EP0037007A1 - Method of producing a 4-gates optical coupler - Google Patents

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EP0037007A1
EP0037007A1 EP81101989A EP81101989A EP0037007A1 EP 0037007 A1 EP0037007 A1 EP 0037007A1 EP 81101989 A EP81101989 A EP 81101989A EP 81101989 A EP81101989 A EP 81101989A EP 0037007 A1 EP0037007 A1 EP 0037007A1
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EP
European Patent Office
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fibers
fiber
plate
optical
port coupler
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EP81101989A
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German (de)
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EP0037007B1 (en
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Vaclav Kulich
Herbert Michel
Hans-Hermann Dr. Witte
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/28Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/2804Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
    • G02B6/2821Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using lateral coupling between contiguous fibres to split or combine optical signals
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00Optical: systems and elements
    • Y10S359/90Methods

Definitions

  • the invention relates to a method for producing an optical 4-port coupler with an incoming, a further, a coupling in and a coupling out multimode optical fiber, in which the flat end faces of the four fibers lying with their axes in one plane abut one another with an axis offset and the cross-sectional area of the incoming fibers is smaller than that of the other fibers.
  • the coupling losses are significantly reduced compared to known couplers with four optical fibers of the same thickness.
  • the degree of coupling and decoupling in the 4-port coupler can be set largely independently of one another according to the main patent. Some practical embodiments of this 4-port coupler have also already been specified.
  • the present invention is based on the object of specifying the simplest possible methods for producing a 4-port coupler of the type mentioned at the outset, which are particularly suitable for cost-effective series production except for the degree of coupling or decoupling of identical 4-port couplers.
  • a substrate for example made of glass
  • the stop can consist of a glued-on plate.
  • the fiber end of a thin fiber connects to these two fibers in a guide part.
  • the guide member lifts the thin fiber so far from the substrate surface that the axes of all the fibers lie in one plane. All fibers are fixed in this position, for example by an optical adhesive.
  • the body thus formed is cut across the fiber axes.
  • the two parting surfaces are polished and then joined together again in a staggered manner.
  • one fiber has no optical function in each half.
  • guide trenches for receiving the thin fibers are first produced in a small plate. These guiding grooves can Fotolitho - are made graphically via a suitable mask. The plate is then cut parallel to the guide trenches. In a final step, the parting surfaces are ground down so far that the distance of the center of the guide trenches from the grinding edge corresponds to the radius of the thick fibers. A large number of identical guide parts can be produced by cutting these parts across the guide trenches.
  • the plate for the guide parts can consist of silicon or else of light-sensitive material, for example plastic. To increase the mechanical stability, the plate can rest on a substrate and be firmly connected to it.
  • the method steps specified in the characterizing part of claim 7 represent a further solution to the above-mentioned object for producing an optical 4-port coupler.
  • one or several grooves are initially produced in a plate, the width of which is approximately equal to the diameter of the thick fibers and the depth of which corresponds approximately to twice the diameter of the thick and once to the diameter of the thin fiber.
  • Several thin fibers are first inserted into these grooves and then two thick fibers. By using several thin fibers, it is achieved that at least one thin fiber is aligned as well as possible with the thick fibers, that is to say that the axis of this thin fiber lies approximately in one plane with the axes of the two thick fibers.
  • the fibers are brought into intimate contact via a pressure plate and fixed in this position, for example with an optical adhesive. Then the plate with the fibers cut across the fiber axes, the two end faces polished and then connected again with an offset.
  • the plate in which the grooves for the fibers are produced can be made of glass, for example. It can also be a silicon wafer glued to a substrate. It is also possible for the plate to be made of light-sensitive material and for the grooves to be produced photolithographically.
  • the fiber ends facing away from the two end faces connected with offset are fixed on the substrate in guide grooves at a defined distance.
  • the starting body 1 in FIG. 1 consists of a substrate 2, for example glass, on which a plate 3 or 4 with guide grooves for fixing the optical fibers 5, 6 or 7, 8 are located at both ends at a certain distance.
  • a guide part 9 for receiving the thin optical fiber 6 is glued onto the substrate 2 in the center of the output body 1.
  • a continuous fiber with the fiber ends 5 and 7 and the fiber end 8 are connected to the thin fiber 6 thus fixed.
  • the thick fibers 5, 7 and 8 are pressed against the thin fiber 6 via a stop 10, which also serves as a pressure plate.
  • covers can be applied to the platelets 3 or 4 and to the stop 10 and the two thick fibers 5, 7 and 8.
  • the arrangement is fixed with adhesive and can then be separated along the line II-II.
  • the two cut surfaces are then polished flat and can finally be connected, for example glued, back to the finished 4-port coupler with the desired offset.
  • One fiber in each of the two halves of the coupler has no optical function.
  • FIG. 1 A section along the line II-II is shown to scale in FIG.
  • the three fibers 6 to 8 are fixed in such a way that their axes lie in one plane.
  • FIG. 3 shows a possible way of producing the guide parts 9.
  • a silicon wafer 21 is applied to a substrate 20.
  • Guide trenches 22 for receiving the thin fibers are produced photolithographically in the silicon wafer via a suitable mask.
  • the silicon wafer and the substrate are then cut together along the cutting lines 23, the separating lines, depending on the fiber thickness, being spaced 1 mm from the center of the guide trenches 22.
  • the desired distance from the trench center to an edge is then set by grinding. This distance must - as can be seen in the guide part 9 according to Fig.2 - correspond to the radius of the thick fibers.
  • a round silicon wafer 30 is applied to a substrate, for example glass (not shown in the top view in FIG. 4). Then strips about 5 mm wide are cut out, for example by sawing. These strips are indicated by the dashed lines 31 in FIG. In a common processing step, these strips can be placed on top of one another and ground so that each strip has two parallel, flat side surfaces.
  • a strip 32 is shown by way of example in FIG. 5. The flat side surfaces serve as reference surfaces for a subsequent photolithographic process for producing the guide trenches.
  • the strip 32 is placed with a side face against a stop 33.
  • Two guide trenches 34 for thin fibers are produced photolithographically via a mask (not shown here).
  • these guide trenches are shown schematically only as dashed lines. From the stood the two guide trenches 34 from the respectively adjacent flat side surface corresponds to the radius of the thick fibers.
  • Each strip 32 thus provided with two guide trenches can now be sawn along approximately in its middle. This gives two platelets, in each of which the guide trench is arranged at the desired distance from one side surface. By sawing each plate across the guide trench, a corresponding number of guide parts can be produced for the thin fiber.
  • light-sensitive material can also be used instead of silicon.
  • the starting body is, for example, a glass plate 40 which is glued to a substrate 41.
  • a series of suitably deep grooves 42 are sawn into this glass plate 40 parallel to one another.
  • the depth should correspond twice to the diameter of the thick and once to the diameter of the thin fiber.
  • the width of the groove should be as close as possible to the diameter of the thick fibers.
  • Fig. 7 a detail from Fig. 6 with inserted fibers is shown enlarged to scale.
  • further thin fibers 44, 45 are inserted into the groove 42 of the glass plate 40 so that the thin fiber 43 is aligned as well as possible with the following thick fibers 46 and 47, respectively.
  • the fibers 43 to 47 are brought into intimate contact via a pressure plate 48 and fixed with an adhesive.
  • the white tere process steps for producing the optical 4-port coupler correspond to those already described with reference to FIG. 1.

