Dispositif de liaison entre le corps et l'embout d'une pipette à vide. Connection device between the body and the tip of a vacuum pipette.
L'invention concerne plus particulièrement le secteur technique de la micro-électronique.The invention relates more particularly to the technical sector of microelectronics.
Généralement, les pipettes à vide sont utilisées pour le transport des plaquettes de silicum. Pour l'essentiel, une pipette comprend un corps recevant à l'une de ses extrémités , un embout de préhension conformé pour saisir la plaquette par succion. Le corps est relié à une pompe aspirante et présente un organe de commande pour soumettre ou non, à volonté, l'embout à l'action du vide.Generally, vacuum pipettes are used to transport the silicon wafers. Essentially, a pipette comprises a body receiving at one of its ends, a gripping tip shaped to grip the wafer by suction. The body is connected to a suction pump and has a control member to subject or not, at will, the nozzle to the action of vacuum.
On peut citer par exemple, le brevet français N. 8518635 qui enseigne un accouplement étanche de l'embout par rapport au corps , aux moyens dé deux tores , en matière souple déformable.We can cite for example, French patent N. 8518635 which teaches a tight coupling of the end piece with respect to the body, by means of two toroids, made of deformable flexible material.
II s'avère que les plaquettes sont chargées plus ou moins d'électricité statique, de même que les mains de l'opérateur lors de la manipulation desdites plaquettes. La présence de cette électricité statique peut provoquer des micro-décharges entre la plaquette considérée et la masse , ce qui peut endommager les jonctions P.N. ou autre, consti¬ tuant les circuits intégrés.It turns out that the plates are more or less charged with static electricity, as are the operator's hands when handling said plates. The presence of this static electricity can cause micro-discharges between the considered wafer and the mass, which can damage the P.N. or other junctions, constituting the integrated circuits.
En outre, les charges électrostatiques sur les pla¬ quettes , augmentent la contamination de sorte que les par- ticules qui se polarisent dans le flux laminaire, peuvent être infléchies et avoir une trajectoire courbe et non pas verticale. Les particules ont donc tendance à se coller sur la plaquette.In addition, the electrostatic charges on the plates increase the contamination so that the particles which polarize in the laminar flow can be bent and have a curved trajectory and not a vertical one. The particles therefore tend to stick to the wafer.
La liaison dipôle entre les particules et la plaquette
rend l'enlèvement desdites particules très difficile. Cette présence de particules peut réduire le rendement sur cer¬ tains types de circuit.The dipole bond between the particles and the wafer makes removal of said particles very difficult. This presence of particles can reduce the yield on certain types of circuit.
La revue IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, publiée le 7 décembre 1987, divulgue d'une manière très générale ce problème de dissipation des charges électrostatiques. Tou¬ tefois , aucune solution concrète apte à résoudre un tel problème n'est suggérée par cette revue.The journal IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, published on December 7, 1987, generally discloses this problem of dissipation of electrostatic charges. However, no concrete solution capable of solving such a problem is suggested by this review.
L'invention s'est fixée pour but de remédier à ces inconvénients, d'une manière sûre et efficace, en proposant un dispositif d'accouplement entre le corps et l'embout apte à résoudre le problème posé d'assurer l'évacuation des charges électrostatiques.The invention has set itself the aim of remedying these drawbacks, in a safe and effective manner, by proposing a coupling device between the body and the end piece capable of solving the problem posed of ensuring the evacuation of electrostatic charges.
Le problème posé est d'assurer une liaison mécanique avec conduction électrique en utilisant des matériaux orga¬ niques pour la conception de l'ensemble de la pipette. Ces matériaux sont très faiblement chargés en fibre de carbone, de sorte que la conduction électrique est insuffisante ou peu fiable.The problem is to ensure a mechanical connection with electrical conduction using organic materials for the design of the entire pipette. These materials are very lightly loaded with carbon fiber, so that the electrical conduction is insufficient or unreliable.
Dans ces conditions , le problème posé est résolu en ce que le dispositif d'accouplement comprend au moins un moyen apte à assurer 1 ' évacuation des charges électrostatiques , ledit moyen étant disposé au niveau de l'accouplement de l'embout et du corps de manière à être en contact à la fois avec une partie dudit corps et dudit embout, ce moyen étant réalisé en matériau conducteur.Under these conditions, the problem posed is solved in that the coupling device comprises at least one means capable of ensuring the discharge of electrostatic charges, said means being arranged at the coupling of the end piece and the body of so as to be in contact with both a part of said body and said nozzle, this means being made of conductive material.
Pour résoudre le problème posé d'assurer une liaison mécanique avec conduction électrique, tout en ayant pour objectif d'avoir un accouplement parfaitement étanche , le moyen est un cylindre disposé transversalement à l'une des
extrémités du corps entre deux tores en matière souple déformable pour l'accouplement étanc e d'une portée corres¬ pondante de l'embout. Le cylindre est noyé partiellement dans l'épaisseur du corps en étant décalé en hauteur de sorte que sous l'effet de l'élasticité des tores, l'embout soit repoussé sur le cylindre pour améliorer le contact mécanique.To solve the problem posed of ensuring a mechanical connection with electrical conduction, while having the objective of having a perfectly sealed coupling, the means is a cylinder arranged transversely to one of the ends of the body between two toroids made of deformable flexible material for tight coupling and a corresponding bearing of the end piece. The cylinder is partially embedded in the thickness of the body by being offset in height so that under the effect of the elasticity of the toroids, the end piece is pushed back onto the cylinder to improve the mechanical contact.
