EP0689879A1 - Ultraschallzerstäuber - Google Patents

Ultraschallzerstäuber Download PDF

Info

Publication number
EP0689879A1
EP0689879A1 EP95110003A EP95110003A EP0689879A1 EP 0689879 A1 EP0689879 A1 EP 0689879A1 EP 95110003 A EP95110003 A EP 95110003A EP 95110003 A EP95110003 A EP 95110003A EP 0689879 A1 EP0689879 A1 EP 0689879A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
ultrasonic atomizer
hat
elevation
piezoceramic
shaped elevation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP95110003A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0689879B1 (de
Inventor
Olaf Dipl.-Phys. Haack
Randolf Dr. Mock
Klaus Dipl.-Ing. Van Der Linden
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP0689879A1 publication Critical patent/EP0689879A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0689879B1 publication Critical patent/EP0689879B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers

Definitions

  • the invention relates to an ultrasonic atomizer for liquid atomization.
  • a drug such as. B. a bronchospasmolytic to atomize into a respirable aerosol.
  • EP 0 246 515 A1 discloses an ultrasound MHz oscillator, in particular for liquid atomization, in which an amplitude transformer is attached to a piezoceramic disk, the amplitude transformer - starting from the piezoceramic disk - initially tapering and then in a widening atomizing plate ends.
  • This atomizer plate has a concave surface ("concave mirror") for receiving the liquid to be atomized.
  • the invention has for its object to provide an ultrasonic atomizer in which the energy losses mentioned above are kept relatively small due to the reflection of the ultrasonic waves at the liquid / air interface and the relatively small volumes of liquid, eg. B. about 50 ul, atomized so that a high proportion of respirable droplets with a diameter of less than 10 microns.
  • an ultrasonic atomizer which has an electrically excitable piezoceramic and a coupling body which is operatively connected to the piezoceramic, the surface of the coupling body which comes into contact with the liquid to be atomized being designed as a hat-shaped elevation, and the hat-shaped elevation and the coupling body consist of a solid metal material.
  • a hat-shaped elevation generally means an elevation with an essentially convex surface.
  • substantially convex should also be understood to mean that the top of the elevation can be flattened to a plateau.
  • the survey does not necessarily have to be rotationally symmetrical.
  • a particularly advantageous embodiment of the invention provides for the coupling body at the base of the hat-shaped elevation to be designed as a disk which extends beyond the edge of the elevation, the disk on the side facing away from the elevation Side has a ring for receiving the piezoceramic.
  • the piezoceramic which is usually designed as a disk, can be fixed in a simple manner.
  • the disk protruding over the edge of the elevation represents an acoustic bottleneck for the excitation energy.
  • the energy loss when the ultrasound is transferred into a surrounding housing is negligible, and on the other hand, the excitation energy is thereby coupled into the hat-shaped elevation with a particularly large proportion and is thus used for liquid atomization.
  • the ring for the positive reception of the piezo body is provided on the side facing away from the elevation, an undesired accumulation of liquid at the base of the hat-shaped elevation is avoided. Furthermore, this ring can serve as a clamp in the manufacturing process of the coupling body, provided that it is rotated from metal, for example.
  • the coupling body advantageously consists of metal, preferably titanium or a titanium alloy.
  • the hat-shaped elevation is essentially rotationally symmetrical. It can preferably be parabolic or elliptical in section, but also exponential.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a longitudinal section through an ultrasonic atomizer.
  • the ultrasonic atomizer 2 comprises a piezoceramic disk 4, a coupling body 6 and a membrane body 8.
  • the piezoceramic disk 4 is provided with electrodes, not shown in the exemplary embodiment, which are not connected to one shown, the piezoceramic electrical resonant circuit are connected.
  • the piezoceramic disk 4 is operated in thickness resonance, ie the sound waves are emitted essentially parallel to the axis of rotational symmetry 10.
  • the coupling body 6 consists of a single metallic piece and is made of titanium or a titanium alloy.
  • the coupling body 6 has three different sections:
  • the first section is a hat-shaped, here rotationally symmetrical parabolic elevation 12, which in the exemplary embodiment has a height of approximately 4 mm and a diameter of approximately 10 mm.
  • the second section begins at the base 14 of the parabolic elevation 12 and extends as a disk 16 well beyond the edge of the elevation 12.
  • the third section represents a ring 18 which is arranged on the side of the disk 16 facing away from the elevation 12.
  • a membrane body 8 and the piezoceramic disk 4 are glued into this ring 18.
  • the membrane body 8 is preferably made of plastic. Deviating from the figure, the use of the membrane body can also be dispensed with.
  • the ultrasonic atomizer then does not require any additional active ingredient, which may improve its function under certain circumstances.
  • a quantity of liquid f (usually relatively small in medical applications) is dripped onto the highest point of the elevation 12 via a feed 20.
  • the liquid f is distributed relatively uniform and approximately equally thick liquid height over the surface of the elevation 12, ie there is wetting of the surface with the liquid to be atomized f.
  • the excitation of the piezoceramic disk 4 is switched on, the liquid f uniformly distributed over the surface of the elevation 12 is atomized.
  • the shape of the elevation 12 should be noted that it does not necessarily have to be rotationally symmetrical.
  • the elevation 12 can also be flattened at the highest point without a "concave mirror" which acts as a collecting basin for the liquid to be atomized.

