EP0734040A1

EP0734040A1 - Apparatus for connecting vacuum pump frames to electron tubes

Info

Publication number: EP0734040A1
Application number: EP96103541A
Authority: EP
Inventors: Armin Blecker; Hartmut Tschesche
Original assignee: Balzers Pfeiffer GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 1995-03-24
Filing date: 1996-03-07
Publication date: 1996-09-25
Anticipated expiration: 2016-03-07
Also published as: US5797782A; DE19510727A1; DE59608474D1; ATE211302T1; EP0734040B1; CN1137163A; MXPA96001080A; TW416570U; BR9601075A; JPH08273545A

Abstract

The connection appts. connects a suction joint (1) of a vacuum pumping installation to the neck (10) of the tube in a jig with lateral guidance rollers (4) running on rails (6) whose profile causes levers (5) to be pivoted slightly outwards against compression springs (9). This movement varies the spacing between centring rollers (8) which guide the evacuation stem (11) of the tube safely into the sealing ring (13) of the suction joint. At the same time spring contacts (15) in a holder (16) are brought up to connections (12) with the tube cathode until contact is made with the roller (18) of a release unit (17).

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Verbinden von Vakuumpumpständen mit Elektronenröhren nach dem Oberbegriff des 1. Patentanspruches.The invention relates to a device for connecting vacuum pumping stations with electron tubes according to the preamble of the first claim.

Die Evakuierung von Elektronenröhren erfolgt über Pumpstände, welche Bestandteil eines nahezu vollautomatisierten Behandlungssystems sind. Die einzige Tätigkeit, die nach dem heutigen Stand der Technik noch manuell ausgeführt werden muß, ist das Herstellen der Verbindung zwischen Pumpstand und Elektronenröhre. Dazu sind zwei Arbeitsgänge notwendig. In einem muß der Ansaugstutzen der Vakuumpumpe mit dem Pumpstengel der Elektronenröhre verbunden werden und in einem anderen Arbeitsgang wird der elektrische Kontakt zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre hergestellt. Mit den bisher existierenden Einrichtungen ist es selbst bei Einsatz der neuesten Robotertechnologie nicht möglich, die Ausrichtung von Ansaugstutzen und Pumpstengel sowie der elektrischen Anschlüsse mit der erforderlichen Genauigkeit zu erreichen. Die vorgenannten Tätigkeiten können bisher nur manuell mit der notwendigen Präzision ausgeführt werden.The electron tubes are evacuated via pumping stations, which are part of an almost fully automated treatment system. The only activity that still has to be carried out manually according to the current state of the art is the connection between the pumping station and the electron tube. This requires two work steps. In one, the suction port of the vacuum pump must be connected to the pump stem of the electron tube and in another operation the electrical contact for heating the cathode of the electron tube is made. With the existing facilities, even with the latest robot technology, it is not possible to achieve the alignment of the intake manifold and pump stem as well as the electrical connections with the required accuracy. So far, the aforementioned activities can only be carried out manually with the necessary precision.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung vorzustellen, mit der automatisch die Verbindung von Pumpstand und Elektronenröhre mit der erforderlichen Genauigkeit hergestellt werden kann. Insbesondere handelt es sich dabei um die Verbindung des Ansaugstutzens des Pumpstandes mit dem Pumpstengel der Elektronenröhre und um die Herstellung der elektrischen Anschlüsse für die Beheizung der Kathode.The invention has for its object to provide a device with which the connection between pumping station and electron tube can be made automatically with the required accuracy. In particular, this involves the connection of the intake port of the pumping station to the pump stem of the electron tube and the production of the electrical connections for heating the cathode.

Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der beiden Patentansprüche gelöst.The object is achieved by the characterizing features of the two claims.

