EP1544866A1 - Kreisförmig ausgebildeter Röntgenstrahlzerhacker, welcher eine Hin- und Herbewegung ausführt - Google Patents

Kreisförmig ausgebildeter Röntgenstrahlzerhacker, welcher eine Hin- und Herbewegung ausführt Download PDF

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EP1544866A1
EP1544866A1 EP03090446A EP03090446A EP1544866A1 EP 1544866 A1 EP1544866 A1 EP 1544866A1 EP 03090446 A EP03090446 A EP 03090446A EP 03090446 A EP03090446 A EP 03090446A EP 1544866 A1 EP1544866 A1 EP 1544866A1
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
ray
image recording
ray image
test
arrangement according
Prior art date
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Withdrawn
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EP03090446A
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English (en)
French (fr)
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EP1544866A8 (de
Inventor
Uwe c/o GE Inspection Technologies GmbH Adamczak
Reinhold c/o GE Inspection Techn GmbH Schulenburg
Björn c/o GE Inspection Techn. GmbH Stockfisch
Holger c/o GE Inspection Technologies GmbH Lux
Rainer c/o GE Inspection Techn. GmbH Balzerowski
Uwe c/o GE Inspection Technologies GmbH Matzen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGFA NDT Pantek Seifert GmbH and Co KG
Original Assignee
AGFA NDT Pantek Seifert GmbH and Co KG
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Publication date
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Priority to EP03090446A priority Critical patent/EP1544866A1/de
Publication of EP1544866A1 publication Critical patent/EP1544866A1/de
Publication of EP1544866A8 publication Critical patent/EP1544866A8/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
    • G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers

Definitions

  • the invention relates to an X-ray image recording device for image recording placed one after the other in a X-ray irradiated test area Test objects, with an X-ray tube for generating the X-radiation, an image pickup device to record the X-ray image of one in the test area located in the beam path between the X-ray tube and the image pickup device arranged beam interruption device.
  • the invention further relates to a corresponding X-ray image recording method.
  • a diaphragm of the radiation shutter is opened.
  • the aperture is closed to a Replacement of the test object to make.
  • the closed state shields the Radiation shutter device, the produced X-rays completely off, so that an operator is in the vicinity of the X-ray imaging device can.
  • the object of the present invention is to provide an X-ray imaging device and a method in which the wear of the image pickup device is reduced.
  • the invention solves this problem by the means of claims 1 and 19, in particular in that the beam interruption device for multiple actuation per Test object is set up.
  • An actuation of the beam interruption device comprises while opening the beam interrupting device for transmitting radiation to the image pickup device and re-closing the beam interrupting device until completely closed.
  • the image pickup device not throughout the duration of a test object exposed to X-radiation, but during a plurality of shorter periods, resulting in a total shortened irradiation time of the image pickup device results. This prolongs the life of the image pickup device.
  • the test area is defined as an X-ray irradiated area, in FIG a test object for image acquisition is arranged.
  • the test area can be any one Part of the X-ray cone, so the area detected by X-rays between the X-ray tube and the image pickup device.
  • the number of operations the beam interrupting device per test object preferably at least 5, more preferably at least 10, more preferably at least 20, more preferably at least 30.
  • the actuation rate of the beam interrupting device is preferably at least 0.1 / s, more preferably at least 1 / s, further preferably at least 5 / s, more preferably at least 10 / s. This comparatively high actuation rates require a corresponding interpretation of Beam interruption device with regard to a sufficient average life.
  • the beam interrupting device is preferably only when the test object is at rest open. Therefore, the image pickup device is during movement of the test object from one test position to another test position is not exposed to X-radiation.
  • the beam interruption device are each actuated for the recording of an image, so that the image pickup device no exposure to X-rays between taking two pictures is. It may also be convenient, per test position, instead of a single Picture to take a certain number of pictures. In this case, the Beam interrupting device each for receiving this fixed number of Pictures are operated.
  • the duration of operation of the beam interrupting device is as short as possible to reduce the test duration per test object accordingly.
  • have movable parts of the beam interrupting device preferably the lowest possible inertial mass or a low moment of inertia.
  • the beam interrupting device is preferably substantially immediately adjacent to the x-ray tube arranged where the expansion of the X-ray beam is relatively low and therefore the extent of the beam interrupting device should be correspondingly lower can.
  • the actuation i. the opening and closing of the beam interrupting device during the passage of radiation at substantially constant Speed.
  • the Beam interruption device preferably electrically, in particular by means of a Electric motor actuated to a constancy of the opening and closing operation in the area less than 2%, more preferably less than 1%, more preferably less than 0.5%.
  • the pneumatic Radiation shutter device affects the constancy of the operating speed.
  • the invention is particularly advantageous for imaging devices such as semiconductor detectors, For example, surface detectors with an amorphous semiconductor layer, the can not turn dark to reduce the radiation exposure, as for example in image intensifiers by applying a deflection voltage is possible.
  • the X-ray imaging device 10 includes an X-ray tube 11 for generation X-ray radiation emerging from an exit opening 12 of the X-ray tube 11.
  • the X-ray irradiated area i. the cone of rays, is in Fig. 1 with indicated by dashed lines.
  • the X-ray tube 11 is a directed radiation source.
  • the radiation beam is directed to a test area 17, which in Fig. 1 of a Test object 13, for example, a casting, is taken.
  • the through the test object 13 passing X-ray radiation is by means of a semiconductor detector 14, in particular a flat panel detector with an amorphous Si layer 33, in the form of a surface image added.
  • the flat panel detector comprises a matrix of n ⁇ m semiconductor capacitors.
  • the capacitors are charged by control electronics. Irradiation with X-rays causes capacitors depending on the radiation intensity discharged. Be the charge carriers located in the capacitors read out by means of a read-out device 15, shown as an image and to the control / evaluation unit 16 transmitted for evaluation.
  • the X-ray tube 11 is of a substantially completely closed radiation protection housing 30 having an opening for the X-ray beam, which can be closed by means of a radiation shutter 31, in FIG. 1, for example by movement of the radiation shutter 31 upwards.
  • a radiation shutter 31 is preferably provided by the control / Evaluation unit 16 controlled.
  • the X-ray imaging device 10 is preferably for automatic X-ray inspection a continuous series of test objects 13, one after another, the test area 17 go through, set up.
