EP1684915A1 - Procede et dispositif de traitement en continu de la surface d'un objet allonge - Google Patents

Procede et dispositif de traitement en continu de la surface d'un objet allonge

Info

Publication number
EP1684915A1
EP1684915A1 EP03819014A EP03819014A EP1684915A1 EP 1684915 A1 EP1684915 A1 EP 1684915A1 EP 03819014 A EP03819014 A EP 03819014A EP 03819014 A EP03819014 A EP 03819014A EP 1684915 A1 EP1684915 A1 EP 1684915A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
channel
plasma
elongated object
flow
longitudinal axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP03819014A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Stanislav Begounov
Ioulia Tsvetkova
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of EP1684915A1 publication Critical patent/EP1684915A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/401—Oxides containing silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
    • C23C16/509—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges using internal electrodes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
    • C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06B—TREATING TEXTILE MATERIALS USING LIQUIDS, GASES OR VAPOURS
    • D06B3/00—Passing of textile materials through liquids, gases or vapours to effect treatment, e.g. washing, dyeing, bleaching, sizing, impregnating
    • D06B3/04—Passing of textile materials through liquids, gases or vapours to effect treatment, e.g. washing, dyeing, bleaching, sizing, impregnating of yarns, threads or filaments
    • D06B3/045—Passing of textile materials through liquids, gases or vapours to effect treatment, e.g. washing, dyeing, bleaching, sizing, impregnating of yarns, threads or filaments in a tube or a groove
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
    • D06M10/00—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
    • D06M10/02—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements ultrasonic or sonic; Corona discharge
    • D06M10/025—Corona discharge or low temperature plasma
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
    • D06M10/00—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
    • D06M10/04—Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
    • D06M10/08—Organic compounds
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32733—Means for moving the material to be treated
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/44—Plasma torches using an arc using more than one torch

