EP0169931A1 - Supporting device for optical lenses and other components during grinding and polishing - Google Patents

Supporting device for optical lenses and other components during grinding and polishing Download PDF

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Publication number
EP0169931A1
EP0169931A1 EP84109232A EP84109232A EP0169931A1 EP 0169931 A1 EP0169931 A1 EP 0169931A1 EP 84109232 A EP84109232 A EP 84109232A EP 84109232 A EP84109232 A EP 84109232A EP 0169931 A1 EP0169931 A1 EP 0169931A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
membrane
support
receiving
lens
ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP84109232A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Roland Mandler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Satisloh GmbH
Wilhelm Loh Wetzlar Optikmaschinen GmbH and Co KG
Original Assignee
Loh Optikmaschinen AG
Wilhelm Loh Wetzlar Optikmaschinen GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Loh Optikmaschinen AG, Wilhelm Loh Wetzlar Optikmaschinen GmbH and Co KG filed Critical Loh Optikmaschinen AG
Priority to EP84109232A priority Critical patent/EP0169931A1/en
Priority to DE19848423981 priority patent/DE8423981U1/en
Publication of EP0169931A1 publication Critical patent/EP0169931A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/005—Blocking means, chucks or the like; Alignment devices

Definitions

  • the invention relates to a receiving chuck for receiving optical lenses and other optical components during fine grinding and polishing, with at least one lens support surface made of elastic material and a channel arrangement for supplying or removing air or other flowable media from the area not to be processed Back of lens.
  • Fine grinding and polishing are carried out after pre-grinding.
  • Fine grinding and polishing use grinding pastes that are placed between a tool that has the shape of a spherical cap and the lens surface to be machined.
  • the pressure of the tool deforms the lenses more or less.
  • Thin lenses are deformed relatively strongly, i.e. those in which the ratio between lens diameter and lens thickness is large.
  • the working pressure creates a so-called aspheric bending, which results in inaccuracies in the lens surface.
  • the invention has for its object to provide a chuck of the type mentioned in such a way that the working pressure of the tool is absorbed so that aspheric bending is avoided as far as possible.
  • the lens support surface has at least two support zones, each support zone being assigned its own channel system in such a way that the pressure in each support zone can be set independently of the pressures in the other support zones.
  • the ability to regulate the support pressure zone by zone also allows larger working pressures, which significantly increases the machining time Lich can be reduced.
  • the intake chuck according to the invention is particularly suitable for processing sensitive lenses with a large diameter / thickness ratio. When using the feed according to the invention, the work result is easily reproducible from processing to processing.
  • the lens support surface is formed by a membrane covering the entire back of the lens (claim 2).
  • This embodiment has the advantage that a seal does not have to be provided between the back of the lens and the lens support, since the support pressure is regulated on the side of the membrane that is free from the back of the lens.
  • the support zones are preferably arranged concentrically to one another. This arrangement is most useful for circular lenses with spherical surfaces, but the support zones can also be arranged differently from a concentric arrangement for special lens shapes.
  • the membrane thickness can be different in the different support zones (claim 4), e.g. it can be thicker in an inner support zone than in an outer support zone (claim 5). This has the advantage that the membrane can still be adapted to certain support forces in certain zones of the workpiece. For a given material, the bending characteristic depends on the membrane thickness.
  • the membrane can be attached particularly cheaply if it has clamping edges according to claim 6. Such clamping edges result in a form-fitting engagement of the membrane in other parts of the receiving chuck, whereby an axial migration of the membrane is avoided with certainty.
  • the receiving chuck preferably has a centering edge which interacts with the peripheral surface of the lens (claim 7). This results in a lateral fixation of the lenses without having to be sucked or glued to their base. If the centering edge consists of elastic material (claim 8), the centering pressure is distributed over the circumference of the lens, thereby avoiding so-called oval fitting errors.
  • the centering ring is integrally formed on the membrane and can be expanded when the membrane is pressurized. This gives you a clamp. In the expanded state, the lens can be inserted comfortably and, after the pressure has been reduced, is centered precisely with elastic pressure on the centering edge.
  • the invention can be used both for intake chucks for only one lens and for intake chucks for the simultaneous intake of several lenses.
  • An advantageous constructive design for feed for only one lens is specified in claims 10 to 12.
  • An advantageous embodiment for a multiple feed is specified in claims 13 and 14.
  • the receiving chuck A 1 according to FIG. 1 is rotationally symmetrical to its axis 1.
  • the receiving chuck has a base body 2, a surrounding ring 3, a membrane holding ring 4, a membrane 5 and a membrane holding plate 6. The design and the interaction of these main components is described in detail below.
  • the base body 1 has a shaft 7 with which it can be attached to a fine grinding and polishing machine.
  • the base body 2 has a flat end surface 8.
  • the end surface 8 there are two annular grooves in which elastic sealing rings 9 and 10, namely so-called O-rings, are accommodated.
  • elastic sealing rings 9 and 10 In the area between the two mutually concentric sealing rings 9, 10 8 channels 11 open on the surface, which emanate from a collecting space 12 located in the base body.
  • a body 14 is screwed into the bore 13, which is provided with an internal thread, and has a continuous channel 15 in its center.
  • the membrane retaining ring 4 lies with a flat lower surface 16 on the surface 8 of the base body and is pressed against the surface 8 by the surrounding ring 3.
  • the encircling ring 3 has an inner shoulder 17 which presses on an annular projection 18 of the membrane holding ring 4.
  • the surrounding ring 3 is pressed onto the base body 2.
  • the press seats are at 19.
  • the membrane retaining ring 4 has on its lower surface 16 a flat annular groove 20 which, together with the surface 8, form an annular channel into which the channels 11 open.
  • annular projection 20 From the annular groove 20 go channels 21 which open on the upper end surface 22 of the membrane retaining ring. There is an outer circumferential groove 23 on the membrane retaining ring, which is bounded at the bottom by the annular projection 18 and at the top by an annular projection 24.
  • the annular projection 24 has a smaller diameter than the annular projection 18.
  • the membrane 5 has a central part 25 of relatively large thickness s 1 and an annular outer part 26 concentrically surrounding the central part, of smaller thickness s 2 .
  • the front side 27 of the membrane supports the rear side 28 of the lens L 1 over its entire extent.
  • Two annular walls protrude from the back of the membrane, namely an outer wall 29 and an inner wall 30 which is concentric with the outer wall. The radial expansion of the outer membrane part is limited by the walls 29, 30.
  • the outer wall 29 has a fastening edge 31 which engages in the circumferential groove 23 of the membrane holding ring 4.
  • the outer wall 31 is held between the outer surface of the annular projection 24 and an inner cylindrical surface 32 of the surrounding ring 3 and is thereby fixed in the radial direction.
  • the outer surface of the inner wall 30 of the membrane lies against a cylindrical surface 33 of the membrane retaining ring 4. It is pressed against this surface by the membrane holding plate 6. This holding plate is gripped by a fastening edge 33 which engages in a fold 34 of the membrane holding plate.
  • the feed A 1 works as follows.
