FESTO AG & Co. KG, Ruiter Straße 82, 73734 Esslingen Fluidisch betreibbarer Manipulator
Die Erfindung betrifft einen fluidisch betreibbaren Manipulator aus mehreren längs einer Erstreckungskurve gestapelt angeordneten Manipulatorsegmenten, die jeweils wenigstens eine Koppelplatte und wenigstens zwei, quer zur Erstreckungskurve beabstandet an der Koppelplatte angeordnete, fluidisch getrennt ausgebildete Fluidkammern umfassen, wobei jede der Fluidkammern wenigstens einen elastisch deformierbaren Wandbereich aufweist, der dazu ausgebildet ist, bei Beaufschlagung der jeweiligen Fluidkammer mit einem Fluid eine Volumenänderung der Fluidkammer für eine Linearbewegung im Wesentlichen parallel zur Erstreckungskurve zu ermöglichen und wobei eine Haupterstreckungsfläche der Koppelplatte für eine Anordnung zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Erstreckungskurve vorgesehen ist
Aus der DE 198 33 340 AI ist ein wurmförmiger Arbeitsmechanismus bekannt, der verschwenkbar und in seiner Länge einstellbar ist. Der Arbeitsmechanismus umfasst drei Aktoren, die jeweils aus einer Reihe aneinander liegender Taschen oder Kissen bestehen und die mit einem gasförmigen oder flüssigen Druckmedium befüllbar sind. Die aus einem flexiblen, biege - schlaffen Material hergestellten Aktoren sind an formstabilen Stützstrukturen angebracht, die zur Aufrechterhaltung einer Beabstandung der Aktoren dienen und die äußere Form des Arbeitsmechanismus mitbestimmen.
BESTÄTfGUNGS OPlE
Die W096/35877 offenbart ein Betätigungsorgan, das aus einer Vielzahl von aneinander gereihten formstabilen Tragelementen und längs der Stapelrichtung der Tragelemente ausgebildeten, aus einem biegeschlaffen Material hergestellten Pumporganen aufgebaut ist. Durch Druckbeaufschlagung wenigstens eines der Pumpelemente mit einem Druckfluid kann eine Krümmung des Betätigungsorgans erzielt werden.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen fluidisch betreibbaren Manipulator bereitzustellen, der eine einfache Aufbauweise aufweist .
Diese Aufgabe wird für einen fluidischen Manipulator der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst . Hierbei ist vorgesehen, dass die wenigstens zwei Fluidkammern einstückig mit der wenigstens einen Koppelplatte ausgebildet sind .
Durch die einstückige Gestaltung der Fluidkammern mit der Koppelplatte kann ein Kraftfluss zwischen den elastisch deformierbaren Wandbereichen der Fluidkammern und der formstabilen Koppelplatte derart gestaltet werden, dass Spannungsspitzen in den elastisch deformierbaren Wandbereichen vermieden werden, so dass eine Dauerfestigkeit des Manipulators auch nach einer großen Anzahl von Lastspielen sichergestellt ist. Vorzugsweise werden die Deformationseigenschaften der elastisch deformierbaren Wandbereiche einerseits und der formstabilen Koppelplatte andererseits durch die Variation von Materialstärken vorgegeben. Ergänzend können an der formstabilen Koppelplatte auch dreidimensionale Stützstrukturen, insbesondere Fachwerkstrukturen, ausgebildet sein, um bei geringem Gewicht und niedrigem Materialverbrauch eine hohe Steifigkeit zu erreichen. Ein weiterer positiver Effekt der einstückigen Ausführung von Fluidkammern und Koppelplatte ist
darin zu sehen, dass eine Abdichtung der Fluidkammern einfach gestaltet werden kann, da insbesondere an einem Übergang zwischen Fluidkammer und Koppelplatte aufgrund der einstückigen Ausführung keine zusätzlichen Dichtmaßnahmen erforderlich sind. Als einstückig werden die Fluidkammern und die Koppel - platte insbesondere dann bezeichnet, wenn sie in einem gemeinsamen Herstellungsprozess aus einem einheitlichen Material hergestellt wurden.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Zweckmäßig ist es, wenn, vorzugsweise elastisch
deformierbare, Wandbereiche der Fluidkammern für eine, insbesondere einstückige, Verbindung benachbart angeordneter Koppelplatten ausgebildet sind. Damit kommt den Fluidkammern eine Doppelfunktion zu, da sie neben der Bereitstellung einer zumindest im Wesentlichen linearen Ausdehnungsbewegung bei Beaufschlagung mit einem Fluid auch für die mechanische Verbindung benachbarter Koppelplatten dienen. Hierdurch kann auf eine zusätzliche äußere und/oder innere Stützstruktur verzichtet werden, so dass hiermit ein einfacher Aufbau des erfindungsgemäßen Manipulators sichergestellt ist. Vorzugsweise sind die Wandbereiche der Fluidkammern zumindest nahezu vollständig elastisch deformierbar, so dass zumindest ein erheblicher Teil der Fluidkammer bei Druckbeaufschlagung mit einem flüssigen oder gasförmigen Fluid für eine Volumenänderung der Fluidkammer deformiert werden kann. Demgegenüber sind die Koppelplatten derart ausgeführt, dass sie bei einer Druckbeaufschlagung der Fluidkammern keine wesentliche Gestaltveränderung erfahren und somit als formstabil zu bezeichnen sind. Besonders vorteilhaft ist eine einstückige Ausbildung der Fluidkammern mit einander benachbarten Koppelplatten. Hierdurch kann auf aufwendige Dichtmaßnahmen zwischen den Fluid-
kammern und den Koppelplatten verzichtet werden. Außerdem wird durch die einstückige Ausgestaltung die Kraftübertragung zwischen den Fluidkammern und den Koppelplatten in einfacher Weise sichergestellt.
