EP2777148A1 - Systeme de conversion d'energie thermique en energie electrique a efficacite amelioree - Google Patents

Systeme de conversion d'energie thermique en energie electrique a efficacite amelioree

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Publication number
EP2777148A1
EP2777148A1 EP12787420.4A EP12787420A EP2777148A1 EP 2777148 A1 EP2777148 A1 EP 2777148A1 EP 12787420 A EP12787420 A EP 12787420A EP 2777148 A1 EP2777148 A1 EP 2777148A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
energy
bimetals
conversion system
bimetallic
converting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP12787420.4A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Stéphane Monfray
Guillaume Savelli
Philippe Coronel
Frédéric GAILLARD
Thomas Skotnicki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
STMicroelectronics SA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SA, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA filed Critical STMicroelectronics SA
Publication of EP2777148A1 publication Critical patent/EP2777148A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/18—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/42—Piezoelectric device making

Definitions

  • the present invention relates to a system for converting thermal energy into electrical energy.
  • bimetallic strips these are formed of two different metal blades, materials or alloys with different coefficients of expansion, flexible, welded or glued against each other, in the sense of length. Because of the different expansion coefficients of the two blades, the bimetal bends with a large amplitude both when it is heated and when it is cooled. When heated, it goes from a substantially flat shape to a shape having a certain curvature. The orientation of the curvature depends on the temperature to which it is subjected, and the initial properties of the material (thickness, coefficients of thermal expansion ). This deformation is converted into electrical energy by a transducer, for example a piezoelectric material which is deformed or shocked when the bimetal bends. The energy transmitted to the piezoelectric material, and thus the energy recovered, are not optimal.
  • bimetallic strips which have a first and a second stable state as a function of the temperature to which they are subjected. In each of the stable states, they have a curvature or deformation, the curvatures or deformations of the two stable states being in the majority of the opposite cases.
  • These bimetallic strips are also called "bimetallic bilam".
  • blistering When such bimetallic strips are heated and go from a first stable state to a second stable state, the term "blistering" is used, and when the bimetallic strips cool down, and pass from the second stable state to the first stable state, it is referred to as a knockdown. During blistering and unblocking, a large amount of energy is released.
  • the object of the present invention is to provide a system for converting thermal energy into electrical energy with improved efficiency.
  • a system for converting thermal energy into electrical energy comprising a mechanical energy transducer into electrical energy and at least one thermal energy converter into mechanical energy, the converter comprising at least two preformed bimetallic strips. mechanically in series and having opposite and controlled curvatures. Bimetallic strips can be made in one piece.
  • preformed bimetallic strips are combined in opposition so that the blistering of one participates in the knockout of the other, thus reducing the energy required for the blistering or decocking of each of the bimetallic strips, thus increasing the frequency of switching of each bimetal.
  • the bimetallic works in a collaborative way, which allows to increase the recovered electrical energy.
  • the subject of the present invention is therefore a system for converting thermal energy into electrical energy intended to be disposed between a hot source and a cold source, comprising a substrate, means for converting thermal energy into mechanical energy and means converting the mechanical energy into electrical energy, the means for converting the thermal energy into mechanical energy comprising at least one group of at least two bimetals mechanically connected to each other and suspended at least partly above the substrate, each bimetal having two stable states in which they have in each state a curvature, the bimetallic bimetas having opposite curvatures, the transition from one stable state of the bimetallines to the other being adapted to cause an excitation of the conversion means of mechanical energy into electrical energy and electricity generation.
  • the bimetallic strips are mechanically interconnected by their longitudinal ends so as to form a band.
  • the bimetallic strips are mechanically interconnected by their lateral ends.
  • the bimetallic strips are connected to bimetallic strips at their longitudinal ends and to bimetals at their lateral ends so as to form a sheet of bimetallic strips.
  • the bimetallic strips are made in one piece. And even more advantageously, in the case where the system comprises several groups of at least two bimetals, said groups are made in one piece.
  • the bimetallic group comprises an odd number of bimetals.
  • the means for converting mechanical energy into electrical energy comprise a piezoelectric material.
  • the piezoelectric material is then preferably disposed directly on at least one bimetal.
  • the means for converting mechanical energy into electrical energy comprise a magnetic material.
  • the magnetic material can then be deposited on at least one bimetallic strip, and the system comprises electrical contacts on the bimetallic strip to recover the electricity generated in the bimetallic strip.
  • each bimetal is covered by a transducer made of piezoelectric material or magnetic material.
  • the means for converting mechanical energy into electrical energy are of the capacitive type.
  • at least one bimetallic group is, in one of its stable states, in contact with the substrate improving the thermal contact.
  • the present invention also relates to a set of conversion of thermal energy into electrical energy comprising a hot source and a cold source located opposite one another and a conversion system according to the invention, said conversion system. being disposed between the hot source and the cold source.
  • the hot source is for example thermally powered by an electronic system.
  • the present invention also relates to a method for producing a conversion system according to the invention, comprising the steps:
  • Step e) may comprise the deposition of a piezoelectric material on the metal layers, which is for example PZT.
  • Step c) consists, for example, in a local oxidation of the silicon.
  • the first metal layer may be polycrystalline silicon and the second metal layer may be aluminum.
  • FIGS. 1A and 1B are side views of an exemplary embodiment of a conversion system according to the invention in two states
  • FIG. 2 is a side view of another exemplary embodiment of a conversion system implementing means for converting mechanical energy into magnetic type electrical energy
  • FIGS. 3A to 3F are diagrammatic representations of the steps for producing the system of FIGS. 1A and 1B according to an exemplary embodiment method
  • FIG. 4A is a side view of an alternative embodiment of a conversion system in which the bimetals are in contact with the substrate in one of their stable states
  • Figure 4B is a side view schematically a realization step of the system of Figure 4A.