  • the duct 15 is connected to a line through which air is drawn out and air with excess pressure can be supplied.
  • the room 1t is connected to another line through which compressed air can be supplied or air can be extracted.
  • the air supply or Air extraction via the duct 15 or the collecting space 5 are independent of one another.
  • a lens L 1 is inserted, there is ambient pressure on the underside of the membrane 5.
  • 5 certain pressures are built up below the membrane. In this case, different pressures can be built up under the middle part 25 and the outer part 26.
  • the pressure setting below the middle part 25 takes place via the channel 15, into which, depending on requirements, air with an overpressure relative to the environment is introduced or extracted via the air and a pressure is built up which is below the ambient pressure.
  • the channel 15 communicates via the recess 2a and a central bore 35 in the membrane holding plate 6 with the space 36 below the middle part of the membrane, which forms a first support zone. This space is sealed airtight in relation to the space 37 below the outer membrane part, namely by the sealing ring 9 and the membrane wall 30.
  • the space 37 communicates via the channels 21, the annular groove 20 and the channels 11 with the collecting space 12, so that a pressure can be built up via this flow path below the outer membrane part, which is independent of the pressure below the central membrane part 25. Der The outer membrane part 26 thus forms a second support zone. Pressure losses in this area are prevented from the outside by the sealing ring 10.
  • the lens L 1 is centered within the receiving chuck A 1 by the contact of its outer edge 38 on the cylindrical surface 32 of the surrounding ring 3.
  • the working pressure arises from the pressure of a processing tool, not shown in the drawing, which has the shape ner spherical cap and is pressed onto the lens surface 39.
  • a grinding paste is located between the processing tool and the lens surface 39.
  • the intake chuck A 2 according to FIG. 2 is used for the simultaneous processing of several lenses L 21, of which only one is shown in FIG. 2.
  • the receiving chuck A 2 has a base body 40, a support body 41, a surrounding ring 42 and a cap-like cover 43 which rests on the support body 41.
  • the base body 40 has a shaft 44 for holding the receiving chuck in a processing machine.
  • a central opening 45 for the penetration of a body 46 in which a channel 47 is located.
  • an annular groove for receiving an annular elastic seal 49, namely an O-ring.
  • the support body 41 lies with a flat lower surface 50 on the surface 48 of the base body and compresses the seal 49 elastically.
  • a channel 51 in the lower, internally threaded end of which the body 46 is screwed in such a way that its channel 47 communicates with the channel 51.
  • the support body 51 there are also a plurality of channels 52 which are inclined from the bottom inside to the top outside. The lower ends of the channels 52 open into the opening 45 of the base body 40. The upper end of each channel 52 opens into a cylindrical recess 53 of the support body 41. Via the support body 41, e.g. four depressions 53 may be distributed.
  • the support body 41 has an external groove 54 on the support body 41 for anchoring the cover 43.
  • the support body 41 has a fastening flange 55 below the groove 54, on which the support body 41 is pressed against the base body 40.
  • the surrounding ring 43 is used to connect the two bodies 40, 41. It has a shoulder 56 which presses on the flange 55. The surrounding ring is pressed onto a cylindrical outer surface 57 of the base body 40.
  • the cover 43 has a fastening edge 58 which engages in the outer groove 54 of the support body 41.
  • the mounting rim 58 is prevented from migrating out of the groove 54 by the encircling ring 42, which rests with a cylindrical surface 59 on a cylindrical surface 60 of the cover 43.
  • the cover 43 can be made of rubber, for example.
  • the coating 43 forms a membrane 61 in the region of each depression 53.
  • the membrane 61 forms with its upper side 62 the bottom of a depression for receiving a lens L 2 .
  • the depression is further delimited by a narrow cylindrical edge 63 which bears against the outer cylindrical edge 64 of the lens L 2 .
  • a cylindrical wall 66 protrudes from the rear side 65 of each membrane 61 and is integrally formed on the membrane and, over the membrane, on the covering 43.
  • the outside of the cylindrical wall 57 bears against the cylindrical wall of the depression 53.
  • a membrane holding plate 67 is arranged within the cylindrical wall 57 and has an off at its lower edge fold for the engagement of a retaining edge 68 which is located at the lower edge of the cylindrical wall 66. There is a central opening 69 in the membrane holding plate, which is aligned with the channel 52. The membrane holding plate is recessed at the top, so that a space 70 remains between the membrane 61 and the membrane holding body 67.
  • the circular membrane region 61a within the cylindrical wall 66 forms a first support zone.
  • the annular membrane region 61b outside the cylindrical wall 66 forms a second support zone.
  • a pressure can be built up under each support zone, which is independent of the pressure below the other support zone.
  • the pressurization of the first support zone 61a takes place via the opening 45 in the base body and the channels 52.
  • the pressurization of the support zones 61b takes place via the channel 51 be built up, but only up to the cylindrical walls 66, which prevent communication with the rooms 70.
  • the feed A 2 works as follows.
  • the channel 47 communicates with a line via which air can be supplied and removed.
  • the opening 45 communicates with a line via which air can also be supplied and removed. Air is supplied and removed via flow paths 47 and 45 via independent systems.
  • the channels 47, 51 are under a certain excess pressure, so that an air pressure which is greater than the ambient pressure builds up between the surface of the support body and the coating 43. As a result, the cylindrical edges of the lens receiving recesses are spread out, so that lenses could be inserted easily sen.
  • the pressure under the first support zones 61a is adjusted so that the working pressure of the tool cannot produce aspherical registration errors.
  • a pressure serving this purpose is also built up in the outer support zones 61b, which pressure is generally different from the pressure below the first support zones 61a.
  • the processing tool (not shown in the drawing) is a hollow spherical cap which covers the entire receiving chuck A 2 and whose spherical surface interacts simultaneously with all lenses L 2 ', for example four lenses L 2 .
  • the lens surface 71 to be processed is aligned with the surface 72 of the coating 43.
  • the lens surfaces 71 can also protrude somewhat beyond the surface 72 of the coating 43.
  • air was mentioned as the fluid medium.
  • other fluids can also be used.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

The lenses (L1) to be treated are supported by a diaphragm (5) which is subdivided into supporting zones (25, 26). Each supporting zone (25, 26) can be loaded below the diaphragm (5) by a certain air pressure independently of the other supporting zone. For this purpose, a separate passage system (15, 13, 2a, 35 or 12, 11, 20, 21) is allocated to each supporting zone. By assistance in different supporting zones (25, 26) with different supporting pressures, the pressure of a treatment tool can be compensated in such a way that aspherical form errors due to lens deformations caused by the treatment pressure are largely avoided. <IMAGE>

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Aufnahmefutter für die Aufnahme von optischen Linsen und anderen optischen Bauelementen beim Feinschleifen und Polieren, mit mindestens einer Linsenstützfläche aus elastischem Material und einer Kanalanordnung zur Zuführung bzw. Abführung von Luft oder anderen strömungsfähigen Medien aus dem Bereich der nicht zu bearbeitenden Linsenrückseite.The invention relates to a receiving chuck for receiving optical lenses and other optical components during fine grinding and polishing, with at least one lens support surface made of elastic material and a channel arrangement for supplying or removing air or other flowable media from the area not to be processed Back of lens.