Landscapes

  • Special Spraying Apparatus (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Derzeit bekannte Ultraschallzerstäuber, insbesondere für medizinische Anwendungen, weisen üblicherweise einen hohlspiegelähnlichen Zerstäuberteller auf, der mit der zu zerstäubenden Flüssigkeit beaufschlagt wird. Es hat sich gezeigt, daß infolge der relativ großen Flüssigkeitshöhe im Zerstäuberteller erhebliche Energieverluste durch die Reflexion der Ultraschallwellen an der Grenzschicht Flüssigkeit/Luft auftreten. Diese sind für eine rasche Zerstäubung, insbesondere bei der Bildung eines lungengängigen Aerosols, nachteilig. Zur Behebung dieses Nachteils sieht die Erfindung einen Ultraschallzerstäuber (2) vor, der eine elektrisch anregbare Piezokeramik (4) und einen mit der Piezokeramik (4) in Wirkverbindung stehenden Koppelkörper (6) aufweist, wobei die mit einer zu zerstäubenden Flüssigkeit in Berührung kommende Oberfläche des Koppelkörpers (6) als hutförmige Erhebung (12) ausgebildet ist. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß die Flüssigkeitshöhe der zu zerstäubenden Flüssigkeit auf dem Koppelkörper gerade nur so hoch ist, wie dies der Benetzung der Oberfläche des Koppelkörpers mit der zu zerstäubenden Flüssigkeit entspricht. Die Erfindung ist prinzipiell bei allen Ultraschallzerstäubern, insbesondere bei medizinischen Anwendungen, wie z. B. der Inhalation, anwendbar. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschallzerstäuber zur Flüssigkeitszerstäubung.
  • Bei einer Vielzahl von technischen Anwendungen ist es erforderlich, aus Flüssigkeiten Aerosole zu erzeugen. Insbesondere für medizinische Anwendungen ist es erforderlich, beispielsweise ein Medikament, wie z. B. ein Bronchospasmolytikum, zu einem lungengängigen Aerosol zu zerstäuben.
  • In der EP 0 246 515 A1 ist ein Ultraschall-MHz-Schwinger, insbesondere zur Flüssigkeitszerstäubung, offenbart, bei dem ein Amplitudentransformator auf einer Piezokeramikscheibe befestigt ist, wobei der Amplitudentransformator - ausgehend von der Piezokeramikscheibe - sich zunächst verjüngt und anschließend in einem sich verbreiternden Zerstäuberteller endet. Dieser Zerstäuberteller weist eine konkave Oberfläche ("Hohlspiegel") zur Aufnahme der zu zerstäubenden Flüssigkeit auf. Beim Betrieb eines solchen Ultraschallzerstäubers hat es sich gezeigt, daß hohe Energieverluste durch die Reflexion der Ultraschallwellen an der Grenzschicht Flüssigkeit/Luft bei nicht geeigneter Flüssigkeitshöhe im Zerstäuberteller auftreten.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Ultraschallzerstäuber anzugeben, bei dem die vorstehend angesprochenen Energieverluste durch die Reflexion der Ultraschallwellen an der Grenzschicht Flüssigkeit/Luft relativ klein gehalten werden und der relativ kleine Flüssigkeitsvolumina, z. B. ca. 50 µl, so zerstäubt, daß ein hoher Anteil von lungengängigen Tröpfchen mit einem Durchmesser kleiner als 10 µm entsteht.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Ultraschallzerstäuber, der eine elektrisch anregbare Piezokeramik und einen mit der Piezokeramik in Wirkverbindung stehenden Koppelkörper aufweist, wobei die mit der zu zerstäubenden Flüssigkeit in Berührung kommende Oberfläche des Koppelkörpers als hutförmige Erhebung ausgebildet ist, und wobei die hutförmige Erhebung und der Koppelkörper aus einem metallischen Vollmaterial bestehen.