  • FIGS. 1A and 1B an exemplary embodiment of a system for converting thermal energy into electrical energy according to the invention can be seen.
  • SI system for converting heat energy into electrical energy
  • SI system for the sake of simplicity.
  • the SI system is intended to be disposed between a hot source SC, for example a face of an electronic component or any other heat source, and a cold source SF, for example a finned radiator or directly ambient air.
  • a hot source SC for example a face of an electronic component or any other heat source
  • a cold source SF for example a finned radiator or directly ambient air.
  • the SI system substantially extends along a plane P and has a first face 2 opposite or in contact with the hot source SC and a second face 4 opposite or in contact with the cold source SF, the faces 2, 4 being disposed on either side of the plane P.
  • the SI system is then subjected to a thermal gradient symbolized by the arrow F substantially perpendicular to its faces 2, 4.
  • the system comprises means for converting thermal energy into mechanical energy 6 and means for converting mechanical energy into electrical energy 8, called transducers.
  • the transducer (s) 8 may be formed, for example, by a piezoelectric material, by capacitive type means or by magnetic means.
  • the means for converting thermal energy into mechanical energy 6 comprise groups G1, G2 of three preformed and blistered bimetallic strips 9, 11, 13 arranged side by side and mechanically connected, the directly adjacent bimetallic strips having their opposite curvatures, as can be seen in Figures 1A and 1B.
  • Each bimetal 9, 11, 13 has two longitudinal ends 9.1, 9.2, 11.1, 11.2, 13.1, 13.2.
  • the bimetallic strips are mechanically interconnected by their longitudinal ends so as to form strips of bimetallic strips.
  • the bimetals are in direct contact by their longitudinal ends.
  • the groups G1, G2, G3 form bands suspended above a substrate 12 at their ends, the bimetals being able to deform freely under the effect of temperature.
  • the substrate 12 has recesses 14 above which the strips are suspended.
  • the three bimetals 9, 11, 13 are made in one piece. Even more advantageously, all groups are made in one piece, which simplifies the manufacture of the system and improves the robustness of the system.
  • a bimetal is formed of two blades of different metal or alloy having different coefficients of expansion, the two blades being secured by rolling, welding, bonding or directly by deposition for example by direct spraying a second material on a first material as will be described in detail in the following description, so as to form a monolithic element. So when one of the blades expands, the bimetallic will bend. When the bimetal is heated, it goes from a first configuration to a second configuration, this change is referred to as "blistering" and, when it cools, it returns to its first configuration, this change is designated “knockdown".
  • each band has an odd number of bimetallic strips, the strips having a plane of symmetry, which simplifies the manufacture as we shall see later.
  • the means for converting thermal energy into mechanical energy may comprise groups of two bimetals, or more than three bimetallas, without departing from the scope of the present invention.
  • the number of bimetals per strip is chosen so that the strip does not sag under its own weight.
  • the system preferably extends in one plane and has a plurality of bands distributed over a surface along lines and along a plurality of parallel lines.
  • the conversion means may comprise any number n of bimetallic groups, n being an integer greater than or equal to 1.
  • the number of groups may be chosen according to the size of the system. In the case of micrometric size systems a large number of groups can be realized.
  • the system comprises transducers formed by a piezoelectric material arranged so as to be deformed by blistering and disengagement of the bimetallic strips.
  • the piezoelectric material is formed by portions of layers of piezoelectric material deposited directly on the bimetallic strips.
  • the piezoelectric material is not deposited on all bimetallic strips.
  • such a material is deposited on each bimetal to increase the amount of energy recovered.
  • the piezoelectric material can also be positioned on either side of the bimetal to maximize the production of electrical energy.
  • each bimetal has its own transducer.
  • the bimetallic strips have a thickness of between 0.5 ⁇ and 200 ⁇ .
  • a length of a "bimetallic strip" may be between 10 ⁇ and a few mm, in the case of an application to electronic components.
  • the number of bimetals per system implemented can be from several tens to several thousand.
  • the system is in the state shown in Figure 1A.
  • the bimetals 9, 13 are curved on the side of the hot source while the bimetallic strip 11 is curved on the side of the cold source SF.
  • This configuration change bimetallic has the effect of directly deforming the piezoelectric material, which causes an occurrence of charge within the material and therefore the generation of an electric current.
  • the bimetals mechanically connected mutually help each other, the energy required for a configuration change is reduced, which has the effect of increasing the bimetals switching frequency and therefore the number of deformation cycles of the piezoelectric material, the collected electrical energy is therefore increased.
  • bimetallic strip 11 can be blistered or broken before bimetallic strips 9 and 13.
  • bimetallic strips of the same strip or the same system may have different shapes and / or be made with different materials and thus react at different temperatures, which may be interesting depending on the configuration of the hot source and that of the cold source.
  • bimetals are chosen, more particularly the materials of the bimetallic strips, so that the two transition temperatures causing blistering and stripping of the bimetallic strips are brought together so that the bimetallic strips have an even higher frequency of blistering / decocking. thereby vibrating the piezoelectric element with a high frequency.
  • the portions of piezoelectric material covering the bimetallic strips may be made of different piezoelectric materials.
  • each bimetal carries a plate facing a fixed plate, the two plates being separated by a dielectric medium. The two plates then form a capacitor with variable capacitance. The change in configuration of each bimetal causes capacitance variation capacitors. It can be envisaged that the bimetals form directly one of the plates of the capacitors.
