EP1771933A1 - Device for connection of a linear motor armature to a linear track - Google Patents

Device for connection of a linear motor armature to a linear track

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Publication number
EP1771933A1
EP1771933A1 EP05776197A EP05776197A EP1771933A1 EP 1771933 A1 EP1771933 A1 EP 1771933A1 EP 05776197 A EP05776197 A EP 05776197A EP 05776197 A EP05776197 A EP 05776197A EP 1771933 A1 EP1771933 A1 EP 1771933A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
elements
guide
mounting part
type
support plate
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP05776197A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Wolfgang Burkart
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ASMPT GmbH and Co KG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP1771933A1 publication Critical patent/EP1771933A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/001—Bearings for parts moving only linearly adjustable for alignment or positioning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/12—Arrangements for adjusting play
    • F16C29/123—Arrangements for adjusting play using elastic means
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K2213/00—Specific aspects, not otherwise provided for and not covered by codes H02K2201/00 - H02K2211/00
    • H02K2213/09—Machines characterised by the presence of elements which are subject to variation, e.g. adjustable bearings, reconfigurable windings, variable pitch ventilators

Definitions

  • the invention relates to a device for connecting a linear motor rotor to a linear guide, in particular in ei ⁇ ner placement device for equipping substrates with construction ⁇ elements.
  • Such a device is shown for example in DE-19842384.
  • the device consists of a carriage on which two guide carriages are directly attached, which are supported on corresponding, provided in a stationary guide housing guide rails, and a Linearmotorläu ⁇ fer, which is attached directly to the carriage between the carriage.
  • a Linearmotorsta ⁇ gate is provided, which faces the linear motor rotor.
  • the mobile mounting part is pivotable on one side via a compensating element of the first type and resiliently (or displaceably) transversely to the direction of movement and on the other side via a compensating element of the second type pivotally and laterally fixed to the guide elements.
  • the compensating element of the first type therefore absorbs both side forces and moments (in particular rolling moments, but also tamping and yawing moments), the compensating element of the second kind only moments.
  • the lateral forces, stresses and moments caused by thermal expansion or thermal distortion of the mounting part and by the high magnetic forces between the elements of the linear motor, which act on the bearings of the linear guide are considerably reduced.
  • the mounting member Since the mounting member is resiliently supported only on one side transversely to the direction of movement and laterally firmly supported on the other side, the mounting member is prevented from swinging transversely to the direction of movement due to the inertial forces during acceleration and deceleration. A swinging of the mounting part in a direction perpendicular to the plane of movement determined by rails of the linear guide is prevented by the high magnetic force acting between the rotor and the stator of the linear motor.
  • the pivotal bearings are resiliently removablest ⁇ taltet, whereby the mounting member is held more stable in its position.
  • the spring stiffness can be adjusted to the requirement and the forces acting.
  • the compensation elements are arranged so that the guide elements associated with the compensation elements can be brought into engagement with two parallel rails of the linear guide, so that the device can be moved along the two rails.
  • a total of four compensating elements are provided, wherein in each case a pair of Aus ⁇ equal elements of the same kind, ie the same construction and bearing properties, and each compensating element is associated with a respective guide element.
  • the support plate via a pair of balancing elements of the first type is pivotally and elastically mounted transversely to the direction of movement and only pivotally about a further pair of balancing elements of the second kind.
  • the compensating elements are arranged so that the carrier plate is each assigned a pair of equalizing elements on the side of each rail.
  • the support plate on a rail side via a pair Aus ⁇ equal elements of the first kind pivotally and laterally resiliently (ie transversely to the direction of resiliently displaceable), and on the other rail side via a pair of Ausretemen ⁇ te second type pivotally mounted and laterally fixed Torque and lateral forces are safely absorbed, however, the lateral support is stiff enough to prevent the mounting part from swinging up.
  • the compensation elements are provided on the side surfaces of the mounting part.
  • the entire surface of the mounting part can be used for fastening further parts to be moved, for example a mounting head, without parts of the surface being stressed by the compensating elements.
  • recesses are provided in the mobile mounting part into which the compensating elements can be inserted. This embodiment is particularly advantageous when attaching the compensating elements on the soflä ⁇ chen space reasons is not possible.
  • the compensation elements and the mounting part are made in one piece, e.g. by milling or pouring. This is especially useful when the compensating elements are provided on the side surfaces of the mounting part.
  • the compensating elements on a base, with which they are attached to the guide elements. This prevents the forces from being introduced punctiformly into the guide elements and thus resulting in excessive surface pressures.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the first embodiment of the present invention of FIG. 1;
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a first type of compensating element of the first embodiment of the present invention;
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a first type of compensating element of the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic plan view of the second embodiment of the present invention shown in FIG. 5; FIG.
  • Fig. 7 is a schematic cross-sectional view of a second
  • Type of compensating element of the first kind of the present invention represents, and
  • Fig. 8 is a schematic cross-sectional view of a second type of compensating element of the second embodiment of the present invention.
  • FIGS. 1 and 2 A first advantageous embodiment of the device according to the invention is shown in FIGS. 1 and 2 shown.
  • a linear motor rotor (1) is on the underside of a mobile mounting part (2), here a rectangular support plate (2), be ⁇ consolidates.
  • a mobile mounting part (2) for example, a support arm or a placement head is conceivable.
  • the support plate (2) is connected in the region of its corners via a first type of compensating elements (3) of the first type and a first type of compensating elements (4) of the second type with four guide elements (5) or guide carriages (5).
  • the carriages (5) are parallel rails (6) of a linear guide in Engagement to be moved along a direction of movement shown in Fig. 2 Darge by an arrow.
  • the rails (6) are fastened on a rail base (7), which is formed by a metal plate.
  • the linear guide consists of the rails (6) and the rail base (7).
  • the linear motor rotor (1) is opposed to a linear motor stator (not shown) integrated in the rail base (7) in a small distance.
  • FIGS. 1 and 2 recesses are provided in the carrier plate (2) into which the four equalizing elements (3, 4) of the first and second type are inserted and there on the carrier plate (2) by a welded or screwed connection are attached.
  • a pair of similar compensation elements (3) are provided on the sides of each rail (in FIGS. 1 and 2 on the left and right of the linear motor rotor (1)).
  • the compensation elements (3, 4) have a base with which they are located be bolted or welded to the carriage (5). The structure and mode of operation of these two types of compensating elements will be described below with reference to FIGS. 3 and 4 explained in more detail.
  • a first type of compensating element (3) of the first kind which in Figs. 1 and 2 corresponds to the pair of compensating elements provided on the left side of the carrier plate (2), is shown schematically in FIG.
  • This first type of Aus ⁇ same element (3) of the first type has the shape of a double "T" in cross section, in which two transverse bars are connected to each other in the middle via a vertical bar Guide carriage dar. At the ends of the legs of the upper crossbar each downwardly facing overhangs can be seen before ⁇ , where the first type of compensation element (3) first type to the support plate (2) is mounted.
