EP2783143A1 - Mikrofluidische membranventilvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren - Google Patents

Mikrofluidische membranventilvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren

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EP2783143A1
EP2783143A1 EP12769378.6A EP12769378A EP2783143A1 EP 2783143 A1 EP2783143 A1 EP 2783143A1 EP 12769378 A EP12769378 A EP 12769378A EP 2783143 A1 EP2783143 A1 EP 2783143A1
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EP
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microfluidic
polymer
polymer substrate
microfluidic channel
valve device
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Abstract

Die Erfindung schafft eine mikrofluidische Membranventilvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikrofluidische Membranventilvorrichtung umfasst ein erstes Polymersubstrat (1) mit einem ersten mikrofluidischen Kanal (8; 8'; 8''; 8'''; 8''''), ein zweites Polymersubstrat (3) mit einem zweiten mikrofluidischen Kanal (9; 9'; 9''; 9'''; 9''''; 9'''''), wobei eine zwischen einer ersten Innenseite (I1) des ersten Polymersubstrats (1) und einer zweiten Innenseite (I3) des zweiten Polymersubstrats (3) eine erste Polymermembran (2) angeordnet ist. Der erste mikrofluidische Kanal (8; 8'; 8''; 8'''; 8'''') und zweite mikrofluidische Kanal (9; 9'; 9''; 9'''; 9''''; 9''''') sind durch einen Bereich (D; D'; D''; D'''; D'''') der ersten Polymermembran (3) voneinander getrennt. Durch eine mit dem Bereich (D; D'; D''; D'''; D'''') der ersten Polymermembran (2) in thermischen Kontakt befindliche Heizeinrichtung (10; 10a) ist der Bereich (D; D'; D''; D'''; D'''') zumindest teilweise aufschmelzbar.

Description

Beschreibung Titel
Mikrofluidische Membranventilvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikrofluidische Membranventilvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
Stand der Technik
Zur Kontrolle mikrofluidischer Abläufe in einem Lab-on-a-Chip(LoC)-System, insbesondere in einem polymeren LoC, sind mikrofluidische Ventile zum Öffnen und Schließen von mikrofluidischen Kanälen erforderlich. Diese Ventile ermöglichen beispielsweise das kontrollierte Zusammenführen mehrerer Flüssigkeiten, das gezielte Entleeren von Reservoiren oder das Pumpen von Flüssigkeiten usw..
Neben beliebig oft schaltbaren Drehventilen und Membranventilen, wie z.B. aus der DE 10 2008 002 675 A1 und der DE 10 2008 002 336 A1 bekannt, sind auch Einmalventile bekannt, welche nur ein einziges Mal schaltbar sind. Es wurden Ausführungstypen beschrieben, welche normalerweise offen oder normalerweise geschlossen sind.
In Liu et al., Single-use, thermally actuated paraffin valves for microfluidic applications, Sensors and Actuators B: Chemical, Vol. 98, Seiten 328 bis 336, werden Einmalventile bestehend aus Paraffinwachs beschrieben. Das Paraffinwachs wird durch lokales Erhöhen der Temperatur verflüssigt und gibt dadurch einen blockierten Kanal für das Fluid frei.
In Selvaganapathy, Carlen, Mastrangelo, Electrothermally actuated inline microfluidic valve, Sensors and Actuators A 104 (2003), Seiten 275 bis 282, wird ebenfalls eine Vorrichtung beschrieben, welche Paraffinwachs verwendet, um einen ursprünglich offenen Kanal zu verschließen. Hierzu wird das Paraffinwachs oberhalb eines Kanalstücks auf solche Art und Weise angeordnet, dass der Kanal durch die thermische Ausdehnung des Paraffinwachses verschlossen wird. Die dazu benötigte thermische Energie wird über benachbarte Heizelemente zugeführt. In Li et al., A parylene MEMS electrothermal valve, Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 18, Seiten 1 184 bis 1 197, 2009, wird ein Ventil beschrieben, welches eine Parylene-Membran durch lokales Erhitzen einer Metallschicht zerstört und damit einen blockierten Kanal freigibt.
Die US 2010/0180953 A1 beschreibt ein thermisch induzierbares Halbleiter-Einmalventil, das einen Siliziumwafer mit einer Kavität aufweist, über der eine thermisch deformierbare Membran aus Siliziumnitrid aufgehängt ist. Ein Widerstandselement ist auf der Membran strukturiert, welches unter Anlegen von Spannung eine mechanische Deformation der Membran bewirken kann, um einen Durchgang zu schaffen. Zur Herstellung dieses bekannten Ventils sind Reinraumbedingungen unerlässlich.
