EP1510118A1 - Verfahren zur vermessung der verzerrung einer flächen-positioniervorrichtung - Google Patents

Verfahren zur vermessung der verzerrung einer flächen-positioniervorrichtung

Info

Publication number
EP1510118A1
EP1510118A1 EP03756958A EP03756958A EP1510118A1 EP 1510118 A1 EP1510118 A1 EP 1510118A1 EP 03756958 A EP03756958 A EP 03756958A EP 03756958 A EP03756958 A EP 03756958A EP 1510118 A1 EP1510118 A1 EP 1510118A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
positioning device
placement
local
distortion
camera
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP03756958A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1510118B1 (de
Inventor
Martin PRÜFER
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Publication of EP1510118A1 publication Critical patent/EP1510118A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1510118B1 publication Critical patent/EP1510118B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/089—Calibration, teaching or correction of mechanical systems, e.g. of the mounting head
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0812—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines the monitoring devices being integrated in the mounting machine, e.g. for monitoring components, leads, component placement

Definitions

  • the invention relates to a method for measuring the distortion of a surface positioning device, in particular a positioning device used for an automatic placement machine.
  • the distortion of the positioning device is measured using a so-called reference plate 100, on which a plurality of reference marks 101 are attached.
  • the reference marks 101 are preferably applied with a high spatial accuracy on a regular two-dimensional grid, which is defined by an X direction and a Y direction perpendicular thereto.
  • the reference plate 100 is preferably made of a material with a low coefficient of thermal expansion, so that the relative distance of the reference marks 101 from one another remains as constant as possible even at different ambient temperatures. For this reason, most of the reference plates 100 are made of a glass with a low coefficient of thermal expansion.
  • the reference marks 101 are then attached to the glass plate by an etching process or by mechanical processing of the reference plate 100. A high optical contrast between the reference plate 100 and the reference marks 101 attached to the reference plate 100 is thus easily achieved.
  • the reference plate 100 does not necessarily have to be manufactured with high precision. For the precise measurement of a surface positioning device, an inaccurately manufactured reference plate 100 is also sufficient, which, however, was previously measured precisely by means of a separate measuring machine, so that the spatial position of the reference marks 101 is exactly known.
  • each difference vector represents the local distortion 201 of the surface positioning device at the corresponding location of the placement area.
  • FIG. 2 the local distortions 201 are not shown to scale but are shown enlarged. This enlargement is indicated by the dashed square, which is shown in the error residual field 200 at the bottom right.
  • the edge length of the dashed square of 166 ⁇ m clarifies the scale for the drawn difference vectors.
  • FIGS. 3a and 3b together show the local distortion of the surface positioning device in another representation.
  • the local distortion ⁇ x in the X direction (FIG. 3a) and the local distortion ⁇ y in the Y direction (FIG. 3b) are plotted as a function of the X and Y coordinates of the respective reference mark 101.
  • the local distortions in the X direction are shown in a range from -50 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the local distortions in the Y direction are shown in a range from - 40 ⁇ m to +40 ⁇ m.
  • the scaling of the X axis and the Y axis in the two FIGS. 3a and 3b is determined by the predetermined two-dimensional grid of the reference marks 101.
  • the values for the local distortions ⁇ x in the X direction and ⁇ y in the Y direction shown in FIGS. 3a and 3b are transferred to the control of the surface positioning device of the placement machine before an assembly process, so that the local distortions determined are corrected by a corresponding correction of the travel path the positioning device can be compensated.
  • the method described above for measuring the distortion of a surface positioning device has the disadvantage that a large number of local distortions must be measured for an accurate spatial measurement of the distortion. Since a specific reference mark 101 must be detected for each local distortion and the surface positioning device has to be moved to the corresponding position for this purpose, the method described above requires a relatively long measuring time.
  • the invention is therefore based on the object of providing a method for measuring the distortion of a surface positioning device which enables the distortion of a surface positioning device to be reliably determined within a short measuring time.
  • the invention is based on the knowledge that the distortions of the surface positioning device overlap independently in different directions. With a suitable vectorial superposition of selected local distortions, the
  • Distortion of the surface positioning device can be calculated at a variety of positions. It is therefore no longer necessary to measure the distortion of the surface positioning device over the entire placement area.
  • the method according to the invention can therefore be carried out within a relatively short measurement time without reducing the accuracy of the measurement.
  • the first direction and the second direction are perpendicular to each other.
  • the two directions thus define a Cartesian coordinate system with two axes, one axis usually being referred to as the X axis and the other axis usually being referred to as the Y axis.
  • the invention is suitable for determining the accuracy of an automatic placement machine in which the placement field is arranged in a fixed position relative to the automatic placement machine.
  • a substrate to be equipped with components is arranged in the placement field and the components are transported by means of the placement head from a feed device to a placement position on the substrate.
  • a printed circuit board camera attached to the placement head of the placement machine is preferably used as the camera. This has the advantage that the method according to the invention can be carried out on conventional automatic placement machines without the need for special mechanical conversions or an additional camera.
  • the invention is also suitable for determining the accuracy of an automatic placement machine in which the placement head is arranged in a fixed position relative to the automatic placement machine.
  • the surface positioning device is used in such placement machines, such as so-called chip shooters, to move a substrate to be equipped with components in a plane that is angled and preferably perpendicular to the mounting direction of the component. In this way, the components can be placed at the desired positions on the substrate.
  • the first and the second reference marks are on a reference plate attached.
  • the use of a reference plate has the advantage that it can be manufactured with a high degree of precision or at least measured with a high degree of precision and the reference positions to which the individual reference marks are attached are therefore determined very precisely.
  • the development according to claim 10 has the advantage that the reference marks can be arranged in a simple manner with high precision.
  • the local distortion can also be determined at so-called intermediate grid positions. This has the advantage that the local distortions can in principle be determined at any position in the placement field. Since only one computing effort is required for the interpolation, the determination of the local distortions at interstitial positions does not increase the measurement time, which is primarily determined by the travel times of the surface positioning device.
  • the development according to claim 13 is particularly suitable for calculating the distortion of a surface positioning device within a rectangular area.
