DE952033C

DE952033C - Vacuum gauge

Info

Publication number: DE952033C
Application number: DEH13330A
Authority: DE
Inventors: Dr Hans Klumb
Original assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Current assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date: 1952-07-30
Filing date: 1952-07-30
Publication date: 1956-11-08

Description

Vakuummeter Es sind Vakuummeter zur Messung sehr kleiner Drucke (Io-2 bis io-7 Torr und darunter) bekannt, die sich des mit einem Temperaturgefälle im Vakuum verbundenen thermischen Molekulardruckes bedienen. Man kann nämlich nur sehr schwierig kleine Drucke dadurch messen, daß man die Zahl der Gasmoleküle pro Volumeneinheit unmittelbar »abzählt«; vielmehr macht man sie besser zum »Träger« anderer besser nachweisbarer physikalischer Größen. An einer Stelle des Meßgeräts werden zu diesem Zweck die Gasmoleküle mit solches leichter festzustellenden Größen »beladen«, während an einer anderen Stelle ein geeignet beschaffenes Fühlorgan diese Größen übernimmt. Die Transportdichte der als Indikator dienenden Größe ist dann - vorausgesetzt, daß alle Moleküle wenigstens im Mittel gleich stark »beladen« werden und die Last wieder restlos am Fühler abgegeben wird, d. h., wenn der sogenannte Akkomodationskoeffizient nicht sehr von Eins verschieden ist - ein Maß für die zu bestimmende Gas dichte.Vacuum gauge There are vacuum gauges for measuring very small pressures (Io-2 to io-7 Torr and below) known, which is with a temperature gradient im Serve vacuum connected thermal molecular pressure. You can only do a lot Difficult to measure small pressures by taking the number of gas molecules per unit volume immediately "counts"; rather, one makes them better to be the "bearer" of others verifiable physical quantities. At one point on the measuring device become this The purpose of "loading" the gas molecules with such quantities that are easier to determine is while at another point a suitable sensing element takes over these quantities. The transport density of the quantity used as an indicator is then - provided that all molecules are "loaded" equally, at least on average, and the load is completely returned to the probe, d. i.e. if the so-called accommodation coefficient is not very different from one - a measure of the gas density to be determined.

Bei den Vakuummetern unter Benutzung des thermischen Molekulardruckes besteht die tLanR-portierte Größe aus thermisch zugeführter kinetischer Energie, so daß sich im Vakuum - wenn-die freie Weglänge der Gasmoleküle gleich oder größer als die Apparatdimensionen ist - ein von den wärmeren zu den kälteren Stellen wirkender Molekular- druck ausbildet, dem ein leicht bewegliches Fühlorgan - etwa eine dünne Folie - durch eine meßbare Lageänderung folgen kann. Es kann in eine lineare oder auch in eine Drehbewegung versetzt werden, deren Betrag dann ein -Maß für den thermischen Molekulardruck und damit für die zu bestimmende Gasdichte ist. In the case of vacuum gauges using thermal molecular pressure does the tLanR-ported variable consist of thermally supplied kinetic energy, so that in the vacuum - if - the free path of the gas molecules is equal to or greater than the apparatus dimensions - one acting from the warmer to the colder places molecular pressure, which is an easily movable sensing element - for example a thin film - can follow through a measurable change in position. It can be in a linear movement or a rotary movement, the amount of which is then a -Measure for the thermal molecular pressure and thus for the gas density to be determined is.

Die nach diesem Prinzip arbeitenden Manometer für kleine Drucke haben gegenüber anderen Druckmeßgeräten, beispielsweise gegenüber den verbreiteten Ionisationsmanometern, den Vorzug, daß die Kräfte bei Drucken unterhalb von 10-2 Torr proportional dem herrschenden Gasdruck sind, in einfacher Weise von der Wurzel aus dem Temperaturverhältnis und - was besonders wichtig - nicht von der Gasart abhängen. Es wird ferner der Totaldruck von Gasen und Dämpfen gemessen. Die bei Benutzung anderer Prinzipien zur Vakuummessung etwa durch unterschiedliches lonisations- und Wärmeleitvermögen oder verschiedenen Dampfdruck bedingten Fehlerquellen entfallen bei den thermischen Molekulardruckmanometern. The pressure gauges for small pressures that work according to this principle have compared to other pressure gauges, for example compared to the widely used ionization manometers, the merit that the forces at pressures below 10-2 Torr are proportional to the prevailing gas pressure are, in a simple manner, from the root of the temperature ratio and - what is particularly important - do not depend on the type of gas. It will also be the Total pressure of gases and vapors measured. When using other principles for vacuum measurement, for example through different ionization and thermal conductivity or various sources of error due to vapor pressure do not apply to the thermal Molecular pressure gauges.

Der vorliegenden Erfindung lag die Aufgabenstellung zugrunde, ein ganz besonders betriebssicheres und unempfindliches Vakuummeß gerät der beschriebenen Art zu schaffen, welches vor allem dem Umstand Rechnung trägt, daß bei jedem Ein-und Ausbau oder beim Transport Erschütterungen und Stöße, die Kräfte von schädlicher Größe auf das Fühlorgan und insbesondere auf seine Aufhängung ausüben, nicht ganz vermieden werden können. Außerdem soll sein Aufbau so beschaffen sein, daß trotz einer hohen Feinheit und Empfindlichkeit des Fühlers für den thermischen Mole kulardruck und seiner Aufhängung keine Schwierigkeiten bei der Messung entstehen, die eine kontinuierliche Anzeige verhindern, indem sie Auslenkungen und Schwingungen der Fühlerfläche bewirken. Diese könnten nämlich ihre Ursache in der Empfindlichkeit gegenüber kleinen Erschütterungen, z. B. durch den Aufprall von Treibmitteltröpfchen aus den Diffusionspumpen, haben, da auch bei dem vorgesehenen Meßbereich niedrigen Druckes eine Dämpfung durch Luftreibung entfållt. So kommt die Erfindung dem Wunsch entgegen, auch außerhalb von wissenschaftIichen Laboratorien betriebssichere Vakuúmmeter zur Verfügung zu haben, die auf der Messung des thermischen Molekulardruckes beruhen. The present invention was based on the object particularly reliable and insensitive vacuum measuring device of the described Art to create, which above all takes into account the fact that with every entry and Removal or transport vibrations and shocks, the forces of harmful Exert greatness on the feeling organ and especially on its suspension, not quite can be avoided. In addition, its structure should be such that despite a high degree of fineness and sensitivity of the sensor for thermal molecular pressure and its suspension no difficulties arise in measuring the one prevent continuous display by reducing deflections and vibrations of the Effect sensor surface. This could be caused by sensitivity against small vibrations, e.g. B. by the impact of propellant droplets from the diffusion pumps, since they are also low in the intended measuring range Pressure, damping due to air friction is not necessary. So the invention comes to the wish on the other hand, reliable vacuum gauges also outside of scientific laboratories available, which are based on the measurement of the thermal molecular pressure.