  • the top bar corresponds to a resilient pivot (represented by arrows in FIG. 3), the pivot point corresponding to the crossing point of the vertical bar with the upper transverse bar.
  • the vertical beam is designed to be relatively narrow (for example 5 mm) and thus has a low lateral stiffness, so that the upper transverse bar is resiliently displaceable transversely to the direction of movement relative to the mounting base in the directions represented by arrows in FIG.
  • the support plate (2) via the first type of compensating element (3) of the first kind shown in Fig. 3 spring-hinged and laterally ver ⁇ pushed pushed, so that both side forces and moments can be absorbed by this compensating element (3) ,
  • a first type of compensating element (4) of the second kind which in Figs. 1 and 2 corresponds to the pair of compensating elements provided on the right side of the support plate (2), is shown schematically in FIG.
  • This first type of compensating element (4) of the second kind has in cross-section We ⁇ sentlichen the shape of a double "T ⁇ .
  • the vertical bar is designed to be short (for example 2 mm) and wide (for example 10 mm) and thus has a high lateral stiffness, so that the upper transverse bar is relative to the lower transverse bar, which here also represents the base for mounting on the guide carriage , can not be moved laterally.
  • the upper transverse bar on whose lateral end faces the carrier plate (2) is fastened, is relatively long (for example 34 mm) and thin (for example 5 mm).
  • the upper transverse bar corresponds to a resilient Drehge ⁇ steering (in Fig. 4 by arrows), wherein the Dreh ⁇ point the crossing point of the vertical bar with the obe- ren crossbeam corresponds.
  • the support plate (2) is resiliently pivotally mounted on the first type of compensating element (4) of the second type shown in Fig. 4 and laterally fixed so that only moments, but no lateral forces can be absorbed by this compensating element (4).
  • Compensating elements (3, 4) of the first and second type are clearly borrowed from those shown in FIGS. 1 and 2 support plate (2) shown pivotally mounted on the left side and transversely to theincis ⁇ direction and on the right side HFge ⁇ lenkig and laterally fixed. Side forces caused by thermal expansion of the carrier plate (2) are absorbed by the left compensating elements (3), whereby the bearings of the linear guide are relieved transversely to the direction of movement.
  • the compensating elements (4) of the second type on the right side of the carrier plate (2) have a high lateral rigidity, the carrier plate (2) will swing up, as might occur if the plate is subjected to too soft lateral support , avoided.
  • FIGS. 5 and 6 A second advantageous embodiment is described with reference to FIGS. 5 and 6 described. The same elements are provided with the same reference numerals.
  • the in the Figs. 5 and 6 illustrated embodiment of the present invention comprises second types of Ausretesele- elements (3,4) of the first and second type.
  • the compensating elements e (3, 4) are fastened to the side walls of the carrier plate (2) by a welded or screwed connection and extend in the direction of movement illustrated in FIG. 6 by an arrow over the entire length of the carrier plate (2).
  • the full surface of the mobile assembly part (2) can be used to fasten a functional part to be moved, such as a placement head.
  • two guide carriages are mounted, which are in engagement with rails (5) of the linear guide.
  • the compensation elements (3,4) are described below with reference to FIGS. 7 and 8 described in more detail.
  • FIG. 7 shows the cross section of the second type of compensating element (3) of the first type, which is shown in FIGS. 5 and 6 which corresponds to the left side of the support plate (2) provided compensating element (3).
  • the second type compensating element (3) of the first type has a base for fastening to the carriage (5) and a narrow vertical beam (for example 5 mm) with low lateral rigidity. At one end of the horizontal leg may have a short vertical overhang, with which the compensation element (3) on the support plate (2) is attached.
  • the second type compensating element (3) of the first kind can both moments and lateral forces are absorbed. Side forces, which occur when the carrier plate (2) expands, are absorbed by a lateral, resilient displacement of the horizontal leg relative to the base, as shown in FIG. 7 by an arrow. Moments are intercepted by rotation of the upper horizontal leg around the point of intersection with the vertical beam (also represented by an arrow in FIG. 7).
  • the cross section shown in Fig. 8 of a second type of compensating element (4) of the second kind corresponds to that in Figs. 5 and 6 on the right side of the support plate (2) vorgesehe ⁇ NEN compensation element (4).
  • This compensating element (4) has a base for attachment to the guide carriage, a short (for example 2 mm) and wide (for example 10 mm) designed vertical beam and an elongated waa ⁇ fair leg (for example, 17mm long and 5mm thick), at the Front side of the support plate (2) is fixed.
  • the second type compensating element (4) of the second type can only absorb moments.
  • the short and wide vertical bar has a high lateral stiffness, so that the carrier plate (2) is fixedly mounted in the lateral direction.
  • the obe ⁇ re horizontal leg acts as a hinge. Moments that occur when heat distortion of the support plate (2), so also here by rotation of the horizontal leg technicallynom ⁇ men, as shown in Fig. 8 by arrow.
  • the second type of compensating elements (3, 4) of the first and second types are provided laterally on the carrier plate (2), these compensating elements (3, 4) have a more compact structure and are easier to manufacture. Furthermore, the carrier plate (2) does not have to be used in an additional work step for receiving the Aüs GmbHs institute (3,4) (for example Recesses), as is necessary in the first type of compensating elements (3, 4). Finally, it is possible to manufacture the carrier plate (2) and the compensating elements (3, 4) of this second type from one piece (for example, casting or milling), so that no additional components are necessary. Also in the second types of compensation elements (3,4) of the first and second type, the spring stiffness of the movable beams or legs can be adjusted by appropriate dimensioning the requirements.
  • the second exporting ⁇ approximately example shown has the support plate (2) via two From ⁇ equal elements (3,4) on which is provided in each case two carriages.
  • the support plate (2) via two From ⁇ equal elements (3,4) on which is provided in each case two carriages.

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Abstract

The invention relates to a device, for connection of a linear motor armature (1) to a linear track, comprising a support plate (2), to which the linear motor armature (1) is fixed, at least two guide elements (5), by means of which the support plate (2) may be engaged with the linear track, in order to be displaced in a displacement direction along the linear track. Said device comprises at least one compensator element (3) of a first type, by means of which the support plate (2) has a sprung, rotating mounting to one of the at least two track elements (5) transverse to the displacement direction and at least one compensator element (4) of a second type, by means of which the support plate (2) has a rotating mounting to another of the at least two track elements (5). By the arrangement of two types of compensator elements (3,4), torques and lateral forces on the support plate (2) are not transmitted to the mountings of the linear track and a resonance of the support plate (2) is prevented.

