EA026014B1 - Способ предоставления данных изображения для конструирования изображения области целевого объекта при помощи итеративного процесса - Google Patents

Способ предоставления данных изображения для конструирования изображения области целевого объекта при помощи итеративного процесса Download PDF

Info

Publication number
EA026014B1
EA026014B1 EA201201577A EA201201577A EA026014B1 EA 026014 B1 EA026014 B1 EA 026014B1 EA 201201577 A EA201201577 A EA 201201577A EA 201201577 A EA201201577 A EA 201201577A EA 026014 B1 EA026014 B1 EA 026014B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
radiation
function
probe
diffraction pattern
region
Prior art date
Application number
EA201201577A
Other languages
English (en)
Other versions
EA201201577A1 (ru
Inventor
Эндрю Мейден
Original Assignee
Фейз Фокус Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Фейз Фокус Лимитед filed Critical Фейз Фокус Лимитед
Publication of EA201201577A1 publication Critical patent/EA201201577A1/ru
Publication of EA026014B1 publication Critical patent/EA026014B1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/205—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials using diffraction cameras
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
    • G01T1/2914—Measurement of spatial distribution of radiation
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F18/00—Pattern recognition
    • G06F18/20—Analysing
    • G06F18/21—Design or setup of recognition systems or techniques; Extraction of features in feature space; Blind source separation
    • G06F18/213—Feature extraction, e.g. by transforming the feature space; Summarisation; Mappings, e.g. subspace methods
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
    • G06V10/20—Image preprocessing
    • G06V10/255—Detecting or recognising potential candidate objects based on visual cues, e.g. shapes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Data Mining & Analysis (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Bioinformatics & Computational Biology (AREA)
  • Evolutionary Biology (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)

Abstract

В изобретении предлагается способ использования данных изображения для конструирования изображения области заданного объекта, который включает в себя следующие операции: использование эталонной дифракционной картины эталонного заданного объекта; определение первоначального предположения для функции зонда на основании эталонной дифракционной картины; определение, при помощи итеративного процесса, основанного на первоначальном предположении для функции зонда и на первоначальном предположении для функции объекта, данных изображения для заданного объекта, которые зависят от интенсивности излучения, обнаруженного при помощи по меньшей мере одного устройство обнаружения.

