JP6719505B2 - Optical fiber manufacturing method and optical fiber preform manufacturing method - Google Patents

Optical fiber manufacturing method and optical fiber preform manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP6719505B2
JP6719505B2 JP2018118284A JP2018118284A JP6719505B2 JP 6719505 B2 JP6719505 B2 JP 6719505B2 JP 2018118284 A JP2018118284 A JP 2018118284A JP 2018118284 A JP2018118284 A JP 2018118284A JP 6719505 B2 JP6719505 B2 JP 6719505B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
glass
core
forming portion
fine particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018118284A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2019218250A (en
Inventor
荒井　慎一
慎一 荒井
八木　健
健 八木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Original Assignee
THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD. filed Critical THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Priority to JP2018118284A priority Critical patent/JP6719505B2/en
Publication of JP2019218250A publication Critical patent/JP2019218250A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6719505B2 publication Critical patent/JP6719505B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法に関する。 The present invention relates to an optical fiber manufacturing method and an optical fiber preform manufacturing method.

従来、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された石英ガラスを材料として光ファイバ又は光ファイバ母材を製造することが提案されている（特許文献１〜５参照）。このような石英ガラスにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を添加する方法として、例えば、特許文献１、２には、石英ガラスからなる多孔質体の表面にアルカリ金属又はアルカリ土類金属の気化ガスを接触させて当該多孔質体に表面からアルカリ金属又はアルカリ土類金属を拡散させる方法が開示されている。また、特許文献３、４には、石英ガラスからなるガラスパイプの内部にアルカリ金属の気化ガスを導入しながら当該ガラスパイプを加熱する等して、当該ガラスパイプの内表面にアルカリ金属を拡散させる方法が開示されている。特許文献５には、石英ガラスロッドをアルカリ金属化合物の融液中に浸漬する等して、当該石英ガラスロッドに表面からアルカリ金属を導入する方法が開示されている。 Heretofore, it has been proposed to manufacture an optical fiber or an optical fiber preform using silica glass to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added as a material (see Patent Documents 1 to 5). As a method of adding an alkali metal or an alkaline earth metal to such a quartz glass, for example, Patent Documents 1 and 2 disclose vaporization gas of an alkali metal or an alkaline earth metal on the surface of a porous body made of quartz glass. A method is disclosed in which an alkali metal or an alkaline earth metal is brought into contact with the porous body to diffuse it from the surface. Further, in Patent Documents 3 and 4, the alkali metal is diffused to the inner surface of the glass pipe by heating the glass pipe while introducing the vaporized gas of the alkali metal into the glass pipe made of quartz glass. A method is disclosed. Patent Document 5 discloses a method of introducing an alkali metal into the quartz glass rod from the surface by immersing the quartz glass rod in a melt of an alkali metal compound.

特開昭６３−４０７４４号公報JP-A-63-40744 特開２０１３−１９９４００号公報JP, 2013-199400, A 特表２００５−５３７２１０号公報Japanese Patent Publication No. 2005-537210 特開２０１３−１３６４８５号公報JP, 2013-136485, A 特開２０１３−１９９４０１号公報JP, 2013-199401, A

一般に、光ファイバ又は光ファイバ母材の製造に材料として用いられる石英ガラスにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を添加して、光ファイバのコア部までアルカリ金属又はアルカリ土類金属を拡散させることは、光ファイバの伝送損失の低減に有効である。このため、光ファイバ又は光ファイバ母材の製造においては、近年、アルカリ金属又はアルカリ土類金属をコア部に効率良く添加することが要望されている。 Generally, an alkali metal or an alkaline earth metal is added to silica glass used as a material for manufacturing an optical fiber or an optical fiber preform, and the alkali metal or alkaline earth metal is diffused to the core of the optical fiber, It is effective in reducing the transmission loss of the optical fiber. Therefore, in the production of the optical fiber or the optical fiber preform, it has been recently demanded to efficiently add an alkali metal or an alkaline earth metal to the core portion.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、アルカリ金属又はアルカリ土類金属をコア部に効率良く添加することができる光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a method of manufacturing an optical fiber and a method of manufacturing an optical fiber preform that can efficiently add an alkali metal or an alkaline earth metal to the core portion. The purpose is to

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光ファイバの製造方法は、コア部と前記コア部の外周に形成されたクラッド部とを備える光ファイバの製造方法であって、ガラスからなり前記コア部になるコア形成部と、前記コア部よりも屈折率が低いガラスからなり前記クラッド部の一部になるクラッド形成部とによって構成され、外層部と前記コア形成部との間に前記コア形成部の長手方向に延在する空隙部を有する第１中間体を準備する準備工程と、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子を前記第１中間体の前記空隙部に充填して第２中間体を作製する微粒子充填工程と、前記第２中間体を用いて、少なくとも前記コア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを製造する光ファイバ製造工程と、を含むことを特徴とする。 In order to solve the above problems and achieve the object, an optical fiber manufacturing method according to the present invention is an optical fiber manufacturing method including a core part and a clad part formed on the outer periphery of the core part. A core forming part made of glass and forming the core part, and a clad forming part made of glass having a lower refractive index than the core part and forming a part of the clad part, and an outer layer part and the core forming part. A preparatory step of preparing a first intermediate having a void extending in the longitudinal direction of the core forming part, and glass fine particles containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound are added to the first intermediate. A fine particle filling step of filling the voids to produce a second intermediate, and an optical fiber for producing an optical fiber in which an alkali metal or an alkaline earth metal is added to at least the core using the second intermediate. And a fiber manufacturing process.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記準備工程は、前記コア形成部と前記コア形成部の外周にわたって隣接するガラス部分とを備えるコアロッドをガラスパイプの内部に配置して、前記ガラスパイプの外層部と前記コアロッドとの間に前記空隙部を形成するとともに、前記ガラスパイプと前記コアロッドの前記ガラス部分とによって前記クラッド形成部を構成することを特徴とする。 Further, in the optical fiber manufacturing method according to the present invention, in the above invention, the preparing step includes arranging a core rod including the core forming portion and a glass portion adjacent to an outer periphery of the core forming portion inside a glass pipe. Then, the void portion is formed between the outer layer portion of the glass pipe and the core rod, and the clad forming portion is constituted by the glass pipe and the glass portion of the core rod.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記準備工程は、前記コア形成部の長手方向に延在する穴を前記第１中間体の前記クラッド形成部に設けて、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部との間に前記空隙部を形成することを特徴とする。 Further, the optical fiber manufacturing method according to the present invention, in the above invention, the preparing step, the hole extending in the longitudinal direction of the core forming portion is provided in the clad forming portion of the first intermediate body, The void portion is formed between the outer layer portion of the first intermediate body and the core forming portion.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子との混合物であることを特徴とする。 Further, the optical fiber manufacturing method according to the present invention is characterized in that, in the above-mentioned invention, the glass fine particles are a mixture of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound and quartz glass fine particles.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記ガラス微粒子は、昇華した状態の前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする。 Further, the method for producing an optical fiber according to the present invention, in the above invention, the glass fine particles are obtained by adhering the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound in a sublimated state to the surface of the quartz glass fine particles. It is characterized by

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を含有する溶液に石英ガラス微粒子を浸漬させて、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を前記石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする。 Further, the method for producing an optical fiber according to the present invention is the above invention, wherein the glass fine particles are obtained by immersing quartz glass fine particles in a solution containing the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound, It is characterized in that the compound or the alkaline earth metal compound is adhered to the surface of the quartz glass fine particles.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物は、Ｋ２ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、Ｒｂ２ＣＯ３、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＲｂＮＯ３、またはＲｂＣｌであることを特徴とする。 A method of manufacturing an optical fiber according to the present invention, in the above invention, the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound, K 2 CO 3, Li 2 CO 3, Na 2 CO 3, Rb 2 CO 3 , Cs 2 CO 3 , CaCO 3 , SrCO 3 , BaCO 3 , KNO 3 , KCl, NaCl, RbNO 3 or RbCl.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記準備工程は、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部の長手方向中心軸との間の中間位置よりも前記コア形成部に近い領域に前記空隙部を形成することを特徴とする。 Further, the optical fiber manufacturing method according to the present invention is the above invention, wherein the preparing step is performed at a position closer to an intermediate position between an outer layer portion of the first intermediate body and a longitudinal center axis of the core forming portion. It is characterized in that the void portion is formed in a region close to the core forming portion.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記微粒子充填工程は、平均粒子径が３０μｍ〜５００μｍの前記ガラス微粒子を充填することを特徴とする。 Further, the optical fiber manufacturing method according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the fine particle filling step fills the glass fine particles having an average particle diameter of 30 μm to 500 μm.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記光ファイバ製造工程は、前記ガラス微粒子が充填された前記空隙部内を減圧しながら前記第２中間体を加熱処理して、前記コア形成部及び前記クラッド形成部を溶融するとともに前記ガラス微粒子の充填体を稠密化し、少なくとも前記コア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする線引工程を含むことを特徴とする。 Further, the optical fiber manufacturing method according to the present invention, in the above invention, the optical fiber manufacturing step, by heat treatment the second intermediate while depressurizing the voids filled with the glass particles, A melting step of melting the core forming part and the clad forming part while densifying the glass fine particle filler, and drawing an optical fiber in which an alkali metal or an alkaline earth metal is added to at least the core part. Is characterized by.

また、本発明に係る光ファイバの製造方法は、上記の発明において、前記光ファイバ製造工程は、前記ガラス微粒子が充填された前記空隙部内を減圧しながら前記第２中間体を加熱処理して、前記コア形成部及び前記クラッド形成部を溶融するとともに前記ガラス微粒子の充填体を稠密化し、前記ガラス微粒子の充填体に含まれるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材を作製する焼結工程と、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された前記光ファイバ母材を加熱処理によって溶融して、少なくとも前記コア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする線引工程と、を含むことを特徴とする。 Further, the optical fiber manufacturing method according to the present invention, in the above invention, the optical fiber manufacturing step, by heat treatment the second intermediate while depressurizing the voids filled with the glass particles, The core forming part and the clad forming part are melted and the filler of the glass fine particles is densified to produce an optical fiber preform to which the alkali metal or alkaline earth metal contained in the filler of the glass fine particles is added. Sintering step and melting the optical fiber preform to which the alkali metal or alkaline earth metal is added by heat treatment, and drawing an optical fiber to which at least the core part is added alkali metal or alkaline earth metal And a drawing step.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、コア部と前記コア部の外周に形成されたクラッド部とを備える光ファイバを製造するための光ファイバ母材の製造方法であって、ガラスからなり前記コア部になるコア形成部と、前記コア部よりも屈折率が低いガラスからなり前記クラッド部の一部になるクラッド形成部とによって構成され、外層部と前記コア形成部との間に前記コア形成部の長手方向に延在する空隙部を有する第１中間体を準備する準備工程と、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子を前記第１中間体の前記空隙部に充填して第２中間体を作製する微粒子充填工程と、前記ガラス微粒子が充填された前記空隙部内を減圧しながら前記第２中間体を加熱処理して、前記コア形成部及び前記クラッド形成部を溶融するとともに前記ガラス微粒子の充填体を稠密化し、前記ガラス微粒子の充填体に含まれるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材を作製する焼結工程と、を含むことを特徴とする。 Further, the method for producing an optical fiber preform according to the present invention is a method for producing an optical fiber preform for producing an optical fiber having a core part and a clad part formed on the outer periphery of the core part, A core forming portion that is made of glass and serves as the core portion, and a clad forming portion that is made of glass and has a lower refractive index than the core portion and that is a part of the clad portion. The outer layer portion and the core forming portion A preparatory step of preparing a first intermediate body having a void portion extending in the longitudinal direction of the core forming section, and glass fine particles containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound are provided in the first intermediate body. A fine particle filling step of filling the voids to produce a second intermediate; and heat-treating the second intermediate while reducing the pressure in the voids filled with the glass fine particles to form the core forming portion and the clad. A sintering step of melting the forming part and densifying the glass fine particle filler, and producing an optical fiber preform to which the alkali metal or alkaline earth metal contained in the glass fine particle filler is added. It is characterized by

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記準備工程は、前記コア形成部と前記コア形成部の外周にわたって隣接するガラス部分とを備えるコアロッドをガラスパイプの内部に配置して、前記ガラスパイプの外層部と前記コアロッドとの間に前記空隙部を形成するとともに、前記ガラスパイプと前記コアロッドの前記ガラス部分とによって前記クラッド形成部を構成することを特徴とする。 Further, the method for producing an optical fiber preform according to the present invention is the above invention, wherein the preparing step includes forming a core rod including the core forming portion and a glass portion adjacent to the outer periphery of the core forming portion inside a glass pipe. And forming the void between the outer layer portion of the glass pipe and the core rod, and forming the clad forming portion by the glass pipe and the glass portion of the core rod. ..

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記準備工程は、前記コア形成部の長手方向に延在する穴を前記第１中間体の前記クラッド形成部に設けて、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部との間に前記空隙部を形成することを特徴とする。 Further, in the manufacturing method of the optical fiber preform according to the present invention, in the above invention, the preparation step includes providing a hole extending in a longitudinal direction of the core forming portion in the clad forming portion of the first intermediate body. The void portion is formed between the outer layer portion of the first intermediate body and the core forming portion.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子との混合物であることを特徴とする。 The method for producing an optical fiber preform according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the glass fine particles are a mixture of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound and quartz glass fine particles. ..

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記ガラス微粒子は、昇華した状態の前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする。 Further, the method for producing an optical fiber preform according to the present invention is the above invention, wherein the glass fine particles have the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound in a sublimated state adhered to the surface of the quartz glass fine particles. It is characterized by being a thing.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を含有する溶液に石英ガラス微粒子を浸漬させて、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を前記石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする。 Further, the method for producing an optical fiber preform according to the present invention is the above invention, wherein the glass fine particles are made by immersing quartz glass fine particles in a solution containing the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound, It is characterized in that an alkali metal compound or the alkaline earth metal compound is adhered to the surface of the quartz glass fine particles.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物は、Ｋ２ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、Ｒｂ２ＣＯ３、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＲｂＮＯ３、またはＲｂＣｌであることを特徴とする。 Further, in the method for producing an optical fiber preform according to the present invention, in the above invention, the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound is K 2 CO 3 , Li 2 CO 3 , Na 2 CO 3 , Rb 2 and wherein the CO 3, Cs 2 CO 3, CaCO 3, SrCO 3, BaCO 3, KNO 3, KCl, NaCl, RbNO 3, or RbCl.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記準備工程は、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部の長手方向中心軸との間の中間位置よりも前記コア形成部に近い領域に前記空隙部を形成することを特徴とする。 Further, the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention is the above invention, wherein the preparing step is performed from an intermediate position between an outer layer portion of the first intermediate body and a longitudinal center axis of the core forming portion. Is characterized in that the void portion is formed in a region near the core forming portion.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記の発明において、前記微粒子充填工程は、平均粒子径が３０μｍ〜５００μｍの前記ガラス微粒子を充填することを特徴とする。 Further, the method for producing an optical fiber preform according to the present invention is characterized in that, in the above-mentioned invention, the fine particle filling step fills the glass fine particles having an average particle diameter of 30 µm to 500 µm.

本発明によれば、アルカリ金属又はアルカリ土類金属をコア部に効率良く添加することができる光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法を提供できるという効果を奏する。 According to the present invention, it is possible to provide an optical fiber manufacturing method and an optical fiber preform manufacturing method capable of efficiently adding an alkali metal or an alkaline earth metal to a core portion.

図１は、本発明の実施形態１に係る光ファイバの製造方法によって製造される光ファイバの一構成例を示す模式的な断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of an optical fiber manufactured by the method for manufacturing an optical fiber according to the first embodiment of the present invention. 図２は、本発明の実施形態１に係る光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法の一例を示すフロー図である。FIG. 2 is a flow chart showing an example of an optical fiber manufacturing method and an optical fiber preform manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図３は、本発明の実施形態１に係る製造方法の準備工程及び微粒子充填工程を説明する模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a preparation step and a fine particle filling step of the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図４は、本発明の実施形態１に係る製造方法の微粒子充填工程を行って形成される第２中間体の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a second intermediate body formed by performing the fine particle filling step of the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図５は、図４に示す第２中間体のＡ−Ａ線断面模式図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA of the second intermediate body shown in FIG. 図６は、本発明の実施形態１に係る製造方法の線引工程を説明する模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a drawing process of the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図７は、本発明の実施形態１に係る製造方法の焼結工程を説明する模式図である。FIG. 7: is a schematic diagram explaining the sintering process of the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図８は、本発明の実施形態１に係る製造方法おける光ファイバ母材を用いた線引工程を説明する模式図である。FIG. 8: is a schematic diagram explaining the drawing process using the optical fiber preform in the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図９は、本発明の実施形態２に係る製造方法の準備工程及び微粒子充填工程を説明する模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a preparation step and a fine particle filling step of the manufacturing method according to the second embodiment of the present invention. 図１０は、本発明の実施形態２に係る製造方法の微粒子充填工程を行って形成される第２中間体の一例を示す図である。FIG. 10: is a figure which shows an example of the 2nd intermediate body formed by performing the fine particle filling process of the manufacturing method which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図１１は、本発明の実施形態３に係る製造方法の微粒子充填工程を説明する模式図である。FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a fine particle filling step of the manufacturing method according to the third embodiment of the present invention. 図１２は、本発明の実施形態３に係る製造方法の微粒子充填工程で充填するガラス微粒子の作製を説明する模式図である。FIG. 12 is a schematic diagram illustrating the production of glass fine particles to be filled in the fine particle filling step of the manufacturing method according to the third embodiment of the present invention. 図１３は、本発明の実施形態４に係る製造方法の微粒子充填工程を説明する模式図である。FIG. 13 is a schematic diagram for explaining the fine particle filling step of the manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention. 図１４は、本発明の実施形態４に係る製造方法の微粒子充填工程で充填するガラス微粒子の作製を説明する模式図である。FIG. 14 is a schematic diagram illustrating production of glass fine particles to be filled in the fine particle filling step of the manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention. 図１５は、本実験での第１中間体における空隙部の位置を説明する図である。FIG. 15: is a figure explaining the position of the void part in the 1st intermediate body in this experiment.

以下に、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一又は対応する要素には適宜同一の符号を付している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to this embodiment. Further, in each drawing, the same or corresponding elements are appropriately assigned the same reference numerals.

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る光ファイバの製造方法によって製造される光ファイバの一構成例を示す模式的な断面図である。本実施形態１における光ファイバ１は、石英系ガラスからなる光ファイバであって、図１に示すように、コア部１ａと、コア部１ａの外周に形成されたクラッド部１ｂとを備えている。なお、特に図示しないが、クラッド部１ｂの外周には被覆が施されている。この被覆は、光ファイバに通常用いられるものを使用している。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of an optical fiber manufactured by the method for manufacturing an optical fiber according to the first embodiment of the present invention. The optical fiber 1 according to the first embodiment is an optical fiber made of silica glass, and includes a core portion 1a and a clad portion 1b formed on the outer periphery of the core portion 1a, as shown in FIG. .. Although not shown in particular, the cladding 1b has a coating on its outer periphery. This coating uses what is normally used for an optical fiber.