  • a transport device 18 provided to transport the test objects 13 in the test area 17, there during to hold the duration of the X-ray inspection and then out of the test area 17 to transport the next test object 13 into the test area 17.
  • the Transport device 18 may, for example, a robot with a gripping device 19th for gripping the test object 13, or comprise a plurality of robots.
  • a robot may have a plurality of dependent or independent ones Have gripping devices or arms.
  • the transport device 18 is but not limited to robots. It may, for example, also be a conveyor belt or include such.
  • the Transport device can also be a rotatable device for Include or include one or more test objects 18.
  • the Transport device is preferably from the control / evaluation unit 16 controlled.
  • a high voltage generator 20 for the X-ray tube 11 can by means of the control / evaluation unit 16 are controlled; however, this is not mandatory required.
  • a beam interrupting device 21 arranged in the beam path between the X-ray tube 11 and the test area 17 .
  • This includes a shield 22, the preferably has the shape of a circle segment.
  • the shielding disk 22 is in order a rotation axis S pivotally mounted.
  • an electric motor 23 is provided, which is preferably controlled by the control / evaluation unit 16.
  • the shielding disk essentially has three segments 24 to 26.
  • the two outer segments 24, 26 are substantially, preferably, for the x-ray radiation completely impermeable and have for this purpose, for example, a lead element on.
  • the middle segment 25 is an X-ray transparent window in FIG the shielding disk 22.
  • the timing of the X-ray examination is as follows. First, there is the radiation shutter 31 of the radiation protective housing 30 in the closed position.
  • the Beam interruption device 21 is in the closed state shown in FIG. 2A Position in which the X-ray beam on the shielding segment 24 of the shielding 22 falls and is absorbed by this (position A in Fig. 3).
  • a test object 13 is brought by means of the transport device 18 in the test area 17 and takes there a certain first test position.
  • the radiation shutter 31 of the radiation protection housing 30 is controlled by the control / evaluation unit 16 remains open and remains throughout the duration of the test object 13 open.
  • the beam interrupting device 21 is controlled by the Control / evaluation unit 16 pivoted, first having the one shown in Fig. 2B open position passes (position C in Fig. 3) and then the one shown in Fig. 2C closed position is reached (position E in Fig. 3) and stopped there.
  • X-ray radiation passing through the window 25 illuminates the test object 13 and is recorded by the flat panel detector 14 to obtain a corresponding x-ray image take. It is a continuous exposure process, being that of the X-radiation in the semiconductor layer 33 of the flat panel detector 14 accumulated image signal during the recording period becomes.
  • the beam interruption device 21 is closed again, i. in the If the position shown in FIG. 3D has exceeded the read-out device 15 reads the X-ray image from the flat panel detector 14 and transmits it to the control / evaluation unit 16 for further evaluation.
  • the control / evaluation unit 16 controls the transport device 18, to bring the test object 13 in the next test position.
  • the beam interrupting device 21 is controlled by the control Evaluation unit 16 from the closed position shown in FIG. 2C on the open Position pivoted in Fig. 2B in the closed position shown in FIG. 2A. While the X-ray beam through the beam interrupting device 21st occurs, ie between the positions D and B in Fig. 3, in a similar manner another Radiograph taken and then read out and processed. Subsequently, the test object 13 is brought to a next test position and the Beam interrupting device 21 from the closed position shown in FIG. 2A over the opened position according to FIG. 2B is pivoted into the closed position according to FIG.
  • test object 13 is by means of the transport device 18 removed from the test area 17 and another test object 13 is the X-ray examination brought by means of the transport device 18 in the test area 17.
  • FIG. 3 A possible timing of a single pivoting operation is shown in Figs. 3 and Fig. 4 shown.
  • Fig. 3 the X-ray beam as a hatched area is schematic indicated.
  • Above the ordinate of the diagram of Fig. 4 is the slew rate v the shielding 22 applied. From the rest position A, in the the X-ray radiation from the shielding member 24 of the shielding disk 22 is absorbed is, the baffle 22 is accelerated. This acceleration process can run at any time.
  • the shielding disk 22 Before reaching position B, where the first X-ray beam through the window 25 of the shielding disk 22, the shielding disk 22 has a Speed platform, i. a substantially constant swinging speed reached.
  • the timing of the control of the X-ray imaging device 10 is shown in FIG. 5 clarified.
  • the signal p1 indicates whether a test object 13 in the test area 17 in a intended test position is located.
  • the signal p2 is an output signal of the detector 14, which represents the state of the detector 14.
  • the curve p3 illustrates this Reading the detector 14 by the read-out device 15, wherein with increasing Curve from low level to highest level line by line once all Detector surface is read out.
  • the detector 14 Before the start of a test operation, the detector 14 is refreshed (Refresh) continuously read out (see curve p3).
  • the transport device 18 of the control / evaluation unit 16 that a test object 13 in a designated test position and is ready for an X-ray measurement.
  • the Control / evaluation unit 16 sets the signal p1 from HIGH accordingly LOW, and transmits the signal p1 to the detector 14.
  • the detector 14 waits Now, first the time t5, in which the current read operation is completed (see signal p3).
  • the detector 14 sets the signal p2 HIGH to Indicate that the reading of the detector 14 for the acquisition of X-rays is interrupted, and sends the signal p2 to the control / evaluation unit 16.
  • the control Evaluation unit 16 receives a signal from the beam interrupting device 21, indicating the completion of the panning operation, it shows the transport device 18 that the X-ray measurement is completed and the test object 13 in the next test position can be offset.
  • the signal pl becomes at the time t6 HIGH set and transmitted to the detector 14 to this in the regular Pulse mode to enable the reading of the X-ray image from the detector 14 start.
  • the Readout process repeated regularly (refresh or refresh operation) to a Impairment of the detector 14 to avoid.
  • the X-ray imaging device 10 comprises means for determining that the test object 13 has just reached a pre-position, i. the provided test position in the test area 17 has not yet reached, but after a certain time will reach.
  • These means may, for example, electric motors of Transport device 18, wherein the pre-position of a particular engine position equivalent.
  • a sensor for detecting that the test object 13 is a pre-position has reached is not excluded. The corresponding timing of the control The X-ray imaging device 10 is shown in FIG.
  • the control / evaluation unit 16 receives a signal generated by the transport device 18 which indicates that the test object 13 has just reached a pre-position, the corresponding Time t1 'is located before the time t4, in which the test object 13, the intended Test position has reached in the test area 17.
