EP0872874B1 - Détecteur de particules à électrodes multiples et procédé de fabrication de ce détecteur - Google Patents

Détecteur de particules à électrodes multiples et procédé de fabrication de ce détecteur Download PDF

Info

Publication number
EP0872874B1
EP0872874B1 EP98400930A EP98400930A EP0872874B1 EP 0872874 B1 EP0872874 B1 EP 0872874B1 EP 98400930 A EP98400930 A EP 98400930A EP 98400930 A EP98400930 A EP 98400930A EP 0872874 B1 EP0872874 B1 EP 0872874B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
electrode
detector
border
detector according
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP98400930A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP0872874A1 (fr
Inventor
Georges Charpak
Ioannis Giomataris
Philippe Rebourgeard
Jean-Pierre Robert
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Biospace Instruments
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Biospace Instruments
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Biospace Instruments filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of EP0872874A1 publication Critical patent/EP0872874A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP0872874B1 publication Critical patent/EP0872874B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J47/00—Tubes for determining the presence, intensity, density or energy of radiation or particles
    • H01J47/001—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J47/00—Tubes for determining the presence, intensity, density or energy of radiation or particles
    • H01J47/02—Ionisation chambers

Definitions

  • the present invention relates to a detector of particles with multiple electrodes as well as a manufacturing process of this detector.
  • Figure 1 is a perspective view schematic and partial of an embodiment particular of this known detector.
  • the electrode 6 constitutes the cathode of the detector while the electrode 8 constitutes the anode of this detector.
  • the electrode 4 the structure of which matters little (it can be for example a grid), and the cathode 6 of the detector of figure 1 delimit a space called "conversion space”.
  • the cathode 6 and the anode 8 of the detector define, for their part, a space called "space amplification ".
  • the anode 8 of the detector comprises a set elementary anodes 14 formed on a support electrically insulating 16 and spaced from each other other.
  • these elementary anodes are electrically bands conductors parallel to each other.
  • the cathode 6 of the detector of FIG. 1 is an electrically conductive thin plate, of thin and pierced with holes 18 of small size, this cathode 6 thus forming a grid which, given the small size of its holes, may be called "micro-grid”.
  • Polarization means not shown are able to bring the electrode 4 to a potential HV1, cathode 6 at a potential HV2 greater than HV1 and all conductive strips 14 at the same potential HV3 higher than HV2.
  • the polarization means make it possible to create electric fields E1 and E2 respectively in conversion space and in space amplification.
  • the distance D between cathode 6 and the plane conductive strip 14 is weak.
  • the distance D is worth 100 ⁇ m.
  • the distance between electrode 4 and the cathode 6 is much larger and is 3 mm in the example shown.
  • the ratio R of the intensity of the electric field E2, created in space amplification, at the intensity of the electric field E1, created in the conversion space is very large in front 1 (greater than 10).
  • the polarization means generate a field of 50 kV / cm in the amplification space and a field of 1 kV / cm in the conversion space so that ratio R is equal to 50.
  • the conductive strips 14 are copper micro-tracks 150 ⁇ m wide and 5 ⁇ m thick (thickness much lower than D), which are formed by a classic technique of photogravure on the substrate insulator 16, these micro-tracks being spaced apart others of 320 ⁇ m.
  • the micro-grid 6 is formed by electrodeposition and has a thickness of the order of 3 ⁇ m to 4 ⁇ m and square holes of 15 ⁇ m x 15 ⁇ m with a pitch of 25 ⁇ m.
  • the enclosure 2 of the detector of FIG. 1 is provided with means not shown allowing it circulate a suitable gas, for example a mixture Ar + 10% DME.
  • this gas allows the amplification of electrons by a process avalanche.
  • the gas does not circulate at through enclosure 2 but enclosure 2 is initially filled with gas at the desired pressure.
  • Each of the micro-tracks 14 is connected to a fast amplifier not shown, allowing amplify the electrical signals collected by this micro-track.
  • an ionizing particle 12 crosses the conversion space defined by the electrodes 4 and 6, it ionizes the gas which is in the space of conversion and creates about ten electrons there primary.
  • This crossing of the micro-grid is facilitated by the high R ratio existing between the field created in the conversion space and the field created in the amplification space.
  • the field lines are deformed in the vicinity of the micro-grid and the electrons are focused towards the center of the holes in this micro-grid.
  • these electrons are amplified by the well known process thanks to the high field prevailing in the amplification space (associated with the gas mixture suitable, e.g. Ar + 10% DME).
  • Electrons are collected in a few nanoseconds by the anode micro-tracks and the ions quickly drift towards the micro-grid.
  • the ion drift creates by induction a load on the micro-tracks of the anode.
  • micro-tracks whose pitch is around of the amplification interval allow a location of the avalanche.
  • M e ⁇ D
  • ⁇ the first Townsend coefficient
  • E2 the electric field created in the amplification space
  • D the distance between the micro-grid and the anode where the multiplication.
  • the variation of the gain M in function of V is substantially exponential when V varies in the range from 0.2kV to 0.5kV.
  • the gain of detector is insensitive to small variations in distance between the micro-grid and the anode.
  • This attraction tends to distort the micro-grid and can modify the amplification space if this micro-grid is not sufficiently maintained.
  • electrically insulating spacers 29 (figure 2) made up of quartz or nylon fibers, the diameter is equal to D (100 ⁇ m) and which are placed on the micro-tracks 14 of the anode, perpendicular to these micro-tracks, and are regularly spaced from each other with a pitch ⁇ of the order of 2 mm at 3 mm.
  • micro-grid thus stretched is placed on the fibers forming the spacers, the micro-grid being then between the frame and these fibers.
  • the micro-grid holding frame presenting his own faults and his own rigidity, it appears areas where the distance between the micro-grid and the anode is no longer equal to its value nominal.
  • the object of the present invention is to remedy the above drawbacks and, more generally prevent a flexible electrode from a particle detector to come into contact with a other electrode of this detector under the effect of a electrostatic force resulting from the application of a electrical voltage between these two electrodes while disturbing the electric field less than before thus established between these two electrodes.
  • the present invention has for object an electrode particle detector multiple, in which a flexible electrode and a other electrode are intended to be worn to different electrical potentials and are maintained spaced from each other by spacers electrically insulating, placed between these two electrodes, this detector being characterized in that the spacers are point elements, distributed in the space between the two electrodes.
  • the detector may further include a electrically insulating border which surrounds the whole point elements.
  • Point elements and / or border can be attached to said other electrode, the flexible electrode resting on the elements punctual and possibly attached to the border.
  • the two electrodes are kept parallel to the means of the elements punctual, these then having the same height (equal to the desired distance between the two electrodes).
  • the border if used, has the same height than point elements.
  • the present invention applies all particularly to detectors like those are described in documents (1), (2) and (3) mentioned above:
  • the detector object of the invention can further comprise a first electrode spaced from the two electrodes, the flexible electrode delimiting (a) with said other electrode an amplification space where these two electrodes respectively constitute a cathode and an anode and (b) with the first electrode a space for converting particles into electrons ionization and drift of these electrons towards the amplification space, the cathode being pierced with holes, the anode comprising a set of anodes electrically isolated from each other others, the first electrode being intended to be brought to a first potential, the cathode to a second potential greater than the first potential and the anodes elementary to a third potential greater than second potential, to create electric fields respectively in the conversion spaces and amplification.
  • the first electrode, the anode and the cathode are the distance D between the cathode and the anode being less than 500 ⁇ m, the ratio R of the intensity of the electric field created in the amplification space to the intensity of the electric field created in the space of conversion being greater than 10, the height of point elements being equal to D and the dimensions of these point elements, counted parallel to the anode, being substantially equal to D.
  • anode and cathode point elements and / or the border are preferably fixed to the anode and the cathode rests on the point elements, and is possibly attached to the border.
  • the distance between the flexible electrode and said other electrode is not not constant, these two electrodes being spaced apart controlled way using height spacers adapted to the desired interval between these two electrodes.
  • the point elements form cylinders (in the broad sense, the cylinders of revolution being only a particular case), each cylinder having dimensions which, counted parallel to said two electrodes, are substantially equal to or less than the height of this cylinder.
  • the point elements form spheres.
  • the present invention also relates to a manufacturing process of the object detector the invention, characterized in that the said form is formed other electrode a layer of photoresist (resin photosensitive) whose thickness is adapted to the space chosen between the two electrodes, in that we form these point elements by insolation of this layer, through a mask defining the point elements, then development of the layer, and in that we place then the flexible electrode on the point elements in photoresist thus formed.
  • photoresist resin photosensitive
  • the photoresist layer is formed on the anode of the detector, so as to form thereon the point elements in photoresist, and the cathode is then placed on these point elements in photoresist.
  • the mask further defines said border, so as to also form a border in photoresist on the anode by insolation then development of the photoresist layer and we place then the cathode on the point elements in photoresist.
  • the thickness is equal to this height.
  • these columns are regularly distributed in the space between the anode and the micro-grid and we note ⁇ the pitch of columns.
  • the disturbed area represents ( ⁇ / 4). (3D / ⁇ ) 2 of the detector surface.
  • the ratio D / rapport occurs at square and, keeping a step ⁇ between columns of 2 mm, only 1.7% of the detector surface is disrupted.
  • balusters instead of fibers therefore leads to a considerable reduction in the disturbed surface.
  • Columns 30 could be formed on the insulating substrate 16 but, in the example shown, they are formed on micro-tracks conductive 14.
  • the detector according to the invention which is shown schematically and partial in Figure 3, we start by forming the micro-grid and the substrate (e.g. resin epoxy) carrying the micro-tracks 14 which are obtained by a traditional photogravure technique.
  • the substrate e.g. resin epoxy
  • the columns 30 are then formed also by a photoengraving technique.
  • the thickness of this layer is equal to the distance D desired and can range from 50 ⁇ m to 100 ⁇ m (it is worth 100 ⁇ m in the example considered).
  • This mask is previously aligned with the surface carrying the conductive micro-tracks using of marks engraved at the same time as these micro-tracks conductive.
  • the detector is then completed (in particular by installing micro-grid 6 and the electrode 4).
  • a photoresist border 32 (FIG. 4) which surrounds all of the balusters 30 and has the same height D than these.
  • the micro-grid 6 When mounting the detector, the micro-grid 6 is placed on the balusters 30 and then stretched and fixed at its periphery on the edge 32, of preferably by gluing for example by means of a epoxy resin.
  • the conductors 34 which can be seen on the figure 4 are simply extensions of the micro-tracks conductive and allow the connection of these to fast amplifiers that we use during the operation of the detector as we have seen upper.
  • Such a detector according to the invention does not shows no disturbances comparable to those that we observed with detectors using fibers as spacers.
  • balusters The area covered by the balusters is much less than in the prior art since we are gone from a linear configuration to a configuration punctual.
  • the flatness defects of the substrate 16 are tolerable.
  • the amount of material introduced into the detector is also weaker than in art conversion space can be reduced if necessary.
  • a wide range of film thicknesses from photoresist is commercially available and all kinds of patterns are possible at the time of photogravure.
  • the spacers can be shaped cylindrical of revolution or parallelepiped by example.
  • a detector formed with the process using a photoresist layer still allows a change of micro-grid provided you use a glue easy to dissolve without damaging the photoresist.
  • the micro-grid 6 is no longer attached to border 32: it is attached to substrate 16 using the border as spacer.
  • the micro-grid can then be easily connected to a bias electrode: on can provide a photo-etched electrode on the substrate and use a conductive glue to fix the micro-grid to the substrate and, in particular, to this electrode.
  • Attachment of the micro-grid to the substrate has another advantage: when you want to place two detectors side by side on the same insulating substrate, the fixing of the two corresponding micro-grids on this substrate reduces the “dead zone” between these two micro-grids.
  • two detectors 36 and 38 are formed on the same substrate 16.
  • micro-grids 6 and 6a rest on the posts 30 and 30a and borders 32 and 32a corresponding and are fixed, by gluing, to the substrate 16, in space 40.
  • elementary anodes forming parallel micro-tracks 14 we can use, as mentioned in the document (1), elementary anodes forming a network two-dimensional checkerboard on the insulating substrate 16 or any other configuration.
  • spheres insulators of diameter D, for example quartz, to the place of these balusters.
  • the invention applies to any detector of particles in which two electrodes must be kept parallel to each other.
  • the thickness of the micro-grid is of the order of 3 ⁇ m to 4 ⁇ m but in other detectors it could go up to 100 ⁇ m.
  • the invention applies to any electrode liable to deform (whatever its thickness), to prevent it from forming a short circuit with another adjacent electrode by electro-static attraction with the latter when an electrical voltage is applied between these two electrodes.
  • the electrodes are also not necessarily parallel.
  • it may be useful to do continuously vary the distance between the micro-grid and the anode of a MICROMEGAS type detector (documents (1) to (3)).
  • a MICROMEGAS type detector (documents (1) to (3)).
  • spacers points of varying heights are achievable by example using insulating balls with diameters variables or by means of photoresist and a photolithography, and allow, thanks to the flexibility of the microgrid, to get any space desired between this microgrid and the anode.

