EP0235619B1 - Glow cathode for an x-ray tube - Google Patents
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- EP0235619B1 EP0235619B1 EP87101758A EP87101758A EP0235619B1 EP 0235619 B1 EP0235619 B1 EP 0235619B1 EP 87101758 A EP87101758 A EP 87101758A EP 87101758 A EP87101758 A EP 87101758A EP 0235619 B1 EP0235619 B1 EP 0235619B1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
- H01J35/064—Details of the emitter, e.g. material or structure
Definitions
- the invention relates to an X-ray tube hot cathode with an electrically heated band emitter provided with at least one slot, which consists of electron-emissive, difficult to melt material.
- DE-OS 27 27 907 such a band emitter is described, which is heated by direct electrical current passage. This is made of sheet metal and has incisions in the emission area from opposite sides. This allows any shape of the emitter surface to be achieved in a simple manner and also certain desirable temperature distributions in the surface.
- band emitters show susceptibility to breakage at the grain boundaries, which run transverse to the slot direction of the band emitter. Because of the small thickness of the band material, the grain boundaries extend over the entire material thickness after recrystallization of, for example, tungsten, so that band emitters of this type are very sensitive and have a short service life. When using tantalum, the susceptibility to breakage decreases significantly; but the mechanical stability is reduced. This means that the emitters can warp.
- the invention is based on the object of creating an X-ray tube hot cathode of the type mentioned at the outset, which has increased mechanical stability and an improved service life.
- the band emitter is constructed from at least two layers. It is thereby achieved that the grain boundaries do not continue at the border crossing between the two layers, so that the risk of breakage for the band emitter along such grain boundaries, which are expressed over the entire material thickness, is considerably reduced.
- one layer consists of tungsten and at least one further layer consists of tantalum.
- the favorable elastic properties of tantalum further reduce the risk of breakage, while the mechanical stability of tungsten ensures that the shape remains true.
- the band emitter has three layers, the middle layer consisting of tungsten and the two outer layers consisting of tantalum.
- the layers of the band emitter consist of different structures of the same material. This ensures that the grain boundaries at the boundary layer of different structures of the same material do not continue.
- one layer consists of normally structured tungsten and at least one further layer consists of polycrystalline tungsten.
- a particularly stable structure is achieved if the band emitter has three layers, the middle layer consisting of normally structured tungsten and the outer layers consisting of polycrystalline tungsten. The stability of the carrier layer is increased if the middle layer has a greater thickness than the outer layers.
- the cathode arrangement 3 has an extension 6 on its housing 5, which contains a band emitter 7 as a hot cathode, which lies within a focusing device 8.
- the actual anode 9, which is designed as a rotating anode, is located opposite the cathode arrangement 3.
- a heating voltage is applied to the ends 10 and 11 of the band emitter 7 via lines 16 and 18.
- the actual operating voltage i.e., the line 16 and a connecting piece 12 located at the anode-side end of the X-ray tube 2.
- the acceleration voltage for the electrons emerging from the hot cathode corresponding to the dashed line 13 is applied.
- the focusing device 8 is set to emitter potential by means of a bridging line 17.
- the band emitter 7 is shown in FIG. It consists, for example, of a 0.05 mm thick, band-shaped sheet and has a side length of, for example, 3 mm x 8 mm.
- the sheet is cut from both sides with slots 14 and 15 such that the respective cuts end as far away from the opposite boundary of the sheet as the slots 14 and 15 are laterally spaced apart.
- the ends 10 and 11 are attached for connecting the heating voltage.
- FIG. 3 shows a further embodiment of the band emitter 7, in which the part to be heated consists of a 2 mm ⁇ 1.2 mm sheet which has a slot 19.
- the ends 10 and 11 are arranged for connecting the heating voltage.
- Such a narrow band emitter 7 generates a small focal spot, as is required, for example, for X-ray fluoroscopy.
