DK9500172U3 - Lasereksponeringsapparat - Google Patents

Lasereksponeringsapparat Download PDF

Info

Publication number
DK9500172U3
DK9500172U3 DK9500172U DK9500172U DK9500172U3 DK 9500172 U3 DK9500172 U3 DK 9500172U3 DK 9500172 U DK9500172 U DK 9500172U DK 9500172 U DK9500172 U DK 9500172U DK 9500172 U3 DK9500172 U3 DK 9500172U3
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
bridge
counterweight
base part
exposure apparatus
new
Prior art date
Application number
DK9500172U
Other languages
English (en)
Inventor
Steen Fleming Pedersen
Original Assignee
Krause Danmark A S
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Krause Danmark A S filed Critical Krause Danmark A S
Priority to DK9500172U priority Critical patent/DK9500172U3/da
Priority to EP96913476A priority patent/EP0824399B1/en
Priority to PCT/DK1996/000200 priority patent/WO1996034747A1/en
Priority to DE69603845T priority patent/DE69603845T2/de
Priority to US08/952,317 priority patent/US5909236A/en
Priority to AT96913476T priority patent/ATE183440T1/de
Priority to AU56444/96A priority patent/AU5644496A/en
Application granted granted Critical
Publication of DK9500172U3 publication Critical patent/DK9500172U3/da

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/24Curved surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Description