Description

Настоящее изобретение имеет отношение к созданию способа и устройства для получения данных изображения такого типа, которые могут быть использованы для конструирования изображения области заданного объекта. В частности, но не исключительно, настоящее изобретение имеет отношение к способу создания таких данных изображения с применением итеративного процесса, в котором используют неизвестную функцию зонда.
Предпосылки к созданию изобретения
Известны различные типы методов формирования изображения, позволяющие получать пространственную информацию относительно заданного объекта (иногда называемого образцом). Однако часто невозможно непосредственно получить изображение заданного образца при помощи стандартного средства, такого как светлопольная микроскопия. Например, при обычном просвечивающем формировании изображения, объект облучается плоской волной. Волны, рассеянные объектом, повторно интерферируют при помощи линз, чтобы сформировать изображение. В случае формирования изображения очень короткой длиной волны (рентгеновское излучение или электронная эмиссия), эти методы имеют много известных проблем, связанных с аберрациями и нестабильностями, введенными линзами, которые ограничивают разрешающую способность и интерпретируемость результирующего изображения. Типичное достижимое разрешение во много раз превышает теоретический предел. Известны также и другие методы формирования изображения, однако многие из них имеют такие проблемы, как предел разрешающей способности, длительное время сбора данных или необходимость в сложном и дорогом оборудовании.
Во многих случаях возможно получать некоторые свойства образца за счет измерения пути, по которому он рассеивает падающее излучение. Распределение рассеянного излучения на некотором расстоянии от образца известно как дифракционная картина, и если излучение является достаточно когерентным, то можно сформировать изображение образца за счет измерения его дифракционной картины. Один из методов формирования этого изображения называют птихографией. В этом случае заданный образец освещают достаточно когерентным волновым фронтом, известным как 'зонд', интенсивность которого сконцентрирована в локализованной боковой области, где он взаимодействует с образцом. При этом получают набор дифракционных картин, который записывают при помощи одного или нескольких устройств обнаружения, причем каждая картина соответствует различному относительному боковому положению образца и зонда. Эти положения выбирают так, что представляющая интерес область образца будет покрыта множеством перекрывающихся положений зонда. Пример этой методики для формирования изображений с высокой разрешающей способностью раскрыт в публикации \УО 2005/106531, которая включена в данное описание в качестве ссылки. Методику, раскрытую в публикации \УО 2005/106531, специалисты в данной области называют птихографической итеративной методикой (или ΡΙΕ). Эта методика предусматривает подачу падающего излучения от источника излучения на заданный объект; обнаружение, при помощи по меньшей мере одного устройства обнаружения, интенсивности излучения, рассеянного заданным объектом; и получение данных изображения на основании обнаруженной интенсивности, без формирования падающего излучения с высокой разрешающей способностью или без установки в заданное положение с высокой точностью апертуры, расположенной позади заданного объекта, относительно заданного объекта; и использование обнаруженной интенсивности для получения данных изображения, предназначенных для конструирования изображения области заданного объекта. Данные изображения могут быть получены с использованием итеративного способа, с применением подвижной, мягко изменяющейся функции зонда, такой как функция коэффициента пропускания или функция освещенности.
Методика ΡΙΕ является мощным средством восстановления данных изображения, связанных с областью объекта, из измерений набора дифракционных картин. Каждую дифракционную картину формируют за счет освещения объекта известным фронтом волны когерентного излучения, с требованием, чтобы интенсивность фронта волны была сконцентрирована в локализованной боковой области, где она взаимодействует с объектом. Примером такого фронта волны является фронт волны, возбужденный на небольшом расстоянии позади апертуры, когда ее освещают плоской волной, или фокальное пятно, созданное при помощи выпуклой линзы, освещенное плоской волной. Эта методика также применима к сценариям, в которых мишень освещают излучением плоской волны, а апертуру позади заданного объекта используют для выбора освещения, рассеянного областью объекта.
В этом смысле, дифракционная картина представляет собой распределение интенсивности, полученное за счет оптической конфигурации на некотором расстоянии позади объекта, и в плоскости, нормальной к направлению распространения фронта волны освещения. Эту плоскость называют плоскостью измерения, причем измерения, проводимые в этой плоскости, называют как ψκ (и), где и представляет собой соответствующий координатный вектор. Следует иметь в виду, что когда расстояние между плоскостью измерения и плоскостью образца является небольшим, то получают дифракционную картину, которую называют дифракционной картиной поля в ближней зоне. Когда это расстояние является большим, тогда дифракционную картину называют дифракционной картиной поля в дальней зоне.
В птихографии используют несколько дифракционных картин, записанных в плоскости измерения с использованием подходящего записывающего устройства, такого как ПЗС камера и т.п. Боковые положения объекта и локализованный фронт волны освещения являются различными для каждой картины.
- 1 026014
Ограничительным фактором ΡΙΕ является требование, связанное с тем, что, для того, чтобы получить полезные данные изображения, должны быть известны или вычислены характеристики функции зонда (например, функции пропускания, связанной с апертурой после заданного объекта, или функции освещенности, связанной с падающим излучением). Это требует длительной наладки и может приводить к погрешностям, если использованная функция зонда была неточной.
Это ограничение ΡΙΕ может быть снято при помощи методики, раскрытой в публикации νθ 2010/064051, которая включена в данное описание в качестве ссылки. Методика, описанная в публикации νθ 2010/064051, называется птихографической итерационной методикой, или еР1Е. Эта методика начинается с грубой первоначальной оценки волнового фронта зонда и с грубой первоначальной оценки заданного образца. Каждая итерация еР1Е позволяет получать улучшенные оценки зонда и образца. Первоначальная оценка не обязательно должна быть точной. Можно использовать алгоритм для получения изображения, которое дает только грубое первоначальное предположение относительно формы зонд. Однако существует вероятность того, что алгоритм не сможет создавать точное изображение. В некоторых случаях каждая итерация еР1Е будет создавать оценки образца и зонда, которые будет менее точными, чем полученные при предыдущей итерации, при этом говорят, что алгоритм расходится.
Задачей настоящего изобретения является, по меньшей мере, частичное ослабление вышеуказанных проблем.
Птихография применима к формированию изображений, которое производят в режиме работы в отраженном свете (когда луч подсветки отражается от заданного образца) или в режиме работы в проходящем свете (когда луч подсветки проходит через заданный образец.) Следует иметь в виду, что в дальнейшем описании, когда используют термин проходящий и его производные, может быть использован термин отраженный и его производные.
Раскрытие изобретения
В соответствии с настоящим изобретением предлагается способ использования данных изображения для конструирования изображения области заданного объекта, который включает в себя следующие операции: использование эталонной дифракционной картины эталонного заданного объекта; определение первоначального предположения для функции зонда на основании эталонной дифракционной картины; и определение, при помощи итеративного процесса, основанного на первоначальном предположении для функции зонда и на первоначальном предположении для функции объекта, данных изображения для заданного объекта, которые зависят от интенсивности излучения, обнаруженного при помощи по меньшей мере одного устройство обнаружения.
Опорная дифракционная картина может быть основана на интенсивности излучения, обнаруженном при помощи по меньшей мере одного устройства обнаружения.
Излучение, обнаруженное при помощи по меньшей мере одного устройства обнаружения, может быть отраженным от эталонного заданного объекта, или может быть проходящим через эталонный заданный объект.
Первоначальное предположение для функции зонда может быть использовано для определения данных изображения для одного или множества заданных объектов.
Эталонным заданным объектом может быть первый заданный объект, для которого были определены данные изображения.
Эталонным заданным объектом может быть заданный объект, который используют только для проведения калибровки.
Определение первоначального предположения для функции зонда может предусматривать: оценку, на основании эталонной дифракционной картины, мощности излучения, падающей на область зонда эталонного заданного объекта; и выбор первоначального предположения для функции зонда, из условия, чтобы первоначальное предположение для функции зонда имело среднюю интенсивность, равную расчетной средней интенсивности.