  • Hierbei ist mit hutförmiger Erhebung ganz allgemein eine Erhebung mit einer im wesentlichen konvexen Oberfläche gemeint. Unter "im wesentlich konvex" soll auch verstanden sein, daß die Oberseite der Erhebung zu einem Plateau abgeflacht sein kann. Die Erhebung muß nicht zwingend rotationssymmetrisch ausgestaltet sein.
  • Auf diese Weise ist es möglich, den Ultraschall von der Piezokeramik in den Koppelkörper einzukoppeln und im oberen Bereich der Erhebung zu fokussieren. Bei der Benetzung der Oberfläche mit der zu zerstäubenden Flüssigkeit wird ein ausreichend hoher Anteil der Ultraschallenergie in die Flüssigkeit eingekoppelt, weil sich infolge der im wesentlichen konvexen Oberfläche eine während des Zerstäubungsprozesses besonders vorteilhafte Flüssigkeitshöhe (Benetzung) einstellt, so daß eine vollständige Zerstäubung eines relativ kleinen Flüssigkeitsvolumens mit einem hohen Anteil lungengängiger Tröpfchen erreicht wird. Desweiteren kann die mit der zu zerstäubenden Flüssigkeit in Berührung kommende Oberfläche des Koppelkörpers problemlos gereinigt werden, weil auf der hutförmigen Erhebung, d. h. auf der im wesentlichen konvexen Oberfläche der Erhebung, keine Vertiefungen und keine Hinterschnitte vorgesehen sind.
  • Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, den Koppelkörper an der Basis der hutförmigen Erhebung als über den Rand der Erhebung hinausreichende Scheibe auszubilden, wobei die Scheibe auf der von der Erhebung abgewandten Seite einen Ring zur Aufnahme der Piezokeramik aufweist. Auf diese Weise kann die Piezokeramik, die üblicherweise als Scheibe ausgebildet ist, in einfacher Weise fixiert werden. Die über den Rand der Erhebung hinausragende Scheibe stellt einen akustischen Engpaß für die Anregungsenergie dar.
  • Hierdurch ist zum einen der Energieverlust beim Übergang des Ultraschalls in ein umgebendes Gehäuse vernachlässigbar, und zum anderen wird die Anregungsenergie hierdurch mit einem besonders großen Anteil in die hutförmige Erhebung eingekoppelt und damit zur Flüssigkeitszerstäubung genutzt. Weil der Ring zur formschlüssigen Aufnahme des Piezokörpers auf der von der Erhebung abgewandten Seite vorgesehen ist, wird eine unerwünschte Flüssigkeitsansammlung an der Basis der hutförmigen Erhebung vermieden. Weiterhin kann dieser Ring als Einspannung beim Fertigungsprozeß des Koppelkörpers dienen, sofern dieser beispielsweise aus Metall gedreht wird.
  • Damit wurde bereits gesagt, daß der Koppelkörper in vorteilhafter Weise aus Metall, vorzugsweise aus Titan oder einer Titanlegierung, besteht.
  • Für eine gleichmäßige Verteilung der zu zerstäubenden Flüssigkeit auf der Erhebung ist es vorteilhaft, wenn die hutförmige Erhebung im wesentlichen rotationssymmetrisch ist. Sie kann vorzugsweise im Schnitt parabel- oder ellipsenförmig, aber auch exponentiell ausgestaltet sein.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand einer Figur näher erläutert. Dabei zeigt diese Figur in schematischer Darstellung einen Längsschnitt durch einen Ultraschallzerstäuber.
