EP0013365A1 - Spacing element in a gas discharge display device - Google Patents

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EP0013365A1
EP0013365A1 EP79105077A EP79105077A EP0013365A1 EP 0013365 A1 EP0013365 A1 EP 0013365A1 EP 79105077 A EP79105077 A EP 79105077A EP 79105077 A EP79105077 A EP 79105077A EP 0013365 A1 EP0013365 A1 EP 0013365A1
Authority
EP
European Patent Office
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glass
perforated plate
foils
holes
fluorescent screen
Prior art date
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Granted
Application number
EP79105077A
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German (de)
French (fr)
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EP0013365B1 (en
Inventor
Wilhelm Huber
Peter Mammach
Kaspar Dr. Rer. Nat. Weingand
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
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Publication of EP0013365A1 publication Critical patent/EP0013365A1/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
    • H01J17/38—Cold-cathode tubes
    • H01J17/48—Cold-cathode tubes with more than one cathode or anode, e.g. sequence-discharge tube, counting tube, dekatron
    • H01J17/49—Display panels, e.g. with crossed electrodes, e.g. making use of direct current

Definitions

  • the invention relates to a spacer in a gas discharge display device, in which glass elements are arranged between a control perforated plate and a luminescent screen.
  • the web thickness between the holes should not, however, exceed 0.1 mm, because on the one hand the holes are sufficiently large, but on the other hand there must be a sufficient number. There must be one hole per pixel (the total number is 625 lines x 1500 columns) and all quivers must be evenly spaced from each other.
  • the entire so-called post-acceleration space between the control perforated plate and the fluorescent screen is filled with a glass body except for the holes provided for the continuous electron paths.
  • the distance can thus be reliably maintained over the entire fluorescent screen area.
  • the relatively narrow holes in the insulator body cause problems with the field distribution.
  • the perforated walls and the glass can become statically charged both from scattered primary electrons and from secondary electrons from the fluorescent screen. Inhomogeneities arise within the electrical field between the control slat and the (post-acceleration) anode lying on the fluorescent screen, which in extreme cases can prevent the electrons from getting to the fluorescent screen. This is all the more so since the acceleration voltages cannot be very high with the flat design and the electrons are therefore low-energy.
  • the present invention has for its object to design the already proposed spacer so that not only the mechanical-geometric function of the spacing but also the electronic requirements are met.
  • Such a gas discharge display combines the advantage of the exact spacing between the control perforated plate and the fluorescent screen with the advantage of reliable electrical electron beam guidance.
  • the electrical field between the control perforated plate and the anode is kept stable by interposing potential areas.
  • a single layer of metal improves the homogeneity of the field.
  • the advantages of film construction come into their own, because such a metal layer can be inserted between each pair of glass films for the potential distribution.
  • etch-resistant metal layers which serve to cover the webs between the holes during the etching of the glass foils, remain on the glass foils, but are at least removed on the glass foil surface adjacent to the control perforated plate.
  • the metal layers are kept at floating potentials.
  • a further improvement with regard to a homogenized potential distribution is achieved if the walls of the glass foil holes are provided with a resistance coating. This is done, for example, by tempering the glass in a suitable metal salt vapor.
  • the glass of the control perforated plate, the glass foils and the fluorescent screen are made of the same material and have at least the same coefficient of thermal expansion. This not only has a favorable effect on the necessary glass-glass connections, ie there are no fears of thermal cracks - but also on the stability of the electrical conditions due to the stability of the geometry. This applies both to a configuration of the spacer, according to which the glass foils are held in the correct position with respect to one another by means of positioning pins, and also to the configuration, according to which the glass foils extend laterally beyond the active image area and serve as a vacuum-sealed connection element between the control perforated plate and the fluorescent screen.
  • the thermal stability also exists if, for example, sunlight on the front causes one-sided heating.
  • the largely coherent and Relatively uniform glass body of the actual image-releasing device part - control perforated plate, spacer and fluorescent screen - ensures a balancing heat conduction in itself.
  • the fluorescent screen of a plasma display is designated by 1 in FIG. 1.
  • a luminescent layer 11 in the form of luminous dots and an anode layer 12 on top of it.
  • Three glass foils 2, 3, 4 and a control perforated plate 5 are stacked on top of each other and there are electrode tracks 13 and 14 for the row and column control are arranged as described in DE-OS 24 12 869.
  • the left half of FIG. 1 shows an embodiment where the glass foils 2, 3, 4 and the control perforated plate 5 are positioned pins 10 are held.
  • the glass foils 2, 3, 4 and the control perforated plate 5 are brought out and fused to the edge with the flange 6 and with the fluorescent screen 1.
  • the flange-shaped thickened edge 6 of the rear part of the plasma display sits on the edge of the control perforated plate 5.
  • the spacer according to the invention lies between the fluorescent screen and the control perforated plate 5. It consists of the three stacked glass foils 2, 3 and 4 and the metallic intermediate layers 7 and 8; at the hole locations of the control perforated plate 5, they have continuous aligned holes. An example of the shape of the holes is shown in FIG. 2.
  • the holes in the control perforated plate 5 and in the glass foils 2, 3, 4 are created by etching.
  • the removal of glass material by etching holes at certain points always requires certain ratios of the size and distance of the holes from one another to the depth, i.e. with through holes to the glass thickness. These conditions determine the inevitable lateral undercut and thus the possible number of holes as well as the mechanical stability of the entire arrangement with regard to the webs remaining between the holes.
  • the side undercut is reduced to an acceptable level.
  • the glass foils 2, 3, 4 are individually etched using the same etching mask as the control perforated plate 5. This ensures that the holes are precisely aligned after assembly.
  • a metal layer resistant to the glass etchant is applied to the glass plate or film to be etched, and a photoresist layer thereon. About the common etching mask the photoresist layer is exposed at the locations to be etched and the metal is removed there with an appropriate etchant. The remaining metal layer covers the glass webs that are to remain.
  • the metal layers can remain on the glass foils 2, 3, 4 with the exception of the metal layer which adjoins the control perforated plate 5. There, the metal layer on the control electrode tracks 14 could cause short circuits or at least field distortions.
  • the metal layers 7, 8 homogenize the potential gradient in the acceleration space. The metal layer remaining on the glass foil 2 and facing the anode layer 12 has no further effect.
  • a hole is shown as an embodiment where the walls in the glass foils 2, 3 and 4 are covered with a resistance layer 9. Local charging of the perforated walls is completely avoided here. The homogeneity of the field has been further improved.