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Abstract

Zur einfachen Herstellung eines asymmetrischen 4-Tör-Kopplers, bei dem die einkoppelnde Faser dünner ist als die übrigen drei Fasern und bei dem alle Faserachsen in einer Ebene liegen, werden zwei Verfahren angegeben. Bei dem einen wird die dünne Faser (6) in einem Führungsteil (9) gehaltert und mit den dicken Fasern (7,8) auf einem gemeinsamen Substrat (2) angeordnet und fixiert. Nach dem anderen Verfahren werden in einer tiefen Nut (42) mehrere dünne (43-45) und zwei dicke Fasern (46,47) gegeneinandergedrückt. Die Achse einer der dünnen Fasern (43-45) liegt dann in der Ebene der Achsen der dicken Fasern. Der optische 4-Tor-Koppler findet Verwendung in optischen Datenbussen in T-Netzstruktur.Two methods are specified for the simple production of an asymmetrical 4-port coupler, in which the coupling-in fiber is thinner than the other three fibers and in which all fiber axes lie in one plane. In one, the thin fiber (6) is held in a guide part (9) and arranged and fixed with the thick fibers (7, 8) on a common substrate (2). According to the other method, several thin (43-45) and two thick fibers (46, 47) are pressed against one another in a deep groove (42). The axis of one of the thin fibers (43-45) then lies in the plane of the axes of the thick fibers. The optical 4-port coupler is used in optical data buses in a T network structure.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen 4-Tor-Kopplers mit einer ankommenden, einer weiterführenden, einer einkoppelnden und einer auskoppelnden Multimode-Lichtleitfaser, bei dem die planen Stirnflächen der vier mit ihren Achsen in einer Ebene liegenden Fasern achsversetzt aneinanderstoßen und die Querschnittsfläche der einkoppelnden Fasern kleiner ist als die der übrigen Fasern.The invention relates to a method for producing an optical 4-port coupler with an incoming, a further, a coupling in and a coupling out multimode optical fiber, in which the flat end faces of the four fibers lying with their axes in one plane abut one another with an axis offset and the cross-sectional area of the incoming fibers is smaller than that of the other fibers.

