EP2695179A1 - Installation pour le traitement par bombardement ionique de deux surfaces opposees - Google Patents

Installation pour le traitement par bombardement ionique de deux surfaces opposees

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Publication number
EP2695179A1
EP2695179A1 EP12711402.3A EP12711402A EP2695179A1 EP 2695179 A1 EP2695179 A1 EP 2695179A1 EP 12711402 A EP12711402 A EP 12711402A EP 2695179 A1 EP2695179 A1 EP 2695179A1
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
installation
support
ion
beams
applicators
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP12711402.3A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Marc Brassier
Alexis Braun
Frédéric BRETAGNOL
Severin Doupeux
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Valeo Systemes dEssuyage SAS
Original Assignee
Valeo Systemes dEssuyage SAS
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Filing date
Publication date
Application filed by Valeo Systemes dEssuyage SAS filed Critical Valeo Systemes dEssuyage SAS
Publication of EP2695179A1 publication Critical patent/EP2695179A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
    • H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching for evaporating or etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60S—SERVICING, CLEANING, REPAIRING, SUPPORTING, LIFTING, OR MANOEUVRING OF VEHICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60S1/00—Cleaning of vehicles
    • B60S1/02—Cleaning windscreens, windows or optical devices
    • B60S1/04—Wipers or the like, e.g. scrapers
    • B60S1/32—Wipers or the like, e.g. scrapers characterised by constructional features of wiper blade arms or blades
    • B60S1/38—Wiper blades
    • B60S2001/3898—Wiper blades method for manufacturing wiper blades
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/202—Movement
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/31—Processing objects on a macro-scale
    • H01J2237/3151—Etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/31—Processing objects on a macro-scale
    • H01J2237/316—Changing physical properties

Definitions

  • the present invention relates to the field of surface treatment by ion bombardment.
  • the ion bombardment means make it possible to incorporate ions into a surface of an object, in particular to influence the mechanical properties of this surface (hardness, tribology, etc.).
  • the ionic bombardment means conventionally comprise, as those described in FR-A-2 899 242, ion generator means and ion applicator means.
  • the ion applicator usually comprises means selected for example from electrostatic ion beam shaping lenses, a diaphragm, a shutter, a collimator, an ion beam analyzer and a beam controller. ions.
  • the ion generator usually comprises means selected for example from an ionization chamber, an electron cyclotron resonance ion source, an ion accelerator and an ion separator.
  • FR-A-2,899,242 proposes to house all the ion bombardment means (ion generator and ion applicator) as well as the surfaces to be treated in a vacuum chamber. Vacuum means are connected to this chamber. These vacuum means must allow to obtain a relatively high vacuum in the chamber, for example of the order of 10 "2 mbar to 10" 6 mbar.
  • the object of the invention is in particular to reduce the ionic bombardment treatment time of surfaces of one or more objects, by using relatively simple means.
  • the subject of the invention is an installation for the treatment by ionic bombardment of surfaces, of the type comprising:
  • ionic bombardment means comprising a first applicator of ions for emitting a first ion beam
  • the ion bombardment means comprise a second ion applicator intended to emit a second ion beam
  • the installation further comprising:
  • a support intended to bear two opposite surfaces to be treated delimiting at least one object
  • two ion-emitting ion-emitting applicators By using two ion-emitting ion-emitting applicators to one of the corresponding opposite surfaces, two opposing surfaces of an object or objects can be processed simultaneously, these surfaces being placed in front of each beam emitted by a ion applicator.
  • Two opposite surfaces of the same object can therefore be treated, which reduces the processing time required to date by at least half.
  • the object is placed on a support and a single surface is treated. It is then necessary to return the object to be able to treat the surface opposite to the previous surface treated.
  • This overturning operation may also involve a cycle of re-venting the vacuum chamber to return the coin and re-evacuation, which further increases the overall processing time required to deal with the two opposing surfaces of the same coin. object.
  • the device may further include one or more of the following features.
  • the two beams of the two applicators are emitted in substantially parallel directions and opposite directions.
  • the two beams of the two applicators are emitted in substantially aligned directions.
  • the assembly comprising the support and the object surfaces carried by this support forms a screen between the beams of opposite directions so that any disturbances between the beams of opposite directions are avoided.
  • the support is removably mounted in the vacuum chamber. It is therefore easier to place the object or objects to be treated in the support. It is also possible to prepare the assembly formed by the object (s) to be treated and the support and to store this assembly near the vacuum chamber while waiting for it to be available. This reduces the loading and unloading time of the vacuum chamber.
  • the installation further comprises means for masking at least a portion of the opposite surfaces.
  • the masking means form part of the support of the surfaces to be treated.
  • the positioning means of the support comprises means for moving the support in the vacuum chamber.