Definitions

  • the present invention relates to a method for continuously treating the surface of an elongated object, for example a fiber, a wire, a tubular element, a tape or a strip or the like. by means of a plasma flow created by an electrical discharge under ambient pressure, in which said elongated object is continuously scrolled through a channel formed inside a hollow tubular body, at least partially open to its two ends, along a running axis substantially parallel to the longitudinal axis of said channel.
  • an elongated object for example a fiber, a wire, a tubular element, a tape or a strip or the like.
  • It also relates to a device for continuous treatment of the surface of an elongated object, for example a fiber, a wire, a tubular element, a tape or a strip or the like by means of '' a plasma flow created by an electrical discharge under ambient pressure, in which said elongated object is continuously scrolled through a channel formed inside a hollow tubular body, at least partially open at both ends , along a scroll axis substantially parallel to the longitudinal axis of said channel, for the implementation of the method of the invention.
  • an elongated object for example a fiber, a wire, a tubular element, a tape or a strip or the like by means of '' a plasma flow created by an electrical discharge under ambient pressure
  • the invention relates to a use of the method for modifying the physical characteristics of the surface of a threadlike object.
  • the surface treatments carried out successively or simultaneously may for example include cleaning, pickling, surface activation, depositing a film, or any treatment making it possible to modify the physical characteristics of a surface and in particular of a surface of an elongated object of insulating or conductive material, or of a textile material with natural or synthetic fibers.
  • the elongated objects to be treated include all kinds of threads, made of natural or synthetic material, threads made of fibers or filaments mixed or intertwined, threads made of braided fibers for textile or technical use.
  • US Patent 4,397,893 describes a method of treating the surface of a metal rod such as a piston rod, in which a plasma torch oriented towards the rod and arranged perpendicularly to it is moved along this rod, while it is rotated around its axis.
  • This device requires the synchronized movement of a preheating device, the plasma torch and the rod support.
  • a first object of the present invention is to provide a method and a device for treating the surface of an elongated object producing a homogeneous result, in a single operation from all sides of this elongated object, making it possible to use various types of plasma and additives with the aim of being able to carry out different chemical and physical treatments by using plasma and which can be applied to optical fibers, as well as strings, metallic cables or cords.
  • a second object of the present invention is to propose a method and a device of the aforementioned type which is integrated into a production line while modifying the construction and the parameters of this line as little as possible while guaranteeing great safety during the use.
  • a neutral plasma flow is generated by means of a electric discharge generated by a voltage applied between a central electrode and a ground, said neutral plasma flow being generated at a determined angle relative to said longitudinal axis in at least part of said body of the channel, and in that one confines substantially said plasma flow in said part of said channel body at least while said elongated object passes through this part of the channel body.
  • said plasma flow forms an acute angle with respect to said axis of travel of said elongated object.
  • At least said part of said body of the channel is placed in fluid communication with the external atmosphere.
  • said electric discharge is generated by an electric voltage chosen from the group of voltages constituted by the direct, pulsed, alternating voltages of any range of frequencies.
  • said plasma flow is generated by means of a supply conduit connected to said channel in said part of said body of this channel.
  • said plasma is maintained with at least one carrier fluid injected into a device generating said plasma.
  • Said plasma is preferably maintained by means of a carrier fluid which contains a treatment component in an injectable form.
  • Said injectable form can be a gas, a vapor, a mixture of gases and vapor, or a compound comprising a fluid vehicle containing gaseous or solid particles or a mixture of these particles.
  • several plasma streams are generated at determined angles relative to the longitudinal axis of said channel body, said plasma streams are substantially confined respectively in said parts of said channel body and said plasma streams are respectively maintained with specific carrier fluids.
  • the elongated object can circulate in said channel at a speed ranging from a few centimeters / second to several tens of meters / second.
  • the device as defined in the preamble and characterized in that it comprises means for generating a flow of neutral plasma by means of an electric discharge generated by a voltage applied between a central electrode and a ground, means for generating said flow of neutral plasma at a determined angle with respect to said longitudinal axis in at least part of said channel body and means for substantially confining said flow of plasma in said part of said channel body at least while said object elongated crosses this part of the body of the canal.
  • said means for generating a plasma flow at a determined angle with respect to the longitudinal axis of said body of the channel comprises a plasma generating device provided with a supply conduit connected to said channel in said part of said body of this channel, this supply duct forming an angle with the axis of travel of the elongated object.
  • the plasma generating device is preferably arranged to generate the plasma flow by means of an electric discharge made between an electrode and said part of the channel body, this plasma flow being substantially confined between the interior walls of this part. of the body of said channel.
  • the supply duct advantageously forms an angle with the axis of travel of the elongated object of between 0 and 90 degrees and preferably between 30 and 60 degrees.
  • the channel is formed in a tubular body made of a material resistant to the temperature of the plasma flow.
  • the channel is formed in a tubular body made of a material having good thermal conductivity and the outer wall of the body of the channel is cooled.
  • a material having good thermal conductivity e.g., quartz or ceramics, in particular alumina-based ceramics, having good thermal conductivity.
  • the plasma flow can be generated in a laminar manner and so as to reach a speed of propagation of the plasma equal to or greater than that of the movement of the elongated object.
  • the device advantageously includes means for circulating said elongated object at a speed ranging from a few centimeters / second to several tens of meters / second.
  • the same running speed is adopted as the upstream and / or downstream workstations of the production or transformation plant for the elongated object.
  • This device can advantageously include two plasma generating devices oriented so as to direct plasma flows in opposite directions.
  • said channel body comprises separation means arranged to cut the interior of said channel from the outside atmosphere.
  • said channel comprises several parts as well as several plasma generating devices arranged to generate several plasma flows at determined angles relative to the longitudinal axis of said channel body, said plasma flows being respectively confined in said parts of said channel body and each of said respective plasma streams being maintained with specific carrier fluids.
  • a carrier fluid mention may be made of argon, air or nitrogen.
  • the carrier fluid can carry a plasmochemical treatment component, such as oxygen, carbon tetrafluoride, carbon tetrachloride or the like.
  • the channel can be, if necessary, subjected to partial vacuum, by means of a pump, or be placed in a vacuum enclosure or in a controlled atmosphere.
  • FIG. 1 is a schematic view in longitudinal section of a first embodiment of the treatment device according to the invention
  • FIG. 2 shows a schematic view in longitudinal section of a second embodiment of the treatment device according to the invention
