EP2452173A1 - Pressure sensor having an interferometric converter and pressure measuring device having such a pressure sensor - Google Patents

Pressure sensor having an interferometric converter and pressure measuring device having such a pressure sensor

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Publication number
EP2452173A1
EP2452173A1 EP10727397A EP10727397A EP2452173A1 EP 2452173 A1 EP2452173 A1 EP 2452173A1 EP 10727397 A EP10727397 A EP 10727397A EP 10727397 A EP10727397 A EP 10727397A EP 2452173 A1 EP2452173 A1 EP 2452173A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
reflection surface
pressure sensor
base body
reflection
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP10727397A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Udo Grittke
Dietmar FRÜHAUF
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Endress and Hauser SE and Co KG
Original Assignee
Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress and Hauser SE and Co KG filed Critical Endress and Hauser SE and Co KG
Publication of EP2452173A1 publication Critical patent/EP2452173A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
    • G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
    • G01L7/086—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type with optical transmitting or indicating means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
    • G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
    • G01L9/0079—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light with Fabry-Perot arrangements

Definitions

  • Pressure sensor with interferometric transducer and pressure gauge with such a pressure sensor
  • the present invention relates to a pressure sensor with a
  • interferometric transducer in particular a pressure
  • Temperature sensor is used. Insofar as this sensor element is based on a silicon substrate, however, it is not suitable for industrial process measurement technology since silicon does not have the desired media resistance.
  • a pressure transmitter comprises a closed hydraulic path which extends between a metallic separating membrane which can be acted upon by the measuring medium and the sensor element and is filled with a transfer fluid, for example a silicone oil. Now the volume of the transfer fluid expands
  • a temperature measured value supplied by the sensor element is defective in so far as it is separated from the process medium by the pressure transmitter.
  • a diaphragm seal is often used for thermal decoupling of Sensor element, which is why the temperature can be an estimate at best.
  • ceramic pressure sensors whose measuring membrane is media-contacting, and therefore do not contain transmission fluid.
  • these pressure sensors which usually have a ceramic base body and a ceramic measuring membrane, on the back of the base body contain a temperature sensor whose measured value can already be falsified by a temperature gradient between the measuring medium and the environment.
  • the published patent application DE 100 44 078 A1 discloses a capacitive ceramic pressure sensor in which the measuring diaphragm is joined to the base body by means of a thin glass ring, wherein a temperature sensor is arranged in the glass ring. The signal of this
  • Temperature sensor provides information about a compared to a temperature sensor on the back of the body
  • ceramic pressure sensors with capacitive transducers have a considerable temperature resistance in principle, but are the primary signals of the capacitive transducer very susceptible to interference, so close to this converter, for example, on the back of the body, a preprocessing circuit is provided, which prepares the primary signals to more robust signals. This preprocessing circuit in turn limits the possible temperature range of use of the ceramic pressure sensors.
  • the pressure sensor according to the invention comprises a ceramic base body; a measuring membrane, which has AI2O3, and which with the
  • Basic body is joined pressure-tight along a peripheral joint; at least one senorferometer, wherein the at least one
  • Sensohnterferometer has at least a first reflection surface and a second reflection surface, for generating a
  • Measurement-dependent path difference OPDS Optical Path Difference Sensor Interferometer
  • the pressure gauge according to the invention comprises a
  • variable gear difference OPDA variable gear difference
  • Gap difference OPDS is to be determined, where the
  • the first reflection surface is arranged on a surface of the measuring membrane facing the base body, and the second reflection surface on the base body, in particular on a surface of the base body facing the measuring membrane.
  • the path difference OPDS contains information about the distance between the base body and the measuring diaphragm and thus about the pressure which deflects the measuring diaphragm.
  • the reflection surface on the base body is formed in the simplest case by the end face of an optical fiber which is fixed in a defined position in a bore through the base body.
  • Possibly. can also be a transparent body on the body,
  • a transparent body of sapphire or a high-purity Al2O3 ceramic may be arranged, which has two reflection surfaces. Possibly.
  • the path difference can be evaluated; which is generated by reflections on the two surfaces. This value would contain temperature information about the body, this information about the temperature of the medium to be measured is less meaningful, but which may be used to compensate for the pressure reading.
  • the pressure sensor comprises a first body facing the base reflection surface in a first surface portion of the measuring membrane and a second the
  • first and the second surface portion have a different pressure-dependent deflections.
  • the first and the second surface portion may be arranged, for example, in a circular disk-shaped measuring diaphragm in different radial sections.
  • the first and the second surface portion may be arranged, for example, in a circular disk-shaped measuring diaphragm in different radial sections.
  • the two reflecting surfaces in this case can not be illuminated from a single optical fiber end. Therefore, opposite to both reflection surfaces on the measuring diaphragm, one light guide end section in each case is to be arranged in order to illuminate the reflection surfaces and to return the reflected light.
  • Lichtleiterendabête may be formed, for example, as a Y splice at the end of a light guide.
  • the path difference between the light reflected by the first reflection surface and the light reflected by the second reflection surface is a measure of the pressure-dependent deformation of the measurement membrane, wherein the determination of different lengths of the light paths from Splice point up to the two reflection surfaces in rest position an offset can be specified.
  • Reflection surface on the measuring diaphragm the path differences of the light paths of both reflection surfaces on the measuring diaphragm can be determined in each case with respect to a third reflection surface on the base body.
  • Reflection surface may be provided, wherein a first path difference OPDS1 between the first reflection surface on the measuring membrane and the third reflection surface on the base body is determined and a second path difference OPDS2 between the second reflection surface on the measuring membrane and the fourth reflection surface on the base body, is determined, and wherein the first Reflection surface through the third
  • Reflecting surface is illuminated and the second reflection surface is illuminated by the fourth reflection surface.
  • OPDS1 already contains one
  • Measuring diaphragm changed due to the temperature.
  • the measuring diaphragm comprises a first reflection surface and a second reflection surface, wherein the illumination of the second reflection surface by the first
  • Reflection surface is done.
  • the path difference between a reflection at the first reflection surface and a reflection at the second reflection surface practically independent of the pressure and on the other hand has a temperature dependence.
  • the measuring diaphragm comprises a high-purity Al 2 O 3 ceramic, which is characterized by a sufficiently good optical quality for use in an optical path.
  • the measuring membrane may have a bending fracture stress ⁇ c whose distribution F ( ⁇ c ) is given by the Weibull parameters ⁇ o ⁇ 700 MPa, in particular ⁇ o ⁇ 750 MPa, preferably ⁇ o ⁇ 800 MPa, and m> 24, with a mean grain size the sintered material of not more than 2 ⁇ m, preferably not more than 1.75 ⁇ m, and more preferably not more than 1.5 ⁇ m.
  • the production of a corresponding membrane material is disclosed, for example, in unpublished patent application 10 2008 036381.
  • the membrane material described there is characterized by a sufficiently low number of scattering centers that it can be used as an element in an optical path. Therefore, this material is suitable, the first reflection surface on the base body facing side of
  • measuring diaphragm and the second reflection surface on the side facing away from the base body of the measuring diaphragm.
  • a measuring membrane made of an Al 2 O 3 ceramic instead of a measuring membrane made of an Al 2 O 3 ceramic, a measuring membrane made of monocrystalline Al 2 O 3 or sapphire can be used.
  • a transparent optical element may be attached to a measuring diaphragm made from an Al 2 O 3 ceramic,
  • a glass or sapphire body be attached, which has the first and the second reflection surface.
  • the attachment can be done for example by means of an active braze, which is possibly also used to connect the measuring diaphragm with the base body.
  • the path difference OPDS contains information about the temperature of the measuring medium present on the measuring membrane.
  • the two reflection surfaces are arranged in a central region of the membrane surface, whereby they are removed from the heat-conducting connections to the base body and thus allow an accurate determination of the temperature measurement.
  • the previously described arrangements for pressure and temperature measurement can be combined.
  • Reflection surface as well as to evaluate a pressure-dependent path difference OPDP between the third reflection surface and the base body facing the second reflection surface.
  • Reflection surface to be added to the measuring diaphragm which by the first reflection surface on the measuring diaphragm or the second
  • Reflecting surface is illuminated at the measuring diaphragm.
  • the path difference between the reflection at the further reflection surface and the reflection at the first or second reflection surface is a measure of the temperature.
  • the base body has a transparent body with two surfaces, so can the temperature of the body are detected to allow a more accurate compensation of temperature influences.
  • a measuring membrane has a thickness of 150 ⁇ m, so that at reference conditions it produces a path difference of 300 ⁇ m due to reflections on its surfaces.
  • the hub of the measuring membrane has a thickness of 150 ⁇ m, so that at reference conditions it produces a path difference of 300 ⁇ m due to reflections on its surfaces.
  • Reflection surface on the base body and the second reflection surface on the separation membrane between 100 .mu.m and, for example, 10 microns vary. Since the resulting path difference between 20 ⁇ m and 200 ⁇ m would be too low for reliable detection, a suitable offset can be achieved by lowering the third reflection surface deeper, for example by 160 ⁇ m, relative to the surface of the base body. The retardation would then be 340 ⁇ m to 520 ⁇ m and would lie outside the retardation due to reflections at the first and second reflection surfaces.
  • a transparent body for detecting the temperature of the body would, for example, in a
  • the Ausenseinterferometer now for this example can produce a path difference range OPDA over, for example, 300 microns between 240 microns and 540 microns in order to detect and identify the path differences of the different reflection surfaces.