  • FIG. 4A shows an alternative embodiment in which the bimetals 9 and 13 are, in a stable state, in direct thermal contact with the substrate, and the bimetallic strip 11 is in thermal contact with the substrate in the other state stable which improves the responsiveness of the system and its performance.
  • FIG. 4B schematically shows a process step of the system of FIG. 4A.
  • This step consists in etching the oxide layer 104 to a greater thickness in the zones I and II below the longitudinal ends 9.1, 13.2 of the bimetals 9 and 13 are suspended, so as to cause a lowering of the position of the strip bimetallic strips to contact the substrate.
  • the described embodiments are in no way limiting and any other arrangement may be suitable. Matrix arrangement is not outside the scope of the present invention. Each bimetallic strip, except those located on the edge of the matrix, would then be mechanically connected to a bimetallic strip at each of its longitudinal ends and at each of its lateral ends.
  • a layer 104 of Si0 2 On a substrate 102, for example silicon, is deposited a layer 104 of Si0 2 .
  • the element thus obtained is shown in FIG. 3A.
  • it could be TEOS (Tetraethoxysilane).
  • a deposition of Si 3 N 4 is carried out on the oxide layer 104.
  • it could be SiN.
  • portions 106 of Si 3 N 4 are delimited. The element thus obtained is shown in FIG. 3B.
  • thermal oxidation of the element of FIG. 3B is carried out, for example by the local oxidation of silicon method or LOCOS ("Local Oxidation of Silicon”) which is well known to the human being. job.
  • LOCOS Local Oxidation of Silicon
  • This method consists of applying very high temperatures, for example between 700 ° C. and 1300 ° C., to the element placed in an oxygen-rich atmosphere, which causes an increase in the thickness of the oxide layer between the zones. covered by the portions of Si 3 N 4 .
  • a layer 110 of a first metal or metal alloy for example polycrystalline silicon
  • a layer of a second metal or metal alloy 112 is deposited, for example aluminum.
  • the two metals having different coefficients of thermal expansion.
  • the second metal could be Ti, Tin, Cu, Au, FeNi, Ni, W, Pt, Ta, TaN ....
  • the bimetallic strips 9 are defined, 11 13.
  • the element thus obtained is shown in FIG. 3D.
  • the bimetals thus produced are directly preformed and have a curvature. In addition, they are directly mechanically connected by their longitudinal ends since they are made in one piece.
  • a layer 114 of piezoelectric material is deposited, for example PZT (Lead Titano-Zirconate), or ⁇ , or ZnO. Then, by lithography and etching, the portions of piezoelectric material 114 are delimited above the bimetals made in the previous step. The element thus obtained is shown in FIG. 3E.
  • the oxide is partially removed so as to release the bimetallic strips, thus forming cavities under the bimetallic strips.
  • a resin mask 116 is produced by lithography, in order to delimit the location of discrete cavities, and then a time etching is performed, for example with dilute hydrofluoric acid, thus forming the discrete cavities 118.
  • the metal layers comprise then suspended portions forming the strips of bimetallic strips. The surface of the cavities is determined so that an integer number of bimetallic strips is released. The element thus obtained is shown in FIG. 3F.
  • bimetals are released by odd number, bimetallic strips having a plane of symmetry facilitating the manufacture of the conversion system.
  • the means for converting the mechanical energy into electrical energy are of the magnetic type
  • the system can be of any size, it can have millimetric, micrometric or even nanometric dimensions up to dimensions of the order of 1 meter to several meters.
  • the system for converting thermal energy into electrical energy offers improved efficiency because the blistering-bombarding frequency of the bimetallic strip is increased, as well as the power generation.
  • This system allows for example to exploit the heat generated by a surface of an integrated circuit chip, by a muffler of a motor vehicle or by the sun or by any other heat source.

Landscapes

  • Thermally Actuated Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique (S1) destiné à être disposé entre une source chaude (SC) et une source froide (SF), comportant des moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique (6) et un matériau piézoélectrique, les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique (6) comportant des groupes (G1, G2) de au moins trois bilames (9, 11, 13) reliés mécaniquement entre eux par leur extrémités longitudinales et suspendus au-dessus d'un substrat (12), chaque bilame (9, 11, 13) comportant deux états stables dans lesquels il présente dans chacun des états une courbure, deux bilames directement adjacentes (9, 11, 13) présentant pour une température donnée des courbures opposées, le passage d'un état à stable des bilames (9, 11, 13) à l'autre provoquant la déformation d'un matériau piézoélectrique.

Description

SYSTEME DE CONVERSION D'ENERGIE THERMIQUE EN ENERGIE ELECTRIQUE A
EFFICACITE AMELIOREE
DESCRIPTION
DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR
La présente invention se rapporte à un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique.
Les circuits électroniques, lors de leur fonctionnement, produisent de la chaleur. Cette chaleur n'est pas utilisée et doit être évacuée afin de ne pas détériorer les circuits. D'autres sources de chaleur sont également présentes dans notre environnement, comme par exemple les canalisations, les échappements, les parois de machines industrielles,..., dont la chaleur dégagée est inutilisée.
I l est envisagé de récupérer cette chaleur pour la convertir en énergie électrique.
