EP2652086A1 - Method for producing a radiation conversion element, radiation conversion element, and optoelectronic component containing a radiation conversion element - Google Patents

Method for producing a radiation conversion element, radiation conversion element, and optoelectronic component containing a radiation conversion element

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Publication number
EP2652086A1
EP2652086A1 EP11794470.2A EP11794470A EP2652086A1 EP 2652086 A1 EP2652086 A1 EP 2652086A1 EP 11794470 A EP11794470 A EP 11794470A EP 2652086 A1 EP2652086 A1 EP 2652086A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
radiation
conversion element
substrate
radiation conversion
conversion layer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP11794470.2A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Mikael Ahlstedt
Raquel De La Pena Alonso
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ams Osram International GmbH
Original Assignee
Osram Opto Semiconductors GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osram Opto Semiconductors GmbH filed Critical Osram Opto Semiconductors GmbH
Publication of EP2652086A1 publication Critical patent/EP2652086A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G02OPTICS
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    • G02B5/00Optical elements other than lenses
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    • C09K11/77Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals
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    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
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    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Definitions

  • Radiation conversion element and an optoelectronic component with the radiation conversion element.
  • Radiation conversion elements can be used, for example, on semiconductor chips of radiation-emitting,
  • the LEDs emit light at a certain wavelength, that of the
  • Radiation conversion element can be converted into light of different wavelengths.
  • An object of an embodiment of the invention is to provide an easily performed method for producing a radiation conversion element with which a radiation conversion element with improved properties can be produced. Other tasks are the
  • Radiation conversion element contains. These objects are achieved by the method according to claim 1, which Radiation conversion element according to claim 8 and the optoelectronic component according to claim 15 solved.
  • Radiation conversion element are the subject of dependent claims.
  • the conversion layer produced by this process can have a crystalline or glassy, ie amorphous structure.
  • amorphous in connection with the finished conversion layer is understood to mean that crystalline dopant particles can be present in it.
  • Process step D) present in the conversion layer is included from the beginning.
  • Process step D) is further thermally treated and thus formed into a crystalline or amorphous conversion layer containing a dopant, due to In the layer existing luminescent dopants radiation from one wavelength to a larger or smaller depending on the type of dopant wavelength
  • the substrate may have radiation-converting properties, so that the conversion layer can convert the already converted radiation even further and thus can cause a fine-tuning of the converted wavelength and thus the color impression for an external viewer of the emitted light.
  • the conversion layer can convert the already converted radiation even further and thus can cause a fine-tuning of the converted wavelength and thus the color impression for an external viewer of the emitted light.
  • Beam path is applied to a radiation conversion element with the above properties, emit a cold white light for car lights or a warm white light for lighting in the living area.
  • R represents an organic radical, such as straight or branched alkyl groups of any length, and the organic radicals in the inter-reacting molecules may be the same or different.
  • M represents a metal, which may be "n” represents the valency of the metal on which the number of moieties attached to M is dependent.
  • Process step A) further comprises a solvent and
  • Suitable solvents may be, for example, alcohols, such as isopropanol or ethanol, or acid / base catalysts, such as water with HCl or NH3. With the solvent, a suitable dilution of the solution can be achieved, and the
  • Drying rate and the homogenization of the solution can be influenced. Depending on the drying rate, the viscosity of the resulting gel can be influenced.
  • precursors in the context of metal precursors is meant compounds which undergo chemical reactions during the process and are thus altered, but the metal which, after process step D) in the
  • Metal precursors added to the solution may be selected from a group comprising metal alkoxides, acetates, chlorides and nitrates.
  • connections can be from a group
  • metal alkoxides have the formula M-O-R.
  • M stands for the metal
  • R for an organic radical, which can be chosen arbitrarily.
  • water may be added to the solution to promote hydrolysis.
  • a complexing agent can be added to stabilize the solution.
  • An exemplary complexing agent is acetylacetate.
  • Ratio of the metal of the dopant precursor to all metals in the solution can be 0.5 to 20.
  • the dopant precursors in process step A) can be selected from a group comprising metal alkoxides, acetates, chlorides and nitrates of the metals Eu, Ce, Ir, Er and Cs.
  • the dopant precursors can also be called
  • Nanopowder dispersed in the solution This will make the solution luminescent
  • the application in process step B) can be carried out by means of a method selected from the group consisting of spin coating, dip coating or spray coating
  • Substrate results in that the conversion layer is formed substantially transparent.
  • the application methods used in process step B) are particularly inexpensive methods compared to conventional application methods, such as
  • CVD chemical vapor deposition
  • PVD physical vapor deposition
  • sputtering for example CVD, PVD or sputtering.
  • both the thickness of the resulting conversion layer and the wavelength to which radiation is converted can be adjusted which in turn is due to the precisely adjustable thickness.
  • the conversion layer should be as transparent as possible.
  • Process step D) may comprise the steps D1) drying the gel, D2) calcining the gel to form an amorphous layer, D3) pyrolysis of the amorphous layer to form a conversion layer.
  • the luminescent dopant is thus incorporated in the conversion layer.
  • the thermal treatment of process step D) is divided into three sub-steps.
  • the pyrolysis atmosphere can be a
  • the calcination can be used to form an amorphous layer from the gel layer, which then becomes pyrolysis
  • Conversion layer which is crystalline or amorphous, is formed. If the conversion layer is amorphous, crystalline dopant particles may be incorporated in it.
  • the method steps B) to D) can be repeated at least twice.
  • Substrate can be applied. A repetition of up to eight times is also conceivable.
  • the repeated application of the solution to the substrate in process step B) can take place after process step D1), after process step D2) or after process step D3). In general, it makes sense to apply more layers if they are thinner. There can be so many layers
  • the individual crystalline or amorphous layers may each have different thicknesses and / or different dopant concentrations and / or different dopants. So that can
  • a larger dopant concentration in the entire conversion layers in each case very thin and therefore transparent individual layers are generated. It is also possible to apply a plurality of layers, which are made from the same solutions, in order to increase the effect of the radiation conversion by combining these prepared conversion layers.
  • a method is provided in which a solution is applied to, for example, a radiation-converting substrate.
  • the solution contains a mixture of liquid metal precursors and liquid
  • Dotierstoffprekursoren in one embodiment, also dispersed nanopowder dopant precursors, which become a gel by hydrolysis and condensation and after a thermal treatment give a luminescent crystalline or amorphous conversion layer.
  • the radiation-converting conversion layer can serve as a modifying radiation conversion layer to more precisely match the radiation converted by the radiation-converting substrate to the desired hue
  • the conversion layer can, for example, convert small amounts of white-colored radiation to blue- or yellow-colored radiation, so that a cool-white radiation results. If warm white radiation is desired, the conversion layer may be formed to convert small amounts of white radiation into reds or greens
  • the method is a simple technology to apply a color-modifying conversion layer to a
  • the substrate may also be a radiation-inactive layer. Then the conversion layer on the substrate is the only radiation conversion layer that converts the radiation.
  • Conversion layers for example, 10 nm thick layers are produced, which is not conventional methods is possible. Due to the small thickness of the layers is a very accurate adjustment of the desired hue by
  • the radiation conversion element can in a
  • This radiation for example, from a semiconductor chip on which the
  • Radiation conversion element is applied, is emitted, freely pass through the radiation conversion element through, and at the same time the wavelength of the radiation are converted.
  • the substrate can convert radiation or become inactive
  • Substrate may include inorganic material. It may be, for example, to a radiation-converting materials containing ceramic, a luminescent glass or a
  • a YAG ceramic can be used, which at temperatures of up to 1850 ° C is stable. If glasses are used as substrate, the temperature in process step D) must be below the
  • An inorganic radiation-converting substrate is favorable if further functional layers are to be deposited thereon.
  • an inorganic radiation-converting substrate is therefore also suitable for applying a conversion layer by means of the abovementioned method, which comprises a thermal treatment.
  • the substrate may also have non-radiation-converting properties and only as a substrate for the
  • the conversion layer is the only one
  • the conversion layer may have a crystalline or amorphous structure. This is due to the above manufacturing process.
  • a metal may be incorporated in a proportion of 0.05 mol% to 8 mol%, especially 1 mol% to 5 mol%.
  • the metal may be selected from a group comprising Eu, Ce, Ir, Er and Cs.
