DK57890A - Emnehaandteringsapparat - Google Patents

Emnehaandteringsapparat Download PDF

Info

Publication number
DK57890A
DK57890A DK057890A DK57890A DK57890A DK 57890 A DK57890 A DK 57890A DK 057890 A DK057890 A DK 057890A DK 57890 A DK57890 A DK 57890A DK 57890 A DK57890 A DK 57890A
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
workpiece
article
channel
projection
item
Prior art date
Application number
DK057890A
Other languages
English (en)
Other versions
DK57890D0 (da
Inventor
Peter David Young
Original Assignee
Peter David Young
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from GB878721026A external-priority patent/GB8721026D0/en
Application filed by Peter David Young filed Critical Peter David Young
Publication of DK57890A publication Critical patent/DK57890A/da
Publication of DK57890D0 publication Critical patent/DK57890D0/da

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0221Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts
    • B05B13/025Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts the objects or work being present in bulk
    • B05B13/0257Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts the objects or work being present in bulk in a moving container, e.g. a rotatable foraminous drum

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Vending Machines For Individual Products (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Supplying Of Containers To The Packaging Station (AREA)
  • Control And Other Processes For Unpacking Of Materials (AREA)
  • Cold Air Circulating Systems And Constructional Details In Refrigerators (AREA)
  • Coin-Freed Apparatuses For Hiring Articles (AREA)
  • External Artificial Organs (AREA)
  • Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
  • Filling Of Jars Or Cans And Processes For Cleaning And Sealing Jars (AREA)

