EP1517083A1 - Apparatus for the thermal treatment of harmful sustances in process offgases - Google Patents

Apparatus for the thermal treatment of harmful sustances in process offgases Download PDF

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EP1517083A1
EP1517083A1 EP04021022A EP04021022A EP1517083A1 EP 1517083 A1 EP1517083 A1 EP 1517083A1 EP 04021022 A EP04021022 A EP 04021022A EP 04021022 A EP04021022 A EP 04021022A EP 1517083 A1 EP1517083 A1 EP 1517083A1
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EP
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combustion chamber
washing liquid
burner
exhaust gas
process exhaust
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EP04021022A
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Wido Wiesenberg
Andreas Dr. Frenzel
Konrad Gehmlich
Horst Dr. Reichardt
Lothar Ritter
Corina Kloss
Michael Hentrich
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Das - Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
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Das - Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
    • F23G7/065—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating using gaseous or liquid fuel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D2900/00—Special features of, or arrangements for burners using fluid fuels or solid fuels suspended in a carrier gas
    • F23D2900/00016—Preventing or reducing deposit build-up on burner parts, e.g. from carbon
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2208/00—Safety aspects

Definitions

  • the invention relates to a device for thermal Treatment of pollutants containing process exhaust gases, as they are varied and especially at various surface modification methods in Vacuum used or thereby formed.
  • Process exhaust gases contain toxic compounds or Elements that are not readily released to the environment can be.
  • CVD or PVD processes can also exhaust gases from others Processes containing pollutants with the invention be treated.
  • the water is from the side sprayed into the chamber, where in there as preferably designated embodiment, the water also sprayed upwards against the lid to the burner shall be.
  • the device according to the invention has a combustion chamber on, at least one burner on top arranged lid is present, leaving a torch from top to bottom in the interior of the combustion chamber is directed. There is also a feeder for a washing liquid present, with a closed Film on the entire inner surface the combustion chamber can be formed. there should according to the invention but no wetting of the in the Inner facing part of the lid with burner (s) reached become.
  • the washing liquid can be pure water. It can but also contain additives that are preferred cause a neutralization.
  • a washing liquid may accordingly contain a base.
  • At the bottom of the combustion chamber is a discharge for exhaust gas from the thermal treatment and in colloidal Form containing particles containing washing liquid.
  • the supply for the washing liquid is immediate arranged below the lid. she is designed so that the washing liquid on the inner Lateral surface of the combustion chamber the closed Film exclusively taking advantage of the gravitational force forms, the washing liquid so easy runs on the lateral surface radially circumferentially uniform and no pressure effect on the washing liquid is exerted into the combustion chamber.
  • the inner surface of the Combustion chamber in a radially convex outward Shape and rotationally symmetric about the longitudinal axis form the combustion chamber, so that starting from the Cover a continuous as possible enlargement the clear width within the combustion chamber to the Achieving a maximum clearance and below achieved a continuous reduction in width can be.
  • the form should, however, taking into account the Interfacial conditions of washing liquid and surface secure the inner jacket surface that the maintained closed film on the entire surface remains.
  • the boundary conditions between inner lateral surface the combustion chamber and washing liquid film can also through the surface of the inner lateral surface to be influenced. This should be the surface a surface roughness depth in the range 100 to 300 microns exhibit.
  • the shape of the inner surface can be through the Shaping the chamber wall of the combustion chamber specified be. But there is also the possibility of the outer Shape of the combustion chamber regardless of the shape of the to choose inner jacket surface. So, for example There is insulation on the outside of the burner chamber which then also have a different shape, e.g. may have the shape of a cylinder.
  • the feeder for the washing liquid a radially around the combustion chamber have circumferential annular channel, the outside Washing liquid with a sufficiently large predefinable Volume flow is supplied.
  • On the ring channel is one pointing towards the interior of the combustion chamber
  • Overflow edge exists over which the washing liquid can expire. The overflow edge forms while the upper edge of the inner circumferential surface.
  • the overflow edge should be horizontal over the entire Scope be aligned so that over the entire Scope an at least approximately constant volume flow run off and the film on the inner surface can train. It is obvious, that the supplied volume flow of washing liquid the correspond over the overflow edge running volume flow should.
  • the washing liquid should be tangential over at least one aligned supply line introduced into the annular channel becomes, so that in the ring channel a flow of Washing liquid with low flow velocity is produced. But it is cheaper two diametrically opposed tangentially aligned Provide supply lines to a ring channel. It but can also have more than two such leads be present, then as equal as possible angular distances should have to each other.
  • the tangential flow of the washing liquid in Ring channel essentially fulfills the task a ensure a sufficiently high level in the annular channel, so that over the entire inner circumferential surface of the Combustion chamber is formed a closed film.
  • the annular channel may be open at the top or the overflow edge can also by a radially encircling annular gap be formed.
  • a purge gas should be present, so that with a purge gas flow the lid and burner as well as process exhaust gas feeders protected in the combustion chamber from washing liquid and no wetting can take place.
  • inert gases such as e.g. Nitrogen can be used.
  • the supply of purge gas in the combustion chamber can as Ring arrangement of discretely arranged nozzles or nozzle gaps or designed as a circumferential annular gap be.
  • the exit opening (s) for purge gas should arranged close to the feed for the washing liquid be.
  • the purge gas pressure should be sufficient to a wetting of the parts and areas to be protected to prevent.
  • the at least one burner can with a fuel gas be supplied.
  • the fuel gas composition can thereby be chosen so that in the flame one sufficient high temperature and for the thermal treatment favorable stoichiometric ratios can be achieved are who the particular composition of take into account the process gases to be treated.
  • On burners can also ignition devices available with which, for example, a spark ignition of Flame is reachable.
  • burners operated with fuel gases can but Plasma torches are used. This can Arc or microwave plasma sources. The selection may take into account the respective Volume flows of process exhaust gas to be treated respectively. Thus, arc plasma sources are larger To prefer volume flows.
  • the process exhaust gas to be treated can at least partially introduced directly into a plasma torch and used for plasma formation, it may possibly dispensed with the supply of additional fuel gases or achieved a reduced supply of gases become.
  • the device according to the invention can be over a long time Periods are operated without interference and maintenance.
  • An adaptation to different to be treated Process exhaust gases are possible in a simple form. So there is the possibility of differently configured Cover with appropriately adapted burner and process exhaust gas supply arrangements to use or exchange.
  • FIG. 1 shows in schematic form an example of one Inventive device shown.
  • the chamber wall of the combustion chamber 1 is starting from the top lid 3 to the bottom radially arched convex outward, leaving a corresponding shape also for the inner lateral surface results.
  • the shape is also rotationally symmetric around the Longitudinal axis (dash-dot line) of the combustion chamber. 1 educated.
  • a feeder 2 arranged for washing over the the Washing fluid in the overflow to form a closed Film 11 on the entire inner surface is guided. This ensures that the dry in the inner facing part of the lid 3 remains and not wetted by the washing liquid becomes.
  • a purge gas flow In this case, a purge gas via feeds 7 in the combustion chamber 1 introduced.
  • the feeders for Purging gas are between feed 2 for washing liquid and lid 3 with burner 4 and process exhaust gas feeds 8 arranged, so that too these elements are protected from scrubbing liquid and dry can be kept.
  • the example shown here uses several burners 4, the radially outward at a distance from the longitudinal axis the combustion chamber 1 are arranged. Between the burners 4 so closer to the longitudinal axis is at least one, but here several process exhaust feeds 8 arranged.
  • process exhaust gas feeds 8 are process waste gases to be treated in the combustion chamber 1 introduced, in unillustrated form already a premix with an additional for the thermal Treatment required or promotional Gas or gas mixture can be done.
  • a premix may also be provided to the burners 4 in which, for example, a fuel gas process exhaust is mixed.
  • the burners 4 are in FIG an obliquely inclined angle in each case in the direction of the centrally arranged longitudinal axis of the combustion chamber. 1 aligned so that the process gases to be treated flow directly between flames of the burner 4 and necessarily reach their sphere of influence.
  • a spray nozzle 10 is present, the spray orthogonal to the longitudinal axis of the combustion chamber. 1 is aligned.
  • the spray jet can also be vertical or inclined obliquely upwards.
  • the spray nozzle 10 is preferably as a two-fluid nozzle for a liquid-gas mixture is formed.
  • the contaminated with particles washing liquid can in a form not shown a solids separator to and then free of particles in the circulation be returned.
  • Figure 2 is an enlarged section on the outside upper edge of a device with feeder 2 for Washing liquid shown.
  • a circumferential Ring channel 2 'present in the washing liquid is supplied, so that he in the operation of the Device is always sufficiently filled to ensure that over the entire circumference washing liquid via a likewise circumferential overflow edge 2 '', which is present on the annular channel 2 ', expire and the closed film 11 on the entire inner Forming lateral surface of the combustion chamber 1, without that on the washing liquid except the gravitational force other forces are exercised.
  • Figure 2 also has a feed 7 for a Purging gas shown.
  • the feeder 7 is also arranged radially outside, so that between feed 2 for washing liquid and lid 3 a purge gas flow is formed, the lid 3 with the other arranged on him elements before wetting protected by washing liquid.
  • the purge gas passes through a circulating Annular gap in the combustion chamber 1, immediately below the lid 3 is arranged so that a Purging gas film along the inward facing part of the Cover 3 is formed, the adhesion of particles or other solids, at least however, hindered and possibly adhering solids also can be blown off.
  • purge gas may preferably nitrogen or else Compressed air can be used.
  • FIG. 3 shows another possible arrangement of Burner 4 and process exhaust gas feeders 8.
  • a Burner 4 centrally on the longitudinal axis of the combustion chamber 1 arranged. At a distance from the burner 4 are radial further out, two or more than two process exhaust gas feeds 8 arranged. The order should be symmetrical.
  • a total of four burners 4 form a quasi ring arrangement also four discreet in star form arranged to each other process exhaust gas supply 8.
  • the Burner 4 and accordingly their respective Flames are directed diagonally inwards and downwards, so that the flames form a "wreath" into which the Process gases to be treated and possibly additional required for the thermal treatment or this conveying gases between the flame wreath in the Combustion chamber 1 are introduced and then forcibly get into the sphere of influence of the flames.
  • the burners 4 and also the process gas feeds 8 are mutually equidistant and in each case arranged equal angular intervals to each other.
  • FIG 6 an example is shown in which a Plasma torch 4 and analogous to that shown in Figure 3 Example, several process exhaust gas feeders 8 arranged and are aligned.