コア部１ａは、屈折率を高くするドーパントであるゲルマニア（ＧｅＯ２）と、伝送損失を低減するためのアルカリ金属又はアルカリ土類金属とが添加された石英ガラスからなる。クラッド部１ｂは、屈折率調整用のドーパントを添加していない純石英ガラスに上記のアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された石英ガラスからなり、コア部１ａよりも屈折率が低い。 The core portion 1a is made of quartz glass to which germania (GeO 2 ) that is a dopant for increasing the refractive index and alkali metal or alkaline earth metal for reducing transmission loss are added. The clad portion 1b is made of silica glass in which the above alkali metal or alkaline earth metal is added to pure silica glass to which a dopant for adjusting the refractive index is not added, and has a lower refractive index than the core portion 1a.

つぎに、図２〜図８を参照して、本発明の実施形態１に係る光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法について説明する。図２は、本発明の実施形態１に係る光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法の一例を示すフロー図である。以下、「光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法」は、「製造方法」と適宜略記する。 Next, a method for manufacturing an optical fiber and a method for manufacturing an optical fiber preform according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a flow chart showing an example of an optical fiber manufacturing method and an optical fiber preform manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. Hereinafter, the "method for manufacturing an optical fiber and the method for manufacturing an optical fiber preform" are abbreviated as "manufacturing method" as appropriate.

本実施形態１に係る光ファイバの製造方法は、準備工程と、微粒子充填工程と、光ファイバ製造工程とを含む。本実施形態１に係る光ファイバ母材の製造方法は、光ファイバの製造方法と同様の準備工程及び微粒子充填工程と、焼結工程とを含む。 The optical fiber manufacturing method according to the first embodiment includes a preparation step, a fine particle filling step, and an optical fiber manufacturing step. The method for producing an optical fiber preform according to the first embodiment includes the same preparation step, fine particle filling step, and sintering step as in the optical fiber production method.

すなわち、図２に示すように、本実施形態１に係る製造方法では、まず、必要な部材を準備する準備工程（ステップＳ１０１）が行われる。図３は、本発明の実施形態１に係る製造方法の準備工程及び微粒子充填工程を説明する模式図である。本実施形態１における準備工程では、図３に示すように、ガラスパイプ２とコアロッド３との間に空隙部４ａを有する第１中間体４を準備する。 That is, as shown in FIG. 2, in the manufacturing method according to the first embodiment, first, a preparation step (step S101) of preparing necessary members is performed. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a preparation step and a fine particle filling step of the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. In the preparation step of the first embodiment, as shown in FIG. 3, a first intermediate body 4 having a space 4a between the glass pipe 2 and the core rod 3 is prepared.

ガラスパイプ２は、光ファイバ１のクラッド部１ｂの一部になるものであり、屈折率調整用のドーパントを添加していない高純度の合成石英パイプである。ガラスパイプ２の内径及び外径は、ガラスパイプ２の円筒状部分が適度な強度を有し且つ当該円筒状部分の内表面とコアロッド３との間に適度な空隙を形成し得るように、各々設定されている。ガラスパイプ２の円筒状部分の長さは、コアロッド３の収容に好適な長さに設定されている。また、ガラスパイプ２は、その内表面をドライエッチングして表面洗浄処理を行ったものとなっている。この表面洗浄処理が行われた後、図３に示すように、ガラスパイプ２の下端部２ｃは、封止されている。一方、ガラスパイプ２の上端部２ｂは、開口した状態となっている。 The glass pipe 2 is a part of the cladding portion 1b of the optical fiber 1 and is a high-purity synthetic quartz pipe to which a dopant for adjusting the refractive index is not added. The inner diameter and the outer diameter of the glass pipe 2 are set so that the cylindrical portion of the glass pipe 2 has appropriate strength and an appropriate space can be formed between the inner surface of the cylindrical portion and the core rod 3. It is set. The length of the cylindrical portion of the glass pipe 2 is set to a length suitable for accommodating the core rod 3. Further, the glass pipe 2 has its inner surface dry-etched for surface cleaning. After this surface cleaning treatment is performed, the lower end portion 2c of the glass pipe 2 is sealed as shown in FIG. On the other hand, the upper end 2b of the glass pipe 2 is in an open state.

コアロッド３は、図３に示すように、コア形成部３ａと、コア形成部３ａの外周にわたって隣接するガラス部分としてのクラッド形成部３ｂとを備える。コア形成部３ａは光ファイバ１のコア部１ａになり、クラッド形成部３ｂはクラッド部１ｂの一部になる。コア形成部３ａはコア部１ａの屈折率となるようにゲルマニアが添加された石英ガラスからなり、クラッド形成部３ｂはクラッド部１ｂの屈折率となるように純石英ガラスからなる。本実施形態１では、コアロッド３は、ＶＡＤ法により製造されたものであるが、ＯＶＤ法やＭＣＶＤ法等により製造されたものでもよい。 As shown in FIG. 3, the core rod 3 includes a core forming portion 3a and a clad forming portion 3b as a glass portion adjacent to the outer periphery of the core forming portion 3a. The core forming portion 3a becomes the core portion 1a of the optical fiber 1, and the clad forming portion 3b becomes a part of the clad portion 1b. The core forming portion 3a is made of silica glass to which germania is added so as to have the refractive index of the core portion 1a, and the clad forming portion 3b is made of pure silica glass so as to have the refractive index of the cladding portion 1b. In the first embodiment, the core rod 3 is manufactured by the VAD method, but it may be manufactured by the OVD method, the MCVD method, or the like.

この準備工程において、ガラスパイプ２の内部には、コアロッド３を配置する前に、位置決め部材５をガラスパイプ２の底部に配置しておく。位置決め部材５は、ガラスパイプ２の内径と略同じ外径を有する円板状の部材であり、高純度の合成石英ガラスからなる。続いて、図３に示すように、ガラスパイプ２の内部には、コアロッド３を挿入して配置する。この際、本実施形態１では、ガラスパイプ２の円筒状部分の長手方向中心軸とコアロッド３の長手方向中心軸（すなわちコア形成部３ａの長手方向中心軸）とが一致するように、１本のコアロッド３が配置される。また、ガラスパイプ２内のコアロッド３は、その下端部が位置決め部材５に形成された嵌合穴（図示せず）に嵌合される。これにより、ガラスパイプ２内におけるコアロッド３の下端部の位置が決定される。 In this preparation step, the positioning member 5 is placed inside the glass pipe 2 at the bottom of the glass pipe 2 before placing the core rod 3. The positioning member 5 is a disk-shaped member having an outer diameter substantially the same as the inner diameter of the glass pipe 2, and is made of high-purity synthetic quartz glass. Subsequently, as shown in FIG. 3, the core rod 3 is inserted and arranged inside the glass pipe 2. At this time, in the first embodiment, one is arranged so that the longitudinal center axis of the cylindrical portion of the glass pipe 2 and the longitudinal center axis of the core rod 3 (that is, the longitudinal center axis of the core forming portion 3a) coincide with each other. The core rod 3 of is arranged. Further, the core rod 3 in the glass pipe 2 is fitted at its lower end into a fitting hole (not shown) formed in the positioning member 5. As a result, the position of the lower end of the core rod 3 inside the glass pipe 2 is determined.

上述したようにコアロッド３をガラスパイプ２の内部に配置することにより、図３に示すように、この準備工程では、ガラスパイプ２の外層部２ａとコアロッド３との間に空隙部４ａを形成する。これとともに、この準備工程では、ガラスパイプ２とコアロッド３における上記コア形成部３ａ外周のガラス部分（クラッド形成部３ｂ）とによって、第１中間体４のクラッド形成部を構成する。この結果、ガラスからなり光ファイバ１のコア部１ａになるコア形成部と、このコア部１ａよりも屈折率が低いガラスからなり光ファイバ１のクラッド部１ｂの一部になる上記クラッド形成部とによって構成される第１中間体４が準備される。このような第１中間体４は、その外層部（すなわちガラスパイプ２の外層部２ａ）とコアロッド３のコア形成部３ａとの間に、コア形成部３ａの長手方向に延在する空隙部４ａをコアロッド３の外周にわたって有している。特に、空隙部４ａは、この準備工程において、第１中間体４の外層部２ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸との間の中間位置よりもコア形成部３ａに近い領域に形成されることが好ましい。 By arranging the core rod 3 inside the glass pipe 2 as described above, as shown in FIG. 3, in this preparatory step, the void portion 4a is formed between the outer layer portion 2a of the glass pipe 2 and the core rod 3. .. At the same time, in this preparation step, the glass pipe 2 and the glass portion (clad forming portion 3b) on the outer periphery of the core forming portion 3a of the core rod 3 form a clad forming portion of the first intermediate body 4. As a result, a core forming portion made of glass and forming the core portion 1a of the optical fiber 1, and a clad forming portion made of glass having a refractive index lower than that of the core portion 1a and forming a part of the clad portion 1b of the optical fiber 1. A first intermediate 4 composed of is prepared. Such a first intermediate body 4 has a void portion 4a extending in the longitudinal direction of the core forming portion 3a between the outer layer portion (that is, the outer layer portion 2a of the glass pipe 2) and the core forming portion 3a of the core rod 3. Over the outer circumference of the core rod 3. In particular, the void portion 4a is formed in the region closer to the core forming portion 3a than the intermediate position between the outer layer portion 2a of the first intermediate body 4 and the longitudinal center axis of the core forming portion 3a in this preparation step. It is preferable.

上述した準備工程が完了した後、図２に示すように、微粒子充填工程（ステップＳ１０２）が行われる。本実施形態１における微粒子充填工程では、図３に示すように、第１中間体４の空隙部４ａ（具体的にはガラスパイプ２の内表面とコアロッド３の外層部との間の空隙部）に、ガラス微粒子７を投入し、充填する。 After the preparation process described above is completed, as shown in FIG. 2, a fine particle filling process (step S102) is performed. In the step of filling fine particles in the first embodiment, as shown in FIG. 3, the void portion 4a of the first intermediate body 4 (specifically, the void portion between the inner surface of the glass pipe 2 and the outer layer portion of the core rod 3). Then, the glass fine particles 7 are charged and filled.

ガラス微粒子７は、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子である。本実施形態１において、ガラス微粒子７は、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子とを混合して作製される混合物である。この石英ガラス微粒子は、例えば、屈折率調整用のドーパントを添加していない高純度の石英ガラスからなる。上記のアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物としては、例えば、Ｋ２ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、Ｒｂ２ＣＯ３、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＲｂＮＯ３、またはＲｂＣｌ等が挙げられる。また、ガラス微粒子７の平均粒子径は、この石英ガラス微粒子の平均粒子径に相当し、例えば３０μｍ〜５００μｍである。本実施形態１では、ガラス微粒子７の平均粒子径は、一例として１２０μｍとした。 The glass fine particles 7 are glass fine particles containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound. In the first embodiment, the glass fine particles 7 are a mixture prepared by mixing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound and quartz glass fine particles. The silica glass fine particles are made of, for example, high-purity silica glass to which a dopant for adjusting the refractive index is not added. Examples of the above-mentioned alkali metal compound or alkaline earth metal compound include K 2 CO 3 , Li 2 CO 3 , Na 2 CO 3 , Rb 2 CO 3 , Cs 2 CO 3 , CaCO 3 , SrCO 3 , BaCO 3 , Examples thereof include KNO 3 , KCl, NaCl, RbNO 3 and RbCl. The average particle diameter of the glass fine particles 7 corresponds to the average particle diameter of the quartz glass fine particles and is, for example, 30 μm to 500 μm. In the first embodiment, the average particle diameter of the glass fine particles 7 is 120 μm as an example.

続いて、この微粒子充填工程では、図３に示すように、ガラスパイプ２内に位置決め部材６を挿入し、この位置決め部材６により、ガラスパイプ２内のコアロッド３を位置決めする。位置決め部材６は、ガラスパイプ２の内径と略同じ外径を有する円板状の部材であり、高純度の合成石英ガラスからなる。位置決め部材６には、図３に示すように、嵌合穴６ａと通気孔６ｂとが形成されている。嵌合穴６ａは、コアロッド３の上端部が嵌合する部分であり、本実施形態１では位置決め部材６を貫通しているが、貫通していなくてもよい。複数の通気孔６ｂは、外部とガラスパイプ２の内部との通気性を確保するものである。また、通気孔６ｂをガラス微粒子７が十分に通過する内径にすることによって、位置決め部材６をガラスパイプ２内に配置した後に、この位置決め部材６を介して上部からガラス微粒子７をガラスパイプ２内に充填することも可能である。本実施形態１では、位置決め部材６に形成されている嵌合穴６ａにコアロッド３の上端部を嵌合することで、ガラスパイプ２内におけるコアロッド３の位置が決められる。この際、位置決め部材６は、図３に示すようにガラスパイプ２内の底部に配置された位置決め部材５と協同して、コアロッド３を位置決めする。 Then, in this fine particle filling step, as shown in FIG. 3, a positioning member 6 is inserted into the glass pipe 2, and the positioning member 6 positions the core rod 3 in the glass pipe 2. The positioning member 6 is a disk-shaped member having an outer diameter substantially the same as the inner diameter of the glass pipe 2, and is made of high-purity synthetic quartz glass. As shown in FIG. 3, the positioning member 6 has a fitting hole 6a and a vent hole 6b. The fitting hole 6a is a portion into which the upper end portion of the core rod 3 is fitted, and penetrates the positioning member 6 in the first embodiment, but may not penetrate. The plurality of ventilation holes 6b ensure ventilation between the outside and the inside of the glass pipe 2. In addition, the positioning member 6 is arranged in the glass pipe 2 by making the air holes 6b have an inner diameter that allows the glass particles 7 to sufficiently pass through, and then the glass particles 7 are placed in the glass pipe 2 from above through the positioning member 6. It is also possible to fill in. In the first embodiment, the position of the core rod 3 in the glass pipe 2 is determined by fitting the upper end portion of the core rod 3 into the fitting hole 6a formed in the positioning member 6. At this time, the positioning member 6 positions the core rod 3 in cooperation with the positioning member 5 arranged at the bottom of the glass pipe 2 as shown in FIG.

本実施形態１では、上述した微粒子充填工程のようにガラス微粒子７を第１中間体４の空隙部４ａに充填して、図４に示す第２中間体８を作製する。このようにして、本実施形態１における光ファイバ１又は光ファイバ母材の製造に材料として用いられる第２中間体８が得られる（ステップＳ１０３）。 In the first embodiment, the glass fine particles 7 are filled into the voids 4a of the first intermediate body 4 as in the fine particle filling step described above, and the second intermediate body 8 shown in FIG. 4 is manufactured. In this way, the second intermediate 8 used as a material for manufacturing the optical fiber 1 or the optical fiber preform in the first embodiment is obtained (step S103).

図４は、本発明の実施形態１に係る製造方法の微粒子充填工程を行って形成される第２中間体の一例を示す図である。図５は、図４に示す第２中間体のＡ−Ａ線断面模式図である。本実施形態１における第２中間体８は、図３に示した第１中間体４の空隙部４ａにガラス微粒子７を充填して作製されるものであり、図４、５に示すように、ガラスパイプ２と、コアロッド３と、位置決め部材５、６と、ガラス微粒子７とで構成される。この第２中間体８において、コアロッド３の上端部は、位置決め部材６の嵌合穴６ａに嵌合されている。しかし、この位置決め部材６には、図４に示すように、嵌合穴６ａの他に複数の通気孔６ｂが形成されているため、外部と第２中間体８の内部（例えばガラス微粒子７が充填された状態の空隙部４ａ）との通気性は確保されている。 FIG. 4 is a diagram showing an example of a second intermediate body formed by performing the fine particle filling step of the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA of the second intermediate body shown in FIG. The second intermediate body 8 in Embodiment 1 is prepared by filling the voids 4a of the first intermediate body 4 shown in FIG. 3 with the glass particles 7, and as shown in FIGS. The glass pipe 2, the core rod 3, the positioning members 5 and 6, and the glass fine particles 7 are included. In the second intermediate body 8, the upper end portion of the core rod 3 is fitted in the fitting hole 6 a of the positioning member 6. However, as shown in FIG. 4, the positioning member 6 is provided with a plurality of vent holes 6b in addition to the fitting holes 6a, so that the outside and the inside of the second intermediate body 8 (for example, the glass fine particles 7 are Breathability with the filled void portion 4a) is secured.

また、本実施形態１において、空隙部４ａは、上述した準備工程により、図３に示した第１中間体４の外層部２ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸との間の中間位置よりもコア形成部３ａに近い領域に、コアロッド３の外周にわたって形成されている。すなわち、この空隙部４ａ内のガラス微粒子７の充填体は、図５に示すように、第２中間体８の外層部２ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸との間の中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａに近い領域に、コアロッド３のクラッド形成部３ｂの外周にわたって存在している。 Further, in the first embodiment, the void portion 4a is formed from the intermediate position between the outer layer portion 2a of the first intermediate body 4 shown in FIG. 3 and the longitudinal center axis of the core forming portion 3a by the above-described preparation process. Is also formed over the outer periphery of the core rod 3 in a region close to the core forming portion 3a. That is, as shown in FIG. 5, the filling body of the glass fine particles 7 in the void portion 4a is closer to the intermediate position Pc between the outer layer portion 2a of the second intermediate body 8 and the central axis of the core forming portion 3a in the longitudinal direction. Also exists in the region close to the core forming portion 3a and over the outer circumference of the clad forming portion 3b of the core rod 3.

その後、本実施形態１に係る製造方法では、第２中間体８を用いて少なくともコア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを製造するための光ファイバ製造工程、或いは、第２中間体８を用いて少なくともコア形成部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材を目的物として製造するための焼結工程が行われる。ここで、光ファイバ製造工程には、「第２中間体８から光ファイバ母材を経ずに光ファイバを製造する」場合と、「第２中間体８から光ファイバ母材を経て光ファイバを製造する」場合と、の２通りがある。また、上記光ファイバ母材を目的物として製造するための焼結工程は、「第２中間体８から光ファイバ母材を経て光ファイバを製造する」場合の光ファイバ製造工程で行われる焼結工程と同様である。 Then, in the manufacturing method according to the first embodiment, an optical fiber manufacturing step for manufacturing an optical fiber in which at least a core portion is doped with an alkali metal or an alkaline earth metal using the second intermediate body 8, or A sintering process is carried out for producing an optical fiber preform in which an alkali metal or an alkaline earth metal is added to at least the core forming portion as a target using the intermediate body 2. Here, in the optical fiber manufacturing process, the case of “manufacturing the optical fiber from the second intermediate body 8 without passing through the optical fiber preform” and the “manufacturing the optical fiber from the second intermediate body 8 through the optical fiber preform” There are two cases: "manufacturing". The sintering step for producing the optical fiber preform as an object is performed in the optical fiber producing step in the case of "producing an optical fiber from the second intermediate 8 through the optical fiber preform". It is similar to the process.