  • Der Ultraschallzerstäuber 2 umfaßt eine Piezokeramikscheibe 4, einen Koppelkörper 6 und einen Membrankörper 8. Die Piezokeramikscheibe 4 ist mit im Ausführungsbeispiel nicht weiter dargestellten Elektroden versehen, die an einen nicht weiter dargestellten, die Piezokeramik anregenden elektrischen Schwingkreis angeschlossen sind. Die Piezokeramikscheibe 4 wird im Ausführungsbeispiel in Dickenresonanz betrieben, d. h. die Schallwellen werden im wesentlichen parallel zur Rotationssymmetrieachse 10 abgestrahlt.
  • Der Koppelkörper 6 besteht aus einem einzigen metallischen Stück und ist aus Titan oder einer Titanlegierung hergestellt. Der Koppelkörper 6 weist drei verschiedene Abschnitte auf:
    Den ersten Abschnitt stellt eine hutförmige, hier rotationssymmetrische parabelförmige Erhebung 12 dar, die im Ausführungsbeispiel eine Höhe von etwa 4 mm und einen Durchmesser von etwa 10 mm hat.
  • Der zweite Abschnitt beginnt an der Basis 14 der parabelförmigen Erhebung 12 und dehnt sich als Scheibe 16 deutlich über den Rand der Erhebung 12 hinaus aus.
  • Den dritten Abschnitt repräsentiert ein Ring 18, der auf der von der Erhebung 12 abgewandten Seite der Scheibe 16 angeordnet ist. In diesen Ring 18 sind ein Membrankörper 8 und die Piezokeramikscheibe 4 eingeklebt. Der Membrankörper 8 besteht bevorzugt aus Kunststoff. Abweichend von der Figur kann auch auf die Verwendung des Membrankörpers verzichtet werden. Der Ultraschallzerstäuber benötigt dann keinen zusätzlichen Wirkstoff, wodurch sich seine Funktion unter Umständen noch verbessern kann.
  • Beim Betrieb des Ultraschallzerstäubers 2 wird eine (bei medizinischen Anwendungen meist relativ geringe) Menge an Flüssigkeit f über eine Zuführung 20 auf die höchste Stelle der Erhebung 12 geträufelt. In Abhängigkeit von der Viskosität der Flüssigkeit f und der Adhäsion der Flüssigkeit f an der metallischen Oberfläche des Koppelkörpers 6 im Bereich der Erhebung 12 verteilt sich die Flüssigkeit f mit einer relativ gleichmäßigen und etwa gleich dicken Flüssigkeitshöhe über die Oberfläche der Erhebung 12, d.h. es kommt zu einer Benetzung der Oberfläche mit der zu zerstäubenden Flüssigkeit f. Bei eingeschalteter Anregung der Piezokeramikscheibe 4 wird die gleichmäßig über die Oberfläche der Erhebung 12 verteilte Flüssigkeit f zerstäubt. Es ergibt sich dabei ein großer Anteil Tröpfchen mit einem Durchmesser kleiner 10 µm, wenn im Megahertzbereich angeregt wird. Aufgrund der nur geringen Flüssigkeitshöhe auf der Oberfläche der Erhebung 12 treten so gut wie keine Energieverluste durch die Reflexion der Ultraschallwellen an der Grenzfläche Flüssigkeit/Luft auf. Dies führt zu einer schnellen Bildung eines lungengängigen Aerosols. Dieses Aerosol kann beispielsweise von Asthmatikern in Form eines aerosolisierten Bronchospasmolytikums inhaliert werden. Weil der Koppelkörper 6 bevorzugt aus Titan oder einer Titanlegierung besteht, weisen der Koppelkörper 6 und die zu zerstäubende Flüssigkeit f nur einen geringen Schallwiderstandsunterschied auf, was sich günstig auf den Reflexionsfaktor des Schalldrucks auswirkt.
  • Zur Form der Erhebung 12 sei angemerkt, daß sie nicht notwendigerweise rotationssymmetrisch sein muß. Die Erhebung 12 kann ebenso an der höchsten Stelle abgeflacht sein, ohne daß ein "Hohlspiegel" existiert, der als Sammelbecken für die zu zerstäubende Flüssigkeit wirkt.