Bei dem optischen 4-Tor-Koppler nach dem Hauptpatent sind die Einkoppelverluste gegenüber bekannten Kopplern mit vier gleich dicken Lichtleitfasern wesentlich herabgesetzt. Darüber hinaus läßt sich der Ein- und der Auskoppelgrad bei dem 4-Tor-Koppler nach dem Hauptpatent weitgehend unabhängig voneinander einstellen. Es sind auch bereits einige praktische Ausführungsformen dieses 4-Tor-Kopplers angegeben.With the optical 4-port coupler according to the main patent, the coupling losses are significantly reduced compared to known couplers with four optical fibers of the same thickness. In addition, the degree of coupling and decoupling in the 4-port coupler can be set largely independently of one another according to the main patent. Some practical embodiments of this 4-port coupler have also already been specified.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, möglichst einfache Verfahren zur Herstellung eines 4-Tor-Kopplers der eingangs genannten Art anzugeben, die sich insbesondere für eine kostengünstige Serienproduktion bis auf den Ein- bzw. Auskoppelgrad identischer 4-Tor-Koppler eignen.The present invention is based on the object of specifying the simplest possible methods for producing a 4-port coupler of the type mentioned at the outset, which are particularly suitable for cost-effective series production except for the degree of coupling or decoupling of identical 4-port couplers.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Verfahrensschritte gelöst. Dort wird als Träger für den 4-Tor-Koppler ein Substrat, beispielsweise aus Glas, verwendet, auf dem zunächst gegen einen Anschlag das Faserende einer dicken Faser und eine durchgehende dicke Faser gelegt werden. Der Anschlag kann dabei aus einem aufgeklebten Plättchen bestehen. An diese beiden Fasern schließt sich in einem Führungsteil das Faserende einer dünnen Faser an. Durch das Führungsteil wird die dünne Faser so weit von der Substratoberfläche.abgehoben, daß die Achsen aller Fasern in einer Ebene liegen. Alle Fasern werden in dieser Lage beispielsweise durch einen optischen Kleber fixiert. Der so gebildete Körper wird quer zu den Faserachsen aufgetrennt. Die beiden Trennflächen werden planpoliert und anschließend versetzt wieder miteinander verbunden. Je nach der Größe des eingestellten Versatzes ergibt sich ein unterschiedlicher Ein- bzw. Auskoppelgrad. Bei dem fertigen 4-Tor-Koppler hat in jeder Hälfte eine Faser keine optische Funktion.This object is achieved by the method steps specified in the characterizing part of claim 1. There a substrate, for example made of glass, is used as a carrier for the 4-port coupler. used, on which the fiber end of a thick fiber and a continuous thick fiber are first placed against a stop. The stop can consist of a glued-on plate. The fiber end of a thin fiber connects to these two fibers in a guide part. The guide member lifts the thin fiber so far from the substrate surface that the axes of all the fibers lie in one plane. All fibers are fixed in this position, for example by an optical adhesive. The body thus formed is cut across the fiber axes. The two parting surfaces are polished and then joined together again in a staggered manner. Depending on the size of the set offset, there is a different degree of coupling and decoupling. In the finished 4-port coupler, one fiber has no optical function in each half.

In Weiterbildung der Erfindung ist zur gleichzeitigen Herstellung einer.Vielzahl identischer Führungsteile für die dünne Faser vorgesehen, daß zunächst in einem Plättchen Führungsgräben zur Aufnahme der dünnen Fasern erzeugt werden. Diese Führungsgräben können fotolitho- grafisch über eine geeignete Maske hergestellt werden. Anschließend wird das Plättchen parallel zu den Führungsgräben aufgetrennt. In einem letzten Schritt werden die Trennflächen so weit-heruntergeschliffen, daß der Abstand der Mitte der Führungsgräben von der Schleifkante dem Radius der dicken Fasern entspricht. Durch Zerschneiden dieser Teile quer zu den Führungsgräben kann eine Vielzahl identischer Führungsteile erzeugt werden.In a further development of the invention, for the simultaneous production of a plurality of identical guide parts for the thin fiber, it is provided that guide trenches for receiving the thin fibers are first produced in a small plate. These guiding grooves can Fotolitho - are made graphically via a suitable mask. The plate is then cut parallel to the guide trenches. In a final step, the parting surfaces are ground down so far that the distance of the center of the guide trenches from the grinding edge corresponds to the radius of the thick fibers. A large number of identical guide parts can be produced by cutting these parts across the guide trenches.

Zur Herstellung identischer Führungsteile ist es ebenso vorteilhaft, aus einem Plättchen zunächst einige Millimeter breite Streifen herauszuschneiden und die Schnittflächen plan zu schleifen. Der Schleifvorgang kann dabei für alle Streifen gemeinsam vorgenommen werden. Die so erzeugten Kanten dienen als Bezugskanten für einen nachfolgenden fotolithografischen Prozeß. Ein Streifen wird an eine Anschlagkante gelegt, dann werden über eine Maske ein oder zwei Führungsgräben für dünne Fasern in dem gewünschten Abstand von der Kante erzeugt. Die Streifen können anschließend wieder quer zu den Führungsgräben aufgetrennt werden und ergeben wiederum eine Vielzahl identischer Führungsteile.To produce identical guide parts, it is also advantageous to first cut strips a few millimeters wide from a small plate and the cut to grind surfaces flat. The grinding process can be carried out for all strips together. The edges produced in this way serve as reference edges for a subsequent photolithographic process. A strip is placed on a stop edge, then one or two guide trenches for thin fibers are created at the desired distance from the edge using a mask. The strips can then be cut open transversely to the guide trenches and in turn result in a large number of identical guide parts.

Das Plättchen für die Führungsteile kann aus Silizium oder aber auch aus lichtempfindlichem Material, beispielsweise Kunststoff, bestehen. Zur Erhöhung der mechanischen Stabilität kann das Plättchen auf einem Substrat aufliegen und mit diesem fest verbunden sein.The plate for the guide parts can consist of silicon or else of light-sensitive material, for example plastic. To increase the mechanical stability, the plate can rest on a substrate and be firmly connected to it.