Description

Opfindelsen angår et emnehåndteringsapparat omfattende en holder, i hvilken et emne kan sænkes, og hvorfra det kan løftes, og som kan dreje emnet omkring en i det væsentlige vandret akse.
Et sådant apparat fremgår af fig. 5 og 6 i ansøgerens britiske patentansøgning nr. 8 610 323 (2 174 624). Der er emnet en rektangulær rammekurv med metalmaskevægge, ' som indeholder metalstøbninger til imprægnering, og holderen omfatter et cylindrisk roterende bur, i hvilket kurven er forud monteret, og et par åg til at holde og dreje burdelen, hvilke åg kan drejes tilbage i aflastnings- og lastningspositionen til at tilvejebringe en af- . lastning- og lastningsåbning.
Der henvises desuden til britisk patentskrift nr.
2 .153 863, som beskriver et apparat, i hvilket ;en lignende iart kurv .bliver sænket ind i en imprægneringsautoklave, således - at et if remspring mod toppen :.af kurvens ene side kommer -ind i en V-formet understøtningsdel for .kurven . Autoklaven -lukkes :så :og et vakuum rtrækkes, hvorefter :understøtningsdelen :gr.adv.is isænkes i riet væskeimprægne-:ringsbad ved :bunden :af autoklaven. Efter .imprægnering .løftes .kurven ud fra autoklaven. -Der er ^imidlertid .ingen ^foranstaltninger :.til. at-dreje kurven.
-Generelt -1i 1 ve jebringer ropf indelsen en automatisk lås -til :at holde ?et r:emne i :en rroterende bolder.
Ilfølge opfindelsen er :der tilvejebragt et femnehåndte-zringsapparat omfattende ;en holder, i hvilken et emne kan -sænkes, og hvorfra det kan løftes, og som kan:dreje emnet :omkring en hovedsagelig vandret akse, hvilket emne omfat-‘ter et fremspring på mindst en side af emnet, hvilken holder omfatter en del, som er drejelig omkring aksen og har en radialt udad åben kanal til at modtage fremspringet, når emnet sænkes i position, og låseorganer til I ?· automatisk at holde fremspringet i kanalen som svar på en forud bestemt drej ningsbevægelse af delen og emnet bort fra laste- og aflastepositionen, således at emnet holdes sikkert under rotation.
i en udførelsesform er der et· fremspring på emnets ene side, og der er en fortrinsvis hovedsagelig central lejetap, som ligger på rotationsaksen på emnets anden side, idet holderen omfatter en buet opad vendende lejeflade, i hvilken lejetappen hviler, når emnet sænkes i position.
Det er ønskeligt, at emnet er fast i forhold til den ro-terbare del véd mere end et punkt. Selv om ’ dette kunne opnås ved at forlænge fremspringet i den radiale retning, foretrækkes .det at forsyne den drejelige del med en lodret kanal til at imodtage den tilstødende -ende af eranet. Alternativt kan den -roterbare .del have et fremspring radialt inden :f.or kanalen til at-gå i-indgreb med =en-lodret rille i emnet.
.1nen manden udførelsesform omfatter holderen også roterba-:re .understøtningsorganer :til at runderstøtte ::den 'modsat iden iroterbare idel vendende iside :a£ lemnet, og understøt-mingsorganerne omfatter ien iramme, i hvilken semnet kan .-sænkes, idet -rammen -fastgøres til den iroterhare del på uden ene side og bæres ;med et-leje .på .den tanden-side- 'Normalt ner ifremspringet på -emnet forskudt opad :fra irota-:tionsaksen, eftersom dette .letter placering :af =emnet :under llastning, snen .dét ikan være et hvilket isom ihelst an-.det passende sted (inklusive på aksen, forudsat der er 'truffet foranstaltninger til at overføre rotationsbevægelse til emnet). Fortrinsvis holdes fangorganeme i den operative position med en kam-følgerarm, som går i indgreb med et fast kamspor, som er indrettet til at frigøre fangorganet i lastnings- og aflastningspositionen. F.eks. kan fangorganet være en gaffeldel båret med en vandret aksel, som er monteret på den roterbare del, hvilken gaffeldel f.eks. er forspændt med vægten af kam-følgearmen, som også er forbundet til akslen, således at den vender opad, når den er i lastnings- og aflastningspositionen, og når den ikke er i indgreb med et emnefremspring. Gaflens underarm kan udelades, men i et sådant tilfælde fangorganet og frigøres under hver omdrejning. Fortrinsvis bærer kam-følgearmen en rulle for at nedsætte slid.