Claims (10)

  1. Ultraschallzerstäuber (2), der eine elektrische anregbare Piezokeramik (4) und einen mit der Piezokeramik (4) in Wirkverbindung stehenden Koppelkörper (6) aufweist, wobei die mit einer zu zerstäubenden Flüssigkeit (f) in Berührung kommende Oberfläche des Koppelkörpers (6) als hutförmige Erhebung (12) ausgebildet ist, und wobei die hutförmige Erhebung (12) und der Koppelkörper (6) aus einem metallischen Vollmaterial bestehen.
  2. Ultraschallzerstäuber (2) nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, daß der Koppelkörper (6) an der Basis (14) der hutförmigen Erhebung (12) als über den Rand der Erhebung (12) hinausgehende Scheibe (16) ausgebildet ist, die auf der von der Erhebung (12) abgewandten Seite einen Ring (18) zur Aufnahme der Piezokeramik (4) aufweist.
  3. Ultraschallzerstäuber nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet, daß der Koppelkörper (6) aus Titan oder einer Titanlegierung besteht.
  4. Ultraschallzerstäuber nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die hutförmige Erhebung (12) im wesentlichen rotationssymmetrisch ist.
  5. Ultraschallzerstäuber nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die hutförmige Erhebung (12) im Schnitt ellipsenförmig ausgebildet ist.
  6. Ultraschallzerstäuber nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die hutförmige Erhebung (12) im Schnitt parabelförmig ausgebildet ist.
  7. Ultraschallzerstäuber nach einem der Ansprüch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die hutförmige Erhebung (12) im Schnitt nach einer Exponentialfunktion ausgebildet ist.
  8. Ultraschallzerstäuber nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die hutförmige Erhebung (12) eine Höhe von etwa 4 mm und einen Durchmesser von etwa 10 mm besitzt.
  9. Ultraschallzerstäuber nach einem der Ansprüche 1 bis 8, der eine Zuführung (20) für die Flüssigkeit (f) aufweist, die etwa am höchsten Punkt der hutförmigen Erhebung (6) endet.
  10. Ultraschallzerstäuber nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Piezokeramik (4) von einem Membrankörper (8) eingefaßt ist.
EP95110003A 1994-06-29 1995-06-27 Ultraschallzerstäuber Expired - Lifetime EP0689879B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4422822 1994-06-29
DE4422822 1994-06-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0689879A1 true EP0689879A1 (de) 1996-01-03
EP0689879B1 EP0689879B1 (de) 2000-09-20

Family

ID=6521846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP95110003A Expired - Lifetime EP0689879B1 (de) 1994-06-29 1995-06-27 Ultraschallzerstäuber

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5716002A (de)
EP (1) EP0689879B1 (de)
JP (1) JPH0824739A (de)
AT (1) ATE196436T1 (de)
CA (1) CA2152747A1 (de)
DE (1) DE59508726D1 (de)
ES (1) ES2151009T3 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5950619A (en) * 1995-03-14 1999-09-14 Siemens Aktiengesellschaft Ultrasonic atomizer device with removable precision dosating unit
US5970974A (en) * 1995-03-14 1999-10-26 Siemens Aktiengesellschaft Dosating unit for an ultrasonic atomizer device
EP1214986A1 (de) 2000-12-13 2002-06-19 Siemens Aktiengesellschaft Ultraschallzerstäuber