Оценка средней интенсивности может предусматривать: осуществление быстрого преобразования Фурье на эталонной дифракционной картине, чтобы получить матрицу комплексных чисел; и суммирование абсолютных значений комплексных чисел, чтобы получить действительное число; при этом выбор первоначального предположения для функции зонда предусматривает: извлечение квадратного корня из действительного числа, чтобы получить действительнозначное число Ν; и выбор первоначального предположения для функции зонда, Р, при этом Р = ΜΝ/К, где М представляет собой матрицу, отображающую область зонда, а К представляет собой нормировочный множитель.
К может быть суммой величин в матрице М.
Может быть произведена оценка области зонда, в которой величины в матрице М равны нулю вне расчетной области зонда и равны 1 внутри расчетной области зонда, а К равно числу величин, равных 1 в матрице М.
В соответствии с другим аспектом настоящего изобретения, предлагается машиночитаемый носитель для хранения данных, содержащий исполняемые компьютером команды, которые, после исполнения компьютером, позволяют осуществлять описанный выше способ.
Варианты осуществления изобретения могут быть применены для улучшения характеристик еР1Е
- 2 026014 методов и систем, за счет уменьшения или исключения вероятности расхождения во время итеративного уточнения функции зонда.
Далее варианты осуществления настоящего изобретения будут описаны в качестве примера со ссылкой на сопроводительные чертежи, на которых аналогичные детали имеют одинаковые позиционные обозначения.
Краткое описание чертежей
На фиг. 1 показано падение излучения на заданный объект.
На фиг. 2 показана функция зонда и образование дифракционной картины с использованием заданного объекта.
На фиг. 3 показан алгоритм восстановления фазы.
На фиг. 4 показана функция зонда и образование дифракционной картины без заданного объекта.
На фиг. 5 показана функция зонда и образование дифракционной картины с использованием объекта калибровки.
На фиг. 6 показано устройство для получения данных изображения, которое может быть использовано для конструирования имеющего высокую разрешающую способность изображения области заданного объекта.
Подробное описание изобретения
На фиг. 1 показано, как диаграмма рассеяния может быть получена и использована для определения данных изображения, соответствующих информации относительно структуры заданного объекта. Следует иметь в виду, что термин заданный объект может относиться к любому образцу или объекту, помещенному в тракт падающего излучения, который вызывает рассеяние этого излучения. Следует иметь в виду, что заданный объект должен быть, по меньшей мере, частично прозрачным для падающего излучения. Заданный объект может иметь или может не иметь одну и ту же периодически повторяющуюся структуру. Альтернативно, заданный объект может быть полностью или частично отражающим, причем в этом случае диаграмму рассеяния измеряют на основании отраженного излучения.
Падающее излучение 10 побуждают падать на заданный объект 11. Следует иметь в виду, что термин излучение здесь следует истолковывать в широком смысле как энергию от источника излучения. Это может быть электромагнитное излучение, в том числе рентгеновское излучение, а также излученные частицы, такие как электроны, и/или это могут быть звуковые волны. Такое излучение может быть представлено при помощи волновой функции ψ(γ). Эта волновая функция содержит действительную часть и мнимую часть, как это известно специалистам в данной области. Эта волновая функция может быть представлена модулем и фазой волновой функции. ψ(γ)* представляет собой комплексно сопряженную матрицу ψ(γ), причем ψ(γ) ψ(γ)* = |ν|/(τ)|2, где ψ(τ)|2 представляет собой интенсивность, которая может быть измерена для волновой функции.
Падающее излучение 10 рассеивается, когда оно проходит через образец 11. Как таковая, волновая функция падающего излучения, которое выходит из образца, будет изменена как по амплитуде, так и по фазе относительно волновой функции падающего излучения на передней стороне образца. Рассеяние, которое происходит, может содержать дифракцию Фурье, преломление и/или дифракцию Френеля, а также любые другие формы рассеяния, в которых характеристики падающего излучения изменены за счет прохождения через образец. Если решетка устройств обнаружения, такая как ПЗС устройство 12 обнаружения, расположена на большом расстоянии от образца, то тогда дифракционная картина будет образована в плоскости 13 дифракции. Будет образована дифракционная картина Фурье, если устройства 12 обнаружения расположены на расстоянии Ό от образца, причем расстояние Ό является достаточно большим для того, чтобы дифракционная картина была эффективно образована от точечного источника. Если плоскость дифракции образована ближе к образцу, за счет расположения устройств обнаружения ближе, то будет образована дифракционная картина Френеля.
Падающее излучение 10 падает на первую поверхность заданного объекта 11. Падающее излучение рассеивается в образце, и проходящее излучение распространяется до плоскости 13 дифракции, где образуется дифракционная картина.
На фиг. 2 показан более детально процесс, происходящий на фиг. 1. Излучение 10 грубо сфокусировано, например, при помощи слабой линзы, так что область первой поверхности заданного объекта будет освещена. Само собой разумеется, что слабой линзой может быть любое подходящее фокусирующее устройство, такое как набор пластин и источник напряжения для пучка электронов или отражательная поверхность для рентгеновских лучей. Слабая фокусировка достаточна для существенного ограничения пучка зондирующего излучения. Поэтому не требуется резко фокусировать излучение, хотя, само собой разумеется, может быть использовано и сильно фокусированное излучение. В данном случае заданный объект создает функцию О(г) объекта, которая отображает изменение фазы и амплитуды в падающей волне в результате прохождения через представляющий интерес объект. Освещающее излучение, падающее на заданный объект, отображает функцию Р(г) зонда, которая формирует функцию освещенности, такую как порожденная каустикой или профилем освещенности, которые образованы при помощи линзы или другого оптического компонента. Р(г) представляет собой комплексное стационарное
- 3 026014 значение этого волнового поля, вычисленное в плоскости объекта. Выходная волновая функция ψ(τ, К) определяет рассеянное излучение, которое выходит после задней поверхности заданного объекта. Когда эта выходная волна распространяется через пространство, она образует дифракционную картину ψ(τι) в плоскости 13 дифракции.
Следует иметь в виду, что вместо слабого (или даже сильного) фокусирования освещения на мишени, может быть использовано несфокусированное излучение с апертурой после мишени. Апертура расположена после заданного объекта для того, чтобы выбрать область мишени для исследования. Апертура образована в маске, так что апертура образует опору. Опора представляет собой область функции, в которой функция не равна нулю. Другими словами, вне опоры функция равна нулю. Вне опоры маска блокирует прохождение излучения. Термин апертура описывает локализованную функцию распространения излучения. Она может быть представлена комплексной переменной в двух измерениях, имеющей значение модуля от 0 до 1. Примером является маска, имеющая физическую область апертуры с переменным коэффициентом пропускания.
Таким образом, падающее излучение падает на переднюю сторону образца и рассеивается образцом, при прохождении излучения. При этом образуется волна О(г) образца, как выходная волновая функция излучения после взаимодействия с объектом. В этом случае О(г) представляет собой двумерную комплексную функцию, так что каждая точка в О(г), где г - двумерная координата, связана с ней комплексным числом. О(г) будет физически отображать выходную волну, которая распространяется от объекта, который освещен плоскостной волной. Например, в случае рассеяния электронов, О(г) будут отображать изменение фазы и амплитуды, введенное в падающую волну в результате прохождения через представляющий интерес объект. Апертура создает функцию Р(г) зонда (или функцию пропускания), которая выбирает часть выходной волновой функции объекта для анализа. Следует иметь в виду, что вместо выбора апертуры, просветная дифракционная решетка или другая такая фильтрующая функция может быть расположена ниже по ходу от функции объекта. Функция Р(г-К) зонда представляет собой функцию передачи апертуры, когда апертура находится в положении К. Функция зонда может быть выражена как комплексная функция, причем ее комплексное значение задано модулем и фазой, которые отображают изменения модуля и фазы, введенные зондом в теоретическую плоскую волну, падающим на нее.
Выходная волновая функция ψ(τ, К) представляет собой выходную волновую функцию излучения, когда оно выходит из апертуры. Эта выходная волна ψ (г, К) образует дифракционную картину ψ(υ) в плоскости дифракции. Здесь г представляет собой векторную координату в вещественном пространстве, а и представляет собой векторную координату в пространстве дифракции.
Следует иметь в виду, что в обоих вариантах осуществления, с образованной апертурой и без апертуры, описанных со ссылкой на фиг. 1 и 2, если плоскость дифракции, в которой обнаружено рассеянное излучение, будет приближена к образцу, то тогда дифракционные картины Френеля будут обнаружены скорее, чем дифракционные картины Фурье. В таком случае функция распространения от выходной волны ψ(τ, К) до дифракционной картины ψ(υ) будет скорее преобразованием Френеля, чем преобразованием Фурье.