  • FIG. 3 shows a schematic view in longitudinal section of a third embodiment of the treatment device according to the invention
  • Figure 4 shows a schematic view in longitudinal section of a fourth mode of execution of the processing device according to the invention.
  • FIG. 5 shows a schematic view in longitudinal section of a fifth embodiment of the treatment device according to the invention.
  • the device 100 comprises a channel 1 formed inside a hollow cylindrical body 2, open at its two ends, made for example from copper or from an insulating or even refractory material.
  • This cylindrical body 2 is electrically connected to a mass T and is equipped with means for generating in channel 1 a flow of neutral plasma by means of an electric discharge generated by a voltage applied between a central electrode and the mass T, so that channel 1 is not crossed by any electrical voltage.
  • the body 2 is connected to a plasma generating device 3 comprising an electrode 4 connected to an electrical energy source 5, itself connected to the ground T.
  • the electrode 4 of the plasma generating device 3 is housed inside an insulator 6 itself mounted in a nozzle 7 connected to the channel 1.
  • This nozzle 7 is preferably arranged in such a way that its longitudinal axis forms an acute angle, for example between 30 and 60 degrees with the axis of channel 1 which is in fact the axis of travel of an elongated object A to be treated, partially shown and arranged along the axis of channel 1.
  • the source of electrical energy 5 can be a voltage generator or an alternating voltage generator.
  • the plasma generating device 3 is connected to the channel 1 via a supply duct 8 whose axis is inclined relative to the axis of the channel 1. In this supply duct 8 opens a duct d injection 9 of a carrier fluid which may be a treatment gas or any vapor or carrier fluid loaded with solid particles etc.
  • the portion of the elongated object A passing through the channel 1 is maintained in a substantially central position using guides 11 integrated in the channel, as well as using tensioning devices and driving devices external to said channel.
  • channel (not shown), such as those used in the textile industry to pass a thread through a succession of processing stations, which are arranged outside of channel 1 and allow to maintain a portion of the elongated object A, for example of a wire, taut and animated with a movement of movement in the longitudinal direction of the channel.
  • the displacement can be done in the right-left direction or the left-right direction depending on the type of treatment to be applied.
  • the plasma generating device 3 generates a neutral plasma flow which is transmitted through the supply duct 8 and which is then located in a part 10 of the channel in which the plasma is confined.
  • the portion of the elongated object A, the surface of which is to be treated is completely immersed in the plasma when it travels inside the channel 1.
  • the substance that may be necessary for the treatment can be added to the plasma. either by direct injection or by means of a carrier fluid through the injection pipe 9. This substance is chosen according to the treatment carried out, namely cleaning, pickling, surface deposition.
  • FIG. 2 is a longitudinal section of a second embodiment of the processing device according to the invention.
  • Channel 1 comprises in particular two parts 10a and 10b in which the plasma is confined and which are each associated with their own plasma generator device 3 identical to that described with reference to FIG. 1.
  • the sources of electrical energy 5 respectively associated with the two generating devices are identical to the source of electrical energy 5 of the device of FIG. 1 and provide the same voltage, and that the elongated object A passes through the channel 1 at the same speed
  • this device allows, under identical processing conditions, to double the contact time between this object and the plasma or, conversely, for an equal contact time between the object and the plasma, this device makes it possible to double the speed of movement of the object .
  • Figure 3 is a longitudinal sectional view of a third mode of execution of the processing device according to the invention.
  • the channel 1 is provided with two plasma generating devices 3 oriented so as to fill with plasma part 10 of the channel in which the plasma is confined in order to increase the plasma density and therefore to increase the speed of treatment by increasing the speed of passage of the elongated object A.
  • This embodiment also allows a treatment which requires the use of substances which cannot be mixed directly before being injected into the plasma, but which must be necessarily present at the same time on a surface of the elongated object for successful treatment. In this case these substances are injected into the plasma through the injection conduits 9.
  • the plasma generating devices 3 are associated with two sources of electrical energy 5 which deliver electrical voltages which may be identical or different depending on the 'application.
  • Figure 4 is a longitudinal sectional view of a fourth embodiment of the processing device 100 according to the invention.
  • the channel 1 is equipped at the ends with separation devices 12 intended to isolate from the ambient atmosphere a part 10 in which the plasma is confined.
  • These separation devices represent kinds of buffer volumes which can be pressurized or vacuumed by openings 13 and 14. They are arranged for example to isolate the elongated object A passing through said channel 1 from the rest of the external atmosphere by compared to that of the interior of channel 1 and of part 10 which is the treatment zone.
  • This arrangement also makes it possible to graft molecules of a substance onto the surface of the elongated object or to carry out the two operations consecutively if two separation devices are installed in series.
  • FIG. 5 represents a longitudinal section of a fifth embodiment of the treatment device 100 according to the invention.
  • the treatment zone constituted by the part 10 in which the plasma is confined, is filled with the plasma created by two plasma generating devices 3 arranged so as to direct the plasma at a determined angle with respect to to channel 1 in the directions of propagation of the plasma opposite to each other, which makes it possible to widen the treatment area.
  • the injection conduits 9 described above can be used.
  • Other complementary injection conduits 15 make it possible to deliver directly to the treatment zone, substances necessary for treatment or to use substances which are too sensitive to the plasma medium and which could, in the case of a standard injection process in plasma, be destroyed before they produce the expected effects on a surface of the elongated object being treated.
  • the voltages delivered by the energy sources 5 can all be different or identical depending on the application.
  • the processing device can be the subject of numerous other modifications without departing from the scope of the invention.
  • the body 2 can be made of two elements capable of being separated and which are, in the longitudinal direction, in the form of an open gutter and a cover of complementary shape and dimensions in order to define between them the channel for the passage of the object to be treated.
  • the method and the device according to the invention make it possible to treat various elongated objects, in particular filiform objects with a very low plasma volume. This small volume results in very low consumption of electrical energy and process gas for the creation of the plasma.
  • the device being connected to ground, it can be used for the treatment of metallic wires, and in particular conductive wires, in complete safety.
  • Example 1 As examples, some uses of the device of the invention for the treatment of an elongated object will be described below.
  • Example 1
  • This example shows the use of the device used in its first mode to carry out a treatment by surface burn of cotton threads.
  • This example uses the device according to the invention in its first embodiment for stripping part of the surface of a synthetic yarn.
  • This example uses the device in its first embodiment to deposit a layer of SiOx on the surface of a synthetic yarn.
  • Process parameters Alternating current energy (13.56 MHz) Argon carrier gas