  • the local distortions are measured at two opposite edges of the rectangular area.
  • the calculation increases if the local distortions of a total of four reference marks are superpositioned, two of the four reference marks being arranged on opposite edges of the rectangular area and the four local distortions being weighted according to their distance from the specific point.
  • the use of an adaptation curve according to claims 14 and 15 has the advantage that the so-called measurement noise, ie statistical deviations of the measured local distortion from the real existing value, can be largely eliminated and thus the precision of the method for measuring the distortion of a positioning device is increased ,
  • polynomials according to claim 16 has the advantage that the distortions that occur in reality can be easily described.
  • the use of polynomials also has the advantage that the adaptation curves can be determined with a relatively small amount of computation.
  • the order of the polynomials used for the adaptation is expediently determined by carrying out at least a plurality of adaptations in succession, the order of the polynomials provided for the adaptation being increased by one in each case.
  • the suitable polynomial order is generally found when the total deviations between the local distortions determined and the corresponding values determined by the respective adaptation curve no longer increase significantly.
  • FIG. 2 shows an error residual field, which was determined by a known method for measuring the distortion of a surface positioning device
  • 3a and 3b the local distortion of a surface positioning device in the X or Y direction, which local distortion was determined using the known method for measuring the distortion of a surface positioning device
  • 4a and FIG. 4b show the local distortions of a surface positioning device in the X and Y directions at the edge of an area, which local distortions are used according to an embodiment of the invention for reconstructing the entire distortion of the positioning device
  • 5a and 5b show the local distortion of the surface positioning device in the X and Y directions in the entire positioning area of the positioning device, which was reconstructed on the basis of the edge data shown in FIGS. 4a and 4b by suitable superpositions.
  • FIGS. 4a and 4b show how, according to an exemplary embodiment of the invention, the edge data of a specific placement area are used in order to reconstruct the distortion of a surface positioning device over the entire placement area.
  • the edge data are determined in that a plurality of reference marks which are located on the edge of the
  • Placement area are arranged by means of a camera attached to the placement head.
  • the data represent the local distortions of the surface positioning device at the edge of the placement area, each local distortion resulting from the vectorial distance between a measurement position and a reference position.
  • the measuring position results from the travel path of the positioning device required for the detection of the respective reference mark, the reference position results from the a priori known spatial position of the respectively recorded reference mark.
  • FIG. 4a the X component of the distortion ⁇ x determined at the edge region is shown in the unit of length ⁇ m.
  • FIG. 4b shows the Y component of the local distortions ⁇ y determined in the edge region in the length unit ⁇ m.
  • the edge data can also be adapted by means of a polynomial approximation.
  • a polynomial approximation was not made in the exemplary embodiment of the invention described here. If polynomial approximation is used, four polynomials are used in each case to adapt the local distortions at the edge of the placement area in the X and Y directions, the edge data at mutually opposite edges preferably being adapted by polynomials of the same order.
  • the use of adaptation curves has the advantage that the measurement noise can be significantly reduced.
  • two parallel lines of reference marks can also be measured at the edge area.
  • the two lines on an edge of the placement area are then adapted together with a single polynomial.
  • the two-line edge measurement is particularly useful when measuring the distortion within a small placement area, because in this way enough measurement values are made available for a subsequent reliable reconstruction of the distortion inside the small placement area.
  • FIGS. 5a and 5b show the distortion of the surface positioning device in the entire assembly field, the local distortions in the interior of the assembly field being exclusively caused by those in FIGS. 4a and 4b have been reconstructed.
  • the course of the reconstructed data is very similar to the measured data shown in FIGS. 3a and 3b.
  • the distortion of the surface positioning device can thus be reconstructed largely without loss of information using only the edge data.
  • the reconstructed data shown in FIGS. 5a and 5b have the additional advantage over the measured data shown in FIGS. 3a and 3b that the measurement noise is considerably reduced.
  • the edge area of the placement field can be measured in a higher spatial resolution without thereby reducing the overall placement performance of an automatic placement machine is considerably reduced by the service life associated with the distortion measurement.
  • the measurement of the boundary data with a higher spatial resolution has the advantage that the statistical security of the method is increased and at the same time the sensitivity to measurement noise is improved.
  • the advantage of the invention is that, due to the short measuring time, the distortion of a surface positioning device of an automatic placement machine can be measured at relatively short intervals, and thus a high placement accuracy can be guaranteed over a long period of time, without the service life of the automatic placement machine used due to long-lasting measurements of the Reduce distortion significantly.
  • the invention creates a method for measuring the distortion of a surface positioning device, which is provided in particular for an automatic placement machine, by means of which components on a printed circuit board or can be assembled on a substrate.
  • a relative movement between a camera and an assembly field is generated by means of the surface positioning device.
  • only local distortions are measured at selected positions, in each case by determining the vectorial distance between the position of a reference mark 101, which is detected by the camera, and a measurement position determined by the corresponding travel path of the positioning device.
  • the local distortions at other positions are calculated by a suitable superposition of measured local distortions.
  • the local distortion can be reconstructed over a larger assembly area by means of a relatively small number of measured local distortions without loss of information.
  • a polynomial approximation can be used to reduce the measurement noise.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

Die Erfindung schafft ein Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung, insbesondere einer für einen Bestückautomaten verwendeten Positioniervorrichtung. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird mittels der Flächen-Positioniervorrichtung eine Relativbewegung zwischen einer Kamera und einem Bestückfeld erzeugt. Erfindungsgemäß werden nur lokale Verzerrungen an ausgewählten Positionen gemessen, indem jeweils der vektorielle Abstand zwischen der Position einer Referenzmarke 101, welche mittels der Kamera erfasst wird, und einer durch den entsprechenden Verfahrweg der Positioniervorrichtung bestimmten Messposition ermittelt wird. Die lokalen Verzerrungen an anderen Positionen werden durch jeweils eine geeignete Superposition von gemessenen lokalen Verzerrungen berechnet. Auf diese Weise kann die lokale Verzerrung über einen größeren Bestückbereich durch eine relativ geringe Anzahl von gemessenen lokalen Verzerrungen ohne Informationsverlust rekonstruiert werden. Bei der Rekonstruktion der lokalen Verzerrung in dem gesamten Bestückbereich kann zur Reduktion des Messrauschens eine Polynomapproximation verwendet werden.