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Abstract

Device for thermally treating process waste gases containing pollutants comprises a combustion chamber (1) containing a burner with a process waste gas feed, a feed (2) for scrubbing liquid which forms a film for the removing of particles on the inner wall of the combustion chamber and a removal line for waste gas and scrubbing liquid. The feed for the scrubbing liquid is arranged directly below the lid (3) and structured so that a closed film (11) forms on the whole inner casing surface of the combustion chamber according to the gravitational force. The part of the lid facing the inside of the combustion chamber is not wetted by the scrubbing liquid.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen, wie sie vielfältig und insbesondere bei verschiedensten Oberflächenmodifizierunsgverfahren im Vakuum eingesetzt oder dabei gebildet werden. Solche Prozessabgase enthalten toxische Verbindungen oder Elemente, die nicht ohne weiteres an die Umwelt abgegeben werden können. Neben Prozessabgasen solcher CVD- oder PVD-Prozesse können auch Abgase aus anderen Prozessen, die Schadstoffe enthalten mit der Erfindung behandelt werden.The invention relates to a device for thermal Treatment of pollutants containing process exhaust gases, as they are varied and especially at various surface modification methods in Vacuum used or thereby formed. Such Process exhaust gases contain toxic compounds or Elements that are not readily released to the environment can be. In addition to process emissions such CVD or PVD processes can also exhaust gases from others Processes containing pollutants with the invention be treated.

Dabei sind insbesondere Chlor, Fluor, Silizium, Arsen und Gallium sowie diese Elemente enthaltende Verbindungen kritisch.In particular, chlorine, fluorine, silicon, arsenic and gallium and compounds containing these elements critical.

Bei steigendem Bedarf an so modifizierten Substraten ergibt sich dementsprechend auch ein steigender Anteil an Prozessabgasen, die einer Behandlung unterzogen werden müssen, um die Umwelt- und Gesundheitsverträglichkeit zu gewährleisten.With increasing demand for such modified substrates Accordingly, there is an increasing share on process exhaust gases undergoing treatment need to be environmental and health friendliness to ensure.

So ist es seit längerem bekannt Prozessabgase thermisch so zu behandeln, dass die gefährlichen Elemente und chemischen Verbindungen ggf. aufgebrochen und durch chemische Reaktion in unschädliche chemische Verbindungen umgewandelt werden. Dabei werden überwiegend Oxide gebildet.So it is known for some time process exhaust thermal so treat that dangerous elements and chemical compounds broken up if necessary and by chemical reaction in innocuous chemical Connections are converted. Here are predominantly Oxides formed.

