EA007874B1 - Устройство для записи дифракционных элементов - Google Patents
Устройство для записи дифракционных элементов Download PDFInfo
- Publication number
- EA007874B1 EA007874B1 EA200500493A EA200500493A EA007874B1 EA 007874 B1 EA007874 B1 EA 007874B1 EA 200500493 A EA200500493 A EA 200500493A EA 200500493 A EA200500493 A EA 200500493A EA 007874 B1 EA007874 B1 EA 007874B1
- Authority
- EA
- Eurasian Patent Office
- Prior art keywords
- lens
- light beam
- light
- recording medium
- recording
- Prior art date
Links
Landscapes
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
Изобретение относится к оптической голографии, предназначено для записи дифракционных элементов и может найти применение при изготовлении дифракционных элементов, радужных голограмм, при защите товаров и ценных бумаг от подделок, в полиграфии. Изобретение также может быть использовано в системах оптической памяти и оптической обработки информации. В устройстве для записи дифракционных элементов, содержащем оптически связанные источник света, узел отклонения пучка света, первую линзу, включающий в себя первую призму узел разделения пучка света, фокусирующий объектив, регистрирующую среду, привод перемещения регистрирующей среды и узел управления, электрически связанный с источником света, узлом отклонения пучка света, приводом перемещения регистрирующей среды, узел отклонения пучка света выполнен в виде установленных последовательно вдоль оптической оси второй линзы и двух зеркальных дефлекторов, причем расстояние l между плоскостью зеркала любого из двух дефлекторов и точкой фокусировки света первой линзой выбрано из соотношенияl<BTff/fd,где коэффициент В=0,1-0,5; T - период решетки дифракционного элемента в регистрирующей среде, f- фокусное расстояние второй линзы; f-фокусное расстояние первой линзы; f- фокусное расстояние фокусирующего объектива; d- диаметр пучка на входе второй линзы.
Description
Изобретение относится к оптической голографии, предназначено для записи дифракционных элементов и может найти применение при изготовлении дифракционных элементов, радужных голограмм, при защите товаров и ценных бумаг от подделок, в полиграфии. Изобретение также может быть использовано в системах оптической памяти и оптической обработки информации.
Известно устройство для записи дифракционных элементов, содержащее последовательно установленные вдоль оптической оси лазер, модулятор, дифракционную решетку с приводом вращения, диафрагму, фокусирующий объектив, двухкоординатное устройство перемещения пластинки с фоторезистом, компьютер (патент США № 5291317, МПК С02В 5/18 приоритет от 12.07.90, опубликован 01.03.94).
Недостатками данного устройства являются низкая скорость записи дифракционных структур с различной пространственной ориентацией, обусловленная большим временем поворота дифракционной решетки относительно оси электрическим двигателем, а также низкое светопропускание, обусловленное ограниченной дифракционной эффективностью дифракционной решетки.
Известно также устройство, содержащее последовательно установленные вдоль оптической оси лазер, электромеханический затвор, пространственный модулятор света, поляроид, проекционный объектив, пластинку с фоторезистом, двухкоординатное устройство перемещения пластинки с фоторезистом, компьютер (патент России № 2207611, МПК 603Н01/26, приоритет от 30.07.2001, опубликован 27.06.2003).
Недостатками данного устройства являются ограниченное быстродействие пространственного модулятора света, его низкое светопропускание, обусловленное поглощением света в материале пространственного модулятора и поляроида, высокая стоимость и сложность всего устройства, сложность и высокая стоимость высокоразрешающей проекционной системы. Кроме того, существенным недостатком данного устройства является ограниченная лучевая стойкость пространственного модулятора света и поляроида, что препятствует применению данного устройства с мощными импульсными лазерами, работающими в ультрафиолетовом диапазоне.
Наиболее близким к заявляемому устройству является устройство, с помощью которого реализуется способ записи массива точечных голограмм (патент России № 2194296, МПК 603Н01/26, приоритет от 18.04.2001, опубликовано 10.12.2002). Данное устройство выбрано в качестве прототипа. Известное устройство для записи дифракционных элементов содержит оптически связанные источник света, узел отклонения пучка света, первую линзу, узел разделения пучка света, включающий в себя первую призму, фокусирующий объектив и регистрирующую среду, узел управления, электрически связанный с источником света, узлом отклонения пучка света и приводом перемещения регистрирующей среды.