Landscapes

  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

DOMAINE TECHNIQUE
La présente invention concerne un détecteur de particules à électrodes multiples ainsi qu'un procédé de fabrication de ce détecteur.
Elle s'applique notamment en physique des particules ainsi qu'en médecine et en biologie, dans le domaine de l'imagerie des rayons β et dans le domaine de l'imagerie des rayons X.
ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE
On connaít un détecteur de position, à haute résolution, de hauts flux de particules ionisantes (plus de 108 particules par mm2 et par seconde) par les documents suivants :
  • (1) Demande de brevet français n°9511928 du 11 Octobre 1995
  • (2) MICROMEGAS : a high-granularity position-sensitive gazeous detector for high particle-flux environments, Y. Giomataris, Ph. Rebourgeard, J.P. Robert, G. Charpak - Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 376 (1996) 29-35.
  • (3) Article publié dans la revue « Les défis du CEA », n°52, novembre 1996, page 6.
    • La figure 1 est une vue en perspective schématique et partielle d'un mode de réalisation particulier de ce détecteur connu.
    Le détecteur représenté sur la figure 1 comprend :
    • une enceinte à gaz 2, et
    • trois électrodes planes 4, 6 et 8 contenues dans l'enceinte 2, qui sont parallèles les unes aux autres.
    Lorsque les particules ionisantes à détecter, telles que la particule dont la trajectoire est matérialisée par la flèche 12, traversent l'enceinte 2, elles rencontrent successivement l'électrode 4, l'électrode 6 puis l'électrode 8.
    L'électrode 6 constitue la cathode du détecteur tandis que l'électrode 8 constitue l'anode de ce détecteur.
    L'électrode 4, dont la structure importe peu (ce peut être par exemple une grille), et la cathode 6 du détecteur de la figure 1 délimitent un espace appelé « espace de conversion ».
    La cathode 6 et l'anode 8 du détecteur délimitent, quant à elles, un espace appelé "espace d'amplification".
    L'anode 8 du détecteur comprend un ensemble d'anodes élémentaires 14 formées sur un support électriquement isolant 16 et espacées les unes des autres.
    Dans l'exemple représenté sur la figure 1, ces anodes élémentaires sont des bandes électriquement conductrices parallèles les unes aux autres.
    La cathode 6 du détecteur de la figure 1 est une plaque mince électriquement conductrice, de faible épaisseur et percée de trous 18 de faible taille, cette cathode 6 formant ainsi une grille qui, compte tenu de la faible taille de ses trous, peut être appelée « micro-grille ».
    Des moyens de polarisation non représentés sont aptes à porter l'électrode 4 à un potentiel HV1, la cathode 6 à un potentiel HV2 supérieur à HV1 et toutes les bandes conductrices 14 à un même potentiel HV3 supérieur à HV2.
    Dans l'exemple représenté sur la figure 1, ces bandes conductrices 14 sont mises à la masse, le potentiel HV1 vaut -800 V et le potentiel HV2 vaut -500 V.
    Les moyens de polarisation permettent de créer des champs électriques E1 et E2 respectivement dans l'espace de conversion et dans l'espace d'amplification.
    La distance D entre la cathode 6 et le plan des bandes conductrices 14 est faible.
    Elle est de l'ordre de 50 µm à 150 µm.
    Dans l'exemple représenté, la distance D vaut 100 µm.
    La distance entre l'électrode 4 et la cathode 6 est, quant à elle, beaucoup plus grande et vaut 3 mm dans l'exemple représenté.
    De plus, le rapport R de l'intensité du champ électrique E2, créé dans l'espace d'amplification, à l'intensité du champ électrique E1, créé dans l'espace de conversion, est très grand devant 1 (supérieur à 10).
    Dans l'exemple représenté sur la figure 1, les moyens de polarisation engendrent un champ de 50 kV/cm dans l'espace d'amplification et un champ de 1 kV/cm dans l'espace de conversion de sorte que ce rapport R est égal à 50.
    Dans le détecteur de la figure 1, les bandes conductrices 14 sont des micro-pistes de cuivre de 150 µm de large et de 5 µm d'épaisseur (épaisseur très inférieure à D), qui sont formées par une technique classique de photogravure sur le substrat isolant 16, ces micro-pistes étant espacées les unes des autres de 320 µm.
    La micro-grille 6 est formée par électrodéposition et a une épaisseur de l'ordre de 3 µm à 4 µm et des trous carrés de 15 µm x 15 µm avec un pas de 25 µm.
    L'enceinte 2 du détecteur de la figure 1 est munie de moyens non représentés permettant d'y faire circuler un gaz approprié, par exemple un mélange Ar + 10% DME.
    Comme on le verra mieux par la suite, ce gaz permet l'amplification d'électrons par un processus d'avalanche.
    On précise à ce propos que les potentiels HV1 et HV2 sont choisis en fonction du gaz utilisé.
    En variante, le gaz ne circule pas à travers l'enceinte 2 mais cette enceinte 2 est initialement remplie du gaz à la pression souhaitée.
    Chacune des micro-pistes 14 est reliée à un amplificateur rapide non représenté, permettant d'amplifier les signaux électriques recueillis par cette micro-piste.
    On explique ci-après le fonctionnement du détecteur de la figure 1.
    Lorsqu'une particule ionisante 12 traverse l'espace de conversion défini par les électrodes 4 et 6, elle ionise le gaz qui se trouve dans l'espace de conversion et y crée environ une dizaine d'électrons primaires.
    Sous l'effet du champ électrique existant dans cet espace, les électrons primaires ainsi créés par ionisation dérivent vers la micro-grille 6.
    On a matérialisé par une flèche 27 la trajectoire de l'un de ces électrons sur la figure 1.
    Ceux-ci traversent ensuite les ouvertures dont la micro-grille est pourvue et se dirigent vers l'anode 8.
    Cette traversée de la micro-grille est facilitée par le rapport R élevé existant entre le champ créé dans l'espace de conversion et le champ créé dans l'espace d'amplification.
    En effet, les lignes de champ sont déformées au voisinage de la micro-grille et les électrons sont focalisés vers le centre des trous de cette micro-grille.
    Ils parviennent ainsi dans l'espace d'amplification avec une efficacité bien supérieure à la transparence optique de la micro-grille.
    Pour des rapports de champs R suffisants, la transparence électronique devient proche de 100% et tous les électrons primaires parviennent dans l'espace d'amplification.
    Après avoir traversé la micro-grille 6, ces électrons sont amplifiés par le processus bien connu d'avalanche grâce au champ élevé qui règne dans l'espace d'amplification (associé au mélange gazeux approprié, par exemple Ar + 10% DME).
    Sur la figure 1, on a donné la référence 28 à l'avalanche associée à l'électron primaire dont la trajectoire porte la référence 27.
    Les électrons sont collectés en quelques nanosecondes par les micro-pistes de l'anode et les ions dérivent rapidement vers la micro-grille.
    On a montré qu'en 100 ns la quasi-totalité des ions était collectée par la micro-grille, libérant ainsi le détecteur pour une avalanche ultérieure.
    La dérive des ions crée par induction une charge sur les micro-pistes de l'anode.
    Ces micro-pistes dont le pas est de l'ordre de l'intervalle d'amplification permettent une localisation de l'avalanche.
    Examinons maintenant les contraintes imposées à l'espace d'amplification.
    D'une manière générale, le gain par avalanche électronique peut s'écrire : M = eαD où α représente le premier coefficient de Townsend, caractéristique du mélange gazeux utilisé, qui dépend aussi du champ électrique E2 créé dans l'espace d'amplification, et D représente la distance entre la micro-grille et l'anode où s'effectue la multiplication.
