaseinlasses und des Gasauslasses ein Gasstrom ausgebildet. Geeignete Gase sind zum Beispiel Wasserstoff, Inertgase sowie zwei oder mehr davon. Bevorzugte Inertgase sind Stickstoff, Helium, Neon, Argon, Krypton und Xenon, besonders bevorzugt Stickstoff und Helium. Bevorzugt liegt in der Vorheizstrecke eine reduzierende Atmosphäre vor. Diese kann bevorzugt durch Wasserstoff oder eine Kombination von Wasserstoff und einem Inertgas, zum Beispiel durch eine Kombination von Wasserstoff und Helium oder von Wasserstoff und Stickstoff, besonders bevorzugt durch eine Kombination aus Wasserstoff und Helium, bereitgestellt werden. Weiter bevorzugt liegt in der Vorheizstrecke eine oxidierende Atmosphäre vor. Diese kann bevorzugt durch Sauerstoff oder eine Kombination aus Sauerstoff und einem oder mehreren weiteren Gasen bereitgestellt werden, besonders bevorzugt ist Luft. Es ist weiter bevorzugt möglich, das Siliziumdioxid bei vermindertem Druck in der Vorheizstrecke zu temperieren. Preferably, a gas flow is formed in the preheat section by using the gas inlet and the gas outlet. Suitable gases are, for example, hydrogen, inert gases and two or more thereof. Preferred inert gases are nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon, more preferably nitrogen and helium. Preferably, a reducing atmosphere is present in the preheating section. This may preferably be provided by hydrogen or a combination of hydrogen and an inert gas, for example by a combination of hydrogen and helium or of hydrogen and nitrogen, more preferably by a combination of hydrogen and helium. More preferably, an oxidizing atmosphere is present in the preheating section. This may preferably be provided by oxygen or a combination of oxygen and one or more further gases, more preferably air. It is further preferably possible to temper the silicon dioxide at reduced pressure in the preheating section.
Zum Beispiel hat das Siliziumdioxidgranulat bei Eintritt in den Ofen eine Temperatur in einem Bereich von 100 bis 1100°C oder von 300 bis 1000 oder von 600 bis 900°C. Wird gemäß Schritt i.) Siliziumdioxidgranulat II be- reitgestellt, hat es beim Eintritt in den Ofen bevorzugt eine Temperatur in einem Bereich von 100 bis 1100°C oder von 300 bis 1000 oder von 600 bis 900°C. For example, the silica granules entering the furnace have a temperature in the range of 100 to 1100 ° C or 300 to 1000 or 600 to 900 ° C. If, in accordance with step i.), Silicon dioxide granules II When heated, it preferably has a temperature in the range of 100 to 1100 ° C or 300 to 1000 or 600 to 900 ° C when entering the furnace.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung beinhaltet der Ofen mindes- tens zwei Kammern. Bevorzugt beinhaltet der Ofen eine erste und mindestens eine weitere Kammer. Die erste und die weitere Kammer sind miteinander durch einen Durchlass verbunden. According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the furnace includes at least two chambers. Preferably, the furnace includes a first and at least one further chamber. The first and the further chambers are connected to each other through a passage.
Die mindestens zwei Kammern können in dem Ofen prinzipiell beliebig angeordnet sein, bevorzugt vertikal oder horizontal, besonders bevorzugt vertikal. Bevorzugt sind die Kammern im Ofen so angeordnet, dass bei der Durchführung des Verfahrens gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung Siliziumdioxidgranulat die erste Kammer passiert und anschließend in der weiteren Kammer unter Erhalt einer Glasschmelze erhitzt wird. Die weitere Kammer weist bevorzugt die zuvor beschriebenen Merkmale des Schmelzofens und des darin angeordneten Tiegels auf. Bevorzugt enthält jede der Kammern einen Einlass und einen Auslass. Bevorzugt ist der Einlass des Ofens mit dem Einlass der ersten Kammer durch einen Durchlass verbunden. Bevorzugt ist der Auslass des Ofens mit dem Auslass der weiteren Kammer durch einen Durchlass verbunden. Bevorzugt ist der Auslass der ersten Kammer durch einen Durchlass mit dem Einlass der weiteren Kammer verbunden. Bevorzugt sind die Kammern so im Ofen angeordnet, dass durch den Einlass des Ofens das Siliziumdioxidgranulat in die erste Kammer gelangen kann. Bevorzugt sind die Kammern so im Ofen angeordnet, dass durch den Auslass des Ofens eine Siliziumdioxidglasschmelze aus der weiteren Kammer entnommen werden kann. Besonders bevorzugt kann durch den Einlass des Ofens das Siliziumdioxidgranulat in die erste Kammer gelangen und durch den Auslass des Ofens eine Siliziumdioxidglasschmelze aus einer weiteren Kammer entnommen werden. The at least two chambers can in principle be arranged as desired in the oven, preferably vertically or horizontally, particularly preferably vertically. Preferably, the chambers are arranged in the furnace so that in the implementation of the method according to the first subject of the invention, silica granules pass through the first chamber and then heated in the further chamber to obtain a molten glass. The further chamber preferably has the above-described features of the melting furnace and the crucible arranged therein. Preferably, each of the chambers includes an inlet and an outlet. Preferably, the inlet of the furnace is connected to the inlet of the first chamber through a passage. Preferably, the outlet of the furnace is connected to the outlet of the further chamber through a passage. Preferably, the outlet of the first chamber is connected through an aperture to the inlet of the further chamber. The chambers are preferably arranged in the furnace in such a way that the silica granules can pass into the first chamber through the inlet of the furnace. The chambers are preferably arranged in the furnace such that a silicon dioxide glass melt can be removed from the further chamber through the outlet of the furnace. Particularly preferably, the silica granules can enter the first chamber through the inlet of the furnace and a silicon dioxide glass melt can be taken out of another chamber through the outlet of the furnace.
Durch den Durchlass kann das Siliziumdioxid als Granulat oder Pulver in der durch das Verfahren vorgegebenen Richtung des Materialtransports von einer ersten in eine weitere Kammer gelangen. Durch einen Durchlass verbundene Kammern schließen Anordnungen ein, in denen zwischen einer ersten und einer weiteren Kammer weitere Zwischenelemente in Richtung des Materialtransports angeordnet sind. Den Durchlass können prinzipiell Gase, Flüssigkeiten und Feststoffe passieren. Bevorzugt können Siliziumdioxidpulver, Aufschlämmungen von Siliziumdioxidpulver und Siliziumdioxidgranulat den Übergang zwischen einer ersten und einer weiteren Kammer passieren. Während der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens können über den Durchlass zwischen der ersten und der weiteren Kammer alle in die erste Kammer eingetragenen Stoffe in die weitere Kammer gelangen. Bevorzugt gelangt über den Durchlass zwischen der ersten und weiteren Kammer nur Siliziumdioxid in Form von Granulat oder Pulver in die weitere Kammer. Bevorzugt ist der Durchlass zwischen der ersten und der weiteren Kammer durch das Siliziumdioxid verschlossen, so dass der Gasraum der ersten und der weiteren Kammer voneinander getrennt sind, bevorzugt so, dass in den Gasräumen verschiedene Gase oder Gasgemische, verschiedene Drücke oder beides vorliegen können. Gemäß einer anderen bevorzugten Ausgestaltung wird der Durchlass von einer Schleuse gebildet, bevorzugt durch eine Zellenradschleuse. Bevorzugt weist die erste Kammer des Ofens mindestens einen Gaseinlass und mindestens einen Gasauslass auf. Der Gaseinlass kann prinzipiell jede Form aufweisen, die dem Fachmann bekannt und zum Einleiten eines Gases geeignet ist, zum Beispiel eine Düse, ein Ventil oder ein Rohr. Der Gasauslass kann prinzipiell jede Form aufweisen, die dem Fachmann bekannt und zum Ausleiten eines Gases geeignet ist, zum Beispiel eine Düse, ein Ventil oder ein Rohr. Through the passage, the silica can pass as granules or powder in the direction predetermined by the method of transporting material from a first chamber to another. Chambers connected by a passage include arrangements in which further intermediate elements are arranged between a first and a further chamber in the direction of material transport. The passage can in principle happen gases, liquids and solids. Preferably, silica powders, slurries of silica powder and silica granules may pass the transition between a first and a further chamber. During the implementation of the method according to the invention, all substances introduced into the first chamber can pass into the further chamber via the passage between the first and the further chambers. Preferably passes through the passage between the first and further chamber only silica in the form of granules or powder in the other chamber. Preferably, the passage between the first and the further chamber is closed by the silicon dioxide, so that the gas space of the first and the further chamber are separated from each other, preferably so that in the gas spaces different gases or gas mixtures, different pressures or both can be present. According to another preferred embodiment, the passage is formed by a lock, preferably by a rotary valve. The first chamber of the furnace preferably has at least one gas inlet and at least one gas outlet. The gas inlet may in principle have any shape which is known to those skilled in the art and suitable for introducing a gas, for example a nozzle, a valve or a pipe. The gas outlet may in principle have any shape which is known to the person skilled in the art and suitable for discharging a gas, for example a nozzle, a valve or a pipe.
Bevorzugt wird durch den Einlass des Ofens Siliziumdioxidgranulat in die erste Kammer eingebracht und erwärmt. Das Erwärmen kann in Anwesenheit eines Gases oder einer Kombination aus zwei oder mehr Gasen durchgeführt werden. Dazu liegt das Gas oder die Kombination aus zwei oder mehr Gasen im Gasraum der ersten Kammer vor. Unter dem Gasraum der ersten Kammer wird der Bereich der ersten Kammer verstanden, der nicht von einer festen oder flüssigen Phase belegt ist. Geeignete Gase sind zum Beispiel Wasserstoff, Sauerstoff, Inertgase sowie zwei oder mehr davon. Bevorzugte Inertgase sind Stickstoff, Helium, Neon, Argon, Krypton und Xenon, besonders bevorzugt sind Stickstoff, Helium und eine Kombination davon. Bevorzugt wird das Erwärmen in reduzierender Atmosphäre durchgeführt. Diese kann bevorzugt durch Wasserstoff oder eine Kombination von Wasserstoff und Helium bereitgestellt werden. Bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat in der ersten Kammer in einem Strom des Gases oder der Kombination aus zwei oder mehr Gasen erwärmt. Preferably, silica granules are introduced into the first chamber through the inlet of the furnace and heated. The heating may be carried out in the presence of a gas or a combination of two or more gases. For this purpose, the gas or the combination of two or more gases is present in the gas space of the first chamber. The gas space of the first chamber is understood to be the area of the first chamber which is not occupied by a solid or liquid phase. Suitable gases are, for example, hydrogen, oxygen, inert gases and two or more thereof. Preferred inert gases are nitrogen, helium, neon, argon, krypton and xenon, more preferably nitrogen, helium and a combination thereof. Preferably, the heating is carried out in a reducing atmosphere. This may preferably be provided by hydrogen or a combination of hydrogen and helium. Preferably, the silica granules in the first chamber are heated in a stream of the gas or the combination of two or more gases.
Es ist weiter bevorzugt, dass das Siliziumdioxidgranulat in der ersten Kammer bei vermindertem Druck, zum Beispiel bei einem Druck von weniger als 500 mbar oder weniger als 300 mbar, zum Beispiel 200 mbar oder weniger erwärmt wird. It is further preferred that the silica granules in the first chamber be heated at a reduced pressure, for example at a pressure of less than 500 mbar or less than 300 mbar, for example 200 mbar or less.
Bevorzugt ist die erste Kammer mit mindestens einer Vorrichtung versehen, mit der das Siliziumdioxidgranulat, bewegt wird. Prinzipiell können alle Vorrichtungen ausgewählt werden, die dem Fachmann zu diesem Zwecke bekannt sind und geeignet erscheinen. Bevorzugt geeignet sind Rühr-, Schüttel- oder Schwenkvorrichtungen. Preferably, the first chamber is provided with at least one device with which the silica granules are moved. In principle, all devices which are known to the person skilled in the art and appear suitable for this purpose can be selected. Preferably suitable are stirring, shaking or swiveling devices.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung sind die Temperaturen in der ersten und in der weiteren Kammer verschieden. Bevorzugt ist die Temperatur in der ersten Kammer geringer als die Temperatur in der weiteren Kammer. Bevorzugt liegt die Temperaturdifferenz zwischen der ersten und der weiteren Kammer in einem Bereich von 600 bis 2400°C, zum Beispiel in einem Bereich von 1000 bis 2000°C oder von 1200 bis 1800°C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1500 bis 1700°C. Weiter bevorzugt ist die Temperatur in der ersten Kammer 600 bis 2400°C, zum Beispiel 1000 bis 2000°C oder 1200 bis 1800°C, besonders bevorzugt 1500 bis 1700°C niedriger als die Temperatur in der weiteren Kammer. According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the temperatures in the first and in the further chamber are different. Preferably, the temperature in the first chamber is lower than the temperature in the other chamber. Preferably, the temperature difference between the first and the further chamber in a range of 600 to 2400 ° C, for example in a range of 1000 to 2000 ° C or from 1200 to 1800 ° C, more preferably in a range of 1500 to 1700 ° C. More preferably, the temperature in the first chamber is 600 to 2400 ° C, for example 1000 to 2000 ° C or 1200 to 1800 ° C, more preferably 1500 to 1700 ° C lower than the temperature in the other chamber.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die erste Kammer des Ofens eine Vorheizstrecke, besonders be- vorzugt eine wie oben beschriebene Vorheizstrecke, die die oben beschriebenen Merkmale aufweist. Bevorzugt ist die Vorheizstrecke durch einen Durchlass mit der weiteren Kammer verbunden. Bevorzugt gelangt Siliziumdioxid aus der Vorheizstrecke über einen Durchlass in die weitere Kammer. Der Durchlass zwischen der Vorheizstrecke und der weiteren Kammer kann verschlossen sein, so dass keine in die Vorheizstrecke eingeleiteten Gase durch den Durchlass in die weitere Kammer gelangen. Bevorzugt ist der Durchlass zwischen der Vorheizstrecke und der weiteren Kammer verschlossen, so dass das Siliziumdioxid nicht mit Wasser in Berührung kommt. DerAccording to a preferred embodiment, the first chamber of the furnace is a preheating section, particularly preferably a preheating section as described above, which has the features described above. Preferably, the preheating is connected by a passage with the other chamber. Preferably, silicon dioxide passes from the preheating section via an opening into the further chamber. The passage between the preheating section and the further chamber may be closed, so that no gases introduced into the preheating section pass through the passage into the further chamber. Preferably, the passage between the preheating and the other chamber is closed, so that the silicon dioxide does not come into contact with water. Of the
Durchlass zwischen der Vorheizstrecke und der weiteren Kammer kann verschlossen sein, so dass der Gasraum der Vorheizstrecke und der ersten Kammer so voneinander getrennt sind, dass in den Gasräumen verschiedene Gase oder Gasgemische, verschiedene Drücke oder beides vorliegen können. Als Durchlass eignen sich bevorzugt die zuvor beschriebenen Ausgestaltungen. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die erste Kammer des Ofens keine Vorheizstrecke. Zum Beispiel ist die erste Kammer eine Ausgleichskammer. Unter einer Ausgleichskammer wird eine Kammer des Ofens verstanden, in der Durchsatzvariationen in einer vorgeschalteten Vorheizstrecke oder Durchsatzunterschiede zwischen einer Vorheizstrecke und der weiteren Kammer ausgeglichen werden. Zum Beispiel kann der ersten Kammer wie oben beschrieben ein Drehrohrofen vorgeschaltet sein. Dieser weist üblicherweise einen Durchsatz auf, der um bis zu 6 % des durchschnittlichen Durchsatzes variieren kann. Bevorzugt wird Siliziumdioxid in einer Ausgleichskammer auf der Temperatur gehalten, mit der es in die Ausgleichskammer gelangt. Passage between the preheating and the other chamber may be closed, so that the gas space the preheating and the first chamber are separated from each other so that in the gas chambers different gases or gas mixtures, different pressures or both can be present. As a passage are preferably the embodiments described above. According to a further preferred embodiment, the first chamber of the furnace is not a preheating section. For example, the first chamber is a compensation chamber. A compensation chamber is understood to mean a chamber of the furnace in which throughput variations in an upstream preheating section or throughput differences between a preheating section and the further chamber are compensated. For example, the first chamber may be preceded by a rotary kiln as described above. This usually has a throughput that can vary by up to 6% of the average throughput. Preferably, silica is maintained in a compensation chamber at the temperature with which it enters the compensation chamber.
Es ist ebenso möglich, dass der Ofen eine erste Kammer und mehr als eine weitere Kammer aufweist, zum Beispiel zwei weitere Kammern oder drei weitere Kammern oder vier weitere Kammern oder fünf weitere Kammern oder mehr als fünf weitere Kammern, besonders bevorzugt zwei weitere Kammern. Weist der Ofen zwei weitere Kammern auf, ist die erste Kammer bevorzugt eine Vorheizstrecke, die erste der weiteren Kammern eine Ausgleichskammer und die zweite der weiteren Kammern die Schmelzkammer, bezogen auf die Richtung des Materialtransports. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform liegt in der ersten Kammer ein Additiv vor. Das Additiv ist bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Halogenen, Inertgasen, Basen, Sauerstoff oder einer Kombination aus zwei oder mehr davon. It is also possible that the furnace has a first chamber and more than one further chamber, for example two further chambers or three further chambers or four further chambers or five further chambers or more than five further chambers, particularly preferably two further chambers. If the furnace has two further chambers, the first chamber is preferably a preheating section, the first of the further chambers is a compensation chamber and the second of the further chambers is the melting chamber, based on the direction of material transport. According to a further preferred embodiment, an additive is present in the first chamber. The additive is preferably selected from the group consisting of halogens, inert gases, bases, oxygen or a combination of two or more thereof.
Als Additive sind prinzipiell Halogene in elementarer Form und Halogenverbindungen geeignet. Bevorzugte Halogene sind ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Chlor, Fluor, chlorhaltigen Verbindungen und fluorhal- tigen Verbindungen. Besonders bevorzugt sind elementares Chlor und Chlorwasserstoff. In principle, halogens in elemental form and halogen compounds are suitable as additives. Preferred halogens are selected from the group consisting of chlorine, fluorine, chlorine-containing compounds and fluorine-containing compounds. Particularly preferred are elemental chlorine and hydrogen chloride.
Als Additive sind prinzipiell alle Inertgase sowie Mischungen aus zwei oder mehr davon geeignet. Bevorzugte Inertgase sind Stickstoff, Helium oder eine Kombination daraus. In principle, all inert gases and mixtures of two or more thereof are suitable as additives. Preferred inert gases are nitrogen, helium or a combination thereof.
Als Additive sind prinzipiell auch Basen geeignet. Bevorzugte Basen als Additive sind anorganische und organische Basen. In principle, bases are also suitable as additives. Preferred bases as additives are inorganic and organic bases.
Weiter geeignet als Additiv ist Sauerstoff. Der Sauerstoff liegt bevorzugt als sauerstoffhaltige Atmosphäre vor, zum Beispiel in Kombination mit einem Inertgas oder einem Gemisch aus zwei oder mehr Inertgasen, besonders bevorzugt in Kombination mit Stickstoff, Helium oder Stickstoff und Helium. Also suitable as an additive is oxygen. The oxygen is preferably present as an oxygen-containing atmosphere, for example in combination with an inert gas or a mixture of two or more inert gases, particularly preferably in combination with nitrogen, helium or nitrogen and helium.
Die erste Kammer kann prinzipiell jedes Material beinhalten, dass dem Fachmann bekannt und zum Erhitzen vonThe first chamber may in principle include any material known to those skilled in the art and for heating
Siliziumdioxid geeignet ist. Bevorzugt beinhaltet die erste Kammer mindestens ein Element ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Quarzglas, einem Refraktärmetall, Aluminium und einer Kombination aus zwei oder mehr davon, besonders bevorzugt beinhaltet die erste Kammer Quarzglas oder Aluminium. Bevorzugt übersteigt die Temperatur in der ersten Kammer 600°C nicht, wenn die erste Kammer ein Polymer oder Aluminium beinhaltet. Bevorzugt beträgt die Temperatur in der ersten Kammer 100 bis 1100°C, wenn die erste Kammer Quarzglas beinhaltet. Bevorzugt beinhaltet die erste Kammer im wesentlichen Quarzglas. Silica is suitable. The first chamber preferably contains at least one element selected from the group consisting of quartz glass, a refractory metal, aluminum and a combination of two or more thereof, particularly preferably the first chamber contains quartz glass or aluminum. Preferably, the temperature in the first chamber does not exceed 600 ° C when the first chamber includes a polymer or aluminum. Preferably, the temperature in the first chamber is 100 to 1100 ° C when the first chamber includes quartz glass. The first chamber preferably contains essentially quartz glass.
Beim Transport des Siliziumdioxids von der ersten Kammer zur weiteren Kammer durch den Durchlass zwischen der ersten und der weiteren Kammer kann das Siliziumdioxid prinzipiell in jedem beliebigen Zustand vorliegen. Bevorzugt liegt das Siliziumdioxid als Feststoff vor, zum Beispiel als Partikel, Pulver oder Granulat. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung erfolgt der Transport des Siliziumdioxids von der ersten zur weiteren Kammer als Granulat. When transporting the silicon dioxide from the first chamber to the further chamber through the passage between the first and the further chamber, the silicon dioxide can in principle be in any state. The silicon dioxide is preferably present as a solid, for example as particles, powders or granules. According to a preferred embodiment of the first subject of the invention, the transport of the silicon dioxide from the first to the further chamber takes place as granules.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die weitere Kammer ein Tiegel aus einem Blech oder einem Sintermaterial, welches ein Sintermetall beinhaltet, wobei das Blech oder das Sintermetall ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Molybdän, Wolfram und einer Kombination davon. According to a further preferred embodiment, the further chamber is a crucible of a sheet metal or a sintered material, which contains a sintered metal, wherein the sheet or the sintered metal is selected from the group consisting of molybdenum, tungsten and a combination thereof.
Die Glasschmelze wird durch den Auslass aus dem Ofen, bevorzugt über eine Düse, entnommen. Schritt iii.) The glass melt is removed through the outlet from the oven, preferably via a nozzle. Step iii.)
Ein Quarzglaskörper wird aus mindestens einem Teil der Glasschmelze gebildet. Bevorzugt wird dazu mindestens ein Teil der in Schritt ii) hergestellten Glasschmelze entnommen und daraus der Quarzglaskörper gebildet.  A quartz glass body is formed from at least part of the molten glass. For this purpose, at least part of the glass melt produced in step ii) is preferably removed and the quartz glass body formed therefrom.
Die Entnahme eines Teils der in Schritt ii) hergestellten Glasschmelze kann prinzipiell kontinuierlich aus dem Schmelzofen oder der Schmelzkammer, oder nach abgeschlossener Herstellung der Glasschmelze erfolgen. Bevorzugt wird ein Teil der Glasschmelze kontinuierlich entnommen. Die Glasschmelze wird durch den Auslass aus dem Ofen oder den Auslass der Schmelzkammer, jeweils bevorzugt über eine Düse, entnommen. The removal of part of the glass melt produced in step ii) can, in principle, be carried out continuously from the melting furnace or the melting chamber, or after completion of the production of the glass melt. Preferably, a part of the molten glass is removed continuously. The molten glass is removed through the outlet from the furnace or the outlet of the melting chamber, preferably via a nozzle.
Die Glasschmelze kann vor, während oder nach der Entnahme auf eine Temperatur abgekühlt werden, die das Formen der Glasschmelze ermöglicht. Mit dem Abkühlen der Glasschmelze ist ein Ansteigen der Viskosität der Glasschmelze verbunden. Die Glasschmelze wird bevorzugt soweit abgekühlt, dass beim Formen die gebildete Form erhalten bleibt und das Formen gleichzeitig möglichst zügig, zuverlässig und mit geringem Kraftaufwand durchgeführt werden kann. Der Fachmann kann die Viskosität der Glasschmelze zum Formen durch Variieren der Temperatur der Glasschmelze am Formwerkzeug einfach ermitteln. Bevorzugt hat die Glasschmelze beim Entnehmen eine Temperatur im Bereich von 1750 bis 2100°C, zum Beispiel 1850 bis 2050°C, besonders bevorzugt 1900 bis 2000°C. Bevorzugt wird die Glasschmelze nach dem Entnehmen auf eine Temperatur von weniger als 500°C, zum Beispiel von weniger als 200°C oder weniger als 100°C oder weniger als 50°C, besonders bevorzugt auf eine Temperatur im Bereich von 20 bis 30°C abgekühlt. The molten glass may be cooled before, during or after removal to a temperature which allows the molten glass to be molded. With the cooling of the molten glass, an increase in the viscosity of the molten glass is connected. The molten glass is preferably cooled to the extent that the formed form is retained during molding and molding can be carried out simultaneously as quickly as possible, reliably and with little effort. The person skilled in the art can easily determine the viscosity of the molten glass for molding by varying the temperature of the molten glass on the mold. When removing the molten glass preferably has a temperature in the range of 1750 to 2100 ° C, for example 1850 to 2050 ° C, particularly preferably 1900 to 2000 ° C. Preferably, the glass melt after removal to a temperature of less than 500 ° C, for example, less than 200 ° C or less than 100 ° C or less than 50 ° C, more preferably to a temperature in the range of 20 to 30 ° C cooled.
Der gebildete Quarzglaskörper kann ein massiver Körper oder ein Hohlkörper sein. Unter einem massiven Körper wird ein Körper verstanden, der im Wesentlichen aus einem einzigen Material besteht. Gleichwohl kann ein mas- siver Körper einen oder mehrere Einschlüsse aufweisen, z.B. Gasblasen. Solche Einschlüsse in einem massivenThe formed quartz glass body may be a solid body or a hollow body. By a solid body is meant a body consisting essentially of a single material. However, a solid body may have one or more inclusions, e.g. Gas bubbles. Such inclusions in a massive
Körper haben oftmals eine Größe von 65 mm3 oder weniger, zum Beispiel von weniger als 40 mm3, oder von weniger als 20 mm3, oder von weniger als 5 mm3' oder von weniger als 2 mm3, besonders bevorzugt von weniger als 0,5 mm3. Bevorzugt beinhaltet ein massiver Körper weniger als 0,02 Vol.-% seines Volumens, zum Beispiel weniger als 0,01 Vol.-% oder weniger als 0,001 Vol.-% an Einschlüssen, jeweils bezogen auf das Gesamtvolumen des massiven Körpers. Bodies are often 65 mm 3 or less in size, for example, less than 40 mm 3 , or less than 20 mm 3 , or less than 5 mm 3 'or less than 2 mm 3 , more preferably less than 0.5 mm 3 . Preferably, a solid body contains less than 0.02% by volume of its volume, for example, less than 0.01% by volume or less than 0.001% by volume of inclusions, each based on the total volume of the solid body.
Der Quarzglaskörper weist eine äußere Form auf. Unter der äußeren Form wird die Form des Außenrands des Querschnitts des Quarzglaskörpers verstanden. Die äußere Form des Quarzglaskörpers ist im Querschnitt bevorzugt rund, elliptisch oder polygon mit drei oder mehr Ecken, zum Beispiel 4, 5, 6, 7 oder 8 Ecken, besonders bevorzugt ist der Quarzglaskörper rund. The quartz glass body has an outer shape. The outer shape is understood to be the shape of the outer edge of the cross section of the quartz glass body. The outer shape of the quartz glass body is preferably round, elliptical or polygonal in cross-section with three or more corners, for example 4, 5, 6, 7 or 8 corners, more preferably the quartz glass body is round.
Bevorzugt hat der Quarzglaskörper eine Länge im Bereich von 100 bis 10000 mm, zum Beispiel von 1000 bis 4000 mm, besonders bevorzugt von 1200 bis 3000 mm. Preferably, the quartz glass body has a length in the range of 100 to 10,000 mm, for example from 1000 to 4000 mm, particularly preferably from 1200 to 3000 mm.
Bevorzugt hat der Quarzglaskörper einen Außendurchmesser im Bereich von 1 bis 500 mm, zum Beispiel in ei- nem Bereich von 2 bis 400 mm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 5 bis 300 mm. Preferably, the quartz glass body has an outer diameter in the range of 1 to 500 mm, for example in a range of 2 to 400 mm, particularly preferably in a range of 5 to 300 mm.
Das Formen des Quarzglaskörpers erfolgt mittels einer Düse. Dazu wird die Glasschmelze durch die Düse geführt. Die äußere Form eines durch die Düse geformten Quarzglaskörpers wird durch die Form der Öffnung der Düse bestimmt. Ist die Öffnung der Düse rund, wird beim Formen des Quarzglaskörpers ein Zylinder gebildet. Weist die Öffnung der Düse eine Struktur auf, wird diese Struktur auf die äußere Form des Quarzglaskörpers übertragen. Ein Quarzglaskörper, der mittels einer Düse mit Strukturen an der Öffnung gebildet wird, weist ein Abbild der Strukturen in Längsrichtung auf dem Glasstrang auf. The molding of the quartz glass body takes place by means of a nozzle. For this purpose, the molten glass is passed through the nozzle. The outer shape of a quartz glass body formed by the nozzle is determined by the shape of the opening of the nozzle. When the opening of the nozzle is round, a cylinder is formed as the quartz glass body is formed. If the opening of the nozzle has a structure, this structure is transferred to the outer shape of the quartz glass body. A quartz glass body, which is formed by means of a nozzle with structures at the opening, has an image of the structures in the longitudinal direction on the glass strand.
Die Düse ist in den Schmelzofen integriert. Bevorzugt ist sie als Teil des Tiegels in den Schmelzofen integriert, besonders bevorzugt als Teil des Auslasses des Tiegels. The nozzle is integrated in the furnace. Preferably, it is integrated as part of the crucible in the furnace, more preferably as part of the outlet of the crucible.
Bevorzugt wird der mindestens eine Teil der Glasschmelze durch die Düse entnommen. Die äußere Form des Quarzglaskörpers wird durch das Entnehmen mindestens eines Teils der Glasschmelze durch die Düse gebildet. Bevorzugt wird der Quarzglaskörper nach dem Bilden abgekühlt, um seine Form zu erhalten. Bevorzugt wird der Quarzglaskörper nach dem Formen auf eine Temperatur abgekühlt, die mindestens 1000°C unterhalb der Temperatur der Glasschmelze beim Formen liegt, zum Beispiel mindestens 1500°C oder mindestens 1800°C, besonders bevorzugt 1900 bis 1950°C. Bevorzugt wird der Quarzglaskörper auf eine Temperatur von weniger als 500°C, zum Beispiel von weniger als 200°C oder weniger als 100°C oder weniger als 50°C, besonders bevorzugt auf eine Temperatur im Bereich von 20 bis 30°C abgekühlt. Preferably, the at least part of the molten glass is removed through the nozzle. The outer shape of the quartz glass body is formed by removing at least a portion of the glass melt through the nozzle. Preferably, the quartz glass body is cooled after forming to obtain its shape. Preferably, the quartz glass body is cooled after molding to a temperature which is at least 1000 ° C below the temperature of the glass melt during molding, for example at least 1500 ° C or at least 1800 ° C, more preferably 1900 to 1950 ° C. Preferably, the quartz glass body is cooled to a temperature of less than 500 ° C, for example of less than 200 ° C or less than 100 ° C or less than 50 ° C, more preferably to a temperature in the range of 20 to 30 ° C.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung kann der erhaltene Quarzglaskörper mit mindestens einer Maßnahme ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus chemischer, thermischer oder mechanischer Behandlung behandelt werden. Bevorzugt wird der Quarzglaskörper chemisch nachbehandelt. Nachbehandeln betrifft das Behandeln eines bereits gebildeten Quarzglaskörpers. Unter chemischem Nachbehandeln des Quarzglaskörpers wird prinzipiell jede Maßnahme verstanden, die dem Fachmann bekannt ist und geeignet erscheint, durch den Einsatz von Stoffen die chemische Struktur oder die Zusammensetzung der Oberfläche des Quarzglaskörpers, oder beides, zu verändern. Bevorzugt umfasst das chemische Nachbehandeln mindestens eine Maßnahme ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Behandeln mit Fluorverbindungen und Ultraschallreinigung. According to a preferred embodiment of the first aspect of the invention, the resulting quartz glass body may be treated with at least one measure selected from the group consisting of chemical, thermal or mechanical treatment. Preferably, the quartz glass body is chemically treated. Post-treatment refers to the treatment of an already formed quartz glass body. By chemical aftertreatment of the quartz glass body is understood in principle any measure which is known to the person skilled in the art and appears to be suitable for changing the chemical structure or the composition of the surface of the quartz glass body or both by the use of substances. Preferably, the chemical aftertreatment comprises at least one measure selected from the group consisting of treatment with fluorine compounds and ultrasonic cleaning.