Offenbarung der Erfindung Die Erfindung schafft eine mikrofluidische Membranventilvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein entsprechendes Herstellungsverfahren nach Anspruch 13.
Die vorliegende Erfindung ermöglicht es, mikrofluidische Kanäle in einem einmaligen Vorgang, ausgelöst durch eine elektrische Aktuierung, zu öffnen und/oder zu verschließen und damit als Ventil zu wirken. Es sind dabei sowohl normalerweise offene als auch normalerweise geschlossene Ventile auf der gleichen einfachen
Plattform realisierbar.
Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Idee besteht aus einem Schicht- aufbau mit einem ersten Polymersubstrat mit einem ersten mikrofluidischen Kanal, gedeckelt von einer flexiblen Polymermembran, welche den ersten mikrofluidischen Kanal dicht verschließt. In Kontakt mit der Polymermembran befindet sich eine
Heizeinrichtung, beispielsweise eine strukturierte Metallschicht, welche an der fluidisch blockierten Stelle eine hochohmige Struktur bildet und über elektrische An- Schlüsse mit der Außenseite verbunden ist. Dieser Schichtaufbau wird mit einem zweiten Polymersubstrat, welches einen zweiten fluidischen Kanal aufweist, derart verbunden, dass der zweite fluidische Kanal des zweiten Polymersubstrats den blockierten ersten fluidischen Kanal des ersten Polymersubstrats über den blockierten Bereich fortführt.
Durch Anlegen einer elektrischen Spannung an die nach außen geführten Anschlüsse kann gezielt der hochohmige Bereich erhitzt werden und so die Polymermembran durchschmolzen und damit die Blockade zwischen den beiden mikrofluidischen Kanälen entfernt werden, so dass diese einen einzigen freigegebenen durchgehenden fluidischen Kanal bilden. Mithilfe der Polymermembran kann in einer Weiterbildung ein Membranventil realisiert werden, bei dem ein Steuerkanal durch den erfindungsgemäßen Aufbau blockiert wird. Bei Bereitstellung eines entsprechenden Drucks ist damit ein einmaliges elektrisch ausgelöstes Schließen (Zuführen des Überdrucks) oder Öffnen (Öffnen eines Bypasses zur Druckabsenkung) des Membranventils möglich.
Durch die Erfindung ist es möglich, normalerweise offene und normalerweise geschlossene Einmalventile mit der gleichen Aufbautechnologie zu realisieren.
Die erfindungsgemäßen Ventile lassen sich vollständig mithilfe von Laserdurch- strahlschweißen und Laserstrukturierung mit wenigen Prozessschritten herstellen, wobei keine Reinraumbedingungen erforderlich sind. Die Steuerung kann komplett elektrisch erfolgen. Auf weitere externe Steuerelemente, wie z.B. Drehventile, Schrittmotoren, pneumatische Membranventile, externe Pilotventile, Wachsventile oder externe Heizelemente, wie z.B. IR- oder Laserstrahler, kann beim Gegenstand der vorliegenden Erfindung vollständig verzichtet werden. Das zum Betrieb des
LoCs notwendige Laborgerät kann dadurch entscheidend vereinfacht und verbilligt werden.
Im Gegensatz zu bei bekannten Ventilen verwendeten mechanischen, thermischen oder pneumatischen Schnittstellen vereinfacht sich die Anschlusstechnik beim Gegenstand der vorliegenden Erfindung entscheidend. Insbesondere eliminiert die vorliegende Erfindung die Notwendigkeit pneumatischer Verbindungen bzw. beschränkt sie auf nur eine einzige und ersetzt sie durch elektrische Verbindungen, welche beispielsweise durch Federkontaktstifte oder Stecker einfach und platzspa- rend realisiert werden können. Dadurch kann das Einlegen des LoCs in das Laborgerät vereinfacht und das Laborgerät kostengünstiger ausgeführt werden.
Durch den Wegfall pneumatischer Verbindungen bis ggf. auf eine einzige kann das LoC-System kleiner ausgeführt werden, wodurch sich die Herstellungskosten ver- ringern. Eine für die Heizeinrichtung beispielsweise verwendete Metallisierungsebene kann weitere Funktionen übernehmen, beispielsweise die Kontaktierung elektronischer Bauelemente, wie z.B. Biosensoren. Im Unterschied zu den komplexen Anforderungen bei der Wachsventiltechnik kann die bei der vorliegenden Erfindung verwendete Polymermembran extrem dünn ausgelegt werden, beispielsweise mit einer Dicke von nur einigen μηη, da diese fest an der Grenzfläche verankert ist, so dass nur eine sehr geringe Menge der aufgeschmolzenen Polymermembran im geöffneten Kanal weitertransportiert wird.