Недостатками данного устройства являются низкое светопропускание и, следовательно, большие световые потери, обусловленные низкой дифракционной эффективностью двухкоординатного акустооптического дефлектора (обычно 30-50%), высокая стоимость и сложность конструкции, связанная с высокой стоимостью акустооптических дефлекторов и их электронных приводов, большие габариты и сложность и высокое энергопотребление, большие искажения формируемой дифракционной картины, связанные с большой оптической толщиной материала звукопровода акустооптических дефлекторов. Акустооптические устройства отклонения затруднительно использовать в ультрафиолетовом диапазоне. Также в известном устройстве узел разделения пука света имеет сложную конструкцию, состоящую из четырех раздельных призм, и низкое светопропускание, обусловленное применением двух светоделительных элементов. Кроме того, существенным недостатком данного устройства является ограниченная лучевая стойкость акустооптических модуляторов, что препятствует применению данного устройства с мощными импульсными лазерами, работающими в ультрафиолетовом (УФ) диапазоне.
Перед авторами ставилась задача разработать устройство, имеющее минимальные потери световой энергии, в том числе и в диапазоне УФ, высокую лучевую стойкость всех компонентов, простоту и компактность оптической системы, высокое быстродействие записи дифракционных элементов, низкую стоимость и компактное исполнение с возможностью применения для прямой записи дифракционных элементов методом абляции или термоструктурных и термохимических изменений регистрирующей среды с применением мощных импульсных лазеров, генерирующих световое излучение в УФ и глубоком УФ диапазонах.
Задача решается тем, что в устройстве для записи дифракционных элементов, содержащем оптически связанные источник света, узел отклонения пучка света, первую линзу, включающий в себя первую призму, узел разделения пучка света, фокусирующий объектив, регистрирующую среду, привод перемещения регистрирующей среды и узел управления, электрически связанный с источником света, узлом отклонения пучка света, приводом перемещения регистрирующей среды, узел отклонения пучка света выполнен в виде установленных последовательно вдоль оптической оси второй линзы и двух зеркальных дефлекторов, причем расстояние 1 между плоскостью зеркала любого из двух дефлекторов и точкой фокусировки света первой линзой выбрано из соотношения
1<ВТГШ· где коэффициент В=0,1-0,5, Т - период решетки дифракционного элемента в регистрирующей среде, 1 фокусное расстояние второй линзы, 12 - фокусное расстояние первой линзы, 13 - фокусное расстояние фокусирующего объектива, ф - диаметр пучка на входе второй линзы. Зеркало хотя бы одного из дефлекторов выполнено с возможностью выполнения угла поворота большим, чем половина угловой апер
- 1 007874 туры второй линзы. Кроме того, зеркала дефлекторов выполнены с возможностью поворота в ортогональных плоскостях. Узел разделения пучка света выполнен дополнительно содержащим призму Порро. Призма установлена последовательно вдоль оптической оси с первой призмой. Причем первая призма содержит светоделительное покрытие на диагональной грани. Она склеена с диагональной гранью призмы Порро. Кроме того, узел выполнен с возможностью поворота относительно оптической оси.
Технический эффект заключается в том, что заявляемое устройство обеспечивает высокоскоростную запись дифракционных элементов (голограмм) с помощью мощного импульсного лазера, причем может быть использован ультрафиолетовый лазер с длиной волны 250-360 нм, что позволяет реализовать метод прямой лазерной записи - формировать рельефную структуру голограмм непосредственно на поверхности заготовки.
Заявляемое устройство иллюстрируется следующими графическими материалами.
На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства для записи дифракционных элементов.
На фиг. 2 изображены варианты положения пучков света во входной плоскости фокусирующего объектива и соответствующие интерференционные решетки в плоскости регистрирующей среды.
На фиг. 3 показано положение интерференционной решетки, образуемой двумя интерферирующими пучками света в плоскости регистрирующей среды.
Заявляемое устройство состоит из источника света 1, второй линзы 2, двух зеркальных дефлекторов 3 и 4, первой линзы 5, узла разделения пучка света 6, включающего в себя призму Порро 7 и первую призму 8, содержащую светоделительное покрытие 9 на диагональной грани, склеенной с призмой Порро 7, фокусирующий объектив 10, регистрирующую среду 11 с приводом перемещения 12 и узел управления 13.
