Fertigungssystem für Halbleitersubstrate Manufacturing system for semiconductor substrates
BESCHREIBUNGDESCRIPTION
Die Erfindung betrifft ein Fertigungssystem für Substrate, insbesondere Wafer, Glasmasken, Keramikträger, mit einzelnen Prozeßstationen für die Behandlung und/oder Bearbeitung der einzelnen Substrate unter Reinumgebung undThe invention relates to a production system for substrates, in particular wafers, glass masks, ceramic carriers, with individual process stations for the treatment and / or processing of the individual substrates under clean environment and
Transμortvorrichtungen zum Transport der Substrate zwischen den einzelnen Prozeßstationen, wobei die einzelnen Prozeßstationen über Versorgungs- und Entsorgungs leitungen mit den erforderlichen Chemikalien, Gasen, Flüssigkeiten, Daten, Energie, versorgt und entsorgt sind.Transμortvorrichtungen for transporting the substrates between the individual process stations, the individual process stations are supplied and disposed of with the necessary chemicals, gases, liquids, data, energy via supply and disposal lines.
Aus der EP 35 844 A2 ist ein Fertigungssystem bekannt, bei dem mehrere Prozeßstationen in einem größeren Prozeßraum
untergebracht sind. Diese einzelnen Prozeßstationen sind jeweils mit den erforderlichen Versorgungs- und Entsorgungsleitungen verbunden. Eine andere Anordnung der Prozeßstationen bei einer Änderung des Prozeßablaufs ist praktisch kaum möglich und erfordert einen aufwendigen Umbau, durch den der Fertigungsprozeß über lange Zeit gestoppt werden muß.A production system is known from EP 35 844 A2, in which several process stations in a larger process space are accommodated. These individual process stations are each connected to the necessary supply and disposal lines. Another arrangement of the process stations in the event of a change in the process sequence is practically impossible and requires a complex conversion, as a result of which the production process has to be stopped for a long time.
In Vermeidung dieser geschilderten Nachteile liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Fertigungssystem der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß Änderungen im Prozeßablauf , insbesondere auch der Austausch einzelner Prozeßstationen einfach, zeitsparend, ohne wesentliche Unterbrechung des Fertigungsablaufs, erfolgen kannIn avoiding these disadvantages, the present invention has for its object to improve a manufacturing system of the type mentioned so that changes in the process, in particular the exchange of individual process stations can be done easily, time-saving, without significant interruption of the manufacturing process
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß alle Versorgungs- und Entsorgungsleitungen in einem Medienbus parallel zu in austauschbaren Prozeßstationen angeordneten Prozeßmodulen geführt sind, daß im Rasterabstand der Prozeßmodule am Medienbus Kopplungsboxen angeordnet sind und daß an jedem der leicht austauschbaren Prozeßmodule den Kopplungsboxen entsprechend jeweils eine Gegenkopplung vorgesehen ist und daß durch Zusammenführen von Kopplungsbox und Gegenkopplung die Verbindungen der Versorgungs- und Entsorgungsleitungen hergestellt und durch Trennen von Kopplungsbox und Gegenkopplung diese Verbindungen unterbrochen sind .
Durch diese Anordnung von Anschlußstellen aller Versorgungs- und Entsorgungsleitungen in einer "Schnittstelle" ist ein sehr rascher zeitsparender Austausch der einzelnen Prozeßmodule möglich. Die einzelnen Prozeßmodule können praktisch in beliebiger Reihenfolge zweckentsprechend am Medienbus angeschlossen werden, so daß entsprechend den jeweiligen Anforderungen Prozeßsysteme zusammengestellt oder geändert werden können oder zur Wartung oder Reparatur einzelne Prozeßmodule einfach ausgetauscht werden können. Damit kann eine wesentliche Steigerung der Produktivität bei gleichzeitiger Verminderung des Ausschußanteils erreicht werden .To achieve this object, the invention provides that all supply and disposal lines in a media bus are routed in parallel to process modules arranged in interchangeable process stations, that coupling boxes are arranged in the grid spacing of the process modules on the media bus, and that each of the easily exchangeable process modules corresponds to the coupling boxes a negative feedback is provided and that the connections of the supply and disposal lines are made by merging the coupling box and negative feedback and these connections are interrupted by separating the coupling box and negative feedback. This arrangement of connection points of all supply and disposal lines in an "interface" enables a very quick, time-saving exchange of the individual process modules. The individual process modules can be connected practically in any order to the media bus, so that process systems can be put together or changed according to the respective requirements or individual process modules can be easily replaced for maintenance or repair. This enables a significant increase in productivity to be achieved while at the same time reducing the proportion of rejects.