Das Kennzeichen der verbesserten Vakuummeter mit einem zur Aufnahme des zwischen zwei Flächen unterschiedlicher Temperatur sich ausbildenden thermischen Molekulardruckes befähi gten, leichten und beweglichen Fühlorgan ist das Merkmal, daB wenigstens mittelbar der elektrische Strom, der einen zur Herstellung und Erhaltung oder Messung des Vakuums dienenden Teil der Vakuumanlage versorgt, vorzugsweise der zur Beheizung des Meßsystems dienende elektrische Strom dazu herangezogen wird, um das Fühlorgan bei Stromunterbrechung selbsttätig zu arretieren. The hallmark of the improved vacuum gauges with a for inclusion the thermal that develops between two surfaces at different temperatures Molecular pressure capable, light and mobile sensing organ is the characteristic that at least indirectly the electric current, one for the production and maintenance or measurement of the vacuum-serving part of the vacuum system, preferably the electrical current used to heat the measuring system is used, to automatically lock the sensing element in the event of a power failure.

Bei der bevorzugten Ausführungsform dieses Grundgedankens der Erfindung sind mindestens an der beheizten Fläche des Meßsystems Bimetallstreifen befestigt, die bei ausgeschaltetem Heizstrom und bei normaler, etwa übereinstimmender Temperatur der beiden Flächen das bewegliche Fühlorgan erschütterungsfrei festhalten, bei Einschalten des Heizstromes wegen ihrer unsymmetrischen Wärmeausdehnung ihre Verbiegung ändern und dadurch das Fühlorgan während der Dauer des Meßvorganges freigeben. In the preferred embodiment of this concept of the invention bimetal strips are attached to at least the heated surface of the measuring system, those when the heating current is switched off and at normal, approximately the same temperature of the two surfaces hold the movable sensing element vibration-free when switching on of the heating current change their bending because of their asymmetrical thermal expansion and thereby release the sensing element for the duration of the measuring process.

Um nun auch den kleinen Erschütterungen und Geräteschwingungen entgegenwirken zu können, die gerade nach Lösung der Arretierung des Fühlorgans eine Messung sehr erschweren würden und die beim Betrieb sehr leicht entstehen können, werden noch zusätzlich Vorrichtungen und Maßnahmen vorgeschlagen, die die Bewegung und die Schwingung des Fühlorgans dämpfen. In order to now also counteract the small shocks and vibrations of the device to be able to do a measurement just after releasing the locking of the sensing element would complicate and which can arise very easily during operation, will still be In addition, devices and measures proposed that the movement and the vibration of the sensing organ.

Die bei Beginn einer Messung selbsttätig sich lösende Arretiervorrichtung für das Fühlorgan und die Einrichtung zur Dämpfung der Bewegungen, Dreh- und Pendelschwingungen des Fühlorgans ergänzen sich in vorteilhafter Weise, so daß nun auch für die Technik in großem Maße schnell ansprechende, kontinuierlich anzeigende stoß- und erschütterungsunempfindliche, also betriebssichere, den thermischen Molekulardruck benutzende mechanische Vakuummeter mit großer Genauigkeit und Empfindlichkeit zur Verfügung stehen, die auch ohne weiteres gefahrlos verpackt und transportiert werden können. The locking device that releases automatically at the start of a measurement for the sensing element and the device for damping movements, torsional and pendulum oscillations of the sensing organ complement each other in an advantageous manner, so that now also for technology to a large extent responsive, continuously indicating shock and vibration insensitive, that is, operationally reliable mechanical vacuum gauges that use thermal molecular pressure are available with great accuracy and sensitivity, which is also readily available can be safely packaged and transported.

Zwar läßt sich der Erfindungsgedanke in verschiedener Weise verwirklichen. Zum Beispiel kann man magnetische oder elektrisch betätigte Arretiervorrichtungen vorsehen, die etwa durch Kupplung mit dem Arbeitsstrom der Vakuumpumpen bei Beginn des Pumpens das Fühlorgan freigeben und meßbereit machen. Die vorgeschlagene Arretierung mit Hilfe von Bimetallstreifen hat aber ganz besondere Vorteile. Ein Teil von ihnen kann übrigens auch mit den gekühlten Flächen des Meßsystems wärmeleitend verbunden sein. Diese Bimetallstreifen werden zweckmäßig so ausgeführt, daß sie im Zustand der Arretierung auf das Fühlorgan keine Kräfte parallel und quer zur Aufhängungsrichtung und insbesondere auch keine Drehmomente ausüben. Vielmehr sollen sie möglichst symmetrisch auf das Fühlorgan wirken. Mit Beginn der Heizung der im Betriebszustand heißen Fläche sollen die Bimetallstreifen infolge Wärmeübergang und wegen ihres unsymmetrischen Wärme aus dehnungsvermögens so verbogen werden, daß sie das Fühlorgan zur Aufnahme und Anzeige von Druckunterschieden in dem Maße befähigen, wie es die dann in Aktion tretende Dämpfungseinrichtung gestattet. Mit der Abkühlung der geheizten Fläche nach Ausschalten des Heizstromes am Ende der Meßperiode nehmen die Bimetallstreifen wieder ihre Normalform an, legen sich an das Fühlorgan an und halten es fest. The idea of the invention can be implemented in various ways. For example, one can use magnetic or electrically operated locking devices provide, for example, by coupling with the working current of the vacuum pumps at the beginning release the sensing element and make it ready for measurement. The proposed lock but with the help of bimetal strips has very special advantages. Part of them can also be connected to the cooled surfaces of the measuring system in a thermally conductive manner be. These bimetal strips are expediently designed so that they are in the state the locking on the sensing element no forces parallel and transverse to the direction of suspension and in particular do not exert any torques. Rather, they should be as symmetrical as possible act on the sensing organ. With the start of the heating of the hot surface during operation should the bimetal strips as a result of heat transfer and because of their asymmetrical Heat from extensibility can be bent so that it can accommodate the sensing element and display of pressure differences as it enables the then in action stepping damping device permitted. As the heated area cools down after switching off the heating current at the end of the measuring period, take the bimetal strips return to their normal form, attach themselves to the feeling organ and hold it tight.

Man berücksichtigt möglichst bei der Dimensionierung der Bimetallstreifen die gewöhnlichen, unabhängig von der Messung auftretenden tages- und jahreszeitlichen Temperaturschwankungen, um zu verhindern, daß durch sie wesentliche Änderungen der zu einer sicheren Arretierung des Fühlorgans erforderlichen Normalform- bzw. normalen Spannkraft der Bimetallstreifen entstehen und dadurch entweder eine Entlastung der Arretierung bei Nichtgebrauch oder sogar eine Hemmung des Fühlorgans bei der Messung eintritt. If possible, this is taken into account when dimensioning the bimetal strips the usual times of the day and seasons, which occur independently of the measurement Temperature fluctuations in order to prevent them from being essential Changes to the normal form required for secure locking of the sensing element or normal tension of the bimetal strips arise and thereby either a Relief of the lock when not in use or even an inhibition of the sensing organ occurs during measurement.