Damit ist es möglich, auf zusätzliche Sicherheitsvorkehrungen, wie z.B. einer
Aufweitung des Kanals in Flussrichtung, wo sich überschüssiges Wachs ablagern kann, zu verzichten.
Aufgrund des deutlich reduzierten Volumens der Polymermembran lässt sich diese schneller aufheizen und damit schneller schalten als Wachsventile.
Im erfindungsgemäßen Schichtaufbau kann die Polymermembran zusätzlich aktive Funktionen im System erfüllen, wie beispielsweise die Funktion einer
Membranpumpe.
Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand von Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert.
Es zeigen: Fig. 1 a,b schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, und zwar Fig. 1 a in horizontalem Querschnitt und Fig. 1 b in vertikalem Querschnitt entlang der Linie A-A' in Fig. 1 a; Fig. 2 eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt; eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt; eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt; eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt; schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung, und zwar Fig. 6a in horizontalem Querschnitt und Fig. 6b, c in vertikalem Querschnitt entlang der Linie A-A' in Fig. 6a; schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer siebenten Ausführungsform der Erfindung, und zwar Fig. 7a in horizontalem Querschnitt und Fig. 7b in vertikalem Querschnitt entlang der Linie A-A' in Fig. 7a; eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt; eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der Er-findung in vertikalem Querschnitt; schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer zehnten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt; und Fig. 1 1 a,b schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer elften Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt. Ausführungsformen der Erfindung
In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche beziehungsweise funktionsgleiche Bestandteile. Fig. 1 a,b sind schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, und zwar Fig. 1 a in horizontalem Querschnitt und Fig. 1 b in vertikalem Querschnitt entlang der Linie A-A' in Fig. 1 a. In Fig. 1 a, b bezeichnet Bezugszeichen 1 ein erstes Polymersubstrat, welches eine erste Innenseite 11 und eine erste Außenseite A1 sowie einen ersten mikrofluidischen Kanal 8 aufweist.
Bezugszeichen 3 bezeichnet ein zweites Polymersubstrat, welches eine zweite Innenseite 13, eine zweite Außenseite A3 und einen zweiten mikrofluidischen Kanal 9 aufweist. Zwischen dem ersten Polymersubstrat 1 und dem zweiten Polymersubstrat 3 ist an deren Innenseiten 11 , 13 eine Polymermembran 2 angeordnet. In einem Bereich D sind der erste mikrofluidische Kanal 8 und der zweite mikrofluidische Kanal 9 nur durch die
Polymermembran 3 voneinander getrennt. In der Grenzschicht zwischen der
Polymermembran 2 und einem der Polymersubstrate 1 , 3, hier dem Polymersubstrat 1 , befindet sich eine strukturierte Metallschicht, welche im Bereich D der Polymermembran 2 derart ausgelegt ist, dass dort ein hoher elektrischer Widerstand vorliegt, z.B. durch Ausbilden einer dünnen Mäanderstruktur. Der Mäanderstrukturbereich ist über Zuleitungen 7a, 7b mit elektrischen Anschlussbereichen 1 1 a, 1 1 b verbunden, sodass der Mäanderbe- reich eine elektrische Heizeinrichtung 10 im Bereich D bildet. Durch Anlegen einer geeigneten Spannung an die elektrischen Anschlussbereiche 1 1 a, 1 1 b lässt sich die Heizeinrichtung 10 in Form der Mäanderstruktur derart stark erhitzen, dass die Polymermembran 2 im Bereich D zumindest teilweise schmilzt und damit die mikrofluidischen Kanäle 8, 9 miteinander verbunden sind, um einen durchgehenden Kanal zu bilden, welcher zwischen den seitlichen Enden der Kanäle 9 und 8 verläuft. Über die angelegte Spannung bzw. den fließenden Strom lässt sich dabei entweder auch die Mäanderstruktur aufschmelzen, wodurch der gesamte Kanalquerschnitt freigegeben wird, oder es wird nur die Polymermembran 2 ganz bzw. teilweise geschmolzen und das verwendete Fluid bewegt sich durch die Zwischenräume der Heizeinrichtung 10. Je nach Anwendung ist es somit bei entsprechender Parameterauswahl möglich, dass ein Großteil der Polymerreste an der Heizeinrichtung 10 verbleibt und nicht mit dem Fluid abtransportiert wird.