In US 5,132,836 sind hierfür Möglichkeiten aufgezeigt und es ist auf ein weiteres Problem hingewiesen worden. Dies besteht darin, dass bei solchen thermischen Prozessen Partikel gebildet werden, die zu Ablagerungen an Kammerwänden und auch zu Beeinträchtigungen der Funktion von Brennern führen, die üblicherweise hierfür eingesetzt werden.In US 5,132,836 this possibilities are shown and it has been pointed to another problem. This is that in such thermal Processes particles are formed, leading to deposits on chamber walls and also to impairments perform the function of burners, which are usually be used for this purpose.

Durch die in jüngster Vergangenheit und zukünftig eingesetzten größeren Anlagen für solche Oberflächenmodifizierungen fallen entsprechend größere Volumenströme an Prozessabgasen mit entsprechend größeren Mengen an Partikeln an.By the recent past and in the future used larger systems for such surface modifications fall correspondingly larger volume flows on process exhaust gases with correspondingly larger Amounts of particles.

Dementsprechend wird in diesem Stand der Technik auch vorgeschlagen einen Brenner am Deckel einer Kammer anzuordnen, von dem eine Flamme zur Behandlung/Verbrennung in die Kammer gerichtet wird.Accordingly, in this prior art as well suggested a burner on the lid of a chamber to arrange from which a flame for treatment / combustion is directed into the chamber.

Um ein Absetzen bzw. Anhaften von Partikeln an der Kammerinnenwand zu vermeiden soll dort ein Wasserfilm erzeugt werden. Hierzu wird das Wasser von der Seite in die Kammer eingesprüht, wobei in einer dort als bevorzugt bezeichneten Ausführung das Wasser auch nach oben gegen den Deckel bis an den Brenner gesprüht werden soll.To settle or adhere particles to the Chamber interior wall to avoid there is a water film be generated. For this, the water is from the side sprayed into the chamber, where in there as preferably designated embodiment, the water also sprayed upwards against the lid to the burner shall be.

In dieser Form ist es aber nicht ohne weiteres möglich einen immer geschlossenen Wasserfilm an der gesamten Innenwand auszubilden. Des Weiteren wird ein Teil des Wassers verdampft, so dass er nicht vollständig für den Austrag von Partikeln genutzt werden kann. Außerdem reduziert sich in Folge der Verdampfung die Temperatur und der Verbrennungsprozess wird zusätzlich behindert.But in this form, it is not readily possible an always closed water film on the whole Inner wall form. Furthermore, a Part of the water evaporates, so he is not complete be used for the discharge of particles can. It also reduces as a result of evaporation the temperature and the combustion process becomes additionally handicapped.

An einem befeuchteten Deckel können auch leichter Anhaftungen entstehen, die zur Beeinträchtigung der Verbrennung bzw. zu Verstopfungen an Gaszuführungen führen können.On a moistened lid can also be easier to attach arise, which affect the Combustion or clogging of gas supplies being able to lead.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung eine Möglichkeit zu schaffen, um Schadstoffe enthaltende Prozessabgase thermisch zu behandeln, wobei die Anhaftung von Partikeln an der Innenwand einer Brennkammer sowie eine unerwünschte Beeinträchtigung der thermischen Umwandlung mit geringem Aufwand vermieden werden sollen.It is therefore an object of the invention a way to create pollutants containing process gases thermally treat the attachment of particles on the inner wall of a combustion chamber and a undesirable impairment of thermal conversion to be avoided with little effort.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen können mit den in den untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen erreicht werden.According to the invention, this object is achieved with a device having the features of claim 1, solved. Advantageous embodiments and developments can with the in the subordinate claims designated characteristics can be achieved.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Brennkammer auf, an der mindestens ein Brenner an einem oben angeordneten Deckel vorhanden ist, so dass eine Fackel von oben nach unten in das Innere der Brennkammer gerichtet ist. Außerdem ist eine Zuführung für eine Waschflüssigkeit vorhanden, mit der ein geschlossener Film auf der gesamten inneren Mantelfläche der Brennkammer ausgebildet werden kann. Dabei soll erfindungsgemäß aber keine Benetzung des in das Innere weisenden Teils des Deckels mit Brenner(n) erreicht werden.The device according to the invention has a combustion chamber on, at least one burner on top arranged lid is present, leaving a torch from top to bottom in the interior of the combustion chamber is directed. There is also a feeder for a washing liquid present, with a closed Film on the entire inner surface the combustion chamber can be formed. there should according to the invention but no wetting of the in the Inner facing part of the lid with burner (s) reached become.

Die Waschflüssigkeit kann reines Wasser sein. Es können aber auch Zusätze enthalten sein, die bevorzugt eine Neutralisation bewirken. Eine Waschflüssigkeit kann dementsprechend eine Base enthalten.The washing liquid can be pure water. It can but also contain additives that are preferred cause a neutralization. A washing liquid may accordingly contain a base.

Am Boden der Brennkammer ist eine Abführung für Abgas aus der thermischen Behandlung und in kolloidaler Form Partikel enthaltende Waschflüssigkeit angeordnet.At the bottom of the combustion chamber is a discharge for exhaust gas from the thermal treatment and in colloidal Form containing particles containing washing liquid.

Die Zuführung für die Waschflüssigkeit ist dabei unmittelbar unterhalb des Deckels angeordnet. Sie ist so ausgebildet, dass die Waschflüssigkeit auf der inneren Mantelfläche der Brennkammer den geschlossenen Film ausschließlich unter Ausnutzung der Gravitationskraft ausbildet, die Waschflüssigkeit also einfach an der Mantelfläche radial umlaufend gleichmäßig abläuft und keine Druckwirkung auf die Waschflüssigkeit in die Brennkammer hinein ausgeübt wird.The supply for the washing liquid is immediate arranged below the lid. she is designed so that the washing liquid on the inner Lateral surface of the combustion chamber the closed Film exclusively taking advantage of the gravitational force forms, the washing liquid so easy runs on the lateral surface radially circumferentially uniform and no pressure effect on the washing liquid is exerted into the combustion chamber.

Günstig ist es außerdem die innere Mantelfläche der Brennkammer in einer radial konvex nach außen gerichteten Form und rotationssymmetrisch um die Längsachse der Brennkammer auszubilden, so dass ausgehend vom Deckel eine möglichst kontinuierliche Vergrößerung der lichten Weite innerhalb der Brennkammer bis zum Erreichen einer maximalen lichten Weite und nachfolgend eine kontinuierliche Reduzierung der Weite erreicht werden kann. It is also favorable, the inner surface of the Combustion chamber in a radially convex outward Shape and rotationally symmetric about the longitudinal axis form the combustion chamber, so that starting from the Cover a continuous as possible enlargement the clear width within the combustion chamber to the Achieving a maximum clearance and below achieved a continuous reduction in width can be.