Konstruktiv besonders einfach können in der Kopplungsbox Kupplungen und/oder Stecker und jeweils zugeordnet in der Gegenkopplung Stecker und/oder Kupplungen vorgesehen sein, die jeweils mit den entsprechenden zugeordneten Versorgungs- bzw. Entsorgungsleitungen des Medienbusses bzw. des Prozeßraoduls verbunden sind.Couplings and / or plugs and in each case associated in the negative feedback plugs and / or couplings can be provided in the coupling box in a particularly simple design, each of which is connected to the corresponding assigned supply or disposal lines of the media bus or the process module.
Zur sicheren gleichze tigen Kopplung bzw. Entkopplung der Kupplungen und Stecker können die Kopplungsboxen und die Gegenkopplungen gegenseitige Führungen aufweisen, durch die eine gleichzeitige fluchtende Zusammenführung der einzelnen Stecker und Kupplungen gewährleistet ist, wobei alle Stecker und Kupplungen parallel zu den gegenseitigen Führungen zusammenfügbar bzw. trennbar sind.
Ein rascher und einfacher Austausch der Prozeßstationen wird dadurch ermöglicht, daß die Stecker und/oder Kupplungen für flüssige oder gasförmige Medien Selbstschlußventile aufweisen, so daß bei der Trennung von Kopplungsbox und Gegenkopplung mindestens die druckführenden Versorgungs- und Entsorgungsleitungen geschlossen sind und daß bei zusammengeführter Kopplungsbox und Gegenkopplung die Versorgungs- und Entsorgungsleitungen des Medienbusses mit den zugeordneten Versorgungs- und Entsorgungsleitungen des Prozeßmoduls durchgängig verbunden sind. Besondere Magnetventilsteuerungen können so eingespart werden.For safe simultaneous coupling or decoupling of the couplings and plugs, the coupling boxes and the negative couplings can have mutual guides, by means of which a simultaneous alignment of the individual plugs and couplings is ensured, all plugs and couplings being able to be joined or separated in parallel to the mutual guides are. A quick and easy exchange of the process stations is made possible by the fact that the plugs and / or couplings for liquid or gaseous media have self-closing valves, so that at least the pressure-carrying supply and disposal lines are closed when the coupling box and negative coupling are separated, and that when the coupling box and Negative feedback, the supply and disposal lines of the media bus are continuously connected to the assigned supply and disposal lines of the process module. This saves special solenoid valve controls.
Konstruktiv besonders einfach können sowohl die Kopplungsbox als auch die Gegenkopplung jeweils eine Kopplungsplatte aufweisen, wobei dann auf oder in diesen Kopplungsplatten einander zugeordnet die Stecker und Kupplungen vorgesehen sind .Particularly structurally simple, both the coupling box and the negative feedback can each have a coupling plate, the connectors and couplings then being provided on or in these coupling plates.
Je nach Verwendungszweck müssen bei den einzelnen Prozeßstationen nicht alle Kupplungen bzw. Stecker, sondern nur die für die vorhandenen Versorgungs- und Entsorgungsleitungen Notwendigen vorgesehen werden. Entsprechend können auch beim Medienbus die einzelnen Kopplungsboxen unterschiedlich bestückt werden, wobei dann allerdings auch die spezielle Anordnung der Prozeßmodule entsprechend den vorhandenen Anschlüssen begrenzt ist.
Die gegenseitigen Führungen von Kopplungsbox und Gegenkopplung oder der Kopplungsplatten kann besonders einfach durch .zugeordnete Führungsbolzen und Führungsbuchsen erfolgen, von denen mindestens zwei, vorzugsweise drei mit Abstand verteilt, angeordnet sein können.Depending on the intended use, not all couplings or plugs need to be provided for the individual process stations, but only those necessary for the existing supply and disposal lines. Correspondingly, the individual coupling boxes can also be equipped differently for the media bus, although the special arrangement of the process modules is then also limited in accordance with the available connections. The mutual guidance of the coupling box and counter coupling or the coupling plates can be carried out particularly easily by means of associated guide bolts and guide bushes, of which at least two, preferably three, can be spaced apart.