На фиг. 3 показан итеративный способ в соответствии с вариантом осуществления настоящего изобретения, который может быть использован для восстановления данных изображения такого типа, которые могут быть использованы для конструирования изображения области объекта из набора дифракционных картин. Показанный итеративный способ 30 начинается с предположения 31 относительно объекта и предположения 32 относительно формы использованной функции зонда. Впоследствии эти первоначальные предположения будут заменены текущими предположениями в итеративном процессе. Первоначальные предположения для функции изображения могут быть случайным распределением или могут быть предварительно вычисленной аппроксимацией, основанной на других измерениях или на предшествующих расчетах. Первоначальное предположение для функции зонда описано далее более подробно. Предположения моделированы в ряде выборочных точек и, таким образом, представлены в виде матриц. Такие матрицы могут храниться в компьютере и могут обрабатываться при помощи компьютера или другого блока обработки данных. Подходящие выборочные точки находятся на равном расстоянии друг от друга и образуют прямоугольную решетку. Оценка функции зонда после к итераций называется Рк(г), а восстановленное изображение после к итераций называется Ок(г). Таким образом, первоначальные предположения для функции зонда и функции объекта будут соответственно Р0(г) и О0(г), где г - соответствующий координатный вектор.
Если текущий вектор смещения, связанный с относительными положениями объекта и функции зонда назвать Кк, то тогда взаимодействие между предполагаемым распределением объекта и функцией зонда может быть смоделировано следующим образом:
ψκ (г, Кк) = Ок(г)Рь(г ™ Кк) ............... I
Это выражение отображает текущий выходной фронт волны. В соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения, итеративный процесс используют для корректировки предположения 33 относительно объекта. Скорректированное предположение 34 относительно функции зонда также вы- 4 026014 числяют итеративно.
Обратимся теперь к рассмотрению корректировки предположения относительно объекта, где первой операцией является определение: выходного фронта ψ(τ, Кк) волны в операции 35. Эту операцию осуществляют с использованием приведенного выше выражения 1. Следующей операцией является распространение выходного фронта волны к плоскости измерения, которую осуществляют с использованием подходящей модели распространения для фронта когерентной волны. Это распространение может быть представлено следующим оператором Т:
Тк(и) = Τ [ψκ (г, Кк)] ..........2
Прямое преобразование Т, проводимое в операции 36, создает распространение фронта ψι,·(ι.ι) волны, где и - эталонные координаты в плоскости измерения. Так как сщсрХи) является комплексным числом, то оно может быть записано следующим образом:
Тк(и) = Ак(и) ехр (/0*(и)) ..........3
Затем этот смоделированный фронт волны необходимо сравнить с измеренной дифракционной картиной. Если предположение относительно объекта является правильным, то тогда выполняется следующее равенство для каждого значения к:
Λ(») = Αθ0 ..........4
Модуль фронта прошедшей выходной волны равен квадратному корню от интенсивности записанной дифракционной картины. Обычно это не выполняется, если предположение относительно объекта некорректно отображает истинный объект в выборочных точках. Для усиления равенства, модуль фронта прошедшей выходной волны заменяют квадратным корнем от интенсивности записанной дифракционной картины, следующим образом:
¥<(«) = ехР(?А («)) ..........5
Таким образом, в операции 37, модуль фронта прошедшей выходной волны заменяют квадратным корнем от интенсивности записанной дифракционной картины.
Скорректированный фронт волны затем распространяется назад в плоскость объекта, с использованием оператора обратного распространения:
^(г,^)=г-'ти)] ..........6
Эта операция 39 обратного распространения позволяет получить форму ψ'ι/Γ, Кк) скорректированной выходной волны. Затем проводят операцию 40 корректировки для получения уточненного предположения Ок+1(г) относительно объекта. Операцию 40 корректировки проводят следующим образом:
(г) - О, (г Иа <ГЛ) ~ П (ГЛ)) ..........7
I Нпах
Эта скорректированная функция, которая названа И1 на фиг. 3, генерирует корректировку предположения Ок+1(г) относительно объекта. Этот параметр управляет скоростью изменения предположения относительно объекта. Его значение должно быть на 0-2 единицы выше значений, которые приводят к нестабильности скорректированного предположения относительно объекта. В соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения, функцию зонда реконструируют во многом аналогично функции объекта. Соответствующую корректировку предположения относительно функции зонда осуществляют одновременно с корректировкой предположения относительно объекта. (Следует иметь в виду, что функцию зонда при необходимости можно корректировать чаще, чем функцию объекта или реже чем функцию объекта). Чтобы это можно было сделать, дополнительная дифракционная картина, применяемая как дифракционная картина калибровки, может быть записана в плоскости измерения, когда заданный объект удален из системы. Эта дифракционная картина калибровки может быть записана до установки заданного объекта на его место или после удаления заданного объекта, после измерения ранее упомянутых дифракционных картин, или же это может быть комбинация дифракционных картин, записанных до и после надлежащей установки заданного объекта. Альтернативно, дифракционная картина калибровки может быть записана в плоскости измерения, когда объект 511 калибровки установлен вместо заданного объекта. И в этом случае дифракционная картина калибровки может быть записана до установки заданного объекта на его место или после удаления заданного объекта, после измерения ранее упомянутых дифракционных картин, или же это может быть комбинация дифракционных картин, записанных до и после надлежащей установки заданного объекта. Объект 511 калибровки представляет собой объект с известной функцией объекта, так что функция зонда может быть получена из измеренной дифракционной картины и функции объекта.
Следует иметь в виду, что собственно дифракционная картина калибровки функции зонда может быть записана в отсутствии заданного объекта. Измерения этой дифракционной картины показаны на фиг. 4. Альтернативная схема измерения показана на фиг. 5, где дифракционную картину калибровки измеряют с использованием объекта 511 калибровки, имеющего известную функцию объекта, вместо
- 5 026014 заданного объекта. Измерение дифракционной картины калибровки обозначено как измерение Ор(и).
В операции 32 выбирают Р0(г) как первоначальное предположение относительно функции зонда, как это описано далее более подробно. Обработку в операции 46 корректировки проводят аналогично описанным детально здесь выше операциям корректировки/обновления, при этом используют следующую функцию И2 корректировки:
Эта функция корректировки позволяет получать текущую оценку для функции зонда. Параметр β управляет скоростью изменения предположения относительно зонда. Его значение должно быть на 0-2 единицы выше значений, которые могут приводить к нестабильности скорректированного предположения относительно зонда. Текущее предположение для функции зонда может быть использовано в операции 35 для генерации фронта выходной волны.
Итеративный способ, альтернативный показанному на фиг. 3, который может быть использован в некоторых вариантах осуществления настоящего изобретения, описан в публикации \УО 2010/064051.
Как уже было указано здесь выше, в некоторых случаях алгоритм не позволяет получать точное изображение за счет своей расходимости. Авторы настоящего изобретения обнаружили, что расходимость возникает тогда, когда интенсивность волнового фронта зонда не введена достаточно точно в ее первоначальную оценку. Если смоделированная (предполагаемая) интенсивность является слишком большой или слишком малой, то каждая итерация еР1Е будут давать оценки образца и зонда, которые являются менее точными, чем полученные из предыдущей итерации, при этом алгоритм расходится.
В соответствии с вариантами осуществления настоящего изобретения, этого расхождения можно избежать или сделать его менее вероятным за счет использования еР1Е с первоначальной оценкой интенсивности зонда, в которой использована эталонная дифракционная картина, измеренная с использованием эталонного образца. Эта дифракционная картина может быть записана аналогично измеренной с использованием заданного образца, причем одна из таких картин может быть использована в некоторых вариантах осуществления как эталонная дифракционная картина. Когда измеряют излучение, отраженное от эталонного образца, предпочтительно, чтобы эталонная дифракционная картина была образована от области образца, которая отражает большую пропорцию интенсивности падающего зонда. Когда измеряют излучение, прошедшее через эталонный образец, предпочтительно, чтобы эталонная дифракционная картина была образована от области образца, которая пропускает большую пропорцию интенсивности падающего зонда. Это гарантирует, что интенсивность эталонной дифракционной картины будет ориентировочно равна интенсивности зонда. Выбор эталонного образца не имеет существенных ограничений, причем, как уже было указано здесь выше, это может быть заданный образец. Альтернативно, когда объект 511 калибровки используют для проведения калибровки дифракционной картины, дифракционная картина калибровки может быть использована как эталонная дифракционная картина.