Opfindelsen har været særligt udviklet til at håndtere kurve med metalstøbninger eller sintrede metalemner som ,· nærmere omtalt i patentansøgning nr. 2 174 624, blot bliver rektangulære kurve i det foreliggende tilfælde håndteret direkte uden behov for et mellembur. Fortrinsvis har kurvene tappe og fremspring på to par modstående sider, således at kurven kan roteres omkring en vandret akse i et første behandlingstrin og roteres omkring en anden vandret akse, isom står vinkelret på den første akse, i et landet behandlingstrin, hvilken kurv .løftes .ud :fra holderen, f^eks. med -en overliggende hejs, :og idrejes :'90° omkring en vandret lakse rimellem de torxrin. Apparatet li følge opfindelsen romfatter fortrinsvis et :hus, irsåledes rat det kan ..anvendes til ^imprægnering, rtørring refter Imprægnering, .koldtvandsskylning eller varmtvandsbehandling isom ranført i patent skrift .nr. 2 174 624, selv om det i rden -her r be skrevne enkleste form :er imest ikoldtvandsskyl-rning eller vaxmtvandsbeharidling, hvorunder vand ganske senkel t :spr øj tes på kurven, eftersom idenne nenkle :f orm-ikke :har foranstaltninger til at -sænke rrotationsaksen i rhuset -for at lette imprægnering og til at . løfte idet-for at He*t-rte dræning af overskydende imprægnefingsmiddel. X en :fo--retrukket udførelsesform overføres kurvene succesivt mellem fire succesive stationer I-IV med en overliggende :hejs. Station I er en imprægneringsstation som beskrevet i britisk patentskrift nr. 2 153 863, og stationerne II-IV er ifølge den foreliggende opfindelse, idet station II er en dræningsstation, hvor kurven drejes intermitterende I > med en pause på få sekunder, f.eks. med 45° intervaller, station III er en koldtvandsskylningsstation og IV er en varmtvandsbehandlingsstation, idet vand sprøjtes på toppen af huset i stationerne III og IV.
Det vil naturligvis være muligt at ændre opfindelsen således at begge emnesider er monteret på samme måde, dvs. ved hjælp af et fremspring, som er holdt i en kanal i en drejelig del ved hjælp af et fangorgan.
:Op£indelsen skal i det følgende nærmere beskrives med henvisning til tegningen, hvorpå t fig. 1 viser et ovenbillede af et apparat til at behandle kurve med emner med en kold- eller varmtvandssprøjte, :f.ig. 2 viser et .lodret .snit .af apparatet i fig. 1 langs .linien B-B, :£ig. 3 viser et .lodret :snit :af :apparatet i fig. 1 langs -linien C-C (:men .udelader .de rroterende dele), ifig. 4 viser ;et idetal jieret :hiliede af :nogle af de rrote-:rende .dele (i samme retning tsom :f ig. 3), ifig. 5 viser a et-detailbillede langs-linien C-C, men-i .den tmodsatte retning :af .pilene, ifig. 6 viser et idetailhillede taf ifangorganet, isom ranven-ides i lapparatet, ' :£ig. 7 .er et tredie vinkel fremspring, som viser en anden udførelsesform ifølge opfindelsen noget diagrammæssigt, fig. 8 viser en detalje ved fangorganet i fig. 7 med en kurvtap på plads og holderen drejet bort fra lastnings/-aflastningspositionen, således at fangorganet er i funk- tion, fig, 9 er et billede svarende til fig. 8, men viser kurven, som lastes (eller aflastes) i lastnings/aflastningspositionen , fig. 10 viser et snit langs linien X-X i fig. 8, fig. 11 er et diagrammæssigt ovenbillede, som viser en . modifikation af udførelsesformen i fig. 1-6, og fig. 12 er et lodret snit svarende til linien: XII-XII i fig. 11.
Det viste apparat omfatter et hovedhus 1, som i det væsentlige er rektangulært i plan, under hvilket findes en vandopsamlingstank 2. Sprøjtedyser .er anbragt i et rør 3 ved oversiden iaf huset 1 og huset 1 kan .lukkes med et -låg (ikke vist).
Et -leje 5 :for en ;aksial tap ~på en kurv (.ikke vist) er -.forsynet Emed -:en buet opad 'vendende lejef lade 6, -som ser svejst til husvæggen. _Lej:ef.laden 6 .har æn :indførings kanal 7 for tappen, .som .er tilvejebragt med et par vægge 8, isom ier ;s vejst .til :huset og zdivergerer ved -deres øverste lende.
,:På iden modsatte side laf huset 1 :bærer :et .lukket -leje .10 i ihusets væg en -vandret aksel 11, :til hvis ydre .ende rer rfastgjort et :drivtandhj.ul JL2, rsom driver akslen 111 gennem nen glidekobling (.ikke vist). £En kam og ;kamfølgekont-akt (.ikke vist) tillader automatisk, at akslen -11 standses i -lastnings- og aflastningspositionen. En arm 13 ;er svejst :til akslen 11 og tilvejebringer en kanal 14 (se fig. 2) -til en yderligere tap på kurven ved den radialt yderste rende. Som vist i fig. 5 er armen 13 gaffelformet ved sin radialt yderste ende, således at den frembringer en indre kanaldel 15 samt en ydre kanaldel, som er frembragt med A I > selve armen, imellem den indre og ydre kanaldel er anbragt en lås 17 i form af en plade med en fordybning 18 i enden og et hul 19, ved hjælp af hvilket den er fastgjort til en aksel 20.
Fordybningen 18 skærer kanalen 14 i den viste operative position, således at tappen på kurven (ikke vist) ligger i fordybningen 18.
