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Publication number: DEN0010012MA
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Description

N 10012IX142kN 10012IX142k

Die Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zum Auffinden sehr kleiner Undichtigkeiten bei Vakuumanlagen, insbesondere bei Entladungsröhren, wobei diese Anlagen mit einem Anzeigegas bespritzt oder umspült werden und der Druck dieses Anzeigegases in der Vakuumanlage mit Hilfe eines empfindlichen Manometers gemessen wird.The invention relates to a device for finding very small leaks Vacuum systems, especially in the case of discharge tubes, these systems with an indicator gas are splashed or rinsed and the pressure of this indicator gas in the vacuum system Measured using a sensitive manometer.

Bei einem bekannten Verfahren zum AuffindenIn a known method of finding

ίο von Undichtigkeiten wird die zu prüfende Vakuumanlage mittels eines Wasserstoffstrahles abgetastet oder in eine Glocke mit einer Wasserstofratmosphäre untergebracht. In die Leitung, welche die Vakuumanlage mit dem Manometer verbindet, ist eine erhitzte Palladiummembran, meistens in Form eines Röhrchens, eingebracht. Diese Membran ist nur für Wasserstoff und nicht für andere Gase durchlässig.ίο the vacuum system to be tested is affected by leaks scanned by means of a hydrogen jet or in a bell with a hydrogen atmosphere housed. In the line that connects the vacuum system with the manometer, is a heated palladium membrane, usually in the form of a tube, inserted. This membrane is only permeable to hydrogen and not to other gases.

Es ist bedenklich, daß Kohlenwasserstoffe durch Zersetzung am erhitzten Palladium Wasserstoff abgeben, wodurch fälschlich der Eindruck einer Undichtigkeit entsteht. Wenn kein Manometer verwendet wird, das den durchgelassenen Wasserstoff schnell wegbrennt, ist es schwierig, in kurzer Zeit zwei verschiedene Undichtigkeiten nacheinander festzustellen. Das Palladium weist auch manchmal Verunreinigungen auf. ,It is questionable that hydrocarbons release hydrogen through decomposition on heated palladium, which falsely gives the impression of a leak. When not using a pressure gauge that burns away the hydrogen that has passed through quickly, it is difficult to do so in a short time detect two different leaks one after the other. The palladium also shows sometimes Impurities. ,

Die Erfindung bezweckt, eine Undichtigkeitssuchanlage zu schaffen, die gegenüber der bekannten Anlage Vorteile aufweist.The aim of the invention is to provide a leak detection system which, compared to the known System has advantages.

Bei einem Gerät zum Auffinden sehr kleiner Undichtigkeiten bei Vakuumanlagen, insbesondere bei Entladungsröhren, wobei die zu prüfende Anlage durch ein Anzeigegas bespritzt oder umspült wird, dessen Druck in der Vakuumanlage mittels eines empfindlichen Manometers gemessen wird, ist die Vakuumanlage gemäß der Erfindung mit dem Manometer über eine Leitung verbunden, die eine Menge absorbierenden Materials enthält, das Luft und die meisten anderen Gase absorbiert, aber das Anzeigegas durchläßt oder in geringerem Maße absorbiert. In a device for finding very small leaks in vacuum systems, in particular in the case of discharge tubes, whereby the system to be tested is sprayed or washed around by an indicator gas whose pressure in the vacuum system is measured by means of a sensitive manometer the vacuum system according to the invention connected to the manometer via a line that has a Contains amount of absorbent material that absorbs air and most other gases, but that Permits indicator gas or absorbs it to a lesser extent.

Als Absorptionsmaterial kann aktive Kohle mit niedriger Temperatur verwendet werden, wobei das Anzeigegas Helium und gegebenenfalls Wasserstoff ist, obgleich letzterer noch verhältnismäßig ■ stark absorbiert wird, und wobei außerdem die aktive' Kohle mit Rücksicht auf Explosionsgefahr ausschließlich durch flüssigen Stickstoff abgekühlt werden kann.As the absorption material, active carbon of low temperature can be used, whereby the Indicator gas is helium and possibly hydrogen, although the latter is still proportionate ■ is strongly absorbed, and in addition, the active 'carbon with regard to the risk of explosion can only be cooled by liquid nitrogen.

Silicagel mit niedriger Temperatur hat den Vorteil, daß der Wasserstoff auch nur in geringem Maß absorbiert und niemals explosiv wird; auch in diesem Falle kann Helium als Anzeigegas verwendet werden.Silica gel with a low temperature has the advantage that the hydrogen is only slightly Measure is absorbed and never becomes explosive; in this case too, helium can be used as the indicator gas will.

