KR101438589B1 - Variable combustion chamber of the scrubber - Google Patents

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KR101438589B1 KR1020130000315A KR20130000315A KR101438589B1 KR 101438589 B1 KR101438589 B1 KR 101438589B1 KR 1020130000315 A KR1020130000315 A KR 1020130000315A KR 20130000315 A KR20130000315 A KR 20130000315A KR 101438589 B1 KR101438589 B1 KR 101438589B1
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Abstract

본 발명은 스크러버의 가변연소챔버에 관한 것으로, 원통형의 하우징과, 상기 하우징의 내측에 위치하며, 외부에서 연결되는 산소공급관을 통해 공급된 산소와, 제2연료가스공급관을 통해 연료 가스를 공급받아 각각 상부와 하부에서 분리되게 분사하는 원통형의 연소실과, 폐 가스를 상기 하우징 내에 공급하는 폐가스공급관에 연결되어, 상기 폐 가스와 연료 가스가 혼합되도록 하는 제1연료가스공급관을 포함한다. 본 발명은 폐 가스의 종류에 따라 예혼합식 또는 비예혼합식의 방식으로 폐 가스를 연소처리할 수 있어, 연료 가스의 소비량을 최적화하여 비용을 절감할 수 있으며, 처리 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a variable combustion chamber of a scrubber, and more particularly, to a variable combustion chamber of a scrubber, which comprises a cylindrical housing, oxygen supplied through an oxygen supply pipe located on the inside of the housing and connected from the outside, And a first fuel gas supply pipe connected to a waste gas supply pipe for supplying a waste gas into the housing, for mixing the waste gas and the fuel gas. According to the present invention, the waste gas can be burned in a pre-mixed or non-mixed manner depending on the type of the waste gas, so that the consumption amount of the fuel gas can be optimized to reduce the cost and the effect of increasing the treatment efficiency have.

Description

스크러버의 가변연소챔버{Variable combustion chamber of the scrubber}[0001] The present invention relates to a variable combustion chamber of the scrubber,

본 발명은 스크러버의 가변연소챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정의 종류별로 다양한 형태의 운전이 가능한 스크러버의 가변연소챔버에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a variable combustion chamber of a scrubber, and more particularly, to a variable combustion chamber of a scrubber capable of various types of operations according to types of processes.

일반적으로, 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자의 제조에는 다양한 가스를 사용하며, 이처럼 제조 공정에 사용된 폐 가스는 대기로 직접 배출될 수 없으며, 다양한 방식으로 처리하여 안전한 상태로 배출되어야 한다.In general, various gases are used for the production of semiconductor devices and flat panel display devices, and the waste gas used in the manufacturing process can not be directly discharged to the atmosphere and must be discharged in a safe state by various treatments.

폐 가스를 처리하는 방법으로는 폐가스를 물의 접촉면을 넓혀 물에 가스를 흡수 및 용해시켜 처리하는 습식 처리방식과, 열원에 의해 가스를 열 산화시켜 처리하는 열산화 처리방식, 또한 흡착제를 통해 폐가스를 물리적 또는 화학적으로 흡착 처리하는 건식 처리방식이 있다. 이중 열원에 의한 폐가스의 열산화 처리방식에는 히터에 의한 처리방식, LNG 또는 H2 등의 연료가스의 연소에 의한 처리방식, 열 플라즈마의 불꽃에 의한 처리방식으로 분류된다.
As a method of treating the waste gas, there are a wet treatment method in which the waste gas absorbs and dissolves the gas by widening the contact surface of the water, a thermal oxidation treatment method in which the gas is thermally oxidized by a heat source, There is a dry treatment method in which adsorption treatment is performed physically or chemically. The thermal oxidation treatment method of the waste gas by the double heat source includes a treatment method using a heater, LNG or H 2 , A method of treating by combustion of a fuel gas, and a method of treating by a flame of a thermal plasma.