    Il est clair, compte tenu de la relation (1), que l'on doit s'assurer que D reste constant sur tout le détecteur afin d'obtenir une bonne uniformité de gain et une bonne résolution en énergie.
    On peut préciser la contrainte imposée à D par un calcul simple.
    Le champ d'amplification E2 est créé en appliquant une différence de potentiel V = HV3 - HV2 entre le plan de l'anode et la micro-grille.
    Ce champ d'amplification vaut donc : E2 = VD
    Or, le coefficient de Townsend dépend de ce champ suivant la formule approchée : α = α0e-E0/E2 où α0 et E0 sont des constantes qui dépendent du mélange gazeux utilisé.
    La combinaison des relations (1), (2) et (3) permet donc d'écrire : ln M = D.α0.e-D.E0/V
    Dans le cas d'un mélange Ar+10%DME, on a mesuré α0=2710 cm-1 et E0=54kV/cm.
    Avec D=100 µm, la variation du gain M en fonction de V est sensiblement exponentielle lorsque V varie dans la gamme allant de 0,2kV à 0,5kV.
    On peut aussi étudier comment varie le gain M avec la distance D pour une tension appliquée donnée.
    On observe l'existence d'un extremum défini par : 1M · ∂M∂D = 0
    En dérivant la relation (4), on montre que cet extremum a lieu pour D = VE0
    Pour cette valeur particulière, le gain du détecteur est insensible aux faibles variations de distance entre la micro-grille et l'anode.
    Pour le mélange Ar+10%DME, cette valeur optimale est égale à 75 µm pour V=400V.
    Il s'agit d'un point de fonctionnement particulièrement intéressant puisqu'il diminue la contrainte imposée au parallélisme entre la micro-grille et l'anode.
    Néanmoins, il n'est pas toujours possible de se placer exactement à cette valeur.
    Par exemple, pour le même mélange gazeux, si D=100 µm, on doit s'attendre à des variations relatives de gain de l'ordre de -3% par micromètre.
    Il est donc essentiel, dans un détecteur du genre de celui de la figure 1, de maintenir rigoureusement constant l'espacement entre l'anode et la micro-grille afin de préserver l'uniformité et la résolution en énergie.
    Ce problème de constance se trouve accru par le fait que la micro-grille est attirée vers l'anode sous l'effet du champ électrique d'amplification.
    Cette attraction a tendance à déformer la micro-grille et peut modifier l'espace d'amplification si cette micro-grille n'est pas suffisamment maintenue.
    Pour résoudre ce problème, on a préconisé l'emploi d'espaceurs électriquement isolants 29 (figure 2) constitués par des fibres de quartz ou de nylon dont le diamètre est égal à D(100 µm) et qui sont posées sur les micro-pistes 14 de l'anode, perpendiculairement à ces micro-pistes, et sont régulièrement espacées les unes des autres avec un pas Δ de l'ordre de 2 mm à 3 mm.
    Cette solution a donné de bons résultats expérimentaux puisque des résolutions énergétiques de 14% ont été mesurées avec des rayons X de 5,9 keV, issus de la désintégration de 55Fe, montrant ainsi que le gain (ou la distance D) est homogène sur des surfaces de plusieurs mm2.
    Cette solution présente néanmoins une première série d'inconvénients.
    Tout d'abord, on doit remarquer que la mise en place des fibres les unes après les autres allonge significativement le temps de fabrication du détecteur et se prête donc assez mal à une réalisation industrielle.
    Par ailleurs, du point de vue des performances physiques, on a pu mesurer que la zone proche des espaceurs présentait des caractéristiques dégradées en résolution énergétique à cause des perturbations du champ électrique au voisinage des fibres.
    Si l'on suppose que, pour chaque fibre, la zone perturbée s'étend sur une distance de l'ordre d'un diamètre (D) de chaque côté de cette fibre, on trouve qu'une fraction 3D/Δ (c'est-à-dire environ 15%) de la surface du détecteur est affectée par la présence des espaceurs.
    Cette perturbation ne se traduit cependant pas par une perte totale d'efficacité (des tests récents, avec des particules au minimum d'ionisation, ont montré que l'efficacité du détecteur était supérieure à 97%) mais elle dégrade la résolution énergétique au voisinage des espaceurs et risque de nuire à certaines applications du détecteur.
    Précisons en outre que, jusqu'à présent, on a maintenu la micro-grille tendue sur les fibres pour maintenir constant l'espacement entre l'anode et la micro-grille qui, comme on l'a vu, a tendance à être plaquée contre l'anode par le très fort champ électrique d'amplification.
    Pour ce faire, on tend la micro-grille sur un cadre électriquement isolant, ayant une épaisseur voisine de 2 mm et une largeur de 5 mm et présentant une bonne rigidité.
    La micro-grille ainsi tendue est posée sur les fibres formant les espaceurs, la micro-grille étant alors comprise entre le cadre et ces fibres.
    Bien que cette façon de faire permette de changer de micro-grille (l'ensemble cadre micro-grille étant amovible), elle conduit à une deuxième série d'inconvénients.
    Il est en effet difficile d'assurer le parallélisme du plan de la micro-grille et du plan de l'anode.
    Par exemple, lorsque le support ou substrat 16 utilisé est rigide et présente des défauts de planéité, le cadre de maintien de la micro-grille présentant lui même ses propres défauts et sa propre rigidité, il apparaít des zones où la distance entre la micro-grille et l'anode n'est plus égale à sa valeur nominale.
    D'importantes diminutions du gain ont ainsi été constatées, la plupart du temps sur les bords du détecteur.
    La partie centrale de ce dernier, loin du cadre de maintien, ne présente généralement aucun défaut car la micro-grille, tendue par le champ électrique, repose bien sur les fibres.
    De plus, le fait de maintenir la micro-grille sur un cadre est peu compatible avec la diminution de matière souvent nécessaire aux applications en physique des hautes énergies et ne permet pas non plus de diminuer facilement l'espace de conversion.
    EXPOSÉ DE L'INVENTION
    La présente invention a pour but de remédier aux inconvénients précédents et, plus généralement, d'empêcher une électrode flexible d'un détecteur de particules d'entrer en contact avec une autre électrode de ce détecteur sous l'effet d'une force électrostatique résultant de l'application d'une tension électrique entre ces deux électrodes tout en perturbant moins que précédemment le champ électrique ainsi établi entre ces deux électrodes.
    De façon précise, la présente invention a pour objet un détecteur de particules à électrodes multiples, dans lequel une électrode flexible et une autre électrode sont destinées à être portées à des potentiels électriques différents et sont maintenues espacées l'une de l'autre au moyen d'espaceurs électriquement isolants, placés entre ces deux électrodes, ce détecteur étant caractérisé en ce que les espaceurs sont des éléments ponctuels, répartis dans l'espace compris entre les deux électrodes.
    L'utilisation, en tant qu'espaceurs, d'éléments ponctuels, au lieu d'éléments linéaires tels que des fibres, permet de réduire de façon importante les perturbations du champ électrique que l'on établit entre les deux électrodes.
    Le détecteur peut comprendre en outre une bordure électriquement isolante qui entoure l'ensemble des éléments ponctuels.
    Les éléments ponctuels et/ou la bordure peuvent être fixés à ladite autre électrode, l'électrode flexible reposant sur les éléments ponctuels et étant éventuellement fixée à la bordure.