  • concentration of these metals, which are dopants in the conversion layer is more or less passing through the conversion layer Radiation converted.
  • the color that is to say the wavelength of the radiation emerging from the conversion layer, is thus determined by the concentration of the dopants in the
  • the conversion layer may have a thickness which is selected from the range 10 nm to 5 ⁇ .
  • the conversion layer may, for example, have 10 nm.
  • a plurality of conversion layers may be stacked on the substrate to increase the effect of radiation conversion.
  • step C hydrolysis and condensation and bonds between a
  • inorganic substrate and the crosslinking gel layer arise. These bonds also stay in place during the
  • step D subsequent thermal treatment in step D), whereby a covalent bond between the
  • Conversion layer and the substrate is formed.
  • bonds can be, for example, bonds between OH groups of the
  • an optoelectronic component which comprises a carrier, at least one
  • Radiation conversion element can convert the radiation emitted by the semiconductor chip radiation. This can be done either by conversion by means of a radiation-converting substrate and a converting modification by the
  • Radiation conversion layer is.
  • Such an optoelectronic component has an improved fine tuning of the emitted radiation, so that the desired wavelength of the emitted
  • Such an optoelectronic component may be, for example, an LED.
  • Figure 1 is a schematic side view of an optoelectronic device
  • Figure 1 shows the schematic side view of a
  • the radiation conversion element 60 includes a substrate 61 and a conversion layer 62.
  • the substrate 61 may itself be radiation-converting or inactive
  • the conversion layer 62 is a radiation converting layer and may vary depending on
  • Embodiment of the substrate cause a modification of the wavelength of the radiation converted by the substrate or be sole radiation conversion layer.
  • Semiconductor chip 20 may be radiation of one wavelength
  • Radiation conversion element 60 as well as the potting 50 are formed transparent.
  • the following is an example of producing a conversion layer 62 on a substrate 61.
  • Metal precursors may include metal alkoxides, acetates, chlorides or nitrates. Also the
  • Dopant precursors may include metal alkoxides, acetates, chlorides and nitrates.
  • Metal precursors include one or more of Al, Si, Ti, and Zr, and the metals of the dopant precursors include one or more of Eu, Ce, Ir, Er, and Cs.
  • the precursors can be stabilized prior to mixing to achieve ease of solution handling and avoid the formation of secondary phases.
  • This solution is applied to a substrate, for example an inorganic substrate, which is formed from a ceramic, a glass or a glass ceramic, by means of spin coating, dip coating or spray coating.
  • the solution on the substrate condenses and hydrolyzes to a gel at room temperature and is then dried at 110 ° C for a few minutes. In this case, a high degree of crosslinking forms in the gel layer.
  • the drying step may be repeated several times to increase the preferred layer thickness
  • the thus coated substrate is then in
  • Oxygen atmosphere calcined at temperatures of up to 600 ° C to remove organic residues in the gel and to allow the formation of an inorganic, amorphous network.
  • the calcined network on the substrate is then subjected to pyrolysis at higher temperatures to allow crystallization of the amorphous layer.
  • the atmosphere in the pyrolysis can be an oxygen
  • Nitrogen or Formiergasatmosphere The choice of the atmosphere is made depending on how the material of the amorphous layer is composed, what stoichiometric
  • Conversion layer can by means of the application technique in
  • Process step B) the viscosity of the solution, ie the Amount of solvent in the solution provided in step A), and the number of conversion layers produced can be determined.
  • the parameters of the deposition technique such as the spin speed or time, can be varied to produce thicker and thinner conversion layers, respectively
  • Thicker layers can be made by providing already cross-linked solutions of correspondingly high viscosity.
  • Conversion layers are also made thicker. Repetitions are possible after drying the layer in process step D1), after calcination in
  • the invention includes any novel feature as well as any combination of features, which includes in particular any combination of features in the claims, even if this feature or this combination itself is not explicitly stated in the patent claims or exemplary embodiments.

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Abstract

The invention relates to a method for producing a radiation conversion element, in which a solution is applied to a substrate, a gel is formed from the solution, and the gel is thermally treated. Moreover, a radiation conversion element is provided, which is produced according to the method. Moreover, an optoelectronic component is provided, which contains a radiation conversion element.

Description

Beschreibung description
Verfahren zur Herstellung eines Process for the preparation of a
Strahlungskonversionselements , Strahlungskonversionselement und optoelektronisches Bauelement enthaltend ein  Radiation conversion element, radiation conversion element and optoelectronic component containing a
Strahlungskonversionselement Radiation conversion element
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2010 054 279.2, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird. This patent application claims the priority of German patent application 10 2010 054 279.2, the disclosure of which is hereby incorporated by reference.
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines There will be a method of making a
Strahlungskonversionselements angegeben sowie das Radiation conversion element specified as well as the
Strahlungskonversionselement und ein optoelektronisches Bauelement mit dem Strahlungskonversionselement. Radiation conversion element and an optoelectronic component with the radiation conversion element.
Strahlungskonversionselemente können beispielsweise auf Halbleiterchips von Strahlungsemittierenden, Radiation conversion elements can be used, for example, on semiconductor chips of radiation-emitting,
optoelektronischen Bauelementen wie beispielsweise LEDs aufgebracht werden. Die LEDs emittieren Licht in einer bestimmten Wellenlänge, das von dem optoelectronic components such as LEDs are applied. The LEDs emit light at a certain wavelength, that of the
Strahlungskonversionselement in Licht anderer Wellenlänge konvertiert werden kann.  Radiation conversion element can be converted into light of different wavelengths.
Eine Aufgabe einer Aus führungs form der Erfindung ist die Bereitstellung eines einfach durchzuführenden Verfahrens zur Herstellung eines Strahlungskonversionselements, mit dem ein Strahlungskonversionselement mit verbesserten Eigenschaften hergestellt werden kann. Weitere Aufgaben sind die An object of an embodiment of the invention is to provide an easily performed method for producing a radiation conversion element with which a radiation conversion element with improved properties can be produced. Other tasks are the
Bereitstellung des Strahlungskonversionselements und eines optoelektronischen Bauelements, das das Provision of the radiation conversion element and an optoelectronic component, which the
Strahlungskonversionselement enthält. Diese Aufgaben werden durch das Verfahren gemäß Anspruch 1, das Strahlungskonversionselement gemäß Anspruch 8 und das optoelektronische Bauelement gemäß Anspruch 15 gelöst. Radiation conversion element contains. These objects are achieved by the method according to claim 1, which Radiation conversion element according to claim 8 and the optoelectronic component according to claim 15 solved.
Weitere Aus führungs formen des Verfahrens und des Further embodiments of the method and of the
Strahlungskonversionselements sind Gegenstand abhängiger Ansprüche . Radiation conversion element are the subject of dependent claims.
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines There will be a method of making a
Strahlungskonversionselements angegeben mit den Radiation conversion element indicated by the
Verfahrensschritten A) Bereitstellen eines Substrats und einer stabilen Lösung, die lumineszierende Process steps A) Providing a substrate and a stable solution, the luminescent
Dotierstoffprekusoren umfasst, B) Aufbringen der Lösung auf das Substrat, C) Hydrolyse und Kondensation der Lösung zur Bildung eines Gels, D) thermisches Behandeln des Gels zur Bildung einer Konversionsschicht auf dem Substrat. Die durch dieses Verfahren hergestellte Konversionsschicht kann eine kristalline oder glasartige, also amorphe Struktur aufweisen Im Folgenden wird amorph im Zusammenhang mit der fertig hergestellten Konversionsschicht so verstanden, dass in ihr kristalline Dotierstoffpartikel vorhanden sein können.  B) application of the solution to the substrate, C) hydrolysis and condensation of the solution to form a gel, D) thermal treatment of the gel to form a conversion layer on the substrate. The conversion layer produced by this process can have a crystalline or glassy, ie amorphous structure. In the following, amorphous in connection with the finished conversion layer is understood to mean that crystalline dopant particles can be present in it.
Mit „Prekursor" im Zusammenhang mit Dotierstoffprekursoren sind Verbindungen gemeint, die im Laufe des Verfahrens chemische Reaktionen durchlaufen und somit verändert werden, aber den eigentlichen Dotierstoff, wie er nach dem By "precursor" in the context of Dotierstoffprekursoren compounds are meant, which undergo chemical reactions in the course of the process and thus be changed, but the actual dopant, as he after the
Verfahrensschritt D) in der Konversionsschicht vorhanden ist von Anfang an enthalten. Process step D) present in the conversion layer is included from the beginning.