상기한 방식 중에 연소 처리 방식은, 폐 가스의 종류에 따라 폐 가스에 연소가스를 미리 혼합한 후 연소시키는 예혼합방식 또는 폐 가스를 연소공간을 지나도록 하여 처리하는 확산방식을 사용할 수 있다. 연료 가스를 미리 혼합한 후 연소시키는 예혼합 방식은 상대적으로 고온 처리가 필요한 에칭(Etching)에 사용된 PFC, SF6 등의 가스를 처리하기에 적당하며, 이때 폐 가스의 처리시 확산방식에 비해 연료가스의 소비량을 줄일 수 있다.The combustion treatment method in the above-described method may be a premixing method in which a combustion gas is preliminarily mixed with a waste gas depending on the type of the waste gas, or a diffusion method in which the waste gas is passed through the combustion space. The premixing method in which the fuel gas is pre-mixed and then combusted is suitable for treating gases such as PFC and SF 6 used for etching requiring relatively high temperature treatment. In this case, The consumption of the fuel gas can be reduced.

이와 반대로 확산방식은 적은 연료로 처리 가능한 증착 공정의 클리닝가스(NF3) 처리에서는 연소공간에서 폐 가스와 산소의 혼합으로 적은 양의 연료 가스를 사용하여 폐 가스를 처리하는 방식이다.
On the contrary, the diffusion method is a method of treating waste gas using a small amount of fuel gas by mixing of waste gas and oxygen in a combustion space in a cleaning gas (NF 3 ) treatment of a deposition process capable of treating with a small amount of fuel.

이처럼 폐 가스의 종류에 따라 서로 다른 연소 방식의 스크러버를 사용하며, 이러한 방식이 폐 가스의 종류와 적절하게 조합되지 않는 경우 불필요하게 연료 가스의 소비량이 증가하거나, 폐 가스의 처리가 완전히 이루어지지 않을 수 있다.
In this way, different types of combustion scrubber are used depending on the kind of the waste gas. If the system is not appropriately combined with the type of the waste gas, the consumption of the fuel gas is unnecessarily increased or the waste gas is not completely treated .

이와 같은 방식들의 한 예인 등록특허 10-0631289(폐 가스 정화처리장치의 가스 버너 노즐)에는 폐가스가 공급되는 공급관의 외측으로 다수의 연료 가스 공급노즐이 마련되고, 그 연료 가스 공급구의 외측에는 다수의 산소가스 공급노즐을 포함하는 버너 노즐이 기재되어 있다. 이러한 구성은 폐 가스를 직접 연소의 화염에 접촉시키는 확산연소방식으로, 산소노즐의 각도를 조절하여 버너의 화염과 폐 가스가 잘 혼합됨과 동시에 화염을 안정적으로 형성시키고, 일산화 탄소의 발생량을 현저하게 줄여 완전 연소시키는 장치로 설명되어 있다.A plurality of fuel gas supply nozzles are provided outside the supply pipe to which waste gas is supplied, and a plurality of fuel gas supply nozzles are provided outside the fuel gas supply port, in an example of such a system, which is a gas burner nozzle of a waste gas purifier. There is disclosed a burner nozzle including an oxygen gas supply nozzle. This configuration is a diffusive combustion method in which waste gas is directly brought into contact with a flame of a combustion. By adjusting the angle of the oxygen nozzle, the flame and the waste gas of the burner are mixed well and the flame is stably formed. And is described as a device that completely burns.

그러나 에칭 공정의 가스 중 특히 고온에서 열 산화되는 PFC 가스의 경우 폐 가스와 확산 연소의 화염이 예혼합 연소 화염에 비해 열 전달이 낮아 PFC 가스를 처리하기 위해서는 연료 사용량이 증가하게 되는 문제점이 있었다.However, in the case of the PFC gas which is thermally oxidized at a high temperature in the etching process, there is a problem that the waste gas and diffused combustion flame have lower heat transfer than the pre-mixed combustion flame, and thus the fuel consumption is increased to treat the PFC gas.