Eine Erleichterung des Austauschs von Prozeßstationen bei gleichzeitig sicherer Kupplung der Versorgungs- und Entsorgungsleitungen kann dadurch erreicht werden, daß jeweils die Kopplungsbox und die zugeordnete Gegenkopplung durch mindestens eine Koppeleinrichtung zusammenbringbar ist, so daß die erforderlichen Kraftaufwendungen zum Verbindung und Trennen nicht von Hand aufgebracht werden müssen. Hierzu kann die Kopplungsbox und/oder die Gegenkopplung oder Baueinheiten davon in Kopplungsrichtung verschiebbar am Medienbus und/oder am Prozeßmodul vorgesehen sein. Die Kopplung von Kopplungsbox und Gegenkopplung kann in vorteilhafter Weise automatisch vorzugsweise über eine Kontaktsteuerung (Schalter, Sensoren) ausgelöst, erfolgen. Dazu kann der Prozeßmodul gegen den Medienbus in senkrechter Richtung verschiebbar geführt sein, wobei die Kontaktsteuerung bei Erreichen der Endlage oder kurz vor erreichen der Endlage ausgelöst werden kann.A simplification of the exchange of process stations with a safe coupling of the supply and disposal lines can be achieved in that the coupling box and the associated negative feedback can be brought together by at least one coupling device, so that the required expenditure of force for connection and disconnection does not have to be applied by hand . For this purpose, the coupling box and / or the negative feedback or components thereof can be provided on the media bus and / or on the process module so as to be displaceable in the coupling direction. The coupling box and negative coupling can advantageously be triggered automatically, preferably via a contact control (switch, sensors). For this purpose, the process module can be displaceably guided in a vertical direction against the media bus, wherein the contact control can be triggered when the end position is reached or shortly before the end position is reached.
Eine sichere Kopplung der Versorgungs- und Entsorgungsleitungen kann dadurch erreicht werden., daß die Verbindung und das Lösen von Koμplungsbox und Gegenkopplung bzw. deren Baueinheiten ohne gegenseitiges Verschieben von
Prozeßmodul und Medienbus nur durch die gegenseitige, vorzugsweise automatische, sensorgesteuerte Verschiebung von Kopplungsbox und/oder Gegenkopplung oder von Baueinheiten davon erfolgt.A secure coupling of the supply and disposal lines can be achieved in that the connection and disconnection of the coupling box and negative coupling or their structural units without mutual movement of Process module and media bus only by mutual, preferably automatic, sensor-controlled displacement of coupling box and / or negative feedback or of units thereof.
Zur automatischen Kopplung kann die Koppeleinrichtung einen Kraftzylinder aufweisen, mittels dessen Kolbenstange die Kopplungsbox und die Gegenkopplung bzw. die Baueinheiten, wie deren Kopplungsplatten zusammenziehbar und ggf. gesteuert trennbar sind. Besonders vorteilhaft kann die Koppeleinrichtung mindestens eine motorisch angetriebene Gewindestange aufweisen, mittels der und mindestens einer Gewindebohrung kann dann die Kopplungsbox und die Gegenkopplung bzw. Baueinheiten hiervon, zusammenziehbar und gesteuert trennbar sein. Um Verkantungen zu vermeiden kann die Koppeleinrichtung im Kraftschwerpunkt der auftretenden Kräfte beim Koppelvorgang in der Kopplungsbox und der Gegenkopplung angeordnet sein.For automatic coupling, the coupling device can have a power cylinder, by means of the piston rod of which the coupling box and the negative coupling or the structural units, such as their coupling plates, can be contracted and, if necessary, separated in a controlled manner. Particularly advantageously, the coupling device can have at least one motor-driven threaded rod, by means of which and at least one threaded bore the coupling box and the negative coupling or structural units thereof can be contractible and separable. In order to avoid canting, the coupling device can be arranged in the center of gravity of the forces occurring during the coupling process in the coupling box and the negative feedback.