Mit diesem Verfahren wird also auf dem Substrat eine Lösung mit lumineszierenden Eigenschaften aufgebracht, die zu einer Gel-Schicht gebildet wird. Die Gel-Schicht, die im With this method, therefore, a solution with luminescent properties is applied to the substrate, which is formed into a gel layer. The gel layer used in the
Verfahrensschritt D) weiterhin thermisch behandelt und damit zu einer kristallinen oder amorphen Konversionsschicht, die einen Dotierstoff enthält, gebildet wird, kann aufgrund der in der Schicht vorhandenen lumineszierenden Dotierstoffe Strahlung von einer Wellenlänge zu einer je nach Art des Dotierstoffs größeren oder kleineren Wellenlänge Process step D) is further thermally treated and thus formed into a crystalline or amorphous conversion layer containing a dopant, due to In the layer existing luminescent dopants radiation from one wavelength to a larger or smaller depending on the type of dopant wavelength
konvertieren . convert.
Auch das Substrat kann strahlungskonvertierende Eigenschaften aufweisen, so dass die Konversionsschicht die bereits konvertierte Strahlung noch weiter konvertieren kann und somit eine Feinabstimmung der konvertierten Wellenlänge und damit des Farbeindrucks für einen äußeren Betrachter des emittierten Lichts bewirken kann. Damit kann beispielsweise eine weißes Licht emittierende Vorrichtung, in deren Also, the substrate may have radiation-converting properties, so that the conversion layer can convert the already converted radiation even further and thus can cause a fine-tuning of the converted wavelength and thus the color impression for an external viewer of the emitted light. Thus, for example, a white light emitting device in whose
Strahlengang ein Strahlungskonversionselement mit den oben genannten Eigenschaften aufgebracht ist, ein kalt weißes Licht für Autobeleuchtungen oder ein warm weißes Licht für Beleuchtungen im Wohnbereich emittieren. Beam path is applied to a radiation conversion element with the above properties, emit a cold white light for car lights or a warm white light for lighting in the living area.
Mit dem Verfahren kann auf einfache Weise eine With the method can easily a
Konversionsschicht auf dem Substrat abgeschieden werden und damit eine Strahlungskonversionsschicht erhalten werden, die dicht ist, eine homogene Dotierung sowie eine geringe Dicke aufweist. Dieses Verfahren ist aufgrund der einfachen Conversion layer are deposited on the substrate and thus a radiation conversion layer are obtained, which is dense, has a homogeneous doping and a small thickness. This procedure is due to the simple
Durchführung auch industriell anwendbar. Implementation also industrially applicable.
Die Hydrolyse und Kondensation im Verfahrensschritt C) führt zu einer Vernetzung der Lösung und damit zur Bildung eines Gels. Die Reaktionen, die während der Hydrolyse und The hydrolysis and condensation in process step C) leads to a crosslinking of the solution and thus to the formation of a gel. The reactions that occur during the hydrolysis and
Kondensation stattfinden, sind in den Formeln (I) bis (III) angegeben : Condensation take place, are given in the formulas (I) to (III):
Rn-xM(OR)x + xH20 <- Rn-xM(OH)x + xROH (I) Rn-xM(OH)x + Rn-xM(OH)x <-> (R) n-xM (OH) x-l-O-M (OH) x-1 (R) n-x + (x-1) HÖH  Rn-xM (OR) x + xH20 <-Rn-xM (OH) x + xROH (I) Rn-xM (OH) x + Rn-xM (OH) x <-> (R) n-xM (OH) xlOM (OH) x-1 (R) nx + (x-1) HÖH
(II) Rn-xM(OH)x + Rn-xM(OR)x <- (R) n-xM (OH) x-l-O-M (OR) x-1 (R) n-x + (x-1) ROH (II) Rn-x M (OH) x + Rn-x M (OR) x <- (R) n-x M (OH) x I OM (OR) x-1 (R) n x + (x-1) ROH
(III) In allen Formeln steht „R" für einen organischen Rest, beispielsweise unverzweigte oder verzweigte Alkylgruppen von beliebiger Länge. Die organischen Reste in den miteinander reagierenden Molekülen können gleich oder verschieden sein. „M" steht für ein Metall, das je nachdem, wie die durch das Verfahren gebildete Konversionsschicht zusammengesetzt sein soll, ausgewählt werden kann, „n" steht für die Wertigkeit des Metalls, von der die Anzahl der an M gebundenen Reste abhängt . In Formel (I) ist die Hydrolyse eines substituierten  (III) In all formulas, "R" represents an organic radical, such as straight or branched alkyl groups of any length, and the organic radicals in the inter-reacting molecules may be the same or different. "M" represents a metal, which may be "n" represents the valency of the metal on which the number of moieties attached to M is dependent. In the formula (I), the hydrolysis of a substituted
Metallalkoxids mit Wasser gezeigt, bei der ein mit x Metal alkoxide shown with water, in which one with x
Hydroxygruppen und n-x organischen Resten substituiertes Metall und ein Alkohol entstehen. Gemäß der Formel (II) kann aus zwei Metallverbindungen, die jeweils mit x Hydroxygruppen und n-x organischen Resten substituiert sind, Wasser kondensiert werden. Dies kann gemäß Formel (III) auch zwischen einem Metall, das mit x Hydroxy groups and n-x organic radicals substituted metal and an alcohol arise. According to the formula (II), water can be condensed from two metal compounds each substituted with x-hydroxy groups and n-x organic groups. This can also be done according to formula (III) between a metal that is x
Hydroxygruppen und n-x organischen Resten substituiert ist, und einem Metallalkoxid stattfinden. Die Reaktionen gemäß Formel (II) und (III) sind reversibel. Das Reaktionsschema gemäß den Formeln (I) bis (III) kann auch als Sol-Gel-Chemie bezeichnet werden. Die Hydrolyse und Kondensation im Verfahrensschritt C) kann bei Raumtemperatur erfolgen. Gemäß einer Aus führungs form kann der stabilen Lösung im Substituted hydroxy groups and nx organic radicals, and a metal alkoxide take place. The reactions according to formulas (II) and (III) are reversible. The reaction scheme according to the formulas (I) to (III) can also be referred to as sol-gel chemistry. The hydrolysis and condensation in process step C) can be carried out at room temperature. According to one embodiment, the stable solution in the
Verfahrensschritt A) weiterhin ein Lösungsmittel und Process step A) further comprises a solvent and
Metallprekusoren zugegeben werden. Geeignete Lösungsmittel können beispielsweise Alkohole, wie Isopropanol oder Ethanol, oder Säure-/Basekatalysatoren, wie Wasser mit HCl oder NH3 sein. Mit dem Lösungsmittel kann eine geeignete Verdünnung der Lösung erzielt werden, sowie die Metallprekusoren be added. Suitable solvents may be, for example, alcohols, such as isopropanol or ethanol, or acid / base catalysts, such as water with HCl or NH3. With the solvent, a suitable dilution of the solution can be achieved, and the
Trocknungsgeschwindigkeit und die Homogenisierung der Lösung beeinflusst werden. Je nach Trocknungsgeschwindigkeit kann die Viskosität des entstehenden Gels beeinflusst werden.  Drying rate and the homogenization of the solution can be influenced. Depending on the drying rate, the viscosity of the resulting gel can be influenced.
Mit „Prekursor" im Zusammenhang mit Metallprekursoren sind Verbindungen gemeint, die im Laufe des Verfahrens chemische Reaktionen durchlaufen und somit verändert werden, aber das Metall, das nach dem Verfahrensschritt D) in der By "precursors" in the context of metal precursors is meant compounds which undergo chemical reactions during the process and are thus altered, but the metal which, after process step D) in the
Konversionsschicht vorhanden ist, von Anfang an enthalten. Conversion layer exists, included from the beginning.