Als Fluorverbindungen kommen insbesondere Fluorwasserstoff und Fluor enthaltende Säuren, zum Beispiel Flusssäure, in Frage. Die Flüssigkeit weist bevorzugt einen Gehalt an Fluorverbindungen in einem Bereich von 35 bis 55 Gew.-%, bevorzugt in einem Bereich von 35 bis 45 Gew.-% auf, die Gew.-% jeweils bezogen auf die Gesamtmenge an Flüssigkeit. Der Rest zu 100 Gew.-% ist üblicherweise Wasser. Bevorzugt wird als Wasser vollentsalztes oder deionisiertes Wasser ausgewählt. Particularly suitable fluorine compounds are hydrogen fluoride and fluorine-containing acids, for example hydrofluoric acid. The liquid preferably has a content of fluorine compounds in a range of 35 to 55 wt .-%, preferably in a range of 35 to 45 wt .-%, the wt .-% in each case based on the total amount of liquid. The remainder to 100% by weight is usually water. Preferably, demineralized or deionized water is selected as the water.
Eine Ultraschallreinigung erfolgt bevorzugt in einem Flüssigkeitsbad, besonders bevorzugt in Anwesenheit von Detergenzien. Im Fall der Ultraschallreinigung kommen in der Regel keine Fluorverbindungen, zum Beispiel weder Flusssäure noch Fluorwasserstoff, zum Einsatz. Ultrasonic cleaning is preferably carried out in a liquid bath, more preferably in the presence of detergents. In the case of ultrasonic cleaning usually no fluorine compounds, for example, neither hydrofluoric acid nor hydrogen fluoride, are used.
Die Ultraschallreinigung des Quarzglaskörpers wird bevorzugt unter mindestens einer, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier oder mindestens fünf, besonders bevorzugt allen der folgenden Bedingungen durchgeführt: The ultrasonic cleaning of the quartz glass body is preferably carried out under at least one, for example at least two or at least three or at least four or at least five, more preferably all of the following conditions:
Die Ultraschallreinigung erfolgt in einem kontinuierlichen Verfahren.  The ultrasonic cleaning takes place in a continuous process.
Die Anlage zur Ultraschallreinigung weist sechs miteinander durch Rohre verbundene Kammern auf. Die Verweilzeit der Quarzglaskörper in jeder Kammer kann eingestellt werden. Bevorzugt ist die Verweilzeit der Quarzglaskörper in jeder Kammer gleich. Bevorzugt liegt die Verweilzeit in jeder Kammer in einem Bereich von 1 bis 120 min, zum Beispiel von weniger als 5 min oder von 1 bis 5 min oder von The ultrasonic cleaning system has six chambers connected to each other by pipes. The residence time of the quartz glass bodies in each chamber can be adjusted. Preferably, the residence time of the quartz glass bodies in each chamber is the same. Preferably, the residence time in each chamber is in a range of 1 to 120 minutes, for example less than 5 minutes or 1 to 5 minutes or of
2 bis 4 min oder von weniger als 60 min oder von 10 bis 60 min oder von 20 bis 50 min, besonders bevorzugt in einem Bereich von 5 bis 60 min. 2 to 4 minutes or less than 60 minutes or from 10 to 60 minutes or from 20 to 50 minutes, more preferably in a range of 5 to 60 minutes.
Die erste Kammer umfasst ein basisches Medium, bevorzugt enthaltend Wasser und eine Base, und einen Ultraschallreiniger.  The first chamber comprises a basic medium, preferably containing water and a base, and an ultrasonic cleaner.
- Die dritte Kammer umfasst ein saures Medium, bevorzugt enthaltend Wasser und eine Säure, und einen The third compartment comprises an acidic medium, preferably containing water and an acid, and a
Ultraschallreiniger. Ultrasonic cleaner.
In der zweiten Kammer und in der vierten bis sechsten Kammer wird der Quarzglaskörper mit Wasser, bevorzugt entsalztem Wasser gereinigt.  In the second chamber and in the fourth to sixth chamber, the quartz glass body is cleaned with water, preferably demineralized water.
Die vierte bis sechste Kammer wird als Kaskade mit Wasser, bevorzugt entsalztem Wasser betrieben. Bevorzugt wird das Wasser nur in die sechste Kammer eingeleitet und läuft von der sechsten in die fünfte und von der fünften in die vierte Kammer.  The fourth to sixth chamber is operated as a cascade with water, preferably desalted water. Preferably, the water is introduced only in the sixth chamber and runs from the sixth to the fifth and from the fifth to the fourth chamber.
Bevorzugt wird der Quarzglaskörper thermisch nachbehandelt. Unter thermischem Nachbehandeln des Quarzglaskörpers wird prinzipiell jede Maßnahme verstanden, die dem Fachmann bekannt ist und geeignet erscheint, den Quarzglaskörper durch Einwirkung von Temperatur in seiner Form oder Struktur oder beidem zu verändern.Preferably, the quartz glass body is thermally treated. By thermal aftertreatment of the quartz glass body is understood in principle any measure which is known to the person skilled in the art and appears suitable for changing the quartz glass body by the action of temperature in its shape or structure or both.
Bevorzugt umfasst das thermische Nachbehandeln mindestens eine Maßnahme ausgewählt aus der Gruppe beste- hend aus Tempern, Stauchen, Aufblasen, Ausziehen, Verschweißen und einer Kombination aus zwei oder mehr davon. Bevorzugt erfolgt die thermische Nachbehandlung ohne das Ziel des Materialabtrags. The thermal aftertreatment preferably comprises at least one measure selected from the group consisting of from annealing, upsetting, inflation, stripping, welding and a combination of two or more of them. The thermal aftertreatment preferably takes place without the goal of material removal.
Das Tempern erfolgt bevorzugt durch Erhitzen des Quarzglaskörpers in einem Ofen, bevorzugt auf eine Tempera- tur in einem Bereich von 900 bis 1300 °C, zum Beispiel in einem Bereich von 900 bis 1250°C oder von 1040 bis 1300°C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1000 bis 1050°C oder von 1200 bis 1300°C. Bevorzugt wird bei der thermischen Behandlung eine Temperatur von 1300°C nicht für einen zusammenhängenden Zeitraum von mehr als 1 h überschritten, besonders bevorzugt wird eine Temperatur von 1300°C während der gesamten thermischen Behandlungsdauer nicht überschritten. Das Tempern kann prinzipiell bei vermindertem druck, bei Normal- druck oder bei erhöhtem Druck erfolgen, bevorzugt bei vermindertem Druck, besonders bevorzugt im Vakuum. Annealing is preferably carried out by heating the quartz glass body in an oven, preferably to a temperature in a range from 900 to 1300 ° C., for example in a range from 900 to 1250 ° C. or from 1040 to 1300 ° C., more preferably in a range of 1000 to 1050 ° C or 1200 to 1300 ° C. Preferably, in the thermal treatment, a temperature of 1300 ° C is not exceeded for a continuous period of more than 1 h, more preferably, a temperature of 1300 ° C is not exceeded during the entire thermal treatment time. The tempering can in principle be carried out at reduced pressure, at normal pressure or at elevated pressure, preferably at reduced pressure, particularly preferably under reduced pressure.
Das Stauchen erfolgt bevorzugt durch Erhitzen des Quarzglaskörpers, bevorzugt auf eine Temperatur von etwa 2100°C, und anschließendes Umformen während einer rotierenden Drehbewegung, bevorzugt mit einer Drehgeschwindigkeit von etwa 60 U/min. Beispielsweise kann ein Quarzglaskörper in Form einer Stange durch Stauchen zu einem Zylinder umgeformt werden. The compression is preferably carried out by heating the quartz glass body, preferably to a temperature of about 2100 ° C, and then forming during a rotary rotary motion, preferably at a rotational speed of about 60 U / min. For example, a quartz glass body in the form of a rod can be reshaped by compression into a cylinder.
Bevorzugt kann ein Quarzglaskörper durch Einblasen eines Gases in den Quarzglaskörper aufgeblasen werden. Zum Beispiel kann ein Quarzglaskörper durch Aufblasen zu einem Großrohr umgeformt werden. Bevorzugt wird dazu der Quarzglaskörper, bevorzugt auf eine Temperatur von etwa 2100°C, während eine rotierenden Drehbe- wegung, bevorzugt mit einer Drehgeschwindigkeit von etwa 60 U/min, ausgeführt wird, erhitzt und der Innenraum mit einem Gas gespült, bevorzugt bei einem definierten und geregelten Innendruck bis etwa 100 mbar. Unter einem Großrohr wird ein Rohr mit einem Außendurchmesser von mindestens 500 mm verstanden. Preferably, a quartz glass body can be inflated by blowing a gas into the quartz glass body. For example, a quartz glass body can be reshaped by blowing into a large pipe. For this purpose, the quartz glass body is preferably heated to a temperature of about 2100 ° C., while a rotating rotational movement is carried out, preferably at a rotational speed of about 60 rpm, and the interior is flushed with a gas, preferably at a defined temperature and regulated internal pressure up to about 100 mbar. A large pipe is understood to mean a pipe with an outer diameter of at least 500 mm.
Ein Quarzglaskörper kann bevorzugt ausgezogen werden. Das Ausziehen erfolgt bevorzugt durch Erhitzen des Quarzglaskörpers, bevorzugt auf eine Temperatur von etwa 2100°C, und anschließendes Ziehen mit einer geregelten Ziehgeschwindigkeit auf den gewünschten Außendurchmesser des Quarzglaskörpers. Zum Beispiel können aus Quarzglaskörpern durch Ausziehen Lampenrohre geformt werden. A quartz glass body can preferably be pulled out. The drawing is preferably carried out by heating the quartz glass body, preferably to a temperature of about 2100 ° C, and then drawing with a controlled drawing speed to the desired outer diameter of the quartz glass body. For example, lamp tubes can be formed by drawing out of quartz glass bodies.
Bevorzugt wird der Quarzglaskörper mechanisch nachbehandelt. Unter mechanischem Nachbehandeln des Quarzglaskörpers wird prinzipiell jede Maßnahme verstanden, die dem Fachmann bekannt ist und geeignet erscheint, durch eine abrasive Maßnahme die Gestalt des Quarzglaskörpers zu verändern oder den Quarzglaskörper in mehrere Stücke zu teilen. Insbesondere beinhaltet das mechanische Nachbehandeln mindestens eine Maßnahme ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Schleifen, Bohren, Honen, Sägen, Wasserstrahlschneiden, Laserstrahlschneiden, Auftauen durch Sandstrahlen, Fräsen und einer Kombination aus zwei oder mehr davon. Preferably, the quartz glass body is mechanically aftertreated. By mechanical aftertreatment of the quartz glass body is understood in principle any measure which is known to the person skilled in the art and which appears suitable for changing the shape of the quartz glass body by an abrasive measure or for dividing the quartz glass body into several pieces. In particular, the mechanical aftertreatment includes at least one measure selected from the group consisting of grinding, drilling, honing, sawing, water jet cutting, laser beam cutting, thawing by sand blasting, milling and a combination of two or more thereof.
Bevorzugt wird der Quarzglaskörper mit einer Kombination dieser Maßnahmen, zum Beispiel mit einer Kombination aus einer chemischen und einer thermischen Nachbehandlung oder einer chemischen und einer mechanischen Nachbehandlung oder einer thermischen und einer mechanischen Nachbehandlung, besonders bevorzugt mit einer Kombination aus einer chemischen, einer thermischen und einer mechanischen Nachbehandlung behan- delt. Weiterhin bevorzugt kann der Quarzglaskörper jeweils, unabhängig voneinander, mehreren der vorgenannten Maßnahmen unterworfen werden. Gemäß einer Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung beinhaltet das Verfahren folgenden Verfahrensschritt: Preferably, the quartz glass body with a combination of these measures, for example with a combination of a chemical and a thermal aftertreatment or a chemical and a mechanical aftertreatment or a thermal and a mechanical aftertreatment, particularly preferably with a combination of a chemical, a thermal and a treated mechanical post-treatment. Further preferably, the quartz glass body can each be subjected, independently of one another, to a plurality of the aforementioned measures. According to one embodiment of the first subject of the invention, the method includes the following method step:
iv.) Bilden eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung aus dem Quarzglaskörper.  iv.) forming a hollow body with at least one opening of the quartz glass body.
Der gebildete Hohlkörper weist eine innere und eine äußere Form auf. Unter innerer Form wird die Form des Innenrands des Hohlkörpers im Querschnitt verstanden. Die innere und äußere Form des Querschnitts des Hohlkörpers können gleich oder verschieden sein. Die innere und äußere Form des Hohlkörpers kann im Querschnitt rund, elliptisch oder polygon mit drei oder mehr Ecken, zum Beispiel 4, 5, 6, 7 oder 8 Ecken, sein. The formed hollow body has an inner and an outer shape. Inner form is understood to mean the shape of the inner edge of the hollow body in cross section. The inner and outer shape of the cross section of the hollow body may be the same or different. The inner and outer shapes of the hollow body may be round, elliptical or polygonal in cross-section with three or more corners, for example 4, 5, 6, 7 or 8 corners.
Bevorzugt entspricht die äußere Form des Querschnitts der inneren Form des Querschnitts des Hohlkörpers. Besonders bevorzugt hat der Hohlkörper im Querschnitt eine runde innere und eine runde äußere Form. Preferably, the outer shape of the cross section corresponds to the inner shape of the cross section of the hollow body. Particularly preferably, the hollow body in cross section has a round inner and a round outer shape.
In einer anderen Ausgestaltung kann sich der Hohlkörper in der inneren und äußeren Form unterscheiden. Bevor - zugt weist der Hohlkörper im Querschnitt eine runde äußere Form und eine polygone innere Form auf. Besonders bevorzugt weist der Hohlkörper im Querschnitt eine runde äußere Form und eine hexagonale innere Form auf. In another embodiment, the hollow body may differ in the inner and outer shape. Preferably, the hollow body has a round outer shape and a polygonal inner shape in cross-section. Particularly preferably, the hollow body has a round outer shape and a hexagonal inner shape in cross section.
Bevorzugt hat der Hohlkörper eine Länge im Bereich von 100 bis 10000 mm, zum Beispiel von 1000 bis 4000 mm, besonders bevorzugt von 1200 bis 2000 mm. Preferably, the hollow body has a length in the range of 100 to 10,000 mm, for example from 1000 to 4000 mm, more preferably from 1200 to 2000 mm.
Bevorzugt hat der Hohlkörper eine Wanddicke in einem Bereich von 0,8 bis 50 mm, zum Beispiel in einem Bereich von 1 bis 40 mm oder von 2 bis 30 mm oder von 3 bis 20 mm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 4 bis 10 mm. Bevorzugt hat der Hohlkörper einen Außendurchmesser 2,6 bis 400 mm, zum Beispiel in einem Bereich von 3,5 bis 450 mm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 5 bis 300 mm. Preferably, the hollow body has a wall thickness in a range of 0.8 to 50 mm, for example in a range of 1 to 40 mm or from 2 to 30 mm or from 3 to 20 mm, particularly preferably in a range of 4 to 10 mm , Preferably, the hollow body has an outer diameter of 2.6 to 400 mm, for example in a range of 3.5 to 450 mm, more preferably in a range of 5 to 300 mm.
Bevorzugt hat der Hohlkörper einen Innendurchmesser 1 bis 300 mm, zum Beispiel in einem Bereich von 5 bis 280 mm oder von 10 bis 200 mm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 20 bis 100 mm. The hollow body preferably has an inner diameter of 1 to 300 mm, for example in a range of 5 to 280 mm or of 10 to 200 mm, particularly preferably in a range of 20 to 100 mm.
Der Hohlkörper enthält eine oder mehr Öffnungen. Bevorzugt enthält der Hohlkörper eine Öffnung. Bevorzugt enthält der Hohlkörper eine gerade Zahl an Öffnungen, zum Beispiel 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16 18 oder 20 Öffnungen. Bevorzugt enthält der Hohlkörper zwei Öffnungen. Bevorzugt ist der Hohlkörper ein Rohr. Diese Form des Hohlkörpers ist besonders bevorzugt, wenn der Lichtleiter nur einen Kern beinhaltet. Der Hohlkörper kann mehr als zwei Öffnungen enthalten. Die Öffnungen liegen bevorzugt jeweils paarweise gegenüberliegend in den Enden des Quarzglaskörpers. Zum Beispiel weist jedes Ende des Quarzglaskörpers 2, 3, 4, 5, 6, 7 oder mehr als 7 Öffnungen auf, besonders bevorzugt 5, 6 oder 7 Öffnungen. Bevorzugte Formen sind zum Beispiel Rohre, Zwillingsrohre, also Rohre mit zwei parallelen Kanälen, Vielkanalstäbe, also Rohre mit mehr als zwei parallelen Kanälen. Der Hohlkörper kann prinzipiell auf allen dem Fachmann bekannten Wegen geformt werden. Bevorzugt wird der Hohlkörper mittels einer Düse geformt. Bevorzugt enthält die Düse in der Mitte ihrer Öffnung eine Vorrichtung, die die Glasschmelze beim Formen ableitet. So kann aus einer Glasschmelze ein Hohlkörper geformt werden. Das Bilden eines Hohlkörpers kann durch Verwendung einer Düse und anschließende Nachbehandlung erfolgen. Als Nachbehandlung eignen sich prinzipiell alle dem Fachmann bekannten Verfahren zur Herstellung eines Hohlkörpers aus einem massiven Körper, zum Beispiel das Stauchen von Kanälen, Bohren, Honen oder Schleifen. Bevorzugt geeignet ist als Nachbehandlung das Führen des massiven Körpers über einen oder mehrere Dornen, wobei ein Hohlkörper gebildet wird. Ebenso kann der Dorn in den massiven Körper unter Bilden eines Hohlkörpers eingebracht werden. Bevorzugt wird der Hohlkörper nach dem Bilden abgekühlt. The hollow body contains one or more openings. Preferably, the hollow body includes an opening. The hollow body preferably contains an even number of openings, for example 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18 or 20 openings. Preferably, the hollow body contains two openings. Preferably, the hollow body is a tube. This shape of the hollow body is particularly preferred when the optical fiber includes only one core. The hollow body may contain more than two openings. The openings are preferably in pairs opposite each other in the ends of the quartz glass body. For example, each end of the quartz glass body has 2, 3, 4, 5, 6, 7 or more than 7 openings, more preferably 5, 6 or 7 openings. Preferred shapes are, for example, tubes, twin tubes, ie tubes with two parallel channels, multi-channel bars, ie tubes with more than two parallel channels. The hollow body can in principle be formed in any way known to those skilled in the art. Preferably, the hollow body is formed by means of a nozzle. Preferably, the nozzle in the center of its opening contains a device which dissipates the molten glass during molding. Thus, a hollow body can be formed from a molten glass. The formation of a hollow body can be done by using a nozzle and subsequent aftertreatment. In principle, all processes known to the person skilled in the art for producing a hollow body from a solid body, for example the swaging of channels, drilling, honing or grinding, are suitable as aftertreatment. As a post-treatment, it is preferable to guide the solid body over one or more spikes, whereby a hollow body is formed. Likewise, the mandrel can be introduced into the solid body to form a hollow body. Preferably, the hollow body is cooled after forming.
Bevorzugt wird der Hohlkörper nach dem Bilden auf eine Temperatur von weniger als 500°C, zum Beispiel von weniger als 200°C oder weniger als 100°C oder weniger als 50°C, besonders bevorzugt auf eine Temperatur im Bereich von 20 bis 30°C abgekühlt. Preferably, the hollow body is after forming at a temperature of less than 500 ° C, for example less than 200 ° C or less than 100 ° C or less than 50 ° C, more preferably at a temperature in the range of 20 to 30 ° C cooled.
Vorverdichten supercharging
Es ist prinzipiell möglich, das in Schritt i.) bereitgestellte Siliziumdioxidgranulat einem oder mehreren Vorbehandlungsschritten zu unterziehen, bevor es in Schritt ii.) bis zum Erhalt einer Glasschmelze erwärmt wird. Als Vorbehandlungsschritte kommen beispielsweise thermische oder mechanische Behandlungsschritte in Betracht. Zum Beispiel wird das Siliziumdioxidgranulat vor dem Erwärmen in Schritt ii.) verdichtet. Unter„Verdichten" wird eine Verringerung der BET-Oberfläche und eine Verringerung des Porenvolumens verstanden.  It is in principle possible to subject the silicon dioxide granules provided in step i) to one or more pretreatment steps before it is heated in step ii) until a glass melt is obtained. As pretreatment steps, for example, thermal or mechanical treatment steps into consideration. For example, the silica granules are compacted before heating in step ii.). By "compaction" is meant a reduction in BET surface area and a reduction in pore volume.
Das Siliziumdioxidgranulat wird bevorzugt thermisch durch Erhitzen des Siliziumdioxidgranulats oder mechanisch durch Ausüben eines Drucks auf das Siliziumdioxidgranulat, beispielsweise Walzen oder Pressen des Sili- ziumdioxidgranulats, verdichtet. Bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat durch Erhitzen verdichtet. Besonders bevorzugt erfolgt das Verdichten des Siliziumdioxidgranulats durch Erhitzen mittels einer mit dem Schmelzofen verbundenen Vorheizstrecke. The silica granules are preferably densified thermally by heating the silica granules or mechanically by applying a pressure to the silica granules, for example rolling or pressing the silica granules. Preferably, the silica granules are compacted by heating. Particularly preferably, the compacting of the silicon dioxide granules is carried out by heating by means of a preheating section connected to the melting furnace.
Bevorzugt wird das Siliziumdioxid durch Erhitzen bei einer Temperatur in einem Bereich von 800 bis 1400°C, zum Beispiel bei einer Temperatur in einem Bereich von 850 bis 1300°C, besonders bevorzugt bei einer Temperatur in einem Bereich von 900 bis 1200°C verdichtet. Preferably, the silica is densified by heating at a temperature in a range of 800 to 1400 ° C, for example, at a temperature in a range of 850 to 1300 ° C, particularly preferably at a temperature in a range of 900 to 1200 ° C.
In einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung wird die BET-Oberfläche des Siliziumdioxidgranulats vor dem Erwärmen in Schritt ii.) nicht auf weniger als 5 m2/g verringert, bevorzugt nicht auf weniger als 7 m2/g oder nicht auf weniger als 10 m2/g, besonders bevorzugt nicht auf weniger als 15 m2/g. Es ist weiterhin bevorzugt, dass die BET-Oberfläche des Siliziumdioxidgranulats vor dem Erwärmen in Schritt ii.) gegenüber dem in Schritt i.) bereitgestellten Siliziumdioxidgranulat nicht verringert wird. In a preferred embodiment of the first aspect of the invention, the BET surface area of the silica granule prior to heating in step ii.) Is not reduced to less than 5 m 2 / g, preferably not less than 7 m 2 / g or not less than 10 m 2 / g, more preferably not less than 15 m 2 / g. It is further preferred that the BET surface area of the silica granules prior to heating in step ii.) Is not reduced over the silica granules provided in step i.).
In einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung wird die BET-Oberfläche des Sili- ziumdioxidgranulats auf weniger als 20 m2/g verringert, zum Beispiel auf weniger als 15m2/g, oder auf weniger als 10 m2/g, oder auf einen Bereich von mehr als 5 bis weniger als 20 m2/g oder von 7 bis 15 m2/g, besonders bevorzugt auf einen Bereich von 9 bis 12 m2/g. Bevorzugt wird die BET-Oberfläche des Siliziumdioxidgranulats vor dem Erwärmen in Schritt ii.) gegenüber dem in Schritt i.) bereitgestellten Siliziumdioxidgranulat um weniger als 40 m2/g verringert, zum Beispiel um 1 bis 20 m2/g oder um 2 bis 10 m2/g, besonders bevorzugt um 3 bis 8 m2/g, wobei die BET-Oberfläche nach dem Verdichten mehr als 5 m2/g beträgt. In a preferred embodiment of the first aspect of the invention, the BET surface area of the silica granule is reduced to less than 20 m 2 / g, for example to less than 15 m 2 / g, or to less than 10 m 2 / g, or to a range of greater than 5 to less than 20 m 2 / g or from 7 to 15 m 2 / g, especially preferably to a range of 9 to 12 m 2 / g. Preferably, the BET surface area of the silica granules is reduced by less than 40 m 2 / g, for example by 1 to 20 m 2 / g or by 2 to 10, prior to heating in step ii.) Over the silica granules provided in step i.) m 2 / g, more preferably around 3 to 8 m 2 / g, wherein the BET surface area after compaction is more than 5 m 2 / g.
Das verdichtete Siliziumdioxidgranulat wird im Folgenden als Siliziumdioxidgranulat III bezeichnet. Bevorzugt weist das Siliziumdioxidgranulat III mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale auf: The compacted silica granules are referred to below as silica granules III. The silicon dioxide granules III preferably have at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following characteristics:
A. eine BET-Oberfläche in einem Bereich von mehr als 5 bis weniger als 40 m2/g, zum Beispiel von 10 bis 30 m2/g, besonders bevorzugt auf einen Bereich von 15 bis 25 m2/g; A. a BET surface area in a range of more than 5 to less than 40 m 2 / g, for example from 10 to 30 m 2 / g, more preferably in a range of 15 to 25 m 2 / g;
B. eine Partikelgröße D10 in einem Bereich von 100 bis 300 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 120 bis 200 μηι; B. a particle size D 10 in a range of 100 to 300 μηι, more preferably in a range of 120 to 200 μηι;
C. eine Partikelgröße D50 in einem Bereich von 150 bis 550 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 200 bis 350 μηι; C. a particle size D 50 in a range of 150 to 550 μηι, particularly preferably in a range of 200 to 350 μηι;
D. eine Partikelgröße D90 in einem Bereich von 300 bis 650 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 400 bis 500 μηι; D. a particle size D 90 in a range of 300 to 650 μηι, more preferably in a range of 400 to 500 μηι;
E. eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,8 bis 1,6 g/cm3, besonders bevorzugt von 1,0 bis 1,4 g/cm3;E. a bulk density in a range of 0.8 to 1.6 g / cm 3 , more preferably from 1.0 to 1.4 g / cm 3 ;
F. eine Stampfdichte in einem Bereich von 1,0 bis 1,4 g/cm3, besonders bevorzugt von 1,15 bis 1,35 g/cm3; F. a tamped density in a range of 1.0 to 1.4 g / cm 3 , more preferably from 1.15 to 1.35 g / cm 3 ;
G. eine Menge von Kohlenstoff von weniger als 5 ppm, zum Beispiel von weniger als 4,5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 4 ppm;  G. an amount of carbon of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm;
H. einen Cl-Gehalt von weniger als 500 ppm, besonders bevorzugt von 1 ppb bis 200 ppm,  H. a Cl content of less than 500 ppm, more preferably from 1 ppb to 200 ppm,
wobei die ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats III bezogen sind.  wherein the ppm and ppb are each based on the total weight of the silica granules III.
Das Siliziumdioxidgranulat III weist bevorzugt die Merkmalskombination A./F./G. oder A./F./H. oder A./G./H. auf, besonders bevorzugt die Merkmalskombination A./F./G./H. The silica granule III preferably has the feature combination A./F./G. or A./F./H. or A./G./H. on, particularly preferably the combination of features A./F./G./H.
Das Siliziumdioxidgranulat III weist bevorzugt die Merkmalskombination A./F./G. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g liegt, die Stampfdichte in einem Bereich von 1,15 bis 1,35 g/mL liegt und der Kohlenstoffgehalt weniger als 4 ppm beträgt. The silica granule III preferably has the feature combination A./F./G. wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the tamped density is in a range of 1.15 to 1.35 g / mL, and the carbon content is less than 4 ppm.
Das Siliziumdioxidgranulat III weist bevorzugt die Merkmalskombination A./F./H. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g, die Stampfdichte in einem Bereich von 1,15 bis 1,35 g/mL und der Chlorgehalt in einem Bereich von 1 ppb bis 200 ppm liegt. The silica granules III preferably has the combination of features A./F./H. wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the tapped density is in a range of 1.15 to 1.35 g / ml, and the chlorine content is in a range of 1 ppb to 200 ppm.
Das Siliziumdioxidgranulat III weist bevorzugt die Merkmalskombination A./G./H. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 4 ppm beträgt und der Chlorgehalt in einem Bereich von 1 ppb bis 200 ppm liegt. The silica granules III preferably has the feature combination A./G./H. wherein the BET surface area is in a range of 10 to 30 m 2 / g, the carbon content is less than 4 ppm, and the chlorine content is in a range of 1 ppb to 200 ppm.
Das Siliziumdioxidgranulat III weist bevorzugt die Merkmalskombination A./F./G./H. auf, wobei die BET- Oberfläche in einem Bereich von 10 bis 30 m2/g liegt, die Stampfdichte in einem Bereich von 1,15 bis 1,35 g/mL liegt, der Kohlenstoffgehalt weniger als 4 ppm beträgt und der Chlorgehalt in einem Bereich von 1 ppb bis 200 ppm liegt. The silica granules III preferably has the feature combination A./F./G./H. with the BET surface area in a range of 10 to 30 m 2 / g, the tamped density in a range of 1.15 to 1.35 g / ml the carbon content is less than 4 ppm and the chlorine content ranges from 1 ppb to 200 ppm.
Bevorzugt wird in mindestens einem Verfahrensschritt eine von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente zugegeben. Die Zugabe einer von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente wird im Folgenden auch als Si-Dotieren bezeichnet. Prinzipiell kann das Si-Dotieren in jedem Verfahrensschritt erfolgen. Bevorzugt erfolgt das Si-Dotieren in Schritt i.) oder in Schritt ii.). Die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente kann prinzipiell in beliebiger Form zugegeben werden, zum Beispiel als Feststoff, als Flüssigkeit, als Gas, in Lösung oder als Dispersion. Bevorzugt wird die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente als Pulver zugegeben. Ebenfalls bevorzugt wird die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente als Flüssigkeit oder als Gas zugegeben. Die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente wird bevorzugt in einer Menge in einem Bereich von 1 bis 100.000 ppm zugegeben, zum Beispiel in einem Bereich von 10 bis 10.000 ppm oder von 30 bis 1000 ppm oder in einem Bereich von 50 bis 500 ppm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 80 bis 200 ppm, , weiter besonders bevorzugt in einem Bereich von 200 bis 300 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht an Siliziumdioxid. Preferably, in at least one process step, a silicon component other than silicon dioxide is added. The addition of a silicon component other than silicon dioxide is also referred to below as Si doping. In principle, the Si doping can be carried out in any method step. The Si doping is preferably carried out in step i) or in step ii). The silicon component other than silicon dioxide can in principle be added in any desired form, for example as a solid, as a liquid, as a gas, in solution or as a dispersion. Preferably, the silicon dioxide-different silicon component is added as a powder. Also preferably, the silicon dioxide-different silicon component is added as a liquid or as a gas. The silicon dioxide-non-silicon component is preferably added in an amount within a range of 1 to 100,000 ppm, for example, in a range of 10 to 10,000 ppm or 30 to 1,000 ppm or in a range of 50 to 500 ppm, more preferably in one Range of 80 to 200 ppm, more preferably in a range of 200 to 300 ppm, each based on the total weight of silica.
Die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente kann fest, flüssig oder gasförmig vorliegen. Ist sie fest, weist sie bevorzugt eine mittlere Partikelgröße von bis zu 10 mm auf, zum Beispiel von bis zu 1000 μηι von bis zu 400 μηι oder in einem Bereich von 1 bis 400 μηι, zum Beispiel 2 bis 200 μηι oder 3 bis 100 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 5 bis 50 μηι. Die Partikelgrößenangaben sind bezogen auf den Zustand der von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente bei Raumtemperatur. The silicon dioxide-different silicon component may be solid, liquid or gaseous. If it is solid, it preferably has an average particle size of up to 10 mm, for example of up to 1000 μηι of up to 400 μηι or in a range of 1 to 400 μηι, for example 2 to 200 μηι or 3 to 100 μηι , more preferably in a range of 5 to 50 μηι. The particle size data are based on the state of the non-silicon dioxide silicon component at room temperature.