  • the control / evaluation unit 16 accordingly sets a signal p0 from HIGH to LOW and transmits the signal p0 to the detector 14.
  • the detector 14 now waits for the time t2 at which the ongoing reading process is completed (see signal p3). At time t2, the detector sets 14, the signal p2 is HIGH to indicate that the reading of the detector 14 is interrupted, and sends the signal p2 to the control / evaluation unit 16.
  • the transport device 18 shows the control / evaluation unit 16 that the test object 13, the intended test position in the test area 17th has reached.
  • the control / evaluation unit 16 therefore already transmits at the time t4 a control signal to the beam interrupting device 21, for recording an X-ray image, a pivoting operation of the beam interrupting device 21 in Time interval T trigger.
  • the waiting time between is eliminated the times t4 and t5, resulting in an overall acceleration of the measurement process leads.
  • the time period between the times t1 'and t4 is at least a detector readout period, i. the period of time, for example, between the Times t1 and t2, so that the time t2 is in any case before the time t4 and therefore a time saving independent of the respective readout state of the detector 14 can be achieved.
  • the time interval between the times is preferably t1 'and t4 is less than 3, more preferably less than 2, more preferably less than 1.5 detector readout periods to allow for refresh. of the detector 14 is no longer exposed as necessary.
  • a further acceleration of the measuring process could be achieved in that the pivoting operation of the beam interrupting device 21 already before the time t5 is started.
  • the test object 13 could already before termination the pivoting operation of the beam interrupting device 21, for example a certain time after the time t5, be moved to the next test position.
  • the time interval between the times t5 and t6 may be except for the actual measuring process, in which X-ray radiation through the beam interrupting device 21 occurs, be shortened.
  • a signal could also be used, which is set LOW at the time t1 'and is restored at the time t6 HIGH is set.
  • the control signal from the control / evaluation unit 16 may then, for example, a certain time after the time t1 'to the beam interrupting device 21 are sent to record an X-ray image Pivoting operation of the beam interrupting device 21 in the time interval T trigger.
  • the time period T or the time interval between the times B and D in FIG. 3 and 4, in particular, by the pivoting speed of the beam interrupting device 21 fixed on the plateau in Fig. 4. It can - depending on the performance of the X-ray tube 11 - be set to an appropriate value.
  • the timespan between times B and D in Figs. 3 and 4 is often less than 1000 ms, preferably less than 500 ms, more preferably less than 100 ms.
  • the time between two X-ray tests is essentially of determines the time required by the transport device 18 to the test object 13 of a test position in the next test position.
  • the reading period of the Flat-panel detector 14 is often less than 500 ms, preferably less than 100 ms.
  • the beam interrupting device 21 By the time period for the X-ray inspection of a test object 13 in a test position keep as small as possible, it is advantageous if the beam interrupting device 21 is repeated as quickly as possible actuated.
  • the beam interrupting device 21 preferably designed as a pivoting device.
  • the beam interrupting device 21 preferably has the lowest possible moment of inertia with respect to the pivot axis S on. Therefore, the shielding disk 22 is a circle segment executed.
  • the shielding disk 22 is not limited to this, but can for example also be designed as a full circular disk.
  • the beam interrupting device 21 Smaller dimensions the beam interrupting device 21, and thus a lower inertia or a lower moment of inertia of moving parts are preferably achieved by the beam interrupting device 21 is arranged in the vicinity of the X-ray tube 11 is.
  • Nearby means that the distance of the shielding disk 21 from the outlet opening 12 of the X-ray tube 11 and the outlet opening of the radiation protection housing 30 at most 30%, preferably at most 20%, more preferably at most 10% relative to the distance of the outlet opening 12 of the X-ray tube 11 and the Outlet opening of the radiation protective housing 30 from the test object 13 is.

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Abstract

Eine Röntgenbildaufnahmeanordnung (10) zur Bildaufnahme von Prüfobjekten (13), welche eine Strahlungsunterbrechungseinrichtung in der Form einer Kreisscheibe oder einer Kreissegmentscheibe aufweist und ein Hin - und Herbewegung durchführt. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Röntgenbildaufnahmeanordnung zur Bildaufnahme von nacheinander in einen mit Röntgenstrahlung durchstrahlten Prüfbereich gebrachten Prüfobjekten, mit einer Röntgenröhre zur Erzeugung der Röntgenstrahlung, einer Bildaufnahmevorrichtung zur Aufnahme des Röntgenbildes eines sich in dem Prüfbereich befindlichen Prüfobjekts, und einer im Strahlengang zwischen der Röntgenröhre und der Bildaufnahmevorrichtung angeordneten Strahlunterbrechungseinrichtung. Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Röntgenbildaufnahmeverfahren.
Durch die kontinuierliche Bestrahlung mit Röntgenstrahlung verschleißt die Bildaufnahmevorrichtung, was zu einer Beeinträchtigung der Bildqualität führt und unter Umständen das Auswechseln der Bildaufnahmevorrichtung erforderlich machen kann. Ein Abschalten der Röntgenröhre zur Reduzierung der Strahlenbelastung ist in der Regel zu zeitaufwendig.
Es ist eine pneumatisch betriebene Strahlenverschlußeinrichtung für Röntgenbildaufnahmeanordnungen bekannt, die die Röntgenröhre in Form eines vollständig abgeschlossenen Abschirmungsbehälters umschließt. Zur Aufnahme von Röntgenbildern eines Prüfobjekts wird eine Blende der Strahlenverschlußeinrichtung geöffnet. Nach Abschluß der Bildaufnahmen des Prüfobjekts wird die Blende geschlossen, um einen Austausch des Prüfobjekts vorzunehmen. In dem geschlossenen Zustand schirmt die Strahlenverschlußeinrichtung die produzierte Röntgenstrahlung vollständig ab, so daß sich eine Bedienperson in der Nähe der Röntgenbildaufnahmeanordnung aufhalten kann.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Röntgenbildaufnahmeanordnung und ein -verfahren bereitzustellen, bei dem der Verschleiß der Bildaufnahmevorrichtung reduziert ist.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Mitteln der Ansprüche 1 und 19, insbesondere dadurch, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung zur mehrfachen Betätigung pro Prüfobjekt eingerichtet ist. Eine Betätigung der Strahlunterbrechungseinrichtung umfaßt dabei das Öffnen der Strahlunterbrechungseinrichtung zum Durchlassen von Strahlung zur Bildaufnahmevorrichtung und das erneute Schließen der Strahlunterbrechungseinrichtung bis zum vollständig geschlossenen Zustand. Erfindungsgemäß ist die Bildaufnahmevorrichtung nicht während der gesamten einem Prüfobjekt entsprechenden Dauer der Röntgenstrahlung ausgesetzt, sondern während einer Mehrzahl von kürzeren Zeiträumen, wodurch sich eine insgesamt verkürzte Bestrahlungsdauer der Bildaufnahmevorrichtung ergibt. Hierdurch verlängert sich die Lebensdauer der Bildaufnahmevorrichtung.
