EP0868976A3 - Läppvorrichtung und Verfahren zum Hochgeschwindigkeitsläppen mit einer drehbare Schleifplatte - Google Patents
Läppvorrichtung und Verfahren zum Hochgeschwindigkeitsläppen mit einer drehbare Schleifplatte Download PDFInfo
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- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
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DE102016125670A1 (de) | 2016-12-23 | 2018-06-28 | Scanlab Gmbh | Scanspiegel mit Auswuchtkörper sowie Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0257013A2 (de) * | 1986-08-19 | 1988-02-24 | Léon Biebuyck | Verfahren und Vorrichtung zum mechanischen Schleifen und Polieren der Fläche eines mineralischen Materials, insbesondere aus Glas |
JPH07283178A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JPH07283177A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0257013A2 (de) * | 1986-08-19 | 1988-02-24 | Léon Biebuyck | Verfahren und Vorrichtung zum mechanischen Schleifen und Polieren der Fläche eines mineralischen Materials, insbesondere aus Glas |
JPH07283178A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JPH07283177A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
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