    Selon un mode de réalisation particulier du détecteur objet de l'invention, les deux électrodes sont maintenues parallèles aux moyens des éléments ponctuels, ceux-ci ayant alors la même hauteur (égale à la distance souhaitée entre les deux électrodes). Dans ce cas, la bordure, si elle est utilisée, a la même hauteur que les éléments ponctuels.
    La présente invention s'applique tout particulièrement aux détecteurs du genre de ceux qui sont décrits dans les documents (1), (2) et (3) mentionnés plus haut :
    le détecteur objet de l'invention peut comprendre en outre une première électrode espacée des deux électrodes, l'électrode flexible délimitant (a) avec ladite autre électrode un espace d'amplification où ces deux électrodes constituent respectivement une cathode et une anode et (b) avec la première électrode un espace de conversion des particules en électrons d'ionisation et de dérive de ces électrons vers l'espace d'amplification, la cathode étant percée de trous, l'anode comprenant un ensemble d'anodes élémentaires électriquement isolées les unes des autres, la première électrode étant destinée à être portée à un premier potentiel, la cathode à un deuxième potentiel supérieur au premier potentiel et les anodes élémentaires à un troisième potentiel supérieur au deuxième potentiel, pour créer des champs électriques respectivement dans les espaces de conversion et d'amplification.
    Selon un mode de réalisation particulier, la première électrode, l'anode et la cathode sont parallèles, la distance D entre la cathode et l'anode étant inférieure à 500 µm, le rapport R de l'intensité du champ électrique créé dans l'espace d'amplification à l'intensité du champ électrique créé dans l'espace de conversion étant supérieur à 10, la hauteur des éléments ponctuels étant égale à D et les dimensions de ces éléments ponctuels, comptées parallèlement à l'anode, étant sensiblement égales à D.
    Dans le cas du détecteur à première électrode, anode et cathode les éléments ponctuels et/ou la bordure sont de préférence fixés à l'anode et la cathode repose sur les éléments ponctuels, et est éventuellement fixée à la bordure.
    Selon un autre mode de réalisation particulier du détecteur, la distance séparant l'électrode flexible et ladite autre électrode n'est pas constante, ces deux électrodes étant espacées de façon contrôlée à l'aide d'espaceurs de hauteurs adaptées à l'intervalle souhaité entre ces deux électrodes.
    Selon un premier mode de réalisation particulier de l'invention, les éléments ponctuels forment des cylindres (au sens large, les cylindres de révolution n'étant qu'un cas particulier), chaque cylindre ayant des dimensions qui, comptées parallèlement auxdites deux électrodes, sont sensiblement égales ou inférieures à la hauteur de ce cylindre.
    Selon un deuxième mode de réalisation particulier, les éléments ponctuels forment des sphères.
    La présente invention concerne également un procédé de fabrication du détecteur objet de l'invention, caractérisé en ce qu'on forme sur ladite autre électrode une couche de photorésist (résine photosensible) dont l'épaisseur est adaptée à l'espace choisi entre les deux électrodes, en ce qu'on forme ces éléments ponctuels par insolation de cette couche, à travers un masque définissant les éléments ponctuels, puis développement de la couche, et en ce qu'on place ensuite l'électrode flexible sur les éléments ponctuels en photorésist ainsi formés.
    Dans ce cas, pour fabriquer le détecteur auquel l'invention s'applique tout particulièrement et qui comprend une anode et une cathode percée de trous, la couche de photorésist est formée sur l'anode du détecteur, de manière à former sur celle-ci les éléments ponctuels en photorésist, et la cathode est ensuite placée sur ces éléments ponctuels en photorésist.
    De préférence, le masque définit en outre ladite bordure, de manière à former aussi une bordure en photorésist sur l'anode par insolation puis développement de la couche de photorésist et on place ensuite la cathode sur les éléments ponctuels en photorésist.
    On peut fixer la cathode à la bordure en photorésist par exemple par collage.
    Au lieu de cela, on peut avantageusement fixer la cathode à un substrat électriquement isolant portant les anodes élémentaires, en utilisant la bordure comme espaceur.
    Lorsqu'on veut des espaceurs de même hauteur, on forme une couche de photorésist dont l'épaisseur est égale à cette hauteur.
    BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
    La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels :
    • la figure 1, déjà décrite, est une vue en perspective schématique et partielle d'un détecteur connu,
    • la figure 2, déjà décrite, montre schématiquement des espaceurs utilisés dans ce détecteur et constitués par des fibres isolantes,
    • la figure 3 est une vue en perspective schématique et partielle d'un mode de réalisation particulier du détecteur objet de l'invention, utilisant des espaceurs constitués par des colonnettes isolantes,
    • la figure 4 montre schématiquement une bordure qui est utilisée dans le détecteur de la figure 3 et qui entoure les colonnettes,
    • les figures 5 et 6 illustrent schématiquement d'autres modes de réalisation particuliers de l'invention, et
    • les figures 7 et 8 illustrent schématiquement un autre détecteur conforme à l'invention.
    EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS
    On considère l'exemple du détecteur des figures 1 et 2 que l'on améliore conformément à la présente invention en y remplaçant les fibres isolantes 29 par des espaceurs constitués par des colonnettes isolantes 30 (figure 3) dont la hauteur est égale à la distance D entre l'anode et la micro-grille (100 µm) et dont la diamètre, voisin de D, vaut environ 110 µm.
    De préférence, ces colonnettes sont régulièrement réparties dans l'espace compris entre l'anode et la micro-grille et l'on note δ le pas des colonnettes.
    Si l'on suppose à nouveau que le voisinage de chaque colonnette 30 est perturbé sur une distance D, la zone perturbée représente (π/4). (3D/δ)2 de la surface du détecteur.
    Dans ce cas, le rapport D/δ intervient au carré et, en gardant un pas δ entre colonnettes de 2 mm, seulement 1,7% de surface du détecteur est perturbée.
    L'utilisation des colonnettes au lieu des fibres conduit donc à une réduction considérable de la surface perturbée.
    Les colonnettes 30 pourraient être formées sur le substrat isolant 16 mais, dans l'exemple représenté, elles sont formées sur les micro-pistes conductrices 14.
    Pour fabriquer le détecteur conforme à l'invention qui est représenté de façon schématique et partielle sur la figure 3, on commence par former la micro-grille et le substrat (par exemple en résine époxy) portant les micro-pistes 14 qui sont obtenues par une technique traditionnelle de photogravure.
    Les colonnettes 30 sont ensuite formées également par une technique de photogravure.
    Pour ce faire, on dépose une couche (non représentée) de photorésist ou résine photosensible sur la surface du substrat portant les micro-pistes conductrices, par lamage à chaud (par exemple à 120°C).
    L'épaisseur de cette couche est égale à la distance D souhaitée et peut aller de 50 µm à 100 µm (elle vaut 100 µm dans l'exemple considéré).
    On insole ensuite cette couche par un rayonnement ultraviolet à travers un film contenant le masque des colonnettes.
    Ce masque est préalablement aligné sur la surface portant les micro-pistes conductrices à l'aide de repères gravés en même temps que ces micro-pistes conductrices.
    On développe ensuite la couche et l'on recuit les colonnettes de photorésist obtenues, par exemple à une température de 150°C et pendant 24 heures.