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Treatment Of Fiber Materials (AREA)
  • Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)

Abstract

Le procEdE et le dispositif concernent le traitement de surface en continu de la surface d'un objet allongE filiforme au moyen d'un plasma crEE par une dEcharge Electrique sous pression ambiante. Le dispositif (100) comprend un corps tubulaire (2), dans lequel est mEnagE un canal (1) au moins partiellement ouvert A ses deux extrEmitEs pour le passage de l'objet allongE (A) selon un axe de dEfilement sensiblement parallEle A l'axe longitudinal du canal (1), des moyens (3) pour gEnErer un flux de plasma neutre sous un angle dEterminE par rapport A l'axe longitudinal dans au moins une partie (10) du corps (2), et des moyens pour confiner le flux de plasma dans cette partie (10) au moins pendant que l'objet allongE traverse cette partie du corps du canal. Le dispositif permet aussi de varier l'effet du traitement en ajoutant des additifs nEcessaires dans le plasma et/ou directement dans une zone de traitement et en utilisant les diffErentes zones du plasma contenant des particules dotEes de diffErent niveau d'Energie.

Description

PROCEDE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT EN CONTINU DE LA SURFACE D'UN OBJET ALLONGE
Domaine technique La présente invention concerne un procédé de traitement en continu de la surface d'un objet allongé, par exemple d'une fibre, d'un fil, d'un élément tubulaire, d'un ruban ou d'une bande ou similaire au moyen d'un flux de plasma créé par une décharge électrique sous pression ambiante, dans lequel l'on fait défiler en continu ledit objet allongé à travers un canal ménagé à l'intérieur d'un corps tubulaire creux, au moins partiellement ouvert à ses deux extrémités, selon un axe de défilement sensiblement parallèle à l'axe longitudinal dudit canal.
Elle concerne également un dispositif de traitement en continu de la surface d'un objet allongé, par exemple d'une fibre, d'un fil, d'un élément tubulaire, d'un ruban ou d'une bande ou similaire au moyen d'un flux de plasma créé par une décharge électrique sous pression ambiante, dans lequel l'on fait défiler en continu ledit objet allongé à travers un canal ménagé à l'intérieur d'un corps tubulaire creux, au moins partiellement ouvert à ses deux extrémités, selon un axe de défilement sensiblement parallèle à l'axe longitudinal dudit canal, pour la mise en œuvre du procédé de l'invention.
L'invention concerne enfin une utilisation du procédé pour modifier les caractéristiques physiques de la surface d'un objet filiforme.
Technique antérieure
Les traitements de surface effectués de façon successive ou simultanée peuvent par exemple englober un nettoyage, un décapage, une activation de surface, un dépôt d'un film, ou tout traitement permettant de modifier les caractéristiques physiques d'une surface et en particulier d'une surface d'un objet allongé en matière isolante ou conductrice, ou en un matériau textile à fibres naturelles ou synthétiques. Les objets allongés à traiter comprennent toutes sortes de fils, en matériau naturel ou synthétique, des fils constitués de fibres ou de filaments mêlés ou entrelacés, des fils constitués de fibres tressées à usage textile ou technique.
Le brevet US 4.397.893 décrit un procédé de traitement de la surface d'une tige métallique telle qu'une tige de piston, dans lequel une torche de plasma orientée vers la tige et disposée perpendiculairement à elle est déplacée le long de cette tige, pendant qu'elle est mise en rotation autour de son axe. Ce dispositif nécessite le déplacement synchronisé d'un dispositif de préchauffage, de la torche à plasma et du support de la tige. La faible vitesse d'exécution du procédé dans la direction longitudinale de la tige liée à la nécessité de faire tourner celle-ci autour de son axe, rend ce procédé incompatible avec la plupart des lignes de production industrielle de fils et produits similaires.
Exposé de l'invention
Un premier but de la présente invention est de proposer un procédé ainsi qu'un dispositif de traitement de la surface d'un objet allongé produisant un résultat homogène, en une seule opération de tous les côtés de cet objet allongé, permettant d'utiliser divers types de plasma et d'additifs avec le but de pouvoir effectuer différents traitements chimiques et physiques par utilisation de plasma et qui peut s'appliquer à des fibres optiques, ainsi que des ficelles, des câbles métalliques ou des cordons.
Un deuxième but de la présente invention est de proposer un procédé et un dispositif du type précité qui s'intègre dans une ligne de production en modifiant le moins possible la construction et les paramètres de cette ligne tout en garantissant une grande sécurité lors de l'utilisation.
Ces buts sont atteints grâce au procédé tel que défini en préambule et caractérisé en ce que l'on génère un flux de plasma neutre au moyen d'une décharge électrique générée par une tension appliquée entre une électrode centrale et une masse, ledit flux de plasma neutre étant généré sous un angle déterminé par rapport audit axe longitudinal dans au moins une partie dudit corps du canal, et en ce que l'on confine sensiblement ledit flux de plasma dans ladite partie dudit corps du canal au moins pendant que ledit objet allongé traverse cette partie du corps du canal.
Selon un mode de réalisation préféré, ledit flux de plasma forme un angle aigu par rapport audit axe de défilement dudit objet allongé.
De façon avantageuse, l'on met au moins ladite partie dudit corps du canal en communication fluide avec l'atmosphère extérieure.
L'on choisit de façon appropriée en fonction des applications ladite décharge électrique est générée par une tension électrique choisie parmi le groupe de tensions constitué par les tensions continues, puisées, alternatives de toute gamme de fréquences.
Selon une manière de procéder particulièrement efficace, l'on génère ledit flux de plasma au moyen d'un conduit d'amenée connecté audit canal dans ladite partie dudit corps de ce canal.
Pour réaliser des traitements spécifiques, l'on entretient ledit plasma par au moins un fluide porteur injecté dans un dispositif générateur dudit plasma. L'on entretient de préférence ledit plasma au moyen d'un fluide porteur qui contient une composante de traitement sous une forme injectable. Ladite forme injectable peut être un gaz, une vapeur, un mélange de gaz et de vapeur, ou un composé comportant un véhicule fluide contenant des particules gazeuses ou solides ou un mélange de ces particules.
Selon une variante particulièrement avantageuse, l'on génère plusieurs flux de plasma sous des angles déterminés par rapport à l'axe longitudinal dudit corps du canal, l'on confine sensiblement lesdits flux de plasma respectivement dans lesdites parties dudit corps du canal et l'on entretient respectivement lesdits flux de plasma avec des fluides porteurs spécifiques.
Selon l'application, on peut faire circuler l'objet allongé dans ledit canal à une vitesse allant de quelques centimètres/seconde à plusieurs dizaines de mètres/seconde.