Description

Beschreibungdescription
Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers an eine Li¬ nearführungDevice for connecting a linear motor rotor to a linear guide
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers an eine Linearführung, insbesondere in ei¬ ner Bestückvorrichtung zum Bestücken von Substraten mit Bau¬ elementen.The invention relates to a device for connecting a linear motor rotor to a linear guide, in particular in ei¬ ner placement device for equipping substrates with construction ¬ elements.
Eine derartige Vorrichtung wird beispielsweise in DE-19842384 gezeigt. Die Vorrichtung besteht aus einem Laufwagen, an dem zwei Führungswagen unmittelbar befestigt sind, die sich an entsprechenden, in einem stationären Führungsgehäuse vorgese- henen Führungsschienen abstützen, und einem Linearmotorläu¬ fer, der zwischen den Führungswagen direkt an dem Laufwagen befestigt ist. In dem Führungsgehäuse ist ein Linearmotorsta¬ tor vorgesehen, der dem Linearmotorläufer gegenübersteht.Such a device is shown for example in DE-19842384. The device consists of a carriage on which two guide carriages are directly attached, which are supported on corresponding, provided in a stationary guide housing guide rails, and a Linearmotorläu¬ fer, which is attached directly to the carriage between the carriage. In the guide housing a Linearmotorsta¬ gate is provided, which faces the linear motor rotor.
Aufgrund der hohen magnetischen Anziehungskraft zwischen dem Läufer und dem Stator des Linearmotors und der hohen Wärme¬ entwicklung bei Betrieb des Linearmotors kann es zu Dehnung und Verzug des Linearmotorläufers und Laufwagens kommen. Da¬ durch wirken hohe Kräfte und Momente auf die Lager der Line- arführung, was zu einem vorzeitigen Verschleiß der Führungs¬ wagen, den Schienen und dem Führungsgehäuse führen kann. Dar¬ über hinaus müssen die Führungsschienen strenge Anforderungen an die Parallelität erfüllen, da bei nicht exakt parallelen Schienen hohe Spannungen in der Linearführung entstehen. Da derartige Linearmotoranbindungen auch in der Bestückungstech¬ nik ihre Anwendung finden, wo höchste Anforderungen hinsicht¬ lich der Positioniergenauigkeit gestellt werden, sind Verfor¬ mungen der Linearführung höchst unerwünscht. Zwar können zur Vermeidung solcher Verformungen die Trägerplatte, der Schie¬ nengrund und die Führungen dicker und schwerer ausgeführt werden, jedoch hätte dies eine Vergrößerung des Einbauraums und der zu bewegenden Masse mit den entsprechenden Nachteilen für den Bestückungsautomaten zur Folge.Due to the high magnetic attraction between the rotor and the stator of the linear motor and the high heat development during operation of the linear motor, stretching and distortion of the linear motor rotor and carriage can occur. As a result, high forces and moments act on the bearings of the linear guide, which can lead to premature wear of the guide carriage, the rails and the guide housing. In addition, the guide rails must meet stringent requirements for parallelism, since not exactly parallel rails high voltages in the linear guide arise. Since such linear motor connections are also used in the placement technology, where the highest demands are placed on the positioning accuracy, deformations of the linear guide are highly undesirable. Although you can Avoiding such deformations, the support plate, the Schie¬ nengrund and the guides are made thicker and heavier, but this would have an enlargement of the installation space and the mass to be moved with the corresponding disadvantages for the placement machine result.
Es ist deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers an eine Li¬ nearführung zu liefern, die eine erhöhte Bestückgenauigkeit und eine erhöhte Lebensdauer der Lager der Linearführung auf¬ weist.It is therefore the object of the present invention to provide a device for connecting a linear motor rotor to a linear guide, which has an increased placement accuracy and an increased service life of the bearings of the linear guide.
Diese Aufgabe wird durch die Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruch 1 gelöst.This object is achieved by the device having the features of claim 1.
Erfindungsgemäß ist das mobile Montageteil auf der einen Sei¬ te über ein Ausgleichselement erster Art drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd (bzw. verschiebbar) und auf der anderen Seite über ein Ausgleichselement zweiter Art drehgelenkig und seitlich fest an den Führungselementen gela¬ gert. Das Ausgleichselement ersten Art nimmt daher sowohl Seitenkräfte und Momente (insbesondere Wankmomente, aber auch Stampf- und Giermomente) , das Ausgleichelement zweiter Art nur Momente auf. Dadurch werden die durch Wärmedehnung bzw. Wärmeverzug des Montageteils und durch die hohen Magnetkräfte zwischen den Elementen des Linearmotors hervorgerufenen Sei¬ tenkräfte, Spannungen und Momente, die auf die Lager der Li¬ nearführung wirken, erheblich reduziert. Da das Montageteil nur auf einer Seite quer zur Bewegungsrichtung federnd gela- gert und auf der anderen Seite seitlich fest abgestützt ist, wird verhindert, dass sich das Montageteil aufgrund der Träg¬ heitskräfte beim Beschleunigen und Abbremsen quer zur Bewe¬ gungsrichtung aufschwingt. Ein Aufschwingen des Montageteils in einer Richtung senkrecht zur Bewegungsebene, welche von Schienen der Linearführung festgelegt wird, wird durch die hohe Magnetkraft, die zwischen dem Läufer und dem Stator des Linearmotors wirkt, verhindert.According to the invention, the mobile mounting part is pivotable on one side via a compensating element of the first type and resiliently (or displaceably) transversely to the direction of movement and on the other side via a compensating element of the second type pivotally and laterally fixed to the guide elements. The compensating element of the first type therefore absorbs both side forces and moments (in particular rolling moments, but also tamping and yawing moments), the compensating element of the second kind only moments. As a result, the lateral forces, stresses and moments caused by thermal expansion or thermal distortion of the mounting part and by the high magnetic forces between the elements of the linear motor, which act on the bearings of the linear guide, are considerably reduced. Since the mounting member is resiliently supported only on one side transversely to the direction of movement and laterally firmly supported on the other side, the mounting member is prevented from swinging transversely to the direction of movement due to the inertial forces during acceleration and deceleration. A swinging of the mounting part in a direction perpendicular to the plane of movement determined by rails of the linear guide is prevented by the high magnetic force acting between the rotor and the stator of the linear motor.
Die Reduzierung der auf die Linearführung wirkenden Kräfte und Momente baut einem frühzeitigen Verschleiß der Linearfüh¬ rung bzw. der Führungselemente und damit einer schleichenden Verschlechterung der Bestückgenauigkeit vor. Weiterhin können die Trägerplatte und die Führungselemente wesentlich leichter gestaltet werden, was Vorteile bei hochdynamischen Anwendun¬ gen bringt . Außerdem sind größere Fertigungstoleranzen bei den Schienen der Linearführung akzeptierbar, da auch seitli¬ che Kräfte durch leicht gekrümmte, nicht ideal parallele Schienen von den Ausgleichselementen aufgenommen werden.The reduction of the forces and moments acting on the linear guide builds premature wear of the Linearfüh¬ tion or the guide elements and thus a gradual deterioration of placement accuracy. Furthermore, the support plate and the guide elements can be made much easier, which brings advantages in highly dynamic Anwendungsun¬ conditions. In addition, larger manufacturing tolerances in the rails of the linear guide are acceptable, since also seitli¬ che forces are absorbed by slightly curved, not ideal parallel rails of the compensating elements.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.Advantageous embodiments of the present invention are the subject of the dependent claims.