Bei der Bearbeitung optischer Linsen erfolgt nach dem Vorschleifen das Feinschleifen und das Polieren. Beim Feinschleifen und Polieren werden Schleifpasten verwendet, die zwischen ein Werkzeug, das die Form einer Kugelkalotte hat und die zu bearbeitende Linsenfläche gegeben wird. Durch den Druck des Werkzeuges werden die Linsen mehr oder weniger deformiert. Relativ stark werden dünne Linsen deformiert, also solche, bei denen das Verhältnis zwischen Linsendurchmesser und Linsendicke groß ist. Durch den Arbeitsdruck entsteht eine sogenannte asphärische Verbiegung, die Ungenauigkeiten der Linsenfläche zur Folge haben.When processing optical lenses, fine grinding and polishing are carried out after pre-grinding. Fine grinding and polishing use grinding pastes that are placed between a tool that has the shape of a spherical cap and the lens surface to be machined. The pressure of the tool deforms the lenses more or less. Thin lenses are deformed relatively strongly, i.e. those in which the ratio between lens diameter and lens thickness is large. The working pressure creates a so-called aspheric bending, which results in inaccuracies in the lens surface.

Zur Befestigung von Linsen am Aufnahmefutter ist es bekannt, die Linsen aufzukitten. Diese Art der Befestigung erfordert einen großen Arbeitsaufwand auch deshalb, weil der Kitt nach der Bearbeitung wieder sorgfältig von der Linse entfernt werden muß. Um das Ankitten zu vermeiden, wurde auch ein Aufnahmefutter der eingangs genannten Art vorgeschlagen (DE-PS 812 158). Mit dem bekannten Aufnahmefutter wird die Linse durch den äußeren Luftdruck auf die Linsenstützfläche gedrückt, zu welchem Zweck an der Linsenrückseite ein Unterdruck erzeugt und aufrechterhalten wird. Der Umgebungsluftdruck wirkt in gleichem Sinne auf die Linse ein, wie der Arbeitsdruck des Werkzeuges. Eine Unterstützung der Linsenrückseite besteht nicht, so daß die asphärische Verbiegung auf jeden Fall größer ist als bei einer Linsenbefestigung mittels Kitt. Die Arbeitsersparnis durch den Wegfall des Kittens wird also mit schlechteren Arbeitsergebnissen erkauft.To attach lenses to the feed, it is known to cement the lenses. This type of attachment requires a lot of work because the putty must be carefully removed from the lens after processing. In order to avoid cementing, a feed of the type mentioned in the introduction has also been proposed (DE-PS 812 158). With the known intake chuck, the lens is pressed onto the lens support surface by the external air pressure, for which purpose a negative pressure is generated and maintained on the back of the lens. The ambient air pressure acts on the lens in the same way as the working pressure of the tool. There is no support for the back of the lens, so that the aspherical deflection is definitely greater than with lens attachment using putty. The labor saving due to the elimination of kiting is therefore bought with poorer work results.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Aufnahmefutter der eingangs genannten Art so auszubilden, daß der Arbeitsdruck des Werkzeuges so aufgefangen wird, daß asphärische Verbiegungen möglichst vermieden werden.The invention has for its object to provide a chuck of the type mentioned in such a way that the working pressure of the tool is absorbed so that aspheric bending is avoided as far as possible.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß die Linsenstützfläche mindestens zwei Stützzonen aufweist, wobei jeder Stützzone ein eigenes Kanalsystem derart zugeordnet ist, daß der Druck in jeder Stützzone unabhängig von den Drücken in den anderen Stützzonen eingestellt werden kann.This object is achieved according to the invention in that the lens support surface has at least two support zones, each support zone being assigned its own channel system in such a way that the pressure in each support zone can be set independently of the pressures in the other support zones.

Durch die Unterteilung der Linsenstützfläche in verschiedene, voneinander unabhängige Stützzonen, ist es möglich, den Unterstützungsdruck so auf die Linse zu verteilen,daß asphärischen Verbiegungen erfolgreich entgegengewirkt werden kann. Es lassen sich dadurch gleiche oder auch bessere Arbeitsergebnisse erzielen, als dies mit dem Aufkitten der Linsen möglich ist, ohne daß die Nachteile der Kittbefestigung in Kauf genommen werden müssen. Die Möglichkeit, den Abstützdruck zonenweise zu regulieren, ermöglicht auch größere Arbeitsdrücke, wodurch die Bearbeitungszeit wesentlich verringert werden kann. Das erfindungsgemäße Aufnahmefutter eignet sich besonders für die Bearbeitung vom empfindlichen Linsen mit großem Durchmesser-/Dickenverhältnis. Bei Verwendung des erfindungsgemäßen Futters ist das Arbeitsergebnis von Bearbeitung zu Bearbeitung gut reproduzierbar.By dividing the lens support surface into different, independent support zones, it is possible to distribute the support pressure to the lens in such a way that aspherical bending can be successfully counteracted. The same or even better work results can be achieved than is possible with the lenses being cemented on, without the disadvantages of the cementing attachment having to be accepted. The ability to regulate the support pressure zone by zone also allows larger working pressures, which significantly increases the machining time Lich can be reduced. The intake chuck according to the invention is particularly suitable for processing sensitive lenses with a large diameter / thickness ratio. When using the feed according to the invention, the work result is easily reproducible from processing to processing.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Linsenstützfläche durch eine die gesamte Linsenrückseite bedeckende Membrane gebildet (Anspruch 2). Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß zwischen der Linsenrückseite und der Linsenunterstützung eine Abdichtung nicht vorgesehen werden muß, da ja die Regulierung des Unterstützungsdruckes an der von der Linsenrückseite freien Seite der Membrane erfolgt.In a preferred embodiment of the invention, the lens support surface is formed by a membrane covering the entire back of the lens (claim 2). This embodiment has the advantage that a seal does not have to be provided between the back of the lens and the lens support, since the support pressure is regulated on the side of the membrane that is free from the back of the lens.

Vorzugsweise sind die Stützzonen gemäß Anspruch 3 konzentrisch zueinander angeordnet. Diese Anordnung ist bei kreisrunden Linsen mit spärischen Flächen am zweckmäßigsten.Die Stützzonen können jedoch bei speziellen Linsenformen auch abweichend von einer konzentrischen Anordnung angeordnet sein.The support zones are preferably arranged concentrically to one another. This arrangement is most useful for circular lenses with spherical surfaces, but the support zones can also be arranged differently from a concentric arrangement for special lens shapes.

Die Membranedicke kann in den verschiedenen Stützzonen verschieden sein (Anspruch 4), z.B. kann sie in einer inneren Stützzone dicker sein als in einer äußeren Stützzone (Anspruch 5). Dies hat den Vorteil, daß die Membrane weiterhin an bestimmte Unterstützungskräfte in bestimmten Zonen des Werkstückes angepaßt werden kann. Die Biegecharakteristik nämlich ist bei einem gegebenen Werkstoff von der Membranedicke abhängig.The membrane thickness can be different in the different support zones (claim 4), e.g. it can be thicker in an inner support zone than in an outer support zone (claim 5). This has the advantage that the membrane can still be adapted to certain support forces in certain zones of the workpiece. For a given material, the bending characteristic depends on the membrane thickness.

