EP0202974B1 - Matrix-Farbbildschirm, seine Herstellung und einen solchen Schirm enthaltendes Gerät - Google Patents

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EP0202974B1
EP0202974B1 EP86400791A EP86400791A EP0202974B1 EP 0202974 B1 EP0202974 B1 EP 0202974B1 EP 86400791 A EP86400791 A EP 86400791A EP 86400791 A EP86400791 A EP 86400791A EP 0202974 B1 EP0202974 B1 EP 0202974B1
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electrodes
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electrode
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conductive strips
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Roger Menn
Christian Brunel
Dario Pecile
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    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/33Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being semiconductor devices, e.g. diodes

Definitions

  • the role of the dielectric layer 38 is to protect the electroluminescent material or materials used, during the various stages of production of the matrix screen. For this reason, its thickness should be greater than that of the electroluminescent layer.
  • this layer 38 is made of a material different from that constituting the dielectric layer 36 in order to facilitate the stopping of the subsequent etchings of the layer 38.
  • the latter can in particular be made of Ti0 2 , Si0 2 , Al 2 O 3 , SisN 4 , Ta 2 0s, Y 2 0 3 .
  • the dielectric layer 38 can be produced in Y 2 0 3 .
  • This dielectric layer 38 can for example be deposited by vacuum evaporation, sputtering, or any other technique of depositing thin layers, and have a thickness of 1200 nm.
  • the next step in the process consists, as shown in FIG. 7, in covering the entire body of the structure (except at the ends of the electrodes) with a layer 46 of a first electroluminescent material.
  • This layer 46 can for example be made of ZnS doped with manganese, ZnS doped TbF 3 or SrS doped CeF 3 .
  • this layer 46 is made of ZnS with a manganese doping of 3 to 3.5% by mole; it has a luminance of 55 cd / m 2.
  • This electroluminescent layer 46 having for example a thickness of 800 nm can be deposited by vacuum evaporation.
  • openings 54 are located opposite a second conductive strip for example 32b of each electrode of the first family and opposite a second conductive strip of each electrode of the second family, in the case where these electrodes are formed of two conductive strips.
  • the dimensions of these openings are defined by the width of the conductive strips of the electrodes of the first and second families.

Claims (15)