Der Prüfbereich ist definiert als ein von Röntgenstrahlung durchstrahlter Bereich, in dem ein Prüfobjekt zur Bildaufnahme angeordnet wird. Der Prüfbereich kann ein beliebiger Teil des Röntgenstrahlenkegels, also des von Röntgenstrahlen erfaßten Bereichs zwischen Röntgenröhre und Bildaufnahmevorrichtung sein.
In vielen Fällen werden pro Prüfobjekt mehr als 2, häufig mehr als 20, teilweise bis zu 50 Prüfpositionen und mehr untersucht. Dementsprechend beträgt die Anzahl der Betätigungen der Strahlunterbrechungseinrichtung pro Prüfobjekt vorzugsweise mindestens 5, weiter vorzugsweise mindestens 10, weiter vorzugsweise mindestens 20, weiter vorzugsweise mindestens 30. Die Betätigungsrate der Strahlunterbrechungseinrichtung beträgt vorzugsweise mindestens 0.1 / s, weiter vorzugsweise mindestens 1 / s, weiter vorzugsweise mindestens 5 / s, weiter vorzugsweise mindestens 10 / s. Diese vergleichsweise hohen Betätigungsraten erfordern eine entsprechende Auslegung der Strahlunterbrechungseinrichtung im Hinblick auf eine ausreichende mittlere Lebensdauer.
Die Strahlunterbrechungseinrichtung wird vorzugsweise nur bei ruhendem Prüfobjekt geöffnet. Daher ist die Bildaufnahmevorrichtung während der Bewegung des Prüfobjekts von einer Prüfposition in eine andere Prüfposition keiner Röntgenstrahlung ausgesetzt. Insbesondere wenn für jedes Prüfobjekt die Aufnahme einer Mehrzahl von Röntgenbildern vorgesehen ist, beispielsweise entsprechend unterschiedlichen Anordnungen bzw. Orientierungen des Prüfobjekts im Röntgenstrahl, kann die Strahlunterbrechungseinrichtung jeweils für die Aufnahme eines Bildes betätigt werden, so daß die Bildaufnahmevorrichtung zwischen der Aufnahme zweier Bilder keiner Röntgenstrahlung ausgesetzt ist. Es kann auch zweckmäßig sein, pro Prüfposition anstelle eines einzelnen Bildes eine bestimmte Anzahl von Bildern aufzunehmen. In diesem Fall kann die Strahlunterbrechungseinrichtung jeweils für die Aufnahme dieser festen Anzahl von Bildern betätigt werden.
Vorzugsweise ist die Betätigungsdauer der Strahlunterbrechungseinrichtung so kurz wie möglich, um die Prüfdauer pro Prüfobjekt entsprechend zu reduzieren. Um dies zu erreichen, weisen bewegliche Teile der Strahlunterbrechungseinrichtung vorzugsweise eine möglichst geringe träge Masse bzw. ein geringes Trägheitsmoment auf. Die Strahlunterbrechungseinrichtung ist vorzugsweise im wesentlichen unmittelbar an der Röntgenröhre angeordnet, wo die Ausdehnung des Röntgenstrahls relativ gering ist und daher die Ausdehnung der Strahlunterbrechungseinrichtung entsprechend geringer sein kann.
Vorzugsweise erfolgt die Betätigung, d.h. das Öffnen und Schließen der Strahlunterbrechungseinrichtung während des Durchtretens von Strahlung mit im wesentlichen konstanter Geschwindigkeit. Hierdurch wird erreicht, daß das Prüfobjekt, über den gesamten Betätigungsvorgang integriert, mit näherungsweise konstanter Röntgenintensität pro Raumwinkel bestrahlt wird, um Bildverfälschungen zu vermeiden. Daher wird die Strahlunterbrechungseinrichtung vorzugsweise elektrisch, insbesondere mittels eines Elektromotors betätigt, um eine Konstanz des Öffnungs- und Schließvorgangs im Bereich von weniger als 2 %, weiter vorzugsweise weniger als 1 %, weiter vorzugsweise weniger als 0.5 % zu erreichen. Im Gegensatz dazu ist bei der bekannten pneumatischen Strahlenverschlußeinrichtung die Konstanz der Betätigungsgeschwindigkeit beeinträchtigt.
Besonders vorteilhaft ist die Erfindung für Bildaufnahmevorrichtungen wie Halbleiterdetektoren, beispielsweise Flächendetektoren mit einer amorphen Halbleiterschicht, die sich nicht zur Reduzierung der Strahlenbelastung dunkel schalten lassen, wie dies beispielsweise bei Bildverstärkern durch Anlegen einer Ablenkspannung möglich ist.
Weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen und der folgenden Beschreibung vorteilhafter Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen hervor. Es zeigen:
Fig. 1:
eine schematische Zeichnung einer Röntgenprüfanordnung;
Fig. 2:
perspektivische Darstellungen der Röntgenröhre und der Strahlunterbrechungseinrichtung zu unterschiedlichen Zeitpunkten;
Fig. 3:
eine schematische Darstellung der Strahlunterbrechungseinrichtung zu unterschiedlichen Zeitpunkten;
Fig. 4:
ein Geschwindigkeits-Zeit-Diagramm der Strahlunterbrechungseinrichtung;
Fig. 5:
ein Zeitdiagramm für Steuerungssignale der Röntgenprüfanordnung; und
Fig. 6:
ein Zeitdiagramm für Steuerungssignale einer weiteren Ausführungsform der Röntgenprüfanordnung.