Die Membrane läßt sich besonders günstig befestigen, wenn sie Spannränder gemäß Anspruch 6 aufweist. Durch solche Spannränder entsteht ein formschlüssiger Eingriff der Membrane in andere Teile des Aufnahmefutters, wodurch ein axiales Abwandern der Membrane mit Sicherheit vermieden wird.The membrane can be attached particularly cheaply if it has clamping edges according to claim 6. Such clamping edges result in a form-fitting engagement of the membrane in other parts of the receiving chuck, whereby an axial migration of the membrane is avoided with certainty.

Vorzugsweise hat das Aufnahmefutter einen Zentrierrand, der mit der Umfangsfläche der Linse zusammenwirkt (Anspruch 7). Dadurch erreicht man eine seitliche Fixierung der Linsen, ohne daß diese auf ihrer Unterlage festgesaugt oder festgeklebt sein muß. Wenn der Zentrierrand aus elastischem Material besteht (Anspruch 8), wird der Zentrierdruck über den Linsenumfang verteilt, wodurch sogenannte Ovalpaßfehler vermieden werden.The receiving chuck preferably has a centering edge which interacts with the peripheral surface of the lens (claim 7). This results in a lateral fixation of the lenses without having to be sucked or glued to their base. If the centering edge consists of elastic material (claim 8), the centering pressure is distributed over the circumference of the lens, thereby avoiding so-called oval fitting errors.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung (Anspruch 9) ist der Zentrierring an die Membrane angeformt und bei Druckbeaufschlagung der Membrane aufweitbar. Dadurch erhält man eine Klemmbefestigung. Im aufgeweiteten Zustand läßt sich die Linse bequem einlegen und wird nach Druckabsenkung genau zentriert unter elastischem Andruck des Zentrierrandes.According to a development of the invention (claim 9), the centering ring is integrally formed on the membrane and can be expanded when the membrane is pressurized. This gives you a clamp. In the expanded state, the lens can be inserted comfortably and, after the pressure has been reduced, is centered precisely with elastic pressure on the centering edge.

Die Erfindung ist sowohl anwendbar bei Aufnahmefuttern für nur eine Linse, als auch bei Aufnahmefuttern für die gleichzeitige Aufnahme mehrerer Linsen. Eine vorteilhafte konstruktive Ausführung für Aufnahmefutter für nur eine Linse ist in den Ansprüchen 10 bis 12 angegeben. Eine vorteilhafte Ausführungsform für ein Mehrfach-Aufnahmefutter ist in den Ansprüchen 13 und 14 angegeben.The invention can be used both for intake chucks for only one lens and for intake chucks for the simultaneous intake of several lenses. An advantageous constructive design for feed for only one lens is specified in claims 10 to 12. An advantageous embodiment for a multiple feed is specified in claims 13 and 14.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Es zeigen:

  • Fig. 1 einen diametralen Schnitt durch ein Aufnahmefutter, in dem eine Linse aufgenommen ist, an der eine konkave Fläche zu bearbeiten ist und
  • Fig. 2 einen diametralen Schnitt durch ein Aufnahmefutter, in dem mehrere Linsen befestigt sind, an denen konvexe Flächen zu bearbeiten sind.
Exemplary embodiments of the invention are shown in the drawing. Show it:
  • Fig. 1 shows a diametrical section through a receiving chuck, in which a lens is received, on which a concave surface is to be processed and
  • Fig. 2 shows a diametrical section through a receiving chuck in which several lenses are attached, on which convex surfaces are to be processed.

Das Aufnahmefutter A1 nach Fig. 1 ist rotationssymmetrisch zu seiner Achse 1 ausgebildet. Das Aufnahmefutter hat einen Grundkörper 2, einen Umfassungsring 3, einen Membrane-Haltering 4, eine Membrare5 und eine Membrane-Halteplatte 6. Die Ausbildung und das Zusammenwirken dieser Hauptbestandteile wird nachfolgend im einzelnen beschrieben.The receiving chuck A 1 according to FIG. 1 is rotationally symmetrical to its axis 1. The receiving chuck has a base body 2, a surrounding ring 3, a membrane holding ring 4, a membrane 5 and a membrane holding plate 6. The design and the interaction of these main components is described in detail below.

Der Grundkörper 1 hat einen Schaft 7, mit dem er an einer Feinschleif- und Poliermaschine befestigbar ist. An dem in Fig. 1 oben liegenden Ende hat der Grundkörper 2 eine ebene Endfläche 8. In der Endfläche 8 befinden sich zwei ringförmige Nuten, in denen elastische Dichtungsringe 9 und 10, nämlich sogenannte O-Ringe, untergebracht sind. In dem Bereich zwischen den beiden zueinander konzentrischen Dichtringen 9, 10 münden an der Fläche 8 Kanäle 11, die von einem im Grundkörper befindlichen Sammelraum 12 ausgehen. Im Zentrum des Grundkörpers 7 befindet sich eine Bohrung 13, die in eine Kammer 2a einmündet, die innerhalb des elastischen Dichtringes 9 liegt. In die Bohrung 13, die mit Innengewinde versehen ist, ist ein Körper 14 eingeschraubt, der in seinem Zentrum einen durchgehenden Kanal 15 aufweist.The base body 1 has a shaft 7 with which it can be attached to a fine grinding and polishing machine. At the end in FIG. 1, the base body 2 has a flat end surface 8. In the end surface 8 there are two annular grooves in which elastic sealing rings 9 and 10, namely so-called O-rings, are accommodated. In the area between the two mutually concentric sealing rings 9, 10 8 channels 11 open on the surface, which emanate from a collecting space 12 located in the base body. In the center of the base body 7 there is a bore 13 which opens into a chamber 2a which lies within the elastic sealing ring 9. A body 14 is screwed into the bore 13, which is provided with an internal thread, and has a continuous channel 15 in its center.

Der Membrane-Haltering 4 liegt mit einer ebenen Unterfläche 16 auf der Fläche 8 des Grundkörpers auf und wird gegen die Fläche 8 durch den Umfassungsring 3 angedrückt. Zu diesem Zweck hat der Umfassungsring 3 eine Innenschulter 17, die auf einen ringförmigen Vorsprung 18 des Membrane-Halteringes 4 drückt. Der Umfassungsring 3 ist auf den Grundkörper 2 aufgepreßt. Die Preßsitzflächen befinden sich bei 19.The membrane retaining ring 4 lies with a flat lower surface 16 on the surface 8 of the base body and is pressed against the surface 8 by the surrounding ring 3. For this purpose, the encircling ring 3 has an inner shoulder 17 which presses on an annular projection 18 of the membrane holding ring 4. The surrounding ring 3 is pressed onto the base body 2. The press seats are at 19.

Der Membrane-Haltering 4 hat an seiner Unterfläche 16 eine flache Ringnut 20, die zusammen mit der Fläche 8 einen ringförmigen Kanal bilden, in den die Kanäle 11 einmünden.The membrane retaining ring 4 has on its lower surface 16 a flat annular groove 20 which, together with the surface 8, form an annular channel into which the channels 11 open.