  • the reflection surfaces may optionally have a partially reflecting layer, for example a metallic layer, wherein the
  • Layer thickness is to be chosen so that even a sufficient transmission to subsequent reflective surfaces can be done. Irrespective of this, depending on the refractive indices of the media, a reflection occurs at an interface between two optical media, the intensity of which depends on the refractive index of the media involved. Thus, the strength of the reflection on a media-touching
  • Reflection surface for example on a reflection surface, which faces away from the base body surface of the measuring diaphragm
  • 1 shows a longitudinal section through a first embodiment of a pressure sensor according to the invention
  • 2 shows a longitudinal section through a second embodiment of a pressure sensor according to the invention
  • the pressure sensor 1 illustrated in FIG. 1 comprises a ceramic main body 2 and a measuring diaphragm 3, which is pressure-tightly connected to the main body 2 by means of an annular connecting body 4.
  • the main body 2 and the measuring membrane 3 may, for example, have AL2O3, the measuring membrane having a purity of not less than 99.9% and being distinguished by a sufficiently good optical quality for use in an optical path.
  • a method for producing a suitable membrane material is disclosed, for example, in patent application 10 2008 036381.
  • the connecting body 4 For example, it may comprise an active braze or glass, with currently a Zr-Ni-Ti active braid being preferred.
  • the pressure-dependent deflection of the measuring diaphragm 3 is to be detected. This is done by means of an interferometric
  • a second sensor interferometer is provided for temperature measurement.
  • a third reflection surface is arranged on the surface 7 of the measuring membrane 3 facing away from the base body 2, which may possibly be mirrored or partially mirrored in order to achieve a greater independence from the refractive index of the measuring medium with respect to the intensity of the reflection.
  • the distance between the second reflection surface 6 and the third reflection surface 7 is a measure of the temperature of the measuring membrane 3.
  • the distance between the first reflection surface. 5 and the second reflection surface 6 are determined in the equilibrium position or rest position of the measuring membrane. Deviations from this equilibrium distance or
  • the determined temperature of the measuring membrane also gives a sufficiently accurate reading for the temperature of an he Measuring diaphragm pending measuring medium, since the temperature of the measuring diaphragm is largely determined by the temperature of the measuring medium in view of the large contact surface to the measuring medium depending on the heat capacity of the medium and the heat transfer properties of the medium.
  • the first reflection surface 5 comprises the end face of an optical fiber 9, which in an axial bore 8 through the base body 2 in a
  • the optical fiber can be fixed in particular by means of a Ferulle not shown here in the bore 8.
  • the measurement of the distances is carried out by means of an evaluation interferometer, by determining the path differences between reflections at the respective reflection surfaces.
  • the pressure sensor 11 shown in Fig. 2 comprises as the first
  • Embodiment a ceramic base body 12 and a
  • Measuring diaphragm 13 which is connected by means of an annular connecting body 14 pressure-tight manner with the base body 2.
  • the materials of the aforementioned components are the same as the first
  • the pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm is again detected interferometrically by means of two distance measurements, one of which takes place in the center of the measuring diaphragm 13 and a second in the edge region of the measuring diaphragm.
  • the pressure sensor has a first central reflection surface 15a and a first peripheral
  • Reflection surface 15b wherein the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the two first reflection surfaces
  • Measuring membrane 13 a second central reflection surface 16a in the center of the base body facing surface and a second peripheral reflection surface 16b at the edge of the body facing Surface, wherein the second reflection surfaces are aligned with the first reflection surfaces.
  • the temperature-dependent rest position and the pressure-dependent deflection of the measuring diaphragm 13 relative to this rest position can be determined.
  • the two central reflection surfaces form a first
  • Sensohnterferometer and the two peripheral reflection surfaces a second sensor interferometer.
  • the measuring diaphragm 13 may have on its surface facing away from the base body a third central reflection surface 17a and / or a third peripheral reflection surface 17b, wherein over the
  • the temperature-dependent strength of the measuring membrane can be determined.
  • the central or peripheral reflection surfaces each form a further sensor interferometer.
  • the thickness of the measuring diaphragm is in turn an indication of the temperature of the medium and of the temperature of the pressure sensor.
  • Temperature-dependent rest position of the diaphragm can be used.
  • a central bore 18a in the axial direction and a peripheral bore 18b are provided in the axial direction through the base body 12, wherein in the bores in each case an end portion 19a, 19b of a Y-junction of an optical fiber is fixed.
  • a glass body 20a, 20b is vacuum-tightly fastened, whereby the space between the measuring membrane and the main body 12 is sealed in a vacuum-tight manner.
  • the pressure sensor can be used as a long-term stable absolute pressure sensor.
  • Glass bodies 20a, 20b form the first central reflection surface 15a and the second central reflection surface 15b.
  • the temperature of the body can be determined and used, for example, to compensate for temperature-dependent measurement errors due to temperature-induced mechanical stresses.
  • the measurement of the distances is carried out by means of an evaluation interferometer, by determining the path differences between reflections at the respective reflection surfaces
  • the distances between the reflective surfaces are preferably to be dimensioned such that occur in the measuring mode
  • Measuring diaphragm 13 each have different material thicknesses, and the first peripheral reflection surface 15b has over the entire working range of the pressure sensor a greater distance from the second peripheral
  • Reflection surface 16b as the distance between the first central reflection surface 15a and the second central reflection surface 16a. This is achieved by the first peripheral reflection surface 15b with respect to the membrane-side end face of the base body 12 is set back further than the first central reflection surface 15a.
  • a pressure measuring device comprises, in addition to one of the described pressure sensors, at least one broadband light source; and an evaluation interferometer for generating a variable one
  • the pressure gauge shown in Fig. 3 comprises the pressure sensor 1, the optical fiber 9 is connected via a first branch of a Y-junction 31 and a first optical fiber 32 to a broadband light source 33.
  • the second branch of the Y-junction leads via a second optical fiber 34 and an evaluation interferometer 35 to a photodetector 36.
  • the Ausreteinterferometer can be, for example - as shown - a Michelson interferometer or a Mach-Zehnder interferometer.

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Abstract

The invention related to a pressure sensor (1) comprising a ceramic main body (2), a measuring membrane (3), which contains Al2O3 and is joined to the main body along a peripheral joint (4) in a pressure-tight manner, at least one sensor interferometer, wherein the at least one sensor interferometer comprises at least one first reflection surface (5, 6) and a second reflection surface (6, 7) for creating a measurement variable-dependent path difference between the first and the second reflection surfaces. The measuring membrane (3) comprises at least one of the reflection surfaces (5, 6, 7), at least one light path (9), through which light can pass through the main body (2) to the first and second reflection surfaces and which runs substantially perpendicular to the first and the second reflection surfaces and perpendicular to the plane of the measuring membrane.

Description

Drucksensor mit interferometrischem Wandler und Druckmessgerät mit einem solchen Drucksensor  Pressure sensor with interferometric transducer and pressure gauge with such a pressure sensor
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drucksensor mit einem The present invention relates to a pressure sensor with a
interferometrischen Wandler, insbesondere einen Druck- und interferometric transducer, in particular a pressure and
Temperatursensor mit einem interferometrischen Wandler für die industrielle Prozessmesstechnik, und ein Druckmessgerät mit einem Solchen Drucksensor. Das Europäische Patent EP 1 078 227 B1 betrifft ein optisch Temperature sensor with an interferometric transducer for industrial process measurement, and a pressure gauge with such a pressure sensor. European Patent EP 1 078 227 B1 relates to an optical
adressierbares Sensorsystem auf Basis eines Weißlichtinterferometers, welches zur Realisierung eines Drucksensors oder eines Addressable sensor system based on a white light interferometer, which is used to realize a pressure sensor or a
Temperatursensors eingesetzt wird. Insoweit als dieses Sensorelement auf einem Siliziumsubstrat aufbaut, ist es jedoch nicht für die industrielle Prozessmesstechnik geeignet, da Silizium nicht über die gewünschte Medienbeständigkeit verfügt. Temperature sensor is used. Insofar as this sensor element is based on a silicon substrate, however, it is not suitable for industrial process measurement technology since silicon does not have the desired media resistance.
Sensoren aus Silizium, die in den meisten Fällen einen piezoresistiven oder kapazitiven Wandler umfassen, werden gewöhnlich über einen Druckmittler mit einem zu messenden Prozessdruck beaufschlagt. Dieser weit verbreitete Ansatz weist jedoch in zweierlei Hinsicht Einschränkungen auf. Ein Druckmittler umfasst einen geschlossenen hydraulischen Pfad, der sich zwischen einer mit dem Messmedium beaufschlagbaren metallischen Trennmembran und dem Sensorelement erstreckt und mit einer Übertragungsflüssigkeit, beispielsweise einem Silikonöl, gefüllt ist. Nun dehnt sich das Volumen der Übertragungsflüssigkeit Sensors made of silicon, which in most cases comprise a piezoresistive or capacitive transducer, are usually subjected to a process pressure to be measured via a pressure transmitter. However, this widespread approach has two limitations. A pressure transmitter comprises a closed hydraulic path which extends between a metallic separating membrane which can be acted upon by the measuring medium and the sensor element and is filled with a transfer fluid, for example a silicone oil. Now the volume of the transfer fluid expands
temperaturabhängig aus, was eine Auslenkung der Trennmembran und damit einen Messfehler in Abhängigkeit der Membransteifigkeit bewirkt. Ein von dem Sensorelement gelieferter Temperaturmesswert ist insoweit fehlerhaft, als er durch den Druckmittler vom Prozessmedium getrennt ist. Ein Druckmittler dient häufig zur thermischen Entkopplung des Sensorelements, weshalb die Temperatur bestenfalls ein Schätzwert sein kann. Depending on the temperature, which causes a deflection of the separation membrane and thus a measurement error as a function of the membrane stiffness. A temperature measured value supplied by the sensor element is defective in so far as it is separated from the process medium by the pressure transmitter. A diaphragm seal is often used for thermal decoupling of Sensor element, which is why the temperature can be an estimate at best.