I l est par exemple envisagé d'utiliser des bilames, ceux-ci sont formés de deux lames de métaux, de matériaux ou d'alliages différents à coefficients de dilatation différents, souples, soudées ou collées l'une contre l'autre, dans le sens de la longueur. Du fait des coefficients de dilatation différents des deux lames, le bilame se déforme avec une grande amplitude à la fois lorsqu'il est échauffé et lorsqu'il est refroidi. Lorsqu'il est échauffé, celui-ci passe d'une forme sensiblement plane à une forme présentant une certaine courbure. L'orientation de la courbure dépend de la température à laquelle il est soumis, et des propriétés initiales du matériau (épaisseur, coefficients de dilatation thermique...). Cette déformation est convertie en énergie électrique par un transducteur, par exemple un matériau piézoélectrique qui est déformé ou choqué lorsque le bilame se courbe. L'énergie transmise au matériau piézoélectrique, et donc l'énergie récupérée ne sont pas optimales.
I l existe également des bilames préformés qui présentent un premier et un deuxième état stable en fonction de la température à laquelle ils sont soumis. Dans chacun des états stables, ils présentent une courbure ou déformation, les courbures ou déformations des deux états stables étant dans la majorité des cas opposées. Ces bilames sont également désignés "bilames cloquants". Lorsque de tels bilames sont échauffés et passent d'un premier état stable à un deuxième état stable, on parle de "cloquage", et lorsque les bilames se refroidissent, et passent du deuxième état stable au premier état stable, on parle de décloquage. Lors du cloquage et du décloquage, une grande quantité d'énergie est libérée.
EXPOSÉ DE L'INVENTION
Le but de la présente invention est d'offrir un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique à efficacité améliorée.
Le but précédemment énoncé est atteint par un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique comportant un transducteur d'énergie mécanique en énergie électrique et au moins un convertisseur d'énergie thermique en énergie mécanique, le convertisseur comportant au moins deux bilames préformés reliés mécaniquement en série et présentant des courbures opposées et contrôlées. Les bilames peuvent être fabriqués d'un seul tenant.
En d'autres termes, on associe des bilames préformés en opposition de sorte que le cloquage de l'un participe au décloquage de l'autre, réduisant ainsi l'énergie nécessaire au cloquage ou décloquage de chacun des bilames, augmentant ainsi la fréquence de commutation de chacun des bilames.
Les bilames fonctionnent de manière collaborative, ce qui permet d'augmenter l'énergie électrique récupérée.
La présente invention a alors pour objet un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique destiné à être disposé entre une source chaude et une source froide, comportant un substrat, des moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique et des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique, les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique comportant au moins un groupe de au moins deux bilames reliés mécaniquement entre eux et suspendus au moins en partie au-dessus du substrat, chaque bilame comportant deux états stables dans lesquels ils présentent dans chacun des états une courbure, les bilames directement adjacents présentant des courbures opposées, le passage d'un état stable des bilames à l'autre étant adapté pour provoquer une excitation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique et une génération d'électricité.
Dans un exemple de réalisation, les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités longitudinales de sorte à former une bande.
Dans un autre exemple de réalisation, les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités latérales.
Dans un autre exemple de réalisation, les bilames sont reliés à des bilames par leurs extrémités longitudinales et à des bilames par leurs extrémités latérales de sorte à former une nappe de bilames.
De manière avantageuse, les bilames sont réalisés d'un seul tenant. Et de manière encore plus avantageuse, dans le cas où le système comporte plusieurs groupes d'au moins deux bilames, lesdits groupes sont réalisés d'un seul tenant.
De préférence, le groupe de bilames comporte un nombre impair de bilames.
Dans un exemple de réalisation, les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique comprennent un matériau piézoélectrique. Le matériau piézoélectrique est alors de préférence disposé directement sur au moins un bilame.
Dans un autre exemple de réalisation, les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique comprennent un matériau magnétique. Le matériau magnétique peut alors être déposé sur au moins un bilame, et le système comporte des contacts électriques sur le bilame pour récupérer l'électricité générée dans le bilame.
Avantageusement, chaque bilame est recouvert par un transducteur en matériau piézoélectrique ou en matériau magnétique.
Dans un autre exemple de réalisation, les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique sont de type capacitif. Avantageusement, au moins un bilame du groupe est, dans un de ses états stables, en contact avec le substrat améliorant le contact thermique.
La présente invention a également pour objet un ensemble de conversion d'énergie thermique en énergie électrique comportant une source chaude et une source froide situées en face l'une de l'autre et un système de conversion selon l'invention, ledit système de conversion étant disposé entre la source chaude et la source froide. La source chaude est par exemple alimentée thermiquement par un système électronique.
La présente invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un système de conversion selon l'invention, comportant les étapes :
a) dépôt d'une couche d'oxyde de silicium sur un substrat en silicium, b) réalisation de portions en Si3N4 ou SiN sur la couche d'oxyde, c) croissance thermique de l'oxyde entre les portions en Si3N4, d) réalisation des bilames par dépôt d'une première couche de métal ou de semi-conducteur et d'une deuxième couche de métal, les deux métaux présentant des coefficients de dilatation différents,
e) réalisation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique,
f) retrait de l'oxyde dans des zones discrètes de sorte à former des cavités entre le substrat et les couches de métal.
L'étape e) peut comporter le dépôt d'un matériau piézoélectrique sur les couches de métal, qui est par exemple du PZT.
L'étape c) consiste par exemple en une oxydation locale du silicium. Lors de l'étape d), la première couche de métal peut être du silicium polycristallin et la deuxième couche de métal peut être de l'aluminium.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
La présente invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre et des dessins sur lesquels : - les figures 1A et 1B sont des vues de côtés d'un exemple de réalisation d'un système de conversion selon l'invention dans deux états,
- la figure 2 est une vue de côté d'un autre exemple de réalisation d'un système de conversion mettant en œuvre des moyens de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique de type magnétique,
- les figures 3A à 3F sont des représentations schématiques des étapes de réalisation du système des figures 1A et 1B selon un exemple de procédé de réalisation,
- la figure 4A est une vue de côté d'une variante de réalisation d'un système de conversion dans lequel les bilames sont en contact avec le substrat dans un de leurs états stables,
- la figure 4B est une vue de côté schématisant une étape de réalisation du système de la figure 4A.
EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Sur les figures 1A et 1B, on peut voir un exemple de réalisation d'un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique selon l'invention. Dans la suite de la description, le système SI de conversion d'énergie thermique en énergie électrique sera désigné par "système SI" à des fins de simplicité.
Le système SI est destiné à être disposé entre une source chaude SC, par exemple une face d'un composant électronique ou de toute autre source de chaleur, et une source froide SF, par exemple un radiateur à ailette ou directement l'air ambiant.
Le système SI s'étend sensiblement suivant un plan P et comporte une première face 2 en regard de ou en contact avec la source chaude SC et une deuxième face 4 en regard de ou en contact avec la source froide SF, les faces 2, 4 étant disposées de part et d'autre du plan P. Le système SI est alors soumis à un gradient thermique symbolisé par la flèche F sensiblement perpendiculaire à ses faces 2, 4.
Le système comporte des moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique 6 et des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique 8, appelés transducteur. Le ou les transducteurs 8 peuvent être formés, par exemple, par un matériau piézoélectrique, par des moyens de type capacitif ou par des moyens magnétiques.
Dans l'exemple représenté, les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique 6 comportent des groupes Gl, G2 de trois bilames préformés et cloquants 9, 11, 13 disposés côte à côte et reliés mécaniquement, les bilames directement adjacents ayant leurs courbures opposées, comme on peut le voir sur les figures 1A et 1B. Chaque bilame 9, 11, 13 comporte deux extrémités longitudinales 9.1, 9.2, 11.1, 11.2, 13.1, 13.2. Les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités longitudinales de sorte à former des bandes de bilames. Dans l'exemple représenté, les bilames sont en contact direct par leurs extrémités longitudinales. Les groupes Gl, G2, G3 forment des bandes suspendues au-dessus d'un substrat 12 par leurs extrémités, les bilames pouvant se déformer librement sous l'effet de la température.
Le substrat 12 comporte des creux 14 au-dessus desquels les bandes sont suspendues.
Avantageusement, les trois bilames 9, 11, 13 sont réalisés d'un seul tenant. De manière encore plus avantageuse, tous les groupes sont réalisés d'un seul tenant, ce qui simplifie la fabrication du système et améliore la robustesse du système.
En variante, on pourrait envisager, en particulier pour des systèmes de grande taille, de réaliser les bilames séparément et ensuite de les solidariser par soudage.
Comme cela a été indiqué précédemment, un bilame est formé de deux lames en métal ou alliage différent présentant des coefficients de dilatation différents, les deux lames étant solidarisées par laminage, soudage, collage ou directement par dépôt par exemple par pulvérisation directe d'un deuxième matériau sur un premier matériau comme cela sera décrit en détail dans la suite de la description, de sorte à former un élément monolithique. Ainsi lorsque l'une des lames se dilate, le bilame va se courber. Lorsque le bilame est échauffé, il passe d'une première configuration à une deuxième configuration, on désigne ce changement le " cloquage " et, lorsqu'il refroidit, il revient à sa première configuration, ce changement est désigné " décloquage ". De préférence, chaque bande comporte un nombre impair de bilames, les bandes présentant un plan de symétrie, ce qui simplifie la fabrication comme nous le verrons par la suite.
Les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique peuvent comporter des groupes de deux bilames, ou de plus de trois bilames sans sortir du cadre de la présente invention. Le nombre de bilames par bande est choisi de sorte que la bande ne fléchisse pas sous son propre poids. En outre, le système s'étend de préférence dans un plan et comporte une pluralité de bandes réparties sur une surface le long de lignes et suivant plusieurs lignes parallèles.
En outre, les moyens de conversion peuvent comporter un nombre n quelconque de groupes de bilames, n étant un nombre entier supérieur ou égal à 1. Le nombre de groupe pourra être choisi en fonction de la taille du système. Dans le cas de systèmes de taille micrométrique un grand nombre de groupes peut être réalisé.
Dans l'exemple des figures 1A et 1B, le système comporte des transducteurs formés par un matériau piézoélectrique disposé de sorte à être déformés par le cloquage et décloquage des bilames.
Dans l'exemple représenté, le matériau piézoélectrique est formé par des portions de couches de matériau piézoélectrique déposées directement sur les bilames. De plus, dans l'exemple représenté, le matériau piézoélectrique n'est pas déposé sur tous les bilames. De préférence, on dépose un tel matériau sur chaque bilame pour augmenter la quantité d'énergie récupérée. Le matériau piézoélectrique peut également être positionné de part et d'autre du bilame afin de maximiser la production d'énergie électrique. De préférence, chaque bilame comporte son propre transducteur.
Des contacts (non représentés) sont présents sur le matériau piézoélectrique pour collecter le courant produit et sont connectés soit directement à une charge, soit à un dispositif de stockage de l'électricité produite. Les transducteurs sont connectés en parallèle. Un système dans lequel tous les bilames seraient recouverts par une couche unique de matériau piézoélectrique ne sort pas du cadre de la présente invention.
Les bilames ont par exemple une épaisseur comprise entre 0,5 μιη et 200 μιη. Une longueur d'une " bande de bilames " peut être comprise entre 10 μιη et quelques mm, dans le cas d'une application à des composants électroniques. Le nombre de bilames par système mis en œuvre peut être de plusieurs dizaines à plusieurs milliers.