Ces buts sont également atteints grâce au dispositif tel que défini en préambule et caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour générer un flux de plasma neutre au moyen d'une décharge électrique générée par une tension appliquée entre une électrode centrale et une masse, des moyens pour générer ledit flux de plasma neutre sous un angle déterminé par rapport audit axe longitudinal dans au moins une partie dudit corps du canal et des moyens pour confiner sensiblement ledit flux de plasma dans ladite partie dudit corps du canal au moins pendant que ledit objet allongé traverse cette partie du corps du canal.
Selon un mode de construction préféré, lesdits moyens pour générer un flux de plasma sous un angle déterminé par rapport à l'axe longitudinal dudit corps du canal comportent un dispositif générateur de plasma pourvu d'un conduit d'amenée connecté audit canal dans ladite partie dudit corps de ce canal, ce conduit d'amenée formant un angle avec l'axe de défilement de l'objet allongé.
Le dispositif générateur de plasma est de préférence agencé pour engendrer le flux de plasma à l'aide d'une décharge électrique faite entre une électrode et ladite partie du corps du canal, ce flux de plasma étant sensiblement confiné entre les parois intérieures de cette partie du corps dudit canal.
Le conduit d'amenée forme avantageusement un angle avec l'axe de défilement de l'objet allongé compris entre 0 et 90 degrés et de préférence compris entre 30 et 60 degrés.
Selon un premier mode de construction, le canal est ménagé dans un corps tubulaire réalisé en un matériau résistant à la température du flux de plasma.
Selon un second mode de construction, le canal est ménagé dans un corps tubulaire réalisé en un matériau ayant une bonne conductivité thermique et on procède au refroidissement de la paroi extérieure du corps du canal. Parmi les matériaux utilisables on peut citer le quartz ou des céramiques, en particulier de céramiques à base d'alumine, présentant une bonne conductibilité thermique.
Le flux de plasma peut être généré de manière laminaire et de manière à atteindre une vitesse de propagation du plasma égale ou supérieure à celle du défilement de l'objet allongé.
Le dispositif comporte avantageusement des moyens pour faire circuler ledit objet allongé à une vitesse allant de quelques centimètres/seconde à plusieurs dizaines de mètres/seconde. De préférence, on adopte la même vitesse de défilement que les postes de travail amont et/ou aval de l'usine de production ou de transformation de l'objet allongé.
Ce dispositif peut avantageusement comporter deux dispositifs générateurs de plasma orientés de manière à diriger des flux de plasma dans des directions opposées.
Pour certaines applications, ledit corps du canal comporte des moyens de séparation agencés pour couper l'intérieur dudit canal de l'atmosphère extérieure.
Il est également possible d'associer le conduit d'amenée du générateur de plasma à un conduit d'injection de fluide porteur. Selon une variante particulièrement avantageuse, ledit canal comporte plusieurs parties ainsi que plusieurs dispositifs générateurs de plasma agencés pour générer plusieurs flux de plasma sous des angles déterminés par rapport à l'axe longitudinal dudit corps du canal, lesdits flux de plasma étant respectivement confinés dans lesdites parties dudit corps du canal et chacun desdits flux de plasma respectifs étant entretenu avec des fluides porteurs spécifiques. A titre d'exemple non limitatif de fluide porteur on peut citer l'argon, l'air ou l'azote. Le fluide porteur peut véhiculer une composante de traitement plasmo-chimique, telle que l'oxygène, le tétrafluorure de carbone, le tétrachlorure de carbone ou similaires.
Le canal peut être, si nécessaire, soumis au vide partiel, au moyen d'une pompe, ou être placé dans une enceinte à vide ou dans une atmosphère contrôlée.
Description sommaire des dessins
D'autres caractéristiques du procédé et du dispositif selon ['invention ressortiront de la description ci-dessous, montrant plusieurs modes de construction du dispositif ainsi que des exemples d'applications du procédé, en se référant aux dessins annexés, dans lesquels:
la figure 1 est une vue schématique en coupe longitudinale d'un premier mode d'exécution du dispositif de traitement selon l'invention,
la figure 2 montre une vue schématique en coupe longitudinale d'un deuxième mode d'exécution du dispositif de traitement selon l'invention,
la figure 3 montre une vue schématique en coupe longitudinale d'un troisième mode d'exécution du dispositif de traitement selon l'invention,
la figure 4 montre une vue schématique en coupe longitudinale d'un quatrième mode d'exécution du dispositif de traitement selon l'invention, et
la figure 5 montre une vue schématique en coupe longitudinale d'un cinquième mode d'exécution du dispositif de traitement selon l'invention.
Meilleures manières de réaliser l'invention
En référence à la figure 1 , le dispositif 100 comporte un canal 1 ménagé à l'intérieur d'un corps 2 cylindrique creux, ouvert à ses deux extrémités, réalisé par exemple en cuivre ou en un matériau isolant, voire réfractaire. Ce corps cylindrique 2 est électriquement relié à une masse T et est équipé de moyens pour générer dans le canal 1 un flux de plasma neutre au moyen d'une décharge électrique générée par une tension appliquée entre une électrode centrale et la masse T, afin que le canal 1 ne soit traversé par aucune tension électrique. A cet effet, le corps 2 est relié à un dispositif générateur de plasma 3 comportant une électrode 4 connectée à une source d'énergie électrique 5, elle-même reliée à la masse T. L'électrode 4 du dispositif générateur de plasma 3 est logée à l'intérieur d'un isolateur 6 lui-même monté dans un embout 7 raccordé au canal 1. Cet embout 7 est de préférence disposé de telle manière que son axe longitudinal forme un angle aigu, par exemple compris entre 30 et 60 degrés avec l'axe du canal 1 qui est en fait l'axe de défilement d'un objet allongé A à traiter, partiellement représenté et disposé selon l'axe du canal 1. La source d'énergie électrique 5 peut être un générateur de tension continue ou un générateur de tension alternative. Le dispositif générateur de plasma 3 est connecté au canal 1 par l'intermédiaire d'un conduit d'amenée 8 dont l'axe est incliné par rapport à l'axe du canal 1. Dans ce conduit d'amenée 8 débouche un conduit d'injection 9 d'un fluide porteur qui peut être un gaz de traitement ou une vapeur ou un fluide porteur quelconque chargé de particules solides etc.
La portion de l'objet allongé A traversant le canal 1 est maintenue en position sensiblement centrale à l'aide de guides 11 intégrés dans le canal, ainsi qu'à l'aide de dispositifs de tension et de dispositifs d'entraînement extérieurs audit canal (non représentés), tels que ceux utilisés dans l'industrie textile pour faire défiler un fil à travers une succession de postes de traitement, qui sont disposés à l'extérieur du canal 1 et permettent de maintenir une portion de l'objet allongé A, par exemple d'un fil, tendue et animée d'un mouvement de défilement dans la direction longitudinale du canal. Le déplacement peut se faire dans la direction droite-gauche ou la direction gauche-droite selon le type de traitement à appliquer.