Abstract

A spacer mount for a gas-discharge display device in which glass elements are arranged between a control hole plate and a fluorescent screen carrying image points of luminous material has a plurality of glass plates stacked one atop another between the control hole plate and the fluorescent screen. The glass layers include holes aligned with the holes of the control hole plate and the image points, and at least one metal layer is interposed between at least two of the glass plates and has holes aligned with the holes of the control hole plate.

Description

Die Erfindung betrifft eine Abstandshalterung in einer Gasentladungsanzeigevcrrichung, bei der Glaselemente zwischen einer Steuerlochplatte und einem Leuchtschirm angeordnet sind.The invention relates to a spacer in a gas discharge display device, in which glass elements are arranged between a control perforated plate and a luminescent screen.

Bei einer Gasentladungsanzeigevorrichtung (Plasma-Display) in der Ausführung eines sog. Flachen Bildschirms, wie es beispielsweise in der DE-OS 24 12 869 beschrieben ist, stellt die Abstandshalterung zwischen der Steuerlochplatte und dem Leuchtschirm ein schwieriges Problem dar, weil dieser Abstand über die gesamte Bildschirmfläche mit großer Genauigkeit eingehalten werden muß. Er bestimmt zusammen mit der Größe der Steuerplattenlöcher den Durchgriff der Hochspannungselektrode an der Frontplatte auf die Steuerelektroden und damit die Steilheit der einzelnen Bildpunkte.In the case of a gas discharge display device (plasma display) in the form of a so-called flat screen, as described, for example, in DE-OS 24 12 869, the spacing between the control perforated plate and the luminescent screen is a difficult problem because this distance is greater than that entire screen area must be observed with great accuracy. Together with the size of the control plate holes, it determines the penetration of the high-voltage electrode on the front plate onto the control electrodes and thus the slope of the individual pixels.