Die Siliziumkomponente weist bevorzugt eine Reinheit von mindestens 99.5 Gew.-% auf, zum Beispiel von mindestens 99,8 Gew.-% oder von mindestens 99.9 Gew.-%, oder von mindestens 99,99 Gew.-%, besonders bevorzugt von mindestens 99,999 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Siliziumkomponente. Bevor - zugt weist die Siliziumkomponente eine Menge an Kohlenstoff von nicht mehr als 10 ppm auf, zum Beispiel nicht mehr als 50 ppm, besonders bevorzugt nicht mehr als 1 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Siliziumkomponente. Besonders bevorzugt gilt dies für als Siliziumkomponente eingesetztes Silizium. Bevorzugt weist die Siliziumkomponente eine Menge an Verunreinigungen ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus AI, Ca, Co, Cr, Cu, Fe, Ge, Hf, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Ni, Ti, V, W, Zn, Zr von nicht mehr als 250 ppm auf, zum Bei- spiel nicht mehr als 150 ppm, besonders bevorzugt nicht mehr als 100 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Siliziumkomponente. Besonders bevorzugt gilt dies für als Siliziumkomponente eingesetztes Silizium. The silicon component preferably has a purity of at least 99.5 wt .-%, for example of at least 99.8 wt .-% or of at least 99.9 wt .-%, or of at least 99.99 wt .-%, more preferably of at least 99.999 wt .-%, each based on the total weight of the silicon component. Preferably, the silicon component has an amount of carbon of not more than 10 ppm, for example not more than 50 ppm, more preferably not more than 1 ppm, each based on the total weight of the silicon component. This is particularly preferred for silicon used as a silicon component. Preferably, the silicon component has an amount of impurities selected from the group consisting of Al, Ca, Co, Cr, Cu, Fe, Ge, Hf, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Ni, Ti, V, W, Zn, Zr of not more than 250 ppm, for example not more than 150 ppm, more preferably not more than 100 ppm, in each case based on the total weight of the silicon component. This is particularly preferred for silicon used as a silicon component.
Bevorzugt wird in Verfahrensschritt i.) eine von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente zugegeben. Bevorzugt wird die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente während des Verarbeitens des Silizi- umdioxidpulvers zu einem Siliziumdioxidgranulat zugegeben (Schritt IL). Zum Beispiel kann die von Siliziumdi- oxid verschiedene Siliziumkomponente vor, während oder nach dem Granulieren zu dem Siliziumdioxid gegeben werden. In method step i.), A silicon component other than silicon dioxide is preferably added. Preferably, the silica component other than silicon dioxide is added to a silica granule during processing of the silica powder (step II). For example, the silicon dioxide oxide various silicon component before, during or after granulation are added to the silica.
Bevorzugt kann das Siliziumdioxid durch Zugabe der von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente zu der Aufschlämmung beinhaltend Siliziumdioxidpulver Si-dotiert werden. Zum Beispiel wird dazu die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente mit Siliziumdioxidpulver vermischt und anschließend in einer Flüssigkeit aufgeschlämmt, oder die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente wird zu einer Aufschlämmung aus Siliziumdioxidpulver in einer Flüssigkeit gegeben und aufgeschlämmt, oder das Siliziumdioxidpulver wird zu einer Aufschlämmung oder Lösung aus der von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente in einer Flüssigkeit gegeben und aufgeschlämmt. Preferably, the silica may be Si-doped by adding the silicon dioxide-disparate silicon component to the slurry including silica powder. For example, for this, the silicon dioxide-dissimilar silicon component is mixed with silica powder and then slurried in a liquid, or the silicon dioxide-non-silicon component is added to a slurry of silica powder in a liquid and slurried, or the silica powder becomes a slurry or solution of Silicon dioxide various silicon component in a liquid and slurried.
Bevorzugt kann das Siliziumdioxid durch Zugabe der von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente beim Granulieren Si-dotiert werden. Es ist prinzipiell möglich, die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente zu jedem beliebigen Zeitpunkt während des Granulierens zuzugeben. Im Falle des Sprühgranulierens kann die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente zum Beispiel durch die Düse gemeinsam mit der Aufschlämmung in den Sprühturm gesprüht werden. Im Falle des Rollgranulierens kann die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente bevorzugt in fester Form oder als Aufschlämmung zum Beispiel nach dem Eintragen der Aufschlämmung in den Rührbehälter gegeben werden. Weiter bevorzugt kann das Siliziumdioxid durch Zugabe der von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente nach dem Granulieren Si-dotiert werden. Zum Beispiel kann das Siliziumdioxid bei der Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I zum Siliziumdioxidgranulat II dotiert werden, bevorzugt durch Zugabe der von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente während der thermischen oder mechanischen Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I. Preferably, the silicon dioxide can be Si-doped by adding the silicon dioxide-different silicon component during granulation. It is in principle possible to add the silicon dioxide-different silicon component at any time during granulation. In the case of spray granulation, for example, the silica component other than silica may be sprayed through the nozzle together with the slurry into the spray tower. In the case of roll granulation, the silicon dioxide-different silicon component may preferably be added in solid form or as a slurry, for example, after the slurry is introduced into the stirred tank. More preferably, the silica may be Si-doped by adding the silicon dioxide-disparate silicon component after granulation. For example, in the treatment of the silica granules I, the silica may be doped to the silica granules II, preferably by adding the non-silica silicon component during the thermal or mechanical treatment of the silica granules I.
Bevorzugt wird das Siliziumdioxidgranulat II mit der von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente dotiert. Preferably, the silica granule II is doped with the silicon dioxide-different silicon component.
Weiter bevorzugt kann die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente auch während mehrerer der vorgenannten Abschnitte zugegeben werden, insbesondere während und nach der thermischen oder mechanischen Behandlung des Siliziumdioxidgranulats I zum Siliziumdioxidgranulat II. More preferably, the silicon dioxide-different silicon component can also be added during several of the aforementioned sections, in particular during and after the thermal or mechanical treatment of the silicon dioxide granules I to the silicon dioxide granules II.
Die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente kann prinzipiell Silizium oder jede dem Fachmann bekannte und reduzierend wirkende Silizium-haltige Verbindung sein. Bevorzugt ist die von Siliziumdioxid ver- schiedene Siliziumkomponente Silizium, eine Silizium- Wasserstoff- Verbindung, zum Beispiel ein Silan, eine Silizium-Sauerstoff-Verbindung, zum Beispiel Siliziummonooxid, oder eine Silizium- Wasserstoff-Sauerstoff- Verbindung, zum Beispiel Disiloxan. Beispiele für bevorzugte Silane sind Monosilan, Disilan, Trisilan, Tetrasilan Pentasilan, Hexasilanm Heptasilan, höhere Homologe und Isomere der zuvor genannten, sowie zyklische Silane wie Cyclopentasilan. The silicon component, which is different from silicon dioxide, may in principle be silicon or any compound containing silicon which is known and has a reducing effect on the person skilled in the art. The silicon component other than silicon dioxide is preferably silicon, a silicon-hydrogen compound, for example a silane, a silicon-oxygen compound, for example silicon monoxide, or a silicon-hydrogen-oxygen compound, for example disiloxane. Examples of preferred silanes are monosilane, disilane, trisilane, tetrasilane pentasilane, hexasilane heptasilane, higher homologs and isomers of the aforementioned, as well as cyclic silanes such as cyclopentasilane.
Bevorzugt wird in Verfahrensschritt ii.) eine von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente zugegeben. Bevorzugt kann die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente zusammen mit dem Siliziumdioxidgranulat direkt in den Schmelztiegel gegeben werden. Bevorzugt kann Silizium als die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente zusammen mit dem Siliziumdioxidgranulat in den Schmelztiegel gegeben werden. Das Silizium wird bevorzugt als Pulver zugegeben, insbesondere in der für die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente bereits genannten Partikelgröße. In process step ii.), A silicon component other than silicon dioxide is preferably added. Preferably, the silicon dioxide-different silicon component may be added directly to the crucible together with the silica granules. Preferably, silicon may be added to the crucible as the non-silica silicon component together with the silica granules. The silicon is preferably added as a powder, in particular in the particle size already mentioned for the silicon dioxide-different silicon component.
Bevorzugt wird die von Siliziumdioxid verschiedene Siliziumkomponente vor dem Einführen in den Schmelztiegel zu dem Siliziumdioxidgranulat gegeben. Die Zugabe kann prinzipiell jederzeit nach der Bildung des Granulats erfolgen, zum Beispiel in der Vorheizstrecke, vor oder während dem Vorverdichten des Siliziumdioxidgranulats II oder zu dem Siliziumdioxidgranulat III. Preferably, the silica component other than silicon dioxide is added to the silica granules prior to introduction into the crucible. The addition can in principle be carried out at any time after the formation of the granules, for example in the preheating section, before or during the precompression of the silicon dioxide granules II or to the silicon dioxide granules III.
Ein durch Zugabe von einer von Siliziumdioxid verschiedenen Siliziumkomponente erhaltenes Siliziumdioxidgranulat wird im Folgenden als„Si-dotiertes Granulat" bezeichnet. Bevorzugt weist das Si-dotierte Granulat mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale auf: A silica granule obtained by adding a silicon component other than silicon dioxide will be referred to as "Si-doped granules." Preferably, the Si-doped granules have at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following Features on:
[I] eine BET-Oberfläche in einem Bereich von mehr als 5 bis weniger als 40 m2/g, zum Beispiel von 10 bis 30 m2/g, besonders bevorzugt in einem Bereich von 15 bis 25 m2/g; [I] has a BET surface area in a range of more than 5 to less than 40 m 2 / g, for example, 10 to 30 m 2 / g, particularly preferably in a range of 15 to 25 m 2 / g;
[2] eine Partikelgröße D10 in einem Bereich von 100 bis 300 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 120 bis 200 μηι; [2] a particle size D 10 in a range of 100 to 300 μηι, more preferably in a range of 120 to 200 μηι;
[3] eine Partikelgröße D50 in einem Bereich von 150 bis 550 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 200 bis 350 μηι; [3] a particle size D 50 in a range of 150 to 550 μηι, particularly preferably in a range of 200 to 350 μηι;
[4] eine Partikelgröße D90 in einem Bereich von 300 bis 650 μηι, besonders bevorzugt in einem Bereich von 400 bis 500 μηι; [4] a particle size D 90 in a range of 300 to 650 μηι, more preferably in a range of 400 to 500 μηι;
[5] eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,8 bis 1,6 g/cm3, besonders bevorzugt von 1,0 bis 1,4 g/cm3; [5] a bulk density in a range from 0.8 to 1.6 g / cm 3 , more preferably from 1.0 to 1.4 g / cm 3 ;
[6] eine Stampfdichte in einem Bereich von 1,0 bis 1,4 g/cm3, besonders bevorzugt von 1,15 bis 1,35 g/cm3; [6] a tamped density in a range of 1.0 to 1.4 g / cm 3 , more preferably from 1.15 to 1.35 g / cm 3 ;
[7] eine Menge von Kohlenstoff von weniger als 5 ppm, zum Beispiel von weniger als 4,5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 4 ppm;  [7] an amount of carbon of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm;
[8] einen Cl-Gehalt von weniger als 500 ppm, besonders bevorzugt von 1 ppb bis 200 ppm;  [8] a Cl content of less than 500 ppm, more preferably from 1 ppb to 200 ppm;
[9] einen Al-Gehalt von weniger als 200 ppb, besonders bevorzugt von 1 ppb bis 100 ppb;  [9] an Al content of less than 200 ppb, more preferably from 1 ppb to 100 ppb;
[10] einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1000 ppb, zum [10] a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb
Beispiel in einem Bereich von 1 bis 400 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 200 ppb;Example in a range of 1 to 400 ppb, more preferably in a range of 1 to 200 ppb;
[I I] eine Restfeuchte von weniger als 3 Gew.-%, zum Beispiel in einem Bereich von 0,001 Gew.-% bis 2 Gew.-%, besonders bevorzugt von 0,01 bis 1 Gew.-%; [I I] has a residual moisture content of less than 3% by weight, for example in a range from 0.001% by weight to 2% by weight, particularly preferably from 0.01 to 1% by weight;
wobei die Gew.-%, ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Si-dotierten Granulats bezogen sind.  wherein the wt .-%, ppm and ppb are each based on the total weight of the Si-doped granules.
In einer bevorzugten Ausführungsform des ersten Gegenstands der Erfindung wird die Schmelzenergie über eine feste Oberfläche auf das Siliziumdioxidgranulat übertragen. Als feste Oberfläche wird eine Oberfläche verstanden, die von der Oberfläche des Siliziumdioxidgranulats verschieden ist und die bei Temperaturen, auf die das Siliziumdioxidgranulat zum Schmelzen erhitzt wird, nicht schmilzt oder sich zersetzt. Geeignete Materialien der festen Oberfläche sind zum Beispiel die als Tiegelmaterialien geeigneten Materialien. In a preferred embodiment of the first aspect of the invention, the melting energy is transferred to the silica granules via a solid surface. A solid surface is understood to mean a surface which is different from the surface of the silica granules and which does not melt or decompose at temperatures to which the silica granules are heated to melt. Suitable materials of the solid surface are, for example, the materials suitable as crucible materials.
Die feste Oberfläche kann prinzipiell jede dem Fachmann bekannte und für diese zwecke geeignete Oberfläche sein. Zum Beispiel kann als feste Oberfläche der Tiegel oder ein separates Bauteil, das nicht der Tiegel ist, verwendet werden. Die feste Oberfläche kann prinzipiell auf allen dem Fachmann bekannten und für diese Zwecke geeigneten Wegen erhitzt werden, um die Schmelzenergie auf das Siliziumdioxidgranulat zu übertragen. Bevorzugt wird die feste Oberfläche durch resistive Beheizung oder Induktionsheizung erhitzt. Bei induktiver Heizung wird die Energie direkt durch Spulen in die feste Oberfläche eingekoppelt und von dort an deren Innenseite abgegeben. Bei resistiver Heizung wird die feste Oberfläche von außen erwärmt und gibt die Energie von dort an deren In- nenseite ab. Dabei ist ein Heizraumgas mit niedrigerer Wärmekapazität, beispielsweise eine Argonatmosphäre oder eine argonhaltige Atmosphäre, vorteilhaft. Zum Beispiel kann die feste Oberfläche elektrisch oder auch durch Befeuern der festen Oberfläche mit einer Flamme von außen erhitzt werden. Bevorzugt wird die feste Oberfläche auf eine Temperatur erhitzt, die eine zum Schmelzen des Siliziumdioxidgranulats ausreichende Energiemenge auf das Siliziumdioxidgranulat und/oder bereits zum Teil geschmolzenes Siliziumdioxidgranulat übertra- gen kann. The solid surface may, in principle, be any surface known to those skilled in the art and suitable for these purposes. For example, as a solid surface, the crucible or a separate component other than the crucible may be used. The solid surface may, in principle, be heated in any way known to the person skilled in the art and suitable for this purpose in order to transfer the melting energy to the silicon dioxide granules. Preferably, the solid surface is heated by resistive heating or induction heating. In inductive heating, the energy is coupled directly by coils in the solid surface and discharged from there to the inside. With resistive heating, the solid surface is heated from the outside and releases the energy from there to the inside. In this case, a heating chamber gas with a lower heat capacity, for example an argon atmosphere or an argon-containing atmosphere, is advantageous. For example, the solid surface may be heated electrically or by firing the solid surface with a flame from the outside. Preferably, the solid surface is heated to a temperature that can transmit an amount of energy sufficient to melt the silica granules to the silica granules and / or partially melted silica granules.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt der Energieeintrag in den Sintertiegel nicht durch ein Erwärmen des Sintertiegels, oder eines darin vorliegenden Schmelzguts, oder beidem, mittels einer Flamme, wie zum Beispiel einer in den Sintertiegel oder auf den Sintertiegel gerichteten Brennerflam- me. According to a preferred embodiment of the present invention, the energy input into the sintered crucible is not effected by heating the sinter crucible, or a melt therein, or both, by means of a flame, such as a burner flame directed into the sinter crucible or sinter crucible.
Wird als feste Oberfläche ein separates Bauteil verwendet, kann dieses in beliebiger Weise mit dem Siliziumdioxidgranulat in Kontakt gebracht werden, zum Beispiel durch Auflegen des Bauteils auf das Siliziumdioxidgranulat oder durch Einführen des Bauteils zwischen die Granulen des Siliziumdioxidgranulats oder durch Unterschie- ben des Bauteils zwischen Tiegel und Siliziumdioxidgranulat oder durch eine Kombination von zwei oder mehr davon. Das Bauteil kann vor oder während oder vor und während des Übertragens der Schmelzenergie erhitzt werden. If a separate component is used as a solid surface, it can be brought into contact with the silicon dioxide granules in any manner, for example by placing the component on the silica granules or by introducing the component between the granules of the silicon dioxide granules or by sliding the component between crucibles and silica granules or by a combination of two or more thereof. The component may be heated before or during or before and during the transfer of the melting energy.
Bevorzugt wird die Schmelzenergie über die Tiegelinnenseite auf das Siliziumdioxidgranulat übertragen. Dabei wird der Tiegel soweit erhitzt, dass das Siliziumdioxidgranulat schmilzt. Der Tiegel wird bevorzugt resistiv oder induktiv erhitzt. Die Wärme wird von der Außenseite auf die Innenseite des Tiegels übertragen. Die feste Oberfläche der Tiegelinnenseite überträgt die Schmelzenergie auf das Siliziumdioxidgranulat. Preferably, the melting energy is transferred via the crucible inside to the silica granules. The crucible is heated to the point where the silica granulate melts. The crucible is preferably heated resistively or inductively. The heat is transferred from the outside to the inside of the crucible. The solid surface of the inner crucible transmits the melting energy to the silica granules.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die Schmelzenergie auf das Siliziumdioxidgranulat nicht über einen Gasraum auf das Siliziumdioxidgranulat übertragen. Weiter bevorzugt wird die Schmelzenergie auf das Siliziumdioxidgranulat nicht durch Befeuern des Siliziumdioxidgranulats mit einer Flamme übertragen. Beispiele für diese ausgeschlossenen Energieübertragungswege sind Richten von einer oder mehreren Brennerflammen von oben in den Schmelztiegel, oder auf das Siliziumdioxid, oder beides. According to another preferred embodiment of the present invention, the melting energy is not transferred to the silica granules via a gas space on the silica granules. More preferably, the melting energy is not imparted to the silica granules by firing the silica granules transmitted with a flame. Examples of these excluded energy transmission paths are directing one or more burner flames from the top into the crucible, or onto the silica, or both.
Das vorstehend beschriebene Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung betrifft die Herstellung eines Quarzglaskörpers. The above-described method according to the first aspect of the invention relates to the production of a quartz glass body.
Bevorzugt weist der Quarzglaskörper mindestens eines der folgenden Merkmale, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale auf: The quartz glass body preferably has at least one of the following features, for example at least two or at least three or at least four, particularly preferably at least five of the following features:
A] einen OH-Gehalt von weniger als 500 ppm, zum Beispiel von weniger als 400 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 300 ppm;  A] an OH content of less than 500 ppm, for example less than 400 ppm, more preferably less than 300 ppm;
B] einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm, bevorzugt von weniger als 100 ppm, zum Beispiel von weniger als 80 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 60 ppm;  B] a chlorine content of less than 200 ppm, preferably less than 100 ppm, for example less than 80 ppm, more preferably less than 60 ppm;
C] einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb, zum Beispiel von weniger als 100 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 80 ppb;  C] has an aluminum content of less than 200 ppb, for example less than 100 ppb, more preferably less than 80 ppb;
D] einen ODC-Anteil von weniger als 5-1015/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 0,1· 1015 bisD] an ODC content of less than 5-10 15 / cm 3 , for example in a range of 0.1 × 10 15 to
3-10 15 / cm3 , besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,5-10115J bis 2,0-10115J /cm3J; 3-10 15 / cm 3 , more preferably in a range of 0.5-101 1 5 J to 2.0-101 1 5 J / cm 3 J ;
E] einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm, zum Beispiel von weniger als 0,5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 0,1 ppm; E] a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, for example less than 0.5 ppm, more preferably less than 0.1 ppm;
F] eine Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis logm (η (1250°C) / dPas) = 12,9 und/oder log10 (η (1300°C) / dPas) = 11,1 bis log10 (η (1300°C) / dPas) = 12,2 und/oder log10 (η (1350°C) / dPas) = 10,5 bis log10 (η (1350°C) / dPas) = 11,5;F] a viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to logm (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9 and / or log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 11.1 to log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 12.2 and / or log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 10.5 to log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 11.5;
G] eine Standardabweichung des OH-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den OH-Gehalt A] des Quarzglaskörpers; G] a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content A] of the quartz glass body;
H] eine Standardabweichung des Cl-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Cl-Gehalt B] des Quarzglaskörpers;  H] a standard deviation of the Cl content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Cl content B] of the quartz glass body;
I] eine Standardabweichung des Al-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Al-Gehalt C] des Quarzglaskörpers;  I] a standard deviation of the Al content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Al content C] of the quartz glass body;
J] eine Brechzahlhomogenität von weniger als 10"4; J] a refractive index homogeneity of less than 10 "4 ;
K] eine zylindrische Form,  K] a cylindrical shape,
L] einen Wolframgehalt von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb oder von weniger als 300 ppb oder von weniger als 100 ppb oder in einem Bereich von 1 bis 500 ppb oder von 1 bis 300 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 100 ppb;  L] has a tungsten content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb;
M] einen Molybdängehalt von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb oder von weniger als 300 ppb oder von weniger als 100 ppb oder in einem Bereich von 1 bis 500 ppb oder von 1 bis 300 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 100 ppb,  M] has a molybdenum content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb,
wobei die ppb und ppm jeweils auf das Gesamtgewicht des Quarzglaskörpers bezogen sind.  wherein the ppb and ppm are each based on the total weight of the quartz glass body.
Bevorzugt weist der Quarzglaskörper einen Metallgehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 100 ppb, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Quarzglaskörpers, auf. Oftmals weist der Quarzglaskörper jedoch einen Gehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. Solche Metalle sind bei- spielsweise Natrium, Lithium, Kalium, Magnesium, Calcium, Strontium, Germanium, Kupfer, Molybdän, Titan, Eisen und Chrom. Diese können zum Beispiel als Element, als Ion, oder als Teil eines Moleküls oder eines Ions oder eines Komplexes vorliegen. Der Quarzglaskörper kann weitere Bestandteile beinhalten. Bevorzugt beinhaltet der Quarzglaskörper weniger als 500 ppm, zum Beispiel weniger als 450 ppm, besonders bevorzugt weniger als 400 ppm an weiteren Bestandteilen, wobei die ppm jeweils bezogen sind auf das Gesamtgewicht des Quarzglaskörpers. Als weitere Bestandteile kommen zum Beispiel Kohlenstoff, Fluor, Jod, Brom und Phosphor in Betracht. Diese können zum Beispiel als Element, als Ion, oder als Teil eines Moleküls oder eines Ions oder eines Komplexes vorliegen. Oftmals weist der Quarzglaskörper jedoch einen Gehalt an weiteren Bestandteilen in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. The quartz glass body preferably has a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb, particularly preferably less than 100 ppb, in each case based on the total weight of the quartz glass body. Often, however, the quartz glass body has a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb. Such metals are For example, sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex. The quartz glass body may include other ingredients. Preferably, the quartz glass body contains less than 500 ppm, for example less than 450 ppm, more preferably less than 400 ppm of further constituents, the ppm being in each case based on the total weight of the quartz glass body. Other constituents which may be considered are, for example, carbon, fluorine, iodine, bromine and phosphorus. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex. Often, however, the quartz glass body has a content of other constituents in an amount of at least 1 ppb.
Bevorzugt beinhaltet der Quarzglaskörper Kohlenstoff in einer Menge von weniger als 5 ppm, zum Beispiel weniger als 4,5 ppm, besonders bevorzugt weniger als 4 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Quarzglaskörpers. Oftmals weist der Quarzglaskörper jedoch einen Gehalt an Kohlenstoff in einer Menge von mindes- tens 1 ppb auf. Preferably, the quartz glass body contains carbon in an amount of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm, each based on the total weight of the quartz glass body. Often, however, the quartz glass body has a content of carbon in an amount of at least 1 ppb.
Bevorzugt weist der Quarzglaskörper eine homogen verteilte OH-Menge, Cl-Menge oder AI-Menge auf. Ein Indikator für die Homogenität des Quarzglaskörpers kann in der Standardabweichung der OH-Menge, Cl-Menge oder AI-Menge ausgedrückt werden. Die Standardabweichung ist das Maß für die Streubreite der Werte einer Variablen, hier der OH-Menge, Chlormenge oder Aluminiummenge, um deren arithmetisches Mittel. Zur Bestimmung der Standardabweichung wird der Gehalt der zu bestimmenden Komponente in der Probe, z.B. OH, Chlor oder Aluminium, an mindestens sieben Messpunkten bestimmt. The quartz glass body preferably has a homogeneously distributed OH amount, Cl amount or Al amount. An indicator of the homogeneity of the quartz glass body can be expressed in the standard deviation of OH amount, Cl amount or AI amount. The standard deviation is the measure of the spread of the values of a variable, here the OH quantity, amount of chlorine or amount of aluminum, by their arithmetic mean. To determine the standard deviation, the content of the component to be determined in the sample, e.g. OH, chlorine or aluminum, determined at at least seven measuring points.
Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/C] oder A]/B]/D] oder A]/B]/F] auf, wei- ter bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/C]/D] oder A]/B]/C]/F] oder A]/B]/D]/F], besonders bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/C]/D]/F] . The quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C] or A] / B] / D] or A] / B] / F], more preferably the combination of features A] / B] / C] / D ] or A] / B] / C] / F] or A] / B] / D] / F], particularly preferably the combination of features A] / B] / C] / D] / F].
Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/C] auf, wobei der OH-Gehalt weniger als 400 ppm, der Chlorgehalt weniger als 100 ppm und der Aluminiumgehalt weniger als 80 ppb beträgt. The quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C], wherein the OH content is less than 400 ppm, the chlorine content less than 100 ppm and the aluminum content less than 80 ppb.
Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/D] auf, der OH-Gehalt weniger als 400 ppm beträgt, der Chlorgehalt weniger als 100 ppm beträgt und der ODC-Anteil in einem Bereich von 0,1 -1015 bis 3-1015 /cm3 liegt. Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/F] auf, wobei der OH-Gehalt weniger als 400 ppm, der Chlorgehalt weniger als 100 ppm und die Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis log10 (η (1250°C) / dPas) = 12,9 liegt. The quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / D], the OH content is less than 400 ppm, the chlorine content is less than 100 ppm and the ODC content is in a range of 0.1 -10 15 to 3 -10 15 / cm 3 lies. The quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / F], wherein the OH content is less than 400 ppm, the chlorine content less than 100 ppm and the viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to log 10 (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9.
Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/C]/D] auf, wobei der OH-Gehalt weniger als 400 ppm, der Chlorgehalt weniger als 100 ppm, der Aluminiumgehalt weniger als 80 ppb beträgt und derThe quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C] / D], the OH content being less than 400 ppm, the chlorine content being less than 100 ppm, the aluminum content being less than 80 ppb and the
ODC-Anteil in einem Bereich von 0,M015 bis 3-1015 /cm3 liegt. Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/C]/F] auf, wobei der OH-Gehalt weniger als 400 ppm, der Chlorgehalt weniger als 100 ppm, der Aluminiumgehalt weniger als 80 ppb beträgt und die Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von log10 (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis log10 (η (1250°C) / dPas) = 12,9 liegt. ODC content is in a range of 0, M0 15 to 3-10 15 / cm 3 . The quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C] / F], wherein the OH content is less than 400 ppm, the chlorine content less than 100 ppm, the aluminum content less than 80 ppb and the viscosity (p = 1013 hPa) is in a range of log 10 (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to log 10 (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9.
Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/D]/F] auf, wobei der OH-Gehalt weniger als 400 ppm beträgt, der Chlorgehalt weniger als 100 ppm beträgt, der ODC-Anteil in einem Bereich von 0,1·1015 bis 3-1015 /cm3 liegt und die Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis log10 (q (1250°C) / dPas) = 12,9 liegt. The quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / D] / F], the OH content being less than 400 ppm, the chlorine content being less than 100 ppm, the ODC content being in the range of 0.1 × 10 15 to 3-10 15 / cm 3 and the viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to log 10 (q (1250 ° C) / dPas) = 12.9.
Der Quarzglaskörper weist bevorzugt die Merkmalskombination A]/B]/C]/D]/F] auf, wobei der OH-Gehalt weniger als 400 ppm, der Chlorgehalt weniger als 100 ppm, der Aluminiumgehalt weniger als 80 ppb beträgt und der ODC-Anteil in einem Bereich von 0,1- 1015 bis 3-1015 /cm3 liegt und die Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von log10 (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis log10 (η (1250°C) / dPas) = 12,9 liegt. The quartz glass body preferably has the combination of features A] / B] / C] / D] / F], the OH content being less than 400 ppm, the chlorine content being less than 100 ppm, the aluminum content being less than 80 ppb and the ODC Proportion is in a range of 0.1- 10 15 to 3-10 15 / cm 3 and the viscosity (p = 1013 hPa) in a range of log 10 (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to log 10 (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9.
Ein zweiter Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Quarzglaskörper erhältlich durch das Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung. A second object of the present invention is a quartz glass body obtainable by the method according to the first aspect of the invention.
Bevorzugt weist der Quarzglaskörper mindestens eines der folgenden Merkmale, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale auf: The quartz glass body preferably has at least one of the following features, for example at least two or at least three or at least four, particularly preferably at least five of the following features:
A] einen OH-Gehalt von weniger als 500 ppm, zum Beispiel von weniger als 400 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 300 ppm;  A] an OH content of less than 500 ppm, for example less than 400 ppm, more preferably less than 300 ppm;
B] einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm, bevorzugt von weniger als 100 ppm, zum Beispiel von weniger als 80 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 60 ppm;  B] a chlorine content of less than 200 ppm, preferably less than 100 ppm, for example less than 80 ppm, more preferably less than 60 ppm;
C] einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb, zum Beispiel von weniger als 100 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 80 ppb;  C] has an aluminum content of less than 200 ppb, for example less than 100 ppb, more preferably less than 80 ppb;
D] einen ODC-Anteil von weniger als 5-1015/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 0,1· 1015 bisD] an ODC content of less than 5-10 15 / cm 3 , for example in a range of 0.1 × 10 15 to
3-10 15 / cm3 , besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,5-10115J bis 2,0-10115J /cm3J; 3-10 15 / cm 3 , more preferably in a range of 0.5-101 1 5 J to 2.0-101 1 5 J / cm 3 J ;
E] einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm, zum Beispiel von weniger als 0,5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 0,1 ppm; E] a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, for example less than 0.5 ppm, more preferably less than 0.1 ppm;
F] eine Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis logm (η (1250°C) / dPas) = 12,9 und/oder log10 (η (1300°C) / dPas) = 11,1 bis log10 (η (1300°C) / dPas) = 12,2 und/oder log10 (η (1350°C) / dPas) = 10,5 bis log10 (η (1350°C) / dPas) = 11,5;F] a viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to logm (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9 and / or log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 11.1 to log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 12.2 and / or log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 10.5 to log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 11.5;
G] eine Standardabweichung des OH-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den OH-Gehalt A] des Quarzglaskörpers; G] a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content A] of the quartz glass body;
H] eine Standardabweichung des Cl-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Cl-Gehalt B] des Quarzglaskörpers;  H] a standard deviation of the Cl content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Cl content B] of the quartz glass body;
I] eine Standardabweichung des Al-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Al-Gehalt C] des Quarzglaskörpers; K] eine zylindrische Form; I] a standard deviation of the Al content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Al content C] of the quartz glass body; K] a cylindrical shape;
L] einen Wolframgehalt von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb oder von weniger als 300 ppb oder von weniger als 100 ppb oder in einem Bereich von 1 bis 500 ppb oder von 1 bis 300 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 100 ppb;  L] has a tungsten content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb;
M] einen Molybdängehalt von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb oder von weniger als 300 ppb oder von weniger als 100 ppb oder in einem Bereich von 1 bis 500 ppb oder von 1 bis 300 ppb, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 bis 100 ppb,  M] has a molybdenum content of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb or less than 300 ppb or less than 100 ppb or in a range of from 1 to 500 ppb or from 1 to 300 ppb, more preferably in one range from 1 to 100 ppb,
wobei die ppb und ppm jeweils auf das Gesamtgewicht des Quarzglaskörpers bezogen sind. Ein dritter Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen eines Lichtleiters beinhaltend folgende Schritte:  wherein the ppb and ppm are each based on the total weight of the quartz glass body. A third object of the present invention is a method for producing a light guide comprising the following steps:
AI Bereitstellen  AI deploy
All eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung beinhaltend Schritt iv.), oder  All of a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to the first subject of the invention including step iv.), Or
A2I eines Quarzglaskörpers gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper mit mindestens einer Öffnung verarbeitet wird; B/ Einbringen eines oder mehrerer Kernstäbe in den Quarzglaskörper durch die mindestens eine Öffnung unter Erhalt eines Vorläufers;  A2I a quartz glass body according to the second subject of the invention, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body having at least one opening; B / introducing one or more core rods into the quartz glass body through the at least one opening to obtain a precursor;
Cl Ziehen des Vorläufers aus Schritt B/ in der Wärme unter Erhalt eines Lichtleiters mit einem oder mehreren Kernen und einer Hülle M 1.  Cl Pull the precursor from step B / in the heat to obtain a light guide with one or more cores and a cladding M 1.