Description

Beschreibung
Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen- Positioniervorrichtung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung, insbesondere einer für einen Bestückautomaten verwendeten Positioniervorrichtung-
Aufgrund der zunehmenden Miniaturisierung von elektronischen Bauelementen müssen moderne Bestückautomaten neben einer hohen Bestückleistung auch eine große Bestückgenauigkeit aufweisen, damit die zu bestückenden Bauelemente möglichst genau an einer vorgegebenen Position auf einer Leiterplatte bzw. auf einem Substrat aufgesetzt werden und somit eine schlechte oder eine fehlende Kontaktierung zwischen Bauelement und Leiterplatte verhindert wird. Sogenannte Fine-Pitch-Bauelemente, bei denen die metallischen Kontaktanschlüsse in einem Abstand von deutlich weniger als 1 mm voneinander angeordnet sind, müssen zur Vermeidung von schlechten Kontakten beispielsweise mit einer Genauigkeit aufgesetzt werden, so dass die Ist- Position des Bauelements von der Soll-Position des Bauelements um maximal 50 μm abweicht. Eine derart hohe Bestückge- nauigkeit lässt sich allerdings nicht durch die mechanische Präzision der verwendeten Flächen-Positioniervorrichtung des Bestückautomaten allein erreichen. Aus diesem Grund werden mechanische Abweichungen, welche beispielsweise durch Fertigungsschwankungen oder durch sonstige Verspannungen von ein- zelnen oder mehreren Komponenten der Positioniervorrichtung verursacht werden, durch eine entsprechende Vorsteuerung in der den Bestückprozess steuernden Software kompensiert . Eine zuverlässige Kompensation der mechanischen Abweichungen der in dem Bestückautomaten verwendeten Positioniervorrichtung erfordert demzufolge vor dem eigentlichen Bestückvorgang eine präzise Vermessung der Verzerrung der Positioniervorrichtung. Wie in Figur 1 dargestellt, erfolgt gemäß dem Stand der Technik die Vermessung der Verzerrung der Positioniervorrichtung unter Verwendung einer sog. Referenzplatte 100, auf welcher eine Mehrzahl von Referenzmarken 101 angebracht sind. Die Referenzmarken 101 sind bevorzugt mit einer hohen räumlichen Genauigkeit auf einem regelmäßigen zweidimensionalen Raster aufgebracht, welches durch eine X-Richtung und eine dazu senkrechte Y-Richtung definiert ist.
Die Referenzplatte 100 ist bevorzugt aus einem Material mit einem geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten gefertigt, so dass der relative Abstand der Referenzmarken 101 zueinander selbst bei unterschiedlichen Umgebungstemperaturen möglichst gleich bleibt. Aus diesem Grund sind die meisten Referenzplatten 100 aus einem Glas mit geringem thermischen Ausdehnungskoeffizienten gefertigt. Die Referenzmarken 101 sind dann durch ein Ätzverfahren oder durch eine mechanische Bearbeitung der Referenzplatte 100 an der Glasplatte angebracht. Somit wird auf einfache Weise ein hoher optischer Kontrast zwischen der Referenzplatte 100 und der an der Referenzplatte 100 angebrachten Referenzmarken 101 erreicht.
Es wird darauf hingewiesen, dass die Referenzplatte 100 nicht unbedingt mit einer hohen Präzision gefertigt sein muss. Zur genauen Vermessung einer Flächen-Positioniervorrichtung genügt auch eine ungenau gefertigte Referenzplatte 100, welche allerdings zuvor mittels einer getrennten Messmaschine genau vermessen wurde, so dass die räumliche Lage der Referenzmarken 101 genau bekannt ist.
Um in einem bestimmten Bestückbereich, in welchem eine Leiterplatte bestückt werden soll, die Verzerrung der Positioniervorrichtung zu vermessen, werden gemäß dem Stand der Technik die an der Referenzplatte 100 in einem äquidistanten Raster von beispielsweise 40 mm x 40 mm oder 20 mm x 20 mm angebrachten Referenzmarken 101 vermessen. Die Vermessung erfolgt üblicherweise mittels einer Kamera, welche an dem Arm der Flächen-Positioniervorrichtung angebracht ist und welche die Referenzplatte 100 in einem Kamera-Erfassungsbereich 102 erfasst. Anhand des für die Erfassung der Referenzmarken 101 erforderlichen Verfahrweges der Positioniervorrichtung wird für jede Referenzmarke 101 jeweils eine Messposition bestimmt. Aus dem vektoriellen Abstand zwischen der Messposition und der a priori genau bekannten Position der Referenzmarke 101 wird ein resultierender Differenzvektor berechnet. Die Differenzvektoren für alle erfassten Referenzmarken 101 wer- den dann in einem sog. Fehlerresiduen-Feld 200 gespeichert, welches in Figur 2 dargestellt ist. In dem Fehlerresiduen- Feld 200 stellt jeder Differenzvektor die lokale Verzerrung 201 der Flächen-Positioniervorrichtung an der entsprechenden Stelle des Bestückbereiches dar.
Es wird darauf hingewiesen, dass in Figur 2 die lokalen Verzerrungen 201 nicht maßstabsgetreu, sondern vergrößert dargestellt sind. Diese Vergrößerung ist durch das gestrichelt gezeichnete Quadrat angedeutet, welches in dem Fehlerresiduen- Feld 200 unten rechts dargestellt ist. Die Kantenlänge des gestrichelten Quadrats von 166 μm verdeutlicht den Maßstab für die eingezeichneten Differenzvektoren.