Измеренную дифракционную картину используют для расчета мощности излучения, падающего на образец в области зонда. Этот расчет мощности затем может быть использован, вместе с приблизительными сведениями относительно области зонда, для вывода средней интенсивности или, альтернативно, средней амплитуды падающего излучения через область зонда. В этом случае термин область зонда используют для обозначения области образца, которая создает измеренную дифракционную картину.
В соответствии с примером этого варианта осуществления, первоначальный зонд образуют за счет осуществления быстрого преобразования Фурье (БПФ) на эталонной дифракционной картине (при этом, например, интенсивность измеряют с использованием эталонного образца). Это позволяет получить матрицу комплексных чисел, абсолютные значения которых затем суммируют, чтобы получить величину, отображающую мощность излучения, падающую на область зонда. Затем извлекают квадратный корень из этой суммы, чтобы получить единственное действительнозначное число Ν, отображающее среднеквадратическую амплитуду излучения, интегрированную по области зонда. Затем проводят оценку области, снаружи от которой истинный зонд падает до низкого уровня интенсивности, чтобы получить грубую форму зонда. Это представлено в компьютере при помощи матрицы М, значения которой равны нулю (0), когда полагают, что зонд находится ниже пороговой интенсивности, и единице (1), когда полагают, что зонд находится выше порога. Подсчитывают полное число единиц в М, чтобы получить действительнозначное число К. При этом первоначальная оценка зонда будет представлена в компьютере следующей матрицей Р:
Р = МЛ7А? 9
Таким образом, каждый ввод в матрицу М умножают на Ν и делят на К. Это дает первоначальное предположение для функции зонда, которое имеет ориентировочно такую же амплитуду и, таким образом, такую же интенсивность, что и падающее излучение, усредненное по области зонда. Первоначальное предположение для функции зонда равно нулю вне приблизительной области зонда и имеет постоянное значение внутри области зонда.
Специалисты в данной области легко поймут, что некоторые или все приведенные здесь выше ма- 6 026014 тематические операции могут быть выполнены с использованием компьютера.
В соответствии с этими вариантами осуществления, вероятность расхождения во время итеративного уточнения функции зонда снижается или исключается за счет использования первоначального предположения для функции зонда, которая имеет подходящую интенсивность, за счет выбора интенсивности предполагаемой функции зонда, равной средней расчетной интенсивности, на основании измеренной эталонной дифракционной картины.
В соответствии с некоторыми предпочтительными вариантами осуществления, оценка интенсивности зонда может быть использована во множестве итеративных алгоритмических процессах для множества заданных образцов. Таким образом, не обязательно собирать первоначальную оценку интенсивности зонда для каждого исследуемого заданного образца.
На фиг. 6 показано устройство для получения данных изображения, которое может быть использовано для конструирования имеющего высокую разрешающую способность изображения области заданного объекта, в соответствии с описанным здесь выше вариантом осуществления, показанным на фиг. 1 и
2. Источник 50 излучения освещает линзу 51, которая слабо фокусирует излучение на выбранную область мишени 11. Падающее излучение имеет падающую волновую функцию 52 и выходную волновую функцию 53. Эта выходная волновая функция распространяется на расстояние И, где образуется дифракционная картина на решетке 12 устройств обнаружения. Расстояние И преимущественно является достаточно большим, так что распространяющаяся выходная волновая функция 53 образует дифракционную картину Фурье в поле в дальней зоне. Решетка устройств обнаружения содержит по меньшей мере одно устройство обнаружения, которое может обнаруживать интенсивность излучения, рассеянную при помощи заданного объекта 11. Предусмотрено устройство 54 локализации, которым может быть микро исполнительный механизм, который может устанавливать заданный объект в одном или нескольких желательных местоположениях. Это позволяет излучению от источника 50 падать на различные места передней поверхности мишени 11.
Альтернативно, в некоторых вариантах применения, расстояние И преимущественно может быть достаточно малым, так что распространяющаяся выходная волновая функция 53 образует дифракционную картину Френеля на решетке устройств обнаружения в поле в ближней зоне.
Блок 55 управления подает сигналы управления на микро исполнительный механизм, а также получает результаты измерения интенсивности от каждого элемента изображения устройств обнаружения в решетке 12 устройств обнаружения. Блок 55 управления содержит микропроцессор 56 и накопитель 57 данных вместе с интерфейсом 58 пользователя, который может содержать дисплей пользователя и входную клавиатуру пользователя. Блок управления может быть подключен к дополнительному устройству обработки данных, такому как дорожный компьютер 59 или ПК, для дистанционного управления. Следует иметь в виду, что блок 55 управления также может быть выполнен как дорожный компьютер или ПК. Блок 55 управления может автоматически управлять получением данных изображения в реальном масштабе времени, Альтернативно, пользователь может использовать интерфейс 58 пользователя для выбора областей заданного объекта для формирования изображений или для дополнительного ввода данных пользователем.
При использовании, источник 50 излучения освещает линзу (объектив) 51. Мишень 11 избирательно установлена при помощи исполнительного механизма 54 под контролем блока 55 управления. Излучение образует дифракционную картину, которую обнаруживают в соответствующих местоположениях при помощи каждого из устройств обнаружения в решетке 12 устройств обнаружения. Данных с этих устройств обнаружения вводят в блок управления и они могут храниться в накопителе 57 данных. Если используют только одно положение для получения данных изображения, то микропроцессор использует эту обнаруженную информацию вместе с программными командами, содержащими информацию относительно указанного выше алгоритма, для получения данных изображения. Однако если требуются одно или несколько дополнительных положений ранее завершения получения данных изображения, то блок управления затем подает сигналы на исполнительный механизм 54, который устанавливает образец в другое выбранное местоположение. Исполнительный механизм может устанавливать образец в одно из множества различных положений. После изменения положения, измеряется другая дифракционная картина, образованная на решетке устройств обнаружения, и результаты измерения поступают на хранение в блок управления. В качестве примера укажем, что решеткой 12 может быть ПЗС решетка 1200 х 1200 элементов изображения. Если не требуются дополнительные измерения интенсивности, то данные изображения на этой стадии процесса могут быть собраны при помощи блока управления, в соответствии с двумя новыми наборами данных хранения, с использованием указанного выше алгоритма. На индикацию могут быть выведены необработанные данные изображения или же имеющее высокую разрешающую способность изображение, полученное из данных изображения, может быть выведено на индикацию на интерфейсе 58 пользователя или на выносном дисплее ПК или другого устройства управления. Вместо этого или в дополнение к этому, сами данные изображения могут быть использованы для определения характеристик, связанных с заданным объектом (например, за счет сравнения числовых значений данных с заданными числовыми значениями).
Исполнительный механизм может быть использован для перемещения заданного объекта из опти- 7 026014 ческого тракта, чтобы можно было измерить дифракционную картину без заданного объекта. Это перемещение также может быть осуществлено другим исполнительным механизмом (не показан) или за счет вмешательства пользователя.
В соответствии с другими вариантами осуществления настоящего изобретения, используют диффузор, который закрывает апертуру после мишени. Диффузор предназначен для рассеивания волнового фронта от мишени, так что излучение, падающее на образец, распространяется более равномерно по всем углам дифракции в измеренной дифракционной картине. За счет осуществления измерений, которые требуются для восстановления функции освещения или функции зонда, при введенном диффузоре, эффект диффузора также может быть автоматически восстановлен. Таким образом, диффузор может рассеивать волновой фронт от мишени случайным образом, и поэтому нет необходимости в том, чтобы знать природу диффузора заранее.
Наличие диффузора ведет к уменьшению динамического диапазона дифракционной картины. Так как большинство устройств обнаружения имеют ограниченный динамический диапазон, то уменьшение динамического диапазона дифракционной картины может позволить получать более точное отображение искомой дифракционной картины. Более того, так как излучение, падающее на образец, распространяется более равномерно по всем углам дифракции, то может быть снижен падающий поток, который требуется для получения данных изображения, что снижает вероятность повреждения заданного объекта.
Может быть использован любой тип диффузора, имеющего произвольную передаточную функцию. Специалисты легко поймут, что выбор диффузора зависит от свойств использованного излучения и от желательного эффекта рассеяния. Например, диффузором для излучения в видимой области спектра может быть диффузор из матового светотехнического стекла.