Aus der DE-OS 26 15 721 sind Lösungsvorschläge für dieses Problem bekannt. Stützstäbe aus isolierenden Material sorgen für die Abstandshalterung. Es ist auch schon vorgeschlagen worden (Patentanmeldung P 27 50 587), mäanderförmige Glasstreifen oder einen wabenförmigen Glaskörper als Abstandsstücke zwischen Steuerlochplatte und Leuchtschirm vorzusehen.Proposed solutions to this problem are known from DE-OS 26 15 721. Support rods made of insulating material ensure the spacing. It has also already been proposed (patent application P 27 50 587) to provide meandering glass strips or a honeycomb-shaped glass body as spacers between the perforated control plate and the fluorescent screen.

Ein weiterer Vorschlag (Patentanmeldung P 28 02 976.7) geht von einem vorteilhaften Herstellverfahren für Lochplatten aus und sieht mehrere aufeinanderliegende dünne gelochte Glasplatten vor. Die Löcher werden durch Ätzen hergestellt. Damit die unvermeidlichen seitlichen Unterätzungen gering bleiben, werden die dünnen Glasplatten einzeln geätzt d.h. es wird dafür gesorgt, daß der einzelne Ätzvorgang nur eine geringe Tiefe schaffen muß. Die dabei entstehende seitliche Urter- ätzung ist zwar für die einzelne Tiefenätzung relativ groß, nicht jedoch in Bezug auf die gesamge Tiefe der übereinanderliegenden Löcher. Dies ist angesichts der hohen Toleranzanforderungen von großem Vorteil. Beispielsweise ist der einzuhaltende Anstand in der Größenordnung von 1 mm und damit ebensogroß auch die Stärke der Abstandshalterung und die Tiefe der Löcher darin. Die Stegstärke zwischen den Löchern soll aber 0,1 mm nicht überschreiten, weil die Löcher einerseits ausreichend groß, andererseits aber in genügender Zahl vorhanden sein müssen. Pro Bildpunkt (die Gesamtzahl ergibt sich aus 625 Zeilen x 1500 Spalten) muß ein Loch vorhanden sein, und alle Köcher müssen gleichmäßig voneinander distanziertsein.Another proposal (patent application P 28 02 976.7) is based on an advantageous production process for perforated plates and provides for several thin perforated glass plates lying one on top of the other. The holes are made by etching. The thin glass plates are etched individually so that the unavoidable side undercuts remain low. it is ensured that the individual etching process only has to create a small depth. The resulting lateral etch is relatively large for the individual deep etch, but not in relation to the total depth of the holes one above the other. In view of the high tolerance requirements, this is a great advantage. For example, the distance to be observed is of the order of magnitude of 1 mm and therefore also the thickness of the spacer and the depth of the holes in it. The web thickness between the holes should not, however, exceed 0.1 mm, because on the one hand the holes are sufficiently large, but on the other hand there must be a sufficient number. There must be one hole per pixel (the total number is 625 lines x 1500 columns) and all quivers must be evenly spaced from each other.