Schließlich würde die Übertragungsflüssigkeit beim Ausfall der Finally, the transmission fluid would in case of failure of
Trennmembran in ein Messmedium eindringen und dieses kontaminieren. Penetrate the separation membrane into a medium and contaminate it.
Andererseits sind durchaus„trockene" Drucksensoren bekannt, On the other hand, "dry" pressure sensors are well known,
beispielsweise keramische Drucksensoren, deren Messmembran medienberührend ist, und die deshalb keine Übertragungsflüssigkeit enthalten. Zudem enthalten diese Drucksensoren, die gewöhnlich einen keramischen Grundkörper und eine keramische Messmembran aufweisen, auf der Rückseite des Grundkörpers einen Temperatursensor, dessen Messwert aber bereits durch einen Temperaturgradienten zwischen Messmedium und Umgebung verfälscht sein kann. For example, ceramic pressure sensors whose measuring membrane is media-contacting, and therefore do not contain transmission fluid. In addition, these pressure sensors, which usually have a ceramic base body and a ceramic measuring membrane, on the back of the base body contain a temperature sensor whose measured value can already be falsified by a temperature gradient between the measuring medium and the environment.
Die Offenlegungsschrift DE 100 44 078 A1 offenbart einen kapazitiven keramischen Drucksensor, bei dem die Messmembran mittels eines dünnen Glasrings mit dem Grundkörper gefügt ist, wobei in dem Glasring ein Temperatursensor angeordnet ist. Das Signal dieses The published patent application DE 100 44 078 A1 discloses a capacitive ceramic pressure sensor in which the measuring diaphragm is joined to the base body by means of a thin glass ring, wherein a temperature sensor is arranged in the glass ring. The signal of this
Temperatursensors liefert im Vergleich mit einem Temperatursensor auf der Rückseite des Grundkörpers Informationen über einen Temperature sensor provides information about a compared to a temperature sensor on the back of the body
Temperaturgradienten dem der Drucksensor ausgesetzt ist, was eine Kompensation von Druckmessfehlern aufgrund von mechanischen Temperaturgradienten the pressure sensor is exposed, which is a compensation of pressure measurement errors due to mechanical
Spannungen, die durch den Temperaturgradienten bedingt sind, ermöglicht. Die Anordnung des Temperatursensors in dem Glasring stellt einerseits aufgrund der in das Glas eingebrachten Materialinhomogenität ein Stabilitätsrisiko für die Verbindung zwischen der Messmembran und dem Grundkörper dar, und andererseits ist der Temperatursensor bereits in einem Gradientenfeld angeordnet, so dass die Temperatur nicht mehr mit der Medientemperatur identisch ist. Voltages caused by the temperature gradient are possible. The arrangement of the temperature sensor in the glass ring on the one hand due to the introduced into the glass material inhomogeneity a risk of stability for the connection between the diaphragm and the body is, and on the other hand, the temperature sensor is already arranged in a gradient field, so that the temperature is no longer identical with the temperature of the media is.
Keramische Drucksensoren mit kapazitiven Wandlern weisen zwar grundsätzlich eine beachtliche Temperaturbeständigkeit auf, jedoch sind die Primärsignale der kapazitiven Wandler sehr störanfällig, weshalb nahe an diesem Wandler, beispielsweise auf der Rückseite des Grundkörpers, eine Vorverarbeitungsschaltung vorzusehen ist, welche die Primärsignale zu robusteren Signalen aufbereitet. Diese Vorverarbeitungsschaltung begrenzt wiederum den möglichen Temperatureinsatzbereich der keramischen Drucksensoren. Although ceramic pressure sensors with capacitive transducers have a considerable temperature resistance in principle, but are the primary signals of the capacitive transducer very susceptible to interference, so close to this converter, for example, on the back of the body, a preprocessing circuit is provided, which prepares the primary signals to more robust signals. This preprocessing circuit in turn limits the possible temperature range of use of the ceramic pressure sensors.
Es ist die Aufgabe der Erfindung einerseits einen medienberührenden Drucksensor mit einem verbesserten Temperatureinsatzbereich und ein Druckmessgerät mit einem solchen Drucksensor bereitzustellen. It is the object of the invention on the one hand to provide a media-contacting pressure sensor with an improved temperature range and a pressure gauge with such a pressure sensor.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Drucksensor gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 und das Druckmessgerät gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 15. The object is achieved by the pressure sensor according to the independent claim 1 and the pressure gauge according to the independent claim 15th
Der erfindungsgemäße Drucksensor umfasst einen keramischen Grundkörper; eine Messmembran, welche AI2O3 aufweist, und welche mit dem The pressure sensor according to the invention comprises a ceramic base body; a measuring membrane, which has AI2O3, and which with the
Grundkörper entlang einer umlaufenden Fügestelle druckdicht gefügt ist; mindestens ein Sensohnterferometer, wobei das mindestens eine  Basic body is joined pressure-tight along a peripheral joint; at least one senorferometer, wherein the at least one
Sensohnterferometer mindestens eine erste Reflexionsfläche und eine zweite Reflexionsfläche aufweist, zum Erzeugen eines Sensohnterferometer has at least a first reflection surface and a second reflection surface, for generating a
messgrößenabhängigen Gangunterschieds OPDS (nach dem Englischen: Optical Path Difference Sensorinterferometer) zwischen der ersten und der zweiten Reflexionsfläche, wobei die Messmembran mindestens eine der Reflexionsflächen aufweist. mindestens einen Lichtpfad, durch welchen Licht durch den Grundkörper zur ersten und zweiten Reflexionsfläche verlaufen kann, und welcher im wesentlichen senkrecht zu der ersten und der zweiten Reflexionsfläche und senkrecht zur Ebene der Messmembran verläuft. Measurement-dependent path difference OPDS (Optical Path Difference Sensor Interferometer) between the first and the second reflection surface, wherein the measuring membrane has at least one of the reflection surfaces. at least one light path through which light can pass through the base body to the first and second reflection surface, and which in the substantially perpendicular to the first and second reflecting surfaces and perpendicular to the plane of the measuring diaphragm.
Das erfindungsgemäße Druckmessgerät umfasst einen The pressure gauge according to the invention comprises a
erfindungsgemäßen Drucksensor; wenigstens eine Breitband-Lichtquelle; und wenigstens ein Auswerteinterferometer zum Erzeugen eines pressure sensor according to the invention; at least one broadband light source; and at least one evaluation interferometer for generating a
veränderlichen Gangunterschieds OPDA, mit dessen Hilfe der variable gear difference OPDA, with the help of which
Gangunterschied OPDS, zu bestimmen ist, wobei das Gap difference OPDS, is to be determined, where the
Sensohnterferometer über den Lichtpfad optisch mit dem Sensohnferferometer via the light path visually with the
Auswerteinterferometer und der Lichtquelle verbunden ist. In einer ersten Ausgestaltung der Erfindung ist die erste Reflexionsfläche an einer dem Grundkörper zugewandten Oberfläche der Messmembran angeordnet und die zweite Reflexionsfläche an dem Grundkörper, insbesondere an einer der Messmembran zugewandten Oberfläche des Grundkörpers. Auswerteinterferometer and the light source is connected. In a first embodiment of the invention, the first reflection surface is arranged on a surface of the measuring membrane facing the base body, and the second reflection surface on the base body, in particular on a surface of the base body facing the measuring membrane.
In diesem Falle enthält der Gangunterschied OPDS eine Information über den Abstand zwischen Grundkörper und Messmembran und damit über den Druck welcher die Messmembran auslenkt. Die Reflexionsfläche an dem Grundkörper ist im einfachsten Fall durch die Stirnfläche einer optischen Faser gebildet, die in einer definierten Position in einer Bohrung durch den Grundkörper fixiert ist. In this case, the path difference OPDS contains information about the distance between the base body and the measuring diaphragm and thus about the pressure which deflects the measuring diaphragm. The reflection surface on the base body is formed in the simplest case by the end face of an optical fiber which is fixed in a defined position in a bore through the base body.
Ggf. kann an dem Grundkörper auch ein transparenter Körper, Possibly. can also be a transparent body on the body,
beispielsweise ein transparenter Körper aus Saphir oder einer hochreinen AI2O3-Keramik angeordnet sein, welcher zwei Reflexionsflächen aufweist. Ggf. kann zusätzlich auch der Gangunterschied ausgewertet werden; der durch Reflexionen an den beiden Oberflächen erzeugt wird. Dieser Wert würde eine Temperaturinformation über den Grundkörper enthalten, wobei diese Information über die Temperatur des Messmediums weniger aussagekräftig ist, die aber ggf. zur Kompensation des Druckmesswerts herangezogen werden kann. For example, a transparent body of sapphire or a high-purity Al2O3 ceramic may be arranged, which has two reflection surfaces. Possibly. In addition, the path difference can be evaluated; which is generated by reflections on the two surfaces. This value would contain temperature information about the body, this information about the temperature of the medium to be measured is less meaningful, but which may be used to compensate for the pressure reading.