すなわち、光ファイバ製造工程は、第２中間体８から光ファイバ母材を経ずに光ファイバを製造する場合、図２に示す線引工程（ステップＳ１０５）を含む。この場合、第２中間体８から作製するものが光ファイバであるため（ステップＳ１０４，光ファイバ）、上述したように第２中間体８を作製した後、この第２中間体８から光ファイバを線引きする線引工程（ステップＳ１０５）が行われる。 That is, the optical fiber manufacturing process includes the drawing process (step S105) shown in FIG. 2 when manufacturing the optical fiber from the second intermediate 8 without passing through the optical fiber preform. In this case, since the optical fiber is produced from the second intermediate body 8 (step S104, optical fiber), after the second intermediate body 8 is produced as described above, the optical fiber is produced from the second intermediate body 8. A drawing process (step S105) for drawing is performed.

ステップＳ１０５の線引工程では、第２中間体８におけるガラス微粒子７が充填された空隙部４ａ内を減圧しながら、第２中間体８を加熱処理し、これにより、第２中間体８のコア形成部及びクラッド形成部を溶融するとともにガラス微粒子７の充填体を稠密化して、少なくともコア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする。 In the drawing step of step S105, the second intermediate body 8 is heat-treated while depressurizing the voids 4a filled with the glass fine particles 7 in the second intermediate body 8, whereby the core of the second intermediate body 8 is obtained. The forming part and the clad forming part are melted and the filling body of the glass fine particles 7 is densified, and an optical fiber in which at least a core part is added with an alkali metal or an alkaline earth metal is drawn.

図６は、本発明の実施形態１に係る製造方法の線引工程を説明する模式図である。図６に示すように、ステップＳ１０５の線引工程では、第２中間体８の上端側に蓋１００を被せ、第２中間体８の内部を気密状態とする。蓋１００には、気密状態とした第２中間体８の内部に通じるガス排気管１０１が接続されている。ガス排気管１０１には、真空ポンプ１０２とガス排気管１０３とが順次接続されている。また、蓋１００には、気密状態とした第２中間体８の内部の圧力を測定するための圧力計１０４が設けられている。圧力計１０４は、測定した圧力値の測定結果のデータを制御部１１０に送信する。制御部１１０は、圧力値の測定結果のデータに基づいて真空ポンプ１０２を制御して、線引工程前の気密された第２中間体８の空隙部４ａ等の内部雰囲気（ガラスパイプ２の内部雰囲気）を減圧状態にできるように構成されている。 FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a drawing process of the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, in the drawing step of step S105, the upper end side of the second intermediate body 8 is covered with the lid 100 to make the inside of the second intermediate body 8 airtight. A gas exhaust pipe 101 communicating with the inside of the second intermediate body 8 in an airtight state is connected to the lid 100. A vacuum pump 102 and a gas exhaust pipe 103 are sequentially connected to the gas exhaust pipe 101. Further, the lid 100 is provided with a pressure gauge 104 for measuring the pressure inside the airtight second intermediate body 8. The pressure gauge 104 transmits the data of the measurement result of the measured pressure value to the control unit 110. The control unit 110 controls the vacuum pump 102 based on the data of the measurement result of the pressure value so that the internal atmosphere (the inside of the glass pipe 2 of the airtight space 4a of the airtight second intermediate body 8 before the drawing process). Atmosphere) is decompressed.

続いて、第２中間体８の内部雰囲気の圧力を減圧状態に保持しながら、光ファイバ線引炉１０５のヒータ１０５ａで第２中間体８の下端を例えば２２００℃に加熱する。これにより、第２中間体８を構成するガラスパイプ２と、コアロッド３と、位置決め部材５、６（図４参照）と、ガラス微粒子７の充填体とを加熱溶融して、光ファイバＦ１を線引きする。このとき、ガラス微粒子７に含まれる石英ガラス微粒子が緻密化焼結して透明なガラスとなる。これと同時に、ガラス微粒子７に含まれるアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の金属成分（アルカリ金属又はアルカリ土類金属）が、コアロッド３のコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂの各内部と、ガラスパイプ２の内部とに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、ガラスパイプ２、コアロッド３のクラッド形成部３ｂ、及び位置決め部材５、６と一体化して、光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたクラッド部１ｂとなる。コアロッド３のコア形成部３ａは、光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたコア部１ａとなる。 Then, the lower end of the second intermediate body 8 is heated to, for example, 2200° C. by the heater 105a of the optical fiber drawing furnace 105 while maintaining the pressure of the internal atmosphere of the second intermediate body 8 in a reduced pressure state. Thereby, the glass pipe 2 forming the second intermediate body 8, the core rod 3, the positioning members 5, 6 (see FIG. 4), and the filling body of the glass fine particles 7 are heated and melted to draw the optical fiber F1. To do. At this time, the quartz glass particles contained in the glass particles 7 are densified and sintered to become transparent glass. At the same time, the metal component (alkali metal or alkaline earth metal) of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound contained in the glass fine particles 7 and the inside of the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b of the core rod 3, It diffuses into the inside of the glass pipe 2. As a result, the transparent glass is integrated with the glass pipe 2, the clad forming portion 3b of the core rod 3, and the positioning members 5 and 6 to form the clad portion 1b to which the alkali metal or alkaline earth metal is added in the optical fiber 1. Become. The core forming portion 3a of the core rod 3 becomes the core portion 1a of the optical fiber 1 to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added.

その後、線引きされた光ファイバＦ１は、その外周に被覆形成装置１０６で被覆が施され、これにより、光ファイバＦ２（図１の光ファイバ１）となる。光ファイバＦ２は、キャプスタンローラ１０７によって引き取られ、ガイドロール１０８を介して巻取機構１０９によって巻き取られる。このように、ステップＳ１０５の線引工程によって製造された光ファイバ１を得て（ステップＳ１０６）、本工程を終了する。 Thereafter, the drawn optical fiber F1 is coated on the outer periphery thereof with the coating forming device 106, whereby the optical fiber F1 (optical fiber 1 in FIG. 1) is obtained. The optical fiber F2 is taken up by the capstan roller 107 and taken up by the take-up mechanism 109 via the guide roll 108. Thus, the optical fiber 1 manufactured by the drawing process of step S105 is obtained (step S106), and this process is completed.

ここで、ステップＳ１０５の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．１７５ｄＢ／ｋｍという低い値であった。また、波長が１３１０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．３０９ｄＢ／ｋｍという良好な特性であった。 Here, the optical fiber 1 having a cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S105, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1550 nm was a low value of 0.175 dB/km on average. Further, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1310 nm was a good characteristic of 0.309 dB/km on average.

一方、光ファイバ製造工程は、第２中間体８から光ファイバ母材を経て光ファイバを製造する場合、図２に示す焼結工程（ステップＳ１０７）と線引工程（ステップＳ１０９）とを含む。この場合、第２中間体８から作製するものが光ファイバ母材であるため（ステップＳ１０４，母材）、上述したように第２中間体８を作製した後、この第２中間体８を用いて光ファイバ母材を作製する焼結工程（ステップＳ１０７）が行われ、その後、目的物が光ファイバであるため（ステップＳ１０８，光ファイバ）、光ファイバ母材から光ファイバを線引きする線引工程（ステップＳ１０９）が行われる。 On the other hand, the optical fiber manufacturing process includes a sintering process (step S107) and a drawing process (step S109) shown in FIG. 2 when manufacturing an optical fiber from the second intermediate 8 through the optical fiber preform. In this case, since the optical fiber preform is produced from the second intermediate 8 (step S104, preform), the second intermediate 8 is used after the second intermediate 8 is produced as described above. A sintering step (step S107) of manufacturing the optical fiber preform is performed, and thereafter, since the object is the optical fiber (step S108, optical fiber), a drawing step of drawing the optical fiber from the optical fiber preform. (Step S109) is performed.

ステップＳ１０７の焼結工程では、第２中間体８におけるガラス微粒子７が充填された空隙部４ａ内を減圧しながら、第２中間体８を加熱処理し、これにより、第２中間体８のコア形成部及びクラッド形成部を溶融するとともにガラス微粒子７の充填体を稠密化して、ガラス微粒子７の充填体に含まれるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材を作製する。 In the sintering step of step S107, the second intermediate body 8 is heat-treated while depressurizing the voids 4a filled with the glass particles 7 in the second intermediate body 8, whereby the core of the second intermediate body 8 is formed. The forming part and the clad forming part are melted and the filling body of the glass fine particles 7 is densified to produce an optical fiber preform to which the alkali metal or alkaline earth metal contained in the filling body of the glass fine particles 7 is added.

図７は、本発明の実施形態１に係る製造方法の焼結工程を説明する模式図である。図７に示すように、ステップＳ１０７の焼結工程では、上述したステップＳ１０５の線引工程の場合と同様に、第２中間体８の上端側に蓋１００を被せて第２中間体８の内部を気密状態し、真空ポンプ１０２の作用により、第２中間体８の空隙部４ａ等の内部雰囲気（ガラスパイプ２の内部雰囲気）を減圧状態にする。特に図７には図示されていないが、第２中間体８の内部雰囲気を減圧する際、第２中間体８の内部の圧力を圧力計１０４によって測定し、この測定した圧力値のデータに基づき、制御部１１０によって真空ポンプ１０２を制御してもよい。 FIG. 7: is a schematic diagram explaining the sintering process of the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. As shown in FIG. 7, in the sintering step of step S107, as in the case of the drawing step of step S105 described above, the upper end side of the second intermediate body 8 is covered with the lid 100 and the inside of the second intermediate body 8 is covered. Is made airtight, and the vacuum pump 102 acts to depressurize the internal atmosphere of the void portion 4a of the second intermediate body 8 (the internal atmosphere of the glass pipe 2). Although not particularly shown in FIG. 7, when reducing the internal atmosphere of the second intermediate body 8, the pressure inside the second intermediate body 8 is measured by the pressure gauge 104, and based on the measured pressure value data. The control unit 110 may control the vacuum pump 102.

また、この焼結工程において、第２中間体８は、図７に示すように、加熱炉１１１にセットされている。加熱炉１１１は、上述した第２中間体８の内部雰囲気の減圧処理に並行して、第２中間体８をその外周（ガラスパイプ２の外周）から加熱処理する。この際、加熱炉１１１は、ガラスパイプ２の外周に沿って下端部２ｃから上端部２ｂに向かい移動しながら、第２中間体８を下端部２ｃから上端部２ｂまで順次加熱処理する。これにより、第２中間体８が下端部２ｃから上端部２ｂまで順次溶融されて縮径するとともに、第２中間体８を構成するガラスパイプ２と、コアロッド３と、位置決め部材５、６と、ガラス微粒子７の充填体とが溶融される。このとき、ガラス微粒子７に含まれる石英ガラス微粒子が緻密化焼結して透明なガラスとなる。これと同時に、ガラス微粒子７に含まれるアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の金属成分（アルカリ金属又はアルカリ土類金属）が、コアロッド３のコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂの各内部と、ガラスパイプ２の内部とに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、ガラスパイプ２、コアロッド３のクラッド形成部３ｂ、及び位置決め部材５、６と一体化して、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なクラッド形成部となる。コアロッド３のコア形成部３ａは、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なコア形成部となる。 In addition, in this sintering step, the second intermediate body 8 is set in the heating furnace 111 as shown in FIG. 7. The heating furnace 111 heat-treats the second intermediate 8 from its outer periphery (outer periphery of the glass pipe 2) in parallel with the above-described depressurization of the internal atmosphere of the second intermediate 8. At this time, the heating furnace 111 sequentially heats the second intermediate 8 from the lower end 2c to the upper end 2b while moving from the lower end 2c to the upper end 2b along the outer circumference of the glass pipe 2. As a result, the second intermediate body 8 is sequentially melted from the lower end portion 2c to the upper end portion 2b to be reduced in diameter, and the glass pipe 2, the core rod 3, and the positioning members 5 and 6 that constitute the second intermediate body 8 are formed. The filling body of the glass particles 7 is melted. At this time, the quartz glass particles contained in the glass particles 7 are densified and sintered to become transparent glass. At the same time, the metal component (alkali metal or alkaline earth metal) of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound contained in the glass fine particles 7 and the inside of the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b of the core rod 3, It diffuses into the inside of the glass pipe 2. As a result, the transparent glass is integrated with the glass pipe 2, the clad forming portion 3b of the core rod 3, and the positioning members 5 and 6 to form a transparent clad forming portion to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added. The core forming portion 3a of the core rod 3 becomes a transparent core forming portion to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added.

このようにして、光ファイバ１のコア部１ａになるコア形成部と光ファイバ１のクラッド部１ｂになるクラッド形成部とを備え、これらのコア形成部及びクラッド形成部（特にコア形成部の外周近傍の部分）にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明な光ファイバ母材１０（図７参照）が作製される。 In this way, the optical fiber 1 is provided with the core forming portion which becomes the core portion 1a and the clad forming portion which becomes the clad portion 1b of the optical fiber 1, and these core forming portion and the clad forming portion (particularly the outer periphery of the core forming portion). A transparent optical fiber preform 10 (see FIG. 7) in which an alkali metal or an alkaline earth metal is added to the vicinity portion) is produced.

その後、ステップＳ１０９の線引工程では、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材１０を加熱処理によって溶融し、これにより、少なくともコア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする。 Then, in the drawing step of step S109, the optical fiber preform 10 to which the alkali metal or alkaline earth metal has been added is melted by the heat treatment, whereby the alkali metal or alkaline earth metal is added to at least the core portion. Optical fiber.

図８は、本発明の実施形態１に係る製造方法おける光ファイバ母材を用いた線引工程を説明する模式図である。図８に示すように、ステップＳ１０９の線引工程では、上述したステップＳ１０５の線引工程の第２中間体８を光ファイバ母材１０に置き換えた場合と同様に、光ファイバ線引炉１０５のヒータ１０５ａにより、光ファイバ母材１０の下端を加熱して、光ファイバＦ１を線引きする。その後、線引きされた光ファイバＦ１は、上述したステップＳ１０５の線引工程の場合と同様に、被覆形成装置１０６で被覆が施され、これにより、光ファイバＦ２（図１の光ファイバ１）となる。図８には特に図示されていないが、光ファイバＦ２は、上述したキャプスタンローラ１０７によって引き取られ、ガイドロール１０８を介して巻取機構１０９によって巻き取られる。このようにして製造された光ファイバ１を得て（ステップＳ１１０）、本工程を終了する。 FIG. 8: is a schematic diagram explaining the drawing process using the optical fiber preform in the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. As shown in FIG. 8, in the drawing step of step S109, as in the case where the second intermediate body 8 in the drawing step of step S105 described above is replaced with the optical fiber preform 10, the optical fiber drawing furnace 105 The heater 105a heats the lower end of the optical fiber preform 10 to draw the optical fiber F1. Thereafter, the drawn optical fiber F1 is coated by the coating forming device 106 in the same manner as in the case of the drawing process of step S105 described above, whereby the optical fiber F2 (optical fiber 1 in FIG. 1) is obtained. .. Although not particularly shown in FIG. 8, the optical fiber F2 is taken up by the capstan roller 107 and taken up by the take-up mechanism 109 via the guide roll 108. The optical fiber 1 manufactured in this way is obtained (step S110), and this process is completed.

ここで、ステップＳ１０９の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、上述したステップＳ１０５の線引工程で製造された光ファイバ１と同様に、伝送損失は低い値であった。 Here, the optical fiber 1 having a cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S109, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, the transmission loss was a low value, like the optical fiber 1 manufactured in the drawing process of step S105 described above.

なお、上述したステップＳ１０５の線引工程及びステップＳ１０７の焼結工程では、第２中間体８の内部の気体を吸引したことによって位置決め部材６が浮き上がらないようにするために、位置決め部材６の上に重りを載置してもよい。この重りは、位置決め部材６の通気孔６ｂを塞がない構造であり、純石英ガラスからなるものであることが好ましい。 In the drawing process of step S105 and the sintering process of step S107 described above, in order to prevent the positioning member 6 from floating due to the suction of the gas inside the second intermediate body 8, A weight may be placed on. The weight has a structure that does not close the ventilation hole 6b of the positioning member 6, and is preferably made of pure quartz glass.

他方、目的とする製造物（目的物）が光ファイバ母材である場合、図２に示すステップＳ１０１の準備工程及びＳ１０２の微粒子充填工程を順次行い、これにより、第２中間体８（図４参照）が作製される。続いて、この第２中間体８を用いてステップＳ１０７の焼結工程を行い、これにより、光ファイバ母材１０（図７参照）が作製される。ここで、目的物が光ファイバ母材であるため（ステップＳ１０８，母材）、ステップＳ１０９の線引工程は行わず、上述した焼結工程による光ファイバ母材１０が、目的物として扱われる。このように目的物としての光ファイバ母材１０を得て（ステップＳ１１１）、本工程が終了する。 On the other hand, when the intended product (object) is the optical fiber preform, the preparation step of step S101 and the fine particle filling step of S102 shown in FIG. 2 are sequentially performed, whereby the second intermediate 8 (FIG. 4) is obtained. Reference) is produced. Then, the sintering process of step S107 is performed using this 2nd intermediate body 8, and the optical fiber preform 10 (refer FIG. 7) is produced by this. Here, since the object is the optical fiber preform (step S108, preform), the drawing process of step S109 is not performed, and the optical fiber preform 10 by the above-described sintering process is treated as the target. In this way, the optical fiber preform 10 as the object is obtained (step S111), and this step is completed.

本発明の実施形態１に係る製造方法では、光ファイバ１のコア部１ａになるコア形成部３ａと第１中間体４の外層部２ａとの間でコア形成部３ａの長手方向に延在する空隙部４ａに、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子とを混合してなるガラス微粒子７を充填して、コア形成部３ａを囲むようにガラス微粒子７の充填体を備える第２中間体８を作製し、この第２中間体８を用いて光ファイバ製造工程又は焼結工程を行うことにより、光ファイバ１又は光ファイバ母材１０を製造している。 In the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention, the core forming portion 3a, which becomes the core portion 1a of the optical fiber 1, and the outer layer portion 2a of the first intermediate body 4 extend in the longitudinal direction of the core forming portion 3a. The void portion 4a is filled with glass fine particles 7 formed by mixing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound and quartz glass fine particles, and a filling body of the glass fine particles 7 is provided so as to surround the core forming portion 3a. The optical fiber 1 or the optical fiber preform 10 is manufactured by manufacturing the intermediate body 8 and performing the optical fiber manufacturing process or the sintering process using the second intermediate body 8.