  • the means for positioning the support comprise means for moving the support in translation substantially perpendicular to the directions of the beams.
  • the means for moving the support comprise means carrying the support pivoting about a pivot axis substantially orthogonal or parallel to the beam directions.
  • the invention also relates to an ionic surface bombardment treatment method in which the surfaces to be treated are placed in a vacuum chamber, characterized in that the vacuum chamber is that of an installation as described above.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of an installation according to a first embodiment of the invention
  • FIG. 2 is a diagrammatic sectional view along plane II-II of FIG.
  • FIG. 3 is a schematic elevational view of an installation according to a second embodiment of the invention.
  • FIG. 4 is a schematic elevational view of an installation according to a third embodiment of the invention.
  • FIG. 5 is a schematic elevational view of an installation according to a fourth embodiment of the invention.
  • FIG. 1 shows an installation 10 for the treatment by ion bombardment of surfaces comprising a vacuum chamber 12 in which a support 14 is removably mounted.
  • This support 14 is intended to carry objects 16 which it is desired to treat surfaces 18, more particularly, as is shown in more detail in FIG. 2, opposite surfaces 18a, 18b of objects 16.
  • This installation 10 also comprises ion bombardment means which comprise first and second ion applicators 20, arranged on either side of the support 14 carrying the surfaces 18 to be treated.
  • This installation 10 further comprises means 30 for positioning the support 14 between the two ion applicators 20 and 22.
  • means 30 for positioning the support 14 between the two ion applicators 20 and 22.
  • FIGS. 1 and 2 the installation 10 is shown in operation, that is to say while the ion applicators 20 and 22 emit ion beams 24 and 26 respectively to the opposite surfaces. 18a and 18b.
  • FIG. 2 which is a partial and enlarged sectional view along the plane 1111 of FIG. 1, it can be seen that the two ion applicators 20 and 22 are arranged facing each other in the vacuum chamber 12, so as to each emit an ion beam 24, 26 to the other applicator. These two beams 24, 26 are emitted in parallel directions and opposite directions. In this case, the emission directions of the two beams coincide.
  • These two applicators 20, 22 thus make it possible to treat two opposite surfaces 18a and 18b of an object 16 carried by the support 14.
  • the object 16, called twin blade wipers comprises two wiping blades 28 interconnected by a sacrificial central element 29.
  • the positioning means 30 of the support 14 comprise means for moving the support 14 in translation perpendicularly to the directions of the beams 24, 26.
  • the positioning means 30 can, for example, comprise guide means in translation of the support 14, in two perpendicular directions, shown in Figure 1 by the arrows T and P.
  • the support 14 comprises a lower portion 14a and an upper portion 14b. These two parts 14a and 14b of the support 14 may be formed by two separate parts. In this case, the upper part 14b is pivotally mounted on the lower part 14a by means of a hinge 32. When the support 14 is closed, as shown in Figures 1 to 5, the two parts 14a, 14b of the support define between them at least one housing 34. When it is desired to place binoculars 16 in the support 14, the two parts 14a, 14b of the support 14 are pivoted relative to one another in order to 14. A binocular 16 can then be placed in each housing 34 provided to receive a binocular 16 and close the support 14 by rotating the two parts 14a, 14b relative to each other.
  • parts Suitable supports 14 form a mask 36 of at least a portion of the opposed surfaces 18a, 18b to be treated.
  • parts to be treated are binoculars wiper blade, but it is clear that other pieces of shapes and variable material can be processed.
  • binoculars 16 of wiper blades 28 which are desired to be treated by ion bombardment are considered.
  • This support 14 is then placed in the chamber 12 of the installation 10, between the two ion applicators 20, 22 thanks to positioning means 30.
  • the support 14 is positioned so that an end of a binocular 16 is located between the two ion applicators 20, 22, preferably equidistant from each applicator.
  • the vacuum chamber 12 is closed and the adequate vacuum level is obtained by means of pumping means to reach a vacuum of up to 10 "6 mbar.
  • the ion bombardment means generates an ion plasma which is then accelerated and directed to the surfaces 18a, 18b to be processed through the ion applicators 20, 22.
  • the means 30 for moving the support make it possible to move the support
  • the displacement means 30 of the support 14 move the support 14 in translation, perpendicularly to the directions of the beams 24, 26, and perpendicularly to the first displacement in translation, in order to exposing to the beams 24, 26 a binocular 16 not yet treated by ion bombardment.
  • This second displacement is shown in Figure 1 by the arrow P.
  • the support 14 is moved again in the direction represented by the arrow T, so that the beams 24, 26 treat the entire length of the binocular 16.
  • the chamber 12 is returned to atmospheric pressure in order to extract the support 14.
  • the installation 10 is then available for processing other objects.
  • FIGS. 3 to 5 show an installation 10 according to the second to fourth embodiments of the installation, respectively.