Schritt AI Step AI
Der in Schritt AI bereitgestellte Quarzglaskörper ist ein Hohlkörper mit mindestens einer Öffnung. Der in Schritt AI bereitgestellte Quarzglaskörper ist bevorzugt gekennzeichnet durch die Merkmale gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung. Der in Schritt AI bereitgestellte Quarzglaskörper ist bevorzugt erhältlich durch ein Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung beinhaltend als Schritt iv.) das Bilden eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung aus dem Quarzglaskörper. Besonders bevorzugt weist der so erhältliche Quarzglaskörper die Merkmale gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung auf. Schritt e/  The quartz glass body provided in step AI is a hollow body having at least one opening. The quartz glass body provided in step AI is preferably characterized by the features according to the second aspect of the invention. The quartz glass body provided in step AI is preferably obtainable by a method according to the first subject of the invention as step iv.) Forming a hollow body having at least one opening of the quartz glass body. Particularly preferably, the quartz glass body obtainable in this way has the features according to the second subject of the invention. Steps/
Durch die mindestens eine Öffnung des Quarzglaskörpers werden ein oder mehrere Kernstäbe eingebracht (Schritt B/). Als Kernstab wird im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung ein Gegenstand bezeichnet, der vorgesehen ist, in eine Hülle, zum Beispiel eine Hülle Ml, eingebracht und zu einem Lichtleiter verarbeitet zu werden. Der Kernstab hat einen Kern aus Quarzglas. Bevorzugt beinhaltet der Kernstab einen Kern aus Quarzglas und eine den Kern umgebende erste Mantelschicht MO.  One or more core rods are introduced through the at least one opening of the quartz glass body (step B /). As a core rod in the context of the present invention, an object is referred to, which is intended to be in a shell, for example, a shell Ml, introduced and processed into a light guide. The core rod has a core of quartz glass. Preferably, the core rod includes a core of quartz glass and a first cladding layer MO surrounding the core.
Jeder Kernstab besitzt eine Form, die so gewählt ist, dass sie in den Quarzglaskörper passt. Bevorzugt entspricht die äußere Form eines Kernstabs der Form einer Öffnung des Quarzglaskörpers. Besonders bevorzugt ist der Quarzglaskörper ein Rohr und der Kernstab ein Stab mit einem runden Querschnitt. Der Durchmesser des Kernstabs ist geringer als der Innendurchmesser des Hohlkörpers. Bevorzugt ist der Durchmesser des Kernstabs 0,1 bis 3 mm kleiner als der Innendurchmesser des Hohlkörpers, zum Beispiel 0,3 bis 2,5 mm kleiner oder 0,5 bis 2 mm kleiner oder 0,7 bis 1,5 mm kleiner, besonders bevorzugt 0,8 bis 1,2 mm kleiner. Each core rod has a shape chosen to fit within the quartz glass body. Preferably, the outer shape of a core rod is in the form of an opening of the quartz glass body. Particularly preferably, the quartz glass body is a tube and the core rod is a rod with a round cross section. The diameter of the core rod is less than the inner diameter of the hollow body. Preferably, the diameter of the core rod is 0.1 to 3 mm smaller than the inner diameter of the hollow body, for example 0.3 to 2.5 mm smaller or 0.5 to 2 mm smaller or 0.7 to 1.5 mm smaller, especially preferably 0.8 to 1.2 mm smaller.
Bevorzugt liegt das Verhältnis des Innendurchmessers des Quarzglaskörpers zum Durchmesser des Kernstabs im Bereich von 2: 1 bis 1,0001 : 1, zum Beispiel im Bereich von 1,8: 1 bis 1,01 : 1 oder im Bereich von 1,6: 1 bis 1,005: 1 oder im Bereich von 1,4: 1 bis 1,01: 1, besonders bevorzugt im Bereich von 1,2: 1 bis 1,05: 1. Bevorzugt kann ein Bereich innerhalb des Quarzglaskörpers, der nicht durch den Kernstab ausgefüllt ist, mit mindestens einer weiteren Komponente gefüllt werden, zum Beispiel einem Siliziumdioxidpulver oder einem Siliziumdioxidgranulat. Preferably, the ratio of the inside diameter of the quartz glass body to the diameter of the core rod is in the range of 2: 1 to 1,0001: 1, for example in the range of 1.8: 1 to 1.01: 1 or in the range of 1.6: 1 to 1.005: 1 or in the range of 1.4: 1 to 1.01: 1, more preferably in the range of 1.2: 1 to 1.05: 1. Preferably, a region within the quartz glass body which is not penetrated by the core rod is filled with at least one other component, for example, a silica powder or a silica granules.
Es ist ebenso möglich, dass in einen Quarzglaskörper ein sich bereits in mindestens einem weiteren Quarzglas- körper befindlicher Kernstab eingeführt wird. Der weitere Quarzglaskörper hat dabei einen Außendurchmesser, der geringer als der Innendurchmesser des Quarzglaskörpers ist. Der in den Quarzglaskörper eingeführte Kernstab kann sich auch bereits in zwei oder mehr weiteren Quarzglaskörpern, zum Beispiel in 3 oder 4 oder 5 oder 6 oder mehr weiteren Quarzglaskörpern befinden. Ein so erhältlicher mit einem oder mehreren Kernstäben versehener Quarzglaskörper wird im Folgenden als„Vorläufer" bezeichnet. It is also possible that a core rod already located in at least one further quartz glass body is introduced into a quartz glass body. The further quartz glass body has an outer diameter which is smaller than the inner diameter of the quartz glass body. The core rod introduced into the quartz glass body can also already be located in two or more further quartz glass bodies, for example in 3 or 4 or 5 or 6 or more further quartz glass bodies. A thus obtainable with one or more core rods provided quartz glass body is hereinafter referred to as "precursor".
Schritt Cl Step Cl
Der Vorläufer wird in der Wärme gezogen (Schritt Cl). Das so erhaltene Produkt ist ein Lichtleiter mit einem oder mehreren Kernen und mindestens einer Hülle Ml .  The precursor is pulled hot (step Cl). The product thus obtained is a light guide with one or more cores and at least one shell Ml.
Bevorzugt erfolgt das Ziehen des Vorläufers mit einer Geschwindigkeit im Bereich von 1 bis 100 m/h, zum Beispiel mit einer Geschwindigkeit im Bereich von 2 bis 50 m/h oder von 3 bis 30 m/h. Besonders bevorzugt erfolgt das Ziehen des Quarzglaskörpers mit einer Geschwindigkeit im Bereich von 5 bis 25 m/h. Preference is given to drawing the precursor at a rate in the range from 1 to 100 m / h, for example at a rate in the range from 2 to 50 m / h or from 3 to 30 m / h. Particularly preferably, the drawing of the quartz glass body takes place at a speed in the range of 5 to 25 m / h.
Bevorzugt wird das Ziehen in der Wärme bei einer Temperatur von bis zu 2500°C durchgeführt, zum Beispiel bei einer Temperatur im Bereich von 1700 bis 2400°C besonders bevorzugt bei einer Temperatur im Bereich von 2100 bis 2300°C. Bevorzugt wird der Vorläufer durch einen Ofen geführt, der den Vorläufer von außen erhitzt. Preferably, the drawing is performed in the heat at a temperature of up to 2500 ° C, for example, at a temperature in the range of 1700 to 2400 ° C, more preferably at a temperature in the range of 2100 to 2300 ° C. Preferably, the precursor is passed through an oven which heats the precursor from outside.
Bevorzugt wird der Vorläufer verlängert, bis die gewünschte Dicke des Lichtleiters erreicht wird. Bevorzugt wird der Vorläufer auf die 1.000 bis 6.000.000 fache Länge elongiert, zum Beispiel auf die 10.000 bis 500.000 fache Länge oder auf die 30.000 bis 200.000 fache Länge, jeweils bezogen auf die Länge des in Schritt AI bereitgestell- ten Quarzglaskörper. Besonders bevorzugt wird der Vorläufer auf die 100.000 bis 10.000.000 fache Länge elongiert, zum Beispiel auf die 150.000 bis 5.800.000 fache Länge oder auf die 160.000 bis 640.000 fache Länge oder auf die 1.440.000 bis 5.760.000 fache Länge oder auf die 1.440.000 bis 2.560.000 fache Länge, jeweils bezogen auf die Länge des in Schritt AI bereitgestellten Quarzglaskörpers. Preferably, the precursor is extended until the desired thickness of the optical fiber is achieved. Preferably, the precursor is elongated to 1,000 to 6,000,000 times the length, for example 10,000 to 500,000 times the length or 30,000 to 200,000 times the length, each based on the length of the quartz glass body provided in step AI. More preferably, the precursor is elongated to 100,000 to 10,000,000 times the length, for example, 150,000 to 5,800,000 times or 160,000 to 640,000 times or to the 1,440,000 to 5,760,000 times the length or to the 1,440,000 to 2,560,000 times the length, in each case based on the length of the provided in step AI quartz glass body.
Bevorzugt wird der Durchmesser des Vorläufers durch das Elongieren um einen Faktor in einem Bereich von 100 bis 3.500 verringert, zum Beispiel in einem Bereich von 300 bis 3.000 oder von 400 bis 800 oder von 1.200 bis 2.400 oder von 1.200 bis 1.600 jeweils bezogen auf den Durchmesser des in Schritt AI bereitgestellten Quarzglaskörpers. Preferably, the diameter of the precursor is reduced by elongation by a factor in a range of 100 to 3,500, for example, in a range of 300 to 3,000 or 400 to 800, or 1,200 to 2,400, or 1,200 to 1,600 in diameter of the quartz glass body provided in step AI.
Der Lichtleiter, auch als Lichtwellenleiter bezeichnet, kann jedes Material beinhalten, das dazu geeignet ist elekt- romagnetische Strahlung, insbesondere Licht, zu leiten oder zu führen. The light guide, also referred to as an optical waveguide, may include any material which is suitable for conducting or guiding electromagnetic radiation, in particular light.
Unter Leiten oder Führen von Strahlung wird die Ausdehnung der Strahlung über die Längsausdehnung des Lichtleiters ohne wesentliche Behinderung oder Dämpfung der Intensität der Strahlung bezeichnet. Dabei wird die Strahlung über ein Ende des Lichtleiters in den Leiter eingekoppelt. Bevorzugt leitet der Lichtleiter elektro- magnetische Strahlung in einem Wellenlängenbereich von 170 bis 5000 nm. Bevorzugt liegt die Dämpfung der Strahlung durch den Lichtleiter in dem jeweiligen Wellenlängenbereich in einem Bereich von 0,1 bis 10 dB/km. Bevorzugt weist der Lichtleiter eine Übertragungsrate von bis zu 50 Tbit/s auf. By conducting or guiding radiation is meant the extension of the radiation over the longitudinal extent of the optical fiber without substantial obstruction or attenuation of the intensity of the radiation. The radiation is coupled into the conductor via one end of the light guide. Preferably, the optical waveguide conducts electromagnetic radiation in a wavelength range from 170 to 5000 nm. The attenuation of the radiation through the optical waveguide in the respective wavelength range is preferably in a range of 0.1 to 10 dB / km. Preferably, the optical fiber has a transmission rate of up to 50 Tbit / s.
Der Lichtleiter weist bevorzugt einen Curl-Parameter von mehr als 6 m auf. Unter dem Curl-Parameter wird ge- mäß der Erfindung der Biegeradius einer Faser, z.B. eines Lichtleiters oder einer Hülle Ml, verstanden, der sich bei einer frei beweglichen Faser ohne äußere Krafteinwirkung einstellt. The light guide preferably has a curl parameter of more than 6 m. Under the curl parameter according to the invention the bending radius of a fiber, e.g. a light guide or a sheath Ml, understood that adjusts itself to a freely movable fiber without external force.
Der Lichtleiter ist bevorzugt biegbar ausgestaltet. Biegbar im Sinne der Erfindung bedeutet, dass der Lichtleiter durch einen Biegeradius von 20 mm oder weniger gekennzeichnet, zum Beispiel von 10 mm oder weniger, be- sonders bevorzugt weniger als 5 mm oder weniger. Unter einem Biegeradius wird der engste Radius bezeichnet, der geformt werden kann, ohne einen Bruch des Lichtleiters zu bewirken und ohne Beeinträchtigung der Fähigkeit des Lichtleiters Strahlung zu leiten. Eine Beeinträchtigung liegt bei einer Dämpfung des durch eine Biegung des Lichtleiters durchgeleiteten Lichts um mehr als 0,1 dB vor. Die Dämpfung wird bevorzugt bei einer Referenzwellenlänge von 1550 nm angegeben. The light guide is preferably configured bendable. Flexible in the sense of the invention means that the light guide is characterized by a bending radius of 20 mm or less, for example of 10 mm or less, particularly preferably less than 5 mm or less. By a bend radius is meant the narrowest radius that can be formed without causing breakage of the light guide and directing radiation without affecting the ability of the light guide. An impairment is present at an attenuation of the transmitted light by a bend of the light guide by more than 0.1 dB. The attenuation is preferably given at a reference wavelength of 1550 nm.
Bevorzugt besteht der Quarz aus Siliziumdioxid mit weniger als 1 Gew.-% anderer Substanzen, zum Beispiel mit weniger als 0,5 Gew.-% anderer Substanzen, besonders bevorzugt mit weniger als 0,3 Gew.-% anderer Substanzen, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Quarz. Weiter bevorzugt beinhaltet der Quarz mindestens 99 Gew.-% Siliziumdioxid, bezogen auf das Gesamtgewicht des Quarz. The quartz preferably consists of silicon dioxide with less than 1% by weight of other substances, for example less than 0.5% by weight of other substances, more preferably less than 0.3% by weight of other substances, based in each case on the total weight of the quartz. More preferably, the quartz contains at least 99% by weight of silica, based on the total weight of the quartz.
Der Lichtleiter weist bevorzugt eine längliche Form auf. Der Lichtleiter wird in seiner Form durch seine Längsausdehnung L und seinem Querschnitt Q definiert. Der Lichtleiter weist bevorzugt eine runde Außenwand entlang seiner Längsausdehnung L auf. Ein Querschnitt Q des Lichtleiters wird immer in einer Ebene bestimmt, die senkrecht zu der Außenwand des Lichtleiters steht. Ist der Lichtleiter in der Längsausdehnung L gekrümmt, so wird der Querschnitt Q senkrecht zur Tangente an einem Punkt auf der Lichtleiter Außenwand ermittelt. Der Lichtlei - ter weist bevorzugt einen Durchmesser CIL in einem Bereich von 0,04 bis 1,5 mm auf. Der Lichtleiter weist bevorzugt eine Länge in einem Bereich von 1 m bis 100 km auf. The light guide preferably has an elongated shape. The light guide is defined in its shape by its longitudinal extent L and its cross-section Q. The light guide preferably has a round outer wall along its longitudinal extent L. A cross-section Q of the light guide is always determined in a plane which is perpendicular to the outer wall of the light guide. If the optical waveguide is curved in the longitudinal extent L, the cross section Q is determined perpendicular to the tangent at a point on the optical waveguide outer wall. The Lichtlei - ter preferably has a diameter CIL in a range of 0.04 to 1.5 mm. The light guide preferably has a length in a range of 1 m to 100 km.
Erfindungsgemäß beinhaltet der Lichtleiter einen oder mehrere Kerne, zum Beispiel einen Kern oder zwei Kerne oder drei Kerne oder vier Kerne oder fünf Kerne oder sechs Kerne oder sieben Kerne oder mehr als sieben Kerne, besonders bevorzugt einen Kern. Bevorzugt werden mehr als 90 %, zum Beispiel mehr als 95 %, besonders bevorzugt mehr als 98 % der elektromagnetischen Strahlung, die durch den Lichtleiter geleitet werden, in den Kernen geführt. Für den Transport von Licht in den Kernen gelten die als bevorzugt genannten Wellenlängenbereiche, die bereits für den Lichtleiter angegeben wurden. Bevorzugt ist das Material der Kerne ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Glas oder Quarzglas, oder einer Kombination der beiden, besonders bevorzugt Quarzglas. Die Kerne können unabhängig voneinander aus dem gleichen Material oder aus unterschiedlichen Materialien bestehen. Bevorzugt bestehen alle Kerne aus dem gleichen Material, besonders bevorzugt aus Quarzglas. According to the invention, the optical fiber includes one or more cores, for example one or two cores or three cores or four cores or five cores or six cores or seven cores or more than seven cores, more preferably a core. Preferably, more than 90%, for example more than 95%, more preferably more than 98%, of the electromagnetic radiation conducted through the optical fiber is guided in the cores. For the transport of light in the cores, the wavelength ranges which have been mentioned as preferred and which have already been specified for the light guide apply. The material of the cores is preferably selected from the group consisting of glass or quartz glass, or a combination of the two, particularly preferably quartz glass. The cores can be made of the same material or different materials independently of each other. Preferably, all cores made of the same material, more preferably made of quartz glass.
Jeder Kern weist einen, bevorzugt runden, Querschnitt QK auf und hat eine längliche Form mit der Länge LK. Der Querschnitt QK eines Kerns ist unabhängig von dem Querschnitt QK jedes weiteren Kerns. Die Querschnitte QK der Kerne können gleich oder verschieden sein. Bevorzugt sind die Querschnitte QK aller Kerne gleich. Ein Querschnitt QK eines Kerns wird immer in einer Ebene bestimmt, die senkrecht zu der Außenwand des Kerns bzw. der Lichtleiter Außenwand steht. Ist ein Kern in der Längsausdehnung gekrümmt, so wird der Querschnitt QK senkrecht zur Tangente an einem Punkt auf der Außenwand dieses Kerns ermittelt. Die Länge LK eines Kerns ist un- abhängig von der Länge LK jedes weiteren Kerns. Die Längen LK der Kerne können gleich oder verschieden sein. Bevorzugt sind die Längen LK aller Kerne gleich. Jeder Kern weist bevorzugt eine Länge LK in einem Bereich von 1 m bis 100 km auf. Jeder Kern weist einen Durchmesser d auf. Der Durchmesser d eines Kerns ist unabhängig von dem Durchmesser dK jedes weiteren Kerns. Die Durchmesser dK der Kerne können gleich oder verschieden sein. Bevorzugt sind die Durchmesser dK aller Kerne gleich. Bevorzugt liegt der Durchmesser dK jedes Kerns in einem Bereich von 0,1 bis 1000 μηι, zum Beispiel von 0,2 bis 100 μηι oder von 0,5 bis 50 μηι, besonders bevorzugt von 1 bis 30 μηι auf. Each core has a, preferably round, cross-section Q K and has an elongated shape with the length L K. The cross section Q K of a core is independent of the cross section Q K of each other core. The cross sections Q K of the cores may be the same or different. Preferably, the cross sections QK of all cores are the same. A cross section Q K of a core is always determined in a plane that is perpendicular to the outer wall of the core or the optical fiber outer wall. If a core is curved in the longitudinal extent, the cross-section Q K is determined perpendicular to the tangent at a point on the outer wall of this core. The length L K of a core is independent of the length L K of each additional core. The lengths L K of the cores may be the same or different. Preferably, the lengths L K of all cores are the same. Each core preferably has a length L K in a range of 1 m to 100 km. Each core has a diameter d. The diameter d of a core is independent of the diameter d K of each other core. The diameters d K of the cores may be the same or different. Preferably, the diameters d K of all cores are the same. Preferably, the diameter d K of each core in a range of 0.1 to 1000 μηι, for example from 0.2 to 100 μηι or from 0.5 to 50 μηι, more preferably from 1 to 30 μηι on.
Jeder Kern weist mindestens einen Brechungsindexverlauf senkrecht zur maximalen Kernausdehnung auf.„Brechungsmdexverlauf bedeutet, dass der Brechungsindex senkrecht zur maximalen Kernausdehnung konstant ist oder sich verändert. Der bevorzugte Brechungsindexverlauf entspricht einem konzentrischen Brechungsindexprofil, zum Beispiel einem konzentrischen Brechungsindexprofil, bei dem sich ein erster Bereich mit dem maximalen Brechungsindex im Zentrum des Kerns befindet, dem sich ein weiterer Bereich mit einem niedrigeren Brechungsindex anschließt. Bevorzugt weist jeder Kern nur einen Brechungsindexverlauf über seine Länge LK auf. Der Brechungsindexverlauf eines Kerns ist unabhängig von dem Brechungsindexverlauf jedes weiteren Kerns. Die Brechungsindexverläufe der Kerne können gleich oder verschieden sein. Bevorzugt sind die Brechungsindexverläufe aller Kerne gleich. Es ist prinzipiell auch möglich, dass ein Kern eine Vielzahl verschiedener Brechungsindexverläufe aufweist. Each core has at least one refractive index profile perpendicular to the maximum core extent. "Refractive index progression means that the refractive index is constant or changes perpendicular to the maximum core extent. The preferred refractive index profile corresponds to a concentric refractive index profile, for example a concentric refractive index profile, in which a first region with the maximum refractive index is in the center of the core, followed by another region with a lower refractive index. Preferably, each core has only one refractive index profile over its length L K. The refractive index profile of a core is independent of the refractive index profile of each additional core. The refractive index profiles of the cores may be the same or different. Preferably, the refractive index profiles of all cores are the same. It is also possible in principle for a core to have a multiplicity of different refractive index profiles.
Jeder Brechungsindexverlauf senkrecht zur maximalen Kernausdehnung weist einen maximalen Brechungsindex nK auf. Jeder Brechungsindexverlauf senkrecht zur maximalen Kernausdehnung kann zudem weitere niedrigereEach refractive index profile perpendicular to the maximum core expansion has a maximum refractive index n K. Each refractive index profile perpendicular to the maximum core extent can also lower further
Brechungsindices aufweisen. Der niedrigste Brechungsindex des Brechungsindexverlaufs ist bevorzugt nicht um mehr als 0,5 geringer als der maximale Brechungsindex nK des Brechungsindexverlaufs. Der niedrigste Brechungsindex des Brechungsindexverlaufs ist bevorzugt um 0,0001 bis 0,15, zum Beispiel um 0,0002 bis 0,1, besonders bevorzugt um 0,0003 bis 0,05 geringer als der maximale Brechungsindex nK des Brechungsindexverlaufs. Have refractive indices. The lowest refractive index of the refractive index profile is preferably not around more than 0.5 less than the maximum refractive index n K of the refractive index profile. The lowest refractive index of the refractive index profile is preferably around 0.0001 to 0.15, for example around 0.0002 to 0.1, particularly preferably around 0.0003 to 0.05, less than the maximum refractive index n K of the refractive index profile.
Bevorzugt weist der Kern einen Brechungsindex nK in einem Bereich von 1,40 bis 1,60, zum Beispiel in einem Bereich von 1,41 bis 1,59, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1,42 bis 1,58 auf, jeweils ermittelt bei einer Referenzwellenlänge von λΓ = 589 nm (Natrium D-Linie), bei einer Temperatur von 20°C und bei Normaldruck (p = 1013 hPa). Weitere Angaben hierzu siehe Abschnitt Testmethoden. Der Brechungsindex nK eines Kerns ist unabhängig von dem Brechungsindex nK jedes weiteren Kerns. Die Brechungsindices nK der Kerne können gleich oder verschieden sein. Bevorzugt sind die Brechungsindices nK aller Kerne gleich. Preferably, the core has a refractive index n K in a range of 1.40 to 1.60, for example in a range of 1.41 to 1.59, more preferably in a range of 1.42 to 1.58, respectively determined at a reference wavelength of λ Γ = 589 nm (sodium D-line), at a temperature of 20 ° C and at normal pressure (p = 1013 hPa). For further information see section Test Methods. The refractive index n K of a core is independent of the refractive index n K of each other core. The refractive indices n K of the cores may be the same or different. Preferably, the refractive indices n K of all cores are the same.
Bevorzugt weist jeder Kern des Lichtleiters eine Dichte in einem Bereich von 1,9 bis 2,5 g/cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 2,0 bis 2,4 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 2,1 bis 2,3 g/cm3 auf. Bevorzugt weisen die Kerne eine Restfeuchte von weniger als 100 ppb auf, zum Beispiel von weniger als 20 ppb oder von weniger als 5 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 1 ppb, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Kerns. Die Dichte eines Kerns ist unabhängig von der Dichte jedes weiteren Kerns. Die Dichten der Kerne können gleich oder verschieden sein. Bevorzugt sind die Dichten aller Kerne gleich. Preferably, each core of the optical fiber has a density in a range of 1.9 to 2.5 g / cm 3 , for example in a range of 2.0 to 2.4 g / cm 3 , particularly preferably in a range of 2, 1 to 2.3 g / cm 3 . The cores preferably have a residual moisture content of less than 100 ppb, for example less than 20 ppb or less than 5 ppb, particularly preferably less than 1 ppb, in each case based on the total weight of the core. The density of a nucleus is independent of the density of each additional nucleus. The densities of the cores can be the same or different. Preferably, the densities of all cores are the same.
Bevorzugt besteht zumindest die Hülle Ml aus Siliziumdioxid und weist mindestens eines, bevorzugt mehrere oder alle der folgenden Merkmale auf: Preferably, at least the sheath Ml is made of silicon dioxide and has at least one, preferably several or all of the following features:
a) einen OH-Gehalt von weniger als 10 ppm, zum Beispiel von weniger als 5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 1 ppm;  a) an OH content of less than 10 ppm, for example less than 5 ppm, more preferably less than 1 ppm;
b) einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm, bevorzugt von weniger als 100 ppm, zum Beispiel von weniger als 80 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 60 ppm;  b) a chlorine content of less than 200 ppm, preferably less than 100 ppm, for example less than 80 ppm, more preferably less than 60 ppm;
c) einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb, bevorzugt von weniger als 100 ppb, zum Beispiel von weniger als 80 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 60 ppb;  c) an aluminum content of less than 200 ppb, preferably less than 100 ppb, for example less than 80 ppb, more preferably less than 60 ppb;
d) einen ODC-Anteil von weniger als 5- 1015 /cm3, zum Beispiel in einem Bereich von 0,1 · 1015 bisd) an ODC content of less than 5-10 15 / cm 3 , for example in a range of 0.1 × 10 15 to
3- 10 15 / cm3 , besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,5-10115J bis 2,0- 10115J /cm3J; 3-10 15 / cm 3 , more preferably in a range of 0.5-101 1 5 J to 2.0-10 1 1 5 J / cm 3 J ;
e) einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm, zum Beispiel von weniger als 0,5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 0,1 ppm; f) eine Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis logm (η (1250°C) / dPas) = 12,9 und/oder log10 (η (1300°C) / dPas) = 11,1 bis log10 (η (1300°C) / dPas) = 12,2 und/oder log10 (η (1350°C) / dPas) = 10,5 bis log10 (η (1350°C) / dPas) = 11,5; g) einen Curl-Parameter von mehr als 6 m; e) a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, for example less than 0.5 ppm, more preferably less than 0.1 ppm; f) a viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to logm (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9 and / or log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 11.1 to log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 12.2 and / or log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 10.5 to log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 11.5; g) a curl parameter of more than 6 m;
h) eine Standardabweichung des OH-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den OH-Gehalt a) der Hülle Ml ;  h) a standard deviation of the OH content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the OH content a) of the shell Ml;
i) eine Standardabweichung des Cl-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Cl-Gehalt b) der Hülle Ml;  i) a standard deviation of the Cl content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Cl content b) of the shell Ml;
j) eine Standardabweichung des Al-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bevorzugt nicht mehr als 5 %, bezogen auf den Al-Gehalt c) der Hülle Ml; k) eine Brechzahlhomogenität von weniger als 1 · 10"4; j) a standard deviation of the Al content of not more than 10%, preferably not more than 5%, based on the Al content c) of the shell Ml; k) a refractive index homogeneity of less than 1 x 10 -4 ;
1) einen Transformationspunkt Tg in einem Bereich von 1150 bis 1250°C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1180 bis 1220°C,  1) a transformation point Tg in a range from 1150 to 1250 ° C, particularly preferably in a range from 1180 to 1220 ° C,
wobei die ppb und ppm jeweils bezogen sind auf das Gesamtgewicht der Hülle Ml.  wherein the ppb and ppm are each based on the total weight of the shell Ml.
Bevorzugt weist die Hülle eine Brechzahlhomogenität von weniger als 1-10"4 auf. Die Brechzahlhomogenität bezeichnet die maximale Abweichung des Brechungsindex an jeder Stelle einer Probe, beispielsweise einer Hülle Ml oder eines Quarzglaskörpers, bezogen auf den Mittelwert aller an der Probe ermittelten Brechungsindices. Zur Bestimmung des Mittelwerts wird der Brechungsindex an mindestens sieben Messpunkten ermittelt. Preferably, the sheath has a refractive index homogeneity of less than 1-10 "4. The refractive index homogeneity is the maximum deviation of the refractive index at each point of a sample, for example a sheath Ml or a quartz glass body, relative to the average of all the refractive indices determined at the sample. For Determining the mean value, the refractive index is determined at at least seven measuring points.
Bevorzugt weist die Hülle Ml einen Metallgehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen von weniger als 1000 ppb, zum Beispiel von weniger als 500 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 100 ppb, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Hülle Ml, auf. Oftmals weist die Hülle Ml jedoch einen Gehalt an von Aluminium verschiedenen Metallen in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. Solche Metalle sind beispielsweise Natrium, Lithium, Kalium, Magnesium, Calcium, Strontium, Germanium, Kupfer, Molybdän, Titan, Eisen und Chrom. Diese können zum Beispiel als Element, als Ion, oder als Teil eines Moleküls oder eines Ions oder eines Komplexes vorliegen. The shell Ml preferably has a metal content of metals other than aluminum of less than 1000 ppb, for example less than 500 ppb, particularly preferably less than 100 ppb, in each case based on the total weight of the shell Ml. Often, however, the shell M1 has a content of metals other than aluminum in an amount of at least 1 ppb. Such metals include sodium, lithium, potassium, magnesium, calcium, strontium, germanium, copper, molybdenum, titanium, iron and chromium. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex.
Die Hülle Ml kann weitere Bestandteile beinhalten. Bevorzugt beinhaltet die Hülle Ml weniger als 500 ppm, zum Beispiel weniger als 450 ppm, besonders bevorzugt weniger als 400 ppm an weiteren Bestandteilen, wobei die ppm jeweils bezogen sind auf das Gesamtgewicht der Hülle Ml. Als weitere Bestandteile kommen zum Beispiel Kohlenstoff, Fluor, Jod, Brom und Phosphor in Betracht. Diese können zum Beispiel als Element, als Ion, oder als Teil eines Moleküls oder eines Ions oder eines Komplexes vorliegen. Oftmals weist die Hülle Ml jedoch einen Gehalt an weiteren Bestandteilen in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. The shell Ml may include other ingredients. Preferably, the shell M1 contains less than 500 ppm, for example less than 450 ppm, more preferably less than 400 ppm of further constituents, the ppm being in each case based on the total weight of the shell M1. Other constituents which may be considered are, for example, carbon, fluorine, iodine, bromine and phosphorus. These may be present, for example, as an element, as an ion, or as part of a molecule or an ion or a complex. Often, however, the shell M1 has a content of further constituents in an amount of at least 1 ppb.