Die Heizungs- bzw. die Kühleinrichtungen für die eine bzw. die andere der für das Meßprinzip wesentlichen Flächen sollen mindestens eine Temperaturdifferenz von 1000 C herstellen lassen. Das Gerät soll jedoch auch ohne Gefahr für die Meßempfindlichkeit und Konstanz der wesentlichen Eigenschaften des Meßsystems dile Erzeugung von Temperaturdifferenzen bis zu 200 C und mehr zwischen diesen'Flächen ermöglichen. Da, wie oben erwähnt, die Größe des thermischen Molekulardrucks in einfacher Weise von dem Temperaturverhältnis zwischen den Flächen abhängt, richtet man zweckmäßig das Gerät so ein, daß sich mindestens zwei Meßbereiche ergeben. Für Drucke von etwa 10-2 bis I04 Torr wählt man beispielsweise eine bei der Messung möglichst fest,einzuhaltende Temperaturdifferenz von I00° C, für noch kleinere Drucke eine solche von 2000 C. The heating or cooling devices for one or the other the surfaces essential for the measuring principle should have at least one temperature difference of 1000 C. However, the device should also be without risk to the measurement sensitivity and constancy of the essential properties of the measuring system dile generation of temperature differences allow up to 200 C and more between these 'surfaces. Since, as mentioned above, the magnitude of the thermal molecular pressure simply depends on the temperature ratio Depends between the surfaces, it is useful to set up the device so that result in at least two measuring ranges. For prints from about 10-2 to 104 torr, choose for example, a temperature difference that is to be maintained as firmly as possible during the measurement of 100 ° C, for even smaller prints it is 2000 C.

Zur Erzielung besonders genauer D ruckmessungen ist es zweckmäßig, eine Fläche auf eine bestimmte Temperatur zu heizen und die andere Fläche durch Kühlung auf einer bestimmten niedrigen Temperatur, möglicherweise auch unterhalb oO C, zu halten. To achieve particularly accurate pressure measurements, it is advisable to to heat one surface to a certain temperature and the other surface through Cooling at a certain low temperature, possibly also below oO C, hold on.

Es lassen sich dann auch die Bimetallstreifen mit ihrem zur Befestigung dienenden Endteil entweder an der geheizten oder an der gekühlten, schließlich sogar zum Teil an der einen und zum Teil an der anderen Fläche derart befestigen, daß ihre Formänderungen bei Einschaltung der Heizung und Kühlung in gleichem, dem Erfindungsgedanken entsprechenden Sinne erfolgen. It can then also use the bimetallic strips for fastening serving end part either at the heated or at the cooled, finally even attach partly to one and partly to the other surface in such a way that their changes in shape when the heating and cooling are switched on in the same way as the idea of the invention corresponding sense.

Damit durch die Arretierung selbst nicht eine für die Aufhängung schädliche Spannung oder ein Drehmoment verursacht wird, wählt man möglichst eine solche Form und Anordnung der Bimetallstreifen, daß das Fühlorgan durch sie vollkommen symmetrisch belastet wird, die Kräfte möglichst senkrecht zur Richtung des Aufhängefadens wirken und keine zusätzlichen Drehmomente entstehen. With the locking itself not one for the suspension harmful tension or torque is caused, one should be chosen if possible such a shape and arrangement of the bimetallic strips that the sensing element through them perfectly is symmetrically loaded, the forces as perpendicular as possible to the direction of the hanging thread act and no additional torques arise.

Solche Kräfte der Bimetallstreifen sollen sich daher entweder gegenseitig kompensieren oder - soweit sie zur Bremsung und Arretierung des Fühlorgans erforderlich sind - vollkommen von dessen inneren Spannungen aufgenommen werden. Zu diesem Zweck hat sich eine in den Grundzügen bis auf die erfindungsgemäße Arretiervorrichtung an sich bekannte Bauart bewährt, die auch sonst gegenüber anderen denkbaren und bekannten Anordnungen der gekühlten und geheizten Fläche des Meßsystems und des dazwischenliegenden Fühlorgans wesentliche Vorzüge aufweist. Sie ist gekennzeichnet durch deren vollkommene zylindersymmetrische Form und Anordnung. Das Fühlorgan hat dabei die Gestalt eines länglichen Hohlzylinders; dessen Mantel ist bis auf zwei schmale, unveränderte Ringteile an den Zylinderenden vielfach aufgeschlitzt, und die entstehenden Streifen sind gegen die Tangentialebene der Wandung so verdreht, vorzugsweise um einen Winkel kleiner als 450, daß eine turbinenartige Form entsteht. Die von den Turbinenschaufeln gebildeten Prallflächen bewirken, daß vorzugsweise der bei der Anwendung eines Temperaturgefälles von innen nach außen in gleicher Richtung wirkende thermische Molekulardruck eine Druckkomponente senkrecht zur Zylinderachse auf die Prallflächen und damit ein Drehmoment auf die Turbine ausübt. Diese Ausführungsform hat den bedeutenden Vorteil, daß bei Verdrehung des Turbinenzylinders unter Einwirkung des Molekulardruckes sich die Dimensionen nicht ändern und das Drehmoment gleichbleibt.Such forces of the bimetal strips should therefore either be mutually exclusive compensate or - as far as they are necessary for braking and locking the sensing element are - are completely absorbed by its internal tensions. To this end has a basic features except for the locking device according to the invention well-known design proven, which is also otherwise conceivable and conceivable compared to others known arrangements of the cooled and heated surface of the measuring system and the intermediate sensing organ has significant advantages. She is marked thanks to their perfectly cylindrically symmetrical shape and arrangement. The feeling organ has thereby the shape of an elongated hollow cylinder; whose coat is except for two narrow, unchanged ring parts at the cylinder ends often slit, and the resulting strips are twisted against the tangential plane of the wall in such a way that preferably at an angle less than 450 so that a turbine-like shape is created. The baffles formed by the turbine blades cause that preferably the same when applying a temperature gradient from the inside to the outside Direction acting thermal molecular pressure a pressure component perpendicular to the cylinder axis on the baffles and thus exerts a torque on the turbine. This embodiment has the significant advantage that when the turbine cylinder is rotated under action of the molecular pressure, the dimensions do not change and the torque remains the same.

Die Erfindung sei nun an Hand von schematischen Figuren erläutert, die eine besonders günstige und bewährte Ausführungsform des neuen Vakuummeters bzw. verschiedene Ausführungsformen von Einzelteilen, insbesondere der Arretierungsvorrichtung, zeigen. The invention will now be explained with reference to schematic figures, a particularly cheap and proven embodiment of the new vacuum gauge or different embodiments of individual parts, in particular the locking device, demonstrate.