  • elements similar to those of the preceding figures are designated by identical references.
  • the positioning means 30 comprise a carousel 40 bearing, for example, four supports 14.
  • This carousel 40 forms means pivoting about an axis 38 substantially orthogonal to the direction of the beams 24. 26.
  • the pivot axis 38 of the positioning means 30 is disposed in the vacuum chamber 12 so that the supports 14 can be placed one after the other between the two beams. ions 24, 26, equidistant from each of the applicators 20, 22.
  • the positioning means 30 comprise moving means (not shown) of the carousel 40 (and therefore of each support 14 carried by the carousel 40) in translation parallel to the pivot axis 38 and perpendicular to the direction of the beams 24, 26.
  • the support 14 After having placed the objects 16 which it is desired to treat two opposite surfaces 18a, 18b in a support 14, the support 14 is fixed on the carousel 40 shown in FIG. 3. It can be seen that in this example, the carousel 40 makes it possible to fix four supports 14.
  • the ion bombardment means emit beams of ions 24, 26 for treating two opposite surfaces of objects carried by a first support 14 which is arranged between the beams 24, 26 equidistant from each ion applicator 20, 22.
  • the method is similar to the method described above with respect to the first embodiment and differs mainly in that once the opposite surfaces of the objects 16 carried by a first support 14 have been treated, the positioning means 30 pivot about the axis 38 in order to position a second support 14 between the beams 24, 26, equidistant from each ion applicator 20, 22.
  • the chamber 12 is brought back to atmospheric pressure in order to extract each support 14.
  • the installation 10 is then available for processing other objects.
  • the positioning means 30 comprise a carousel 40, for example carrying four supports 14, two of which are visible in FIG. 3.
  • This carousel 40 forms means pivoting about an axis 38 substantially parallel to the direction of the beams 24, 26.
  • the positioning means 30 allow, in this embodiment, positioning four supports 14 in the plane perpendicular to the direction of the beams 24, 26 and placing them one after the other. another between the two ion beams 24, 26, equidistant from each of the applicators 20, 22.
  • the ion bombardment processing method does not involve moving the support 14 in translation between the two ion beams 24, 26 during the treatment, unlike the methods of the first and second embodiments.
  • the supports 14 are removably mounted on the positioning means 30.
  • the positioning means 30 can also be removably mounted in the vacuum chamber 12.
  • FIG. 5 represents a fourth embodiment of the installation 10 in which the support 14 carries objects 42 of which only a surface 44 requires treatment by ion bombardment.
  • the positioning means 30 comprise a carousel 40, carrying for example a support 14.
  • This carousel 40 forms means pivoting about an axis 38 and is arranged so that the ion applicators 20, 22 are diametrically opposed with respect to the axis 38 of the carousel 40, that is to say that the axis 38 is an axis of symmetry of the ion applicators 20, 22.
  • This axis 38 is substantially perpendicular to the direction beams 24, 26.
  • the positioning means 30 of the support 14 comprise, in addition to the means pivoting about the axis 38, translation displacement means perpendicular to the direction of the beams 24, 26 and means pivoting about an axis perpendicular to the directions of the beams. 24, 26 and at the axis 38.
  • the objects 42 are headlamps and are arranged on the support 14 so that at least two of the surfaces to be treated 44 of these plates 42 are diametrically opposed with respect to the axis 38 and can each be positioned in front of one of the two ion beams 24, 26.
  • this installation 10 also comprises masking means 46 of at least a portion of the opposite surfaces 44 of the plates 42, these masking means 46 being distinct from the support 14.
  • objects 42 may, for example, also be masks, hubcaps, housings, reflectors or projector screens for a motor vehicle.
  • the method of treatment in an installation according to this fourth embodiment differs mainly from other methods because the surfaces to be treated 44 opposite are not carried by the same object.
  • the installation 10 comprise as many pairs of applicators 20, 22 as there are binoculars 16 carried by the support 14. thus treat all the binoculars 16 of the support 14 at the same time.
  • two pairs of ion applicators 20, 22 could be placed to treat the opposite surfaces carried by two supports 14.
  • two pairs of applicators 20, 22 are arranged in a cross in a plane perpendicular to the pivot axis 38.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract

Cette installation (10) pour le traitement par bombardement ionique de surfaces (18, 44) comporte une chambre à vide (12), dans laquelle les surfaces (18, 44) sont destinées à être placées et des moyens de bombardement ionique comprenant un premier applicateur d'ions (20) destiné à émettre un premier faisceau d'ions (24). Les moyens de bombardement ionique comprennent en outre un deuxième applicateur d'ions (22) destiné à émettre un deuxième faisceau d'ions (26). L'installation (10) comprend de plus un support (14) destiné à porter deux surfaces (18, 44) opposées à traiter délimitant au moins un objet (16, 42) et des moyens de positionnement (30) du support (14) entre les deux applicateurs d'ions (20, 22), de façon à permettre que chaque applicateur (20, 22) émette un faisceau (24, 26) vers une des surfaces (18, 44) opposées correspondante. L'invention concerne également un procédé de traitement par bombardement ionique de surfaces (18, 44).

