EP0906619A1 - Dispositif pour transporter des substrats - Google Patents

Dispositif pour transporter des substrats

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Publication number
EP0906619A1
EP0906619A1 EP98914868A EP98914868A EP0906619A1 EP 0906619 A1 EP0906619 A1 EP 0906619A1 EP 98914868 A EP98914868 A EP 98914868A EP 98914868 A EP98914868 A EP 98914868A EP 0906619 A1 EP0906619 A1 EP 0906619A1
Authority
EP
European Patent Office
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station
stations
substrates
gripper arms
gripper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP98914868A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Stefan Bangert
Harald Krämer
Erwin Jansen
Hartmut Freitag
Jochen Hagedorn
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Leybold Systems GmbH
Original Assignee
Leybold Systems GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Systems GmbH filed Critical Leybold Systems GmbH
Publication of EP0906619A1 publication Critical patent/EP0906619A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

Abstract

L'invention concerne un dispositif pour transporter des substrats sous forme de disques circulaires, par exemple des disques vidéo numériques, entre des postes de sortie (3, 4) et des postes terminaux (5, 6) en passant par des postes de traitement (10, 11, 12), ces derniers effectuant le traitement, par exemple, le revêtement, le contrôle, le tri et la collecte des substrats. Des bras de préhension (14, 15 et 18, 19 et 38) assurent à l'aide de pinces ou d'élévateurs aspirants (20 à 25) la suite du transport des substrats de poste en poste. Il est prévu un groupe moto-réducteur (26) muni d'un dispositif pivotant (31 à 36) et de deux dispositifs de levage (27, 29 et 30, 37), pilotables indépendamment l'un de l'autre, qui coopère avec les bras de préhension (18, 19). Le réducteur (26) qui constitue un des postes d'acheminement (8) se trouve à équidistance de plusieurs postes, par exemple du poste de préparation (7), des postes de peinture (10, 11), du poste de retour (9) et du poste de contrôle (39). Les deux dispositifs de levage (27, 29 et 30, 37) du groupe moto-réducteur (26) exercent simultanément avec leurs bras de préhension (18, 19) des mouvements de levage identiques et/ou différents (mouvements verticaux) et des mouvements pivotants se superposant aux précédents ou venant à la suite des précédents.
EP98914868A 1997-03-11 1998-03-05 Dispositif pour transporter des substrats Withdrawn EP0906619A1 (fr)

Applications Claiming Priority (3)

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DE19709853 1997-03-11
DE19709853 1997-03-11
PCT/EP1998/001250 WO1998040884A1 (fr) 1997-03-11 1998-03-05 Dispositif pour transporter des substrats

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EP0906619A1 true EP0906619A1 (fr) 1999-04-07

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ID=7822886

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EP98914868A Withdrawn EP0906619A1 (fr) 1997-03-11 1998-03-05 Dispositif pour transporter des substrats

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EP (1) EP0906619A1 (fr)
DE (1) DE19729525A1 (fr)
WO (1) WO1998040884A1 (fr)

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