Bevorzugt beinhaltet die Hülle Ml Kohlenstoff zu weniger als 5 ppm, zum Beispiel zu weniger als 4 ppm oder zu weniger als 3 ppm, besonders bevorzugt zu weniger als 2 ppm, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Hülle Ml. Oftmals weist die Hülle Ml jedoch einen Gehalt an Kohlenstoff in einer Menge von mindestens 1 ppb auf. Bevorzugt weist die Hülle Ml eine homogen verteilte OH-Menge, Cl-Menge oder AI-Menge auf. The shell M1 preferably contains carbon at less than 5 ppm, for example less than 4 ppm or less than 3 ppm, more preferably less than 2 ppm, based in each case on the total weight of the shell M1. Often, however, the shell M1 has a content of carbon in an amount of at least 1 ppb. Preferably, the shell Ml has a homogeneously distributed OH amount, Cl amount or Al amount.
In einer bevorzugten Ausführungsform des Lichtleiters weist die Hülle Ml einen Gewichtsanteil von mindestens 80 Gew.-%. zum Beispiel mindestens 85 Gew.-%, besonders bevorzugt mindestens 90 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Hülle Ml und der Kerne, auf. Bevorzugt weist die Hülle Ml einen Gewichtsanteil von mindestens 80 Gew.-%. zum Beispiel mindestens 85 Gew.-%, besonders bevorzugt mindestens 90 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht der Hülle Ml, der Kerne und der zwischen der Hülle Ml und der Kerne liegenden weiteren Hüllen, auf. Bevorzugt weist die Hülle Ml einen Gewichtsanteil von mindestens 80 Gew.-%. zum Beispiel mindestens 85 Gew.-%, besonders bevorzugt mindestens 90 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Lichtleiters auf. Bevorzugt weist die Hülle Ml eine Dichte in einem Bereich von 2,1 bis 2,3 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 2,18 bis 2,22 g/cm3 auf. In a preferred embodiment of the light guide, the shell Ml has a weight fraction of at least 80 wt .-%. for example, at least 85 wt .-%, particularly preferably at least 90 wt .-%, each based on the total weight of the shell Ml and the cores on. Preferably, the shell Ml has a weight fraction of at least 80 wt .-%. for example, at least 85 wt .-%, particularly preferably at least 90 wt .-%, each based on the total weight of the shell Ml, the cores and lying between the shell Ml and the cores other shells, on. Preferably, the shell Ml has a weight fraction of at least 80 wt .-%. for example, at least 85 wt .-%, particularly preferably at least 90 wt .-%, each based on the total weight of the optical fiber on. Preferably, the shell Ml has a density in a range of 2.1 to 2.3 g / cm 3 , more preferably in a range of 2.18 to 2.22 g / cm 3 .
Ein weiterer Aspekt betrifft einen Lichtleiter, erhältlich durch ein Verfahren beinhaltend folgende Schritte: Another aspect relates to a light guide obtainable by a method including the following steps:
AI Bereitstellen  AI deploy
All eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung beinhaltend Schritt iv.), oder  All of a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to the first subject of the invention including step iv.), Or
A2I eines Quarzglaskörpers gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper mit mindestens einer Öffnung verarbeitet wird; B/ Einbringen eines oder mehrerer Kernstäbe in den Quarzglaskörper durch die mindestens eine Öffnung unter Erhalt eines Vorläufers;  A2I a quartz glass body according to the second subject of the invention, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body having at least one opening; B / introducing one or more core rods into the quartz glass body through the at least one opening to obtain a precursor;
Cl Ziehen des Vorläufers aus Schritt B/ in der Wärme unter Erhalt eines Lichtleiters mit einem oder mehreren Kernen und einer Hülle Ml .  Cl Pulling the precursor from step B / in the heat to obtain a light guide with one or more cores and a shell Ml.
Die Schritte AI, Bl und Cl sind bevorzugt gekennzeichnet durch die im Rahmen des dritten Gegenstands beschriebene Merkmale. The steps AI, Bl and Cl are preferably characterized by the features described in the context of the third subject.
Der Lichtleiter ist bevorzugt gekennzeichnet durch die im Rahmen des dritten Gegenstands beschriebene Merkmale. The light guide is preferably characterized by the features described in the context of the third article.
Ein vierter Gegenstand der vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Leuchtmittels beinhaltend folgende Schritte: A fourth subject of the present invention relates to a method for producing a luminous means, comprising the following steps:
(i) Bereitstellen  (i) Provide
(i-l) eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung beinhaltend Schritt iv.); oder  (i-l) a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to the first subject of the invention including step iv.); or
(i-2) eines Quarzglaskörpers gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper verarbeitet wird;  (i-2) a quartz glass body according to the second aspect of the invention, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body;
(ii) gegebenenfalls Bestücken des Hohlkörpers mit Elektroden;  (ii) optionally loading the hollow body with electrodes;
(iii) Füllen des Hohlkörpers mit einem Gas.  (iii) filling the hollow body with a gas.
Schritt (i) Step (i)
In Schritt (i) wird ein Hohlkörper bereitgestellt. Der in Schritt (i) bereitgestellte Hohlkörper beinhaltet mindestens eine Öffnung, zum Beispiel eine Öffnung oder zwei Öffnungen oder drei Öffnungen oder vier Öffnungen, besonders bevorzugt eine Öffnung oder zwei Öffnungen.  In step (i), a hollow body is provided. The hollow body provided in step (i) includes at least one opening, for example one opening or two openings or three openings or four openings, particularly preferably one opening or two openings.
Bevorzugt wird in Schritt (i) ein Hohlkörper mit mindestens einer Öffnung, erhältlich nach einem Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung beinhaltend Schritt iv.), bereitgestellt (Schritt (i-l)). Bevorzugt weist der Hohlkörper die im Rahmen des ersten oder zweiten Gegenstands der Erfindung beschriebenen Merkmale auf. Bevorzugt wird in Schritt (i) ein Hohlkörper bereitgestellt, der aus einem Quarzglaskörper gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung, erhältlich ist (Schritt (i-2)). Zur Verarbeitung eines Quarzglaskörpers gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung zu einem Hohlkörper kommen mehrere Möglichkeiten in Betracht. Preferably, in step (i), a hollow body having at least one opening, obtainable by a method according to the first subject of the invention including step iv.), Is provided (step (II)). Preferably, the hollow body has the features described in the context of the first or second object of the invention. Preferably, in step (i), a hollow body is provided which is obtainable from a quartz glass body according to the second subject of the invention (step (i-2)). For processing a quartz glass body according to the second subject of the invention to form a hollow body, several possibilities come into consideration.
Bevorzugt kann ein Hohlkörper mit zwei Öffnungen analog zu Schritt iv.) des ersten Gegenstands der Erfindung aus einem Quarzglaskörper geformt werden. Preferably, a hollow body having two openings can be formed analogously to step iv.) Of the first article of the invention from a quartz glass body.
Die Verarbeitung des Quarzglaskörpers zu einem Hohlkörper mit einer Öffnung kann prinzipiell mittels allen dem Fachmann bekannten und für die Herstellung von Glashohlkörpern mit einer Öffnung geeigneten Verfahren erfolgen. Geeignet sind zum Beispiel Verfahren beinhaltend ein Pressen, Blasen, Saugen oder Kombinationen davon. Es ist ebenfalls möglich, aus einem Hohlkörper mit zwei Öffnungen durch Schließen einer Öffnung, beispielsweise durch Zusammenschmelzen, einen Hohlkörper mit einer Öffnung zu bilden. The processing of the quartz glass body into a hollow body with an opening can in principle be effected by means of all methods known to the person skilled in the art and suitable for the production of hollow glass bodies with an opening. For example, methods including pressing, blowing, suction or combinations thereof are suitable. It is also possible to form a hollow body having an opening from a hollow body with two openings by closing an opening, for example by melting together.
Der erhaltene Hohlkörper weist bevorzugt die im Rahmen des ersten und zweiten Gegenstands der Erfindung beschriebenen Merkmale auf. The resulting hollow body preferably has the features described in the context of the first and second objects of the invention.
Der Hohlkörper besteht aus einem Material, das Siliziumdioxid beinhaltet, bevorzugt in einer Menge in einem Bereich von 98 bis 100 Gew.-%, beispielsweise in einem Bereich von 99,9 bis 100 Gew.-%, besonders bevorzugt zu 100 Gew.-%, jeweils bezogen auf das Gesamtgewicht des Hohlkörpers. The hollow body is made of a material containing silicon dioxide, preferably in an amount in a range of 98 to 100 wt .-%, for example in a range of 99.9 to 100 wt .-%, particularly preferably 100 wt .-% , in each case based on the total weight of the hollow body.
Das Material aus dem der Hohlkörper hergestellt ist, weist bevorzugt mindestens eines, bevorzugt mehrere, beispielsweise zwei, oder bevorzugt alle der folgenden Merkmale auf: The material from which the hollow body is made preferably has at least one, preferably several, for example two, or preferably all of the following features:
HK1. einen Siliziumdioxidgehalt von bevorzugt mehr als 95 Gew.-%, beispielsweise von mehr als HC1. a silicon dioxide content of preferably more than 95% by weight, for example more than
97 Gew.-%, besonders bevorzugt von mehr als 99 Gew.-%, bezogen auf das Gesamtgewicht des97 wt .-%, particularly preferably more than 99 wt .-%, based on the total weight of
Materials; material;
HK2. eine Dichte in einem Bereich von 2,1 bis 2,3 g/cm3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 2,18 bis 2,22 g/cm3 auf; HC2. a density in a range of 2.1 to 2.3 g / cm 3 , more preferably in a range of 2.18 to 2.22 g / cm 3 ;
HK3. eine Lichtdurchlässigkeit bei mindestens einer Wellenlänge im sichtbaren Bereich von 350 bis 750 nm in einem Bereich von 10 bis 100 %, beispielsweise in einem Bereich von 30 bis 99,99 %, besonders bevorzugt in einem Bereich von 50 bis 99,9 %, bezogen auf die Lichtmenge die innerhalb des Hohlkörpers erzeugt wird;  HC3. a light transmittance at least one wavelength in the visible range of 350 to 750 nm in a range of 10 to 100%, for example in a range of 30 to 99.99%, more preferably in a range of 50 to 99.9%, based on the amount of light generated within the hollow body;
HK4. einen OH-Gehalt von weniger als 500 ppm, zum Beispiel von weniger als 400 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 300 ppm;  HK4. an OH content of less than 500 ppm, for example less than 400 ppm, more preferably less than 300 ppm;
HK5. einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm, bevorzugt von weniger als 100 ppm, zum Beispiel von weniger als 80 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 60 ppm;  HK5. a chlorine content of less than 200 ppm, preferably less than 100 ppm, for example less than 80 ppm, more preferably less than 60 ppm;
HK6. einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb, zum Beispiel von weniger als 100 ppb, besonders bevorzugt von weniger als 80 ppb;  HK6. an aluminum content of less than 200 ppb, for example less than 100 ppb, more preferably less than 80 ppb;
HK7. einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 5 ppm, zum Beispiel von weniger als 4,5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 4 ppm;  HK7. a carbon content of less than 5 ppm, for example less than 4.5 ppm, more preferably less than 4 ppm;
HK8. einen ODC-Anteil von weniger als 5-1015/cm3; HK9. einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm, zum Beispiel von weniger als 0,5 ppm, besonders bevorzugt von weniger als 0,1 ppm; HK8. an ODC content of less than 5-10 15 / cm 3 ; HK9. a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm, for example less than 0.5 ppm, more preferably less than 0.1 ppm;
HK10. eine Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm η (1250°C) = 11,4 bis logm η (1250°C)=12.9 und/oder log10 η (1300°C) = 11,1 bis log10 η (1350°C)=12,2 und/oder log10 η (1350°C) = 10,5 bis log10 η (1350°C)=11,5; HK10. a viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm η (1250 ° C) = 11.4 to logm η (1250 ° C) = 12.9 and / or log 10 η (1300 ° C) = 11.1 to log 10 η (1350 ° C) = 12.2 and / or log 10 η (1350 ° C) = 10.5 to log 10 η (1350 ° C) = 11.5;
HK11. einen Transformationspunkt Tg in einem Bereich von 1150 bis 1250°C, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1180 bis 1220°C;  HK11. a transformation point Tg in a range of 1150 to 1250 ° C, more preferably in a range of 1180 to 1220 ° C;
wobei die ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Hohlkörpers bezogen sind. Schritt (ii)  wherein the ppm and ppb are each based on the total weight of the hollow body. Step (ii)
Bevorzugt wird der Hohlkörper aus Schritt (i) vor dem Befüllen mit einem Gas mit Elektroden, bevorzugt mit zwei Elektroden bestückt. Bevorzugt sind die Elektroden mit einer elektrischen Stromzuführung verbunden. Bevorzugt sind die Elektroden mit einem Lampensockel verbunden. Das Material der Elektroden ist bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe der Metalle. Prinzipiell kann jedes Metall als Elektrodenmaterial ausgewählt werden, dass während den Betriebsbedingungen des Leuchtmittels nicht oxi- diert, korrodiert, geschmolzen oder sonstwie als Elektrode in seiner Form oder Leitfähigkeit beeinträchtigt wird. Das Elektrodenmaterial ist bevorzugt ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Eisen, Molybdän, Kupfer, Wolfram, Rhenium, Gold und Platin oder mindestens zwei davon ausgewählt, wobei Wolfram, Molybdän oder Rheni- um bevorzugt sind.  Preferably, the hollow body from step (i) is filled with a gas, preferably with two electrodes, before it is filled with a gas. Preferably, the electrodes are connected to an electrical power supply. Preferably, the electrodes are connected to a lamp base. The material of the electrodes is preferably selected from the group of metals. In principle, any metal can be selected as the electrode material that is not oxidized, corroded, molten or otherwise impaired as an electrode in its shape or conductivity during the operating conditions of the luminous means. The electrode material is preferably selected from the group consisting of iron, molybdenum, copper, tungsten, rhenium, gold and platinum or at least two thereof selected, with tungsten, molybdenum or rhenium are preferred.
Schritt (iii) Step (iii)
Der in Schritt (i) bereitgestellte und gegebenenfalls in Schritt (ii) mit Elektroden bestückte Hohlkörper wird mit einem Gas gefüllt.  The hollow body provided in step (i) and optionally equipped with electrodes in step (ii) is filled with a gas.
Das Befüllen kann auf allen dem Fachmann bekannten und für das Befüllen geeigneten Verfahren erfolgen. Bevorzugt wird ein Gas durch die mindestens eine Öffnung in den Hohlkörper geleitet. The filling can be carried out in any manner known to those skilled in the art and suitable for filling. Preferably, a gas is passed through the at least one opening in the hollow body.
Bevorzugt wird der Hohlkörper vor dem Befüllen mit einem Gas evakuiert, bevorzugt auf einen Druck von weni- ger als 2 mbar. Durch anschließendes Einleiten eines Gases wird der Hohlkörper mit dem Gas gefüllt. Diese Schritte können wiederholt werden, um Verunreinigungen mit Luft, insbesondere mit Sauerstoff zu minimieren. Bevorzugt werden diese Schritte mindestens zweimal, zum Beispiel mindestens dreimal oder mindestens viermal, besonders bevorzugt mindestens fünfmal wiederholt bis die Menge an Verunreinigungen mit anderen Gasen wie Luft, insbesondere Sauerstoff, ausreichend gering ist. Dieses Vorgehen ist besonders zum Füllen von Hohlkörpern mit einer Öffnung bevorzugt. Preferably, the hollow body is evacuated prior to filling with a gas, preferably to a pressure of less than 2 mbar. By subsequently introducing a gas, the hollow body is filled with the gas. These steps can be repeated to minimize contamination with air, especially with oxygen. Preferably, these steps are repeated at least twice, for example at least three times or at least four times, more preferably at least five times until the amount of impurities with other gases such as air, in particular oxygen, is sufficiently low. This procedure is particularly preferred for filling hollow bodies with an opening.
Beinhaltet ein Hohlkörper zwei oder mehr Öffnungen, wird der Hohlkörper bevorzugt durch eine der Öffnungen gefüllt. Die sich vor dem Befüllen mit dem Gas im Hohlkörper befindliche Luft kann durch die mindestens eine weiter Öffnung austreten. Das Gas wird solange durch den Hohlkörper geleitet bis die Menge an Verunreinigun- gen mit anderen Gasen wie Luft, insbesondere Sauerstoff ausreichend gering ist. Bevorzugt wird der Hohlkörper mit einem Inertgas oder einer Kombination aus zwei oder mehr Inertgasen gefüllt, zum Beispiel mit Stickstoff, Helium, Neon, Argon, Krypton, Xenon oder einer Kombination aus zwei oder mehr davon, besonders bevorzugt mit Krypton, Xenon oder einer Kombination aus Stickstoff und Argon. Weitere bevorzugte Füllmittel für Hohlkörper von Leuchtmitteln sind Deuterium und Quecksilber. If a hollow body contains two or more openings, the hollow body is preferably filled through one of the openings. The air located in the hollow body before filling with the gas can escape through the at least one further opening. The gas is passed through the hollow body until the amount of impurities with other gases such as air, in particular oxygen, is sufficiently low. Preferably, the hollow body is filled with an inert gas or a combination of two or more inert gases, for example with nitrogen, helium, neon, argon, krypton, xenon or a combination of two or more thereof, more preferably with krypton, xenon or a combination of Nitrogen and argon. Further preferred fillers for hollow bodies of lamps are deuterium and mercury.
Bevorzugt wird der Hohlkörper nach dem Befüllen mit einem Gas verschlossen, so dass das Gas bei der weiteren Verarbeitung nicht austritt, so dass bei der weiteren Verarbeitung keine Luft von außen eintritt, oder beides. Das Verschließen kann durch Abschmelzen oder das aufsetzen eines Verschlusses erfolgen. Geeignete Verschlüsse sind zum Beispiel Quarzglasverschlüsse, die zum Beispiel auf den Hohlkörper ausgeschmolzen werden, oder Lampensockel. Bevorzugt wird der Hohlkörper durch Abschmelzen geschlossen. Preferably, the hollow body is closed after filling with a gas, so that the gas does not escape during further processing, so that in the further processing no air from the outside, or both. The closing can be done by melting or attaching a closure. Suitable closures are, for example, quartz glass closures, which are for example melted out onto the hollow body, or lamp sockets. Preferably, the hollow body is closed by melting.
Das Leuchtmittel gemäß dem vierten Gegenstand der Erfindung beinhaltet einen Hohlkörper und gegebenenfalls Elektroden. Das Leuchtmittel weist bevorzugt mindestens eines, zum Beispiel mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier, besonders bevorzugt mindestens fünf der folgenden Merkmale auf: The lighting means according to the fourth aspect of the invention includes a hollow body and optionally electrodes. The illuminant preferably has at least one, for example at least two or at least three or at least four, more preferably at least five of the following features:
i. ein Volumen in einem Bereich von 0,1 cm3 bis 10 m3, beispielsweise in einem Bereich von 0,3 cm3 bis 8 m3, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0,5 cm3 bis 5 m3; i. a volume in a range of 0.1 cm 3 to 10 m 3 , for example in a range of 0.3 cm 3 to 8 m 3 , particularly preferably in a range of 0.5 cm 3 to 5 m 3 ;
ii. eine Länge in einem Bereich von 1 mm bis 100 m, beispielsweise in einem Bereich von 3 mm bis 80 m, besonders bevorzugt in einem Bereich von 5 mm bis 50 m;  ii. a length in a range of 1 mm to 100 m, for example in a range of 3 mm to 80 m, particularly preferably in a range of 5 mm to 50 m;
iii. einen Abstrahlwinkel in einem Bereich von 2 bis 360°, beispielsweise in einem Bereich von 10 bis 360°, besonders bevorzugt in einem Bereich von 30 bis 360°;  iii. a radiation angle in a range of 2 to 360 °, for example in a range of 10 to 360 °, particularly preferably in a range of 30 to 360 °;
iv. eine Abstrahlung von Licht in einem Wellenlängenbereich von 145 bis 4000 nm, beispielsweise in einem Bereich von 150 bis 450 nm, oder von 800 bis 4000 nm, besonders bevorzugt in einem Bereich von 160 bis 280 nm;  iv. a radiation of light in a wavelength range of 145 to 4000 nm, for example in a range of 150 to 450 nm, or of 800 to 4000 nm, particularly preferably in a range of 160 to 280 nm;
v. eine Leistung in einem Bereich von 1 mW bis 100 kW, besonders bevorzugt in einem Bereich von 1 kW bis 100 kW, oder in einem Bereich von 1 bis 100 Watt.  v. a power in a range of 1 mW to 100 kW, more preferably in a range of 1 kW to 100 kW, or in a range of 1 to 100 watts.
Ein weiterer Aspekt betrifft ein Leuchtmittel, erhältlich durch ein Verfahren beinhaltend folgende Schritte: Another aspect relates to a lighting device obtainable by a method comprising the following steps:
(i) Bereitstellen :  (i) Provide:
(i-1) eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung beinhaltend Schritt iv.); oder  (i-1) a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to the first aspect of the invention including step iv.); or
(i-2) eines Quarzglaskörpers gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper verarbeitet wird;  (i-2) a quartz glass body according to the second aspect of the invention, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body;
(ii) gegebenenfalls Bestücken des Hohlkörpers mit Elektroden;  (ii) optionally loading the hollow body with electrodes;
(iii) Füllen des Hohlkörpers mit einem Gas.  (iii) filling the hollow body with a gas.
Die Schritte (i), (ii) und (iii) sind bevorzugt gekennzeichnet durch die im Rahmen des vierten Gegenstands beschriebene Merkmale. The steps (i), (ii) and (iii) are preferably characterized by the features described in the context of the fourth subject.
Das Leuchtmittel ist bevorzugt gekennzeichnet durch die im Rahmen des vierten Gegenstands beschriebene Merkmale. Ein fünfter Gegenstand der vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Formkörpers beinhaltend die folgenden Schritte: The lighting means is preferably characterized by the features described in the context of the fourth subject. A fifth subject of the present invention relates to a method for producing a shaped article comprising the following steps:
(1) Bereitstellen eines Quarzglaskörpers gemäß dem ersten oder zweiten Gegenstand der Erfindung; (2) Formen des Quarzglaskörpers unter Erhalt des Formkörpers.  (1) providing a quartz glass body according to the first or second aspect of the invention; (2) molding the quartz glass body to obtain the molded body.
Der in Schritt (1) bereitgestellte Quarzglaskörper ist ein Quarzglaskörper gemäß dem zweiten Gegenstand der Erfindung oder erhältlich nach einem Verfahren gemäß dem ersten Gegenstand der Erfindung. Bevorzugt weist der bereitgestellte Quarzglaskörper die Merkmale des ersten oder zweiten Gegenstands der Erfindung auf. The quartz glass body provided in step (1) is a quartz glass body according to the second aspect of the invention or obtainable by a method according to the first aspect of the invention. Preferably, the provided quartz glass body has the features of the first or second object of the invention.
Schritt (2) Step 2)
Zum Formen des in Schritt (1) bereitgestellten Quarzglaskörpers kommen prinzipiell alle dem Fachmann bekannten und für das Formen von Quarzglas geeigneten Verfahren in Betracht. Bevorzugte wird der Quarzglaskörper wie im Rahmen des ersten, dritten und vierten Gegenstands der Erfindung beschrieben zu einem Formkörper geformt. Weiter bevorzugt kann der Formkörper mittels Glasbläsern bekannten Techniken gebildet werden.  For the molding of the quartz glass body provided in step (1), in principle all methods known to those skilled in the art and suitable for the shaping of quartz glass are considered. Preferably, the quartz glass body is formed into a shaped body as described in the first, third and fourth articles of the invention. More preferably, the shaped body can be formed by means of techniques known to glass blowers.
Der Formkörper kann prinzipiell jede aus Quarzglas formbare Gestalt annehmen. Bevorzugte Formkörper sind zum Beispiel: In principle, the shaped body can assume any shape which can be shaped from quartz glass. Preferred shaped bodies are, for example:
Hohlkörper mit mindestens einer Öffnung wie Rundkolben und Standkolben,  Hollow body with at least one opening, such as round-bottomed flasks and stand-up flasks,
- Aufsätze und Verschlüsse für solche Hohlkörper,  - attachments and closures for such hollow bodies,
Offene Artikel wie Schalen und Boote (Trägergestelle für Wafer),  Open articles such as bowls and boats (carrier racks for wafers),
Tiegel, sowohl offen als auch verschließbar ausgestaltet,  Crucible, both open and lockable,
Platten und Fenster,  Plates and windows,
Küvetten,  cuvettes
- Rohre und Hohlzylinder, zum Beispiel Reaktionsrohre, Profilrohre, rechteckige Kammern,  Tubes and hollow cylinders, for example reaction tubes, profile tubes, rectangular chambers,
Stangen, Stäbe und Blöcke, zum Beispiel in runder oder eckiger, symmetrischer oder asymmetrischer Ausführung,  Rods, rods and blocks, for example in round or angular, symmetrical or asymmetrical design,
einseitig oder beidseitig verschlossene Rohre und Hohlzylinder,  single-sided or double-sided sealed tubes and hollow cylinders,
Dome und Glocken,  Dome and bells,
- Flansche,  - flanges,
Linsen und Prismen,  Lenses and prisms,
zusammengeschweißte Teile,  welded parts,
gebogene Teile, zum Beispiel konvexe oder konkave Oberflächen und Platten, gebogene Stangen und Rohre.  bent parts, for example convex or concave surfaces and plates, bent bars and tubes.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform kann der Formkörper nach dem Formen behandelt werden. Hierbei kommen prinzipiell alle im Rahmen des ersten Gegenstands der Erfindung beschriebenen Verfahren in Betracht, die zum Nachbearbeiten des Quarzglaskörpers geeignet sind. Bevorzugt kann der Formkörper mechanisch bearbeitet werden, zum Beispiel durch Bohren, Honen, Außenschleifen, Zerkleinern oder Ausziehen. According to a preferred embodiment, the shaped body can be treated after molding. In principle, all methods described in connection with the first subject of the invention which are suitable for reworking the quartz glass body come into consideration. Preferably, the shaped body can be mechanically processed, for example by drilling, honing, external grinding, crushing or drawing.
Ein weiterer Aspekt betrifft einen Formkörper, erhältlich durch ein Verfahren beinhaltend folgende Schritte: (1) Bereitstellen eines Quarzglaskörpers gemäß dem ersten oder zweiten Gegenstand der Erfindung;Another aspect relates to a molded article obtainable by a method including the following steps: (1) providing a quartz glass body according to the first or second aspect of the invention;
(2) Formen des Quarzglaskörpers unter Erhalt des Fonnkörpers. (2) Forming the quartz glass body to obtain the resulting body.
Die Schritte (1 ) und (2) sind bevorzugt gekennzeichnet durch die im Rahmen des fünften Gegenstands beschrie- bene Merkmale. The steps (1) and (2) are preferably characterized by the features described in the context of the fifth article.
Der Formkörper ist bevorzugt gekennzeichnet durch die im Rahmen des fünften Gegenstands beschriebene Merkmale. Ein sechster Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist die Verwendung eines hängenden Sintertiegels zur Herstellung von Quarzglas und von Produkten beinhaltend Quarzglas ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einem Lichtleiter, einem Leuchtmittel und einem Formkörper, wobei das Siliziumdioxidgranulat aus pyrogenem Siliziumdioxid hergestellt wurde, wobei das Siliziumdioxidgranulat folgende Merkmale aufweist: The molded body is preferably characterized by the features described in the context of the fifth article. A sixth object of the present invention is the use of a hanging sinter crucible for the production of quartz glass and products comprising quartz glass selected from the group consisting of a light guide, a light bulb and a shaped body, wherein the silica granules of fumed silica, wherein the silica granules have the following features having:
eine BET-Oberfläche in einem Bereich von mehr als 20 bis 50 m.  a BET surface area in a range of more than 20 to 50 m.
eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 50 bis 500 μιη.  an average particle size in a range of 50 to 500 μιη.
Figuren Fig. 1 Flussdiagramm (Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers) FIG. 1 Flow chart (method for producing a quartz glass body)
Fig. 2 Flussdiagramm (Verfahren zum Herstellen eines Siliziumdioxidgranulats I)  2 flow chart (method for producing a silica granulate I)
Fig. 3 Flussdiagramm (Verfahren zum Herstellen eines Siliziumdioxidgranulats Π)  3 shows a flow chart (method for producing a silica granulate Π)
Fig. 4 Flussdiagramm (Verfahren zum Herstellen eines Lichtleiters)  4 shows a flow chart (method for producing a light guide)
Fig. 5 Flussdiagramm (Verfahren zum Herstellen eines Leuchtmittels)  5 shows a flow chart (method for producing a luminous means)
Fig. 6 schematische Darstellung eines hängenden Tiegels in einem Ofen Fig. 6 schematic representation of a hanging crucible in an oven
Fig. 7 schematische Darstellung eines Sprühturms  Fig. 7 schematic representation of a spray tower
Fig. 8 schematische Darstellung eines Querschnitts eines Lichtleiters  Fig. 8 is a schematic representation of a cross section of a light guide
Fig. 9 schematische Darstellung einer Aufsicht auf einen Lichtleiter  Fig. 9 is a schematic representation of a plan view of a light guide
Fig. 10 Flussdiagramm (Verfahren zum Herstellen eines Formkörpers)  10 is a flowchart (method for producing a molded article)
Beschreibung der Figuren Description of the figures
Figur 1 zeigt ein Flussdiagramm enthaltend die Schritte 101 bis 104 eines Verfahrens 100 zur Herstellung eines Quarzglaskörpers gemäß der vorliegenden Erfindung. In einem ersten Schritt 101 wird ein Siliziumdioxidgranulat bereitgestellt. In einem zweiten Schritt 102 wird aus dem Siliziumdioxidgranulat eine Glasschmelze gebildet. FIG. 1 shows a flow chart containing steps 101 to 104 of a method 100 for producing a quartz glass body according to the present invention. In a first step 101, a silica granulate is provided. In a second step 102, a glass melt is formed from the silica granules.
Bevorzugt werden zum Schmelzen Formen eingesetzt, die in einen Ofen eingebracht und wieder aus ihm entnommen werden können. Solche Formen werden oftmals aus Graphit hergestellt. Sie ergeben eine Negativform des Gießlings. Das Siliziumdioxidgranulat wird in die Form eingefüllt, in dem dritten Schritt 103 zunächst in der Form zum Schmelzen gebracht. Anschließend bildet sich in derselben Form durch Abkühlen der Schmelze der Quarzglaskörper. Dieser wird dann aus der Form herausgelöst und weiter bearbeitet, zum Beispiel in einem opti- onalen Schritt 104. Diese Vorgehensweise ist diskontinuierlich. Das Bilden der Schmelze erfolgt bevorzugt bei reduziertem Druck, insbesondere bei Vakuum. Es ist ferner möglich, während Schritt 103 zeitweise den Ofen mit einer reduzierenden, wasserstoffhaltigen Atmosphäre zu beaufschlagen. Bei einer anderen Vorgehensweise werden bevorzugt als Schmelztiegel hängende oder stehende Tiegel eingesetzt. Das Schmelzen erfolgt bevorzugt in einer reduzierenden, wasserstoffhaltigen Atmosphäre. In einem dritten Schritt 103 wird ein Quarzglaskörper gebildet. Die Bildung des Quarzglaskörpers erfolgt hier bevorzugt durch Entnehmen zumindest eines Teils der Glasschmelze aus dem Tiegel und Abkühlen. Die Entnahme erfolgt bevorzugt durch eine Düse am unteren Ende des Tiegels. In diesem Fall kann die Form des Quarzglaskörpers durch die Ausgestaltung der Düse bestimmt werden. So können beispielsweise massive Körper erhalten werden. Hohle Körper werden beispielsweise erhalten, wenn in der Düse zusätzlich ein Dorn vorgesehen ist. Dieses exemplarisch dargestellte Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern, und insbesondere Schritt 103, erfolgt bevorzugt kontinuierlich. Aus einem massiven Quarzglaskörper kann in einem optionalen Schritt 104 ein Hohlkörper geformt werden. Preferably, molds are used for melting, which can be introduced into an oven and removed from it again. Such forms are often made of graphite. They result in a negative mold of the casting. The silica granules are filled into the mold, first melted in the mold in the third step 103. Subsequently, the quartz glass body is formed in the same mold by cooling the melt. This is then removed from the mold and processed further, for example in an optimal onal step 104. This procedure is discontinuous. The formation of the melt is preferably carried out under reduced pressure, in particular under vacuum. It is also possible to temporarily charge the furnace with a reducing, hydrogen-containing atmosphere during step 103. In another approach, preferably used as a crucible hanging or standing crucible. The melting preferably takes place in a reducing, hydrogen-containing atmosphere. In a third step 103, a quartz glass body is formed. The formation of the quartz glass body is preferably carried out here by removing at least a portion of the glass melt from the crucible and cooling. The removal preferably takes place through a nozzle at the lower end of the crucible. In this case, the shape of the quartz glass body can be determined by the design of the nozzle. For example, massive bodies can be obtained. Hollow bodies are obtained, for example, if a mandrel is additionally provided in the nozzle. This exemplary method for the production of quartz glass bodies, and in particular step 103, is preferably carried out continuously. From a solid quartz glass body can be formed in an optional step 104, a hollow body.