Description

Installation pour le traitement par bombardement ionique de deux surfaces opposées
La présente invention concerne le domaine du traitement de surfaces par bombardement ionique.
On connaît déjà dans l'état de la technique, notamment d'après FR-A-2 899 242, une i nstal lation de traitement de surfaces com prenant des moyens de bombardement ionique destinés à traiter au moins une surface.
Les moyens de bombardement ionique permettent d'incorporer des ions dans une surface d'un objet, notamment pour influencer les propriétés mécaniques de cette surface (dureté, tribologie, etc.).
Les moyens de bombardement ionique comprennent classiquement, comme ceux décrits dans FR-A-2 899 242, des moyens formant générateur d'ions et des moyens formant applicateur d'ions.
L'applicateur d'ions comprend habituellement des moyens choisis par exemple parmi des lentilles électrostatiques de mise en forme de faisceau d'ions, un diaphragme, un obturateur, un collimateur, un analyseur de faisceau d'ions et un contrôleur de faisceau d'ions.
Le générateur d'ions comprend habituellement des moyens choisis par exemple parmi une chambre d'ionisation, une source d'ions à résonance cyclotronique électronique, un accélérateur d'ions et un séparateur d'ions.
Le bombardement ionique est habituellement réalisée sous vide. Ainsi, FR-A- 2 899 242 propose de loger l'ensemble des moyens de bombardement ionique (générateur d'ions et applicateur d'ions) ainsi que les surfaces à traiter dans une chambre à vide. Des moyens de mise sous vide sont raccordés à cette chambre. Ces moyens de mise sous vide doivent permettre d'obtenir un vide relativement poussé dans la chambre, par exemple de l'ordre de 10"2 mbar à 10"6 mbar.
On souhaite pouvoir réduire le temps de traitement d'un objet ou de plusieurs objets, sans recourir à une installation beaucoup plus complexe que celle déjà connue.
L'invention a notamment pour but de réduire le temps de traitement par bombardement ionique de surfaces d'un ou de plusieurs objets, en utilisant des moyens relativement simples.
A cet effet, l'invention a pour objet une installation pour le traitement par bombardement ionique de surfaces, du type comportant :
- une chambre à vide, dans laquelle les surfaces sont destinées à être placées, - des moyens de bombardement ionique comprenant un premier applicateur d'ions destiné à émettre un premier faisceau d'ions,
caractérisée en ce que :
- les moyens de bombardement ionique comprennent un deuxième applicateur d'ions destiné à émettre un deuxième faisceau d'ions,
l'installation comprenant de plus :
- un support destiné à porter deux surfaces opposées à traiter délimitant au moins un objet, et
- des moyens de positionnement du support entre les deux applicateurs d'ions, de façon à permettre que chaque applicateur émette un faisceau vers une des surfaces opposées correspondante.
Grâce à l'utilisation de deux applicateurs d'ions émettant des faisceaux d'ions vers une des surfaces opposées correspondante, on peut traiter simultanément deux surfaces opposées d'un objet ou de plusieurs objets, ces surfaces étant placées devant chaque faisceau émis par un applicateur d'ions.
On peut donc traiter deux surfaces opposées d'un même objet ce qui réduit au moins de moitié le temps de traitement requis jusqu'à présent.
En effet, pour traiter deux surfaces opposées d'un même objet dans les installations connues, l'objet est posé sur un support et une seule surface est traitée. Il faut ensuite retourner l'objet pour pouvoir traiter la surface opposée à la précédente surface traitée. Cette opération de retournement peut également impliquer un cycle de remise à l'atmosphère de la chambre à vide pour retourner la pièce et de remise sous vide, ce qui augmente encore le temps de traitement global nécessaire pour traiter les deux surfaces opposées d'un même objet.
On peut aussi traiter deux surfaces de deux objets distincts, les surfaces étant disposées sur un support tel que la surface d'un premier objet soit à l'opposé de la surface du second objet. On peut donc réduire de moitié le temps de traitement nécessaire pour un nombre donné d'objets à traiter.
Le dispositif peut en outre comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes.
- Les deux faisceaux des deux applicateurs sont émis suivant des directions sensiblement parallèles et des sens opposés.