Der Vorteil eines Gerätes nach der Erfindung ist der, daß das. absorbierende Material kein Gas abgibt, wie es beim Palladium vorkommen kann, so daß auch kleine Undichtigkeiten festgestellt werden können. Bei großen Undichtigkeiten kann das absorbierende Material zu schnell gesättigt sein.The advantage of a device according to the invention is that the absorbent material is not a gas releases, as can happen with palladium, so that even small leaks are found can be. If there are large leaks, the absorbent material can become saturated too quickly.

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert, die ein Gerät nach der Erfindung mit einer zu prüfenden Entladungsröhre darstellt.The invention is explained in more detail with reference to the drawing, which shows a device according to the invention with a discharge tube to be tested.

In der Zeichnung bezeichnet 1 die Metallanode einer Senderöhre, die mit, einem Flansch 2 zur Befestigung am Kühlgehäuse versehen ist. Ein Glasring 3 ist einerseits an der Anode und andererseits an dem Gitteranschluß ring 4 festgeschmolzen. Der Gitterring 4 wird durch einen Glaskopf 5 ver- η₀ schlossen, in dem drei Heizkathodenzuführungen 6 angebracht sind.In the drawing, 1 denotes the metal anode of a transmitter tube, which is provided with a flange 2 for attachment to the cooling housing. A glass ring 3 is fused on the one hand to the anode and on the other hand to the grid connection ring 4. The lattice ring 4 is η comparable through a die 5 ₀ included, are mounted in the three Heizkathodenzuführungen. 6

Das Pumprohr der Senderöhre ist durch den Hahn 7 mit einem Kühler 9 verbunden, der über eine Leitung 10 zu einer Entlüftungspumpe führt. Das Pumprohr ist weiter durch den Hahn 8 mit einem Kühler 11 verbunden, in dem sich eine Menge Sificagel 12 befindet. Auf der anderen Seite ist der Kühler 11 mit dem Manometer verbunden, der aus einem zylindrischen Anodenring 13 und zwei Kathodenplatten 14 besteht, die sich zwischen den Polen N und vS* eines Magneten befinden.The pump tube of the transmitter tube is connected by the tap 7 to a cooler 9, which leads via a line 10 to a ventilation pump. The pump pipe is further connected by the tap 8 to a cooler 11 in which a quantity of Sificagel 12 is located. On the other hand, the cooler 11 is connected to the manometer, which consists of a cylindrical anode ring 13 and two cathode plates 14, which are located between the poles N and vS * of a magnet.

Die Prüfung der Senderöhre geht wie folgt vor sich: Zunächst wird das Silicagel, nötigenfalls durch Erhitzen, entgast; dabei ist der Hahn 7 geschlossen und der Hahn 8 derart eingestellt, daß der Kühler 11 mit der Pumpleitung 10 verbunden ist. Darauf wird der Hahn 8 geschlossen und der Hahn 7 geöffnet, so daß die Senderöhre 1 entlüftet werden kann. Darauf wird der Hahn 7 geschlossen, und durch den Hahn 8 wird die Röhre 1 mit dem Kühler 11 und dem Manometer verbunden. Mittels eines Spritzrohrs 15 wird ein Wasserstoffstrahl auf die Stellen der Röhre 1 aufgespritzt, wo Undichtigkeiten vermutet werden. Hineinleckende Luft wird durch das Silicagel 12 absorbiert, aber der Wasserstoff wird zu dem Manometer zugelassen. Da die angewandte Art von Manometer den Wasserstoff wegbrennt, kann gegebenenfalls während einiger Minuten die Manometerspannung ausgeschaltet und darauf abermals der Druck gemessen werden.The test of the transmitter tube goes as follows: First, the silica gel, if necessary by heating, degassed; while the valve 7 is closed and the valve 8 is set such that the cooler 11 is connected to the pump line 10. Then the cock 8 is closed and the Cock 7 opened so that the transmitter tube 1 can be vented. Then the tap 7 is closed, and through the cock 8 the tube 1 is connected to the cooler 11 and the manometer. By means of a spray tube 15, a hydrogen jet is sprayed onto the points of the tube 1 where Leaks are suspected. Leaking air is absorbed by the silica gel 12, however the hydrogen is admitted to the manometer. As the applied type of pressure gauge If the hydrogen burns away, the pressure gauge voltage can be reduced for a few minutes if necessary switched off and the pressure measured again.

Claims

PATE NT A N S P R O C H E:

1. Device for finding leaks in vacuum systems, especially discharge tubes, whereby the system to be tested is sprayed or flushed with an indicator gas, the pressure of which in the vacuum system is measured by means of a sensitive manometer, characterized in that the Vacuum system is connected to the manometer by a pipe in which there is a lot absorbent. Material that absorbs air and most other gases, however lets through the indicator gas or absorbs it only to a lesser extent.

2. Apparatus according to claim i, characterized in that the absorption material is silica gel at low temperature and the indicator gas is hydrogen or helium.

1 sheet of drawings