Vorteilhaft ist es, wenn längs der Erstreckungskurve angeordnete Fluidkammern benachbarter Manipulatorsegmente kommunizierend miteinander verbunden sind. Hierdurch wird in einfacher Weise eine gemeinsame Beaufschlagung mehrerer Fluidkammern mit Druckfluid über eine gemeinsame Zuleitung ermöglicht. Durch die Fluidbeaufschlagung kann eine Volumenänderung der jeweiligen Fluidkammern bewirkt werden, die sich als Ausdehnen oder Zusammenziehen der Fluidkammern äußert und durch die eine Längenänderung der Fluidkammern zumindest im Wesentlichen parallel zur Erstreckungskurve hervorgerufen werden kann.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass längs der Erstreckungskurve angeordnete Fluidkammern benachbarter Manipulatorsegmente fluidisch getrennt und separat ansteuerbar ausgebildet sind. Mit einer selektiven Ansteuerung der fluidisch getrennten Fluidkammern kann eine besonders feinfühlige Auslenkung des Manipulators erreicht werden. Zudem können einzelne Fluidkammern des Manipulators durch konstante Druckbeaufschlagung auf einer vorgegebenen Volumenbzw. Längenausdehnung gehalten werden, wodurch der Manipulator beispielsweise ein eine vorgebbare Raumrichtung vorgespannt werden kann.
Vorteilhaft ist es, wenn an einer radial außenliegenden Oberfläche der Koppelplatte wenigstens ein Führungsmittel zur Aufnahme einer Sensorkomponente eines Krümmungssensors ausgebildet ist. Hierdurch wird eine einfache und kostengünstige Anbringung wenigstens eines Krümmungssensors an dem Manipula-
tor ermöglicht. Mit Hilfe des Krümmungssensors kann beispielsweise eine lokale Krümmung des Manipulators zwischen zwei Koppelplatten oder eine globale Krümmung des Manipulators über seine gesamte Länge oder über einen Teil seiner Länge ermittelt werden. Vorzugsweise ist das Führungsmittel für die Aufnahme einer Sensorkomponente zur Längenmessung, beispielsweise eines Dehnmeßstreifens, eines Linearpotentiometers, einer Magnetspulenanordnung oder eines Seilzugs, der mit einer Längenmesseinrichtung gekoppelt ist, vorgesehen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Manipulatorsegmente mit einem generativen Herstellungsverfahren, insbesondere mittels selektivem Lasersintern, hergestellt sind. Bei einem generativen Herstellungsverfahren handelt es sich um ein Urformverfahren, bei dem die
Manipulatorsegmente durch Energieeintrag in eine formlose Masse, beispielsweise ein Reaktionsharz oder ein Kunststoffoder Metallpulver, unmittelbar und ohne Einsatz von Formwerkzeugen, insbesondere schichtweise, hergestellt werden. Ein solches Verfahren ist beispielsweise das selektive Lasersintern, bei dem ein Laserstrahl eine dünne Pulverschicht durch lokale Verschmelzung zu einer zusammenhängenden Struktur verbindet. Vorteilhaft beim Einsatz von generativen Herstellungsverfahren ist es, dass Änderungen an der Geometrie der Manipulatorsegmente in einfacher Weise durch Änderung des für den Herstellungsvorgang genutzten Datensatzes, beispielsweise CAD-Daten, erfolgen können. Hierdurch wird eine hohe Flexibilität für die anwendungsspezifische Anpassung der
Manipulatorsegmente erreicht. Zudem können bei der Verwendung generativer Herstellungsverfahren in einfacher Weise
hinterschnittene Geometrien hergestellt werden.
Zweckmäßig ist es, wenn von den Fluidkammern und der Koppel - platte bestimmte Querschnitte der Manipulatorsegmente in je-
weils senkrecht zur Erstreckungskurve ausgerichteten
Querschnittsebenen längs der Erstreckungskurve verjüngt ausgebildet sind. Durch eine Verjüngung der aneinander gereihten Manipulatorsegmente längs der Erstreckungskurve wird eine Gewichtsoptimierung für den Manipulator erreicht. Vorzugsweise ist an einem distalen, also von einem Verankerungsort des Manipulators entfernten, Abschnitt des Manipulators, an dem insbesondere ein Werkzeug oder Werkzeughalter angebracht ist, ein geringerer Querschnitt für die Manipulatorsegmente vorgesehen als an einem proximalen, dem Verankerungsort unmittelbar benachbarten Abschnitt des Manipulators. Dies hängt damit zusammen, dass am proximalen Abschnitt zusätzlich zu den vom Manipulator auf ein Werkzeug oder Werkstück zu übertragenden Kräften auch die Gewichtskraft des distalen Abschnitts getragen werden muss.
Vorteilhaft ist es, wenn die Koppelplatte eine zwischen den Fluidkammern angeordnete Ausnehmung aufweist, die vorzugsweise zur Durchführung von Versorgungsleitungen längs der Erstreckungskurve ausgebildet ist. Die Ausnehmung ermöglicht die Anordnung von Versorgungsleitungen, insbesondere von fluidischen und/oder elektrischen Versorgungsleitungen nahe der neutralen Faser des Manipulators. Die neutrale Faser ist diejenige Erstreckungskurve des Manipulators, die bei einer Krümmung des Manipulators keine Längenänderung erfährt . Durch eine Anordnung der Versorgungsleitungen nahe der neutralen Faser finden bei einer Krümmung des Manipulators nur geringe Relativbewegungen zwischen den Versorgungsleitungen und den die Ausnehmung begrenzenden Koppelplatten statt, was sich vorteilhaft auf den Bewegungswiderstand für den Manipulator und auf den Verschleiß der Versorgungsleitungen auswirkt.
Vorzugsweise ist der wenigstens eine elastisch deformierbare, zwischen benachbarten Koppelplatten ausgebildete Wandbereich
der Fluidkammer faltenbalgartig, vorzugsweise rotationssymmetrisch, insbesondere mit Doppel -S -Kontur, ausgebildet.