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6050575A (en) * 1997-01-22 2000-04-18 Vitec Group, Plc Relating to Camera pedestals
CN1153630C (zh) 1999-03-05 2004-06-16 约翰逊父子公司 振动液体雾化器及其操作方法
US6293474B1 (en) * 1999-03-08 2001-09-25 S. C. Johnson & Son, Inc. Delivery system for dispensing volatiles
US6539937B1 (en) * 2000-04-12 2003-04-01 Instrumentarium Corp. Method of maximizing the mechanical displacement of a piezoelectric nebulizer apparatus
US20050260138A1 (en) * 2004-05-21 2005-11-24 Virgil Flanigan Producton and use of a gaseous vapor disinfectant
US20090321534A1 (en) * 2005-12-02 2009-12-31 Nfd, Llc Aerosol or gaseous decontaminant generator and application thereof
US8348177B2 (en) 2008-06-17 2013-01-08 Davicon Corporation Liquid dispensing apparatus using a passive liquid metering method
US20110232312A1 (en) * 2010-03-24 2011-09-29 Whirlpool Corporation Flexible wick as water delivery system
GB201013463D0 (en) * 2010-08-11 2010-09-22 The Technology Partnership Plc Electronic spray drive improvements
AU2013201383B2 (en) * 2013-03-01 2015-07-02 Royal Melbourne Institute Of Technology Atomisation apparatus using surface acoustic wave generaton
CN112023198A (zh) * 2020-08-21 2020-12-04 泸州市中医医院(泸州市中西医结合医院、泸州市江阳区中医医院) 雾化器及通气系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3561444A (en) * 1968-05-22 1971-02-09 Bio Logics Inc Ultrasonic drug nebulizer
US4085893A (en) * 1974-03-20 1978-04-25 Durley Iii Benton A Ultrasonic humidifiers, atomizers and the like
GB2073616A (en) * 1980-04-12 1981-10-21 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Apparatus for atomising liquids
EP0246515A1 (de) 1986-05-20 1987-11-25 Siemens Aktiengesellschaft Ultraschall-MHz-Schwinger, insbesondere zur Flüssigkeitszerstäubung
JPH03109960A (ja) * 1989-06-30 1991-05-09 Tonen Corp 超音波霧化装置
JPH03137957A (ja) * 1989-07-31 1991-06-12 Tonen Corp 超音波霧化装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3214101A (en) * 1964-03-31 1965-10-26 Little Inc A Apparatus for atomizing a liquid
US3325858A (en) * 1964-10-02 1967-06-20 Gen Dynamics Corp Sonic apparatus
DE3112339A1 (de) * 1980-04-12 1982-02-25 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt "vorrichtung zur zerstaeubung von fluessigkeiten"
US4474326A (en) * 1981-11-24 1984-10-02 Tdk Electronics Co., Ltd. Ultrasonic atomizing device
EP0174033B1 (de) * 1984-09-07 1991-03-27 OMRON Corporation Schwingungserzeuger für ein Inhalationsgerät mit Ultraschallzerstäubung
DE3724629A1 (de) * 1987-07-22 1989-02-02 Siemens Ag Piezoelektrisch anregbares resonanzsystem

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3561444A (en) * 1968-05-22 1971-02-09 Bio Logics Inc Ultrasonic drug nebulizer
US4085893A (en) * 1974-03-20 1978-04-25 Durley Iii Benton A Ultrasonic humidifiers, atomizers and the like
GB2073616A (en) * 1980-04-12 1981-10-21 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Apparatus for atomising liquids
EP0246515A1 (de) 1986-05-20 1987-11-25 Siemens Aktiengesellschaft Ultraschall-MHz-Schwinger, insbesondere zur Flüssigkeitszerstäubung
JPH03109960A (ja) * 1989-06-30 1991-05-09 Tonen Corp 超音波霧化装置
JPH03137957A (ja) * 1989-07-31 1991-06-12 Tonen Corp 超音波霧化装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
P. KRUUS: "PRODUCTION OF ZINC DUST USING ULTRASOUND", ULTRASONICS, GUILDFORD, SURREY, GR. BRITAIN, pages 216 - 217 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 15, no. 297 (C - 854) 29 July 1991 (1991-07-29) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 15, no. 353 (C - 865) 6 September 1991 (1991-09-06) *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5950619A (en) * 1995-03-14 1999-09-14 Siemens Aktiengesellschaft Ultrasonic atomizer device with removable precision dosating unit
US5970974A (en) * 1995-03-14 1999-10-26 Siemens Aktiengesellschaft Dosating unit for an ultrasonic atomizer device
EP1214986A1 (de) 2000-12-13 2002-06-19 Siemens Aktiengesellschaft Ultraschallzerstäuber