Устройство работает следующим образом. Пучок света от источника света 1 (например, импульсного лазера) с длиной волны λ и диаметром Ф1 поступает на вход узла отклонения пучка света, который состоит из второй линзы 2 и двух зеркальных дефлекторов 3 и 4. На выходе узла отклонения пучка света установлена первая линза 5. Расстояние между линзами 2 и 5 вдоль оптической оси выбрано таким образом, что фокальная плоскость линзы 5 совпадает с точкой δ фокусировки линзы 2 пучка света. Световой пучок А на выходе линзы 5 является коллимированным. Зеркало дефлектора 3 установлено перед точкой δ на расстоянии 11, а зеркало дефлектора 4 - на расстоянии 12 после точки δ. Под действием управляющего электрического сигнала иу зеркало дефлектора 3 поворачивается на угол <ру и отклоняет световой пучок вдоль оси ОУ. Под действием управляющего электрического сигнала их зеркало дефлектора 4 поворачивается на угол <ру и отклоняет световой пучок на соответствующий угол вдоль оси ОХ. Электрические сигналы подаются от блока управления 12. Линза 5 преобразует угловое отклонение пучка света в его линейное смещение вдоль осей координат X и Υ на величину
Χι=2φχί2 и ν2φ,Ρ (1) где £2 - фокусное расстояние объектива 5, £2>>1;, 12, фх, фу<<1.
Световой пучок А поступает на вход узла 7 разделения пучка света, выполненного с одним входным и двумя выходными зрачками. Узел разделения пучка света выполнен в виде установленных последовательно вдоль оптической оси призмы Порро 7 и первой призмы 8, причем призма 8 выполнена содержащей грань со светоделительным покрытием 9 и склеена с диагональной гранью призмы Порро 7. Призма Порро известна в литературе (Справочник конструктора оптико-механических приборов.//Под ред. Э. Панова, Машиностроение, Л., 1985). Световой пучок А делится на грани 9 на два пучка приблизительно пополам. Первый, прямой, пучок (А') проходит эту призму 8 без изменения направления. Второй пучок (А) испытывает четыре отражения (два вдоль оси ОХ и два вдоль оси ΟΥ) от граней призмы Порро 7 и выходит зеркально ориентированным по отношению к первому пучку. Оптические оси прямого и зеркального выходных пучков выполнены коллинеарными исходной оптической оси. Для обеспечения коллинеарности пучков узел разделения пучка света, состоящий из призм 7 и 8, выполнен с возможностью поворота относительно оптической оси. При повороте и наклоне узла пучок А' не меняет направления, в то время как пучок А отклоняется соответственно повороту и наклону всего узла. Далее пучки А' и А поступают к фокусирующему объективу 10 и фокусируются в плоскости регистрирующей среды 11 на расстоянии δ2 от оптической оси, равном δ; ±2<р1М'; χ·1ί';/Ρ; (2) где Ф ~ 'У1 + Фу , £3 - фокусное расстояние объектива 10, 1=1=1^ Знаки + и - указывают, что центры областей δ' и δ фокусировки пучков А' и А смещаются в разные стороны. Если расстояние 1 мало, то и смещение δ2 также будет мало. В результате интерференции двух сфокусированных пучков света в плоскости регистрирующей среды формируется синусоидальная интерференционная решетка. Эта интерференционная решетка последовательно во времени фиксируется регистрирующей средой 11, изменяющей свои свойства под действием света. Регистрирующая среда 11 с помощью привода 12 перемещается относительно области фокусировки δ' по командам от блока управления 13. При движении регистрирующей среды относительно объектива 10 на поверхности последней формируется (записывается) последовательность решеток. Для устранения смаза интерференционной решетки импульсы лазерного излучения
- 2 007874 имеют длительность τ, равную τ=οΤ/ν (3) где Τ - период интерференционной решетки, ν - скорость движения регистрирующей среды, с=0,1-0,01 постоянный коэффициент. При Т=1 мкм и ν=0,1 м/с длительность импульсов составляет τ~0,01 мкс. Частота следования импульсов Глаз определяется расстоянием Ь между отдельными решетками на регистрирующей среде:
Γ3Η..=ν/Γ (4)
Например, при Ь=20 мкм частота следования импульсов лазера составляет Глаз=5 кГц и за 1 с предлагаемое устройство позволяет записывать 5000 интерференционных решеток (или голограмм). Наиболее подходящим источником света является твердотельный импульсный Νά:ΥΑΟ лазер с модулированной добротностью и утроением (или учетверением) частоты (И.И. Кондиленко, П.А. Коротков, А.И. Хижняк, Физика лазеров, Вища школа-84г., А.А. Иолтуховский, И.И. Куратев, Ю.В. Цветков, Твердотельные лазеры с накачкой лазерными диодами для лабораторного и промышленного применения, Лазер-Информ № 1-2, январь 2000г.). Световое излучение такого лазера представляет собой последовательность коротких (5-10 нс) и мощных импульсов света с частотой повторения от сотен герц до 10-50 кГц и длиной волны 355 или 268 нм. При записи дифракционного элемента узел управления 13 синхронизирует импульсное включение лазера 1 с перемещением регистрирующей среды 11 и управляет углом отклонения зеркал дефлекторов 3 и 4 в соответствии с заданной программой.