Fig. I gibt einen Längsschnitt durch das eigentliche Gerät; Ablese- oder Kompensationseinrichtungen zur Messung sind nicht gezeigt, da sie für die eigentliche Erfindung unwesentlich sind; Fig. 2 zeigt schematisch die zylindersymmetrische Lage der beiden Flächen des Meßsystems, zwischen denen die Temperaturdifferenz bei der Messung hergestellt wird, sowie das dazwischenliegende zylindersymmetrische turbinenartige Fühlorgan; Fig. 3 zeigt das turbinenartige Fühlorgan, beispielsweise in Spannbandaufhängung; Fig. 4 zeigt eine beispielsweise Ausführung des die innere beheizte Fläche des Systems bildenden Heizers mit einem darübergestülpten Metallzylinder; Fig. 5 bis 9 geben verschiedene Beispiele für Arretierungsvorrichtungen aus Bimetallstreifen nach dem Gedanken der Erfindung. Fig. I gives a longitudinal section through the actual device; Reading or compensation devices for measurement are not shown as they are used for the actual Invention are immaterial; Fig. 2 shows schematically the cylindrically symmetrical position of the two surfaces of the measuring system, between which the temperature difference at the Measurement is made, as well as the cylinder-symmetrical turbine-like in between Sensing organ; 3 shows the turbine-like sensing element, for example in a tension band suspension; Fig. 4 shows an exemplary embodiment of the internal heated surface of the system forming heater with a metal cylinder slipped over it; Figures 5 to 9 give various examples of locking devices made of bimetal strips according to the Thoughts of Invention.

Das den schematischen Abbildungen zugrunde liegende, nach dem Erfindungsgedanken ausgebildete Vakuummeter besteht aus einem Gehäuse I aus Metall oder Glas mit einem hier nicht gezeigten Ablesefenster in -Höhe des Anzeigespiegels 5. Mit einem Normalschliff am unteren Ende 22 wird es auf ein Verbindungsstück mit dem Rezipienten aufgesetzt. An Stelle einer Schliffverbindung kann auch eine Flanschverindung benutzt werden. Das obere Ende des Gehäuses wird durch einen Glasschliff 23 oder durch bekannte Mittel verschlossen. That underlying the schematic illustrations, according to the idea of the invention trained vacuum meter consists of a housing I made of metal or glass with a Reading window (not shown here) at the height of the display mirror 5. With a normal cut at the lower end 22 it is placed on a connection piece with the recipient. A flange connection can also be used instead of a ground joint. The upper end of the housing is cut by a glass cut 23 or by known Medium locked.

Zur Ableitung statischer Aufladungen kann noch bei Glasgehäusen ein Draht eingeschmolzen sein.To dissipate static charges, a Wire melted down.

Bei der infolge höherer Betriebssicherheit vorteilhaft rein Verwendung von Metallen für das Gehäuse soll möglichst dia- oder höchstens paramagnetisches Metall, beispielsweise Messing oder andere Buntmetalle, verwendet werden, damit durch die magnetischen Hilfsmittel zur Dämpfung oder Ausschlagskompensation keine Drehmomente entstehen dder ein magnetischer Kurzschluß durch die Gehäusewandung auftritt. Das Gehäuse kann zweck- mäßig so eingerichtet sein, daß es zur Ermög lichung einer Entgasung beispielsweise durch eine übergeschobene Induktionsspule bis auf - 200 bis 4000 C zu heizen ist, Die Gehäusewandung I aus Glas oder Metall bildet die äußere, zylindersymmetrische, in dem gezeigten Beispiel gekühlte Fläche des Meßsystems. Sie trägt in Höhe des Meßsystems einen übergeschobenen Kühlmantel I6 mit Zu- und Abflußstutzen I6, und t6b für zirkulierende Kühlmittel, wie Wasser, andere bekannte Kühlmittel oder für besondere Präzisionszwecke sogar flüssige Luft. Eine genauere Temperaturkontrolle und -regelung kann vorteilhaft sein.Advantageously pure use due to higher operational reliability of metals for the housing should be dia- magnetic or at most paramagnetic Metal, such as brass or other non-ferrous metals, can be used with it due to the magnetic aids for damping or deflection compensation, none Torques result from a magnetic short circuit through the housing wall occurs. The housing can be be moderately arranged so that it to enable degassing, for example, by an induction coil pushed over it up to - 200 to 4000 C is to be heated, the housing wall I made of glass or metal forms the outer, cylindrically symmetrical surface, which is cooled in the example shown of the measuring system. At the level of the measuring system, it has a cooling jacket pushed over it I6 with inlet and outlet connections I6, and t6b for circulating coolants such as water, other known coolants or even liquid air for special precision purposes. More precise temperature control and regulation can be beneficial.

Ferner sind noch außen am Gehäuse in Höhe des Meßsystems die Einrichtungen zur Dämpfung der freien Bewegungen des Fühlorgans angebracht; im gezeichneten Fall erregen die beiden Pole 15 eines permanenten Magneten aus Eisen Wirbelströme im bewegten Fühlorgan. Die anderen Teile des Meßsystems sind vorteilhaft wie bei der dargestellten Ausführungsform zwecks einer höheren Betriebssicherheit innerhalb eines U-förmigen Rahmens 2 aus Kupfer oder einem anderen diamagnetischen Metall angeordnet und befestigt. Die innere, im dargestellten Beispiel beheizte Fläche wird durch einen Metallzylinder 9, vorzugsweise aus Aluminium, gebildet. Seine Beheizung erfolgt von innen durch einen besonderen Heizer 3. Metallische Zylinderflächen sind solchen aus Glas- vorzuziehen, da sie adsorbierte, das Meßsystem unter Umständen beeinflussende elektrische Ladungen leicht abführen oder wenigstens wegen ihrer elektrischen Leitfähigkeit gleichmäßig und symmetrisch verteilen können. Auch trägt die gute Wärmeleitfähigkeit von Metall zu einer gleichmäßigen Temperaturverteilung über die Zylinderfläche bei. Ferner zeigt Aluminium nur sehr geringe Ad- und Absorption von Gasen. Furthermore, the devices are still on the outside of the housing at the level of the measuring system attached to dampen the free movements of the sensing organ; in the case shown excite the two poles 15 of a permanent magnet made of iron eddy currents in the moving sensory organ. The other parts of the measuring system are advantageous as in the illustrated embodiment for the purpose of higher operational reliability within a U-shaped frame 2 made of copper or another diamagnetic metal arranged and attached. The inner, in the example shown, heated area is formed by a metal cylinder 9, preferably made of aluminum. Its heating takes place from the inside through a special heater 3. Metallic cylinder surfaces are those made of glass - preferable because they adsorbed, the measuring system under certain circumstances Easily dissipate influencing electrical charges, or at least because of them Distribute electrical conductivity evenly and symmetrically. Also carries the good thermal conductivity of metal for an even temperature distribution over the cylinder surface at. Furthermore, aluminum shows only very little adsorption and absorption of gases.