Metallprekusoren, die der Lösung zugegeben werden, können aus einer Gruppe ausgewählt sein, die Metallalkoxide, -acetate, - Chloride und -nitrate umfasst. Die Metalle dieser Metal precursors added to the solution may be selected from a group comprising metal alkoxides, acetates, chlorides and nitrates. The metals of this
Verbindungen können beispielsweise aus einer Gruppe For example, connections can be from a group
ausgewählt sein, die AI, Si, Ti und Zr umfasst. Allgemein haben Metallalkoxide die Formel M-O-R. M steht dabei für das Metall, R für einen organischen Rest, der beliebig gewählt werden kann. be selected, which comprises Al, Si, Ti and Zr. Generally, metal alkoxides have the formula M-O-R. M stands for the metal, R for an organic radical, which can be chosen arbitrarily.
Zusätzlich kann der Lösung noch Wasser zugegeben werden, um die Hydrolyse zu fördern. Weiterhin kann zur Stabilisierung der Lösung ein Komplexionsmittel zugegeben werden. Ein beispielhaftes Komplexionsmittel ist Acetylacetat . Das Additionally, water may be added to the solution to promote hydrolysis. Furthermore, a complexing agent can be added to stabilize the solution. An exemplary complexing agent is acetylacetate. The
Verhältnis von dem Metall des Dotierstoffprekursors zu allen Metallen in der Lösung kann 0,5 bis 20 sein. Die Dotierstoffprekursoren im Verfahrensschritt A) können aus einer Gruppe ausgewählt werden, die Metallalkoxide, -acetate, -Chloride und -nitrate der Metalle Eu, Ce, Ir, Er und Cs umfasst. Die Dotierstoffprekursoren können auch als Ratio of the metal of the dopant precursor to all metals in the solution can be 0.5 to 20. The dopant precursors in process step A) can be selected from a group comprising metal alkoxides, acetates, chlorides and nitrates of the metals Eu, Ce, Ir, Er and Cs. The dopant precursors can also be called
Nanopulver, das in der Lösung dispergiert ist, vorliegen. Damit werden der Lösung lumineszierende Nanopowder dispersed in the solution. This will make the solution luminescent
Dotierstoffprekursoren zugegeben, die im Verfahrensschritt C) zusammen mit den Metallprekursoren in der Lösung gemäß den Reaktionen der Formeln (I) bis (III) ein Gel bilden, also miteinander vernetzen. Sowohl die Metalle der  Dotierstoffprekursoren added that form a gel in step C) together with the Metallprekursoren in the solution according to the reactions of the formulas (I) to (III), ie crosslink with each other. Both the metals of
Metallprekursoren als auch die Metalle der Metal precursors as well as the metals of the
Dotierstoffprekursoren werden dabei in das Netzwerk Dotierstoffprekursoren thereby become in the network
eingebaut . built-in .
Das Aufbringen im Verfahrensschritt B) kann mittels einer Methode durchgeführt werden, die aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Spin-Coating, Dip-Coating oder Spray-Coating The application in process step B) can be carried out by means of a method selected from the group consisting of spin coating, dip coating or spray coating
umfasst. Mit diesen Methoden können besonders dünne Schichten aufgebracht werden, womit nach der Gel-Bildung und der thermischen Behandlung eine dünne Konversionsschicht, die Strahlungskonvertierende Eigenschaften aufweist, resultieren kann. Eine geringe Dicke der Konversionsschicht auf dem includes. With these methods, particularly thin layers can be applied, whereby after the gel formation and the thermal treatment, a thin conversion layer having radiation-converting properties can result. A small thickness of the conversion layer on the
Substrat führt dazu, dass die Konversionsschicht weitgehend transparent ausgebildet ist. Substrate results in that the conversion layer is formed substantially transparent.
Die Aufbringungsmethoden, die in dem Verfahrensschritt B) verwendet werden, sind besonders kostengünstige Methoden im Vergleich zu herkömmlichen Aufbringungsmethoden, wie The application methods used in process step B) are particularly inexpensive methods compared to conventional application methods, such as
beispielsweise CVD, PVD oder Sputtern. for example CVD, PVD or sputtering.
Durch das Aufbringen mittels Spin-Coating kann sowohl die Dicke der resultierenden Konversionsschicht als auch die Wellenlänge, in die Strahlung konvertiert wird, eingestellt werden, was wiederum durch die genau einstellbare Dicke bedingt ist. By spin coating, both the thickness of the resulting conversion layer and the wavelength to which radiation is converted can be adjusted which in turn is due to the precisely adjustable thickness.
Soll beispielsweise eine LED mit einem For example, if an LED with a
Strahlungskonversionselement bereitgestellt werden, sollte die Konversionsschicht so transparent wie möglich sein. Radiation conversion element are provided, the conversion layer should be as transparent as possible.
Strahlungskonvertierende Materialien, die Strahlung zu Radiation converting materials, the radiation too
Wellenlängen im grünen oder roten Bereich konvertieren, weisen häufig nichtkubische Kristallstrukturen auf, womit es schwierig ist, diese in transparente Materialien Converting wavelengths in the green or red region often have non-cubic crystal structures, making them difficult to translate into transparent materials
einzubringen. Daher ist es wichtig, diese Materialien so dünn wie möglich als Strahlungskonvertierende, kristalline oder amorphe Konversionsschicht auf dem Substrat auszubilden, sodass ihre intrinsische Absorption und Streuung reduziert ist. Das kann mit einem Verfahren wie oben beschrieben erreicht werden. contribute. Therefore, it is important to make these materials as thin as possible as a radiation-converting, crystalline or amorphous conversion layer on the substrate so that their intrinsic absorption and scattering is reduced. This can be achieved by a method as described above.
Der Verfahrensschritt D) kann die Schritte Dl) Trocknen des Gels, D2 ) Kalzinieren des Gels zur Bildung einer amorphen Schicht, D3) Pyrolyse der amorphen Schicht zur Bildung einer Konversionsschicht umfassen. In der Konversionsschicht ist somit der lumineszierende Dotierstoff eingebaut. Process step D) may comprise the steps D1) drying the gel, D2) calcining the gel to form an amorphous layer, D3) pyrolysis of the amorphous layer to form a conversion layer. The luminescent dopant is thus incorporated in the conversion layer.
Damit ist das thermische Behandeln des Verfahrensschrittes D) in drei Teilschritte eingeteilt. Zunächst wird das Gel für einige Minuten bei leicht erhöhten Temperaturen, Thus, the thermal treatment of process step D) is divided into three sub-steps. First, the gel is left for a few minutes at slightly elevated temperatures,
beispielsweise einer Temperatur aus dem Bereich 60°C bis 180°C getrocknet, dann bei höheren Temperaturen , dried, for example, a temperature in the range 60 ° C to 180 ° C, then at higher temperatures,
beispielsweise einer Temperatur aus dem Bereich 400°C bis 600°C, kalziniert und schließlich einer Pyrolyse, for example, a temperature in the range 400 ° C to 600 ° C, calcined and finally a pyrolysis,
beispielsweise bei einer Temperatur aus dem Bereich 600°C bis 1800°C, unterzogen. Die Pyrolyseatmosphäre kann eine for example, at a temperature in the range 600 ° C to 1800 ° C subjected. The pyrolysis atmosphere can be a
Sauerstoff-, Stickstoff- oder Formiergasatmosphäre sein. Durch die Kalzination kann aus der Gel-Schicht eine amorphe Schicht entstehen, die dann durch die Pyrolyse zu einer Be oxygen, nitrogen or Formiergasatmosphäre. The calcination can be used to form an amorphous layer from the gel layer, which then becomes pyrolysis
Konversionsschicht, die kristallin oder amporph ist, gebildet wird. Ist die Konversionsschicht amorph, können in ihr kristalline Dotierstoffpartikel eingelagert sein. Conversion layer, which is crystalline or amorphous, is formed. If the conversion layer is amorphous, crystalline dopant particles may be incorporated in it.
In einer Aus führungs form können die Verfahrensschritte B) bis D) mindestens zwei Mal wiederholt werden. Damit können mindestens zwei, aber auch mehrere übereinander liegende Strahlungskonvertierende, Konversionsschichten auf das In one embodiment, the method steps B) to D) can be repeated at least twice. Thus, at least two, but also a plurality of superimposed radiation-converting, conversion layers on the
Substrat aufgebracht werden. Eine Wiederholung von bis zu acht Mal ist ebenso denkbar. Das wiederholte Aufbringen der Lösung auf das Substrat im Verfahrensschritt B) kann dabei nach dem Verfahrensschritt Dl), nach dem Verfahrensschritt D2 ) oder nach dem Verfahrensschritt D3) erfolgen. Generell ist es sinnvoll, mehr Schichten aufzubringen, wenn diese dünner ausgeformt sind. Es können so viele Schichten Substrate can be applied. A repetition of up to eight times is also conceivable. The repeated application of the solution to the substrate in process step B) can take place after process step D1), after process step D2) or after process step D3). In general, it makes sense to apply more layers if they are thinner. There can be so many layers
übereinander aufgebracht werden, solange kein Peelingeffekt der Schichten auftritt. be applied one above the other, as long as no peeling effect of the layers occurs.