Durch die Erfindung wird es möglich, die Evakuierung von Elektronenröhren vollautomatisch durchzuführen. Insbesondere wird sichergestellt, daß die Verbindung der Elektronenröhre mit dem Pumpstand mit der erforderlichen Genauigkeit und Zuverlässigkeit im Rahmen eines vollautomatisierten Verfahrens hergestellt werden kann. Zusätzlich wird zum Ausheizen der Elektronenröhre deren Kathode automatisch mit einer elektrischen Verbindung versehen.The invention makes it possible to carry out the evacuation of electron tubes fully automatically. In particular, it is ensured that the connection of the electron tube to the pumping station can be established with the required accuracy and reliability in the context of a fully automated process. In addition, the cathode is automatically provided with an electrical connection for heating the electron tube.

An Hand der Abbildungen 1a), b) bis 3a), b) soll die Erfindung näher erläutert werden.The invention will be explained in more detail with reference to Figures 1a), b) to 3a), b).

Die Abbildungen 1a) bis 3a) zeigen jeweils Längsschnitte und die Abbildungen 1b) bis 3b) die dazugehörigen Querschnitte entlang den Linien A, A' aus den Abbildungen 1a) bis 3a) der Anordnung zu drei verschiedenen Zeitpunkten des Arbeitsvorganges.Figures 1a) to 3a) each show longitudinal sections and Figures 1b) to 3b) the associated cross-sections along lines A, A 'from Figures 1a) to 3a) of the arrangement at three different times during the working process.

Ein Vakuumpumpstand, von welchem nur der hochvakuumseitige Ansaugflansch 1 dargestellt ist, dient zur Evakuierung einer Elektronenröhre, von welcher nur der Röhrenhals 10 dargestellt ist. Mit dem Ansaugflansch 1, welcher auch als Führungstisch dient, sind seitliche Führungsrollen 4 verbunden. Der Pumpstand und somit die auf dem Anschlußflansch 1 montierten Einrichtungen sind in Richtung der Elektronenröhre verschiebbar. Bei einer solchen Bewegung gleiten die Führungsrollen 4 in den Führungsschienen 6. Da das Profil der Führungsschienen sich in Richtung der Bewegung verändert, werden durch diese Bewegung die mit den Führungsschienen verbundenen drehbaren Hebel 5 in der Abbildungsebene gegen den äußeren Rahmen 2 über die Druckfedern 9 leicht gekippt. Damit wird der Abstand der mit den Heben über Halterungen 7 verbundenen Zentrierrollen 8 verändert. Die beiden Zentrierrollen 8 umfassen den Röhrenhals 10, wodurch der mit diesem verbundene Pumpstengel 11 beim Hochfahren des Pumpstandes sicher in den Dichtring 13 des Ansaugstutzens geführt wird.A vacuum pumping station, of which only the high-vacuum side suction flange 1 is shown, serves to evacuate an electron tube, of which only the tube neck 10 is shown. Lateral guide rollers 4 are connected to the intake flange 1, which also serves as a guide table. The pumping station and thus the devices mounted on the connecting flange 1 can be moved in the direction of the electron tube. At such a movement, the guide rollers 4 slide in the guide rails 6. Since the profile of the guide rails changes in the direction of the movement, the rotatable levers 5 connected to the guide rails in the imaging plane are slightly tilted against the outer frame 2 via the compression springs 9 by this movement . The distance of the centering rollers 8 connected to the lifts via brackets 7 is thus changed. The two centering rollers 8 encircle the tube neck 10, as a result of which the pump stem 11 connected to it is guided securely into the sealing ring 13 of the intake manifold when the pumping station is raised.

Die einzelnen Schritte dieses Vorganges sind durch die Abbildungen 1a). b) bis 3a), b) dargestellt.The individual steps of this process are shown in Figures 1a). b) to 3a), b).