Die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 7 angegebenen Verfahrensschritte stellen eine weitere Lösung der genannten Aufgabe zur Herstellung eines optischen 4-Tor-Kopplers dar. Dazu werden zunächst in einer Platte eine 'oder auch gleichzeitig mehrere Nuten erzeugt, deren Breite annähernd dem Durchmesser der dicken Fasern und deren Tiefe etwa zweimal dem Durchmesser der dicken und einmal dem Durchmesser der dünnen Faser entspricht. In diese Nuten werden zunächst mehrere dünne Fasern'und anschließend zwei dicke Fasern eingelegt. Durch Verwenden mehrerer dünner Fasern wird hierbei erreicht, daß zumindest eine dünne Faser möglichst gut auf die dicken Fasern ausgerichtet ist, d.h. daß die Achse dieser dünnen Faser mit den Achsen der beiden dicken Fasern annähernd in einer Ebene liegt. Die Fasern werden über ein Andrückplättchen auf innigen Kontakt gebracht und in dieser Lage fixiert, beispielsweise mit einem optischen Kleber. Anschließend wird die Platte mit den Fasern quer zu den Faserachsen aufgetrennt, die beiden Stirnflächen planpoliert und anschließend wieder versetzt miteinander verbunden. Die Platte, in der die Nuten für die Fasern erzeugt werden, kann beispielsweise aus Glas bestehen. Es kann sich ebenso um eins auf ein Substrat aufgeklebtes Siliziumplättchen handeln. Weiterhin ist auch möglich, daß die Platte aus lichtempfindlichem Material besteht und die Nuten fotolithografisch erzeugt werden.The method steps specified in the characterizing part of claim 7 represent a further solution to the above-mentioned object for producing an optical 4-port coupler. For this purpose, one or several grooves are initially produced in a plate, the width of which is approximately equal to the diameter of the thick fibers and the depth of which corresponds approximately to twice the diameter of the thick and once to the diameter of the thin fiber. Several thin fibers are first inserted into these grooves and then two thick fibers. By using several thin fibers, it is achieved that at least one thin fiber is aligned as well as possible with the thick fibers, that is to say that the axis of this thin fiber lies approximately in one plane with the axes of the two thick fibers. The fibers are brought into intimate contact via a pressure plate and fixed in this position, for example with an optical adhesive. Then the plate with the fibers cut across the fiber axes, the two end faces polished and then connected again with an offset. The plate in which the grooves for the fibers are produced can be made of glass, for example. It can also be a silicon wafer glued to a substrate. It is also possible for the plate to be made of light-sensitive material and for the grooves to be produced photolithographically.

In einer vorteilhaften Weiterbildung des erfindungsgemä-Ben Verfahrens ist vorgesehen, daß die den beiden mit Versatz verbundenen Stirnflächen abgewandten.Faserenden auf dem Substrat in Führungsnuten in definiertem Abstand fixiert sind. Durch Auftrennen der Platte parallel zu den Nuten für die Fasern ergibt sich wiederum eine Vielzahl identischer 4-Tor-Koppler, die mechanisch stabil sind und bei denen an die freien Stirnflächen der im Koppler optisch wirksamen Fasern in bekannter Art die Systemfasern angeflanscht werden können.In an advantageous development of the method according to the invention, it is provided that the fiber ends facing away from the two end faces connected with offset are fixed on the substrate in guide grooves at a defined distance. By opening the plate parallel to the grooves for the fibers, a large number of identical 4-port couplers are obtained, which are mechanically stable and in which the system fibers can be flanged to the free end faces of the optically active fibers in a known manner.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der in sieben Figuten dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und erläutert. Gleiche Teile sind in allen,Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen.The invention is described and explained in more detail below with reference to the exemplary embodiments shown in seven figures. The same parts are provided with the same reference symbols in all the figures.

Dabei zeigt

  • Fig.1 in Draufsicht einen Ausgangskörper mit eingelegten Lichtleitfasern;
  • Fig.2 in Seitenansicht einen Schnitt entlang der Linie II-II der Fig.1;
  • Fig.3 bis 5 zeigen unterschiedliche Wege, wie die Führungs-teile für die dünnen Fasern hergestellt werden können;
  • Fig.6 zeigt in perspektivischer Darstellung eine andere Form eines Ausgangskörpers für den 4-Tor-Koppler;
  • Fig.7 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt aus dem Körper nach Fig.6 mit eingelegten Lichtleitfasern.
It shows
  • 1 shows a plan view of an output body with inserted optical fibers;
  • 2 shows a side view of a section along the line II-II of FIG. 1;
  • Fig. 3 to 5 show different ways how the guide parts for the thin fibers can be made;
  • 6 shows a perspective view of another form of an output body for the 4-port coupler;
  • 7 shows an enlarged section of the body according to FIG. 6 with inserted optical fibers.