Die mikrofluidischen Kanäle 8, 9 enden bei der ersten Ausführungsform an den Seitenflä- chen des ersten bzw. zweiten Polymersubstrats 1 , 3, es ist jedoch auch möglich, dass die mikrofluidischen Kanäle 8, 9 einen wesentlich komplizierteren Verlauf in den
Polymersubstraten 1 , 3 aufweisen.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt.
Bei der zweiten Ausführungsform verläuft der erste mikrofluidische Kanal 8' zu und auf der von der ersten Polymermembran 2 abgewandten ersten Außenseite A1 des ersten Polymersubstrats 1. Weiterhin verläuft der zweite mikrofluidische Kanal 9' zu und auf der von der ersten Polymermembran 2 abgewandten zweiten Außenseite A3 des zweiten Polymersubstrats. An der ersten Außenseite A1 wird der mikrofluidische Kanal 8' durch eine erste Klebefolie 5 gedeckelt, und an der zweiten Außenseite A3 wird der zweite mikrofluidische Kanal 9' durch eine zweite Klebefolie 4 gedeckelt. Anstelle der Klebefolien 4, 5 können auch zusätzliche Schichten aus Polymer zum Deckeln der mikrofluidischen Kanäle 8', 9' verwendet werden. Der Blockadebereich ist bei dieser Ausführungsform mit Bezugszeichen D' bezeichnet und ist wie der Blockadebereich D strukturiert.
Bei dieser zweiten Ausführungsform werden die Zuleitungen 7a, 7b in der Umgebung der Heizeinrichtung 10 in Form der Mäanderstruktur zusätzlich mechanisch geklemmt, was je nach verwendeter Metallisierungstechnologie vorteilhaft sein kann.
Fig. 3 ist eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung in vertika- lern Querschnitt. Bei der dritten Ausführungsform verläuft der erste mikrofluidische Kanal 8' ebenso wie bei der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform. Der zweite mikrofluidische Kanal 9" führt zur zweiten Außenseite A3, wo eine zweite Polymermembran 2a vorgesehen ist, welche in Verbindung mit einem dritten Polymersubstrat 12 im Bereich des zweiten mikro- fluidischen Kanals 9" auf der Außenseite A3 ein mikrofluidisches Ventil 13 bildet, welches den Durchfluss zwischen einem dritten mikrofluidischen Kanal 21 und einem vierten mikrofluidischen Kanal 22 im dritten Polymersubstrat 12 steuert.
Der Blockadebereich ist bei dieser Ausführungsform mit Bezugszeichen D" bezeichnet und ist wie der Blockadebereich D strukturiert. Bei intaktem Bereich D" öffnet sich das Membranventil 13 beispielsweise bei einem Überdruck im dritten mikrofluidischen Kanal 21 , indem sich die zweite Polymermembran 2a vom Bereich 12a unter dem Einfluss des Druckes abhebt, sodass ein Durchgang zum vierten mikrofluidischen Kanal 22 geschaffen wird. Dies ist auch der Fall, wenn bei intaktem Bereich D" ein Druck P am ersten mikro- fluidischen Kanal 8' anliegt. Wird jedoch der Bereich D" durch Anlegen einer Spannung durch die Heizeinrichtung 10 mit der Mäanderstruktur geschmolzen, so bewirkt der extern angelegte Druck P, dass das mikrofkuidische Ventil 13 nicht mehr geöffnet werden kann.
Fig. 4 ist eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt.
Bei der vierten Ausführungsform ist die Funktionalität der oben beschriebenen dritten Ausführungsform ohne zusätzliche Polymermembran 2a und ohne zusätzliches
Polymersubstrat 12 realisiert. Der Blockadebereich ist bei dieser Ausführungsform mit Bezugszeichen D'" bezeichnet und ist wie der Blockadebereich D strukturiert.
Der erste mikrofluidische Kanal 8" verläuft von dem Blockadebereich D'" von der ersten Innenseite 11 über die erste Außenseite A1 zu einem mikrofluidischen Ventil 26, welches auf der ersten Innenseite 11 durch die erste Polymermembran 2 und das zweite
Polymersubstrat 3 gebildet ist.
Das mikrofluidische Ventil 26 steuert bei intaktem Bereich D'" den Fluss zwischen einem fünften mikrofluidischen Kanal 31 , welcher senkrecht in die Bildebene gepflegt ist, und einem sechsten mikrofluidischen Kanal 32 über ein Abheben der Polymermembran 2 von dem Bereich 3a des zweiten Polymersubstrats 3. Beim Öffnen des Blockadebereichs D'" wird der extern angelegte Überdruck P über den ersten mikrofluidischen Kanal 8" zum mikrofluidischen Ventil 26 geführt, wodurch dieses nicht mehr geöffnet werden kann.