Die Röntgenbildaufnahmeanordnung 10 umfaßt eine Röntgenröhre 11 zur Erzeugung von Röntgenstrahlung, die aus einer Austrittsöffnung 12 der Röntgenröhre 11 austritt. Der von Röntgenstrahlung durchstrahlte Bereich, d.h. der Strahlenkegel, ist in Fig. 1 mit gestrichelten Linien angedeutet. Die Röntgenröhre 11 ist eine gerichtete Strahlungsquelle. Das Strahlungsbündel ist auf einen Prüfbereich 17 gerichtet, der in Fig. 1 von einem Prüfobjekt 13, beispielsweise einem Gußteil, eingenommen wird. Die durch das Prüfobjekt 13 tretende Röntgenstrahlung wird mittels eines Halbleiterdetektors 14, insbesondere einem Flachbilddetektor mit einer amorphen Si-Schicht 33, in Form eines Flächenbildes aufgenommen. Der Flachbilddetektor umfaßt eine Matrix von n x m Halbleiterkondensatoren. Die Kondensatoren werden durch eine Steuerelektronik aufgeladen. Durch Bestrahlung mit Röntgenstrahlung werden je nach Strahlungsintensität die Kondensatoren entladen. Die in den Kondensatoren befindlichen Ladungsträger werden mittels einer Ausleseeinrichtung 15 ausgelesen, als Bild dargestellt und an die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 zur Auswertung übermittelt.
Die Röntgenröhre 11 ist von einem im wesentlichen vollständig geschlossenen Strahlenschutzgehäuse 30 umgeben, das eine Öffnung für das Röntgenstrahlenbündel aufweist, die mittels eines Strahlenverschlusses 31 verschließbar ist, in Fig. 1 beispielsweise durch Bewegung des Strahlenverschlusses 31 nach oben. Im geschlossenen Zustand des Strahlenverschlusses 31 ist die Röntgenröhre 11 vollständig strahlungssicher abgeschirmt. Der Strahlenverschluß 31 wird vorzugsweise durch die Steuerungs- /Auswertungseinheit 16 angesteuert.
Die Röntgenbildaufnahmeanordnung 10 ist vorzugsweise zur automatischen Röntgenprüfung einer fortlaufenden Reihe von Prüfobjekten 13, die nacheinander den Prüfbereich 17 durchlaufen, eingerichtet. Zu diesem Zweck ist eine Transportvorrichtung 18 vorgesehen, um die Prüfobjekte 13 in den Prüfbereich 17 zu transportieren, dort während der Zeitdauer der Röntgenprüfung zu halten und danach aus dem Prüfbereich 17 zu entfernen, um das nächste Prüfobjekt 13 in den Prüfbereich 17 zu transportieren. Die Transportvorrichtung 18 kann beispielsweise ein Roboter mit einer Greifeinrichtung 19 zum Greifen des Prüfobjekts 13 sein, oder eine Mehrzahl von Robotern umfassen. Weiterhin kann ein Roboter beispielsweise eine Mehrzahl von abhängigen oder unabhängigen Greifeinrichtungen bzw. -armen aufweisen. Die Transportvorrichtung 18 ist aber nicht auf Roboter beschränkt. Es kann sich beispielsweise auch um ein Förderband handeln oder ein solches umfassen. Es kann sich auch um eine drehbare Vorrichtung zum Aufnehmen eines oder mehrerer Prüfobjekte 18 handeln oder eine solche umfassen. Die Transportvorrichtung wird vorzugsweise von der Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 gesteuert. Auch ein Hochspannungsgenerator 20 für die Röntgenröhre 11 kann mittels der Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 gesteuert werden; dies ist jedoch nicht zwingend erforderlich.
Im Strahlengang zwischen der Röntgenröhre 11 und dem Prüfbereich 17 ist eine Strahlunterbrechungseinrichtung 21 angeordnet. Diese umfaßt eine Abschirmscheibe 22, die vorzugsweise die Form eines Kreissegments aufweist. Die Abschirmscheibe 22 ist um eine Drehachse S schwenkbar gelagert. Zu diesem Zweck ist ein Elektromotor 23 vorgesehen, der vorzugsweise von der Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 gesteuert wird. Die Abschirmscheibe weist im wesentlichen drei Segmente 24 bis 26 auf. Die beiden äußeren Segmente 24, 26 sind für die Röntgenstrahlung im wesentlichen, vorzugsweise vollständig undurchlässig und weisen zu diesem Zweck beispielsweise ein Bleielement auf. Das mittlere Segment 25 ist ein für die Röntgenstrahlung durchlässiges Fenster in der Abschirmscheibe 22.
Der zeitliche Ablauf der Röntgenprüfung ist wie folgt. Zunächst befindet sich der Strahlenverschluß 31 des Strahlenschutzgehäuses 30 in der geschlossenen Stellung. Die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 befindet sich in der in Fig. 2A gezeigten geschlossenen Stellung, bei der das Röntgenstrahlbündel auf das Abschirmsegment 24 der Abschirmscheibe 22 fällt und von diesem absorbiert wird (Position A in Fig. 3). Ein Prüfobjekt 13 wird mittels der Transportvorrichtung 18 in den Prüfbereich 17 gebracht und nimmt dort eine bestimmte erste Prüfposition ein. Der Strahlenverschluß 31 des Strahlenschutzgehäuses 30 wird durch Ansteuerung durch die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 geöffnet und bleibt während der gesamten Dauer der Prüfung des Prüfobjekts 13 geöffnet. Die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 wird durch Ansteuerung durch die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 geschwenkt, wobei sie zunächst die in Fig. 2B gezeigte geöffnete Stellung durchläuft (Position C in Fig. 3) und dann die in Fig. 2C gezeigte geschlossene Position erreicht (Position E in Fig. 3) und dort angehalten wird.
Während das Röntgenstrahlungsbündel durch die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 tritt, also zwischen der in Fig. 3 gezeigten Position B, in der der erste Röntgenstrahl durch das Fenster 25 der Abschirmscheibe 22 tritt, und der in Fig. 3 gezeigten Position D, in der der letzte Röntgenstrahl durch das Fenster 25 der Abschirmscheibe 22 tritt, durchleuchtet die durch das Fenster 25 tretende Röntgenstrahlung das Prüfobjekt 13 und wird von dem Flachbilddetektor 14 aufgezeichnet, um ein entsprechendes Röntgenbild aufzunehmen. Es handelt sich dabei um einen kontinuierlichen Belichtungsvorgang, wobei das von der Röntgenstrahlung in der Halbleiterschicht 33 des Flachbilddetektors 14 erzeugte Bildsignal während der Aufnahmezeitdauer akkumuliert bzw. integriert wird. Wenn die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 wieder geschlossen ist, d.h. die in Fig. 3D gezeigte Position überschritten hat, liest die Ausleseeinrichtung 15 das Röntgenbild aus dem Flachbilddetektor 14 aus und übermittelt es an die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 zur weiteren Auswertung.