Der Ausgangskörper 1 in der Fig.1 besteht aus einem Substrat 2, beispielsweise Glas, auf dem sich an beiden Enden je ein Plättchen 3 bzw. 4 mit Führungsnuten zur Fixierung der Lichtleitfasern 5, 6 bzw. 7, 8 in einem bestimmten Abstand befinden. In der Mitte des Ausgangskörpers 1 ist ein Führungsteil 9 zur Aufnahme der dünnen Lichtleitfaser 6 auf das Substrat 2 aufgeklebt. An die so fixierte dünne Faser 6 schließen sich eine durchgehende Faser mit den Faserenden 5 bzw. 7 und das Faserende 8 an. Über einen Anschlag 10, der gleichzeitig als Andrückplättchen dient, werden die dicken Fasern 5, 7 bzw. 8 an die dünne Faser 6 herangedrückt. Zur vollständigen Fixierung der Fasern können auf die Plättchen 3 bzw. 4 und auf den Anschlag 10 und die beiden dicken Fasern 5, 7 und 8 Deckel aufgebracht werden. Die Anordnung wird mit Kleber fixiert und kann anschließend entlang der Linie II-II aufgetrennt werden. Die beiden Schnittflächen werden anschließend planpoliert und können schließlich mit dem gewünschten Versatz gegeneinänder wieder zu dem fertigen 4-Tor-Koppler verbunden, beispielsweise verklebt, werden. In den beiden Hälften des Kopplers hat je eine Faser keine optische Funktion.The starting body 1 in FIG. 1 consists of a substrate 2, for example glass, on which a plate 3 or 4 with guide grooves for fixing the optical fibers 5, 6 or 7, 8 are located at both ends at a certain distance. A guide part 9 for receiving the thin optical fiber 6 is glued onto the substrate 2 in the center of the output body 1. A continuous fiber with the fiber ends 5 and 7 and the fiber end 8 are connected to the thin fiber 6 thus fixed. The thick fibers 5, 7 and 8 are pressed against the thin fiber 6 via a stop 10, which also serves as a pressure plate. To completely fix the fibers, covers can be applied to the platelets 3 or 4 and to the stop 10 and the two thick fibers 5, 7 and 8. The arrangement is fixed with adhesive and can then be separated along the line II-II. The two cut surfaces are then polished flat and can finally be connected, for example glued, back to the finished 4-port coupler with the desired offset. One fiber in each of the two halves of the coupler has no optical function.

In der Fig.2 ist unmaßstäblich ein Schnitt entlang der Linie II-II dargestellt. Wie man aus dieser Figur deutlich ersehen kann, sind durch Verwenden des Führungsteiles 9 sowie den Anschlag 10 und den Deckel 11 die drei Fasern 6 bis 8 derart fixiert, daß ihre Achsen in einer Ebene liegen.A section along the line II-II is shown to scale in FIG. As can be clearly seen from this figure, by using the guide part 9 and the stop 10 and the cover 11, the three fibers 6 to 8 are fixed in such a way that their axes lie in one plane.

Fig.3 zeigt eine mögliche Herstellungsart der Führungsteile 9. Zunächst ist auf einem Substrat 20 ein Siliziumplättchen 21 aufgebracht. Fotolithografisch werden in das Siliziumplättchen über eine geeignete Maske Führungsgräben 22 zur Aufnahme der dünnen Fasern hergestellt. Anschließend werden das Siliziumplättchen und das Substrat gemeinsam entlang den Schnittlinien 23 aufgetrennt, wobei die Trennlinien je nach Faserdicke grö-Benordnungsmäßig 1 mm vom Zentrum der Führungsgräben 22 entfernt sein sollten. Anschließend wird durch Schleifen der gewünschte Abstand vom Grabenzentrum zu einer Kante eingestellt. Dieser Abstand muß - wie bei dem Führungsteil 9 nach der Fig.2 ersichtlich ist - dem Radius der dicken Fasern entsprechen.3 shows a possible way of producing the guide parts 9. First, a silicon wafer 21 is applied to a substrate 20. Guide trenches 22 for receiving the thin fibers are produced photolithographically in the silicon wafer via a suitable mask. The silicon wafer and the substrate are then cut together along the cutting lines 23, the separating lines, depending on the fiber thickness, being spaced 1 mm from the center of the guide trenches 22. The desired distance from the trench center to an edge is then set by grinding. This distance must - as can be seen in the guide part 9 according to Fig.2 - correspond to the radius of the thick fibers.

Im Hinblick auf eine Serienfertigung dieser Führungsteile kann man auch nach einem etwas abgewandelten Verfahren vorgehen: Eine runde Siliziumscheibe 30 wird auf einem Substrat, z.B. Glas (in der Draufsicht der Fig.4 nicht dargestellt), aufgebracht. Dann werden daraus etwa 5 mm breite Streifen herausgeschnitten, beispielsweise durch Sägen. In der Fig.4 sind diese Streifen durch die gestrichelten Linien 31 angedeutet. In einem gemeinsamen Bearbeitungsschritt können diese Streifen übereinandergelegt und geschliffen werden, so daß jeder Streifen zwei parallele plane Seitenflächen besitzt. Ein solcher Streifen 32 ist beispielhaft in Fig.5 dargestellt. Die planen Seitenflächen dienen als Bezugsflächen für einen nachfolgenden fotolithografischen Prozeß zum Erzeugen der Führungsgräben. Der Streifen 32 ist dazu mit einer Seitenfläche an einen Anschlag 33 gelegt. Über eine hier nicht dargestellte Maske werden fotolithografisch zwei Führungsgräben 34 für dünne Fasern erzeugt. In der Fig.5 sind diese Führungsgräben schematisch nur als gestrichelte Linien dargestellt. Der Abstand der beiden Führungsgräben 34 von der jeweils benachbarten planen Seitenfläche entspricht dem Radius der dicken Fasern.With regard to series production of these guide parts, one can also proceed according to a somewhat modified method: a round silicon wafer 30 is applied to a substrate, for example glass (not shown in the top view in FIG. 4). Then strips about 5 mm wide are cut out, for example by sawing. These strips are indicated by the dashed lines 31 in FIG. In a common processing step, these strips can be placed on top of one another and ground so that each strip has two parallel, flat side surfaces. Such a strip 32 is shown by way of example in FIG. 5. The flat side surfaces serve as reference surfaces for a subsequent photolithographic process for producing the guide trenches. The strip 32 is placed with a side face against a stop 33. Two guide trenches 34 for thin fibers are produced photolithographically via a mask (not shown here). In Figure 5, these guide trenches are shown schematically only as dashed lines. From the stood the two guide trenches 34 from the respectively adjacent flat side surface corresponds to the radius of the thick fibers.