- Les deux faisceaux des deux applicateurs sont émis suivant des directions sensiblement alignées. Ainsi, l'ensemble comprenant le support et les surfaces d'objet portées par ce support forme un écran entre les faisceaux de sens opposés de sorte que l'on évite les éventuelles perturbations entre les faisceaux de sens opposés. - Le support est monté amovible dans la chambre à vide. On peut donc plus facilement placer le ou les objets à traiter dans le support. On peut également préparer l'ensemble formé par le ou les objets à traiter et le support et stocker cet ensemble près de la chambre à vide en attendant que celle-ci soit disponible. On réduit donc le temps de chargement et de déchargement de la chambre à vide.
- L'installation comporte en outre des moyens de masquage d'au moins une partie des surfaces opposées.
- Les moyens de masquage forment une partie du support des surfaces à traiter.
- Les moyens de positionnement du support comprennent des moyens de déplacement du support dans la chambre à vide.
- Les moyens de positionnement du support comprennent des moyens de déplacement du support en translation sensiblement perpendiculairement aux directions des faisceaux.
- Les moyens de déplacement du support comprennent des moyens portant le support pivotant autour d'un axe de pivotement sensiblement orthogonal ou parallèle aux directions des faisceaux.
L'invention a également pour objet un procédé de traitement par bombardement ionique de surfaces dans lequel on place les surfaces à traiter dans une chambre à vide, caractérisé en ce que la chambre à vide est celle d'une installation telle que décrite précédemment.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif de la portée de l'invention et faite en se référant aux dessins, dans lesquels :
- la figure 1 est une vue schématique en perspective d'une installation selon un premier mode de réalisation de l'invention ;
- la figure 2 est une vue schématique en coupe selon le plan ll-ll de la figure
1 ;
- la figure 3 est une vue schématique en élévation d'une installation selon un deuxième mode de réalisation de l'invention ;
- la figure 4 est une vue schématique en élévation d'une installation selon un troisième mode de réalisation de l'invention ;
- la figure 5 est une vue schématique en élévation d'une installation selon un quatrième mode de réalisation de l'invention.
On a représenté sur la figure 1 , une installation 10 pour le traitement par bombardement ionique de surfaces comprenant une chambre à vide 12 dans laquelle un support 14 est monté amovible. Ce support 14 est destiné à porter des objets 16 dont on souhaite traiter des surfaces 18, plus particulièrement, comme cela est montré plus en détail sur la figure 2, des surfaces opposées 18a, 18b des objets 16.
Cette installation 10 comprend également des moyens de bombardement ionique qui comportent des premier 20 et deuxième 22 applicateurs d'ions, disposés de part et d'autres du support 14 portant les surfaces 18 à traiter.
Cette installation 10 comprend en outre des moyens 30 de positionnement du support 14 entre les deux applicateurs d'ions 20 et 22. Ces moyens 30, de type classique, sont représentés de façon schématique sur la figure 1.
Sur les figures 1 et 2, on a représenté l'installation 10 en cours de fonctionnement, c'est-à-dire alors que les applicateurs d'ions 20 et 22 émettent des faisceaux d'ions 24 et 26 respectivement vers les surfaces opposées 18a et 18b.
En se référant à la figure 2, qui est une vue en coupe partielle et agrandie selon le plan l l-l l de la figure 1 , on voit que les deux applicateurs d'ions 20 et 22 sont disposés en vis-à-vis dans la chambre à vide 12, de façon à émettre chacun un faisceau d'ions 24, 26 vers l'autre applicateur. Ces deux faisceaux 24, 26 sont donc émis suivant des directions parallèles et des sens opposés. Dans le cas présent, les directions d'émission des deux faisceaux coïncident. Ces deux applicateurs 20, 22 permettent donc de traiter deux surfaces opposées 18a et 18b d'un objet 16 porté par le support 14. Sur cette figure, l'objet 16, appelé jumelle de lames d'essuyage, comprend deux lames d'essuyage 28 reliées entre elles par un élément central sacrificiel 29.
Afin de traiter chaque lame d'essuyage 28 sur toute sa longueur, les moyens de positionnement 30 du support 14 comprennent des moyens de déplacement du support 14 en translation perpendiculairement aux directions des faisceaux 24, 26. Ainsi, les moyens de positionnement 30 peuvent, par exemple, comporter des moyens de guidage en translation du support 14, selon deux directions perpendiculaires, représentées sur la figure 1 par les flèches T et P.
Comme on peut le voir sur la figure 2, le support 14 comprend une partie inférieure 14a et une partie supérieure 14b. Ces deux parties 14a et 14b du support 14 peuvent être formées par deux pièces distinctes. Dans le cas présent, la partie supérieure 14b est montée pivotante sur la partie inférieure 14a au moyen d'une charnière 32. Lorsque le support 14 est fermé, tel que représenté sur les figures 1 à 5, les deux parties 14a, 14b du support définissent entre elles au moins un logement 34. Lorsque l'on désire placer des jumelles 16 dans le support 14, on fait pivoter les deux parties 14a, 14b du support 14 l'une par rapport à l'autre afin d'ouvrir le support 14. On peut ensuite placer une jumelle 16 dans chaque logement 34 prévu pour recevoir une jumelle 16 et refermer le support 14 en faisant pivoter les deux parties 14a, 14b l'une par rapport à l'autre.