Die Form soll jedoch unter Berücksichtigung der Grenzflächenverhältnisse von Waschflüssigkeit und Oberfläche der inneren Mantelfläche sichern, dass der geschlossene Film auf der gesamten Fläche aufrechterhalten bleibt.The form should, however, taking into account the Interfacial conditions of washing liquid and surface secure the inner jacket surface that the maintained closed film on the entire surface remains.

Die Grenzflächenverhältnisse zwischen innerer Mantelfläche der Brennkammer und Waschflüssigkeitsfilm können auch durch die Oberfläche der inneren Mantelfläche beeinflusst werden. Dabei sollte diese Oberfläche eine Oberflächenrauhtiefe im Bereich 100 bis 300 µm aufweisen.The boundary conditions between inner lateral surface the combustion chamber and washing liquid film can also through the surface of the inner lateral surface to be influenced. This should be the surface a surface roughness depth in the range 100 to 300 microns exhibit.

Die Gestalt der inneren Mantelfläche kann durch die Formgebung der Kammerwand der Brennkammer vorgegeben sein. Es besteht aber auch die Möglichkeit die äußere Gestalt der Brennkammer unabhängig von der Form der inneren Mantelfläche zu wählen. So kann beispielsweise außen an der Brennerkammer eine Isolation vorhanden sein, die dann auch eine abweichende Form, z.B. die Form eines Zylinders aufweisen kann.The shape of the inner surface can be through the Shaping the chamber wall of the combustion chamber specified be. But there is also the possibility of the outer Shape of the combustion chamber regardless of the shape of the to choose inner jacket surface. So, for example There is insulation on the outside of the burner chamber which then also have a different shape, e.g. may have the shape of a cylinder.

Es ist auch nicht zwingend erforderlich, dass eine konvexe Wölbung ausgehend vom Deckel bis zum Boden der Brennkammer einen konstanten Radius aufweist, es sollen lediglich abrupte Absätze vermieden werden. So kann beispielsweise die innere Mantelfläche einer Parabel folgend gewölbt sein.It is also not mandatory that one convex curvature from the lid to the floor the combustion chamber has a constant radius, it only abrupt paragraphs should be avoided. So For example, the inner surface of a parabola following arched.

In einer bevorzugten Ausführung kann die Zuführung für die Waschflüssigkeit einen radial um die Brennkammer umlaufenden Ringkanal aufweisen, dem von außen Waschflüssigkeit mit einem ausreichend großen vorgebbaren Volumenstrom zugeführt wird. Am Ringkanal ist eine in Richtung auf das Innere der Brennkammer weisende Überlaufkante vorhanden, über die die Waschflüssigkeit ablaufen kann. Die Überlaufkante bildet dabei die Oberkante der inneren Mantelfläche.In a preferred embodiment, the feeder for the washing liquid a radially around the combustion chamber have circumferential annular channel, the outside Washing liquid with a sufficiently large predefinable Volume flow is supplied. On the ring channel is one pointing towards the interior of the combustion chamber Overflow edge exists over which the washing liquid can expire. The overflow edge forms while the upper edge of the inner circumferential surface.

Die Überlaufkante sollte horizontal über den gesamten Umfang ausgerichtet sein, so dass über den gesamten Umfang ein zumindest annähernd konstanter Volumenstrom ablaufen und den Film auf der inneren Mantelfläche ausbilden kann. Es liegt auf der Hand, dass der zugeführte Volumenstrom an Waschflüssigkeit dem über der Überlaufkante ablaufenden Volumenstrom entsprechen soll.The overflow edge should be horizontal over the entire Scope be aligned so that over the entire Scope an at least approximately constant volume flow run off and the film on the inner surface can train. It is obvious, that the supplied volume flow of washing liquid the correspond over the overflow edge running volume flow should.

Die Waschflüssigkeit sollte über mindestens eine tangential ausgerichtete Zuleitung in den Ringkanal eingeführt wird, so dass im Ringkanal eine Strömung der Waschflüssigkeit mit geringer Strömungsgeschwindigkeit erzeugt wird. Günstiger ist es jedoch zwei sich diametral gegenüberliegender tangential ausgerichteter Zuleitungen an einem Ringkanal vorzusehen. Es können aber auch mehr als zwei solcher Zuleitungen vorhanden sein, die dann möglichst gleiche Winkelabstände zueinander haben sollten.The washing liquid should be tangential over at least one aligned supply line introduced into the annular channel becomes, so that in the ring channel a flow of Washing liquid with low flow velocity is produced. But it is cheaper two diametrically opposed tangentially aligned Provide supply lines to a ring channel. It but can also have more than two such leads be present, then as equal as possible angular distances should have to each other.

Mehrere Zuleitungen sollten aber auch so ausgerichtet sein, dass die Waschflüssigkeit mit gleicher Strömungsrichtung in den Ringkanal eingeführt wird.Several leads should also be aligned be that the washing liquid with the same flow direction is introduced into the annular channel.

Die tangentiale Strömung der Waschflüssigkeit im Ringkanal erfüllt im Wesentlichen die Aufgabe einen ausreichend hohen Füllstand im Ringkanal zu sichern, so dass über die gesamte innere Mantelfläche der Brennkammer ein geschlossener Film ausgebildet wird.The tangential flow of the washing liquid in Ring channel essentially fulfills the task a ensure a sufficiently high level in the annular channel, so that over the entire inner circumferential surface of the Combustion chamber is formed a closed film.

Durch eine solche Strömung kann aber auch der Bildung von Anhaftungen und Ablagerungen an der Überlaufkante bzw. im Ringkanal entgegen gewirkt werden. By such a flow but can also education of buildup and deposits on the overflow edge or counteracted in the annular channel.

Der Ringkanal kann oben offen sein bzw. die Überlaufkante kann auch durch einen radial umlaufenden Ringspalt gebildet sein.The annular channel may be open at the top or the overflow edge can also by a radially encircling annular gap be formed.

Außerdem sollte eine weitere Zuführung für ein Spülgas vorhanden sein, so dass mit einer Spülgasströmung der Deckel und Brenner sowie auch Prozessabgaszuführungen in der Brennkammer vor Waschflüssigkeit geschützt werden und keine Benetzung erfolgen kann.In addition, another feed should be for a purge gas be present, so that with a purge gas flow the lid and burner as well as process exhaust gas feeders protected in the combustion chamber from washing liquid and no wetting can take place.