Claims (9)

  1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
    1. Способ предоставления данных изображения для конструирования изображения области целевого объекта при помощи итеративного процесса, включающий обеспечение эталонной дифракционной картины эталонного объекта, основанной на распределении интенсивности излучения, обнаруженного при помощи по меньшей мере одного приемника излучения, когда падающее излучение побуждают падать на эталонный объект;
    при этом эталонная дифракционная картина образована от области эталонного объекта, который отражает большую часть падающего излучения, когда по меньшей мере один приемник излучения выполнен с возможностью обнаружения отраженного излучения от упомянутого эталонного объекта, и образована от области эталонного объекта, который пропускает большую часть падающего излучения, когда по меньшей мере один приемник излучения выполнен с возможностью обнаружения излучения, прошедшего через упомянутый эталонный объект;
    определение первоначального предположения для зондирующей функции, указывающей на взаимодействие волнового фронта с целевым объектом, на основании эталонной дифракционной картины;
    определение при помощи упомянутого итеративного процесса, основанного на первоначальном предположении для зондирующей функции и на первоначальном предположении для целевой функции, данных изображения для целевого объекта, которые зависят от интенсивности излучения, обнаруженного при помощи по меньшей мере одного приемника излучения.
  2. 2. Способ по п.1, в котором первоначальное предположение для зондирующей функции используют для определения данных изображения для одного или множества целевых объектов.
  3. 3. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором эталонный объект представляет собой первый целевой объект, для которого были определены данные изображения.
  4. 4. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором эталонный объект представляет собой целевой объект, который используют только для проведения калибровки.
  5. 5. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором определение первоначального предположения для зондирующей функции предусматривает оценку, на основании эталонной дифракционной картины, мощности излучения, падающей на зондируемую область эталонного объекта;
    выбор первоначального предположения для зондирующей функции таким образом, чтобы первоначальное предположение для зондирующей функции имело среднюю интенсивность, равную расчетной средней интенсивности.
  6. 6. Способ по п.5, в котором проведение оценки средней интенсивности предусматривает осуществление быстрого преобразования Фурье на эталонной дифракционной картине, чтобы получить матрицу комплексных чисел;
    суммирование абсолютных значений комплексных чисел, чтобы получить действительное число; при этом выбор первоначального предположения для зондирующей функции предусматривает извлечение квадратного корня из действительного числа, чтобы получить действительнозначное число Ν;
    выбор первоначального предположения для зондирующей функции, Р, при этом Р = ΜΝ/Κ, где М
    - 8 026014 представляет собой матрицу, отображающую область зонда, а К представляет собой нормировочный множитель.
  7. 7. Способ по п.6, в котором К является суммой величин в матрице М.
  8. 8. Способ по п.6, который дополнительно предусматривает получение оценки зондируемой области, в которой величины в матрице М равны нулю вне расчетной зондируемой области и равны 1 внутри расчетной зондируемой области, а К равно числу величин, равных 1 в матрице М.
  9. 9. Машиночитаемый носитель для хранения данных, содержащий исполняемые компьютером команды, которые после исполнения компьютером позволяют осуществлять способ по любому из предшествующих пунктов.
EA201201577A 2010-06-28 2011-06-27 Способ предоставления данных изображения для конструирования изображения области целевого объекта при помощи итеративного процесса EA026014B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB1010822.3A GB2481589B (en) 2010-06-28 2010-06-28 Calibration of a probe in ptychography
PCT/GB2011/051205 WO2012001397A2 (en) 2010-06-28 2011-06-27 Calibration of a probe in ptychography