Nach diesem beschriebenen Vorschlag ist bis auf die für die durchgehenden Elektronenbahnen vorgesehenen Löcher der gesamte sog. Nachbeschleunigungsraum zwischen der Steuerlochplatte und dem Leuchtschirm von einem Glaskörper ausgefüllt. Der Abstand kann damit zuverlässig über die gesamte Leuchtschirmfläche eingehalten werden. Durch die verhältnismäßig engen Löcher in dem Isolatorkörper entstehen jedoch Probleme hinsichtlich der Feldverteilung. Die Lochwände und das Glas können sich sowohl durch gestreute Primärelektronen als auch durch Sekundärelektronen vom Leuchtschirm her statisch aufladen. Es entstehen Inhomogenitäten innerhalb des elektrischen Feldes zwischen der Steusrlochnlatte und der auf dem Leuchtschirm liegenden (Nachbeschleunigungs-) Anode, die im Extremfall das Durchkommen der Elektronen zum Leuchtschirm verhindern können. Dies umsomehr, als bei der flachen Bauweise die Beschleunigungsspannungen nicht sehr hoch sein können und die Elektronen deswegen niederenergetisch sind.According to this proposal, the entire so-called post-acceleration space between the control perforated plate and the fluorescent screen is filled with a glass body except for the holes provided for the continuous electron paths. The distance can thus be reliably maintained over the entire fluorescent screen area. However, the relatively narrow holes in the insulator body cause problems with the field distribution. The perforated walls and the glass can become statically charged both from scattered primary electrons and from secondary electrons from the fluorescent screen. Inhomogeneities arise within the electrical field between the control slat and the (post-acceleration) anode lying on the fluorescent screen, which in extreme cases can prevent the electrons from getting to the fluorescent screen. This is all the more so since the acceleration voltages cannot be very high with the flat design and the electrons are therefore low-energy.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bereits vorgeschlagene Abstandshalterung so zu gestalten, daß nicht nur die mechanisch-geometrische Funktion des Abstandhaltens sondern auch die elektronischen Anforderungen erfüllt werden.The present invention has for its object to design the already proposed spacer so that not only the mechanical-geometric function of the spacing but also the electronic requirements are met.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird bei. einer Abstandshalterung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgeschlagen:

  • a) mehrere Glasfolien liegen aufeinandergestapelt zwischen der Steuerlochplatte und dem Leuchtschirm und füllen den gesamten Zwischenraum aus;
  • b) die Glasfolien sind mit demselben Lochraster wie die Steuerlochplatte gelocht; die Löcher kommen fluchtend so aufeinander zu liegen, daß durchgehende Wege zu den einzelnen Bildpunkten des Leuchtschirms entstehen;
  • c) mindestens zwischen zwei aufeinanderliegenden Glasfolien befindet sich eine Metallschicht.
To solve this problem,. a spacer of the type mentioned in the invention suggested:
  • a) several glass foils are stacked on top of each other between the control perforated plate and the fluorescent screen and fill the entire space;
  • b) the glass foils are perforated with the same hole pattern as the control perforated plate; the holes are aligned so that there are continuous paths to the individual pixels of the luminescent screen;
  • c) there is a metal layer at least between two glass foils lying one on top of the other.

Eine solche Gasentladungsanzeige vereint den Vorteil der exakten Abstandshalterung zwischen Steuerlochplatte und Leuchtschirm mit dem Vorteil einer zuverlässigen elektrischen Elektronenstrahlführung. Das elektrische Feld zwischen Steuerlochplatte und Anode wird durch Zwischenschalten von Potentialflächen stabil gehalten. Schon eine einzige Metallschicht verbessert die Homogenität des Feldes. Bei mehreren kommen die Vorteile des Folienaufbaus voll zur Geltung, weil zwischen jedes Glasfolienpaar eine solche Metallschicht für die Potentialverteilung ei ngesetzt werden kann.Such a gas discharge display combines the advantage of the exact spacing between the control perforated plate and the fluorescent screen with the advantage of reliable electrical electron beam guidance. The electrical field between the control perforated plate and the anode is kept stable by interposing potential areas. A single layer of metal improves the homogeneity of the field. For several, the advantages of film construction come into their own, because such a metal layer can be inserted between each pair of glass films for the potential distribution.

Vorteilhaft ist insbesondere für den benötigten Fertigungsaufwand, wenn die Metallschichten dadurch entstehen, daß ätzresistente Metallschichten, die beim Ätzen der Glasfolien zum Abdecken der Stege zwischen den Löchern dienen, auf den Glasfolien verbleiben, allerdings mindestens auf der an die Steuerlochplatte anliegenden Glasfolienoberfläche entfernt sind.It is particularly advantageous for the manufacturing effort required if the metal layers are created in that etch-resistant metal layers, which serve to cover the webs between the holes during the etching of the glass foils, remain on the glass foils, but are at least removed on the glass foil surface adjacent to the control perforated plate.