Die stromführenden Kupplungen und Stecker können zur Vermeidung der Anordnung besonderer Schalter explosionsgeschützt ausgebildet sein und es können hierzu die stromführenden Teile von einem Abschirmmantel umschlossen sein, wobei die Abschirmung beim axialen Verbinden und Lösen der stromführenden Leitungen noch erhalten ist. Zweckmäßigerweise kann zur Abschirmung ein Außenmantel am Stecker und ein Innenmantel an der Kupplung oder umgekehrt
vorgesehen sein, die während des KoppelVorgangs und im Betrieb einen geschlossenen Raum bilden, dabei ist die Überdeckungslänge von Außenmantel und Innenmantel größer als die Kontaktlänge von Stecker und Kupplung.To prevent the arrangement of special switches, the current-carrying couplings and plugs can be designed to be explosion-proof, and for this purpose the current-carrying parts can be enclosed by a shielding jacket, the shielding being retained when the current-carrying lines are axially connected and disconnected. Expediently, an outer jacket on the plug and an inner jacket on the coupling or vice versa can be used for shielding be provided, which form a closed space during the coupling process and in operation, the length of coverage of the outer jacket and inner jacket being greater than the contact length of the plug and coupling.
Zur weiteren Minderung der Explosionsgefahr kann der Innenraum von Außenmantel von Innenmantel mit einem Schutzgas bspw. Stickstoff, flutbar sein.To further reduce the risk of explosion, the interior of the outer jacket of the inner jacket can be flooded with a protective gas, for example nitrogen.
Zum Toleranzausgleich bei der Anordnung von Steckern und Kupplungen können diese federnd nachgiebig in der Kopplungsbox bzw. Gegenkopplung angeordnet sein.To compensate for tolerances in the arrangement of plugs and couplings, these can be arranged resiliently in the coupling box or negative feedback.
Die einzelnen Stecker und Kupplungen sind zweckmäßigerweise leicht austauschbar in der Kopplungsbox bzw. Gegenkopplung eingesetzt, um eine sehr variable Medienführung zu erhalten. Ein späteres Auswechseln .einzelner Kupplungen und Stecker erfordert nur eine geringe Modifikation der Haltebuchsen, so daß die standardisierte Anordnung und Aufteilung erhalten bleibt.The individual plugs and couplings are expediently used in the coupling box or negative feedback so that they can be exchanged easily in order to obtain a very variable media routing. Subsequent replacement of individual couplings and plugs requires only a slight modification of the holding bushes, so that the standardized arrangement and division is retained.
Um Verunreinigungen der Medien nach Möglichkeit ganz zu vermeiden sind mindestens die Kupplungen und die Stecker aus kontaminationsarmem Material hergestellt. Irgendein Materialabrieb beim Kuppeln und Entkuppeln soll wenn irgendmöglich völlig vermieden werden. Zumindest die Oberflächen müssen daher entsprechend gestaltet sein.
Zur weiteren Verminderung der Gefahr von einer unerwünschten Kontamination können die Kupplungen und Stecker für die reinsten Medien oben in den Kopplungsboxen und Gegenkopplungen und die Kupplungen und Stecker für die Medien, von denen eine größere Kontaminationsgefahr ausgeht, im unteren Bereich der Kopplungsboxen und Gegenkopplungen vorgesehen sein. Insbesondere werden also die elektrischen Zuleitungen, die ja gegen Verunreinigungen unempfindlich sind und bei denen keine Gefahr der Eintragung von Verunreinigungen in die Prozeßmodule besteht, im unteren Bereich der Kopplungsboxen und Gegenkopplungen angeordnet" sein. Hier besteht auch keine Verunreinigungsgefahr, wenn von einer darüber liegenden Leitung beim Abtrennen oder Ankoppeln Flüssigkeiten oder dgl. abtropfen.In order to avoid contamination of the media as far as possible, at least the couplings and the connectors are made of low-contamination material. Any material abrasion during coupling and uncoupling should be avoided completely if possible. At least the surfaces must therefore be designed accordingly. To further reduce the risk of undesired contamination, the couplings and plugs for the purest media can be provided in the top of the coupling boxes and counter-couplings and the couplings and plugs for the media, which pose a greater risk of contamination, in the lower region of the coupling boxes and counter-couplings. Therefore, in particular, the electrical leads which are so sensitive to impurities, and in which there is no risk of entry of contaminants into the process modules, "to be disposed in the lower region of the coupling boxes and counter couplings. Here, there is no risk of contamination, if of an overlying line drain liquids or the like when disconnecting or coupling.