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201201577A1 EA201201577A1 (ru) 2013-05-30
EA026014B1 true EA026014B1 (ru) 2017-02-28

Family

ID=42583081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201201577A EA026014B1 (ru) 2010-06-28 2011-06-27 Способ предоставления данных изображения для конструирования изображения области целевого объекта при помощи итеративного процесса

Country Status (15)

Country Link
US (1) US8942449B2 (ru)
EP (1) EP2585853B1 (ru)
JP (1) JP5917507B2 (ru)
KR (1) KR101810637B1 (ru)
CN (1) CN103201648B (ru)
AU (1) AU2011273132B2 (ru)
BR (1) BR112012033669A2 (ru)
CA (1) CA2803105A1 (ru)
DK (1) DK2585853T3 (ru)
EA (1) EA026014B1 (ru)
ES (1) ES2536222T3 (ru)
GB (1) GB2481589B (ru)
IL (1) IL223814A (ru)
SG (1) SG186724A1 (ru)
WO (1) WO2012001397A2 (ru)

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB201107053D0 (en) 2011-04-27 2011-06-08 Univ Sheffield Improvements in providing image data
GB201201140D0 (en) 2012-01-24 2012-03-07 Phase Focus Ltd Method and apparatus for determining object characteristics
GB201207800D0 (en) 2012-05-03 2012-06-13 Phase Focus Ltd Improvements in providing image data
EP2690648B1 (en) * 2012-07-26 2014-10-15 Fei Company Method of preparing and imaging a lamella in a particle-optical apparatus
GB201215558D0 (en) * 2012-08-31 2012-10-17 Phase Focus Ltd Improvements in phase retrieval
CN102866133B (zh) * 2012-09-11 2015-09-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 透射型样品振幅和相位成像装置和方法
US9864184B2 (en) 2012-10-30 2018-01-09 California Institute Of Technology Embedded pupil function recovery for fourier ptychographic imaging devices
US10652444B2 (en) 2012-10-30 2020-05-12 California Institute Of Technology Multiplexed Fourier ptychography imaging systems and methods
CN108761752A (zh) 2012-10-30 2018-11-06 加州理工学院 傅立叶重叠关联成像系统、设备和方法
DE102013105850B4 (de) * 2013-06-06 2021-05-27 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Verfahren und Kalibriereinsatz zum Justieren, Kalibrieren und/oder zur Durchführung einer Funktionsüberprüfung eines photometrischen Sensors
CA2919985A1 (en) 2013-07-31 2015-02-05 California Institute Of Technology Aperture scanning fourier ptychographic imaging
WO2015027188A1 (en) 2013-08-22 2015-02-26 California Institute Of Technoloby Variable-illumination fourier ptychographic imaging devices, systems, and methods
US11468557B2 (en) 2014-03-13 2022-10-11 California Institute Of Technology Free orientation fourier camera
US10162161B2 (en) 2014-05-13 2018-12-25 California Institute Of Technology Ptychography imaging systems and methods with convex relaxation
WO2016030205A1 (en) 2014-08-28 2016-03-03 Vrije Universiteit Amsterdam Inspection apparatus, inspection method and manufacturing method
JP2018504627A (ja) * 2014-12-04 2018-02-15 カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー 多重フーリエタイコグラフィイメージングシステム及び方法
CN107111118B (zh) 2014-12-22 2019-12-10 加州理工学院 用于厚样本的epi照明傅立叶重叠关联成像
CN107209362B (zh) 2015-01-21 2020-11-06 加州理工学院 傅立叶重叠关联断层摄影
US9829695B2 (en) 2015-01-26 2017-11-28 California Institute Of Technology Array level Fourier ptychographic imaging
AU2016233588A1 (en) 2015-03-13 2017-10-26 California Institute Of Technology Correcting for aberrations in incoherent imaging system using fourier ptychographic techniques
US9993149B2 (en) 2015-03-25 2018-06-12 California Institute Of Technology Fourier ptychographic retinal imaging methods and systems
US10228550B2 (en) 2015-05-21 2019-03-12 California Institute Of Technology Laser-based Fourier ptychographic imaging systems and methods
KR102098034B1 (ko) * 2015-08-12 2020-04-08 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 검사 장치, 검사 방법 및 제조 방법
WO2017157645A1 (en) 2016-03-15 2017-09-21 Stichting Vu Inspection method, inspection apparatus and illumination method and apparatus
EP3458838A4 (en) * 2016-05-19 2020-03-04 The Regents of The University of Colorado, A Body Corporate MODULUS-REINFORCED PROBE
US10568507B2 (en) 2016-06-10 2020-02-25 California Institute Of Technology Pupil ptychography methods and systems
US11092795B2 (en) 2016-06-10 2021-08-17 California Institute Of Technology Systems and methods for coded-aperture-based correction of aberration obtained from Fourier ptychography
EP3270404A1 (en) * 2016-07-13 2018-01-17 FEI Company Method of imaging a specimen using ptychography
CN106324853B (zh) * 2016-10-17 2019-03-29 北京工业大学 一种可见光域双物距叠层成像方法
WO2019090149A1 (en) 2017-11-03 2019-05-09 California Institute Of Technology Parallel digital imaging acquisition and restoration methods and systems
CN107884782B (zh) * 2017-11-07 2021-07-13 上海理工大学 基于人眼视觉和玫瑰扫描的移动物体关联成像方法
KR102256578B1 (ko) * 2018-11-30 2021-05-26 한양대학교 산학협력단 타이코그래피 이미징 장치 및 방법
WO2020131864A1 (en) * 2018-12-18 2020-06-25 Pathware Inc. Computational microscopy based-system and method for automated imaging and analysis of pathology specimens
CN112198176B (zh) * 2020-09-24 2022-12-02 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于光场高阶空间关联的单次曝光x射线衍射成像装置及方法
CN112782124B (zh) * 2020-12-26 2023-01-03 北京工业大学 一种高分辨率连续太赫兹波叠层成像方法
CN112948850B (zh) * 2021-02-24 2023-09-29 中国科学院大学 一种旋转叠层加密筒、加密方法及解密方法
CN114235799B (zh) * 2021-11-17 2023-11-17 南方科技大学 用于获取纯物体函数的方法及装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009077779A2 (en) * 2007-12-17 2009-06-25 Phase Focus Limited Method and apparatus for providing image data
WO2010064051A1 (en) * 2008-12-04 2010-06-10 Phase Focus Limited Provision of image data