Hierdurch kann ein vorteilhaftes Verhältnis zwischen einer minimalen und einer maximalen Ausdehnung der jeweiligen
Fluidkammern, insbesondere in einer Längsausdehnungsrichtung, erzielt werden. Der elastisch deformierbare Wandbereich der Fluidkammer weist bei einer minimalen Ausdehnung, die beispielsweise auch als Neutralstellung dienen kann, benachbarte Teilabschnitte auch, deren Flächennormalen einen vorzugsweise spitzen Winkel einschließen. Bei einer Volumenänderung der Fluidkammer, bei der es ausgehend von der minimalen Ausdehnung zu einer Längenänderung der Fluidkammer kommt, werden die benachbarten Teilabschnitte des elastisch deformierbaren Wandbereichs relativ zueinander verkippt. Bei Erreichen der maximalen Ausdehnung sind die Flächennormalen der benachbarten Teilabschnitte zumindest nahezu parallel ausgerichtet.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Fluidkammer derart ausgebildet ist, dass sie für parallel zur Erstreckungskurve ausgerichtete Kräfte einen linearen Deformationswiderstand aufweist, der erheblich geringer als ein linearer Deformationswiderstand für quer zur Erstreckungskurve ausgerichtete Kräfte ist. Dies wird durch eine geeignete Materialauswahl und geometrische Dimensionierung, insbesondere der elastisch deformierbaren Wandbereiche der Fluidkammern, erreicht. Vorzugsweise ist die Fluidkammer derart ausgebildet, dass ihre größte Gestaltänderung bei Druckbeaufschlagung parallel zur Erstreckungskurve ausgerichtet ist und dass der lineare Deformationswiderstand in Richtung der Erstreckungskurve einen Bruchteil, vorzugsweise weniger als 50 Prozent, insbesondere weniger als 20 Prozent, eines linearen Deformationswiderstands quer zur Erstreckungskurve beträgt. Dadurch ist gewährleistet, dass der Manipulator eine hohe
Torsionsfestigkeit für Drehmomente um die Erstreckungskurve aufweist. Derartige Drehmomente führen zu Schubbelastungen auf die Fluidkammern . Diese Schubbelastungen rufen jedoch aufgrund des in Belastungsrichtung hohen linearen Deformationswiderstands der Fluidkammer nur geringe Deformationen der Fluidkammer hervor.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass mehrere Manipulatorsegmente zu einem Manipulatorabschnitt verbunden sind, der an wenigstens einem Endbereich eine Kupplung aufweist, die für eine Anbringung an einer korrespondierend ausgeführten Kupplung eines weiteren
Manipulatorabschnitts ausgebildet ist. Vorzugsweise wird der Manipulator aus wenigstens zwei Manipulatorabschnitten gebildet, die jeweils unabhängig voneinander fluidisch
beaufschlagbar sind. Somit kann beispielsweise eine S-förmige Krümmung des Manipulators eingestellt werden.
Bevorzugt weisen benachbart angeordnete Manipulatorabschnitte jeweils wenigstens zwei getrennt ansteuerbare Fluidkammern auf. Hierdurch kann eine Auslenkung der jeweiligen
Manipulatorabschnitte in jeweils wenigstens einer Bewegungs- ebene, vorzugsweise in zwei, insbesondere senkrecht zueinander ausgerichteten, Bewegungsebenen erreicht werden. Besonders bevorzugt sind für wenigstens einen Manipulatorabschnitt drei, insbesondere in einer gleichmäßigen Winkelteilung angeordnete, Fluidkammern vorgesehen, die getrennt ansteuerbar sind und die eine Auslenkung eines Endbereichs des
Manipulatorabschnitts in einem kugelförmigen Bewegungsraum ermöglichen.
Zweckmäßig ist es, wenn den fluidisch miteinander gekoppelten Fluidkammern jeweils wenigstens eine Ventileinrichtung zugeordnet ist. Vorzugsweise ist die Ventileinrichtung abseits
der Manipulatorabschnitte angeordnet und steht über wenigstens eine Fluidleitung, die beispielsweise als separater Schlauch oder als in die Fluidkammern und Koppelplatten integrierter Kanal ausgebildet sein kann, in kommunizierender Verbindung mit der jeweiligen Fluidkammer.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Ventileinrichtungen elektrisch mit einer Steuereinrichtung gekoppelt sind, die für eine Ansteuerung der Ventileinrichtungen ausgebildet ist und die mittels wenigstens eines Krümmungssensors, der wenigstens einem Manipulatorabschnitt zugeordnet ist, für eine Lageregelung eines Endbereichs des Manipulatorabschnitts eingerichtet ist. Die Steuereinrichtung ermöglicht über die Kopplung mit den Ventileinrichtungen eine gezielte Deformation des wenigstens eines
Manipulatorabschnitts durch selektive Druckbeaufschlagung der Fluidkammern, die mittels der Ventileinrichtungen durchgeführt wird. Um eine möglichst exakte Positionierung des distalen Endbereichs des Manipulators an einem vorgebbaren Ort im dreidimensionalen Raum zu ermöglichen, ist eine Lageregelung für den Endbereich vorgesehen, bei der die Steuereinrichtung Gebrauch von Krümmungssignalen macht, die von dem wenigstens einen Krümmungssensor bereitgestellt werden. Vorzugsweise erfolgt eine Kommunikation zwischen den Ventileinrichtungen und der Steuereinrichtung drahtlos, beispielsweise über eine Funkverbindung.
Vorteilhaft ist es, wenn wenigstens einer Fluidkammer ein Rückstellmittel zugeordnet ist, das derart ausgebildet ist, dass es eine Rückstellbewegung der Fluidkammer entgegen einer durch Druckbeaufschlagung bewirkten Ausdehnungsbewegung des flexiblen Wandbereichs unterstützt. Mit Hilfe des Rückstellmittels kann die Bewegungsdynamik des Manipulators erhöht werden, da die Rückstellbewegung aus der durch Druckbeauf-
schlagung der Fluidkammer bewirkten Ausdehnungsstellung der jeweiligen Fluidkammer in eine Neutralstellung, die die
Fluidkammer ohne innere Druckbeaufschlagung einnimmt, beschleunigt wird. Dies ist insbesondere darauf zurückzuführen, dass zusätzlich zu der aufgrund der elastischen Deformation der Fluidkammer in dem flexiblen Wandbereich gespeicherten Rückverformungsenergie noch zusätzliche Rückverformungsener- gie durch die Rückstellmittel bereitgestellt wird. Somit kann die bei der Rückstellbewegung erfolgende elastische Rückver- formung des elastischen Wandbereichs verglichen mit einer elastischen Rückverformung ohne entsprechende Rückstellmittel in kürzerer Zeit erfolgen, wodurch die gewünschte Verbesserung der Dynamik erreicht wird. Dies äußert sich insbesondere in höheren Bewegungsgeschwindigkeiten des Manipulators. Darüber hinaus können die Rückstellmittel bei geeigneter Auslegung auch für eine zumindest teilweise Kompensation des Eigengewichts des Manipulators eingesetzt werden, sofern der Manipulator derart eingesetzt wird, dass das Eigengewicht der Fluidkammern zu einer zumindest teilweisen Ausdehnung der Fluidkammern führt, ohne dass eine Druckbeaufschlagung stattfindet, beispielsweise bei einer Aufhängung des Manipulators an einer Raumdecke.