このため、光ファイバ１のクラッド部１ｂになるクラッド形成部中にアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子とともに直接充填でき、拡散法等の従来の手法に比べて多量のアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物をコア形成部３ａの外周近傍に含ませることができるから、光ファイバ製造工程又は焼結工程での第２中間体８の加熱処理により、ガラス微粒子７の充填体からコア形成部３ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく拡散させて添加することができる。このようにコア形成部３ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された状態の第２中間体８又は光ファイバ母材１０を用いて線引工程を行うことにより、光ファイバ１のコア部１ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく添加することができる。これにより、コア部１ａを構成する石英系ガラスにおける分子間の結合の周期構造が均一化されることから、コア部１ａの石英系ガラスの誘電率を安定化することができ、この結果、光ファイバ１中でのレーリー散乱の発生を抑制して、光ファイバ１の伝送損失を低減することができる。 Therefore, the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound can be directly filled together with the silica glass fine particles in the clad forming portion that becomes the clad portion 1b of the optical fiber 1, and a large amount of the alkali metal compound can be obtained as compared with the conventional method such as the diffusion method. Alternatively, since the alkaline earth metal compound can be included in the vicinity of the outer periphery of the core forming portion 3a, the heat treatment of the second intermediate body 8 in the optical fiber manufacturing process or the sintering process causes the core of the glass fine particles 7 to be filled into the core. An alkali metal or an alkaline earth metal can be efficiently diffused and added to the forming portion 3a. By performing the drawing step using the second intermediate 8 or the optical fiber preform 10 in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the core forming portion 3a, the core portion 1a of the optical fiber 1 is obtained. Alkali metal or alkaline earth metal can be efficiently added to. As a result, the periodic structure of intermolecular bonds in the silica-based glass forming the core portion 1a is made uniform, so that the dielectric constant of the silica-based glass in the core portion 1a can be stabilized. It is possible to suppress the occurrence of Rayleigh scattering in the fiber 1 and reduce the transmission loss of the optical fiber 1.

また、第１中間体４の外層部２ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸との間の中間位置（図５中の中間位置Ｐｃ参照）よりもコア形成部３ａに近い領域に空隙部４ａを形成している。このため、第１中間体４の当該領域にガラス微粒子７を容易に充填することができる。これにより、ガラス微粒子７からコア形成部３ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく拡散させて添加できるとともに、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が外層部２ａに拡散することを抑制でき、この結果、線引された光ファイバ１の機械強度の低下を抑制することができる。 In addition, the void portion 4a is located closer to the core forming portion 3a than the intermediate position (see the intermediate position Pc in FIG. 5) between the outer layer portion 2a of the first intermediate body 4 and the longitudinal center axis of the core forming portion 3a. Is formed. Therefore, the glass particles 7 can be easily filled in the region of the first intermediate body 4. Thereby, the alkali metal or alkaline earth metal can be efficiently diffused and added from the glass fine particles 7 to the core forming portion 3a, and the diffusion of the alkali metal or alkaline earth metal into the outer layer portion 2a can be suppressed. It is possible to suppress a decrease in mechanical strength of the drawn optical fiber 1.

（実施形態２）
つぎに、本発明の実施形態２について説明する。本実施形態２においても、図１に示す光ファイバ１又は図７に示す光ファイバ母材１０を目的物として製造する。 (Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. Also in the second embodiment, the optical fiber 1 shown in FIG. 1 or the optical fiber preform 10 shown in FIG. 7 is manufactured as an object.

つぎに、本発明の実施形態２に係る光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法について説明する。本実施形態２に係る製造方法では、製造する目的物に応じて、図２に示すステップＳ１０１〜Ｓ１１１の各工程が適宜行われるが、ステップＳ１０１の準備工程で準備される第１中間体及びステップＳ１０２の微粒子充填工程で作製される第２中間体が、上述した実施形態１と異なる。 Next, a method for manufacturing an optical fiber and a method for manufacturing an optical fiber preform according to Embodiment 2 of the present invention will be described. In the manufacturing method according to the second embodiment, each step of steps S101 to S111 shown in FIG. 2 is appropriately performed according to the target object to be manufactured, but the first intermediate and the step prepared in the preparation step of step S101. The second intermediate produced in the step of filling fine particles in S102 is different from that of the first embodiment described above.

図９は、本発明の実施形態２に係る製造方法の準備工程及び微粒子充填工程を説明する模式図である。本実施形態２における準備工程では、図９に示すように、コア形成部３ａとクラッド形成部３ｂとによって構成され、このクラッド形成部３ｂ中に空隙部２４ａを有する第１中間体１１を準備する。 FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a preparation step and a fine particle filling step of the manufacturing method according to the second embodiment of the present invention. In the preparation step of the second embodiment, as shown in FIG. 9, a first intermediate body 11 including a core forming portion 3a and a clad forming portion 3b and having a void portion 24a in the clad forming portion 3b is prepared. ..

詳細には、この準備工程において、まず、コア形成部３ａとクラッド形成部３ｂとによって構成される光ファイバ母材を、第１中間体１１の元となる材料として準備する。この準備した光ファイバ母材状の第１中間体１１において、コア形成部３ａは、光ファイバ１のコア部１ａになるガラス部分であり、コア部１ａの屈折率となるようにゲルマニアが添加された石英ガラスからなる。クラッド形成部３ｂは、光ファイバ１のクラッド部１ｂの一部になるガラス部分であり、クラッド部１ｂの屈折率となるように純石英ガラスからなる。クラッド形成部３ｂは、コア形成部３ａの外周にわたって隣接するように形成される。このクラッド形成部３ｂの外径は、コア形成部３ａの直径の所望倍である。このような光ファイバ母材状の第１中間体１１は、ＶＡＤ法により製造されたものであるが、ＯＶＤ法やＭＣＶＤ法等により製造されたものでもよい。 Specifically, in this preparation step, first, an optical fiber preform composed of the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b is prepared as a material that is a base of the first intermediate body 11. In the prepared first intermediate body 11 in the form of the optical fiber preform, the core forming portion 3a is a glass portion that becomes the core portion 1a of the optical fiber 1, and germania is added so as to have the refractive index of the core portion 1a. Made of quartz glass. The clad forming portion 3b is a glass portion which becomes a part of the clad portion 1b of the optical fiber 1, and is made of pure silica glass so as to have the refractive index of the clad portion 1b. The clad forming portion 3b is formed so as to be adjacent to the outer periphery of the core forming portion 3a. The outer diameter of the clad forming portion 3b is a desired multiple of the diameter of the core forming portion 3a. Although the first intermediate body 11 in the form of the optical fiber preform is manufactured by the VAD method, it may be manufactured by the OVD method or the MCVD method.

続いて、光ファイバ母材状の第１中間体１１の上下端を径方向に切断して所定長さ（例えば２ｍ）のものとし、ドリルを用いて、一端の切断面からコア形成部３ａの長手方向に延在する所定長さの穴（例えば長さが１ｍの貫通穴を両端から穿孔してなる長さ２ｍの貫通穴）をクラッド形成部３ｂに設ける。これにより、光ファイバ母材状の第１中間体１１の外層部１１ａとコア形成部３ａとの間に、コア形成部３ａの長手方向に延在する空隙部２４ａが形成される。このようにして、本実施形態２における準備工程では、コア形成部３ａと、１つまたは複数の空隙部２４ａを設けたクラッド形成部３ｂとからなる第１中間体１１が準備される。本実施形態２では、図９に示すように、第１中間体１１のクラッド形成部３ｂには、コア形成部３ａを囲むように４つの空隙部２４ａが形成されている。また、空隙部２４ａは、その内表面をドライエッチングして表面洗浄処理を行った後に片端を加熱封止したものとなっている。例えば図９に示すように、空隙部２４ａは、第１中間体１１の下端部１１ｃをヒーター（図示せず）で加熱封止することにより、第１中間体１１の上端部１１ｂ側のみが開口した状態となっている。特に、空隙部２４ａは、この準備工程において、第１中間体１１の外層部１１ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬとの間の中間位置よりもコア形成部３ａに近い領域に形成されることが好ましい。 Subsequently, the upper and lower ends of the optical fiber preform-shaped first intermediate body 11 are radially cut to have a predetermined length (for example, 2 m), and a drill is used to cut the core forming portion 3a from the cut surface at one end. A hole having a predetermined length extending in the longitudinal direction (for example, a through hole having a length of 1 m and a through hole having a length of 2 m formed by punching from both ends) is provided in the cladding forming portion 3b. As a result, a void portion 24a extending in the longitudinal direction of the core forming portion 3a is formed between the outer layer portion 11a of the optical fiber preform-shaped first intermediate body 11 and the core forming portion 3a. In this way, in the preparation step of the second embodiment, the first intermediate body 11 including the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b provided with one or more voids 24a is prepared. In the second embodiment, as shown in FIG. 9, four void portions 24a are formed in the cladding forming portion 3b of the first intermediate body 11 so as to surround the core forming portion 3a. The void portion 24a is formed by dry-etching the inner surface of the void portion 24a to perform a surface cleaning treatment and then heat-sealing one end thereof. For example, as shown in FIG. 9, the void 24a is opened only on the upper end 11b side of the first intermediate body 11 by heating and sealing the lower end 11c of the first intermediate body 11 with a heater (not shown). It is in the state of having done. In particular, the void portion 24a is formed in the region closer to the core forming portion 3a than the intermediate position between the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11 and the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a in this preparation step. Preferably.

上述した準備工程が完了した後、図２に示すように、ステップＳ１０２の微粒子充填工程が行われる。本実施形態２における微粒子充填工程では、図９に示すように、第１中間体１１の空隙部２４ａにガラス微粒子７を投入し、充填する。本実施形態２では、例えば、ガラス微粒子７として、平均粒子径が１２０μｍの高純度石英ガラスからなる石英ガラス微粒子と、高純度の炭酸カリウム塩（Ｋ２ＣＯ３）との混合物を準備した。 After the preparation process described above is completed, as shown in FIG. 2, the fine particle filling process of step S102 is performed. In the fine particle filling step in the second embodiment, as shown in FIG. 9, the glass fine particles 7 are charged and filled in the voids 24a of the first intermediate body 11. In the second embodiment, for example, as the glass particles 7, a mixture of silica glass particles made of high-purity silica glass having an average particle diameter of 120 μm and high-purity potassium carbonate (K 2 CO 3 ) was prepared.

本実施形態２では、この微粒子充填工程のようにガラス微粒子７を第１中間体１１の空隙部２４ａに充填して、空隙部２４ａ内にガラス微粒子７の充填体を有する第２中間体２８を作製する。得られた第２中間体２８は、本実施形態２における光ファイバ１又は光ファイバ母材１０の製造に材料として用いられる。 In the second embodiment, the glass particles 7 are filled in the voids 24a of the first intermediate 11 as in the step of filling particles, and the second intermediate 28 having the filler of the glass particles 7 in the voids 24a is formed. Create. The obtained second intermediate body 28 is used as a material for manufacturing the optical fiber 1 or the optical fiber preform 10 according to the second embodiment.

図１０は、本発明の実施形態２に係る製造方法の微粒子充填工程を行って形成される第２中間体の一例を示す図である。図１０には、図９に示す第２中間体２８のＢ−Ｂ線断面の模式図が図示されている。本実施形態２における第２中間体２８は、図１０に示すように、コア形成部３ａと、空隙部２４ａが設けられたクラッド形成部３ｂと、空隙部２４ａ内のガラス微粒子７の充填体とによって構成される。ここで、空隙部２４ａは、上述した準備工程により、図９に示した第１中間体１１の外層部１１ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬとの間の中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａに近い領域に、コア形成部３ａを囲むように形成されている。すなわち、このような空隙部２４ａ内のガラス微粒子７の充填体は、図１０に示すように、第２中間体２８の外層部１１ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬとの間の中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａに近い領域に、コア形成部３ａを囲むように存在している。 FIG. 10: is a figure which shows an example of the 2nd intermediate body formed by performing the fine particle filling process of the manufacturing method which concerns on Embodiment 2 of this invention. FIG. 10 shows a schematic diagram of a cross section taken along the line BB of the second intermediate body 28 shown in FIG. 9. As shown in FIG. 10, the second intermediate body 28 according to the second embodiment includes a core forming portion 3a, a clad forming portion 3b provided with a void portion 24a, and a filler of glass fine particles 7 in the void portion 24a. Composed by. Here, the void portion 24a forms the core more than the intermediate position Pc between the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11 and the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a shown in FIG. The core forming portion 3a is formed in a region near the portion 3a. That is, as shown in FIG. 10, the filling body of the glass fine particles 7 in the void portion 24a is an intermediate portion between the outer layer portion 11a of the second intermediate body 28 and the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a. It exists so as to surround the core forming portion 3a in a region closer to the core forming portion 3a than the position Pc.

その後、第２中間体２８から作製するものが光ファイバである場合、上述した実施形態１の第２中間体８を本実施形態２の第２中間体２８に置き換えてステップＳ１０５の線引工程が行われる。すなわち、このステップＳ１０５の線引工程では、第２中間体２８におけるガラス微粒子７が充填された空隙部２４ａ内を減圧しながら、第２中間体２８を加熱処理し、これにより、第２中間体２８のコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂを溶融するとともにガラス微粒子７の充填体を稠密化して、少なくともコア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする。 After that, when the one manufactured from the second intermediate body 28 is an optical fiber, the second intermediate body 8 of the first embodiment described above is replaced with the second intermediate body 28 of the second embodiment, and the drawing step of step S105 is performed. Done. That is, in the drawing step of step S105, the second intermediate body 28 is heat-treated while depressurizing the voids 24a filled with the glass fine particles 7 in the second intermediate body 28, whereby the second intermediate body is heated. The core forming portion 3a and the clad forming portion 3b of 28 are melted and the filling body of the glass fine particles 7 is densified, and an optical fiber in which at least a core portion is added with an alkali metal or an alkaline earth metal is drawn.

この際、ガラス微粒子７に含まれる石英ガラス微粒子が緻密化焼結して透明なガラスとなる。これと同時に、ガラス微粒子７に含まれるアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の金属成分（アルカリ金属又はアルカリ土類金属）が、コア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、クラッド形成部３ｂと一体化して光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたクラッド部１ｂとなる。コア形成部３ａは、光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたコア部１ａとなる。このようにして、本実施形態２におけるステップＳ１０５の線引工程で光ファイバ１が製造され、製造された光ファイバ１を目的物として得て本工程を終了する。 At this time, the quartz glass particles contained in the glass particles 7 are densified and sintered to become transparent glass. At the same time, the metal component (alkali metal or alkaline earth metal) of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound contained in the glass fine particles 7 diffuses into the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b. As a result, the transparent glass becomes the clad portion 1b in which the alkali metal or the alkaline earth metal in the optical fiber 1 is added integrally with the clad forming portion 3b. The core forming portion 3a becomes the core portion 1a to which the alkali metal or the alkaline earth metal in the optical fiber 1 is added. In this way, the optical fiber 1 is manufactured in the drawing step of step S105 in the second embodiment, and the manufactured optical fiber 1 is obtained as the object, and this step is ended.

ここで、本実施形態２におけるステップＳ１０５の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．１７７ｄＢ／ｋｍという低い値であった。また、波長が１３１０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．３１２ｄＢ／ｋｍという良好な特性であった。 Here, the optical fiber 1 having a cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S105 in the second embodiment, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1550 nm was a low value of 0.177 dB/km on average. Further, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1310 nm was a good characteristic of 0.312 dB/km on average.

一方、第２中間体２８から光ファイバ母材１０を経て光ファイバ１を製造する場合、上述した実施形態１の第２中間体８を本実施形態２の第２中間体２８に置き換えて、ステップＳ１０７の焼結工程及びステップＳ１０９の線引工程が行われる。 On the other hand, when manufacturing the optical fiber 1 from the second intermediate body 28 through the optical fiber preform 10, the second intermediate body 8 of the first embodiment described above is replaced with the second intermediate body 28 of the second embodiment, and steps are performed. The sintering step of S107 and the drawing step of S109 are performed.

すなわち、本実施形態２におけるステップＳ１０７の焼結工程では、第２中間体２８におけるガラス微粒子７が充填された空隙部２４ａ内を減圧しながら、第２中間体２８を加熱処理し、これにより、第２中間体２８のコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂを溶融するとともにガラス微粒子７の充填体を稠密化して、ガラス微粒子７の充填体に含まれるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材１０を作製する。 That is, in the sintering step of step S107 in the second embodiment, the second intermediate body 28 is heat-treated while depressurizing the void portion 24a filled with the glass fine particles 7 in the second intermediate body 28. The core forming part 3a and the clad forming part 3b of the second intermediate body 28 were melted and the filling body of the glass fine particles 7 was densified, and the alkali metal or alkaline earth metal contained in the filling body of the glass fine particles 7 was added. The optical fiber preform 10 is manufactured.

この際、ガラス微粒子７に含まれる石英ガラス微粒子が緻密化焼結して透明なガラスとなる。これと同時に、ガラス微粒子７に含まれるアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の金属成分（アルカリ金属又はアルカリ土類金属）が、コア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、クラッド形成部３ｂと一体化して、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なクラッド形成部となる。コア形成部３ａは、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なコア形成部となる。このようにして、これらのコア形成部及びクラッド形成部（特にコア形成部の外周近傍の部分）にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明な光ファイバ母材１０（図７参照）が作製される。 At this time, the quartz glass particles contained in the glass particles 7 are densified and sintered to become transparent glass. At the same time, the metal component (alkali metal or alkaline earth metal) of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound contained in the glass fine particles 7 diffuses into the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b. As a result, the transparent glass is integrated with the clad forming part 3b to form a transparent clad forming part to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added. The core forming part 3a becomes a transparent core forming part to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added. In this way, the transparent optical fiber preform 10 (see FIG. 7) in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the core forming portion and the clad forming portion (particularly the portion in the vicinity of the outer periphery of the core forming portion) is obtained. Created.

その後、本実施形態２におけるステップＳ１０９の線引工程では、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材１０を加熱処理によって溶融し、これにより、少なくともコア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする。このようにして、本実施形態２におけるステップＳ１０９の線引工程で光ファイバ１が製造され、製造された光ファイバ１を目的物として得て本工程を終了する。 After that, in the drawing step of step S109 in the second embodiment, the optical fiber preform 10 to which the alkali metal or the alkaline earth metal is added is melted by the heat treatment, so that at least the core portion has the alkali metal or the alkaline earth metal. An optical fiber doped with a metal is drawn. In this way, the optical fiber 1 is manufactured in the drawing step of step S109 in the second embodiment, and the manufactured optical fiber 1 is obtained as the object, and this step is completed.

ここで、本実施形態２におけるステップＳ１０９の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、本実施形態２におけるステップＳ１０５の線引工程で製造された光ファイバ１と同様に、伝送損失は低い値であった。 Here, the optical fiber 1 having a cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S109 in the second embodiment, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, similarly to the optical fiber 1 manufactured in the drawing step of step S105 in the second embodiment, the transmission loss has a low value.

他方、目的とする製造物（目的物）が光ファイバ母材である場合、上述した実施形態１の第２中間体８を本実施形態２の第２中間体２８に置き換えて、ステップＳ１０７の焼結工程が行われる。これによって製造された光ファイバ母材１０を目的物として得て、本工程が終了する。 On the other hand, when the target product (target) is the optical fiber preform, the second intermediate body 8 of the first embodiment described above is replaced with the second intermediate body 28 of the second embodiment, and the baking in step S107 is performed. A binding process is performed. The optical fiber preform 10 thus manufactured is obtained as a target, and the present process is completed.