Danach steuert die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 die Transportvorrichtung 18 an, um das Prüfobjekt 13 in die nächste Prüfposition zu bringen. Sobald dies erfolgt ist, wird die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 durch Ansteuerung durch die Steuerungs- /Auswertungseinheit 16 von der geschlossenen Position gemäß Fig. 2C über die geöffnete Position gemäß Fig. 2B in die geschlossene Position gemäß Fig. 2A geschwenkt. Während das Röntgenstrahlungsbündel durch die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 tritt, also zwischen den Positionen D und B in Fig. 3, wird in analoger Weise ein weiteres Röntgenbild aufgenommen und anschließend ausgelesen und weiterverarbeitet. Anschließend wird das Prüfobjekt 13 in eine nächste Prüfposition gebracht und die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 von der geschlossenen Position gemäß Fig. 2A über die geöffnete Position gemäß Fig. 2B in die geschlossene Position gemäß Fig. 2C geschwenkt, um ein weiteres Röntgenbild aufzunehmen. Dies wiederholt sich, bis Röntgenbilder für sämtliche Prüfpositionen des Prüfobjekts 13 aufgenommen sind. Pro Prüfobjekt sind meist mindestens 5, häufig mehr als 20, bei einigen Anwendung mehr als 30 bis zu 50 oder mehr Prüfpositionen vorgesehen. Im Laufe dieser Prüfung führt die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 daher eine Hin- und Herbewegung ähnlich einer Winkbewegung durch. Nach Abschluß der Prüfung des Prüfobjekts 13 wird der Strahlenverschluß 31 des Strahlenschutzgehäuses 30 durch Ansteuerung durch die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 geschlossen. In diesem Zustand kann eine eventuell vorhandene Strahlenschutzkabine, in welcher die Röntgenbildaufnahmeanordnung 10 angeordnet ist, betreten werden. Das Prüfobjekt 13 wird mittels der Transportvorrichtung 18 aus dem Prüfbereich 17 entfernt und ein weiteres Prüfobjekt 13 wird zur Röntgenprüfung mittels der Transportvorrichtung 18 in den Prüfbereich 17 gebracht.
Ein möglicher zeitlicher Ablauf eines einzelnen Schwenkvorgangs ist in den Fig. 3 und Fig. 4 gezeigt. In Fig. 3 ist das Röntgenstrahlenbündel als schraffierter Bereich schematisch angedeutet. Über der Ordinate des Diagramms aus Fig. 4 ist die Schwenkgeschwindigkeit v der Abschirmscheibe 22 aufgetragen. Aus der Ruheposition A, in der die Röntgenstrahlung von dem Abschirmelement 24 der Abschirmscheibe 22 absorbiert wird, wird die Ablenkscheibe 22 beschleunigt. Dieser Beschleunigungsvorgang kann zeitlich beliebig verlaufen. Vor Erreichen der Position B, in der der erste Röntgenstrahl durch das Fenster 25 der Abschirmscheibe 22 tritt, hat die Abschirmscheibe 22 eine Geschwindigkeitsplattform, d.h. eine im wesentlichen konstante Schwenkgeschwindigkeit erreicht. "Im wesentlichen" bedeutet, daß etwaige Schwankungen der Schwenkgeschwindigkeit höchstens 2 %, vorzugsweise höchstens 1 %, weiter vorzugsweise höchstens 0.5 % betragen. Diese Konstanz wird vorzugsweise durch Verwendung eines Elektromotors 23 für den Schwenkantrieb der Abschirmscheibe 22 erreicht. Dies läßt sich in der Regel nicht mittels eines pneumatischen Antriebs erreichen. Nach dem Überschreiten der Position D, in der der letzte Röntgenstrahl des Röntgenstrahlenbündels durch das Fenster 25 der Abschirmscheibe 22 tritt, wird die Abschirmscheibe 22 abgebremst, bis sie in der Position E, bei der die Röntgenstrahlung von dem Abschirmelement 26 der Abschirmscheibe 22 absorbiert wird, zum Stillstand kommt. Die Konstanz der Schwenkgeschwindigkeit der Abschirmscheibe 22 zwischen den beiden Positionen B und D, also in dem Bereich, in dem Röntgenstrahlung durch die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 tritt, bewirkt, daß über einen Schwenkvorgang gemittelt das Prüfobjekt 13 gleichmäßig, d.h. mit konstanter Strahlungsintensität, ausgeleuchtet wird.
Der zeitliche Ablauf der Steuerung der Röntgenbildaufnahmeanordnung 10 ist in Fig. 5 verdeutlicht. Das Signal p1 zeigt an, ob ein Prüfobjekt 13 sich im Prüfbereich 17 in einer vorgesehenen Prüfposition befindet. Das Signal p2 ist ein Ausgangssignal des Detektors 14, das den Zustand des Detektors 14 wiedergibt. Die Kurve p3 verdeutlicht das Auslesen des Detektors 14 durch die Ausleseeinrichtung 15, wobei mit ansteigender Kurve vom niedrigen Niveau bis zum höchsten Niveaus zeilenweise einmal die gesamte Detektorfläche ausgelesen wird.