Auf diese Weise bedarf es für die Metallschichten keines weiteren Fertigungsschrittes. Die Metallschichten sind auf schwimmenden Potentialen gehalten.In this way, no further manufacturing step is required for the metal layers. The metal layers are kept at floating potentials.

Eine weitere Verbesserung im Hinblick auf eine homogenisierte Potentialverteilung wird erreicht, wenn die Wände der Glasfolienlöcher mit einem Widerstandsbelag versehen werden. Das geschieht beispielsweise durch Tempern des Glases in einem geeigneten Metallsalzdampf.A further improvement with regard to a homogenized potential distribution is achieved if the walls of the glass foil holes are provided with a resistance coating. This is done, for example, by tempering the glass in a suitable metal salt vapor.

Von Vorteil ist, wenn das Glas der Steuerlochplatte, der Glasfolien und des Leuchtschirms aus demselben Material besteht, zumindest denselben thermischen Ausdehnungskoeffizienten hat. Das wirkt sich nicht nur auf die notwendigen Glas-Glas-Verbindungen günstig aus, d.h. thermisch bedingte Rißbildungen sind nicht Zu befürchten - sondern wegen der Stabilität der Geometrie auch auf die Stabilität der elektrischen Verhältnisse. Das gilt sowohl für eine Ausgestaltung der Abstandshalterung, wonach die Glasfolien über Positionierstifte in der richtigen Lage zueinander gehalten werden, als auch für die Ausgestaltung, wonach die Glasfolien seitlich über die aktive Bildfläche hinausreichen und als vakuumdicht verschmolzenes Verbindungselement zwischen der Steuerlochplatte und dem Leuchtschirm dienen. Die thermische Stabilität ist auch dann gegeben, wenn etwa Sonnenlicht auf die Frontseite eine einseitige Erwärmung verursacht. Der in sich weitgehend zusammenhängende und verhältnismäßig einheitliche Glaskörper des eigentlichen bilderzeagenden Vorrichtungsteils - Steuerlochplatte, Abstandshalterung und Leuchtschirm - sorgt in sich für eine ausgleichende Wärmeleitung.It is advantageous if the glass of the control perforated plate, the glass foils and the fluorescent screen are made of the same material and have at least the same coefficient of thermal expansion. This not only has a favorable effect on the necessary glass-glass connections, ie there are no fears of thermal cracks - but also on the stability of the electrical conditions due to the stability of the geometry. This applies both to a configuration of the spacer, according to which the glass foils are held in the correct position with respect to one another by means of positioning pins, and also to the configuration, according to which the glass foils extend laterally beyond the active image area and serve as a vacuum-sealed connection element between the control perforated plate and the fluorescent screen. The thermal stability also exists if, for example, sunlight on the front causes one-sided heating. The largely coherent and Relatively uniform glass body of the actual image-releasing device part - control perforated plate, spacer and fluorescent screen - ensures a balancing heat conduction in itself.

Anhand eines in den Figuren der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels soll die Erfindung näher erläutert werden. Dabei zeigen die

  • Fig. 1 einen Schnitt durch eine eingebaute erfindungsgemäße Abstandshalterung, eingebaut in eine Gas- entladungs anzeige vorrichtung (im folgenden Plasma-Display genannt);
  • Fig. 2 die Draufsicht auf eine der gelochten Glasfolien.
The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment shown in the figures of the drawing. The show
  • 1 shows a section through a built-in spacer according to the invention, installed in a gas discharge display device (hereinafter referred to as plasma display);
  • Fig. 2 is a plan view of one of the perforated glass films.