Besonders bevorzugt ist das Rückstellmittel zur Bereitstellung von Rückstellkräften ausgebildet, die innerhalb der Fluidkammer und/oder zwischen benachbarten Fluidkammern wirken. Das Rückstellmittel kann beispielsweise für eine Kraftübertragung zwischen gegenüberliegenden flexiblen Wandbereichen oder dem flexiblen Wandbereich und einem gestaltfesten Wandbereich ausgebildet sein. Das Rückstellmittel kann sich auch über zwei oder mehrere Fluidkammern erstrecken. Vorzugsweise sind die Fluidkammern längs der Erstreckungskurve aneinander gereiht und das das Rückstellmittel ist mit den je-
weils endseitigen Fluidkammern verbunden. Bevorzugt ist das Rückstellmittel auch mit den Fluidkammern gekoppelt, die in der Reihe zwischen den endseitig angeordneten Fluidkammern aufgereiht sind. Die Rückstellkräfte der Rückstellmittel kön- 5 nen entweder als innere Kräfte in den jeweiligen Fluidkammern oder als innere oder äußere Kräfte zwischen benachbarten Fluidkammern wirken.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Rückstellmittel wenigstens eine Federein- io richtung umfasst, die innerhalb der Fluidkammer an benachbarten, insbesondere an gegenüberliegenden, Wandabschnitten angebracht ist. Mit einer Federeinrichtung, bei der es sich beispielsweise um eine Spiralfeder oder um eine Wendelfeder handeln kann, können in einfacher Weise die gewünschten Rück- i5 Stellkräfte bereitgestellt werden. Durch die Anordnung innerhalb der jeweiligen Fluidkammer wird kein zusätzlicher
Bauraum für die Federeinrichtung benötigt . Bei der Federeinrichtung kann es sich um eine linear, degressiv oder progressiv wirkende Feder handeln.
2o Bevorzugt umfasst das Rückstellmittel wenigstens eine Federeinrichtung, die benachbarte, insbesondere unmittelbar benachbarte, Fluidkammern und/oder Koppelplatten miteinander verbindet. Dies ist vorteilhaft, wenn die Federeinrichtung austauschbar ausgebildet werden soll, beispielsweise um die
25 Federcharakteristik der Federeinrichtung an unterschiedliche Einsatzfälle des Manipulators anpassen zu können.
Vorteilhaft ist es, wenn die Federeinrichtung eine Hüllgeometrie mit einer neutralen Faser aufweist, die geometrisch ähnlich zu einem korrespondierenden Abschnitt der Erstre- 30 ckungskurve ausgebildet ist. Hierdurch ist gewährleistet,
dass die Federeinrichtung in zumindest nahezu allen Betriebs-
zuständen des Manipulators kompakt an dem Manipulator anliegt und somit keinen negativen Einfluss auf die räumliche Ausdehnung des Manipulators hat .
Zweckmäßig ist es, wenn an den Fluidkammern und/oder an den Koppelplatten, insbesondere einstückig angeformte, Befestigungsbereiche zur Anbringung der Federeinrichtung ausgebildet sind. Die Befestigungsbereiche sind für eine, vorzugweise formschlüssige, Anbringung der Federeinrichtung ausgebildet und ermöglichen eine vorteilhafte Kraftübertragung zwischen benachbarten, insbesondere unmittelbar benachbarten, Fluidkammern oder den Koppelplatten. Die Befestigungsbereiche können beispielsweise als Ösen ausgebildet sein, in die Federenden von Federeinrichtungen, insbesondere von Wendelfedern, eingehängt werden können.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist die Federeinrichtung einstückig mit wenigstens einer Fluidkammer und/oder Koppelplatte ausgebildet. Dementsprechende Federeinrichtungen können an einer Außenoberfläche der Fluidkammer angeordnet und ergänzend oder alternativ in einem von der Fluidkammer begrenzten Volumenabschnitt ausgebildet sein. Bevorzugt werden die Federeinrichtungen in einem generativen Herstellungs- prozess, insbesondere in einem Lasersinterprozess , zusammen mit der jeweiligen Fluidkammer oder mit einer Gruppe von Fluidkammern und Koppelplatten hergestellt. Besonders bevorzugt sind die Federeinrichtungen derart auf die Elastizitätseigenschaften der jeweiligen Fluidkammer oder Gruppe von Fluidkammern angepasst, dass die Federeinrichtungen in einer drucklosen Ruhestellung der Fluidkammer eine Vorspannung aufweisen, die zu einer bevorzugten Stellung der Fluidkammer führt .
Vorteilhaft ist es, wenn die Rückstellmittel eine Unterdruckeinrichtung umfassen, die zur Bereitstellung eines Unterdrucks an wenigstens eine der Fluidkammern ausgebildet ist. Mit Hilfe der Unterdruckeinrichtung kann zusätzlich oder alternativ zu der Wirkung der Federeinrichtung eine Rückstellkraft durch Unterdruckbeaufschlagung einer Fluidkammer oder einer Gruppe von Fluidkammern erreicht werden. Zudem findet bei der Unterdruckbeaufschlagung der Fluidkammer eine aktive Entlüftung statt, so dass das in der Fluidkammer aufgenommene Fluidvolumen schneller aus der Fluidkammer abgezogen werden kann und bereits dadurch eine schnellere Rückstellung der Fluidkammer in die Neutralstellung bewirkt wird. Durch die kombinierte Wirkung der schnelleren Entlüftung der Fluidkammer und die zusätzlich mögliche Beaufschlagung der Fluidkammer mit Unterdruck, um eine vorgebbare Vorzugsstellung der Fluidkammer herbeizuführen kann die Dynamik des Manipulators in vorteilhafter Weise erhöht werden.
Bevorzugt ist die Unterdruckeinrichtung fluidisch mit der Ventileinrichtung, insbesondere mit einem Abluftkanal der Ventileinrichtung, verbunden, um eine Unterdruckbeaufschlagung der zugeordneten Fluidkammer in Abhängigkeit von der Ventilstellung zu ermöglichen. Hierdurch wird eine vorteilhafte fluidische Kopplung zwischen der Unterdruckeinrichtung und der jeweiligen Fluidkammer bzw. Gruppe von Fluidkammern erreicht. Zusätzliche Fluidleitungen zur Bereitstellung des Unterdrucks an die Fluidkammer oder Gruppe von Fluidkammern sind nicht erforderlich, vielmehr ist es möglich, die gesamte Fluidversorgung und Fluidabfuhr in die Fluidkammer bzw. aus der Fluidkammer über eine einzige Fluidleitung zu führen.