또한 등록특허 10-0623369(반도체 제조 장비용 배기가스 처리장치의 버너)에는 위의 예와 마찬가지로 중앙부에 폐 가스가 공급되는 공급관이 마련되며, 공급관 외측으로 연료 가스 공급 노즐 및 연료 가스 공급노즐 외측에 산소가스 공급노즐이 마련되며, 산소가스 노즐 외면을 따라 냉각 공간이 형성되어 있는 조립 설치관이 포함된 버너가 기재되어 있다. 이러한 구성은 상기 등록특허 10-0631289호와 같이 확산연소 방식의 버너에 관한 것이며, 연료와 산소의 혼합을 촉진할 수 있고, 연료 및 산소의 혼합가스가 폐 가스와 혼합되지 않게 할 수 있으며, 배기가스의 연소 전 상호 혼합을 방지할 수 있어, 배기가스의 연소 효율을 향상시키는 구성이다. 그러나 이와 같은 종래의 버너 역시 특정 가스에 대하여 높은 연료 소비량을 가지는 문제점이 있었다.
Further, in the same manner as in the above example, a supply pipe for supplying waste gas to the central portion is provided in the burner of the exhaust gas treatment device for a semiconductor manufacturing equipment, and the fuel gas supply nozzle and the fuel gas supply nozzle There is disclosed a burner including an assembled installation pipe provided with an oxygen gas supply nozzle and a cooling space formed along the outer surface of the oxygen gas nozzle. Such a configuration is related to a diffuser combustion type burner as described in the above-mentioned Patent No. 10-0631289, and can promote the mixing of fuel and oxygen, can prevent the mixed gas of fuel and oxygen from mixing with the waste gas, It is possible to prevent mutual mixing of the gases before the combustion, thereby improving the combustion efficiency of the exhaust gas. However, such a conventional burner also has a problem of high fuel consumption for a specific gas.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 폐 가스의 연소 처리 전에 폐 가스에 연료 가스를 혼합하는 예혼합방식과 예혼합을 사용하지 않는 방식으로 가변하여 운용함이 가능한 스크러버의 가변연소챔버를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a variable combustion chamber of a scrubber capable of being operated in a pre-mixing mode in which fuel gas is mixed with a waste gas before combustion of waste gas and in a manner that does not use premixing .

아울러 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 폐 가스의 종류에 따라 연료 가스의 공급유량을 가변시켜 연료 가스가 낭비되는 것을 방지할 수 있는 스크러버의 가변연소챔버를 제공함에 있다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a variable combustion chamber of a scrubber capable of varying the supply flow rate of the fuel gas according to the type of the waste gas to prevent the fuel gas from being wasted.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 장치를 분해하지 않고도 주기적으로 연소 공간 등을 세정할 수 있는 가변연소챔버를 제공함에 있다.
Another object of the present invention is to provide a variable combustion chamber capable of periodically cleaning a combustion space without disassembling the apparatus.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명 스크러버의 가변연소챔버는, 원통형의 하우징과, 상기 하우징의 내측에 위치하며, 외부에서 연결되는 산소공급관을 통해 공급된 산소와, 제2연료가스공급관을 통해 연료 가스를 공급받아 각각 상부와 하부에서 분리되게 분사하는 원통형의 연소실과, 폐 가스를 상기 하우징 내에 공급하는 폐가스공급관에 연결되어, 상기 폐 가스와 연료 가스가 혼합되도록 하는 제1연료가스공급관을 포함한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a variable combustion chamber of a scrubber including a cylindrical housing, oxygen supplied through an oxygen supply pipe located on the inner side of the housing, And a first fuel gas supply pipe connected to a waste gas supply pipe for supplying a waste gas into the housing, the first fuel gas supply pipe allowing the waste gas to be mixed with the fuel gas do.

본 발명은, 폐 가스의 종류에 따라 예혼합방식 또는 확산방식의 방식으로 폐 가스를 연소처리할 수 있어, 연료 가스의 소비량을 최적화하여 비용을 절감할 수 있으며, 처리 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to burn the waste gas in a pre-mixing system or a diffusion system depending on the type of the waste gas, thereby optimizing the consumption amount of the fuel gas and reducing the cost, have.