Von der Ringnut 20 gehen Kanäle 21 aus, die an der oberen Endfläche 22 des Membrane-Halteringes münden. Am Membrane-Haltering befindet sich eine äußere Umfangsnut 23, die nach unten hin durch den ringförmigen Vorsprung 18 und nach oben hin durch einen ringförmigen Vorsprung 24 begrenzt ist. Der ringförmige Vorsprung 24 hat einen geringeren Durchmesser als der ringförmige Vorsprung 18.From the annular groove 20 go channels 21 which open on the upper end surface 22 of the membrane retaining ring. There is an outer circumferential groove 23 on the membrane retaining ring, which is bounded at the bottom by the annular projection 18 and at the top by an annular projection 24. The annular projection 24 has a smaller diameter than the annular projection 18.

Die Membrane 5 hat einen Mittelteil 25 von relativ großer Dicke s1 und einen den Mittelteil konzentrisch umgebenden ringförmigen Außenteil 26, von geringerer Dicke s2. Die Vorderseite 27 der Membrane unterstützt die Rückseite 28 der Linse L1 über deren gesamte Ausdehnung. Von der Rückseite der Membrane ragen zwei ringförmige Wände ab, nämlich eine äußere Wand 29 und eine innere Wand 30,die zur äußeren Wand konzentrisch ist. Die radiale Ausdehnung des Membrane-Außenteiles ist durch die Wände 29, 30 eingegrenzt.The membrane 5 has a central part 25 of relatively large thickness s 1 and an annular outer part 26 concentrically surrounding the central part, of smaller thickness s 2 . The front side 27 of the membrane supports the rear side 28 of the lens L 1 over its entire extent. Two annular walls protrude from the back of the membrane, namely an outer wall 29 and an inner wall 30 which is concentric with the outer wall. The radial expansion of the outer membrane part is limited by the walls 29, 30.

Die äußere Wand 29 hat einen Befestigungsrand 31, der in die Umfangsnut 23 des Membrane-Halteringes 4 eingreift. Die äußere Wand 31 ist zwischen der Außenfläche des ringförmigen Vorsprunges 24 und einer inneren zylindrischen Fläche 32 des Umfassungsringes 3 gehalten und dadurch in radialer Richtung fixiert. Die innere Wand 30 der Membrane liegt mit ihrer Außenfläche an einer zylindrischen FlächE 33 des Membrane-Halteringes 4 an. Sie wird gegen diese Fläche durch die Membrane-Halteplatte 6 angedrückt. Diese Halteplatte wird von einem Befestigungsrand 33 untergriffen, die in eine Ausfalzung 34 der Membrane-Halteplatte eingreift.The outer wall 29 has a fastening edge 31 which engages in the circumferential groove 23 of the membrane holding ring 4. The outer wall 31 is held between the outer surface of the annular projection 24 and an inner cylindrical surface 32 of the surrounding ring 3 and is thereby fixed in the radial direction. The outer surface of the inner wall 30 of the membrane lies against a cylindrical surface 33 of the membrane retaining ring 4. It is pressed against this surface by the membrane holding plate 6. This holding plate is gripped by a fastening edge 33 which engages in a fold 34 of the membrane holding plate.

Das Aufnahmefutter A1 wirkt wie folgt. Wenn das Aufnahmefatter in eine Bearbeitungsmaschine eingesetzt ist, ist der Kanal 15 an eine Leitung angeschlossen, über die Luft abge;augt und Luft mit Überdruck zugeführt werden kann. Der Raum 1t ist an eine weitere Leitung angeschlossen, über die Druckluft zugeführt oder Luft abgesaugt werden kann. Die Luftzuführung bzw. Luftabsaugung über den Kanal 15 bzw. den Sammelraum 5 sind unabhängig voneinander. Beim Einlegen einer Linse L1 herrscht an der Unterseite der Membrane 5 Umgebungsdruck. Vor Aufnahme der Bearbeitung und eventuell auch während der Bearbeitung werden unterhalb der Membrane 5 bestimmte Drücke aufgebaut. Hierbei können unter dem Mittelteil 25 und dem Außenteil 26 verschiedene Drücke aufgebaut werden. Die Druckeinstellung unterhalb des Mittelteiles 25 erfolgt über den Kanal 15, in den, je nach Bedarf, Luft mit Überdruck gegenüber der Umgebung eingeleitet wird oder über die Luft abgesaugt und so ein Druck aufgebaut wird, der unterhalb des Umgebungsdruckes liegt. Der Kanal 15 kommuniziert über die Ausnehmung 2a und eine zentrale Bohrung 35 in der Membrane-Halteplatte 6 mit dem Raum 36 unterhalb des Membrane-Mittelteiles, der eine erste Stützzone bildet. Dieser Raum ist luftdicht gegenüber dem Raum 37 unterhalb des Membrane-Außenteiles abgeschlossen, nämlich durch den Dichtring 9 und die Membranewand 30.The feed A 1 works as follows. When the intake fatter is inserted into a processing machine, the duct 15 is connected to a line through which air is drawn out and air with excess pressure can be supplied. The room 1t is connected to another line through which compressed air can be supplied or air can be extracted. The air supply or Air extraction via the duct 15 or the collecting space 5 are independent of one another. When a lens L 1 is inserted, there is ambient pressure on the underside of the membrane 5. Before the start of processing and possibly also during processing, 5 certain pressures are built up below the membrane. In this case, different pressures can be built up under the middle part 25 and the outer part 26. The pressure setting below the middle part 25 takes place via the channel 15, into which, depending on requirements, air with an overpressure relative to the environment is introduced or extracted via the air and a pressure is built up which is below the ambient pressure. The channel 15 communicates via the recess 2a and a central bore 35 in the membrane holding plate 6 with the space 36 below the middle part of the membrane, which forms a first support zone. This space is sealed airtight in relation to the space 37 below the outer membrane part, namely by the sealing ring 9 and the membrane wall 30.

Der Raum 37 kommuniziert über die Kanäle 21, die Ringnut 20 und die Kanäle 11 mit dem Sammelraum 12, so daß über diesen Strömungsweg unterhalb des Membrane-Außenteiles ein Druck aufgebaut werden kann, der unabhängig ist vom Druck unterhalb des Membrane-Mittelteiles 25. Der Membrane-Außenteil 26 bildet also eine zweite Stützzone. Druckverluste in diesem Bereich werden nach außen hin durch den Dichtring 10 verhindert.The space 37 communicates via the channels 21, the annular groove 20 and the channels 11 with the collecting space 12, so that a pressure can be built up via this flow path below the outer membrane part, which is independent of the pressure below the central membrane part 25. Der The outer membrane part 26 thus forms a second support zone. Pressure losses in this area are prevented from the outside by the sealing ring 10.

Die Linse L1 wird innerhalb des Aufnahmefutters A1 durch Anlage ihres äußeren Randes 38 an der zylindrischen Fläche 32 des Umfassungsringes 3 zentriert.The lens L 1 is centered within the receiving chuck A 1 by the contact of its outer edge 38 on the cylindrical surface 32 of the surrounding ring 3.

