DEP0007047DA - Herstellung reflexvermindernder Überzüge - Google Patents

Description

Die Reflexverminderung optischer Grenzflächen ist ungefähr gleichzeitig ausgegangen von zwei Verfahren. Bei dem einen wird durch Herauslösen von Bestandteilen die Glasoberfläche so verändert, daß die reflektierten Lichtanteile infolge eines mehr oder weniger stetigen Ueberganges der Brechungszahl vom Wert der Luft zu dem des Glases durch Interferenz verkleinert werden. Nach einer alten Erfahrung der technischen Optik werden die fertigen Linsen und Prismen durch eine Säurebehandlung durchsichtiger gemacht, wobei die Oberflächen einen bläulich-violetten Schimmer erhalten. Die so hergestellten inhomogenen Schichten sind aber mechanisch und chemisch wenig widerstandsfähig. Das zweite Verfahren bewirkt durch Aufbringen einer Schicht von geeigneter Brechungszahl Reflexverminderung durch Interferenz. Hierbei hat neben dem Aufdampfen im Vacuum die Herstellung durch Zersetzen von Gasen Bedeutung erlangt. Vorteilhafter als das Aufbringen einer Schicht hat sich dann das Aufbringen mehrerer optisch aufeinander abgestimmter Ueberzüge erwiesen. Es lassen sich Formeln aufstellen, die für die verschiedenen Spektralbereiche die günstigsten Brechungszahlen der einzelnen Schichten zu bestimmen gestatten, also die Brechungszahlen, bei denen das Reflexionsvermögen für eine bestimmte Wellenlänge verschwindet und darüber hinaus die objektive Restreflexion den geringsten Wert hat.

Als exakte Bedingung für das Verschwinden der Reflexion bei einer bestimmten Wellenlänge ((Lambda)(sub)o) war gefunden, daß bei gerader Zahl (2m) von (Lambda)(sub)o/4 Schichten die Brechungszahlen annähernd der Beziehung und bei ungerader Zahl (2m+1) von

(Lambda)(sub)o/4 Schichten annähernd der Beziehung <Formel>,

also beispielsweise für 2 Schichten <Formel> und für 3 Schichten , gehorchen, wobei n(sub)1, n(sub)2 ... n(sub)g die Brechungszahlen der einzelnen Schichten in der Reihenfolge von außen zum Glas bedeuten.

Gleichzeitig gibt es von subjektiven Bedingungen unabhängige Vorschriften, um die Restreflexion möglichst kleine zu machen. Für die Restreflexion (R(sub)r) läßt sich folgende Beziehung aufstellen:

Hier bedeuten r(sub)1, r(sub)2 usw. die Fresnel'schen Amplituden für senkrechten Lichteinfall in der Reihenfolge der einzelnen Schichten und die Funktionen F mit ungeradzahligen Indices (2p-1) den wellenlängenabhängigen Ausdruck <Formel> und die Funktionen F mit geradzahligen Indices 2p den wellenlängigabhängigen Ausdruck <Formel>.

Die Funktionen F lassen sich in der Umgebung von (Lambda)(sub)o in bei (Lambda)(sub)o sehr stark konvergierende Reihen entwickeln, wobei der Argumentwert linear von der Wellenlänge abhängt. In dem Gesamtausdruck R(sub)r ((Lambda)) enthalten dann die einzelnen Potenzen dieses Argumentwertes Koeffizienten, die Ausdrücke der reellen Amplituden darstellen und somit wellenlängenunabhängig sind. Man kann nun je nach den frei wählbaren Bedingungen fordern, dass die Koeffizienten bis zu einer möglichst hohen Potenz des Argumentwertes kleinwerden oder verschwinden, und erhält dann auf Grund der bekannten Fresnel'schen Formeln eine entsprechende Anzahl von Bestimmungsgleichungen für die Brechungszahlen. Die Reihe für die Restreflexion kann auf diese Weise - unter Rücksichtnahme auf die zur Verfügung stehenden Werkstoffe - entsprechend der Zahl der Schichten mit einer möglichst hohen Ordnung in der Umgebung von (Lambda)(sub)o zum Verschwinden gebracht werden.