- the two band emitters 7 of FIGS. 2 and 3 can be arranged next to one another in the cathode arrangement 3 and can be connected to the heating voltage as required.
- a band emitter 7 constructed in this way, as shown in cross section in FIG. 4, according to the invention consists of three layers.
- the inner one Layer 20 consists, for example, of 50 J.1 m thick tungsten, which is surrounded by two layers 21 and 22 made of, for example, 10 J.1 m thick tantalum.
- the production of the band material required for the band emitter 7 can be produced by rolling out a blank produced by metallurgy or by subsequent coating by means of sputtering, CVD, or by ion implantation of heavy metals.
- This arrangement with an outer tantalum coating gives the advantage in operation that the hot cathode can be operated at a low temperature because of the low work function of tantalum. As a result, the recrystallization of the tungsten core proceeds more slowly, so that the durability of such a hot cathode is further increased.
- the band emitter 7 can also consist of a different structure of the same material.
- the inner layer 20 can be made of normally structured tungsten and the outer layers 21 and 22 can be made of polycrystalline tungsten.
Landscapes
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Röntgenröhren-Glühkathode mit einem elektrisch geheizten, mit mindestens einem Schlitz versehenen Bandemitter, welcher aus elektronenemissionsfähigem, schwer schmelzbaren Material besteht.The invention relates to an X-ray tube hot cathode with an electrically heated band emitter provided with at least one slot, which consists of electron-emissive, difficult to melt material.
In der DE-OS 27 27 907 ist ein derartiger Bandemitter beschrieben, der durch direkten elektrischen Stromdurchgang aufgeheizt wird. Dieser wird aus einem Blech hergestellt und weist im Emissionsbereich von einander gegenüberliegenden Seiten her Einschnitte auf. Dadurch lassen sich beliebige Formen der Emitterfläche auf einfache Weise und auch bestimmte wünschenswerte Temperaturverteilungen in der Fläche erreichen.In DE-OS 27 27 907 such a band emitter is described, which is heated by direct electrical current passage. This is made of sheet metal and has incisions in the emission area from opposite sides. This allows any shape of the emitter surface to be achieved in a simple manner and also certain desirable temperature distributions in the surface.
Derartige Bandemitter zeigen aber an den Korngrenzen Bruchanfälligkeiten, die quer zur Schlitzrichtung des Bandemitters verlaufen. Wegen der geringen Dicke des Bandmaterials erstrecken sich die Korngrenzen nach der Rekristallisation von beispielsweise Wolfram über die ganze Materialdicke, so daß derartige Bandemitter sehr empfindlich sind und eine geringe Lebensdauer aufweisen. Bei Verwendung von Tantal geht die Bruchanfälligkeit zwar deutlich zurück; dafür wird aber die mechanische Stabilität vermindert. Das bedeutet, daß die Emitter sich verziehen können.However, such band emitters show susceptibility to breakage at the grain boundaries, which run transverse to the slot direction of the band emitter. Because of the small thickness of the band material, the grain boundaries extend over the entire material thickness after recrystallization of, for example, tungsten, so that band emitters of this type are very sensitive and have a short service life. When using tantalum, the susceptibility to breakage decreases significantly; but the mechanical stability is reduced. This means that the emitters can warp.
Die Erfindung geht von der Aufgabe aus, eine Röntgenröhren-Glühkathode der eingangs genannten Art zu schaffen, die eine erhöhte mechanische Stabilität und verbesserte Lebensdauer aufweist.The invention is based on the object of creating an X-ray tube hot cathode of the type mentioned at the outset, which has increased mechanical stability and an improved service life.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Bandemitter aus mindestens zwei Schichten aufgebaut ist. Dadurch wird erreicht, daß sich die Korngrenzen an dem Grenzübergang zwischen den beiden Schichten nicht fortsetzen, so daß die Bruchgefahr für den Bandemitter entlang solcher, sich über die gesamte Materialstärke ausprägender Korngrenzen erheblich reduziert wird.The object is achieved in that the band emitter is constructed from at least two layers. It is thereby achieved that the grain boundaries do not continue at the border crossing between the two layers, so that the risk of breakage for the band emitter along such grain boundaries, which are expressed over the entire material thickness, is considerably reduced.
Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn eine Schicht aus Wolfram und wenigstens eine weitere Schicht aus Tantal besteht. Durch die günstigen elastischen Eigenschaften von Tantal wird die Bruchgefahr zusätzlich vermindert, wobei durch die mechanische Stabilität von Wolfram die Formtreue gesichert wird.It has proven to be advantageous if one layer consists of tungsten and at least one further layer consists of tantalum. The favorable elastic properties of tantalum further reduce the risk of breakage, while the mechanical stability of tungsten ensures that the shape remains true.
Eine Kompensation eines eventuell auftretenden Bimetalleffektes wird erreicht, wenn der Bandemitter drei Schichten aufweist, wobei die mittlere Schicht aus Wolfram und die beiden äußeren Schichten aus Tantal bestehen.Compensation for a bimetal effect that may occur is achieved if the band emitter has three layers, the middle layer consisting of tungsten and the two outer layers consisting of tantalum.
Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die Schichten des Bandemitters aus unterschiedlichen Gefügen des gleichen Materials bestehen. Dadurch wird erreicht, daß sich die Korngrenzen an der Grenzschicht unterschiedlicher Gefüge des gleichen Materials nicht fortsetzen.It has proven to be advantageous if the layers of the band emitter consist of different structures of the same material. This ensures that the grain boundaries at the boundary layer of different structures of the same material do not continue.
Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn eine Schicht aus normal strukturiertem Wolfram und wenigstens eine weitere Schicht aus polykristallinem Wolfram besteht. Ein besonders stabiler Aufbau wird erreicht, wenn der Bandemitter drei Schichten aufweist, wobei die mittlere Schicht aus normal strukturiertem Wolfram und die äußeren Schichten aus polykristallinem Wolfram bestehen. Die Stabilität der Trägerschicht wird erhöht, wenn die mittlere Schicht gegenüber den äußeren Schichten eine größere Dicke aufweist.It has proven to be advantageous if one layer consists of normally structured tungsten and at least one further layer consists of polycrystalline tungsten. A particularly stable structure is achieved if the band emitter has three layers, the middle layer consisting of normally structured tungsten and the outer layers consisting of polycrystalline tungsten. The stability of the carrier layer is increased if the middle layer has a greater thickness than the outer layers.
Die Erfindung ist nachfolgend anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert.The invention is explained below with reference to an embodiment shown in the drawing.
Es zeigen:
- Fig. 1 eine teilweise gebrochen dargestellte Röntgenröhre mit einem Bandemitter als Glühkathode,
- Fig. 2 und 3 Ausführungsformen eines Bandemitters, und
- Fig. 4 den Schichtaufbau eines erfindungsgemäßen Bandemitters.
- 1 is a partially broken X-ray tube with a band emitter as a hot cathode,
- 2 and 3 embodiments of a band emitter, and
- Fig. 4 shows the layer structure of a band emitter according to the invention.