On constate que lorsque la jumelle 16 est placée dans le logement 34 du support 14, une partie des surfaces 18a, 18b est masquée si bien qu'elle est soustraite au traitement par les faisceaux d'ions 24, 26. En effet, des parties appropriées du support 14 forment un masque 36 d'au moins une partie des surfaces opposées 18a, 18b à traiter.
Dans le cas présent les pièces à traiter sont des jumelles de lame d'essuyage, mais il est bien clair que d'autres pièces de formes et de matière variable peuvent être traitées.
On va maintenant décrire un procédé de traitement par bombardement ionique dans une installation 10 telle que décrite dans ce premier mode de réalisation. On considère, par exemple, des jumelles 16 de lames d'essuyage 28 que l'on désire traiter par bombardement ionique. Une fois les jumelles 16 extrudées et coupées en segments de longueur adéquate, elles sont placées dans un support 14. Ce support 14 est ensuite disposé dans la chambre 12 de l'installation 10, entre les deux applicateurs d'ions 20, 22 grâce aux moyens de positionnement 30.
Dans le mode de réalisation des figures 1 et 2, le support 14 est positionné de sorte qu'une extrémité d'une jumelle 16 soit située entre les deux applicateurs d'ions 20, 22, de préférence à égale distance de chaque applicateur.
La chambre à vide 12 est fermée et le niveau de vide adéquat est obtenu à l'aide de moyens de pompage permettant d'atteindre un vide pouvant aller jusqu'à 10"6 mbar.
Une fois le vide adéquat atteint, les moyens de bombardement ionique génèrent un plasma d'ions qui sont ensuite accélérés et dirigés vers les surfaces 18a, 18b à traiter par l'intermédiaire des applicateurs d'ions 20, 22.
Les moyens de déplacement 30 du support permettent de déplacer le support
14 en translation, perpendiculairement aux directions des faisceaux 24, 26, de sorte que la totalité des surfaces 18a et 18b de la jumelle 16 soient traitées par les faisceaux 24, 26. Ce premier déplacement est représenté sur la figure 1 par la flèche T.
Lorsque les faisceaux 24, 26 atteignent l'autre extrémité de la jumelle 16, les moyens de déplacement 30 du support 14 déplacent le support 14 en translation, perpendiculairement aux directions des faisceaux 24, 26, et perpendiculairement au premier déplacement en translation, afin d'exposer aux faisceaux 24, 26 une jumelle 16 non encore traitée par bombardement ionique. Ce deuxième déplacement est représenté sur la figure 1 par la flèche P.
Ensuite, le support 14 est à nouveau déplacé selon la direction représentée par la flèche T, afin que les faisceaux 24, 26 traitent toute la longueur de la jumelle 16.
Une fois que toutes les jumelles 16 portées par le support 14 ont été traitées, on remet la chambre 12 à pression atmosphérique afin d'en extraire le support 14.
L'installation 10 est alors disponible pour le traitement d'autres objets.
On a représenté sur les figures 3 à 5 une installation 10 selon respectivement des deuxième à quatrième modes de réalisation de l'installation. Sur ces figures, les éléments analogues à ceux des figures précédentes sont désignés par des références identiques.
Dans le deuxième mode de réalisation représenté sur la figure 3, les moyens de positionnement 30 comprennent un carrousel 40 portant par exemple quatre supports 14. Ce carrousel 40 forme des moyens pivotant autour d'un axe 38 sensiblement orthogonal à la direction des faisceaux 24, 26.
On voit que dans ce deuxième mode de réalisation, l'axe de pivotement 38 des moyens de positionnement 30 est disposé dans la chambre à vide 12 de sorte que les supports 14 puissent être placés l'un après l'autre entre les deux faisceaux d'ions 24, 26, à égale distance de chacun des applicateurs 20, 22.
En outre, dans ce deuxième mode de réalisation, les moyens de positionnement 30 comprennent des moyens de déplacement (non représentés) du carrousel 40 (et donc de chaque support 14 porté par ce carrousel 40) en translation parallèlement à l'axe de pivotement 38 et perpendiculairement à la direction des faisceaux 24, 26.
On va maintenant décrire un procédé de traitement par bombardement ionique dans une installation 10 selon ce deuxième mode de réalisation.