Операция включения/выключения пучка света лазера при записи решеток осуществляется поворотом зеркала хотя бы одного из дефлекторов на угол больше половины угловой апертуры линзы 5 или фокусирующего объектива 10. При этом световой пучок блокируется апертурой фокусирующего объектива и не проходит к регистрирующей среде. Эта операция необходима, если при записи надо пропустить несколько решеток. Частота переключения быстродействующих зеркальных дефлекторов с размером зеркала 2x2 мм2 составляет около 5 кГц.
В предлагаемом устройстве каждая интерференционная решетка может иметь заданные ориентацию и период. В качестве примера на фиг. 2 а, б, в показаны различные положения пучков света А' и А во входной плоскости фокусирующего объектива 10 и соответствующие интерференционные решетки в плоскости регистрирующей среды (фиг. 2 г, д, е). В исходном состоянии (их=иу=0) пучок света А' проходит через линию пересечения II и III квадрантов на расстоянии у! от оптической оси (фиг. 2а). Зеркальный пучок А в исходном состоянии лежит на пересечении I и IV квадрантов на расстоянии -х1 от оптической оси. Интерференционная картина имеет вид решетки, как показано на фиг. 2г. При подаче на дефлекторы 3 и 4 отличных от нуля управляющих сигналов их и иу пучки А' и А перемещаются, соответственно, в II и III и I и IV квадрантах, как показано на фиг. 2 б, в. В этом случае или уменьшается период интерференционной решетки (фиг. 2д), или меняется угол наклона 1д(0)=<р,./<ру (фиг. 2е).
Основным условием правильной работы заявляемого устройства является точное совмещение между собой сфокусированных пучков А' и А в плоскости регистрирующей среды, так как интерференционная решетка образуется только в месте их пересечения. При наклоне любого из двух зеркал световой пучок на выходе объектива 5, смещаясь вдоль одной из координат, приобретает небольшой наклон, который приводит к возникновению погрешности положения (см. выражение (2)) интерференционной решетки в плоскости регистрирующей среды 11, как показано на фиг. 3. Сфокусированные пучки перекрываются не полностью, и интерференционная решетка возникает только в месте их пересечения. Диаметр светового пятна (кружек Эйри) в плоскости регистрирующей среды определяется как
Α«2,44λΓ3/ά2 (5) где б2=б|Г;/Г| - диаметр светового пучка А' или А на входе фокусирующего объектива 10, Г1 - фокусное расстояние объектива 2 (Г.С. Ландсберг. Оптика, М, Наука, 1976).
Отношение величины смещения δ=2δ2 светового пятна к его диаметру
Ε=δ/Α=1Χ161/(1,22λΓ1Γ2) (6) является относительной погрешностью и характеризует влияние наклона зеркала на относительное положение пятна.
Из выражения (6) следует, что для уменьшения погрешности Е необходимо уменьшать расстояние 1 и увеличивать фокусные расстояния £ и Г2. Величина 1 определяется габаритами зеркал дефлекторов и расстоянием между ними и не может быть выбрана произвольно. При заданной величине погрешности Е из выражения (6) следует, что расстояние между одним из зеркал и точкой 8 не должно превышать 1<1,22ΕλΓ1Γ2/Χ1ά1 (7)
Если допустимая величина относительного смещения лежит в пределах Ε=0,04-0,2, то при λ=0,35 мкм, Γι=150 мм, Г2=100 мм, х1=1 мм, б1 = 1 мм расстояние 1 не должно превышать 0,32-1,3 мм, что конструктивно выполнимо.