本発明の実施形態２に係る製造方法では、光ファイバ１のコア部１ａになるコア形成部３ａと第１中間体１１の外層部１１ａとの間に、コア形成部３ａの長手方向に延在する穴を設けることによって空隙部２４ａを形成し、形成した空隙部２４ａに、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子とを混合してなるガラス微粒子７を充填して、コア形成部３ａを囲むようにガラス微粒子７の充填体を備える第２中間体２８を作製し、この第２中間体２８を用いて光ファイバ製造工程又は焼結工程を行うことにより、光ファイバ１又は光ファイバ母材１０を製造している。 In the manufacturing method according to the second embodiment of the present invention, between the core forming portion 3a that becomes the core portion 1a of the optical fiber 1 and the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11, the core forming portion 3a extends in the longitudinal direction. A hole 24a is formed by providing a hole for forming a core, and the formed hole 24a is filled with glass fine particles 7 formed by mixing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound and quartz glass fine particles to form a core forming portion. The second intermediate body 28 including the filler of the glass fine particles 7 is formed so as to surround 3a, and the optical fiber manufacturing process or the sintering process is performed by using the second intermediate body 28 to obtain the optical fiber 1 or the optical fiber. The base material 10 is manufactured.

このため、光ファイバ製造工程又は焼結工程での第２中間体２８の加熱処理により、ガラス微粒子７の充填体からコア形成部３ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく拡散させて添加することができる。このようにコア形成部３ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された状態の第２中間体２８又は光ファイバ母材１０を用いて線引工程を行うことにより、光ファイバ１のコア部１ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく添加することができる。これにより、上述した実施形態１の場合と同様に、コア部１ａの石英系ガラスの誘電率を安定化することができ、この結果、光ファイバ１中でのレーリー散乱の発生を抑制して、光ファイバ１の伝送損失を低減することができる。 Therefore, by heating the second intermediate 28 in the optical fiber manufacturing process or the sintering process, the alkali metal or alkaline earth metal is efficiently diffused and added from the filler of the glass fine particles 7 to the core forming portion 3a. be able to. In this way, by performing the drawing step using the second intermediate body 28 or the optical fiber preform 10 in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the core forming portion 3a, the core portion 1a of the optical fiber 1 is obtained. Alkali metal or alkaline earth metal can be efficiently added to. As a result, similarly to the case of Embodiment 1 described above, the dielectric constant of the silica-based glass of the core portion 1a can be stabilized, and as a result, generation of Rayleigh scattering in the optical fiber 1 can be suppressed, The transmission loss of the optical fiber 1 can be reduced.

また、第１中間体１１の外層部１１ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬとの間の中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａに近い領域に空隙部２４ａを形成している。このため、第１中間体１１の当該領域にガラス微粒子７を容易に充填することができる。これにより、ガラス微粒子７からコア形成部３ａにアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく拡散させて添加できるとともに、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が外層部１１ａに拡散することを抑制でき、この結果、線引された光ファイバ１の機械強度の低下を抑制することができる。 Further, the void portion 24a is formed in a region closer to the core forming portion 3a than the intermediate position Pc between the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11 and the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a. Therefore, it is possible to easily fill the region of the first intermediate 11 with the glass fine particles 7. Thereby, the alkali metal or alkaline earth metal can be efficiently diffused and added from the glass fine particles 7 to the core forming portion 3a, and the diffusion of the alkali metal or alkaline earth metal into the outer layer portion 11a can be suppressed. It is possible to suppress a decrease in mechanical strength of the drawn optical fiber 1.

（比較例）
つぎに、本発明に対する比較例について説明する。本比較例では、図９に示した実施形態２に係る製造方法の準備工程と同様に第１中間体１１を準備し、微粒子充填工程において、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子７の代わりに、アルカリ金属化合物及びアルカリ土類金属化合物を含まない高純度の石英ガラス微粒子を第１中間体１１の空隙部２４ａに充填した。その他の工程は実施形態２の場合と同様にして、本発明の光ファイバ１に対する比較サンプルを製造した。そして、得られた比較サンプルの光ファイバで光を伝送した場合の伝送損失を確認した。 (Comparative example)
Next, a comparative example with respect to the present invention will be described. In this comparative example, the first intermediate 11 is prepared in the same manner as the preparing step of the manufacturing method according to the second embodiment shown in FIG. 9, and the glass containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound is prepared in the fine particle filling step. Instead of the fine particles 7, high-purity silica glass fine particles containing no alkali metal compound and no alkaline earth metal compound were filled in the voids 24 a of the first intermediate body 11. Other steps were the same as in the case of the second embodiment, and a comparative sample for the optical fiber 1 of the present invention was manufactured. Then, the transmission loss when light was transmitted through the optical fiber of the obtained comparative sample was confirmed.

この結果、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の比較サンプルの光ファイバの伝送損失は、平均で０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。また、波長が１３１０ｎｍの光を伝送した場合の比較サンプルの光ファイバの伝送損失は、平均で０．３３０ｄＢ／ｋｍであった。この結果から、アルカリ金属化合物及びアルカリ土類金属化合物を含まない石英ガラス微粒子を第１中間体１１の空隙部２４ａに充填した場合は、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子７を第１中間体１１の空隙部２４ａに充填した場合に比べて、製造される光ファイバの伝送損失が高くなることを確認することができた。 As a result, the transmission loss of the optical fiber of the comparative sample when transmitting light with a wavelength of 1550 nm was 0.185 dB/km on average. In addition, the transmission loss of the optical fiber of the comparative sample when transmitting light having a wavelength of 1310 nm was 0.330 dB/km on average. From these results, when the silica glass fine particles not containing the alkali metal compound and the alkaline earth metal compound are filled in the voids 24a of the first intermediate body 11, the glass fine particles 7 containing the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound 7 It was confirmed that the transmission loss of the manufactured optical fiber was higher than that in the case where the voids 24a of the first intermediate 11 were filled with.

（実施形態３）
つぎに、本発明の実施形態３について説明する。本実施形態３においても、図１に示す光ファイバ１又は図７に示す光ファイバ母材１０を目的物として製造する。 (Embodiment 3)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. Also in the third embodiment, the optical fiber 1 shown in FIG. 1 or the optical fiber preform 10 shown in FIG. 7 is manufactured as an object.

つぎに、本発明の実施形態３に係る光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法について説明する。本実施形態３に係る製造方法では、製造する目的物に応じて、図２に示すステップＳ１０１〜Ｓ１１１の各工程が適宜行われるが、ステップＳ１０２の微粒子充填工程で第１中間体の空隙部に充填されるガラス微粒子が、上述した実施形態１、２と異なる。本実施形態３に係る製造方法は、充填するガラス微粒子が異なること以外、上述した実施形態２と同様である。 Next, an optical fiber manufacturing method and an optical fiber preform manufacturing method according to Embodiment 3 of the present invention will be described. In the manufacturing method according to the third embodiment, each step of steps S101 to S111 shown in FIG. 2 is appropriately performed according to the target object to be manufactured. However, in the fine particle filling step of step S102, the void portion of the first intermediate body is formed. The glass particles to be filled are different from those in the first and second embodiments described above. The manufacturing method according to the third embodiment is the same as the above-described second embodiment except that the glass particles to be filled are different.

図１１は、本発明の実施形態３に係る製造方法の微粒子充填工程を説明する模式図である。本実施形態３における微粒子充填工程では、図１１に示すように、第１中間体１１の空隙部２４ａに、上述した実施形態２のガラス微粒子７に代えてガラス微粒子３７を投入し、充填する。 FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a fine particle filling step of the manufacturing method according to the third embodiment of the present invention. In the fine particle filling step in the third embodiment, as shown in FIG. 11, the glass fine particles 37 are charged and filled in the void portion 24a of the first intermediate body 11 instead of the glass fine particles 7 of the second embodiment described above.

ガラス微粒子３７は、昇華した状態のアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子の表面に付着させたものである。図１２は、本発明の実施形態３に係る製造方法の微粒子充填工程で充填するガラス微粒子の作製を説明する模式図である。本実施形態３におけるガラス微粒子３７を作製する際、図１２に示すように、まず、石英ガラス製のガラス容器１２０内に石英ガラス微粒子３１を投入し、加熱容器１２１内にアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の金属粒子３２を投入する。 The glass fine particles 37 are obtained by adhering a sublimated alkali metal compound or alkaline earth metal compound to the surface of the quartz glass fine particles. FIG. 12 is a schematic diagram illustrating the production of glass fine particles to be filled in the fine particle filling step of the manufacturing method according to the third embodiment of the present invention. When producing the glass fine particles 37 in the third embodiment, as shown in FIG. 12, first, the quartz glass fine particles 31 are put into the glass container 120 made of quartz glass, and the alkali metal compound or alkaline earth is put into the heating container 121. Metal particles 32 of a metal compound are added.

石英ガラス微粒子３１は、例えば、屈折率調整用のドーパントを添加していない高純度の石英ガラスからなる微粒子である。この石英ガラス微粒子３１の平均粒子径は、３０μｍ〜５００μｍであることが好ましい。本実施形態３では、石英ガラス微粒子３１の平均粒子径は、一例として１２０μｍとした。金属粒子３２は、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物からなる粒子である。金属粒子３２を構成するアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物としては、例えば、Ｋ２ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、Ｒｂ２ＣＯ３、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＲｂＮＯ３、またはＲｂＣｌ等が挙げられる。本実施形態３では、金属粒子３２は、一例として高純度のＫＣｌの粒子（粉末）とした。 The quartz glass fine particles 31 are, for example, fine particles made of high-purity quartz glass to which a dopant for adjusting the refractive index is not added. The average particle diameter of the quartz glass particles 31 is preferably 30 μm to 500 μm. In the third embodiment, the average particle diameter of the silica glass fine particles 31 is 120 μm as an example. The metal particles 32 are particles made of an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound. Examples of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound forming the metal particles 32 include K 2 CO 3 , Li 2 CO 3 , Na 2 CO 3 , Rb 2 CO 3 , Cs 2 CO 3 , CaCO 3 , and SrCO 3. , BaCO 3 , KNO 3 , KCl, NaCl, RbNO 3 , or RbCl. In the third embodiment, the metal particles 32 are, for example, high-purity KCl particles (powder).

一方、図１２に示すように、ガラス容器１２０及び加熱容器１２１は、通気管１２２を介して互いに連通している。また、ガラス容器１２０には、ガス排気管１２４が設けられている。加熱容器１２１には、ガス導入管１２３が設けられている。ヒータ１２５は、加熱容器１２１の下部に配置されており、この加熱容器１２１内の金属粒子３２を加熱処理できるように構成されている。 On the other hand, as shown in FIG. 12, the glass container 120 and the heating container 121 communicate with each other via a ventilation pipe 122. A gas exhaust pipe 124 is provided in the glass container 120. The heating container 121 is provided with a gas introduction pipe 123. The heater 125 is arranged in the lower part of the heating container 121, and is configured so that the metal particles 32 in the heating container 121 can be heat-treated.

続いて、加熱容器１２１内に投入した金属粒子３２をヒータ１２５によって加熱処理し、これにより、金属粒子３２を昇華させてアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の昇華ガス３２ａを発生させる。この昇華ガス３２ａは、図１２に示すように、ガス導入管１２３から加熱容器１２１内に導入されたキャリアガスによって、加熱容器１２１から通気管１２２を通じてガラス容器１２０内に導入される。導入された昇華ガス３２ａは、ガラス容器１２０内の石英ガラス微粒子３１と接触しながら流れる。これにより、石英ガラス微粒子３１の表面に、昇華した状態のアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物（以下、昇華金属という）を付着（吸着）させる。なお、石英ガラス微粒子３１と十分に接触した後の昇華ガス３２ａは、ガラス容器１２０からガス排気管１２４を通じて排気される。 Subsequently, the metal particles 32 charged in the heating container 121 are heat-treated by the heater 125, whereby the metal particles 32 are sublimated to generate a sublimation gas 32a of an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound. As shown in FIG. 12, the sublimation gas 32a is introduced into the glass container 120 from the heating container 121 through the ventilation pipe 122 by the carrier gas introduced from the gas introduction pipe 123 into the heating container 121. The introduced sublimation gas 32a flows while contacting the silica glass fine particles 31 in the glass container 120. As a result, a sublimated alkali metal compound or alkaline earth metal compound (hereinafter referred to as a sublimation metal) is attached (adsorbed) to the surface of the silica glass fine particles 31. The sublimation gas 32a that has sufficiently contacted with the silica glass fine particles 31 is exhausted from the glass container 120 through the gas exhaust pipe 124.

このようにして、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の昇華金属を表面に付着させた石英ガラス微粒子３１からなるガラス微粒子３７が作製される。本実施形態３では、ガラス微粒子３７の一例として、平均粒子径が１２０μｍの石英ガラス微粒子３１の表面に昇華した状態のＫＣｌ（昇華ＫＣｌ）を付着させたものを作製した。このように作製されたガラス微粒子３７は、ガラス容器１２０から取り出され、図１１に示すように、第１中間体１１の空隙部２４ａに充填される。この結果、空隙部２４ａ内にガラス微粒子３７の充填体を有する第２中間体３８が作製される。得られた第２中間体３８は、本実施形態３における光ファイバ１又は光ファイバ母材１０の製造に材料として用いられる。 In this way, the glass fine particles 37 made of the quartz glass fine particles 31 having the sublimation metal of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound attached to the surface thereof are produced. In the third embodiment, as an example of the glass fine particles 37, one in which sublimated KCl (sublimated KCl) is attached to the surface of the silica glass fine particles 31 having an average particle diameter of 120 μm is manufactured. The glass fine particles 37 thus produced are taken out of the glass container 120 and filled in the voids 24a of the first intermediate body 11 as shown in FIG. As a result, the second intermediate body 38 having the filling body of the glass fine particles 37 in the void portion 24a is produced. The obtained second intermediate body 38 is used as a material for manufacturing the optical fiber 1 or the optical fiber preform 10 according to the third embodiment.

すなわち、第２中間体３８から作製するものが光ファイバである場合、上述した実施形態２の第２中間体２８を本実施形態３の第２中間体３８に置き換えてステップＳ１０５の線引工程が行われる。この際、ガラス微粒子３７を構成する石英ガラス微粒子３１が実施形態２の場合と同様に緻密化焼結して透明なガラスになるとともに、石英ガラス微粒子３１の表面に付着していた昇華金属（アルカリ金属又はアルカリ土類金属）がコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、クラッド形成部３ｂと一体化して光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたクラッド部１ｂとなる。コア形成部３ａは、光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたコア部１ａとなる。このようにして、本実施形態３におけるステップＳ１０５の線引工程で光ファイバ１が製造され、製造された光ファイバ１を目的物として得て本工程を終了する。 That is, when the optical fiber is produced from the second intermediate body 38, the second intermediate body 28 of the second embodiment described above is replaced with the second intermediate body 38 of the third embodiment, and the drawing step of step S105 is performed. Done. At this time, the quartz glass fine particles 31 constituting the glass fine particles 37 are densified and sintered into transparent glass as in the case of the second embodiment, and the sublimation metal (alkaline) attached to the surface of the quartz glass fine particles 31 is removed. Metal or alkaline earth metal) diffuses into the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b. As a result, the transparent glass becomes the clad portion 1b in which the alkali metal or the alkaline earth metal in the optical fiber 1 is added integrally with the clad forming portion 3b. The core forming portion 3a becomes the core portion 1a to which the alkali metal or the alkaline earth metal in the optical fiber 1 is added. In this way, the optical fiber 1 is manufactured in the drawing process of step S105 in the third embodiment, and the manufactured optical fiber 1 is obtained as the object, and this process is completed.

ここで、本実施形態３におけるステップＳ１０５の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．１７５ｄＢ／ｋｍという低い値であった。また、波長が１３１０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．３１０ｄＢ／ｋｍという低い値であった。 Here, the optical fiber 1 having a cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S105 in the third embodiment, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1550 nm was a low value of 0.175 dB/km on average. Further, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1310 nm was a low value of 0.310 dB/km on average.

一方、第２中間体３８から光ファイバ母材１０を経て光ファイバ１を製造する場合、上述した実施形態２の第２中間体２８を本実施形態３の第２中間体３８に置き換えて、ステップＳ１０７の焼結工程及びステップＳ１０９の線引工程が行われる。 On the other hand, when manufacturing the optical fiber 1 from the second intermediate body 38 through the optical fiber preform 10, the second intermediate body 28 of the second embodiment described above is replaced with the second intermediate body 38 of the third embodiment, and the step is performed. The sintering step of S107 and the drawing step of S109 are performed.

この際、ガラス微粒子３７を構成する石英ガラス微粒子３１が実施形態２の場合と同様に緻密化焼結して透明なガラスになるとともに、石英ガラス微粒子３１の表面に付着していた昇華金属（アルカリ金属又はアルカリ土類金属）がコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、クラッド形成部３ｂと一体化して、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なクラッド形成部となる。コア形成部３ａは、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なコア形成部となる。このようにして、これらのコア形成部及びクラッド形成部（特にコア形成部の外周近傍の部分）にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明な光ファイバ母材１０（図７参照）が作製される。 At this time, the quartz glass fine particles 31 constituting the glass fine particles 37 are densified and sintered into transparent glass as in the case of the second embodiment, and the sublimation metal (alkaline) attached to the surface of the quartz glass fine particles 31 is removed. Metal or alkaline earth metal) diffuses into the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b. As a result, the transparent glass is integrated with the clad forming part 3b to form a transparent clad forming part to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added. The core forming part 3a becomes a transparent core forming part to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added. In this way, the transparent optical fiber preform 10 (see FIG. 7) in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the core forming portion and the clad forming portion (particularly the portion in the vicinity of the outer periphery of the core forming portion) is obtained. It is made.

その後、本実施形態３におけるステップＳ１０９の線引工程では、上述した実施形態２の場合と同様に、光ファイバ母材１０を用いて光ファイバ１が製造され、製造された光ファイバ１を目的物として得て本工程を終了する。 After that, in the drawing step of step S109 in the third embodiment, the optical fiber 1 is manufactured using the optical fiber preform 10 as in the case of the above-described second embodiment, and the manufactured optical fiber 1 is the object. Then, this step is completed.

ここで、本実施形態３におけるステップＳ１０９の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、本実施形態３におけるステップＳ１０５の線引工程で製造された光ファイバ１と同様に、良好な伝送損失であった。 Here, the optical fiber 1 having a cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S109 in the third embodiment, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, as with the optical fiber 1 manufactured in the drawing step of step S105 in the third embodiment, the transmission loss was good.

他方、目的とする製造物（目的物）が光ファイバ母材である場合、上述した実施形態２の第２中間体２８を本実施形態３の第２中間体３８に置き換えて、ステップＳ１０７の焼結工程が行われる。これによって製造された光ファイバ母材１０を目的物として得て、本工程が終了する。 On the other hand, when the intended product (object) is the optical fiber preform, the second intermediate body 28 of the second embodiment described above is replaced with the second intermediate body 38 of the third embodiment, and the baking in step S107 is performed. A binding process is performed. The optical fiber preform 10 thus manufactured is obtained as a target, and the present process is completed.