Die Figuren 3a und 3b zeigen gemeinsam die lokale Verzerrung der Flächen-Positioniervorrichtung in einer anderen Darstellung. Darin sind in einem dreidimensionalen Koordinatensystem jeweils als Funktion der X- und Y-Koordinate der jeweiligen Referenzmarke 101 die lokale Verzerrung Δx in X-Richtung (Figur 3a) und die lokale Verzerrung Δy in Y-Richtung (Figur 3b) aufgetragen. Die lokalen Verzerrungen in X-Richtung sind in einem Bereich von -50 μm bis 100 μm dargestellt. Die lokalen Verzerrungen in Y-Richtung sind in einem Bereich von - 40 μm bis +40 μm dargestellt. Die Skalierung der X-Achse und der Y-Achse in den beiden Figuren 3a und 3b ist durch das vorgegebene zweidimensionale Raster der Referenzmarken 101 bestimmt . Die in Figur 3a und 3b dargestellten Werte für die lokalen Verzerrungen Δx in X-Richtung und Δy in Y-Richtung werden vor einem Bestückprozess an die Steuerung der Flächen- Positioniervorrichtung des Bestückautomaten übergeben, so dass die ermittelten lokalen Verzerrungen durch eine entsprechende Korrektur des Verfahrweges der Positioniervorrichtung kompensiert werden können.
Das oben beschriebene Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung hat den Nachteil, dass für eine genaue räumliche Vermessung der Verzerrung eine Vielzahl von lokalen Verzerrungen gemessen werden muss. Da für jede lokale Verzerrung eine bestimmte Referenzmarke 101 erfasst werden muss und die Flächen-Positioniervorrichtung dazu jeweils an die entsprechende Position gefahren werden muss, benötigt das oben beschriebene Verfahren eine relativ lange Messzeit.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung zu schaffen, welches innerhalb einer kurzen Messzeit eine zuverlässige Bestimmung der Verzerrung einer Flächen- Positioniervorrichtung ermöglicht .
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1. Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass sich die Verzerrungen der Flächen- Positioniervorrichtung entlang verschiedener Richtungen unabhängig überlagern. Durch eine geeignete vektorielle Super- position von ausgewählten lokalen Verzerrungen kann somit die
Verzerrung der Flächen-Positioniervorrichtung an einer Vielzahl von Positionen berechnet werden. Somit ist es nicht mehr erforderlich die Verzerrung der Flächen-Positioniervorrichtung über den gesamten Bestückbereich zu vermessen. Das erfindungsgemäße Verfahren kann deshalb innerhalb einer relativ kurzen Messzeit durchgeführt werden, ohne dass dadurch die Genauigkeit der Vermessung reduziert wird. Bei der vorteilhaften Weiterbildung gemäß Anspruch 2 verlaufen die erste Richtung und die zweite Richtung senkrecht zueinander. Somit definieren die beiden Richtungen ein kartesi- sches Koordinatensystem mit zwei Achsen, wobei die eine Achse üblicherweise als X-Achse und die andere Achse üblicherweise als Y-Achse bezeichnet wird.
Die Erfindung eignet sich gemäß Anspruch 3 zur Genauigkeits- bestimmung für einen Bestückautomaten, bei dem das Bestückfeld relativ zu dem Bestückautomaten ortsfest angeordnet ist. Bei derartigen Bestückautomaten wird in dem Bestückfeld ein mit Bauelementen zu bestückendendes Substrat angeordnet und die Bauelemente mittels des Bestückkopfes von einer Zuführ- einrichtung zu einer Aufsetzposition auf dem Substrat transportiert .
Als Kamera wird gemäß Anspruch 4 bevorzugt eine an dem Bestückkopf des Bestückautomaten angebrachte Leiterplattenkame- ra verwendet. Dies hat den Vorteil, dass das erfindungsgemäße Verfahren an herkömmlichen Bestückautomaten durchgeführt werden kann, ohne dass spezielle mechanische Umbauten oder eine zusätzliche Kamera erforderlich sind.
Die Erfindung eignet sich gemäß Anspruch 7 ebenfalls zur Ge- nauigkeitsbeStimmung für einen Bestückautomaten, bei dem der Bestückkopf relativ zu dem Bestückautomaten ortsfest angeordnet ist. Die Flächen-Positioniervorrichtung wird bei derartigen Bestückautomaten wie beispielsweise sog. Chip-Shooter dazu verwendet, um ein mit Bauelementen zu bestückendes Substrat in einer Ebene zu bewegen, welche winklig und bevorzugt senkrecht zur Aufsetzrichtung des Bauelements liegt. Auf diese Weise können die Bauelemente jeweils an den gewünschten Positionen auf dem Substrat aufgesetzt werden.
Gemäß der vorteilhaften Weiterbildung nach Anspruch 9 sind die ersten und die zweiten Referenzmarken an einer Referenz- platte angebracht . Die Verwendung einer Referenzplatte hat den Vorteil, dass diese mit einer hohen Präzision gefertigt oder zumindest mit einer hohen Präzision vermessen werden kann und somit die Referenzpositionen, an denen die einzelnen Referenzmarken angebracht sind, sehr genau bestimmt sind.
Die Weiterbildung nach Anspruch 10 hat den Vorteil, dass die Referenzmarken auf einfache Weise mit hoher Präzision angeordnet werden können.
Gemäß Anspruch 12 kann die lokale Verzerrung auch an sog. Zwischengitterpositionen ermittelt werden. Dies hat den Vorteil, dass die lokalen Verzerrungen prinzipiell an jeder beliebigen Position des Bestückfeldes bestimmt werden können. Da für die Interpolation lediglich ein Rechenaufwand erforderlich ist, wird durch die Bestimmung der lokalen Verzerrungen an Zwischengitterpositionen die Messzeit, welche in erster Linie durch die Verfahrzeiten der Flächen-Positioniervorrichtung bestimmt wird, nicht größer.
Die Weiterbildung gemäß Anspruch 13 ist insbesondere für eine Berechnung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung innerhalb eines rechteckigen Bereiches geeignet. In diesem Fall erweist es sich als besonders vorteilhaft, wenn Referenzmarken vermessen werden, die an dem Rand des rechteckigen Bereiches angeordnet sind. Auf diese Weise werden die lokalen Verzerrungen jeweils an zwei gegenüberliegenden Kanten des rechteckigen Bereiches gemessen. Für die nachfolgende Berechnung der lokalen Verzerrung an einer bestimmten Stelle innerhalb des rechteckigen Bereiches wird die Genauigkeit der