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5347375A (en) * 1991-11-26 1994-09-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Computer-assisted holographic image formation technique which determines interference pattern data used to form the holographic
US7127109B1 (en) * 1999-09-27 2006-10-24 University Of South Florida Digital interference holographic microscope and methods
GB2403616A (en) * 2003-06-30 2005-01-05 Univ Sheffield Hallam Diffraction pattern imaging using moving aperture.
JP2005062054A (ja) * 2003-08-18 2005-03-10 Asahi Kasei Corp 収束電子回折による結晶格子定数測定法
GB0409572D0 (en) * 2004-04-29 2004-06-02 Univ Sheffield High resolution imaging
US7907773B2 (en) * 2006-12-20 2011-03-15 International Business Machines Corporation Apparatus and method for holographic information storage and retrieval
GB0709796D0 (en) * 2007-05-22 2007-06-27 Phase Focus Ltd Three dimensional imaging
GB0817650D0 (en) * 2008-09-26 2008-11-05 Phase Focus Ltd Improvements in the field of imaging
US7885383B1 (en) * 2009-06-03 2011-02-08 Bruker AXS, Inc Method for measuring crystallite size with a two-dimensional X-ray diffractometer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009077779A2 (en) * 2007-12-17 2009-06-25 Phase Focus Limited Method and apparatus for providing image data
WO2010064051A1 (en) * 2008-12-04 2010-06-10 Phase Focus Limited Provision of image data

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
MAIDEN, A.M. ; RODENBURG, J.M.: "An improved ptychographical phase retrieval algorithm for diffractive imaging", ULTRAMICROSCOPY, ELSEVIER, AMSTERDAM, NL, vol. 109, no. 10, 1 September 2009 (2009-09-01), NL, pages 1256 - 1262, XP026470501, ISSN: 0304-3991, DOI: 10.1016/j.ultramic.2009.05.012 *

Also Published As

Publication number Publication date
JP5917507B2 (ja) 2016-05-18
AU2011273132B2 (en) 2013-07-11
EP2585853B1 (en) 2015-03-25
CA2803105A1 (en) 2012-01-05
CN103201648A (zh) 2013-07-10
WO2012001397A2 (en) 2012-01-05
KR20130098290A (ko) 2013-09-04
GB2481589A (en) 2012-01-04
EA201201577A1 (ru) 2013-05-30
AU2011273132A1 (en) 2013-01-24
EP2585853A2 (en) 2013-05-01
IL223814A (en) 2017-01-31
SG186724A1 (en) 2013-02-28
DK2585853T3 (da) 2015-04-27
BR112012033669A2 (pt) 2016-11-29
US20130223685A1 (en) 2013-08-29
US8942449B2 (en) 2015-01-27
WO2012001397A3 (en) 2013-01-03
CN103201648B (zh) 2015-04-22
JP2013534633A (ja) 2013-09-05
GB201010822D0 (en) 2010-08-11
ES2536222T3 (es) 2015-05-21
GB2481589B (en) 2014-06-11
KR101810637B1 (ko) 2017-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA026014B1 (ru) Способ предоставления данных изображения для конструирования изображения области целевого объекта при помощи итеративного процесса
KR101226210B1 (ko) 고해상도 이미징
EP2356487B1 (en) Provision of image data
JP6012710B2 (ja) 対象物についてのある領域の画像を構築するための画像データを提供する方法及び装置
CA2687763C (en) Three dimensional imaging
JP6556623B2 (ja) 位相回復の改善
KR20140037009A (ko) 3차원 이미징
CN110411983B (zh) 一种高分辨率衍射成像方法及装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AZ BY KZ KG MD TJ TM

MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM RU