Bei der Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung gemäß An¬ spruch 2 sind die drehgelenkigen Lagerungen federnd ausges¬ taltet, wodurch das Montageteil stabiler in seiner Lage gehalten wird. Durch geeignete Dimensionierung der Aus¬ gleichselemente kann die Federhärte den Anforderung und den einwirkenden Kräften angepasst werden.In the embodiment of the present invention according to An¬ claim 2, the pivotal bearings are resiliently ausgest¬ taltet, whereby the mounting member is held more stable in its position. By appropriate dimensioning of Aus¬ equal elements, the spring stiffness can be adjusted to the requirement and the forces acting.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung nach Anspruch 3 sind die Ausgleichselemente so angeordnet, dass die den Ausgleichselementen zugeordneten Führungselemen- te mit zwei parallelen Schienen der Linearführung in Eingriff gebracht werden können, sodass die Vorrichtung entlang der beiden Schienen verfahrbar ist. Bei der Ausgestaltung gemäß Anspruch 4 sind insgesamt vier Ausgleichselemente vorgesehen, wobei jeweils ein Paar Aus¬ gleichselemente gleicher Art sind, d.h. die gleiche Bauweise und Lagereigenschaften aufweisen, und jedem Ausgleichselement jeweils ein Führungselement zugeordnet ist. Genauer gesagt ist die Trägerplatte über ein Paar Ausgleichselemente erster Art drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd und über ein weiteres Paar Ausgleichselemente zweiter Art nur drehgelenkig gelagert.According to a further embodiment of the present invention according to claim 3, the compensation elements are arranged so that the guide elements associated with the compensation elements can be brought into engagement with two parallel rails of the linear guide, so that the device can be moved along the two rails. In the embodiment according to claim 4, a total of four compensating elements are provided, wherein in each case a pair of Aus¬ equal elements of the same kind, ie the same construction and bearing properties, and each compensating element is associated with a respective guide element. More specifically, the support plate via a pair of balancing elements of the first type is pivotally and elastically mounted transversely to the direction of movement and only pivotally about a further pair of balancing elements of the second kind.
In der in Anspruch 5 beanspruchten Ausgestaltung der Erfin¬ dung sind die Ausgleichselemente so angeordnet, dass der Trä¬ gerplatte auf Seiten jeder Schiene jeweils ein Paar gleichar¬ tiger Ausgleichselemente zugeordnet ist. Dadurch, dass die Trägerplatte auf der einen Schienenseite über ein Paar Aus¬ gleichselemente erster Art drehgelenkig und seitlich federnd (d.h. quer zur Bewegungsrichtung federnd verschiebbar) , und auf der anderen Schienenseite über ein Paar Ausgleichselemen¬ te zweiter Art drehgelenkig und seitlich fest gelagert ist, werden Momente und Seitenkräfte sicher aufgenommen, jedoch ist die seitliche Abstützung steif genug, um ein Aufschwingen des Montageteils zu verhindern.In the embodiment of the invention claimed in claim 5, the compensating elements are arranged so that the carrier plate is each assigned a pair of equalizing elements on the side of each rail. Characterized in that the support plate on a rail side via a pair Aus¬ equal elements of the first kind pivotally and laterally resiliently (ie transversely to the direction of resiliently displaceable), and on the other rail side via a pair of Ausgleichselemen¬ te second type pivotally mounted and laterally fixed, Torque and lateral forces are safely absorbed, however, the lateral support is stiff enough to prevent the mounting part from swinging up.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegen- den Erfindung gemäß Anspruch 6 sind die Ausgleichselemente an den Seitenflächen des Montageteils vorgesehen. Dies ermög¬ licht eine einfache und kompakte Gestaltung der Ausgleichs¬ elemente. Weiterhin kann die gesamte Oberfläche des Montage¬ teils zur Befestigung weiterer zu bewegender Teile, z.B. ei- nes Bestückkopfes, verwendet werden ohne dass Teile der Ober¬ fläche durch die Ausgleichselemente beansprucht werden. Bei der Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung gemäß An¬ spruch 7 sind in dem mobilen Montageteil Aussparungen vorge¬ sehen, in die die Ausgleichselemente eingesetzt werden kön¬ nen. Diese Ausführungsform ist besonders dann vorteilhaft, wenn ein Anbringen der Ausgleichselemente an den Seitenflä¬ chen aus Platzgründen nicht möglich ist.In a further advantageous embodiment of the present invention according to claim 6, the compensation elements are provided on the side surfaces of the mounting part. This makes possible a simple and compact design of the compensating elements. Furthermore, the entire surface of the mounting part can be used for fastening further parts to be moved, for example a mounting head, without parts of the surface being stressed by the compensating elements. In the embodiment of the present invention according to claim 7, recesses are provided in the mobile mounting part into which the compensating elements can be inserted. This embodiment is particularly advantageous when attaching the compensating elements on the Seitenflä¬ chen space reasons is not possible.
Gemäß der vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfin¬ dung gemäß Anspruch 8 sind die Ausgleichselemente und das Montageteil aus einem Stück gefertigt, z.B. durch Fräsen oder Gießen. Dies bietet sich vor allem dann an, wenn die Aus¬ gleichselemente an den Seitenflächen des Montageteils vorge¬ sehen sind.According to the advantageous embodiment of the present invention according to claim 8, the compensation elements and the mounting part are made in one piece, e.g. by milling or pouring. This is especially useful when the compensating elements are provided on the side surfaces of the mounting part.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung nach Anspruch 9 weisen die Ausgleichselemente einen Sockel auf, mit dem sie an den Führungselementen befestigt werden. Dadurch wird verhindert, dass die Kräfte punktförmig in die Führungselemente eingeleitet werden und dadurch zu hohe Flä- chenpressungen auftreten.According to a further embodiment of the present invention according to claim 9, the compensating elements on a base, with which they are attached to the guide elements. This prevents the forces from being introduced punctiformly into the guide elements and thus resulting in excessive surface pressures.
Im Folgenden werden zwei vorteilhafte Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die beigefügten Zeich¬ nungen näher erläutert, wobei:In the following, two advantageous embodiments of the present invention will be explained in more detail with reference to the attached drawings, in which:
Fig. 1 eine schematische Querschnittsansicht einer ersten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung darstellt,FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a first embodiment of the present invention; FIG.