Berechnung erhöht, wenn die lokalen Verzerrungen von insgesamt vier Referenzmarken superpositioniert werden, wobei jeweils zwei der vier Referenzmarken an einander gegenüberliegenden Kanten des rechteckigen Bereichs angeordnet sind und die vier lokalen Verzerrungen entsprechend ihres Abstandes von der bestimmten Stelle gewichtet werden. Die Verwendung einer Anpassungskurve gemäß den Ansprüchen 14 und 15 hat den Vorteil, dass das sog. Messrauschen, d.h. statistische Abweichungen der gemessenen lokalen Verzerrung vom real existierenden Wert, weitgehend eliminiert werden kann und damit die Präzision des Verfahrens zur Vermessung der Verzerrung einer Positioniervorrichtung erhöht wird.
Die Verwendung von Polynomen gemäß Anspruch 16 hat den Vorteil, dass die in Realität auftretenden Verzerrungen auf ein- fache Weise gut beschrieben werden können. Die Verwendung von Polynomen hat ferner den Vorteil, dass die Anpassungskurven mit einem relativ geringen Rechenaufwand bestimmt werden können. Die Ordnung der zur Anpassung verwendeten Polynome wird zweckmäßigerweise dadurch ermittelt, dass nacheinander zumin- dest eine Mehrzahl von Anpassungen durchgeführt wird, wobei die Ordnung der für die Anpassung vorgesehenen Polynome jeweils um eins erhöht wird. Die geeignete Polynomordnung ist in der Regel dann gefunden, wenn sich die aufsummierten Abweichungen zwischen den ermittelten lokalen Verzerrungen und den entsprechenden durch die jeweilige Anpassungskurve bestimmten Werten nicht mehr wesentlich erhöht.
Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden beispielhaften Beschreibung einer derzeit bevorzugten Ausführungsform.
In der Zeichnung zeigen:
Figur 1 eine Referenzplatte gemäß dem Stand der Technik,
Figur 2 ein Fehlerresiduen-Feld, welches durch ein bekanntes Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung ermittelt wurde,
Figur 3a und Figur 3b die lokale Verzerrung einer Flächen- Positioniervorrichtung in X- bzw. Y-Richtung, welche lokale Verzerrung mit dem bekannten Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung ermittelt wurde, Figur 4a und Figur 4b die lokalen Verzerrungen einer Flächen- Positioniervorrichtung in X- bzw. Y—Richtung am Rand eines Bereiches, welche lokalen Verzerrungen gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zur Rekon- struktion der gesamten Verzerrung der Positioniervorrichtung verwendet werden, und
Figur 5a und Figur 5b die lokale Verzerrung der Flächen- Positioniervorrichtung in X- bzw. Y-Richtung im gesamten Positionierbereich der Positioniervorrich- tung, welche auf Basis der in Figur 4a und 4b dargestellten Randdaten durch geeignete Superpositionen rekonstruiert wurde .
Die Figuren 4a und 4b zeigen, wie gemäß einem Ausführungsbei- spiel der Erfindung die Randdaten eines bestimmten Bestückbereichs herangezogen werden, um die Verzerrung einer Flächen- Positioniervorrichtung über den gesamten Bestückbereich zu rekonstruieren. Die Randdaten werden gemäß dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung dadurch bestimmt, dass eine Vielzahl von Referenzmarken, welche am Rand des
Bestückbereichs angeordnet sind, mittels einer am Bestückkopf angebrachten Kamera erfasst werden. Die Daten repräsentieren die lokalen Verzerrungen der Flächen-Positioniervorrichtung am Rand des Bestückbereichs, wobei sich jede lokale Verzer- rung aus dem vektoriellen Abstand zwischen einer Messposition und einer Referenzposition ergibt. Die Messposition ergibt sich aus dem für die Erfassung der jeweiligen Referenzmarke erforderlichen Verfahrweges der Positioniervorrichtung, die Referenzposition ergibt sich aus der a priori bekannten räum- liehen Lage der jeweils erfassten Referenzmarke. In Figur 4a ist jeweils die X-Komponente der an dem Randbereich bestimmten Verzerrung Δx in der Längeneinheit μm dargestellt . In Figur 4b ist jeweils die Y-Komponente der an den Randbereich ermittelten lokalen Verzerrungen Δy in der Längeneinheit μm dargestellt. An dieser Stelle wird darauf hingewiesen, dass nach der Erfassung der lokalen Verzerrungen an dem Rand des Bestückbereichs die Randdaten außerdem durch eine Polynomapproximation angepasst werden können. Eine derartige Anpassung wurde bei dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung nicht vorgenommen. Im Falle der Verwendung einer Polynomapproximation werden für die Anpassung der lokalen Verzerrungen am Rand des Bestückbereiches in X- und in Y-Richtung jeweils vier Polynome verwendet, wobei die Randdaten an einander ge- genüberliegenden Rändern bevorzugt durch Polynome mit gleicher Ordnung angepasst werden. Die Verwendung von Anpassungskurven hat den Vorteil, dass das Messrauschen erheblich reduziert werden kann.
Es wird ferner darauf hingewiesen, dass am Randbereich auch jeweils zwei parallele Zeilen von Referenzmarken vermessen werden können. Im Falle der Anpassung der Randdaten mittels einer Polynomapproximation werden die beiden Zeilen an einer Kante des Bestückbereichs dann gemeinsam mit einem einzigen Polynom angepasst. Die zweizeilige Randvermessung ist insbesondere bei der Messung der Verzerrung innerhalb eines kleinen Bestückbereiches sinnvoll, da auf diese Weise genug Messwerte für eine nachfolgende zuverlässige Rekonstruktion der Verzerrung im Inneren des kleinen Bestückbereiches zur Verfü- gung gestellt werden.