Durch die Möglichkeit des Einstellens verschiedener Drücke unterhalb des Membrane-Mittelteiles 25 und des Membrane-Außenteiles 26 kann eine asphärische Verbiegung infolge des Arbeitsdruckes weitgehend verhindert werden. Der Arbeitsdruck entsteht durch den Andruck eines in der Zeichnung nicht dargestellten Bearbeitungswerkzeuges, das die Form einer Kugelkalotte hat und an die Linsenfläche 39 angedrückt wird. Zwischen dem Bearbeitungswerkzeug und der Linsenfläche 39 befindet sich eine Schleifpaste.As a result of the possibility of setting different pressures below the diaphragm middle part 25 and the diaphragm outer part 26, an aspherical bending due to the working pressure can be largely prevented. The working pressure arises from the pressure of a processing tool, not shown in the drawing, which has the shape ner spherical cap and is pressed onto the lens surface 39. A grinding paste is located between the processing tool and the lens surface 39.

Das Aufnahmefutter A2nach Fig.2 dient der gleichzeitigen Bearbeitung von mehreren Linsen L21 von denen in Fig. 2 nur ein Exemplar dargestellt ist.The intake chuck A 2 according to FIG. 2 is used for the simultaneous processing of several lenses L 21, of which only one is shown in FIG. 2.

Das Aufnahmefutter A2 hat einen Grundkörper 40, einen Unterstützungskörper 41, einen Umfassungsring 42 und einen kappenartigen Überzug 43, der auf dem Unterstützungskörper 41 aufliegt.The receiving chuck A 2 has a base body 40, a support body 41, a surrounding ring 42 and a cap-like cover 43 which rests on the support body 41.

Der Grundkörper 40 hat einen Schaft 44 für die Halterung des Aufnahmefutters in einer Bearbeitungsmaschine. Im Grundkörper befindet sich ein zentraler Durchbruch 45 für den Durchgriff eines Körpers 46, in dem sich ein Kanal 47 befindet. An der im wesentlichen ebenen Oberseite 48 des Grundkörpers befindet sich eine ringförmige Nut für die Aufnahme einer ringförmigen elastischen Dichtung 49, nämlich eines O-Ringes.The base body 40 has a shaft 44 for holding the receiving chuck in a processing machine. In the base body there is a central opening 45 for the penetration of a body 46 in which a channel 47 is located. On the essentially flat top 48 of the base body there is an annular groove for receiving an annular elastic seal 49, namely an O-ring.

Der Unterstützungskörper 41 liegt mit einer ebenen Unterfläche 50 auf der Fläche 48 des Grundkörpers auf und drückt die Dichtung 49 elastisch zusammen. Im Zentrum des Unterstützungskörpers befindet sich ein Kanal 51, in dessen unteres, mit Innengewinde versehenes Ende der Körper 46 derart eingeschraubt ist, das dessen Kanal 47 mit dem Kanal 51 kommuniziert. Im Unterstützungskörper 51 befinden sich außerdem mehrere Kanäle 52, die von unten innen nach oben außen geneigt sind. Die Kanäle 52 münden mit ihren unteren Enden in den Durchbruch 45 des Grundkörpers 40. Das obere Ende jedes Kanales 52 mündet in eine zylindrische Vertiefung 53 des Unterstützungskörpers 41 ein. Über den Unterstützungskörper 41 können z.B. vier Vertiefungen 53 verteilt sein.The support body 41 lies with a flat lower surface 50 on the surface 48 of the base body and compresses the seal 49 elastically. In the center of the support body there is a channel 51, in the lower, internally threaded end of which the body 46 is screwed in such a way that its channel 47 communicates with the channel 51. In the support body 51 there are also a plurality of channels 52 which are inclined from the bottom inside to the top outside. The lower ends of the channels 52 open into the opening 45 of the base body 40. The upper end of each channel 52 opens into a cylindrical recess 53 of the support body 41. Via the support body 41, e.g. four depressions 53 may be distributed.

Am Unterstützungskörper 41 befindet sich eine Außennut 54 für die Verankerung des Überzuges 43. Der Unterstützungskörper 41 hat unterhalb der Nut 54 einen Befestigungsflansch 55, an dem der Unterstützungskörper 41 gegen den Grundkörper 40 gedrückt wird.There is an external groove 54 on the support body 41 for anchoring the cover 43. The support body 41 has a fastening flange 55 below the groove 54, on which the support body 41 is pressed against the base body 40.

Zur Verbindung der beiden Körper 40, 41 dient der Umfassungsring 43. Dieser hat eine Schulter 56, die auf den Flansch 55 drückt. Der Umfassungsring ist auf eine zylindrische Außenfläche 57 des Grundkörpers 40 aufgepreßt.The surrounding ring 43 is used to connect the two bodies 40, 41. It has a shoulder 56 which presses on the flange 55. The surrounding ring is pressed onto a cylindrical outer surface 57 of the base body 40.

Der Überzug 43 hat einen Befestigungsrand 58, der in die Außennut 54 des Unterstützungskörpers 41 eingreift. Das Herauswandern des Befestigungsrandes 58 aus der Nut 54 wird durch den Umfassungsring 42 verhindert, der mit einer zylindrischen Fläche 59 an einer zylindrischen Fläche 60 des Überzuges 43 anliegt. Der Überzug 43 kann beispielsweise aus Gummi bestehen.The cover 43 has a fastening edge 58 which engages in the outer groove 54 of the support body 41. The mounting rim 58 is prevented from migrating out of the groove 54 by the encircling ring 42, which rests with a cylindrical surface 59 on a cylindrical surface 60 of the cover 43. The cover 43 can be made of rubber, for example.

Der Überzug 43 bildet im Bereich jeder Vertiefung 53 eine Membran 61. Die Membran 61 bildet mit ihrer Oberseite 62 den Boden einer Vertiefung für die Aufnahme einer Linse L2. Die Vertiefung ist weiterhin durch einen schmalen zylindrischen Rand 63 begrenzt, der an dem äußeren zylindrischen Rand 64 der Linse L2 anliegt.The coating 43 forms a membrane 61 in the region of each depression 53. The membrane 61 forms with its upper side 62 the bottom of a depression for receiving a lens L 2 . The depression is further delimited by a narrow cylindrical edge 63 which bears against the outer cylindrical edge 64 of the lens L 2 .

Von der Rückseite 65 jeder Membrane61 ragt eine zylindrische Wand 66 ab, die an die Membran und über die Membrane an den Überzug 43 angeformt ist. Die Außenseite der zylindrischen Wand 57 liegt an der zylindrischen Wand der Vertiefung 53 an.A cylindrical wall 66 protrudes from the rear side 65 of each membrane 61 and is integrally formed on the membrane and, over the membrane, on the covering 43. The outside of the cylindrical wall 57 bears against the cylindrical wall of the depression 53.