Mit der Spülgasströmung kann auch eine Kondensatbildung in diesem Bereich verhindert zumindest jedoch behindert werden.With the purge gas flow can also be a condensation at least, however, in this area prevented be hampered.

Weiterhin werden unerwünschte chemische Reaktionen vermieden, die zu festen Ablagerungen führen. Trotzdem gebildete Feststoffe bleiben trocken und können mit der Spülgasströmung abgeblasen werden, so dass der in das innere der Brennkammer weisende Teil des Deckels frei gehalten werden kann.Furthermore, unwanted chemical reactions avoided, which lead to solid deposits. Nevertheless formed solids remain dry and can be blown off with the purge gas flow, so that the pointing into the interior of the combustion chamber part of Lids can be kept free.

Dadurch ist auch ein reduzierter Deckeldurchmesser möglich.This is also a reduced lid diameter possible.

Als Spülgas können bevorzugt inerte Gase, wie z.B. Stickstoff eingesetzt werden.As purge gas, inert gases such as e.g. Nitrogen can be used.

Die Zuführung für Spülgas in die Brennkammer kann als Ringanordnung von diskret angeordneten Düsen oder Düsenspalte bzw. als umlaufender Ringspalt ausgebildet sein. Die Austrittsöffnung(en) für Spülgas sollten nah bei der Zuführung für die Waschflüssigkeit angeordnet sein. Der Spülgasdruck sollte ausreichen, um eine Benetzung der zu schützenden Teile und Bereiche zu verhindern. The supply of purge gas in the combustion chamber can as Ring arrangement of discretely arranged nozzles or nozzle gaps or designed as a circumferential annular gap be. The exit opening (s) for purge gas should arranged close to the feed for the washing liquid be. The purge gas pressure should be sufficient to a wetting of the parts and areas to be protected to prevent.

Der mindestens eine Brenner kann mit einem Brenngas versorgt werden. Die Brenngaszusammensetzung kann dabei so gewählt werden, dass in der Flamme eine ausreichend hohe Temperatur und für die thermische Behandlung günstige stöchiometrische Verhältnisse erreichbar sind, die die jeweilige Zusammensetzung von zu behandelnden Prozessabgasen berücksichtigen.The at least one burner can with a fuel gas be supplied. The fuel gas composition can thereby be chosen so that in the flame one sufficient high temperature and for the thermal treatment favorable stoichiometric ratios can be achieved are who the particular composition of take into account the process gases to be treated.

An Brennern können auch Zündvorrichtungen vorhanden sein, mit denen beispielsweise eine Funkenzündung der Flamme erreichbar ist.On burners can also ignition devices available with which, for example, a spark ignition of Flame is reachable.

Neben mit Brenngasen betriebenen Brennern können aber auch Plasmabrenner eingesetzt werden. Dies können Lichtbogen- oder auch Mikrowellenplasmaquellen sein. Die Auswahl kann unter Berücksichtigung der jeweiligen Volumenströme von zu behandelndem Prozessabgas erfolgen. So sind Lichtbogenplasmaquellen bei größeren Volumenströmen zu bevorzugen.But burners operated with fuel gases can but Plasma torches are used. This can Arc or microwave plasma sources. The selection may take into account the respective Volume flows of process exhaust gas to be treated respectively. Thus, arc plasma sources are larger To prefer volume flows.

Das zu behandelnde Prozessabgas kann dabei zumindest teilweise direkt in einen Plasmabrenner eingeführt und zur Plasmabildung genutzt werden, so kann ggf. auf die Zuführung zusätzlicher Brenngase verzichtet oder eine reduzierte Zuführung von Gasen erreicht werden.The process exhaust gas to be treated can at least partially introduced directly into a plasma torch and used for plasma formation, it may possibly dispensed with the supply of additional fuel gases or achieved a reduced supply of gases become.

Mit der Erfindung können günstige Verhältnisse für den vollständigen Austrag von bei der Behandlung gebildeten Partikeln, ohne dass Anhaftungen an der inneren Wandung der Brennkammer auftreten sowie für die thermische Behandlung erreicht werden. In letzt genanntem Fall wirken sich die geometrische Gestaltung der inneren Mantelfläche auch thermisch (Verbrennungstemperatur, Kühlung) und bzgl. der Strömungsverhältnisse in der Brennkammer vorteilhaft aus.With the invention, favorable conditions for complete discharge of the treatment Particles, without any attachment to the inner Wall of the combustion chamber occur as well as for the thermal treatment can be achieved. In the latter Fall affect the geometric design the inner surface also thermally (combustion temperature, Cooling) and regarding the flow conditions advantageous in the combustion chamber.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann über lange Zeiträume Störungs- und Wartungsfrei betrieben werden. Eine Anpassung an unterschiedliche zu behandelnde Prozessabgase ist in einfacher Form möglich. So besteht die Möglichkeit unterschiedlich konfigurierte Deckel mit entsprechend angepassten Brenner- und Prozessabgaszuführungsanordnungen einzusetzen oder auszutauschen.The device according to the invention can be over a long time Periods are operated without interference and maintenance. An adaptation to different to be treated Process exhaust gases are possible in a simple form. So there is the possibility of differently configured Cover with appropriately adapted burner and process exhaust gas supply arrangements to use or exchange.

Nachfolgend soll die Erfindung an Hand von Beispielen näher erläutert werden.The invention is based on examples be explained in more detail.

Dabei zeigen:

Figur 1
ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer schematischen Schnittdarstellung;
Figur 2
einen vergrößerten Ausschnitt mit einer Zuführung für eine Waschflüssigkeit;
Figur 3
einen Teil einer Vorrichtung mit einer zentralen Anordnung eines Brenners;
Figur 4
einen Teil einer Vorrichtung mit mehreren radial außen angeordneten Brennern;
Figur 5
ein schematische Darstellung für eine Anordnung mehrerer Brenner mit Zuführungen für Prozessabgas und
Figur 6
eine Vorrichtung mit einem Plasmabrenner.
Showing:
FIG. 1
an example of a device according to the invention in a schematic sectional view;
FIG. 2
an enlarged section with a supply for a washing liquid;
FIG. 3
a part of a device with a central arrangement of a burner;
FIG. 4
a part of a device with a plurality of radially outwardly disposed burners;
FIG. 5
a schematic representation of an arrangement of multiple burners with feeders for process exhaust and
FIG. 6
a device with a plasma torch.

In Figur 1 ist in schematischer Form ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gezeigt. FIG. 1 shows in schematic form an example of one Inventive device shown.