Fig. 5 ist eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt.
Bei der fünften Ausführungsform ist die Funktionalität derart gewählt, dass das mikrofluid- ische Ventil 26 zunächst geschlossen ist. Hierzu lässt sich an dem ersten mikrofluidischen Kanal 8"' ein externer Druck P anlegen. Durch das Öffnen des Blockadebereichs D'" über die Heizeinrichtung 10 wird der Überdruck im ersten mikrofluidischen Kanal 8"' in den zweiten mikrofluidischen Kanal 9" geleitet, welcher zur zweiten Außenseite A3 führt. Somit kann das mikrofluidische Ventil 26 wieder durch einen geeigneten Druck im fünften mikrofluidischen Kanal 31 geöffnet werden, wie bereits oben beschrieben.
Die mikrofluidischen Kanäle 8"', 9" sollten dabei derart dimensioniert werden, dass ein Nachströmen des Mediums zur Erzeugung des Drucks P über den Kanal 8" zu keiner Druckerhöhung am Membranventil 26 führt. Prinzipiell ist es möglich, durch Kombinieren der vierten und fünften Ausführungsform und eine geeignete Anordnung eines zusätzlichen Einmalventils mit Bypass ein ursprünglich offenes Membranventil zu schließen und wieder zu öffnen, sodass die beiden Ausführungsformen auch dazu genutzt werden können, mehrere Schaltvorgänge an einem einzelnen Membranventil durchzuführen.
Durch diese Möglichkeit der Herstellung beliebiger Kanalverläufe in den
Polymersubstraten, beispielsweise durch Fräsen, Spritzguss, Heißprägen oder Laser- strukturierung, können beliebig komplexe Systeme hergestellt werden. Das Fügen des polymeren Schichtaufbaus kann beispielsweise mit Laserdurchstrahlschweißen, Ultra- schallschweißen oder Klebetechniken erfolgen. Die Metallisierung zur Herstellung der
Heizeinrichtung 10 und deren Zuleitungen 7a, 7b bzw. Anschlussbereichen 1 1 a, 1 1 b kann beispielsweise durch Sputtern, Inkjet-Printing oder Galvanikprozesse erfolgen, insbesondere auch mithilfe von Laserdurchstrahlschweißen und Laserstrukturierung. Fig. 6a,b,c sind schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung, und zwar Fig. 6a in horizontalem Querschnitt und Fig. 6b, c in vertikalem Querschnitt entlang der Linie A-A' in Fig. 6a.
Bei der sechsten Ausführungsform ist zwischen der ersten Innenseite 11 und der zweiten Innenseite 13 eine zweite Polymermembran 2' unterhalb der ersten Polymermembran 2 angeordnet, welche im Blockadebereich D"" ein Durchgangsloch 7 aufweist. Dies hat den Vorteil, dass zunächst der Schichtaufbau bestehend aus dem zweiten Polymersubstrat 3 mit dem zweiten mikrofluidischen Kanal 9, der Polymermembran 2' mit dem Durchgangsloch 7 und der Metallschicht zur Ausbildung der Heizeinrichtung, welche hier Bezugszei- chen 10a trägt, hergestellt werden kann. Danach kann die Polymermembran 2 zusammen mit dem ersten Polymersubstrat 1 mit dem ersten mikrofluidischen Kanal 8' aufgebracht werden und bei diesem Beispiel mit der Klebefolie 5 gedeckelt werden. Auf diese Art und Weise wird eine Verbindung und Strukturierung der Metallschicht auf dem Bereich D"" der ersten Polymermembran 2 vermieden.
Insbesondere ist bei dieser Ausführungsform die Heizeinrichtung entlang der Kante 14 des Bereichs D"" auf der zweiten Polymermembran 2' vorgesehen. Gegebenenfalls kann sie auch nur an einem Teilbereich der Kante 14 vorgesehen werden. Durch Anlegen einer Spannung an den Anschlussbereichen 1 1 a, 1 1 b wird die Heizeinrichtung 10a soweit auf- geheizt, dass die Temperatur der Polymermembran 2 entlang der Kante 14 über die Erweichungstemperatur erhöht wird. Ein beispielsweise über den ersten mikrofluidischen Kanal 8' oder einen zweiten mikrofluidischen Kanal 9 zugeführter Überdruck führt daraufhin zum Reißen der Membran 2 im Bereich D"" und zum Öffnen des Ventils, wie in Fig. 6c dargestellt.
Fig. 7a, b sind schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer siebenten Ausführungsform der Erfindung, und zwar Fig. 7a in horizontalem Querschnitt und Fig. 7b in vertikalem Querschnitt entlang der Linie A-A' in Fig. 7a.