In der Figur 1 ist ein Kolben 1 einer Röntgenröhre 2 dargestellt, in dessem Inneren am einen Ende eine Kathodenanordnung 3 und am gegenüberliegenden Ende eine Anodenanordnung 4 vorgesehen sind. Die Kathodenanordnung 3 weist an ihrem Gehäuse 5 einen Ansatz 6 auf, der einen Bandemitter 7 als Glühkathode enthält, der innerhalb einer Fokussiereinrichtung 8 liegt. Der Kathodenanordnung 3 gegenüber befindet sich die eigentliche Anode 9, die als Drehanode ausgebildet ist. Zum Betrieb der Kathodenanordnung 3 wird über Leitungen 16 und 18 an den Enden 10 und 11 des Bandemitters 7 eine Heizspannung angelegt. Außerdem ist über die Leitung 16 und einen am anodenseitigen Ende der Röntgenröhre 2 liegenden Anschlußstutzen 12 die eigentliche Betriebsspannung, d.h. die Beschleunigungsspannung für die aus der Glühkathode entsprechend der gestrichelten Linie 13 austretenden Elektronen, angelegt. Zur Fokussierung ist durch eine Überbrückungsleitung 17 die Fokussierungseinrichtung 8 auf Emitterpotential gelegt.1 shows a piston 1 of an
In der Figur 2 ist der Bandemitter 7 dargestellt. Er besteht beispielsweise aus einem 0,05 mm dicken, bandförmigen Blech und hat eine Seitenlänge von beispielsweise 3 mm x 8 mm. Das Blech ist von beiden Seiten mit Schlitzen 14 und 15 derart eingeschnitten, daß die jeweiligen Einschnitte von der gegenüberliegenden Begrenzung des Bleches so weit entfernt enden, als die Schlitze 14 und 15 seitliche Abstände voneinander aufweisen. An den gegenüberliegenden Ecken sind die Enden 10 und 11 zum Anschluß der Heizspannung angebracht.The band emitter 7 is shown in FIG. It consists, for example, of a 0.05 mm thick, band-shaped sheet and has a side length of, for example, 3 mm x 8 mm. The sheet is cut from both sides with
In der Figur 3 ist eine weitere Ausführungsform des Bandemitters 7 dargestellt, bei dem der zu erhitzende Teil aus einem 2 mm x 1,2 mm Blech besteht, das einen Schlitz 19 aufweist. An den U-förmigen Schenkeln des Bandemitters 7 sind die Enden 10 und 11 zum Anschließen der Heizspannung angeordnet. Ein derartiger schmaler Bandemitter 7 erzeugt einen kleinen Brennfleck, wie er beispielsweise für die Röntgendurchleuchtung benötigt wird. Die beiden Bandemitter 7 der Figuren 2 und 3 können nebeneinander in der Kathodenanordnung 3 angeordnet sein und je nach Bedarf mit der Heizspannung verbunden werden.FIG. 3 shows a further embodiment of the band emitter 7, in which the part to be heated consists of a 2 mm × 1.2 mm sheet which has a
Ein derartig aufgebauter Bandemitter 7 besteht, wie er in der Figur 4 im Querschnitt dargestellt ist, erfindungsgemäß aus drei Schichten. Die innere Schicht 20 besteht beispielsweise aus 50 J.1m dickem Wolfram, die von zwei Schichten 21 und 22 aus beispielsweise 10 J.1m dickem Tantal umgeben ist. Die Herstellung des für den Bandemitter 7 erforderlichen Bandmaterials kann durch Auswalzen eines auf metallurgischem Wege hergestellten Rohlings oder durch nachträgliches Beschichten mittels Sputtern, CVD, oder durch lonenimplantation von Schwermetallen hergestellt werden. Diese Anordnung mit äußerer Tantalbeschichtung ergibt bei dem Betrieb den Vorteil, daß wegen der niedrigen Austrittsarbeit von Tantal die Glühkathode mit geringer Temperatur betrieben werden kann. Dadurch läuft die Rekristallisation des Wolfram-Kernes langsamer ab, so daß sich die Haltbarkeit einer derartigen Glühkathode weiterhin erhöht.A band emitter 7 constructed in this way, as shown in cross section in FIG. 4, according to the invention consists of three layers. The inner one
Der Bandemitter 7 kann aber auch aus einem unterschiedlichen Gefüge des gleichen Materials bestehen. So kann beispielsweise die innere Schicht 20 aus normal strukturiertem Wolfram und die äußeren Schichten 21 und 22 aus polykristallinem Wolfram bestehen.The band emitter 7 can also consist of a different structure of the same material. For example, the
Claims (7)
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- 1987-02-16 JP JP1987021255U patent/JPS62135347U/ja active Pending
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