Le dispositif selon l'invention trouve une application particulièrement avantageuse dans le cas d'une pipette dont le corps et l'embout sont réalisés en matériaux organi¬ ques chargés en fibre de carbone. Le corps est exécuté en polyvinylidène fluoré et l'embout en poly-éther-éther- cétone.The device according to the invention finds a particularly advantageous application in the case of a pipette whose body and tip are made of organi¬ cal materials loaded with carbon fiber. The body is made of fluorinated polyvinylidene and the tip of poly-ether-ether-ketone.
L'invention est exposée ci-après, plus en détail, à l'aide des dessins annexés dans lesquels :The invention is set out below, in more detail, using the appended drawings in which:
La figure 1 est une vue extérieure d'un exemple de réalisation de pipette à vide. figure 2 est, à une échelle plus importante, une vue partielle en coupe longitudinale, montrant le disposi¬ tif de liaison, entre le corps et l'embout de la pipette.Figure 1 is an exterior view of an exemplary embodiment of a vacuum pipette. Figure 2 is, on a larger scale, a partial view in longitudinal section showing the connecting device, between the body and the tip of the pipette.
La figure 3 est une vue en coupΛ transversale consi¬ dérée selon la ligne 3-3 de la figure 2.Figure 3 is a perspective cross-fail Λ consi¬ sidered along line 3-3 of Figure 2.
Comme le montre la figure 1 , la pipette présente un corps (1) recevant à l'une de ces extrémités, un embout (2). L'autre extrémité du corps (1) est agencé pour être reliée à une pompe à vide, par exemple. Un organe (3) commandable à partir de l'extérieur du corps (1) assure, en combinaison avec des agencements internes dudit corps , la mise à volonté ou non du vide, au niveau de l'embout.As shown in Figure 1, the pipette has a body (1) receiving at one of these ends, a tip (2). The other end of the body (1) is arranged to be connected to a vacuum pump, for example. A member (3) controllable from outside the body (1) ensures, in combination with internal arrangements of said body, the creation of the vacuum at will or not, at the end piece.
L'accouplement du corps (1) et de l'embout (2) s'ef¬ fectue au moyen de deux tores (5) et (6) eh matière souple déformable, pour assurer un accouplement étanche. Ces deux
- A -The coupling of the body (1) and the end piece (2) is effected by means of two toroids (5) and (6) in flexible deformable material, to ensure a tight coupling. These two - AT -
tores sont logés dans deux gorges correspondantes formées dans l'alésage du corps (1).toroids are housed in two corresponding grooves formed in the bore of the body (1).
D'une manière avantageuse, le corps (1) et l'embout (2) sont réalisés en matériaux organiques chargés en fibre de carbone. Plus particulièrement, le corps (1) est exécuté en polyvinylidène fluoré tandis que l'embout (2) est réali¬ sé en poly-éther-éther-cétone. D'une manière connue, le corps et 1 ' embout peuvent être obtenus , directement par injection.Advantageously, the body (1) and the end piece (2) are made of organic materials loaded with carbon fiber. More particularly, the body (1) is made of fluorinated polyvinylidene while the end piece (2) is made of poly-ether-ether-ketone. In a known manner, the body and one end can be obtained directly by injection.
Selon l'invention, au niveau de l'accouplement, de l'embout (2) et du corps (1) est disposé un moyen (4) apte à assurer l'évacuation des charges électrostatiques. Ce moyen (4) est déterminé, après montage, pour être en con- tact, à la fois avec une partie du corps (1) et de l'embout (2).According to the invention, at the coupling, the end piece (2) and the body (1) is arranged a means (4) capable of ensuring the evacuation of electrostatic charges. This means (4) is determined, after assembly, to be in contact, both with a part of the body (1) and the end piece (2).
Compte-tenu du problème posé d'assurer l'évacuation des charges électrostatiques, d'une part, et de la nature des matériaux constituant le corps et l'embout, d'autre part, le moyen ( -- ) est réalisé en un matériau conducteur. Ce moyen (4) est constitué par un cylindre disposé trans¬ versalement à l'in-térieur du corps (1).Given the problem posed of ensuring the evacuation of electrostatic charges, on the one hand, and the nature of the materials constituting the body and the end piece, on the other hand, the means (-) is produced in a conductive material. This means (4) is constituted by a cylinder disposed transversely inside the body (1).
Comme le montrent les figures 2 et 3 , le cylindre (4) est diposé transversalement entre les deux tores (5) et (6). Le cylindre (4) est, en outre, noyé dans l'épaisseur du corps, en étant décalé en hauteur, pour déborder à l'intérieur de l'alésage dudit corps, de sorte que sous l'effet de l'élasticité des tores (5) et (6), la partie d'emmanchement (2a) de l'embout (2) soit repoussée sur ledit cylindre (4) , pour améliorer le contact mécanique.As shown in Figures 2 and 3, the cylinder (4) is disposed transversely between the two tori (5) and (6). The cylinder (4) is, moreover, embedded in the thickness of the body, being offset in height, to overflow inside the bore of said body, so that under the effect of the elasticity of the toroids (5) and (6), the fitting part (2a) of the end piece (2) is pushed back onto said cylinder (4), to improve the mechanical contact.
Il en résulte donc un contact mécanique et électrique entre le corps (1) et l'embout (2) correspondant à une concentration suffisante en fibre de carbone. Les avantages ressortent bien de la description.
This therefore results in mechanical and electrical contact between the body (1) and the nozzle (2) corresponding to a sufficient concentration of carbon fiber. The advantages are apparent from the description.