本発明の実施形態３に係る製造方法では、石英ガラス微粒子３１の表面にアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物の昇華金属を付着させてガラス微粒子３７を作製し、得られたガラス微粒子３７をコア形成部３ａと第１中間体１１の外層部１１ａとの間の空隙部２４ａに充填するようにし、その他を実施形態２と同様にした。このため、上述した実施形態２と同様の作用効果を享受するとともに、ガラスパイプの内表面又はガラスロッドの外層部に向けてアルカリ金属又はアルカリ土類金属を付着させて拡散させる従来の手法に比べ、アルカリ金属又はアルカリ土類金属を付着させるガラス表面の面積を増大させることができる。これにより、コア形成部３ａ及びコア部１ａに添加するアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく増量することができる。この結果、アルカリ金属又はアルカリ土類金属がコア部１ａに添加された光ファイバ１を容易に製造することができ、また、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたコア形成部３ａを備える光ファイバ母材１０を効率よく製造することができる。 In the manufacturing method according to the third embodiment of the present invention, a sublimation metal of an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound is adhered to the surface of the quartz glass fine particles 31 to produce glass fine particles 37, and the obtained glass fine particles 37 are used as cores. The void portion 24a between the forming portion 3a and the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11 is filled, and the others are the same as those in the second embodiment. For this reason, while enjoying the same effects as those of the second embodiment described above, compared to the conventional method in which the alkali metal or alkaline earth metal is adhered and diffused toward the inner surface of the glass pipe or the outer layer portion of the glass rod. The area of the glass surface to which the alkali metal or alkaline earth metal is attached can be increased. This makes it possible to efficiently increase the amount of alkali metal or alkaline earth metal added to the core forming portion 3a and the core portion 1a. As a result, the optical fiber 1 in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the core portion 1a can be easily manufactured, and the optical fiber 1 including the core forming portion 3a in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added can be manufactured. The fiber preform 10 can be efficiently manufactured.

（実施形態４）
つぎに、本発明の実施形態４について説明する。本実施形態４においても、図１に示す光ファイバ１又は図７に示す光ファイバ母材１０を目的物として製造する。 (Embodiment 4)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. Also in the fourth embodiment, the optical fiber 1 shown in FIG. 1 or the optical fiber preform 10 shown in FIG. 7 is manufactured as an object.

つぎに、本発明の実施形態４に係る光ファイバの製造方法及び光ファイバ母材の製造方法について説明する。本実施形態４に係る製造方法では、製造する目的物に応じて、図２に示すステップＳ１０１〜Ｓ１１１の各工程が適宜行われるが、ステップＳ１０２の微粒子充填工程で第１中間体の空隙部に充填されるガラス微粒子が、上述した実施形態１〜３と異なる。本実施形態４に係る製造方法は、充填するガラス微粒子が異なること以外、上述した実施形態２と同様である。 Next, an optical fiber manufacturing method and an optical fiber preform manufacturing method according to Embodiment 4 of the present invention will be described. In the manufacturing method according to the fourth embodiment, each step of steps S101 to S111 shown in FIG. 2 is appropriately performed according to the target object to be manufactured, but in the fine particle filling step of step S102, the void portion of the first intermediate body is formed. The glass particles to be filled are different from those in the first to third embodiments described above. The manufacturing method according to the fourth embodiment is the same as the above-described second embodiment except that the glass particles to be filled are different.

図１３は、本発明の実施形態４に係る製造方法の微粒子充填工程を説明する模式図である。本実施形態４における微粒子充填工程では、図１３に示すように、第１中間体１１の空隙部２４ａに、上述した実施形態２のガラス微粒子７に代えてガラス微粒子４７を投入し、充填する。 FIG. 13 is a schematic diagram for explaining the fine particle filling step of the manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention. In the fine particle filling step in the fourth embodiment, as shown in FIG. 13, the glass particles 47 are charged and filled in the voids 24a of the first intermediate body 11 instead of the glass particles 7 of the second embodiment described above.

ガラス微粒子４７は、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有する溶液に石英ガラス微粒子を浸漬させて、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子の表面に付着させたものである。図１４は、本発明の実施形態４に係る製造方法の微粒子充填工程で充填するガラス微粒子の作製を説明する模式図である。図１４において、ガラス容器１３０は、石英ガラス製の容器であり、上部流通管１３１と下部流通管１３２とを備えている。下部流通管１３２には、下部流通管１３２を開放または閉塞するための開閉弁１３３が設けられている。 The glass fine particles 47 are obtained by immersing the quartz glass fine particles in a solution containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound to adhere the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound to the surface of the quartz glass fine particles. FIG. 14 is a schematic diagram illustrating production of glass fine particles to be filled in the fine particle filling step of the manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention. In FIG. 14, the glass container 130 is a container made of quartz glass, and includes an upper flow pipe 131 and a lower flow pipe 132. The lower flow pipe 132 is provided with an opening/closing valve 133 for opening or closing the lower flow pipe 132.

本実施形態４におけるガラス微粒子４７を作製する際、図１４に示すように、まず、開閉弁１３３を閉じた状態にして、ガラス容器１３０内に石英ガラス微粒子３１を投入する。本実施形態４では、石英ガラス微粒子３１の平均粒子径は、一例として１２０μｍとした。続いて、上部流通管１３１からガラス容器１３０内に、金属溶液４２を充填する。金属溶液４２は、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有する溶液であり、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を純水等の溶媒に溶かすことによって準備される。金属溶液４２に含まれるアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物としては、例えば、Ｋ２ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、Ｒｂ２ＣＯ３、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＲｂＮＯ３、またはＲｂＣｌ等が挙げられる。本実施形態４では、金属溶液４２は、一例として炭酸カリウム（Ｋ２ＣＯ３）水溶液とした。 When producing the glass particles 47 in the fourth embodiment, as shown in FIG. 14, first, the opening/closing valve 133 is closed, and the quartz glass particles 31 are put into the glass container 130. In the fourth embodiment, the average particle diameter of the silica glass fine particles 31 is 120 μm as an example. Then, the metal solution 42 is filled into the glass container 130 from the upper flow pipe 131. The metal solution 42 is a solution containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound, and is prepared by dissolving the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound in a solvent such as pure water. Examples of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound contained in the metal solution 42 include K 2 CO 3 , Li 2 CO 3 , Na 2 CO 3 , Rb 2 CO 3 , Cs 2 CO 3 , CaCO 3 , and SrCO 3. , BaCO 3 , KNO 3 , KCl, NaCl, RbNO 3 , or RbCl. In the fourth embodiment, the metal solution 42 is an aqueous potassium carbonate (K 2 CO 3 ) solution as an example.

ガラス容器１３０内においては、石英ガラス微粒子３１を金属溶液４２中に浸漬させ、これにより、金属溶液４２に含まれるアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子３１の表面に充分含浸させる。その後、開閉弁１３３を開いた状態にして、ガラス容器１３０から下部流通管１３２を通じて金属溶液４２を排出する。このようにして、石英ガラス微粒子３１の表面にアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含浸によって付着させてなるガラス微粒子４７が作製される。つぎに、図１４に示すように、下部流通管１３２からガラス容器１３０内に窒素ガス等の乾燥ガス４３を導入し、この乾燥ガス４３により、ガラス容器１３０内のガラス微粒子４７を充分に乾燥させる。なお、ガラス微粒子４７を乾燥させた後の乾燥ガス４３は、ガラス容器１３０から上部流通管１３１を通じて排気される。このようにして、乾燥した状態のガラス微粒子４７が得られる。 In the glass container 130, the quartz glass fine particles 31 are dipped in the metal solution 42, whereby the surface of the quartz glass fine particles 31 is sufficiently impregnated with the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound contained in the metal solution 42. After that, the opening/closing valve 133 is opened and the metal solution 42 is discharged from the glass container 130 through the lower flow pipe 132. In this manner, glass fine particles 47 are produced by impregnating the surface of the quartz glass fine particles 31 with the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound. Next, as shown in FIG. 14, a dry gas 43 such as nitrogen gas is introduced into the glass container 130 from the lower flow pipe 132, and the glass fine particles 47 in the glass container 130 are sufficiently dried by the dry gas 43. .. The dry gas 43 after drying the glass particles 47 is exhausted from the glass container 130 through the upper flow pipe 131. In this way, the glass fine particles 47 in a dried state are obtained.

本実施形態４では、ガラス微粒子４７の一例として、平均粒子径が１２０μｍの石英ガラス微粒子３１の表面に含浸によって炭酸カリウム（Ｋ２ＣＯ３）を付着させたものを作製した。このように作製されたガラス微粒子４７は、ガラス容器１３０から取り出され、図１３に示すように、第１中間体１１の空隙部２４ａに充填される。この結果、空隙部２４ａ内にガラス微粒子４７の充填体を有する第２中間体４８が作製される。得られた第２中間体４８は、本実施形態４における光ファイバ１又は光ファイバ母材１０の製造に材料として用いられる。 In the fourth embodiment, as an example of the glass fine particles 47, one in which potassium carbonate (K 2 CO 3 ) is attached by impregnation to the surface of the silica glass fine particles 31 having an average particle diameter of 120 μm is manufactured. The glass fine particles 47 thus produced are taken out of the glass container 130 and filled in the voids 24a of the first intermediate body 11 as shown in FIG. As a result, the second intermediate body 48 having the filling body of the glass fine particles 47 in the void portion 24a is produced. The obtained second intermediate body 48 is used as a material for manufacturing the optical fiber 1 or the optical fiber preform 10 according to the fourth embodiment.

すなわち、第２中間体４８から作製するものが光ファイバである場合、上述した実施形態２の第２中間体２８を本実施形態４の第２中間体４８に置き換えてステップＳ１０５の線引工程が行われる。この際、ガラス微粒子４７を構成する石英ガラス微粒子３１が実施形態２の場合と同様に緻密化焼結して透明なガラスになるとともに、石英ガラス微粒子３１の表面に付着していたアルカリ金属又はアルカリ土類金属がコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、クラッド形成部３ｂと一体化して光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたクラッド部１ｂとなる。コア形成部３ａは、光ファイバ１におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたコア部１ａとなる。このようにして、本実施形態４におけるステップＳ１０５の線引工程で光ファイバ１が製造され、製造された光ファイバ１を目的物として得て本工程を終了する。 That is, when the optical fiber is produced from the second intermediate body 48, the second intermediate body 28 of the second embodiment described above is replaced with the second intermediate body 48 of the fourth embodiment, and the drawing step of step S105 is performed. Done. At this time, the quartz glass fine particles 31 constituting the glass fine particles 47 are densified and sintered into transparent glass as in the case of the second embodiment, and the alkali metal or alkali adhered to the surface of the quartz glass fine particles 31 is used. The earth metal diffuses into the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b. As a result, the transparent glass becomes the clad portion 1b in which the alkali metal or the alkaline earth metal in the optical fiber 1 is added integrally with the clad forming portion 3b. The core forming portion 3a becomes the core portion 1a to which the alkali metal or the alkaline earth metal in the optical fiber 1 is added. In this way, the optical fiber 1 is manufactured in the drawing process of step S105 in the fourth embodiment, and the manufactured optical fiber 1 is obtained as the object, and this process is completed.

ここで、本実施形態４におけるステップＳ１０５の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．１７７ｄＢ／ｋｍという低い値であった。また、波長が１３１０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失は、平均で０．３１３ｄＢ／ｋｍという低い値であった。 Here, the optical fiber 1 having the cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S105 in the fourth embodiment, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1550 nm was a low value of 0.177 dB/km on average. In addition, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1310 nm was a low value of 0.313 dB/km on average.

一方、第２中間体４８から光ファイバ母材１０を経て光ファイバ１を製造する場合、上述した実施形態２の第２中間体２８を本実施形態４の第２中間体４８に置き換えて、ステップＳ１０７の焼結工程及びステップＳ１０９の線引工程が行われる。 On the other hand, when manufacturing the optical fiber 1 from the second intermediate body 48 through the optical fiber preform 10, the second intermediate body 28 of the second embodiment described above is replaced with the second intermediate body 48 of the fourth embodiment, and steps are performed. The sintering step of S107 and the drawing step of S109 are performed.

この際、ガラス微粒子４７を構成する石英ガラス微粒子３１が実施形態２の場合と同様に緻密化焼結して透明なガラスになるとともに、石英ガラス微粒子３１の表面に付着していたアルカリ金属又はアルカリ土類金属がコア形成部３ａ及びクラッド形成部３ｂに拡散する。この結果、上記透明ガラスは、クラッド形成部３ｂと一体化して、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なクラッド形成部となる。コア形成部３ａは、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明なコア形成部となる。このようにして、これらのコア形成部及びクラッド形成部（特にコア形成部の外周近傍の部分）にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された透明な光ファイバ母材１０（図７参照）が作製される。 At this time, the quartz glass fine particles 31 constituting the glass fine particles 47 are densified and sintered into transparent glass as in the case of the second embodiment, and the alkali metal or alkali adhered to the surface of the quartz glass fine particles 31 is used. The earth metal diffuses into the core forming portion 3a and the clad forming portion 3b. As a result, the transparent glass is integrated with the clad forming part 3b to form a transparent clad forming part to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added. The core forming part 3a becomes a transparent core forming part to which an alkali metal or an alkaline earth metal is added. In this way, the transparent optical fiber preform 10 (see FIG. 7) in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the core forming portion and the clad forming portion (particularly the portion in the vicinity of the outer periphery of the core forming portion) is obtained. It is made.

その後、本実施形態４におけるステップＳ１０９の線引工程では、上述した実施形態２の場合と同様に、光ファイバ母材１０を用いて光ファイバ１が製造され、製造された光ファイバ１を目的物として得て本工程を終了する。 After that, in the drawing step of step S109 in the fourth embodiment, the optical fiber 1 is manufactured using the optical fiber preform 10 as in the case of the above-described second embodiment, and the manufactured optical fiber 1 is the object. Then, this step is completed.

ここで、本実施形態４におけるステップＳ１０９の線引工程により、クラッド外径が１２５μｍの光ファイバ１を製造し、得られた光ファイバ１で光を伝送した場合の伝送損失を確認した。この結果、本実施形態４におけるステップＳ１０５の線引工程で製造された光ファイバ１と同様に、良好な伝送損失であった。 Here, the optical fiber 1 having a cladding outer diameter of 125 μm was manufactured by the drawing step of step S109 in the fourth embodiment, and the transmission loss when light was transmitted by the obtained optical fiber 1 was confirmed. As a result, as with the optical fiber 1 manufactured in the drawing process of step S105 in the fourth embodiment, the transmission loss was good.

他方、目的とする製造物（目的物）が光ファイバ母材である場合、上述した実施形態２の第２中間体２８を本実施形態４の第２中間体４８に置き換えて、ステップＳ１０７の焼結工程が行われる。これによって製造された光ファイバ母材１０を目的物として得て、本工程が終了する。 On the other hand, when the intended product (object) is the optical fiber preform, the second intermediate body 28 of the second embodiment described above is replaced with the second intermediate body 48 of the fourth embodiment, and the baking in step S107 is performed. A binding process is performed. The optical fiber preform 10 thus manufactured is obtained as a target, and the present process is completed.

本発明の実施形態４に係る製造方法では、石英ガラス微粒子３１の表面にアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含浸によって付着させてガラス微粒子４７を作製し、得られたガラス微粒子４７をコア形成部３ａと第１中間体１１の外層部１１ａとの間の空隙部２４ａに充填するようにし、その他を実施形態２と同様にした。このため、上述した実施形態２と同様の作用効果を享受するとともに、ガラスパイプの内表面又はガラスロッドの外層部に向けてアルカリ金属又はアルカリ土類金属を付着させて拡散させる従来の手法に比べ、アルカリ金属又はアルカリ土類金属を付着させるガラス表面の面積を増大させることができる。これにより、コア形成部３ａ及びコア部１ａに添加するアルカリ金属又はアルカリ土類金属を効率よく増量することができる。この結果、アルカリ金属又はアルカリ土類金属がコア部１ａに添加された光ファイバ１を容易に製造することができ、また、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加されたコア形成部３ａを備える光ファイバ母材１０を効率よく製造することができる。 In the manufacturing method according to Embodiment 4 of the present invention, an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound is impregnated onto the surface of the quartz glass fine particles 31 to make glass fine particles 47, and the obtained glass fine particles 47 are formed into a core. The gap 24a between the portion 3a and the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11 is filled, and the others are the same as those in the second embodiment. For this reason, while enjoying the same effects as those of the second embodiment described above, compared to the conventional method in which the alkali metal or alkaline earth metal is adhered and diffused toward the inner surface of the glass pipe or the outer layer portion of the glass rod. The area of the glass surface to which the alkali metal or alkaline earth metal is attached can be increased. This makes it possible to efficiently increase the amount of alkali metal or alkaline earth metal added to the core forming portion 3a and the core portion 1a. As a result, the optical fiber 1 in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the core portion 1a can be easily manufactured, and the optical fiber 1 including the core forming portion 3a in which the alkali metal or the alkaline earth metal is added can be manufactured. The fiber preform 10 can be efficiently manufactured.

（ガラス微粒子を充填する空隙部の位置に関する実験）
つぎに、本発明に係る製造方法の準備工程で準備される第１中間体における空隙部の位置に関する実験について説明する。本実験では、上述した実施形態２に係る製造方法の準備工程で準備される第１中間体１１を例示し、第１中間体１１に形成される空隙部２４ａの位置を種々に変更してステップＳ１０１の準備工程を行った。その後、上述した光ファイバ製造工程を行って、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子７が充填される空隙部２４ａの位置（以下、穴位置という）別に光ファイバ１のサンプル＃１〜＃４を製造した。 (Experiments on the position of voids filled with glass particles)
Next, an experiment regarding the position of the void portion in the first intermediate body prepared in the preparation step of the manufacturing method according to the present invention will be described. In the present experiment, the first intermediate body 11 prepared in the preparation step of the manufacturing method according to the second embodiment described above is illustrated, and the position of the void portion 24a formed in the first intermediate body 11 is variously changed and the step is performed. The preparation step of S101 was performed. After that, the above-described optical fiber manufacturing process is performed, and the sample # of the optical fiber 1 is sampled at each position (hereinafter referred to as a hole position) of the void 24a filled with the glass fine particles 7 containing the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound. 1 to #4 were manufactured.