) Akslen 20 er drejelig båret i de to kanaldele og bærer en arm 22, som igen bærer en kampfølgerulle (hjul) 23 ved dens frie ende. I den viste lastnings- og aflastningsposition er rullen 23 ude af kontakt med dens kam 25, som er en smal plade, sora er svejst til husvæggen. Kammen 25 ; ær generelt cirkulær, men har en plan (eller afbrudt) sektion 27 ved en top. Når rullen .23 er modsat den cirku-Jrære del af kammen 25, holdes den radialt udad på en så-:dan .måde, at låsen 17 holdes i dens operative position. iNår rullen .23 er modsat .den flade =sek±ion 27, lean .låsen :£rit :dreje i retning imod ruret (som vist i fig. 2) i en /sådan /udstrækning, at .mundingen raf /fordybningen skråner lopad og korresponderer sned Men tapmodtagende kanal 14;>set tstop (ikke vist) :er :tilvej:ebragt :til Mette -.formål, /og 'vægten af armen 122 og rullen 123 er tilstrækkelig til at /bevirke .denne .rotation. Når -:en kurv sænkes .ind i huset, /hviler en tap Meraf :.på ..lejeoverfladen 6 -og en .anden tap /sænker :sig .ind i tkanalen .14 og ...drejer-låsen 17 .i .retning smed uret, når den gør idet. -Låget /anbringes på huset, 'vand /sprøjtes gennem dyserne :og r/kurven /drejes. I -lastnings/af-/lastriingspositionen/bliver ' tappen rholdt i-^kanalen 14 af /tyngdekraften, .men :når kurven drejer, går rullen ^23 i /indgreb .med kammen 25 og forhindrer, at tappen falder ud /af kanalen 14. Når kurven standses ved aflastningspositionen, frigøres låsen 17 automatisk, når kurven løftes ud. I en anden udførelsesform (ikke vist) er der tilvejebragt to lignende låse 17 med respektive aksler på hver side af kanalen 14; dette tilvejebringer yderligere sik- kerhed i "tilfælde af særligt tunge emner.
For at stabilisere kurven er et par vinkel jerndele 30 svejst til en tværbjælke 32, som igen er svejst til armen 13, idet delene 30, bjælken 32, armen 13 og lejepladen 6 tilsammen udgør en holder for kurven- Delene 30, som tilvej ebringer en flad lodret kanal, passer temmelig nøje til kurvens yderside og forhindrer unødvendig bevægelse i forhold til armen 13 under rotation- Vinkeljerndelene 30 er fortrinsvis trompetformet udad (ikke vist) ved toppen og muligvis også bunden for at lette lastning og aflastning. Det værdsættes,, at en trompetformet øverste ende letter sporingen af tappen med kanalen 14, når kurven sænkes med hejsen.
I fig. 7-10 anvendes samme henvisningstal for tilsvarende dele, men har et iciffer 10 eller 1 foran.
.Det ses at låsen ::er . blevet forenklet .til en :enkelt .plade .117, .som "tilvejebringer fordybningen 118 og rbærerullen 123- Kanaldelen .15 ær udeladt.
:i -fig - 7, 8 og 9 :er tappen på kurven vist ved .150.
:i udførelsesf ormen i :fig, 7 omfatter :den :drejel±ge holder armen .113 (som..i .udførelsesf ormen i fig. 1), men vinkel-jerndelene :30 .:er serstattet .af .-en imere komplet .understøt-iningsdel 1152, isom :undgår behovet rfor -:en tap på den nanden iside iaf kurven ogiet opad låbent -leje, i hvilket uden ;kan ifalde. Understøtningsdelen 1152 omfatter =en trektangulær rramme 153 båret af og drejelig imed akslen 11.11 ^ved iden ene -:side og rmed en aksel tap .155 :på -linie .dermed ved den anden ;side; aksel tappen er monteret i et leje 156 ligesom lejet 110. Rammen 153 har et par opad rettede udad skrånende (i -to planer) vinkel jernsstyr 157 ved i det mindste to hjørner i nærheden af stubakslen 155 (armen 113 frembringer et styr på den anden side af rammen). Rammens 153 \ I > stubakselside har også en kurvstopplade 159, som er båret af en nedhængende arm 161.
I udførelsesformen i fig. 7 har kurven 170 et kvadratisk tværsnit, og to tappe 150 og 150’ er anbragt på tilstødende sider. De to tappe tillader, at kurven kan lastes i den rektangulære ramme 153 i en af to mulige positioner og, når det kræves, aflastes i en anden position efter en 9001 s drejning omkring en lodret akse.
Virkemåden af den i fig. 7 viste udførelsesform er i det væsentlige den samme som i den i fig. 1 viste udførelsesform.
I udførelsesformen, som er vist i -fig. 11 og 12, er kurven 270 i form :af en lodret cylinder :med en V-formet rille 271 ned ved en side. I toppen .af rillen 271 -findes en tap 250, men denne tap 250 har et hoved 273. .Armen har i dette tilfælde også et .lodret -bladlignende ..fremspring 275, isom går i indgreb i rillen 271, når kurven 270 er •sænket i position, -således at rotation -af Harmen 1213 usikkert idrejer kurven .270. Af: enkelthedsgrunde -:er låsen -ikke vist ..i :fig. 11 og-12, irmen .dens konstruktion ;og virkemåde •er isom .i :f±g. 1-6. ·Εη nstyrdel '280 iaf romtrent trekantform ler fastgjort til en rammedel 1281 og tjener :til rat spore rillen 271, når kurven .270 .sænkes. Styrdelen .280 .har ren ispatte .283, isom tappen -250 ikan gå-igennem.
0A I > i · ; > '