Mit 1 ist in Fig. 1 der Leuchtschirm eines Plasma-Displays bezeichnet. Darauf bzw. vom Betrachter gesehen dahinter befinden sich eine Leuchschicht 11 in Gestalt von Leuchtpunkten und darauf eine Anodenschicht 12. Darauf liegen aufeinandergestapelt drei Glasfolien 2,3,4 und darauf eine Steuerlochplatte 5. Auf beiden Oberflächenseiten der Steuerlochplatte 5 sind Elektrodenbahnen 13 und 14 für die Zeilen-und Spaltenansteuerung angeordnet, wie dies in der DE-OS 24 12 869 beschrieben ist. Zwischen den Glasfolien 2 und 3 liegt eine Metallschicht 7, zwischen den Glasfolien 3 und 4 eine Metallechicht 8. Die linke Hälfte der Fig. 1 zeigt eine Ausführung, wo die Glasfolien 2,3,4 und die Steuerlochplatte 5 über Positionierstifte 10 gehaltert sind. Nach der Ausführung der rechten Hälfte sind die Glasfolien 2,3,4 und die Steuerlochplatte 5 herausgeführt und am Rand mit dem Flansch 6 und mit dem Leuchtschirm 1 verschmolzen. Auf dem Rand der Steuerlochplatte 5 sitzt der flanschförmig verdickte Rand 6 des hinteren Teils des Plasma-Displays.The fluorescent screen of a plasma display is designated by 1 in FIG. 1. On top of it, or seen by the viewer behind it, there is a luminescent layer 11 in the form of luminous dots and an anode layer 12 on top of it. Three glass foils 2, 3, 4 and a control perforated plate 5 are stacked on top of each other and there are electrode tracks 13 and 14 for the row and column control are arranged as described in DE-OS 24 12 869. Between the glass foils 2 and 3 there is a metal layer 7, between the glass foils 3 and 4 a metal light 8. The left half of FIG. 1 shows an embodiment where the glass foils 2, 3, 4 and the control perforated plate 5 are positioned pins 10 are held. After the execution of the right half, the glass foils 2, 3, 4 and the control perforated plate 5 are brought out and fused to the edge with the flange 6 and with the fluorescent screen 1. The flange-shaped thickened edge 6 of the rear part of the plasma display sits on the edge of the control perforated plate 5.

Das Prinzip sei nur kurz geschildert:

  • Der zwischen Displayrückwand und Steuerlochplatte 5 liegende Raum ist eine Gasentladungskammer mit rückwärtiger Kathode und zeilenweise auf der Steuerlochplatte 5 angeordneten Hilfsanoden 13. Durch Ansteuern der Kathode und einer der Hilfsanoden 13 brennt eine keilförmige Gasentladung. Wird weiterhin eine der auf der vorderen Seite der Steuerlochplatte 5 spaltenweise angeordnete Steuerelektrodenbahn 14 angesteuert, dann werden durch das an dem Kreuzungspunkt der Zeile und Spalte durch die Steuerlochplatte 5 durchgehende Loch Elektronen aus dem Gasentladungsraum in den zwischen der Steuerlochplatte 5 und der Anodenschicht 12liegenden Nachbeschleunigungsraum gezogen und dort durch die Hochspannung der Anodenschicht 12 hoch beschleunigt. Diese Elektronen treffen auf den entsprechenden Bildpunkt in der Leuchtschicht 11 und erzeugen dort einen leuchtenden Fleck, der vom Betrachter als Lichtpunkt auf dem Bildschirm wahrgenommen wird.
The principle is only briefly described:
  • The space between the display rear wall and the control perforated plate 5 is a gas discharge chamber with a rear cathode and auxiliary anodes 13 arranged in rows on the control perforated plate 5. By driving the cathode and one of the auxiliary anodes 13, a wedge-shaped gas discharge burns. If one of the control electrode tracks 14 arranged in columns on the front side of the control perforated plate 5 is also driven, then electrons are drawn from the gas discharge space into the post-acceleration space lying between the control perforated plate 5 and the anode layer 12 through the hole passing through the control perforated plate 5 at the intersection of the row and column and accelerated there by the high voltage of the anode layer 12. These electrons hit the corresponding image point in the luminous layer 11 and generate a luminous spot there, which the viewer perceives as a point of light on the screen.