아울러 본 발명은 분해하지 않고도 주기적으로 챔버 내부를 세정할 수 있어, 폐 가스를 발생시키는 공정의 중단 없이도 지속적인 폐 가스의 처리가 가능하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can periodically clean the inside of the chamber without disassembly, so that it is possible to continuously treat the waste gas without stopping the process of generating the waste gas, thereby improving the productivity.

또한 본 발명은 연료 가스의 공급 위치와 산소 가스의 공급 위치를 최적화하여, 연료의 소비를 최소화하면서도 폐 가스의 처리 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
Further, the present invention has an effect of optimizing the supply position of the fuel gas and the supply position of the oxygen gas, thereby increasing the treatment efficiency of the waste gas while minimizing the consumption of the fuel.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스크러버의 가변연소챔버의 상세 구성도이다.
도 2와 도 3는 본 발명의 가변연소챔버가 예혼합 상태의 연소와 비혼합 상태의 연소 상태를 보인 모식도이다.1 is a detailed block diagram of a variable combustion chamber of a scrubber according to a preferred embodiment of the present invention.
FIGS. 2 and 3 are schematic views showing the combustion state of the premixed combustion state and the non-mixed state of the variable combustion chamber of the present invention. FIG.

이하, 본 발명 연소식 스크러버 시스템에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, a combustion scrubber system of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스크러버의 가변연소챔버의 단면 구성도이다.1 is a cross-sectional view of a variable combustion chamber of a scrubber according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가변연소챔버는, 원통형의 하우징(180)과, 상기 하우징(180) 내로 폐 가스를 공급하는 폐가스공급관(120)과, 상기 하우징(180)의 내측에 위치하며, 외부에서 연결되는 산소공급관(150)을 통해 공급된 산소와, 제2연료가스공급관(112)을 통해 연료 가스를 공급받아 각각 상부와 하부에서 분리되게 분사하는 원통형의 연소실(140)과, 상기 하우징(180)의 내측에 위치하며, 상기 폐가스공급관(120)에 연료가스를 공급하여, 폐 가스와 연료가스가 혼합되도록 하는 제1연료가스공급관(111)과, 점화를 위한 점화기(163)와, 연소상태를 확인할 수 있는 제1자외선센서(161) 및 제2자외선센서(162)와, 상기 하우징(180)의 하부측에 냉각수를 공급하는 냉각수공급관(190)을 포함한다.
Referring to FIG. 1, the variable combustion chamber according to an exemplary embodiment of the present invention includes a cylindrical housing 180, a waste gas supply pipe 120 for supplying a waste gas into the housing 180, And a cylindrical combustion chamber 140 for supplying fuel gas through the second fuel gas supply pipe 112 and separately injecting the fuel gas from the upper and lower parts, respectively, A first fuel gas supply pipe 111 located inside the housing 180 for supplying a fuel gas to the waste gas supply pipe 120 to mix the waste gas and the fuel gas, A first ultraviolet sensor 161 and a second ultraviolet sensor 162 for confirming the combustion state and a cooling water supply pipe 190 for supplying cooling water to the lower side of the housing 180. [

상기 하우징(180)은 상부측의 연소챔버하우징(181)과, 상기 연소챔버하우징(181)의 하부에 위치하는 파일럿챔버하우징(182)과, 상기 연소챔버하우징(181)의 상부를 덮는 중공매니폴드(185)를 포함하여 구성된다.
The housing 180 includes a combustion chamber housing 181 at an upper side, a pilot chamber housing 182 at a lower portion of the combustion chamber housing 181, and a hollow manifold 182 covering an upper portion of the combustion chamber housing 181. [ And a fold 185.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스크러버의 가변연소챔버의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the variable combustion chamber of the scrubber according to the preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 본 발명에 따른 가변연소챔버의 외형을 이루는 하우징(180)은 상하로 구분되는 두 개의 원통형 하우징을 포함한다. 상부에는 연소챔버하우징(181)이 마련되며, 그 내부에는 단열재(183)가 충진 되어 연소열이 유지될 수 있도록 단열시킨다. First, the housing 180 constituting the external shape of the variable combustion chamber according to the present invention includes two cylindrical housings which are divided into upper and lower parts. A combustion chamber housing 181 is provided in the upper portion, and a heat insulating material 183 is filled therein to insulate the combustion chamber 181 so that the heat of combustion can be maintained.