Damit können mehrere, auch verschiedene Konversionsschichten auf dem Substrat erzeugt werden. Die einzelnen kristallinen oder amorphen Schichten können jeweils verschiedene Dicken und/oder verschieden hohe Dotierstoffkonzentrationen und/oder verschiedene Dotierstoffe aufweisen. Damit kann Thus, several, even different conversion layers can be generated on the substrate. The individual crystalline or amorphous layers may each have different thicknesses and / or different dopant concentrations and / or different dopants. So that can
beispielsweise eine größere Dotierstoffkonzentration in den gesamten Konversionsschichten in jeweils sehr dünnen und damit transparenten einzelnen Schichten erzeugt werden. Es können auch mehrere Schichten aufgebracht werden, die aus denselben Lösungen hergestellt sind, um durch die Kombination dieser hergestellten Konversionsschichten den Effekt der Strahlungskonversion zu steigern. Es wird also ein Verfahren bereitgestellt, bei dem eine Lösung auf beispielsweise ein Strahlungskonvertierendes Substrat aufgebracht wird. Die Lösung enthält eine Mischung flüssiger Metallprekursoren und flüssiger For example, a larger dopant concentration in the entire conversion layers in each case very thin and therefore transparent individual layers are generated. It is also possible to apply a plurality of layers, which are made from the same solutions, in order to increase the effect of the radiation conversion by combining these prepared conversion layers. Thus, a method is provided in which a solution is applied to, for example, a radiation-converting substrate. The solution contains a mixture of liquid metal precursors and liquid
Dotierstoffprekursoren, in einer Aus führungs form auch dispergierter nanopulverförmiger Dotierstoffprekursoren, die durch Hydrolyse und Kondensation zu einem Gel werden und nac einer thermischen Behandlung eine lumineszierende kristallin oder amorphe Konversionsschicht ergeben. Die Dotierstoffprekursoren, in one embodiment, also dispersed nanopowder dopant precursors, which become a gel by hydrolysis and condensation and after a thermal treatment give a luminescent crystalline or amorphous conversion layer. The
strahlungskonvertierende Konversionsschicht kann als modifizierende Strahlungskonversionsschicht dienen, um die durch das strahlungskonvertierende Substrat konvertierte Strahlung noch genauer auf den gewünschten Farbton The radiation-converting conversion layer can serve as a modifying radiation conversion layer to more precisely match the radiation converted by the radiation-converting substrate to the desired hue
abzustimmen . to vote.
Die Konversionsschicht kann beispielsweise geringe Anteile von weiß farbiger Strahlung nach blau- oder gelbfarbiger Strahlung konvertieren, so dass eine kaltweiße Strahlung resultiert. Ist eine warmweiße Strahlung gewünscht, kann die Konversionsschicht so ausgeformt sein, dass geringe Anteile weißer Strahlung in Rottöne oder Grüntöne konvertiert werden The conversion layer can, for example, convert small amounts of white-colored radiation to blue- or yellow-colored radiation, so that a cool-white radiation results. If warm white radiation is desired, the conversion layer may be formed to convert small amounts of white radiation into reds or greens
Das Verfahren stellt eine einfache Technologie dar, um eine farbmodifizierende Konversionsschicht auf eine The method is a simple technology to apply a color-modifying conversion layer to a
Konverterschicht, dem Substrat, aufzubringen. Das Substrat kann aber auch eine gegenüber Strahlung inaktive Schicht sein. Dann ist die Konversionsschicht auf dem Substrat die einzige Strahlungskonversionsschicht, die die Strahlung konvertiert . Converter layer, the substrate to apply. The substrate may also be a radiation-inactive layer. Then the conversion layer on the substrate is the only radiation conversion layer that converts the radiation.
Mit dieser Methode können besonders dünne With this method can be particularly thin
Konversionsschichten, beispielsweise 10 nm dicke Schichten, hergestellt werden, was mit herkömmlichen Methoden nicht möglich ist. Durch die geringe Dicke der Schichten ist eine sehr genaue Einstellung des gewünschten Farbtons durch Conversion layers, for example, 10 nm thick layers are produced, which is not conventional methods is possible. Due to the small thickness of the layers is a very accurate adjustment of the desired hue by
Strahlungskonversion möglich. Radiation conversion possible.
Weiterhin bietet das Verfahren , mit dem so dünne Furthermore, the process offers so thin with that
Konversionsschichten hergestellt werden, die Gelegenheit, auch nichttransparente, beispieisweise nichtkubische Conversion layers are made, the opportunity, even non-transparent, for example, non-cubic
Materialien als sehr dünne Schicht aufzubringen, womit die Lichtransmission durch die Schicht hindurch nur geringfügig oder gar nicht vermindert wird Apply materials as a very thin layer, whereby the light transmission through the layer is only slightly or not at all reduced
Es wird weiterhin ein Strahlungskonversionselement It will continue to be a radiation conversion element
bereitgestellt, das nach einem Verfahren gemäß einer der oben genannten Aus führungs formen hergestellt ist und ein Substrat und mindestens eine Konversionsschicht auf dem Substrat umfasst. Das Strahlungskonversionselement kann in einer provided by a method according to any of the above-mentioned embodiments and comprising a substrate and at least one conversion layer on the substrate. The radiation conversion element can in a
Aus führungs form transparent sein. Damit kann Strahlung, die beispielsweise von einem Halbleiterchip, auf dem das To be transparent in terms of leadership. This radiation, for example, from a semiconductor chip on which the
Strahlungskonversionselement aufgebracht ist, emittiert wird, ungehindert durch das Strahlungskonversionselement hindurch austreten, und gleichzeitig die Wellenlänge der Strahlung konvertiert werden. Radiation conversion element is applied, is emitted, freely pass through the radiation conversion element through, and at the same time the wavelength of the radiation are converted.
Das Substrat kann Strahlung konvertieren oder inaktiv The substrate can convert radiation or become inactive
gegenüber Strahlung sein. Ein Strahlungskonvertierendes to be against radiation. A radiation converting
Substrat kann anorganisches Material umfassen. Es kann sich dabei beispielsweise um eine Strahlungskonvertierende Stoffe enthaltende Keramik, ein lumineszentes Glas oder eine Substrate may include inorganic material. It may be, for example, to a radiation-converting materials containing ceramic, a luminescent glass or a
Glaskeramik handeln. Werden Keramiken als Substrat verwendet, können höhere Temperaturen bei der thermischen Behandlung im Verfahrensschritt D) angewandt werden, ohne dabei das Glass ceramic act. If ceramics are used as the substrate, higher temperatures can be used in the thermal treatment in process step D), without the
Substrat zu beschädigen. Beispielsweise kann als Keramik eine YAG-Keramik verwendet werden, die bei Temperaturen von bis zu 1850°C stabil ist. Werden Gläser als Substrat verwendet, muss die Temperatur im Verfahrensschritt D) unterhalb der Damage the substrate. For example, as a ceramic, a YAG ceramic can be used, which at temperatures of up to 1850 ° C is stable. If glasses are used as substrate, the temperature in process step D) must be below the
Glasübergangstemperatur liegen. Kalknatronglas hat Glass transition temperature are. Has soda lime glass
beispielsweise einen Glasübergangspunkt bei 520 bis 600°C und Quarzglas bei etwa 1175°C. For example, a glass transition point at 520 to 600 ° C and quartz glass at about 1175 ° C.
