DEP0012858DA - Zweistufiges elektrostatisches Elektronenmikroskop. - Google Patents

Description

Zweistufiges elektrostatisches Elektronenmikroskop

Is sind elektrostatische Linsen vorgoschlagen worden, die gegenüber einem in gewissen Grenzen schwankenden Spannungsverhältnis iron Kathodenspannung (Üjr) uzi<ä Linsenspannung (pL.) eine nahezu konstante Brennweite haben ο Gegenstand der Erfindung ist die Kombination solches? Linsen mit Linsen₈ die bezüglich der Änderung des erwähnten Spannungsverhältnisses hochempfindlich sind« Auf diese Weise gelingt es_? ein elektronenoptisches System au bauen, das mit wenig HochspannungsZuführungen auskommt unct bei dem dennoch die Möglichkeit besteht _t eine Scharfeinstellung vorzunehmen <=

Die Figuren 3 und 4 zeigen in scheiaatJlscher Darstellung Ausfilhxungsbeispiele der Einrichtung gemäß der Erfindung ο In beiden Figuren bezeichnet 1 die Kathode. 2 das Objekt_s 3 das Objektiv und 4 das Projektil

In den Figuren 1 und 2 ist die Brennweite f in Abhängigkeit vom erwähnten Spannungsverhältnis für die beiden Linsen, dargestellt. Baut man ein zweistufiges elektrostatisches Elektronenmikroskop mit einem Objektiv* dessen Charakteristik der in Fig. 1 dargestellten entspricht und dessen Projektiv die in Fig» 2 dargestellte Charakteristik zeigt _t und sind die Mittelelektroden beider Linsen miteinander verbunden* sofeaß ihnen nur die Spannung gemeinsam zugeführt zu werden braucht_f wie Fig« 3 zeigt- so erfolgt eine Scharfeinstellung durch Änderung der Spannung an der Mittelelektrode des Objektivsc Gleichzeitig ändert sich auch die Spannung sau Projektivi das ist jedoch ohne Einfluß auf die Vergrößerung des Mikroskops, da sich ja die Brennweite des Projektivs praktisch nicht änderte Man kann also praktisch ohne Änderung der Vergrößerung scharf einstellen«

Bei dem in Pig ο 4 dargestellten ζτ,/eistufigen Mikroskop ist die Vergrößerung veränderbare In diesem Falle besitzt das Objektiv 3 eine eigene Hochspannungszuführung» Bas Projektiv ist aus zwei Linsen 4_S5 zusammen^setzte deren Mittelelek-= troden unmittelbar miteinander verbunden sind, soüaß für sie nur eine einzige Hochspannungszuführung von außer! erforder-

lieh ist c Me M läse it ige- Linse 5 ^-s -Jfojektivs soll eine Char8J£teris%k entsprechend F-Ig₀ 2 hstfoen, wahrend die Zwischenlinse 4 eine Charakteristik aaach Figo 1 aufweist ο Biese Unordnung "bietet den Vorteil, ctaß infolge der umrer-* änderlichen Brennweite der "bildseitigea Proje.ktionslin.se das Bildfeld stets gleich groß "bleibt micL sich nicht l>ei .kl.eiiiea Vergrößerungen entsprechend einengt,, well irgend eine Blende als Bildbegrenzung wirkt, Die Vergroßeruiigsäiider-uiig wird nur durch die -veränderbare Brennweite der Zwischenlinse 4 hervorgeraf en»

Claims (1)

1. It. Elektrostatisches Elektronenmikroskop*, dadurch gekennzeichnet, daß es ein -Objektiv entliäiti dessen Brenne weite von dem Spannungsverhältnis iron Kathoden- und MnsenspaiinuDg stark abhängt _s. w£hx»end das Brojektiv eine von dem Spamiungsverhältnis möglichst wenig abhängende Brennweite aufweist»

   2, Slektronemaikroskop ηειοΐι Anspruch l_s dadui'ch gelcennzeie]3iiet:, daß das Pro ο aktiv eins 2%-iechenlinse ₈ deren Brennweite von el3m. SpannuOgs-verhaltnls. stark abhängt_s und sine ProiektionsliQ.se enthält, deren Br^onnweite von dem Speuinungsvei^iäl.-fcnis möglichst wenig abhängt ο