Zweckmässig erhält die äusserste Schicht eine möglichst niedrige Brechungszahl, soweit es mit guter chemischer und mechanischer Widerstandsfähigkeit zu vereinbaren ist. Die Auswahl der anderen Schichten wird dann auf Grund der Wurzelbedingungen unter möglichst weitgehender Beachtung der angegebenen Vorschriften zur Erzielung geringer Restreflexion getroffen.

Vorteilhaft ist es weiterhin, die Brechungszahlen der obersten und untersten Schicht mit je einer Dicke von (Lambda)(sub)o/4 so abzustimmen, dass sie der Bedingung gehorchen und dazwischen eine oder mehrere (Lambda) o/2 Schichten mit solchen Brechungszahlen einzuschalten, dass der Ausdruck für die Restreflexion auf Grund der oben angegebenen Vorschriften möglichst klein wird. Hierbei trägt man ebenfalls Sorge dafür, dass die äußere Schicht eine gute chemische und mechanische Widerstandsfähigkeit aufweist.

Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Erkenntnis zugrunde, daß durch Kathodenzerstäubung dargestellte Ueberzüge sich hervorragend zur Herstellung der besprochenen optisch aufeinander abgestimmten Mehrfachschichten eignen.

Zur Herstellung der reflexvermindernden Ueberzüge hat sich hierbei insbesondere folgendes Verfahren als vorteilhaft erwiesen: Die Ueberzüge aus Verbindungen, beispielsweise Oxyden, werden auf die zu entspiegelnden Oberflächen aufgebracht, indem die von der Kathode zerstäubten Elemente durch Reaktion mit den im Zerstäubungsraum vorhandenen Gasen in die gewünschten Verbindungen übergeführt werden. Dieser bevorzugten Ausführung der Erfindung liegt folgende Feststellung zu Grunde:

Ueblicherweise wird bei der Kathodenzerstäubung das zerstäubte Metall auf der Umgebung der Kathode in metallischer Form niedergeschlagen. Diese Beobachtung wurde wissenschaftlich genau untersucht und technisch allgemein ausgewertet. So wurden in Zerstäubungsreihen festgelegt, mit welcher Geschwindigkeit die einzelnen Metalle kathodenzerstäubt werden. Bei allen diesen Untersuchungen ist jedoch den Technikern und Forschern entgangen, daß manche Elemente, die scheinbar nicht zerstäuben, in Wirklichkeit noch in ganz besonders hohem Maße zur Zerstäubung gelangen, aber im Gasraum die noch restlich vorhandenen reagierenden Gase aufzehren und dann in nichtmetallischer Form zu Kondensation gelangen. Da allgemein in diesen Fällen die kondensierten Schichten farblos sind, ist ihr Vorhandensein den Beobachtern entgangen. Es ist nun möglich, durch bewußte Zuführung von reagierenden Gasen bei der Kathodenzerstäubung auf dem Wege zwischen Kathode und Kondensationsfläche Reaktionen zwischen dem zerstäubten Metall und den als Moleküle oder Atome vorliegenden Gasteilchen einzuleiten und dann nicht die zerstäubten Metallatome oder -moleküle zur Kondensation zu bringen, sondern die durch Reaktion mit den Gasen erhaltenen Verbindungen, beispielsweise Oxyde. Welche Vorgänge sich dabei an der Kathode abspielen, ist von besonderem wissenschaftlichen Interesse, spielt jedoch für die technische Auswertung keine Rolle. Die Reaktionen können entsprechend der Affibität der Metallatome mit verschiedenen Gasen ausgeführt werden. Hierbei ist es oft bei der Erzeugung bestimmter Verbindungen wesentlich, in reiner Gasatmosphäre zu arbeiten, z.B. bei der Herstellung von Oxyden in reinem Sauerstoff. Auch ist es oft von ausschlaggebender Bedeutung, dass reine Kathoden benutzt werden und die zu entspiegelnde Oberfläche besonders rein ist.