Figur 2 zeigt ein Flussdiagramm enthaltend die Schritte 201 , 202 und 203 eines Verfahrens 200 zur Herstellung eines Siliziumdioxidgranulats I. In einem ersten Schritt 201 wird ein Siliziumdioxidpulver bereitgestellt. Ein Siüziumdioxidpulver wird bevorzugt aus einem synthetischen Prozess erhalten, bei dem ein siliziumhaltiges Material, beispielsweise ein Siloxan, ein Siliziumalkoxid oder ein Siliziumhalogenid in einem pyrogenen Verfahren zu Siliziumdioxid umgesetzt wird. In einem zweiten Schritt 202 wird das Siliziumdioxidpulver mit einer Flüssigkeit, bevorzugt mit Wasser, gemischt unter Erhalt einer Aufschlämmung. In einem dritten Schritt 203 wird das in der Aufschlämmung enthaltene Siliziumdioxid in ein Siliziumdioxidgranulat überführt. Das Granulieren erfolgt mittels Sprühgranulieren. Dazu wird die Aufschlämmung durch eine Düse in einen Sprühturm eingesprüht und unter Bildung von Granulen getrocknet, wobei die Kontaktfläche zwischen der Düse und der Aufschlämmung ein Glas oder einen Kunststoff beinhaltet. FIG. 2 shows a flow chart containing the steps 201, 202 and 203 of a method 200 for producing a silicon dioxide granulate I. In a first step 201, a silicon dioxide powder is provided. A silica powder is preferably obtained from a synthetic process in which a silicon-containing material, for example, a siloxane, a silicon alkoxide or a silicon halide is converted to silica in a pyrogenic process. In a second step 202, the silica powder is mixed with a liquid, preferably water, to obtain a slurry. In a third step 203, the silica contained in the slurry is transferred to a silica granule. The granulation takes place by means of spray granulation. For this, the slurry is sprayed through a nozzle into a spray tower and dried to form granules, with the contact surface between the nozzle and the slurry including a glass or plastic.
Figur 3 zeigt ein Flussdiagramm enthaltend die Schritte 301 , 302, 303 und 304 eines Verfahrens 300 zur Herstellung eines Siliziumdioxidgranulats Π. die Schritte 301, 302 und 303 verlaufen dabei entsprechend den Schritten 201, 202 und 203 gemäß Figur 2. In Schritt 304 wird das in Schritt 303 erhaltene Siliziumdioxidgranulat I zu einem Siliziumdioxidgranulat II verarbeitet. Dies erfolgt bevorzugt durch Erwärmen des Siliziumdioxidgranulats I in einer chlorhaltigen Atmosphäre. FIG. 3 shows a flow chart containing the steps 301, 302, 303 and 304 of a method 300 for producing a silica granulate Π. The steps 301, 302 and 303 in this case run in accordance with the steps 201, 202 and 203 according to FIG. 2. In step 304, the silicon dioxide granulate I obtained in step 303 is processed into a silicon dioxide granulate II. This is preferably done by heating the silica granules I in a chlorine-containing atmosphere.
Figur 4 zeigt ein Flussdiagramm enthaltend die Schritte 401, 403 und 404 sowie den optionalen Schritt 402 eines Verfahrens zur Herstellung eines Lichtleiters. Im ersten Schritt 401 wird ein Quarzglaskörper bereitgestellt, be- vorzugt ein gemäß Verfahren 100 hergestellter Quarzglaskörper. Ein solcher Quarzglaskörper kann ein massiver oder ein hohler Quarzglaskörper sein. Aus einem in Schritt 401 bereitgestellten massiven Quarzglaskörper wird in einem zweiten Schritt 402 ein hohler Quarzglaskörper entsprechend Schritt 104 geformt, in einem dritten Schritt 403 wird in den hohlen Quarzglaskörper ein oder mehr als ein Kernstab eingebracht. In einem vierten Schritt 404 wird der mit einem oder mehr als einem Kernstab versehene Quarzglaskörper zu einem Lichtleiter verarbeitet. Dazu wird der mit einem oder mehr als einem Kemstab versehene Quarzglaskörper bevorzugt zum Erweichen erwärmt und solange elongiert, bis die gewünschte Lichtleiterdicke erreicht wird. Figur 5 zeigt ein Flussdiagramm enthaltend die Schritte 501, 503 und 504 sowie den optionalen Schritt 502 eines Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtmittels. Im ersten Schritt 501 wird ein Quarzglaskörper bereitgestellt, bevorzugt ein gemäß Verfahren 100 hergestellter Quarzglaskörper. Ein solcher Quarzglaskörper kann ein massiver oder ein hohler Quarzglaskörper sein. Ist der in Schritt 501 bereitgestellte Quarzglaskörper massiv, wird er in einem zweiten Schritt 502 gegebenenfalls zu einem hohlen Quarzglaskörper entsprechend Schritt 104 geformt. In einem optionalen dritten Schritt wird der hohle Quarzglaskörper mit Elektroden bestückt. In einem vierten Schritt 504 wird der hohle Quarzglaskörper mit einem Gas, bevorzugt mit Argon, Krypton, Xenon oder einer Kombination davon, befüllt. Bevorzugt wird zunächst ein massiver Quarzglaskörper bereitgestellt (501 ), zu einem Hohlkörper geformt (502), mit Elektroden bestückt (503) und mit einem Gas befüllt (504). FIG. 4 shows a flowchart containing the steps 401, 403 and 404 as well as the optional step 402 of a method for producing a light guide. In the first step 401, a quartz glass body is provided, preferably a quartz glass body produced according to method 100. Such a quartz glass body may be a solid or a hollow quartz glass body. From a solid quartz glass body provided in step 401, in a second step 402, a hollow quartz glass body is formed according to step 104, in a third step 403, one or more than one core rod is inserted into the hollow quartz glass body. In a fourth step 404, the quartz glass body provided with one or more than one core rod is processed to form a light guide. For this purpose, the quartz glass body provided with one or more than one core rod is preferably heated to soften and elongated until the desired optical fiber thickness is reached. FIG. 5 shows a flowchart containing the steps 501, 503 and 504 as well as the optional step 502 of a method for producing a luminous means. In the first step 501, a quartz glass body is provided, preferably a quartz glass body produced according to method 100. Such a quartz glass body may be a solid or a hollow quartz glass body. If the quartz glass body provided in step 501 is solid, it is optionally formed into a hollow quartz glass body according to step 104 in a second step 502. In an optional third step, the hollow quartz glass body is equipped with electrodes. In a fourth step 504, the hollow quartz glass body is filled with a gas, preferably with argon, krypton, xenon or a combination thereof. Preferably, a solid quartz glass body is initially provided (501), shaped into a hollow body (502), equipped with electrodes (503) and filled with a gas (504).
In Figur 6 ist eine bevorzugte Ausführungsform eines Ofens 800 mit einem hängenden Tiegel gezeigt. Der Tiegel 801 ist in dem Ofen 800 hängend angeordnet. Der Tiegel 801 weist in seinem oberen Bereich eine Aufhängung 802, sowie einen Feststoffeini ass 803 und eine Düse 804 als Auslass auf. Der Tiegel 801 wird über den Feststof- feinlass 803 mit Siliziumdioxidgranulat 805 befüllt. Im Betrieb liegt im oberen Bereich des Tiegels 801 Siliziumdioxidgranulat 805 vor, während im unteren Bereich des Tiegels 801 eine Glasschmelze 806 vorliegt. Der Tiegel 801 ist durch Heizelemente 807 beheizbar, die auf der Außenseite der Tiegelwand 810 angeordnet sind. Der Ofen weist zudem zwischen den Heizelementen 807 und der Ofenaußenwand 808 eine Isolationsschicht 809 auf. Der Raum zwischen der Isolationsschicht 809 und der Tiegelwand 810 kann mit einem Gas befullt werden und weist dazu einen Gaseinlass 811 und einen Gasauslass 812 auf. Durch die Düse 804 kann ein Quarzglaskörper 813 aus dem Ofen entnommen werden. FIG. 6 shows a preferred embodiment of a furnace 800 with a hanging crucible. The crucible 801 is suspended in the furnace 800. The crucible 801 has in its upper region a suspension 802, as well as a solids inlet 803 and a nozzle 804 as an outlet. The crucible 801 is filled with the silicon dioxide granules 805 via the solids inlet 803. In operation, silicon dioxide granules 805 are present in the upper region of the crucible 801, while a glass melt 806 is present in the lower region of the crucible 801. The crucible 801 can be heated by heating elements 807, which are arranged on the outside of the crucible wall 810. The furnace also has an insulation layer 809 between the heating elements 807 and the furnace outer wall 808. The space between the insulating layer 809 and the crucible wall 810 may be filled with a gas, and has a gas inlet 811 and a gas outlet 812 thereto. Through the nozzle 804, a quartz glass body 813 can be removed from the oven.
In Figur 7 ist eine bevorzugte Ausführungsform eines Sprühturms 1100 zum Sprühgranulieren von Siliziumdioxid gezeigt. Der Sprühturm 1100 umfasst eine Zuführung 1101, durch die eine unter Druck stehende Auf- schlämmung enthaltend Siliziumdioxidpulver und eine Flüssigkeit dem Sprühturm zugeführt wird. Am Ende der Leitung befindet sich eine Düse 1102, durch die die Aufschlämmung fein verteilt in den Sprühturm eingebracht wird. Bevorzugt ist die Düse schräg nach oben ausgerichtet, so dass die Aufschlämmung als feine Tröpfchen in Richtung der Düsenausrichtung in den Sprühturm gesprüht wird und dann im Bogen schwerkraftgetrieben nach unten fällt. Am oberen Ende des Sprühturms befindet sich ein Gaseinlass 1103. Durch das Einführen eines Gases durch den Gaseinlass 1103 wird ein der Austrittsrichtung der Aufschlämmung aus der Düse 1102 entgegengerichteter Gasstrom erzeugt. Der Sprühturm 1100 umfasst außerdem eine Sichtvorrichtung 1104 und eine Siebvorrichtung 1105. Durch die Sichtvorrichtung 1104 werden Teilchen abgesaugt, die eine definierte Teilchengröße unterschreiten, und durch die Abführung 1106 entfernt. Entsprechend der Teilchengröße der anzusaugenden Teilchen kann die Ansaugstärke der Sichtvorrichtung 1104 reguliert werden. Durch die Siebvorrichtung 1105 werden Teilchen oberhalb einer definierten Teilchengröße abgesiebt und durch die Abführung 1 107 entfernt. Entsprechend der Teilchengröße der abzusiebenden Teilchen kann die Siebdurchlässigkeit der Siebvorrichtung 1105 gewählt werden. Die verbleibenden Teilchen, ein Siliziumdioxidgranulat der gewünschten Teilchengröße, werden durch den Auslass 1108 entnommen. Figure 7 shows a preferred embodiment of a spray tower 1100 for spray granulating silica. The spray tower 1100 comprises a feed 1101 through which a pressurized slurry containing silica powder and a liquid is supplied to the spray tower. At the end of the line is a nozzle 1102, through which the slurry is finely distributed in the spray tower is introduced. Preferably, the nozzle is oriented obliquely upwards so that the slurry is sprayed as fine droplets in the direction of the nozzle alignment in the spray tower and then falls down in a bow driven by gravity. At the top of the spray tower is a gas inlet 1103. By introducing a gas through the gas inlet 1103, a gas flow directed counter to the exit direction of the slurry from the nozzle 1102 is created. The spray tower 1100 also includes a sighting device 1104 and a screening device 1105. By the sighting device 1104 particles are sucked off, which fall below a defined particle size, and removed by the discharge 1106. According to the particle size of the particles to be sucked, the suction power of the sighting device 1104 can be regulated. By the sieve device 1105 particles are screened above a defined particle size and removed by the discharge 1 107. Depending on the particle size of the particles to be sieved, the sieve permeability of the sieving apparatus 1105 can be selected. The remaining particles, a silica granule of the desired particle size, are withdrawn through the outlet 1108.
In Figur 8 ist schematisch ein Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Lichtleiter 1200 gezeigt, der einenFIG. 8 schematically shows a cross section through an optical waveguide 1200 according to the invention, which has a
Kern 1201 und einen den Kern 1201 umgebende Hülle Ml 1202 aufweist. Core 1201 and the core 1201 surrounding shell Ml 1202 has.
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BERICHTICTES BLATT (REGEL 91) ISA/EP Figur 9 zeigt schematisch eine Aufsicht auf einen Lichtleiter 1300, der eine kabeiförmige Struktur aufweist. Um die Anordnung des Kerns 1301 und der Hülle Ml 1302 um den Kern 1301 darzustellen, wurde ein Teil des Kerns 1301 ohne Hülle Ml 1302 dargestellt. Typisch ist jedoch die Umkleidung des Kerns 1301 über seine komplette Länge mit der Hülle M l 1302. REPORTED SHEET (RULE 91) ISA / EP FIG. 9 schematically shows a plan view of an optical waveguide 1300 which has a kabeiförmige structure. In order to illustrate the arrangement of the core 1301 and the cladding M1 1302 about the core 1301, a part of the core 1301 without cladding M1 1302 was shown. Typical, however, is the casing of the core 1301 over its entire length with the casing M1 1302.
Figur 10 zeigt ein Flussdiagramm enthaltend die Schritte 1601 und 1602 eines Verfahrens zur Herstellung eines Formkörpers. Im ersten Schritt 1601 wird ein Quarzglaskörper bereitgestellt, bevorzugt ein gemäß Verfahren 100 hergestellter Quarzglaskörper. Ein solcher Quarzglaskörper kann ein massiver oder ein hohler Quarzglaskörper sein. Aus einem in Schritt 1601 bereitgestellten massiven Quarzglaskörper wird in einem zweiten Schritt 1602 ein Formkörper geformt. FIG. 10 shows a flow chart containing steps 1601 and 1602 of a method for producing a shaped body. In the first step 1601, a quartz glass body is provided, preferably a quartz glass body produced according to method 100. Such a quartz glass body may be a solid or a hollow quartz glass body. From a solid quartz glass body provided in step 1601, a shaped body is formed in a second step 1602.
Testmethoden a. Fiktive Temperatur Test Methods a. Fictitious temperature
Die fiktive Temperatur wird mittels Ramanspektroskopie anhand der Ramanstreuintensität bei etwa 606 cm"' ermittelt. Die Vorgehensweise und Auswertung ist in dem Beitrag von Pßeiderer et. al. ;„The UV-induced 210 ran absorption band in fused Silica with different thermal history and stoichiometry"; Journal of Non- Crystalline Solids, Band 159 (1993), Seiten 145-153 beschrieben. b. OH-Gehalt The fictive temperature is "determined" The procedure and evaluation is et in the paper by Pßeiderer al... "By Raman spectroscopy based on the Raman scattering intensity at around 606 cm The UV-induced 210 ran absorbent belt in fused silica with different thermal history and stoichiometry "; Journal of Non-Crystalline Solids, Vol. 159 (1993), pages 145-153. b. OH-content
Der OH Gehalt des Glases wird durch Infrarotspektroskopie bestimmt. Die in von D. M. Dodd & D. M. Fräser angegebene Methode„Optical Determinations of OH in Fused Silica" (J.A.P. 37, 3991 (1966)) wird angewendet. Statt des darin angegebenen Geräts, wird ein FTIR-Spektrometer (Fourier- Transform- Infrarotspektrometer, aktuell System 2000 der Fa. Perkin Elmer) eingesetzt. Die Auswertung der Spektren kann prinzipiell sowohl an der Absorptionsbande bei ca. 3670 cm-1 als auch bei der Absorptionsbande bei ca. 7200 cm-1 erfolgen. Die Auswahl der verwendeten Bande erfolgt nach der Regel, dass der Transmissionsverlust durch die OH- Absorption zwischen 10 und 90% liegt. c. Oxygen Deficiencv Centers (ODCs)  The OH content of the glass is determined by infrared spectroscopy. The method "Optical Determinations of OH in Fused Silica" (JAP 37, 3991 (1966)) specified by DM Dodd & DM Fraser is used instead of the device specified therein, an FTIR spectrometer (Fourier transform infrared spectrometer, current The analysis of the spectra can in principle be carried out both at the absorption band at about 3670 cm-1 and at the absorption band at about 7200 cm-1. The selection of the band used is carried out according to the rule in that the transmission loss due to the OH absorption is between 10 and 90% C. Oxygen Deficiency Centers (ODCs)
Zum quantitativen Nachweis wird die ODC(I)- Absorption bei 165 nm mittels einer Transmissionsmessung an zwischen 1-2 mm dicken Probe mittels eines Vakuum-UV-Spektrometers, Modell VUVAS 2000, von McPherson, Inc. (USA) bestimmt.  For quantitative detection, the ODC (I) absorption at 165 nm is determined by transmission measurement on a 1-2 mm thick sample using a vacuum UV spectrometer, model VUVAS 2000, from McPherson, Inc. (USA).
Dann gilt: Then:
Ν= α / σ Ν = α / σ
mit  With
N = Defektkonzentration [1/cm3] N = defect concentration [1 / cm 3 ]
α = Optische Absorption [1/cm, Basis e] derX>DC(I) Bande  α = optical absorption [1 / cm, base e] of the X> DC (I) band
σ = Wirkungsquerschnitt [cm2] σ = cross section [cm 2 ]
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BERICHTICTES BLATT (REG EL 91) ISA/ EP wobei als Wirkungsquerschnitt o=7,5-10"17cm2 eingesetzt wird (aus L. Skuja,„Color Centers and Their Transformations in Glassy Si02", Lectures of the summer school "Photosensitivity in optical Waveguides and glas- ses", Juli 13-18 1998, Vitznau, Switzerland). Elementaranalyse REPORTED SHEET (REG EL 91) ISA / EP using as cross-section o = 7.5-10 "17 cm 2 (from L. Skuja," Color Centers and Their Transformations in Glassy Si0 2 ", Lectures of the Summer School" Photosensitivity in Optical Waveguides and Glass "), July 13-18 1998, Vitznau, Switzerland). Elemental analysis
d-1) Massive Proben werden zertrümmert. Anschließend werden zur Reinigung ca. 20g der Probe in ein HF- beständiges Gefäß eingebracht, vollständig mit HF bedeckt und bei 100°C für eine Stunde thermisch behandelt. Nach dem Abkühlen wird die Säure verworfen und die Probe mehrmals mit Reinstwasser gespült. Anschließend wird das Gefäß mit der Probe im Trockenschrank getrocknet. d-1) Massive samples are smashed. Subsequently, for cleaning, approximately 20 g of the sample are introduced into an HF-resistant vessel, completely covered with HF and thermally treated at 100 ° C. for one hour. After cooling, the acid is discarded and the sample rinsed several times with ultrapure water. Subsequently, the vessel with the sample is dried in a drying oven.
Anschließend werden ca. 2g der festen Probe (Bruchmaterial, gereinigt wie oben; Stäube etc. ohne Vorbehandlung direkt) in einen HF beständigen Aufschlussbehälter eingewogen und mit 15ml HF (50 Gew.-%) versetzt. Der Aufschlussbehälter wird verschlossen und bei 100°C solange thermisch behandelt, bis die feste Probe vollständig aufgelöst ist. Danach wird der Aufschlussbehälter geöffnet und thermisch weiter bei 100°C behandelt, bis die Lösung komplett eingedampft ist. Währenddessen wird der Aufschlussbehälter 3 mit 15ml Reinstwasser aufgefüllt. In den Aufschlussbehälter wird 1ml HN03 gegeben, um abgeschiedene Verunreinigungen zu lösen und mit Reinstwasser auf 15ml aufgefüllt. Damit steht die Messlösung bereit. d-2) Messung ICP-MS / ICP-OES Subsequently, about 2 g of the solid sample (fracture material, cleaned as above, dusts etc. without pretreatment directly) are weighed into a HF-resistant digestion vessel and admixed with 15 ml HF (50% by weight). The digestion vessel is closed and thermally treated at 100 ° C until the solid sample is completely dissolved. Thereafter, the digestion vessel is opened and thermally further treated at 100 ° C until the solution is completely evaporated. Meanwhile, the digestion tank 3 is filled with 15ml ultrapure water. Add 1ml HN0 3 to the digestion vessel to dissolve any separated contaminants and make up to 15ml with ultrapure water. Thus the measuring solution is ready. d-2) Measurement ICP-MS / ICP-OES
Ob OES oder MS verwendet wird, hängt von der erwarteten Elementkonzentration ab. Typische Bestimmungsgrenzen für die MS sind lppb, für die OES lOppb (jeweils bezogen auf die eingewogene Probenmenge). Die Bestimmung der Elementkonzentration mit den Messgeräten erfolgt nach Maßgabe der Gerätehersteller (ICP-MS: Agilent 7500ce; ICP-OES: Perkin Elmer 7300 DV) und unter Verwendung von zertifizierten Referenzflüssigkeiten zur Kalibrierung. Die von den Geräten bestimmte Elementkonzentration in der Lösung (15ml) werden dann auf die ursprüngliche Einwaage der Probe (2g) umgerechnet.  Whether OES or MS is used depends on the expected element concentration. Typical determination limits for the MS are lppb, for the OES lOppb (in each case based on the weighted sample amount). The determination of the element concentration with the measuring instruments is carried out in accordance with the equipment manufacturers (ICP-MS: Agilent 7500ce, ICP-OES: Perkin Elmer 7300 DV) and using certified reference liquids for calibration. The element concentration in the solution (15 ml) determined by the devices is then converted to the original sample weight (2 g).
Anmerkung: Es ist darauf zu achten, dass die Säure, die Gefäße, das Wasser, die Geräte eine ausreichende Reinheit aufweisen müssen, um die nachzuweisenden Elementkonzentrationen bestimmen zu können. Überprüft wird das mit dem Aufschluss einer Blindprobe ohne Quarzglas. Note: It must be ensured that the acid, the vessels, the water and the equipment must be of sufficient purity to determine the element concentrations to be detected. This is checked with the digestion of a blank without quartz glass.
Folgende Elemente werden auf diese Weise bestimmt: Li, Na, Mg, K, Ca, Fe, Ni, Cr, Hf, Zr, Ti, (Ta), V, Nb, W, Mo, AI. d-3) Die Bestimmung von flüssig vorliegenden Proben erfolgt wie zuvor beschrieben, wobei die Probenvorbereitung gemäß Schritt d-1) entfällt. Es werden 15ml der flüssigen Probe in das Aufschlussgefäß gegeben. Eine Umrechnung auf eine ursprüngliche Einwaage entfällt. Dichtebestimmung einer Flüssigkeit The following elements are determined in this way: Li, Na, Mg, K, Ca, Fe, Ni, Cr, Hf, Zr, Ti, (Ta), V, Nb, W, Mo, Al. d-3) The determination of samples present in liquid form is carried out as described above, the sample preparation according to step d-1) being omitted. 15 ml of the liquid sample are added to the digestion vessel. A conversion to an original initial weight is omitted. Density determination of a liquid
Zur Bestimmung der Dichte einer Flüssigkeit wird ein genau definiertes Volumen der Flüssigkeit in ein gegenüber der Flüssigkeit und ihren Bestandteilen inertes Messgefäß eingewogen, wobei das Leergewicht und das Gewicht des befüllten Gefäßes gemessen wird. Die Dichte ergibt sich aus der Differenz der beiden Gewichtsmessungen dividiert durch das eingebrachte Volumen der Flüssigkeit.  To determine the density of a liquid, a well-defined volume of the liquid is weighed into a measuring vessel which is inert with respect to the liquid and its constituents, the empty weight and the weight of the filled vessel being measured. The density results from the difference between the two weight measurements divided by the volume of liquid introduced.
Nachweis von Fluorid Detection of fluoride
15g einer Quarzglasprobe werden zerkleinert und in Salpetersäure zum Reinigen bei einer Temperatur von 70°C behandelt. Anschließend wird die Probe mehrmals mit Reinstwasser gespült, anschließend getrocknet. Davon werden 2g der Probe in einen Nickeltiegel eingewogen und mit 10g Na2C03 sowie 0,5g ZnO überschichtet. Der Tiegel wird mit einem Ni-Deckel verschlossen und bei 1000°C für eine Stunde geglüht. Anschließend wird der Nickeltiegel mit Wasser gefüllt und aufgekocht, bis sich der Schmelzkuchen ganz gelöst hat. Die Lösung wird in einen 200ml Messkolben überführt und mit Reinstwasser auf 200 ml aufgefüllt. Nach Absetzen ungelösten Bestandteile werden 30ml abgenommen und in einen Messkolben mit 100ml überführt, 0,75ml Eisessig und 60ml TISAB hinzugegeben und mit Reinstwasser aufgefüllt. Die Messlösung wird in ein Becherglas 150ml überführt. 15 g of a quartz glass sample are crushed and treated in nitric acid for cleaning at a temperature of 70 ° C. Subsequently, the sample is rinsed several times with ultrapure water, then dried. Of these, 2 g of the sample are weighed into a nickel crucible and covered with 10 g Na 2 C0 3 and 0.5 g ZnO. The crucible is closed with a Ni cover and annealed at 1000 ° C for one hour. Then the nickel crucible is filled with water and boiled until the melt cake has completely dissolved. The solution is transferred to a 200 ml volumetric flask and made up to 200 ml with ultrapure water. After settling undissolved components, 30 ml are removed and transferred to a 100 ml volumetric flask, 0.75 ml glacial acetic acid and 60 ml TISAB are added and topped up with ultrapure water. The measuring solution is transferred to a 150 ml beaker.
Die Bestimmung des Fluoridgehalts aus der Messlösung erfolgt mittels einer ionensensitiven (Fluorid) Elektrode, geeignet für den erwarteten Konzentrationsbereich, und Anzeigegerät nach Vorgabe des Herstellers, hier eine Fluorid-Ionenselektive Elektrode und Bezugselektrode F-500 mit R503/D an einem pMX 3000/pH/ION der Firma Wissenschaftlich-Technische Werkstätten GmbH. Mit der Fluoridkonzentration in der Lösung, dem Verdünnungsfaktor und der Einwaage wird die Fluoridkonzentration im Quarzglas berechnet. The determination of the fluoride content of the measurement solution is carried out by means of an ion-sensitive (fluoride) electrode, suitable for the expected concentration range, and display device according to the manufacturer, here a fluoride ion-selective electrode and reference electrode F-500 with R503 / D on a pMX 3000 / pH / ION of the company Wissenschaftlich-Technische Werkstätten GmbH. With the fluoride concentration in the solution, the dilution factor and the initial weight, the fluoride concentration in the quartz glass is calculated.
Nachweis von Chlor (>= 50 ppm) Detection of chlorine (> = 50 ppm)
15g einer Quarzglasprobe werden zerkleinert und in Salpetersäure zum Reinigen bei ca. 70°C behandelt. Anschließend wird die Probe mehrmals mit Reinstwasser gespült, anschließend getrocknet. Davon werden 2g der Probe in einen PTFE-Einsatz eines Druckbehälters gefüllt, mit 15ml NaOH (c=10mol/l) versetzt, mit einem PTFE Deckel verschlossen und in den Druckbehälter gesetzt. Dieser wird verschlossen und bei ca. 155°C für 24 Stunden thermisch behandelt. Nach dem Abkühlen wird der PTFE Einsatz entnommen und die Lösung vollständig in einen Messkolben 100ml überführt. Dort werden 10ml HNO3 (65 Gew.-%) und 15ml Acetat- puffer hinzugeben, abkühlen gelassen und mit Reinstwasser auf 100 ml aufgefüllt. Die Messlösung wird in ein Becherglas 150ml überführt. Die Messlösung hat einen pH- Wert im Bereich zwischen 5 und 7. 15 g of a quartz glass sample are crushed and treated in nitric acid for cleaning at about 70 ° C. Subsequently, the sample is rinsed several times with ultrapure water, then dried. Of these, 2 g of the sample are placed in a PTFE insert of a pressure vessel, mixed with 15 ml NaOH (c = 10 mol / l), sealed with a PTFE lid and placed in the pressure vessel. This is sealed and thermally treated at about 155 ° C for 24 hours. After cooling, the PTFE insert is removed and the solution is transferred completely into a 100 ml volumetric flask. There, 10 ml HNO 3 (65 wt .-%) and 15 ml acetate buffer are added, allowed to cool and made up to 100 ml with ultrapure water. The measuring solution is transferred to a 150 ml beaker. The measuring solution has a pH in the range between 5 and 7.
Die Bestimmung des Chloridgehalts aus der Messlösung erfolgt mittels Ionensensitiver (Chlorid) Elektrode, geeignet für den erwarteten Konzentrationsbereich, und Anzeigegerät nach Vorgabe des Herstellers hier einer Elektrode Typ Cl-500 und Bezugselektrode Typ R-503/D an einem pMX 3000/pH/ION der Firma Wissenschaftlich-Technische Werkstätten GmbH. The determination of the chloride content of the measuring solution is carried out by means of ion-sensitive (chloride) electrode, suitable for the expected concentration range, and display device according to the manufacturer's instructions here a type Cl-500 electrode and reference electrode type R-503 / D on a pMX 3000 / pH / ION the company Scientific-Technical Workshops GmbH.
Chlorgehalt (< 50 ppm) Chlorine content (<50 ppm)
Chlorgehalte < 50 ppm bis zu 0,1 ppm in Quarzglas werden mittels Neutronenaktivierungsanalyse (NAA) bestimmt. Dazu werden aus dem zu untersuchenden Quarzglaskörper 3 Bohrlinge mit je 3 mm Durchmesser und je 1 cm Länge gezogen. Diese werden zur Analyse an ein Forschungsinstitut abgegeben, in diesem Fall an das Institut für Kernchemie der Johannes-Gutenberg-Universität in Mainz. Um Kontamination der Proben mit Chlor auszuschließen wird mit dem Forschungsinstitut vereinbart, eine gründliche Reinigung der Proben in einem HF-Bad vor Ort und erst unmittelbar vor der Messung vorzunehmen. Jeder Bohrling wird mehrmals vermessen. Die Ergebnisse und die Bohrlinge werden anschließend von dem Forschungsinstitut zurückübermittelt. Chlorine contents <50 ppm up to 0.1 ppm in quartz glass are determined by neutron activation analysis (NAA). For this purpose, from the quartz glass body to be examined 3 drill bits, each with a diameter of 3 mm and each pulled 1 cm in length. These are submitted to a research institute for analysis, in this case to the Institute of Nuclear Chemistry of the Johannes Gutenberg University in Mainz. To exclude contamination of the samples with chlorine, it is agreed with the research institute to carry out a thorough cleaning of the samples in an HF bath on site and only immediately before the measurement. Each drill bit is measured several times. The results and drillings are then returned by the research institute.
Optische Eigenschaften Optical properties
Die Transmission von Quarzglasproben wird mit kommerziellen Gitter- oder FTIR Spektrometern von Perkin Elmer bestimmt (Lambda 900 [190-3000nm] oder System 2000 [1000-5000nm]). Die Wahl richtet sich nach dem benötigten Messbereich.  The transmission of quartz glass samples is determined using commercial grid or FTIR spectrometers from Perkin Elmer (Lambda 900 [190-3000nm] or System 2000 [1000-5000nm]). The choice depends on the required measuring range.
Zur Bestimmung der Absoluttransmission werden die Probenkörper planparallel poliert (Oberflächenrauhigkeit RMS < 0,5nm) und die Oberfläche nach der Politur von allen Rückständen durch eine Ultraschallbehandlung befreit. Die Probendicke beträgt 1cm. Im Falle von erwartetem, starkem Transmissionsverlust durch Verunreinigung, Dotierung etc., kann auch eine dickere oder dünnere Probe ausgewählt werden, um im Messbereich des Geräts zu bleiben. Es wird eine Probendicke (Messlänge) gewählt, bei der aufgrund des Strahlendurchgangs durch die Probe nur geringfügig Artefakte auftreten und zugleich ein hinreichend detektierbarer Effekt gemessen wird. To determine the absolute transmission, the specimens are polished in a plane-parallel manner (surface roughness RMS <0.5 nm) and the surface after polishing is freed from all residues by ultrasonic treatment. The sample thickness is 1cm. In the case of expected high transmission loss due to contamination, doping, etc., a thicker or thinner sample can also be selected to remain within the instrument's measuring range. A sample thickness (measuring length) is selected in which, due to the passage of light through the sample, only slight artifacts occur and at the same time a sufficiently detectable effect is measured.