Vorteilhaft ist es, wenn die Unterdruckeinrichtung für eine Ansteuerung durch die Steuereinrichtung ausgebildet ist, um eine Bereitstellung von Unterdruck in Abhängigkeit von einem
Betriebszustand der jeweiligen Ventileinrichtung zu ermöglichen. Dadurch kann eine gezielte Bereitstellung von Unterdruck jeweils zu demjenigen Zeitpunkt vorgesehen werden, wenn eine Rückstellung der jeweils zugeordneten Fluidkammer oder Gruppe von Fluidkammern vorgesehen ist . Dies wird durch die Steuereinrichtung koordiniert, die entsprechend dem Unterdruckbedarf die Unterdruckeinrichtung ansteuert. Bei der Unterdruckeinrichtung kann es sich beispielsweise um eine nach dem Ej ektorprinzip arbeitende Unterdruckquelle handeln, die bei Durchströmung mit druckbeaufschlagtem Fluid einen Unterdruck an die jeweilige Fluidkammer oder Gruppe von Fluidkammern bereitstellt. Bevorzugt wird in diesem Fall die Versorgung der Unterdruckeinrichtung mit druckbeaufschlagtem Fluid durch ein mit der Steuereinrichtung wirkverbundenes Ventil - mittel gesteuert, so dass insgesamt ein energieeffizienter Betrieb des Manipulators sichergestellt werden kann.
Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Hierbei zeigt:
Figur 1 eine schematische Darstellung eines aus drei
Manipulatorabschnitten aufgebauten Manipulators in einer Funktionsstellung,
Figur 2 eine perspektivische Darstellung eines
Manipulatorabschnitts, der aus einer Vielzahl von einstückig aneinander gereihten
Manipulatorsegmenten aufgebaut ist,
Figur 3 eine Schnittdarstellung des Manipulatorabschnitts gemäß der Figur 2 ,
Figur 4 eine geschnittene Detaildarstellung einer Kupplung zur Verbindung von aneinandergrenzenden
Manipulatorabschnitten,
Figur 5 eine geschnitten dargestellte zweite Ausführungsform eines Manipulatorabschnitts und
Figur 6 eine geschnitten dargestellte dritte Ausführungsform eines Manipulatorabschnitts.
Ein in der Figur 1 dargestellter Manipulator 1 ist rüsselför- mig oder wurmartig ausgebildet und ist exemplarisch aus drei in Reihe angeordneten Manipulatorabschnitten 2 aufgebaut. Der Manipulator 1 dient zur Positionierung eines an einem distalen Endbereich 3 anbringbaren, nicht dargestellten Werkzeughalters, Werkstückträgers oder Werkzeugs. Jeder der
Manipulatorabschnitte 2 kann durch Beaufschlagung von nachstehend näher erläuterten Fluidkammern um zwei senkrecht zueinander ausgerichtete Bewegungsachsen gekrümmt werden. Zudem ist bei geeigneter Ansteuerung eine Verlängerung oder Verkürzung des jeweiligen Manipulatorabschnitts 2 in einer axialen Erstreckungsrichtung möglich. Somit ermöglicht jeder der Manipulatorabschnitte 2 eine Bewegung des jeweiligen distalen Endbereichs in einem von zwei konzentrisch zueinander ausgerichteten Kugelschalenabschnitten begrenzten Bewegungsraum. Durch die Kopplung von drei Manipulatorabschnitten 2 bei der vorliegenden Ausführungsform des Manipulators 1 können Orte im dreidimensionalen Raum mit voneinander unterschiedlichen Orientierungen des distalen Endbereichs 3 des Manipulators 1 angesteuert werden, wodurch ein flexibler Einsatz des Manipulators 1 für unterschiedliche Handhabungsaufgaben gewährleistet wird.
Wie in der Figur 1 nur schematisch angedeutet ist und nachstehend zu den Figuren 2 und 3 näher erläutert wird, ist jeder der Manipulatorabschnitte 2 aus einer Vielzahl von aneinander gereihten und einstückig miteinander verbundenen
Manipulatorsegmenten 5 aufgebaut. An radial außenliegenden Oberflächenbereichen der Manipulatorsegmente 5 sind jeweils exemplarisch als Führungsösen ausgebildete Führungsmittel 6, insbesondere einstückig, ausgebildet. Die Führungsmittel 6 dienen zur Führung von Sensorkomponenten 7, die exemplarisch als Seilzüge ausgebildet sind. Die Sensorkomponenten 7 sind mit endseitig am proximalen Endbereich 4 des Manipulators 1 angeordneten Krümmungssensoren 8 gekoppelt und an einer Kupplungsplatte 9 des distalen Endbereichs 3 festgelegt.
Die Krümmungssensoren 8 sind vorzugsweise als Wegmeßsensoren ausgebildet und ermitteln die krümmungsbedingte Relativbewegung der jeweiligen Sensorkomponente 7 bei der Bewegung des Manipulators 1, um daraus eine Positionsinformation zu erzeugen. Bei der dargestellten Ausführungsform des Manipulators 1 sind zwei Krümmungssensoren 8 vorgesehen, die vorzugsweise in gleicher Winkelteilung und gleicher radialer Beabstandung zu einer Erstreckungskurve 10 angeordnet sind. Die Erstreckungs- kurve 10 stimmt vorzugsweise mit einer neutralen Faser des Manipulators 1 überein, bei der es sich um eine räumliche Linie im inneren des Manipulators 1 handelt, die bei einer Krümmung der Manipulatorabschnitte 2 keine Längenänderung erfährt. Die Gestalt der neutralen Faser und der Erstreckungskurve 10 ändern sich mit der Krümmung der
Manipulatorabschnitte 2. In einer nicht dargestellten Neutrallage des Manipulators 1, in der sämtliche
Manipulatorabschnitte 2 in einer ungekrümmten Stellung vorliegen, verlaufen die neutrale Faser und die Erstreckungskurve 10 längs einer Geraden.