Dabei ist die Kammerwand der Brennkammer 1 ausgehend vom oben angeordneten Deckel 3 bis hin zum Boden radial nach außen konvex gewölbt, so dass sich eine entsprechende Form auch für die innere Mantelfläche ergibt.In this case, the chamber wall of the combustion chamber 1 is starting from the top lid 3 to the bottom radially arched convex outward, leaving a corresponding shape also for the inner lateral surface results.

Die Gestalt ist auch rotationssymmetrisch um die Längsachse (Strich-Punkt-Linie) der Brennkammer 1 ausgebildet.The shape is also rotationally symmetric around the Longitudinal axis (dash-dot line) of the combustion chamber. 1 educated.

Unmittelbar unterhalb des Deckels 3 ist eine Zuführung 2 für Waschflüssigkeit angeordnet über die die Waschflüssigkeit im Überlauf zur Ausbildung eines geschlossenen Filmes 11 auf der gesamten inneren Mantelfläche geführt ist. Dadurch wird erreicht, dass der in das innere weisende Teil des Deckels 3 trocken bleibt und von der Waschflüssigkeit nicht benetzt wird.Immediately below the lid 3 is a feeder 2 arranged for washing over the the Washing fluid in the overflow to form a closed Film 11 on the entire inner surface is guided. This ensures that the dry in the inner facing part of the lid 3 remains and not wetted by the washing liquid becomes.

Dies wird durch eine Spülgasströmung noch unterstützt. Dabei wird ein Spülgas über Zuführungen 7 in die Brennkammer 1 eingeführt. Die Zuführungen für Spülgas sind dabei zwischen Zuführung 2 für Waschflüssigkeit und Deckel 3 mit Brenner 4 und Prozessabgaszuführungen 8 angeordnet, so dass auch diese Elemente vor Waschflüssigkeit geschützt sind und trocken gehalten werden können.This is still supported by a purge gas flow. In this case, a purge gas via feeds 7 in the combustion chamber 1 introduced. The feeders for Purging gas are between feed 2 for washing liquid and lid 3 with burner 4 and process exhaust gas feeds 8 arranged, so that too these elements are protected from scrubbing liquid and dry can be kept.

Das hier gezeigte Beispiel verwendet mehrere Brenner 4, die radial außen in einem Abstand zur Längsachse der Brennkammer 1 angeordnet sind. Zwischen den Brennern 4 also näher an der Längsachse ist mindestens eine, hier aber mehrere Prozessabgaszuführungen 8 angeordnet. Durch die Prozessabgaszuführungen 8 werden zu behandelnde Prozessabgase in die Brennkammer 1 eingeführt, wobei in nicht dargestellter Form bereits eine Vormischung mit einem zusätzlichen für die thermische Behandlung erforderlichen oder diese fördernden Gas oder Gasgemisch erfolgen kann.The example shown here uses several burners 4, the radially outward at a distance from the longitudinal axis the combustion chamber 1 are arranged. Between the burners 4 so closer to the longitudinal axis is at least one, but here several process exhaust feeds 8 arranged. By the process exhaust gas feeds 8 are process waste gases to be treated in the combustion chamber 1 introduced, in unillustrated form already a premix with an additional for the thermal Treatment required or promotional Gas or gas mixture can be done.

Eine Vormischung kann auch zu den Brennern 4 vorgesehen werden, in dem zum Beispiel einem Brenngas Prozessabgas zugemischt wird.A premix may also be provided to the burners 4 in which, for example, a fuel gas process exhaust is mixed.

Wie in Figur 1 deutlich wird sind die Brenner 4 in einem schräg geneigten Winkel jeweils in Richtung auf die zentral angeordnete Längsachse der Brennkammer 1 ausgerichtet, so dass die zu behandelnden Prozessabgase unmittelbar zwischen Flammen der Brenner 4 einströmen und zwingend in deren Einflussbereich gelangen.As can be seen clearly in FIG. 1, the burners 4 are in FIG an obliquely inclined angle in each case in the direction of the centrally arranged longitudinal axis of the combustion chamber. 1 aligned so that the process gases to be treated flow directly between flames of the burner 4 and necessarily reach their sphere of influence.

Aus der Gestalt der inneren Mantelfläche der Brennkammer 1 ergibt sich ausgehend vom Deckel eine kontinuierliche Vergrößerung der lichten Weite, bis diese ein Maximum erreicht. Dieses Maximum kann beispielsweise in der Mitte zwischen Deckel 3 und Boden der Brennkammer 1 angeordnet sein. Von da aus reduziert sich die lichte Weite in Richtung Boden wieder.From the shape of the inner surface of the combustion chamber 1 results from the lid a continuous Enlargement of the clear width, until this reached a maximum. This maximum can be, for example in the middle between cover 3 and bottom of the Be arranged combustion chamber 1. From there reduced the clear width towards the ground again.

Am Boden ist eine Abführung 5 für Partikel enthaltende Waschflüssigkeit und die thermisch behandelten Abgase vorhanden.At the bottom is a discharge 5 for particles containing Washing liquid and the thermally treated exhaust gases available.

Beim hier gezeigten Beispiel ist an der Abführung 5 zusätzlich eine Sprühdüse 10 vorhanden, deren Sprühstrahl orthogonal zur Längsachse der Brennkammer 1 ausgerichtet ist. Der Sprühstrahl kann aber auch vertikal oder schräg nach oben geneigt gerichtet sein.In the example shown here is at the discharge 5 in addition a spray nozzle 10 is present, the spray orthogonal to the longitudinal axis of the combustion chamber. 1 is aligned. The spray jet can also be vertical or inclined obliquely upwards.

Die Sprühdüse 10 ist bevorzugt als Zweistoffdüse für ein Flüssigkeits-Gas-Gemisch ausgebildet.The spray nozzle 10 is preferably as a two-fluid nozzle for a liquid-gas mixture is formed.

Mit Hilfe des Sprühstrahles können bis dahin noch nicht von der ablaufenden Waschflüssigkeit aufgenommene Partikel aus dem Abgas entfernt und, wie gezeigt einem Nassabscheider zugeführt werden. Außerdem kann bei der Behandlung gebildeter Dampf kondensiert und mit der Waschflüssigkeit abgeführt werden.With the help of the spray can until then still not absorbed by the running washing liquid Particles are removed from the exhaust and, as shown fed to a wet scrubber. In addition, can in the treatment formed steam condensed and be removed with the washing liquid.

Die mit Partikeln kontaminierte Waschflüssigkeit kann in nicht dargestellter Form einem Feststoffabscheider zu und anschließend frei von Partikeln im Kreislauf rückgeführt werden.The contaminated with particles washing liquid can in a form not shown a solids separator to and then free of particles in the circulation be returned.