Der Heizer 3 ist von einem zylindrischen, vakuumdicht verschlossenen Röhrchen 8 aus Glas oder Keramik verschlossen, welches entweder wie bei anderen möglichen Ausführungsformen von unten oder von der Seite in das Glasgehäuse eingeblasen wird oder wie in dem den Abbildungen zugrunde liegenden Beispiel mittels eines gleichzeitig eine Stromzuführungselektrode bildenden Metallstreifens 7b z. B. aus Eisen, an dem Rahmen 2 genügend stark und erschütterungsfest in der kennzeichnenden symmetrischen Lage innerhalb des Gehäuses befestigt ist. Diese Art der Anbringung bringt noch den Vorteil mit sich, daß eine Rotation des turbinenartigen Fühlorgans um mehr als I800 - beispielsweise bei überraschenden Lufteinbrüchen - mit schädlichen Folgen für Aufhängung und Meßempfindlichkeit verhindert ist, indem die Bewegung des Aufhängebügels 6a von dem Metallstreifen 7b gebremst wird. Vorzugsweise wählt man elektrische Widerstandsheizung. Ein Träger aus Glas oder Keramik im Innern des Heizröhrchens ist mit einem Heizdraht bewickelt, beispielsweise aus Nickel. Die Stromzuführungen sind vakuumdicht aus dem Gehäuse herausgeführt. Als Strom genügen meist Stromstärken von 1,2 bis I,5 Ampere bei 2 Volt Spnnung. Das Heizröhrchen kann außerdem noch mit einem Thermoelement zur Temperaturbestimmung oder Regelung ausgerüstet sein. Eine Füllung mit Quarzsand oder einem elektrisch nicht leitenden Öl ermöglicht eine bessere Wärmeübertragung an dem inneren Zylinderg. Bei einer besonderen Ausführungsform besitzt das Heizröhrchen eine nach der Seite und nach oben am Rahmen 2 entlanggeführte Kapillare I4, so daß bei Olfüllung der, Stand des Ö1-fadens zur Temperaturbestimmung benutzt werden kann. The heater 3 is closed by a cylindrical, vacuum-tight Tubes 8 made of glass or ceramic sealed, which either as with others possible embodiments blown into the glass housing from below or from the side or, as in the example on which the figures are based, by means of a simultaneously a power supply electrode forming metal strip 7b z. B. made of iron on which Frame 2 strong enough and resistant to vibrations in the characteristic symmetrical Location is attached within the housing. This type of attachment still brings with the advantage that a rotation of the turbine-like sensing element by more than I800 - for example in the event of a surprising inrush of air - with harmful consequences for suspension and measurement sensitivity is prevented by moving the suspension bracket 6a is braked by the metal strip 7b. Electrical resistance heating is preferred. A support made of glass or ceramic inside the heating tube is connected to a heating wire wound, for example made of nickel. The power supply lines are made vacuum-tight led out of the housing. Current strengths of 1.2 to 1.5 are usually sufficient Amps at 2 volts. The heating tube can also be equipped with a thermocouple be equipped for temperature determination or control. A filling with quartz sand or an electrically non-conductive oil enables better heat transfer on the inner cylinder g. In a particular embodiment, the heating tube has a to the side and up along the frame 2 capillary I4, so that when the oil is filled, the level of the oil thread can be used to determine the temperature.

Zwischen der inneren zylindrischen Fläche g und der äußeren Glaswandung I liegt das zylindersymmetrische Fühlorgan 4 zur Messung des thermischen Molekulardruckes. Kleinere Abstände zwischen diesen drei Zylindern erhöhen die Empfindlichkeit. Das Fühlorgan 4 besteht aus einem Hohlzylinder aus einem leichten Material, besonders Aluminium, mit den durch Aufschlitzen des Zylindermantels entstandenen und aus der Mantelfläche herausgebogenenS chaufeln und Praliflächen 4a Der Zusammenhalt wird durch schmale unveränderte Ringzonen 4b an beiden Zylinderenden gewährleistet. Der bei der der Zeichnung zugrunde gelegten Form von innen nach außen wirkende thermische Molekulardruck überträgt auf diese Turbine ein Drehmoment, dessen Betrag linear mit der Gesamtfläche der Schaufeln und dem Zylinderradins wächst. Die Länge der zylinderförmigen Turbine ist möglichst um ein Vielfaches größer als ihr Radius. Gut bewährt hat sich eine Aluminiumfolie von 20 ß Dicke als Material für die Turbine, da Aluminium gegen die meisten Gase und Dämpfe resistent ist vermöge seiner eigenen Oxydschicht. Between the inner cylindrical surface g and the outer glass wall I is the cylindrically symmetrical sensing element 4 for measuring the thermal molecular pressure. Smaller distances between these three cylinders increase the sensitivity. That Sensing member 4 consists of a hollow cylinder made of a light material, especially Aluminum, with those created by slitting the cylinder jacket and from the Shovels bent out of the outer surface and pralifurfaces 4a The cohesion becomes guaranteed by narrow, unchanged ring zones 4b at both cylinder ends. Of the in the form on which the drawing is based, thermal from the inside to the outside Molecular pressure transmits a torque to this turbine, the amount of which is linear grows with the total area of the blades and the cylinder wheel. The length of the cylindrical turbine is as much as possible many times larger than its radius. An aluminum foil with a thickness of 20 ß has proven to be a good material for the turbine, since aluminum is resistant to most gases and vapors by virtue of its own Oxide layer.

Man kann aber auch Kupfer und Edelmetalle bzw. andere Metalle, sowie anderes, spezifisch möglichst leichtes Material, wie Glimmer und Kunststoff, dazu verwenden. Zur Verhinderung von Oxydation gegen Amalgambildung mit Quecksilber, der erfahrungsgemäß auch Aluminium ausgesetzt ist, kann die Turbine mit einer Schutzschicht, beispielsweise aus Schellack oder mit aufgedampften Schichten aus Oxyden und Sulfiden oder Edelmetallen, wie Silber, versehen sein. Besonders bei Verwendung von Kupfer empfiehlt sich eine solche Maßnahme. Auch der innere Aluminiumzylinder, 9 um den Heizer 8 ist zweckmäßig noch durch eine Schicht, beispielsweise aus Schellack, geschützt.But you can also use copper and precious metals or other metals, as well other, specifically as light as possible material, such as mica and plastic, in addition use. To prevent oxidation against amalgam formation with mercury, which experience has shown is also exposed to aluminum, the turbine can be covered with a protective layer, for example made of shellac or with vapor-deposited layers of oxides and sulfides or precious metals such as silver. Especially when using copper such a measure is recommended. Also the inner aluminum cylinder, 9 around the Heater 8 is expediently protected by a layer, for example made of shellac.