図１５は、本実験での第１中間体における空隙部の位置を説明する図である。図１５に示すように、本実験では、第１中間体１１の外径（クラッド形成部３ｂの外径）を７０ｍｍとし、第１中間体１１の外層部１１ａとコア形成部３ａとの間のクラッド形成部３ｂ中に４つの空隙部２４ａをサンプル別に穴位置を変更して形成した。図１５において、穴位置Ｐ１は、コア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬを中心にして直径が２８ｍｍとなる円周上に空隙部２４ａを形成した場合の穴位置である。穴位置Ｐ２は、コア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬを中心にして直径が３０ｍｍとなる円周上に空隙部２４ａを形成した場合の穴位置である。穴位置Ｐ３は、コア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬを中心にして直径が３５ｍｍとなる円周上に空隙部２４ａを形成した場合の穴位置である。穴位置Ｐ４は、コア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬを中心にして直径が４０ｍｍとなる円周上に空隙部２４ａを形成した場合の穴位置である。 FIG. 15: is a figure explaining the position of the void part in the 1st intermediate body in this experiment. As shown in FIG. 15, in this experiment, the outer diameter of the first intermediate body 11 (outer diameter of the clad forming portion 3b) was set to 70 mm, and the space between the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11 and the core forming portion 3a was set. Four void portions 24a were formed in the clad forming portion 3b by changing the hole position for each sample. In FIG. 15, the hole position P1 is a hole position when the void portion 24a is formed on the circumference having a diameter of 28 mm around the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a. The hole position P2 is a hole position when the void portion 24a is formed on the circumference having a diameter of 30 mm around the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a. The hole position P3 is a hole position when the void portion 24a is formed on the circumference having a diameter of 35 mm around the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a. The hole position P4 is a hole position when the void portion 24a is formed on the circumference having a diameter of 40 mm around the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a.

また、本実験において、サンプル＃１は、空隙部２４ａが穴位置Ｐ１に形成された場合の光ファイバ１のサンプルである。サンプル＃２は、空隙部２４ａが穴位置Ｐ２に形成された場合の光ファイバ１のサンプルである。サンプル＃３は、空隙部２４ａが穴位置Ｐ３に形成された場合の光ファイバ１のサンプルである。サンプル＃４は、空隙部２４ａが穴位置Ｐ４に形成された場合の光ファイバ１のサンプルである。 In addition, in this experiment, sample #1 is a sample of the optical fiber 1 when the void portion 24a is formed at the hole position P1. Sample #2 is a sample of the optical fiber 1 when the void portion 24a is formed at the hole position P2. Sample #3 is a sample of the optical fiber 1 when the void portion 24a is formed at the hole position P3. Sample #4 is a sample of the optical fiber 1 when the void 24a is formed at the hole position P4.

続いて、本実験におけるサンプル＃１〜＃４の各々について、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失の測定と、引張り歪が１．５％のプルーフテストとを行った。本実験におけるサンプル＃１〜＃４の伝送損失の測定結果及びプルーフテストの結果は、表１に示す。なお、表１において、「平均１５５０ｎｍ伝送損失」は、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失の平均値である。「平均破断率」は、サンプル＃１〜＃４を各々３００〜６００ｋｍの長さの光ファイバにしてプルーフテストを行い、その結果（サンプル＃１〜＃４の各破断回数）を１００ｋｍあたりで規格化したものである。 Subsequently, for each of the samples #1 to #4 in this experiment, the transmission loss of the optical fiber 1 in the case of transmitting the light having the wavelength of 1550 nm and the proof test with the tensile strain of 1.5% were performed. .. Table 1 shows the measurement results of the transmission loss and the proof test of Samples #1 to #4 in this experiment. In Table 1, "average 1550 nm transmission loss" is the average value of the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1550 nm. The "average breakage rate" is obtained by performing a proof test using samples #1 to #4 as optical fibers each having a length of 300 to 600 km, and standardizing the results (the number of breaks of samples #1 to #4) per 100 km. It has been transformed.

Figure 0006719505
Figure 0006719505

表１に示すように、平均１５５０ｎｍ伝送損失は、空隙部２４ａの穴位置Ｐ１〜Ｐ４によらずサンプル＃１〜＃４において良好な結果となった。中でも、穴位置Ｐ１〜Ｐ３のサンプル＃１〜＃３では、これらよりも外側の穴位置Ｐ４のサンプル＃４に比べて、平均１５５０ｎｍ伝送損失が低減された。 As shown in Table 1, the average transmission loss of 1550 nm was good in Samples #1 to #4 regardless of the hole positions P1 to P4 in the void 24a. Among them, in Samples #1 to #3 at the hole positions P1 to P3, the average transmission loss was 1550 nm reduced as compared with Sample #4 at the hole position P4 outside of these.

また、表１に示すように、光ファイバ１の平均破断率は、穴位置Ｐ１、Ｐ２のサンプル＃１、＃２において低い値であったが、これらよりも外側の穴位置Ｐ３のサンプル＃３において増大し、さらに外側の穴位置Ｐ４のサンプル＃４において著しく増大する結果となった。ここで、図１５に示すように、穴位置Ｐ１の空隙部２４ａ及び穴位置Ｐ２の空隙部２４ａの双方とも、第１中間体１１の外層部１１ａとコア形成部３ａの長手方向中心軸ＣＬとの間の中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａに近い領域に形成されたものである。これに対し、穴位置Ｐ４の空隙部２４ａは、中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａから遠い領域（すなわち外層部１１ａに近い領域）に形成されたものである。穴位置Ｐ３の空隙部２４ａは、穴位置Ｐ３が中間位置Ｐｃと同じ位置であるが、中間位置Ｐｃよりも外層部１１ａ側に存する空隙領域を含むため、本実験では「中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａから遠い領域に形成されたもの」とみなす。 Further, as shown in Table 1, the average fracture rate of the optical fiber 1 was a low value in the samples #1 and #2 at the hole positions P1 and P2, but the sample #3 at the hole position P3 on the outer side of these samples. , And the sample #4 at the outer hole position P4 remarkably increased. Here, as shown in FIG. 15, both the void portion 24a at the hole position P1 and the void portion 24a at the hole position P2 have the outer layer portion 11a of the first intermediate body 11 and the longitudinal center axis CL of the core forming portion 3a. It is formed in a region closer to the core forming portion 3a than the intermediate position Pc between. On the other hand, the void portion 24a at the hole position P4 is formed in a region farther from the core forming portion 3a than the intermediate position Pc (that is, a region closer to the outer layer portion 11a). In the void portion 24a at the hole position P3, the hole position P3 is at the same position as the intermediate position Pc, but since it includes the void region existing on the outer layer portion 11a side of the intermediate position Pc, in the present experiment, the It is assumed that it is formed in a region far from the forming portion 3a."

表１に示す平均破断率の値と上記穴位置Ｐ１〜Ｐ４の相対関係とから、空隙部２４ａが中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａに近い領域に形成された場合、空隙部２４ａ内のガラス微粒子７の充填体が中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａ側（内側）に存することとなるため、製造された光ファイバ１の機械強度が良好となることを確認できた。これに対し、空隙部２４ａが中間位置Ｐｃよりもコア形成部３ａから遠い領域に形成された場合、空隙部２４ａ内のガラス微粒子７の充填体が中間位置Ｐｃよりも外層部１１ａ側（外側）に存することとなるため、製造された光ファイバ１の機械強度が上記に比べて低下することを確認できた。 From the value of the average fracture rate shown in Table 1 and the relative relationship between the hole positions P1 to P4, when the void portion 24a is formed in a region closer to the core forming portion 3a than the intermediate position Pc, the glass in the void portion 24a Since the filled body of the fine particles 7 is located closer to the core forming portion 3a side (inner side) than the intermediate position Pc, it has been confirmed that the manufactured optical fiber 1 has good mechanical strength. On the other hand, when the void portion 24a is formed in a region farther from the core forming portion 3a than the intermediate position Pc, the filler of the glass fine particles 7 in the void portion 24a is closer to the outer layer portion 11a side (outer side) than the intermediate position Pc. Therefore, it was confirmed that the mechanical strength of the manufactured optical fiber 1 is lower than that of the above.

（ガラス微粒子の平均粒子径に関する実験）
つぎに、本発明に係る微粒子充填工程で第１中間体の空隙部に充填されるガラス微粒子の平均粒子径に関する実験について説明する。本実験では、上述した実施形態３に係る製造方法の微粒子充填工程で第１中間体１１の空隙部２４ａに充填されるガラス微粒子３７を例示し、ガラス微粒子３７の平均粒子径を種々に変更してステップＳ１０２の微粒子充填工程を行い、ガラス微粒子３７の平均粒子径別に光ファイバ１のサンプルを製造した。 (Experiment on average particle size of glass particles)
Next, an experiment relating to the average particle diameter of the glass particles filled in the voids of the first intermediate in the particle filling step according to the present invention will be described. In this experiment, the glass particles 37 filled in the voids 24a of the first intermediate body 11 in the particle filling step of the manufacturing method according to the above-described Embodiment 3 are exemplified, and the average particle diameter of the glass particles 37 is variously changed. Then, the fine particle filling step of step S102 was performed to manufacture samples of the optical fiber 1 for each average particle diameter of the glass fine particles 37.

本実験において、ガラス微粒子３７の平均粒子径を１０μｍにして製造される光ファイバ１のサンプルは、サンプル＃５とした。ガラス微粒子３７の平均粒子径を３０μｍにして製造される光ファイバ１のサンプルは、サンプル＃６とした。ガラス微粒子３７の平均粒子径を１２０μｍにして製造される光ファイバ１のサンプルは、サンプル＃７とした。ガラス微粒子３７の平均粒子径を５００μｍにして製造される光ファイバ１のサンプルは、サンプル＃８とした。ガラス微粒子３７の平均粒子径を７５０μｍにして製造される光ファイバ１のサンプルは、サンプル＃９とした。 In this experiment, the sample of the optical fiber 1 manufactured with the average particle size of the glass particles 37 being 10 μm was sample #5. The sample of the optical fiber 1 manufactured with the average particle diameter of the glass particles 37 being 30 μm was Sample #6. The sample of the optical fiber 1 manufactured by setting the average particle diameter of the glass particles 37 to 120 μm was sample #7. The sample of the optical fiber 1 manufactured by setting the average particle diameter of the glass particles 37 to 500 μm was sample #8. The sample of the optical fiber 1 manufactured by setting the average particle size of the glass particles 37 to 750 μm was sample #9.

ここで、サンプル＃５の製造では、ガラス微粒子３７の平均粒子径が過度に小さいため、ステップＳ１０２の微粒子充填工程で第１中間体１１の空隙部２４ａにガラス微粒子３７を充填する際のガラス微粒子３７の流動性が低く、それ故、空隙部２４ａにガラス微粒子３７を充填することが困難であった。したがって、本実験では、光ファイバ１のサンプル＃５を安定して製造することは困難であった。一方、サンプル＃６〜＃９の製造では、ガラス微粒子３７の流動性が良好であるため、ステップＳ１０２の微粒子充填工程で第１中間体１１の空隙部２４ａにガラス微粒子３７を容易に充填することができた。したがって、本実験では、光ファイバ１のサンプル＃６〜＃９を安定して製造することができた。 Here, in the production of sample #5, since the average particle diameter of the glass particles 37 is excessively small, the glass particles when the glass particles 37 are filled in the voids 24a of the first intermediate body 11 in the particle filling step of step S102. Since the fluidity of 37 is low, it was difficult to fill the voids 24a with the glass particles 37. Therefore, in this experiment, it was difficult to stably manufacture the sample #5 of the optical fiber 1. On the other hand, in the production of Samples #6 to #9, since the flowability of the glass particles 37 is good, it is easy to fill the voids 24a of the first intermediate body 11 with the glass particles 37 in the particle filling step of step S102. I was able to. Therefore, in this experiment, the samples #6 to #9 of the optical fiber 1 could be stably manufactured.

続いて、本実験におけるサンプル＃５〜＃９のうち安定して製造されたサンプル＃６〜＃９の各々について、波長が１５５０ｎｍの光を伝送した場合の光ファイバ１の伝送損失を測定し、その平均値（平均１５５０ｎｍ伝送損失）を得た。本実験におけるサンプル＃５〜＃９のガラス微粒子３７の流動性及び平均１５５０ｎｍ伝送損失の結果は、表２に示す。なお、平均１５５０ｎｍ伝送損失については、ガラス微粒子３７の流動性が悪いサンプル＃５を除き、ガラス微粒子３７の流動性が良好であり安定して製造されたサンプル＃６〜＃９のみの測定結果が示されている。 Subsequently, for each of the stably manufactured samples #6 to #9 among the samples #5 to #9 in the present experiment, the transmission loss of the optical fiber 1 when transmitting light having a wavelength of 1550 nm was measured, The average value (average 1550 nm transmission loss) was obtained. Table 2 shows the results of the fluidity and the average transmission loss of 1550 nm of the glass particles 37 of Samples #5 to #9 in this experiment. Regarding the average transmission loss of 1550 nm, the measurement results of only the samples #6 to #9, which were produced with good fluidity of the glass fine particles 37 and were stably produced, except for the sample #5 in which the fluidity of the glass fine particles 37 was poor. It is shown.

Figure 0006719505
Figure 0006719505

表２に示すように、ガラス微粒子３７の平均粒子径が３０μｍ〜５００μｍの条件を満足するサンプル＃６〜＃８では、平均１５５０ｎｍ伝送損失を低減できることが確認された。これに対し、ガラス微粒子３７が上記条件を超えるサンプル＃９では、平均１５５０ｎｍ伝送損失が上記サンプル＃６〜＃８に比べて高い値となった。これは、ガラス微粒子３７の充填体全体の表面積がガラス微粒子３７の平均粒子径の増大に伴って小さくなり、この結果、ガラス微粒子３７の充填体からコア形成部３ａ等に対して充分な量のアルカリ金属又はアルカリ土類金属を添加することが困難になるためと考えられる。 As shown in Table 2, it was confirmed that in samples #6 to #8 in which the average particle diameter of the glass fine particles 37 satisfies the condition of 30 μm to 500 μm, the average transmission loss of 1550 nm can be reduced. On the other hand, in sample #9 in which the glass fine particles 37 exceeded the above conditions, the average transmission loss at 1550 nm was a higher value than in samples #6 to #8. This is because the surface area of the whole filling body of the glass fine particles 37 becomes smaller as the average particle diameter of the glass fine particles 37 increases, and as a result, a sufficient amount of the filling body of the glass fine particles 37 to the core forming portion 3a and the like is obtained. It is considered that it is difficult to add an alkali metal or an alkaline earth metal.

また、実施形態３、４でアルカリ金属又はアルカリ土類金属を石英ガラス微粒子３１に添加する際、石英ガラス微粒子３１の平均粒子径が小さい場合には、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が過剰添加された石英ガラス微粒子３１、すなわち、過剰添加状態のガラス微粒子を得る事ができる。そうした場合は、この過剰添加状態のガラス微粒子を、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が未添加の石英ガラス微粒子３１と混合する事も有効である。また、この過剰添加状態のガラス微粒子を再加熱して、このガラス微粒子表面のアルカリ金属又はアルカリ土類金属化合物を昇華等で減量して、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の添加量を制御する事も可能である。 Further, when the alkali metal or the alkaline earth metal is added to the silica glass fine particles 31 in Embodiments 3 and 4, if the average particle diameter of the silica glass fine particles 31 is small, the alkali metal or the alkaline earth metal is excessively added. It is possible to obtain fine quartz glass particles 31, that is, glass particles in an excessively added state. In such a case, it is also effective to mix the excessively added glass fine particles with the quartz glass fine particles 31 to which the alkali metal or the alkaline earth metal is not added. Further, by reheating the glass fine particles in the excessively added state, the alkali metal or alkaline earth metal compound on the surface of the glass fine particles is reduced by sublimation or the like to control the addition amount of the alkali metal or alkaline earth metal. Is also possible.

なお、上述した実施形態１〜４では、コア部１ａをゲルマニアが添加された石英ガラスで構成し、クラッド部１ｂを純石英ガラスで構成しているが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、コア部１ａを純石英ガラスで構成し、クラッド部１ｂを、屈折率を低下させるドーパント（例えばフッ素）が添加された石英ガラスで構成してもよい。また、コア部１ａにイットリウムやエルビウム等の希土類元素を添加した光ファイバにも適用可能である。 In addition, in the above-mentioned Embodiments 1 to 4, the core portion 1a is made of silica glass to which germania is added, and the cladding portion 1b is made of pure silica glass, but the present invention is not limited to this. is not. For example, the core portion 1a may be made of pure silica glass, and the cladding portion 1b may be made of silica glass to which a dopant (for example, fluorine) that lowers the refractive index is added. It is also applicable to an optical fiber in which a rare earth element such as yttrium or erbium is added to the core 1a.

また、上述した実施形態１〜４では、クラッド部１ｂ中に単一のコア部１ａを備える光ファイバ１（シングルコア光ファイバ）を例示したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、本発明に係る光ファイバ１は、クラッド部１ｂ中に複数のコア部１ａを備えるマルチコア光ファイバであってもよい。 Further, in the above-described first to fourth embodiments, the optical fiber 1 (single core optical fiber) including the single core portion 1a in the clad portion 1b is illustrated, but the present invention is not limited to this. .. For example, the optical fiber 1 according to the present invention may be a multi-core optical fiber including a plurality of core portions 1a in the clad portion 1b.

また、上述した実施形態２〜４では、クラッド形成部３ｂの領域中に４つの空隙部２４ａを形成していたが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、クラッド形成部３ｂの領域中には、１つの空隙部２４ａが形成されていてもよいし、２つ以上（複数）の空隙部２４ａが形成されていてもよい。また、空隙部２４ａは、上述した円柱状のものに限定されず、円筒状等、他の形状のものであってもよい。 Further, in the above-described Embodiments 2 to 4, the four voids 24a are formed in the region of the cladding forming portion 3b, but the present invention is not limited to this. For example, one void 24a may be formed in the region of the clad forming portion 3b, or two or more (plural) voids 24a may be formed. Further, the void portion 24a is not limited to the cylindrical shape described above, and may have another shape such as a cylindrical shape.

また、上述した実施形態４では、石英ガラス微粒子の表面にアルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含浸によって付着させるための金属溶液４２として、炭酸カリウム塩を純水に溶解してなる炭酸カリウム水溶液を例示したが、本発明は、これに限定されるものではない。本発明において、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物は、炭酸カリウム塩以外のもの（例えば塩化カリウム塩）であってもよいし、金属溶液４２の溶媒は、純水以外（例えばギ酸又はホルムアルデヒド等）であってもよい。すなわち、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物と溶媒との組み合わせは、溶解性等を考慮して適宜選択することができる。 In Embodiment 4 described above, the potassium carbonate aqueous solution obtained by dissolving potassium carbonate salt in pure water is used as the metal solution 42 for adhering the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound to the surface of the quartz glass fine particles by impregnation. However, the present invention is not limited to this. In the present invention, the alkali metal compound or alkaline earth metal compound may be one other than potassium carbonate (eg potassium chloride salt), and the solvent of the metal solution 42 is other than pure water (eg formic acid or formaldehyde). ). That is, the combination of the alkali metal compound or alkaline earth metal compound and the solvent can be appropriately selected in consideration of solubility and the like.

また、上述した実施形態により本発明が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。例えば、実施形態１における第１中間体４のガラスパイプ２とコアロッド３との間の空隙部４ａには、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子との混合物であるガラス微粒子７の代わりに、アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子の表面に付着させてなるガラス微粒子（実施形態３におけるガラス微粒子３７又は実施形態４におけるガラス微粒子４７）を充填してもよい。その他、上述した実施形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれる。 Moreover, the present invention is not limited to the above-described embodiments. The present invention also includes those configured by appropriately combining the above-described components. For example, in the void portion 4a between the glass pipe 2 and the core rod 3 of the first intermediate body 4 in the first embodiment, the glass fine particles 7 which are a mixture of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound and the quartz glass fine particles are formed. Instead, glass particles (glass particles 37 in the third embodiment or glass particles 47 in the fourth embodiment) obtained by adhering an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound to the surface of the quartz glass particles may be filled. In addition, other embodiments, examples, operation techniques, and the like made by those skilled in the art based on the above-described embodiments are all included in the scope of the present invention.