Nous allons maintenant expliquer le fonctionnement du système de conversion SI.
Par exemple, initialement le système est dans l'état représenté sur la figure 1A. Les bilames 9, 13 sont courbés du côté de la source chaude tandis que le bilame 11 est courbé du côté de la source froide SF.
Sous l'effet de la chaleur dégagée par la source chaude SC, l'une des lames de chacun des bilames 9 et 13 se dilate. Lorsque celles-ci sont suffisamment dilatées les bilames 9, 13 cloquent et voient leur courbure s'inverser et se retrouvent dans la configuration de la figure 1B. Simultanément, le bilame 11 qui est du côté de la source froide SF, tend à se déformer dans la configuration inverse. Lorsque les deux bilames 9, 13 cloquent, le bilame 11 du fait du cloquage des bilames 9, 13, est entraîné. Ainsi le bilame 11 peut décloquer avant qu'il ait emmagasiné l'énergie nécessaire, son décloquage est facilité.
Ce changement de configuration des bilames a pour effet de déformer directement le matériau piézoélectrique, ce qui provoque une apparition de charge au sein du matériau et donc la génération d'un courant électrique.
Ainsi, les bilames connectés mécaniquement s'aident mutuellement, l'énergie requise pour un changement de configuration est donc réduit, ce qui a pour effet d'augmenter la fréquence de commutation des bilames et donc le nombre de cycles de déformation du matériau piézoélectrique, l'énergie électrique collectée est donc augmentée.
Il est bien entendu que le bilame 11 peut cloquer ou décloquer avant les bilames 9 et 13.
Les bilames d'une même bande ou d'un même système peuvent présenter des formes différentes et/ou être réalisés avec des matériaux différents et réagir ainsi à des températures différentes, ce qui peut être intéressant suivant la configuration de la source chaude et celle de la source froide. Avantageusement, on choisit des bilames, plus particulièrement les matériaux des lames des bilames, de telle sorte que les deux températures de transition provoquant le cloquage et le décloquage des bilames soient rapprochées afin que les bilames présentent une fréquence de cloquage/décloquage encore plus élevée et ainsi mettre en vibration l'élément piézoélectrique avec une fréquence élevée.
Par ailleurs, les portions de matériau piézoélectrique recouvrant les bilames peuvent être en matériaux piézoélectriques différents.
Dans le cas où le transducteur est de type capacitif, on peut envisager que chaque bilame porte une plaque en regard d'une plaque fixe, les deux plaques étant séparées par un milieu diélectrique. Les deux plaques forment alors un condensateur à capacité variable. Le changement de configuration de chaque bilame provoque la variation de capacité des condensateurs. On peut envisager que les bilames forment directement l'une des plaques des condensateurs.
Sur la figure 2, on peut voir un exemple de réalisation d'un système S2 mettant en œuvre des transducteurs magnétiques. Les bilames sont recouverts d'un matériau magnétique 16 qui génère un champ magnétique fixe. Des contacts électriques 18 sont directement formés aux extrémités des bandes de bilames qui forment des conducteurs électriques. Le changement de configuration des bilames, et donc la déformation des conducteurs électriques, provoquent la génération d'un courant suivant la loi de Lorentz.
Sur la figure 4A, on peut voir une variante de réalisation dans laquelle les bilames 9 et 13 sont, dans un état stable, en contact thermique direct avec le substrat, et le bilame 11 est en contact thermique avec le substrat dans l'autre état stable ce qui améliore la réactivité du système et son rendement.
Sur la figure 4B, est représentée schématiquement une étape de procédé du système de la figure 4A. Cette étape consiste à graver la couche d'oxyde 104 sur une plus grande épaisseur dans les zones I et II en dessous des extrémités longitudinales 9.1, 13.2 des bilames 9 et 13 sont suspendues, de sorte à provoquer un abaissement de la position de la bande de bilames jusqu'à entrer en contact avec le substrat. Les exemples de réalisation décrits ne sont en aucun cas limitatifs et tout autre arrangement peut convenir. Un arrangement sous forme de matrice ne sort pas du cadre de la présente invention. Chaque bilame, hormis ceux situés sur le bord de la matrice, seraient alors reliés mécaniquement à un bilame à chacune de ses extrémités longitudinales et à chacune de ses extrémités latérales.
Nous allons maintenant décrire un exemple d'un procédé de réalisation d'un système de conversion selon l'invention mettant en œuvre un matériau piézoélectrique en relation avec les figures 3A à 3F. Ce procédé est du type de celui mis en œuvre dans la microélectronique et permet de réaliser des systèmes particulièrement adaptés à la conversion de l'énergie thermique générée par de systèmes électroniques.
Sur un substrat 102, par exemple en silicium, on dépose une couche 104 de Si02. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3A. En variante, il pourrait s'agir de TEOS (Tetraethoxysilane).
Lors d'une étape suivante on effectue un dépôt de Si3N4 sur la couche d'oxyde 104. En variante il pourrait s'agir de SiN. Ensuite par lithographie et gravure on délimite des portions 106 de Si3N4. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3B.
Ensuite on effectue une oxydation thermique de l'élément de la figure 3B, par exemple par le procédé d'oxydation locale de silicium ou LOCOS ("Local Oxidation of Silicon" en terminologie anglo-saxonne) qui est bien connu de l'homme du métier. Ce procédé consiste à appliquer des températures très élevées par exemple comprise entre 700°C et 1300°C à l'élément disposé dans une atmosphère riche en oxygène, ce qui provoque une augmentation de l'épaisseur de la couche d'oxyde entre les zones recouvertes par les portions de Si3N4. Il y a alors formation de cuvettes 108 à la surface de l'élément représenté sur la figure 3C.