Innerhalb der zylindrischen Wand 57 ist eine Membrane-Halteplatte 67 angeordnet, die an ihrem unteren Rand eine Ausfalzung für den Eingriff eines Halterandes 68 aufweist,der sich am unteren Randder zylindrischen Wand 66 befindet. In der Membrane-Halteplatte befindet sich ein zentraler Durchbruch 69, der auf den Kanal 52 ausgerichtet ist. An der Oberseite ist die Membrane-Halteplatte eingesenkt, so daß zwischen der Membrane 61 und dem Membrane-Haltekörper 67 ein Raum 70 verbleibt.A membrane holding plate 67 is arranged within the cylindrical wall 57 and has an off at its lower edge fold for the engagement of a retaining edge 68 which is located at the lower edge of the cylindrical wall 66. There is a central opening 69 in the membrane holding plate, which is aligned with the channel 52. The membrane holding plate is recessed at the top, so that a space 70 remains between the membrane 61 and the membrane holding body 67.

Der kreisförmige Membranebereich 61a innerhalb der zylindrischen Wand 66 bildet eine erste Stützzone. Der ringförmige Membranebereich 61b außerhalb der zylindrischen Wand 66 bildet eine zweite Stützzone. Unter jeder Stützzone kann ein Druck aufgebaut werden, der vom Druck unterhalb der anderen Stützzone unabhängig ist. Die Druckbeaufschlagung der ersten Stützzone 61a erfolgt über den Durchbruch 45 im Grundkörper und die Kanäle 52. Die Druckbeaufschlagung der Stützzonen 61b erfolgt über den Kanal 51. Wie man aus der Zeichnung leicht erkennen kann, kann unter dem gesamten Überzug 43 über diesen Kanal ein bestimmter Druck aufgebaut werden, jedoch nur bis zu den zylindrischen Wänden 66, die eine Kommunikation mit den Räumen 70 verhindern.The circular membrane region 61a within the cylindrical wall 66 forms a first support zone. The annular membrane region 61b outside the cylindrical wall 66 forms a second support zone. A pressure can be built up under each support zone, which is independent of the pressure below the other support zone. The pressurization of the first support zone 61a takes place via the opening 45 in the base body and the channels 52. The pressurization of the support zones 61b takes place via the channel 51 be built up, but only up to the cylindrical walls 66, which prevent communication with the rooms 70.

Das Aufnahmefutter A2 arbeitet wie folgt. Wenn das Aufnahmefutter in eine Bearbeitungsmaschine eingesetzt ist, kommuniziert der Kanal 47 mit einer Leitung, über die Luft zu- und abgeführt werden kann. Der Durchbruch 45 kommuniziert mit einer Leitung, über die ebenfalls Luft zu- und abgeführt werden kann. Die Zu- und Abführung von Luft über die Strömungswege 47 und 45 geschieht über voneinander unabhängige Systeme. Vor dem Einlegen von Linsen L2 stehen die Kanäle 47, 51 unter einem gewissen Überdruck, so daß sich zwischen der Oberfläche des Unterstützungskörpers und dem Überzug 43 ein Luftdruck aufbaut, der größer ist als der Umgebungsdruck. Dadurch werden die zylindrischen Ränder der Linsen-Aufnahmevertiefungen aufgespreizt, so daß sich Linsen leicht einlegen lassen. Nach dem Einlegen der Linsen wird der Druck unterhalb des Überzuges 43 abgesenkt, wobei sich der Überzug wieder an den Unterstützungskörper anlegt.Die Linsen-Aufnahmevertiefungen verengen sich dabei, wobei die Linsen L2 an ihren zylindrischen Rändern 64 festgeklemmt werden. Der Klemmdruck ist elastisch und verteilt sich über den Umfang der Linse, wodurch ein punktförmiger Druck auf den Linsenrand vermieden wird und so Ovalpaßfehler nicht entstehen können.The feed A 2 works as follows. When the feed chuck is inserted into a processing machine, the channel 47 communicates with a line via which air can be supplied and removed. The opening 45 communicates with a line via which air can also be supplied and removed. Air is supplied and removed via flow paths 47 and 45 via independent systems. Before the insertion of lenses L 2 , the channels 47, 51 are under a certain excess pressure, so that an air pressure which is greater than the ambient pressure builds up between the surface of the support body and the coating 43. As a result, the cylindrical edges of the lens receiving recesses are spread out, so that lenses could be inserted easily sen. After inserting the lenses of the pressure is lowered beneath the coating 43 wherein the coating back to the support body anlegt.Die lens receiving recesses constrict it, the lenses L are clamped at their cylindrical edges 64. 2 The clamping pressure is elastic and is distributed over the circumference of the lens, which prevents point pressure on the lens edge and prevents oval fit errors.

Der Druck unter den ersten Unterstützungszonen 61a wird so eingestellt, daß der Arbeitsdruck des Werkzeuges asphärische Paßfehler nicht erzeugen kann. Auch in den äußeren Stützzonen 61b wird ein diesem Zweck dienender Druck aufgebaut, der im allgemeinen verschieden ist vom Druck unterhalb der ersten Stützzonen 61a.The pressure under the first support zones 61a is adjusted so that the working pressure of the tool cannot produce aspherical registration errors. A pressure serving this purpose is also built up in the outer support zones 61b, which pressure is generally different from the pressure below the first support zones 61a.

Das Bearbeitungswerkzeug (in der Zeichnung nicht dargestellt) ist in diesem Fall eine Hohlkugelkalotte, die das gesamte Aufnahmefutter A2 überdeckt und deren Kugelfläche gleichzeitig mit allen Linsen L2' z.B. vier Linsen L2, zusammenwirkt. In der Zeichnung fluchtet die zu bearbeitende Linsenoberfläche 71 mit der Oberfläche 72 des Überzuges 43. Die Linsenflächen 71 können jedoch auch etwas über die Oberfläche 72 des Überzuges 43 überstehen.In this case, the processing tool (not shown in the drawing) is a hollow spherical cap which covers the entire receiving chuck A 2 and whose spherical surface interacts simultaneously with all lenses L 2 ', for example four lenses L 2 . In the drawing, the lens surface 71 to be processed is aligned with the surface 72 of the coating 43. However, the lens surfaces 71 can also protrude somewhat beyond the surface 72 of the coating 43.

Bei der vorstehenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen wurde als strömungsfähiges Medium Luft genannt. Es kommen jedoch auch andere Fluide in Betracht.In the above description of exemplary embodiments, air was mentioned as the fluid medium. However, other fluids can also be used.