Zwischen dem Leuchtschirmlund der Steuerlochplatte 5 liegt die erfindungsgemäße Abstandshalterung. Sie besteht aus den drei aufeinandergestapelten Glasfolien 2,3 und 4 und den metallischen Zwischenschichten 7 und 8; an den Lochstellen der Steuerlochplatte 5 haben sie durchgehende fluchtende Löcher. Ein-Beispiel für die Form der Löcher zeigt die Fig. 2.The spacer according to the invention lies between the fluorescent screen and the control perforated plate 5. It consists of the three stacked glass foils 2, 3 and 4 and the metallic intermediate layers 7 and 8; at the hole locations of the control perforated plate 5, they have continuous aligned holes. An example of the shape of the holes is shown in FIG. 2.

Die Löcher in der Steuerlochplatte 5 und in den Glasfolien 2,3,4 entstehen durch Ätzen. Das Entfernen von Glasmaterial durch Ätzen von Löchern an bestimmten Stellen verlangt immer bestimmte Verhältnisse von Größe und Abstand der Löcher voneinander zur Tiefe d.h. bei durchgehenden Löchern zur Glasdicke. Diese Verhältnisse bestimmen die unvermeidliche seitliche Unterätzung und damit die mögliche Zahl der Löcher sowie die mechanische Stabilität der gesamten Anordnung hinsichtlich der zwischen den Löchern verbleibenden Stege. Beim vorliegenden Beispiel von drei aufeinanderliegenden Glasfolien 2,3,4 mit einer Stärke in der Größenordnung der Stärke der Steuerlochplatte 5 von etwa 1/3 mm ist die seitliche Unterätzung auf ein erträgliches Maß reduziert.The holes in the control perforated plate 5 and in the glass foils 2, 3, 4 are created by etching. The removal of glass material by etching holes at certain points always requires certain ratios of the size and distance of the holes from one another to the depth, i.e. with through holes to the glass thickness. These conditions determine the inevitable lateral undercut and thus the possible number of holes as well as the mechanical stability of the entire arrangement with regard to the webs remaining between the holes. In the present example of three superimposed glass foils 2, 3, 4 with a thickness in the order of magnitude of the thickness of the control perforated plate 5 of approximately 1/3 mm, the side undercut is reduced to an acceptable level.

Die Glasfolien 2,3,4 werden einzeln geätzt mit derselben Ätzmaske wie die Steuerlochplatte 5. Dadurch ist nach dem Zusammenbau ein genaues Fluchten der Löcher garantiert. Zuerst wird auf die zu ätzende Glasplatte bzw. -folie eine für das Glasätzmittel resistente Metallschicht aufgebracht, darauf eine Photolackschicht. Über die gemeinsame Ätzmaske wird die Photolackschicht an den zu ätzenden Stellen belichtet und dort das Metall mit einem entsprechenden Ätzmittel entfernt. Die restliche Metallschicht deckt die Glasstege ab, die stehenbleiben sollen. Die Metallschichten können auf den Glasfolien 2,3,4 verbleiben mit Ausnahme der Metallschicht, die an die Steuerlochplatte 5 angrenzt. Dort könnte die Metallschicht an den Steuerelektrodenbahnen 14 Kurzschlüsse oder zumindest Feldverzerrungen hervorrufen. Die Metallschichten 7,8 homogenisieren das Potentialgefälle im Beschleunigungsraum. Die auf der Glasfolie 2 verbleibende und der Anodenschicht 12 zugekehrte Metallschicht hat keine weitere Auswirkung.The glass foils 2, 3, 4 are individually etched using the same etching mask as the control perforated plate 5. This ensures that the holes are precisely aligned after assembly. First, a metal layer resistant to the glass etchant is applied to the glass plate or film to be etched, and a photoresist layer thereon. About the common etching mask the photoresist layer is exposed at the locations to be etched and the metal is removed there with an appropriate etchant. The remaining metal layer covers the glass webs that are to remain. The metal layers can remain on the glass foils 2, 3, 4 with the exception of the metal layer which adjoins the control perforated plate 5. There, the metal layer on the control electrode tracks 14 could cause short circuits or at least field distortions. The metal layers 7, 8 homogenize the potential gradient in the acceleration space. The metal layer remaining on the glass foil 2 and facing the anode layer 12 has no further effect.