Lors d'une étape suivante, on effectue un dépôt d'une couche 110 d'un premier métal ou alliage métallique, par exemple du silicium polycristallin et ensuite un dépôt d'une couche d'un deuxième métal ou alliage métallique 112, par exemple de l'aluminium. Les deux métaux ayant des coefficients de dilatation thermique différents. En variante, le deuxième métal pourrait être du Ti, Tin, Cu, Au, FeNi, Ni, W, Pt, Ta, TaN.... Ensuite par lithographie et gravure avec arrêt sur l'oxyde, on délimite les bilames 9, 11, 13. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3D. Les bilames ainsi réalisés sont directement préformés et présentent une courbure. En outre, ils sont directement reliés mécaniquement par leurs extrémités longitudinales puisqu'ils sont réalisés d'un seul tenant.
Lors d'une étape suivante, on effectue un dépôt d'une couche 114 de matériau piézoélectrique, par exemple du PZT (Titano-Zirconate de Plomb), ou de ΓΑΙΝ, ou du ZnO. Ensuite par lithographie et gravure, on délimite les portions de matériau piézoélectrique 114 au-dessus des bilames réalisés à l'étape précédente. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3E.
Lors d'une étape suivante, on retire partiellement l'oxyde de sorte à libérer les bilames, formant ainsi des cavités sous les bilames. Pour cela on réalise un masque de résine 116 par lithographie, afin de délimiter l'emplacement de cavités discrètes et ensuite on effectue une gravure au temps par exemple avec de l'acide fluorhydrique dilué, formant ainsi les cavités discrètes 118. Les couches métalliques comportent alors des portions suspendues formant les bandes de bilames. La surface des cavités est déterminée de sorte qu'un nombre entier de bilames soit libéré. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3F.
De préférence, les bilames sont libérés par nombre impaire, les bandes de bilames présentant un plan de symétrie facilitant la fabrication du système de conversion.
Enfin on retire le masque 116. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 1A.
Dans le cas où les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique sont de type magnétique, on prévoit par exemple de déposer un matériau magnétique en lieu et place du matériau piézoélectrique et de réaliser des contacts directement sur les bilames.
Le système peut être de toute taille, il peut présenter des dimensions millimétriques, micrométriques, voire nanométriques jusqu'à des dimensions de l'ordre de 1 mètre à plusieurs mètres. Le système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique offre un rendement amélioré car la fréquence de cloquage-décloquage des bilames est augmentée, ainsi que la production d'électricité.
Ce système permet par exemple d'exploiter la chaleur dégagée par une surface d'une puce de circuit intégré, par un pot d'échappement d'un véhicule automobile ou par le soleil ou par toute autre source de chaleur.

Claims

REVENDICATIONS
1. Système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique (SI, S2) destiné à être disposé entre une source chaude (SC) et une source froide (SF), comportant un substrat, des moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique (6) et des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique (8), les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique (6) comportant au moins un groupe (Gl, G2) de au moins deux bilames (9, 11, 13) reliés mécaniquement entre eux et suspendus au moins en partie au-dessus du substrat (12), chaque bilame (9, 11, 13) comportant deux états stables dans lesquels ils présentent dans chacun des états une courbure, les bilames (9, 11, 13) directement adjacents présentant des courbures opposées, le passage d'un état stable des bilames (9, 11, 13) à l'autre étant adapté pour provoquer une excitation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique et une génération d'électricité.
2. Système de conversion selon la revendication 1, dans lequel les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités longitudinales de sorte à former une bande.
3. Système de conversion selon la revendication 1, dans lequel les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités latérales.
4. Système selon la revendication 1, dans lequel les bilames sont reliés à des bilames par leurs extrémités longitudinales et à des bilames par leurs extrémités latérales de sorte à former une nappe de bilames.
5. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel les bilames (9, 11, 13) sont réalisés d'un seul tenant.
6. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 5, comportant plusieurs groupes (Gl, G2, G3) d'au moins deux bilames (9, 11, 13), lesdits groupes étant réalisés d'un seul tenant.
7. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel le groupe (Gl, G2, G3) de bilames comporte un nombre impaire de bilames (9, 11, 13).
8. Système selon l'une revendication 1 à 7, dans lequel les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique (8) comprennent un matériau piézoélectrique.
9. Système selon la revendication 8, dans lequel le matériau piézoélectrique est disposé directement sur au moins un bilame, et dans lequel le système comporte des contacts électriques sur le matériau piézoélectrique pour récupérer l'électricité générée dans ledit matériau piézoélectrique.
10. Système de conversion selon la revendication 8 ou 9, dans lequel chaque bilame est recouvert par un transducteur en matériau piézoélectrique.
11. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique comprennent un matériau magnétique.
12. Système de conversion selon la revendication 11, dans lequel le matériau magnétique (16) est déposé sur au moins un bilame, et dans lequel le système comporte des contacts électriques (18) sur le bilame pour récupérer l'électricité générée dans le bilame.
13. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique sont de type capacitif.
14. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel au moins un bilame du groupe est, dans un de ses états stables, en contact avec le substrat.
15. Ensemble de conversion d'énergie thermique en énergie électrique comportant une source chaude (SC) et une source froide (SF) situées en face l'une de l'autre et un système de conversion selon l'une des revendications 1 à 14, ledit système de conversion étant disposé entre la source chaude et la source froide.