또한 상기 연소챔버하우징(181)의 하부에 위치하는 파일럿챔버하우징(182)에는 냉각수공급관(190)을 통해 냉각수가 공급되어 과열을 방지하게 된다.Cooling water is supplied to the pilot chamber housing 182 located below the combustion chamber housing 181 through the cooling water supply pipe 190 to prevent overheating.

이때 상기 파일럿챔버하우징(182) 내에 공급된 냉각수는 순환관(184)를 통해 상기 중공매니폴드(185)로 공급되어 하우징(180)의 상부측이 과열되는 것을 방지할 수 있게 된다.
At this time, the cooling water supplied into the pilot chamber housing 182 is supplied to the hollow manifold 185 through the circulation pipe 184 to prevent the upper side of the housing 180 from being overheated.

상기 연소챔버하우징(181)의 내측에는 원통형의 연소실(140)이 위치하며, 그 연소실(140)의 내경부를 통해 폐 가스가 정화 처리된다. 상기 연소실(140)의 구조는 산소공급관(150)을 통해 산소를 공급받아 내경부를 향해 고르게 분사하는 다수의 산소노즐(142)이 마련된 상부실(141)과, 상부실(141)의 하부에 마련되어 상기 제2연료가스공급관(112)을 통해 연료 가스를 공급받아 내경부로 분사하는 연료노즐(144)를 포함하는 하부실(143)을 포함하여 구성된다.A cylindrical combustion chamber 140 is located inside the combustion chamber housing 181 and the waste gas is purified through an inner diameter portion of the combustion chamber 140. The structure of the combustion chamber 140 includes an upper chamber 141 provided with a plurality of oxygen nozzles 142 that receive oxygen through the oxygen supply pipe 150 and uniformly spray toward the inner diameter portion, And a lower chamber 143 including a fuel nozzle 144 for supplying fuel gas through the second fuel gas supply pipe 112 and injecting the fuel gas into the inner diameter portion.

즉, 연소실(140)은 산소공급관(150)과 연료 가스를 분기하여 공급하는 제2연료가스공급관(112)에 연결되어 있으며, 내경의 상부측에서는 산소가 분사되고, 하부측에서는 연료 가스가 분사되는 구조다.
That is, the combustion chamber 140 is connected to the oxygen fuel supply pipe 150 and the second fuel gas supply pipe 112 for branching and supplying the fuel gas, oxygen is injected from the upper side of the inner diameter, and fuel gas is injected from the lower side All.

상기 연소실(140)의 내경부의 상부측에서는 폐가스공급관(120)을 통해 공급되는 폐 가스가 유입된다. 이때 연료 가스는 제1연료가스공급관(111) 또는 제2연료가스공급관(112)을 통해 선택적으로 공급될 수 있다.The waste gas supplied through the waste gas supply pipe 120 flows from the upper side of the inner diameter portion of the combustion chamber 140. At this time, the fuel gas may be selectively supplied through the first fuel gas supply pipe 111 or the second fuel gas supply pipe 112.

즉, 제1연료가스공급관(111)을 통해 연료 가스가 공급되어, 상기 폐 가스와 혼합되어 예혼합을 이루게 된다.
That is, the fuel gas is supplied through the first fuel gas supply pipe 111 to be mixed with the waste gas to be premixed.

상기 제1연료가스공급관(111)을 통해 연료 가스가 공급되는 상태에서는 도 2에 도시한 바와 같이 폐가스 공급관(120)에서 제1연료가스공급관(111)을 통해 공급되는 연료가스와 폐 가스가 혼합된다. 2, when the fuel gas is supplied through the first fuel gas supply pipe 111, the fuel gas supplied from the waste gas supply pipe 120 through the first fuel gas supply pipe 111 and the waste gas are mixed with each other do.