    On achève ensuite le détecteur (notamment par la mise en place de la micro-grille 6 et de l'électrode 4).
    De préférence, on forme aussi, sur la face du substrat 16 portant les micro-pistes conductrices 14, une bordure 32 en photorésist (figure 4) qui entoure l'ensemble des colonnettes 30 et a la même hauteur D que celles-ci.
    Pour ce faire, on utilise pour l'insolation un film contenant le masque des colonnettes et de cette bordure et l'on obtient donc, après insolation, développement puis recuit, les colonnettes et la bordure en photorésist.
    Lors du montage du détecteur, la micro-grille 6 est placée sur les colonnettes 30 puis tendue et fixée à sa périphérie sur la bordure 32, de préférence par collage par exemple au moyen d'une résine époxy.
    On s'affranchit alors du cadre de maintien qui était nécessaire dans l'art antérieur comme on l'a vu plus haut.
    Les conducteurs 34 que l'on aperçoit sur la figure 4 sont simplement des prolongements des micro-pistes conductrices et permettent la connexion de celles-ci à des amplificateurs rapides que l'on utilise lors du fonctionnement du détecteur comme on l'a vu plus haut.
    Un tel détecteur conforme à l'invention ne montre pas de perturbations comparables à celles que l'on observait avec les détecteurs utilisant des fibres en tant qu'espaceurs.
    Sa résolution énergétique est uniformément satisfaisante et son efficacité, mesurée sur un faisceau de particules au minimum d'ionisation, est très proche de 100%.
    Les avantages d'un tel détecteur sont très importants.
    La surface couverte par les colonnettes est bien moindre que dans l'art antérieur puisqu'on est passé d'une configuration linéaire à une configuration ponctuelle.
    En outre, le cadre de maintien ayant été supprimé, les défauts de planéité du substrat 16 (une courbure par exemple) sont tolérables.
    On a effectivement vérifié que l'uniformité du détecteur était remarquable, y compris dans les coins de sa partie active.
    Par ailleurs, on n'a observé aucune dégradation de résolution puisque la surface perturbée est désormais négligeable (inférieure à 1%).
    La quantité de matière introduite dans le détecteur est également plus faible que dans l'art antérieur et l'espace de conversion peut être réduit si nécessaire.
    En ce qui concerne le procédé de fabrication, les avantages sont manifestes.
    En deux étapes successives, permettant de traiter aussi bien de petites surfaces que de grandes surfaces, un même industriel spécialisé en photogravure peut réaliser l'essentiel du détecteur.
    Une grande gamme d'épaisseurs de film de photorésist est commercialement disponible et toutes sortes de motifs sont possibles au moment de la photogravure.
    Les espaceurs peuvent être de forme cylindrique de révolution ou parallélépipédique par exemple.
    Un détecteur formé avec le procédé utilisant une couche de photorésist autorise encore un changement de micro-grille à condition d'utiliser une colle facile à dissoudre sans détériorer le photorésist.
    Il est à noter que ce procédé permet d'obtenir bien plus rapidement que précédemment des espaceurs sur l'anode du détecteur.
    Dans une variante de réalisation, la micro-grille 6 n'est plus fixée à la bordure 32 : elle est fixée au substrat 16 en utilisant la bordure comme espaceur.
    Il est alors plus facile de démonter la micro-grille pour la remplacer par une autre.
    De plus, la micro-grille peut alors être aisément connectée à une électrode de polarisation : on peut prévoir sur le substrat une électrode photogravée et utiliser une colle conductrice pour fixer la micro-grille au substrat et, en particulier, à cette électrode.
    La fixation de la micro-grille au substrat présente un autre avantage : lorsqu'on veut placer deux détecteurs côte à côte sur un même substrat isolant, la fixation des deux micro-grilles correspondantes sur ce substrat permet de réduire la « zone morte » entre ces deux micro-grilles.
    Tout ceci est schématiquement illustré par les figures 5 et 6 (à des échelles différentes).
    Dans l'exemple représenté en coupe transversale sur la figure 5 et en vue de dessus sur la figure 6, deux détecteurs 36 et 38 sont formés sur le même substrat 16.
    On voit les bordures 32 et 32a ainsi que les micro-grilles 6 et 6a correspondant respectivement à ces détecteurs.
    On voit également les prolongements 34 et 34a des micro-pistes ainsi que l'espace 40 compris entre les bordures 32 et 32a.
    Les micro-grilles 6 et 6a reposent sur les colonnettes 30 et 30a et les bordures 32 et 32a correspondantes et sont fixées, par collage, au substrat 16, dans l'espace 40.
    On peut prévoir dans cet espace 40 une piste conductrice 42 et connecter les micro-grilles à celle-ci par des points de colle conductrice ou de soudure 44.
    Au lieu d'utiliser des anodes élémentaires formant des micro-pistes parallèles 14, on peut utiliser, comme cela est mentionné dans le document (1), des anodes élémentaires formant un réseau bidimensionnel en damier sur le substrat isolant 16 ou toute autre configuration.
    Les colonnettes peuvent alors être formées sur ces éléments en damier.
    De plus, on peut utiliser des sphères isolantes, de diamètre D, par exemple en quartz, à la place de ces colonnettes.
    L'invention s'applique à tout détecteur de particules dans lequel deux électrodes doivent être maintenues parallèles l'une à l'autre.
    Il convient de remarquer que le procédé mentionné plus haut, qui utilise une couche de photorésist, permet de concevoir des détecteurs dont les électrodes ne sont pas planes mais par exemple cylindriques ou sphériques.
    De tels détecteurs étaient bien plus difficiles à réaliser en utilisant des espaceurs constitués par des fibres.
    De plus, dans l'exemple donné plus haut, l'épaisseur de la micro-grille est de l'ordre de 3 µm à 4 µm mais dans d'autres détecteurs elle pourrait aller jusqu'à 100 µm.
    De toute façon l'invention s'applique à toute électrode susceptible de se déformer (peu importe son épaisseur), pour l'empêcher de former un court-circuit avec une autre électrode adjacente par attraction électro-statique avec cette dernière lorsqu'une tension électrique est appliquée entre ces deux électrodes.
    Les électrodes ne sont d'ailleurs pas nécessairement parallèles. A titre d'exemple, dans certaines applications, il peut être utile de faire varier de façon continue la distance entre la micro-grille et l'anode d'un détecteur du genre MICROMEGAS (documents (1) à (3)). Par exemple on voit de façon schématique et partielle, en coupe transversale sur la figure 7 et en vue de dessus sur la figure 8, un tel détecteur où la micro-grille 6 est posée sur des espaceurs ponctuels 30 isolants dont la hauteur va en croissant par exemple de 50 µm à 150 µm suivant un axe x parallèle aux micro-pistes 14 formées sur le substrat 16 lorsque l'abscisse x varie de 0 à L=15 cm. Alors si des rayons X sont absorbés dans l'espace de conversion C ils donnent lieu à une amplification variable le long de l'axe x et l'on dispose ainsi d'un détecteur bidimensionnel pour les rayons X si l'on détermine la hauteur des impulsions recueillies par les micro-pistes et l'adresse de ces micro-pistes.
    Il convient de noter que des espaceurs ponctuels de hauteurs variables sont réalisables par exemple au moyen de billes isolantes de diamètres variables ou au moyen de photorésist et d'une photolithographie, et permettent, grâce à la flexibilité de la microgrille, d'obtenir tout espace souhaité entre cette microgrille et l'anode.