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0824739A (ja) 1996-01-30
US5716002A (en) 1998-02-10
DE59508726D1 (de) 2000-10-26
ATE196436T1 (de) 2000-10-15
CA2152747A1 (en) 1995-12-30
ES2151009T3 (es) 2000-12-16
EP0689879B1 (de) 2000-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0246515B1 (de) Ultraschall-MHz-Schwinger, insbesondere zur Flüssigkeitszerstäubung
EP0689879A1 (de) Ultraschallzerstäuber
DE69117127T2 (de) Ultraschall-Zerstäuber
DE69033591T2 (de) Spender
DE69404004T2 (de) Piezoelektrischer Vernebler
DE102009001867B4 (de) Medizinische Flüssigkeitstropfenabscheidevorrichtung
EP0540774B1 (de) Flüssigkeitszerstäubervorrichtung
DE60016720T2 (de) Verfahren zum befestigen von piezoelektrischen elementen
DE69333443T2 (de) Ultraschallzerstäuber
DE69413708T2 (de) Vorrichtung und verfahren zum sprühen von flüssigkeiten
DE3724629A1 (de) Piezoelektrisch anregbares resonanzsystem
EP2437896B1 (de) MEMBRANVERNEBLER UND VERFAHREN ZUM VERSCHWEIßEN EINER MEMBRAN MIT EINEM TRÄGER BEI DER HERSTELLUNG EINES MEMBRANVERNEBLERS
DE60122507T2 (de) Flüssigkeitstropfensprühvorrichtung
CH653924A5 (de) Vorrichtung zur zerstaeubung von fluessigkeiten.
DE3936248A1 (de) Ultraschallzerstaeuber
WO1992004134A1 (de) Ultraschallwandler für die laufzeitmessung von ultraschall-impulsen in einem gas
DE60009109T2 (de) Flüssigkeitsausstossvorrichtung mit Magnetisch betätigbares Ventil
DE69002756T2 (de) Düse für einen farbstrahldrucker.
DE60115430T2 (de) Sprühvorrichtung für Flüssigkeiten
EP1142642B1 (de) Mikropumpe zur Abgabe von kleinen Flüssigkeitstropfen
EP1523362B1 (de) Ultraschallzerstäuber
DE3112339C2 (de)
DE3841442C2 (de) Ultraschallflüssigkeitszerstäubervorrichtung
DE19938055A1 (de) Aktorbauglied für einen Mikrozerstäuber und Verfahren zu seiner Herstellung
DE19917093A1 (de) Aerosolapplikator

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE ES FR GB IT LI NL SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19960219

17Q First examination report despatched

Effective date: 19970829

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

17Q First examination report despatched

Effective date: 19970829

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE CH DE ES FR GB IT LI NL SE

REF Corresponds to:

Ref document number: 196436

Country of ref document: AT

Date of ref document: 20001015

Kind code of ref document: T

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: SIEMENS SCHWEIZ AG

REF Corresponds to:

Ref document number: 59508726

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20001026

ITF It: translation for a ep patent filed
REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FG2A

Ref document number: 2151009

Country of ref document: ES

Kind code of ref document: T3

ET Fr: translation filed
GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20010105

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Payment date: 20030624

Year of fee payment: 9

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040627

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20050613

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 20050620

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20050621

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Payment date: 20050623

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20050624

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Payment date: 20050628

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Payment date: 20050629

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20050829

Year of fee payment: 11

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060627

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060628

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060628

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060630

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060630

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060630

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20060630

Year of fee payment: 12

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070101

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070103

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

EUG Se: european patent has lapsed
GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20060627

NLV4 Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20070101

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20070228

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FD2A

Effective date: 20060628

BERE Be: lapsed

Owner name: *SIEMENS A.G.

Effective date: 20060630

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060630

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070627