In einer zweiten Ausgestaltung der Erfindung umfasst der Drucksensor eine erste dem Grundkörper zugewandte Reflexionsfläche in einem ersten Oberflächenabschnitt der Messmembran und eine zweite dem In a second embodiment of the invention, the pressure sensor comprises a first body facing the base reflection surface in a first surface portion of the measuring membrane and a second the
Grundkörper zugewandte Reflexionsfläche in einem zweiten Body facing reflection surface in a second
Oberflächenabschnitt der Messmembran wobei der erste Surface portion of the measuring diaphragm wherein the first
Oberflächenabschnitt und der zweite Oberflächenabschnitt auf einem unterschiedliche druckabhängige Auslenkungen aufweisen. Hierzu können der erste und der zweite Oberflächenabschnitt beispielsweise bei einer Kreisscheibenförmigen Messmembran in unterschiedlichen radialen Abschnitten angeordnet sein. Beispielsweise können der erste  Surface portion and the second surface portion have a different pressure-dependent deflections. For this purpose, the first and the second surface portion may be arranged, for example, in a circular disk-shaped measuring diaphragm in different radial sections. For example, the first
Oberflächenabschnitt in einem Radialbereich maximaler druckabhängiger Auslenkung, also im Zentrum der Messmembran und der zweite  Surface section in a radial region of maximum pressure-dependent deflection, ie in the center of the measuring diaphragm and the second
Oberflächenabschnitt in einem Radialbereich minimaler druckabhängiger Auslenkung angeordnet sein, beispielsweise im Randbereich der Be arranged surface portion in a radial region of minimal pressure-dependent deflection, for example, in the edge region of the
Messmembran. Measuring membrane.
Offensichtlich können die beiden Reflexionsflächen in diesem Fall nicht aus einem einzigen Lichtleiterende beleuchtet werden. Daher ist gegenüber beiden Reflexionsflächen an der Messmembran, jeweils ein Lichtleiterendabschnitt anzuordnen, um die Reflexionsflächen zu beleuchten und das reflektierte Licht zurückzuführen. Die Obviously, the two reflecting surfaces in this case can not be illuminated from a single optical fiber end. Therefore, opposite to both reflection surfaces on the measuring diaphragm, one light guide end section in each case is to be arranged in order to illuminate the reflection surfaces and to return the reflected light. The
Lichtleiterendabschnitte können beispielsweise als Y-Spleiss am Ende eines Lichtleiters ausgebildet sein. Der Gangunterschied zwischen dem von der ersten Reflexionsfläche reflektierten Licht und dem von der zweiten Reflexionsfläche reflektierten Licht ist ein Maß für die Druckabhängige Verformung der Messmembran, wobei über die Festlegung unterschiedlicher Längen der Lichtpfade vom Spleisspunkt bis zu den beiden Reflexionsflächen in Ruhelage ein Offset vorgegeben werden kann. Lichtleiterendabschnitte may be formed, for example, as a Y splice at the end of a light guide. The path difference between the light reflected by the first reflection surface and the light reflected by the second reflection surface is a measure of the pressure-dependent deformation of the measurement membrane, wherein the determination of different lengths of the light paths from Splice point up to the two reflection surfaces in rest position an offset can be specified.
Anstelle der direkten Erfassung des Gangunterschieds zwischen der ersten Reflexionsfläche an der Messmembran und der zweiten Instead of directly detecting the path difference between the first reflection surface on the measuring membrane and the second
Reflexionsfläche an der Messmembran können die Gangunterschiede der Lichtpfade beider Reflexionsflächen an der Messmembran jeweils bezüglich einer dritten Reflexionsfläche am Grundkörper bestimmt werden. Schließlich können am Grundkörper eine dritte und eine vierte  Reflection surface on the measuring diaphragm, the path differences of the light paths of both reflection surfaces on the measuring diaphragm can be determined in each case with respect to a third reflection surface on the base body. Finally, on the main body, a third and a fourth
Reflexionsfläche vorgesehen sein, wobei ein erster Gangunterschied OPDS1 zwischen der ersten Reflexionsfläche an der Messmembran und der dritten Reflexionsfläche am Grundkörper bestimmt wird und ein zweiter Gangunterschied OPDS2 zwischen der zweiten Reflexionsfläche an der Messmembran und der vierten Reflexionsfläche am Grundkörper, bestimmt wird, und wobei die erste Reflexionsfläche durch die dritte  Reflection surface may be provided, wherein a first path difference OPDS1 between the first reflection surface on the measuring membrane and the third reflection surface on the base body is determined and a second path difference OPDS2 between the second reflection surface on the measuring membrane and the fourth reflection surface on the base body, is determined, and wherein the first Reflection surface through the third
Reflexionsfläche beleuchtet wird und die zweite Reflexionsfläche durch die vierte Reflexionsfläche beleuchtet wird. OPDS1 enthält bereits eine Reflecting surface is illuminated and the second reflection surface is illuminated by the fourth reflection surface. OPDS1 already contains one
Information über die druckabhängige Verformung der Messmembran, wobei die Differenz zwischen OPDS1 und OPDS2, bei Kenntnis des druckabhängigen Verlaufs der Biegelinie eine genauere Bestimmung der druckabhängigen Verformung der Messmembran und insbesondere die Korrektur von Temperatureinflüssen auf den Druckmesswert ermöglicht. Dies ist insoweit beachtlich, als sich der Abstand zwischen der Information on the pressure-dependent deformation of the measuring membrane, wherein the difference between OPDS1 and OPDS2, with knowledge of the pressure-dependent curve of the bending line allows a more accurate determination of the pressure-dependent deformation of the diaphragm and in particular the correction of temperature effects on the pressure reading. This is remarkable insofar as the distance between the
Messmembran und dem Grundkörper auch in der Ruhelage der Measuring membrane and the main body even in the rest position of the
Messmembran aufgrund der temperaturabhängig verändert. Measuring diaphragm changed due to the temperature.
In einer dritten Ausgestaltung der Erfindung umfasst die Messmembran eine erste Reflexionsfläche und eine zweite Reflexionsfläche, wobei die Beleuchtung der zweiten Reflexionsfläche durch die erste In a third embodiment of the invention, the measuring diaphragm comprises a first reflection surface and a second reflection surface, wherein the illumination of the second reflection surface by the first
Reflexionsfläche erfolgt. In diesem Fall ist der Gangunterschied zwischen einer Reflexion an der ersten Reflexionsfläche und einer Reflexion an der zweiten Reflexionsfläche praktisch unabhängig vom Druck und weist dagegen eine Temperaturabhängigkeit auf. Reflection surface is done. In this case, the path difference between a reflection at the first reflection surface and a reflection at the second reflection surface practically independent of the pressure and on the other hand has a temperature dependence.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst die Messmembran eine hochreine AI2O3-Keramik, welche sich durch eine hinreichend gute optische Qualität für Einsatz in einem optischen Pfad auszeichnet. In a further development of the invention, the measuring diaphragm comprises a high-purity Al 2 O 3 ceramic, which is characterized by a sufficiently good optical quality for use in an optical path.
Beispielsweise kann die Messmembran eine Biegebruchspannung σc aufweisen, deren Verteilung F(σc) durch die Weibull-Parameter σo≥ 700 MPa, insbesondere σo≥ 750 MPa, bevorzugt σo≥ 800 MPa, und m > 24 gegeben ist, mit einer mittleren Korngröße des gesinterten Materials von nicht mehr als 2 μm, vorzugsweise nicht mehr als 1 ,75 μm und besonders bevorzugt nicht mehr als 1 ,5 μm. Die Herstellung eines entsprechenden Membranmaterials ist beispielsweise in der noch nicht veröffentlichten Patentanmeldung 10 2008 036381 offenbart. Insbesondere das dort beschriebene Membranmaterial zeichnet sich durch eine hinreichend geringe Zahl an Streuzentren aus, dass es als Element in einem optischen Pfad einsetzbar ist. Daher eignet sich dieses Material dazu, die erste Reflexionsfläche auf der dem Grundkörper zugewandten Seite der For example, the measuring membrane may have a bending fracture stress σ c whose distribution F (σ c ) is given by the Weibull parameters σo≥700 MPa, in particular σo≥ 750 MPa, preferably σo≥800 MPa, and m> 24, with a mean grain size the sintered material of not more than 2 μm, preferably not more than 1.75 μm, and more preferably not more than 1.5 μm. The production of a corresponding membrane material is disclosed, for example, in unpublished patent application 10 2008 036381. In particular, the membrane material described there is characterized by a sufficiently low number of scattering centers that it can be used as an element in an optical path. Therefore, this material is suitable, the first reflection surface on the base body facing side of
Messmembran und die zweite Reflexionsfläche auf der dem Grundkörper abgewandten Seite der Messmembran anzuordnen. To arrange measuring diaphragm and the second reflection surface on the side facing away from the base body of the measuring diaphragm.
Weiterhin kann anstelle einer Messmembran aus einer AI2O3-Keramik eine Messmembran aus einkristallinem AI2O3 bzw. Saphir verwendet werden. Furthermore, instead of a measuring membrane made of an Al 2 O 3 ceramic, a measuring membrane made of monocrystalline Al 2 O 3 or sapphire can be used.