Après avoir placé les objets 16 dont on souhaite traiter deux surfaces opposées 18a, 18b dans un support 14, on vient fixer le support 14 sur le carrousel 40 représenté sur la figure 3. On constate que dans cet exemple, le carrousel 40 permet de fixer quatre supports 14.
Lorsque les conditions de vide adéquates sont atteintes dans la chambre à vide 12, les moyens de bombardement ionique émettent des faisceaux d'ions 24, 26 permettant de traiter deux surfaces opposées d'objets portés par un premier support 14 qui est disposé entre les faisceaux 24, 26 à égale distance de chaque applicateur d'ions 20, 22.
Le procédé est similaire au procédé décrit précédemment à propos du premier mode de réalisation et n'en diffère principalement que par le fait qu'une fois que les surfaces opposées des objets 16 portés par un premier support 14 ont été traitées, les moyens de positionnement 30 pivotent autour de l'axe 38 afin de positionner un deuxième support 14 entre les faisceaux 24, 26, à égale distance de chaque applicateur d'ions 20, 22.
Lorsque les quatre supports ont été successivement positionnés entre les faisceaux 24, 26 et que toutes les surfaces ont été traitées, on remet la chambre 12 à pression atmosphérique afin d'en extraire chaque support 14.
L'installation 10 est alors disponible pour le traitement d'autres objets.
Dans le troisième mode de réalisation représenté sur la figure 4, les moyens de positionnement 30 comprennent un carrousel 40, portant par exemple quatre supports 14 dont deux sont visibles sur la figure 3. Ce carrousel 40 forme des moyens pivotant autour d'un axe 38 sensiblement parallèle à la direction des faisceaux 24, 26. Les moyens de positionnement 30 permettent, dans ce mode de réalisation, de positionner quatre supports 14 dans le plan perpendiculaire à la direction des faisceaux 24, 26 et de les placer l'un après l'autre entre les deux faisceaux d'ions 24, 26, à égale distance de chacun des applicateurs 20, 22.
Dans ce mode de réalisation, le procédé de traitement par bombardement ionique n'implique pas de déplacer le support 14 en translation entre les deux faisceaux d'ions 24, 26 pendant le traitement, contrairement aux procédés des premier et deuxième modes de réalisation.
On notera que les supports 14 sont montés amovibles sur les moyens de positionnement 30. En outre, les moyens de positionnement 30 peuvent également être montés amovibles dans la chambre à vide 12.
La figure 5 représente un quatrième mode de réalisation de l'installation 10 dans lequel le support 14 porte des objets 42 dont seule une surface 44 nécessite un traitement par bombardement ionique.
Dans ce quatrième mode de réalisation, les moyens de positionnement 30 comprennent un carrousel 40, portant par exemple un support 14. Ce carrousel 40 forme des moyens pivotant autour d'un axe 38 et est disposé de sorte que les applicateurs d'ions 20, 22 sont diamétralement opposés par rapport à l'axe 38 du carrousel 40, c'est-à-dire que l'axe 38 est un axe de symétrie des applicateurs d'ions 20, 22. Cet axe 38 est sensiblement perpendiculaire à la direction des faisceaux 24, 26.
Les moyens de positionnement 30 du support 14 comprennent, outre les moyens pivotant autour de l'axe 38, des moyens de déplacement en translation perpendiculairement à la direction des faisceaux 24, 26 et des moyens pivotant autour d'un axe perpendiculaire aux directions des faisceaux 24, 26 et à l'axe 38.
Sur la figure 5, les objets 42 sont des enjoliveurs de projecteurs et sont disposés sur le support 14 de façon à ce qu'au moins deux des surfaces à traiter 44 de ces platines 42 soient diamétralement opposées par rapport à l'axe 38 et puissent être positionnées chacune devant un des deux faisceaux d'ions 24, 26. On notera que cette installation 10 comprend également des moyens de masquage 46 d'au moins une partie des surfaces opposées 44 des platines 42, ces moyens de masquage 46 étant distincts du support 14.
Pour des raisons de clarté, on a représenté sur la figure 5 quatre platines 42. On comprendra que le support 14 peut en porter d'autres qui ne sont pas représentées sur cette figure.
On notera que les objets 42 peuvent, par exemple, également être des masques, des enjoliveurs, des boîtiers, des réflecteurs ou des écrans de projecteurs pour véhicule automobile.
Le procédé de traitement dans une installation selon ce quatrième mode de réalisation diffère principalement des autres procédés du fait que les surfaces à traiter 44 opposées ne sont pas portées par le même objet.
On notera que les variantes du procédé concernent principalement le positionnement et le déplacement des surfaces opposées à traiter.
On notera enfin que l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation précédemment décrits. En effet, pour des raisons de clarté, seules deux applicateurs 20, 22 ont été représentés. On pourrait envisager que l'installation 10 comprennent plusieurs paires d'applicateurs 20, 22 permettant de traiter des surfaces opposées.