Die Krümmungssensoren 8 sind über Verbindungsleitungen 11 elektrisch mit einer Steuereinrichtung 12 verbunden, die die Längeninformationen der Krümmungssensoren 8 verarbeitet. Aus den Längeninformationen wird von der Steuereinrichtung 12 eine Positionsinformation bezüglich der Lage des distalen Endbereichs 3 im dreidimensionalen Raum und bezüglich der Ausrichtung des distalen Endbereichs 3 bezogen auf seine räumliche Lage ermittelt. Diese Lageinformation kann von der Steuereinrichtung 12 mit Druckwerten verglichen werden, die von nicht näher dargestellten Drucksensoren bereitgestellt werden, die den Fluidkammern der jeweiligen
Manipulatorabschnitte 2 zugeordnet sind und die die Ermittlung einer Ausrichtungsinformation durch die Steuereinrichtung ermöglichen.
Aus dem Abgleich der Ausrichtungsinformation, die einer Grobbestimmung der jeweiligen Krümmung des zugeordneten
Manipulatorabschnitts 2 entspricht, mit der Positionsinformation kann eine Plausibilitätsprüfung vorgenommen werden. Dadurch kann die von der Steuereinrichtung ermittelte Positionsinformation abgesichert werden und als zuverlässige Grundlage für eine Bahnplanung des Manipulators 1 herangezogen werden, um beispielsweise den distalen Endbereich aus einer vorliegenden Position in eine neue Position zu bewegen. Hierzu bedient sich die Steuereinrichtung 12 mehrerer Ventileinrichtungen 15, die über Verbindungsleitungen elektrisch mit der Steuereinrichtung 12 verbunden sind und die für die Blockierung oder Freigabe eines druckbeaufschlagten Fluids, insbesondere Druckluft an die nachstehend näher beschriebenen Fluidkammern der Manipulatorabschnitte 2 ausgebildet sind.
Jede der Ventileinrichtungen 15 ist eingangsseitig mit einer Druckluftquelle 16 gekoppelt und ist ausgangsseitig mit einem Druckluftschlauch 17 verbunden. Exemplarisch ist vorgesehen,
dass die Druckluftschläuche 17 durch eine in der Figur 2 erkennbare zentrale Ausnehmung 18 bis zu der jeweiligen Fluid- kammer geführt sind. Durch die Anordnung der Fluidschlauche 17 nahe der neutralen Faser des Manipulators ist auch bei starker Krümmung der Manipulatorabschnitte 2 keine oder nur eine geringfügige Nachführung der Fluidschlauche 17 erforderlich, um eventuelle Längenänderungen des Manipulators 1 auszugleichen .
Aus den Figuren 1 bis 3 ist erkennbar, dass der Manipulator 1 längs der Erstreckungskurve 10 verjüngt ausgebildet ist. Dadurch wird eine Gewichtsoptimierung für den Manipulator 1 erreicht, da am distalen Endbereich 3 in erster Linie die
Kraftrückwirkungen des nicht dargestellten Werkzeugs oder Werkstücks aufgenommen werden müssen, während am proximalen Endbereich 4 zusätzlich die durch die Gewichtskraft des distalen Endebereichs 3 hervorgerufenen Kräfte aufgenommen werden müssen.
Wie aus den Figuren 2 und 3 hervorgeht, ist der dargestellte Manipulatorabschnitt 2 einstückig aus mehreren längs der Erstreckungskurve 10 aneinander gereihten Manipulatorsegmenten 5 aufgebaut. In der Neutralstellung des exemplarischen
Manipulatorabschnitts 2, wie sie in den Figuren 2 und 3 gezeigt ist, verläuft die Erstreckungskurve 10 längs einer Geraden. Bei einer nicht dargestellten Ausführungsform eines Manipulatorabschnitts kann die Erstreckungskurve in der Neutralstellung in einer oder zwei Raumrichtungen gekrümmt ausgebildet sein.
Für die nachfolgende Erläuterung des Aufbaus des
Manipulatorabschnitts 2 wird angenommen, dass die
Manipulatorsegmente 5 jeweils eine Koppelplatte 19 und drei darauf angebrachte Fluidkammern 20 umfassen. Die Grenzen des
hierdurch bestimmten Manipulatorsegments 5 sind in der Figur 3 durch die gestrichelten Linien 21 und 22 angedeutet. Hierbei handelt es sich jedoch nur um eine von mehreren möglichen Abgrenzungen für die Manipulatorsegmente 5. Die Koppelplatte 19 ist bei der dargestellten Ausführungsform des
Manipulatorabschnitts 2 im Wesentlichen durch drei, vorliegend kreisringförmig ausgebildete, Stützringe 23 und die Stützringe 23 verbindende Stege 24 bestimmt. Die Stege 24 begrenzen in einem radial innenliegenden Bereich die zentrale Ausnehmung 18, durch die beispielsweise die in der Figur 1 schematisch angedeuteten Druckluftschläuche 17 nahe der neutralen Faser geführt werden können. Die Stützringe 23 und die Stege 24 sind derart dimensioniert, dass sie bei einem bestimmungsgemäßen Gebrauch des Manipulators 1 durch die dabei auftretenden Kräfte nicht oder nur in sehr geringem Maße deformiert werden, um stets eine eindeutig vorhersagbare Gestalt des Manipulators 1 gewährleisten zu können. Vorliegend sind die Stützringe 23 und die Stege 24 aus massivem Material hergestellt. Die den einstückig angeformten Fluidkammern 20 zugewandten Oberflächen der Stützringe 23 und Stege 24 bilden eine Haupterstreckungsfläche 26, deren Flächennormale parallel zur Erstreckungskurve 10 ausgerichtet ist.
In Abhängigkeit von dem Fertigungsverfahren für den
Manipulatorabschnitt 2, insbesondere bei Verwendung eines generativen Herstellungsverfahrens wie dem selektiven Lasersintern, können die Stützringe 23 und/oder die Stege 24 auch bereichsweise Aussparungen, beispielsweise in der Art einer Wabenstruktur, aufweisen, um eine raschere Herstellung und ein geringeres Gewicht bei im Wesentlichen gleicher Stabilität gewährleisten zu können.