In einer vierten Ausgestaltung der Erfindung kann an einer Messmembran aus einer AI2O3-Keramik ein transparentes optisches Element, In a fourth embodiment of the invention, a transparent optical element may be attached to a measuring diaphragm made from an Al 2 O 3 ceramic,
beispielsweise ein Glas oder Saphirkörper, befestigt sein, welches die erste und die zweite Reflexionsfläche aufweist. Die Befestigung kann beispielsweise mittels eines Aktivhartlots erfolgen, welches ggf. auch dazu eingesetzt wird, um die Messmembran mit dem Grundkörper zu verbinden. In den genannten Ausführungsformen, bei denen die erste und die zweite Reflexionsfläche an der Messmembran angeordnet sind, enthält der Gangunterschied OPDS eine Information über die Temperatur des an der Messmembran anstehenden Messmediums. In einer derzeit bevorzugten Ausgestaltung sind die beiden Reflexionsflächen in einem Zentralbereich der Membranfläche angeordnet, wodurch sie von den wärmeleitenden Verbindungen zum Grundkörper entfernt sind und damit eine genaue Bestimmung des Temperaturmesswerts ermöglichen. Für einen Kombinierten Druck- und Temperatursensor können die zuvor beschriebenen Anordnungen zur Druck- und Temperaturmessung miteinander kombiniert werden. For example, a glass or sapphire body, be attached, which has the first and the second reflection surface. The attachment can be done for example by means of an active braze, which is possibly also used to connect the measuring diaphragm with the base body. In the mentioned embodiments, in which the first and the second reflection surface are arranged on the measuring membrane, the path difference OPDS contains information about the temperature of the measuring medium present on the measuring membrane. In a currently preferred embodiment, the two reflection surfaces are arranged in a central region of the membrane surface, whereby they are removed from the heat-conducting connections to the base body and thus allow an accurate determination of the temperature measurement. For a combined pressure and temperature sensor, the previously described arrangements for pressure and temperature measurement can be combined.
Beispielsweise ist es möglich, eine erste und eine zwei Reflexionsfläche an der Messmembran und mindestens eine dritte Reflexionsfläche an dem Grundkörper vorzusehen, und einen temperaturabhängigen For example, it is possible to provide a first and a two reflection surface on the measuring membrane and at least one third reflection surface on the base body, and a temperature-dependent
Gangunterschied OPDT zwischen der ersten und der zweiten Gap difference OPDT between the first and the second
Reflexionsfläche, sowie einen druckabhängigen Gangunterschied OPDP zwischen der dritten Reflexionsfläche und der dem Grundkörper zugewandten zweiten Reflexionsfläche auszuwerten. Reflection surface, as well as to evaluate a pressure-dependent path difference OPDP between the third reflection surface and the base body facing the second reflection surface.
Selbstverständlich kann auch eine Anordnung der Reflexionsflächen Druckmessung gemäß einer der Varianten zur zweiten Ausgestaltung der Erfindung zum Zweck der Temperaturmessung um eine weitere Of course, an arrangement of the reflection surfaces pressure measurement according to one of the variants of the second embodiment of the invention for the purpose of temperature measurement by another
Reflexionsfläche an der Messmembran ergänzt werden, welche durch die erste Reflexionsfläche an der Messmembran oder die zweite Reflection surface to be added to the measuring diaphragm, which by the first reflection surface on the measuring diaphragm or the second
Reflexionsfläche an der Messmembran beleuchtet wird. Der Reflecting surface is illuminated at the measuring diaphragm. Of the
Gangunterschied zwischen der Reflexion an der weiteren Reflexionsfläche und der Reflexion an der ersten bzw. zweiten Reflexionsfläche ist ein Maß für die Temperatur. The path difference between the reflection at the further reflection surface and the reflection at the first or second reflection surface is a measure of the temperature.
Wenn zudem, wie skizziert, auch der Grundkörper einen transparenten Körper mit zwei Oberflächen aufweist, kann damit auch die Temperatur des Grundkörpers erfasst werden, um eine genauere Kompensation von Temperatureinflüssen zu ermöglichen. In addition, if, as outlined, the base body has a transparent body with two surfaces, so can the temperature of the body are detected to allow a more accurate compensation of temperature influences.
Um die Gangunterschiede den einzelnen Quellen zuordnen zu können, ist es vorteilhaft, wenn sie durch Grundwerte voneinander getrennt sind. In order to be able to assign the path differences to the individual sources, it is advantageous if they are separated from each other by basic values.
Beispielsweise hat eine Messmembran eine Stärke von 150 μm, so dass sie bei Referenzbedingungen einen Gangunterschied von 300μm durch Reflexionen an ihren Oberflächen hervorbringt. Der Hub der For example, a measuring membrane has a thickness of 150 μm, so that at reference conditions it produces a path difference of 300 μm due to reflections on its surfaces. The hub of the
Messmembran kann beispielsweise den Abstand zwischen der drittenMeasuring diaphragm, for example, the distance between the third
Reflexionsfläche am Grundkörper und der zweiten Reflexionsfläche an der Trennmembran zwischen 100 μm und beispielsweise 10 μm variieren. Da der resultierende Gangunterschied zwischen 20 μm und 200 μm zu gering wäre für eine zuverlässige Detektion, kann ein geeigneter Offset dadurch erzielt werden, dass die dritte Reflexionsfläche gegenüber der Oberfläche des Grundkörpers tiefer abgesenkt wird, beispielsweise um 160 μm. Der Gangunterschied würde dann 340 μm bis 520 μm betragen und läge außerhalb des Gangunterschieds aufgrund der Reflektionen an der ersten und zweiten Reflexionsfläche. Ein transparenter Körper zum Erfassen der Temperatur des Grundkörpers würde beispielsweise bei einer Reflection surface on the base body and the second reflection surface on the separation membrane between 100 .mu.m and, for example, 10 microns vary. Since the resulting path difference between 20 μm and 200 μm would be too low for reliable detection, a suitable offset can be achieved by lowering the third reflection surface deeper, for example by 160 μm, relative to the surface of the base body. The retardation would then be 340 μm to 520 μm and would lie outside the retardation due to reflections at the first and second reflection surfaces. A transparent body for detecting the temperature of the body would, for example, in a
Materialstärke von 130 μm dann bei Referenzbedingungen einen Material thickness of 130 microns then at reference conditions one
Gangunterschied von 260 μm erzeugen. Das Auswerteinterferometer, kann nun für dieses Beispiel einen Gangunterschiedsbereich OPDA über beispielsweise 300 μm zwischen 240 μm und 540 μm erzeugen, um die Gangunterschiede der verschiedenen Reflexionsflächen erfassen und identifizieren zu können. To create a path difference of 260 μm. The Auswerteinterferometer, now for this example can produce a path difference range OPDA over, for example, 300 microns between 240 microns and 540 microns in order to detect and identify the path differences of the different reflection surfaces.
Die Reflexionsflächen können ggf. eine teilreflektierende Schicht aufweisen, beispielsweise eine metallische Schicht, wobei der The reflection surfaces may optionally have a partially reflecting layer, for example a metallic layer, wherein the
Schichtstärke so zu wählen ist, dass noch eine hinreichende Transmission zu nachfolgenden Reflexionsflächen erfolgen kann. Ungeachtet dessen erfolgt an einer Grenzfläche zwischen zwei optischen Medien abhängig von den Brechzahlen der Medien anteilig eine Reflexion, dessen Stärke von dem Brechungsindex der beteiligten Medien abhängt. Damit kann die Stärke der Reflexion an einer medienberührenden Layer thickness is to be chosen so that even a sufficient transmission to subsequent reflective surfaces can be done. Irrespective of this, depending on the refractive indices of the media, a reflection occurs at an interface between two optical media, the intensity of which depends on the refractive index of the media involved. Thus, the strength of the reflection on a media-touching
Reflexionsfläche, beispielsweise an einer Reflexionsfläche, die an einer dem Grundkörper abgewandten Oberfläche der Messmembran  Reflection surface, for example on a reflection surface, which faces away from the base body surface of the measuring diaphragm
angeordnet ist, zur Detektion eines Mediums verwandt werden. is arranged to be used for the detection of a medium.
Beispielsweise bei Anwesenheit eines wässrigen Mediums ist eine geringere Reflexion zu erwarten als bei Anwesenheit von Luft. For example, in the presence of an aqueous medium, a lower reflection is to be expected than in the presence of air.
Die Erfindung wird nun anhand der in Zeichnungen dargestellten The invention will now be described with reference to the drawings
Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigt: Embodiments explained. It shows:
Fig. 1 : einen Längsschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Drucksensors; Fig. 2: einen Längsschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Drucksensors; und 1 shows a longitudinal section through a first embodiment of a pressure sensor according to the invention; 2 shows a longitudinal section through a second embodiment of a pressure sensor according to the invention; and
Fig. 3: eine erfindungsgemäße Druckmessanordnung. Der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor 1 umfasst einen keramischen Grundkörper 2 und eine Messmembran 3, die mittels eines ringförmigen Verbindungskörpers 4 druckdicht mit dem Grundkörper 2 verbunden ist. Der Grundkörper 2 und die Messmembran 3 können beispielsweise AL2O3 aufweisen, wobei die Messmembran eine Reinheit von nicht weniger als 99,9% aufweist und sich durch eine hinreichend gute optische Qualität für Einsatz in einem optischen Pfad auszeichnet. Ein Verfahren zur Herstellung eines geeigneten Membranmaterials ist beispielsweise in der Patentanmeldung 10 2008 036381 offenbart. Der Verbindungskörper 4 kann beispielsweise ein Aktivhartlot oder Glas umfassen, wobei derzeit ein Zr-Ni-Ti-Aktivhartlot bevorzugt ist. 3 shows a pressure measuring arrangement according to the invention. The pressure sensor 1 illustrated in FIG. 1 comprises a ceramic main body 2 and a measuring diaphragm 3, which is pressure-tightly connected to the main body 2 by means of an annular connecting body 4. The main body 2 and the measuring membrane 3 may, for example, have AL2O3, the measuring membrane having a purity of not less than 99.9% and being distinguished by a sufficiently good optical quality for use in an optical path. A method for producing a suitable membrane material is disclosed, for example, in patent application 10 2008 036381. The connecting body 4 For example, it may comprise an active braze or glass, with currently a Zr-Ni-Ti active braid being preferred.