Man muß ferner möglic'ist bei der Stoffwahl Rücksicht nehmen, daß paramagnetischer Restmagnetismus durch ein- diamagnétisches Material kompensiert wird. Geeignete diamagnetische Materialien sind neben Aluminium Kupfer und Silber. Der Länge des Turbinchens ist dadurch eine Grenze gesetzt, daß eine größere Masse die Erschütte rungsempfindlichkeit und die Schwingungsdauer des Turbinchens erhöht und eine stärkere Aufhängung erfordert, so daß die Ansprechempfindlichkeit und die Genauigkeit der Messung herabgesetzt ist.It is also possible, when choosing the material, to take into account that paramagnetic residual magnetism compensated by mono-diamagnetic material will. In addition to aluminum, suitable diamagnetic materials are copper and silver. The length of the turbine is limited by the fact that it has a larger mass the vibration sensitivity and the period of oscillation of the turbine increases and requires a stronger suspension, so that the responsiveness and the Measurement accuracy is reduced.

Die als Fühlorgan dienende Turbine kann entweder frei in an sich bekannter Weise an einem Torsionsfaden aufgehängt werden oder man wählt vorzugsweise Spannbandaufhängung, z. B. zwischen zwei Wolframfäden II und 11,, wodurch nämlich zusätzlich die Erschütterungsempfindlichkeit der Stöße in Längsrichtung vermindert wird. The turbine serving as a sensing element can either be free in itself known way on one Torsion thread to be hung or one preferably selects strap suspension, e.g. B. between two tungsten threads II and 11 ,, which also increases the vibration sensitivity of the shocks in the longitudinal direction is decreased.

Es lassen sich auch Quarzfäden und Bronzefäden verwenden. Die Dicke dieser Fäden soll geringer als 50 r sein, vorzugsweise kleiner als 25 ,u. Bei Drahtdicken von wenig mehr als I Xu kann der Meßbereich bis zu 10-8 Torr ausgedehnt werden, da dann die Rückstellkraft des Fadens sehr gering ist und auch kleinste thermische Molekulardrucke eine gut meßbare Verdrehung des Turbinchens aus der Normallage verursachen können. Quarzfäden mit der vorzugsweisen Dicke von 10 au haben den Vorteil, daß sich bei ihnen die Nullage sehr gut reproduzieren läßt. Über der Turbine ist an dem Torsionsfaden bzw. an dem Spannband ein Anzeigespiegel 5 befestigt.Quartz threads and bronze threads can also be used. The fat these threads should be less than 50 r, preferably less than 25, u. For wire thicknesses from little more than I Xu the measuring range can be extended up to 10-8 Torr, because then the restoring force of the thread is very low and even the smallest thermal Molecular pressures cause an easily measurable twisting of the turbine from its normal position can. Quartz threads with the preferred thickness of 10 au have the advantage that the zero position can be reproduced very well with them. Above the turbine is on a display mirror 5 is attached to the torsion thread or to the tensioning strap.

Der Torsionsfaden bzw. das Spannband 11 oberhalb der Turbine ist so an dem Rahmen befestigt, daß Justierung möglich wird. Hierzu ist der Faden 11 an einer Blattfeder I8 mittels einer feststellbaren Schraube 19 waagerecht verschiebbar befestigt. Ferner dient eine am Rahmen sich befindende Verstellschraube 20 zum Verschieben der Blattfedern in Achsenrichtung. Bei Spannbandaufhängung ist vorzugsweise der untere Faden II,, starr in eine Kupferkapillare I7 des Rahmens 2 eingequetscht. Die Verbindung der Turbine mit dem Torsionsfaden bzw. mit dem Spannband erfolgt mittels eines Kurzschlußbügels 6aJ beispielsweise aus Kupferdraht bzw. bei Spannbandaufhängung mittels zweier um go0 in ihrer Ebene versetzte Kupferbügel 6a und 6b. Die Verlötung des Kupferbügels mit dem Spannband bzw. dem Torsionsfaden geschieht beispielsweise mittels Silberchlorid. The torsion thread or the tensioning strap 11 is above the turbine attached to the frame in such a way that adjustment is possible. For this purpose the thread 11 Can be moved horizontally on a leaf spring 18 by means of a lockable screw 19 attached. Furthermore, an adjusting screw 20 located on the frame is used for moving of the leaf springs in the axial direction. In the case of tension band suspension, the lower thread II, squeezed rigidly into a copper capillary I7 of the frame 2. The turbine is connected to the torsion thread or to the tensioning strap by means of a short-circuit clip 6aJ, for example made of copper wire or with a tension band suspension by means of two copper brackets 6a and 6b offset in their plane by go0. The soldering of the copper bracket with the tensioning band or the torsion thread happens, for example by means of silver chloride.

Die Kupferbügel 6a und 69 können zur elektromagnetischen Dämpfung oder als Kurzschluß ringe zur Erzeugung einer elektrodynamischen Rückstellkraft auf die Turbine dienen bei einer Kompensationsmessung. Vorzugsweise aber erfolgt die Dämpfung durch Wirbelströme in der Turbine unter dem Einfluß eines Magneten I5, der in Höhe des Turbinchens am Gehäuse angebracht ist. The copper brackets 6a and 69 can be used for electromagnetic damping or as short-circuit rings to generate an electrodynamic restoring force on the turbine are used for a compensation measurement. But preferably takes place the damping by eddy currents in the turbine under the influence of a magnet I5, which is attached to the housing at the level of the turbine.

Kleiner Abstand zwischen den beiden Magnetpolen sowie eine gute Abschirmung zur Verringerung der magnetischen Streuung begünstigt die gute Dämpfung. Bei Dämpfung durch Wirbelstrom ist eine elektrodynamische Kompensation der Meßausschläge nicht anwendbar.Small distance between the two magnetic poles and good shielding the good damping favors the reduction of the magnetic scattering. With damping an electrodynamic compensation of the measurement deflections is not possible due to eddy currents applicable.

Für die vorgeschlagene Arretierung gibt es verschiedene Ausführungsmöglichkeiten. So können am inneren beheizten Aluminiumzylinder g an zwei gegenüberliegenden Stellen je ein Bimetallstreifen I0 derart angelötet werden (Fig. 5 a und 5b), daß bei Nichtgebrauch die Bimetallstreifen gespreizt sind und von innen gegen einen Ringteil 4b der Turbinen gepreßt werden. -Die Bimetallstreifen sind derart zusammengesetzt, daß sie sich bei Erwärmung nach innen durchbiegen, die Turbine freigeben und sich gegen den inneren Aluminium zylinder g anlegen. Das Metall mit größerer Wärmeausdehnung muß also die äußere Schicht der Bimetallstreifen bilden. Die Bimetallstreifen können auch eine solche Zusammensetzung haben, daß beim längeren, mit seinem Ende am Zylinder g angelöteten Teil des Streifens das Metall größerer Wärmeausdehnung außen, beim kürzeren, freien Ende I2 jedoch innen liegt, so daß im kalten Zu--, stand die Biegungskurve des Bimetallstreifens in der Umgebung der Verbindungsstelle beider Teilstücke einen Wendepunkt hat. Die Berührung des Bimetallstreifens mit dem Ringende 4b des Zylinders erfolgt dann auf einer größeren Fläche mit der Folge einer besseren Arretierung und gleichmäßigeren Kraftverteilung. There are various possible designs for the proposed lock. So can on the inner heated aluminum cylinder g at two opposite points one bimetal strip I0 each are soldered on (Fig. 5a and 5b) that when not in use the bimetallic strips are spread and from the inside against a ring part 4b of the turbine be pressed. -The bimetal strips are put together in such a way that they are bend inwards when heated, release the turbine and move against the inner one Put on the aluminum cylinder g. The metal with greater thermal expansion must therefore be the form the outer layer of the bimetal strip. The bimetal strips can also be a have such a composition that the longer, with its end on the cylinder g soldered Part of the strip the metal of greater thermal expansion outside, with the shorter, free The end of I2, however, lies on the inside, so that in the cold to--, the bending curve of the bimetal strip stood has a turning point in the vicinity of the junction of the two sections. the Contact of the bimetallic strip with the ring end 4b of the cylinder then takes place a larger area with the result of better locking and more uniform Force distribution.