Weitere erfindungsgemäße Ausbildungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen und werden mit ihren Vorteilen anhand der beigefügten Zeichnungen in der nachstehenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:Further designs according to the invention can be found in the subclaims and their advantages are explained in more detail with reference to the accompanying drawings in the description below. It shows:
Figur 1 ein Fertigungssystem mit Prozeßmodulen und einem Medienmodul, angekoppelt an einen Medienbus in Schrägansicht, teilweise geschnitten;Figure 1 shows a manufacturing system with process modules and a media module, coupled to a media bus in an oblique view, partially cut;
Figur 2 eine Schrägansicht eines Medienbusses mit imFigure 2 is an oblique view of a media bus with in
Rasterabstand angeordneten Kopplungsboxen;
Figur 3 mit Steckern und Kupplungen bestückte busseitige und odulseitige Kopplungsplatten;Coupling boxes arranged in grid spacing; FIG. 3 bus-side and module-side coupling plates equipped with plugs and couplings;
Figur 4 eine Medienkupplung bestehend aus Stecker und Kupplung undFigure 4 is a media coupling consisting of plug and coupling and
Figur 5 eine Draufsicht auf eine explosionsgeschützte Ausführung einer Kupplung.Figure 5 is a plan view of an explosion-proof version of a clutch.
Das in Figur 1 schematisch dargestellte Fertigungssystem besteht aus parallel nebeneinander angeordneten Prozeßmodulen 1, einem Medienmodul 2 und einem Medienbus 3. Jeder Modul 1 , 2 ist jeweils über eine Kopplungsbo'x 4 und eine Gegenkopplung 4' mit dem Medienbus 2 verbunden. Die Kopplungsboxen 4 sind entsprechend der Rasterbreite der Prozeßmodule 1 und Medienmodule 2 am Medienbus 3 fest angeordnet.The production system shown schematically in FIG. 1 consists of process modules 1, a media module 2 and a media bus 3 arranged in parallel next to each other. Each module 1, 2 is connected to the media bus 2 via a coupling box 4 and a negative coupling 4 '. The coupling boxes 4 are arranged on the media bus 3 according to the grid width of the process modules 1 and media modules 2.
Im Medienbus 3 sind alle erforderlichen Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 angeordnet, die mit Kupplungen 6 bzw. Steckern 7 der Kopplungsboxen 4 in Verbindung stehen. Über diese Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 können alle erforderlichen Chemikalien, Gase, Flüssigkeiten, aber auch Energie und Daten, zugeführt, abgeführt oder ausgetauscht werden, zwischen den einzelnen Prozeßmodulen 1 , dem Medienbus 3 und dem oder den Medienmodulen 2. Die Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 des Medienbusses 3 selbst können mit
einer ZentralVersorgung oder weiteren austauschbaren Medienmodulen 2 verbunden sein, um eine Versorgung und Entsorgung mit allen erforderliche Medien zu gewährleisten. Bei den genannten Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 sind auch Steuer- und Meßleitungen für die Steuerung und Überwachung der Fertigungsprozeße mit umfaßt.In the media bus 3, all the necessary supply and disposal lines 5 are arranged, which are connected to couplings 6 or plugs 7 of the coupling boxes 4. Via these supply and disposal lines 5, all the necessary chemicals, gases, liquids, but also energy and data, can be supplied, discharged or exchanged between the individual process modules 1, the media bus 3 and the media module (s) 2. The supply and disposal lines 5 of the media bus 3 itself can a central supply or other interchangeable media modules 2 to ensure a supply and disposal with all required media. In the supply and disposal lines 5 mentioned, control and measuring lines for the control and monitoring of the production processes are also included.