Zur Druckmessung ist die druckabhängige Auslenkung der Messmembran 3 zu erfassen. Dies erfolgt mittels einer interferometrischen For pressure measurement, the pressure-dependent deflection of the measuring diaphragm 3 is to be detected. This is done by means of an interferometric
Abstandsmessung zwischen einer ersten Reflexionsfläche 5, die ortsfest am Grundkörper 2 angeordnet ist, und einer zweiten Reflexionsfläche 6, an der dem Grundkörper 2 zugewandten Oberfläche der Messmembran 3. Die erste und die zweite Reflexionsfläche bilden also ein erstes  Distance measurement between a first reflection surface 5, which is fixedly arranged on the base body 2, and a second reflection surface 6, on the base body 2 facing surface of the measuring membrane 3. The first and the second reflection surface thus form a first
Sensohnterferometer. Sensohnterferometer.
In den Abstand zwischen der ersten Reflexionsfläche und der zweiten Reflexionsfläche geht neben dem Druck außerdem die In the distance between the first reflection surface and the second reflection surface is in addition to the pressure also the
temperaturabhängige Stärke des Verbindungskörpers 4 ein. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel ist zur Temperaturmessung ein zweites Sensorinterferometer vorgesehen. Hierzu ist eine dritte Reflexionsfläche an der dem Grundkörper 2 abgewandten Oberfläche 7 der Messmembran 3 angeordnet, die ggf. verspiegelt oder teilverspiegelt sein kann, um hinsichtlich der Intensität der Reflexion eine größere Unabhängigkeit vom Brechungsindex des Messmediums zu erzielen. temperature-dependent strength of the connecting body 4 a. In the present embodiment, a second sensor interferometer is provided for temperature measurement. For this purpose, a third reflection surface is arranged on the surface 7 of the measuring membrane 3 facing away from the base body 2, which may possibly be mirrored or partially mirrored in order to achieve a greater independence from the refractive index of the measuring medium with respect to the intensity of the reflection.
Der Abstand zwischen der zweiten Reflexionsfläche 6 und der dritten Reflexionsfläche 7 ist ein Maß für die Temperatur der Messmembran 3. Auf Basis des so ermittelten Temperaturwerts, der in erster Nährung auch für die Temperatur des Verbindungskörpers 4 gilt, kann der Abstand zwischen der ersten Reflexionsfläche 5 und der zweiten Reflexionsfläche 6 in der Gleichgewichtslage bzw. Ruhelage der Messmembran bestimmt werden. Abweichungen von diesem Gleichgewichtsabstand bzw. The distance between the second reflection surface 6 and the third reflection surface 7 is a measure of the temperature of the measuring membrane 3. On the basis of the thus determined temperature value, which applies in the first Nährung also for the temperature of the connecting body 4, the distance between the first reflection surface. 5 and the second reflection surface 6 are determined in the equilibrium position or rest position of the measuring membrane. Deviations from this equilibrium distance or
Ruheabstand sind dann der druckabhängigen Auslenkung der Resting distance are then the pressure-dependent deflection of
Messmembran zuzuordnen. Assign measuring diaphragm.
Die ermittelte Temperatur der Messmembran ergibt zudem einen hinreichend genauen Messwert für die Temperatur eines an er Messmembran anstehenden Messmediums, da die Temperatur der Messmembran im Hinblick auf die große Kontaktfläche zum Messmedium in Abhängigkeit von der Wärmekapazität des Messmediums und den Wärmeleitungseigenschaften des Messmediums weitgehend von der Temperatur des Messmediums bestimmt ist. The determined temperature of the measuring membrane also gives a sufficiently accurate reading for the temperature of an he Measuring diaphragm pending measuring medium, since the temperature of the measuring diaphragm is largely determined by the temperature of the measuring medium in view of the large contact surface to the measuring medium depending on the heat capacity of the medium and the heat transfer properties of the medium.
Die erste Reflexionsfläche 5 umfasst die Stirnfläche einer Lichtleiterfaser 9, die in einer axialen Bohrung 8 durch den Grundkörper 2 in einer The first reflection surface 5 comprises the end face of an optical fiber 9, which in an axial bore 8 through the base body 2 in a
definierten axialen Position fixiert ist, die gegenüber der Stirnfläche des Grundkörpers zurückgesetzt ist, um beispielsweise eine Beschädigung der Reflexionsfläche durch Anlage der Messmembran im Überlastfall zu vermeiden. Die Lichtleiterfaser kann insbesondere mittels einer hier nicht näher dargestellten Ferulle in der Bohrung 8 fixiert sein. Die Messung der Abstände erfolgt mittels eines Auswerteinterferometers, durch Bestimmung der Gangunterschiede zwischen Reflexionen an den jeweiligen Reflexionsflächen. defined axial position is fixed, which is set back relative to the end face of the body, for example, to avoid damage to the reflection surface by conditioning the diaphragm in case of overload. The optical fiber can be fixed in particular by means of a Ferulle not shown here in the bore 8. The measurement of the distances is carried out by means of an evaluation interferometer, by determining the path differences between reflections at the respective reflection surfaces.
Der in Fig. 2 dargestellte Drucksensor 11 umfasst wie das erste The pressure sensor 11 shown in Fig. 2 comprises as the first
Ausführungsbeispiel einen keramischen Grundkörper 12 und eine Embodiment, a ceramic base body 12 and a
Messmembran 13, die mittels eines ringförmigen Verbindungskörpers 14 druckdicht mit dem Grundkörper 2 verbunden ist. Die Werkstoffe der vorgenannten Komponenten sind die gleichen wie beim ersten  Measuring diaphragm 13 which is connected by means of an annular connecting body 14 pressure-tight manner with the base body 2. The materials of the aforementioned components are the same as the first
Ausführungsbeispiel. Die druckabhängige Verformung der Messmembran wird wieder interferomethsch über zwei Abstandsmessungen erfasst, von denen eine erste im Zentrum der Messmembran 13 und eine zweite im Randbereich der Messmembran erfolgt. Hierzu weist der Drucksensor eine erste zentrale Reflexionsfläche 15a und eine erste periphere Embodiment. The pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm is again detected interferometrically by means of two distance measurements, one of which takes place in the center of the measuring diaphragm 13 and a second in the edge region of the measuring diaphragm. For this purpose, the pressure sensor has a first central reflection surface 15a and a first peripheral
Reflexionsfläche 15b auf, wobei die beiden ersten Reflexionsflächen bezüglich des Grundkörpers ortsfest sind. Weiterhin weist die Reflection surface 15b, wherein the two first reflection surfaces are stationary with respect to the main body. Furthermore, the
Messmembran 13 eine zweite zentrale Reflexionsfläche 16a im Zentrum der dem Grundkörper zugewandten Oberfläche und eine zweite periphere Reflexionsfläche 16b am Rand der dem Grundkörper zugewandten Oberfläche auf, wobei die zweiten Reflexionsflächen mit den ersten Reflexionsflächen fluchten. Anhand der Gangunterschiede zwischen den Reflexionen von den beiden zentralen Reflexionsflächen (15a, 16a) und von den beiden peripheren Reflexionsflächen (15b, 16b) lassen sich die temperaturabhängige Ruhelage und die druckabhängige Auslenkung der Messmembran 13 gegenüber dieser Ruhelage bestimmen. Hier bilden also die beiden zentralen Reflexionsflächen ein erste Measuring membrane 13, a second central reflection surface 16a in the center of the base body facing surface and a second peripheral reflection surface 16b at the edge of the body facing Surface, wherein the second reflection surfaces are aligned with the first reflection surfaces. On the basis of the path differences between the reflections from the two central reflection surfaces (15a, 16a) and from the two peripheral reflection surfaces (15b, 16b), the temperature-dependent rest position and the pressure-dependent deflection of the measuring diaphragm 13 relative to this rest position can be determined. Here, therefore, the two central reflection surfaces form a first
Sensohnterferometer und die beiden peripheren Reflexionsflächen ein zweites Sensorinterferometer. Sensohnterferometer and the two peripheral reflection surfaces a second sensor interferometer.
Ggf. kann die Messmembran 13 auf ihrer dem Grundkörper abgewandten Oberfläche eine dritte zentrale Reflexionsfläche 17a und/oder eine dritte periphere Reflexionsfläche 17b aufweisen, wobei über den Possibly. the measuring diaphragm 13 may have on its surface facing away from the base body a third central reflection surface 17a and / or a third peripheral reflection surface 17b, wherein over the
Gangunterschied zwischen den Reflexionen an den zweiten und dritten Reflexionsflächen die temperaturabhängige Stärke der Messmembran bestimmt werden kann. Die zentralen bzw. peripheren Reflexionsflächen bilden insoweit jeweils ein weiteres Sensorinterferometer. Die Stärke der Messmembran ist wiederum ein Indiz für die Medientemperatur und für die Temperatur des Drucksensors. Damit liegt ein weiterer Messwert vor, der - wie beim ersten Ausführungsbeispiel - zum Bestimmen der Path difference between the reflections on the second and third reflection surfaces, the temperature-dependent strength of the measuring membrane can be determined. The central or peripheral reflection surfaces each form a further sensor interferometer. The thickness of the measuring diaphragm is in turn an indication of the temperature of the medium and of the temperature of the pressure sensor. Thus, there is another measured value, which - as in the first embodiment - for determining the
temperaturabhängigen Ruhelage der Messmembran herangezogen werden kann. Temperature-dependent rest position of the diaphragm can be used.