Wie aus der Schnittdarstellung der Figur 3 hervorgeht, weisen die auf der Koppelplatte 19 einstückig angeordneten Fluidkam-
mern 20 eine erheblich geringere Wandstärke als die Stützringe 23 und die Stege 24 auf. Exemplarisch sind die Fluidkammern 20 über ihre gesamte Erstreckung mit einer konstanten Wandstärke ausgeführt und weisen somit einen durchgehend elastisch deformierbaren Wandbereich 25 auf. Exemplarisch ist der Wandbereich 25 in der Art eines Faltenbalgs rotationssymmetrisch mit Doppel -S-förmiger Kontur in der dargestellten Neutralstellung ausgeführt. Hierdurch kann bei einer Beaufschlagung der Fluidkammer 20 mit einem druckbeaufschlagten Fluid, insbesondere Druckluft, eine große Volumenänderung der Fluidkammer 20 erzielt werden. Bei der Volumenänderung findet eine elastische Deformation des Wandbereichs 25 statt, die zu einer Längenänderung der jeweiligen Fluidkammer 20 führt.
Aufgrund der kinematischen Kopplung der exemplarisch drei Fluidkammern 20 jedes Manipulatorsegments 5 mittels der Koppelplatte 19 kann eine Verkippung der Koppelplatte 19 des an die Endbereiche der Fluidkammern 20 angrenzenden
Manipulatorsegments 5 oder eine lineare Bewegung der Koppel - platte 19 erreicht werden. Bei einer Beaufschlagung einer oder zweier Fluidkammern 20 mit einheitlichem Druck erfahren diese eine Längenänderung, während die verbleibenden zwei Fluidkammern 20 oder die verbleibende Fluidkammer 20 aufgrund der Elastizitätseigenschaften des Wandbereichs 25 zumindest nahezu keine Längenänderung erfährt. Hierdurch wird die Koppelplatte 19 gegenüber benachbarten Koppelplatten 19
verkippt. Sofern alle drei Fluidkammern 20 mit dem gleichen Fluiddruck beaufschlagt werden, erfahren auch alle drei
Fluidkammern 20 eine gleichartige Längenänderung, so dass eine lineare Relativbewegung benachbarter Koppelplatten 19 hervorgerufen wird.
Bei der vorliegenden Ausführungsform des
Manipulatorabschnitts 2 sind die in Reihe längs der Erstre-
ckungskurve 10 angeordneten Fluidkammern 20 der benachbarten Manipulatorsegmente 5 kommunizierend miteinander verbunden, so dass sie eine gemeinsame Druckkammer 28 bilden. Bei einer nicht dargestellten Ausführungsform eines
Manipulatorabschnitts sind die beispielsweise drei Fluidkammern eines Manipulatorsegments jeweils fluidisch getrennt ausgebildet und separat von Fluidkammern benachbarter
Manipulatorsegmente fluidisch beaufschlagbar.
Der in den Figuren 2 und 3 dargestellte Manipulatorabschnitt 2 bildet bei dem in Figur 1 dargestellten Manipulator 1 das proximale Ende und weist zu diesem Zweck eine Ankerplatte 29 auf, die in der Art eines Manipulatorsegments 5 ausgebildet ist und ebenfalls drei Fluidkammern 20 trägt. An einer nach außen gewandten Stirnseite ist die Ankerplatte 29 für eine Befestigung an einer nicht dargestellten Ankerfläche ausgebildet. Bei der Ankerfläche kann es sich beispielsweise um einen Endabschnitt eines Industrieroboters oder um ein starres Maschinengestell oder um eine Oberfläche eines Fahrzeugs handeln. In der Ankerplatte 29 ist für jede der Druckkammern 28 ein vorliegend als Bohrung ausgeführter Fluidanschluss 30 ausgebildet, an den ein nicht dargestellter Druckluftschlauch 17 angeschlossen werden kann.
An einem der Ankerplatte 29 entgegengesetzten Endbereich des in den Figuren 2 und 3 dargestellten Manipulatorabschnitts 2 ist eine erste Kupplung 31 ausgebildet, die für eine Kopplung an eine in der Figur 4 ausschnittsweise dargestellte zweite Kupplung 32 vorgesehen ist. Die erste Kupplung 31 weist eine ähnliche Kontur wie die Koppelplatte 19 auf, wobei anstelle von Stützringen 23 Abdeckscheiben 33 vorgesehen sind, die jeweils die angrenzende Fluidkammer 20 abdichtend abschließen. An einer nach außen gewandten Oberseite der ersten Kupplung 31 sind jeweils Koppelringe 34 ausgebildet. Die Koppelringe
34 sind exemplarisch konzentrisch zu den Fluidkammern 20 angeordnet und weisen vorliegend jeweils vier in radialer Richtung verlaufende und beispielhaft in gleicher Winkelteilung angeordnete Gewindebohrungen 35 auf. Die Koppelringe 34 begrenzen mit einem vorliegend konzentrisch zu der jeweiligen Fluidkammer 20 ausgebildeten, radial außenliegenden, umlaufenden Zentrierbund 36 eine Aufnahmenut 37.
Die zweite Kupplung 32 des nicht dargestellten
Manipulatorsegments, das zur Ankopplung an das in Figur 2 und 3 dargestellte Manipulatorsegment 2 vorgesehen ist, umfasst einen Zentrierring 38, der zur Aufnahme in der Aufnahmenut 37 vorgesehen ist, wie dies in der Schnittdarstellung gemäß der Figur 4 gezeigt ist. Der Zentrierring 38 weist nicht dargestellte, koaxial zu den Gewindebohrungen 35 angeordnete
Durchgangsbohrungen auf, die eine Verschraubung der beiden Kupplungen 31 und 32 ermöglichen. Um einen Zugang zu den Schraubenköpfen der nicht dargestellten Schrauben, die für die Verbindung der Kupplungen 31, 32 eingesetzt werden, zu ermöglichen, sind am Zentrierbund 36 und in gleicher Weise an einer nicht dargestellten Stirnfläche der zweiten Kupplung 32 jeweils halbzylindrische Ausnehmungen 39 vorgesehen. An der ersten Kupplung ist ein den Zentrierbund 36 und den Koppel - ring 34 durchsetzender, halbzylindrischer Schlauchkanal 40 ausgebildet, der entsprechend auch, in nicht dargestellter Weise, in der zweiten Kupplung 32 vorgesehen ist. Der
Schlauchkanal 40 ermöglicht die Zuführung eines in Figur 4 gestrichelt angedeuteten Druckluftschlauchs durch eine Zugangsbohrung 41 der zweiten Kupplung 32 in die Druckkammer 28 des Manipulatorsegments 2. Dabei wird der Druckluftschlauch 17 durch die Zwangskrümmung zwischen dem Schlauchkanal 40 und der Zugangsbohrung 41 sicher arretiert.