Le dispositif générateur de plasma 3 génère un flux de plasma neutre qui est transmis par le conduit d'amenée 8 et qui est ensuite localisé dans une partie 10 du canal dans laquelle le plasma est confiné. De ce fait, la portion de l'objet allongé A, dont la surface est à traiter, est plongée entièrement dans le plasma lors de son défilement à l'intérieur du canal 1. La substance éventuellement nécessaire au traitement peut être ajoutée dans le plasma soit par injection directe soit au moyen d'un fluide porteur à travers le conduit d'injection 9. Cette substance est choisie selon le traitement effectué, à savoir un nettoyage, un décapage, un dépôt en surface.
La figure 2 est une coupe longitudinale d'un deuxième mode d'exécution du dispositif de traitement selon l'invention. Le canal 1 comporte en particulier deux parties 10a et 10b dans lesquelles le plasma est confiné et qui sont chacune associées à leur propre dispositif générateur de plasma 3 identique à celui décrit en référence à la figure 1. En admettant que les sources d'énergie électrique 5 respectivement associées aux deux dispositifs générateurs soient identiques à la source d'énergie électrique 5 du dispositif de la figure 1 et fournissent la même tension, et que l'objet allongé A défile dans le canal 1 à la même vitesse, ce dispositif permet, dans des conditions identiques de traitement, de doubler le temps de contact entre cet objet et le plasma ou, inversement, à durée de contact égale entre l'objet et le plasma, ce- dispositif permet de doubler la vitesse de défilement de l'objet.
La figure 3 est une vue en coupe longitudinale d'un troisième mode d'exécution du dispositif de traitement selon l'invention. Le canal 1 est pourvu de deux dispositifs générateurs de plasma 3 orientés de manière à remplir de plasma une partie 10 du canal dans laquelle le plasma est confiné dans le but d'augmenter la densité de plasma et donc de permettre d'accroître la vitesse de traitement en augmentant la vitesse de passage de l'objet allongé A. Ce mode d'exécution permet aussi un traitement qui nécessite l'utilisation de substances qui ne peuvent pas être mélangées directement avant d'être injectées dans le plasma, mais qui doivent être nécessairement présentes en même temps sur une surface de l'objet allongé pour réussir le traitement. Dans ce cas ces substances sont injectées dans le plasma à travers les conduits d'injection 9. Les dispositifs générateurs de plasma 3 sont associés à deux sources d'énergie électrique 5 qui délivrent des tensions électriques qui peuvent être identiques ou différentes en fonction de l'application.
La figure 4 est une vue en coupe longitudinale d'un quatrième mode d'exécution du dispositif de traitement 100 selon l'invention. Dans cette variante, le canal 1 est équipé aux extrémités de dispositifs de séparation 12 destinés à isoler de l'atmosphère ambiante une partie 10 dans laquelle le plasma est confiné. Ces dispositifs de séparation représentent des sortes de volumes tampons qui peuvent être mis en surpression ou sous vide par des ouvertures 13 et 14. Ils sont agencés par exemple pour isoler l'objet allongé A traversant ledit canal 1 du reste de l'atmosphère extérieure par rapport à celle de l'intérieur du canal 1 et de la partie 10 qui est la zone de traitement. Cette disposition permet également de greffer des molécules d'une substance à la surface de l'objet allongé ou d'effectuer les deux opérations consécutivement si on installe deux dispositifs de séparation en série.
La figure 5 représente une coupe longitudinale d'un cinquième mode d'exécution du dispositif de traitement 100 selon l'invention. La zone de traitement, constituée par la partie 10 dans laquelle le plasma est confiné, est remplie du plasma créé par deux dispositifs générateurs de plasma 3 disposés de manière à diriger le plasma sous un angle déterminé par rapport au canal 1 dans les directions de propagation du plasma opposées l'une par rapport à l'autre, ce qui permet d'élargir la zone de traitement. Pour amener des substances nécessaires au traitement vers cette zone de traitement on peut utiliser les conduits d'injection 9 décrits précédemment. D'autres conduits d'injection complémentaires 15 permettent de délivrer directement dans la zone de traitement, des substances nécessaires au traitement ou d'utiliser des substances trop sensibles au milieu plasmatique et qui pourraient, dans le cas d'un processus standard d'injection dans le plasma, être détruites avant qu'elles ne produisent les effets attendus sur une surface de l'objet allongé traité.
Les tensions délivrées par les sources d'énergie 5 peuvent être toutes différentes ou identiques en fonction de l'application.
Le dispositif de traitement selon l'invention peut faire l'objet de nombreuses autres modifications sans sortir du cadre de l'invention. Notamment, pour faciliter la construction, le corps 2 peut être réalisé en deux éléments susceptibles d'être séparés et qui se présentent, selon la direction longitudinale, sous la forme d'une gouttière ouverte et d'un couvercle de forme et de dimensions complémentaires afin de définir entre eux le canal pour le passage de l'objet à traiter.
Le procédé et le dispositif selon l'invention permettent de traiter des objets allongés variés, notamment des objets filiformes avec un volume de plasma très faible. Ce petit volume entraîne une consommation d'énergie électrique et de gaz de traitement très faible pour la création du plasma. En outre, le dispositif étant relié à la masse, il peut être utilisé pour le traitement de fils métalliques, et en particulier de fils conducteurs, en toute sécurité.
A titre d'exemples, quelques utilisations du dispositif de l'invention pour le traitement d'un objet allongé seront décrites ci-dessous. Exemple 1
Cet exemple montre l'utilisation du dispositif utilisé dans son première mode pour effectuer un traitement par brûlure superficielle de fils en coton.
Paramètres du procédé:
Energie courant alternatif (20 kHz)
Tension électrique appliquée au plasma 500 V
Gaz porteur-traiteur Air
Débit de gaz porteur-traiteur 2 l/min
Vitesse de défilement du fil 10 m/sec
Résultat - le traitement est plus de trois fois plus efficace que le procédé standard utilisant la flamme.
Exemple 2
Cet exemple utilise le dispositif selon l'invention dans son premier mode de réalisation pour effectuer un décapage d'une partie de la surface d'un fil synthétique.
Paramètres du procédé:
Energie courant continu
Tension électrique appliquée au plasma 800 V Gaz porteur Azote
Gaz traiteur Oxygène
Débit de gaz porteur 2,5 l/min
Débit de gaz traiteur 1 l/min
Vitesse de défilement du fil 10 m/sec Résultat - le traitement a permis d'enlever 10% du poids total du fil synthétique en créant des craquelures à sa surface.
Exemple 3
Cet exemple utilise le dispositif dans son premier mode de réalisation pour effectuer un dépôt d'une couche de SiOx sur la surface d'un fil synthétique. Paramètres du procédé: Energie courant alternatif (13,56 MHz) Gaz porteur Argon
Gaz traiteur Oxygène + CθH1θNSi2 (vapeur)
Débit de gaz porteur 2 l/min
Débit de gaz traiteur 0,2 l/min
Vitesse de défilement du fil 5 m/sec
Résultat - le traitement a permis d'obtenir une couche de SiOx (x=1 ,8 - 2,2) ayant une épaisseur d'environ 0,1 micromètre.