Zur Beleuchtung der Reflexionsflächen sind eine zentrale Bohrung 18a in axialer Richtung und eine periphere Bohrung 18b in axialer Richtung durch den Grundkörper 12 vorgesehen, wobei in den Bohrungen jeweils ein Endabschnitt 19a, 19b eines Y-Übergangs einer Lichtleiterfaser fixiert ist. In den Bohrungen 18a und 18b ist jeweils ein Glaskörper 20a, 20b vakuumdicht befestigt wodurch der Raum zwischen der Messmembran und dem Grundkörper 12 vakuumdicht verschlossen ist. Sofern die Glaskörper in einem Vakuumprozess befestigt werden, bei dem der Raum zwischen der Messmembran 13 und dem Grundkörper 12 evakuiert ist, kann der Drucksensor als langzeitstabiler Absolutdrucksensor eingesetzt werden. Die der Messmembran 13 zugewandten Oberflächen der To illuminate the reflection surfaces, a central bore 18a in the axial direction and a peripheral bore 18b are provided in the axial direction through the base body 12, wherein in the bores in each case an end portion 19a, 19b of a Y-junction of an optical fiber is fixed. In each of the bores 18a and 18b, a glass body 20a, 20b is vacuum-tightly fastened, whereby the space between the measuring membrane and the main body 12 is sealed in a vacuum-tight manner. Unless the glass body is fixed in a vacuum process where the space is evacuated between the measuring diaphragm 13 and the base body 12, the pressure sensor can be used as a long-term stable absolute pressure sensor. The measuring membrane 13 facing surfaces of the
Glaskörper 20a, 20b bilden die erste zentrale Reflexionsfläche 15a und die zweite zentrale Reflexionsfläche 15b. Glass bodies 20a, 20b form the first central reflection surface 15a and the second central reflection surface 15b.
Bei zusätzlicher Auswertung des temperaturabhängigen Abstands zwischen mindestens einer der ersten Reflexionsflächen (15a, 15b) und einer vierten zentralen Reflexionsfläche 21 a bzw. einer vierten peripheren Reflexionsfläche 21 b, wobei die vierten Reflexionsflächen durch die der Messmembran 13 abgewandten Oberflächen der Glaskörper 20a, 20b gebildet sind, kann zudem die Temperatur des Grundkörpers ermittelt und beispielsweise zur Kompensation von temperaturabhängigem Messfehlern aufgrund von temperaturbedingten mechanischen Spannungen verwendet werden. With additional evaluation of the temperature-dependent distance between at least one of the first reflection surfaces (15a, 15b) and a fourth central reflection surface 21 a or a fourth peripheral reflection surface 21 b, wherein the fourth reflection surfaces formed by the measuring membrane 13 facing away from the surfaces of the glass body 20a, 20b In addition, the temperature of the body can be determined and used, for example, to compensate for temperature-dependent measurement errors due to temperature-induced mechanical stresses.
Die Messung der Abstände erfolgt mittels eines Auswerteinterferometers, durch Bestimmung der Gangunterschiede zwischen Reflexionen an den jeweiligen Reflexionsflächen The measurement of the distances is carried out by means of an evaluation interferometer, by determining the path differences between reflections at the respective reflection surfaces
Um eine eindeutige Identifizierbarkeit der Gangunterschiede und To a clear identifiability of the gait differences and
Zuordnung zu den verursachenden Paaren von Reflexionsflächen zu ermöglichen, sind die Abstände zwischen den Reflexionsflächen vorzugsweise so zu bemessen, dass die im Messbetrieb auftreten To allow assignment to the causative pairs of reflective surfaces, the distances between the reflective surfaces are preferably to be dimensioned such that occur in the measuring mode
Gangunterschiede nicht überlappen. Deshalb weisen beispielsweise der zentrale Glaskörper 20a, der periphere Glaskörper 20b und die Course differences do not overlap. Therefore, for example, the central glass body 20a, the peripheral glass body 20b and the
Messmembran 13 jeweils andere Materialstärken auf, und die erste periphere Reflexionsfläche 15b weist über den ganzen Arbeitsbereich des Drucksensors einen größeren Abstand zur zweiten peripheren Measuring diaphragm 13 each have different material thicknesses, and the first peripheral reflection surface 15b has over the entire working range of the pressure sensor a greater distance from the second peripheral
Reflexionsfläche 16b auf als der Abstand zwischen der ersten zentralen Reflexionsfläche 15a und der zweiten zentralen Reflexionsfläche 16a. Dies wird dadurch erzielt, dass die erste periphere Reflexionsfläche 15b bezüglich der membranseitigen Stirnfläche des Grundkörpers 12 weiter zurückversetzt ist als die erste zentrale Reflexionsfläche 15a. Reflection surface 16b as the distance between the first central reflection surface 15a and the second central reflection surface 16a. This is achieved by the first peripheral reflection surface 15b with respect to the membrane-side end face of the base body 12 is set back further than the first central reflection surface 15a.
Ein erfindungsgemäßes Druckmessgerät umfasst neben einem der beschriebenen Drucksensoren wenigstens eine Breitband-Lichtquelle; und ein Auswerteinterferometer zum Erzeugen eines veränderlichen A pressure measuring device according to the invention comprises, in addition to one of the described pressure sensors, at least one broadband light source; and an evaluation interferometer for generating a variable one
Gangunterschieds mit dessen Hilfe die Gangunterschiede zwischen den Reflexionsflächen zu bestimmen sind, hierzu sind die Lichtleiterfasern 9, 19a, 19b des Drucksensors mit dem Auswerteinterferometer und der Lichtquelle zu verbinden, wie beispielsweise in Path difference by means of which the path differences between the reflection surfaces are to be determined, for this purpose, the optical fibers 9, 19a, 19b of the pressure sensor with the Auswerteinterferometer and the light source to connect, such as in
Das in Fig. 3 gezeigte Druckmessgerät umfasst den Drucksensor 1 , dessen Lichtleiterfaser 9 über einen ersten Zweig eines Y-Übergangs 31 und eine erste Lichtleiterfaser 32 an eine Breitbandlichtquelle 33 angeschlossen ist. Der zweite Zweig des Y-Übergangs führt über eine zweite Lichtleiterfaser 34 und ein Auswerteinterferometer 35 zu einem Photodetektor 36. Das Auswerteinterferometer kann beispielsweise - wie dargestellt - ein Michelson-Interferometer oder ein Mach-Zehnder- Interferometer sein. The pressure gauge shown in Fig. 3 comprises the pressure sensor 1, the optical fiber 9 is connected via a first branch of a Y-junction 31 and a first optical fiber 32 to a broadband light source 33. The second branch of the Y-junction leads via a second optical fiber 34 and an evaluation interferometer 35 to a photodetector 36. The Auswerteinterferometer can be, for example - as shown - a Michelson interferometer or a Mach-Zehnder interferometer.

Claims

Patentansprüche claims
1. Drucksensor (1 ), umfassend einen keramischen Grundkörper (2); eine Messmembran (3), welche AI2O3 aufweist, und welche mit dem Grundkörper (2) entlang einer umlaufenden Fügestelle (4) druckdicht gefügt ist; mindestens ein Sensohnterferometer, wobei das mindestens eine Sensorinterferometer mindestens eine erste Reflexionsfläche (5, 6) und eine zweite Reflexionsfläche (6, 7) aufweist, zum Erzeugen eines messgrößenabhängigen Gangunterschieds zwischen der ersten und der zweiten Reflexionsfläche, wobei die Messmembran mindestens eine der Reflexionsflächen aufweist; mindestens einen Lichtpfad (9), durch welchen Licht durch den Grundkörper zur ersten und zweiten Reflexionsfläche verlaufen kann, und welcher im wesentlichen senkrecht zu der ersten und der zweiten Reflexionsfläche und senkrecht zur Ebene der A pressure sensor (1) comprising a ceramic base body (2); a measuring diaphragm (3) which has Al 2 O 3 and which is pressure-tightly joined to the base body (2) along a circumferential joint (4); at least one sensor interferometer, wherein the at least one sensor interferometer at least a first reflection surface (5, 6) and a second reflection surface (6, 7), for generating a measured variable-dependent path difference between the first and the second reflection surface, wherein the measuring membrane has at least one of the reflection surfaces ; at least one light path (9), through which light can pass through the base body to the first and second reflection surface, and which is substantially perpendicular to the first and the second reflection surface and perpendicular to the plane of
Messmembran verläuft.  Measuring diaphragm runs.
2. Drucksensor nach Anspruch 1 , wobei die erste Reflexionsfläche an einer dem Grundkörper zugewandten Oberfläche der Messmembran angeordnet ist und die zweite Reflexionsfläche an dem Grundkörper angeordnet ist, wobei der Gangunterschied OPDS eine Information über den Abstand zwischen Grundkörper und Messmembran enthält. 2. Pressure sensor according to claim 1, wherein the first reflection surface is arranged on a base body facing surface of the measuring membrane and the second reflection surface is arranged on the base body, wherein the path difference OPDS contains information about the distance between the base body and measuring diaphragm.
3. Drucksensor nach Anspruch 2, wobei die Reflexionsfläche an dem Grundkörper durch die Stirnfläche einer optischen Faser gebildet ist, die in einer definierten Position in einer Bohrung durch den 3. Pressure sensor according to claim 2, wherein the reflection surface is formed on the base body through the end face of an optical fiber, which in a defined position in a bore through the
Grund körper fixiert ist. Basic body is fixed.