Bei der siebten Ausführungsform ist im ersten mikrofluidischen Kanal 8"" eine Aussparung 1 1 über der Heizeinrichtung 10a mit der hochohmigen Struktur vorgesehen. Dies hat den Vorteil, dass die Wärmeleitung des ersten Polymersubstrats 1 über der Heizeinrichtung 10a deutlich verringert wird. Dadurch sinkt die benötigte elektrische Energie zum Errei- chen der Zieltemperatur in der ersten Polymermembran 2. Das Ventil kann somit zuver- lässiger aktuiert werden, da nicht die Gefahr besteht, dass es beim Aufheizvorgang die Polymermembran 2 im Bereich der Kante 14 mit dem ersten Polymersubstrat 1 verbindet.
Ansonsten ist die siebente Ausführungsform gleich wie die sechste Ausführungsform auf- 5 gebaut.
Fig. 8 ist eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt.
10
Bei der achten Ausführungsform verläuft der zweite mikrofluidische Kanal 9"' zur zweiten Außenseite A3 und wird dort von der zweiten Klebefolie 4 gedeckelt. Diese Ausführungsform hat insbesondere den Vorteil, dass die beim Öffnen des Bereichs D"" entstehende Zunge durch ein Aufliegen auf der Unterseite des Kanals 9 nicht zu einem erneuten Verl s schließen des derart geöffneten durchgehenden Kanals führen kann.
Fig. 9 ist eine schematische Darstellung zum Erläutern einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt.
20
Bei der neunten Ausführungsform ist der erste mikrofluidische Kanal 8"" wie bei der siebten Ausführungsform gestaltet, allerdings enthält der zweite mikrofluidische Kanal 9"" eine zusätzliche Aussparung 15 im zweiten Polymersubstrat 3, welche unterhalb der Heizeinrichtung 10a um das Durchloch 7 herumgeführt wird. Auch diese Aussparung 15 trägt 25 dazu bei, ein erneutes Verschließen des Kanals zu verhindern, nachdem das Aufschmelzen erfolgt ist. Im Gegensatz zur achten Ausführungsform kann die Richtung des Kanals 9"" beliebig innerhalb des Polymersubstrats 3 gewählt werden.
Fig. 10a, b sind schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen
30 Membranventilvorrichtung gemäß einer zehnten Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt.
Bei der zehnten Ausführungsform sind der erste mikrofluidische Kanal 8 und der zweite mikrofluidische Kanal 9 entlang des Stapels aus den Polymermembranen 2, 2' geführt, 35 wobei die Heizeinrichtung 10a derart gestaltet ist, wie bereits ausführlich mit Bezug auf die sechste Ausführungsform beschrieben. Fig. 10a zeigt den Zustand nach dem Öffnen des Bereichs D"". Das Öffnen erfolgt in diesem Fall durch einen kurzen elektrischen Energieeintrag, ohne die Heizeinrichtung 10a zu durchschmelzen, wodurch die Heizeinrichtung 10a nach dem Öffnen des Bereichs D"" noch voll funktionsfähig bleibt.
Wie in Fig. 10b illustriert, kann das Ventil bei Bedarf in einem darauffolgenden Schritt wieder verschlossen werden. Dazu wird der elektrische Energieeintrag von der Heizeinrichtung 10a längere Zeit aufrechterhalten, wodurch sich der gesamte Bereich um die Heiz- einrichtung 10a herum erhitzt und durch thermische Ausdehnung der Polymerschichten, Verflüssigung oder auch einer teilweisen Pyrolyse ein Verschluss V des ersten mikroflui- dischen Kanals 8 gebildet wird. Das Ventil ist damit irreversibel verschlossen.
Fig. 1 1 a,b sind schematische Darstellungen zum Erläutern einer mikrofluidischen
Membranventilvorrichtung gemäß einer elften Ausführungsform der Erfindung in vertikalem Querschnitt.
Bei der elften Ausführungsform ist der erste mikrofluidische Kanal 8"" wie bei der achten Ausführungsform ausgebildet. Der zweite mikrofluidische Kanal 9"" enthält im Unterschied zum zweiten mikrofluidischen Kanal 9"' der achten Ausführungsform eine Verengung 21 unterhalb der Heizeinrichtung 10a, welche durch einen entsprechenden Bereich 19 des zweiten Polymersubstrats 3 gebildet ist. Fig. 1 1 a zeigt den Zustand nach Öffnen des Bereichs D"". Analog zur oben beschriebenen zehnten Ausführungsform kann ein Verschließen des zweiten mikrofluidischen Kanals 9 dadurch erreicht werden, dass ein längerer Energieeintrag über die Heizeinrichtung 10a führt, sodass der Bereich 19 erhitzt wird und durch thermische Ausdehnung oder Verflüssigung schließlich die Verengung 21 schließt und einen Verschluss V bildet.