또한 상기 산소공급관(150)을 통해 산소가 연소실(140)의 상부실(141)에 공급된 후, 산소노즐(142)을 통해 분사되면서 산소가 상기 폐 가스와 연료 가스가 예혼합된 예혼합가스와 혼합된다. 이때 점화기(163)의 화염에 의해 연소가 일어나게 된다.Oxygen is supplied to the upper chamber 141 of the combustion chamber 140 via the oxygen supply pipe 150 and is then injected through the oxygen nozzle 142 so that oxygen is mixed with the premixed gas mixture of the waste gas and the fuel gas ≪ / RTI > At this time, combustion is caused by the flame of the igniter 163.

즉, 본 발명이 예혼합방식의 버너로 동작하게 된다.
That is, the present invention operates as a premixed burner.

이와 반대로 상기 제2연료가스공급관(112)을 통해서만 연료가스가 공급되면, 상기 연료가스는 하부실(143)의 내경부에 마련된 연료노즐(144)를 통해 분사되며, 산소공급관(150)을 통해 연소실(140)의 상부실(141)에 공급된 산소가 산소노즐(142)를 통해 분사되어, 상기 연료와 산소가 혼합되고 점화기(163)에 의해 점화되어 상기 폐가스 공급관(120)을 통해 공급되는 폐 가스를 처리하게 된다.On the other hand, when the fuel gas is supplied only through the second fuel gas supply pipe 112, the fuel gas is injected through the fuel nozzle 144 provided in the inner diameter portion of the lower chamber 143, The oxygen supplied to the upper chamber 141 of the combustion chamber 140 is injected through the oxygen nozzle 142 so that the fuel and oxygen are mixed and ignited by the igniter 163 and supplied through the waste gas supply pipe 120 The waste gas is treated.

즉, 본 발명이 확산방식의 버너로 동작하게 된다.
That is, the present invention operates as a diffusion type burner.

상기 산소노즐(142)과 연료노즐(144) 각각은 연소실(140)의 내경부 중앙을 향해 산소와 연료 가스를 각각 분사하도록 다수가 마련되어 있으며, 상하로도 다층 배치된다.The oxygen nozzles 142 and the fuel nozzles 144 are provided in plural numbers to inject oxygen and fuel gas toward the center of the inner circumference of the combustion chamber 140, respectively.

이때 산소노즐(142)과 연료노즐(144) 각각의 높이 간격은 1 내지 5cm로 하는 것이 바람직하며, 좌우로의 배치는 상기 연소실(140)의 내경 중앙을 기준으로 상호 5 내지 40도의 각도로 배치되는 것이 바람직하다.At this time, the height of each of the oxygen nozzle 142 and the fuel nozzle 144 is preferably 1 to 5 cm, and the left-right arrangement is arranged at an angle of 5 to 40 degrees with respect to the center of the inner diameter of the combustion chamber 140 .

이러한 범위는 실험적인 것이며, 이 범위를 넘어서는 경우 연소가 불완전하게 되어 폐 가스의 처리 효율이 저하되는 것을 확인할 수 있다.
This range is experimental, and if it exceeds this range, the combustion becomes incomplete and the treatment efficiency of the waste gas is lowered.

도 2와 도 3은 각각 예혼합방식의 연소와 비혼합 상태의 연소 상태를 보인 모식도이다.FIG. 2 and FIG. 3 are schematic views showing the combustion state of the premixed combustion and the non-mixed state, respectively.

도 2에 도시된 바와 같이 폐 가스는 연료 가스와 예혼합된 상태에서 연소실(140)의 내경 전체에서 연소되며, 이때는 난분해성 폐 가스를 처리하기 위하여 연료 가스의 소모량을 증가시킨 것이다.As shown in FIG. 2, the waste gas is combusted in the entire inner diameter of the combustion chamber 140 in a premixed state with the fuel gas, in which the consumption of the fuel gas is increased in order to treat the refractory waste gas.