Die Bedingungen der Glimmentladung werden vorzugsweise so gewählt, dass die übertragene Energie genügend weit unterhalb der Dissoziationsenergie der betreffenden Metallverbindung liegt. Dadurch wird erreicht, dass nur reine Stoffe zur Abscheidung kommen und die zu belegenden Oberflächen nicht unzulässig erwärmt werden.

Die so durch Kathodenzerstäubung erhaltenen Überzüge entsprechen in vollkommener Weise allen Anforderungen, die an reflexvermindernde Schichten gestellt werden. Besonders überraschend und für die Anwendung wertvoll ist, dass die Schichten kompakt sind. Sie sind völlig haftfest und besitzen hohe Härte und gute mechanische und chemische Beständigkeit. Soweit keine in der Zusammensetzung selbst begründete Eigenabsorption vorliegt, lassen sich die Überzüge auch stets absorptionsfrei erhlaten. Dies ist für die meisten Anwendungen von Bedeutung, da man im allgemeinen auf Absorptionsfreiheit Wert legt und nur in Sonderfällen absorbierende Überzüge wählt. Während sich bei der Vacuumverdampfung hochschmelzender Stoffe die Schichtdicke nur schwer einstellen lässt, weil der Verdampfungsvorgang plötzlich einsetzt, lässt sich die Kathodenzerstäubung über Minuten bis Stunden hinziehen, sodass das Verfahren messend verfolgt werden kann und eine genaue optische Einstellung der Schichtdicke möglich ist. Dies ist für die Erfindung von besonderer Bedeutung, weil diese Beobachtung erst den Aufbau der Systeme aus zwei oder mehreren Schichten ermöglicht. Das neue Verfahren unter Verwendung der Kathodenzerstäubung ge- stattet also überraschenderweise nicht nur die Herstellung von reflexvermindernden Überzügen überhaupt, sondern auch den Aufbau der besonders wertvollen Kombinationen.

Die Kathodenzerstäubung liefert somit bei der Herstellung reflexvermindernder Schichten in jeder Hinsicht die Überzüge mit den günstigsten Eigenschaften. Dabei ist auch das Herstellungsverfahren selbst vorteilhafter als bei der Verdampfung im Vacuum, vor allem, weil die Apparaturen einfacher und die Betriebskosten geringer sind.

Die genannten Vorteile fallen auch dem Gaszersetzungsverfahren gegenüber ins Gewicht. Gegenüber anderen Verfahren, wie dem Ätzverfahren, besteht der grundsätzliche Fortschritt darin, dass keine inhomogenen, sondern kompakte homogene Schichten erhalten werden.

Einige Beispiele sollen die Herstellung von reflexvermindernden Schichten durch Kathodenzerstäubung erläutern:

Die Zerstäubung von Aluminiumkathoden in sauerstoffhaltiger Atmosphäre ergibt ein reines Al(sub)2O(sub)3; die Schicht besitzt die Härte des Korunds. Dagegen ist es beim Verdampfen von Aluminiumoxyd mit einem Schmelzpunkt von ungefähr 2050° unmöglich, das Mitverdampfen, z.B. des Werkstoffes aus dem das Schiffchen für das Aluminiumoxyd besteht, völlig zu vermeiden.

Silizium wird bei der Kathodenzerstäubung in sauerstoffhaltiger Atmosphäre in Form von amorphen SiO(sub)2-Schichten kondensiert, diese haben die idealen physikalischen und technischen Eigenschaften des Quarzglases, also Absorptionsfreiheit zwischen 0,2 und 4 u; die Brechungszahl beträgt 1,45. Beim Verdampfungsverfahren ist es jedoch entgegen allen Angaben der Literatur unmöglich, Siliziumdioxydschichten in hochwertiger optischer Form herzustellen. Entweder entstehen, wenn der Werkstoff des Schiffchens auf das Siliziumdioxyd reduzierend einwirkt, Schichten aus Siliziummonoxyd, das im Ultravioletten starke Absorptionen aufweist, oder es entstehen Siliziumdioxydschichten von besonders lockerem Gefüge, sodass eine ausreichende

Kraftfestigkeit nicht erzielt werden kann.