Es wird außerdem darauf hingewiesen, dass grundsätzlich eine Polynomapproximation auch über den gesamten Bestückbereich angewendet werden kann. In diesem Fall entfällt zwar der Vor- teil einer kürzeren Messzeit für die Bestimmung der Verzerrung der Flächen-Positioniervorrichtung, der Vorteil der erheblichen Reduktion des Messrauschens bleibt aber erhalten.
In den Figuren 5a und 5b ist die Verzerrung der Flächen- Positioniervorrichtung in dem gesamten Bestückfeld dargestellt, wobei die lokalen Verzerrungen im Innenbereich des Bestückfeldes ausschließlich durch die in den Figuren 4a und 4b dargestellten Randdaten rekonstruiert wurden. Wie aus einem Vergleich mit den in den Figuren 3a und 3b dargestellten lokalen Verzerrungen zu erkennen ist, ist der Verlauf der rekonstruierten Daten denen in den Figuren 3a und 3b darge- stellten gemessenen Daten sehr ähnlich. Die Verzerrung der Flächen-Positioniervorrichtung kann somit unter der ausschließlichen Verwendung der Randdaten weitgehend ohne Informationsverlust rekonstruiert werden. Die in den Figuren 5a und 5b dargestellten rekonstruierten Daten haben gegenüber den in den Figuren 3a und 3b dargestellten gemessenen Daten den zusätzlichen Vorteil, dass das Messrauschen erheblich reduziert ist.
Da die Messzeit für das Verfahren gemäß dem hier beschriebe- nen Ausführungsbeispiel der Erfindung gegenüber den bekannten Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen- Positioniervorrichtung erheblich reduziert ist, kann der Randbereich des Bestückfeldes in einer höheren räumlichen Auflösung vermessen werden, ohne dass dadurch die gesamte Bestückleistung eines Bestückautomaten durch die mit der Verzerrungsvermessung verbundenen Standzeit erheblich reduziert wird. Die Messung der Randdaten mit einer höheren räumlichen Auflösung hat den Vorteil, dass die statistische Sicherheit des Verfahrens erhöht wird und gleichzeitig die Empfindlich- keit gegenüber Messrauschen verbessert wird. Ein weiterer
Vorteil der Erfindung besteht darin, dass aufgrund der kurzen Messzeit die Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung eines Bestückautomaten in relativ kurzen Abständen gemessen werden kann und somit eine hohe Bestückgenauigkeit über einen langen Zeitraum gewährleistet werden kann, ohne die Standzeit des eingesetzten Bestückautomaten durch lang andauernde Messungen der Verzerrung wesentlich zu reduzieren.
Zusammenfassend schafft die Erfindung ein Verfahren zur Ver- messung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung, welche insbesondere für einen Bestückautomaten vorgesehen ist, mittels welchem Bauelemente auf einer Leiterplatte oder auf einem Substrat bestückt werden können. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird mittels der Flächen- Positioniervorrichtung eine Relativbewegung zwischen einer Kamera und einem Bestückfeld erzeugt . Erfindungsgemäß werden nur lokale Verzerrungen an ausgewählten Positionen gemessen, indem jeweils der vektorielle Abstand zwischen der Position einer Referenzmarke 101, welche mittels der Kamera erfasst wird, und einer durch den entsprechenden Verfahrweg der Positioniervorrichtung bestimmten Messposition ermittelt wird. Die lokalen Verzerrungen an anderen Positionen werden durch jeweils eine geeignete Superposition von gemessenen lokalen Verzerrungen berechnet. Auf diese Weise kann die lokale Verzerrung über einen größeren Bestückbereich durch eine relativ geringe Anzahl von gemessenen lokalen Verzerrungen ohne In- formationsverlust rekonstruiert werden. Bei der Rekonstruktion der lokalen Verzerrung in dem gesamten Bestückbereich kann zur Reduktion des Messrauschens eine Polynomapproximation verwendet werden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen- Positioniervorrichtung, insbesondere einer für einen Bestück- automaten verwendeten Positioniervorrichtung, bei dem
• mittels der Flächen-Positioniervorrichtung eine Relativbewegung zwischen einer Kamera und einem Bestückfeld eines Bestückautomaten erzeugt wird,
• mittels der Kamera entlang einer ersten Richtung erste Re- ferenzmarken (101) erfasst werden, welche in dem Bestückfeld jeweils an einer genau festgelegten ersten Referenzposition angeordnet sind,
• durch eine Messung des für die Erfassung der ersten Referenzmarken (101) jeweils erforderlichen Verfahrwegs der Po- sitioniervorrichtung jeweils eine erste Messposition ermittelt wird,
• an den ersten Referenzpositionen jeweils eine lokale Verzerrung ermittelt wird, indem der Abstand zwischen der jeweiligen ersten Referenzposition und der entsprechenden ersten Messposition vektoriell bestimmt wird,
• mittels der Kamera entlang einer zweiten Richtung zweite Referenzmarken (101) erfasst werden, welche in dem Bestückfeld des Bestückautomaten jeweils an einer genau festgelegten zweiten Referenzposition angeordnet sind, • durch eine Messung des für die Erfassung der zweiten Referenzmarken (101) jeweils erforderlichen Verfahrwegs der Positioniervorrichtung jeweils eine zweite Messposition ermittelt wird,