Fig. 2 eine schematische Draufsicht der ersten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung aus Fig. 1 darstellt, Fig. 3 eine schematische Querschnittsansicht eines ersten Typs von Ausgleichselement erster Art der vorliegenden Erfin¬ dung darstellt,FIG. 2 is a schematic plan view of the first embodiment of the present invention of FIG. 1; FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a first type of compensating element of the first embodiment of the present invention;
Fig. 4 eine schematische Querschnittsansicht eines ersten Typs von Ausgleichselement zweiter Art der vorliegenden Er¬ findung darstellt,4 is a schematic cross-sectional view of a first type of compensating element of the second embodiment of the present invention;
Fig. 5 eine schematische Querschnittsansicht einer zweiten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung darstellt,5 is a schematic cross-sectional view of a second embodiment of the present invention;
Fig. 6 eine schematische Draufsicht der zweiten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung aus Fig. 5 darstellt,FIG. 6 is a schematic plan view of the second embodiment of the present invention shown in FIG. 5; FIG.
Fig. 7 eine schematische Querschnittsansicht eines zweitenFig. 7 is a schematic cross-sectional view of a second
Typs von Ausgleichselement erster Art der vorliegenden Erfin¬ dung darstellt, undType of compensating element of the first kind of the present invention represents, and
Fig. 8 eine schematische Querschnittsansicht eines zweiten Typs von Ausgleichselement zweiter Art der vorliegenden Er¬ findung darstellt.Fig. 8 is a schematic cross-sectional view of a second type of compensating element of the second embodiment of the present invention.
Ein erstes vorteilhaftes Ausführungsbeispiel der erfindungs¬ gemäßen Vorrichtung ist in den Figs. 1 und 2 dargestellt. Ein Linearmotorläufer (1) ist an der Unterseite eines mobilen Montageteils (2), hier eine rechteckige Trägerplatte (2), be¬ festigt. Als mobiles Montageteil (2) ist beispielsweise auch ein Trägerarm oder ein Bestückkopf denkbar. Die Trägerplatte (2) ist im Bereich ihrer Ecken über einen ersten Typ von Aus- gleichselementen (3) erster Art und einen ersten Typ von Aus¬ gleichselementen (4) zweiter Art mit vier Führungselementen (5) bzw. Führungswagen (5) verbunden. Die Führungswagen (5) stehen mit parallelen Schienen (6) einer Linearführung in Eingriff, um entlang einer in Fig. 2 durch einen Pfeil darge¬ stellten Bewegungsrichtung bewegt zu werden. Die Schienen (6) sind auf einem Schienengrund (7) , welcher durch eine metalli¬ sche Platte gebildet wird, befestigt. Die Linearführung be- steht aus den Schienen (6) und dem Schienengrund (7) . Der Li¬ nearmotorläufer (1) steht einem in den Schienengrund (7) in¬ tegrierten Linearmotorstator (nicht dargestellt) in geringein Abstand gegenüber.A first advantageous embodiment of the device according to the invention is shown in FIGS. 1 and 2 shown. A linear motor rotor (1) is on the underside of a mobile mounting part (2), here a rectangular support plate (2), be ¬ consolidates. As a mobile mounting part (2), for example, a support arm or a placement head is conceivable. The support plate (2) is connected in the region of its corners via a first type of compensating elements (3) of the first type and a first type of compensating elements (4) of the second type with four guide elements (5) or guide carriages (5). The carriages (5) are parallel rails (6) of a linear guide in Engagement to be moved along a direction of movement shown in Fig. 2 Darge by an arrow. The rails (6) are fastened on a rail base (7), which is formed by a metal plate. The linear guide consists of the rails (6) and the rail base (7). The linear motor rotor (1) is opposed to a linear motor stator (not shown) integrated in the rail base (7) in a small distance.
Wie den Figs. 1 und 2 zu entnehmen ist, sind in der Träger¬ platte (2) Aussparungen vorgesehen, in die die vier Aus¬ gleichselemente (3,4) erster und zweiter Art eingesetzt und dort an der Trägerplatte (2) durch eine Schweiß- oder Schraubverbindung befestigt sind. Dabei sind auf Seiten jeder Schiene (in Figs. 1 und 2 links und rechts des Linearmotor¬ läufers (1) ) jeweils ein Paar gleichartiger Ausgleichselemen¬ te (3) vorgesehen Die Ausgleichselemente (3,4) weisen einen Sockel auf, mit dem sie mit den Führungswagen (5) verschraubt oder verschweißt werden. Der Aufbau und die Funktionsweise dieser beiden Arten von Ausgleichselementen werden im Folgen¬ den anhand der Figs. 3 und 4 näher erläutert.As the Figs. 1 and 2, recesses are provided in the carrier plate (2) into which the four equalizing elements (3, 4) of the first and second type are inserted and there on the carrier plate (2) by a welded or screwed connection are attached. In each case, a pair of similar compensation elements (3) are provided on the sides of each rail (in FIGS. 1 and 2 on the left and right of the linear motor rotor (1)). The compensation elements (3, 4) have a base with which they are located be bolted or welded to the carriage (5). The structure and mode of operation of these two types of compensating elements will be described below with reference to FIGS. 3 and 4 explained in more detail.