Claims

Revendications
1. Procédé de traitement en continu de la surface d'un objet allongé, par exemple d'une fibre, d'un fil, d'un élément tubulaire, d'un ruban ou d'une bande ou similaire au moyen d'un flux de plasma créé par une décharge électrique sous pression ambiante, dans lequel l'on fait défiler en continu ledit objet allongé à travers un canal ménagé à l'intérieur d!un corps tubulaire creux, au moins partiellement ouvert à ses deux extrémités, selon un axe de défilement sensiblement parallèle à l'axe longitudinal dudit canal, ce procédé étant caractérisé en ce que l'on génère un flux de plasma neutre au moyen d'une décharge électrique générée par une tension appliquée entre une électrode centrale et une masse, ledit flux de plasma neutre étant généré sous un angle déterminé par rapport audit axe longitudinal dans au moins une partie dudit corps du canal, et en ce que l'on confine sensiblement ledit flux de plasma dans cette partie dudit corps du canal au moins pendant que ledit objet allongé traverse cette partie du corps du canal.
2. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que ledit flux de plasma forme un angle aigu par rapport audit axe de défilement dudit objet allongé (A).
3. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que l'on met au moins ladite partie (10) dudit corps (2) du canal (1) en communication fluide avec l'atmosphère extérieure.
4. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que ladite décharge électrique est générée par une tension électrique choisie parmi le groupe de tensions constitué par les tensions continues, puisées, alternatives de toute gamme de fréquences.
5. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que l'on génère ledit flux de plasma au moyen d'un conduit d'amenée (8) connecté à ladite partie dudit corps de ce canal.
6. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que l'on entretient ledit plasma par au moins un fluide porteur injecté dans un dispositif générateur dudit plasma.
7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'on entretient ledit plasma au moyen d'un fluide porteur qui contient un composant de traitement plasmo-chimique sous une forme injectable.
8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que ladite forme injectable est un gaz, une vapeur, un mélange de gaz et de vapeur, ou un composé comportant un véhicule fluide contenant des particules gazeuses ou solides ou un mélange de ces particules.
9. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que l'on définit plusieurs parties du corps du canal, en ce que l'on génère plusieurs flux de plasma sous des angles déterminés par rapport à l'axe longitudinal de ce corps du canal, en ce que l'on confine sensiblement lesdits flux de plasma respectivement dans lesdites parties dudit corps du canal, et en ce que l'on entretient respectivement lesdits flux de plasma avec des fluides porteurs spécifiques.
10. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que l'on fait circuler l'objet allongé (A) dans ledit canal (1) à une vitesse allant de quelques centimètres/seconde à plusieurs dizaines de mètres/seconde.
11. Dispositif de traitement de surface en continu de la surface d'un objet allongé, par exemple d'une fibre, d'un fil, d'un élément tubulaire, d'un ruban ou d'une bande ou similaire au moyen d'un flux de plasma créé par une décharge électrique sous pression ambiante, comprenant un canal (1 ), ménagé à l'intérieur d'un corps tubulaire creux au moins partiellement ouvert à ses deux extrémités, agencé pour permettre un passage dudit objet allongé (A) selon un axe de défilement sensiblement parallèle à l'axe longitudinal dudit canal, pour la mise en œuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, ce dispositif (100) étant caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour générer un flux de plasma neutre au moyen d'une décharge électrique générée par une tension appliquée entre une électrode centrale et une masse, des moyens pour générer ledit flux de plasma neutre sous un angle déterminé par rapport audit axe longitudinal dans au moins une partie dudit corps du canal (1), et des moyens pour confiner sensiblement ledit flux de plasma dans cette partie (10) dudit corps du canal au moins pendant que ledit objet allongé (A) traverse cette partie du corps du canal.
12. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce que lesdits moyens pour générer un flux de plasma sous un angle déterminé par rapport à l'axe longitudinal dudit corps du canal comportent un dispositif générateur de plasma (3) pourvu d'un conduit d'amenée (8) connecté audit canal (1) dans ladite partie (10) dudit corps de ce canal, ce conduit d'amenée formant un angle avec l'axe de défilement de l'objet allongé (A). "
13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que le dispositif générateur de plasma (3) est agencé pour engendrer le flux de plasma à l'aide d'une décharge électrique faite entre une électrode (4) et ladite partie (10) du corps (2) du canal (1), ce flux de plasma étant sensiblement confiné entre les parois intérieures de cette partie (10) du corps dudit canal.
14. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que le conduit d'amenée (8) du dispositif générateur de plasma (3) forme un angle avec l'axe de défilement de l'objet allongé (A) compris entre 0 et 90 degrés et de préférence compris entre 30 et 60 degrés.
15. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce que le canal (1) est ménagé dans un corps tubulaire (2) réalisé en un matériau résistant à la température du flux de plasma.
16. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce que le canal (1) est ménagé dans un corps tubulaire (2) réalisé en un matériau ayant une bonne conductivité de thermique, et en ce que la paroi extérieure dudit canal (1) est refroidie.
17. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce que le flux de plasma est généré de manière laminaire et de manière à atteindre une vitesse de propagation égale ou supérieure à celle du défilement de l'objet allongé (A).
18. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour faire circuler ledit objet allongé (A) à une vitesse allant de quelques centimètres/seconde à plusieurs dizaines de mètres/seconde.
19. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce qu'il comporte deux dispositifs générateurs de plasma (3) orientés de manière à diriger des flux de plasma dans les directions opposées.
20. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce que ledit canal (1) comporte des moyens de séparation (12) agencés pour couper l'intérieur dudit canal (1) de l'atmosphère extérieure.
21. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que ledit conduit d'amenée (8) du générateur de plasma (3) est associé à un conduit d'injection (9) de fluide porteur.
22. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce que ledit canal (1) comporte plusieurs parties (10a, 10b), ainsi que plusieurs dispositifs générateurs de plasma (3) agencés pour générer plusieurs flux de plasma sous des angles déterminés par rapport à l'axe longitudinal dudit corps du canal, lesdits flux de plasma étant respectivement confinés dans lesdites parties (10a, 10b) dudit corps du canal et chacun desdits flux de plasma respectifs étant entretenu avec des fluides porteurs spécifiques.
23. Dispositif selon la revendication 11 , caractérisé en ce que ledit canal (1) comporte des moyens (13, 14, 15) pour permettre de le soumettre au vide partiel ou à une atmosphère contrôlée.
24. Utilisation du procédé selon l'une des revendications 1 à 10 pour modifier les caractéristiques physiques de la surface d'un objet filiforme.
EP03819014A 2003-11-18 2003-11-18 Procede et dispositif de traitement en continu de la surface d'un objet allonge Withdrawn EP1684915A1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/CH2003/000763 WO2005049226A1 (fr) 2003-11-18 2003-11-18 Procede et dispositif de traitement en continu de la surface d'un objet allonge