Ein anorganisches strahlungskonvertierendes Substrat ist günstig, wenn weitere Funktionsschichten darauf abgeschieden werden sollen. Anorganische strahlungskonvertierende An inorganic radiation-converting substrate is favorable if further functional layers are to be deposited thereon. Inorganic radiation-converting
Substrate erlauben also das Aufbringen beispielsweise von zusätzlichen anorganischen Funktionsschichten, die bei höheren Temperaturen hergestellt werden müssen, um ihre Substrates thus allow the application, for example, of additional inorganic functional layers which have to be prepared at higher temperatures in order to obtain their own
Funktionseigenschaften herzustellen. Damit eignet sich ein anorganisches strahlungskonvertierendes Substrat also auch für das Aufbringen einer Konversionsschicht mittels des oben genannten Verfahrens, das eine thermische Behandlung umfasst. To produce functional properties. Thus, an inorganic radiation-converting substrate is therefore also suitable for applying a conversion layer by means of the abovementioned method, which comprises a thermal treatment.
Das Substrat kann aber auch nicht strahlungskonvertierende Eigenschaften haben und lediglich als Substrat für das The substrate may also have non-radiation-converting properties and only as a substrate for the
Aufbringen und Herstellen der Konversionsschicht dienen. In diesem Fall ist die Konversionsschicht die einzige Applying and producing the conversion layer serve. In this case, the conversion layer is the only one
strahlungskonvertierende Schicht in dem radiation-converting layer in the
Strahlungskonversionselement . Radiation conversion element.
Die Konversionsschicht kann eine kristalline oder amorphe Struktur aufweisen. Dies ist bedingt durch das oben genannte Herstellungsverfahren. In der kristallinen oder amorphen Struktur kann ein Metall mit einem Anteil von 0,05 mol% bis 8 mol%, insbesondere von 1 mol% bis 5 mol-% eingebaut sein. Das Metall kann ausgewählt sein aus einer Gruppe, die Eu, Ce, Ir, Er und Cs umfasst. Je nach Konzentration dieser Metalle, die Dotierstoffe sind, in der Konversionsschicht wird mehr oder weniger der durch die Konversionsschicht hindurch tretenden Strahlung konvertiert. Die Farbe, also die Wellenlänge der aus der Konversionsschicht austretenden Strahlung ist somit durch die Konzentration der Dotierstoffe in der The conversion layer may have a crystalline or amorphous structure. This is due to the above manufacturing process. In the crystalline or amorphous structure, a metal may be incorporated in a proportion of 0.05 mol% to 8 mol%, especially 1 mol% to 5 mol%. The metal may be selected from a group comprising Eu, Ce, Ir, Er and Cs. Depending on the concentration of these metals, which are dopants, in the conversion layer is more or less passing through the conversion layer Radiation converted. The color, that is to say the wavelength of the radiation emerging from the conversion layer, is thus determined by the concentration of the dopants in the
Konversionsschicht abstimmbar. Conversion layer tunable.
Die Konversionsschicht kann eine Dicke aufweisen, die aus dem Bereich 10 nm bis 5 μπι ausgewählt ist. Die Konversionsschicht kann beispielsweise 10 nm aufweisen. In diesem Fall können mehrere Konversionsschichten übereinander auf dem Substrat aufgebracht sein, um den Effekt der Strahlungskonversion zu erhöhen . The conversion layer may have a thickness which is selected from the range 10 nm to 5 μπι. The conversion layer may, for example, have 10 nm. In this case, a plurality of conversion layers may be stacked on the substrate to increase the effect of radiation conversion.
Zwischen dem Substrat und der Konversionsschicht kann eine gute Haftung durch die Herstellungsmethode erzielt werden. Durch die im Verfahrensschritt C) stattfindende Hydrolyse und Kondensation können auch Bindungen zwischen einem Good adhesion between the substrate and the conversion layer can be achieved by the manufacturing method. By taking place in step C) hydrolysis and condensation and bonds between a
anorganischen Substrat und der vernetzenden Gel-Schicht entstehen. Diese Bindungen bleiben auch während der inorganic substrate and the crosslinking gel layer arise. These bonds also stay in place during the
anschließenden thermischen Behandlung im Verfahrensschritt D) bestehen, womit eine kovalente Bindung zwischen der subsequent thermal treatment in step D), whereby a covalent bond between the
Konversionsschicht und dem Substrat ausgebildet wird. Je rauer das Substrat ausgeformt ist, desto mehr Bindungen zu dem Gel können entstehen, und desto besser ist die Haftung der Konversionsschicht auf dem Substrat. Solche Bindungen können beispielsweise Bindungen zwischen OH-Gruppen des Conversion layer and the substrate is formed. The rougher the substrate is formed, the more bonds can be made to the gel, and the better the adhesion of the conversion layer to the substrate. Such bonds can be, for example, bonds between OH groups of the
Substrats und des Gels sein. Substrate and gel.
Die Oberfläche der Konversionsschicht ist weiterhin einfach zu modifizieren, sodass gegebenenfalls eine Rauhigkeit hergestellt werden kann, die den Strahlungsaustritt aus der Konversionsschicht verbessert. Schließlich wird noch ein optoelektronisches Bauelement bereitgestellt, das einen Träger, mindestens einen The surface of the conversion layer is further easy to modify, so that, if appropriate, a roughness can be produced which improves the radiation emission from the conversion layer. Finally, an optoelectronic component is provided which comprises a carrier, at least one
strahlungsemittierenden Halbleiterchip auf dem Träger und ein Strahlungskonversionselement gemäß den oben genannten radiation-emitting semiconductor chip on the support and a radiation conversion element according to the above
Eigenschaften auf dem Halbleiterchip enthält. Das Contains properties on the semiconductor chip. The
Strahlungskonversionselement kann die von dem Halbleiterchip emittierte Strahlung konvertieren. Dies kann entweder durch Konversion mittels eines Strahlungskonvertierenden Substrats und einer konvertierenden Modifikation durch die Radiation conversion element can convert the radiation emitted by the semiconductor chip radiation. This can be done either by conversion by means of a radiation-converting substrate and a converting modification by the
Konversionsschicht geschehen, oder alleine durch die Conversion layer happen, or alone by the
Konversionsschicht, wenn das Substrat inaktiv gegenüber Conversion layer when the substrate is inactive towards
Strahlung ist und die Konversionsschicht alleinige Radiation is and the conversion layer sole
Strahlungskonversionsschicht ist . Radiation conversion layer is.
Ein derart ausgestaltetes optoelektronisches Bauelement weist eine verbesserte Feinabstimmung der emittierten Strahlung auf, so dass die gewünschte Wellenlänge der emittierten Such an optoelectronic component has an improved fine tuning of the emitted radiation, so that the desired wavelength of the emitted
Strahlung genau eingestellt werden kann. Radiation can be adjusted exactly.
Ein solches optoelektronisches Bauelement kann beispielsweise eine LED sein. Such an optoelectronic component may be, for example, an LED.
Anhand der Figur und des Ausführungsbeispiels soll die With reference to the figure and the embodiment is intended to
Erfindung noch näher erläutert werden. Invention will be explained in more detail.
Figur 1 schematische Seitenansicht eines optoelektronischen Bauelements Figure 1 is a schematic side view of an optoelectronic device
Figur 2 Schema der Verfahrensschritte des Verfahrens zur Herstellung eines Strahlungskonversionselements Figure 2 Scheme of the method steps of the method for producing a radiation conversion element
Figur 1 zeigt die schematische Seitenansicht eines Figure 1 shows the schematic side view of a
optoelektronischen Bauelements, das einen Träger 10, einen strahlungsemittierenden Halbleiterchip 20, eine erste und zweite Kontaktierung 31 und 32, ein Gehäuse 40, einen Verguss 50, einen Bonddraht 33 und ein Strahlungskonversionselement 60 umfasst. Das Strahlungskonversionselement 60 enthält ein Substrat 61 und eine Konversionsschicht 62. Das Substrat 61 kann selbst Strahlungskonvertierend sein oder inaktiv optoelectronic component comprising a carrier 10, a radiation-emitting semiconductor chip 20, a first and second contact 31 and 32, a housing 40, a potting 50, a bonding wire 33 and a radiation conversion element 60 comprises. The radiation conversion element 60 includes a substrate 61 and a conversion layer 62. The substrate 61 may itself be radiation-converting or inactive
gegenüber Strahlung sein. Die Konversionsschicht 62 ist eine Strahlungskonvertierende Schicht und kann je nach to be against radiation. The conversion layer 62 is a radiation converting layer and may vary depending on
Ausgestaltung des Substrats eine Modifikation der Wellenlänge der durch das Substrat konvertierten Strahlung bewirken oder alleinige Strahlungskonversionsschicht sein. Der Embodiment of the substrate cause a modification of the wavelength of the radiation converted by the substrate or be sole radiation conversion layer. Of the
Halbleiterchip 20 kann Strahlung einer Wellenlänge Semiconductor chip 20 may be radiation of one wavelength
emittieren, die durch das Strahlungskonversionselement 60 in eine gewünschte Wellenlänge konvertiert wird. Das which is converted to a desired wavelength by the radiation conversion element 60. The
Strahlungskonversionselement 60 sowie auch der Verguss 50 sind transparent ausgeformt. Radiation conversion element 60 as well as the potting 50 are formed transparent.