С учетом того, что период Т интерференционной решетки (фиг. 2д) в записывающем пятне приблизительно равен Т^Г3/2хь выражение (7) для правильного выбора расстояния 1 можно окончательно записать в виде
1<ВТГ1Г2/Г361 (8)
- 3 007874 где В=2,44Е=0,1-0,5.
Таким образом, предложенное устройство обеспечивает высокоскоростную запись дифракционных элементов (голограмм) с помощью импульсного лазера. Отличительной чертой предложенного устройства является простота оптической схемы и отсутствие дорогостоящих и низкоэффективных акустооптических дефлекторов. Так как отсутствуют ограничения на светопропускание, в качестве источника излучения может быть использован ультрафиолетовый лазер с длиной волны короче 360 нм. Предложенное устройство отличается очень малыми потерями световой энергии в оптическом тракте, что позволяет использовать мощный источник импульсного излучения и реализовать метод прямой лазерной записи формировать рельефную структуру голограмм непосредственно на поверхности заготовки. Так как зеркальные дефлекторы имеют малые размеры, вес и малое потребление электрической энергии, предлагаемое устройство может быть выполнено малогабаритным, в виде компактной оптической головки. Дефлекторы могут быть выполнены по технологии микромеханики в пленочном исполнении.
Заявляемое устройство было проверено экспериментально. В качестве источника излучения использован импульсный лазер с утроением частоты (О-5\\йс11 1а§ег) типа ЬСЗ ПТЬ-374СВ средней мощностью 20 мВт, длиной волны 354 нм, длительностью импульсов около 5 нс. Быстродействующие зеркальные дефлекторы использовались типа 6220М (СатЬпбде Тес11по1оду. 1пс.) с максимальной частой до 5 кГц. Фокусные расстояния линз были выбраны в соответствии с приведенными ранее в тексте параметрами. В качестве регистрирующей среды использовались тонкие пленки хрома и кремния, нанесенные на стеклянные подложки методом магнетронного распыления. Были записаны изображения, содержащие дифракционные элементы (микроголограммы) диаметром около 10 мкм и периодом решетки от 0,8 до 1,4 мкм и с угловой ориентацией в диапазоне θ=0-90°. Запись осуществлялась методом прямой лазерной записи (испарение и термохимия). Скорость записи варьировалась от 500 до 4000 микроголограмм в секунду.
Claims (5)
- ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ1. Устройство для записи дифракционных элементов, содержащее оптически связанные источник света, узел отклонения пучка света, первую линзу, включающий в себя первую призму, узел разделения пучка света, фокусирующий объектив, регистрирующую среду, привод перемещения регистрирующей среды и узел управления, электрически связанный с источником света, узлом отклонения пучка света, приводом перемещения регистрирующей среды, отличающееся тем, что узел отклонения пучка света выполнен в виде установленных последовательно вдоль оптической оси второй линзы и двух зеркальных дефлекторов, причем расстояние 1 между плоскостью зеркала любого из двух дефлекторов и точкой фокусировки света первой линзой выбрано из соотношения1'ВТ1'М3с1· где коэффициент В=0,1-0,5, Т - период решетки дифракционного элемента в регистрирующей среде, ί фокусное расстояние второй линзы, ί2 - фокусное расстояние первой линзы, ί3 - фокусное расстояние фокусирующего объектива, ф - диаметр пучка на входе второй линзы.
- 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что зеркало хотя бы одного из дефлекторов выполнено с возможностью выполнения угла поворота большим, чем половина угловой апертуры второй линзы.
- 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что зеркала дефлекторов выполнены с возможностью поворота в ортогональных плоскостях.
- 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что узел разделения пучка света выполнен дополнительно содержащим призму Порро, установленную последовательно вдоль оптической оси с первой призмой, причем первая призма выполнена содержащей светоделительное покрытие на диагональной грани и склеена с диагональной гранью призмы Порро.