Par exemple, dans le premier mode de réalisation représenté à la figure 1 , on pourrait envisager que l'installation 10 comprennent autant de paires de d'applicateurs 20, 22 qu'il y a de jumelles 16 portées par le support 14. On pourrait ainsi traiter toutes les jumelles 16 du support 14 en même temps.
On pourrait également envisager de n'avoir qu'une seule paire d'applicateurs 20, 22 mais qui émettent des faisceaux d'ions 24, 26 larges permettant de traiter toute la largeur du support 14. Le déplacement selon la direction représentée par la flèche P ne serait plus nécessaire et seul le déplacement du support 14 selon la direction représentée par la flèche T serait nécessaire pour traiter toute la longueur des jumelles 16.
Dans le deuxième mode de réalisation, on pourrait placer deux paires d'applicateurs d'ions 20, 22 afin de traiter les surfaces opposées portées par deux support 14.
Dans le troisième mode de réalisation, on pourrait placer quatre paires d'applicateurs d'ions 20, 22 afin de traiter les surfaces opposées portées par quatre support 14.
On pourrait également envisager que, dans le quatrième mode de réalisation représenté sur la figure 5, deux paires d'applicateurs 20, 22 soient disposées en croix dans un plan perpendiculaire à l'axe de pivotement 38.

Claims

REVENDICATIONS
1. Installation (10) pour le traitement par bombardement ionique de surfaces (18, 44), du type comportant :
- une chambre à vide (12), dans laquelle les surfaces (18, 44) sont destinées à être placées,
- des moyens de bombardement ionique comprenant un premier applicateur d'ions (20) destiné à émettre un premier faisceau d'ions (24),
caractérisée en ce que :
- les moyens de bombardement ionique comprennent un deuxième applicateur d'ions (22) destiné à émettre un deuxième faisceau d'ions (26),
l'installation (10) comprenant de plus :
- un support (14) destiné à porter deux surfaces (18, 44) opposées à traiter délimitant au moins un objet (16, 42), et
- des moyens de positionnement (30) du support (14) entre les deux applicateurs d'ions (20, 22), de façon à permettre que chaque applicateur (20, 22) émette un faisceau (24, 26) vers une des surfaces (18, 44) opposées correspondante.
2. Installation (10) selon la revendication précédente, dans laquelle les deux faisceaux (24, 26) des deux applicateurs (20, 22) sont émis suivant des directions sensiblement parallèles et des sens opposés.
3. Installation (10) selon la revendication précédente, dans laquelle les deux faisceaux (24, 26) des deux applicateurs (20, 22) sont émis suivant des directions sensiblement alignées.
4. Installation (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le support (14) est monté amovible dans la chambre à vide (12).
5. Installation (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comportant en outre des moyens de masquage (14, 36, 46) d'au moins une partie des surfaces (18) opposées.
6. Installation (10) selon la revendication précédente, dans laquelle les moyens de masquage (14, 36) forment une partie du support (14) des surfaces à traiter.
7. Installation (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle les moyens de positionnement (30) du support (14) comprennent des moyens de déplacement (30) du support (14) dans la chambre à vide (12).
8. Installation (10) selon la revendication 7, dans laquelle les moyens de positionnement (30) du support (14) comprennent des moyens de déplacement (30) du support (14) en translation sensiblement perpendiculairement aux directions des faisceaux (24, 26).
9. Installation (10) selon la revendication 7, dans laquelle les moyens de déplacement (30) du support (14) comprennent des moyens portant le support pivotant autour d'un axe de pivotement (38) sensiblement orthogonal ou parallèle aux directions des faisceaux.
10. Installation (10) selon la revendication 9, dans laquelle lesdits moyens de positionnement (30) comprennent un carrousel (40) portant au moins un support
(14), ledit carrousel (40) pivotant autour dudit axe de pivotement (38).
1 1. Installation (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle ledit objet (16) est une jumelle de lames d'essuyage, ladite jumelle comprenant deux lames d'essuyage (28) reliées entre elles par un élément central sacrificiel (29).
12. Installation (10) selon la revendication 10, ladite installation (10) étant adaptée pour traiter un objet (42) choisi dans le groupe constitué par des masques, des enjoliveurs, des boîtiers, des réflecteurs ou des écrans de projecteurs pour véhicules automobile.
13. Installation (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle les deux applicateurs d'ions (20, 22) émettent des faisceaux d'ions (24, 26) larges permettant de traiter simultanément différents objets (16, 42) selon la largeur desdits objets (16, 42).
14. Procédé de traitement par bombardement ionique de surfaces (18) dans lequel on place les surfaces (18) à traiter dans une chambre à vide (12), caractérisé en ce que la chambre à vide (12) est celle d'une installation (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes.
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