Jeder so mit zwei Führungsgräben versehene Streifen 32 kann nun entlang ungefähr in seiner Mitte aufgesägt werden. Man erhält dadurch zwei Plättchen, bei denen jeweils der Führungsgraben um den gewünschten Abstand von einer Seitenfläche angeordnet ist. Durch Zersägen jedes Plättchens quer zum Führungsgraben lassen sich entsprechend viele Führungsteile für die dünne Faser erzeugen. Abweichend von den gemäß der Fig.3 bis 5 hergestellten Führungsteilen kann anstelle des Siliziums auch Iichtempfindliches Material verwendet werden.Each strip 32 thus provided with two guide trenches can now be sawn along approximately in its middle. This gives two platelets, in each of which the guide trench is arranged at the desired distance from one side surface. By sawing each plate across the guide trench, a corresponding number of guide parts can be produced for the thin fiber. In a departure from the guide parts produced according to FIGS. 3 to 5, light-sensitive material can also be used instead of silicon.

Anhand der Fig.6 und 7 wird ein anderes Verfahren zur einfachen Herstellung des erfindungsgemäßen 4-Tor-Kopplers beschrieben. Ausgangskörper ist dabei beispielsweise eine Glasplatte 40, die auf ein Substrat 41 aufgeklebt ist. In diese Glasplatte 40 werden parallel zueinander eine Reihe geeignet tiefer Nuten 42 gesägt. Die Tiefe sollte dabei zweimal dem Durchmesser der dikken und einmal dem Durchmesser der dünnen Faser entsprechen. Die Nutenbreite soll möglichst gleich dem Durchmesser der dicken Fasern sein.Another method for simple manufacture of the 4-port coupler according to the invention is described with reference to FIGS. 6 and 7. The starting body is, for example, a glass plate 40 which is glued to a substrate 41. A series of suitably deep grooves 42 are sawn into this glass plate 40 parallel to one another. The depth should correspond twice to the diameter of the thick and once to the diameter of the thin fiber. The width of the groove should be as close as possible to the diameter of the thick fibers.

In Fig.7 ist unmaßstäblich vergrößert ein Ausschnitt aus Fig.6 mit eingelegten Fasern dargestellt. In die Nut 42 der Glasplatte 40 werden zusätzlich zu derjenigen dünnen Faser 43, die als Einkoppelfaser verwendet wird, weitere dünne Fasern 44, 45 eingelegt, damit die dünne Faser 43 möglichst gut auf die folgenden dicken Fasern 46 bzw. 47 ausgerichtet ist. Die Fasern 43 bis 47 werden über ein Andrückplättchen 48 auf innigen Kontakt gebracht und über einen Kleber fixiert. Die weiteren Verfahrensschritte zur Herstellung des optischen 4-Tor-Kopplers entsprechen den bereits anhand der Fig.1 beschriebenen.In Fig. 7, a detail from Fig. 6 with inserted fibers is shown enlarged to scale. In addition to the thin fiber 43 that is used as the coupling fiber, further thin fibers 44, 45 are inserted into the groove 42 of the glass plate 40 so that the thin fiber 43 is aligned as well as possible with the following thick fibers 46 and 47, respectively. The fibers 43 to 47 are brought into intimate contact via a pressure plate 48 and fixed with an adhesive. The white tere process steps for producing the optical 4-port coupler correspond to those already described with reference to FIG. 1.

Claims (21)