Claims (14)

1. Aufnahmefutter für die Aufnahme von optischen Linsen und anderen optischen Bauelementen beim Feinschleifen und Polieren, mit mindestens einer Linsenstützfläche aus elastischem Material und einer Kanalanordnung zur Zuführung bzw. Abführung von Luft oder anderen strömungsfähigen Medien aus dem Bereich der nicht zu bearbeitenden Linsenrückseite, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenstützfläche mindestens zwei Stützzonen (25, 26; 61a, 61b) aufweist, wobei jeder Stützzone (25, 26; 61a, 61b) ein eigenes Kanalsystem (15, 13, 2a, 35, 12, 11, 10, 21; 45, 52, 69, 47, 51) derart zugeordnet ist, daß der Druck in jeder Stützzone (25, 26; 61a, 61b) unabhängig von den Drücken in den anderen Stützzonen eingestellt werden kann.1. Receiving chuck for receiving optical lenses and other optical components during fine grinding and polishing, with at least one lens support surface made of elastic material and a channel arrangement for supplying or discharging air or other flowable media from the area of the lens back that is not to be processed, characterized that the lens support surface has at least two support zones (25, 26; 61a, 61b), each support zone (25, 26; 61a, 61b) having its own channel system (15, 13, 2a, 35, 12, 11, 10, 21; 45, 52, 69, 47, 51) is assigned such that the pressure in each support zone (25, 26; 61a, 61b) can be set independently of the pressures in the other support zones. 2. Aufnahmefutter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenstützfläche durch eine die gesamte Linsenrückseite bedeckende Membrane (5; 61) gebildet ist und daß die von der Linse (L1; L2) freie Membraneseite durch an die Membrane (5; 61) angeformte Wände (30, 32; 66) in Stützzonen (25, 26; 61a, 61b) unterteilt ist.2. receiving chuck according to claim 1, characterized in that the lens support surface is formed by a membrane covering the entire back of the lens (5; 61) and that the membrane side free from the lens (L1; L 2 ) through to the membrane (5; 61) molded walls (30, 32; 66) is divided into support zones (25, 26; 61a, 61b). 3. Aufnahmefutter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützzonen (25, 26; 61a, 61b) konzentrisch zueinander sind, vorzugsweise aus einer inneren kreisförmigen Stützzone (25; 61a) und einer äußeren ringförmigen Stützzone (26; 61b) bestehen.3. feed chuck according to one of the preceding claims, characterized in that the support zones (25, 26; 61a, 61b) are concentric to each other, preferably consist of an inner circular support zone (25; 61a) and an outer annular support zone (26; 61b) . 4. Aufnahmefutter nach einem der Ansprüche 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Membranedicke (s1, s2) in den verschiedenen Stützzonen (25, 26) verschieden ist.4. receiving feed according to one of claims 2 and 3, characterized in that the membrane thickness (s1, s 2 ) in the different support zones (25, 26) is different. 5. Aufnahmefutter nach den Ansprüchen 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der inneren kreisförmigen Stützzone (25) die Membrane (5) dicker ist als im Bereich der äußeren ringförmigen Stützzone (26).5. receiving feed according to claims 4 and 5, characterized in that in the region of the inner circular support zone (25), the membrane (5) is thicker than in the region of the outer annular support zone (26). 6. Aufnahmefutter nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die an die Membrane (5; 61) angeformten Wände (29, 30; 66) Einspannränder (31, 33; 68) aufweisen, die an starren Teilen (18, 6; 67) des Aufnahmefutters (A1; A2) verankert sind.6. receiving chuck according to one of claims 2 to 5, characterized in that the integrally formed on the membrane (5; 61) walls (29, 30; 66) clamping edges (31, 33; 68) which on rigid parts (18, 6; 67) of the feed chuck (A 1 ; A 2 ) are anchored. 7. Aufnahmefutter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Zentrierring (3; 63) für die Anlage des Umfangsrandes (38; 64) der zu bearbeitenden Linsen (L 1; L 2). 7. receiving chuck according to one of the preceding claims, characterized by a centering ring (3; 63) for the contact of the peripheral edge (38; 64) of the lenses to be processed ( L 1 ; L 2 ) . 8. Aufnahmefutter nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Zentrierring (63) aus elastischem Material besteht.8. receiving chuck according to claim 7, characterized in that the centering ring (63) consists of elastic material. 9. Aufnahmefutter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Zentrierring (63) an die Membrane (61) angeformt und bei Druckbeaufschlagung der Membrane aufweitbar ist.9. receiving chuck according to claim 8, characterized in that the centering ring (63) is integrally formed on the membrane (61) and can be expanded when the membrane is pressurized. 10. Aufnahmefutter nach einem der Ansprüche 2 bis 9 für die Aufnahme einer Linse, gekennzeichnet durch einen Grundkörper (2), einen am Grundkörper (2) gehaltenen, z.B. aufgepreßten Umfangsring (3) und einen vom Umfangsring (3) an den Grundkörper (2) angedrückten Membrane-Haltering (4), wobei der Membrane-Haltering (4) mindestens zwei Kammern (36, 37) voneinander trennt und im Grundkörper (2) sowie im Membrane-Haltering (4) Kanäle (13, 11, 21) vorgesehen sind, die in die Kammern (36, 37) einmünden (Fig. 1).10. receiving feed according to one of claims 2 to 9 for receiving a lens, characterized by a base body (2), one on the base body (2) held, e.g. Pressed-on peripheral ring (3) and a membrane retaining ring (4) pressed by the peripheral ring (3) onto the base body (2), the membrane retaining ring (4) separating at least two chambers (36, 37) from one another and in the base body (2) and in the membrane retaining ring (4) channels (13, 11, 21) are provided which open into the chambers (36, 37) (Fig. 1). 11. Aufnahmefutter nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch eine zentrale Membrane-Halteplatte (6), die eine von der Membrane abragende Wand (30) gegen den Membrane-Haltering (4) drückt. -11. Receiving chuck according to claim 10, characterized by a central membrane holding plate (6) which presses a wall (30) projecting from the membrane against the membrane holding ring (4). - 12. Aufnahmefutter nach einem der Ansprüche 10 und 11., dadurch gekennzeichnet, daß eine von der Membrane (61) abragende Wand (29) zwischen dem Membrane-Haltering (4) und dem Umfassungsring (3) gehalten ist.12. Receiving chuck according to one of claims 10 and 11, characterized in that a wall (29) projecting from the membrane (61) is held between the membrane retaining ring (4) and the surrounding ring (3). 13. Aufnahmefutter nach einem der Ansprüche 2 bis 9 für die gleichzeitige Aufnahme mehrerer Linsen, gekennzeichnet durch einen Unterstützungskörper (41), der einen überzug (43) aus elastischem Material aufweist, wobei Teile dieses Überzuges (43) mehrere Membranen (61) für die Unterstützung von Linsen (L2) bilden und im Unterstützungskörper (41) Vertiefungen (53) angeordnet sind, in die von den Membranen (61) abragende Wände (66) eingreifen und wobei mindestens zentrale Stützzonen (61a) jeder Membrane (61) ein eigener Kanal (52) zugeordnet ist (Fig. 2).13. receiving chuck according to one of claims 2 to 9 for the simultaneous recording of several lenses, characterized by a support body (41) having a cover (43) made of elastic material, parts of this cover (43) a plurality of membranes (61) for Form support for lenses (L 2 ) and recesses (53) are arranged in the support body (41), into which walls (66) projecting from the membranes (61) engage, and at least central support zones (61a) of each membrane (61) have their own Channel (52) is assigned (Fig. 2). 14. Aufnahmefutter nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß äußere ringförmige Stützzonen (61b) jeder Membrane (61) untereinander zusammenhängen.14. Receiving food according to claim 13, characterized in that outer annular support zones (61b) of each membrane (61) are interconnected.
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