Der Aufbau des Medienbusses 3 mit seinen im Rasterabstand angeordneten Kopμlungsboxen 4 ist in Figur 2 näher dargestellt. Die Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 des Medienbusses 3 sind in einem' langgestreckten Kanal 8 abgeschirmt, ggf. noch in besonders abgeteilten Kanälen 9 geführt und in nicht dargestellter Weise mit den einzelnen Kupplungen 6 der Kopplungsboxen 4 verbunden. Die Kupplungen 6 selbst sind, wie in Figur 3 näher dargestellt, auf oder in einer Kopplungsplatte 10 angeordnet. Die Kopplungsplatten 10 der einzelnen Kopplungsboxen 4 sind auf Führungsstangen 11 verschiebbar am Kopplungsboxrahmen 12 geführt und zwar senkrecht zum Medienbus 3, entsprechend dem Pfeil 13, in Fig. 3. Selbstverständlich ist der Verschiebeweg begrenzt. Der Verschiebeweg' ist aber so groß, daß die einzelnen einander zugeordneten Kupplungen 6 und Stecker 7 der Kopplungsplatte 10 und einer entsprechenden Kopplungsplatte 10' , des zugeordneten Prozeßmoduls 1 oder Medienmoduls 2 zusammnenführbar und trennbar.The structure of the media bus 3 with its coupling boxes 4 arranged at a grid spacing is shown in more detail in FIG. The supply and disposal lines 5 of the media bus 3 are shielded in an ' elongated channel 8, possibly also in specially divided channels 9 and connected in a manner not shown to the individual couplings 6 of the coupling boxes 4. The couplings 6 themselves, as shown in more detail in FIG. 3, are arranged on or in a coupling plate 10. The coupling plates 10 of the individual coupling boxes 4 are slidably guided on guide rods 11 on the coupling box frame 12, namely perpendicular to the media bus 3, corresponding to the arrow 13 in FIG. 3. Of course, the displacement path is limited. The displacement ' is so large, however, that the individual mutually assigned couplings 6 and connectors 7 of the coupling plate 10 and a corresponding coupling plate 10', the associated process module 1 or media module 2 can be brought together and separated.
Auf der Kopplungsplatte 10' sind die entsprechenden Stecker 7
und/oder Kupplungen 6 der Versorgungs- und Entsorgungsleiten 5 des zugeordneten Prozeßmoduls 1 oder Medienmoduls 2 angeordnet, so daß durch Zusammenführen der Kopplungsplatten 10, 10' eine Verbindung dieser Versorgungsleitungen 5 von Medienbus 3 und Prozeßmodul 1 bzw. Medienmodul 2 erfolgen kann. Hierzu wird* der Prozeßmodul 1 oder Medienmodul 2 an die gewünschte Stelle des Medienbusses 3 bis zu einem Anschlag herangeschoben, wobei die Kopplungsplatte 10 auf den Führungsstangen 11 zurückgefahren ist. Etwa im Kraftschwerpunkt der Kopplungsplatte -10 ist eine Kopplungseinrichtung 14, im Ausführungsbeispiel 1 ein pneumatischer Zylinder, angeordnet, dessen Kolbenstange einen beweglichen Haken 14' aufweist, der mit einem Hakengegenstück 14" der anderen Kopplungsplatte 10' zusammenwirkt. Durch einen Schaltkontakt wird der bewegliche Haken 14' mit dem Hakengegenstück 14" gekoppelt und durch Einziehen der Kolbenstange in der Koppeleinrichtung 14 werden die beiden Kopplungsplatten 10, 10' zusammengezogen und damit die Kupplungen 6 und Stecker 7 miteinander verbunden, ohne daß zur Herstellung der Verbindung äußere Kräfte auf den anzuschließenden Prozeßmodul 1 oder Medienmodul 2 aufgewendet werden müssen. Zur gegenseitigen exakten Führung in Verbindungsrichtung sind auf der Kopplungsplatte 10 verteilt, Führungsbolzen 15 vorgesehen, die mit Führungsbuchsen 15' der Kopplungsplatte 10' zusammenwirken. Durch einen Kontaktschalter 16 kann der Kopplungsvorgang gesteuert und überwacht werden.