Weiter ist als eine Ausgestaltung ein Loch dargestellt, wo die Wände in den Glasfolien 2,3 und 4 mit einer Widerstandsschicht 9 belegt sind. Örtliche Aufladungen der Lochwände sind hier ganz vermieden. Die Homogenität des Feldes ist noch weiter verbessert.Furthermore, a hole is shown as an embodiment where the walls in the glass foils 2, 3 and 4 are covered with a resistance layer 9. Local charging of the perforated walls is completely avoided here. The homogeneity of the field has been further improved.

Claims (6)

1. Abstandshalterung in einer Gasentladungsanzeigevorrichtung, bei der Glaselemente zwischen einer Steuerlochplatte und einem Leuchtschirm angeordnet sind, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: a) mehrere Glasfolien (2,3,4) liegen aufeinandergestapelt zwischen der Steuerlochplatte (5) und dem Leuchtschirm und füllen den gesamten Zwischenraum aus; b) die Glasfolien (2,3,4) sind mit demselben Lochraster wie die Steuerlochplatte (5) gelocht; die Löcher kommen fluchtend so aufeinander zu liegen, daß durchgehende Wege zu den einzelnen Bildpunkten des Leuchtschirms entstehen; c) mindestens zwischen zwei aufeinanderliegenden Glasfolien (2,3,4) befindet sich eine Metallschicht (7 bzw. 8). 1. Spacer in a gas discharge display device, in which glass elements are arranged between a control perforated plate and a fluorescent screen, characterized by the following features: a) several glass foils (2,3,4) are stacked on top of each other between the control perforated plate (5) and the fluorescent screen and fill the entire space; b) the glass foils (2, 3, 4) are perforated with the same hole pattern as the control perforated plate (5); the holes are aligned so that there are continuous paths to the individual pixels of the luminescent screen; c) there is a metal layer (7 or 8) at least between two glass foils (2, 3, 4) lying one on top of the other. 2. Abstandshalterung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgendesmerkmal: die Metallschichten (7,8) entstehen dadurch, daß ätzresistente Metallschichten, die beim Ätzen der Glasfolien (2,3,4) zum Abdecken der Stege zwischen, den Löchern dienen, auf den Glasfolien (2,3,4) verbleiben, allerdings mindestens auf der an die Steuerlochplatte (5) anliegenden Glasiolienoberfläche entfernt sind. 2. Spacer according to claim 1, characterized by the following feature: the metal layers (7, 8) result from the fact that etch-resistant metal layers, which serve to cover the webs between the holes when the glass foils (2, 3, 4) are etched, remain on the glass foils (2, 3, 4), at least are removed on the glass foil surface lying against the control perforated plate (5). 3. Abstandshalterung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Wände der Glasfolienlöcher mit einem Widerstandsbelag (9) versehen sind.3. Spacer according to claim 1 or 2, characterized in that the walls of the glass foil holes are provided with a resistance covering (9). 4. Abstandshalterung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Glasfolien (2,3,4) seitlich über die aktive Bildfläche hinausreichen und als vakuumdicht verschmolzenes Verbindungselement zwischen der Steuerlochplatte (5) und dem Leuchtschirm (1) dienen.4. Spacer according to one of claims 1 to 3, characterized in that the glass foils (2,3,4) extend laterally beyond the active image area and serve as a vacuum-sealed connection element between the control perforated plate (5) and the fluorescent screen (1). 5. Abstandshalterung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Glasfolien (2,3,4) über Positionierstifte (10) in der richtigen Lage zueinander-gehalten werden.5. Spacer according to one of claims 1 to 3, characterized in that the glass foils (2, 3, 4) are held in the correct position relative to one another via positioning pins (10). 6. Abstandshalterung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet , daß das Glas der Steuerlochplatte (5), der Glasfolien (2,3,4) und des Leuchtschirms (1) aus demselben Material besteht, zumindest denselben thermischen Ausdehnungskoeffizienten hat.6. Spacer according to claim 4 or 5, characterized in that the glass of the control perforated plate (5), the glass foils (2,3,4) and the fluorescent screen (1) consists of the same material, has at least the same coefficient of thermal expansion.
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