DEP0000606BA - Zur Objektuntersuchung dienender Korpuskularstrahlapparat - Google Patents

Zur Objektuntersuchung dienender Korpuskularstrahlapparat

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Publication number
DEP0000606BA
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DE
Germany
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apparatus used
beam apparatus
corpuscular beam
examining objects
sit
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Expired
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Bodo Dr.-Ing. von Bornes
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens and Halske AG
Original Assignee
Siemens and Halske AG
Publication date

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Description

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