DK 95 00172 U3
BESKRIVELSE
Benævnelse
Lasereksponeringsapparat.
Frembringelsens anvendelsesområde 5 Frembringelsen angår et lasereksponeringsapparat til eksponering af eksponeringsmateriale, der fås som lysfølsomme offsettrykplader, hvilket apparat omfatter en forholdsvis tung basisdel, f.eks. af granit, og en optisk skanderingsenhed, der udnytter et bevægeligt spejl til afbøjning af en laser-10 stråle, og hvor basisdelen har en i hovedsagen halvcylindrisk eksponeringsflade, hvorpå eksponeringsmaterialet kan anbringes, og hvor der ovenover basisdelen er anbragt en bro, som kan forskydes langs basisdelen i dennes længderetning ved hjælp af en fremføringsindretning, på hvilken bro spejlet er 15 monteret.
Kendt teknik
Der kendes en lasereksponeringsapparat, som består af en halvcylindrisk basisdel, og hvor der tværs over basisdelen strækker sig en bro i form af en slæde, som ved den ene side 20 kan støttes og fremføres af en fremføringsindretning og ved den anden side kan hvile på en guide. Denne montering af broen er ikke helt tilfredsstillende på grund af manglende nøjagtighed. For at opnå større nøjagtighed er det også kendt at anbringe en transportskruespindel i basisdelens længde-25 midterplan og parallelt med basisdelen, men dette er uhensigtsmæssigt, da det derved bliver vanskeligere at få den fornødne plads, når man skal montere eksponeringsmaterialet på basisdelen.
2 DK 95 00172 U3
Det tekniske problem der skal løses
Formålet med frembringelsen et at anvise et lasereksponeringsapparat af den indledningsvis nævnte art, og som muliggør øget nøjagtighed under eksponeringen af eksponeringsmaterialet, og som yderligere giver let adgang til montering af dette materiale på basisdelen.
Den nye teknik
Lasereksponeringsapparat ifølge frembringelsen er ny ved, at fremføringsindretningen er anbragt langs den ene side af basisdelen, og at broen er monteret udbalanceret i forhold til fremføringsindretningen ved hjælp af en på en udragende del af broen anbragt kontravægt, hvis tyngdepunkt befinder sig hinsides fremføringsindretningen, og at broen fortrinsvis støtter mod langsgående støtteflader på basisdelen.
Den tekniske virkning
Herved opnås en mere nøjagtig eksponering end kendt, og da fremføringsindretningen befinder sig ved den ene side af basisdelen er der let adgang til basisdelens halvcylindriske flade, når eksponeringsmaterialet skal monteres herpå.
Ifølge frembringelsen kan broen støtte mod basisdelens langsgående støtteflader ved hjælp af berøringsløse lejer, såsom luftpudelejer eller magnetiske lejer, hvorved broens stabilitet og dermed positionsnøjagtighed øges.
Ifølge frembringelsen kan mindst en af støttefladerne være skrå i forhold til basisdelens længdemidterplan, hvorved broens stabilitet yderligere øges.
Desuden kan ifølge frembringelsen kontravægten være udformet ud i et med broen. Derved opnås særlig simpel fremstilling af broen.
Ifølge frembringelsen kan der mellem kontravægten og basisdelen være tilvejebragt berøringsløse lejer ved henholdsvis 3 DK 95 00172 U3 en skrå støtteflade og/eller en i hovedsagen lodret støtteflade på basisdelen, mens der ved den ende af broen, som befinder sig længst væk fra kontravægten, kan findes et tredje berøringsløst leje som samvirker med en i hovedsagen 5 vandret støtteflade på basisdelen. Herved opnås yderligere mulighed for en nøjagtig hastighedsregulering/positionering af broen.
Fremdeles kan ifølge frembringelsen det fælles tyngdepunkt for broen, det på denne monterede udstyr og kontravægten, be-10 finde sig i hovedsagen lodret over eller under fremføringsindretningen, hvilket er særligt hensigtsmæssigt.
Endelig kan ifølge frembringelsen fremføringsindretningen være en transportskruespindel, en skridtmotor-fremføringsindretning, en børsteløs DC-motor-fremføringsindretning eller et 15 nøjagtigt kabel- eller kædetræk med hastighedsstyring. Herved opnås en særlig pålidelig fremføring af broen langs basisdelen .
Figurfortegnelse
Frembringelsen forklares nærmere nedenfor under henvisning 20 til tegningen, hvor fig. 1 viser en udførelsesform for lasereksponeringsapparatet ifølge frembringelsen set fra enden, idet dog en del af broen er snittet, fig. 2 broen set fra oven, og 25 fig. 3 lasereksponeringsapparatet vist i et ret lille målforhold; basisdelens eksponeringareal er antydet skraveret.
Udførelseseksempler
Det i fig. 1 viste lasereksponeringsapparat består af en forholdsvis tung basisdel 1, f.eks. af granit eller metal, og en 30 optisk skanderingsenhed 2, der udnytter et bevægeligt, for- 4 DK 9Ei 00172 U3 trinsvis roterende, spejl til afbøjning af en laserstråle, som kan kastes ned på en i hovedsagen halvcylindrisk eksponeringsflade 5 på basisdelen. På denne flade kan der være anbragt eksponeringsmateriale, såsom en lysfølsom offsettrykplade. Ovenover basisdelen 1 er d<er anbragt en bro 7, som bærer skanderingsenheden og spejlet, og som kan forskydes langs basisdelen 1 i dennes længderetning (jf. dobbeltpilen A i fig. 3) ved hjælp af en fremføringsindretning 8. Fremføringsindretningen er anbragt langs den ene side la af basisdelen 1 i hele dennes længde. Broen er monteret udbalanceret i forhold til fremføringsindretningen 8, idet der på den del 7' af broen 7, som rager hinsides fremføringsindretningen 8, findes en udragende kontravægt 9. Kontravægten har altså et tyngdepunkt G (se fig. 1), som befinder sig hinsides fremføringsindretningen 8. Broen 7 kan evt. støtte mod basisdelen ved nogle langsgående støtteflader 10', 10'', 10''' på sidstnævnte.
Understøtningen af broen ved støttefladerne 10', 10'', 10''' kan være tilvejebragt ved hjælp af berøringsløse lejer 11' , 11'', 11'''. Der kan f.eks. være tale om luftpudelejer eller magnetiske lejer.
En eller flere af de nævnte støtteflader kan være skrå i forhold til basisdelens 1 længdemidterplan L. I den i figurerne viste udførelsesform er der kun en skrå støtteflade, nemlig støttefladen 10''.
Der er intet i vejen for, at kontravægten 9 kan være udformet ud i et med broen 7.
Som vist i figur 2 kan der mellem kontravægten 9 og basisdelen 1 findes to berøringsløse lejer 11''a og 11''b ved den skrå støtteflade 10'' og to berøringsløse lejer 11'a og 11'b ved den i hovedsagen lodrette støtteflade 10' . Ved den ende 7'' af broen 7, som befinder sig længst væk fra kontravægten, vil støttefladen 10''' være i hovedsagen vandret.
5 DK 95 00172 U3
Fremføringsindretningen 8 kan være en transportskruespindel, en skridtmotorindretning, en børsteløs DC-motor eller et nøjagtigt kabel- eller kædetræk med hastighedsstyring. I det viste tilfælde er der tale om en transportskruespinde1.
5 I fig. 3 befinder broen 7 sig ved basisdelens ene ende. Broen kan bevæges hen til basisdelens anden ende som vist. Broen kan også være af stål eller granit, medens kontravægten kan være af stål.
Med hensyn til skanderingsenhedens 2 indretning bemærkes, at 10 den kan være opbygget af et roterbart polygonspejl til afbøjning af en laserstråle fra en på broen fastsiddende laser. Tænding og slukning af laserstrålen sker på konventionel måde.
Det fælles tyngdepunkt for broen 7, det på denne monterede 15 eksponeringsudstyr og kontravægten 9, kan befinde sig i hovedsagen lodret over eller under fremføringsindretningen 8.
Frembringelsen kan ændres på mange måder, uden at der afviges fra dens idé.
Ovenfor er det omtalt, at eksponeringsfladen er "i hovedsagen 20 halvcylindrisk". Dette udtryk skal forstås i sin bredeste betydning, således at det også dækker det tilfælde, hvor eksponeringsfladen er i hovedsagen plan (halvcylinderens radius er uendelig stor).