Wie in Fig. 6a und 6b gezeigt, können die Bimetallstreifen auch so angebracht sein, daß sie paarweise im kalten Zustand sowohl nach oben als auch nach unten gespreizt sind, so daß das Turbinchen 4 an beiden Ringenden festgestellt wird. As shown in Fig. 6a and 6b, the bimetal strips can also be so be appropriate that they are paired in the cold state both upwards and downwards are spread below, so that the turbine 4 is determined at both ring ends.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 7 a und 7b erstrecken sich die Bimetallstreifen nicht in Achsrichtung, sondern sind oben und unten derart befestigt, daß sie sich im kalten Zustand in horizontaler Ebene öffnen und sich gleichmäßig in stetiger Kurve an die Ringenden 4b der Turbine von innen anlegen können. Bei der Form nach Fig. 8a und 8b sind die Bimetallstreifen vorteilhaft nicht mit einem ihrer Enden am Zylinder 9 befestigt, sondern in Streifenmitte, so daß sowohl im kalten Zustand eine symmetrische Spreizung als auch im warmen Zustand eine symmetrische Form entsteht und durch die Bimetallstreifen keine Kraftwirkung auf das Aufhängungssystem der Turbine übertragen wird. In the embodiment of FIGS. 7 a and 7 b, the extend Bimetal strips not in the axial direction, but are attached above and below in such a way that that when cold they open in a horizontal plane and become even can apply in a steady curve to the ring ends 4b of the turbine from the inside. at the shape of Fig. 8a and 8b, the bimetal strips are advantageously not with a their ends attached to the cylinder 9, but in the middle of the strip, so that both in a symmetrical spreading in the cold state and a symmetrical spreading in the warm state Shape is created and the bimetal strips do not have any force on the suspension system the turbine is transmitted.

Schließlich ist bei der Ausführungsform nach Fig. 9 a und gb sowohl eine Arretierung von innen, d. h. von der beheizten Fläche, als auch von der äußeren gekühlten Fläche I vorgesehen, wobei die Bimetallstreifen so gestaltet sind, daß ihre Wirkungsweise gleichsinnig ist. Finally, in the embodiment of FIG. 9 a and gb are both a lock from the inside, d. H. from the heated surface as well as from the outside cooled surface I provided, the bimetal strips are designed so that their mode of action is the same.

Die Enden der Bimetallstreifen befestigt man an den geheizten oder den gekühlten Flächen in an sich bekannter Weise, beispielsweise durch Punktschweißen. Es ist irn allgemeinen eine solche Dimensionierung ausreichend, daß sich die erfindungsgemäße Arretierung innerhalb von 2 bis 5 Minuten löst, je nach der geforderten Empfindlichkeit und Bauweise. Für die Betriebssicherheit ist auch die Eigenschaft der erfindungsgemäßen Arretierung wichtig, daß bei unvorhergesehenem Ausfall der Heizung die Turbine wieder selbsttätig arretiert wird. Es stehen die bekannten Bimetallkombinationen für die Arretierung nach der Erfindung, beispielsweise Invar mit Kupfer, Nickel und Nickel-Eisen-Legierungen, zur Verfügung, wobei durch geeignete dünne, an sich bekannte Überzüge Schutz gegen Oxydation, Gase und Quecksilberdämpfe erreicht werden kann. Die selbsttätige Arretierung gemäß der Erfindung, die eine sehr einfache und betriebssichere Handhabung des Gerätes erlaubt, hat sich bisher bestens bewährt und gestattet die Verwendung von Vakuummetern, die einen thermischen Molekulardruck ausnutzen, auch in größerem technischen Rahmen durch weniger geschultes Personal. The ends of the bimetal strips are attached to the heated or the cooled surfaces in a manner known per se, for example by spot welding. In general, such a dimensioning is sufficient that the inventive The lock releases within 2 to 5 minutes, depending on the required sensitivity and construction. The property of the invention is also important for operational safety It is important to lock the turbine again in the event of an unexpected failure of the heater is locked automatically. The well-known bimetal combinations are available for the Lock according to the invention, for example Invar with copper, nickel and nickel-iron alloys, available, with protection against by suitable thin, per se known coatings Oxidation, gases and mercury vapors can be achieved. The automatic locking according to the invention, a very simple and reliable handling of the device allowed, has proven itself so far and allows the use of vacuum gauges, the take advantage of thermal molecular pressure, even on a larger technical scale by less trained staff.

Zur Anzeige der gemessenen Drucke kann entweder in bekannter Weise ein einfacher Lichtzeiger verwandt werden oder zur stetigen Anzeige eine Kompensation des Ausschlages mittels eines elektromagnetischen Wechselfeldes, oder eine optische Nachlaufvorrichtung. Man eicht das Gerät beispielsweise mittels eines McLeod-Manometers. Da die Eichkurve linear verläuft, kann man sie auf den Druck Null extra polieren. Indem man die Herstellung verschiedener Temperaturdifferenzen zwischen den beiden Flächen ermöglicht, lassen sich mehrere Meßbereiche mit gleicher Genauigkeit erfassen. To display the measured pressures, either in a known manner a simple light pointer can be used or a compensation for continuous display of the deflection by means of an electromagnetic alternating field, or an optical one Tracking device. The device can be calibrated using a McLeod manometer, for example. Since the calibration curve is linear, it can be polished to zero pressure. By looking at producing various temperature differentials between the two Allows areas, several measuring areas can be recorded with the same accuracy.