Ein erster Typ von Ausgleichselement (3) erster Art, welchem in den Figs. 1 und 2 das auf der linken Seite der Trägerplat- te (2) vorgesehene Paar Ausgleichselemente entspricht, ist schematisch in Fig. 3 dargestellt. Dieser erste Typ von Aus¬ gleichselement (3) erster Art weist im Querschnitt die Form eines doppelten „T" auf, bei dem zwei Querbalken in der Mitte über einen vertikalen Balken miteinander verbunden sind. Der untere Querbalken stellt dabei einen Sockel zur Montage an den Führungswagen dar. An den Enden der Schenkel des oberen Querbalkens können jeweils nach unten weisende Überhänge vor¬ gesehen sein, an denen der erste Typ von Ausgleichselement (3) erster Art an die Trägerplatte (2) montiert wird. Der o- bere Querbalken entspricht einem federnden Drehgelenk (in Fig. 3 durch Pfeile dargestellt) , wobei der Drehpunkt dem Kreuzungspunkt des vertikalen Balkens mit dem oberen Querbal- ken entspricht. Der vertikale Balken relativ schmal (bei¬ spielsweise 5mm) ausgebildet und verfügt dadurch über eine geringe Seitensteifigkeit, sodass der obere Querbalken gegen¬ über dem Montagesockel in die in Fig. 3 durch Pfeile darge¬ stellte Richtungen quer zur Bewegungsrichtung federnd ver- schiebbar ist. Somit ist die Trägerplatte (2) über den in Fig. 3 dargestellten ersten Typ von Ausgleichselement (3) erster Art federnd drehgelenkig und seitlich federnd ver¬ schiebbar gelagert, sodass von diesem Ausgleichselement (3) sowohl Seitenkräfte als auch Momente aufgenommen werden kön- nen.A first type of compensating element (3) of the first kind, which in Figs. 1 and 2 corresponds to the pair of compensating elements provided on the left side of the carrier plate (2), is shown schematically in FIG. This first type of Aus¬ same element (3) of the first type has the shape of a double "T" in cross section, in which two transverse bars are connected to each other in the middle via a vertical bar Guide carriage dar. At the ends of the legs of the upper crossbar each downwardly facing overhangs can be seen before ¬ , where the first type of compensation element (3) first type to the support plate (2) is mounted. The top bar corresponds to a resilient pivot (represented by arrows in FIG. 3), the pivot point corresponding to the crossing point of the vertical bar with the upper transverse bar. The vertical beam is designed to be relatively narrow (for example 5 mm) and thus has a low lateral stiffness, so that the upper transverse bar is resiliently displaceable transversely to the direction of movement relative to the mounting base in the directions represented by arrows in FIG. Thus, the support plate (2) via the first type of compensating element (3) of the first kind shown in Fig. 3 spring-hinged and laterally ver¬ pushed pushed, so that both side forces and moments can be absorbed by this compensating element (3) ,
Ein erster Typ von Ausgleichselement (4) zweiter Art, welchem in den Figs. 1 und 2 das auf der rechten Seite der Träger¬ platte (2) vorgesehene Paar Ausgleichselemente entspricht, ist schematisch in Fig. 4 dargestellt. Dieser erste Typ von Ausgleichselement (4) zweiter Art weist im Querschnitt im We¬ sentlichen die Form eines doppelten „TΛΛ auf. Der vertikale Balken ist kurz (beispielsweise 2mm) und breit (beispielswei¬ se 10mm) ausgebildet und verfügt dadurch über eine hohe Sei- tensteifigkeit, sodass der obere Querbalken relativ zum unte¬ ren Querbalken, der auch hier den Sockel zur Montage an dem Führungswagen darstellt, seitlich nicht verschoben werden kann. Der obere Querbalken, an dessen seitlichen Endflächen die Trägerplatte (2) befestigt ist, ist relativ lang (bei- spielsweise 34mm) und dünn (beispielsweise 5mm) ausgebildet. Der obere Querbalken entspricht dabei einem federnden Drehge¬ lenk (in Fig. 4 durch Pfeile dargestellt) , wobei der Dreh¬ punkt dem Kreuzungspunkt des vertikalen Balkens mit dem obe- ren Querbalken entspricht. Die Trägerplatte (2) ist über den in Fig. 4 dargestellte ersten Typ von Ausgleichselement (4) zweiter Art federnd drehgelenkig und seitlich fest gelagert, sodass von diesem Ausgleichselement (4) nur Momente, jedoch keine Seitenkräfte aufgenommen werden können.A first type of compensating element (4) of the second kind, which in Figs. 1 and 2 corresponds to the pair of compensating elements provided on the right side of the support plate (2), is shown schematically in FIG. This first type of compensating element (4) of the second kind has in cross-section We¬ sentlichen the shape of a double "T ΛΛ. The vertical bar is designed to be short (for example 2 mm) and wide (for example 10 mm) and thus has a high lateral stiffness, so that the upper transverse bar is relative to the lower transverse bar, which here also represents the base for mounting on the guide carriage , can not be moved laterally. The upper transverse bar, on whose lateral end faces the carrier plate (2) is fastened, is relatively long (for example 34 mm) and thin (for example 5 mm). The upper transverse bar corresponds to a resilient Drehge¬ steering (in Fig. 4 by arrows), wherein the Dreh¬ point the crossing point of the vertical bar with the obe- ren crossbeam corresponds. The support plate (2) is resiliently pivotally mounted on the first type of compensating element (4) of the second type shown in Fig. 4 and laterally fixed so that only moments, but no lateral forces can be absorbed by this compensating element (4).
Wie oben schon erwähnt, entsprechen in den Figs. 1 und 2 die auf der linken Seite der Trägerplatte (2) vorgesehenen Aus¬ gleichselemente dem in Fig. 3 dargestellten ersten Typ von Ausgleichselement (3) erster Art, und die auf der rechtenAs mentioned above, correspond in Figs. 1 and 2 the Aus¬ same elements provided on the left side of the support plate (2) to the first type of compensating element (3) of the first kind shown in Fig. 3, and those on the right
Seite der Trägerplatte (2) vorgesehenen Ausgleichselemente dem in Fig. 4 dargestellten ersten Typ von AusgleichselementSide of the support plate (2) provided compensation elements to the illustrated in Fig. 4 the first type of compensation element
(4) zweiter Art. Durch obige Erläuterung der ersten Typen von(4) second kind. By the above explanation of the first types of
Ausgleichselementen (3,4) erster und zweiter Art wird deut- lieh, dass die in den Figs. 1 und 2 dargestellte Trägerplatte (2) auf der linken Seite drehgelenkig und quer zur Bewegungs¬ richtung federnd gelagert und auf der rechten Seite drehge¬ lenkig und seitlich fest gelagert ist. Durch Wärmedehnung der Trägerplatte (2) verursachte Seitenkräfte werden von den lin- ken Ausgleichselementen (3) aufgenommen, wodurch die Lager der Linearführung quer zur Bewegungsrichtung entlastet wer¬ den. Dadurch, dass die Ausgleichselemente (4) zweiter Art auf der rechten Seite der Trägerplatte (2) jedoch eine hohe Sei- tensteifigkeit aufweisen, wird ein Aufschwingen der Träger- platte (2) , wie es bei einer zu weichen seitlichen Abstützung der Platte auftreten könnte, vermieden. Alle vier Ausgleichs¬ elemente (3,4) wirken jedoch als federnde Drehlager, sodass durch Wärmeverzug verursachte Momente (hauptsächlich Wankmo¬ mente, aber auch Stampf- und Giermomente) von den Ausgleichs- elementen (3,4) aufgenommen und nicht auf die Linearführung übertragen werden. Durch entsprechende Dimensionierung der einzelnen Schenkel bzw. Balken der Ausgleichselemente (3,4) kann die Federsteifigkeit entsprechend den Anforderungen an- gepasst werden.Compensating elements (3, 4) of the first and second type are clearly borrowed from those shown in FIGS. 1 and 2 support plate (2) shown pivotally mounted on the left side and transversely to the Bewegungs¬ direction and on the right side drehge¬ lenkig and laterally fixed. Side forces caused by thermal expansion of the carrier plate (2) are absorbed by the left compensating elements (3), whereby the bearings of the linear guide are relieved transversely to the direction of movement. However, because the compensating elements (4) of the second type on the right side of the carrier plate (2) have a high lateral rigidity, the carrier plate (2) will swing up, as might occur if the plate is subjected to too soft lateral support , avoided. However, all four Ausgleichs¬ elements (3,4) act as a resilient pivot bearing, so caused by thermal distortion moments (mainly Wankmo¬ elements, but also tamping and yawing moments) of the compensating elements (3,4) and not on the linear guide be transmitted. By appropriate dimensioning of the individual legs or bars of the compensating elements (3,4) the spring stiffness can be adjusted according to the requirements.