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1684915A1 true EP1684915A1 (fr) 2006-08-02

Family

ID=34596910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03819014A Withdrawn EP1684915A1 (fr) 2003-11-18 2003-11-18 Procede et dispositif de traitement en continu de la surface d'un objet allonge

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20070128375A1 (fr)
EP (1) EP1684915A1 (fr)
JP (1) JP2007524004A (fr)
AU (1) AU2003275902A1 (fr)
CA (1) CA2546411A1 (fr)
WO (1) WO2005049226A1 (fr)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5603826B2 (ja) * 2011-04-28 2014-10-08 名古屋メッキ工業株式会社 繊維材料の表面処理用筒状器具及びこれを用いた繊維材料の表面処理方法
US10588183B2 (en) 2015-01-09 2020-03-10 Illinois Tool Works Inc. Inline plasma-based system and method for thermal treatment of continuous products
WO2016111705A1 (fr) 2015-01-09 2016-07-14 Illinois Tool Works Inc. Système en ligne à base d'un laser et procédé de traitement thermique de produits continus
JP6777909B2 (ja) * 2016-04-20 2020-10-28 康男 小澤 表面改質処理材料の製造方法、および表面改質処理材料の製造装置
EP3586954B1 (fr) * 2018-06-22 2023-07-19 Molecular Plasma Group SA Procédé et appareil améliorés de dépôt de revêtement sur un substrat par jet de plasma à pression atmosphérique

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3824398A (en) * 1971-08-12 1974-07-16 Celanese Corp Method for plasma treatment of substrates
US4397893A (en) * 1981-09-08 1983-08-09 Bottoms Clifford C System for flame spray coating of a rod
JP2803017B2 (ja) * 1993-06-07 1998-09-24 工業技術院長 抗血栓性医用材料及び医療用具並びにこれらの製造方法、製造装置及びプラズマ処理装置
EP1115141A1 (fr) * 2000-01-06 2001-07-11 TePla AG Procédé et dispositif de traitement de surface d'un corps filiforme

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2005049226A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
CA2546411A1 (fr) 2003-11-18
US20070128375A1 (en) 2007-06-07
WO2005049226A1 (fr) 2005-06-02
JP2007524004A (ja) 2007-08-23
AU2003275902A1 (en) 2005-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3068725B1 (fr) Procede de fabrication au defile et en continu de nanostructures alignees sur un support et dispositif associe
FR2762667A1 (fr) Dispositif et procede de traitement thermique
FR2458973A1 (fr) Procede et appareil de pulverisation de matiere sur un substrat a l'arc plasma
CA2098652A1 (fr) Dispositif de formation de molecules gazeuses excitees ou instables et utilisations d'un tel dispositif
EP0506552A1 (fr) Procédé pour traiter par exemple la surface d'un substrat par projection d'un flux de plasma, et dispositif pour la mise en oeuvre du procédé
CA2424891A1 (fr) Procede de traitement par plasma atmospherique de materiaux conducteurs d'electricite et dispositif pour sa mise en oeuvre
CA3046528A1 (fr) Reacteur modulaire pour le depot assiste par plasma microonde
EP2922626B1 (fr) Dispositif pour la synthese de nanoparticules de type coeur-coquille par pyrolyse laser et procede associe.
WO2005049226A1 (fr) Procede et dispositif de traitement en continu de la surface d'un objet allonge
EP0914241B1 (fr) Procede de traitement de surface par voie seche et dispositif pour la mise en oeuvre d'un tel procede
WO1995016801A1 (fr) Utilisation d'un appareil de formation de gaz excite
CA2429393A1 (fr) Perfectionnement aux procedes de densification par calefaction d'une structure poreuse
WO2002091809A2 (fr) Procede et dispositif de generation d'un rideau de gaz active pour traitement de surface
EP1072175A1 (fr) Procede de traitement de surface d'un materiau ou d'un objet et dispositif pour la mise en oeuvre du procede
WO2001050495A1 (fr) Procede et dispositif de traitement de surface d'un corps filiforme
FR2816726A1 (fr) Installation dans laquelle est realisee une operation necessitant un controle de l'atmosphere a l'interieur d'une enceinte
WO2011161251A1 (fr) Dispositif pour la generation d'un jet de plasma
EP0522986A1 (fr) Dispositif et procédé de dépot de diamant par DCPV assisté par plasma microonde
WO2013110963A1 (fr) Appareil et procédé de revêtement d'un substrat métallique en défilement
CA2005443C (fr) Dispositif de distribution d'un solide pulverulent en suspension dans un gaz sur un substrat en defilement
WO2023194563A1 (fr) Système et procédé de traitement de surface de matériaux
EP0013237A1 (fr) Procédé et dispositif pour la fabrication de fibres au moyen de courants gazeux, à partir d'une matière étirable
FR2692819A1 (fr) Perfectionnements au dispositif enducteur et/ou imprégnateur d'un produit liquide ou pâteux sur une nappe de matériau en défilement continu.
CA2897247A1 (fr) Procede de preparation d'un materiau allonge muni de nanostructures de carbone greffees, appareil et produit associes
WO1997024470A1 (fr) Procede de revetement d'un substrat en metal

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20060520

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
17Q First examination report despatched

Effective date: 20080123

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20080603