1. Matrixbildschirm mit einer Schicht aus Material (8) mit elektro-optischen Eigenschaften, die zwischen p parallelen Elektrodenzellen (3) und q parallelen Elektrodenspalten (4, 6) angeordnet ist, wobei sich die Elektrodenzellen und -spalten kreuzen und wobei ein Bildpunkt xij des Schirms durch den Bereich des elektro-optischen Materials gebildet wird, der von der Elektrodenzelle i und der Elektrodenspalte j bedeckt ist, wobei i und j ganze Zahlen mit 1 ≤ i ≤ p und 1 ≤ j ≤ q sind, dadurch gekennzeichnet, daß jede Elektrodenspalte aus m ersten parallelen, leitfähigen Bändern (3) verschiedener Breite und daß jede Elektrodenspalte aus n zweiten parallelen, leitfähigen Bänder (4, 6) verschiedener Breite gebildet wird, wobei m und n positive ganze Zahlen sind, von denen wenigstens eine 2 ist, und daß die Materialschicht (8) in ihrer ganzen Dicke in mehrere Zonen (10, 12) unterteilt, die in Matrixform aufgeteilt sind, wobei diese Zonen (10, 12) durch die Überkreuzung der ersten (3) und zweiten (4, 6) leitfähigen Bänder definiert werden.
2. Matrixbildschirm nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die p Elektrodenzellen und/oder die q Elektrodenspalten identisch sind.
3. Matrixbildschirm nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (8) aus elektro-optischen Material eine Festkörperschicht mit elektrolumineszenten Eigenschaften ist.
4. Matrixbildschirm nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (8) aus elektro-optischen Material aus k ≥ 2 Festkörpermaterialien (10, 12) mit unterschiedlichen elektrolumineszenten Eigenschaften gebildet wird, wobei k eine positive ganze Zal ist.
5. Matrixanzeigevorrichtung mit mehreren Farbstufen mit einem Matrixbildschirm nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Vorrichtung aufweist, um voneinander unabhängig an die leitfähigen Bänder (3, 4, 6) jeder Elektrodenzeile und jeder Elektrodenspalte elektrische Signale anzulegen, die dazu dienen nach dem Prinzip alles oder nichts, die elektro-optische Eigenschaft der Schicht aus elektro-optischen Material (8) zu steuern.
6. Verfahren zur Herstellung eines Matrixbildschirms, dadurch gekennzeichnet, daß man Zonen (46, 56) aus elektro-optischen Material, die in Matrixform unterteilt sind und voneinander durch ein Dielektrikum getrennt sind, zwischen einer ersten Familie aus p parallelen Elektroden, die jeweils aus m ersten parallelen, leitfähigen Bändern (3) unterschiedlicher Breite bestehen, und einer zweiten Familie aus q parallelen Elektroden, die jeweils aus n zweiten parallelen, leitfähigen Bändern (32a, 32b) unterschiedlicher Breite bestehen, herstellt, wobei m und n positive ganze Zahlen sind, von denen wenigstens eine ≥ 2 ist, wobei die Elektroden der ersten Familie und die Elektroden der zweiten Familie sich kreuzen, wobei die Zonen (46, 56) aus elektro-optischem Material durch die Überkreuzung der ersten und zweiten leitfähigen Bändern definiert werden, wobei ein Bildpunkt xij des Bildschirms durch die Überkreuzung einer Elektrode i der ersten Familie mit einer Elektrode j der zweiten Familie definiert wird, wobei i und j ganze Zahlen mit 1 s spund 1 ≤ j s q sind.
7. Herstellungsverfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden der ersten und/oder zweiten Elektrodenfamilie identisch sind.
8. Herstellungsverfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß es folgende sukzessive Herstellungsschritte aufweist:
a) Herstellung einer der beiden Elektrodenfamilien (32a, 32b) auf einem Substrat (30),
b) Abscheiden einer Schicht (38) einer gegebenen Dicke aus einem ersten, dielektrischen Material,
c) Herstellung von wenigstens einer ersten Öffnung (42) in der Schicht (38) aus dem ersten Material an jeder Überkreuzung einer Elektrode der ersten Familie und einer Elektrode der zweiten Familie, wobei die ersten Öffnungen (42) durch die Überkreuzung eines ersten leitfähigen Bandes (32a) mit einem zweiten leitfähigen Band definiert werden,
d) partielles Auffüllen der ersten Öffnungen (42) mit einem zweiten, elektro-optischen Material (46),
e) Überdecken des zweiten Materials (46) mit einem dritten, dielektrischen Material (48), um die ersten Öffnungen vollständig aufzufüllen, und
f) Herstellung der zweiten Elektrodenfamilie (3).
9. Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß m und n höchstens gleich 2 sind.
10. Herstellungsverfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß man während die ersten Öffnungen (42) gegenüber einem der ersten leitfähigen Bänder (32a) jeder Elektrode der ersten Familie und einem der zweiten leitfähigen Bänder (3) jeder Elektrode der zweiten Familie ausgeführt sind, zwischen den Schritten e) und f) folgende Schritte durchführt:
- Herstellung von wenigstens einer zweiten Öffnung (52) in der Schicht (38) aus dem ersten Material an jeder Überkreuzung einer Elektrode der ersten Familie und einer Elektrode der zweiten Familie, wobei die zweiten Öffnungen (52), definiert durch die Überkreuzung eines ersten leitfähigen Bandes (32b) und eines zweiten leitfähigen Bandes (3), gegenüber den anderen ersten (32b) und zweiten leitfähigen Bändern ausgeführt werden,
- partielles Auffüllen der zweiten Öffnungen (52) mit einem vierten, elektro-optischen Material (56) und
- Überdecken des vierten, elektro-optischen Materials (56) mit einem fünften, dielektrischen Material (58), um die zweiten Öffnungen vollständig aufzufüllen.
11. Herstellungsverfahren nach Anspruch 8 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß man die Öffnungen (42, 52) herstellt, indem man eine Photolackmaske (40, 50) auf die Schicht aus dem ersten Material (38) abscheidet, die Dimensionen und Lage der Öffnungen (42, 52) bestimmt und dann die Schicht aus dem ersten Material (38) ätzt, daß man die Öffnungen (42, 52) mit einem elektro-optischen Material (46, 56) auffüllt, indem auf die erhaltene Struktur eine Schicht des elektro-optischen Materials (46, 56) mit einer geringeren Dicke als die der Schicht aus dem ersten Material (38) abscheidet, daß man auf das elektro-optische Material (46, 56) eine Schicht aus einem dielektrischen Material (48, 58) abscheidet und daß man die Photolackmaske (40, 50) entfernt.
12. Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß man zwischen der ersten Elektrodenfamilie (32a, 32b) und der Schicht aus dem ersten Material (38) eine Schicht (36) aus einem sechsten, dielektrischen Material anordnet.
13. Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß man zwischen der zweiten Elektrodenfamilie und den Schichten (48, 58) aus dem fünften und zweiten Material eine Schicht (60) eines siebten, dielektrischen Materials anordnet.
14. Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß man die erste und zweite Elektrodenfamilie herstellt, indem man eine Schicht (32) eines leitfähigen Materials abscheidet, dann die Form dieser Elektroden mittels einer Maske (34) bestimmt und durch diese Maske (34) die Schicht aus leitfähigem Material ätzt.
15. Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das elektro-optische Material ein elektrolumineszentes Material ist.
EP86400791A 1985-04-17 1986-04-14 Matrix-Farbbildschirm, seine Herstellung und einen solchen Schirm enthaltendes Gerät Expired - Lifetime EP0202974B1 (de)

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