Bei den nachfolgend beschriebenen Figuren sind die gleichen Bezugszeichen für gleiche Elemente, wie bei Figur 1 verwendet worden.In the figures described below are the the same reference numerals for the same elements as in Figure 1 has been used.

In Figur 2 ist ein vergrößerter Ausschnitt am äußeren oberen Rand einer Vorrichtung mit Zuführung 2 für Waschflüssigkeit gezeigt.In Figure 2 is an enlarged section on the outside upper edge of a device with feeder 2 for Washing liquid shown.

Dabei ist unmittelbar unterhalb des Deckels 3 ein umlaufender Ringkanal 2' vorhanden in den Waschflüssigkeit zugeführt wird, so dass er beim Betrieb der Vorrichtung immer ausreichend gefüllt ist, um zu gewährleisten, dass über den gesamten Umfang Waschflüssigkeit über eine ebenfalls umlaufende Überlaufkante 2'', die am Ringkanal 2' vorhanden ist, ablaufen und den geschlossenen Film 11 auf der gesamten inneren Mantelfläche der Brennkammer 1 ausbilden kann, ohne dass dabei auf die Waschflüssigkeit außer der Gravitationskraft weitere Kräfte ausgeübt werden.Here, immediately below the lid 3 is a circumferential Ring channel 2 'present in the washing liquid is supplied, so that he in the operation of the Device is always sufficiently filled to ensure that over the entire circumference washing liquid via a likewise circumferential overflow edge 2 '', which is present on the annular channel 2 ', expire and the closed film 11 on the entire inner Forming lateral surface of the combustion chamber 1, without that on the washing liquid except the gravitational force other forces are exercised.

In Figur 2 ist außerdem eine Zuführung 7 für ein Spülgas dargestellt. Die Zuführung 7 ist ebenfalls radial außen angeordnet, so dass zwischen Zuführung 2 für Waschflüssigkeit und Deckel 3 eine Spülgasströmung ausgebildet ist, die den Deckel 3 mit den weiteren an ihm angeordneten Elementen vor einer Benetzung durch Waschflüssigkeit schützt.In Figure 2 also has a feed 7 for a Purging gas shown. The feeder 7 is also arranged radially outside, so that between feed 2 for washing liquid and lid 3 a purge gas flow is formed, the lid 3 with the other arranged on him elements before wetting protected by washing liquid.

Das Spülgas gelangt hier durch einen umlaufenden Ringspalt in die Brennkammer 1, der unmittelbar unterhalb des Deckels 3 angeordnet ist, so dass ein Spülgasfilm entlang des nach innen weisenden Teil des Deckels 3 ausgebildet wird, der das Anhaften von Partikeln oder anderen Feststoffen verhindert, zumindest jedoch behindert und ggf. anhaftende Feststoffe auch abgeblasen werden können.The purge gas passes through a circulating Annular gap in the combustion chamber 1, immediately below the lid 3 is arranged so that a Purging gas film along the inward facing part of the Cover 3 is formed, the adhesion of particles or other solids, at least however, hindered and possibly adhering solids also can be blown off.

Als Spülgas kann bevorzugt Stickstoff oder auch Druckluft eingesetzt werden.As purge gas may preferably nitrogen or else Compressed air can be used.

Figur 3 zeigt eine andere mögliche Anordnung von Brenner 4 und Prozessabgaszuführungen 8. Hier ist ein Brenner 4 zentral auf der Längsachse der Brennkammer 1 angeordnet. In einem Abstand zum Brenner 4 sind radial weiter außen zwei oder auch mehr als zwei Prozessabgaszuführungen 8 angeordnet. Die Anordnung sollte symmetrisch sein.FIG. 3 shows another possible arrangement of Burner 4 and process exhaust gas feeders 8. Here is a Burner 4 centrally on the longitudinal axis of the combustion chamber 1 arranged. At a distance from the burner 4 are radial further out, two or more than two process exhaust gas feeds 8 arranged. The order should be symmetrical.

Dabei sind die Prozessabgaszuführungen 8 und demzufolge auch die Strömungsrichtung der in die Brennkammer 1 eingeführten Prozessabgase schräg in Richtung auf die Längsachse der Brennkammer 1 und dementsprechend in die Flamme des Brenners 4 gerichtet.In this case, the process exhaust gas feeds 8 and consequently also the flow direction of the into the combustion chamber 1 introduced process gases at an angle in the direction on the longitudinal axis of the combustion chamber 1 and accordingly directed into the flame of the burner 4.

Mit den Figuren 4 und 5 sollen mögliche Anordnungen mehrerer Brenner 4 und Prozessabgaszuführungen 8 aufgezeigt werden. With the figures 4 and 5 are possible arrangements several burner 4 and process exhaust gas feeds 8 shown become.

Dabei bilden insgesamt vier Brenner 4 eine quasi Ringanordnung um ebenfalls vier in Sternform diskret zueinander angeordnete Prozessabgaszuführungen 8. Die Brenner 4 und dementsprechend auch ihre jeweiligen Flammen sind schräg nach innen und unten gerichtet, so dass die Flammen einen "Kranz" bilden, in den die zu behandelnden Prozessabgase und ggf. zusätzliche für die thermische Behandlung erforderliche bzw. diese fördernde Gase zwischen den Flammenkranz in die Brennkammer 1 eingeführt werden und dann zwangsweise in den Einflussbereich der Flammen gelangen.A total of four burners 4 form a quasi ring arrangement also four discreet in star form arranged to each other process exhaust gas supply 8. The Burner 4 and accordingly their respective Flames are directed diagonally inwards and downwards, so that the flames form a "wreath" into which the Process gases to be treated and possibly additional required for the thermal treatment or this conveying gases between the flame wreath in the Combustion chamber 1 are introduced and then forcibly get into the sphere of influence of the flames.

Die Brenner 4 und auch die Prozessgaszuführungen 8 sind jeweils zueinander äquidistant und in jeweils gleichen Winkelabständen zueinander angeordnet.The burners 4 and also the process gas feeds 8 are mutually equidistant and in each case arranged equal angular intervals to each other.

Mit Figur 5 wird ferner deutlich, wie zwei Zuleitungen 6 für Waschflüssigkeit angeordnet und ausgerichtet sein können, über die Waschflüssigkeit in den Ringkanal 2' einströmen kann, um eine nahezu konstante Befüllung des Ringkanals 2' über seinen gesamten Umfang zu erreichen.With Figure 5 is also clear how two leads 6 arranged and aligned for washing liquid can be over the washing liquid in the Ring channel 2 'can flow to a nearly constant Filling the annular channel 2 'over its entire Reach scope.