Claims (6)

1. Emnehåndteringsapparat omfattende en holder, i hvilken et emne kan sænkes, og hvorfra det kan løftes, og som kan dreje emnet omkring en hovedsagelig vandret akse, kendetegnet ved, at emnet omfatter et fremspring på mindst den ene side, at holderen omfatter en del, som er roterbar omkring aksen og har en radialt udad åben kanal til at modtage fremspringet, når emnet sænkes i position, og '.låseorganer til automatisk at holde fremspringet i kanalen som svar på en forud bestemt drejningsbevægelse af delen og emnet bort fra lastnings- og aflastningspositionen, således at emnet er holdt sikkert under rotation.
2. Apparat .ifølge krav 1, kendetegnet ved, at .der er et fremspring på den :ene .side af :emnet, og der er ren fortrinsvis hovedsagelig rcentral lejetap, som .ligger •på rotationsaksen: på ..den anden side af emnet, .idet rholde-:ren romfatter ren rbuet ropad vendende lejeflade, i hvilken -lejetappen hviler, :når emnet er -sænket i position.
3. Apparat .ifølge krav 2, kendetegnet ved, rat :den roterbare del har ren .lodret kanal til at rrmodtage .den :til~stødende ende .af remnet.
;4. Apparat .ifølge rkrav 1 eller 2, kendetegnet -ved, at den roterende idel har et :fremspring radialt -inden -for -kanalen til indgreb rmed en -lodret .rille i emnet.
~5. Apparat .ifølge krav 1, kendetegnet ved, at rholderen desuden omfatter et roterbart understøtningsor-:gan til at understøtte den bort fra den roterbare del .liggende side af emnet.
6. Apparat ifølge krav 5, kendetegnet ved, at holderunder støtning sorg anet omfatter en ramme, i hvilken
DK057890A 1987-09-07 1990-03-06 Emnehaandteringsapparat DK57890D0 (da)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB878721026A GB8721026D0 (en) 1987-09-07 1987-09-07 Article handling apparatus
GB8721026 1987-09-07
GB8807473 1988-03-29
GB8807473A GB2209484B (en) 1987-09-07 1988-03-29 Article handling apparatus
GB8800722 1988-09-05
PCT/GB1988/000722 WO1989002319A1 (en) 1987-09-07 1988-09-05 Article handling apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DK57890A true DK57890A (da) 1990-03-06
DK57890D0 DK57890D0 (da) 1990-03-06

Family

ID=26292701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK057890A DK57890D0 (da) 1987-09-07 1990-03-06 Emnehaandteringsapparat

Country Status (12)