    Claims (19)

    1. Détecteur de particules à électrodes multiples, dans lequel une électrode flexible (6) et une autre électrode (8) sont destinées à être portées à des potentiels électriques différents et sont maintenues espacées l'une de l'autre au moyen d'espaceurs électriquement isolants, placés entre ces deux électrodes, ce détecteur étant caractérisé en ce que les espaceurs sont des éléments ponctuels (30) répartis dans l'espace compris entre les deux électrodes.
    2. Détecteur selon la revendication 1, comprenant en outre une bordure électriquement isolante (32) qui entoure l'ensemble des éléments ponctuels (30).
    3. Détecteur selon l'une au moins des revendications 1 et 2, dans lequel les éléments ponctuels et/ou la bordure sont fixés à ladite autre électrode (8), l'électrode flexible (6) reposant sur les éléments ponctuels et étant éventuellement fixée à la bordure.
    4. Détecteur selon la revendication 1, dans lequel les deux électrodes sont maintenues parallèles au moyen des éléments ponctuels, ceux-ci ayant la même hauteur (D).
    5. Détecteur selon les revendications 2 et 4, dans lequel la bordure a la même hauteur que les éléments ponctuels.
    6. Détecteur selon la revendication 1, comprenant en outre une première électrode (4) espacée des deux électrodes, l'électrode flexible délimitant (a) avec ladite autre électrode un espace d'amplification où ces deux électrodes constituent respectivement une cathode et une anode et (b) avec la première électrode un espace de conversion des particules en électrons d'ionisation et de dérive de ces électrons vers l'espace d'amplification, la cathode étant percée de trous (18), l'anode comprenant un ensemble d'anodes élémentaires (14) électriquement isolées les unes des autres, la première électrode étant destinée à être portée à un premier potentiel, la cathode à un deuxième potentiel supérieur au premier potentiel et les anodes élémentaires à un troisième potentiel supérieur au deuxième potentiel, pour créer des champs électriques respectivement dans les espaces de conversion et d'amplification.
    7. Détecteur selon les revendications 4 et 6, dans lequel la première électrode est parallèle aux deux électrodes, la distance D entre la cathode et l'anode étant inférieure à 500 µm, le rapport R de l'intensité du champ électrique créé dans l'espace d'amplification à l'intensité du champ électrique créé dans l'espace de conversion étant supérieur à 10, la hauteur des éléments ponctuels étant égale à D et les dimensions de ces éléments ponctuels, comptées parallèlement à l'anode, étant sensiblement égales à D.
    8. Détecteur selon la revendication 6, comprenant en outre une bordure électriquement isolante (32) qui entoure l'ensemble des éléments ponctuels (30).
    9. Détecteur selon les revendications 7 et 8, dans lequel la bordure a la même hauteur que les éléments ponctuels.
    10. Détecteur selon l'une au moins des revendications 6 et 8, dans lequel les éléments ponctuels (30) et/ou la bordure sont fixés à l'anode (8) et la cathode (6) repose sur les éléments ponctuels et est éventuellement fixée à la bordure.
    11. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 et 6, dans lequel la distance séparant l'électrode flexible et ladite autre électrode n'est pas constante, ces deux électrodes étant espacées de façon contrôlée à l'aide d'espaceurs de hauteurs adaptées à l'intervalle souhaité entre ces deux électrodes.
    12. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel les éléments ponctuels forment des cylindres (30), chaque cylindre ayant des dimensions qui, comptées parallèlement à ladite autre électrode, sont sensiblement égales ou inférieures à la hauteur de ce cylindre.
    13. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel les éléments ponctuels forment des sphères.
    14. Procédé de fabrication du détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on forme sur ladite autre électrode (8) une couche de photorésist dont l'épaisseur est adaptée à l'espace choisi entre les deux électrodes, en ce qu'on forme les éléments ponctuels (30) par insolation de cette couche, à travers un masque définissant ces éléments ponctuels, puis développement de la couche, et en ce qu'on place ensuite l'électrode flexible (6) sur les éléments ponctuels en photorésist ainsi formés.
    15. Procédé selon la revendication 14, pour la fabrication du détecteur selon la revendication 4, dans lequel l'épaisseur de la couche de photorésist est égale à ladite hauteur (D).
    16. Procédé selon la revendication 14, pour la fabrication du détecteur selon la revendication 6, dans lequel la couche de photorésist est formée sur l'anode (8) du détecteur, de manière à former sur celle-ci les éléments ponctuels (30) en photorésist, et la cathode (6) est ensuite placée sur ces éléments ponctuels en photorésist.
    17. Procédé selon la revendication 16, pour la fabrication du détecteur selon la revendication 8, dans lequel le masque définit en outre ladite bordure (32), de manière à former aussi une bordure en photorésist sur l'anode (8) par insolation puis développement de la couche de photorésist et on place ensuite la cathode (6) sur les éléments ponctuels en photorésist.
    18. Procédé selon la revendication 17, dans lequel on fixe la cathode (6) à la bordure (32) en photorésist.
    19. Procédé selon la revendication 17, dans lequel on fixe la cathode à un substrat électriquement isolant portant les anodes élémentaires en utilisant la bordure comme espaceur.
    EP98400930A 1997-04-15 1998-04-15 Détecteur de particules à électrodes multiples et procédé de fabrication de ce détecteur Expired - Lifetime EP0872874B1 (fr)