Die in den Figuren 5 und 6 ausschnittartig dargestellten Manipulatorabschnitte 70, 80 sind in gleicher Weise wie die in den Figuren 1 bis 3 dargestellten Manipulatorabschnitte 2, 34 aus einstückig aneinander gereihten Fluidkammern 71, 81 aufgebaut. Bei dem Manipulatorsegment 70 sind in den Fluidkammern 71 jeweils zwischen den Koppelplatten 73 erstreckte und exemplarisch einstückig mit den Koppelplatten 73 und den flexiblen Wandbereichen 72 ausgebildete Federeinrichtungen 75 angeordnet. Die Federeinrichtungen 75 sind exemplarisch als wendeiförmige Zugfedern ausgebildet, die Zugkräfte auf jeweils benachbarten Koppelplatten 73 einleiten. Vorzugsweise sind die Federeinrichtungen 75 derart ausgebildet, dass sie auch in der dargestellten Ruheposition der Fluidkammern 71 eine Vorspannung aufweisen, die einer durch Druckbeaufschlagung der Fluidkammern 71 hervorgerufenen Ausdehnungsbewegung entgegengesetzt ist. Bei einer derartigen Druckbeaufschlagung der Fluidkammern 71 dehnen sich diese in axialer Richtung längs der Erstreckungskurve 10 aus, wodurch auch eine Ausdehnung der Federeinrichtungen 75 erfolgt, deren innere Spannung dadurch erhöht wird, so dass die Zugkräfte zwischen benachbarten Koppelplatten 73 ebenfalls, insbesondere linear, zunehmen. Hierdurch wird die gewünschte Rückstellkraft auf die jeweiligen Fluidkammern 71 ausgeübt.
Die Fluidversorgung der Fluidkammern 71 erfolgt durch die bereits im Zusammenhang mit der Figur 1 beschriebenen Anordnung aus Steuereinrichtung 12, Ventileinrichtung 15, Druckluftquelle 16 und Druckluftschlauch 17. Bei dem in Figur 5 dargestellten Ausführungsbeispiel ist zusätzlich eine Unterdruckeinrichtung 90 vorgesehen, die beispielsweise nach dem
Ejektorprinzip aufgebaut sein kann. Die Unterdruckeinrichtung 90 ist wie die Ventileinrichtung 15 über Verbindungsleitungen 11 elektrisch mit der Steuereinrichtung 12 gekoppelt und an
die von der Druckluftquelle 16 ausgehende Versorgungsleitung 91 angeschlossen. Die Unterdruckeinrichtung 90 ist vorzugsweise mit einem nicht dargestellten internen Ventil zur Sperrung oder Freigabe der über die Versorgungsleitung 91 zur Verfügung gestellten Druckluft ausgestattet, so dass eine Bereitstellung eines Unterdrucks über die Unterdruckleitung 82 an den Abluftanschluss der Ventileinrichtung 15 in Abhängigkeit von einem Schaltsignal der Steuereinrichtung 12 an die Unterdruckeinrichtung 80 vorgesehen werden kann.
Beispielsweise wird die Unterdruckeinrichtung 90 von der Steuereinrichtung 12 dann zur Bereitstellung eines Unterdrucks aktiviert, wenn die mit der Ventileinrichtung 12 fluidisch gekoppelten Fluidkammern 71 entlüftet werden sollen, um aus einer nicht dargestellten, längenausgedehnten Expansionsstellung in die in Figur 5 dargestellte Ruhestellung zurückkehren sollen. Die Unterdruckeinrichtung 90 trägt zu einer rascheren Entlüftung der Fluidkammern 71 bei. Zudem kann auch vorgesehen werden, dass die Fluidkammern 71 mittels der Unterdruckeinrichtung 90 mit einem Unterdruck beaufschlagt werden, der geringer als ein Druck der Atmosphäre ist, die den Manipulatorsegment 70 umgibt, um dadurch eine noch schnellere Einnahme der Neutralposition zu erreichen. Hierdurch kann eine besonders hohe Bewegungsdynamik für den Manipulator erreicht werden. Die in der Figur 5 dargestellten Federeinrichtungen 75 und die Unterdruckeinrichtung 90 können in Kombination oder einzeln an dem entsprechenden Manipulatorsegment 70 angebracht sein, die in Figur 5 vorliegende gemeinsame Darstellung soll keinen Hinweis darauf geben, dass diese beiden unterschiedlichen Rückstellmittel nur gemeinsam vorgesehen werden können.
Die in der Figur 6 dargestellte dritte Ausführungsform eines Manipulatorsegments 80 weist im Unterschied zur zweiten Aus-
führungsform eines Manipulatorsegments 70, wie sie in der Figur 5 dargestellt ist, extern angeordnete Federeinrichtungen 85, 86 auf. Diese Federeinrichtungen 85, 86 werden vorzugsweise alternativ eingesetzt, sie können jedoch auch in der gemischten Bauweise, wie sie in der Figur 6 dargestellt ist, vorgesehen werden. Während die Federeinrichtungen 75 beim Manipulatorsegment 70 gemäß Figur 5 einstückig mit den Koppelplatten 73 und den Wandbereichen 72 ausgebildet sind, ist bei der Ausführungsform gemäß der Figur 6 eine diskrete Ausführung der Federeinrichtungen 85, 86 vorgesehen. Für eine vorteilhafte Anbringung der Federeinrichtungen 85, 86 sind an den Koppelplatten 83 quer zur Erstreckungskurve 10 abragende Ösen 86 vorgesehen, die jeweils eine Bohrung zur formschlüssigen Aufnahme eines Endbereichs der jeweiligen Federeinrichtung 85, 96 aufweisen. Bei den Federeinrichtungen 85, 86 handelt es sich exemplarisch um Wendelfedern, die eine zylindrische Hüllkurve 87 aufweisen, deren neutrale Faser 88 geometrisch ähnlich zur Erstreckungskurve 10 verläuft. Wie auch bei der Ausführungsform gemäß der Figur 5 kann die Fluidversor- gung der Fluidkammern 81 bei der Ausführungsform gemäß der Figur 6 durch eine Unterdruckeinrichtung 90 ergänzt werden.