Zum Ausgleich geringfügiger Maßabweichungen ist die Koμplungsplatte 10' über Gummilager 17 etwas beweglich am Gestell 18 des betreffenden Prozeßmoduls 1 bzw. Medienmoduls 2 angeordnet.The corresponding plugs 7 are on the coupling plate 10 ' and / or couplings 6 of the supply and disposal lines 5 of the assigned process module 1 or media module 2, so that by connecting the coupling plates 10, 10 ', a connection of these supply lines 5 of the media bus 3 and process module 1 or media module 2 can take place. For this purpose * the process module 1 or media module 2 is pushed up to the desired location of the media bus 3 up to a stop, the coupling plate 10 being moved back on the guide rods 11. Approximately in the center of gravity of the coupling plate -10, a coupling device 14, in the exemplary embodiment 1 a pneumatic cylinder, is arranged, the piston rod of which has a movable hook 14 'which interacts with a hook counterpart 14 "of the other coupling plate 10'. The movable hook becomes a switching contact 14 'coupled with the hook counterpart 14 "and by pulling in the piston rod in the coupling device 14, the two coupling plates 10, 10' are pulled together and thus the couplings 6 and plug 7 are connected to one another, without external forces being exerted on the process module 1 to be connected to produce the connection or media module 2 must be used. For mutual exact guidance in the connecting direction, guide bolts 15 are provided on the coupling plate 10, which cooperate with guide bushings 15 'of the coupling plate 10'. The coupling process can be controlled and monitored by a contact switch 16. To compensate for slight dimensional deviations, the coupling plate 10 'is arranged to be somewhat movable on the frame 18 of the process module 1 or media module 2 concerned, via rubber bearings 17.
Für den nachträglichen Anschluß weiterer Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 können in den Kopplungsplatten 10, 10' für weitere Kupplungen 6 und/oder Stecker 7, Blindöffnungen 19 vorgesehen sein. Stecker 7 und Kupplungen 6 können auch je nach Zweckmäßigkeit vertauscht auf den Kopplungsplatten 10, 10' angeordnet sein.For the subsequent connection of further supply and disposal lines 5, blind openings 19 can be provided in the coupling plates 10, 10 'for further couplings 6 and / or plugs 7. Plugs 7 and couplings 6 can also be interchanged on the coupling plates 10, 10 ', depending on their expediency.
In Figur 4 ist die Befestigung eines Steckers 6 und einer Kupplung 7 an den Kopplungsplatten 10, 10' in größerem Maßstab im Teilschnitt dargestellt. Die Kupplung 6 ist schwimmend über Haltebüchsen 20, 21 zwischen Rundschnurdichtringen in Form von O-Ringen 22, 23 gelagert und weist hierzu einen Bund 24 auf. Der Stecker 7 ist am Boden 25 einer Haltebuchse 26, diese durchdringend durch eine Mutter 27 leicht austauschbar befestigt. Der Anschluß einer Versorgungs- oder Entsorgungsleitung 5 ist beim Stecker 7 angedeutet.In Figure 4, the attachment of a plug 6 and a coupling 7 on the coupling plates 10, 10 'is shown on a larger scale in partial section. The coupling 6 is floatingly supported by retaining bushes 20, 21 between round cord sealing rings in the form of O-rings 22, 23 and has a collar 24 for this purpose. The plug 7 is fastened to the bottom 25 of a holding bush 26, which can be easily replaced by a nut 27. The connection of a supply or disposal line 5 is indicated at the connector 7.
Üblicherweise sollte das An- und Abkoppeln elektrische Spannungen führender Versorgungs- oder Entsorgungsleitungen 5 in spannungslosem Zustand erfolgen. Sollte dies nicht möglich sein, so kann entsprechend der Darstellung in Figur 5 für Elektro- und Datenleitungen die dort dargestellte Kupplung 6
verwendet werden, in der speziell bspw. eine Datenkupplung 6' und eine Elektrokupplung 6" oder entsprechende Stecker angeordnet sein können. Durch einen Außenmantel 28 und beim Gegenstück durch einen entsprechend angeordneten Innenmantel wird der Kupplungsbereich der Datenkupplung 6' und der Elektrokupplung 6" hermetisch abgeschottet. Der so gebildete Innenraum kann bspw. durch die Bohrungen 29 mit Stickstoff geflutet werden, um so jede gefährdende Funkenbildung unschädlich zu machen.
Usually, the coupling and uncoupling of electrical voltages of the supply or disposal lines 5 should take place in a de-energized state. If this is not possible, the coupling 6 shown there can be used for electrical and data lines, as shown in FIG. 5 can be used in which, for example, a data coupling 6 'and an electrical coupling 6 "or corresponding plugs can be arranged. The coupling area of the data coupling 6' and the electrical coupling 6" is hermetically sealed off by an outer jacket 28 and, in the case of the counterpart, by a correspondingly arranged inner jacket . The interior space formed in this way can be flooded with nitrogen, for example, through the bores 29, so as to render any dangerous spark formation harmless.