１ 光ファイバ
１ａ コア部
１ｂ クラッド部
２ ガラスパイプ
２ａ 外層部
２ｂ 上端部
２ｃ 下端部
３ コアロッド
３ａ コア形成部
３ｂ クラッド形成部
４ 第１中間体
４ａ、２４ａ 空隙部
５、６ 位置決め部材
６ａ 嵌合穴
６ｂ 通気孔
７、３７、４７ ガラス微粒子
８、２８、３８、４８ 第２中間体
１０ 光ファイバ母材
１１ 第１中間体
１１ａ 外層部
１１ｂ 上端部
１１ｃ 下端部
３１ 石英ガラス微粒子
３２ 金属粒子
３２ａ 昇華ガス
４２ 金属溶液
４３ 乾燥ガス
１００ 蓋
１０１、１０３ ガス排気管
１０２ 真空ポンプ
１０４ 圧力計
１０５ 光ファイバ線引炉
１０５ａ ヒータ
１０６ 被覆形成装置
１０７ キャプスタンローラ
１０８ ガイドロール
１０９ 巻取機構
１１０ 制御部
１１１ 加熱炉
１２０ ガラス容器
１２１ 加熱容器
１２２ 通気管
１２３ ガス導入管
１２４ ガス排気管
１２５ ヒータ
１３０ ガラス容器
１３１ 上部流通管
１３２ 下部流通管
１３３ 開閉弁
ＣＬ 長手方向中心軸
Ｆ１、Ｆ２ 光ファイバ
Ｐｃ 中間位置
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４ 穴位置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 optical fiber 1a core part 1b clad part 2 glass pipe 2a outer layer part 2b upper end part 2c lower end part 3 core rod 3a core forming part 3b clad forming part 4 first intermediate body 4a, 24a void part 5, 6 positioning member 6a fitting hole 6b Vent hole 7, 37, 47 Glass fine particle 8, 28, 38, 48 Second intermediate body 10 Optical fiber base material 11 First intermediate body 11a Outer layer portion 11b Upper end portion 11c Lower end portion 31 Quartz glass fine particle 32 Metal particle 32a Sublimation gas 42 metal solution 43 dry gas 100 lid 101, 103 gas exhaust pipe 102 vacuum pump 104 pressure gauge 105 optical fiber drawing furnace 105a heater 106 coating forming device 107 capstan roller 108 guide roll 109 winding mechanism 110 control unit 111 heating furnace 120 Glass container 121 Heating container 122 Vent pipe 123 Gas introduction pipe 124 Gas exhaust pipe 125 Heater 130 Glass container 131 Upper distribution pipe 132 Lower distribution pipe 133 Open/close valve CL Longitudinal center axis F1, F2 Optical fiber Pc Intermediate position P1, P2, P3 , P4 hole position

Claims (20)

コア部と前記コア部の外周に形成されたクラッド部とを備える光ファイバの製造方法であって、
ガラスからなり前記コア部になるコア形成部と、前記コア部よりも屈折率が低いガラスからなり前記クラッド部の一部になるクラッド形成部とによって構成され、外層部と前記コア形成部との間に前記コア形成部の長手方向に延在する空隙部を有する第１中間体を準備する準備工程と、
アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子を前記第１中間体の前記空隙部に充填して第２中間体を作製する微粒子充填工程と、
前記第２中間体を用いて、少なくとも前記コア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを製造する光ファイバ製造工程と、
を含むことを特徴とする光ファイバの製造方法。 A method of manufacturing an optical fiber comprising a core part and a clad part formed on the outer periphery of the core part,
A core forming portion that is made of glass and serves as the core portion, and a clad forming portion that is made of glass and has a lower refractive index than the core portion and that is a part of the clad portion, and includes an outer layer portion and the core forming portion. A preparatory step of preparing a first intermediate body having a void portion extending in the longitudinal direction of the core forming portion therebetween;
A fine particle filling step in which glass fine particles containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound are filled in the voids of the first intermediate to produce a second intermediate;
An optical fiber manufacturing step of manufacturing an optical fiber in which an alkali metal or an alkaline earth metal is added to at least the core portion using the second intermediate;
A method for manufacturing an optical fiber, comprising: 前記準備工程は、前記コア形成部と前記コア形成部の外周にわたって隣接するガラス部分とを備えるコアロッドをガラスパイプの内部に配置して、前記ガラスパイプの外層部と前記コアロッドとの間に前記空隙部を形成するとともに、前記ガラスパイプと前記コアロッドの前記ガラス部分とによって前記クラッド形成部を構成することを特徴とする請求項１に記載の光ファイバの製造方法。 In the preparing step, a core rod including the core forming portion and a glass portion adjacent to the outer periphery of the core forming portion is arranged inside a glass pipe, and the gap is formed between the outer layer portion of the glass pipe and the core rod. The method for producing an optical fiber according to claim 1, wherein the clad forming portion is constituted by the glass pipe and the glass portion of the core rod while forming a portion. 前記準備工程は、前記コア形成部の長手方向に延在する穴を前記第１中間体の前記クラッド形成部に設けて、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部との間に前記空隙部を形成することを特徴とする請求項１に記載の光ファイバの製造方法。 In the preparing step, a hole extending in the longitudinal direction of the core forming portion is provided in the clad forming portion of the first intermediate body, and the hole is formed between the outer layer portion of the first intermediate body and the core forming portion. The method of manufacturing an optical fiber according to claim 1, wherein a void is formed. 前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子との混合物であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 The method for producing an optical fiber according to claim 1, wherein the glass fine particles are a mixture of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound and quartz glass fine particles. 前記ガラス微粒子は、昇華した状態の前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 4. The glass fine particles are obtained by adhering the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound in a sublimated state to the surface of quartz glass fine particles. Optical fiber manufacturing method. 前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を含有する溶液に石英ガラス微粒子を浸漬させて、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を前記石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 The glass fine particles are obtained by immersing the quartz glass fine particles in a solution containing the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound to adhere the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound to the surface of the quartz glass fine particles. The optical fiber manufacturing method according to claim 1, wherein 前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物は、Ｋ２ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、Ｒｂ２ＣＯ３、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＲｂＮＯ３、またはＲｂＣｌであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 Wherein the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound, K 2 CO 3, Li 2 CO 3, Na 2 CO 3, Rb 2 CO 3, Cs 2 CO 3, CaCO 3, SrCO 3, BaCO 3, KNO 3, KCl, NaCl, RbNO 3 or the method of manufacturing an optical fiber according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the RbCl,. 前記準備工程は、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部の長手方向中心軸との間の中間位置よりも前記コア形成部に近い領域に前記空隙部を形成することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 The preparatory step is characterized in that the void portion is formed in a region closer to the core forming portion than an intermediate position between an outer layer portion of the first intermediate body and a longitudinal center axis of the core forming portion. The method for manufacturing an optical fiber according to claim 1. 前記微粒子充填工程は、平均粒子径が３０μｍ〜５００μｍの前記ガラス微粒子を充填することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 9. The method of manufacturing an optical fiber according to claim 1, wherein the fine particle filling step is performed by filling the glass fine particles having an average particle diameter of 30 μm to 500 μm. 前記光ファイバ製造工程は、
前記ガラス微粒子が充填された前記空隙部内を減圧しながら前記第２中間体を加熱処理して、前記コア形成部及び前記クラッド形成部を溶融するとともに前記ガラス微粒子の充填体を稠密化し、少なくとも前記コア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする線引工程を含むことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 The optical fiber manufacturing process,
The second intermediate is heat-treated while decompressing the voids filled with the glass fine particles to melt the core forming portion and the clad forming portion and to densify the glass fine particle filled body, and at least the above. The method for producing an optical fiber according to claim 1, further comprising a drawing step of drawing an optical fiber in which an alkali metal or an alkaline earth metal is added to the core portion. 前記光ファイバ製造工程は、
前記ガラス微粒子が充填された前記空隙部内を減圧しながら前記第２中間体を加熱処理して、前記コア形成部及び前記クラッド形成部を溶融するとともに前記ガラス微粒子の充填体を稠密化し、前記ガラス微粒子の充填体に含まれるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材を作製する焼結工程と、
アルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された前記光ファイバ母材を加熱処理によって溶融して、少なくとも前記コア部にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバを線引きする線引工程と、
を含むことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の光ファイバの製造方法。 The optical fiber manufacturing process,
The second intermediate is heat-treated while decompressing the voids filled with the glass fine particles to melt the core forming portion and the clad forming portion and to densify the glass fine particle filling body, A sintering step for producing an optical fiber preform to which an alkali metal or an alkaline earth metal contained in a fine particle filler is added,
Melting the optical fiber preform to which the alkali metal or alkaline earth metal is added by heat treatment, and a drawing step of drawing an optical fiber to which at least the alkali metal or alkaline earth metal is added to the core portion,
The optical fiber manufacturing method according to claim 1, further comprising: コア部と前記コア部の外周に形成されたクラッド部とを備える光ファイバを製造するための光ファイバ母材の製造方法であって、
ガラスからなり前記コア部になるコア形成部と、前記コア部よりも屈折率が低いガラスからなり前記クラッド部の一部になるクラッド形成部とによって構成され、外層部と前記コア形成部との間に前記コア形成部の長手方向に延在する空隙部を有する第１中間体を準備する準備工程と、
アルカリ金属化合物又はアルカリ土類金属化合物を含有するガラス微粒子を前記第１中間体の前記空隙部に充填して第２中間体を作製する微粒子充填工程と、
前記ガラス微粒子が充填された前記空隙部内を減圧しながら前記第２中間体を加熱処理して、前記コア形成部及び前記クラッド形成部を溶融するとともに前記ガラス微粒子の充填体を稠密化し、前記ガラス微粒子の充填体に含まれるアルカリ金属又はアルカリ土類金属が添加された光ファイバ母材を作製する焼結工程と、
を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 A method of manufacturing an optical fiber preform for manufacturing an optical fiber comprising a core part and a clad part formed on the outer periphery of the core part,
A core forming portion that is made of glass and serves as the core portion, and a clad forming portion that is made of glass and has a lower refractive index than the core portion and that is a part of the clad portion, and includes an outer layer portion and the core forming portion. A preparatory step of preparing a first intermediate body having a void portion extending in the longitudinal direction of the core forming portion therebetween;
A fine particle filling step in which glass fine particles containing an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound are filled in the voids of the first intermediate to produce a second intermediate;
The second intermediate is heat-treated while decompressing the voids filled with the glass fine particles to melt the core forming portion and the clad forming portion and to densify the glass fine particle filling body, A sintering step for producing an optical fiber preform to which an alkali metal or an alkaline earth metal contained in a fine particle filler is added,
A method for manufacturing an optical fiber preform, comprising: 前記準備工程は、前記コア形成部と前記コア形成部の外周にわたって隣接するガラス部分とを備えるコアロッドをガラスパイプの内部に配置して、前記ガラスパイプの外層部と前記コアロッドとの間に前記空隙部を形成するとともに、前記ガラスパイプと前記コアロッドの前記ガラス部分とによって前記クラッド形成部を構成することを特徴とする請求項１２に記載の光ファイバ母材の製造方法。 In the preparing step, a core rod including the core forming portion and a glass portion adjacent to the outer periphery of the core forming portion is arranged inside a glass pipe, and the gap is formed between the outer layer portion of the glass pipe and the core rod. 13. The method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 12, wherein the clad forming portion is constituted by the glass pipe and the glass portion of the core rod while forming a portion. 前記準備工程は、前記コア形成部の長手方向に延在する穴を前記第１中間体の前記クラッド形成部に設けて、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部との間に前記空隙部を形成することを特徴とする請求項１２に記載の光ファイバ母材の製造方法。 In the preparing step, a hole extending in the longitudinal direction of the core forming portion is provided in the clad forming portion of the first intermediate body, and the hole is formed between the outer layer portion of the first intermediate body and the core forming portion. The method for producing an optical fiber preform according to claim 12, wherein a void is formed. 前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物と石英ガラス微粒子との混合物であることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一つに記載の光ファイバ母材の製造方法。 The method for producing an optical fiber preform according to any one of claims 12 to 14, wherein the glass fine particles are a mixture of the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound and quartz glass fine particles. .. 前記ガラス微粒子は、昇華した状態の前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一つに記載の光ファイバ母材の製造方法。 15. The glass fine particles are obtained by adhering the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound in a sublimated state to the surface of quartz glass fine particles. Manufacturing method of optical fiber preform. 前記ガラス微粒子は、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を含有する溶液に石英ガラス微粒子を浸漬させて、前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物を前記石英ガラス微粒子の表面に付着させたものであることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一つに記載の光ファイバ母材の製造方法。 The glass fine particles are obtained by immersing the quartz glass fine particles in a solution containing the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound to adhere the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound to the surface of the quartz glass fine particles. The method for producing an optical fiber preform according to any one of claims 12 to 14, characterized in that 前記アルカリ金属化合物又は前記アルカリ土類金属化合物は、Ｋ２ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、Ｒｂ２ＣＯ３、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＲｂＮＯ３、またはＲｂＣｌであることを特徴とする請求項１２〜１７のいずれか一つに記載の光ファイバ母材の製造方法。 Wherein the alkali metal compound or the alkaline earth metal compound, K 2 CO 3, Li 2 CO 3, Na 2 CO 3, Rb 2 CO 3, Cs 2 CO 3, CaCO 3, SrCO 3, BaCO 3, KNO 3, The method for producing an optical fiber preform according to claim 12, wherein the optical fiber preform is KCl, NaCl, RbNO 3 , or RbCl. 前記準備工程は、前記第１中間体の外層部と前記コア形成部の長手方向中心軸との間の中間位置よりも前記コア形成部に近い領域に前記空隙部を形成することを特徴とする請求項１２〜１８のいずれか一つに記載の光ファイバ母材の製造方法。 The preparatory step is characterized in that the void portion is formed in a region closer to the core forming portion than an intermediate position between an outer layer portion of the first intermediate body and a longitudinal center axis of the core forming portion. The method for manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 12 to 18. 前記微粒子充填工程は、平均粒子径が３０μｍ〜５００μｍの前記ガラス微粒子を充填することを特徴とする請求項１２〜１９のいずれか一つに記載の光ファイバ母材の製造方法。 20. The method for producing an optical fiber preform according to claim 12, wherein the fine particle filling step is performed by filling the glass fine particles having an average particle diameter of 30 μm to 500 μm.
JP2018118284A 2018-06-21 2018-06-21 Optical fiber manufacturing method and optical fiber preform manufacturing method Active JP6719505B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018118284A JP6719505B2 (en) 2018-06-21 2018-06-21 Optical fiber manufacturing method and optical fiber preform manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018118284A JP6719505B2 (en) 2018-06-21 2018-06-21 Optical fiber manufacturing method and optical fiber preform manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019218250A JP2019218250A (en) 2019-12-26
JP6719505B2 true JP6719505B2 (en) 2020-07-08

Family

ID=69095656

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018118284A Active JP6719505B2 (en) 2018-06-21 2018-06-21 Optical fiber manufacturing method and optical fiber preform manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6719505B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3034072B1 (en) * 2015-03-26 2018-08-10 Continental Automotive France VEHICLE FLYWHEEL ASSEMBLY COMPRISING LIGHT EMISSION-RECEPTION COMMUNICATION MEANS
CN113200675A (en) * 2021-04-13 2021-08-03 江苏永鼎股份有限公司 Method for doping alkali metal and optical fiber preform

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS593410B2 (en) * 1981-02-23 1984-01-24 日本電信電話株式会社 Manufacturing method of optical fiber base material
JPS6340744A (en) * 1986-08-07 1988-02-22 Fujikura Ltd Optical fiber
JPS63288926A (en) * 1987-05-20 1988-11-25 Furukawa Electric Co Ltd:The Production of doped quartz optical fiber
US8132429B2 (en) * 2004-04-27 2012-03-13 Silitec Fibers Sa Method for fabricating an optical fiber, preform for fabricating an optical fiber, optical fiber and apparatus
KR100675752B1 (en) * 2006-09-14 2007-01-30 (주) 씨엠테크 Plasma reactor
JP5503453B2 (en) * 2010-08-09 2014-05-28 古河電気工業株式会社 OPTICAL FIBER BASE MATERIAL MANUFACTURING METHOD, HOLE STRUCTURE OPTICAL FIBER MANUFACTURING METHOD, AND PRESSURE / PRESSURE CONNECTOR
JP5995923B2 (en) * 2014-08-06 2016-09-21 古河電気工業株式会社 Optical fiber preform and optical fiber manufacturing method
WO2017103114A2 (en) * 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Production of a silica glass article in a suspended sintered crucible

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019218250A (en) 2019-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0767147B1 (en) Single mode optical transmission fiber, and method of making the fiber
US4225330A (en) Process for producing glass member
US8340487B2 (en) Rare earth-doped core optical fiber and manufacturing method thereof
JP6719505B2 (en) Optical fiber manufacturing method and optical fiber preform manufacturing method
US20030221459A1 (en) Method for forming an optical waveguide fiber preform
JP2017526600A (en) Method of making optical fiber in a reducing atmosphere
JP6764346B2 (en) Optical fiber and preform forming method
JPH10190113A (en) Fiber for light amplification and its manufacture
JPS62256737A (en) Manufacture of optical fiber mother material
US9783450B2 (en) Method of producing glass preform and optical fiber
US6438999B1 (en) Decreased H2 sensitivity in optical fiber
KR20030001350A (en) Method and apparatus for fabricating optical fiber using improved oxygen stoichiometry and deuterium exposure
CN108732680A (en) Single-mode double-clad mixes dysprosium chalcogenide glass fiber and preparation method thereof
US20190292089A1 (en) Optical fiber base material manufacturing method, optical fiber base material, and optical fiber
CN111278780B (en) Method for producing halogen-doped silicon dioxide
EP3473603B1 (en) Method of making halogen doped silica
EP1270522B1 (en) Method for fabricating optical fiber from preforms, using control of the partial pressure of oxygen during preform dehydration
JP2677871B2 (en) Manufacturing method of quartz-based doped glass
JP2018043924A (en) Method for manufacturing optical fiber preform and method for manufacturing optical fiber using the same
JP2019081682A (en) Production method of optical fiber
JP2016017029A (en) Method of manufacturing base material for multi-core fiber, and method of manufacturing multi-core fiber using the same
JPS58217441A (en) Manufacture of base material for optical fiber
JPS6294B2 (en)
Saha et al. Highly Efficient Yb-doped Laser Fiber Synthesized by Vapor-phase Doping Technique
EP3704068A1 (en) Halogen-doped silica for optical fiber preforms

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191023

TRDD Decision of grant or rejection written
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200521

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200602

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200616

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6719505

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350