Ein zweites vorteilhaftes Ausführungsbeispiel wird anhand der Figs. 5 und 6 beschrieben. Gleiche Elemente sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.A second advantageous embodiment is described with reference to FIGS. 5 and 6 described. The same elements are provided with the same reference numerals.
Das in den Figs. 5 und 6 dargestellte Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung weist zweite Typen von Ausgleichsele- menten (3,4) erster und zweiter Art auf. Die Ausgleichsele- ment-e (3,4) sind an den Seitenwänden der Trägerplatte (2) durch eine Schweiß- oder Schraubverbindung befestigt und erstrecken sich in der in Fig. 6 durch einen Pfeil darge¬ stellten Bewegungsrichtung über die gesamte Länge der Träger- platte (2) . Dadurch kann die volle Fläche des mobilen Monta¬ geteils (2) zur Befestigung eines zu bewegenden Funktions¬ teils, wie beispielsweise eines Bestückkopfes, genutzt wer¬ den. An jedem Ausgleichselement (3,4) sind jeweils zwei Füh¬ rungswagen angebracht, die mit Schienen (5) der Linearführung in Eingriff stehen. Die Ausgleichselemente (3,4) werden im Folgenden anhand der Figs. 7 und 8 genauer beschrieben.The in the Figs. 5 and 6 illustrated embodiment of the present invention comprises second types of Ausgleichsele- elements (3,4) of the first and second type. The compensating elements e (3, 4) are fastened to the side walls of the carrier plate (2) by a welded or screwed connection and extend in the direction of movement illustrated in FIG. 6 by an arrow over the entire length of the carrier plate (2). As a result, the full surface of the mobile assembly part (2) can be used to fasten a functional part to be moved, such as a placement head. On each compensating element (3,4) two guide carriages are mounted, which are in engagement with rails (5) of the linear guide. The compensation elements (3,4) are described below with reference to FIGS. 7 and 8 described in more detail.
In Fig. 7 ist der Querschnitt des zweiten Typs von Aus¬ gleichselement (3) erster Art abgebildet, welchem in den Figs. 5 und 6 das an der linken Seite der Trägerplatte (2) vorgesehene Ausgleichselement (3) entspricht. Der zweite Typ Ausgleichselement (3) erster Art weist einen Sockel zur Be¬ festigung an dem Führungswagen (5) und einen schmal ausgebil¬ deten senkrechten Balken (beispielsweise 5mm) mit geringer Seitensteifigkeit auf. An einem Ende kann der waagerechte Schenkel einen kurzen senkrechten Überhang aufweisen, mit dem das Ausgleichselement (3) an der Trägerplatte (2) befestigt wird. Vom zweiten Typ Ausgleichselement (3) erster Art können sowohl Momente als auch Seitenkräfte aufgenommen werden. Sei¬ tenkräfte, die bei einer Wärmedehnung der Trägerplatte (2) auftreten, werden durch eine seitliche federnde Verschiebung des horizontalen Schenkels relativ zum Sockel aufgenommen, wie es in Fig. 7 durch einen Pfeil dargestellt ist. Momente werden durch Drehung des oberen horizontalen Schenkels um den Kreuzungspunkt mit dem vertikalen Balken abgefangen (in Fig. 7 ebenfalls durch einen Pfeil dargestellt)FIG. 7 shows the cross section of the second type of compensating element (3) of the first type, which is shown in FIGS. 5 and 6 which corresponds to the left side of the support plate (2) provided compensating element (3). The second type compensating element (3) of the first type has a base for fastening to the carriage (5) and a narrow vertical beam (for example 5 mm) with low lateral rigidity. At one end of the horizontal leg may have a short vertical overhang, with which the compensation element (3) on the support plate (2) is attached. Of the second type compensating element (3) of the first kind can both moments and lateral forces are absorbed. Side forces, which occur when the carrier plate (2) expands, are absorbed by a lateral, resilient displacement of the horizontal leg relative to the base, as shown in FIG. 7 by an arrow. Moments are intercepted by rotation of the upper horizontal leg around the point of intersection with the vertical beam (also represented by an arrow in FIG. 7).
Der in Fig. 8 dargestellte Querschnitt eines zweiten Typs von Ausgleichselement (4) zweiter Art entspricht dem in den Figs. 5 und 6 auf der rechten Seite der Trägerplatte (2) vorgesehe¬ nen Ausgleichselement (4) . Dieses Ausgleichselement (4) ver¬ fügt über einen Sockel zur Befestigung an dem Führungswagen, einen kurz (beispielsweise 2mm) und breit (beispielsweise 10mm) gestalteten vertikalen Balken und einen länglichen waa¬ gerechten Schenkel (beispielsweise 17mm lang und 5mm dick) , an dessen Stirnseite die Trägerplatte (2) befestigt ist. Vom zweiten Typ Ausgleichselement (4) zweiter Art können nur Mo- mente aufgenommen werden. Der kurze und breite vertikale Bal¬ ken weist eine hohe Seitensteifigkeit auf, sodass die Träger¬ platte (2) in seitlicher Richtung fest gelagert ist. Der obe¬ re waagerechte Schenkel fungiert als Drehgelenk. Momente, die bei Wärmeverzug der Trägerplatte (2) auftreten, werden also auch hier durch Drehung des waagerechten Schenkels aufgenom¬ men, wie es in Fig. 8 durch Pfeil dargestellt ist.The cross section shown in Fig. 8 of a second type of compensating element (4) of the second kind corresponds to that in Figs. 5 and 6 on the right side of the support plate (2) vorgesehe¬ NEN compensation element (4). This compensating element (4) has a base for attachment to the guide carriage, a short (for example 2 mm) and wide (for example 10 mm) designed vertical beam and an elongated waa¬ fair leg (for example, 17mm long and 5mm thick), at the Front side of the support plate (2) is fixed. The second type compensating element (4) of the second type can only absorb moments. The short and wide vertical bar has a high lateral stiffness, so that the carrier plate (2) is fixedly mounted in the lateral direction. The obe¬ re horizontal leg acts as a hinge. Moments that occur when heat distortion of the support plate (2), so also here by rotation of the horizontal leg aufgenom¬ men, as shown in Fig. 8 by arrow.