• an den zweiten Referenzpositionen jeweils eine lokale Ver- zerrung berechnet wird, indem der Abstand zwischen der jeweiligen zweiten Referenzposition und der entsprechenden zweiten Messposition vektoriell bestimmt wird,
• die lokale Verzerrung der Positioniervorrichtung für weitere Positionen des Bestückfeldes durch eine Superposition von zumindest der lokalen Verzerrung einer ersten Referenzmarke (101) und der lokalen Verzerrung einer zweiten Referenzmarke (101) berechnet wird, wobei die erste Referenz- marke (101) und die zweite Referenzmarke (101) derart ausgewählt werden, dass in einem durch die erste Richtung und durch die zweite Richtung definierten Koordinatensystem
- entlang der ersten Richtung die weitere Position und die erste Referenzmarke (101) die gleiche Koordinate haben und
- entlang der zweiten Richtung die weitere Position und die zweite Referenzmarke (101) die gleiche Koordinate haben.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die erste Richtung und die zweite Richtung zueinander senkrecht verlaufen.
3. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 2, bei dem
• eine Flächen-Positioniervorrichtung mit einem entlang einer stationären Linearführung verfahrbaren, zu der Linearführung querstehenden Arm und einem entlang dem querstehenden Arm verfahrbaren Bestückkopf verwendet wird und
• die Kamera mittels der Positioniervorrichtung relativ zu dem Bestückfeld bewegt wird, welches relativ zu dem Be- Stückautomaten ortsfest angeordnet ist.
4. Verfahren gemäß Anspruch 3, bei dem die Kamera an dem Bestückkopf angebracht ist.
5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 3 bis 4, bei dem die erste Richtung durch die Längsachse der stationären Linearführung vorgegeben wird.
6. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 3 bis 5, bei dem die zweite Richtung durch die Längsachse des querstehenden Arms vorgegeben wird.
7. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 2, bei dem
• das Bestückfeld mittels der Flächen-Positioniervorrichtung relativ zu einem an dem Bestückautomaten angebrachten Bestückkopf bewegt wird, und • eine Kamera verwendet wird, welche relativ zu dem Bestückautomaten ortfest angeordnet ist.
8. Verfahren gemäß Anspruch 7, bei dem die Kamera an dem Be- stückkopf angebracht ist.
9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem eine Referenzplatte (100) verwendet wird, an welcher die ersten Referenzmarken (101) und die zweiten Referenzmarken (101) angebracht sind.
10. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem die ersten und die zweiten Referenzmarken (101) an Kreuzungspunkten eines zweidimensionalen Gitters angeordnet sind, welches sich über zumindest einen Teilbereich des Bestückfeldes erstreckt .
11. Verfahren gemäß Anspruch 10, bei dem die lokalen Verzerrungen der Positioniervorrichtung zumindest an einer Mehrzahl von Kreuzungspunkten des zweidimensionalen Gitters berechnet werden.
12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem die lokale Verzerrung an einer beliebigen Position des Bestück- feldes durch eine Interpolation zwischen den lokalen Verzerrungen von zumindest zwei der beliebigen Position benachbarten Positionen berechnet wird.
13. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem erste und zweite Referenzmarken (101) erfasst werden, welche an dem Rand eines Bereiches angeordnet sind, welcher Bereich zumindest einen Teilbereich des gesamten Bestückfeldes darstellt.
14. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem • für die Komponenten der lokalen Verzerrungen entlang der ersten Richtung an den ersten Referenzpositionen zumindest eine erste Anpassungskurve ermittelt wird und
• für die Komponenten der lokalen Verzerrungen entlang der ersten Richtung an den zweiten Referenzpositionen zumindest eine weitere erste Anpassungskurve ermittelt wird, wobei die Werte der zumindest zwei ersten Anpassungskurven für die weitere Berechnung der Verzerrung der Positioniervorrichtung verwendet werden.
15. Verfahren gemäß Anspruch 14, bei dem
• für die Komponenten der lokalen Verzerrungen entlang der zweiten Richtung an den ersten Referenzpositionen zumindest eine zweite Anpassungskurve ermittelt wird und • für die Komponenten der lokalen Verzerrungen entlang der zweiten Richtung an den zweiten Referenzpositionen zumindest eine weitere zweite Anpassungskurve ermittelt wird, wobei die Werte der zumindest zwei zweiten Anpassungskurven für die weitere Berechnung der Verzerrung der Positioniervor- richtung verwendet werden.
16. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 14 bis 15, bei dem für die Ermittlung der zumindest zwei ersten und/oder für die Ermittlung der zumindest zwei zweiten Anpassungskurven je- weils Polynome verwendet werden.
EP03756958A 2002-06-05 2003-06-02 Verfahren zur vermessung der verzerrung einer flächen-positioniervorrichtung Expired - Lifetime EP1510118B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10224993A DE10224993C1 (de) 2002-06-05 2002-06-05 Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung
DE10224993 2002-06-05
PCT/DE2003/001817 WO2003105557A1 (de) 2002-06-05 2003-06-02 Verfahren zur vermessung der verzerrung einer flächen-positioniervorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1510118A1 true EP1510118A1 (de) 2005-03-02
EP1510118B1 EP1510118B1 (de) 2007-08-08