Die beschriebeneAusführungsformeinesVakuummeters gemäß der Erfindung erschöpft keineswegs alle für besondere Zwecke verschiedenen Konstruktionsmöglichkeiten. Sowohl Gehäuse, Heizsystem, Anzeige- und Dämpfungsvorrichtung als auch das Fühlorgan mit der neuartigen selbsttätigen Arretierung lassen sich noch in engeren oder weiteren Grenzen in den nach Offenbarung des Erfindungsgedankens, dem Fachmann von selbst sich darbietenden zweckmäßigen Formen abwandeln, ohne daß das Prinzip verlassen werden muß und erfinderisches Bemühen erforderlich wäre. Die Technik wird also jedenfalls durch die Erfindung wesentlich bereichert und die Entwicklung auf dem Vakuummetergebiet entscheidend vorangetrieben. The described embodiment of a vacuum gauge according to the invention by no means exhausts all construction possibilities which are different for special purposes. Housing, heating system, display and damping device as well as the sensing element with the new type of automatic locking, even narrower or wider Limits within the scope of the disclosure of the inventive concept to the person skilled in the art Modify appropriate forms presented without leaving the principle must be and inventive effort would be required. So the technology will anyway Substantially enriched by the invention and the development in the vacuum meter field decisively advanced.

PATENTANSPRSCHE: I. Ein auf der Wirkung des im Vakuum zwischen zwei Flächen unterschiedlicherTemperatur sich ausbildenden, thermischen Molekulardruckes beruhendes Vakuummeter mit einem zur Aufnahme des ausgeübten Bewegungsimpulses befähigten, leichten, beweglichen Fühlorgan zwischen den beiden Flächen unterschiedlicher Temperatur, dadurch gek-nnzeichnet, daß wenigstens mittelbar der elektrische Strom, der einen zur Herstellung, Unterhaltung oder Messung des Vakuums dienenden Teil der Vakuumanlage versorgt, vorzugsweise der zur Beheizung des Meßsystems dienende elektrische Strom, die Arretierung des Fühlorgans bei Stromunterbrechung selbsttätig vornimmt. PATENT CLAIMS: I. One on the action of the vacuum between two Areas of different temperature developing, thermal molecular pressure based vacuum meter with a capable of recording the exerted movement impulse, light, movable sensing element between the two surfaces of different temperatures, characterized by the fact that at least indirectly the electric current, the one for the production, maintenance or measurement of the vacuum serving part of the vacuum system supplied, preferably the electrical current used to heat the measuring system, locks the sensing element automatically in the event of a power failure.

Claims

2. Vacuum meter according to claim I, characterized in that at least bimetal strips are attached to the heated surface of the measuring system, which at switched off heating current and at normal, approximately the same temperature of the Hold the movable sensing element on both surfaces vibration-free when switching on of the heating current change their bending because of their asymmetrical thermal expansion and thereby release the sensing element for the duration of the measuring process.

3. Vacuum meter according to claim 2, characterized in that the dimensioning the bimetal strips are not large, due to normal times of the day or seasons Changes in their deflection due to temperature fluctuations allow a release the feeler when not in use or an inhibition of the movement of the feeler to prevent pressure measurement.

4. Vacuum meter according to claim I to 3, characterized by application of temperature differences between the two surfaces of the measuring system of less than 2000 C, whereby the temperature of the cooled surface is also below oO C. can.

5. Vacuum meter according to claim I to 4, characterized by application different fixed temperature differences for measuring different pressure ranges.

6. Vacuum meter according to claim I to 5, characterized in that the braking pressure of the bimetal strips acts symmetrically on the sensing element, without it Load suspension.

7. Vacuum meter according to claim I to 6, characterized by a cylindrically symmetrical Arrangement and shape of the two to create a temperature gradient in a vacuum required surfaces and the sensing element arranged between them.

8. Vacuum meter according to claim 7, characterized by a sensing element in the form of a hollow cylinder with a shell deformed in such a way that a radially acting thermal molecular pressure in a vacuum below 10-2 Torr a torque on the Hollow cylinder can exercise around its axis and a locking by bimetal strips is possible.

9. Vacuum meter according to claim 8, characterized by a sensing element in the form of a cylindrical turbine with twisted out of the slotted cylinder jacket Blades or baffles.

10. Vacuum meter according to claim 9, characterized in that the Serving as a sensing element turbine hangs on a torsion thread or in a tensioning strap.

11. Vacuum meter according to claim 9, characterized in that for Achieving a thermal molecular pressure that acts radially from the inside out the inner surface is preferably electrically heated.

12. Vacuum meter according to claim 9, characterized in that the inner heated surface consists of a metallic cylinder, which by means of a Heated in a vacuum-tight sealed resistance heating coil in a glass tube will.

13. Vacuum meter according to claim I2, characterized in that the Glass tubes of the heater blown into the housing from below or from the side is.

14. Vacuum meter according to claim I2, characterized in that the Glass tube of the heater from one on the housing wall or at a special U-shaped support for the entire measuring system attached metal bracket is held vibration-proof, the at the same time forms one of the power supply lines.

15. Vacuum meter according to claim 2, 8 and 9, characterized in that that the bimetal strips with one end on the inner cylindrical surface in such a way are attached so that they are parallel to the cylinder axis when the surface is heated put on its coat, when not in use, their free ends are splayed and from imlen to one or both of the smooth, narrow ring zones of the turbine Apply sufficient brake pressure.

I6. Vacuum meter according to claim 2, 8 and 9, characterized in that that the bimetallic strips with heated inner surface instead of along a surface line along the upper or lower circumference of the cylinder and when not in use, d. H. cooler inner surface, spread in a plane perpendicular to the cylinder axis and from the inside to the ring zones of the turbine.

17. Vacuum meter according to claim 2, 8, 9, 15 and I6, characterized in that that the bimetal strips are attached to the outer and / or inner surface and their change in bending when heating or cooling acts in the same way.

I8. Vacuum meter according to claim I6, characterized in that the Bimetal strips are attached in their center to the inner cylinder so that the Spreading takes place symmetrically to a plane parallel to the axis.

19. Vacuum meter according to claim 14 to I8, characterized in that that the length of the bimetallic strips consists of two T-shaped strips with opposing ones Bending characteristics.

20; Vacuum meter according to claims 8 and 9, characterized in that the feeling organ au, a specifically light, as little paramagnetic or as possible but diamagnetic material, such as mica, plastics, aluminum, copper, precious metal, consists and if necessary with protective layers of varnishes from vapor-deposited Precious metals, oxides and sulphides.

21. Vacuum meter according to claim 8 and 9, characterized in that the length of the cylindrical turbine is a multiple of its radius.

22. Vacuum tenant according to claim I0, characterized in that the Torsion thread or the tension band made of bronze, tungsten or quartz consists of a Thickness below 50 each, preferably from 25 y to I 23. Vacuum meter according to claim 10 and 22, characterized in that the. Location of one of the ends of the torsion thread or the tensioning strap by suitable fastening, for example on an adjustable one Leaf spring, can be changed in three directions for adjustment.

24. Vacuum meter according to claim I to 23, characterized in that an additional, preferably magnetic device that after releasing the locking device dampens free movements of the sensing element that exist in rotary or pendulum oscillation.

Publications considered: German Patent Specifications No. 538 I22, 649 932, 544531,814666,695038, 648380,291 I I6; ATM V 1341-4 delivery I94, March I952.