Im Folgenden wird ein Beispiel für die Herstellung einer Konversionsschicht 62 auf einem Substrat 61 angegeben. The following is an example of producing a conversion layer 62 on a substrate 61.
Zunächst wird eine Lösung hergestellt, die eine Mischung aus Metallprekursoren und lumineszierenden Dotierstoffprekursoren enthält. Metallprekursoren können Metallalkoxide, -acetate, - Chloride oder -nitrate umfassen. Auch die First, a solution is prepared containing a mixture of metal precursors and luminescent dopant precursors. Metal precursors may include metal alkoxides, acetates, chlorides or nitrates. Also the
Dotierstoffprekursoren können Metallalkoxide, -acetate, - Chloride und -nitrate umfassen. Die Metalle der Dopant precursors may include metal alkoxides, acetates, chlorides and nitrates. The metals of
Metallprekursoren umfassen eines oder mehrere aus AI, Si, Ti und Zr, die Metalle der Dotierstoffprekursoren umfassen eines oder mehrere aus Eu, Ce, Ir, Er und Cs . Die Prekursoren können vor ihrer Mischung stabilisiert werden, um eine einfache Handhabung der Lösung zu erreichen und die Bildung von Sekundärphasen zu vermeiden. Diese Lösung wird auf einem Substrat, beispielsweise einem anorganischen Substrat, das aus einer Keramik, einem Glas oder einer Glaskeramik gebildet ist, mittels Spin-Coating, Dip-Coating oder Spray-Coating aufgebracht. Die Lösung auf dem Substrat kondensiert und hydrolysiert bei Raumtemperatur zu einem Gel und wird anschließend für einige Minuten bei 110°C getrocknet. Dabei bildet sich ein hoher Vernetzungsgrad in der Gel-Schicht. Der Trocknungsschritt kann mehrere Male wiederholt werden, um die bevorzugte Schichtdicke zu Metal precursors include one or more of Al, Si, Ti, and Zr, and the metals of the dopant precursors include one or more of Eu, Ce, Ir, Er, and Cs. The precursors can be stabilized prior to mixing to achieve ease of solution handling and avoid the formation of secondary phases. This solution is applied to a substrate, for example an inorganic substrate, which is formed from a ceramic, a glass or a glass ceramic, by means of spin coating, dip coating or spray coating. The solution on the substrate condenses and hydrolyzes to a gel at room temperature and is then dried at 110 ° C for a few minutes. In this case, a high degree of crosslinking forms in the gel layer. The drying step may be repeated several times to increase the preferred layer thickness
erhalten. receive.
Das so beschichtete Substrat wird anschließend in The thus coated substrate is then in
Sauerstoffatmosphäre bei Temperaturen von bis zu 600°C kalziniert, um organische Reste in dem Gel zu entfernen und die Bildung eines anorganischen, amorphen Netzwerkes zu ermöglichen . Oxygen atmosphere calcined at temperatures of up to 600 ° C to remove organic residues in the gel and to allow the formation of an inorganic, amorphous network.
Das kalzinierte Netzwerk auf dem Substrat wird anschließend bei höheren Temperaturen einer Pyrolyse unterzogen, um die Kristallisation der amorphen Schicht zu ermöglichen. Die Atmosphäre bei der Pyrolyse kann eine Sauerstoff-, The calcined network on the substrate is then subjected to pyrolysis at higher temperatures to allow crystallization of the amorphous layer. The atmosphere in the pyrolysis can be an oxygen,
Stickstoff- oder Formiergasatmosphäre sein. Die Auswahl der Atmosphäre erfolgt je nachdem wie das Material der amorphen Schicht zusammengesetzt ist, was für stöchiometrische Nitrogen or Formiergasatmosphere. The choice of the atmosphere is made depending on how the material of the amorphous layer is composed, what stoichiometric
Verhältnisse vorliegen und wie die Oxidationszustände der Dotierstoffe sind. Conditions are present and how are the oxidation states of the dopants.
Die Intensität der Strahlungskonversion durch die The intensity of the radiation conversion by the
Konversionsschicht hängt sowohl von der Dicke der Conversion layer depends on both the thickness of the
Konversionsschicht als auch von der Konzentration des Conversion layer as well as the concentration of the
Dotierstoffs in dieser Schicht ab. Die Dicke der Dopant in this layer from. The thickness of the
Konversionsschicht kann mittels der Aufbringtechnik im Conversion layer can by means of the application technique in
Verfahrensschritt B) , der Viskosität der Lösung, also der Menge an Lösungsmittel in der im Verfahrensschritt A) bereitgestellten Lösung, und der Anzahl der hergestellten Konversionsschichten bestimmt werden. Je dicker die Schicht und je höher die Konzentration an Dotierstoffen, desto höher ist die Intensität der Strahlungskonversion, das heißt, desto mehr wird gesamte die Strahlung in Richtung höherer oder niedrigerer Wellenlängen verschoben. Process step B), the viscosity of the solution, ie the Amount of solvent in the solution provided in step A), and the number of conversion layers produced can be determined. The thicker the layer and the higher the concentration of dopants, the higher the intensity of the radiation conversion, that is, the more the entire radiation is shifted in the direction of higher or lower wavelengths.
Die Parameter der Aufbringungstechnik, beispielsweise die Spingeschwindigkeit oder -zeit, können variiert werden, um dickere beziehungsweise dünnere Konversionsschichten The parameters of the deposition technique, such as the spin speed or time, can be varied to produce thicker and thinner conversion layers, respectively
herzustellen. Dickere Schichten können hergestellt werden, in dem bereits vernetzte Lösungen mit dementsprechend hoher Viskosität bereitgestellt werden. manufacture. Thicker layers can be made by providing already cross-linked solutions of correspondingly high viscosity.
Wird die Beschichtung mehrmals wiederholt, können die If the coating is repeated several times, the
Konversionsschichten ebenfalls dicker ausgebildet werden. Wiederholungen sind möglich nach dem Trocknen der Schicht im Verfahrensschritt Dl), nach der Kalzination im Conversion layers are also made thicker. Repetitions are possible after drying the layer in process step D1), after calcination in
Verfahrensschritt D2 ) oder nach der Pyrolyse im Process step D2) or after pyrolysis in
Verfahrensschritt D3) . Diese Möglichkeiten, wann eine weitere Lösung zur Bildung einer weiteren Konversionsschicht  Process step D3). These possibilities, when another solution to form another conversion layer
aufgebracht werden kann, sind auch in Figur 2 aufgezeigt, wo zudem auch noch die Verfahrensschritte A) Bereitstellen der Lösung und die Verfahrensschritte B) und C) Aufbringen der Lösung und Hydrolyse und Kondensation vor dem can be applied, are also shown in Figure 2, where in addition also the process steps A) providing the solution and the process steps B) and C) applying the solution and hydrolysis and condensation before
Verfahrensschritt Dl) angegeben sind. Process step dl) are specified.
Die hier beschriebene Erfindung ist nicht durch die The invention described here is not by the
Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Description limited to the embodiments.
Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist . Rather, the invention includes any novel feature as well as any combination of features, which includes in particular any combination of features in the claims, even if this feature or this combination itself is not explicitly stated in the patent claims or exemplary embodiments.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zur Herstellung eines 1. A method for producing a
Strahlungskonversionselements (60) mit den Radiation conversion element (60) with the
Verfahrensschritten: Steps:
A) Bereitstellen eines Substrats (61) und einer stabilen Lösung, die lumineszierende Dotierstoffprekursoren umfasst, A) providing a substrate (61) and a stable solution comprising luminescent dopant precursors,
B) Aufbringen der Lösung auf das Substrat (61), B) applying the solution to the substrate (61),
C) Hydrolyse und Kondensation der Lösung zur Bildung eines Gels,  C) hydrolysis and condensation of the solution to form a gel,
D) Thermisches Behandeln des Gels zur Bildung einer  D) Thermal treatment of the gel to form a
Konversionsschicht (62) auf dem Substrat (61) . Conversion layer (62) on the substrate (61).
2. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei der stabilen Lösung im Verfahrensschritt A) weiterhin ein 2. The method according to the preceding claim, wherein the stable solution in step A) continue to
Lösungsmittel und Metallprekursoren zugegeben wird.  Solvents and Metallprekursoren is added.
3. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei für die im Verfahrensschritt A) bereitgestellte Lösung 3. The method according to the preceding claim, wherein for the solution provided in step A) solution
Metallprekursoren aus einer Gruppe ausgewählt werden, die Metallalkoxide, -acetate, -Chloride und -nitrate umfasst. Metal precursors are selected from a group comprising metal alkoxides, acetates, chlorides and nitrates.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Dotierstoffprekursoren im Verfahrensschritt A) aus einer Gruppe ausgewählt werden, die Metallalkoxide, -acetate, - Chloride und -nitrate der Metalle Eu, Ce, Ir, Er und Cs umfasst . 4. The method according to any one of the preceding claims, wherein the Dotierstoffprekursoren in process step A) are selected from a group comprising metal alkoxides, acetates, - chlorides and nitrates of the metals Eu, Ce, Ir, Er and Cs.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Aufbringen im Verfahrensschritt B) mittels einer Methode durchgeführt wird, die aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Spin-Coating, Dip-Coating oder Spray-Coating umfasst. 5. The method according to any one of the preceding claims, wherein the application in step B) is carried out by a method which is selected from a group comprising spin coating, dip coating or spray coating.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Verfahrensschritt D) die Schritte 6. The method according to any one of the preceding claims, wherein the method step D) the steps
Dl) Trocknen des Gels,  D1) drying the gel,
D2 ) Kalzinieren des Gels zur Bildung einer amorphen Schicht, D3) Pyrolyse der amorphen Schicht zur Bildung einer  D2) calcining the gel to form an amorphous layer, D3) pyrolysis of the amorphous layer to form a
Konversionsschicht (62) . Conversion layer (62).
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Verfahrensschritte B) bis D) mindestens zweimal 7. The method according to any one of the preceding claims, wherein the method steps B) to D) at least twice
wiederholt werden. be repeated.
8. Strahlungskonversionselement (60), hergestellt nach einem Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 bis 7, umfassend 8. radiation conversion element (60) prepared by a method according to claims 1 to 7, comprising
ein Substrat (61) und mindestens eine Konversionsschicht (62) auf dem Substrat (61) . a substrate (61) and at least one conversion layer (62) on the substrate (61).
9. Strahlungskonversionselement (60) nach dem vorgehenden Anspruch, das transparent ist. 9. radiation conversion element (60) according to the preceding claim, which is transparent.
10. Strahlungskonversionselement (60) nach einem der 10. Radiation conversion element (60) according to one of
Ansprüche 8 oder 9, wobei das Substrat (61) Strahlung Claims 8 or 9, wherein the substrate (61) radiation
konvertierend oder inaktiv gegenüber Strahlung ist. converting or inactive to radiation.
11. Strahlungskonversionselement (60) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Strahlung konvertierende Substrat (61) ein anorganisches Material aufweist. 11. Radiation conversion element (60) according to the preceding claim, wherein the radiation-converting substrate (61) comprises an inorganic material.
12. Strahlungskonversionselement (60) nach einem der 12 radiation conversion element (60) according to one of
Ansprüche 8 bis 11, wobei die Konversionsschicht (62) eine kristalline oder amorphe Struktur aufweist. Claims 8 to 11, wherein the conversion layer (62) has a crystalline or amorphous structure.
13. Strahlungskonversionselement (60) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei in der kristallinen oder amorphen Struktur ein Metall, das ausgewählt ist aus einer Gruppe, die Eu, Ce, Ir, Er und Cs umfasst, mit einem Anteil von 0,05 mol% bis 8 mol% eingebaut ist. 13. Radiation conversion element (60) according to the preceding claim, wherein in the crystalline or amorphous structure a metal selected from a group comprising Eu, Ce, Ir, Er and Cs in a proportion of 0.05 mol% to 8 mol%.
14. Strahlungskonversionselement (60) nach einem der 14. Radiation conversion element (60) according to one of
Ansprüche 8 bis 13, wobei die Konversionsschicht (62) eine Dicke aufweist, die aus dem Bereich 10 nm bis 5 μπι ausgewählt ist .  Claims 8 to 13, wherein the conversion layer (62) has a thickness which is selected from the range 10 nm to 5 μπι.
15. Optoelektronisches Bauelement enthaltend 15. Optoelectronic component containing
- einen Träger (10),  a carrier (10),
- mindestens einen Strahlungsemittierenden Halbleiterchip (20) auf dem Träger (10) und  - At least one radiation-emitting semiconductor chip (20) on the carrier (10) and
- ein Strahlungskonversionselement (60) gemäß den Ansprüchen 8 bis 14 auf dem Halbleiterchip (20) .  - A radiation conversion element (60) according to claims 8 to 14 on the semiconductor chip (20).
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10847684B2 (en) 2017-02-28 2020-11-24 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic component and method of manufacturing an optoelectronic component

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012102859A1 (en) * 2012-04-02 2013-11-14 Osram Opto Semiconductors Gmbh An optoelectronic component comprising a converter carrier layer, and a method for producing an optoelectronic component comprising a converter carrier layer
DE102017104135A1 (en) 2017-02-28 2018-08-30 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component
US20190369312A1 (en) * 2018-06-04 2019-12-05 Hoya Candeo Optronics Corporation Optical filter and imaging apparatus
DE102018118962A1 (en) * 2018-08-03 2020-02-06 Osram Opto Semiconductors Gmbh ELECTROMAGNETIC RADIATION EMITTING COMPONENT AND METHOD FOR APPLYING A CONVERTER LAYER TO AN ELECTROMAGNETIC RADIATION EMITTING COMPONENT
DE102019106546A1 (en) * 2019-03-14 2020-09-17 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung METHOD FOR MANUFACTURING OPTOELECTRONIC SEMICONDUCTOR COMPONENTS AND OPTOELECTRONIC SEMICONDUCTOR COMPONENTS

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4965091A (en) * 1987-10-01 1990-10-23 At&T Bell Laboratories Sol gel method for forming thin luminescent films
KR100702740B1 (en) * 1996-06-26 2007-04-03 오스람 게젤샤프트 미트 베쉬랭크터 하프퉁 Light-emitting semiconductor component with luminescence conversion element
JP2002134790A (en) * 2000-10-23 2002-05-10 Sanken Electric Co Ltd Semiconductor light-emitting device and manufacturing method therefor
ATE525755T1 (en) * 2001-10-12 2011-10-15 Nichia Corp LIGHT-EMITTING COMPONENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
US7550777B2 (en) * 2003-01-10 2009-06-23 Toyoda Gosei, Co., Ltd. Light emitting device including adhesion layer
KR101142725B1 (en) * 2003-03-13 2012-05-04 니치아 카가쿠 고교 가부시키가이샤 Light emitting film, luminescent device, method for manufacturing light emitting film and method for manufacturing luminescent device
JP4653662B2 (en) * 2004-01-26 2011-03-16 京セラ株式会社 Wavelength converter, light emitting device, method for manufacturing wavelength converter, and method for manufacturing light emitting device
US7601276B2 (en) * 2004-08-04 2009-10-13 Intematix Corporation Two-phase silicate-based yellow phosphor
US7733002B2 (en) * 2004-10-19 2010-06-08 Nichia Corporation Semiconductor light emitting device provided with an alkaline earth metal boric halide phosphor for luminescence conversion
DE102005046450A1 (en) * 2005-09-28 2007-04-05 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic semiconductor chip, method for its production and optoelectronic component
JP5766386B2 (en) * 2008-08-29 2015-08-19 株式会社東芝 Light emitting device and light emitting device

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2012080056A1 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10847684B2 (en) 2017-02-28 2020-11-24 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic component and method of manufacturing an optoelectronic component

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Publication number Publication date
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US20130320385A1 (en) 2013-12-05
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