Family

ID=27618854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03756958A Expired - Lifetime EP1510118B1 (de) 2002-06-05 2003-06-02 Verfahren zur vermessung der verzerrung einer flächen-positioniervorrichtung

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1510118B1 (de)
AU (1) AU2003243909A1 (de)
DE (2) DE10224993C1 (de)
WO (1) WO2003105557A1 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005044866A1 (de) * 2005-09-20 2007-04-19 Siemens Ag Vorrichtung zur Positionsvermessung von elektrischen Bauelementen
DE102007011852A1 (de) * 2007-03-03 2008-09-04 Afm Technology Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur eines Positionierungssystems
JP5852505B2 (ja) * 2012-05-14 2016-02-03 ヤマハ発動機株式会社 部品または基板の作業装置および部品実装装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MY103662A (en) * 1988-01-28 1993-08-28 Emhart Ind Method of setting up apparatus for handling electrical or electronic components
FR2645300B1 (fr) * 1989-03-29 1994-09-09 Gen Electric Cgr Procede de recalage automatique d'images
US5105368A (en) * 1990-08-01 1992-04-14 At&T Bell Laboratories Method for improving robot accuracy
JPH05233065A (ja) * 1992-02-20 1993-09-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 精密位置決め装置
DE69526635T2 (de) * 1994-12-29 2002-12-05 Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven Bilderzeugungsgerät und Verfahren zur Verbesserung geometrischer optischer Bildverzerrungen
DE19734695C1 (de) * 1997-08-11 1998-11-05 Leica Mikroskopie & Syst Verfahren zur Korrektur der Messfehler einer Koodinaten-Messmaschine
US6175413B1 (en) * 1997-08-28 2001-01-16 Proteus Corporation Laser calibration of robotics systems
DE19947374B4 (de) * 1999-10-01 2005-11-03 Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Verfahren zur Ermittlung geometrischer Abweichungen von Koordinatenmeßgeräten oder Werkzeugmaschinen

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO03105557A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE50307891D1 (de) 2007-09-20
AU2003243909A1 (en) 2003-12-22
WO2003105557A1 (de) 2003-12-18
DE10224993C1 (de) 2003-08-21
EP1510118B1 (de) 2007-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4210774B4 (de) Verfahren zum Ausrichten eines Halbleiterchips, der mit Hilfe eines Reparatursystems repariert werden soll, sowie Laser-Reparaturtarget zur Verwendung für dieses Verfahren
DE69213146T2 (de) Elektronenstrahl-Lithographiegerät
EP2037227A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Position eines Fahrzeugs
DE3206374C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Eichen der Ablenkung eines aus geladenen Teilchen bestehenden Strahls
EP0468153A1 (de) Kontaktierungsvorrichtung für Prüfzwecke
DE10043728C2 (de) Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten und Verwendung einer Vorrichtung zum Ausführen des Verfahrens
DE102007025304B4 (de) Verfahren zur Verbesserung der Reproduzierbarkeit einer Koordinaten-Messmaschine und deren Genauigkeit
EP0762247A1 (de) Koordinatenmessgerät mit einer Steuerung, die den Tastkopf des Messgeräts nach Solldaten verfährt
DE10296416T5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Registrierungssteuerung in der Produktion durch Belichten
WO1999008070A1 (de) Verfahren zur korrektur der messfehler einer koordinaten-messmaschine
DE112017007435T5 (de) Komponentenbestückungssystem und klebemitteluntersuchungsvorrichtung
DE69408114T2 (de) Anordnung zur direkten Elektronenstrahlschrift für ULSI Lithographie, mit einfacher Rotation- und Verstärkungseinstellung der angestrahlten Muster, und Elektronenstrahl-Direktschriftverfahren
DD210771A5 (de) Belichtungsvorrichtung mittels eines strahls geladener teilchen
DE102006059431B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen der Position einer Struktur auf einem Träger relativ zu einem Referenzpunkt des Trägers
DE102015115065A1 (de) Teachen von Bestückpositionen
EP1510118B1 (de) Verfahren zur vermessung der verzerrung einer flächen-positioniervorrichtung
DE19544753C2 (de) Elektronenstrahl-Schreibverfahren
DE19953063A1 (de) Verfahren zur dreidimensionalen optischen Vermessung von Objektoberflächen
DE102013017878A1 (de) Durchbiegungskompensation zur Beschriftung platten- oder stabförmiger Objekte
DE102008060293B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung des relativen lokalen Lagefehlers eines der Abschnitte eines abschnittsweise belichteten Objektes
DE3346001C2 (de)
DE112014005893B4 (de) Ein Verfahren zum Messen von Positionen von Strukturen auf einer Maske und dadurch Bestimmen von Fehlern bei der Herstellung von Masken
DE102020131801A1 (de) Programmeditiervorrichtung und drahterodiermaschine
WO1997031751A1 (de) Verfahren zur korrektur der positionsbestimmung von werkstücken und werkzeugen in bearbeitungsmaschinen
DE10311821A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten von Substrat und Druckschablone beim Lotpastendruck

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20040723

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): BE CH DE FR GB LI NL

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RTI1 Title (correction)

Free format text: METHOD FOR MEASURING THE DEFORMATION OF A SURFACE POSITIONING DEVICE

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): BE CH DE FR GB LI NL

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REF Corresponds to:

Ref document number: 50307891

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20070920

Kind code of ref document: P

ET Fr: translation filed
GBV Gb: ep patent (uk) treated as always having been void in accordance with gb section 77(7)/1977 [no translation filed]

Effective date: 20070808

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070808

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20080509

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 20080618

Year of fee payment: 6

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20080616

Year of fee payment: 6

BERE Be: lapsed

Owner name: IEMENS A.G.

Effective date: 20080630

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20080630

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090101

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20080630

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20080630

NLV4 Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20100101

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20100226

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090630

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100101