Eine Thoriumkathode wird in sauerstoffhaltiger Atmosphäre zerstäubt, es entsteht eine Schicht aus ThO(sub)2, die völlig absorptionsfrei ist und alle günstigen Eigenschaften des Thoriumdioxyds besitzt; ihre Brechungszahl beträgt 1,79. Dagegen ist es ohne einen ungeheuren experimentellen Aufwand unmöglich, auf dem Wege der Verdampfung Thoriumdioxyd in reiner Form zur Kondensation zu bringen, weil der Schmelzpunkt des Thoriumdioxyds bei 3050°C und sein Siedepunkt bei 4400°C liegt, und für die Verdampfungstemperatur, die zwischen diesen beiden Temperaturgrenzen liegen müsste, kein Werkstoff bekannt ist, von dem Thoriumdioxyd ohne Mitverdampfung dieses Werkstoffes verdampft werden könnte.

Durch Kathodenzerstäubung von Titan in sauerstoffhaltiger Atmosphäre lassen sich kompakte Titandioxydschichten mit einer Brechungszahl von 2,80 herstellen.

Andere Beispiele für Oxyde, die erfindungsgemäss durch Kathodenzerstäubung auf die zu entspiegelnden Oberflächen niedergeschlagen werden, sind BeO, ZrO(sub)2, Bi(sub)2O(sub)3, Ta(sub)2O(sub)5 und die Oxyde der seltenen Erden. Es handelt sich in allen diesen Fällen um nicht wasserlösliche absorptionsfreie Oxyde. Für bestimmte optische Zwecke sind aber auch anorganische Verbindungen mit Absorption, beispielsweise Eisenoxyd und Nickeloxyd, von Interesse. - Es ist sogar möglich, auf dem Wege der Kathodenzerstäubung durch Reaktion mit dem im Zerstäubungsraum vorhandenen Sauerstoff Oxyde in reiner Form zu erzeugen, die sonst kaum zu erhalten sind, beispielsweise Platinoxyd.

Beispiele für weitere Verbindungen, die erfindungsgemäss durch Kathodenzerstäubung und Reaktion mit im Zerstäubungsraum vorhandenen Gasen auf den zu entspiegelnden Oberflächen niedergeschlagen werden, sind Chalkogenide, insbesondere Sulfide, Halogenide, insbesondere Fluoride, Hydride und Nitride.

In besonders gelagerten Fällen lassen sich auch zur Herstellung reflexvermindernder Überzüge durch Kathodenzerstäubung erzeugte

Schichten mit Schichten kombinieren, die nach anderen Verfahren erzeugt sind.

Bei dem Verfahren der Erfindung kann die Kathode selbst als Massivkathode, als Kathode in Form von Drahtnetzen oder als Kathode in Form von Drähten, die parallel zueinander ausgespannt sind, ausgebildet sein. Drahtnetze und ausgespannte Drähte bieten aus folgendem Grund besondere Vorteile. Bei der Kathodenzerstäubung gelangt das von der Oberfläche der Kathode verdampfende Material entsprechend dem Temperaturgradienten wieder zur Kondensation. Bei der Massivkathode diffundiert sehr viel auf die im allgemeinen kalte Kathode zurück und nur ein Bruchteil gelangt auf die zu belegende Fläche. Da demgegenüber bei der Drahtnetzkathode die freie Weglänge der abgedampften Atome kleiner ist als der Netzabstand, ist die Wahrscheinlichkeit, dass das abgedampfte Atom auf die Kathode zurückdiffundiert, verhältnismässig klein. Bei Netz- und Drahtelektroden ist es natürlich zweckmässig, mindestens zwei Auffangflächen, die auf beiden Seiten der Kathode liegen, zu verwenden.