Vor dem Beginn eines Prüfvorgangs wird der Detektor 14 zum Auffrischen (Refresh) kontinuierlich ausgelesen (siehe Kurve p3). Zum Zeitpunkt t4 zeigt die Transportvorrichtung 18 der Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 an, daß sich ein Prüfobjekt 13 in einer vorgesehenen Prüfposition befindet und bereit für eine Röntgenmessung ist. Die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 setzt dementsprechend das Signal p1 von HOCH auf NIEDRIG, und übermittelt das Signal p1 an den Detektor 14. Der Detektor 14 wartet nun zunächst den Zeitpunkt t5 ab, in dem der laufende Auslesevorgang beendet ist (siehe Signal p3). Zum Zeitpunkt t5 setzt der Detektor 14 das Signal p2 auf HOCH, um Anzuzeigen, daß das Auslesen des Detektors 14 für die Aufnahme von Röntgenstrahlung unterbrochen wird, und sendet das Signal p2 an die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16. Diese sendet ein Steuersignal an die Strahlunterbrechungseinrichtung 21, um zur Aufnahme eines Röntgenbildes einen Schwenkvorgang der Strahlunterbrechungseinrichtung 21 in einem definierten Zeitintervall T auszulösen. Sobald die Steuerungs- /Auswertungseinheit 16 von der Strahlunterbrechungseinrichtung 21 ein Signal erhält, das die Beendigung des Schwenkvorgangs anzeigt, zeigt sie der Transportvorrichtung 18 an, daß die Röntgenmessung beendet ist und das Prüfobjekt 13 in die nächste Prüfposition versetzt werden kann. Gleichzeitig wird das Signal pl zum Zeitpunkt t6 auf HOCH gesetzt und an den Detektor 14 übermittelt, um diesen in den regelmäßigen Pulsbetrieb zu versetzen, um das Auslesen des Röntgenbildes aus dem Detektor 14 zu starten. Nach Abschluß des Auslesens des Röntgenbildes aus dem Detektor 14 wird der Auslesevorgang regelmäßig wiederholt (Auffrischungs- bzw. Refresh-Betrieb), um eine Beeinträchtigung des Detektors 14 zu vermeiden.
In einer anderen Ausführungsform umfaßt die Röntgenbildaufnahmeanordnung 10 Mittel zum Feststellen, daß das Prüfobjekt 13 soeben eine Vorposition erreicht hat, d.h. die vorgesehene Prüfposition im Prüfbereich 17 noch nicht erreicht hat, jedoch nach einer bestimmten Zeit erreichen wird. Diese Mittel können beispielsweise Elektromotoren der Transportvorrichtung 18 sein, wobei die Vorposition einer bestimmten Motorposition entspricht. Auch ein Sensor zum Feststellen, daß das Prüfobjekt 13 eine Vorposition erreicht hat, ist nicht ausgeschlossen. Der entsprechende zeitliche Ablauf der Steuerung der Röntgenbildaufnahmeanordnung 10 ist in Fig. 6 gezeigt. Die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 erhält ein von der Transportvorrichtung 18 erzeugtes Signal, das anzeigt, daß das Prüfobjekt 13 soeben eine Vorposition erreicht hat, wobei der entsprechende Zeitpunkt t1' vor dem Zeitpunkt t4 liegt, in dem das Prüfobjekt 13 die vorgesehene Prüfposition im Prüfbereich 17 erreicht hat. Die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 setzt dementsprechend ein Signal p0 von HOCH auf NIEDRIG und übermittelt das Signal p0 an den Detektor 14. Der Detektor 14 wartet nun den Zeitpunkt t2 ab, an dem der laufende Auslesevorgang beendet ist (siehe Signal p3). Zum Zeitpunkt t2 setzt der Detektor 14 das Signal p2 auf HOCH, um anzuzeigen, daß das Auslesen des Detektors 14 unterbrochen wird, und sendet das Signal p2 an die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16. Zum Zeitpunkt t4 zeigt die Transportvorrichtung 18 der Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 an, daß das Prüfobjekt 13 die vorgesehene Prüfposition im Prüfbereich 17 erreicht hat. Nun muß, im Vergleich zu Fig. 5, nicht mehr abgewartet werden, bis der laufende Auslesevorgang des Detektors 14 beendet ist, da dieser, im Vergleich zu Fig. 5, bereits eine Periode früher mittels des Signals p0 in den aufnahmebereiten Zustand versetzt wurde. Die Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 sendet daher bereits zum Zeitpunkt t4 ein Steuersignal an die Strahlunterbrechungseinrichtung 21, um zur Aufnahme eines Röntgenbildes einen Schwenkvorgang der Strahlunterbrechungseinrichtung 21 im Zeitintervall T auszulösen. Im Vergleich zu Fig. 5 entfällt daher die Wartezeit zwischen den Zeitpunkten t4 und t5, was insgesamt zu einer Beschleunigung des Meßvorgangs führt.
Zweckmäßigerweise beträgt die Zeitspanne zwischen den Zeitpunkten t1' und t4 mindestens eine Detektorausleseperiode, d.h. die Zeitspanne beispielsweise zwischen den Zeitpunkten t1 und t2, damit der Zeitpunkt t2 auf jeden Fall vor dem Zeitpunkt t4 liegt und daher eine Zeitersparnis unabhängig von dem jeweiligen Auslesezustand des Detektors 14 erzielt werden kann. Vorzugsweise beträgt die Zeitspanne zwischen den Zeitpunkten t1' und t4 weniger als 3, weiter vorzugsweise weniger als 2, weiter vorzugsweise weniger als 1.5 Detektorausleseperioden, damit das Wiederauffrischen (Refresh) des Detektors 14 nicht länger als nötig ausgesetzt wird.
Eine weitere Beschleunigung des Meßvorgangs könnte dadurch erreicht werden, daß der Schwenkvorgang der Strahlunterbrechungseinrichtung 21 bereits vor dem Zeitpunkt t5 begonnen wird. Zu demselben Zweck könnte das Prüfobjekt 13 bereits vor Beendigung des Schwenkvorgangs der Strahlunterbrechungseinrichtung 21, beispielsweise eine bestimmten Zeit nach dem Zeitpunkt t5, in die nächste Prüfposition versetzt werden. Dadurch kann die Zeitspanne zwischen den Zeitpunkten t5 und t6 gegebenenfalls bis auf den eigentlichen Meßvorgang, bei dem Röntgenstrahlung durch die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 tritt, verkürzt werden.
Anstelle der Signale p0 und p1 könnte beispielsweise auch ein Signal verwendet werden, das zum Zeitpunkt t1' auf NIEDRIG gesetzt wird und zum Zeitpunkt t6 wieder auf HOCH gesetzt wird. Das Steuersignal von der Steuerungs-/Auswertungseinheit 16 kann dann beispielsweise eine bestimmte Zeit nach dem Zeitpunkt t1' an die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 gesendet werden, um zur Aufnahme eines Röntgenbildes einen Schwenkvorgang der Strahlunterbrechungseinrichtung 21 im Zeitintervall T auszulösen.