1. Verfahren zur Herstellung eines optischen 4-Tor-Kopplers mit einer ankommenden, einer weiterführenden, einer einkoppelnden und einer auskoppelnden Multimode-Lichtleitfaser, bei dem die planen Stirnflächen der vier mit ihren Achsen in einer Ebene liegenden Fasern achsversetzt aneinanderstoßen und die Querschnittsfläche der einkoppelnden Faser kleiner ist als die der übrigen Fasern, nach Patent . ... ... (P 29 38 526.0), dadurch gekennzeichnet , daß auf ein Substrat (2) gegen einen Anschlag (10) ein Faserende (8) und eine durchgehende Faser (5, 7) gleicher Querschnittsfläche gelegt werden, daß an diese Fasern (8 und 5, 7) das Faserende einer Faser (6) kleinerer Querschnittsfläche in einem Führungsteil (9) herangeführt und alle Fasern in dieser Lage fixiert werden, daß der so gebildete Ausgangskörper (1) quer zu den Faserachsen aufgetrennt wird, die beiden Stirnflächen planpoliert und mit dem geforderten Versatz wieder miteinander verbunden werden.1.Method for producing an optical 4-port coupler with an incoming, a further, a coupling and a coupling out multimode optical fiber, in which the flat end faces of the four fibers lying with their axes in one plane abut one another with an axis offset and the cross-sectional area of the coupling in Fiber is smaller than that of the other fibers, according to the patent. ... ... (P 29 38 526.0), characterized in that a fiber end (8) and a continuous fiber (5, 7) of the same cross-sectional area are placed on a substrate (2) against a stop (10) that these fibers (8 and 5, 7) the fiber end of a fiber (6) of smaller cross-sectional area in a guide part (9) and all fibers are fixed in this position so that the starting body (1) thus formed is separated transversely to the fiber axes, which both end faces are polished and reconnected with the required offset. 2. Verfahren zur Herstellung eines Führungsteiles nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß in einem Plättchen (21) Führungsgräben (22) zur Aufnahme der dünnen Fasern erzeugt werden, daß das Plättchen (21) parallel zu den Führungsgräben (22) in einem Abstand von der Mitte dieser Gräben, der etwas größer als der Radius der dicken Fasern ist, aufgetrennt wird und daß durch Schleifen der geforderte Abstand der Mitte der Gräben (22) von der Schleiffläche eingestellt wird.2. A method for producing a guide part according to claim 1, characterized in that in a plate (21) guide trenches (22) for receiving the thin fibers are produced, that the plate (21) parallel to the guide trenches (22) at a distance of the middle of these trenches, which is slightly larger than the radius of the thick fibers, is cut open and that the required distance of the center of the trenches (22) from the grinding surface is set by grinding. 3. Verfahren zur Herstellung eines Führungsteiles nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß aus einem Plättchen (30) einige Millimeter breite Streifen (32) herausgeschnitten und die Schnittflächen plangeschliffen werden, daß ein so gebildeter Streifen (32) gegen eine Anschlagkante (33) gelegt wird, daß über eine Maske fotolithografisch ein oder zwei Führungsgrä- ben (34) für dünne Fasern. erzeugt werden und daß die Streifen anschließend quer zu den Gräben und gegebenenfalls etwa in der Mitte zwischen den Gräben in eine Vielzahl identischer Führungsteile aufgetrennt werden.3. A method for producing a guide part according to claim 1, characterized in that a few millimeters wide strips (32) are cut out of a plate (30) and the cut surfaces are flat be ground so that a strip (32) formed in this way is placed against a stop edge (33) in such a way that one or two guide trenches (34) for thin fibers are photolithographically masked. are generated and that the strips are then cut transversely to the trenches and possibly approximately in the middle between the trenches into a plurality of identical guide parts. 4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch, gekennzeichnet, daß das Plättchen (21, 30) aus Silizium besteht.4. The method according to claim 2 or 3, characterized in that the plate (21, 30) consists of silicon. 5. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Plättchen aus lichtempfindlichem Material besteht. 5 . A method according to claim 2 or 3, characterized in that the plate consists of light-sensitive material. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß das Plättchen (21, 30) auf einem Substrat (20) aufliegt und mit diesem fest verbunden ist.6. The method according to any one of claims 2 to 5, characterized in that the plate (21, 30) rests on a substrate (20) and is fixedly connected thereto. 7. Verfahren zur Herstellung eines optischen 4-Tor-Kopplers mit einer ankommenden, einer weiterführenden, einer einkoppelnden und einer auskoppelnden Multimode-Lichtleitfaser, bei dem die planen Stirnflächen der vier mit ihren Achsen in einer Ebene liegenden Fasern achsversetzt aneinanderstoßen und die Querschnittsfläche der einkoppelnden Faser kleiner ist als die der übrigen Fasern, nach Patent ....... (P 29 38 526.0), dadurch gekennzeichnet , daß in einer Platte (40) mindestens eine Nut (42) erzeugt wird, deren Breite annähernd dem Durchmesser der dicken Fasern und deren Tiefe etwa zweimal dem Durchmesser der dicken und einmal dem Durchmesser der dünnen Fasern entspricht, daß in diese Nut (42) zunächst mehrere dünne Fasern (43 bis 45) und anschließend zwei dicke Fasern (46 und 47) eingelegt und über ein Andrückplättchen (48) auf innigen Kontakt gebracht und in dieser Lage fixiert werden, daß die Platte (40) quer zu den Fasern (43 bis 47) aufgetrennt, die beiden Stirnflächen planpoliert und mit dem geforderten Achsversatz wieder miteinander verbunden werden. 7 . Method for producing an optical 4-port coupler with an incoming, a further, a coupling and a coupling out multimode optical fiber, in which the flat end faces of the four fibers lying with their axes in one plane abut one another with an axis offset and the cross-sectional area of the coupling fiber is smaller is as that of the other fibers, according to patent ....... (P 29 38 526.0), characterized in that at least one groove (42) is produced in a plate (40), the width of which is approximately equal to the diameter of the thick fibers and the depth of which corresponds approximately to twice the diameter of the thick fibers and once to the diameter of the thin fibers, so that several thin fibers (43 to 45) and then two thick fibers (46 and 47) are inserted and brought into intimate contact via a pressure plate (48) and fixed in this position that the plate (40) is cut across the fibers (43 to 47), the both end faces are polished and reconnected with the required axis offset. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß die Platte (40) aus Glas besteht.8. The method according to claim 7, characterized in that the plate (40) consists of glass. 9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß die Platte aus lichtempfindlichem Material besteht und die Nuten fotolithografisch erzeugt werden.9. The method according to claim 7, characterized in that the plate consists of light-sensitive material and the grooves are produced photolithographically. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß die den beiden mit Versatz verbundenen Stirnflächen abgewandten Faserenden auf dem Substrat (2) in Führungsnuten in definiertem Abstand fixiert sind.10. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the fiber ends facing away from the two end faces connected with offset are fixed on the substrate (2) in guide grooves at a defined distance. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß ein Deckel (11) zur vollständigen Fixierung auf die Plättchen (3,4), auf den Anschlag (10) und auf die dicken Fasern (5,7,8) aufgebracht wird.11. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that a cover ( 1 1) for complete fixation on the plate (3,4), on the stop (10) and on the thick fibers (5,7,8 ) is applied. 12. Optischer 4-Tor-Koppler mit einer ankommenden, einer weiterführenden, einer einkoppelnden und einer auskoppelnden Multimode-Lichtleitfaser, bei dem die planen Stirnflächen der vier mit ihren Achsen in einer Ebene liegenden Fasern achsversetzt aneinanderstoßen und die Querschnittsfläche der eirkoppelnden Faser kleiner ist als die der übrigen Fasern, nach Patent ....... (P 29 38 526.0), dadurch gekennzeichnet , daß auf einem Substrat Fasern zusammengepreßt sind, wobei außenliegende dicke Fasern an Anschlägen anliegen und die außenliegende dünne Faser (6) in einem Führungsteil (9) fixiert ist.12.Optical 4-port coupler with an incoming, a further, a coupling in and a coupling out multimode optical fiber, in which the flat end faces of the four fibers lying with their axes in one plane abut one another with an axis and the cross-sectional area of the incoming fiber is smaller than those of the other fibers, according to patent ....... (P 29 38 526.0), characterized in that fibers are pressed together on a substrate, with the outside thick fibers resting against stops and the outside thin fiber (6) in a guide part (9) is fixed. 13. Optischer 4-Tor-Koppler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß das Substrat aus Glas ist.13. Optical 4-port coupler according to claim 12, characterized in that the substrate is made of glass. 14. Optischer 4-Tor-Koppler nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsteil (9) selbst aus einem Substrat (20) und einem mit dem Substrat (20) verbundenen Material (21) mit Führungsgraben (22) besteht. 1 4. Optical 4-port coupler according to claim 12 or 13, characterized in that the guide part (9) itself consists of a substrate (20) and a substrate (20) connected material (21) with guide trench (22) . 15. Optischer 4-Tor-Koppler nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet , daß das Substrat (20) des Führungsteils (9) aus Glas besteht. 15 . Optical 4-port coupler according to one of Claims 12 to 14, characterized in that the substrate (20) of the guide part (9) consists of glass. 16. Optischer 4-Tor-Koppler nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet , daß das mit dem Substrat (20) verbundene Material (21) des Führungsteils (9) aus Silizium oder lichtempfindlichem Material oder lichtempfindlichem Kunststoff besteht.16. Optical 4-port coupler according to one of claims 12 to 15, characterized in that the material (21) connected to the substrate (20) of the guide part (9) consists of silicon or photosensitive material or photosensitive plastic. 17. Optischer 4-Tor-Koppler mit einer ankommenden, einer weiterführenden, einer einkoppelnden und einer auskoppeln- den Multimode-Lichtleitfaser, bei dem die planen Stirnflächen der vier mit ihren Achsen in einer Ebene liegenden Fasern achsversetzt aneinanderstoßen und die Querschnittsfläche der einkoppelnden Faser kleiner ist als die der übrigen Fasern, nach Patent . ... ... (P 29 38 562.0), dadurch gekennzeichnet, daß in plattenförmigem Material (40) Nuten (42) vorhanden sind, wobei dünne und dicke Fasern in diese Nuten (42) eingelegt sind und wobei Andrückplättchen (48) die in den Nuten (42) befindlichen Fasern fixieren.17. Optical 4-port coupler having an incoming, a secondary, one-coupling and a auskoppeln- the multi-mode optical fiber, in which the flat end faces of the four fibers with their axes lying in a plane axially offset abut one another and the cross-sectional area of the einkop p elnden Fiber is smaller than that of the other fibers, according to the patent. ... ... (P 29 38 562.0), characterized in that grooves (42) are present in plate-shaped material (40), thin and thick fibers being inserted into these grooves (42) and pressure plates (48) being the Fix the fibers in the grooves (42). 18. Optischer 4-Tor-koppler nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet , daß das plattenförmige Material (40) aus Glas oder Silizium oder lichtempfindlichen Material oder lichtenpfinälichen hunststoff besteht.18. Optical 4-port coupler according to claim 17, characterized in that the plate-shaped material (40) consists of glass or silicon or light-sensitive material or light-sensitive plastic. 19. Optischer 4-Tor-Koppler nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß das plattenförmige Material (40) mit einem Substratmaterial (41) verbunden ist.19. Optical 4-port coupler according to claim 17 or 18, characterized in that the plate-shaped material (40) is connected to a substrate material (41). 20. Optischer 4-Tor-Koppler nach einem der Ansprüche 12 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die den beiden mit Versatz verbundenen Stirnflächen abgewandten Faserenden in Führungsnuten in definierten Abstand fixiert sind.20. Optical 4-port coupler according to one of claims 12 to 19, characterized in that the fiber ends facing away from the two end faces connected with offset are fixed in guide grooves at a defined distance. 21. Optischer 4-Tor-Koppler nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet , daß ein Deckel (11) zur vollständigen Fixierung auf die dicken Fasern (5,7,8) und auf die Anschläge (10) aufgebracht ist.21. Optical 4-port coupler according to one of claims 12 to 16, characterized in that a cover (11) for complete fixation on the thick fibers (5,7,8) and on the stops (10) is applied.
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