Claims (7)

1. Lasereksponeringsapparat til eksponering af eksponeringsmateriale (6) , såsom lysfølsomme offsettrykplader,, hvilket 5 apparat omfatter en forholdsvis tung basisdel, f.eks. af granit, og en optisk skanderingsenhed (2) , der udnytter et bevægeligt spejl til afbøjning af en laserstråle, og hvor basisdelen (1) har en i hovedsagen halvpylindrisk eksponerings-flade (5) , hvorpå eksponeringsmaterialet (6) kan anbringes, 10 og hvor der ovenover basisdelen (1) er anbragt en bro (7) , som kan forskydes langs basisdelen i dennes længderetning ved hjælp af en fremførings indretning (8),, på hvilken bro spejlet er monteret, som er nyt ved, at fremføringsindretningen (8) er anbragt langs den ene side (la) af basisdelen (1) , og at 15 broen er monteret helt eller næsten helt udbalanceret i forhold til fremføringsindretningen (8) ved hjælp af en på en udragende del (7') af broen (7) anbragt kontravægt (9), hvis tyngdepunkt befinder sig hinsides fremføringsindretningen (8), og at broen (7) fortrinsvis støtter mod langsgående 20 støtteflader (10', 10'', ΙΟ''') på basisdelen (1).
2. Lasereksponeringsapparat ifølge krav 1, som er nyt ved, at broen (7) støtter mod de langsgående støtteflader (10' , 10'', 10''') ved hjælp af berøringsløse lejer (ll'a, ll'b, llMa, 11''b, 11''') såsom luftpudelejer eller magnetiske 25 lejer.
3. Lasereksponeringsapparat ifølge krav 1 eller 2, som er nyt ved, at mindst en af støttefladerne (10'') er skrå i forhold til basisdelen (l)'s længdemidterplan (L).
4. Lasereksponeringsapparat ifølge ét eller flere af kravene 30 1-3, som er nyt ved, at kontravægten (9) er udformet ud i et med broen (7). DK 95 00172 U3
5. Lasereksponeringsapparat ifølge et eller flere af kravene 1-4, som er nyt ved, at der mellem kontravægten (9) og basisdelen 1 findes berøringsløse lejer (11''a, ll"b, ll'a, ll'b) ved henholdsvis en skrå støtteflade (10'') og/eller en i ho-5 vedsagen lodret støtteflade (10') på basisdelen (1), medens der ved den ende (7,;) af broen (7), som befinder sig længst væk fra kontravægten, (9) findes et tredje berøringsløst leje (11'''), som samvirker med en i hovedsagen vandret støtteflade (10''') på basisdelen (1).
6. Lasereksponeringsapparat ifølge et eller flere af kravene 1-5, som er nyt ved, at det fælles tyngdepunkt for broen (7), det på denne monterede udstyr og kontravægten, befinder sig i hovedsagen lodret over eller under eller i fremføringsindretningen (8) .
7. Lasereksponeringsapparat ifølge et eller flere af kravene 1-6, som er nyt ved, at fremføringsindretningen (8) er en transport skruespindel, en skridtmotor-fremføringsindretning, en børsteløs DC-motor-fremføringsretning eller et nøjagtigt kabel- eller kædetræk med hastighedsstyring. 20
DK9500172U 1995-05-02 1995-05-02 Lasereksponeringsapparat DK9500172U3 (da)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK9500172U DK9500172U3 (da) 1995-05-02 1995-05-02 Lasereksponeringsapparat
EP96913476A EP0824399B1 (en) 1995-05-02 1996-05-01 Laser exposure apparatus
PCT/DK1996/000200 WO1996034747A1 (en) 1995-05-02 1996-05-01 Laser exposure apparatus
DE69603845T DE69603845T2 (de) 1995-05-02 1996-05-01 Laserbelichtungsgerät
US08/952,317 US5909236A (en) 1995-05-02 1996-05-01 Laser exposure apparatus
AT96913476T ATE183440T1 (de) 1995-05-02 1996-05-01 Laserbelichtungsgerät
AU56444/96A AU5644496A (en) 1995-05-02 1996-05-01 Laser exposure apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK9500172U DK9500172U3 (da) 1995-05-02 1995-05-02 Lasereksponeringsapparat