Die Zeitspanne T, bzw. die Zeitspanne zwischen den Zeitpunkten B und D in den Fig. 3 und 4, wird insbesondere durch die Schwenkgeschwindigkeit der Strahlunterbrechungseinrichtung 21 auf dem Plateau in Fig. 4 festgelegt. Sie kann - in Abhängigkeit der Leistung des Röntgenröhre 11 - auf einen geeigneten Wert festgelegt werden. Die Zeitspanne zwischen den Zeitpunkten B und D in den Fig. 3 und 4 beträgt häufig weniger als 1000 ms, vorzugsweise weniger als 500 ms, weiter vorzugsweise weniger als 100 ms. Die Zeitspanne zwischen zwei Röntgenprüfvorgängen wird im wesentlichen von der Zeit bestimmt, die die Transportvorrichtung 18 benötigt, um das Prüfobjekt 13 von einer Prüfposition in die nächste Prüfposition zu versetzen. Die Auslesezeitspanne des Flachbilddetektors 14 beträgt häufig weniger als 500 ms, vorzugsweise weniger als 100 ms.
Um die Zeitspanne für die Röntgenprüfung eines Prüfobjekts 13 in einer Prüfposition möglichst gering zu halten, ist es vorteilhaft, wenn die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 möglichst schnell wiederholt betätigbar ist. Zu diesem Zweck ist die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 vorzugsweise als Schwenkeinrichtung ausgebildet. Die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 weist vorzugsweise ein möglichst geringes Trägheitsmoment bezüglich der Schwenkachse S auf. Daher ist die Abschirmscheibe 22 als Kreissegment ausgeführt. Die Abschirmscheibe 22 ist aber nicht hierauf beschränkt, sondern kann beispielsweise auch als volle Kreisscheibe ausgeführt sein. Geringere Abmessungen der Strahlunterbrechungseinrichtung 21, und damit eine geringere Trägheit bzw. ein geringeres Trägheitsmoment bewegter Teile, werden vorzugsweise dadurch erreicht, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung 21 in der Nähe der Röntgenröhre 11 angeordnet ist. "In der Nähe" bedeutet, daß der Abstand der Abschirmscheibe 21 von der Austrittsöffnung 12 der Röntgenröhre 11 bzw. der Austrittsöffnung des Strahlenschutzgehäuses 30 höchstens 30 %, vorzugsweise höchstens 20 %, weiter vorzugsweise höchstens 10 % relativ zum Abstand der Austrittsöffnung 12 der Röntgenröhre 11 bzw. der Austrittsöffnung des Strahlenschutzgehäuses 30 vom Prüfobjekt 13 beträgt.

Claims (19)

  1. Röntgenbildaufnahmeanordnung zur Bildaufnahme von nacheinander in einen mit Röntgenstrahlung durchstrahlten Prüfbereich (17) gebrachten Prüfobjekten (13), mit einer Röntgenröhre (11) zur Erzeugung der Röntgenstrahlung, einer Bildaufnahmevorrichtung (14) zur Aufnahme des Röntgenbildes eines sich in dem Prüfbereich befindlichen Prüfobjekts (13), und einer im Strahlengang zwischen der Röntgenröhre (11) und der Bildaumahmevorrichtung (14) angeordneten Strahlunterbrechungseinrichtung (21), dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) zur mehrfachen Betätigung pro Prüfobjekt (13) eingerichtet ist.
  2. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) nur bei ruhendem Prüfobjekt (13) geöffnet ist.
  3. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Betätigungen der Strahlunterbrechungseinrichtung (21) pro Prüfobjekt (13) mindestens 2, vorzugsweise mindestens 10, weiter vorzugsweise mindestens 20, weiter vorzugsweise mindestens 30 beträgt.
  4. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungsrate der Strahlunterbrechungseinrichtung (21) größer als 0.1 / s, vorzugsweise größer als 1 / s, weiter vorzugsweise größer als 5 / s, weiter vorzugsweise größer als 10 / s ist.
  5. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie zur Bildaufnahme einer Mehrzahl von Bildern für jedes Prüfobjekt (13) eingerichtet ist.
  6. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Betätigungen der Strahlunterbrechungseinrichtung (21) mit der Anzahl der aufgenommenen Bilder korreliert.
  7. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) zur Schwenkung um eine Schwenkachse (S) eingerichtet ist.
  8. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) zur Durchführung einer Hin- und Herbewegung ausgebildet ist.
  9. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) eine Durchtrittsöffnung (25) aufweist.
  10. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) an gegenüberliegenden Seiten der Durchtrittsöffnung (25) angeordnete Abschirmbereiche (24, 26) aufweist.
  11. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) die Form einer Kreisscheibe oder vorzugsweise einer Kreissegmentscheibe aufweist.
  12. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigung der Strahlunterbrechungseinrichtung (21) während des Durchtretens von Röntgenstrahlung mit im wesentlichen konstanter Geschwindigkeit erfolgt.
  13. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) elektrisch, vorzugsweise mittels eines Elektromotors (23) angetrieben wird.
  14. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlunterbrechungseinrichtung (21) im wesentlichen unmittelbar an der Röntgenröhre (11) angeordnet ist.
  15. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildaufnahmevorrichtung (14) ein Halbleiterdetektor, vorzugsweise ein Flächendetektor ist.
  16. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine Transporteinrichtung (18) vorgesehen ist, um die Prüfobjekte (18) nacheinander durch den Prüfbereich (17) zu transportieren.
  17. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, um eine der vorgesehenen Prüfposition zeitlich vorgelagerte Vorposition des Prüfobjekts (13) zu erfassen.
  18. Röntgenbildaufnahmeanordnung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der zeitliche Abstand der Vorposition zu der Prüfposition an die Dauer eines Auffrischungsvorgangs der Bildaufnahmevorrichtung (14) angepaßt ist.
  19. Röntgenbildaufnahmeverfahren, bei dem Prüfobjekte nacheinander in einen Prüfbereich gebracht werden, ein in dem Prüfbereich befindliches Prüfobjekt mit Röntgenstrahlung durchstrahlt und das Röntgenbild des Prüfobjekts aufgenommen wird, wobei der Strahlengang mittels einer Strahlunterbrechungseinrichtung unterbrochen wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlengang mittels der Strahlunterbrechungseinrichtung pro Prüfobjekt mehrfach unterbrochen wird.
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