In Abbildung 1a) befindet sich der Pumpstand in der unteren Position. Der Abstand der Zentrierrollen 8 ist groß (Abbildung 1b)), so daß der Röhrenhals 10 dazwischen positioniert werden kann. Durch Anheben des Pumpstandes (Abbildung 2a) werden durch die Führungsrollen 4 die Hebel 5 derart geschwenkt, daß sich der Abstand der Führungsrollen 8 soweit verringert, bis sie den Röhrenhals 10 fest umfassen und zentrieren (Abbildung 2b)). Jetzt können der Pumpstengel 11 und der Dichtring 13 exakt zusammengeführt werden. Beim weiteren Anheben des Pumpstandes (Abbildung 3a)) werden die Hebel 5 durch die Führungsrollen 4 wieder etwas auseinandergedrückt. Dadurch vergrößert sich der Abstand der Zentrierrollen 8 wieder (Abbildung 3b)), so daß ein Verspannen des Pumpstengels 11 vermieden wird.In Figure 1a) the pumping station is in the lower position. The distance between the centering rollers 8 is large (Figure 1b)), so that the tube neck 10 can be positioned between them. By lifting the pumping station (Figure 2a), the levers 5 are pivoted by the guide rollers 4 in such a way that the distance between the guide rollers 8 decreases until they firmly grip and center the tube neck 10 (Figure 2b)). Now the pump stem 11 and the sealing ring 13 can be brought together exactly. When the pumping station is raised further (Figure 3a)), the levers 5 are pushed apart a little by the guide rollers 4. This increases the distance between the centering rollers 8 again (Figure 3b)), so that tensioning of the stem 11 is avoided.

Zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre müssen die entsprechenden Kontakte 12 am anderen Ende des Röhrenhalses 10 (Röhrensockel) mit einer elektrischen Verbindung über die Federkontakte 15 versehen werden. Zu diesem Zweck ist eine Auslöseeinheit 17 vorgesehen. Die Federkontakte 15 sind über eine Halterung 16 mit dem Ansaugflansch 1 verbunden und bewegen sich mit diesem in Richtung Röhrenhals 10 bei Anheben des Pumpstandes. Bei Erreichen der Endposition (Abbildung 3a)) wird die Halterung 16 mit den Federkontakten 15 durch Berührung mit der Rolle 18 der Auslöseeinheit 17 in Richtung der elektrischen Kontakte 12 des Röhrenhalses 10 geschoben. Somit wird durch einen an sich bekannten Vorgang die elektrische Verbindung zwischen den Federkontakten 15 und den elektrischen Kontakten 12 der Kathode der Elektronenröhre hergestellt.To heat the cathode of the electron tube, the corresponding contacts 12 at the other end of the tube neck 10 (tube base) must be provided with an electrical connection via the spring contacts 15. A trigger unit 17 is provided for this purpose. The spring contacts 15 are connected to the suction flange 1 via a holder 16 and move with this in the direction of the tube neck 10 when the pumping station is raised. When the end position (Figure 3a) has been reached, the holder 16 with the spring contacts 15 is pushed in the direction of the electrical contacts 12 of the tube neck 10 by contact with the roller 18 of the release unit 17. Thus, the electrical connection between the spring contacts 15 and the electrical contacts 12 of the cathode of the electron tube is established by a process known per se.

Claims

Device for connecting a vacuum pumping station to an electron tube, the tube neck (10) of which is provided with a tubular pump stem (11) and with electrical contacts (12), and the pumping station is provided with a suction flange (1) and a sealing ring (13) and Can be moved in the direction of the electron tube, characterized in that the suction flange (1) is designed as a guide table, on which guide rollers (4) are attached, and these guide rollers slide in guide rails (6) when the pumping station is moved, the guide rails (6) are each connected to lifts (5) and centering rollers (8) are attached to these levers via brackets (7), which comprise the tube neck (10) and the guide rails (6) have a profile such that when the pumping station moves in the direction the centering rollers (8) of the electron tube are at a certain distance from the tube neck (10) and then in the further V During the movement, firmly enclose the tube neck and center it until the pump stem (11) has reached the sealing ring (13) and the centering rollers take a certain distance from the tube neck again as the pumping station moves in the same direction up to the end position.

Device according to claim 1, characterized in that a holder (16) with spring contacts (15) is provided on the suction flange (1) and a trigger unit (17) with a roller (18) is attached to one of the levers (5), such that when the end position of the pumping station is reached, the roller (18) of the release unit (17) moves the holder (16) and thus the spring contacts (15) in the direction of the electrical contacts (12), so that an electrical connection of the spring contacts (15) with the contacts (12) of the electron tube.