    Applications Claiming Priority (2)

    Application Number Priority Date Filing Date Title
    FR9704617A FR2762096B1 (fr) 1997-04-15 1997-04-15 Detecteur de particules a electrodes paralleles multiples et procede de fabrication de ce detecteur
    FR9704617 1997-04-15

    Publications (2)

    Publication Number Publication Date
    EP0872874A1 EP0872874A1 (fr) 1998-10-21
    EP0872874B1 true EP0872874B1 (fr) 2002-12-18

    Family

    ID=9505917

    Family Applications (1)

    Application Number Title Priority Date Filing Date
    EP98400930A Expired - Lifetime EP0872874B1 (fr) 1997-04-15 1998-04-15 Détecteur de particules à électrodes multiples et procédé de fabrication de ce détecteur

    Country Status (4)

    Country Link
    EP (1) EP0872874B1 (fr)
    AT (1) ATE230159T1 (fr)
    DE (1) DE69810182T2 (fr)
    FR (1) FR2762096B1 (fr)

    Cited By (1)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    EP2317538A1 (fr) 2009-10-28 2011-05-04 CERN - European Organization For Nuclear Research Procédé de fabrication d'un espace d'amplification d'un détecteur de particules en avalanche

    Families Citing this family (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    FR2790100B1 (fr) 1999-02-24 2001-04-13 Commissariat Energie Atomique Detecteur bidimensionnel de rayonnements ionisants et procede de fabrication de ce detecteur
    FR2837000B1 (fr) * 2002-03-08 2004-07-02 Biospace Instr Detecteurs de radiations et dispositifs d'imagerie autoradiographique comprenant de tels detecteurs
    EP2562563A1 (fr) 2011-08-26 2013-02-27 CERN - European Organization For Nuclear Research Interface de lecture pour détecteur de particules en avalanche

    Family Cites Families (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    JPS58188030A (ja) * 1982-04-26 1983-11-02 Fujitsu Ltd ガス放電パネルの製造方法
    SE8403066L (sv) * 1983-06-16 1984-12-17 American Telephone & Telegraph Forbettringar hos eller med avseende pa skermanordningar
    US5510674A (en) * 1993-04-28 1996-04-23 Hamamatsu Photonics K.K. Photomultiplier

    Cited By (2)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    EP2317538A1 (fr) 2009-10-28 2011-05-04 CERN - European Organization For Nuclear Research Procédé de fabrication d'un espace d'amplification d'un détecteur de particules en avalanche
    WO2011050884A1 (fr) * 2009-10-28 2011-05-05 Cern - European Organization For Nuclear Research Procédé pour fabriquer un espace d'amplification d'un détecteur de particules à avalanche