Für die Messung der Opazität wird die Probe vor einer Ulbrichkugel im Strahlengang platziert. Die Opazität errechnet sich anhand des so gemessenen Transmissionswertes T gemäß der Formel: O = 1/T = I0/I. For the measurement of opacity, the sample is placed in front of an Ulbrich sphere in the beam path. The opacity is calculated on the basis of the thus measured transmission value T according to the formula: O = 1 / T = I 0 / I.
Brechzahl und Brechzahlverteilung an einem Rohr oder Stab Refractive index and refractive index distribution on a tube or rod
Die Brechzahlverteilung von Rohren / Stäben kann mittels eines York Technology Ltd. Preform Profiler PI 02 oder PI 04 charakterisiert werden. Dazu wird der Stab liegend in die Messkammer eingelegt und diese dicht verschlossen. Danach wird die Messkammer mit einem Immersionsöl aufgefüllt, das eine Brechzahl bei der Prüfwellenlänge 633nm hat, die der äußersten Glasschicht bei 633nm sehr ähnlich ist. Der Laserstrahl geht dann durch die Messkammer. Hinter der Messkammer (in Strahlrichtung) ist ein Detektor montiert, der den Ablenkwinkel (Strahleintritt in gegenüber Strahlaustritt aus der Messkammer) bestimmt. Unter Annahme der Radialsymmetrie der Brechzahlverteilung des Stabes lässt sich der diametrale Brechzahlverlauf mittels einer inversen Abel-Transformation rekonstruieren. Diese Berechnungen werden von der Software des Geräteherstellers York durchgeführt.  The refractive index distribution of tubes / rods can be determined by means of a York Technology Ltd. Preform Profiler PI 02 or PI 04. For this purpose, the rod is placed horizontally in the measuring chamber and this sealed. Thereafter, the measuring chamber is filled up with an immersion oil which has a refractive index at the test wavelength of 633nm, which is very similar to the outermost glass layer at 633nm. The laser beam then passes through the measuring chamber. Behind the measuring chamber (in beam direction) a detector is mounted, which determines the deflection angle (jet entry in opposite to jet exit from the measuring chamber). Assuming the radial symmetry of the refractive index distribution of the rod, the diametric refractive index profile can be reconstructed by means of an inverse Abel transformation. These calculations are performed by the software of the device manufacturer York.
Die Brechzahl einer Probe wird analog der vorstehenden Beschreibung mit dem York Technology Ltd. Preform Profiler PI 04 bestimmt. Bei isotropen Proben ergibt sich auch bei Messen der Brechzahlverteilung nur ein Wert, die Brechzahl. k. Kohlenstoffgehalt The refractive index of a sample is analogous to the above description with the York Technology Ltd. Preform Profiler PI 04 determined. In the case of isotropic samples, only one value is obtained even when measuring the refractive index distribution, the refractive index. k. Carbon content
Die quantitative Bestimmung des Oberflächenkohlenstoffgehaltes Siliziumdioxidgranulat und Siliziumdioxidpulver wird an einem Kohlenstoffanalysator RC612 der Fa. Leco Corporation, USA, durch die vollständige Oxidation aller Oberflächenkohlenstoffkontaminationen (außer SiC) mit Sauerstoff zu Kohlendioxid durchgeführt. Hierzu werden 4,0 g einer Probe eingewogen und in einem Quarzglasschiffchen in den Kohlenstoffanalysator eingebracht. Die Probe wird mit reinem Sauerstoff umspült und für 180 Sekunden auf 900 °C erhitzt. Das dabei gebildete CO2 wird durch den Infrarotdetektor des Kohlenstoffanalysators erfasst. Unter diesen Messbedingungen liegt die Nachweisgrenze bei < 1 ppm (Gewichts-ppm) Kohlenstoff. Ein für diese Analyse an dem oben genannten Kohlenstoffanalysator geeignetes Quarzglasschiffchen ist erhältlich als Verbrauchsmaterial für LECO- Analysator mit der LECO-Nummer 781-335 im Laborbedarfshandel, im vorliegenden Fall von Deslis Laborhandel, Flurstraße 21, D-40235 Düsseldorf (Deutschland), Deslis- Nr. LQ-130XL. Ein solches Schiffchen hat die Abmessungen von Breite/Länge/Höhe von ca. 25mm/60mm/15mm. Das Quarzglasschiffchen wird zu halber Höhe mit Probenmaterial befüllt. Für Silizium- dioxidpulver kann so eine Einwaage von 1,0 g Probenmaterial erreicht werden. Die untere Nachweisgrenze liegt dann bei <1 Gewichts-ppm Kohlenstoff. In das gleiche Quarzglasschiffchen wird bei gleicher Füllhöhe eine Einwaage von 4 g eines Siliziumdioxidgranulats erreicht (mittlere Partikelgröße im Bereich von 100 bis 500 μηι). Die untere Nachweisgrenze liegt dann bei etwa 0,1 Gewichts-ppm Kohlenstoff. Die untere Nachweisgrenze ist erreicht, wenn das Messflächenintegral der Probe nicht größer ist als das dreifache Messflä- chenintegral einer Leerprobe (Leerprobe = Verfahren wie oben, aber mit leerem Quarzglasschiffchen). The quantitative determination of the surface carbon content of silica granules and silicon dioxide powder is carried out on a carbon analyzer RC612 from Leco Corporation, USA, by the complete oxidation of all surface carbon contaminants (except SiC) with oxygen to carbon dioxide. For this purpose, 4.0 g of a sample are weighed and introduced into the carbon analyzer in a quartz glass boat. The sample is lapped with pure oxygen and heated to 900 ° C for 180 seconds. The resulting CO 2 is detected by the infrared detector of the carbon analyzer. Under these measurement conditions, the detection limit is <1 ppm (ppm by weight) carbon. A quartz glass boat suitable for this analysis on the abovementioned carbon analyzer is available as a consumable for LECO analyzer with the LECO number 781-335 in the laboratory supply trade, in the present case from Deslis Laborhandel, Flurstrasse 21, D-40235 Dusseldorf (Germany), Deslis. No. LQ-130XL. Such a boat has the dimensions of width / length / height of about 25mm / 60mm / 15mm. The quartz glass boat is filled halfway up with sample material. For silicon dioxide powder, a weight of 1.0 g sample material can be achieved. The lower detection limit is then <1 ppm by weight of carbon. In the same quartz glass boat at the same level, a weight of 4 g of a silica granules is reached (average particle size in the range of 100 to 500 μηι). The lower detection limit is then about 0.1 ppm by weight of carbon. The lower limit of detection is reached when the sample area integral of the sample is not greater than three times the sample area integral of a blank (blank = method as above, but with empty silica boat).
1. Curl-Parameter 1. Curl parameters
Der Curl-Parameter (auch genannt:„Fibre Curl") wird bestimmt gemäß der DIN EN 60793-1-34:2007-01 (deutsche Fassung der Norm IEC 60793-1-34:2006). Gemessen wird gemäß der in Annex A in den Abschnit- ten A.2.1 , A.3.2 und A.4.1 beschriebenen Methode („extrema technique"). m. Dämpfung  The Curl parameter (also called: "Fiber Curl") is determined in accordance with DIN EN 60793-1-34: 2007-01 (German version of the standard IEC 60793-1-34: 2006) in the sections A.2.1, A.3.2 and A.4.1 ("extrema technique"). m. damping
Die Dämpfung wird bestimmt gemäß der DIN EN 60793-1-40:2001 (deutsche Fassung der IEC 60793-1- 40:2001). Gemessen wird gemäß der in Annex beschriebenen Methode („cut-back method") bei einer Wellen- länge λ=1550 nm. n. Viskosität der Aufschlämmung  The damping is determined in accordance with DIN EN 60793-1-40: 2001 (German version of IEC 60793-1- 40: 2001). The viscosity of the slurry is measured according to the method described in Annex ("cut-back method") at a wavelength λ = 1550 nm
Die Aufschlämmung wird mit demineralisiertem Wasser (Direct-Q 3UV, Millipore, Wasserqualität: 18,2 MQcm) auf eine Konzentration von 30 Gewichts-% Feststoffgehalt eingestellt. Anschließend wird die Visko- sität an einem MCR102 der Fa. Anton-Paar gemessen. Dazu wird die Viskosität bei 5 Umdrehungen/Minute The slurry is adjusted with demineralised water (Direct-Q 3UV, Millipore, water grade: 18.2 MQcm) to a concentration of 30% solids by weight. Subsequently, the viscosity is measured on an MCR102 of the Anton Paar company. For this, the viscosity at 5 revolutions / minute
(rpm) gemessen. Es wird bei einer Temperatur von 23 °C und einem Luftdruck von 1013 hPa gemessen. Thixotropie (rpm) measured. It is measured at a temperature of 23 ° C and an air pressure of 1013 hPa. thixotropy
Die Aufschlämmung wird mit demineralisiertem Wasser (Direct-Q 3UV, Millipore, Wasserqualität: 18,2 MQcm) auf eine Konzentration von 30 Gewichts -% Feststoffgehalt eingestellt. Anschließend wird die Thixotropie wird mit einem MCR102 der Fa. Anton-Paar mit einer Kegel-Platte- Anordnung bestimmt. Dazu wird die Viskosität bei 5 und bei 50 Umdrehungen/Minute (rpm) gemessen. Der Quotient aus dem ersten und dem zweiten Wert ergibt den Thixotropieindex. Die Messung wird bei einer Temperatur von 23 °C gemessen.  The slurry is adjusted to a concentration of 30% solids by weight with demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water grade: 18.2 MQcm). Subsequently, the thixotropy is determined with a MCR102 of the Fa. Anton pair with a cone-plate arrangement. For this purpose, the viscosity is measured at 5 and at 50 revolutions / minute (rpm). The quotient of the first and the second value gives the thixotropic index. The measurement is measured at a temperature of 23 ° C.
Zeta Potential der Aufschlämmung Zeta potential of the slurry
Für Zetapotentialmessungen wird eine Zetapotentialmesszelle (Flow Cell, Beckman Coulter) eingesetzt. Die Probe wird in demineralisiertem Wasser (Direct-Q 3UV, Millipore, Wasserqualität: 18,2 MQcm) gelöst um eine 20 mL Lösung mit Konzentration von 1 g/L zu erhalten. Der pH wird auf 7 mittels Zugabe von HNO3- Lösungen mit den Konzentrationen von 0,1 mol/L und 1 mol/L und einer NaOH-Lösung mit der Konzentration von 0,1 mol/L gebracht. Es wird bei einer Temperatur von 23 °C gemessen. For zeta potential measurements, a zeta potential measuring cell (Flow Cell, Beckman Coulter) is used. The sample is dissolved in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain a 20 mL solution at 1 g / L concentration. The pH is brought to 7 by addition of HNO 3 solutions having the concentrations of 0.1 mol / L and 1 mol / L and a NaOH solution having the concentration of 0.1 mol / L. It is measured at a temperature of 23 ° C.
Isoelektrischer Punkt der Aufschlämmung Isoelectric point of the slurry
Für den isoelektrischen Punkt wird eine Zetapotentialmesszelle (Flow Cell, Beckman Coulter) und ein Auto- titrator (DelsaNano AT, Beckman Coulter) eingesetzt. Die Probe wird in demineralisiertem Wasser (Direct-Q 3UV, Millipore, Wasserqualität: 18,2 MQcm) gelöst um eine 20 mL Lösung mit Konzentration von 1 g/L zu erhalten. Der pH wird mittels Zugabe von HNO3 -Lösungen mit den Konzentrationen von 0,1 mol/L und 1 mol/L und einer NaOH-Lösung mit der Konzentration von 0,1 mol/L variiert. Der isoelektrische Punkt ergibt sich als der pH Wert bei dem das Zeta-Potenzial gleich 0 ist. Es wird bei einer Temperatur von 23 °C gemessen. pH Wert der Aufschlämmung For the isoelectric point, a zeta potential measuring cell (Flow Cell, Beckman Coulter) and an autotitrator (DelsaNano AT, Beckman Coulter) are used. The sample is dissolved in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain a 20 mL solution at 1 g / L concentration. The pH is varied by adding HNO 3 solutions having the concentrations of 0.1 mol / L and 1 mol / L and a NaOH solution having the concentration of 0.1 mol / L. The isoelectric point is the pH at which the zeta potential is zero. It is measured at a temperature of 23 ° C. pH of the slurry
Der pH Wert der Aufschlämmung wird mittels eines WTW 3210 der Fa. Wissenschaftlich-Technische- Werkstätten GmbH gemessen. Als Elektrode wird die pH 3210 Set 3 der Fa. WTW eingesetzt. Es wird bei einer Temperatur von 23 °C gemessen.  The pH of the slurry is measured by means of a WTW 3210 from the company Wissenschaftlich-Technische-Werkstätten GmbH. The electrode used is the pH 3210 Set 3 from WTW. It is measured at a temperature of 23 ° C.
Feststo ffgehalt Solids content
Eine Einwaage mi einer Probe wird für 4 Stunden auf 500 °C erhitzt und nach dem Abkühlen erneut gewogen (m2). Der Feststoffgehalt w ergibt sich aus m2/mi* 100 [Gew. %]. A sample weighing one sample is heated for 4 hours at 500 ° C and weighed again after cooling (m 2 ). The solids content w results from m 2 / mi * 100 [wt. %].
Schüttdichte bulk density
Die Schüttdichte wird gemäß der Norm DIN ISO 697: 1984-01 mit einem SMG 697 der Fa. Powtec bestimmt. Das Schüttgut (Siliziumdioxidpulver bzw. -granulat) bildet keine Klumpen.  The bulk density is determined according to the standard DIN ISO 697: 1984-01 with a SMG 697 from Powtec. The bulk material (silica powder or granules) does not form lumps.
Stampfdichte (granulate) Tamped density (granulate)
Die Stampfdichte wird gemäß der Norm DIN ISO 787: 1995-10 gemessen. Bestimmung der Porengrößenverteilung The tamped density is measured according to DIN ISO 787: 1995-10. Determination of the pore size distribution
Die Bestimmung der Porengrößenverteilung erfolgt gemäß DIN 66133 (mit einer Oberflächenspannung 480 mN/m und einem Kontaktwinkel von 140°). Für die Messung von Porengrößen kleiner als 3,7 nm wird das Pascal 400 von der Fa. Porotec angewendet. Für die Messung von Porengrößen von 3,7 nm bis 100 μηι wird das Pascal 140 von der Fa. Porotec angewendet. Die Probe wird vor der Messung einer Druckbehandlung unterzogen. Genutzt wird hierzu eine Manual Hydraulic Press (Bestell-Nr. 15011 der Fa. Specac Ltd., River House, 97 Cray Avenue, Orpington, Kent BR5 4HE, U.K.). Dabei werden in eine„Pellet Die" mit 13 mm Innendurchmesser der Fa. Specac Ltd. 250 mg Probenmaterial eingewogen und laut Anzeige mit 1 t belastet. Diese Last wird 5 s gehalten und gegebenenfalls nachgeregelt. Anschließend wird die Probe entspannt und für 4 h bei 105 ± 2°C in einem Umlufttrockenschrank getrocknet.  The pore size distribution is determined according to DIN 66133 (with a surface tension of 480 mN / m and a contact angle of 140 °). For the measurement of pore sizes smaller than 3.7 nm, Pascal 400 from Porotec is used. For the measurement of pore sizes from 3.7 nm to 100 μηι Pascal 140 is used by the company. Porotec. The sample is subjected to a pressure treatment before the measurement. For this purpose, a Manual Hydraulic Press (Order No. 15011 from Specac Ltd., River House, 97 Cray Avenue, Orpington, Kent BR5 4HE, U.K.) is used. In this case, 250 mg of sample material are weighed into a "pellet die" with a 13 mm inner diameter from Specac Ltd. and loaded with 1 t as indicated.This load is held for 5 s and readjusted if necessary, then the sample is decompressed and allowed to stand for 4 h 105 ± 2 ° C dried in a convection oven.
Die Einwaage der Probe in das Penetrometer vom Typ 10 erfolgt auf 0,001 g genau und wird für eine gute Reproduzierbarkeit der Messung so gewählt, dass das„stem volume used", also das prozentual verbrauchte Hg-Volumen zum Füllen des Penetrometers im Bereich zwischen 20% bis 40% des Gesamt-Hg-Volumens beträgt. Anschließend wird das Penetrometer langsam auf 50 μηι Hg evakuiert und für 5 min bei diesem Druck belassen. Folgende Parameter werden direkt von der Software der Messgeräte angegeben: Gesamtporenvolu- men, Gesamtporenoberfläche (Annahme Poren zylindrisch), Durchschnittlicher Porenradius, Modaler Porenradius (häufigster Porenradius), Peak n. 2 Porenradius ( an). The sample is weighed into the Type 10 Penetrometer to a precision of 0.001 g and, for a good reproducibility of the measurement, is selected so that the stem volume used, ie the percentage of Hg volume consumed to fill the penetrometer, is between 20%. The penetrometer is then slowly evacuated to 50 μm Hg and left at this pressure for 5 minutes The following parameters are given directly by the software of the measuring devices: total pore volume, total pore surface area (assumption pore cylindrical ), Average pore radius, modal pore radius (most common pore radius), peak n. 2 pore radius (on).
Primärpartikel groß e Primary particles large e
Die Primärpartikelgröße wird mittels eines Rasterelektronenmikroskops (REM) Modell Zeiss Ultra 55 gemessen. Die Probe wird in demineralisiertem Wasser (Direct-Q 3UV, Millipore, Wasserqualität: 18,2 MQcm) suspendiert, um eine extrem verdünnte Suspension zu erhalten. Die Suspension wird mit der Ultraschallsonde (UW 2070, Bandelin electronic, 70 W, 20 kHz) für 1 min behandelt und dann auf ein Kohlenstoff-Klebepad aufgetragen.  The primary particle size is measured by means of a scanning electron microscope (SEM) model Zeiss Ultra 55. The sample is suspended in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain an extremely dilute suspension. The suspension is treated with the ultrasonic probe (UW 2070, Bandelin electronic, 70 W, 20 kHz) for 1 min and then applied to a carbon adhesive pad.
Mittlere Partikelgröße in Suspension Mean particle size in suspension
Die mittlere Partikelgröße in Suspension wird mittels eines Mastersizers 2000, erhältlich von Malvern Instruments Ltd., UK, gemäß deren Bedienungsanleitung unter Anwendung der Laserbeugungs-Methode gemessen. Die Probe wird in demineralisiertem Wasser (Direct-Q 3UV, Millipore, Wasserqualität: 18,2 MQcm) suspendiert, um 20 mL Suspension mit einer Konzentration von 1 g/L zu erhalten. Die Suspension wird mit der Ultraschallsonde (UW 2070, Bandelin electronic, 70 W, 20 kHz) für 1 min behandelt.  The mean particle size in suspension is measured by means of a Mastersizer 2000, available from Malvern Instruments Ltd., UK, according to their instruction manual using the laser diffraction method. The sample is suspended in demineralized water (Direct-Q 3UV, Millipore, water quality: 18.2 MQcm) to obtain 20 mL suspension at a concentration of 1 g / L. The suspension is treated with the ultrasonic probe (UW 2070, Bandelin electronic, 70 W, 20 kHz) for 1 min.
Partikelgröße und Korngröße des Feststoffs Particle size and grain size of the solid
Die Partikelgröße und Korngröße des Feststoffs werden mittels eines Camsizers XT, erhältlich von Retsch Technology GmbH, Deutschland gemäß deren Bedienungsanleitung gemessen. Die Software gibt die D10, D50 und D90-Werte für eine Probe aus.  The particle size and grain size of the solid are measured by means of a Camsizers XT available from Retsch Technology GmbH, Germany according to their instruction manual. The software outputs the D10, D50 and D90 values for a sample.
BET Messung BET measurement
Für die Messung der spezifischen Oberfläche wird die statisch volumetrische BET-Methode gemäß DIN ISO For the measurement of the specific surface, the static volumetric BET method according to DIN ISO
9277:2010 angewendet. Für die BET Messung wird ein "NOVA 3000" bzw. ein„Quadrasorb" (von der Firma Quantachrome erhältlich), welche gemäß der SMART Methode („Sorption Method with Adaptive dosing Rate") funktioniert, angewendet. Die Mikroporenanalyse wird mittels t-plot- Verfahren (p/ρθ = 0,1-0,3) und die Mesoporenanalyse mittels MBET-Verfahren (p/ρθ = 0,0-0,3) durchgeführt. Als Referenzmaterial, werden die Standards Alumina SARM-13 und SARM-214 verwendet, erhältlich bei Quantachrome. Das Tara-Gewicht der eingesetzten Messzellen (sauber und trocken) wird gewogen. Der Messzellentyp wird so gewählt, dass das zugeführte Probematerial und der Füllstab die Messzelle möglichst füllen und der tote Raum auf ein Minimum reduziert wird. Das Probematerial wird in die Messzelle gebracht. Die Menge des Probematerials wird so ausgewählt, dass der zu erwartende Messwert 10-20 m2/g entspricht. Die Messzellen werden in den Ausheizstationen des BET-Messgerätes fixiert (ohne Füllstab) und auf <200 mbar evakuiert. Die Geschwindigkeit des Evakuierens wird so eingestellt, dass kein Material aus der Messzelle entweicht. In diesem Zustand wird bei9277: 2010 applied. For the BET measurement a "NOVA 3000" or a "Quadrasorb" (from the company Quantachrome available), which operates according to the SMART method ("sorption method with adaptive dosing rate") .The micro pore analysis is carried out by means of the t-plot method (p / ρθ = 0.1-0.3) and the mesopore analysis by means of MBET Method (p / ρθ = 0.0-0.3) The reference materials are Alumina SARM-13 and SARM-214, available from Quantachrome, and the tare weight of the measuring cells used (clean and dry) The type of measuring cell is chosen so that the supplied sample material and the filling rod fill the measuring cell as much as possible and the dead space is reduced to a minimum 10-20 m 2 / g The measuring cells are fixed in the baking stations of the BET measuring device (without filling rod) and evacuated to <200 mbar The speed of the evacuation is set so that no Ma material escapes from the measuring cell. In this state is at
200°C für lh ausgeheizt. Nach dem Abkühlen, wird die mit Probe gefüllte Messzelle gewogen (Brutto). Anschließend wird das Tara-gewicht vom Brutto-Gewicht abgezogen = Nettogewicht = Gewicht der Probe. Nun wird der Füllstab in die Messzelle eingeführt und diese wiederum in der Messstation des BET-Messgerätes fixiert. Vor Messstart werden die Probenbezeichnung und das Probengewicht in die Software eingepflegt. Die Messung wird gestartet. Der Sättigungsdruck des Stickstoffgases (N2 4.0) wird gemessen. Die Messzelle wird evakuiert und wird mit Hilfe eines Stickstoffbads auf 77 K heruntergekühlt. Der tote Raum wird mittels Heliumgas (He 4.6) gemessen. Es wird erneut evakuiert. Eine Melrrpunktanalyse mit mindestens 5 Messpunkten wird ausgeführt. Als Adsorptiv, wird N2 4.0 angewendet. Die spezifische Oberfläche wird in m2/g angegeben. za. Viskosität von Glaskörpern 200 ° C for lh heated. After cooling, the measuring cell filled with sample is weighed (gross). Then the tare weight is subtracted from the gross weight = net weight = weight of the sample. Now the filler rod is inserted into the measuring cell and this in turn fixed in the measuring station of the BET meter. Before the start of the measurement, the sample name and the sample weight are entered in the software. The measurement is started. The saturation pressure of the nitrogen gas (N2 4.0) is measured. The measuring cell is evacuated and cooled down to 77 K using a nitrogen bath. The dead space is measured by helium gas (He 4.6). It will be evacuated again. A milestone analysis with at least 5 measuring points is carried out. As Adsorptive, N2 4.0 is used. The specific surface area is given in m2 / g. za. Viscosity of vitreous bodies
Die Viskosität des Glases wird mit Hilfe des Balkenbiegeviskosimeter Typ 401 - Fa. TA Instruments mit der Herstellersoftware WinTA (aktuell Version 9.0) unter Windows 10 gemäß der Norm DIN ISO 7884-4:1998- 02 gemessen. Die Stützweite zwischen den Auflagern beträgt 45mm. Probestäbchen mit rechteckigem Quer- schnitt werden aus Bereichen homogenen Materials geschnitten (Probenober- und -Unterseite mit Feinschliff mindestens 1000-er Korn). Die Probenoberflächen nach Bearbeitung haben Korngröße = 9μηι & RA = 0,15μηι. Die Probestäbchen haben folgende Maße: Länge = 50mm, Breite = 5mm & Höhe = 3mm (Zuordnung Länge, Breit, Höhe wie in der Norm). Drei Proben werden gemessen und der Mittelwert errechnet. Die Probentemperatur wird durch ein Thermoelement dicht an der Probenoberfläche gemessen. Folgende parameter werden angewendet: Heizrate = 25 K auf maximal 1500 °C, Belastungsgewicht = 100 g, maximale Durchbiegung = 3000 μηι (in Abweichung von der Norm). zb. Taupunktmessung  The viscosity of the glass is measured by means of the beam bending viscometer type 401 - TA Instruments with the manufacturer software WinTA (currently version 9.0) under Windows 10 according to the standard DIN ISO 7884-4: 1998-02. The span between the supports is 45mm. Sample sticks with a rectangular cross-section are cut from areas of homogeneous material (top and bottom of the sample with fine grinding of at least 1000 grains). The sample surfaces after processing have grain size = 9μηι & RA = 0.15μηι. The test bars have the following dimensions: length = 50mm, width = 5mm & height = 3mm (assignment length, width, height as in the standard). Three samples are measured and the mean is calculated. The sample temperature is measured by a thermocouple close to the sample surface. The following parameters are used: heating rate = 25 K to a maximum of 1500 ° C, load weight = 100 g, maximum deflection = 3000 μηι (in deviation from the norm). eg. Dew Point
Der Taupunkt wird mittels eines Taupunkspiegelhygrometers mit der Bezeichnung„Optidew" der Firma Mi- chell Instruments GmbH, D-61381 Friedrichsdorf bestimmt. Die Messzelle des Taupunktspiegelhygrometers ist in einem Abstand von 100 cm von dem Gasauslass des Ofens angeordnet. Das Messgerät mit der Messzelle ist dazu über ein T-Stück und einen Schlauch (Swagelok PFA, Außendurchmesser: 6mm) mit dem Gasauslass des Ofens gasleitend verbunden. An der Messzelle liegt ein Überdruck von 10±2 mbar an. Der Durchfluss des Gases durch die Messzelle beträgt 1-2 Normliter/min. Die Messzelle befindet sich in einem Raum mit einer Temperatur von 25°C, 30 % relativer Luftfeuchte und einem mittleren Luftdruck von 1013 hPa. zc. Restfeuchte The dew point is determined by means of a Taupunk mirror hygrometer with the designation "Optidew" from Michel Instruments GmbH, D-61381 Friedrichsdorf The measuring cell of the dew point mirror hygrometer is arranged at a distance of 100 cm from the gas outlet of the furnace connected to the gas outlet of the furnace via a T-piece and a hose (Swagelok PFA, outer diameter: 6 mm) with a gas pressure of 10 ± 2 mbar The gas flow through the measuring cell is 1-2 standard liters / min The measuring cell is located in a room with a temperature of 25 ° C, 30% relative humidity and a mean air pressure of 1013 hPa. zc. residual moisture
Die Bestimmung der Restfeuchte einer Probe Siliziumdioxidgranulat erfolgt mit Hilfe eines Moisture Analy- zers HX204 der Firma Mettler Toledo. Das Gerät arbeitet nach dem Prinzip der Thermogravimetrie. DerThe determination of the residual moisture of a sample of silica granules is carried out with the aid of a moisture analyzer HX204 from Mettler Toledo. The device works on the principle of thermogravimetry. Of the
HX204 ist mit einem Halogenstrahler als Heizelement ausgerüstet. Die Trocknungstemperatur beträgt 220°C. Das Startgewicht der Probe liegt bei 10 g ± 10 %. Es wird die Messmethode„Standard" ausgewählt. Die Trocknung wird solange fortgesetzt bis die Gewichtsänderung nicht mehr als 1 mg /140 s erreicht. Die Restfeuchte ergibt sich aus der Differenz von Startgewicht der Probe zu Endgewicht der Probe, geteilt durch das Startgewicht der Probe. HX204 is equipped with a halogen heater as heating element. The drying temperature is 220 ° C. The starting weight of the sample is 10 g ± 10%. Drying is continued until the change in weight does not reach more than 1 mg / 140 s The residual moisture is the difference between the start weight of the sample and the final weight of the sample, divided by the start weight of the sample.
Die Bestimmung der Restfeuchte von Siliziumdioxidpulver wird gemäß DIN EN ISO 787-2: 1995 (2h, 105°C) durchgeführt. The determination of the residual moisture content of silica powder is carried out in accordance with DIN EN ISO 787-2: 1995 (2 h, 105 ° C).
Beispiele Examples
Die Erfindung wird im folgenden durch Beispiele weiter beispielhaft illustriert. Die Erfindung ist nicht auf die Beispiele beschränkt. The invention will now be further exemplified by way of example. The invention is not limited to the examples.
A. 1. Herstellen von Siliziumdioxidpulver (OMCTS-Route) A. 1. Preparation of Silica Powder (OMCTS Route)
Das aus der Verdüsung eines Siloxans mit Luft (A) gebildete Aerosol wird mit Druck in eine Flamme eingebracht, die durch Zündung eines Gemisches von mit Sauerstoff angereicherter Luft (B) und Wasserstoff gebildet wird. Weiterhin wird ein die Flamme umgebender Luftstrom (C) eingebracht und das Prozessgemisch nachfolgend mit Prozessgas abgekühlt. Das Produkt wird an einem Filter abgeschieden. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 1 und die Kenndaten der resultierenden Produkte in Tabelle 2 angegeben. Experimentaldaten zu diesem Beispiel sind mit Al-x gekennzeichnet.  The aerosol formed from the atomization of a siloxane with air (A) is introduced under pressure into a flame formed by ignition of a mixture of oxygen-enriched air (B) and hydrogen. Furthermore, an air stream (C) surrounding the flame is introduced and the process mixture subsequently cooled with process gas. The product is deposited on a filter. The process parameters are given in Table 1 and the characteristics of the resulting products in Table 2. Experimental data for this example are labeled Al-x.
2. Modifizierung 1: Erhöhter Kohlenstoffgehalt 2. Modification 1: Increased carbon content
Es wurde wie unter A.l . beschrieben verfahren, das Verbrennen des Siloxans wurde aber so geführt, dass dabei auch eine Menge an Kohlenstoff gebildet wird. Experimentaldaten zu diesem Beispiel sind mit A2- x gekennzeichnet. It became like under Al. described procedure, but the burning of the siloxane was conducted so that thereby also an amount of carbon is formed. Experimental data for this example are labeled A2-x.
Tabelle 1 Table 1
V = molares Verhältnis eingesetzter 02/Bedarf an O2 zur vollständigen Oxidation des Siloxans; X = als molares Verhältnis O2/H2; Y = (mol. Verhältnis eingesetztes O2/ Bedarf an O2 für stöchiometrische Umsetzung OMCTS+ Brenngase); barÜ=Überdurck; 0 V = 2 molar ratio inserted / demand for O 2 for complete oxidation of the siloxane; X = as molar ratio O 2 / H 2 ; Y = (mol ratio employed O 2 / O 2 demand for stoichiometric reaction OMCTS + combustion gases.); barg = Überdurck;
* OMCTS = Octamethylcyclotetrasiloxan. * OMCTS = octamethylcyclotetrasiloxane.