In Figur 6 ist ein Beispiel gezeigt, bei dem ein Plasmabrenner 4 und analog zum in Figur 3 gezeigten Beispiel mehrere Prozessabgaszuführungen 8 angeordnet und ausgerichtet sind.In Figure 6, an example is shown in which a Plasma torch 4 and analogous to that shown in Figure 3 Example, several process exhaust gas feeders 8 arranged and are aligned.

Claims (19)

Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen, mit einer Brennkammer in deren oben angeordneten Deckel mindestens ein Brenner mit einer Prozessabgaszuführung angeordnet ist, einer Zuführung für Waschflüssigkeit, die einen Film für die Abführung von Partikeln auf der inneren Wandung der Brennkammer ausbildet und einer am Boden der Brennkammer angeordneten Abführung für Abgas und Waschflüssigkeit,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Zuführung (2) für die Waschflüssigkeit unmittelbar unterhalb des Deckels (3) angeordnet und so ausgebildet ist, dass sich ein geschlossener Film (11) auf der gesamten inneren Mantelfläche der Brennkammer (1) ausschließlich gravitationskraftbedingt ausbildet und
der in das Innere der Brennkammer (1) weisende Teil des Deckels (3) mit Brenner(n) (4) von der Waschflüssigkeit nicht benetzt ist.Device for the thermal treatment of pollutants containing process exhaust gases, with a combustion chamber in the top lid arranged at least one burner is arranged with a process exhaust gas supply, a supply for washing liquid, which forms a film for the removal of particles on the inner wall of the combustion chamber and one on the ground the combustion chamber arranged discharge for exhaust gas and washing liquid,
characterized in that
the supply (2) for the washing liquid immediately below the cover (3) is arranged and formed so that a closed film (11) on the entire inner circumferential surface of the combustion chamber (1) exclusively gravitational force formed and
that in the interior of the combustion chamber (1) facing part of the lid (3) with the burner (s) (4) is not wetted by the washing liquid. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Mantelfläche der Brennkammer (1) ausgehend vom Deckel (3) bis hin zur Abführung (5) eine nach außen konvex geformte, um die Längsachse der Brennkammer (1) rotationssymmetrische Gestalt aufweist. Apparatus according to claim 1, characterized in that the inner circumferential surface of the combustion chamber (1) starting from the cover (3) to the discharge (5) convexly outwardly formed around the longitudinal axis of the combustion chamber (1) has rotationally symmetrical shape. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführung (2) für Waschflüssigkeit mit einem radial umlaufenden Ringkanal (2') und einer in Richtung auf das Innere der Brennkammer (1) weisenden Überlaufkante (2'') ausgebildet ist und die Überlaufkante (2'') die Oberkante der inneren Mantelfläche bildet.Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the supply (2) for washing liquid with a radially encircling annular channel (2 ') and in the direction of the interior of the combustion chamber (1) facing the overflow edge (2'') is formed and the Overflow edge (2 '') forms the upper edge of the inner circumferential surface. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an den Ringkanal (2') mindestens eine tangential ausgerichtete Zuleitung (6) für Waschflüssigkeit angeschlossen ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one tangentially oriented supply line (6) for washing liquid is connected to the annular channel (2 '). Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Deckel (3) und Zuführung (2) für Waschflüssigkeit) Zuführungen (7) für eine den Deckel (3) und/oder Brenner (4) vor Waschflüssigkeit schützende Spülgasströmung angeordnet sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that between the cover (3) and supply (2) for washing liquid) feeds (7) for the lid (3) and / or burner (4) are protected from washing liquid purge gas flow. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführung (7) für ein Spülgas als radial umlaufender Ringspalt oder als diskret zueinander angeordnete Spalte an der Brennkammer (1) ausgebildet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the feed (7) is designed for a purge gas as a radially encircling annular gap or as discretely arranged column to the combustion chamber (1). Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem mindestens einen Brenner (4) ein Brenngas zu geführt wird.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one burner (4) a fuel gas is supplied to. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem/den Brenner(n) (4) eine Zündvorrichtung vorhanden ist. Device according to one of the preceding claims, characterized in that on the burner (s) (4) an ignition device is present. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Brenner (4) ein Plasmabrenner ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one burner (4) is a plasma torch. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Brenner (4) eine Lichtbogenplasmaoder Mikrowellenplasmaquelle ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one burner (4) is an arc plasma or microwave plasma source. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Prozessabgases dem mindestens einen Brenner (4) zugeführt wird.Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least a portion of the process exhaust gas is supplied to the at least one burner (4). Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Prozessabgaszuführungen (8) in einem schräg in Richtung auf eine Flamme oder das Plasma eines Brenners (4) geneigten Winkel ausgerichtet sind.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that process exhaust gas feeds (8) are aligned in an obliquely inclined towards a flame or the plasma of a burner (4) angle. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Flammen von Brennern (4) in schräg geneigten Winkeln in Bezug zu mindestens einer Prozessabgaszuführung (8) ausgerichtet sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that flames of burners (4) are aligned at obliquely inclined angles with respect to at least one process exhaust gas feed (8). Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Brenner (4) und/oder Prozessabgaszuführungen (8) jeweils symmetrisch in Bezug zur Längsachse der Brennkammer (1) angeordnet sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that a plurality of burners (4) and / or process exhaust gas feeds (8) are each arranged symmetrically with respect to the longitudinal axis of the combustion chamber (1). Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Brenner (4) jeweils radial außen in Bezug zu mindestens einer Prozessabgaszuführung (8) angeordnet sind. Device according to one of the preceding claims, characterized in that burners (4) are each arranged radially outside with respect to at least one process exhaust gas feed (8). Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Mantelfläche der Brennkammer (1) kontinuierlich gewölbt ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the inner circumferential surface of the combustion chamber (1) is continuously curved. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich des Bodens der Brennkammer (1) oder an der Abführung (9) für Waschflüssigkeit und Abgas eine Sprühdüse (10) angeordnet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that in the region of the bottom of the combustion chamber (1) or at the discharge (9) for washing liquid and exhaust gas, a spray nozzle (10) is arranged. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sprühdüse (10) als Zweistoffdüse für ein Gas-Flüssigkeitsgemisch ausgebildet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the spray nozzle (10) is designed as a two-fluid nozzle for a gas-liquid mixture. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche der inneren Mantelfläche der Brennkammer (1) eine Oberflächenrauhtiefe von 100 bis 300 µm aufweist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the surface of the inner circumferential surface of the combustion chamber (1) has a surface roughness depth of 100 to 300 microns.
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