Auch ist es oft vorteilhaft, zur Vermeidung eines grossen technischen Aufwandes nicht Massivkathoden aus dem zu zerstäubenden Material zu verfertigen, sondern eine Trägerkathode galvanisch oder durch andere Verfahren, beispielsweise durch das Schopp'sche Spritzverfahren, mit dem zu zerstäubenden Metall in dünner Schicht derart zu überziehen, dass bei der Zerstäubung nur das zur Zerstäubung kommende Metall an der Oberfläche liegt. Diese Lösung wird mit besonderem Vorteil angewandt bei der Herstellung von Cr(sub)2O(sub)3-Schichten; hierbei gelangt als Kathode z.B. ein Eisenblech zur Verwendung, das mit einem galvanischen Chromüberzug versehen ist. Wenn eine galvanische Abscheidung nicht möglich ist, andererseits aber durch das Verdampfungsverfahren das reine Oxyd nicht erhalten werden kann, bietet sich der Weg, das Metall selbst im Hochvacuum auf eine Trägerkathode aufzudampfen und die aufgedampfte Schicht dann wieder durch Kathodenzerstäubung und die anschliessende Reaktion, die in dem Raum zwischen der Kathode und der Kondensationsfläche stattfindet, in die gewünschte Verbindung überzuführen.

Um Gemische von Verbindungen auf den zu entspiegelnden Oberflächen niederzuschlagen, bieten sich folgende Möglichkeiten:

Als Kathode wird eine Legierung verwendet. Infolge der verschiedenen Zerstäubungsgeschwindigkeit der verschiedenen Elemente entspricht das Kondensat im allgemeinen nicht der Zusammensetzung der Kathode und es ist deshalb notwendig, vorher die geeignete Kathodenzusammensetzung festzulegen, um nachher die gewünschte Zusammensetzung des Kondensats zu erreichen. Da aber die Oberfläche der Kathode einer dauernden Veränderung unterworfen ist, ist es notwendig, die Oberfläche so weit abzunehmen, dass die eigentliche gleichbleibende Zusammensetzung der Kathode aussen wieder in Erscheinung tritt. Eine zweite Möglichkeit besteht darin, bei Draht- oder Netzkathoden in einer gewissen Reihenfolge Drähte aus dem einen Element mit Drähten aus dem anderen Element abzuwechseln und beide zu zerstäuben. Dies bietet den grossen Vorteil, dass die Kathodenoberfläche im Laufe der Zeit keine wesentliche Veränderung erfährt, sodass das Kondensat auch ohne erhebliche Behandlung der Kathode immer dieselbe Zusammensetzung besitzt.

Im Vorstehenden ist gezeigt, dass beim Verfahren der Erfindung ein grosser Spielraum für die aufzubringenden reflexvermindernden Schichten und die Art ihrer Herstellung besteht.

Das Verfahren der Erfindung gestattet also, reflexvermindernde Überzüge mit der genau gewünschten Dicke aus reinen Stoffen oder Stoffen in vorgeschriebener Mischung in kompakter Form herzustellen und somit haben der Dicke auch die Brechungszahl wunschgemäss genau festzulegen.

Infolge dieser Variationsmöglichkeiten lassen sich die reflexvermindernden Überzüge den verschiedensten optischen

Gläsern anpassen.

Es wurde weiterhin gefunden, dass auch die Schichten, deren Brechungszahl nicht zur Brechungszahl des Glases passt, Reflexionsauslöschung erhalten werden kann, wenn die Schichtdicke passend gewählt wird:

Soll z.B. ein Glas mit der Brechungszahl n(sub)g = 1,50 reflexvermindernde Überzüge erhalten, wobei für die oberste Schicht Siliziumdioxyd mit einer Brechungszahl n(sub)1 = 1,46 gewählt wird, dann würden die "Wurzelbedingungen" einen Wert von <Formel> ergeben. Will man nun aber für die auf das Glas zuerst aufzubringende Schicht wegen seiner ausgezeichneten Haltbarkeit Thoriumdioxyd mit einer Brechungszahl n(sub)2 = 2.00 verwenden, dann ergibt sich der folgende Weg:

Das Reflexionsvermögen der reinen Glasoberfläche ist

Wird eine Schicht mit der Brechungszahl n(sub)2 in einer Dicke von o/4 aufgebracht, so steigt das Reflexionsvermögen für Licht der Wellenlänge (Lambda)(sub)o auf den Wert