도 3은 분해(또는 석출반응)이 용이한 폐 가스를 연료 가스의 소모량을 최소화하여 처리할 수 있는 상태를 나타낸다.
Fig. 3 shows a state in which the waste gas, which is easy to decompose (or precipitate), can be treated by minimizing the consumption amount of the fuel gas.

따라서 본 발명의 가변연소챔버는 폐 가스의 종류에 따라 서로 다른 연소 운전 형태를 가질 수 있으며, 하나의 장비로 폐 가스의 종류에 무관하게 적용하여 처리할 수 있는 장점이 있다.
Therefore, the variable combustion chamber of the present invention can have different combustion operation modes depending on the type of the waste gas, and can be applied to one kind of equipment irrespective of the type of the waste gas.

상기와 같은 연소과정의 상태는 가변연소챔버의 상부측에 마련된 제1자외선센서(161)와 상기 연소실(140) 하부 측면측에 마련된 제2자외선센서(162)에 의해 검출된다.
The state of the combustion process is detected by the first ultraviolet sensor 161 provided on the upper side of the variable combustion chamber and the second ultraviolet sensor 162 provided on the side of the lower side of the combustion chamber 140.

이와 같은 처리 과정이 지속 되면 가변연소챔버 내에는 폐 가스의 산화에 의한 석출물이 잔류할 수 있게 되어, 연소 효율이 낮아질 수 있다.If such a process is continued, precipitates due to the oxidation of the waste gas may remain in the variable combustion chamber, and the combustion efficiency may be lowered.

이때에는 상기 연소실(140)의 내경 상부측에 마련된 정화노즐(130)을 사용하여 내부를 세정할 수 있다. 상기 정화노즐(130)은 질소 등의 비활성가스 또는 물을 분사하여 정화할 수 있으며, 비활성가스와 물의 이류체를 분사하여 내부를 정화할 수 있다.
At this time, the inside of the combustion chamber 140 can be cleaned by using the cleaning nozzle 130 provided on the upper side of the inside diameter of the combustion chamber 140. The purifying nozzle 130 can purify by spraying an inert gas such as nitrogen or water, and can purify the inside by injecting a non-activated gas and a water-flow body.

이와 같은 분사에 의해 가변연소챔버의 내부는 세정될 수 있으며, 가변연소챔버의 하우징(180)을 분리하지 않고도 세정처리하여, 작업시간을 단축하여 생산성의 저하를 방지할 수 있게 된다.
The inside of the variable combustion chamber can be cleaned by such injection, and the cleaning operation can be performed without removing the housing 180 of the variable combustion chamber, thereby shortening the working time and preventing the productivity from being lowered.

이처럼 본 발명은 폐 가스의 종류에 따라 연소 방식을 가변할 수 있어, 동일한 장치로 다양한 폐 가스를 처리할 수 있기 때문에 연료 가스의 낭비를 방지하며, 최적의 처리가 가능하게 된다.
As described above, the present invention can change the combustion mode according to the type of the waste gas, and it is possible to treat various waste gases with the same device, thereby preventing the waste of the fuel gas and optimizing the treatment.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And this also belongs to the present invention.

111:제1연료가스공급관 112:제2연료가스공급관
120:폐가스공급관 130:정화노즐
140:연소실 141:상부실
142:산소노즐 143:하부실
144:연료노즐 150:산소공급관
161:제1자외선센서 161:제2자외선센서
163:점화기 180:하우징
181:연소챔버하우징 182:파일럿챔버하우징
183:단열재 184:순환관
185:중공매니폴드 190:냉각수공급관111: first fuel gas supply pipe 112: second fuel gas supply pipe
120: waste gas supply pipe 130: purge nozzle
140: combustion chamber 141: upper chamber
142: Oxygen nozzle 143: Lower chamber
144: fuel nozzle 150: oxygen supply pipe
161: first ultraviolet sensor 161: second ultraviolet sensor
163: Ignitor 180: Housing
181: combustion chamber housing 182: pilot chamber housing
183: Insulation material 184: Circulation tube
185: Hollow manifold 190: Cooling water supply pipe