Tabelle 2 Table 2
1. Herstellen von Siliziumdioxidpulver (Siliziumquelle: SiCl4) 1. Preparation of silicon dioxide powder (silicon source: SiCl 4 )
Eine Menge Siliciumtetrachlorid (SiC ) wird bei einer Temperatur T verdampft und mit einem Druck P in eine Flamme eines Brenners eingebracht, die durch Zündung eines Gemisches von mit Sauerstoff angereicherter Luft und Wasserstoff gebildet wird. Der mittlere normalisierte Gasfluß an der Brennermündung wird festgehalten. Das Prozessgemisch wird nachfolgend mit Prozessgas abgekühlt. Das Produkt wurde an einem Filter abgeschieden. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 3 und die Kenndaten der resultierenden Produkte in der Tabelle 4 angegeben. Sie sind mit Bl-x gekennzeichnet.  An amount of silicon tetrachloride (SiC) is vaporized at a temperature T and introduced at a pressure P into a flame of a burner formed by igniting a mixture of oxygen-enriched air and hydrogen. The average normalized gas flow at the burner mouth is recorded. The process mixture is subsequently cooled with process gas. The product was deposited on a filter. The process parameters are given in Table 3 and the characteristics of the resulting products in Table 4. They are marked Bl-x.
2. Modifizierung 1: Erhöhter Kohlenstoffgehalt 2. Modification 1: Increased carbon content
Es wurde wie unter B.1. beschrieben verfahren, das Verbrennen des Siliziumtetrachlorids wurde aber so geführt, dass dabei auch eine Menge an Kohlenstoff gebildet wird. Experimentaldaten zu diesem Beispiel sind mit B2-x gekennzeichnet. Tabelle 3 It became like under B.1. described procedure, but the burning of the silicon tetrachloride was conducted so that thereby an amount of carbon is formed. Experimental data for this example are labeled B2-x. Table 3
X = als molares Verhältnis O2/H2; Y = mol. Verhältnis eingesetztes O2/ CvBedarf für stöchiometrische Reaktion mit SiCL+ H2 + CH4); barÜ = Überdruck. X = as molar ratio O 2 / H 2 ; Y = mol. Ratio of O 2 / Cv requirement for stoichiometric reaction with SiCl + H 2 + CH 4 ); barÜ = overpressure.
Tabelle 4 Table 4
Wasserdampfbehandlung Steaming
Ein Partikelstrom von Siliziumdioxidpulver wird über den Kopf einer stehenden Säule eingebracht. Über den Fuß der Säule werden Wasserdampf mit einer Temperatur (A) und Luft zugeführt. Die Säule wird durch eine innenliegende Heizung auf eine Temperatur (B) am Säulenkopf und eine zweite Temperatur (C) am Säulenfuß gehalten. Nach Verlassen der Säule (Verweilzeit (D)) weist das Siliziumdioxidpulver insbesondere die in Tabelle 6 gezeigten Eigenschaften auf. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 5 angegeben.  A particle stream of silica powder is introduced over the top of a standing column. Water vapor at a temperature (A) and air is supplied via the foot of the column. The column is held by an internal heater to a temperature (B) at the column head and a second temperature (C) at the column base. After leaving the column (residence time (D)), the silica powder has in particular the properties shown in Table 6. The process parameters are given in Table 5.
Tabelle 5 Table 5
Die in den Beispielen C-l und C-2 erhaltenen Siliziumdioxidpulver weisen jeweils einen niedrigen Chlorgehalt, sowie in Suspension einen moderaten pH- Wert auf. Der Kohlenstoffgehalt von Beispiel C-2 ist höher als bei C-l. Behandlung mit Neutralisationsmittel The silica powders obtained in Examples C-1 and C-2 each have a low chlorine content and a moderate pH in suspension. The carbon content of Example C-2 is higher than that of C-1. Treatment with neutralizing agent
Ein Partikelstrom von Siliziumdioxidpulver wird über den Kopf einer stehenden Säule eingebracht. Über den Fuß der Säule wird ein Neutralisationsmittel und Luft zugeführt. Die Säule wird durch eine innenliegende Heizung auf eine Temperatur (B) am Säulenkopf und eine zweite Temperatur (C) am Säulenfuß gehalten. Nach Verlassen der Säule (V erweilzeit (D)) weist das Siliziumdioxidpulver insbesondere die in Tabelle 8 gezeigten Eigenschaften auf. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 7 angegeben. Tabelle 7 A particle stream of silica powder is introduced over the top of a standing column. About the foot of the column, a neutralizing agent and air is supplied. The column is held by an internal heater to a temperature (B) at the column head and a second temperature (C) at the column base. After leaving the column (residence time (D)), the silica powder has in particular the properties shown in Table 8. The process parameters are given in Table 7. Table 7
Tabelle 8 Table 8
erstellen von Siliziumdioxidgranulat aus Siliziumdioxidpulver create silica granules from silica powder
Ein Siliziumdioxidpulver wird in vollentsalztem Wasser dispergiert. Dabei wird ein Intensivmischer Typ R der Maschinenfabrik Gustav Eirich eingesetzt. Die entstehende Suspension wird durch eine Membranpumpe gefördert und dabei mit Druck beaufschlagt und durch eine Düse in Tröpfchen überführt. Diese werden in einem Sprühturm getrocknet und sammeln sich an dessen Boden. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 9 angegeben, die Eigenschaften der erhaltenen Granulate in Tabelle 10. Experimentalda- ten zu diesem Beispiel sind mit El-x gekennzeichnet. Modifizierung 1: Erhöhter Kohlenstoffgehalt  A silica powder is dispersed in deionized water. An intensive mixer Type R of the Maschinenfabrik Gustav Eirich is used. The resulting suspension is conveyed through a membrane pump and thereby pressurized and transferred through a nozzle into droplets. These are dried in a spray tower and collect on the bottom. The process parameters are given in Table 9, the properties of the resulting granules in Table 10. Experimental data for this example are marked with El-x. Modification 1: Increased carbon content
Es wird analog der Beschreibung E.l. verfahren. Zusätzlich wird Kohlenstoffpulver in die Suspension eindispergiert. Experimentaldaten zu diesem Beispiel sind mit E2-x gekennzeichnet. Modifizierung 2: Zugabe von Silizium  It is analogous to the description E.l. method. In addition, carbon powder is dispersed in the suspension. Experimental data for this example are labeled E2-x. Modification 2: Addition of silicon
Es wird analog der Beschreibung E.l. verfahren. Zusätzlich wird eine Siliziumkomponente in die Suspension eindispergiert. Experimentaldaten zu diesem Beispiel sind mit E3-1 gekennzeichnet. Tabelle 9 The procedure is analogous to the description El. In addition, a silicon component is dispersed in the suspension. Experimental data for this example are labeled E3-1. Table 9
Einbauhöhe = Abstand zwischen Düse und tiefstem Punkt des Sprühturminneren in Richtung des Schwerkraftverktors.  Installation height = distance between the nozzle and the lowest point of the spray tower interior in the direction of the gravity vector.
* VE = vollentsalzt, Leitwert < 0,1 μ8;  * PU = fully desalted, conductivity <0.1 μ8;
** C 006011: Graphitpulver, max. Teilchengröße: 75 μηι, hochrein (erhältlich bei Goodfellow GmbH, Bad Nauheim (Deutschland); *** erhältlich bei der Wacker Chemie AG (München, Deutschland). ** C 006011: graphite powder, max. Particle size: 75 μηι, high purity (available from Goodfellow GmbH, Bad Nauheim (Germany); *** available from Wacker Chemie AG (Munich, Germany).
Tabelle 9 (Fortsetzung) Table 9 (continued)
Einbauhöhe = Abstand zwischen Düse und tiefstem Punkt des Sprühturminneren in Richtung des Schwerkraftverk- tors; *VE = vollentsalzt, Leitwert < 0,1 μ8; ** C 006011: Graphitpulver, max. Teilchengröße: 75 μηι, hoch- rein (erhältlich bei Goodfellow GmbH, Bad Nauheim (Deutschland); *** erhältlich bei der Wacker Chemie Installation height = distance between the nozzle and the lowest point of the spray tower interior in the direction of the gravity distributor; * PU = fully desalted, conductivity <0.1 μ8; ** C 006011: graphite powder, max. Particle size: 75 μηι, high purity (available from Goodfellow GmbH, Bad Nauheim (Germany); *** available from Wacker Chemie
AG (München, Deutschland). Tabelle 10 AG (Munich, Germany). Table 10
Die Granulate sind allesamt offenporig, zeigen eine gleichmäßige und kugelförmige Gestalt (alles mikroskopische Untersuchung). Sie neigen nicht zum Verbacken oder Verkleben. The granules are all porous, show a uniform and spherical shape (all microscopic examination). They are not prone to caking or sticking.
Tabelle 10 (Fortsetzung) Table 10 (continued)
Reinigen von Siliziumdioxidgranulat Cleaning of silica granules
Siliziumdioxidgranulat wird in einem Drehrohrofen zunächst gegebenenfalls bei einer Temperatur Tl mit Sauerstoff oder Stickstoff (siehe Tabelle 11) behandelt. Anschließend wird das Siliziumdioxidgranulat im Gleichstrom mit einer chlorhaltigen Komponente behandelt, wobei die Temperatur bis auf eine Temperatur T2 erhöht wird. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 11 angegeben, die Eigenschaften der erhaltenen behandelten Granulate in Tabelle 12. Tabelle 11 Silica granules are first treated in a rotary kiln, optionally at a temperature T1, with oxygen or nitrogen (see Table 11). Subsequently, the silica granules are treated in cocurrent with a chlorine-containing component, wherein the temperature is increased to a temperature T2. The process parameters are given in Table 11, the properties of the resulting treated granules in Table 12. Table 11
Bei den Drehrohröfen wurde der Durchsatz als Regelgröße gewählt. Das bedeutet, dass im Betrieb laufend der aus dem Drehrohrofen austretende Massenstrom gewogen wird und dann die Rotationsgeschwindigkeit und/oder die Neigung des Drehrohrofens entsprechend angepasst werden. Zum Beispiel kann eine Erhöhung des Durchsatzes erreicht werden durch a) Erhöhen der Rotationsgeschwindigkeit, oder b) Erhöhen der Neigung des Drehrohrs aus der Waagrechten, oder einer Kombination von a) und b). For the rotary kilns, the throughput was chosen as the controlled variable. This means that during operation the mass flow emerging from the rotary kiln is weighed and then the rotational speed and / or the inclination of the rotary kiln are adjusted accordingly. For example, an increase in throughput can be achieved by a) increasing the rotational speed, or b) increasing the inclination of the rotary tube from the horizontal, or a combination of a) and b).
Tabelle 11 (Fortsetzung) Table 11 (continued)
Tabelle 12 Table 12
Tabelle 12 (Fortsetzung) Table 12 (continued)
Die Granulate nach dem Reinigungsschritt zeigen im Fall von Fl-2, F2-1 und F3-2 einen erheblich verringerten Kohlenstoffgehalt (wie kohlenstoffarme Granulate, z.B. Fl-1). Insbesondere Fl-2, Fl-5, F2-1 und F3-2 zeigen einen erheblich niedrigeren Gehalt an Erdalkalimetallen. SiC-Bildung wurde nicht beobachtet. The granules after the cleaning step show in the case of Fl-2, F2-1 and F3-2 a significantly reduced carbon content (such as low-carbon granules, eg Fl-1). In particular, Fl-2, Fl-5, F2-1 and F3-2 show a significantly lower content of alkaline earth metals. SiC formation was not observed.
Wärmebehandlung von Siliziumdioxidgranulat Heat treatment of silica granules
Siliziumdioxidgranulat wird in einer dem Schmelzofen vorgeschalteten und mit dieser über eine weitere Zwischenkammer stoffleitend verbundenen Vorkammer in Gestalt eines Drehrohrofens einer Temperaturbehandlung unterzogen. Der Drehrohrofen ist durch ein in Förderrichtung ansteigendes Temperaturprofil gekennzeichnet. Erhalten wurde ein weiter behandeltes Siliziumdioxidgranulat. In Beispiel G-4-2 wurde auf eine Wärmebehandlung beim Mischen im Drehrohrofen verzichtet. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 13 angegeben, die Eigenschaften der erhaltenen behandelten Granulate in Tabelle 14. Silica granules are subjected to a temperature treatment in a preliminary furnace in the form of a rotary kiln, which is connected upstream of the melting furnace and connected to the latter via a further intermediate chamber in a fluid-conducting manner. The rotary kiln is characterized by a rising in the conveying direction temperature profile. A further treated silica granule was obtained. In Example G-4-2 was dispensed with a heat treatment during mixing in the rotary kiln. The process parameters are given in Table 13, the properties of the resulting treated granules in Table 14.
Tabelle 13 Table 13
*** Korngröße D50=8 μηι; Kohlenstoffgehalt < 5 ppm; Summe Fremdmetalle < 5ppm; 0.5 ppm; erhältlich bei der Wacker Chemie AG (München, Deutschland); *** grain size D 50 = 8 μηι; Carbon content <5 ppm; Total foreign metals <5ppm; 0.5 ppm; available from Wacker Chemie AG (Munich, Germany);
RT=Raumtemperatur.  RT = room temperature.
' Bei den Drehrohröfen wurde der Durchsatz als Regelgröße gewählt. Das bedeutet, dass im Betrieb laufend der aus dem Drehrohrofen austretende Massenstrom gewogen wird und dann die Rotationsgeschwindigkeit und/oder die Neigung des Drehrohrofens entsprechend angepasst werden. Zum Beispiel kann eine Erhöhung des Durchsatzes erreicht werden durch a) Erhöhen der Rotationsgeschwindigkeit, oder b) Erhöhen der Neigung des Drehrohrs aus der Waagrechten, oder einer Kombination von a) und b). For the rotary kilns, the throughput was chosen as the control variable. This means that during operation the mass flow emerging from the rotary kiln is weighed and then the rotational speed and / or the inclination of the rotary kiln are adjusted accordingly. For example, an increase in throughput can be achieved by a) increasing the rotational speed, or b) increasing the inclination of the rotary tube from the horizontal, or a combination of a) and b).
Tabelle 13 (Fortsetzung) Table 13 (continued)
RT=Raumtemperatur. RT = room temperature.
Tabelle 14 Table 14
Tabelle 14 (Fortsetzung)  Table 14 (continued)
G3-1 und G3-2 weisen infolge dieser Behandlung einen erheblich verringerten Erdalkalimetallgehalt im Vergleich zu davor (E3-1 beziehungsweise E3-2) auf. G3-1 and G3-2 have a significantly lower alkaline earth metal content compared to before (E3-1 and E3-2, respectively) as a result of this treatment.
H. Schmelzen von Granulat zu Quarzglas H. Melting of granules to quartz glass
Siliziumdioxidgranulat gemäß Zeile 2 von Tabelle 15 wird zur Herstellung eines Quarzglasrohres in einem Vertikal- Tiegelziehverfahren eingesetzt. Der Aufbau des hängenden Schmelztiegels ergibt sich schematisch aus Figur 6. Das Siliziumdioxidgranulat wird über die Feststoffzufuhrung zugegeben und das Innere des Schmelztiegels mit einem Gasgemisch gespült. Im Schmelztiegel bildet sich eine Glasschmelze, auf welcher ein Schüttkegel aus Siliziumdioxidgranulat aufsitzt. Im unteren Bereich des Schmelztiegels wird geschmolzenes Glas aus der Glasschmelze über eine Ziehdüse (ggf. mit einem Dorn) entnommen und als Rohrstrang vertikal nach unten abgezogen. Aufgrund des Eigengewichts und der Viskosität der Glasschmelze über der Düse und der durch die Düse vorgegebenen Lochgröße ergibt sich der Durchsatz der Anlage. Durch Variieren der zugeführten Menge Siliziumdioxidgranulats und der Temperatur kann der Durchsatz auf die gewünschte Größe eingestellt werden. Die Verfahrensparameter sind in Tabelle 15 angegeben, die Eigenschaften der gebildeten Quarzglaskörper in Tabelle 16.  Silica granules according to line 2 of Table 15 are used to make a quartz glass tube in a vertical crucible drawing process. The structure of the hanging crucible is shown schematically in FIG. 6. The silicon dioxide granules are added via the solids feed and the interior of the crucible is flushed with a gas mixture. In the crucible, a glass melt forms, on which a bulk cone of silicon dioxide granules sits. In the lower part of the crucible, molten glass is removed from the glass melt via a drawing die (possibly with a mandrel) and withdrawn vertically downwards as a pipe string. Due to the intrinsic weight and the viscosity of the molten glass above the nozzle and the hole size specified by the nozzle, the throughput of the system is obtained. By varying the amount of silica granules fed and the temperature, the flow rate can be adjusted to the desired size. The process parameters are given in Table 15, the properties of the quartz glass bodies formed in Table 16.
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BERICHTICTES BLATT (REG EL 91) ISA/ EP Tabelle 15 REPORTED SHEET (REG EL 91) ISA / EP Table 15
Tabelle 16 Table 16
Nachbearbeiten eines Quarzglaskörpers Reworking of a quartz glass body
Ein in Beispiel Hl-1 erhaltener und bereits gezogener Quarzglaskörper (1000 kg, Oberfläche = 110 m2; Durchmessen 1,65 cm, Gesamtlänge 2120m) wird zu Stücken mit einer Länge von 200 cm durch Anritzen und Abschlagen zerteilt. Die Endflächen wurden durch Sägen nachbearbeitet, um eine gerade Endfläche zu erhalten. Die so erhaltene Charge Quarzglaskörper (N-l) wurde durch Eintauchen in ein HF-Bad (V=2 m3) für 30 Minuten gereinigt und anschließend mit VE- Wasser abgespült (ergibt Quarzglaskörper (Ν-Γ)). A quartz glass body obtained in Example HI-1 (1000 kg, surface area = 110 m 2 , measuring 1.65 cm, total length 2120 m) is cut into pieces having a length of 200 cm by scoring and beating. The end surfaces were reworked by sawing to obtain a straight end surface. The batch of quartz glass bodies (Nl) thus obtained was cleaned by immersion in an HF bath (V = 2 m 3 ) for 30 minutes and then rinsed with deionised water (gives quartz glass body (Ν-Γ)).
„Altsäure" (HF-Bad nach Gebrauch) "Used acid" (HF bath after use)
Die in Beispiel I im Tauchbad vorliegende Flüssigkeit (V= 2m3) wird nach dem Behandeln des Quarzglaskörpers (Ι- ) ohne Aufbereitung direkt bestimmt. Die für die vorgenannte Behandlung eingesetzte Flüssigkeit ist vor und nach dem Behandeln durch die in der Tabelle 17 genannten Eigenschaften gekennzeichnet.The present in Example I in the immersion bath liquid (V = 2m 3 ) is determined directly after treatment of the quartz glass body (Ι-) without treatment. The liquid used for the aforementioned treatment is characterized before and after treatment by the properties given in Table 17.
Tabelle 17 Table 17

Claims

Ansprüche  claims
Ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte: A method for producing a quartz glass body comprising the method steps:
i. ) Bereitstellen eines Siliziumdioxidgranulats, i. ) Providing a silica granule,
wobei das Siliziumdioxidgranulat aus pyrogenem Siliziumdioxid hergestellt wurde, wobei das Siliziumdioxidgranulat folgende Merkmale aufweist:  wherein the silica granules are made of fumed silica, wherein the silica granules have the following characteristics:
A) eine BET-Oberfläche in einem Bereich von mehr als 20 bis 50 m2/g; A) a BET surface area in a range of more than 20 to 50 m 2 / g;
B) eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 50 bis 500 μηι;  B) an average particle size in a range of 50 to 500 μηι;
ii. ) Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulats in einem Ofen; ii. Forming a glass melt of the silica granules in an oven;
iii. ) Bilden eines Quarzglaskörpers aus der Glasschmelze, iii. ) Forming a quartz glass body from the molten glass,
wobei der Ofen einen hängenden Sintertiegel beinhaltet. wherein the oven includes a hanging sinter crucible.
Das Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Sintertiegel aus einem Sintermaterial besteht, welches ein Sintermetall ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Molybdän, Wolfram und einer Kombination davon beinhaltet. The method of claim 1, wherein the sintered crucible is made of a sintered material including a sintered metal selected from the group consisting of molybdenum, tungsten, and a combination thereof.
Das Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Sintermetall des Sintertiegels eine Dichte von 85% oder mehr der theoretischen Dichte des Sintermetalls, aufweist. The method of the preceding claim, wherein the sintered metal of the sintered crucible has a density of 85% or more of the theoretical density of the sintered metal.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die BET-Oberfläche vor Schritt ii.) nicht auf weniger als 5 m2/g verringert wird. The method of any one of the preceding claims, wherein the BET surface area before step ii.) Is not reduced to less than 5 m 2 / g.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der hängende Sintertiegel mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: The method of any one of the preceding claims, wherein the suspended sintered crucible has at least one of the following features:
w eine Aufhängung; w a suspension;
{b} mindestens zwei abgedichtete Ringe als Seitenteile;  {b} at least two sealed rings as side parts;
{c} eine Düse;  {c} a nozzle;
{d} einen Dorn;  {d} a thorn;
{e} mindestens einen Gaseinlass;  {e} at least one gas inlet;
{f) mindestens einen Gasauslass;  {f) at least one gas outlet;
{g} einen gekühlten Mantel;  {g} a cooled jacket;
{h} eine Isolation auf der Außenseite des Tiegels.  {h} an insulation on the outside of the crucible.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Schmelzenergie über eine feste Oberfläche auf das Siliziumdioxidgranulat übertragen wird. The method of any one of the preceding claims, wherein the melting energy is transferred to the silica granules via a solid surface.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei im Gasraum des Ofens Wasserstoff, Helium, Stickstoff oder eine Kombination aus zwei oder mehr davon vorliegt. Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Bereitstellen des Siliziumdioxidgranulats folgende Verfahrensschritte beinhaltet: The method according to one of the preceding claims, wherein in the gas space of the furnace hydrogen, helium, nitrogen or a combination of two or more thereof is present. The method of any one of the preceding claims, wherein providing the silica granule comprises the steps of:
I. Bereitstellen von Siliziumdioxidpulver, wobei das Siliziumdioxidpulver folgende Merkmale ausweist:  I. Providing silica powder, wherein the silica powder has the following characteristics:
a. eine BET-Oberfläche in einem Bereich von 20 bis 60 m2/g, und a. a BET surface area in a range of 20 to 60 m 2 / g, and
b. eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,01 bis 0,3 g/cm3; b. a bulk density in a range of 0.01 to 0.3 g / cm 3 ;
II. Verarbeiten des Siliziumdioxidpulvers zu einem Siliziumdioxidgranulat, wobei das Siliziumdioxidgranulat einen größeren Partikeldurchmesser aufweist als das Siliziumdioxidpulver.  II. Processing the silica powder into a silica granule, the silica granule having a larger particle diameter than the silica powder.
9. Das Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Siliziumdioxidpulver in Schritt La. mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: The method of claim 8, wherein the silica powder in step La. has at least one of the following features:
c. einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 50 ppm;  c. a carbon content of less than 50 ppm;
d. einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm;  d. a chlorine content of less than 200 ppm;
e. einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb;  e. an aluminum content of less than 200 ppb;
f. einen Gesamtgehalt an Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm;  f. a total content of metals other than aluminum of less than 1 ppm;
g. mindestens 70 Gew.-% der Pulverteilchen weisen eine Primä artikelgröße in einem Bereich von 10 bis 100 nm auf;  G. at least 70% by weight of the powder particles have a primary article size in a range of 10 to 100 nm;
h. eine Stampfdichte in einem Bereich von 0,001 bis 0,3 g/cm3; H. a tamped density in a range of 0.001 to 0.3 g / cm 3 ;
i. eine Restfeuchte von weniger als 5 %;  i. a residual moisture of less than 5%;
j. eine Partikelgrößenverteilung D10 in einem Bereich von 1 bis 7 μηι; j. a particle size distribution D 10 in a range of 1 to 7 μηι;
k. eine Partikelgrößenverteilung D50 in einem Bereich von 6 bis 15 μηι; k. a particle size distribution D 50 in a range of 6 to 15 μηι;
1. eine Partikelgrößenverteilung D90 in einem Bereich von 10 bis 40 μηι; 1. a particle size distribution D 90 in a range of 10 to 40 μηι;
wobei die Gew.-%, ppm und ppb jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidpulvers bezogen sind.  wherein the weight percent, ppm and ppb are each based on the total weight of the silica powder.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Siliziumdioxidpulver herstellbar ist aus einer Verbindung ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Siloxanen, Siliziumalkoxiden und Silizi- umhalogeniden. The method according to one of the preceding claims, wherein the silicon dioxide powder can be prepared from a compound selected from the group consisting of siloxanes, silicon alkoxides and silicon halides.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Siliziumdioxidgranulat mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: The method of any one of the preceding claims, wherein the silica granule has at least one of the following features:
C) eine Schüttdichte in einem Bereich von 0,5 bis 1,2 g/cm3; C) a bulk density in a range of 0.5 to 1.2 g / cm 3 ;
D) einen Kohlenstoffgehalt von weniger als 50 ppm;  D) a carbon content of less than 50 ppm;
E) einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb;  E) an aluminum content of less than 200 ppb;
F) Stampfdichte in einem Bereich von 0,7 bis 1,3 g/cm3; F) tamped density in a range of 0.7 to 1.3 g / cm 3 ;
G) ein Porenvolumen in einem Bereich von 0,1 bis 2,5 mL/g;  G) a pore volume in a range of 0.1 to 2.5 mL / g;
H) einen Schüttwinkel in einem Bereich von 23 bis 26°;  H) a repose angle in a range of 23 to 26 °;
I) eine Partikelgrößenverteilung D10 in einem Bereich von 50 bis 150 μηι; J) eine Partikelgrößenverteilung D50 in einem Bereich von 150 bis 300 μηι; I) a particle size distribution D 10 in a range of 50 to 150 μηι; J) a particle size distribution D 50 in a range of 150 to 300 μηι;
K) eine Partikelgrößenverteilung D90 in einem Bereich von 250 bis 620 μηι, K) a particle size distribution D 90 in a range from 250 to 620 μηι,
wobei die ppm jeweils auf das Gesamtgewicht des Siliziumdioxidgranulats bezogen sind. wherein the ppm are each based on the total weight of the silica granules.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, beinhaltend folgenden Verfahrensschritt: iv.) Bilden eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung aus dem Quarzglaskörper. The method according to one of the preceding claims, comprising the following method step: iv.) Forming a hollow body with at least one opening from the quartz glass body.
Ein Quarzglaskörper erhältlich nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12. A quartz glass body obtainable by a process according to any one of claims 1 to 12.
Der Quarzglaskörper nach Anspruch 13, mindestens aufweisend eines der folgenden Merkmale: The quartz glass body according to claim 13, comprising at least one of the following features:
A] einen OH-Gehalt von weniger als 500 ppm  A] an OH content of less than 500 ppm
B] einen Chlorgehalt von weniger als 200 ppm;  B] a chlorine content of less than 200 ppm;
C] einen Aluminiumgehalt von weniger als 200 ppb ;  C] has an aluminum content of less than 200 ppb;
D] einen ODC-Anteil von weniger als 5-1015/cm3; D] an ODC content of less than 5-10 15 / cm 3 ;
E] einen Metallgehalt von Metallen, die von Aluminium verschieden sind, von weniger als 1 ppm; E] a metal content of metals other than aluminum of less than 1 ppm;
F] eine Viskosität (p=1013 hPa) in einem Bereich von logm (η (1250°C) / dPas) = 11,4 bis logm (η (1250°C) / dPas) = 12,9 oder log10 (η (1300°C) / dPas) = 11,1 bis log10 (η (1300°C) / dPas) = 12,2 oder log10 (η (1350°C) / dPas) = 10,5 bis log10 (η (1350°C) / dPas) = 11,5; F] a viscosity (p = 1013 hPa) in a range of logm (η (1250 ° C) / dPas) = 11.4 to logm (η (1250 ° C) / dPas) = 12.9 or log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 11.1 to log 10 (η (1300 ° C) / dPas) = 12.2 or log 10 (η (1350 ° C) / dPas) = 10.5 to log 10 ( η (1350 ° C) / dPas) = 11.5;
G] eine Standardabweichung des OH-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bezogen auf den OH-Gehalt A] des Quarzglaskörpers;  G] a standard deviation of the OH content of not more than 10%, based on the OH content A] of the quartz glass body;
H] eine Standardabweichung des Cl-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bezogen auf den Cl-Gehalt B] des Quarzglaskörpers;  H] a standard deviation of the Cl content of not more than 10%, based on the Cl content B] of the quartz glass body;
I] eine Standardabweichung des Al-Gehalts von nicht mehr als 10 %, bezogen auf den Al-Gehalt C] des Quarzglaskörpers;  I] a standard deviation of the Al content of not more than 10% based on the Al content C] of the quartz glass body;
J] eine Brechzahlhomogenität von weniger als 10"4; J] a refractive index homogeneity of less than 10 "4 ;
K] eine zylindrische Form; K] a cylindrical shape;
L] einen Wolframgehalt von weniger als 1000 ppb;  L] has a tungsten content of less than 1000 ppb;
M] einen Molybdängehalt von weniger als 1000 ppb, M] has a molybdenum content of less than 1000 ppb,
wobei die ppb und ppm jeweils auf das Gesamtgewicht des Quarzglaskörpers bezogen sind. wherein the ppb and ppm are each based on the total weight of the quartz glass body.
Ein Verfahren zum Herstellen eines Lichtleiters beinhaltend folgende Schritte A method for producing a light guide comprising the following steps
AI Bereitstellen AI deploy
All eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß Anspruch 12, oder  All of a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to claim 12, or
All eines Quarzglaskörpers gemäß einem der Ansprüche 13 oder 14, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper mit mindestens einer Öffnung verarbeitet wird; B/ Einbringen eines oder mehrerer Kernstäbe in den Hohlkörper aus Schritt AI durch die mindestens eine Öffnung unter Erhalt eines Vorläufers; C/ Ziehen des Vorläufers in der Wärme unter Erhalt eines Lichtleiters mit einem oder mehreren Kernen und einer Hülle Ml . All of a quartz glass body according to one of claims 13 or 14, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body having at least one opening; B / introducing one or more core rods into the hollow body of step AI through the at least one opening to obtain a precursor; C / pulling the precursor in the heat to obtain a light guide having one or more cores and a cladding Ml.
Ein Verfahren zum Herstellen eines Leuchtmittels beinhaltend folgende Schritte A method of manufacturing a luminous means comprising the following steps
(i) Bereitstellen  (i) Provide
(i-1) eines Hohlkörpers mit mindestens einer Öffnung erhältlich nach einem Verfahren gemäß Anspruch 12; oder  (i-1) a hollow body having at least one opening obtainable by a method according to claim 12; or
(i-2) eines Quarzglaskörpers gemäß einem der Ansprüche 13 oder 14, wobei der Quarzglaskörper zunächst zu einem Hohlkörper verarbeitet wird;  (i-2) a quartz glass body according to any one of claims 13 or 14, wherein the quartz glass body is first processed into a hollow body;
(ii) gegebenenfalls Bestücken des Hohlkörpers mit Elektroden;  (ii) optionally loading the hollow body with electrodes;
(iii) Füllen des Hohlkörpers mit einem Gas.  (iii) filling the hollow body with a gas.
Ein Verfahren zum Herstellen eines Formkörpers beinhaltend folgende Schritte: A method for producing a shaped article comprising the following steps:
(1) Bereitstellen eines Quarzglaskörpers nach einem der Ansprüche 13 oder 14 oder erhältlich nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12;  (1) providing a quartz glass body according to any one of claims 13 or 14 or obtainable by a method according to any one of claims 1 to 12;
(2) Formen des Quarzglaskörpers unter Erhalt des Formkörpers.  (2) molding the quartz glass body to obtain the molded body.
18. Eine Verwendung eines hängenden Sintertiegels zur Herstellung von Quarzglas und von Produkten beinhaltend Quarzglas ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einem Lichtleiter, einem Leuchtmittel und einem Formkörper, wobei das Siliziumdioxidgranulat aus pyrogenem Siliziumdioxid hergestellt wurde, wobei das Siliziumdioxidgranulat folgende Merkmale aufweist: 18. A use of a hanging sinter crucible for producing quartz glass and of products comprising quartz glass selected from the group consisting of a light guide, a luminous means and a shaped body, wherein the silicon dioxide granulate was produced from fumed silica, wherein the silicon dioxide granules have the following features:
A) eine BET-Oberfläche in einem Bereich von mehr als 20 bis 50 m2/g; A) a BET surface area in a range of more than 20 to 50 m 2 / g;
B) eine mittlere Partikelgröße in einem Bereich von 50 bis 500 μηι.  B) an average particle size in a range of 50 to 500 μηι.
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