Die Variationen des Erfindungsgedankens besteht nun darin, dass auf dem Glas eine Schicht mit anderer Brechungszahl als n(sub)2, nämlich n(sub)2*, aufgebracht wird und zwar in solcher Schichtdicke, dass das Reflexionsvermögen wieder den Wert R(sub)2 erreicht. Es sei die Bezeichnung eingeführt, dass eine solche Schicht die "virtuelle" Brechungszahl n(sub)2 besitzt. n(sub)2 muss immer grösser als n(sub)2 sein. Die Herstellung einer solchen Anordnung ist damit wesentlich vereinfacht, denn die Schichtdicke lässt sich sehr genau einhalten. Z.B. kann solange Substanz aufgebracht werden, bis das verlangte Reflexionsvermögen erreicht ist, über die so eingestellte Unterlageschicht kann dann im gleichen Arbeitsgang der Stoff mit der Brechungszahl n(sub)1 aufgebracht werden, und zwar solange, bis die Reflexionsauslöschung bei der Wellenlänge (Lambda)(sub)o erfolgt. Man kann dabei ein Spektrum des reflektierten Lichts beobachten und sieht dann während des Aufbringens der Schicht mit der Brechungszahl n(sub)1 das Auslöschungsminimum im Violetten auftauchen und mit wachsender Schichtdicke nach Rot wandern. Hat das Auslöschungsminimum die gewünschte Wellenlänge, z.B. (Lambda)(sub)o = 555 mµ erreicht, so wird das Aufbringen unterbrochen. Nach diesem Verfahren kann beispielsweise bei der Reflexionsverminderung photographischer Objektive das Auslöschungsminimum genau an die Stelle des Maximums der relativen spektralen Plattenempfindlichkeit gelegt werden und damit optimale Wirkung der Reflexionsverminderung erreicht werden.

Diese Methode ist für die verschiedensten Herstellungsverfahren, also vor allem neben der Vakuumverdampfung auch für die Kathodenzerstäubung anwendbar.

Bisher glaubte man, mit zwei Schichten keine günstigen reflexvermindernde Ueberzüge in der Praxis herstellen zu können und war der Auffassung, dafür mindestens 3 Schichten verwenden zu müssen. Nach dem eben beschriebenen Verfahren wird aber bereits durch zwei Schichten eine Verbesserung der Reflexionsverminderung auch in optischer Beziehung erreicht, weil durch genaue Anpassung an die Brechungszahlen im Maximum der Empfängerempfindlichkeit vollständige Reflexionsauslöschung erzielt werden kann.

Die erhöhte Restreflexion liegt meist in Gebieten, wo die Empfängerempfindlichkeit schon sehr gering ist, beispielsweise bei Aufstellung auf die Augenempfindlichkeit im Violetten und Roten. Sie fällt hierbei durch einen Farbstich der reflexionsvermindernden Schicht auf; die Verbesserung durch das vollständige Verschwinden der Reflexion im Grünen ist ein entscheidender Fortschritt des neuen Verfahrens.

Dabei zeigte sich, daß System mit zwei reflexionsvermindernden

Schichten in mancher Beziehung denen mit drei oder mehr Schichten sogar überlegen sind. Die Schichten sind einfacher herzustellen. Abweichungen in der Dicke wirken sich nicht so sehr aus wie bei grösserer Schichtenzahl, und die Überzüge sind weniger empfindlich als die dickeren Überzüge mit mehr Schichten; sie haben günstigere Festigkeitseigenschaften und zeigen weniger Streulicht.

Das Verfahren mit der Abstimmung der "virtuellen" Brechungszahl lässt sich sinngemäss aber auch auf drei und mehr Schichten übertragen. Beispiele für die erfindungsgemäss zur Anwendung kommenden Schichtenfolgen, die auf dem Wege der Kathodenzerstäubung hergestellt werden, sind folgende:

1.) ThO(sub)2/SiO(sub)2

2.) BeO/SiO(sub)2

3.) Al(sub)2O(sub)3/SiO(sub)2

4.) MgO/SiO(sub)2

5.) ThO(sub)2/TiO(sub)2/SiO(sub)2

Claims (10)

1.) Reflexvermindernde Überzüge, dadurch gekennzeichnet, daß auf der zu vergütenden Oberfläche durch Kathodenzerstäubung zwei oder mehrere Schichten mit solchen Brechungszahlen aufgebracht sind, dass diese bei gerader Zahl (2m) von o/4 = Schichten der Beziehung und bei ungerader Zahl (2m + 1) von o/4 = Schichten annähernd der Beziehung gehorchen, wobei n(sub)1, n(sub)2 ... n(sub)g die Brechungszahlen der einzelnen Schichten in der Reihenfolge von aussen zum Glas bedeuten.