Country Link
US (1) US5107878A (da)
EP (1) EP0378561B1 (da)
JP (1) JPH03500142A (da)
AT (1) ATE76791T1 (da)
AU (1) AU2302388A (da)
BR (1) BR8807690A (da)
DE (2) DE3871804T2 (da)
DK (1) DK57890D0 (da)
ES (1) ES2010344A6 (da)
IN (1) IN175297B (da)
NO (1) NO901024L (da)
WO (1) WO1989002319A1 (da)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6062724A (en) * 1999-01-22 2000-05-16 Habicht; Helmut Clamp for retaining a removable frame on a lifting apparatus for material handling equipment
US7333563B2 (en) * 2004-02-20 2008-02-19 Research In Motion Limited Method and apparatus for improving power amplifier efficiency in wireless communication systems having high peak to average power ratios
US7325969B2 (en) * 2004-07-08 2008-02-05 Glatt Systemtechnik Gmbh Container mixer
CN101386156B (zh) * 2008-10-14 2010-06-02 浙江华友电子有限公司 硅片清洗定位装置
CN105127136B (zh) * 2015-10-13 2017-05-03 浙江亿帆自动化设备有限公司 一种清洗机

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US881583A (en) * 1907-03-25 1908-03-10 Curtis H Hodgkins Jewelry-polishing device.
US1166833A (en) * 1915-03-31 1916-01-04 James S Hazard Stand for crated bottles.
NL162184C (nl) * 1970-06-16 1980-04-15 Langen & Zonen Bv Inrichting voor rotatie-aandrijving van een transport- vat.
IT1057323B (it) * 1975-08-29 1982-03-10 Gen Signal Corp Apparecchiatura per manipolare e trattare materiale in contenitori di processo
US4468129A (en) * 1983-05-20 1984-08-28 General Signal Corp. Solids mixing apparatus
GB8402770D0 (en) * 1984-02-02 1984-03-07 Ultraseal International Ltd Impregnation of porous articles
US4722295A (en) * 1985-04-29 1988-02-02 Ultraseal International Limited Article treating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
EP0378561B1 (en) 1992-06-03
US5107878A (en) 1992-04-28
JPH03500142A (ja) 1991-01-17
IN175297B (da) 1995-06-03
WO1989002319A1 (en) 1989-03-23
DE3871804T2 (de) 1993-01-07
ATE76791T1 (de) 1992-06-15
DE378561T1 (de) 1991-04-11
NO901024D0 (no) 1990-03-05
NO901024L (no) 1990-05-03
EP0378561A1 (en) 1990-07-25
ES2010344A6 (es) 1989-11-01
DK57890D0 (da) 1990-03-06
DE3871804D1 (de) 1992-07-09
BR8807690A (pt) 1990-06-26
AU2302388A (en) 1989-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4425801B2 (ja) 基板処理装置
TWI580814B (zh) 基板處理裝置,以及鍍覆裝置及鍍覆方法
US6913650B2 (en) Component impregnation
TW564265B (en) Plating device and method
DK57890A (da) Emnehaandteringsapparat
JP2711617B2 (ja) 遠心分離機をインライン化した連続式表面処理方法及びその装置
EP0263979B1 (fr) Installation pour briqueter la paroi intérieur d'une enceinte
JP3824458B2 (ja) 自動炊飯装置
GB2209484A (en) Basket handling apparatus
TW202248426A (zh) 淬火裝置
KR102102158B1 (ko) 회전 도금장치
KR950004977Y1 (ko) 자동튀김기의 기름용기 회전장치
JPH0711135Y2 (ja) 含浸装置
CN110747474A (zh) 索具防锈处理系统及应用该设备的处理方法
US20030108409A1 (en) Method for charging and discharging a process tank
JP3338641B2 (ja) 処理装置
JP3817143B2 (ja) 基板処理装置
JPH0913198A (ja) 表面処理装置におけるバスケット回転装置
KR100460729B1 (ko) 반전장치 및 연마장치
JPH0322910Y2 (da)
JPH0897180A (ja) 基板処理装置
JPH07268693A (ja) ワークの液処理方法及び装置
JPS5727825A (en) Surface treatment liquid removing device
KR19990030383U (ko) 웨이퍼 건조 장치
JPH04114565U (ja) バレル蓋の開閉機構

Legal Events

Date Code Title Description
AHS Application shelved for other reasons than non-payment