4. Drucksensor nach Anspruch 2, wobei an dem Grundkörper ein transparenter Körper, insbesondere ein transparenter Körper aus Glas, Saphir oder einer hochreinen AI2O3-Keramik angeordnet ist, welcher zwei Reflexionsflächen aufweist. 4. Pressure sensor according to claim 2, wherein on the base body, a transparent body, in particular a transparent body made of glass, sapphire or a high-purity Al2O3 ceramic is arranged, which has two reflection surfaces.
5. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 5. Pressure sensor according to one of the preceding claims,
umfassend: eine erste, dem Grundkörper zugewandte Reflexionsfläche in einem ersten Oberflächenabschnitt der Messmembran und eine zweite dem comprising: a first, the base body facing reflection surface in a first surface portion of the measuring membrane and a second the
Grundkörper zugewandte Reflexionsfläche in einem zweiten Body facing reflection surface in a second
Oberflächenabschnitt der Messmembran wobei der erste  Surface portion of the measuring diaphragm wherein the first
Oberflächenabschnitt und der zweite Oberflächenabschnitt unterschiedliche druckabhängige Auslenkungen aufweisen, wobei gegenüber den beiden Reflexionsflächen der Messmembran, jeweils ein Lichtleiterendabschnitt angeordnet ist, um die Reflexionsflächen zu beleuchten und das reflektierte Licht zurückzuführen.  Surface portion and the second surface portion have different pressure-dependent deflections, with respect to the two reflection surfaces of the measuring diaphragm, each a Lichtleiterendabschnitt is arranged to illuminate the reflecting surfaces and the reflected light due.
6. Drucksensor nach Anspruch 5, wobei der Gangunterschied zwischen dem von der ersten Reflexionsfläche reflektierten Licht und dem von der zweiten Reflexionsfläche reflektierten Licht ein Maß für die druckabhängige Verformung der Messmembran ist. 6. Pressure sensor according to claim 5, wherein the path difference between the light reflected from the first reflection surface and the light reflected from the second reflection surface light is a measure of the pressure-dependent deformation of the measuring membrane.
7. Drucksensor nach Anspruch 5, weiterhin umfassend eine dritte 7. Pressure sensor according to claim 5, further comprising a third
Reflexionsfläche an dem Grundkörper, wobei die Gangunterschiede der Lichtpfade beider Reflexionsflächen an der Messmembran jeweils bezüglich der dritten Reflexionsfläche am Grundkörper bestimmbar sind.  Reflection surface on the base body, wherein the path differences of the light paths of both reflection surfaces on the measuring membrane in each case with respect to the third reflection surface on the base body can be determined.
8. Drucksensor nach Anspruch 5, weiterhin umfassend eine dritte am Grundkörper und eine vierte Reflexionsfläche am Grundkörper, wobei ein erster Gangunterschied OPDS1 zwischen der ersten Reflexionsfläche an der Messmembran und der dritten Reflexionsfläche am Grundkörper bestimmt wird und ein zweiter Gangunterschied OPDS2 zwischen der zweiten Reflexionsfläche an der Messmembran und der vierten Reflexionsfläche am Grundkörper, bestimmbar sind, wobei die erste Reflexionsfläche durch die dritte Reflexionsfläche beleuchtet wird und die zweite Reflexionsfläche durch die vierte Reflexionsfläche beleuchtet wird. 8. Pressure sensor according to claim 5, further comprising a third on the base body and a fourth reflection surface on the base body, wherein a first path difference OPDS1 between the first reflection surface on the measuring membrane and the third Reflection surface is determined on the base body and a second path difference OPDS2 between the second reflection surface on the measuring diaphragm and the fourth reflection surface on the base body, are determinable, wherein the first reflection surface is illuminated by the third reflection surface and the second reflection surface is illuminated by the fourth reflection surface.
9. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messmembran eine erste Reflexionsfläche und eine zweite 9. Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the measuring diaphragm has a first reflection surface and a second
Reflexionsfläche umfasst, und wobei die Beleuchtung der zweiten Reflective surface includes, and the illumination of the second
Reflexionsfläche durch die erste Reflexionsfläche erfolgt, wobei der Gangunterschied zwischen einer Reflexion an der ersten Reflection surface is made by the first reflection surface, wherein the path difference between a reflection at the first
Reflexionsfläche und einer Reflexion an der zweiten Reflexionsfläche ein Maß für die Temperatur der Messmembran ist.  Reflection surface and a reflection on the second reflection surface is a measure of the temperature of the measuring diaphragm.
10. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messmembran eine hochreine AI2O3-Keramik mit einer Reinheit von mindestens 99,9% aufweist. 10. Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the measuring membrane has a high purity Al2O3 ceramic having a purity of at least 99.9%.
11. Drucksensor nach Anspruch 11 , wobei die Messmembran eine 11. Pressure sensor according to claim 11, wherein the measuring diaphragm a
Biegebruchspannung σc aufweist, deren Verteilung F(σc) durch die Weibull-Parameter σo≥ 700 MPa, insbesondere σo≥ 750 MPa, bevorzugt σo≥ 800 MPa, und m > 24 gegeben ist, mit einer mittleren Korngröße des gesinterten Materials von nicht mehr als 2 μm, vorzugsweise nicht mehr als 1 ,75 μm und besonders bevorzugt nicht mehr als 1 ,5 μm. Flexural breaking stress σ c, whose distribution F (σ c) by Weibull parameters σo≥ 700 MPa, in particular σo≥ 750 MPa, preferably σo≥ 800 MPa, and m> 24 is given, with a mean grain size of the sintered material of not more than 2 microns, preferably not more than 1, 75 microns and more preferably not more than 1, 5 microns.
12. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die 12. Pressure sensor according to one of claims 1 to 9, wherein the
Messmembran einkristallines AI2O3 bzw. Saphir aufweist.  Measuring membrane has monocrystalline AI2O3 or sapphire.
13. Drucksensor nach Anspruch 9, wobei an einer Messmembran aus einer AI2O3-Keramik ein transparentes optisches Element, beispielsweise ein Saphirkörper, befestigt ist, welches optische Element die erste und die zweite Reflexionsfläche aufweist. 13. Pressure sensor according to claim 9, wherein on a measuring membrane of an Al2O3 ceramic, a transparent optical element, For example, a sapphire body is fixed, which optical element has the first and the second reflection surface.
14. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Reflexionsflächen eine teilreflektierende Schicht aufweisen, beispielsweise eine metallische Schicht. 14. Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the reflection surfaces have a partially reflecting layer, for example a metallic layer.
15. Druckmessgerät, umfassend einen Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche; wenigstens eine Breitband-Lichtquelle; und wenigstens ein Auswerteinterferometer zum Erzeugen eines veränderlichen Gangunterschieds OPDA, mit dessen Hilfe der mindestens eine Gangunterschied OPDS, zu bestimmen ist, wobei das Sensohnterferometer über den Lichtpfad optisch mit dem Auswerteinterferometer und der Lichtquelle verbunden ist. 15. A pressure gauge, comprising a pressure sensor according to one of the preceding claims; at least one broadband light source; and at least one evaluation interferometer for generating a variable path difference OPDA, with the aid of which at least one path difference OPDS is to be determined, the sensor interferometer being optically connected to the evaluation interferometer and the light source via the light path.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011004999A1 (en) * 2010-12-27 2012-06-28 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Pressure sensor module and container with such a pressure sensor module
DE102011005665A1 (en) 2011-03-16 2012-09-20 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Ceramic pressure measuring cell and method for its production
DE102011081651A1 (en) * 2011-08-26 2013-02-28 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Interferometric pressure sensor
DE102012111533A1 (en) 2012-11-28 2014-05-28 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Pressure measuring cell
CN108132093B (en) * 2017-10-11 2020-08-11 黄辉 Suspended membrane optical fiber acoustic wave sensor and preparation method thereof
CN110631757B (en) * 2019-10-31 2021-10-22 苏州市东挺河智能科技发展有限公司 Gas pressure detector and system based on waveguide structure

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4589286A (en) * 1984-03-30 1986-05-20 The Babcock & Wilcox Company Fused silica diaphragm module for high temperature pressure transducers
US4926696A (en) * 1986-11-19 1990-05-22 Massachusetts Institute Of Technology Optical micropressure transducer
DE4116335A1 (en) * 1991-05-18 1998-09-03 Sel Alcatel Ag Fibre optic measurement sensor
GB2338059B (en) 1998-05-20 2000-03-08 Bookham Technology Ltd An optically addressed sensing system
DE10044078A1 (en) 2000-09-07 2002-04-04 Grieshaber Vega Kg Pressure measuring cell with temperature sensors and pressure measuring method
US20050195402A1 (en) * 2004-03-04 2005-09-08 Russell May Crystalline optical fiber sensors for harsh environments
JP5143736B2 (en) * 2005-08-12 2013-02-13 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Measuring cell and manufacturing method thereof
DE102005059099A1 (en) * 2005-12-08 2007-06-14 Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering Fine-crystalline Al2O3 ceramic
EP2072986B1 (en) * 2007-12-18 2016-08-10 Services Pétroliers Schlumberger A pressure measuring device and method
CA2709495C (en) * 2007-12-20 2016-07-12 Inficon Gmbh Diaphragm pressure measuring cell arrangement
US7728984B2 (en) * 2008-02-28 2010-06-01 Inficon Gmbh Method for evaluating a measured parameter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2011003730A1 *

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