Die Möglichkeit, den geöffneten Kanal wieder zu verschließen, führt zu deutlich größeren Einsatzmöglichkeiten zur Umsetzung von mikrofluidischen Systemen. Zum Öffnen und Schließen des Ventils wird dieselbe Heizeinrichtung, also derselbe Metallisierungsbereich verwendet, wobei die jeweilige Funktion über die Menge des Energieeintrags geregelt wird. Es sind also keine zusätzlichen Kontaktstellen bzw. Funktionselemente notwendig. Obwohl die vorliegende Erfindung anhand mehrerer Ausführungsbeispiele beschrieben worden ist, welche beliebig miteinander kombiniert werden können, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern vielfältig weitermodifizierbar. Insbesondere sind die Strukturen der obigen Ausführungsbeispiele beliebig kombinierbar, um komplexe Systeme zu schaffen.
Als Materialien für das Polymersubstrat eignen sich beispielsweise Thermoplaste, wie z.B. PC, PP, PE, PMMA, COP, COC usw. Die elastische Polymermembran lässt sich bei- spielsweise aus einem Elastomer, einem thermoplastischen Elastomer oder aus Thermoplasten bilden. Als Metallisierung eignen sich viele in der Mikrosystemtechnik übliche Metalle, insbesondere Kupfer. Beispielhafte Abmessungen für die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele sind eine Dicke des Polymersubstrats von 0,5 bis 5 mm, eine Dicke der Polymermembran von 5 bis 300 μηη, eine Dicke der Metallschicht von 0,1 bis 20 μηη sowie Volumina der Kavitäten von 1 bis 1000 μηι3. Die lateralen Abmessungen der Ausführungsbeispiele liegen typischerweise bei 10 x 10 bis 100 x 100 mm2. Ein Durchmesser der Ventilkavität liegt beispielsweise zwischen 0,1 und 5 mm, und die Leiterbahnbreite der hochohmigen Struktur zwischen 1 μηη und 1 mm. Auch diese beispielhaft erwähnten Materialien und Dimensionierungen sind allerdings nicht auf die angeführten Beispiele be- schränkt.

Claims

Ansprüche 1 . Mikrofluidische Membranventilvorrichtung mit: einem ersten Polymersubstrat (1 ) mit einem ersten mikrofluidischen Kanal (8; 8'; 8"; 8"'; 8""); einem zweiten Polymersubstrat (3) mit einem zweiten mikrofluidischen Kanal (9; 9'; 9"; 9"'; 9""; 9 ); einer zwischen einer ersten Innenseite (11 ) des ersten Polymersubstrats (1 ) und einer zweiten Innenseite (13) des zweiten Polymersubstrats (3) angeordneten ersten Polymermembran (2), wobei der erste mikrofluidische Kanal (8; 8'; 8"; 8"'; 8"") und zweite mikrofluidische Kanal (9; 9'; 9"; 9"'; 9""; 9 ) durch einen Bereich (D; D'; D"; D'"; D"") der ersten Polymermembran (3) voneinander getrennt sind; und einer mit dem Bereich (D; D'; D"; D'"; D"") der ersten Polymermembran (2) in ther- mischen Kontakt befindlichen Heizeinrichtung (10; 10a), wodurch der Bereich (D; D'; D"; D'"; D"") zumindest teilweise aufschmelzbar ist.
2. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 1 , wobei der erste mikrofluidische Kanal (8'; 8"; 8"'; 8"") zu und auf einer von der ersten Polymermembran (2) abgewandten ersten Außenseite (A1 ) des ersten Polymersubstrats (1 ) und der zweite mikrofluidische Kanal (9'; 9"; 9"'; 9""; 9 ) zu und auf einer von der ersten Polymermembran (2) abgewandten zweiten Außenseite (A3) des zweiten
Polymersubstrats (3) verlaufen.
3. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der erste mikrofluidische Kanal (8'; 8"; 8"'; 8"") auf der ersten Außenseite (A1 ) des ersten
Polymersubstrats (1 ) und/oder der zweite mikrofluidische Kanal (9') auf der zweiten Außenseite (A3) des zweiten Polymersubstrats (3) durch eine Folie (4; 5) gedeckelt sind.
4. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 1 , wobei der zweite mikrofluidische Kanal (9") zu einer von der ersten Polymermembran (2) abgewand- ten zweiten Außenseite (A3) des zweiten Polymersubstrats (3) verläuft und wobei auf der zweiten Außenseite (A3) eine zweite Polymermembran (2a) vorgesehen ist, welche in Verbindung mit einem dritten Polymersubstrat (12) im Bereich des zweiten mikrofluidischen Kanals (9") auf der zweiten Außenseite (A3) ein
mikrofluidisches Ventil (13) bildet.
5. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 1 , wobei auf der ersten Innenseite (11 ) beanstandet von der Bereich (D'") durch die erste Polymermembran
(2) und das zweite Polymersubstrat (3) ein mikrofluidisches Ventil (26) gebildet ist und wobei der erste mikrofluidische Kanal (8"; 8"') von dem Bereich (D'") zu dem mikrofluidischen Ventil (27) geführt ist.
6. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, wobei an den ersten mikrofluidischen Kanal (8"; 8"') ein externer Druck (P) anschließbar ist.
7. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 1 , wobei zwischen der ersten Innenseite (11 ) des ersten Polymersubstrats (1 ) und der zweiten Innenseite (13) des zweiten Polymersubstrats (3) eine zweite Polymermembran (2') angeordnet ist, welche im Bereich (D') ein Durchgangsloch (7) aufweist.
8. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 1 oder 7, wobei die Heizeinrichtung (10a) zumindest teilweise entlang einer Kante (14) der ersten Polymermembran (2) verläuft.
9. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 8, wobei oberhalb der Heizeinrichtung (10a) eine Aussparung (1 1 ) im ersten Polymersubstrat (1 ) gebildet ist.
10. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei un- terhalb der Heizeinrichtung (10a) eine Aussparung (15) im zweiten Polymersubstrat
(3) gebildet ist.
1 1 . Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 8, wobei der erste mikrofluidische Kanal (8) oder zweite mikrofluidische Kanal (9"") durch die Heizein- richtung (10a) bei zumindest teilweise aufgeschmolzener erster Polymermembran (2) wieder verschließbar ist.
12. Mikrofluidische Membranventilvorrichtung nach Anspruch 1 1 , wobei der erste erste mikrofluidische Kanal (8) und/ oder zweite mikrofluidische Kanal (9"") im Bereich der Heizeinrichtung (10a) eine Verengung (21 ) aufweisen.
13. Verfahren zum Herstellen einer mikrofluidischen Membranventilvorrichtung mit den Schritten:
Bilden eines ersten Polymersubstrats (1 ) mit einem ersten mikrofluidischen Kanal (8; 8'; 8"; 8"'; 8"");
Bilden eines zweiten Polymersubstrats (3) mit einem zweiten mikrofluidischen Kanal (9; 9'; 9"; 9"'; 9""; 9 );
Bilden einer ersten Polymermembran (2) auf einer ersten Innenseite (11 ) des ersten Polymersubstrats (1 ) oder auf einer zweiten Innenseite (13) des zweiten
Polymersubstrats (3), welche einen Bereich (D; D'; D"; D'"; D"") aufweist, der den ersten mikrofluidischen Kanal (8; 8'; 8"; 8"'; 8"") bzw. den zweiten mikrofluidischen Kanal (9; 9'; 9"; 9"'; 9""; 9 ) überspannt; Bilden einer mit dem Bereich (D; D'; D"; D'"; D"") der ersten Polymermembran (2) in thermischen Kontakt befindlichen Heizeinrichtung (10; 10a), wodurch der Bereich (D; D'; D"; D'"; D"") zumindest teilweise aufschmelzbar ist;
Zusammenfügen der ersten Innenseite (11 ) des ersten Polymersubstrats (1 ) bzw. der zweiten Innenseite (13) des zweiten Polymersubstrats (3) mit der ersten
Polymermembran (2) und der darauf gebildeten Heizeinrichtung (10; 10a) derart, dass der erste mikrofluidische Kanal (8; 8'; 8"; 8"'; 8"") und zweite mikrofluidische Kanal (9; 9'; 9"; 9"'; 9""; 9 ) durch den Bereich (D; D'; D"; D'"; D"") der ersten Polymermembran (3) voneinander getrennt sind.
14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei wobei zwischen der ersten Innenseite (11 ) des ersten Polymersubstrats (1 ) und der zweiten Innenseite (13) des zweiten Polymersubstrats (3) eine zweite Polymermembran (2') angeordnet ist, welche im Bereich (D') ein Durchgangsloch (7) aufweist.
15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Heizeinrichtung (10; 10a) auf der zweiten Polymermembran (2') gebildet wird.
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