2.) Reflexvermindernde Überzüge nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Brechungszahlen der durch Kathodenzerstäubung hergestellten Schichten neben den angegebenen Wurzelbedingungen noch der Forderung genügen, dass bei einer Reihenentwicklung des Ausdrucks für die Restreflexion die wellenlängenunabhängigen, aber von den Fresnel'schen Amplituden abhängigen Koeffizienten entsprechend den noch frei wählbaren Bedingungen bis zu einer möglichst hohen Potenz des von der Wellenlänge linear abhängigen Argumentwertes klein werden oder verschwinden.

3.) Reflexvermindernde Überzüge nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Abweichungen in der Brechungszahl der durch Kathodenzerstäubung hergestellten Schichten von der Forderung des Anspruchs 1 durch eine Veränderung der Dicke einer oder einzelnen Schichten so ausgeglichen werden, daß der Wert des Reflexionsvermögens für Licht der Wellenlänge o an der Oberfläche der betreffenden Schichten dem entspricht, den eine nach den Formeln des Anspruchs 1 aufgebaute Schichtenfolge an dieser Stelle aufweisen würde.

4.) Reflexvermindernde Überzüge nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die äussere der durch Kathodenzerstäubung aufgebrachten Schichten eine möglichst niedrige Brechungszahl bei guter chemischer und mechanischer Widerstandsfähigkeit aufweist und die Auswahl der anderen Schichten auf Grund der Wurzelbedingungen des Anspruches 1 oder der entsprechenden Bedingungen des Anspruchs 3, vorzugsweise unter Beobachtung der Vorschrift nach geringer Restreflexion entsprechend Anspruch 2, getroffen wird.

5.) Reflexvermindernde Überzüge nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass von den durch Kathodenzerstäubung hergestellten Schichten die Brechungszahlen der obersten und untersten Schicht mit je einer Dicke von (Lambda) o/4 der Bedingung <Formel>

gehorchen und dazwischen eine oder mehrere (Lambda) o/2 Schichten mit solchen Brechungszahlen eingeschaltet sind, dass der Ausdruck für die Restreflexion entsprechend Anspruch 2 möglichst klein wird.

6.) Verfahren zur Herstellung reflexvermindernder Überzüge aus zwei oder mehr optisch aufeinander abgestimmten Oberflächenschichten nach Anspruch 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass von der Kathode zerstäubte Elemente durch Reaktion mit den im Zerstäubungsraum vorhandenen Gasen in Verbindungen, beispielsweise durch Reaktion mit Sauerstoff in Oxyde, übergeführt werden und diese auf der optischen Oberfläche den gewünschten Schichtenaufbau bewirken.

7.) Verfahren zur Herstellung reflexverminderner Überzüge nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kathodenzerstäubung in chemisch reinen Gasen, beispielsweise reinem Sauerstoff, durchgeführt wird.

8.) Verfahren zur Herstellung reflexvermindernder Überzüge nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass Kathoden in Form von Drahtnetzen oder in Form von

Drähten, die parallel zueinander ausgespannt sind, zerstäubt werden.

9.) Verfahren zur Herstellung reflexvermindernder Überzüge nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kathodenzerstäubung mit Trägerkathoden, die mit dem zu zerstäubenden Metall in dünner Schicht überzogen sind, durchgeführt wird.

10.) Verfahren zur Herstellung reflexvermindernder Überzüge nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass Kathoden, die mehrere Metalle enthalten, beispielsweise in Form von Legierungen oder in Form von Draht- oder Netzkathoden aus Drähten mit verschiedenen Metallen, zerstäubt werden.