Claims (6)

상부에 중공매니폴드가 덮히며, 측면에 단열재가 충진되는 연소챔버하우징와, 상기 연소챔버하우징의 하부에 위치하며, 냉각수가 순환되는 파일럿챔버하우징을 구비하는 원통형의 하우징;
상기 하우징의 내측에 위치하며, 외부에서 연결되는 산소공급관을 통해 공급된 산소와, 제2연료가스공급관을 통해 연료 가스를 공급받아 각각 상부와 하부에서 분리되게 분사하는 원통형의 연소실; 및
폐 가스를 상기 하우징 내에 공급하는 폐가스 공급관에 연결되어, 상기 폐 가스와 연료 가스가 혼합되도록 하는 제1연료가스공급관을 포함하는 스크러버의 가변연소챔버.
A cylindrical housing having an upper portion thereof covered with a hollow manifold, a combustion chamber housing having a side surface filled with a heat insulating material, and a pilot chamber housing located at a lower portion of the combustion chamber housing and in which cooling water is circulated;
A cylindrical combustion chamber located inside the housing and supplied with oxygen through an oxygen supply pipe connected to the outside and a fuel gas supplied through the second fuel gas supply pipe to separate the fuel gas from the upper portion and the lower portion; And
And a first fuel gas supply pipe connected to a waste gas supply pipe for supplying a waste gas into the housing, the first fuel gas supply pipe allowing the waste gas to mix with the fuel gas.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 파일럿챔버하우징의 냉각수는 순환관을 통해 상기 중공매니폴드에 공급되는 것을 특징으로 하는 스크러버의 가변연소챔버.
The method according to claim 1,
Wherein the cooling water in the pilot chamber housing is supplied to the hollow manifold through a circulation pipe.
제1항에 있어서,
상기 연소실의 내경부로 비활성가스 또는 물을 분사하거나, 비활성가스와 물의 이류체를 분사하여 연소실 내부를 세정하는 정화노즐을 더 포함하는 스크러버의 가변연소챔버.
The method according to claim 1,
Further comprising a purge nozzle for injecting an inert gas or water into the inner diameter portion of the combustion chamber or injecting an inert gas and an air flow of water to clean the inside of the combustion chamber.
제1항에 있어서,
상기 연소실은,
내경부 중앙을 향해 상기 산소를 분사하도록 둘레를 따라 마련되며, 상하로도 다수 배치되는 산소노즐을 포함하는 상부실; 및
내경부 중앙을 향해 상기 연료 가스를 분사하도록 둘레를 따라 마련되며, 상하로도 다수 배치되는 연료노즐을 포함하는 하부실을 포함하는 스크러버의 가변연소챔버.
The method according to claim 1,
In the combustion chamber,
An upper chamber including a plurality of oxygen nozzles arranged along the circumference to spray the oxygen toward the center of the inner neck, And
And a lower chamber provided along the periphery to inject the fuel gas toward the center of the inner neck, the lower chamber including a plurality of upper and lower fuel nozzles.
제5항에 있어서,
상기 산소노즐과 연료노즐 각각은,
각각의 높이 방향의 간격은 1 내지 5cm이며,
좌우로의 배치는 상기 연소실의 내경 중앙을 기준으로 상호 5 내지 40도의 각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 스크러버의 가변연소챔버.

6. The method of claim 5,
The oxygen nozzle and the fuel nozzle, respectively,
The distance in the height direction is 1 to 5 cm,
Wherein the left-right arrangement is arranged at an angle of 5 to 40 degrees with respect to the center of the inner diameter of the combustion chamber.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001193918A (en) * 1999-11-02 2001-07-17 Ebara Corp Combustor for disposal of exhaust gas
JP2005083745A (en) * 2003-09-09 2005-03-31 Das-Duennschicht Anlagen System Gmbh Heat-treatment device for process exhaust gas containing pollutant

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