- 5. Устройство по пп.1 и 4, отличающееся тем, что узел разделения пучка света выполнен с возможностью поворота относительно оптической оси.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EA200500493A EA007874B1 (ru) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | Устройство для записи дифракционных элементов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EA200500493A EA007874B1 (ru) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | Устройство для записи дифракционных элементов |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EA200500493A1 EA200500493A1 (ru) | 2006-10-27 |
EA007874B1 true EA007874B1 (ru) | 2007-02-27 |
Family
ID=42121413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EA200500493A EA007874B1 (ru) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | Устройство для записи дифракционных элементов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
EA (1) | EA007874B1 (ru) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1280560A1 (ru) * | 1985-10-22 | 1986-12-30 | Институт автоматики и электрометрии СО АН СССР | Способ изготовлени дифракционных оптических элементов |
SU1582166A1 (ru) * | 1988-01-13 | 1990-07-30 | Предприятие П/Я Р-6670 | Устройство дл экспонировани голографических дифракционных решеток |
RU1099747C (ru) * | 1983-03-29 | 1995-06-19 | Петербургский институт ядерной физики им.Б.П.Константинова | Устройство для записи радиальной дифракционной решетки |
EP1132758A1 (en) * | 1998-11-04 | 2001-09-12 | Xiaojing Shao | Recording device for diffraction grating and method of recording stereo or plane image |
-
2005
- 2005-02-24 EA EA200500493A patent/EA007874B1/ru unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU1099747C (ru) * | 1983-03-29 | 1995-06-19 | Петербургский институт ядерной физики им.Б.П.Константинова | Устройство для записи радиальной дифракционной решетки |
SU1280560A1 (ru) * | 1985-10-22 | 1986-12-30 | Институт автоматики и электрометрии СО АН СССР | Способ изготовлени дифракционных оптических элементов |
SU1582166A1 (ru) * | 1988-01-13 | 1990-07-30 | Предприятие П/Я Р-6670 | Устройство дл экспонировани голографических дифракционных решеток |
EP1132758A1 (en) * | 1998-11-04 | 2001-09-12 | Xiaojing Shao | Recording device for diffraction grating and method of recording stereo or plane image |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EA200500493A1 (ru) | 2006-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR970003290B1 (ko) | 장면 투사기 | |
Römer et al. | Electro-optic and acousto-optic laser beam scanners | |
KR102132846B1 (ko) | 표면을 레이저 가공하기 위한 가공 장치 및 방법 | |
US5260798A (en) | Pixel intensity modulator | |
US6873398B2 (en) | Method and apparatus for multi-track imaging using single-mode beams and diffraction-limited optics | |
US7123340B2 (en) | Lithograph with moving lens and method of producing digital holograms in a storage medium | |
US6252715B1 (en) | Beam pattern contractor and focus element, method and apparatus | |
JP3408305B2 (ja) | 超小型機械式光変調器及び光学的インターレース出力を有する印刷装置 | |
GB1581922A (en) | System for modulating a light beam and scanning optical system incorporating it | |
US5621561A (en) | Laser scanner incorporating variable focus mechanism for rapidly changing beam spot size | |
JP2024519298A (ja) | 空気イオン化表示装置及びその制御方法 | |
US5870227A (en) | Scanning head lens assembly | |
EP0277883B1 (en) | Holographic deflection device | |
Poleshchuk et al. | Microstructuring of optical surfaces: Technology and device for direct laser writing of diffractive structures | |
EP0571364B1 (en) | Holographic laser scanner | |
US20100188723A1 (en) | Optical modulator with beam-pointing correction | |
EA007874B1 (ru) | Устройство для записи дифракционных элементов | |
EP1456840B1 (en) | A solid state microoptical electromechanical system (moems) for reading a photonics diffractive memory | |
TWI694237B (zh) | 結構光投射器及結構光深度感測器 | |
JPH09197310A (ja) | マルチビーム走査装置 | |
JPH08262365A (ja) | 光走査装置 | |
KR100855814B1 (ko) | 스위칭 신호에 연동하여 순차 주사를 수행하는 주사 장치 | |
JPH01177510A (ja) | 像回転アクチェータ装置および複数ビーム集光光学装置 | |
JP2000507004A (ja) | 増大した角度走査範囲を有する光学装置 | |
KR20050042443A (ko) | 회절 다중빔을 이용한 스캐닝 장치 |