    Also Published As

    Publication number Publication date
    ATE230159T1 (de) 2003-01-15
    EP0872874A1 (fr) 1998-10-21
    FR2762096A1 (fr) 1998-10-16
    DE69810182T2 (de) 2003-10-09
    FR2762096B1 (fr) 1999-06-11
    DE69810182D1 (de) 2003-01-30

    Similar Documents

    Publication Publication Date Title
    FR2739941A1 (fr) Detecteur de position, a haute resolution, de hauts flux de particules ionisantes
    EP0272178A1 (fr) Source d'électrons polarisés de spin, utilisant une cathode émissive à micropointes, application en physique des interactions électrons-matière ou électrons-particules,physique des plasmas, microscopie électronique
    FR2812455A1 (fr) Detecteur de photon unique supraconducteur
    EP0341121A1 (fr) Détecteur d'images radiologiques
    EP0228933B1 (fr) Dispositif de détection et de localisation de particules neutres, et application
    EP2483908A1 (fr) Dispositif et methode pour le controle en ligne d'un faisceau energetique
    FR2762713A1 (fr) Microdispositif pour generer un champ multipolaire, en particulier pour filtrer ou devier ou focaliser des particules chargees
    EP2786426B1 (fr) Structure semiconductrice apte a recevoir un rayonnement électromagnétique, composant semiconducteur et procédé de fabrication d'une telle structure semiconductrice
    EP0872874B1 (fr) Détecteur de particules à électrodes multiples et procédé de fabrication de ce détecteur
    WO1993003495A1 (fr) Detecteur a gaz de rayonnement ionisant
    WO2016097415A1 (fr) Procede de realisation d'un detecteur de neutrons et detecteur de neutrons
    FR2557363A1 (fr) Procede de fabrication d'un detecteur d'ionisation et detecteur ainsi fabrique
    EP0368694A1 (fr) Procédé et dispositif de localisation de particules neutres, à haute resolution
    FR2557361A1 (fr) Boitier de detecteur d'ionisation, son procede de fabrication et detecteur d'ionisation utilisant un tel boitier
    WO2003010793A1 (fr) Detecteur de rayonnements ionisants, a lame solide de conversion des rayonnements, et procede de fabrication de ce detecteur
    EP1186058A1 (fr) Dispositif de detection de rayonnement a forte dynamique
    EP1343194A1 (fr) Détecteurs de radiations et dispositifs d'imagerie autoradiographique comprenant de tels détecteurs
    EP0441853B1 (fr) Procede et dispositif de localisation bidimensionnelle et particules neutres, notamment pour faibles taux de comptage
    FR3066831A1 (fr) Microdosimetre a structure diamant
    FR2557362A1 (fr) Procede de fabrication d'un reseau d'elements detecteurs pour un detecteur d'ionisation
    EP3749981B1 (fr) Systeme de caracterisation d'un faisceau de particules chargees et machine de production d'un faisceau de particules chargees comprenant un tel systeme
    FR3116129A1 (fr) Capteur de mesure du flux de rayonnement issu d’un accélérateur de particules
    FR2786024A1 (fr) Detecteur de localisation de photons, a remplissage gazeux
    FR2602058A1 (fr) Detecteur a gaz utilisant une anode a microbandes
    Pouthas Des appareillages en évolution: détection haute résolution en position et en temps

    Legal Events

    Date Code Title Description
    PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: A1

    Designated state(s): AT CH DE FR GB IT LI NL

    AX Request for extension of the european patent

    Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

    17P Request for examination filed

    Effective date: 19990331

    RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

    Owner name: BIOSPACE INSTRUMENTS

    Owner name: CHARPAK, GEORGES

    Owner name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    AKX Designation fees paid

    Free format text: AT CH DE FR GB IT LI NL

    RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

    Owner name: BIOSPACE INSTRUMENTS

    Owner name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    17Q First examination report despatched

    Effective date: 20001207

    GRAG Despatch of communication of intention to grant

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

    GRAG Despatch of communication of intention to grant

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

    GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

    GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

    GRAA (expected) grant

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: B1

    Designated state(s): AT CH DE FR GB IT LI NL

    REF Corresponds to:

    Ref document number: 230159

    Country of ref document: AT

    Date of ref document: 20030115

    Kind code of ref document: T

    REG Reference to a national code

    Ref country code: GB

    Ref legal event code: FG4D

    Free format text: NOT ENGLISH

    REG Reference to a national code

    Ref country code: CH

    Ref legal event code: EP

    REF Corresponds to:

    Ref document number: 69810182

    Country of ref document: DE

    Date of ref document: 20030130

    Kind code of ref document: P

    Ref document number: 69810182

    Country of ref document: DE

    Date of ref document: 20030130

    GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

    Effective date: 20030401

    PLBE No opposition filed within time limit

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

    STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

    Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

    26N No opposition filed

    Effective date: 20030919

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: AT

    Payment date: 20060412

    Year of fee payment: 9

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: AT

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20070415

    REG Reference to a national code

    Ref country code: FR

    Ref legal event code: CD

    Owner name: EOS IMAGING, FR

    Effective date: 20111213

    Ref country code: FR

    Ref legal event code: CA

    Effective date: 20111213

    REG Reference to a national code

    Ref country code: NL

    Ref legal event code: TD

    Effective date: 20120131

    REG Reference to a national code

    Ref country code: CH

    Ref legal event code: PFA

    Owner name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    Free format text: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE#31-33, RUE DE LA FEDERATION#75015 PARIS (FR) $ BIOSPACE INSTRUMENTS#104 BOULEVARD AUGUSTE BLANQUI#75013 PARIS (FR) -TRANSFER TO- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE#31-33, RUE DE LA FEDERATION#75015 PARIS (FR) $ EOS IMAGING#10, RUE MERCOEUR#75011 PARIS (FR)

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: GB

    Payment date: 20130415

    Year of fee payment: 16

    Ref country code: DE

    Payment date: 20130409

    Year of fee payment: 16

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: NL

    Payment date: 20130313

    Year of fee payment: 16

    REG Reference to a national code

    Ref country code: DE

    Ref legal event code: R119

    Ref document number: 69810182

    Country of ref document: DE

    REG Reference to a national code

    Ref country code: NL

    Ref legal event code: V1

    Effective date: 20141101

    GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

    Effective date: 20140415

    REG Reference to a national code

    Ref country code: DE

    Ref legal event code: R119

    Ref document number: 69810182

    Country of ref document: DE

    Effective date: 20141101

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: GB

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20140415

    Ref country code: DE

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20141101

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: NL

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20141101

    REG Reference to a national code

    Ref country code: FR

    Ref legal event code: PLFP

    Year of fee payment: 19

    REG Reference to a national code

    Ref country code: FR

    Ref legal event code: PLFP

    Year of fee payment: 20

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: CH

    Payment date: 20170424

    Year of fee payment: 20

    Ref country code: FR

    Payment date: 20170428

    Year of fee payment: 20

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: IT

    Payment date: 20170411

    Year of fee payment: 20

    REG Reference to a national code

    Ref country code: CH

    Ref legal event code: PL