16. Ensemble de conversion selon la revendication 15, dans lequel la source chaude (SC) est alimentée thermiquement par un système électronique.
17. Procédé de réalisation d'un système de conversion selon l'une des revendications 1 à 14, comportant les étapes :
a) dépôt d'une couche d'oxyde de silicium (104) sur un substrat en silicium (102),
b) réalisation de portions en Si3N4 (106) ou SiN sur la couche d'oxyde (104), c) croissance thermique de l'oxyde entre les portions en Si3N4 (106), d) réalisation des bilames par dépôt d'une première couche de métal ou de semi-conducteur (110) et d'une deuxième couche de métal (112), les deux métaux présentant des coefficients de dilatation différent,
e) réalisation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique,
f) retrait de l'oxyde dans des zones discrètes de sorte à former des cavités (118) entre le substrat et les couches de métal.
18. Procédé de réalisation selon la revendication 17, dans lequel l'étape e) comporte le dépôt d'une couche de matériau piézoélectrique (114) sur les couches de métal (110, 112).
19. Procédé de réalisation selon la revendication 17 ou 18, dans lequel l'étape c) se fait par une oxydation locale du silicium.
20. Procédé de réalisation selon l'une des revendications 17 à 19, dans lequel lors de l'étape d), la première couche de métal (110) est du silicium polycristallin et la deuxième couche de métal (112) est de l'aluminium.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2982424B1 (fr) * 2011-11-09 2014-01-10 Commissariat Energie Atomique Systeme de conversion d'energie thermique en energie electrique a efficacite amelioree
FR2988912A1 (fr) * 2012-04-02 2013-10-04 St Microelectronics Crolles 2 Dispositif de recuperation d'energie
FR3009907B1 (fr) * 2013-08-20 2015-09-18 Commissariat Energie Atomique Dispositif de conversion d'energie thermique en energie electrique
FR3032845B1 (fr) * 2015-02-13 2017-03-10 St Microelectronics Crolles 2 Sas Dispositif de recuperation d'energie thermique
US10890751B2 (en) 2016-02-05 2021-01-12 Yu-Hsuan Huang Systems and applications for generating augmented reality images
FR3103966B1 (fr) * 2019-11-28 2021-12-03 Commissariat Energie Atomique Microsystème mécanique et procédé de fabrication associé
PL447643A1 (pl) * 2024-01-30 2024-07-29 Politechnika Warszawska Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów połączonych szeregowo lub równolegle i ich zastosowanie
PL447645A1 (pl) * 2024-01-30 2024-07-29 Politechnika Warszawska Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów i ich zastosowanie
PL447642A1 (pl) * 2024-01-30 2024-07-29 Politechnika Warszawska Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik zmian temperatury w elektryczność, zestaw modułów i ich zastosowanie

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2772512B1 (fr) * 1997-12-16 2004-04-16 Commissariat Energie Atomique Microsysteme a element deformable sous l'effet d'un actionneur thermique
JP2004532743A (ja) * 2000-10-25 2004-10-28 ワシントン ステート ユニバーシティ リサーチ ファウンデーション 圧電マイクロトランスデューサ、その使用法および製造法
KR100466373B1 (ko) * 2001-12-31 2005-01-14 한국과학기술연구원 미소 전자 기계 구조의 발전기
US6975060B2 (en) * 2003-01-30 2005-12-13 Donald Styblo Meso-to-micro-scaleable device and methods for conversion of thermal energy to electrical energy
KR100600808B1 (ko) * 2004-12-08 2006-07-18 주식회사 엠디티 자왜효과를 이용한 가변 인덕터형 ｍｅｍｓ 압력센서
KR100635405B1 (ko) * 2005-06-10 2006-10-19 한국과학기술연구원 마이크로 발전기
DE102007001361A1 (de) * 2007-01-09 2008-07-10 Robert Bosch Gmbh Energieerzeugende Einrichtung für ein Reifensensormodul
US8227955B1 (en) * 2008-01-28 2012-07-24 The Boeing Company Temperature-activated voltage generator
US8232858B1 (en) * 2008-02-20 2012-07-31 Sandia Corporation Microelectromechanical (MEM) thermal actuator
EP2309560B1 (fr) * 2009-10-12 2012-09-19 STMicroelectronics (Grenoble 2) SAS Générateur thermoélectrique
FR2951873B1 (fr) * 2009-10-26 2011-12-09 St Microelectronics Crolles 2 Dispositif de conversion d'energie thermique en electricite
FR2972571A1 (fr) * 2011-03-09 2012-09-14 St Microelectronics Crolles 2 Générateur thermoélectrique
FR2973578A1 (fr) * 2011-04-01 2012-10-05 St Microelectronics Crolles 2 Convertisseur thermo-mecano-electrique
FR2977983B1 (fr) 2011-07-11 2013-08-16 Commissariat Energie Atomique Systeme de conversion d'energie thermique en energie electrique
FR2982424B1 (fr) * 2011-11-09 2014-01-10 Commissariat Energie Atomique Systeme de conversion d'energie thermique en energie electrique a efficacite amelioree
FR2990268B1 (fr) * 2012-05-02 2014-06-06 Commissariat Energie Atomique Dispositif de conversion d'energie thermique en energie mecanique a efficacite amelioree

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *
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US20150022054A1 (en) 2015-01-22
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US20170324354A1 (en) 2017-11-09
US9966879B2 (en) 2018-05-08
FR2982424A1 (fr) 2013-05-10
US9735707B2 (en) 2017-08-15
FR2982424B1 (fr) 2014-01-10
WO2013068477A1 (fr) 2013-05-16
JP6063950B2 (ja) 2017-01-18

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