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK9500172U3 true DK9500172U3 (da) 1996-08-02

Family

ID=8155172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK9500172U DK9500172U3 (da) 1995-05-02 1995-05-02 Lasereksponeringsapparat

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5909236A (da)
EP (1) EP0824399B1 (da)
AT (1) ATE183440T1 (da)
AU (1) AU5644496A (da)
DE (1) DE69603845T2 (da)
DK (1) DK9500172U3 (da)
WO (1) WO1996034747A1 (da)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE414933T1 (de) * 1999-02-17 2008-12-15 Kodak Graphic Comm Gmbh Flachbettdruckplattenherstellungssystem
US6681693B2 (en) * 2001-02-07 2004-01-27 Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. Image recording apparatus with drum balancing

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH497714A (de) * 1968-03-16 1970-10-15 Bio Bielefelder Offsetdruckpla Kopiergerät für Offsetdruckplatten
US4099800A (en) * 1977-05-26 1978-07-11 The Bendix Corporation Coordinate measuring machine having auxiliary air bearing
US4455641A (en) * 1978-09-12 1984-06-19 Dennesen Electrostatics, Inc. Linear tracking system
DK207090D0 (da) * 1990-08-29 1990-08-29 Andersen Allan V Fremgangsmaade og apparat til udfoerelse af tromlescanning
JP2742006B2 (ja) * 1993-09-22 1998-04-22 大日本スクリーン製造株式会社 円筒内面走査装置

Also Published As

Publication number Publication date
AU5644496A (en) 1996-11-21
US5909236A (en) 1999-06-01
DE69603845T2 (de) 2000-01-20
DE69603845D1 (de) 1999-09-23
EP0824399A1 (en) 1998-02-25
EP0824399B1 (en) 1999-08-18
WO1996034747A1 (en) 1996-11-07
ATE183440T1 (de) 1999-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2071239T3 (es) Aparato de mecanizacion.
KR20220082905A (ko) 권취된 엔드리스 기판에 방사선을 이용하여 패턴을 도입하는 장치
ATE131677T1 (de) Laserabtastvorrichtung
DK9500172U3 (da) Lasereksponeringsapparat
EP0827326A3 (en) Light beam scanning apparatus for use with image forming apparatus
KR20190020575A (ko) 3-자유도 레이저 가공장치
KR100843720B1 (ko) 3차원측정 간섭계
KR20110074925A (ko) 조리개 변경 장치
FR2785130B1 (fr) Dispositif de numerisation a haute resolution de documents de grandes dimensions
JP4202576B2 (ja) 走査露光装置
MX9504113A (es) Aparato de montaje para la colocacion y orientacion selectiva de un dispositivo de exploracion o barrido en una maquina de impresion electrostatografica.
DK0575249T3 (da) Indretning til understøtning af statorviklingshovederne
JP2005022868A (ja) 印刷技術的な機械への枚葉紙の供給に際して主積み紙の更新中に補助積み紙を受容するための装置
SU958282A1 (ru) Устройство дл равнени листов
GB2009935A (en) Checking workpieces having surfaces of rotation
US6556232B2 (en) Base structure, processing device, and image forming device
ES2062667T3 (es) Dispositivo de carga para pesadoras dinamicas.
ATE233420T1 (de) Vorrichtung zur optischen detektion von blattgut
KR20210111680A (ko) 묘화 장치
EP3174716A1 (en) Printing machine with manual pre-registering system
JP2003207902A (ja) 露光装置
ATE339703T1 (de) Lagerung für einen spiegel zur führung eines laserstrahls an einer laserbearbeitungsmaschine sowie spiegelflächenträger als teil einer derartigen lagerung
RO99778B1 (ro) STAND PENTRU CONTROLUL SI REGLAREA CLARITATII IMAGINII îN SISTEMELE OPTICE
EP1231518A3 (en) Image recording apparatus
JPH02246674A (ja) 画像情報読取り装置

Legal Events

Date Code Title Description
UBP Utility model lapsed