Da die zweiten Typ von Ausgleichselementen (3,4) erster und zweiter Art seitlich an der Trägerplatte (2) vorgesehen sind, weisen diese Ausgleichselemente (3,4) einen kompakteren Auf¬ bau auf und sind einfacher herzustellen. Weiterhin muss die Trägerplatte (2) nicht in einem zusätzlichen Arbeitsschritt zur Aufnahme der Aüsgleichselemente (3,4) (beispielsweise Aussparungen) vorbearbeitet werden, wie es bei den ersten Ty¬ pen von Ausgleichselementen (3,4) notwendig ist. Schließlich ist es möglich, die Trägerplatte (2) und die Ausgleichsele¬ mente (3,4) dieses zweiten Typs aus einem Stück zu fertigen (beispielsweise Gießen oder Fräsen) , sodass keine zusätzli¬ chen Bauteile notwendig sind. Auch bei den zweiten Typen von Ausgleichselementen (3,4) erster und zweiter Art können die Federsteifigkeit der beweglichen Balken bzw. Schenkel durch entsprechende Dimensionierung den Anforderungen angepasst werden.Since the second type of compensating elements (3, 4) of the first and second types are provided laterally on the carrier plate (2), these compensating elements (3, 4) have a more compact structure and are easier to manufacture. Furthermore, the carrier plate (2) does not have to be used in an additional work step for receiving the Aüsgleichselemente (3,4) (for example Recesses), as is necessary in the first type of compensating elements (3, 4). Finally, it is possible to manufacture the carrier plate (2) and the compensating elements (3, 4) of this second type from one piece (for example, casting or milling), so that no additional components are necessary. Also in the second types of compensation elements (3,4) of the first and second type, the spring stiffness of the movable beams or legs can be adjusted by appropriate dimensioning the requirements.
In dem in den Figs. 5 und 6 dargestellten zweiten Ausfüh¬ rungsbeispiel verfügt die Trägerplatte (2) über zwei Aus¬ gleichselemente (3,4), an denen jeweils zwei Führungswagen vorgesehen ist. Es ist jedoch auch möglich, vier Ausgleichs¬ elemente (3) vorzusehen, wobei bezüglich jeder Schiene (5) zwei Ausgleichselemente (3) gleicher Art mit jeweils einem Führungswagen (4) an der Trägerplatte (2) angebracht sind. In the in Figs. 5 and 6, the second exporting ¬ approximately example shown has the support plate (2) via two From ¬ equal elements (3,4) on which is provided in each case two carriages. However, it is also possible to provide four Ausgleichs¬ elements (3), wherein with respect to each rail (5) two compensating elements (3) of the same kind, each with a carriage (4) on the support plate (2) are mounted.
Bezugszeichenverzeichnis :Reference Number:
1 Linearmotorläufer1 linear motor rotor
2 mobiles Montageteil/Trägerplatte2 mobile mounting part / carrier plate
3 Ausgleichselement erster Art3 compensation element of the first kind
4 Ausgleichselement zweiter Art4 compensating element of the second kind
5 Führungselement/Führungswagen5 guide element / carriage
6 Schienen6 rails
7 Schienengrund 7 rail ground

Claims

Ansprücheclaims
1) Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers (1) an eine Linearführung , insbesondere in einer Bestückvorrichtung zum Bestücken von Substraten mit Bauelementen, mit einem mobilen Montageteil (2) , an dem der Linearmotorläu¬ fer (1) befestigbar ist, mindestens zwei Führungselementen (5) , mit welchen das mo¬ bile Montageteil (2) mit der Linearführung in Eingriff ge- bracht werden kann , um entlang der Linearführung in einer Bewegungsrichtung beweglich führbar zu sein, dadurch gekennzeichnet, dass1) Device for connecting a linear motor rotor (1) to a linear guide, in particular in a placement device for equipping substrates with components, with a mobile mounting part (2) on which the Linearmotorläu¬ fer (1) can be fastened, at least two guide elements (5 ), with which the mobile mounting part (2) can be brought into engagement with the linear guide in order to be movably guided along the linear guide in a direction of movement, characterized in that
- mindestens ein Ausgleichselement (3) einer ersten Art vor¬ gesehen ist, über welches das mobile Montageteil (2) an einem der mindestens zwei Führungselemente (5) drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd gelagert ist, und- at least one compensating element (3) of a first type is seen vor¬, via which the mobile mounting part (2) on one of the at least two guide elements (5) is pivotally mounted and elastically transversely to the direction of movement, and
- mindestens ein Ausgleichselement (4) einer zweiten Art vorgesehen ist, über welches das mobile Montageteil (2) an einem anderen der mindestens zwei Führungselemente (5) dreh- gelenkig gelagert ist.- At least one compensating element (4) of a second type is provided, via which the mobile mounting part (2) on another of the at least two guide elements (5) is pivotally mounted.
2) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die drehgelenkigen Lagerungen in Drehrichtung federnd sind.2) Device according to claim 1, characterized in that the pivotal bearings are resilient in the direction of rotation.
3) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch ge¬ kennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) so angeordnet sind, dass die Vorrichtung entlang zweier Schienen (6) der Linearführung beweglich führbar ist.3) Device according to one of claims 1 to 2, characterized ge indicates that the compensation elements (3,4) are arranged so that the device along two rails (6) of the linear guide is movable feasible.
4) Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Paare gleichartiger Ausgleichselemente (3,4) vorge¬ sehen sind, wobei jedem Ausgleichselement (3,4) ein Führungs¬ element (5) zugeordnet ist. 5) Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass bezüglich jeder Schiene (6) der Linearführung jeweils ein Paar gleichartiger Ausgleichselemente (3,4) an der Träger- platte (2) vorgesehen sind.4) Device according to claim 1 to 3, characterized in that two pairs of similar compensating elements (3,4) are seen vorge, wherein each compensating element (3,4) is assigned a Führungs¬ element (5). 5) Device according to claim 4, characterized in that with respect to each rail (6) of the linear guide in each case a pair of similar compensation elements (3,4) on the support plate (2) are provided.
6) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge¬ kennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) an den Sei¬ tenflächen des mobilen Montageteils (2) befestigt sind.6) Device according to one of claims 1 to 5, characterized ge indicates that the compensation elements (3,4) on the Sei¬ tenflächen of the mobile mounting part (2) are attached.
7) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge¬ kennzeichnet, dass an dem mobilen Montageteil (2) entspre¬ chende Aussparungen vorgesehen sind, in die die Ausgleichs¬ elemente (3,4) einsetzbar sind.7) Device according to one of claims 1 to 5, characterized ge indicates that on the mobile mounting part (2) corre sponding recesses are provided, in which the Ausgleichs¬ elements (3,4) can be used.
8) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge¬ kennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) und das mobi¬ le Montageteil (2) einstückig gefertigt sind.8) Device according to one of claims 1 to 7, characterized ge indicates that the compensation elements (3,4) and the mobi¬ le mounting part (2) are made in one piece.
9) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch ge¬ kennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) einen Sockel aufweisen, mit dem sie an den Führungselementen (5) befestigt werden. 9) Device according to one of claims 1 to 8, characterized ge indicates that the compensation elements (3,4) have a base with which they are attached to the guide elements (5).
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